化学気相蒸着法は低温度であるというが、それは何°Cですか?
1950年代、旧ソ連とイギリスは800°Cの比較的低い温度で炭化水素ガスの熱分解による合成の研究を開始した。
この低温度による合成方法は化学気相蒸着(CVD)法という。
1953年のウィリアム・G・エバーソールによれば、ダイヤモンド基板上にダイヤの蒸着した膜が生成すると報告しているが、1962年まで研究結果が発表されなかった。
しかし、1968年にアンガスとその同僚らが、1970年にもデリャーギンとフェドセーエフが独自にダイヤモンド膜の合成に成功した。
エバーソールとアンガスは高価で単結晶の大きなダイヤモンドを基板として使用したが、デリャーギンらはケイ素や金属の基板上で生成している。
1980年代はデリャーギンらの研究成果により、いかに安価なダイヤモンド膜を堆積させるか、研究開発が急速に進められた。