Projet ANR-07-MAPR-0025 – Liquid Lens : Microfabrication of liquid lens with aspheric polymer windows
Programme : Matériaux procédés (MATETPRO) 2007
Année de financement : 2007
Coordinateur du projet : Madame CHRISTELLE LARHER (PARROT)
Partenaires : Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives; Institut Pierre Vernier Franche Comte; PME; PME
Montant : 459886.0 euros
Date de début : 2008
Durée : 36 mois
Résumé : Le but du programme est d'établir les briques technologiques nécessaires à l'obtention de lentilles liquides de deuxième génération basées sur le micro-usinage du silicium et l'adjonction de fenêtres asphériques en polymère. Ces composants seront un élément clef des imageurs miniatures du futur (caméras 3-5 Mpixels pour téléphones mobiles et terminaux intelligents).   Varioptic a développé une première génération de lentilles liquides accordables basées sur l'électromouillage, dans laquelle on peut changer la forme d'une interface liquide-liquide par application d'une tension électrique de l'ordre de 60V. L'interface liquide-liquide « glisse » sur une surface conique dont dépend fortement la qualité optique de la lentille finale. Cependant le développement de lentilles de deuxième génération nécessite d'améliorer la surface de support des liquides, en utilisant du silicium micro-usiné par attaque chimique en phase liquide. Ceci permettra d'obtenir une meilleure qualité optique (on vise de diviser par 3 les erreurs de front d'onde) et une plus basse tension de commande (20V visé). De plus la nouvelle structure doit intégrer des fenêtres asphériques pour s'intégrer au mieux dans les caméras du futur. Varioptic a effectué un effort de recherche important ces dernières années, et il a été démontré que les polymères courants (polycarbonate) sont trop perméables aux liquides. Le programme contient donc une recherche amont sur le moulage de fenêtres asphériques de haute qualité optique (90 nm précision de forme) en polyoléfines qui sont réputées avoir une bien meilleure tenue aux liquides, et développement de couches barrières sur la face intérieure de ces fenêtres, face qui est exposée aux liquides. Ces couches barrières seront déposées par voie physique en phase vapeur (PVD) et fonctionnalisées par dépôt par voie chimique assistés plasma (PECVD), et nécessitent un excellent contrôle de leur perméabilité ainsi que de leur polarité de surface. Pour les deux fenêtres de la cellule il sera nécessaire de pousser la recherche de couches très hydrophiles et très imperméables à l'eau d'une part, et très hydrophobes et imperméables à l'huile d'autre part.   Des étapes intermédiaires sont prévues dans le projet, avec la mise au point des différentes briques séparément, avant intégration de l'ensemble dans un démonstrateur.                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          ...