[en] Anglès: Nowadays there is an interesting grown of the manipulation of matter at the nanometric scale in order to develop new Nano-devices and to make use of theirs nanometric properties. The research group of Micro and Nano Technologies (MNT) of UPC has developed a technique for depositing Nano-particles, called electrospray, is being applied to the manufacture of Nanophotonic devices. In this project the electrospray technique is used to deposit Nano-particles of dielectric materials and manufacture a Metal- Insulator -Metal (MIM) device. The capacitors fabricated in this project, consist of a metal layer deposited by sputtering, a layer of Nano-particles of insulating material deposited by electrospray and another metal layer deposited by thermal evaporation. The matter used for Nano-particles is silicon oxide nanospheres, the metal is aluminum. Work areas will be of the order of 7x10-6 m2 and thicknesses of the order of 10 microns. By electron microscope (SEM -FIB) of the CRNE lab, pictures are taken once manufactured devices. Measures are made on function of frequency of capacity, equivalent series resistance, impedance, phase; the Nyquist plot is also obtained to analyze the behavior of the MIM devices and contrast with some capacitors in the literature. The results indicated capacitance density of 0.2mF/cm2 to 1kHz and 0V dc bias. This project aims to analyze the interesting features arising from the use of nano-spheres for the performance of the insulation. Preliminary evidence suggests that the effect of using these nanospheres causes an increase of several orders of magnitude expected capacity, suggesting that these new devices are promising for use as "supercapacitors".

[es] Castellà: Actualmente existe un gran auge por el interés de la manipulación de la materia a escala nanométrica con la intención de desarrollar nuevos nano-dispositivos y aprovechar las propiedades nanométricas del material. El grupo de investigación de Micro y Nano Tecnologías (MNT) de la UPC ha desarrollado recientemente una técnica para depositar nano-partículas, llamada Electrospray, se está aplicando a la fabricación de dispositivos Nanofotónicos. En este proyecto se utiliza la técnica Electrospray para depositar nano-partículas de materiales dieléctricos y fabricar un nuevo dispositivo Metal-Aislante-Metal (MIM). Los condensadores fabricados en este proyecto, constarán de una capa de metal depositada por Pulverización Catódica, una capa de nano-partículas de material aislante depositada por Electrospray y otra capa de metal depositada por Evaporación térmica. El material usado para las nano-partículas es óxido de silicio (del orden de 250nm), el metal es aluminio. Las áreas de trabajo serán del orden de 7x10-6 m2 y los espesores del orden de 10 micrómetros. Mediante el microscopio electrónico (SEM-FIB) del laboratorio de CRNE se han tomado imágenes una vez fabricado los dispositivos. Se han realizado medidas en función de frecuencia de capacidad, resistencia serie equivalente, impedancia, fase; también ha obtenido el diagrama de Nyquist para analizar el comportamiento del MIM y contrastar los dispositivos con algunos existentes en la literatura. Los resultados indicaron densidad capacitiva de 0.2mF/cm2 a frecuencias de 1kHz y 0V de polarización. En este proyecto se pretende analizar las interesantes características que se derivan de la utilización de nano-esferas para la realización del aislante. Pruebas preliminares sugieren que el efecto de utilizar estas nano-esferas provoca un aumento de varios órdenes de magnitud la capacidad esperada, sugiriendo que estos nuevos dispositivos son prometedores en su utilización como "supercondensadores".