[ca] Miralls en MEMS i els seus sistemes d'escaneig làser reben molta atenció per sistemes d'escaneig d'alta precisió en varies aplicacions com "lidars" o "head up displays" en el mercat de l'automòbil. Es requereix alta precisió i exactitud per una alta resolució i operació fiable d'un sistema d'escaneig làser basat en mirall de MEMS. Per tal d'aconseguir tal precisió i exactitud, una adequada caracterització dels miralls de MEMS és crucial. En aquest TFG es discuteix el desenvolupament d'un sistema de caracterització precís i exacte pels sistemes d'escaneig làser basats en miralls de MEMS. Un nou sistema de caracterització és dissenyat per obtindre mesures de l'angle mecànic per un rang d'angles mecànics extens amb una tolerància dels errors de la distància de treball considerable. El nou sistema de caracterització està compost per un sistema de lents i un sensor CMOS de mida 2/3 polzades, permetent el funcionament requerit. Per sistemes de tres lents, es considera una disposició convencional de les lents (CLD) i una disposició inusual de les lents (ULD) per la configuració escollida del sistema de tres lents. Un cop les lents s'han triat adequadament, els paràmetres de l'arranjament del sistema de caracterització es determinen per les dues disposicions de les lents considerades, utilitzant el software Zemax OpticStudio i el Matlab. Llavors, el sistema de caracterització dissenyat per les dues disposicions de les lents s'estableix en el laboratori i s'alinea en un muntatge experimental de manera que sigui possible mesurar l'angle mecànic d'un mirall que oscil·la. Per les dues disposicions de lents, els resultats numèrics per simulacions utilitzant Zemax OpticStudio i els resultats experimentals del sistema de caracterització són analitzats i comparats per evaluar el sistema de caracterització basat en lents que s'ha disenyat. Finalment, només el cas ULD permet la mesura d'angles mecànics fins a +-7° amb una tolerància del error de la distància de treball de +-5 mm, que correspon a un 16.17% on el màxim error en la mesura d'angles mecànics no sobrepassa l'exactitud requerida de 0.1°, verificat pels resultats numèrics i experimentals. Els angles mecànics +-7° són majors que el màxims angles mecànics que el sensor de mira 2/3 polzades pot mesurar quan és a la mateixa distància de treball del sistema de caracterització. Això mostra que el sistema de caracterització basat en lents, quan es considera el cas ULD pel sistema de tres lents, permet una mesura adequada dels angles mecànics per un rang d'angles mecànics extens amb una tolerància contra els errors de la distància de treball considerable.

[es] Espejos en MEMS y sus sistemas de escaneo láser reciben mucha atención para sistemas de escaneo de alta precisión en varias aplicaciones como "lidars" o "headup displays" en el mercado del automóvil. Se requiere alta precisión y exactitud para una alta resolución y operación fiable de un sistema de escaneo láser basado en espejo de MEMS. Con el fin de conseguir tal precisión y exactitud, una adecuada caracterización de los espejos de MEMS es crucial. En este TFG se discute el desarrollo de un sistema de caracterización preciso y exacto para los sistemas de escaneo láser basados en espejos de MEMS. Un nuevo sistema de caracterización es diseñado para obtener medidas del ángulo mecánico para un rango de ángulos mecánicos extenso con una tolerancia de los errores de la distancia de trabajo considerable. El nuevo sistema de caracterización está compuesto por un sistema de lentes y un sensor CMOS de tamaño 2/3 pulgadas, permitiendo el funcionamiento requerido. Para sistemas de tres lentes, se considera una disposición convencional de las lentes (CLD) y una disposición inusual de las lentes (ULD) para la configuración escogida del sistema de tres lentes. Una vez que las lentes se han elegido adecuadamente, los parámetros de la disposición del sistema de caracterización se determinan para las dos disposiciones de las lentes consideradas, utilizando el software Zemax OpticStudio y el Matlab. Entonces, el sistema de caracterización diseñado para las dos disposiciones de las lentes se establece en el laboratorio y se alinea en un montaje experimental de forma que sea posible medir el ángulo mecánico de un espejo que oscila. Para las dos disposiciones de lentes, los resultados numéricos por simulaciones utilizando Zemax OpticStudio y los resultados experimentales del sistema de caracterización son analizados y comparados para evaluar el sistema de caracterización basado en lentes que se ha diseñado. Finalmente, sólo el caso ULD permite la medida de ángulos mecánicos hasta +-7° con una tolerancia del error de la distancia de trabajo de +-5 mm, que corresponde a un 16.17% donde el máximo error en la medida de ángulos mecánicos no sobrepasa la exactitud requerida de 0.1°, verificado por los resultados numéricos y experimentales. Los ángulos mecánicos +-7° son mayores que los máximos ángulos mecánicos que el sensor de tamaño 2/3 pulgadas puede medir cuando está a la misma distancia de trabajo del sistema de caracterización. Esto muestra que el sistema de caracterización basado en lentes, cuando se considera el caso ULD por el sistema de tres lentes, permite una medida adecuada de los ángulos mecánicos para un rango de ángulos mecánicos extenso con una tolerancia contra los errores de la distancia de trabajo considerable.