NAICS	NAICS_category	Data_type (ann. pay. and rec. ($000))	98Total	98_E0	98_E1_4	98_E5_9	98_E10_19	98_EL20	98_E20_99	98_E100_499	98_EL500	98_E500+	99 TOTAL	99_E0	99_E1_4	99_E5_9	99_E10_19	99_EL20	99_E20_99	99_E100_499	99_EL500	99_E500+	00 TOTAL	00_E0	00_E1_4	00_E5_9	00_E10_19	00_EL20	00_E20_99	00_E100_499	00_EL500	00_E500+	01 TOTAL	01_E0	01_E1_4	01_E5_9	01_E10_19	01_EL20	01_E20_99	01_E101_499	01_EL500	01_E500+	02Total	02_E0	02_E1_4	02_E5_9	02_E10_19	02_EL20	02_E20_99	02_E100_499	02_EL500	02_E500+
---	1	firms	5579177	711899	2664452	1011849	600167	4988367	494357	80075	5562799	16378	5607743	709074	2680087	1012954	605693	5007808	501848	81347	5591003	16740	5652544	726862	2669870	1021210	617087	5035029	515977	84385	5635391	17153	5657774	703837	2697839	1019105	616064	5036845	518258	85304	5640407	17367	5697759	770041	2695606	1010804	613880	5090331	508249	82334	5680914	16845
---	1	estab.	6941822	713512	2669307	1025904	639805	5048528	674503	307294	6030325	911497	7008444	711990	2685788	1027212	643106	5068096	670822	309211	6048129	960315	7070048	730027	2675974	1035370	652461	5093832	674106	312112	6080050	989998	7095302	705612	2703984	1033719	650345	5093660	670477	315856	6079993	1015309	7200770	771135	2699380	1024081	652930	5147526	692775	332508	6172809	1027961
---	1	empl.	108117731	0	5584470	6643285	8047650	20275405	19377614	15411390	55064409	53053322	110705661	0	5606302	6652370	8129615	20388287	19703162	15637643	55729092	54976569	114064976	0	5592980	6708674	8285731	20587385	20276634	16260025	57124044	56940932	115061184	0	5630017	6698077	8274541	20602635	20370447	16410367	57383449	57677735	112400654	0	5697652	6639666	8246053	20583371	19874069	15908852	56366292	56034362
---	1	ann. pay.	3309405533	31634539	136798012	159689162	207062798	535184511	531231157	446353485	1512769153	1796636380	3554692909	34264682	143112925	166598812	217571005	561547424	564974625	474607339	1601129388	1953563521	3879430052	38594167	147581389	174383913	230564411	591123880	608446434	527544627	1727114941	2152315111	3989086323	34289996	153691559	178881075	236986003	603848633	624313095	539384914	1767546642	2221539681	3943179606	38127022	155662211	182383776	241410588	617583597	623716021	535749956	1777049574	2166130032
--	1	rec.																																									22062528196	215139058	937533365	888342543	1085595864	3126610830	2884696648	2547423855	8558731333	13503796863
11	1	firms	26619	4676	13020	4765	2486	24947	1333	226	26506	113	26259	4405	12957	4762	2460	24584	1331	226	26141	118	25450	4410	12410	4627	2367	23814	1315	224	25353	97	25802	4077	13246	4580	2268	24171	1325	219	25715	87	25828	4383	13020	4406	2339	24148	1380	205	25733	95
11	1	estab.	27292	4676	13026	4767	2494	24963	1424	345	26732	560	26926	4410	12961	4768	2472	24611	1414	348	26373	553	26076	4413	12417	4630	2378	23838	1394	417	25649	427	26447	4080	13256	4587	2284	24207	1419	413	26039	408	26552	4383	13026	4412	2362	24183	1493	376	26052	500
11	1	empl.	187149	0	26461	31113	32403	89977	46074	27696	163747	23402	192155	0	26320	31115	32090	89525	46800	26715	163040	29115	183565	0	25083	30354	31002	86439	46326	29065	161830	21735	183476	0	26567	30249	29920	86736	47780	29348	163864	19612	181162	0	26490	28813	30870	86173	48173	         [k]	         [m]	         [j]
11	1	ann. pay.	4654305	131790	567760	685006	773105	2157661	1102727	581302	3841690	812615	4812649	143077	579362	709879	782861	2215179	1165380	588741	3969300	843349	4682533	126764	557253	692122	760171	2136310	1155392	651469	3943171	739362	4791849	110312	608405	727175	767892	2213784	1202366	674241	4090391	701458	4978291	124947	617729	704995	816319	2263990	1277033	         (D)	         (D)	         (D)
11	1	rec.																																									25873138	961761	4251622	3526593	3597124	12337100	5864036	         (D)	         (D)	         (D)
21	1	firms	19831	2000	9283	3163	2230	16676	2315	495	19486	345	18828	1998	9068	2861	2062	15989	2051	445	18485	343	18756	2161	8769	2861	2089	15880	2094	447	18421	335	19340	2293	8913	2926	2202	16334	2204	477	19015	325	18475	1905	8691	2825	2168	15589	2093	472	18154	321
21	1	estab.	24659	2009	9316	3251	2389	16965	2924	1231	21120	3539	23699	1999	9115	2943	2229	16286	2615	1168	20069	3630	23738	2163	8816	2941	2229	16149	2649	1185	19983	3755	24319	2295	8953	2989	2313	16550	2728	1174	20452	3867	23871	1905	8722	2895	2325	15847	2734	1354	19935	3936
21	1	empl.	497849	0	18699	20804	29626	69129	86207	63861	219197	278652	456645	0	18064	18683	27328	64075	74649	57327	196051	260594	456128	0	17708	18874	28024	64606	76770	59098	200474	255654	485565	0	18098	19305	29461	66864	81720	65955	214539	271026	465775	0	17764	18654	28971	65389	76861	62045	204295	261480
21	1	ann. pay.	21941916	119745	509869	621338	953689	2204641	3057149	2754914	8016704	13925212	20975962	134384	522321	595841	946979	2199525	2849056	2504650	7553231	13422731	22091246	127476	550268	656238	1030431	2364413	3083379	2877049	8324841	13766405	25014357	224568	610528	716323	1131846	2683265	3436060	3366413	9485738	15528619	23961694	118519	599532	680717	1125226	2523994	3290541	3094101	8908636	15053058
21	1	rec.																																									237573062	568372	3961163	3992179	5265590	13787304	16127191	19473647	49388142	188184920
22	1	firms	6603	425	3335	991	483	5234	870	267	6371	232	6663	467	3337	1009	495	5308	868	261	6437	226	7022	560	3401	1138	546	5645	888	274	6807	215	7283	561	3586	1172	574	5893	904	272	7069	214	7603	578	3747	1310	579	6214	901	288	7403	200
22	1	estab.	15895	426	3338	1003	534	5301	1393	1039	7733	8162	16578	471	3340	1014	541	5366	1391	1016	7773	8805	17301	560	3403	1142	593	5698	1385	1029	8112	9189	17702	562	3591	1176	619	5948	1389	1001	8338	9364	18432	580	3751	1323	641	6295	1423	1126	8844	9588
22	1	empl.	682227	0	7320	6362	6364	20046	38127	45337	103510	578717	667062	0	7333	6412	6443	20188	38201	43966	102355	564707	655230	0	7524	7196	7199	21919	39078	43739	104736	550494	654484	0	7954	7452	7609	23015	39840	43115	105970	548514	648254	0	8437	8156	7664	24257	39391	46942	110590	537664
22	1	ann. pay.	38097227	72549	132273	164765	230928	600515	1554292	2098264	4253071	33844156	39354990	172656	145359	171999	240267	730281	1580019	2067140	4377440	34977550	40650836	52657	147365	185920	260096	646038	1655283	2157831	4459152	36191684	41942303	43397	174593	205584	284148	707722	1793594	2174784	4676100	37266203	41844745	89332	177645	203208	304747	774932	1812597	2430022	5017551	36827194
22	1	rec.																																									396076643	295564	2727384	1372508	4857911	9253367	24518551	25257696	59029614	337047029
23	1	firms	686250	106286	335741	119962	68366	630355	49595	5423	685373	877	691490	100214	337077	123163	71264	631718	52845	5980	690543	947	701947	101506	338320	125497	73806	639129	55431	6381	700941	1006	691110	98837	340157	121107	70378	630479	53223	6379	690081	1029	701449	117278	337620	118272	69482	642652	51816	5988	700456	993
23	1	estab.	693018	106296	335758	119992	68487	630533	50254	6752	687539	5479	698541	100221	337096	123189	71367	631873	53508	7311	692692	5849	709590	101518	338340	125522	73906	639286	56044	7701	703031	6559	698898	98842	340184	121145	70486	630657	53807	7736	692200	6698	710325	117284	337644	118313	69605	642846	52788	7733	703367	6958
23	1	empl.	5798942	0	701180	784362	914506	2400048	1838353	881538	5119939	679003	6201626	0	707276	805416	952853	2465545	1977067	984231	5426843	774783	6572800	0	713245	820754	988547	2522546	2077191	1075331	5675068	897732	6491994	0	711476	792231	941570	2445277	2007060	1074961	5527298	964696	6307370	0	714678	774273	929557	2418508	1945717	997120	5361345	946025
23	1	ann. pay.	198547023	3777345	17369938	20651388	27664897	69463568	65268790	34863894	169596252	28950771	219087088	3937686	18267316	21941451	29767230	73913683	72212981	39833458	185960122	33126966	239910149	3904441	18615681	22619325	31431490	76570937	77786601	44632067	198989605	40920544	247211475	3892792	19356224	23027863	31633913	77910792	78732907	46320394	202964093	44247382	247302462	4867116	19707586	23395508	31975282	79945492	78561820	44262856	202770168	44532294
23	1	rec.																																									1177543687	35402528	128343179	107665441	134820565	406231713	333023552	196574115	935829380	241714307
31	1	firms	318537	24419	96995	58435	50971	230820	66342	16537	313699	4838	311902	23215	96474	57378	49427	226494	64510	16149	307153	4749	306303	22701	93700	56503	48689	221593	63860	16186	301639	4664	305160	21397	95906	56560	48321	222184	62851	15592	300627	4533	297873	21731	97197	55597	46851	221376	58198	14124	293698	4175
31	1	estab.	366443	24432	97025	58510	51254	231221	70286	26364	327871	38572	360244	23256	96532	57458	49696	226942	68226	25917	321085	39159	354498	22727	93749	56586	48950	222012	67334	25765	315111	39387	352619	21415	95956	56662	48612	222645	66446	24960	314051	38568	344341	21761	97232	55702	47200	221895	62443	23727	308065	36276
31	1	empl.	16946142	0	220180	391330	696697	1308207	2746971	2959622	7014800	9931342	16659930	0	218573	383927	674763	1277263	2668347	2895729	6841339	9818591	16473994	0	212012	378325	665739	1256076	2646829	2898980	6801885	9672109	15950424	0	216027	379061	660566	1255654	2601404	2780908	6637966	9312458	14393609	0	219951	372245	639036	1231232	2375691	2488018	6094941	8298668
31	1	ann. pay.	607342407	2160387	5095400	9640742	19188386	36084915	83491454	94511498	214087867	393254540	625536131	2310059	5339105	9851624	19297770	36798558	84630666	96704928	218134152	407401979	643953798	2082255	5374933	10093761	19774761	37325710	86915098	101758644	225999452	417954346	617699378	1977050	5568076	10180298	19544081	37269505	85060888	97400815	219731208	397968170	580356005	2231805	5823048	10533204	19888764	38476821	82257351	91152085	211886257	368469748
31	1	rec.																																									3937164576	15166970	27659982	44184220	80892263	167903435	346024892	460526128	974454455	2962710121
42	1	firms	363454	35734	162846	66647	45603	310830	41398	7921	360149	3305	358564	35593	160579	65262	44876	306310	41098	7855	355263	3301	354153	34570	157498	64659	44868	301595	41254	8004	350853	3300	346027	32893	153578	63277	44066	293814	40906	8052	342772	3255	345309	36273	155641	61383	42185	295482	39081	7633	342196	3113
42	1	estab.	453987	35837	163232	67818	49105	315992	58200	24738	398930	55057	450030	35726	161029	66460	48307	311522	56907	24712	393141	56889	446237	34706	158015	65843	48066	306630	56106	25150	387886	58351	438924	33036	154095	64458	47176	298765	55393	25155	379313	59611	436900	36346	156014	62774	45814	300948	56094	25386	382428	54472
42	1	empl.	5885230	0	344999	439225	609405	1393629	1494655	961569	3849853	2035377	5972022	0	339734	430197	600062	1369993	1494659	969625	3834277	2137745	6112029	0	333624	426651	599945	1360220	1510645	1015656	3886521	2225508	6142089	0	325134	417276	589477	1331887	1496448	1036659	3864994	2277095	5860256	0	328268	405002	564680	1297950	1421086	960457	3679493	2180763
42	1	ann. pay.	233924453	1790300	11468128	14497589	21149479	48905496	53715118	36755618	139376232	94548221	249997598	1971083	11694828	14859841	21715686	50241438	55928538	38126955	144296931	105700667	270122206	1913436	11991282	15350997	22569432	51825147	59560471	42349556	153735174	116387032	275899416	1903754	11766694	15156046	22361803	51188297	59408971	43121196	153718464	122180952	262527777	2115009	11732306	15068654	22017958	50933927	58081905	41274788	150290620	112237157
42	1	rec.																																									4490066075	27375163	197519021	201079536	253844438	679818158	643778390	527668937	1851265485	2638800590
44	1	firms	738890	76244	346480	157456	87409	667589	60418	8484	736491	2399	730303	76927	341133	154108	86704	658872	60398	8626	727896	2407	731444	79404	337493	153834	88036	658767	61308	8957	729032	2412	735135	79965	342277	153074	87606	662922	60957	8839	732718	2417	736130	85489	343608	150478	85819	665394	59639	8723	733756	2374
44	1	estab.	1113851	76515	347650	161031	98441	683637	102827	52163	838627	275224	1111260	77595	342496	157818	97044	674953	99733	52708	827394	283866	1113573	80059	339020	157619	97737	674435	97703	52214	824352	289221	1119950	80273	343744	157137	96994	678148	96172	51411	825731	294219	1125693	85730	344450	153900	96305	680385	98116	51814	830315	295378
44	1	empl.	14241512	0	766001	1033800	1147141	2946942	2227794	1215103	6389839	7851673	14476628	0	753552	1012670	1139663	2905885	2235163	1241089	6382137	8094491	14840775	0	746485	1010640	1159120	2916245	2279862	1295499	6491606	8349169	14890289	0	754199	1005739	1153546	2913484	2264439	1284481	6462404	8427885	14819904	0	771070	987573	1130838	2889481	2204104	1267733	6361318	8458586
44	1	ann. pay.	260349716	2125506	11934308	17070495	21334124	52464433	53637808	29919297	136021538	124328178	281946316	2566124	12417052	17642944	22174067	54800187	56427774	32454924	143682885	138263431	302552506	2620263	12713042	18123082	23218318	56674705	58906964	35766023	151347692	151204814	314756961	2540657	13338720	18569351	23848423	58297151	60680110	36912078	155889339	158867622	320707026	2683505	13673540	18972304	24053861	59383210	60539727	37139109	157062046	163644980
44	1	rec.																																									3134452697	33261163	150145969	161071445	190023515	534502092	574415110	382843754	1491760956	1642691741
48	1	firms	154715	23532	73714	23330	15637	136213	14598	2794	153605	1110	155170	21938	75248	23405	15836	136427	14836	2769	154032	1138	157333	22985	75422	23693	16098	138198	15162	2829	156189	1144	157197	21685	77016	23504	16004	138209	15038	2836	156083	1114	159373	23869	78316	23082	15723	140990	14549	2682	158221	1152
48	1	estab.	186364	23545	73842	23533	16251	137171	17979	8304	163454	22910	187339	21965	75324	23576	16433	137298	17997	8222	163517	23822	190044	23013	75506	23895	16608	139022	18168	7946	165136	24908	190683	21723	77099	23721	16510	139053	17884	7876	164813	25870	195143	23922	78375	23268	16330	141895	18180	8299	168374	26769
48	1	empl.	3462624	0	144129	153218	210217	507564	559665	439671	1506900	1955724	3627057	0	146234	153810	213369	513413	570767	439989	1524169	2102888	3790002	0	146606	155543	217112	519261	582262	454573	1556096	2233906	3750663	0	148718	154340	215732	518790	577811	461137	1557738	2192925	3581013	0	152338	151462	211781	515581	555230	420523	1491334	2089679
48	1	ann. pay.	108597481	775744	3213273	3557815	5151146	12697978	14700366	12667577	40065921	68531560	116682214	846683	3359480	3702251	5424988	13333402	15534217	13124426	41992045	74690169	125592421	828160	3425866	3851248	5603141	13708415	16373144	13911158	43992717	81599704	129506183	796764	3575336	3892125	5726879	13991104	16390516	14313279	44694899	84811284	127251855	1082649	3694719	3976671	5780843	14534882	16475462	13597820	44608164	82643691
48	1	rec.																																									499222123	5978016	20487795	17717846	23757691	67941348	60048231	47725736	175715315	323506808
51	1	firms	75299	12199	30762	12172	8916	64049	8373	1908	74330	969	77052	13053	31572	12096	8954	65675	8439	1923	76037	1015	79565	13051	32417	12592	9219	67279	9098	2094	78471	1094	77459	11272	32537	12294	9051	65154	9038	2134	76326	1133	77605	12328	33677	11817	8476	66298	8276	1955	76529	1076
51	1	estab.	120635	12243	30816	12332	9257	64648	10425	5553	80626	40009	126510	13148	31642	12220	9276	66286	10247	5462	81995	44515	133590	13129	32507	12718	9559	67913	10781	5474	84168	49422	137293	11310	32609	12446	9408	65773	10606	5536	81915	55378	138590	12338	33730	11965	8996	67029	10937	5780	83746	54844
51	1	empl.	3142024	0	63275	80724	119839	263838	320813	318542	903193	2238831	3234530	0	64422	79793	120692	264907	325823	322761	913491	2321039	3545731	0	66908	83279	124551	274738	358301	363472	996511	2549220	3754698	0	66442	81284	122454	270180	357581	367236	994997	2759701	3536120	0	68184	78298	114413	260895	319308	323800	904003	2632117
51	1	ann. pay.	146824689	1154538	2647643	2516727	3963523	10282431	12078594	14525588	36886613	109938076	170282356	1661773	2805283	2648689	4284898	11400643	13688908	16431139	41520690	128761666	209393800	2101891	2970359	3020443	4813420	12906113	16765223	22180082	51851418	157542382	207124226	1337189	2933097	2792728	4541224	11604238	15861816	18720410	46186464	160937762	188076999	1238967	3005067	2773737	4411049	11428820	14635738	16416349	42480907	145596092
51	1	rec.																																									870104283	4761652	11212585	10292059	14835973	41102269	46421133	54788035	142311437	727792846
52	1	firms	222005	25403	129088	31587	15616	201694	15107	3564	220365	1640	223535	24174	130505	32247	15952	202878	15378	3616	221872	1663	227034	26785	131450	32555	15817	206607	15171	3626	225404	1630	230595	25998	134815	33227	16095	210135	15197	3654	228986	1609	237883	29157	138235	33597	16133	217122	15149	3861	236132	1751
52	1	estab.	412416	25455	129412	32853	19118	206838	33308	25801	265947	146469	418337	24306	130850	33462	19075	207693	32410	25889	265992	152345	423727	26898	131927	33737	18772	211334	30889	25719	267942	155785	425028	26065	135206	34367	18881	214519	30307	26969	271795	153233	450422	29232	138516	34702	19721	222171	34952	31855	288978	161444
52	1	empl.	5770339	0	261918	202772	208236	672926	604343	603366	1880635	3889704	5965174	0	265973	206752	212337	685062	616781	614362	1916205	4048969	5963426	0	267849	208348	210513	686710	606867	620697	1914274	4049152	6248400	0	274736	212535	214116	701387	609248	630378	1941013	4307387	6414583	0	281524	215275	214035	710834	600345	652114	1963293	4451290
52	1	ann. pay.	290008843	1520940	7956348	7948582	9541210	26967080	26771742	27504705	81243527	208765316	313245188	1590129	8192811	8300188	9965781	28048909	27949601	29051160	85049670	228195518	346805452	2184142	8758846	8746377	10622883	30312248	29964626	33202192	93479066	253326386	373569819	1583026	9253130	9210496	11369156	31415808	32389959	33794842	97600609	275969210	372656276	1972594	9767809	9541413	11589275	32871091	32881553	36553830	102306474	270349802
52	1	rec.																																									2761952444	9947876	42038234	30731180	38734326	121451616	131472946	223074945	475999507	2285952937
53	1	firms	242497	33690	146819	32622	15352	228483	10446	2267	241196	1301	242838	33067	147651	32727	15384	228829	10441	2292	241562	1276	244513	34512	147681	32491	15465	230149	10742	2355	243246	1267	247582	35105	149762	32863	15323	233053	10927	2385	246365	1217	259846	41750	155205	32907	15651	245513	10659	2403	258575	1271
53	1	estab.	292450	33798	147225	33743	18045	232811	18698	10352	261861	30589	298080	33229	148132	33838	17773	232972	18088	10062	261122	36958	300177	34666	148164	33464	17766	234060	17491	10460	262011	38166	307003	35215	150222	33846	17428	236711	17566	11075	265352	41651	323024	41819	155502	33956	18134	249411	18570	11918	279899	43125
53	1	empl.	1812728	0	278935	209538	199559	688032	364808	255218	1308058	504670	1873792	0	280721	209935	200503	691159	365708	266794	1323661	550131	1942046	0	281120	209085	201539	691744	379343	286773	1357860	584186	2013673	0	283367	211422	200063	694852	388140	297915	1380907	632766	2017347	0	297796	211866	204509	714171	375560	297299	1387030	630317
53	1	ann. pay.	49888042	1220396	6208961	4827381	5101927	17358665	9887517	7453832	34700014	15188028	54095260	1283102	6568244	5086995	5300248	18238589	10505464	8128508	36872561	17222699	59212092	1417770	6863782	5313585	5592611	19187748	11408118	9243124	39838990	19373102	64009540	1400921	7304761	5728496	5838218	20272396	11939305	9946224	42157925	21851615	65241211	1636659	7644202	5956327	6173093	21410281	12017348	10063814	43491443	21749768
53	1	rec.																																									350549955	9857708	54535376	33882799	30931074	129206957	51037244	39421328	219665529	130884426
54	1	firms	641621	96052	362486	93638	49272	601448	32770	5240	639458	2163	654464	95185	369819	95545	51261	611810	34973	5415	652198	2266	670099	101790	371642	98278	53176	624886	37054	5812	667752	2347	682278	99441	381588	99645	54576	635250	38425	6178	679853	2425	708000	112810	394497	99931	54581	661819	37592	6103	705514	2486
54	1	estab.	687992	96102	362779	94431	51433	604745	42080	14570	661395	26597	704779	95387	370136	96315	53285	615123	43817	14740	673680	31099	722698	101935	371994	99070	55217	628216	45377	15633	689226	33472	736454	99540	381988	100481	56515	638524	46326	16013	700863	35591	772365	112880	394719	100741	57210	665550	49020	17204	731774	40591
54	1	empl.	6052365	0	697631	609665	653036	1960332	1210239	840861	4011432	2040933	6432422	0	710573	622465	680510	2013548	1296897	879193	4189638	2242784	6816216	0	715763	640070	706137	2061970	1383599	962674	4408243	2407973	7156579	0	734101	649577	726768	2110446	1444537	1034036	4589019	2567560	7046205	0	761339	652247	725647	2139233	1392001	991770	4523004	2523201
54	1	ann. pay.	277676568	4828230	23908940	22048483	27040826	77826479	59211329	42538851	179576659	98099909	311238501	5328055	25468046	23292034	29179029	83267164	65866060	46471196	195604420	115634081	362008229	6472194	26729616	25096627	31763462	90061899	75082116	58381734	223525749	138482480	374409080	5628546	27601853	25551817	32937847	91720063	77270083	60716915	229707061	144702019	368778137	6121324	28213893	26403647	33437505	94176369	75586019	57920750	227683138	141094999
54	1	rec.																																									944065638	19952768	95612258	72560946	81978097	270104069	170494273	129881263	570479605	373586033
55	1	firms	26419	1418	3223	774	1080	6495	5785	7577	19857	6562	26873	1394	3742	841	1149	7126	5527	7607	20260	6613	26762	1245	3988	877	1152	7262	5340	7489	20091	6671	26794	1197	3927	912	1151	7187	5258	7651	20096	6698	28229	1033	3906	899	1296	7134	6043	8328	21505	6724
55	1	estab.	43681	1422	3231	792	1106	6551	6056	8616	21223	22458	46528	1398	3758	856	1162	7174	5740	8665	21579	24949	47387	1252	4004	887	1179	7322	5535	8487	21344	26043	47559	1199	3941	922	1171	7233	5479	8678	21390	26169	49383	1033	3925	924	1354	7236	6337	9401	22974	26409
55	1	empl.	2703799	0	5276	3834	6961	16071	66261	221967	304299	2399500	2788276	0	5783	4262	7538	17583	66178	229905	313666	2474610	2873521	0	6314	4452	8114	18880	66768	221993	307641	2565880	2879223	0	6274	4542	8138	18954	69003	237516	325473	2553750	2913798	0	6458	4618	8981	20057	76984	280390	377431	2536367
55	1	ann. pay.	175648657	290881	251821	221965	375672	1140339	2982466	10857683	14980488	160668169	192378035	422066	259826	291846	435004	1408742	3157343	11834393	16400478	175977557	211361063	519510	339608	386622	504106	1749846	3369774	11775224	16894844	194466219	213123787	446687	426315	346706	459269	1678977	3506076	12782834	17967887	195155900	204802311	167800	312772	292588	552850	1326010	3878867	14690143	19895020	184907291
55	1	rec.																																									312884523	1773283	5082714	2084373	1871898	10812268	9473077	27879680	48165025	264719498
56	1	firms	302863	52051	138583	48052	28082	266768	25657	7564	299989	2874	299367	46051	140009	48133	28724	262917	25845	7563	296325	3042	299329	46367	137422	48693	29286	261768	26625	7754	296147	3182	308502	49061	141965	49080	29761	269867	27643	7819	305329	3173	289303	53859	128320	43611	26925	252715	25875	7607	286197	3106
56	1	estab.	351134	52101	138680	48291	28900	267972	29445	13576	310993	40141	350401	46196	140098	48418	29550	264262	29310	13437	307009	43392	351528	46516	137534	49015	30075	263140	29799	13613	306552	44976	362665	49131	142108	49404	30518	271161	30711	13412	315284	47381	343544	53885	128404	43880	27746	253915	29950	14327	298192	45352
56	1	empl.	7775033	0	286046	314238	374390	974674	1020200	1353409	3348283	4426750	8366523	0	288323	315065	383646	987034	1035256	1354494	3376784	4989739	9138100	0	284331	318319	391627	994277	1067856	1415338	3477471	5660629	9061987	0	291143	321405	398517	1011065	1103237	1411383	3525685	5536302	8299217	0	268581	284633	361452	914666	1025825	1345057	3285548	5013669
56	1	ann. pay.	163707409	2291581	6442671	6778719	8499976	24012947	22940319	26258965	73212231	90495178	183100191	2435222	6946196	7232525	9171209	25785152	24481832	27787942	78054926	105045265	210281063	3542542	7114741	7657711	9890467	28205461	26982624	30408677	85596762	124684301	221385956	2872417	7559775	7996658	10461353	28890203	28464904	31530314	88885421	132500535	212189377	3226422	6592610	7100791	9722499	26642322	27377622	31283985	85303929	126885448
56	1	rec.																																									457440805	9910863	25086065	22171886	27221940	84390754	64129322	61826556	210346632	247094173
61	1	firms	58468	7268	21223	8718	7140	44349	10587	2606	57542	926	59611	7030	21650	8872	7291	44843	11069	2748	58660	951	60934	7203	21746	9025	7532	45506	11558	2890	59954	980	63690	7660	22830	9449	7905	47844	11887	2970	62701	989	65933	8648	23108	9537	8179	49472	12379	3071	64922	1011
61	1	estab.	64902	7277	21253	8794	7386	44710	12102	4998	61810	3092	66492	7097	21679	8954	7509	45239	12496	5210	62945	3547	68014	7221	21790	9116	7724	45851	12911	5394	64156	3858	70878	7669	22864	9554	8116	48203	13022	5653	66878	4000	73701	8650	23127	9595	8414	49786	13925	5604	69315	4386
61	1	empl.	2323817	0	43618	57672	98001	199291	441153	452343	1092787	1231030	2431718	0	44343	58873	99857	203073	461111	479031	1143215	1288503	2532324	0	44883	60259	103336	208478	481276	503454	1193208	1339116	2612430	0	46689	62721	108304	217714	499234	520133	1237081	1375349	2701675	0	48193	63413	112089	223695	516135	535272	1275102	1426573
61	1	ann. pay.	52287365	265761	883212	951012	1666145	3766130	8369404	9801711	21937245	30350120	56871035	316878	946478	1020663	1769246	4053265	9068402	10803640	23925307	32945728	61923347	354906	994180	1089865	1943473	4382424	9844823	11911498	26138745	35784602	67097541	338689	1081348	1201160	2053830	4675027	10722174	12870172	28267373	38830168	71961852	360646	1066729	1185295	2182417	4795087	11451880	13794180	30041147	41920705
61	1	rec.																																									180278839	1325186	4221488	3591431	5710239	14848344	26766438	33150291	74765073	105513766
62	1	firms	527667	42679	236481	123092	63301	465553	45710	12990	524253	3414	524303	41283	232349	123301	64407	461340	46479	13054	520873	3430	532042	45724	228945	124713	67238	466620	48611	13320	528551	3491	540976	45548	230581	127152	69739	473020	50717	13700	537437	3539	560083	51190	236167	129892	72503	489752	52416	14295	556463	3620
62	1	estab.	649681	42878	237104	124954	67878	472814	67729	49949	590492	59189	649846	41682	233084	125111	68724	468601	67430	51468	587499	62347	658559	46142	229633	126459	71243	473477	68738	52295	594510	64049	671370	45822	231342	128843	73671	479678	69835	53863	603376	67994	703540	51303	236581	131421	77064	496369	78155	59629	634153	69387
62	1	empl.	13758395	0	530232	806891	837507	2174630	1814647	2464278	6453555	7304840	13865014	0	520884	809813	854099	2184796	1843907	2481667	6510370	7354644	14108655	0	514046	820433	891372	2225851	1931306	2550412	6707569	7401086	14534726	0	516533	837703	925333	2279569	2010298	2615958	6905825	7628901	14900148	0	533486	857043	961290	2351819	2063608	2729503	7144930	7755218
62	1	ann. pay.	395478378	3476059	18822057	26141036	28356525	76795677	51080309	55021003	182896989	212581389	409223160	2996690	18991240	26896572	29570616	78455118	54315688	57409055	190179861	219043299	431430402	3454896	19261825	27886827	31692418	82295966	59387606	61543090	203226662	228203740	465712029	3141888	20192963	29376596	33912511	86623958	64989178	66786991	218400127	247311902	499177227	3663651	20606482	30636102	35850510	90756745	68624223	72950782	232331750	266845477
62	1	rec.																																									1221284001	11396561	64779715	78044397	78818644	233039317	147072869	164826229	544938415	676345586
71	1	firms	96317	19692	38261	13671	10295	81919	11827	2040	95786	531	96044	18851	38501	13723	10373	81448	11912	2132	95492	552	97072	19222	38200	13762	10756	81940	12307	2250	96497	575	99124	19739	39874	13827	10607	84047	12204	2294	98545	579	103043	23019	40517	13835	10563	87934	12227	2292	102453	590
71	1	estab.	102870	19713	38299	13739	10476	82227	12846	3344	98417	4453	102786	18884	38544	13790	10539	81757	12919	3309	97985	4801	103816	19241	38237	13841	10925	82244	13284	3527	99055	4761	105961	19754	39913	13912	10779	84358	13095	3612	101065	4896	110375	23028	40548	13911	10736	88223	13408	3715	105346	5029
71	1	empl.	1583836	0	76015	90783	138742	305540	471466	331198	1108204	475632	1640030	0	76615	91340	140896	308851	479467	345088	1133406	506624	1741497	0	76173	91248	145722	313143	496809	373153	1183105	558392	1780362	0	79152	91729	143126	314007	493641	385430	1193078	587284	1800991	0	81051	91201	143223	315475	496962	380688	1193125	607866
71	1	ann. pay.	36046794	1445377	3571857	1935430	2367018	9319682	8140139	9303707	26763528	9283266	39415855	1502707	3670983	1948730	2471708	9594128	8794496	10419635	28808259	10607596	43203906	1534363	3585267	2095466	2643842	9858938	9436411	11151745	30447094	12756812	46132864	1682105	4129814	2103736	2718914	10634569	9345994	12633669	32614232	13518632	47724377	1936869	4226301	2198357	2772673	11134200	9359568	12769280	33263048	14461329
71	1	rec.																																									147554269	6143069	13020391	8033293	9701145	36897898	27023858	30480196	94401952	53152317
72	1	firms	418270	58746	131477	79510	68441	338174	70690	7850	416714	1556	411644	53156	130568	78391	68630	330745	71467	7835	410047	1597	412776	55560	128054	77817	68467	329898	73177	8056	411131	1645	416464	56881	129077	78623	68384	332965	73725	8102	414792	1672	427465	60635	128468	82514	70814	342431	75392	7954	425777	1688
72	1	estab.	544565	59117	131659	79901	70112	340789	84964	32453	458206	86359	539576	53566	130813	78912	70415	333706	84729	32204	450639	88937	542411	55861	128339	78379	70052	332631	85660	32224	450515	91896	548569	57156	129301	79189	69984	335630	85400	33149	454179	94390	565149	60839	128608	82856	72038	344341	88963	34731	468035	97114
72	1	empl.	9466660	0	303438	533090	933515	1770043	2661970	1376139	5808152	3658508	9638007	0	301418	525548	938122	1765088	2702442	1381069	5848599	3789408	9880923	0	296232	521975	936578	1754785	2775956	1423334	5954075	3926848	9972301	0	298800	527294	935983	1762077	2795087	1442031	5999195	3973106	10048875	0	304488	550382	970379	1825249	2844242	1417095	6086586	3962289
72	1	ann. pay.	109595274	2297965	3268865	4889006	8642655	19098491	27788591	15143278	62030360	47564914	116924965	2044388	3477722	5052451	9119092	19693653	29378007	15948705	65020365	51904600	125581836	2347072	3480275	5271439	9467351	20566137	31208058	17074291	68848486	56733350	128649922	2207129	3735319	5519476	9834919	21296843	32260316	17458182	71015341	57634581	131110795	2526453	3754283	5877847	10447228	22605811	33507309	17343885	73457005	57653790
72	1	rec.																																									446716242	10288008	19815512	25084937	37513792	92702249	101800526	56004534	250507309	196208933
81	1	firms	659258	55957	366109	131702	62372	616140	37883	4029	658052	1206	656875	53106	364554	131923	63084	612667	38830	4144	655641	1234	661709	56866	361592	133117	64344	615919	40222	4336	660477	1232	658412	54017	359964	133123	64820	611924	40788	4439	657151	1261	675218	59858	366512	134997	66776	628143	41363	4449	673955	1263
81	1	estab.	719368	56127	366534	133133	66001	621795	50076	15044	686915	32453	717892	53307	365134	133331	66519	618291	50435	15295	684021	33871	723323	57601	362095	134477	67681	621854	51187	15733	688774	34549	719402	54156	360550	134541	67999	617246	51480	15996	684722	34680	740118	59886	366824	136167	70327	633204	54021	16431	703656	36462
81	1	empl.	5038717	0	776636	854746	818722	2450104	1343677	556476	4350257	688460	5151464	0	772156	856702	831257	2460115	1386570	581721	4428406	723058	5293399	0	768240	865186	847724	2481150	1442599	620930	4544679	748720	5370479	0	763230	865388	854732	2483350	1463977	646300	4593627	776852	5420087	0	790777	876072	880611	2547460	1482350	640068	4669878	750209
81	1	ann. pay.	96012860	1346315	12156597	14336047	14922215	42761174	24978506	12316490	80056170	15956690	101953241	1243961	12683478	14977318	15742982	44647739	26934984	13418898	85001621	16951620	109876770	1362662	13052602	15666254	16593285	46674803	28851875	14876218	90402896	19473874	115218331	1325101	13594974	16220056	17390930	48531061	30273846	15979889	94784796	20433535	118899903	1429720	14245902	16778231	18202835	50656688	31539339	16429206	98625233	20274670
81	1	rec.																																									426099790	7797913	65819608	60707633	60795778	195120932	104363220	58844376	358328528	67771262
95	1	firms	5333	10	54	82	205	351	1095	1605	3051	2282	5462	15	59	88	187	349	1087	1629	3065	2397	5403	18	54	82	169	323	1013	1688	3024	2379	5401	10	50	77	189	326	990	1702	3018	2383	5349	10	46	87	189	332	1088	1674	3094	2255
95	1	estab.	13816	11	54	83	212	360	1169	2102	3631	10185	14589	17	60	94	193	364	1178	2066	3608	10981	14793	18	54	84	178	334	1089	2146	3569	11224	14934	10	50	79	197	336	1083	2174	3593	11341	13580	10	46	91	204	351	1198	2091	3640	9940
95	1	empl.	916349	0	91	227	808	1126	11453	43196	55775	860574	959257	0	[b]	222	689	[g]	11491	[k]	55111	904146	1001015	0	79	186	621	886	10852	45854	57592	943423	1022114	0	70	189	681	940	11121	45487	57548	964566	1011496	0	         [b]	276	738	         [g]	12396	47154	         [l]	         [m]
95	1	ann. pay.	41475743	667	4394	8957	29285	43303	407060	1475308	1925671	39550072	44814940	2682	(D)	10147	27774	(D)	427257	(D)	1967890	42847050	54863304	2552	3522	6941	24104	37119	409258	1692955	2139332	52723972	53475502	587	3049	7638	30415	41689	430409	1881272	2353370	51122132	52670905	443	         (D)	14439	32995	         (D)	503645	1913740	         (D)	         (D)
95	1	rec.																																									40333007	609	         (D)	18388	88419	         (D)	630288	3800802	         (D)	         (D)
99	1	firms	56803	33532	19074	2953	926	56485	318	0	56803	0	98011	58130	33965	4685	997	97777	232	2	98011	0	98968	50388	40430	5945	1623	98386	582	0	98968	0	78644	36359	37012	4260	684	78315	329	0	78644	0	35722	24321	9636	1285	404	35646	68	7	35721	1
99	1	estab.	56803	33532	19074	2953	926	56485	318	0	56803	0	98011	58130	33965	4685	997	97777	232	2	98011	0	98968	50388	40430	5945	1623	98386	582	0	98968	0	78644	36359	37012	4260	684	78315	329	0	78644	0	35722	24321	9636	1285	404	35646	68	7	35721	1
99	1	empl.	71994	0	32390	18891	11975	63256	8738	0	71994	0	106329	0	[l]	29370	12898	[m]	5878	[e]	106329	0	143600	0	68755	37497	21209	127461	16139	0	143600	0	105228	0	61307	26635	8445	96387	8841	0	105228	0	32769	0	         [j]	8164	5289	         [k]	2100	         [f]	         [k]	         [a]
99	1	ann. pay.	1300383	542463	383697	196679	110067	1232906	67477	0	1300383	0	2757234	1355277	(D)	364824	183570	(D)	77952	(D)	2757234	0	3933093	1644215	1051076	573063	365149	3633503	299590	0	3933093	0	2355804	836417	876585	350747	138432	2202181	153623	0	2355804	0	960381	532592	         (D)	89741	72659	         (D)	56474	         (D)	         (D)	         (D)
99	1	rec.																																									5292399	2974025	         (D)	529453	335442	         (D)	211501	         (D)	         (D)	         (D)
113	2	firms	14020	1977	6648	3092	1619	13336	599	42	13977	43	13479	1656	6492	3058	1595	12801	595	41	13437	42	13131	1666	6243	2962	1546	12417	634	42	13093	38	12592	1432	6330	2773	1410	11945	572	36	12553	39	12301	1627	5979	2632	1382	11620	609	35	12264	37
113	2	estab.	14255	1977	6650	3093	1621	13341	619	48	14008	247	13694	1656	6494	3062	1598	12810	608	47	13465	229	13347	1669	6246	2964	1548	12427	652	47	13126	221	12795	1434	6333	2776	1412	11955	586	39	12580	215	12509	1627	5981	2636	1384	11628	630	38	12296	213
113	2	empl.	84177	0	14287	20230	21005	55522	18127	2413	76062	8115	83833	0	14008	20034	20679	54721	18436	2864	76021	7812	83143	0	13355	19536	20129	53020	19869	2990	75879	7264	77984	0	13363	18416	18475	50254	18427	         [h]	         [l]	         [i]	75822	0	12929	17319	18146	48394	18845	2478	69717	6105
113	2	ann. pay.	2248478	55879	300832	434838	503979	1295528	498513	88106	1882147	366331	2256428	47856	301220	441612	509067	1299755	503163	96909	1899827	356601	2256241	43635	286510	433848	488728	1252721	546097	104219	1903037	353204	2161848	36530	295007	427811	471767	1231115	509187	         (D)	         (D)	         (D)	2207048	43944	294535	419443	480542	1238464	554075	84324	1876863	330185
113	2	rec.																																									11235337	366646	2048753	2090877	2075072	6581348	2495669	401475	9478492	1756845
114	2	firms	2457	880	1231	165	90	2366	69	13	2448	9	2532	899	1269	181	84	2433	75	14	2522	10	2660	977	1305	198	90	2570	64	17	2651	9	2623	885	1358	199	92	2534	66	16	2616	7	2368	832	1212	145	101	2290	55	15	2360	8
114	2	estab.	2465	880	1231	166	90	2367	71	14	2452	13	2541	899	1269	182	84	2434	76	16	2526	15	2671	977	1305	199	90	2571	65	21	2657	14	2636	885	1358	200	94	2537	67	20	2624	12	2385	832	1212	145	101	2290	58	22	2370	15
114	2	empl.	9313	0	1995	1060	1183	4238	         [g]	         [g]	         [i]	         [g]	9986	0	2039	1168	1077	4284	2674	[g]	[i]	[g]	9988	0	2118	1270	1220	4608	2233	         [g]	         [i]	         [g]	9954	0	2233	1288	1254	4775	2230	         [g]	         [i]	         [g]	9244	0	1963	947	1356	4266	1837	         [g]	         [i]	         [g]
114	2	ann. pay.	311118	25625	52562	28395	32601	139183	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	332553	29471	54644	33323	28164	145602	73843	(D)	(D)	(D)	342459	26595	56957	29824	35153	148529	64910	         (D)	         (D)	         (D)	340916	21367	57386	33663	34574	146990	68614	         (D)	         (D)	         (D)	335427	21797	52654	21052	38038	133541	60531	         (D)	         (D)	         (D)
114	2	rec.																																									1974301	199752	381863	109727	186430	877772	345942	         (D)	         (D)	         (D)
115	2	firms	10153	1819	5142	1508	778	9247	667	172	10086	67	10258	1850	5196	1523	783	9352	663	173	10188	70	9667	1767	4862	1467	732	8828	617	169	9614	53	10594	1760	5558	1608	767	9693	687	170	10550	44	11165	1924	5829	1629	856	10238	716	158	11112	53
115	2	estab.	10572	1819	5145	1508	783	9255	734	283	10272	300	10691	1855	5198	1524	790	9367	730	285	10382	309	10058	1767	4866	1467	740	8840	677	349	9866	192	11016	1761	5565	1611	778	9715	766	354	10835	181	11658	1924	5833	1631	877	10265	805	316	11386	272
115	2	empl.	93659	0	10179	9823	10215	30217	         [k]	         [j]	         [l]	         [j]	98336	0	10273	9913	10334	30520	25690	[j]	[l]	[j]	90434	0	9610	9548	9653	28811	24224	         [j]	         [l]	         [j]	95538	0	10971	10545	10191	31707	27123	25056	83886	11652	96096	0	11598	10547	11368	33513	27491	21098	82102	13994
115	2	ann. pay.	2094709	50286	214366	221773	236525	722950	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2223668	65750	223498	234944	245630	769822	588374	(D)	(D)	(D)	2083833	56534	213786	228450	236290	735060	544385	         (D)	         (D)	         (D)	2289085	52415	256012	265701	261551	835679	624565	506914	1967158	321927	2435816	59206	270540	264500	297739	891985	662427	504583	2058995	376821
115	2	rec.																																									12663500	395363	1821006	1325989	1335622	4877980	3022425	2545340	10445745	2217755
211	2	firms	6723	653	4000	1025	496	6174	365	83	6622	101	6345	679	3803	904	458	5844	312	85	6241	104	6472	807	3779	928	441	5955	341	77	6373	99	6435	741	3734	947	479	5901	356	86	6343	92	6317	597	3816	906	462	5781	354	89	6224	93
211	2	estab.	7927	654	4011	1039	528	6232	482	234	6948	979	7556	679	3814	916	498	5907	411	236	6554	1002	7740	807	3793	940	479	6019	458	242	6719	1021	7691	741	3750	959	506	5956	453	238	6647	1044	7629	597	3830	932	477	5836	456	292	6584	1045
211	2	empl.	97039	0	7719	6693	6526	20938	12773	11504	45215	51824	90012	0	7350	5854	5959	19163	11199	10601	40963	49049	83012	0	7414	6047	5723	19184	12285	9966	41435	41577	87980	0	7386	6153	6286	19825	12369	10290	42484	45496	88280	0	7466	5890	5980	19336	12113	11656	43105	45175
211	2	ann. pay.	5316305	34134	217468	223948	264953	740503	651692	676301	2068496	3247809	5377469	29378	216267	213914	260708	720267	643989	595216	1959472	3417997	5393011	40616	249214	253368	271729	814927	734334	703689	2252950	3140061	6217777	39391	264648	266432	299754	870225	742945	786895	2400065	3817712	6406475	28794	254065	258981	290795	832635	762724	807342	2402701	4003774
211	2	rec.																																									160879230	228801	2587900	2367043	2389652	7573396	6789872	9608878	23972146	136907084
212	2	firms	4925	469	1365	822	809	3465	988	275	4728	197	4830	502	1388	792	739	3421	962	249	4632	198	4761	462	1373	793	779	3407	907	251	4565	196	4794	518	1448	775	743	3484	878	243	4605	189	4669	477	1426	747	740	3390	846	248	4484	185
212	2	estab.	7309	469	1371	824	824	3488	1229	680	5397	1912	7280	502	1392	794	756	3444	1210	644	5298	1982	7231	462	1377	796	794	3429	1138	653	5220	2011	7323	518	1454	777	764	3513	1115	636	5264	2059	7205	477	1427	754	759	3417	1078	671	5166	2039
212	2	empl.	225309	0	3075	5503	10875	19453	35749	30518	85720	139589	215949	0	3037	5264	10017	18318	34580	28637	81535	134414	204329	0	3021	5319	10634	18974	32452	30046	81472	122857	200735	0	3162	5185	10112	18459	31851	29186	79496	121239	194174	0	3143	5007	10093	18243	30356	28607	77206	116968
212	2	ann. pay.	10012940	37019	94302	169726	357473	658520	1277591	1268293	3204404	6808536	9625175	49146	100259	165781	339807	654993	1264046	1181733	3100772	6524403	9344103	28166	93159	165310	367329	653964	1218368	1297058	3169390	6174713	9583696	61444	107017	180131	370606	719198	1254343	1326882	3300423	6283273	9122022	40188	124871	167127	390439	722625	1233777	1326554	3282956	5839066
212	2	rec.																																									47733102	169844	537625	681269	1486537	2875275	5380741	6423493	14679509	33053593
213	2	firms	8299	878	3918	1320	933	7049	985	157	8191	108	7771	817	3877	1171	873	6738	798	136	7672	99	7641	892	3618	1147	877	6534	866	142	7542	99	8222	1034	3731	1211	986	6962	989	172	8123	99	7587	831	3449	1176	970	6426	909	157	7492	95
213	2	estab.	9423	886	3934	1388	1037	7245	1213	317	8775	648	8863	818	3909	1233	975	6935	994	288	8217	646	8767	894	3646	1205	956	6701	1053	290	8044	723	9305	1036	3749	1253	1043	7081	1160	300	8541	764	9037	831	3465	1209	1089	6594	1200	391	8185	852
213	2	empl.	175501	0	7905	8608	12225	28738	37685	21839	88262	87239	150684	0	7677	7565	11352	26594	28870	18089	73553	77131	168787	0	7273	7508	11667	26448	32033	19086	77567	91220	196850	0	7550	7967	13063	28580	37500	26479	92559	104291	183321	0	7155	7757	12898	27810	34392	21782	83984	99337
213	2	ann. pay.	6612671	48592	198099	227664	331263	805618	1127866	810320	2743804	3868867	5973318	55860	205795	216146	346464	824265	941021	727701	2492987	3480331	7354132	58694	207895	237560	391373	895522	1130677	876302	2902501	4451631	9212884	123733	238863	269760	461486	1093842	1438772	1252636	3785250	5427634	8433197	49537	220596	254609	443992	968734	1294040	960205	3222979	5210218
213	2	rec.																																									28960730	169727	835638	943867	1389401	3338633	3956578	3441276	10736487	18224243
221	2	firms	6603	425	3335	991	483	5234	870	267	6371	232	6663	467	3337	1009	495	5308	868	261	6437	226	7022	560	3401	1138	546	5645	888	274	6807	215	7283	561	3586	1172	574	5893	904	272	7069	214	7603	578	3747	1310	579	6214	901	288	7403	200
221	2	estab.	15895	426	3338	1003	534	5301	1393	1039	7733	8162	16578	471	3340	1014	541	5366	1391	1016	7773	8805	17301	560	3403	1142	593	5698	1385	1029	8112	9189	17702	562	3591	1176	619	5948	1389	1001	8338	9364	18432	580	3751	1323	641	6295	1423	1126	8844	9588
221	2	empl.	682227	0	7320	6362	6364	20046	38127	45337	103510	578717	667062	0	7333	6412	6443	20188	38201	43966	102355	564707	655230	0	7524	7196	7199	21919	39078	43739	104736	550494	654484	0	7954	7452	7609	23015	39840	43115	105970	548514	648254	0	8437	8156	7664	24257	39391	46942	110590	537664
221	2	ann. pay.	38097227	72549	132273	164765	230928	600515	1554292	2098264	4253071	33844156	39354990	172656	145359	171999	240267	730281	1580019	2067140	4377440	34977550	40650836	52657	147365	185920	260096	646038	1655283	2157831	4459152	36191684	41942303	43397	174593	205584	284148	707722	1793594	2174784	4676100	37266203	41844745	89332	177645	203208	304747	774932	1812597	2430022	5017551	36827194
221	2	rec.																																									396076643	295564	2727384	1372508	4857911	9253367	24518551	25257696	59029614	337047029
233	2	firms	215301	38904	113714	33794	16557	202969	10712	1240	214921	380	214670	34130	114638	35051	17560	201379	11602	1299	214280	390	214651	33472	113491	35353	18295	200611	12244	1395	214250	401	214120	33010	113245	35092	18501	199848	12475	1386	213709	411	224416	40136	117060	35012	18367	210575	12138	1312	224025	391
233	2	estab.	216893	38907	113720	33806	16587	203020	10835	1623	215478	1415	216355	34131	114644	35057	17593	201425	11771	1640	214836	1519	216354	33474	113496	35361	18331	200662	12380	1743	214785	1569	215806	33013	113248	35105	18534	199900	12617	1699	214216	1590	226394	40136	117067	35026	18417	210646	12380	1665	224691	1703
233	2	empl.	1434338	0	232143	218649	219588	670380	386185	185978	1242543	191795	1538079	0	235898	226615	233165	695678	425095	202940	1323713	214366	1604913	0	234906	229270	243089	707265	450708	219154	1377127	227786	1616973	0	233271	227734	245650	706655	457853	212186	1376694	240279	1585717	0	242560	227075	243427	713062	441239	198050	1352351	233366
233	2	ann. pay.	50278132	1358010	5960172	5780469	6724135	19822786	14082061	7780539	41685386	8592746	55883792	1279630	6344834	6292287	7428453	21345204	16157411	8626925	46129540	9754252	60798086	1249397	6447505	6508134	8005002	22210038	17740859	9601273	49552170	11245916	64956985	1326490	6695176	6871337	8605299	23498302	18870921	9788975	52158198	12798787	65730491	1501802	7016548	7229754	8745772	24493876	18975952	9644724	53114552	12615939
233	2	rec.																																									534991934	17178422	67292883	50524438	59221003	194216746	138764619	78503109	411484474	123507460
234	2	firms	39062	4589	13276	7228	5894	30987	6696	1105	38788	274	38515	4154	13038	7048	5953	30193	6845	1188	38226	289	38304	4243	12728	6876	5855	29702	7072	1234	38008	296	39210	4078	13262	7514	6184	31038	6669	1213	38920	290	38610	5579	13002	6761	5634	30976	6198	1141	38315	295
234	2	estab.	40091	4589	13278	7232	5911	31010	6776	1312	39098	993	39556	4154	13040	7053	5966	30213	6917	1400	38530	1026	39516	4246	12731	6880	5867	29724	7132	1464	38320	1196	40476	4078	13265	7516	6200	31059	6728	1450	39237	1239	39949	5579	13003	6764	5646	30992	6310	1415	38717	1232
234	2	empl.	803944	0	28863	48274	80672	157809	261575	177738	597122	206822	848373	0	28559	47163	81143	156865	272915	190833	620613	227760	900987	0	27873	45818	80041	153732	282441	208419	644592	256395	901207	0	28809	50224	84208	163241	262644	203989	629874	271333	856312	0	29020	45132	76773	150925	246797	191008	588730	267582
234	2	ann. pay.	33346502	310814	1086037	1776755	3171472	6345078	10757552	7556553	24659183	8687319	35807866	311518	1072626	1743961	3276545	6404650	11472094	8608832	26485576	9322290	38628006	298574	1019343	1663542	3157594	6139053	11936548	9312447	27388048	11239958	39801624	319736	1149708	1963695	3544041	6977180	11511706	9597079	28085965	11715659	39321547	581697	1144877	1765884	3253063	6745521	11297421	8963558	27006500	12315047
234	2	rec.																																									174384008	2719501	5814228	7396166	13166001	29095896	48238304	42355951	119690151	54693857
235	2	firms	432271	62793	208754	78944	45927	396418	32252	3198	431868	403	438685	61930	209403	81070	47767	400170	34455	3608	438233	452	449380	63791	212106	83272	49670	408839	36173	3862	448874	506	438162	61749	213658	78506	45705	399618	34130	3883	437631	531	438835	71563	207564	76501	45489	401117	33556	3649	438322	513
235	2	estab.	436034	62800	208760	78954	45989	396503	32643	3817	432963	3071	442630	61936	209412	81079	47808	400235	34820	4271	439326	3304	453720	63798	212113	83281	49708	408900	36532	4494	449926	3794	442616	61751	213671	78524	45752	399698	34462	4587	438747	3869	443982	71569	207574	76523	45542	401208	34098	4653	439959	4023
235	2	empl.	3560660	0	440174	517439	614246	1571859	1190593	517822	3280274	280386	3815174	0	442819	531638	638545	1613002	1279057	590458	3482517	332657	4066900	0	450466	545666	665417	1661549	1344042	647758	3653349	413551	3973814	0	449396	514273	611712	1575381	1286563	658786	3520730	453084	3865341	0	443098	502066	609357	1554521	1257681	608062	3420264	445077
235	2	ann. pay.	114922389	2108521	10323729	13094164	17769290	43295704	40429177	19526802	103251683	11670706	127395430	2346538	10849856	13905203	19062232	46163829	44583476	22597701	113345006	14050424	140484057	2356470	11148833	14447649	20268894	48221846	48109194	25718347	122049387	18434670	142452866	2246566	11511340	14192831	19484573	47435310	48350280	26934340	122719930	19732936	142250424	2783617	11546161	14399870	19976447	48706095	48288447	25654574	122649116	19601308
235	2	rec.																																									468167745	15504605	55236068	49744837	62433561	182919071	146020629	75715055	404654755	63512990
311	2	firms	23203	2019	7086	4371	3769	17245	4089	1279	22613	590	22332	2036	6868	4142	3452	16498	4006	1256	21760	572	22037	2025	6698	4100	3382	16205	4009	1251	21465	572	22437	2168	6901	4124	3417	16610	4025	1240	21875	562	21384	2006	6458	3894	3293	15651	3935	1247	20833	551
311	2	estab.	27761	2025	7092	4378	3819	17314	4468	1963	23745	4016	26734	2039	6873	4152	3495	16559	4307	1916	22782	3952	26401	2029	6704	4112	3428	16273	4280	1939	22492	3909	26785	2170	6907	4142	3456	16675	4303	1909	22887	3898	25698	2007	6463	3915	3341	15726	4254	1951	21931	3767
311	2	empl.	1464439	0	16243	29162	51110	96515	163083	219967	479565	984874	1464354	0	15931	27565	46557	90053	161546	219954	471553	992801	1468254	0	15334	27421	45938	88693	162168	220389	471250	997004	1470146	0	15886	27523	46541	89950	162749	218071	470770	999376	1443766	0	14999	25834	45017	85850	156158	218041	460049	983717
311	2	ann. pay.	40209138	126805	247479	435202	888255	1697741	3861894	6184392	11744027	28465111	41857959	187648	249977	437798	838198	1713621	4001510	6400232	12115363	29742596	43773232	155896	268240	446619	870366	1741121	4190862	6626849	12558832	31214400	44085499	196756	292347	492720	933563	1915386	4338983	6823291	13077660	31007839	44480065	207601	293024	462407	937903	1900935	4328554	6985104	13214593	31265472
311	2	rec.																																									457521297	1998668	2482188	3504941	6677701	14663498	32274450	56660599	103598547	353922750
312	2	firms	2230	231	670	363	276	1540	444	144	2128	102	2281	276	681	354	296	1607	424	144	2175	106	2353	279	696	378	318	1671	439	143	2253	100	2702	324	854	429	354	1961	500	147	2608	94	2721	350	906	393	363	2012	469	143	2624	97
312	2	estab.	2729	231	670	364	278	1543	457	192	2192	537	2789	276	681	354	298	1609	439	204	2252	537	2869	279	696	378	321	1674	454	203	2331	538	3212	324	854	429	358	1965	527	202	2694	518	3232	350	906	394	364	2014	497	195	2706	526
312	2	empl.	172892	0	1560	2473	3737	7770	17607	22647	48024	124868	172349	0	1545	2346	3991	7882	17322	22442	47646	124703	169230	0	1531	2512	4205	8248	17311	22211	47770	121460	170864	0	1861	2865	4693	9419	19961	23039	52419	118445	163395	0	1973	2619	4904	9496	18439	21149	49084	114311
312	2	ann. pay.	6877485	12359	35391	53089	89546	190385	465349	771027	1426761	5450724	6991562	40081	33699	53656	96190	223626	500124	761484	1485234	5506328	7317617	21333	38235	60266	110472	230306	482197	789800	1502303	5815314	7257793	19980	46337	67950	121085	255352	586338	857140	1698830	5558963	7154139	14622	51612	69894	136275	272403	589511	781474	1643388	5510751
312	2	rec.																																									107946351	119089	416566	458904	859231	1853790	3844824	6988627	12687241	95259110
313	2	firms	3851	298	1064	611	499	2472	782	386	3640	211	3767	284	1057	614	490	2445	759	359	3563	204	3662	241	1058	622	486	2407	714	339	3460	202	3703	287	1122	603	494	2506	685	333	3524	179	3398	271	1007	564	442	2284	673	290	3247	151
313	2	estab.	4694	298	1064	612	502	2476	817	511	3804	890	4587	284	1057	615	498	2454	783	476	3713	874	4449	241	1059	622	492	2414	748	454	3616	833	4452	287	1124	606	497	2514	715	451	3680	772	4045	271	1007	566	443	2287	711	395	3393	652
313	2	empl.	385455	0	2379	4068	6632	13079	35219	71532	119830	265625	362286	0	2373	4073	6490	12936	33466	66883	113285	249001	339394	0	2337	4125	6581	13043	32227	62122	107392	232002	308490	0	2557	4039	6828	13424	29527	58503	101454	207036	261655	0	2264	3779	6036	12079	29868	51175	93122	168533
313	2	ann. pay.	10221639	52544	61549	103470	184337	401900	972102	1903598	3277600	6944039	9694368	39643	61678	110093	182380	393794	975222	1767326	3136342	6558026	9491120	18290	64017	113218	188010	383535	965066	1673425	3022026	6469094	8402974	51119	65582	106648	198602	421951	873114	1585234	2880299	5522675	7608197	35868	59054	102890	194946	392758	918758	1497676	2809192	4799005
313	2	rec.																																									43236210	208957	366499	583575	1180977	2340008	4461197	7486122	14287327	28948883
314	2	firms	6697	533	2593	1234	900	5260	1009	288	6557	140	6753	474	2539	1287	914	5214	1121	283	6618	135	6481	452	2367	1215	912	4946	1127	274	6347	134	6588	493	2495	1183	951	5122	1077	253	6452	136	6956	573	2874	1181	956	5584	1001	249	6834	122
314	2	estab.	7096	533	2593	1238	910	5274	1064	377	6715	381	7152	475	2540	1290	922	5227	1174	378	6779	373	6881	452	2368	1217	920	4957	1181	370	6508	373	6966	493	2498	1184	959	5134	1132	317	6583	383	7332	573	2874	1184	961	5592	1050	317	6959	373
314	2	empl.	217355	0	5685	8110	12178	25973	40839	45677	112489	104866	221971	0	5548	8562	12516	26626	44727	47529	118882	103089	215669	0	5208	8057	12367	25632	44880	44621	115133	100536	202022	0	5475	7825	12854	26154	42870	39463	108487	93535	190209	0	6226	7939	13022	27187	38770	36839	102796	87413
314	2	ann. pay.	5080662	42040	92876	152984	249712	537612	881982	996561	2416155	2664507	5313455	28877	98381	169964	268925	566147	995152	1113199	2674498	2638957	5364344	29255	101370	164559	275634	570818	1046499	1094619	2711936	2652408	5059415	33896	113359	166172	298171	611598	1029342	946831	2587771	2471644	5112849	152670	120231	176433	319511	768845	1022775	949023	2740643	2372206
314	2	rec.																																									35012642	1379214	583875	729827	1300477	3993393	4314394	4696508	13004295	22008347
315	2	firms	16391	2070	3874	2518	2712	11174	4079	895	16148	243	15815	2557	3907	2419	2344	11227	3586	787	15600	215	15744	2406	4096	2509	2431	11442	3376	733	15551	193	15523	2371	4481	2612	2195	11659	3037	659	15355	168	12862	1845	3606	2131	2011	9593	2608	526	12727	135
315	2	estab.	17453	2070	3874	2521	2719	11184	4166	1174	16524	929	16721	2557	3913	2427	2348	11245	3662	1036	15943	778	16505	2406	4105	2519	2434	11464	3429	979	15872	633	16152	2372	4484	2614	2214	11684	3085	855	15624	528	13359	1846	3606	2136	2019	9607	2671	692	12970	389
315	2	empl.	671241	0	8579	16956	37614	63149	170029	161498	394676	276565	574908	0	8694	16318	32400	57412	148927	139638	345977	228931	510482	0	9047	16891	33561	59499	138944	131418	329861	180621	441742	0	9791	17555	29982	57328	124021	112886	294235	147507	350439	0	8024	14504	27648	50176	104337	88294	242807	107632
315	2	ann. pay.	12366063	128124	152515	265351	572100	1118090	2746282	3042409	6906781	5459282	11205644	189477	175778	259722	515708	1140685	2520882	2836092	6497659	4707985	10426179	146229	183980	290522	557656	1178387	2470253	2771401	6420041	4006138	9262263	169521	210499	296884	508838	1185742	2230264	2479174	5895180	3367083	8151625	147816	179860	293199	545972	1166847	2186698	2165526	5519071	2632554
315	2	rec.																																									48399376	814376	814004	1267561	2397742	5293683	10149193	12416085	27858961	20540415
316	2	firms	1683	142	591	259	204	1196	319	106	1621	62	1695	190	586	261	181	1218	318	101	1637	58	1686	168	586	273	203	1230	302	97	1629	57	1681	152	622	273	211	1258	292	83	1633	48	1481	131	567	226	199	1123	250	71	1444	37
316	2	estab.	1801	142	591	259	204	1196	326	136	1658	143	1807	191	586	261	181	1219	331	127	1677	130	1783	168	587	273	203	1231	311	119	1661	122	1763	152	622	273	211	1258	299	106	1663	100	1549	131	567	226	199	1123	255	97	1475	74
316	2	empl.	79325	0	1326	1693	2778	5797	13857	19690	39344	39981	73966	0	1346	1736	2416	5498	13214	18875	37587	36379	68512	0	1267	1833	2725	5825	12527	17137	35489	33023	60567	0	1292	1839	2804	5935	12287	14516	32738	27829	47795	0	1226	1524	2605	5355	9783	11901	27039	20756
316	2	ann. pay.	1773064	9300	22501	27943	50723	110467	286411	428575	825453	947611	1737933	15578	23194	30737	51865	121374	284939	439394	845707	892226	1710508	10431	24803	37613	55967	128814	284904	408789	822507	888001	1495667	5582	26032	39326	56305	127245	275468	355373	758086	737581	1269367	11963	25896	34603	62017	134479	248403	297354	680236	589131
316	2	rec.																																									7106166	54932	121614	140547	279510	596603	1155686	1671454	3423743	3682423
321	2	firms	15832	1296	4231	2815	2819	11161	3582	838	15581	251	15612	1243	4162	2701	2883	10989	3508	847	15344	268	15452	1200	4089	2649	2801	10739	3570	877	15186	266	15411	1130	4234	2791	2749	10904	3437	819	15160	251	15198	1147	4290	2769	2681	10887	3280	791	14958	240
321	2	estab.	17656	1296	4231	2816	2828	11171	3749	1326	16246	1410	17473	1243	4162	2703	2896	11004	3666	1342	16012	1461	17328	1200	4091	2650	2810	10751	3710	1388	15849	1479	17289	1131	4236	2793	2765	10925	3587	1337	15849	1440	17052	1151	4293	2772	2693	10909	3482	1271	15662	1390
321	2	empl.	580334	0	9633	19034	38705	67372	144839	132460	344671	235663	595176	0	9370	18241	39449	67060	143546	131946	342552	252624	597684	0	9161	17900	38364	65425	145610	137389	348424	249260	557507	0	9275	18986	37761	66022	140524	125696	332242	225265	534011	0	9834	18836	36753	65423	132612	118910	316945	217066
321	2	ann. pay.	15440196	80577	181142	361868	807062	1430649	3425220	3412200	8268069	7172127	16372899	119241	187074	360104	861682	1528101	3499485	3579111	8606697	7766202	16511396	65250	181243	362298	848511	1457302	3614032	3747156	8818490	7692906	15829400	80746	193214	401290	860464	1535714	3594107	3554125	8683946	7145454	15922366	113445	221800	420292	903047	1658584	3614290	3592758	8865632	7056734
321	2	rec.																																									88649041	695108	1365385	2181797	4656383	8898673	18276348	19716896	46891917	41757124
322	2	firms	3805	170	511	430	567	1678	1358	518	3554	251	3740	168	499	433	552	1652	1340	508	3500	240	3648	135	502	402	547	1586	1297	529	3412	236	3660	153	535	397	554	1639	1271	521	3431	229	3538	155	551	402	529	1637	1200	476	3313	225
322	2	estab.	5927	170	512	430	567	1679	1423	795	3897	2030	5883	170	499	433	552	1654	1399	791	3844	2039	5790	135	502	402	547	1586	1348	820	3754	2036	5739	153	535	397	555	1640	1332	799	3771	1968	5546	155	552	402	534	1643	1271	755	3669	1877
322	2	empl.	567891	0	1260	2956	7917	12133	61391	87056	160580	407311	559020	0	1182	2975	7718	11875	60740	84982	157597	401423	553943	0	1186	2778	7850	11814	59235	89058	160107	393836	533251	0	1228	2716	7761	11705	57177	88086	156968	376283	495990	0	1240	2739	7346	11325	52334	78402	142061	353929
322	2	ann. pay.	22685731	25994	38309	79615	229778	373696	1912740	3198342	5484778	17200953	23226723	95091	37290	80156	226072	438609	1969851	3221166	5629626	17597097	23290895	33875	39550	82418	240246	396089	1947805	3405892	5749786	17541109	22500834	45839	42033	79977	222649	390498	1871293	3403454	5665245	16835589	21812743	25645	48468	84133	232606	390852	1844401	3140088	5375341	16437402
322	2	rec.																																									154746086	240544	325770	532008	1360218	2458540	9483089	17620261	29561890	125184196
323	2	firms	40221	2555	15480	9037	5886	32958	5853	1060	39871	350	38780	2238	15135	8671	5648	31692	5695	1048	38435	345	37188	2231	14282	8341	5459	30313	5533	1004	36850	338	36099	2065	14186	8022	5266	29539	5258	986	35783	316	35174	2191	14391	7627	4979	29188	4845	863	34896	278
323	2	estab.	42133	2555	15487	9048	5914	33004	6128	1512	40644	1489	40671	2240	15145	8680	5683	31748	5945	1507	39200	1471	39035	2234	14288	8346	5491	30359	5764	1454	37577	1458	37895	2066	14191	8029	5300	29586	5500	1412	36498	1397	36902	2192	14392	7640	5018	29242	5130	1255	35627	1275
323	2	empl.	845064	0	35938	59523	79168	174629	233054	167573	575256	269808	833649	0	35058	57385	76098	168541	226811	166893	562245	271404	813389	0	33140	55229	73604	161973	221152	159268	542393	270996	784520	0	32631	53099	70894	156624	210277	159410	526311	258209	706419	0	33188	50325	66892	150405	192424	136352	479181	227238
323	2	ann. pay.	27472755	130725	761021	1410700	2194000	4496446	7745939	5849605	18091990	9380765	27940066	171208	783201	1408829	2185766	4549004	7768103	5911951	18229058	9711008	28318533	149800	770406	1403607	2159587	4483400	7761907	5974238	18219545	10098988	27050907	137186	771280	1359095	2081208	4348769	7322422	5954787	17625978	9424929	25062361	137878	789698	1338401	2029188	4295165	6967670	5162070	16424905	8637456
323	2	rec.																																									93105255	526082	2827441	4503262	6525920	14382705	22065455	17889250	54337410	38767845
324	2	firms	1177	71	253	178	155	657	258	130	1045	132	1144	57	245	181	152	635	257	121	1013	131	1136	74	243	162	154	633	241	122	996	140	1133	73	250	166	149	638	242	121	1001	132	1132	66	262	174	151	653	233	119	1005	127
324	2	estab.	2221	71	253	179	160	663	338	335	1336	885	2226	57	245	182	156	640	330	300	1270	956	2210	74	243	163	155	635	314	290	1239	971	2253	73	250	168	151	642	326	298	1266	987	2296	66	262	175	159	662	323	292	1277	1019
324	2	empl.	111000	0	585	1212	2090	3887	9221	10626	23734	87266	109104	0	551	1215	1983	3749	9286	10646	23681	85423	109223	0	526	1082	2027	3635	8415	10918	22968	86255	103570	0	549	1103	1938	3590	8572	11252	23414	80156	100403	0	593	1161	1955	3709	8319	10337	22365	78038
324	2	ann. pay.	5997199	35935	26594	52207	105557	220293	414996	467145	1102434	4894765	6058224	4974	24315	60966	89736	179991	423638	516590	1120219	4938005	6385725	11628	25005	49065	104434	190132	374525	509110	1073767	5311958	6335924	7675	29901	50580	103661	191817	395823	591140	1178780	5157144	6456421	7715	35885	56800	104506	204906	409562	549758	1164226	5292195
324	2	rec.																																									216624384	81338	436683	578297	822414	1918732	5527588	7753895	15200215	201424169
325	2	firms	9660	675	2465	1607	1453	6200	2060	783	9043	617	9557	625	2454	1606	1441	6126	2032	785	8943	614	9530	624	2444	1572	1450	6090	2049	786	8925	605	9535	588	2520	1547	1432	6087	2073	780	8940	595	9341	591	2467	1542	1404	6004	1974	790	8768	573
325	2	estab.	13597	675	2465	1611	1459	6210	2254	1321	9785	3812	13534	629	2455	1607	1452	6143	2219	1345	9707	3827	13426	624	2447	1573	1466	6110	2232	1320	9662	3764	13361	589	2525	1549	1447	6110	2262	1336	9708	3653	13096	601	2470	1545	1418	6034	2208	1352	9594	3502
325	2	empl.	900706	0	5744	10908	19873	36525	83015	113192	232732	667974	886354	0	5623	10787	19602	36012	80591	113040	229643	656711	885848	0	5510	10535	19761	35806	81347	112853	230006	655842	869761	0	5687	10271	19386	35344	83206	113057	231607	638154	827430	0	5580	10275	18983	34838	78090	113326	226254	601176
325	2	ann. pay.	44123527	102893	188079	365137	691874	1347983	3132708	4544966	9025657	35097870	44738273	108739	185183	362276	712293	1368491	3274520	4750609	9393620	35344653	45609549	65403	194745	368108	745973	1374229	3324963	4862437	9561629	36047920	46394786	85112	201178	393488	736041	1415819	3483738	5085723	9985280	36409506	46430565	153977	219951	385961	764654	1524543	3419359	5228986	10172888	36257677
325	2	rec.																																									468211261	1795525	1737726	2743159	5150581	11426991	21394362	39110698	71932051	396279210
326	2	firms	13605	802	2620	1856	2129	7407	4079	1415	12901	704	13364	684	2601	1842	2094	7221	3971	1455	12647	717	12971	637	2415	1796	2029	6877	3923	1462	12262	709	12685	586	2470	1727	2014	6797	3835	1366	11998	687	12223	567	2394	1814	1971	6746	3590	1230	11566	657
326	2	estab.	16752	803	2620	1858	2133	7414	4245	2093	13752	3000	16646	689	2601	1844	2099	7233	4112	2142	13487	3159	16292	641	2415	1799	2035	6890	4048	2150	13088	3204	15981	588	2471	1730	2020	6809	3974	2031	12814	3167	15462	568	2396	1817	1976	6757	3785	1901	12443	3019
326	2	empl.	1030385	0	6030	12624	29655	48309	177942	237167	463418	566967	1046935	0	5971	12492	29041	47504	173349	242419	463272	583663	1056507	0	5592	12163	28174	45929	170757	243364	460050	596457	1002503	0	5728	11712	27809	45249	166146	221350	432745	569758	925607	0	5654	12397	27115	45166	154914	195941	396021	529586
326	2	ann. pay.	31563326	84091	157792	323719	813532	1379134	4952832	6709182	13041148	18522178	33350608	88129	169663	346100	822445	1426337	5007166	7182777	13616280	19734328	34110098	82055	156256	333769	835364	1407444	5008437	7333839	13749720	20360378	32641356	85140	167025	327757	788655	1368577	4938149	6688285	12995011	19646345	32036051	65294	181893	364553	835840	1447580	4975663	6355425	12778668	19257383
326	2	rec.																																									169377747	385201	1089576	1744440	3711809	6931026	21629907	30059648	58620581	110757166
327	2	firms	11883	825	3284	2051	2042	8202	2709	620	11531	352	11693	765	3262	2065	1961	8053	2662	636	11351	342	11455	726	3117	1979	1962	7784	2688	631	11103	352	11562	718	3174	2071	1939	7902	2675	627	11204	358	11395	819	3123	2054	1931	7927	2553	590	11070	325
327	2	estab.	16474	827	3286	2056	2077	8246	3363	1896	13505	2969	16541	766	3267	2073	1990	8096	3331	1802	13229	3312	16537	727	3122	1994	1984	7827	3308	1756	12891	3646	16732	724	3179	2083	1964	7950	3341	1772	13063	3669	16674	821	3125	2061	1975	7982	3302	1788	13072	3602
327	2	empl.	508272	0	7445	13915	27809	49169	104598	94073	247840	260432	510316	0	7400	13937	26934	48271	102362	96647	247280	263036	523698	0	7098	13353	27032	47483	106033	95847	249363	274335	524230	0	7109	13883	26635	47627	104121	91975	243723	280507	475476	0	7066	13938	26311	47315	98637	85569	231521	243955
327	2	ann. pay.	17590901	67346	180160	348514	796661	1392681	3340988	3087843	7821512	9769389	18272582	59210	188713	351807	817586	1417316	3422195	3275523	8115034	10157548	19122634	52069	179408	354561	804276	1390314	3530043	3354806	8275163	10847471	19349947	56329	188304	379227	822144	1446004	3551070	3316159	8313233	11036714	18119656	52076	187466	392247	859145	1490934	3539202	3148437	8178573	9941083
327	2	rec.																																									95442761	266419	900494	1755553	3790341	6712807	15357243	14721698	36791748	58651013
331	2	firms	4419	317	758	517	574	2166	1218	597	3981	438	4781	536	845	590	598	2569	1219	571	4359	422	5158	520	1027	686	667	2900	1258	589	4747	411	5555	522	1224	790	728	3264	1319	581	5164	391	5154	379	1114	758	773	3024	1223	547	4794	360
331	2	estab.	5497	318	759	518	575	2170	1263	765	4198	1299	5900	536	847	591	599	2573	1264	747	4584	1316	6300	520	1027	689	670	2906	1303	769	4978	1322	6684	522	1225	790	734	3271	1360	777	5408	1276	6229	379	1114	758	780	3031	1278	765	5074	1155
331	2	empl.	615177	0	1754	3497	7907	13158	54503	102973	170634	444543	597623	0	1918	3955	8337	14210	54547	99658	168415	429208	601627	0	2303	4604	9181	16088	55504	104823	176415	425212	572512	0	2789	5371	10122	18282	57115	102516	177913	394599	501038	0	2553	5130	10616	18299	52242	94040	164581	336457
331	2	ann. pay.	24827479	43494	50449	91874	227763	413580	1721455	3515934	5650969	19176510	24765637	91256	59532	110403	242580	503771	1781014	3484814	5769599	18996038	25544619	64422	67863	126466	274266	533017	1850715	3803067	6186799	19357820	23641904	102362	78636	145497	304044	630539	1859479	3546056	6036074	17605830	21623206	147849	82483	154682	335827	720841	1804599	3472568	5998008	15625198
331	2	rec.																																									139461013	1145234	546624	795229	1505331	3992418	8931207	18903763	31827388	107633625
332	2	firms	59314	3757	16357	11374	10895	42383	13338	2645	58366	948	57910	3095	16625	11162	10607	41489	12920	2569	56978	932	56761	3135	15882	11074	10294	40385	12884	2574	55843	918	56444	2767	16097	11000	10316	40180	12858	2489	55527	917	57398	3299	18135	11429	9919	42782	11558	2224	56564	834
332	2	estab.	63466	3758	16357	11379	10916	42410	13774	3721	59905	3561	62242	3099	16629	11164	10625	41517	13353	3661	58531	3711	61144	3137	15883	11078	10312	40410	13315	3661	57386	3758	60791	2767	16101	11011	10332	40211	13296	3553	57060	3731	61652	3300	18135	11433	9943	42811	12100	3309	58220	3432
332	2	empl.	1816223	0	37577	76977	149204	263758	534906	396479	1195143	621080	1788484	0	38167	75304	144900	258371	516450	384193	1159014	629470	1790817	0	36653	74775	140436	251864	518291	391878	1162033	628784	1761358	0	37140	74141	141262	252543	517609	380041	1150193	611165	1582399	0	41432	76730	135603	253765	460034	325795	1039594	542805
332	2	ann. pay.	60930049	321631	944615	2109389	4596517	7972152	17650051	13301747	38923950	22006099	61603757	215406	1000330	2153736	4587413	7956885	17567598	13298355	38822838	22780919	64244450	222186	999556	2229404	4689978	8141124	18360468	14023410	40525002	23719448	61803349	210237	994471	2185175	4565936	7955819	17816392	13366423	39138634	22664715	57681542	262397	1118620	2348566	4569430	8299013	16629787	12012309	36941109	20740433
332	2	rec.																																									248973057	1237005	4059146	7644810	14573180	27514141	56431255	51190221	135135617	113837440
333	2	firms	28087	1701	6943	5009	4898	18551	6777	1856	27184	903	27381	1420	7054	4900	4808	18182	6521	1796	26499	882	26612	1390	6779	4820	4604	17593	6417	1750	25760	852	26121	1184	6882	4726	4588	17380	6302	1618	25300	821	25245	1340	6860	4676	4425	17301	5701	1474	24476	769
333	2	estab.	30829	1701	6943	5010	4909	18563	7012	2369	27944	2885	30177	1426	7058	4903	4819	18206	6755	2331	27292	2885	29442	1391	6780	4822	4613	17606	6652	2267	26525	2917	28922	1184	6882	4728	4601	17395	6547	2115	26057	2865	27941	1343	6862	4682	4439	17326	5974	1995	25295	2646
333	2	empl.	1444452	0	16140	33816	67236	117192	275417	281847	674456	769996	1398226	0	16294	33056	65950	115300	264680	271921	651901	746325	1377950	0	15709	32620	63317	111646	260481	264663	636790	741160	1332854	0	15768	32160	62856	110784	256138	251424	618346	714508	1166221	0	15858	31661	60342	107861	225667	218132	551660	614561
333	2	ann. pay.	56532818	180062	473059	1053577	2347976	4054674	10343333	10880330	25278337	31254481	55874118	161733	501222	1056075	2330703	4049733	10210470	10809861	25070064	30804054	58386691	142944	500712	1085465	2313165	4042286	10432308	10996265	25470859	32915832	54713649	109225	499978	1044294	2239874	3893371	9882254	10168334	23943959	30769690	50101357	163778	522352	1103826	2264217	4054173	9231905	9126562	22412640	27688717
333	2	rec.																																									251308533	1042806	2084196	3917199	7598582	14642783	32427849	37020549	84091181	167217352
334	2	firms	15480	1282	3762	2265	2236	9545	3716	1386	14647	833	15109	1189	3781	2285	2183	9438	3596	1293	14327	782	14941	1301	3729	2209	2129	9368	3530	1292	14190	751	14643	953	3790	2179	2118	9040	3504	1346	13890	753	13833	1027	3530	2113	2055	8725	3291	1149	13165	668
334	2	estab.	17632	1282	3764	2269	2244	9559	3825	1734	15118	2514	17279	1190	3786	2289	2188	9453	3689	1677	14819	2460	17148	1304	3731	2212	2136	9383	3607	1666	14656	2492	16764	955	3792	2183	2124	9054	3593	1670	14317	2447	15883	1028	3534	2116	2059	8737	3435	1497	13669	2214
334	2	empl.	1680856	0	8534	15243	31071	54848	159421	241676	455945	1224911	1615177	0	8557	15225	29924	53706	154852	223595	432153	1183024	1557087	0	8407	14808	29485	52700	152316	223517	428533	1128554	1593307	0	8366	14691	29246	52303	153666	230941	436910	1156397	1300411	0	7857	14125	28297	50279	139966	186772	377017	923394
334	2	ann. pay.	79685307	251245	300761	533978	1132246	2218230	6028831	9634362	17881423	61803884	83841985	266355	322032	563263	1175207	2326857	6368243	10148196	18843296	64998689	90397471	374967	334625	594489	1263927	2568008	6824692	12185698	21578398	68819073	84522217	137466	343763	578601	1232500	2292330	6587168	11175562	20055060	64467157	71698438	184491	314733	571374	1189949	2260547	6364799	9361742	17987088	53711350
334	2	rec.																																									379931227	1150808	1444546	2466028	4667481	9728863	22791086	36139765	68659714	311271513
335	2	firms	5977	384	1367	924	860	3535	1460	572	5567	410	5941	406	1427	913	825	3571	1412	557	5540	401	5875	374	1442	895	841	3552	1373	559	5484	391	5796	376	1352	918	827	3473	1388	564	5425	371	5546	315	1351	928	789	3383	1317	509	5209	337
335	2	estab.	7153	384	1368	924	867	3543	1508	697	5748	1405	7104	407	1428	913	831	3579	1454	688	5721	1383	7041	375	1445	895	846	3561	1414	678	5653	1388	6940	376	1353	921	831	3481	1425	690	5596	1344	6601	315	1353	931	797	3396	1361	628	5385	1216
335	2	empl.	602400	0	3165	6241	11773	21179	60870	87690	169739	432661	586421	0	3256	6180	11330	20766	58940	86401	166107	420314	589406	0	3278	6038	11710	21026	58127	85392	164545	424861	575413	0	3065	6178	11320	20563	59746	87629	167938	407475	502400	0	3007	6243	10747	19997	55428	75464	150889	351511
335	2	ann. pay.	20229559	113250	91150	186608	366118	757126	1990241	2741172	5488539	14741020	20599635	47052	99137	191502	372312	710003	2038467	2829830	5578300	15021335	21852991	61160	104928	200471	404942	771501	2124477	2994581	5890559	15962432	20873387	101967	102809	202667	381746	789189	2134933	2967489	5891611	14981776	18849367	34697	106721	215945	384293	741656	2086377	2722731	5550764	13298603
335	2	rec.																																									108523267	258052	693200	1041774	1705266	3698292	8504320	12413124	24615736	83907531
336	2	firms	11130	861	2768	1714	1517	6860	2618	1029	10507	623	10916	809	2746	1681	1526	6762	2508	1024	10294	622	10634	719	2659	1597	1528	6503	2493	1032	10028	606	10522	668	2695	1660	1476	6499	2464	969	9932	590	10114	677	2610	1575	1483	6345	2298	927	9570	544
336	2	estab.	13202	861	2768	1715	1520	6864	2706	1256	10826	2376	13042	815	2748	1682	1530	6775	2580	1241	10596	2446	12766	720	2659	1598	1536	6513	2557	1244	10314	2452	12627	668	2697	1664	1480	6509	2520	1192	10221	2406	12202	678	2610	1577	1490	6355	2383	1172	9910	2292
336	2	empl.	1911346	0	6297	11476	20844	38617	113271	188961	340849	1570497	1906216	0	6184	11216	20850	38250	108997	191507	338754	1567462	1872630	0	5963	10719	20922	37604	109301	195735	342640	1529990	1753445	0	6044	11083	20425	37552	107646	180036	325234	1428211	1578707	0	5878	10550	20407	36835	99419	172014	308268	1270439
336	2	ann. pay.	84378736	106984	154156	286537	577886	1125563	3425014	5962440	10513017	73865719	90608982	116294	165970	293527	602900	1178691	3452620	6152500	10783811	79825171	88631732	80931	156770	302239	624554	1164494	3495232	6385675	11045401	77586331	83439891	129384	164232	296054	615345	1205015	3515232	5912017	10632264	72807627	78771473	120027	175649	321068	650475	1267219	3448000	6044258	10759477	68011996
336	2	rec.																																									632001391	820147	1153130	1818102	3146608	6937987	15655728	31051101	53644816	578356575
337	2	firms	19672	1649	7193	3788	2875	15505	3210	734	19449	223	19325	1513	7023	3706	2838	15080	3271	745	19096	229	18921	1415	6738	3663	2859	14675	3240	773	18688	233	19702	1471	7177	3845	2988	15481	3273	729	19483	219	21194	1577	8383	4196	3049	17205	3116	679	21000	194
337	2	estab.	20623	1649	7199	3793	2888	15529	3316	931	19776	847	20266	1515	7028	3712	2850	15105	3369	952	19426	840	19848	1418	6741	3668	2871	14698	3314	988	19000	848	20593	1472	7179	3857	3001	15509	3340	931	19780	813	22083	1577	8386	4204	3075	17242	3201	895	21338	745
337	2	empl.	603861	0	16114	25142	38829	80085	133824	126214	340123	263738	623153	0	15621	24645	38439	78705	135989	128556	343250	279903	640444	0	15016	24263	38905	78184	135423	135812	349419	291025	619197	0	15908	25758	40524	82190	134315	128222	344727	274470	575128	0	18664	27878	41101	87643	126419	116957	331019	244109
337	2	ann. pay.	16082291	113167	319133	533965	918144	1884409	3501767	3294601	8680777	7401514	17127833	94017	326790	535957	957890	1914654	3694157	3466216	9075027	8052806	17963631	60826	318146	542121	983501	1904594	3753303	3734483	9392380	8571251	17433649	77953	353187	605743	1040751	2077634	3796857	3544773	9419264	8014385	16806059	75864	427666	687356	1109340	2300226	3747008	3468051	9515285	7290774
337	2	rec.																																									73497087	354995	1673215	2443462	3818158	8289830	13320143	14586203	36196176	37300911
339	2	firms	30498	2782	13125	5525	3749	25181	3952	946	30079	419	30168	2650	12982	5575	3668	24875	3927	949	29751	417	30034	2652	12855	5570	3665	24742	3913	960	29615	419	29476	2349	12850	5506	3596	24301	3849	911	29061	415	28269	2408	12324	5162	3499	23393	3624	854	27871	398
339	2	estab.	31747	2783	13129	5532	3765	25209	4084	1260	30553	1194	31470	2652	12984	5583	3684	24903	4064	1254	30221	1249	31303	2652	12856	5576	3680	24764	4045	1250	30059	1244	30718	2349	12851	5511	3612	24323	3982	1207	29512	1206	29507	2409	12325	5168	3517	23419	3772	1205	28396	1111
339	2	empl.	737468	0	28192	36304	50567	115063	160065	150624	425752	311716	734242	0	27984	36714	49838	114536	158005	148004	420545	313697	732200	0	27746	36619	49594	113959	156780	150565	421304	310896	713165	0	27878	36263	48925	113066	153731	142795	409592	303573	664710	0	26835	34058	47336	108229	141831	132608	382668	282042
339	2	ann. pay.	23274482	131821	616669	865015	1348599	2962104	4691319	4585067	12238490	11035992	24353888	170050	645946	914953	1359919	3090868	4875310	4759702	12725880	11628008	25500383	233305	665075	946483	1423932	3268795	5072410	5083104	13424309	12076074	25604567	133575	683909	961153	1432499	3211136	4978462	5079445	13269043	12335524	25208158	116132	659986	948574	1459623	3184315	4880030	5090185	13154530	12053628
339	2	rec.																																									118090424	592470	2538104	3333745	5164353	11628672	18029568	22429661	52087901	66002523
421	2	firms	232280	21892	103930	43945	29963	199730	25650	4729	230109	2171	229758	22227	102597	43107	29532	197463	25480	4667	227610	2148	227279	21474	100829	42827	29531	194661	25710	4724	225095	2184	221912	20298	98315	41990	28979	189582	25427	4744	219753	2159	221357	22341	99701	40767	27799	190608	24252	4469	219329	2028
421	2	estab.	291099	21968	104204	44759	32355	203286	37370	16306	256962	34137	290053	22314	102913	43961	31891	201079	36572	16385	254036	36017	288584	21558	101197	43659	31735	198149	36176	16508	250833	37751	283435	20394	98674	42811	31130	193009	35549	16415	244973	38462	282959	22382	99975	41762	30389	194508	36458	16805	247771	35188
421	2	empl.	3466708	0	222494	289954	399949	912397	919478	564475	2396350	1070358	3527913	0	219471	284580	395463	899514	920865	570662	2391041	1136872	3624617	0	215683	283134	395106	893923	935671	593343	2422937	1201680	3633480	0	209973	277337	387796	875106	923588	604796	2403490	1229990	3443697	0	211875	269202	372314	853391	873778	554482	2281651	1162046
421	2	ann. pay.	146899993	1174344	7587810	9907517	14544792	33214463	35282753	22805780	91302996	55596997	158783498	1266667	7730806	10208368	14981375	34187216	36761521	23740340	94689077	64094421	171752464	1168937	7973231	10565957	15642428	35350553	39453119	26500830	101304502	70447962	173196447	1231121	7747822	10382908	15320765	34682616	38866682	26713079	100262377	72934070	162396424	1259526	7695303	10240844	15011022	34206695	37499064	24840376	96546135	65850289
421	2	rec.																																									2332184855	14491725	115786294	119206832	143561185	393046036	329246092	256971448	979263576	1352921279
422	2	firms	132145	13843	58921	22717	15691	111172	16009	3399	130580	1565	129713	13366	57992	22169	15391	108918	15851	3387	128156	1557	127772	13097	56677	21852	15377	107003	15769	3470	126242	1530	124958	12597	55274	21303	15131	104305	15689	3485	123479	1479	124758	13932	55947	20636	14434	104949	15026	3343	123318	1440
422	2	estab.	162888	13869	59028	23059	16750	112706	20830	8432	141968	20920	159977	13412	58116	22499	16416	110443	20335	8327	139105	20872	157653	13148	56818	22184	16331	108481	19930	8642	137053	20600	155489	12642	55421	21647	16046	105756	19844	8740	134340	21149	153941	13964	56039	21012	15425	106440	19636	8581	134657	19284
422	2	empl.	2418522	0	122505	149271	209456	481232	575177	397094	1453503	965019	2444109	0	120263	145617	204599	470479	573794	398963	1443236	1000873	2487412	0	117941	143517	204839	466297	574974	422313	1463584	1023828	2508609	0	115161	139939	201681	456781	572860	431863	1461504	1047105	2416559	0	116393	135800	192366	444559	547308	405975	1397842	1018717
422	2	ann. pay.	87024460	615956	3880318	4590072	6604687	15691033	18432365	13949838	48073236	38951224	91214100	704416	3964022	4651473	6734311	16054222	19167017	14386615	49607854	41606246	98369742	744499	4018051	4785040	6927004	16474594	20107352	15848726	52430672	45939070	102702969	672633	4018872	4773138	7041038	16505681	20542289	16408117	53456087	49246882	100131353	855483	4037003	4827810	7006936	16727232	20582841	16434412	53744485	46386868
422	2	rec.																																									2157881220	12883438	81732727	81872704	110283253	286772122	314532298	270697489	872001909	1285879311
441	2	firms	95985	7765	37763	18314	12459	76301	16955	2491	95747	238	95222	8463	37059	17863	12245	75630	16766	2581	94977	245	95808	8640	37190	17792	12402	76024	16763	2774	95561	247	96722	8951	38187	17733	12150	77021	16686	2773	96480	242	96890	9007	38991	17469	11797	77264	16460	2913	96637	253
441	2	estab.	123419	7795	37817	18592	13478	77682	21414	6695	105791	17628	123855	8516	37149	18164	13214	77043	20916	7085	105044	18811	124464	8675	37301	18098	13282	77356	20659	6652	104667	19797	125728	8979	38297	18068	13032	78376	20423	6567	105366	20362	126644	9019	39051	17782	12775	78627	20523	7024	106174	20470
441	2	empl.	1757248	0	83326	120620	166693	370639	716916	370434	1457989	299259	1803665	0	82073	117681	163702	363456	713843	381450	1458749	344916	1866293	0	82170	116834	165982	364986	719496	413265	1497747	368546	1850218	0	84017	116774	162687	363478	713054	416351	1492883	357335	1890916	0	86420	114879	158330	359629	708139	441078	1508846	382070
441	2	ann. pay.	55552390	471244	1632785	2615472	4137907	8857408	24539010	14003614	47400032	8152358	60217423	593863	1697014	2671228	4281499	9243604	25662183	15380908	50286695	9930728	63873881	649818	1722568	2682310	4374749	9429445	26204611	17039808	52673864	11200017	66619404	640315	1845644	2792471	4441250	9719680	27245538	18127845	55093063	11526341	67996832	633858	1924618	2858785	4450567	9867828	27292583	18970092	56130503	11866329
441	2	rec.																																									813208907	11184171	27909176	28605136	46009266	113707749	339756508	230004195	683468452	129740455
442	2	firms	48289	4448	22591	11283	6099	44421	3263	421	48105	184	48010	4479	22272	11078	6142	43971	3428	436	47835	175	48390	4687	22068	11154	6350	44259	3509	450	48218	172	49677	4869	22832	11387	6441	45529	3519	449	49497	180	49846	5247	23042	11246	6308	45843	3404	425	49672	174
442	2	estab.	64445	4471	22660	11565	7063	45759	6495	2875	55129	9316	64258	4508	22349	11354	7039	45250	6518	3069	54837	9421	64842	4820	22160	11436	7164	45580	6407	3099	55086	9756	65766	4885	22923	11688	7280	46776	6200	2897	55873	9893	66360	5255	23081	11553	7355	47244	6509	3193	56946	9414
442	2	empl.	509738	0	50584	73736	79186	203506	104854	45992	354352	155386	525342	0	50142	72689	80027	202858	111033	50837	364728	160614	549184	0	49859	73176	83025	206060	116149	52255	374464	174720	567318	0	51299	74608	83889	209796	116011	54960	380767	186551	551567	0	52727	73848	82276	208851	109938	51988	370777	180790
442	2	ann. pay.	11278469	113778	933650	1510341	1838089	4395858	2753766	1227107	8376731	2901738	12407723	133386	989963	1567033	1966370	4656752	3061767	1488115	9206634	3201089	13356112	135143	1009424	1628577	2113954	4887098	3382023	1592371	9861492	3494620	13644132	158990	1062776	1679392	2169793	5070951	3391617	1647020	10109588	3534544	13764754	173066	1088945	1738932	2219170	5220113	3315097	1628380	10163590	3601164
442	2	rec.																																									97073126	1568535	9083591	11161806	12815000	34628932	19110523	11494884	65234339	31838787
443	2	firms	32389	4182	15690	6992	3441	30305	1750	201	32256	133	32113	3904	15646	7000	3434	29984	1804	198	31986	127	32252	4013	15541	6941	3552	30047	1846	221	32114	138	33764	4584	16459	6958	3507	31508	1879	235	33622	142	34012	4688	16950	6725	3468	31831	1834	229	33894	118
443	2	estab.	45235	4188	15746	7182	3953	31069	3139	998	35206	10029	45167	3937	15704	7165	3907	30713	3068	1088	34869	10298	45592	4044	15608	7123	4020	30795	2933	1096	34824	10768	47747	4603	16533	7171	3976	32283	2934	1452	36669	11078	49600	4711	17020	6943	4076	32750	3435	1827	38012	11588
443	2	empl.	361907	0	35399	45431	44312	125142	54654	18380	198176	163731	384264	0	34957	45648	44205	124810	57118	18902	200830	183434	407321	0	34588	45213	46140	125941	59606	23719	209266	198055	425736	0	36414	45290	45516	127220	60525	26804	214549	211187	418725	0	37830	43876	45158	126864	58597	22582	208043	210682
443	2	ann. pay.	8575213	142648	671944	935524	1094948	2845064	1654571	636382	5136017	3439196	9573004	151099	700382	1009950	1147220	3008651	1851809	703866	5564326	4008678	11236630	142555	706616	1018616	1236958	3104745	2050184	1091597	6246526	4990104	11593224	151263	758733	1026002	1272527	3208525	2074120	1137695	6420340	5172884	11608791	168216	776325	1042834	1255462	3242837	2093332	861588	6197757	5411034
443	2	rec.																																									92280756	1408544	5691210	6224857	6947106	20271717	11491484	5788203	37551404	54729352
444	2	firms	68461	4902	26249	16492	11289	58932	8153	1063	68148	313	67675	5074	25662	16079	11183	57998	8243	1111	67352	323	67432	5270	25123	15814	11334	57541	8419	1139	67099	333	69413	5568	26351	16115	11498	59532	8441	1127	69100	313	68829	5928	26125	15915	11268	59236	8210	1093	68539	290
444	2	estab.	92789	4906	26291	16711	12257	60165	13215	5211	78591	14198	92293	5094	25703	16318	12103	59218	13046	5366	77630	14663	91948	5309	25181	16056	12153	58699	12872	5312	76883	15065	94135	5615	26412	16411	12299	60737	12734	5431	78902	15233	94109	5971	26159	16166	12235	60531	12899	5477	78907	15202
444	2	empl.	1131200	0	61164	109617	148635	319416	275269	115669	710354	420846	1183696	0	59360	106930	147994	314284	279085	125677	719046	464650	1235387	0	57992	105167	150368	313527	287658	128251	729436	505951	1249126	0	60266	106921	152578	319765	286542	129012	735319	513807	1270736	0	60850	105521	149775	316146	276447	126010	718603	552133
444	2	ann. pay.	27776894	194723	1240799	2364883	3574483	7374888	7681871	3368812	18425571	9351323	30179769	164372	1271207	2418904	3697584	7552067	8087729	3802252	19442048	10737721	32450283	262610	1258773	2401879	3798909	7722171	8461462	3983894	20167527	12282756	34701139	190944	1363002	2556424	4024401	8134771	8650117	4171147	20956035	13745104	35149472	219040	1381561	2600316	4057359	8258276	8596262	4164751	21019289	14130183
444	2	rec.																																									288435295	1905844	11159878	17642728	26034862	56743312	57021855	32997080	146762247	141673048
445	2	firms	111771	13474	53616	20843	11926	99859	9787	1648	111294	477	113724	15293	53973	20830	11887	101983	9642	1638	113263	461	117497	16260	55270	21614	12451	105595	9854	1601	117050	447	119777	16732	56849	21940	12566	108087	9698	1535	119320	457	119448	17037	57044	21511	12423	108015	9515	1460	118990	458
445	2	estab.	147787	13502	53716	21083	12624	100925	12659	5812	119396	28391	151506	15358	54112	21116	12517	103103	12335	5828	121266	30240	154491	16328	55410	21909	13057	106704	12449	6109	125262	29229	156261	16747	56984	22208	13171	109110	12182	5911	127203	29058	155677	17049	57119	21749	13069	108986	11889	5388	126263	29414
445	2	empl.	2943821	0	116677	136655	156375	409707	365144	250872	1025723	1918098	3014663	0	117404	136593	156706	410703	359796	249827	1020326	1994337	3004410	0	120063	141831	163874	425768	367522	245735	1039025	1965385	2963801	0	123568	143993	165769	433330	363528	236187	1033045	1930756	2883997	0	126628	140407	163752	430787	355524	227811	1014122	1869875
445	2	ann. pay.	43256951	287309	1379137	1504987	1788335	4959768	4697572	3558154	13215494	30041457	45919947	379454	1465918	1593160	1852194	5290726	4750307	3600207	13641240	32278707	48395505	388681	1562548	1692101	1988842	5632172	4937845	3705451	14275468	34120037	49336787	401624	1677113	1786804	2080848	5946389	5085664	3702442	14734495	34602292	50064502	428195	1743351	1816797	2122906	6111249	5138750	3673766	14923765	35140737
445	2	rec.																																									464412506	5124386	24365120	19714878	19737504	68941888	42490802	31371308	142803998	321608508
446	2	firms	44128	3780	18514	11655	6625	40574	2945	271	43790	338	43583	3826	18422	11271	6465	39984	3006	260	43250	333	43408	3818	18316	10967	6636	39737	3069	268	43074	334	43927	4117	18602	10835	6652	40206	3099	281	43586	341	42643	3864	18179	10341	6490	38874	3169	274	42317	326
446	2	estab.	82749	3808	18620	12079	7690	42197	5803	2089	50089	32660	82392	3972	18542	11670	7475	41659	5563	1865	49087	33305	81189	3852	18466	11358	7562	41238	5452	1765	48455	32734	81898	4137	18752	11249	7558	41696	5285	1881	48862	33036	82574	3869	18255	10751	7455	40330	5816	1820	47966	34608
446	2	empl.	940248	0	43069	77186	86775	207030	92593	27998	327621	612627	938245	0	42784	74652	84347	201783	94915	26351	323049	615196	913896	0	42488	72785	86766	202039	98169	26512	326720	587176	958072	0	42599	72188	87187	201974	99421	28815	330210	627862	988347	0	42168	68715	85102	195985	102040	29158	327183	661164
446	2	ann. pay.	16126345	112580	848641	1492536	1659328	4113085	1822741	595291	6531117	9595228	17760222	168572	877555	1526842	1714445	4287414	1987472	625850	6900736	10859486	19281152	124461	908592	1564471	1877303	4474827	2172274	664834	7311935	11969217	20634666	165053	951871	1639766	1994827	4751517	2382504	737228	7871249	12763417	22217762	134910	966684	1698840	2086520	4886954	2586697	810522	8284173	13933589
446	2	rec.																																									186448806	1288638	8877890	14259776	16797543	41223847	17395840	5022517	63642204	122806602
447	2	firms	70411	5565	28566	18358	11090	63579	5609	998	70186	225	68002	5399	27641	17382	10865	61287	5491	995	67773	229	66482	5701	27002	16809	10358	59870	5358	1032	66260	222	65511	5959	26997	16164	9922	59042	5247	990	65279	232	64068	6178	26474	15664	9585	57901	5027	902	63830	238
447	2	estab.	123937	5610	28620	18633	12221	65084	13461	13075	91620	32317	121095	5506	27776	17759	11962	63003	12804	12820	88627	32468	119648	5795	27168	17231	11375	61569	11985	13183	86737	32911	118892	5991	27141	16591	10944	60667	11884	12974	85525	33367	117100	6224	26595	15911	10745	59475	11967	12722	84164	32936
447	2	empl.	946463	0	68150	122130	141521	331801	179593	128671	640065	306398	930034	0	65474	115331	139064	319869	176185	128314	624368	305666	937083	0	64122	111304	133386	308812	172588	135434	616834	320249	927284	0	63796	106981	127632	298409	168840	128373	595622	331662	895983	0	65106	103577	123394	292077	161026	118923	572026	323957
447	2	ann. pay.	12330938	147898	898756	1525997	1782426	4355077	2297964	1667404	8320445	4010493	12825358	153184	922567	1521980	1809509	4407240	2336053	1730551	8473844	4351514	13321764	146126	925277	1507977	1767226	4346606	2316580	1865613	8528799	4792965	13455657	153675	972252	1500069	1735117	4361113	2328268	1818707	8508088	4947569	13471484	173213	981229	1501077	1725285	4380804	2223481	1731865	8336150	5135334
447	2	rec.																																									238083074	3474892	21829603	26087244	24728765	76120504	31687359	29406806	137214669	100868405
448	2	firms	70545	6973	38445	14928	6269	66615	3035	536	70186	359	68801	7135	37341	14372	6161	65009	2951	491	68451	350	68158	7389	36275	14460	6219	64343	3006	485	67834	324	68576	7708	36353	14425	6259	64745	3045	464	68254	322	69030	8648	36567	14156	5989	65360	2916	443	68719	311
448	2	estab.	152660	7021	38790	15501	7626	68938	7520	6320	82778	69882	151674	7221	37619	14912	7436	67188	6978	6408	80574	71100	150946	7447	36578	15041	7471	66537	6739	5738	79014	71932	151668	7730	36612	14997	7355	66694	6638	5075	78407	73261	151895	8669	36708	14568	7064	67009	6497	5418	78924	72971
448	2	empl.	1280391	0	84288	96624	80044	260956	97057	66729	424742	855649	1293439	0	81884	93191	79271	254346	95497	65020	414863	878576	1368665	0	79843	93710	79604	253157	98444	61670	413271	955394	1392626	0	79548	93596	80345	253489	100286	59910	413685	978941	1408948	0	81719	91672	77265	250656	93592	59789	404037	1004911
448	2	ann. pay.	17812444	135457	1186667	1463229	1366169	4151522	1723417	1114670	6989609	10822835	19134168	151389	1225929	1501519	1418219	4297056	1818146	1134685	7249887	11884281	20200440	152927	1245712	1575074	1492081	4465794	1959272	1165293	7590359	12610081	21117525	159253	1291163	1588032	1523863	4562311	1987306	1129214	7678831	13438694	21939932	178156	1329743	1623554	1503774	4635227	1911965	1083272	7630464	14309468
448	2	rec.																																									170396483	1837439	10845757	10123983	8600945	31408124	10919821	7329819	49657764	120738719
451	2	firms	46397	5523	24278	9205	4411	43417	2483	329	46229	168	44552	4703	23482	8970	4382	41537	2521	338	44396	156	43445	4728	22212	8995	4460	40395	2563	335	43293	152	42831	4554	22003	8733	4516	39806	2576	295	42677	154	43888	5353	22054	8931	4617	40955	2504	280	43739	149
451	2	estab.	68156	5544	24336	9438	5175	44493	4957	2415	51865	16291	66074	4736	23569	9226	5048	42579	4854	2477	49910	16164	65021	4763	22304	9243	5118	41428	4688	2485	48601	16420	64453	4582	22100	9060	5131	40873	4659	2243	47775	16678	65933	5366	22119	9159	5286	41930	4769	1999	48698	17235
451	2	empl.	579860	0	52157	59645	57029	168831	81403	38172	288406	291454	589873	0	50477	58418	56625	165520	83611	38657	287788	302085	616237	0	48149	58616	57695	164460	85703	40893	291056	325181	622261	0	47665	56858	58338	162861	86441	36572	285874	336387	617726	0	48895	58219	59952	167066	82233	33263	282562	335164
451	2	ann. pay.	7895236	116861	688295	771206	827942	2404304	1320331	557715	4282350	3612886	8247327	100056	700917	801090	858142	2460205	1398930	586586	4445721	3801606	8764847	100611	694325	830766	897720	2523422	1484540	669667	4677629	4087218	9221580	96254	712358	832994	922525	2564131	1540296	607052	4711479	4510101	9326141	110977	729977	868958	954703	2664615	1503823	557932	4726370	4599771
451	2	rec.																																									76687429	1029266	6361718	5804392	5760112	18955488	8702321	3654798	31312607	45374822
452	2	firms	10637	1499	5221	2000	1042	9762	620	133	10515	122	10691	1326	5409	2045	1021	9801	654	128	10583	108	10698	1353	5377	2005	1052	9787	676	131	10594	104	10426	1192	5306	2004	1046	9548	648	125	10321	105	9681	1412	4664	1751	1017	8844	607	131	9582	99
452	2	estab.	36757	1500	5232	2017	1128	9877	1019	634	11530	25227	38134	1364	5420	2062	1113	9959	1012	580	11551	26583	39639	1370	5387	2030	1127	9914	1001	659	11574	28065	41169	1194	5318	2024	1119	9655	976	854	11485	29684	41069	1414	4667	1769	1101	8951	957	718	10626	30443
452	2	empl.	2479161	0	11221	12933	13537	37691	20901	18955	77547	2401614	2444538	0	11735	13286	13403	38424	22610	18684	79718	2364820	2526107	0	11723	13047	13676	38446	23068	19977	81491	2444616	2525974	0	11444	13040	13589	38073	22403	20153	80629	2445345	2546094	0	10345	11390	13253	34988	21139	19537	75664	2470430
452	2	ann. pay.	33658351	28902	127631	143356	172844	472733	296062	269645	1038440	32619911	36559197	26256	143020	159555	175302	504133	331745	278890	1114768	35444429	39769399	27433	149391	156096	179491	512411	348226	309338	1169975	38599424	42238462	26953	148863	159759	181819	517394	346263	343940	1207597	41030865	43708510	26845	137538	144090	179979	488452	339091	345075	1172618	42535892
452	2	rec.																																									444604851	267921	1381119	1200005	1228640	4077685	2347945	2438147	8863777	435741074
453	2	firms	108934	14279	58040	21397	9551	103267	4636	736	108639	295	106594	12421	57458	21335	9735	100949	4617	723	106289	305	105271	12480	55881	21178	9961	99500	4715	751	104966	305	103603	11616	55525	20994	9754	97889	4651	758	103298	305	104458	12847	55356	20985	9653	98841	4555	760	104156	302
453	2	estab.	132569	14303	58199	21944	11047	105493	9069	4448	119010	13559	131246	12451	57631	21870	11207	103159	8679	4521	116359	14887	131043	12541	56088	21671	11320	101620	8444	4511	114575	16468	129311	11670	55722	21545	11025	99962	8309	4519	112790	16521	129997	12892	55453	21510	11157	101012	8949	4656	114617	15380
453	2	empl.	796044	0	124178	138571	122091	384840	141776	60791	587407	208637	828824	0	123006	138179	124719	385904	144294	63854	594052	234772	849661	0	120204	137469	127784	385457	147352	68794	601603	248058	841594	0	119132	136050	125284	380466	145834	69698	595998	245596	822992	0	121391	136321	123628	381340	140394	68605	590339	232653
453	2	ann. pay.	11858526	257732	1599122	1824379	1820297	5501530	2295313	913513	8710356	3148170	13033156	256562	1691298	1907483	1955521	5810864	2407788	1016361	9235013	3798143	13827381	250027	1715817	1991407	2006490	5963741	2508487	1092741	9564969	4262412	13877825	241114	1767075	2002907	2041260	6052356	2538930	1096235	9687521	4190304	14112129	265529	1765872	2051684	2043785	6126870	2505058	1184680	9816608	4295521
453	2	rec.																																									97907211	2393534	14955291	12965983	11747511	42062319	13797600	6665028	62524947	35382264
454	2	firms	35625	3862	17598	6211	3914	31585	3041	620	35246	379	35752	4918	16886	6125	3811	31740	3000	630	35370	382	36840	5080	17349	6348	3883	32660	3123	645	36428	412	35070	4125	16929	6054	3855	30963	3050	629	34642	428	37115	5287	18210	5962	3746	33205	2900	587	36692	423
454	2	estab.	43348	3867	17623	6286	4179	31955	4076	1591	37622	5726	43566	4932	16922	6202	4023	32079	3960	1601	37640	5926	44750	5115	17369	6423	4088	32995	4074	1605	38674	6076	42922	4140	16950	6125	4104	31319	3948	1607	36874	6048	44735	5291	18223	6039	3987	33540	3906	1572	39018	5717
454	2	empl.	515431	0	35788	40652	50943	127383	97634	72440	297457	217974	540045	0	34256	40072	49600	123928	97176	73516	294620	245425	566531	0	35284	41488	50820	127592	104107	78994	310693	255838	566279	0	34451	39440	50732	124623	101554	77646	303823	262456	523873	0	36991	39148	48953	125092	95035	68989	289116	234757
454	2	ann. pay.	14227959	116374	726881	918585	1271356	3033196	2555190	2006990	7595376	6632583	16089022	287931	731282	964200	1298062	3281475	2733845	2106653	8121973	7967049	18075112	239871	813999	1073808	1484595	3612273	3081460	2585416	9279149	8795963	18316560	155219	787870	1004731	1460193	3408013	3109487	2393553	8911053	9405507	17346717	171500	847697	1026437	1454351	3499985	3033588	2127186	8660759	8685958
454	2	rec.																																									164914253	1777993	7685616	7280657	9616261	26360527	19693052	16670969	62724548	102189705
481	2	firms	2574	378	1026	365	243	2012	302	124	2438	136	2607	414	1020	329	262	2025	321	124	2470	137	2711	443	1054	351	274	2122	328	125	2575	136	2675	376	1078	383	256	2093	321	129	2543	132	2762	397	1160	350	254	2161	331	128	2620	142
481	2	estab.	5348	379	1026	367	257	2029	471	516	3016	2332	5285	414	1021	331	277	2043	492	527	3062	2223	5429	447	1056	359	291	2153	493	531	3177	2252	5451	376	1079	390	273	2118	494	549	3161	2290	5512	413	1163	352	284	2212	507	587	3306	2206
481	2	empl.	560026	0	2019	2358	3155	7532	12009	18475	38016	522010	582838	0	1988	2173	3457	7618	12792	19664	40074	542764	615605	0	2074	2267	3738	8079	13196	19902	41177	574428	608986	0	2129	2481	3522	8132	12763	21751	42646	566340	548258	0	2246	2240	3349	7835	12855	18032	38722	509536
481	2	ann. pay.	22591218	17827	74709	74569	102293	269398	393431	651545	1314374	21276844	24414357	20692	75647	74359	111592	282290	444766	729483	1456539	22957818	26569287	28482	82444	76030	127230	314186	459608	772844	1546638	25022649	28780671	23834	84237	91139	124501	323711	467037	850251	1640999	27139672	27470866	60373	97890	88406	130707	377376	510092	727153	1614621	25856245
481	2	rec.																																									107699651	533723	649564	447346	696671	2327304	2625261	4238906	9191471	98508180
483	2	firms	1413	177	445	211	189	1022	218	101	1341	72	1465	232	462	202	182	1078	230	85	1393	72	1445	205	459	218	184	1066	221	91	1378	67	1413	194	467	199	175	1035	226	82	1343	70	1418	227	465	199	148	1039	223	91	1353	65
483	2	estab.	1911	177	445	212	192	1026	245	270	1541	370	1950	232	462	203	188	1085	260	228	1573	377	1900	205	459	220	185	1069	243	238	1550	350	1871	201	467	200	178	1046	245	182	1473	398	1902	227	466	199	155	1047	261	223	1531	371
483	2	empl.	72754	0	976	1395	2598	4969	8569	15241	28779	43975	71844	0	960	1334	2434	4728	9332	14988	29048	42796	67574	0	951	1451	2518	4920	8831	15894	29645	37929	70462	0	976	1341	2393	4710	8890	15547	29147	41315	64268	0	977	1326	1994	4297	8483	14158	26938	37330
483	2	ann. pay.	3103751	25697	39948	42210	87516	195371	324294	654759	1174424	1929327	3039510	15825	37870	49030	85792	188517	366993	636099	1191609	1847901	3003173	23043	34485	52291	86069	195888	361439	743808	1301135	1702038	3342061	16087	38571	50480	88832	193970	378028	747564	1319562	2022499	3164702	18694	40323	51051	72601	182669	416553	688267	1287489	1877213
483	2	rec.																																									22088696	92006	271769	293742	500499	1158016	1976606	3543289	6677911	15410785
484	2	firms	96882	16009	48507	13486	8902	86904	8102	1354	96360	522	97478	14806	49849	13750	9035	87440	8184	1316	96940	538	99065	15577	50183	13877	9193	88830	8357	1341	98528	537	98065	14414	51076	13482	9104	88076	8134	1345	97555	510	98645	15664	51432	13139	8807	89042	7820	1273	98135	510
484	2	estab.	107994	16012	48530	13547	9044	87133	9377	3385	99895	8099	108749	14818	49869	13798	9182	87667	9382	3362	100411	8338	110416	15594	50208	13922	9323	89047	9430	3192	101669	8747	109814	14427	51099	13519	9243	88288	9134	3233	100655	9159	111308	15693	51451	13181	8954	89279	9143	3317	101739	9569
484	2	empl.	1327158	0	92497	88409	119849	300755	305938	201484	808177	518981	1384178	0	94390	90131	121913	306434	311815	198098	816347	567831	1415794	0	94958	90963	123859	309780	316961	205050	831791	584003	1397865	0	95745	88422	122485	306652	308593	206654	821899	575966	1333342	0	97362	86305	118740	302407	294921	191171	788499	544843
484	2	ann. pay.	41018637	421932	1985221	2043295	3011668	7462116	8692147	6285740	22440003	18578634	43626168	485603	2082527	2153517	3178757	7900404	9156245	6379077	23435726	20190442	46451478	439216	2111700	2206007	3257792	8014715	9542966	6738092	24295773	22155705	46080949	430986	2207421	2209794	3315823	8164024	9384199	6928051	24476274	21604675	45067390	528546	2255525	2238951	3296724	8319746	9267084	6556109	24142939	20924451
484	2	rec.																																									166722008	2875127	12597035	10215577	13670374	39358113	34773048	23085425	97216586	69505422
485	2	firms	14481	1633	6076	2248	1774	11731	2218	434	14383	98	14202	1627	5798	2171	1787	11383	2256	455	14094	108	14375	1722	5816	2152	1835	11525	2275	470	14270	105	14336	1639	5802	2199	1804	11444	2302	484	14230	106	14770	1774	6131	2174	1862	11941	2252	469	14662	108
485	2	estab.	16358	1635	6078	2253	1791	11757	2416	744	14917	1441	16254	1630	5801	2173	1812	11416	2436	742	14594	1660	16383	1723	5819	2156	1847	11545	2450	752	14747	1636	16466	1641	5804	2203	1825	11473	2462	752	14687	1779	17073	1774	6133	2179	1872	11958	2423	847	15228	1845
485	2	empl.	349378	0	11673	15021	24246	50940	89633	72334	212907	136471	370022	0	11061	14406	24598	50065	91270	74112	215447	154575	386874	0	11153	14307	25235	50695	92314	78870	221879	164995	391561	0	11152	14668	24652	50472	93382	79219	223073	168488	387325	0	11914	14366	25469	51749	90800	78287	220836	166489
485	2	ann. pay.	6017587	50268	147161	185685	316062	699176	1337175	1276590	3312941	2704646	6729332	73418	156537	182060	332072	744087	1441783	1358353	3544223	3185109	7214701	67544	162680	196927	362641	789792	1514892	1483463	3788147	3426554	7558748	62266	167344	200521	357692	787823	1534506	1536500	3858829	3699919	7780055	87071	189104	205285	381905	863365	1603647	1595084	4062096	3717959
485	2	rec.																																									19127060	377666	992816	839268	1227949	3437699	4254303	3540071	11232073	7894987
486	2	firms	217	20	57	15	17	109	20	14	143	74	218	16	55	21	13	105	19	15	139	79	219	20	55	17	14	106	22	14	142	77	237	24	62	23	16	125	20	19	164	73	244	22	63	24	23	132	22	16	170	74
486	2	estab.	2495	20	57	15	22	114	55	59	228	2267	2550	16	55	21	16	108	56	50	214	2336	2802	20	55	17	14	106	58	45	209	2593	2785	24	62	23	16	125	55	64	244	2541	2701	22	63	24	23	132	59	79	270	2431
486	2	empl.	49406	         [a]	         [c]	         [b]	221	432	710	1351	2493	46913	48149	0	106	124	178	408	703	1808	2919	45230	52960	0	118	103	184	405	778	1208	2391	50569	50923	0	132	154	214	500	666	1796	2962	47961	50362	0	137	144	307	588	681	1542	2811	47551
486	2	ann. pay.	2847842	         (D)	         (D)	         (D)	12011	23263	40015	73461	136739	2711103	3032689	6600	3973	5616	9125	25314	37487	79715	142516	2890173	3828583	4864	5864	6143	11300	28171	41036	57350	126557	3702026	3880306	2304	7026	9944	13627	32901	38643	81784	153328	3726978	3915471	11372	8070	7815	15589	42846	47618	97065	187529	3727942
486	2	rec.																																									45053289	168035	130418	132756	745693	1176902	997794	874340	3049036	42004253
487	2	firms	2275	637	935	279	193	2044	168	40	2252	23	2190	534	967	267	193	1961	168	41	2170	20	2174	533	951	245	203	1932	183	38	2153	21	2304	581	1013	260	217	2071	174	39	2284	20	2429	747	1031	233	190	2201	177	35	2413	16
487	2	estab.	2353	637	936	281	195	2049	177	56	2282	71	2267	534	967	270	196	1967	181	55	2203	64	2254	533	953	247	207	1940	196	52	2188	66	2380	581	1015	262	221	2079	187	51	2317	63	2503	747	1033	233	195	2208	193	48	2449	54
487	2	empl.	23076	         [a]	         [g]	         [g]	2599	6113	5978	5411	17502	5574	22877	0	1814	1763	2579	6156	6281	5165	17602	5275	23612	0	1817	1599	2724	6140	6765	4961	17866	5746	23414	0	1904	1659	2950	6513	6430	5145	18088	5326	19333	0	1943	1539	2497	5979	6319	3745	16043	3290
487	2	ann. pay.	511991	         (D)	         (D)	         (D)	56614	153487	119569	115021	388077	123914	540702	18065	44067	41336	48977	152445	135016	125611	413072	127630	583464	25385	47693	37636	51853	162567	150791	123185	436543	146921	556806	17095	51569	37827	61601	168092	139899	108723	416714	140092	497481	26055	51214	38240	56988	172497	152118	89320	413935	83546
487	2	rec.																																									1762260	127203	227434	135098	192748	682483	544746	296328	1523557	238703
488	2	firms	25586	3045	11695	4926	2969	22635	2185	480	25300	286	25464	2697	11768	4928	3054	22447	2256	462	25165	299	25521	2816	11560	4959	3027	22362	2365	499	25226	295	25774	2762	11709	5040	3066	22577	2410	489	25476	298	26501	3083	12195	5073	3040	23391	2339	458	26188	313
488	2	estab.	31464	3049	11785	5026	3301	23161	3173	2060	28394	3070	31392	2703	11812	5018	3348	22881	3174	2037	28092	3300	31440	2817	11599	5057	3292	22765	3277	1969	28011	3429	31876	2775	11747	5156	3298	22976	3244	1839	28059	3817	33342	3083	12220	5175	3312	23790	3413	2057	29260	4082
488	2	empl.	421759	0	25235	32318	39168	96721	78245	68464	243430	178329	440175	0	25397	32356	40430	98183	81759	68521	248463	191712	472372	0	25067	32458	40047	97572	84861	72218	254651	217721	484611	0	25209	32919	40750	98878	87269	74671	260818	223793	475466	0	26229	33116	40368	99713	83360	64782	247855	227611
488	2	ann. pay.	13841475	174040	712345	907742	1154857	2948984	2461018	2246619	7656621	6184854	14915625	150793	729904	930890	1227574	3039161	2596987	2371889	8008037	6907588	16506967	156860	748363	976185	1247957	3129365	2839226	2537729	8506320	8000647	17098170	156488	755863	986479	1292850	3191680	2958668	2559934	8710282	8387888	17553387	269010	791581	1027686	1330112	3418389	2964101	2470388	8852878	8700509
488	2	rec.																																									60079175	1423353	4168212	4190203	4750181	14531949	9708488	7525920	31766357	28312818
492	2	firms	7600	1213	3523	1101	749	6586	810	163	7559	41	7745	1170	3774	1036	749	6729	815	157	7701	44	7910	1241	3776	1126	777	6920	793	155	7868	42	8274	1292	4064	1144	787	7287	807	143	8237	37	8385	1431	4151	1118	754	7454	770	122	8346	39
492	2	estab.	11723	1213	3530	1103	760	6606	967	406	7979	3744	11938	1170	3779	1036	764	6749	942	419	8110	3828	12297	1241	3782	1132	798	6953	923	404	8280	4017	12855	1292	4071	1159	804	7326	936	381	8643	4212	13173	1431	4154	1121	786	7492	967	338	8797	4376
492	2	empl.	539567	0	6696	7194	10197	24087	31571	25969	81627	457940	578368	0	7128	6774	10007	23909	30801	25400	80110	498258	619313	0	7071	7326	10695	25092	30840	25396	81328	537985	577575	0	7651	7470	10770	25891	31187	23105	80183	497392	553250	0	7824	7312	10151	25287	29325	17797	72409	480841
492	2	ann. pay.	15292256	35702	134334	142608	197093	509737	590821	515165	1615723	13676533	16725960	43378	149502	142388	210342	545610	609043	522239	1676892	15049068	17399431	49161	152229	164824	230437	596651	646408	543545	1786604	15612827	17815332	47323	165609	166144	241599	620675	635634	524549	1780858	16034474	17189319	42324	167784	172834	231176	614118	632194	414814	1661126	15528193
492	2	rec.																																									58881643	195598	898212	752028	878293	2724131	2022157	1360858	6107146	52774497
493	2	firms	4389	420	1453	711	628	3212	760	284	4256	133	4496	442	1557	712	588	3299	768	293	4360	136	4567	429	1573	763	608	3373	776	280	4429	138	4758	405	1746	790	597	3538	797	282	4617	141	4917	525	1688	782	672	3667	788	285	4740	177
493	2	estab.	6718	423	1455	729	689	3296	1098	808	5202	1516	6954	448	1558	726	650	3382	1074	802	5258	1696	7123	433	1575	785	651	3444	1098	763	5305	1818	7185	406	1755	809	652	3622	1127	825	5574	1611	7629	532	1692	804	749	3777	1214	803	5794	1835
493	2	empl.	119500	0	3226	4605	8184	16015	27012	30942	73969	45531	128606	0	3390	4749	7773	15912	26014	32233	74159	54447	135898	0	3397	5069	8112	16578	27716	31074	75368	60530	145266	0	3820	5226	7996	17042	28631	33249	78922	66344	149409	0	3706	5114	8906	17726	28486	31009	77221	72188
493	2	ann. pay.	3372724	30010	74926	118478	213032	436446	741896	848677	2027019	1345705	3657871	32309	79453	123055	220757	455574	745897	921960	2123431	1534440	4035337	33605	80408	135205	227862	477080	816778	911142	2205000	1830337	4393140	40381	97696	139797	230354	508228	853902	975923	2338053	2055087	4613184	39204	93228	146403	265041	543876	882055	959620	2385551	2227633
493	2	rec.																																									17808341	185305	552335	711828	1095283	2544751	3145828	3260599	8951178	8857163
511	2	firms	27726	2858	11261	4982	3625	22726	3600	907	27233	493	26464	2660	10746	4635	3528	21569	3502	886	25957	507	25773	2509	10298	4533	3362	20702	3616	910	25228	545	25117	2355	10117	4362	3281	20115	3551	904	24570	547	24761	2660	10186	4288	2996	20130	3274	839	24243	518
511	2	estab.	33429	2860	11274	5017	3689	22840	4048	2091	28979	4450	32377	2673	10761	4661	3577	21672	3905	1973	27550	4827	32545	2530	10316	4559	3412	20817	4004	1957	26778	5767	32111	2359	10125	4399	3342	20225	3914	2005	26144	5967	32577	2662	10204	4330	3125	20321	4048	2078	26447	6130
511	2	empl.	1011110	0	24144	33045	48946	106135	140825	150518	397478	613632	1004697	0	22810	30603	47735	101148	139276	148084	388508	616189	1080664	0	21979	30036	45717	97732	144939	160771	403442	677222	1100931	0	21475	28949	44683	95107	144103	161174	400384	700547	1019976	0	21630	28527	40838	90995	129203	146527	366725	653251
511	2	ann. pay.	49764177	164828	801738	1086376	1853548	3906490	6079987	7502614	17489091	32275086	54516491	207354	792283	1061818	1888668	3950123	6545400	8429166	18924689	35591802	75347574	241871	753598	1065305	1866301	3927075	7246033	10348166	21521274	53826300	68980747	214732	755322	1048002	1800991	3819047	6849754	8960820	19629621	49351126	60591598	225993	773629	1052643	1715838	3768103	6493238	8035055	18296396	42295202
511	2	rec.																																									228499527	732720	2740168	3158149	4753763	11384800	17211198	23476420	52072418	176427109
512	2	firms	18596	4315	8997	2411	1437	17160	1115	191	18466	130	18497	4106	9057	2388	1516	17067	1116	191	18374	123	18446	4076	9045	2374	1490	16985	1142	203	18330	116	18821	4153	9338	2392	1422	17305	1204	196	18705	116	19129	4510	9680	2163	1382	17735	1085	199	19019	110
512	2	estab.	23175	4323	9013	2448	1508	17292	1469	759	19520	3655	23102	4120	9075	2426	1585	17206	1427	708	19341	3761	22899	4084	9078	2400	1571	17133	1441	703	19277	3622	22782	4156	9364	2427	1493	17440	1460	713	19613	3169	23021	4510	9700	2195	1454	17859	1426	734	20019	3002
512	2	empl.	281713	0	17002	15738	18982	51722	39841	29210	120773	160940	293369	0	17071	15426	20254	52751	41018	29887	123656	169713	304204	0	17168	15469	20123	52760	42080	32738	127578	176626	297143	0	17463	15555	19187	52205	44099	31434	127738	169405	278399	0	17927	14062	18568	50557	39175	32003	121735	156664
512	2	ann. pay.	10137497	559495	1201801	608743	687537	3057576	1344666	1034897	5437139	4700358	10531411	559713	1199301	553774	785363	3098151	1486189	1038512	5622852	4908559	11736136	562000	1192050	600306	775493	3129849	1709649	1144166	5983664	5752472	11986269	569118	1233851	602108	741440	3146517	1890459	986207	6023183	5963086	11700025	579338	1260146	581801	803172	3224457	1611492	1086707	5922656	5777369
512	2	rec.																																									73280977	1844014	3831571	2501147	3144438	11321170	6297127	3671385	21289682	51991295
513	2	firms	17151	2809	5584	2903	2601	13897	2402	556	16855	296	17628	2703	6135	2991	2527	14356	2407	554	17317	311	18137	2729	6457	3078	2522	14786	2440	565	17791	346	17641	2421	6349	3007	2535	14312	2386	577	17275	366	17013	2411	6376	2800	2330	13917	2228	523	16668	345
513	2	estab.	47240	2829	5605	2971	2764	14169	3368	1980	19517	27723	50852	2743	6170	3034	2674	14621	3243	1992	19856	30996	54971	2759	6486	3126	2674	15045	3152	1951	20148	34823	59675	2444	6376	3071	2706	14597	3041	1926	19564	40111	58712	2417	6389	2859	2555	14220	3246	2016	19482	39230
513	2	empl.	1462701	0	12013	19586	35059	66658	92340	93507	252505	1210196	1504242	0	12988	20068	34103	67159	91382	91856	250397	1253845	1631832	0	13871	20676	34021	68568	94752	95028	258348	1373484	1777015	0	13608	20127	34291	68026	93668	94823	256517	1520498	1698408	0	13507	18788	31422	63717	85950	84308	233975	1464433
513	2	ann. pay.	69681412	270430	347615	484285	909083	2011413	2986934	3819785	8818132	60863280	76010594	309973	416169	586084	968315	2280541	3333414	4062829	9676784	66333810	88765942	676754	471772	656401	1078081	2883008	3836697	5186658	11906363	76859579	93959893	310265	476923	592663	1052169	2432020	3701877	4544973	10678870	83281023	87612842	213206	450146	555449	969951	2188752	3503505	4031889	9724146	77888696
513	2	rec.																																									477413344	1298164	2601195	2772260	4318281	10989900	14961013	18666340	44617253	432796091
514	2	firms	12211	2217	4921	1879	1259	10276	1290	334	11900	311	14851	3584	5634	2087	1390	12695	1444	371	14510	341	17607	3738	6617	2614	1850	14819	1932	481	17232	375	16275	2343	6735	2540	1817	13435	1930	519	15884	391	17137	2747	7435	2570	1776	14528	1744	467	16739	398
514	2	estab.	16791	2231	4924	1896	1296	10347	1540	723	12610	4181	20179	3612	5636	2099	1440	12787	1672	789	15248	4931	23175	3756	6627	2633	1902	14918	2184	863	17965	5210	22725	2351	6744	2549	1867	13511	2191	892	16594	6131	24280	2749	7437	2581	1862	14629	2217	952	17798	6482
514	2	empl.	386500	0	10116	12355	16852	39323	47807	45307	132437	254063	432222	0	11553	13696	18600	43849	54147	52934	150930	281292	529031	0	13890	17098	24690	55678	76530	74935	207143	321888	579609	0	13896	16653	24293	54842	75711	79805	210358	369251	539337	0	15120	16921	23585	55626	64980	60962	181568	357769
514	2	ann. pay.	17241603	159785	296489	337323	513355	1306952	1667007	2168292	5142251	12099352	29223860	584733	397530	447013	642552	2071828	2323905	2900632	7296365	21927495	33544148	621266	552939	698431	1093545	2966181	3972844	5501092	12440117	21104031	32197317	243074	467001	549955	946624	2206654	3419726	4228410	9854790	22342527	28172534	220430	521146	583844	922088	2247508	3027503	3262698	8537709	19634825
514	2	rec.																																									90910435	886754	2039651	1860503	2619491	7406399	7951795	8973890	24332084	66578351
521	2	firms	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12	17	4	0	1	0	5	0	0	5	12	23	5	2	1	0	8	0	2	10	13	27	2	6	1	4	13	1	1	15	12	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12
521	2	estab.	41	0	0	0	0	0	0	0	0	41	46	4	0	1	0	5	0	0	5	41	62	5	2	1	0	8	0	12	20	42	74	2	6	1	4	13	1	3	17	57	58	0	0	0	0	0	0	0	0	58
521	2	empl.	21456	0	0	0	0	0	0	0	0	21456	22329	[a]	0	[a]	0	[a]	0	0	[a]	[j]	22337	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [j]	23552	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [j]	23367	0	0	0	0	0	0	0	0	23367
521	2	ann. pay.	963924	0	0	0	0	0	0	0	0	963924	1018731	(D)	0	(D)	0	(D)	0	0	(D)	(D)	1083947	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	1234656	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1304200	0	0	0	0	0	0	0	0	1304200
521	2	rec.																																									28909454	0	0	0	0	0	0	0	0	28909454
522	2	firms	53721	6230	21490	8260	6154	42134	8650	2190	52974	747	54675	5749	22266	8555	6360	42930	8767	2210	53907	768	54499	5794	22854	8444	6074	43166	8387	2193	53746	753	55886	6525	23399	8583	6081	44588	8313	2242	55143	743	58662	7287	24662	8787	6320	47056	8367	2427	57850	812
522	2	estab.	173159	6262	21576	8670	7873	44381	22676	20313	87370	85789	173807	5808	22365	8955	7897	45025	21853	20689	87567	86240	176279	5857	23008	8867	7515	45247	20456	20562	86265	90014	180764	6549	23514	8993	7426	46482	19935	21803	88220	92544	196160	7340	24741	9224	8381	49686	23791	25251	98728	97432
522	2	empl.	2688270	0	47689	54335	83832	185856	365213	379923	930992	1757278	2780756	0	[k]	[l]	86151	191358	371036	386217	948611	1832145	2753190	0	         [k]	         [l]	82213	187123	355551	382471	925145	1828045	2917625	0	         [l]	         [l]	82599	189835	353239	392304	935378	1982247	3006084	0	53106	57745	85568	196419	352232	417536	966187	2039897
522	2	ann. pay.	105042896	380973	1387867	1760595	2823889	6353324	11766320	13415760	31535404	73507492	112584412	324303	(D)	(D)	2783218	6142352	11832114	13491186	31465652	81118760	116059963	508267	         (D)	         (D)	2742847	6394488	11585480	13801451	31781419	84278544	130447365	384704	         (D)	         (D)	3244122	7378482	12812305	15438948	35629735	94817630	136261281	693928	1866309	2250223	3544453	8354913	13570690	17445099	39370702	96890579
522	2	rec.																																									1030210082	3349995	9066222	8747393	14839505	36003115	65806303	117657393	219466811	810743271
523	2	firms	40648	7257	23295	4697	2281	37530	1882	609	40021	627	41333	7070	23737	4959	2363	38129	1952	633	40714	619	43665	7827	24651	5260	2548	40286	2148	632	43066	599	46202	7620	26824	5531	2751	42726	2248	636	45610	592	48121	8528	28048	5384	2578	44538	2197	716	47451	670
523	2	estab.	63878	7263	23376	4873	2542	38054	2647	1469	42170	21708	66353	7089	23815	5123	2573	38600	2663	1479	42742	23611	72929	7842	24737	5392	2746	40717	2845	1456	45018	27911	76918	7641	26905	5649	2970	43165	2900	1409	47474	29444	81690	8534	28129	5539	2869	45071	3074	1755	49900	31790
523	2	empl.	724247	0	43363	29957	29601	102921	65199	62737	230857	493390	780061	0	44478	31638	30905	107021	67172	62364	236557	543504	866222	0	46548	33755	33595	113898	74847	66046	254791	611431	947060	0	50333	35357	35912	121602	79445	65931	266978	680082	1008867	0	52016	34426	33377	119819	73465	62996	256280	752587
523	2	ann. pay.	83445914	697526	2404745	2418211	3046262	8566744	7319529	7132163	23018436	60427478	92945562	762610	2512022	2744514	3365014	9384160	7925824	8192639	25502623	67442939	119531356	1163714	2825138	2985055	3951307	10925214	9932782	11378830	32236826	87294530	125028086	721472	2789643	2900340	3938961	10350416	10554940	9965759	30871115	94156971	115113130	685827	2869136	2790407	3571650	9917020	9842803	10255230	30015053	85098077
523	2	rec.																																									367487329	2974179	11161403	7497063	9291070	30923715	24730206	25361102	81015023	286472306
524	2	firms	127760	11621	83871	18558	7193	121243	4744	1016	127003	757	127411	10995	83943	18637	7232	120807	4790	1031	126628	783	128460	12749	83234	18721	7172	121876	4742	1077	127695	765	127971	11452	83758	18992	7194	121396	4744	1074	127214	757	129959	12781	84181	19215	7156	123333	4711	1118	129162	797
524	2	estab.	173658	11634	84020	19217	8667	123538	7914	3866	135318	38340	176136	11045	84102	19271	8559	122977	7803	3526	134306	41830	172195	12784	83462	19334	8437	124017	7477	3552	135046	37149	164832	11474	83943	19586	8374	123377	7375	3586	134338	30494	168976	12797	84288	19707	8339	125131	7926	4663	137720	31256
524	2	empl.	2312394	0	170059	117953	94306	382318	172110	155989	710417	1601977	2345952	0	171159	118512	94663	384334	175814	159095	719243	1626709	2290162	0	170223	118547	93745	382515	172785	164733	720033	1570129	2326133	0	171852	120099	94186	386137	172913	165555	724605	1601528	2342005	0	173958	121644	93461	389063	170332	164564	723959	1618046
524	2	ann. pay.	99338014	408799	4131641	3729284	3617024	11886748	7532273	6640302	26059323	73278691	104816285	460900	4288158	3817974	3779494	12346526	7833621	6958025	27138172	77678113	108073377	469262	4458095	3954336	3848260	12729953	8074175	7532990	28337118	79736259	114759420	426762	4702021	4166172	4074915	13369870	8661464	7962106	29993440	84765980	117625443	536048	4903689	4353822	4264233	14057792	9068738	8374390	31500920	86124523
524	2	rec.																																									1312063818	2504994	20615620	13586685	12465169	49172468	36457940	74446686	160077094	1151986724
525	2	firms	1012	296	439	88	34	857	55	42	954	58	1262	357	567	107	46	1077	75	47	1199	63	1548	410	718	141	72	1341	94	48	1483	65	1668	399	836	136	104	1475	86	49	1610	58	2531	561	1355	227	127	2270	116	65	2451	80
525	2	estab.	1680	296	440	93	36	865	71	153	1089	591	1995	360	568	112	46	1086	91	195	1372	623	2262	410	718	143	74	1345	111	137	1593	669	2440	399	838	138	107	1482	96	168	1746	694	3538	561	1358	232	132	2283	161	186	2630	908
525	2	empl.	23972	0	807	527	497	1831	1821	4717	8369	15603	36076	[a]	[g]	[f]	618	[g]	2759	6686	[j]	[j]	31515	         [a]	         [g]	         [f]	960	         [h]	3684	         [i]	         [j]	         [j]	34030	         [a]	         [g]	         [f]	         [g]	         [h]	         [h]	         [i]	         [j]	         [j]	34260	0	2444	1460	1629	5533	4316	7018	16867	17393
525	2	ann. pay.	1218095	33642	32095	40492	54035	160264	153620	316480	630364	587731	1880198	(D)	(D)	(D)	38055	(D)	358042	409310	(D)	(D)	2056809	         (D)	         (D)	         (D)	80469	         (D)	372189	         (D)	         (D)	         (D)	2100292	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2352222	56791	128675	146961	208939	541366	399322	479111	1419799	932423
525	2	rec.																																									23281761	1118708	1194989	900039	2138582	5352318	4478497	5609764	15440579	7841182
531	2	firms	203609	28650	129278	25083	10917	193928	7253	1602	202783	826	205620	28448	130673	25503	11160	195784	7372	1661	204817	803	209260	30189	131720	25751	11357	199017	7733	1709	208459	801	212958	30741	134169	26261	11361	202532	7890	1748	212170	788	226318	37127	140417	26633	11703	215880	7844	1778	225502	816
531	2	estab.	227217	28741	129623	25977	12785	197126	11895	6753	215774	11443	231337	28525	131020	26344	12794	198683	11848	6512	217043	14294	234949	30304	132095	26471	12916	201786	11815	7118	220719	14230	241115	30813	134534	26977	12810	205134	11999	7579	224712	16403	257195	37134	140678	27501	13479	218792	13017	8366	240175	17020
531	2	empl.	1197532	0	240721	160277	141765	542763	258284	187328	988375	209157	1225995	0	244117	162796	145284	552197	260951	201146	1014294	211701	1279547	0	246984	165009	147750	559743	277355	218280	1055378	224169	1335298	0	250138	168132	148144	566414	283940	228565	1078919	256379	1351973	0	265845	170901	152453	589199	281363	231730	1102292	249681
531	2	ann. pay.	34392583	1031500	5432576	3891337	3804277	14159690	7108066	5492919	26760675	7631908	36593436	1033864	5777996	4124252	3996282	14932394	7604490	6138243	28675127	7918309	40393716	1161733	6072296	4350360	4243679	15828068	8406947	7037749	31272764	9120952	44422141	1208225	6494233	4722398	4468308	16893164	8870066	7656051	33419281	11002860	45772548	1430421	6882009	4987139	4780271	18079840	9107263	7917258	35104361	10668187
531	2	rec.																																									236657346	8692915	49687831	29436759	25004676	112822181	37429110	28498122	178749413	57907933
532	2	firms	37034	4740	16646	7295	4273	32954	3055	617	36626	408	35392	4369	16058	6983	4070	31480	2927	575	34982	410	33472	4099	15047	6528	3941	29615	2852	594	33061	411	32726	4072	14669	6351	3796	28888	2869	588	32345	381	31575	4281	13905	6050	3762	27998	2625	580	31203	372
532	2	estab.	63109	4757	16702	7507	5081	34047	6638	3512	44197	18912	64644	4451	16184	7240	4810	32685	6075	3449	42209	22435	63174	4138	15146	6769	4669	30722	5502	3241	39465	23709	63759	4110	14758	6612	4440	29920	5377	3414	38711	25048	63645	4343	13937	6222	4456	28958	5340	3475	37773	25872
532	2	empl.	592605	0	36488	47631	55705	139824	101927	63690	305441	287164	621916	0	34800	45578	53138	133516	99785	60644	293945	327971	636037	0	32337	42708	51591	126636	96366	63315	286317	349720	652714	0	31409	41659	49777	122845	98027	63749	284621	368093	641322	0	30230	39499	49531	119260	87794	61361	268415	372907
532	2	ann. pay.	14347852	165580	698663	867527	1201456	2933226	2564529	1755636	7253391	7094461	16041736	212262	704085	892577	1212629	3021553	2593599	1725693	7340845	8700891	17192735	234682	705439	891929	1250625	3082675	2607935	1903530	7594140	9598595	17966347	166685	718954	920990	1276331	3082960	2718962	1970325	7772247	10194100	18021909	169550	685952	900248	1276630	3032380	2528918	1886796	7448094	10573815
532	2	rec.																																									98997720	956602	4031522	4178225	5491855	14658204	11316696	9896451	35871351	63126369
533	2	firms	1991	300	899	248	168	1615	147	68	1830	161	1952	250	923	245	162	1580	150	69	1799	153	1907	224	917	217	172	1530	164	65	1759	148	2027	292	928	254	169	1643	179	64	1886	141	2077	342	885	227	190	1644	200	63	1907	170
533	2	estab.	2124	300	900	259	179	1638	165	87	1890	234	2099	253	928	254	169	1604	165	101	1870	229	2054	224	923	224	181	1552	174	101	1827	227	2129	292	930	257	178	1657	190	82	1929	200	2184	342	887	233	199	1661	213	77	1951	233
533	2	empl.	22591	0	1726	1630	2089	5445	4597	4200	14242	8349	25881	0	1804	1561	2081	5446	4972	5004	15422	10459	26462	0	1799	1368	2198	5365	5622	5178	16165	10297	25661	0	1820	1631	2142	5593	6173	5601	17367	8294	24052	0	1721	1466	2525	5712	6403	4208	16323	7729
533	2	ann. pay.	1147607	23316	77722	68517	96194	265749	214922	205277	685948	461659	1460088	36976	86163	70166	91337	284642	307375	264572	856589	603499	1625641	21355	86047	71296	98307	277005	393236	301845	972086	653555	1621052	26011	91574	85108	93579	296272	350277	319848	966397	654655	1446754	36688	76241	68940	116192	298061	381167	259760	938988	507766
533	2	rec.																																									14894889	208191	816023	267815	434543	1726572	2291438	1026755	5044765	9850124
541	2	firms	641621	96052	362486	93638	49272	601448	32770	5240	639458	2163	654464	95185	369819	95545	51261	611810	34973	5415	652198	2266	670099	101790	371642	98278	53176	624886	37054	5812	667752	2347	682278	99441	381588	99645	54576	635250	38425	6178	679853	2425	708000	112810	394497	99931	54581	661819	37592	6103	705514	2486
541	2	estab.	687992	96102	362779	94431	51433	604745	42080	14570	661395	26597	704779	95387	370136	96315	53285	615123	43817	14740	673680	31099	722698	101935	371994	99070	55217	628216	45377	15633	689226	33472	736454	99540	381988	100481	56515	638524	46326	16013	700863	35591	772365	112880	394719	100741	57210	665550	49020	17204	731774	40591
541	2	empl.	6052365	0	697631	609665	653036	1960332	1210239	840861	4011432	2040933	6432422	0	710573	622465	680510	2013548	1296897	879193	4189638	2242784	6816216	0	715763	640070	706137	2061970	1383599	962674	4408243	2407973	7156579	0	734101	649577	726768	2110446	1444537	1034036	4589019	2567560	7046205	0	761339	652247	725647	2139233	1392001	991770	4523004	2523201
541	2	ann. pay.	277676568	4828230	23908940	22048483	27040826	77826479	59211329	42538851	179576659	98099909	311238501	5328055	25468046	23292034	29179029	83267164	65866060	46471196	195604420	115634081	362008229	6472194	26729616	25096627	31763462	90061899	75082116	58381734	223525749	138482480	374409080	5628546	27601853	25551817	32937847	91720063	77270083	60716915	229707061	144702019	368778137	6121324	28213893	26403647	33437505	94176369	75586019	57920750	227683138	141094999
541	2	rec.																																									944065638	19952768	95612258	72560946	81978097	270104069	170494273	129881263	570479605	373586033
551	2	firms	26419	1418	3223	774	1080	6495	5785	7577	19857	6562	26873	1394	3742	841	1149	7126	5527	7607	20260	6613	26762	1245	3988	877	1152	7262	5340	7489	20091	6671	26794	1197	3927	912	1151	7187	5258	7651	20096	6698	28229	1033	3906	899	1296	7134	6043	8328	21505	6724
551	2	estab.	43681	1422	3231	792	1106	6551	6056	8616	21223	22458	46528	1398	3758	856	1162	7174	5740	8665	21579	24949	47387	1252	4004	887	1179	7322	5535	8487	21344	26043	47559	1199	3941	922	1171	7233	5479	8678	21390	26169	49383	1033	3925	924	1354	7236	6337	9401	22974	26409
551	2	empl.	2703799	0	5276	3834	6961	16071	66261	221967	304299	2399500	2788276	0	5783	4262	7538	17583	66178	229905	313666	2474610	2873521	0	6314	4452	8114	18880	66768	221993	307641	2565880	2879223	0	6274	4542	8138	18954	69003	237516	325473	2553750	2913798	0	6458	4618	8981	20057	76984	280390	377431	2536367
551	2	ann. pay.	175648657	290881	251821	221965	375672	1140339	2982466	10857683	14980488	160668169	192378035	422066	259826	291846	435004	1408742	3157343	11834393	16400478	175977557	211361063	519510	339608	386622	504106	1749846	3369774	11775224	16894844	194466219	213123787	446687	426315	346706	459269	1678977	3506076	12782834	17967887	195155900	204802311	167800	312772	292588	552850	1326010	3878867	14690143	19895020	184907291
551	2	rec.																																									312884523	1773283	5082714	2084373	1871898	10812268	9473077	27879680	48165025	264719498
561	2	firms	288762	50454	132446	45411	26268	254579	24042	7345	285966	2796	285898	44663	134035	45563	27001	251262	24326	7342	282930	2968	286393	45061	131794	46148	27606	250609	25147	7535	283291	3102	294974	47742	136093	46455	27991	258281	26022	7578	291881	3093	275183	52388	122200	40867	25065	240520	24271	7364	272155	3028
561	2	estab.	334174	50502	132538	45641	27043	255724	27609	13014	296347	37827	334101	44806	134122	45839	27783	252550	27598	12878	293026	41075	335515	45208	131902	46455	28361	251926	28176	13107	293209	42306	345916	47812	136235	46774	28717	259538	28956	12875	301369	44547	325846	52413	122282	41130	25843	241668	28111	13715	283494	42352
561	2	empl.	7487633	0	272931	296734	349931	919596	959319	1320751	3199666	4287967	8079349	0	275588	298033	360422	934043	977647	1321825	3233515	4845834	8846617	0	272226	301569	368832	942627	1012083	1381733	3336443	5510174	8761451	0	278451	304069	374639	957159	1042240	1376027	3375426	5386025	7998637	0	255015	266624	336498	858137	966580	1307527	3132244	4866393
561	2	ann. pay.	154176518	2229206	6146367	6342669	7821841	22540083	21025156	25103924	68669163	85507355	173116039	2367419	6646107	6797883	8508087	24319496	22635260	26659842	73614598	99501441	199746258	3470476	6815630	7216300	9221493	26723899	25106231	29224473	81054603	118691655	210071758	2805110	7233821	7512303	9715748	27266982	26393957	30165006	83825945	126245813	200554360	3128985	6235728	6589614	8934600	24888927	25271082	29821566	79981575	120572785
561	2	rec.																																									409237061	9426908	23407937	20211603	24395838	77442286	56870752	56673120	190986158	218250903
562	2	firms	14162	1597	6137	2642	1814	12190	1625	235	14050	112	13537	1388	5974	2570	1724	11656	1529	236	13421	116	12999	1306	5628	2545	1682	11161	1486	232	12879	120	13591	1319	5872	2626	1771	11588	1630	253	13471	120	14184	1471	6120	2745	1861	12197	1616	258	14071	113
562	2	estab.	16960	1599	6142	2650	1857	12248	1836	562	14646	2314	16300	1390	5976	2579	1767	11712	1712	559	13983	2317	16013	1308	5632	2560	1714	11214	1623	506	13343	2670	16749	1319	5873	2630	1801	11623	1755	537	13915	2834	17698	1472	6122	2750	1903	12247	1839	612	14698	3000
562	2	empl.	287400	0	13115	17504	24459	55078	60881	32658	148617	138783	287174	0	12735	17032	23224	52991	57609	32669	143269	143905	291483	0	12105	16750	22795	51650	55773	33605	141028	150455	300536	0	12692	17336	23878	53906	60997	35356	150259	150277	300580	0	13566	18009	24954	56529	59245	37530	153304	147276
562	2	ann. pay.	9530891	62375	296304	436050	678135	1472864	1915163	1155041	4543068	4987823	9984152	67803	300089	434642	663122	1465656	1846572	1128100	4440328	5543824	10534805	72066	299111	441411	668974	1481562	1876393	1184204	4542159	5992646	11314198	67307	325954	484355	745605	1623221	2070947	1365308	5059476	6254722	11635017	97437	356882	511177	787899	1753395	2106540	1462419	5322354	6312663
562	2	rec.																																									48203744	483955	1678128	1960283	2826102	6948468	7258570	5153436	19360474	28843270
611	2	firms	58468	7268	21223	8718	7140	44349	10587	2606	57542	926	59611	7030	21650	8872	7291	44843	11069	2748	58660	951	60934	7203	21746	9025	7532	45506	11558	2890	59954	980	63690	7660	22830	9449	7905	47844	11887	2970	62701	989	65933	8648	23108	9537	8179	49472	12379	3071	64922	1011
611	2	estab.	64902	7277	21253	8794	7386	44710	12102	4998	61810	3092	66492	7097	21679	8954	7509	45239	12496	5210	62945	3547	68014	7221	21790	9116	7724	45851	12911	5394	64156	3858	70878	7669	22864	9554	8116	48203	13022	5653	66878	4000	73701	8650	23127	9595	8414	49786	13925	5604	69315	4386
611	2	empl.	2323817	0	43618	57672	98001	199291	441153	452343	1092787	1231030	2431718	0	44343	58873	99857	203073	461111	479031	1143215	1288503	2532324	0	44883	60259	103336	208478	481276	503454	1193208	1339116	2612430	0	46689	62721	108304	217714	499234	520133	1237081	1375349	2701675	0	48193	63413	112089	223695	516135	535272	1275102	1426573
611	2	ann. pay.	52287365	265761	883212	951012	1666145	3766130	8369404	9801711	21937245	30350120	56871035	316878	946478	1020663	1769246	4053265	9068402	10803640	23925307	32945728	61923347	354906	994180	1089865	1943473	4382424	9844823	11911498	26138745	35784602	67097541	338689	1081348	1201160	2053830	4675027	10722174	12870172	28267373	38830168	71961852	360646	1066729	1185295	2182417	4795087	11451880	13794180	30041147	41920705
611	2	rec.																																									180278839	1325186	4221488	3591431	5710239	14848344	26766438	33150291	74765073	105513766
621	2	firms	400749	31587	193169	102191	44500	371447	23845	3979	399271	1478	398121	31409	189569	102356	45272	368606	24047	3969	396622	1499	403638	34591	186748	103767	47523	372629	25377	4106	402112	1526	409832	34613	187501	105710	49547	377371	26638	4264	408273	1559	424694	38796	191396	108056	52088	390336	27991	4699	423026	1668
621	2	estab.	458396	31724	193729	103902	48335	377690	34767	15340	427797	30599	455726	31696	190160	104025	48841	374722	34350	15558	424630	31096	459414	34826	187346	105344	50877	378393	35268	15935	429596	29818	466914	34781	188169	107179	52782	382911	35963	16315	435189	31725	487747	38874	191776	109450	55995	396095	41650	19182	456927	30820
621	2	empl.	4482362	0	439045	666587	580941	1686573	871017	629158	3186748	1295614	4466133	0	430617	668824	591849	1691290	878361	625219	3194870	1271263	4566196	0	424873	679036	621602	1725511	935483	657187	3318181	1248015	4736631	0	425560	693224	648934	1767718	981047	686307	3435072	1301559	4917156	0	437137	710299	682110	1829546	1029355	751711	3610612	1306544
621	2	ann. pay.	164309975	2511601	17571171	24279778	24890173	69252723	36356653	19483828	125093204	39216771	169988142	2352549	17669251	24924494	25871779	70818073	38573531	20406806	129798410	40189732	179852113	2406844	17903254	25803595	27791280	73904973	42515717	22255210	138675900	41176213	195440247	2418234	18729957	27133954	29681752	77963897	46683416	24885711	149533024	45907223	208136533	2763649	18935513	28291108	31400791	81391061	49610080	28342195	159343336	48793197
621	2	rec.																																									505690644	8651087	59173899	71796157	68251942	207873085	102569690	63917109	374359884	131330760
622	2	firms	4364	109	60	24	21	214	464	1723	2401	1963	4323	125	84	38	45	292	446	1657	2395	1928	4370	127	130	55	52	364	448	1663	2475	1895	4434	147	178	80	60	465	473	1609	2547	1887	4548	210	225	110	92	637	487	1590	2714	1834
622	2	estab.	6964	114	61	24	21	220	477	1773	2470	4494	6969	127	84	39	45	295	459	1710	2464	4505	7087	132	132	55	56	375	460	1740	2575	4512	7138	147	180	80	60	467	476	1679	2622	4516	7569	210	225	116	100	651	513	1725	2889	4680
622	2	empl.	5011337	0	126	155	279	560	31675	418325	450560	4560777	5000531	0	176	231	603	1010	30407	407100	438517	4562014	5014641	0	273	365	690	1328	29954	408873	440155	4574486	5085005	0	361	554	819	1734	30797	391963	424494	4660511	5121584	0	433	721	1220	2374	30243	389501	422118	4699466
622	2	ann. pay.	160869112	478354	9626	7910	10652	506542	714715	11125819	12347076	148522036	163440600	120276	6785	14379	31460	172900	728770	10988836	11890506	151550094	170050765	402727	11700	17270	23204	454901	741566	11490876	12687343	157363422	180902707	120418	17594	26601	30270	194883	813189	11536154	12544226	168358481	195097359	126239	23164	38725	77882	266010	854431	12253169	13373610	181723749
622	2	rec.																																									499145896	596554	305355	155614	271975	1329498	2509443	29113116	32952057	466193839
623	2	firms	32449	3064	7198	3727	3670	17659	8090	5631	31380	1069	32256	2401	7479	3864	3665	17409	8180	5611	31200	1056	32162	2430	7294	3796	3712	17232	8247	5569	31048	1114	32630	2413	7358	3809	3779	17359	8470	5661	31490	1140	32720	2544	7284	3612	3736	17176	8486	5836	31498	1222
623	2	estab.	59742	3094	7210	3761	3781	17846	11047	16200	45093	14649	61557	2450	7498	3893	3798	17639	11029	16814	45482	16075	63005	2547	7318	3824	3830	17519	11000	16728	45247	17758	65088	2467	7378	3869	3914	17628	11027	17312	45967	19121	67900	2559	7291	3652	3881	17383	11701	18516	47600	20300
623	2	empl.	2511204	0	15705	24960	50533	91198	395568	907025	1393791	1117413	2568012	0	16206	25885	50523	92614	399553	911376	1403543	1164469	2592119	0	15882	25471	51103	92456	401352	913282	1407090	1185029	2671457	0	16064	25681	52064	93809	412704	929525	1436038	1235419	2770665	0	16252	24355	51667	92274	409004	965200	1466478	1304187
623	2	ann. pay.	44619559	285476	216035	324951	693430	1519892	6159042	16546169	24225103	20394456	47466468	322418	246543	361243	728399	1658603	6496367	17268841	25423811	22042657	50159280	374875	252315	374359	754365	1755914	6875525	18101598	26733037	23426243	54665096	375023	267112	400664	828744	1871543	7405542	19416487	28693572	25971524	58950491	496660	273131	380879	828097	1978767	7546379	20780344	30305490	28645001
623	2	rec.																																									126267746	1285744	959069	1013434	2039183	5297430	16237528	42802419	64337377	61930369
624	2	firms	94365	7920	36058	17157	15138	76273	13927	3534	93734	631	93854	7352	35220	17045	15455	75072	14369	3730	93171	683	96080	8578	34775	17099	15971	76423	15074	3851	95348	732	98286	8377	35546	17559	16384	77866	15631	4027	97524	762	102620	9642	37264	18120	16612	81638	16039	4123	101800	820
624	2	estab.	124579	7946	36104	17267	15741	77058	21438	16636	115132	9447	125594	7409	35342	17154	16040	75945	21592	17386	114923	10671	129053	8637	34837	17236	16480	77190	22010	17892	117092	11961	132230	8427	35615	17715	16915	78672	22369	18557	119598	12632	140324	9660	37289	18203	17088	82240	24291	20206	126737	13587
624	2	empl.	1753492	0	75356	115189	205754	396299	516387	509770	1422456	331036	1830338	0	73885	114873	211124	399882	535586	537972	1473440	356898	1935699	0	73018	115561	217977	406556	564517	571070	1542143	393556	2041633	0	74548	118244	223516	416308	585750	608163	1610221	431412	2090743	0	79664	121668	226293	427625	595006	623091	1645722	445021
624	2	ann. pay.	25679732	200628	1025225	1528397	2762270	5516520	7849899	7865187	21231606	4448126	28327950	201447	1068661	1596456	2938978	5805542	8517020	8744572	23067134	5260816	31368244	270450	1094556	1691603	3123569	6180178	9254798	9695406	25130382	6237862	34703979	228213	1178300	1815377	3371745	6593635	10087031	10948639	27629305	7074674	36992844	277103	1374674	1925390	3543740	7120907	10613333	11575074	29309314	7683530
624	2	rec.																																									90179715	863176	4341392	5079192	8255544	18539304	25756208	28993585	73289097	16890618
711	2	firms	32260	8058	16360	3464	1962	29844	1766	512	32122	138	32397	7972	16346	3518	1977	29813	1895	549	32257	140	33322	8356	16463	3683	2115	30617	2003	563	33183	139	34322	8569	17236	3774	2047	31626	1969	595	34190	132	37545	10134	19071	3666	2059	34930	1903	568	37401	144
711	2	estab.	32770	8060	16379	3480	2000	29919	1863	616	32398	372	32906	7987	16367	3539	2005	29898	1992	653	32543	363	33859	8360	16480	3702	2146	30688	2103	661	33452	407	34840	8572	17247	3793	2076	31688	2064	724	34476	364	38191	10138	19078	3694	2090	35000	2047	718	37765	426
711	2	empl.	312082	0	29511	22519	26114	78144	71282	91225	240651	71431	330381	0	29751	22985	26578	79314	76299	97023	252636	77745	351919	0	30105	23949	28449	82503	81113	101034	264650	87269	361745	0	31254	24703	27215	83172	79779	110190	273141	88604	370329	0	34357	23760	27431	85548	78133	102838	266519	103810
711	2	ann. pay.	15803834	1077723	2662356	878462	817326	5435867	2347051	5537307	13320225	2483609	17380510	1092719	2692940	852186	826833	5464678	2662178	6329584	14456440	2924070	19090251	1164869	2623099	986703	932575	5707246	2981305	6467336	15155887	3934364	20393467	1276570	3059522	957234	902752	6196078	2641376	7697795	16535249	3858218	21654639	1441494	3206707	1021529	951566	6621296	2385586	7763348	16770230	4884409
711	2	rec.																																									55904896	4053539	8538814	3526272	3243674	19362299	7312548	14969309	41644156	14260740
712	2	firms	5284	493	2528	834	570	4425	641	189	5255	29	5309	417	2535	846	593	4391	683	196	5270	39	5355	456	2485	844	596	4381	714	218	5313	42	5604	522	2543	915	635	4615	734	213	5562	42	6135	685	2819	964	648	5116	757	219	6092	43
712	2	estab.	5682	493	2531	842	599	4465	738	366	5569	113	5714	417	2537	853	622	4429	781	353	5563	151	5777	456	2487	850	623	4416	813	382	5611	166	6032	522	2546	920	661	4649	833	377	5859	173	6633	685	2820	972	686	5163	894	413	6470	163
712	2	empl.	96512	0	5134	5436	7782	18352	26312	33721	78385	18127	104607	0	5163	5560	8027	18750	28361	35978	83089	21518	110380	0	5124	5553	8022	18699	28534	40029	87262	23118	113545	0	5226	5969	8579	19774	30421	38761	88956	24589	116123	0	5868	6286	8672	20826	31720	39903	92449	23674
712	2	ann. pay.	2086328	8032	85230	91763	134758	319783	528668	774629	1623080	463248	2321151	7204	88512	96562	144149	336427	574027	837470	1747924	573227	2549317	11233	90923	102448	151166	355770	599850	977589	1933209	616108	2781408	17818	99402	112829	169681	399730	676137	994040	2069907	711501	2900281	13802	110415	128426	174948	427591	709254	1060731	2197576	702705
712	2	rec.																																									8655007	71326	496526	468698	599554	1636104	2105460	2952060	6693624	1961383
713	2	firms	58843	11141	19374	9374	7765	47654	9437	1349	58440	403	58409	10463	19620	9362	7805	47250	9352	1396	57998	411	58464	10410	19252	9237	8047	46946	9605	1481	58032	432	59264	10648	20095	9140	7929	47812	9514	1499	58825	439	59437	12200	18627	9206	7859	47892	9587	1520	58999	438
713	2	estab.	64418	11160	19389	9417	7877	47843	10245	2362	60450	3968	64166	10480	19640	9398	7912	47430	10146	2303	59879	4287	64180	10425	19270	9289	8156	47140	10368	2484	59992	4188	65089	10660	20120	9199	8042	48021	10198	2511	60730	4359	65551	12205	18650	9245	7960	48060	10467	2584	61111	4440
713	2	empl.	1175242	0	41370	62828	104846	209044	373872	206252	789168	386074	1205042	0	41701	62795	106291	210787	374807	212087	797681	407361	1279198	0	40944	61746	109251	211941	387162	232090	831193	448005	1305072	0	42672	61057	107332	211061	383441	236479	830981	474091	1314539	0	40826	61155	107120	209101	387109	237947	834157	480382
713	2	ann. pay.	18156632	359622	824271	965205	1414934	3564032	5264420	2991771	11820223	6336409	19714194	402784	889531	999982	1500726	3793023	5558291	3252581	12603895	7110299	21564338	358261	871245	1006315	1560101	3795922	5855256	3706820	13357998	8206340	22957989	387717	970890	1033673	1646481	4038761	6028481	3941834	14009076	8948913	23169457	481573	909179	1048402	1646159	4085313	6264728	3945201	14295242	8874215
713	2	rec.																																									82994366	2018204	3985051	4038323	5857917	15899495	17605850	12558827	46064172	36930194
721	2	firms	49699	7886	17346	7346	7370	39948	7583	1621	49152	547	49152	7362	17243	7210	7635	39450	7614	1552	48616	536	49198	7329	16903	7315	7688	39235	7926	1514	48675	523	49685	7092	17254	7352	7999	39697	7985	1478	49160	525	51168	7941	17169	7961	8196	41267	7968	1428	50663	505
721	2	estab.	59331	7890	17375	7409	7554	40228	8612	2826	51666	7665	59278	7374	17273	7271	7840	39758	8575	2720	51053	8225	59851	7341	16950	7378	7885	39554	8832	2778	51164	8687	60196	7122	17291	7429	8209	40051	8879	2722	51652	8544	61795	7946	17188	8025	8400	41559	9057	2962	53578	8217
721	2	empl.	1708028	0	35589	49111	100070	184770	284637	265066	734473	973555	1737734	0	35593	48126	104693	188412	285023	253490	726925	1010809	1767782	0	34918	48754	105224	188896	293292	249887	732075	1035707	1752782	0	35832	49297	109563	194692	294427	244340	733459	1019323	1696701	0	36425	53067	113017	202509	292528	232976	728013	968688
721	2	ann. pay.	30038014	460813	535249	607696	1143777	2747535	3589074	4072082	10408691	19629323	32200402	317569	580828	629250	1250890	2778537	3763578	4217127	10759242	21441160	34708241	557592	574901	654578	1295044	3082115	4012147	4284899	11379161	23329080	34096205	330071	626286	681918	1406116	3044391	4121235	4185644	11351270	22744935	34125530	361660	636124	763225	1473805	3234814	4264371	4237293	11736478	22389052
721	2	rec.																																									122505607	1949951	3623109	3490847	6038902	15102809	15976071	13055539	44134419	78371188
722	2	firms	368992	50863	114136	72172	61105	298276	63255	6352	367883	1109	362890	45797	113331	71190	61022	291340	63991	6402	361733	1157	363957	48233	111158	70510	60797	290698	65391	6648	362737	1220	367141	49792	111832	71279	60405	293308	65876	6721	365905	1236	376637	52695	111301	74561	62632	301189	67549	6629	375367	1270
722	2	estab.	485234	51227	114284	72492	62558	300561	76352	29627	406540	78694	480298	46192	113540	71641	62575	293948	76154	29484	399586	80712	482560	48520	111389	71001	62167	293077	76828	29446	399351	83209	488373	50034	112010	71760	61775	295579	76521	30427	402527	85846	503354	52893	111420	74831	63638	302782	79906	31769	414457	88897
722	2	empl.	7758632	0	267849	483979	833445	1585273	2377333	1111073	5073679	2684953	7900273	0	265825	477422	833429	1576676	2417419	1127579	5121674	2778599	8113141	0	261314	473221	831354	1565889	2482664	1173447	5222000	2891141	8219519	0	262968	477997	826420	1567385	2500660	1197691	5265736	2953783	8352174	0	268063	497315	857362	1622740	2551714	1184119	5358573	2993601
722	2	ann. pay.	79557260	1837152	2733616	4281310	7498878	16350956	24199517	11071196	51621669	27935591	84724563	1726819	2896894	4423201	7868202	16915116	25614429	11731578	54261123	30463440	90873595	1789480	2905374	4616861	8172307	17484022	27195911	12789392	57469325	33404270	94553717	1877058	3109033	4837558	8428803	18252452	28139081	13272538	59664071	34889646	96985265	2164793	3118159	5114622	8973423	19370997	29242938	13106592	61720527	35264738
722	2	rec.																																									324210635	8338057	16192403	21594090	31474890	77599440	85824455	42948995	206372890	117837745
811	2	firms	220297	22950	126856	42798	17901	210505	8277	990	219772	525	216535	20525	125183	42810	18142	206660	8347	988	215995	540	215162	21325	122409	42923	18416	205073	8553	1000	214626	536	213785	20562	121868	42601	18617	203648	8609	980	213237	548	215083	21644	123120	41802	18630	205196	8372	996	214564	519
811	2	estab.	238740	23018	126964	43170	19062	212214	12111	4134	228459	10281	234555	20622	125320	43187	19264	208393	11995	4448	224836	9719	232567	21884	122546	43302	19437	207169	11947	4522	223638	8929	230867	20649	122035	43015	19630	205329	11829	4505	221663	9204	233234	21654	123197	42135	19928	206914	12290	4672	223876	9358
811	2	empl.	1303108	0	269473	276321	230952	776746	260920	91188	1128854	174254	1318467	0	266265	276338	234865	777468	264854	93934	1136256	182211	1334206	0	262252	277120	238425	777797	273362	99106	1150265	183941	1343180	0	260052	274555	241361	775968	276692	103422	1156082	187098	1334875	0	265827	269814	241988	777629	267324	98736	1143689	191186
811	2	ann. pay.	32816874	578725	5197734	6269564	5899904	17945927	6638222	2586469	27170618	5646256	34369540	550894	5362209	6508036	6177022	18598161	6978090	2745118	28321369	6048171	37287561	584974	5392015	6706721	6411450	19095160	7519618	3000702	29615480	7672081	38242761	565732	5587087	6873727	6705372	19731918	7741839	3131804	30605561	7637200	38271751	603720	5777375	6945343	6871789	20198227	7642989	3032529	30873745	7398006
811	2	rec.																																									130610519	3073090	26528388	23718690	21444418	74764586	23373646	9613640	107751872	22858647
812	2	firms	160362	18890	87834	30558	14749	152031	7390	740	160161	201	159903	18884	87810	30010	14759	151463	7494	741	159698	205	163111	20921	88352	30064	15070	154407	7735	776	162918	193	161043	19606	87700	29834	15069	152209	7837	800	160846	197	169042	22243	90771	30812	16000	159826	8233	775	168834	208
812	2	estab.	194452	18980	88124	31479	16718	155301	13627	6227	175155	19297	195107	18975	88229	30901	16642	154747	13281	6135	174163	20944	199420	21073	88673	30914	16946	157606	13210	6187	177003	22417	196810	19654	88076	30685	16814	155229	13252	6216	174697	22113	206884	22256	90976	31511	17761	162504	14429	6332	183265	23619
812	2	empl.	1247851	0	183810	198519	192834	575163	255520	114974	945657	302194	1261383	0	182511	195026	193701	571238	259287	116881	947406	313977	1293215	0	182942	195927	197854	576723	269694	126030	972447	320768	1311522	0	180275	194546	197968	572789	271173	128964	972926	338596	1314320	0	191444	201095	210626	603165	283892	124528	1011585	302735
812	2	ann. pay.	20531264	406949	2345452	2777596	2965378	8495375	4449559	2027406	14972340	5558924	21587374	387896	2483028	2868585	3124178	8863687	4766379	2164427	15794493	5792881	22781734	436700	2603206	2974862	3295214	9309982	5016570	2448730	16775282	6006452	23629161	443037	2659246	3037046	3378764	9518093	5120328	2488969	17127390	6501771	24219389	460804	2839428	3205546	3655750	10161528	5417637	2467858	18047023	6172366
812	2	rec.																																									75128325	2282437	12316968	9887468	9471565	33958438	13170576	6742360	53871374	21256951
813	2	firms	278709	14117	151422	58352	29738	253629	22253	2319	278201	508	280545	13698	151563	59111	30197	254569	23027	2432	280028	517	283542	14621	150834	60137	30875	256467	23966	2578	283011	531	283684	13849	150399	60697	31150	256095	24368	2678	283141	543	291212	15971	152623	62391	32164	263149	24790	2704	290643	569
813	2	estab.	286176	14129	151446	58484	30221	254280	24338	4683	283301	2875	288230	13710	151585	59243	30613	255151	25159	4712	285022	3208	291336	14644	150876	60261	31298	257079	26030	5024	288133	3203	291725	13853	150439	60841	31555	256688	26399	5275	288362	3363	300000	15976	152651	62521	32638	263786	27302	5427	296515	3485
813	2	empl.	2487758	0	323353	379906	394936	1098195	827237	350314	2275746	212012	2571614	0	323380	385338	402691	1111409	862429	370906	2344744	226870	2665978	0	323046	392139	411445	1126630	899543	395794	2421967	244011	2715777	0	322903	396287	415403	1134593	916112	413914	2464619	251158	2770892	0	333506	405163	427997	1166666	931134	416804	2514604	256288
813	2	ann. pay.	42664722	360641	4613411	5288887	6056933	16319872	13890725	7702615	37913212	4751510	45996327	305171	4838241	5600697	6441782	17185891	15190515	8509353	40885759	5110568	49807475	340988	5057381	5984671	6886621	18269661	16315687	9426786	44012134	5795341	53346409	316332	5348641	6309283	7306794	19281050	17411679	10359116	47051845	6294564	56408763	365196	5629099	6627342	7675296	20296933	18478713	10928819	49704465	6704298
813	2	rec.																																									220360946	2442386	26974252	27101475	29879795	86397908	67818998	42488376	196705282	23655664
1131	3	firms	358	72	163	58	18	311	22	4	337	21	381	81	180	51	23	335	22	5	362	19	418	89	194	60	27	370	24	7	401	17	392	71	185	67	27	350	19	7	376	16	633	108	318	112	41	579	33	6	618	15
1131	3	estab.	418	72	163	58	19	312	24	6	342	76	431	81	181	51	24	337	24	7	368	63	469	90	194	61	27	372	31	9	412	57	441	72	185	69	27	353	20	10	383	58	680	108	318	113	42	581	35	8	624	56
1131	3	empl.	3426	0	310	383	242	935	         [f]	         [e]	         [g]	         [g]	3258	0	353	329	281	963	[f]	[e]	1982	1276	3337	0	378	389	341	1108	         [f]	         [e]	2116	1221	3203	0	363	439	354	1156	488	439	2083	1120	4203	0	652	729	528	1909	1004	250	3163	1040
1131	3	ann. pay.	132368	1233	7462	12207	7922	28824	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	121920	2133	8612	9447	10023	30215	(D)	(D)	58629	63291	132021	2989	10050	10760	12208	36007	         (D)	         (D)	67560	64461	122992	1898	9281	14026	10895	36100	16940	11534	64574	58418	158214	1889	16880	22206	15346	56321	35500	6492	98313	59901
1131	3	rec.																																									1112163	24049	201641	152818	95088	473596	188002	29485	691083	421080
1132	3	firms	152	33	65	27	9	134	8	3	145	7	185	53	76	26	11	166	10	3	179	6	191	40	86	30	14	170	13	3	186	5	188	36	86	32	11	165	13	4	182	6	286	57	128	47	23	255	20	5	280	6
1132	3	estab.	221	33	65	27	9	134	8	3	145	76	252	53	76	26	11	166	10	3	179	73	258	40	86	30	14	170	13	3	186	72	256	36	86	32	11	165	14	4	183	73	352	57	128	47	23	255	21	5	281	71
1132	3	empl.	1387	0	139	167	106	412	         [e]	         [b]	         [f]	         [f]	1380	0	163	170	156	489	[e]	[b]	851	529	1677	0	182	192	168	542	         [e]	         [b]	1005	672	2049	0	175	214	145	534	363	         [c]	         [g]	         [g]	2657	0	243	306	303	852	822	320	1994	663
1132	3	ann. pay.	45919	1043	3214	3892	1890	10039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	49617	1533	3877	4176	2942	12528	(D)	(D)	20571	29046	66968	1672	4719	4099	3613	14103	         (D)	         (D)	25724	41244	70068	1137	4068	5450	2798	13453	7268	         (D)	         (D)	         (D)	75806	1985	4902	7604	7249	21740	14218	5880	41838	33968
1132	3	rec.																																									313498	14411	33458	31717	28815	108401	43699	20925	173025	140473
1133	3	firms	13530	1872	6420	3007	1592	12891	570	35	13496	34	12931	1522	6237	2981	1561	12301	564	33	12898	33	12538	1538	5963	2872	1505	11878	598	32	12508	30	12027	1326	6059	2674	1372	11431	541	25	11997	30	11397	1462	5534	2473	1318	10787	557	24	11368	29
1133	3	estab.	13616	1872	6422	3008	1593	12895	587	39	13521	95	13011	1522	6237	2985	1563	12307	574	37	12918	93	12620	1539	5966	2873	1507	11885	608	35	12528	92	12098	1326	6062	2675	1374	11437	552	25	12014	84	11477	1462	5535	2476	1319	10792	574	25	11391	86
1133	3	empl.	79364	0	13838	19680	20657	54175	17211	2077	73463	5901	79195	0	13492	19535	20242	53269	17484	2435	73188	6007	78129	0	12795	18955	19620	51370	18831	2557	72758	5371	72732	0	12825	17763	17976	48564	17576	1967	68107	4625	68962	0	12034	16284	17315	45633	17019	1908	64560	4402
1133	3	ann. pay.	2070191	53603	290156	418739	494167	1256665	472853	78669	1808187	262004	2084891	44190	288731	427989	496102	1257012	476426	87189	1820627	264264	2057252	38974	271741	418989	472907	1202611	514450	92692	1809753	247499	1968788	33495	281658	408335	458074	1181562	484979	79664	1746205	222583	1973028	40070	272753	389633	457947	1160403	504357	71952	1736712	236316
1133	3	rec.																																									9809676	328186	1813654	1906342	1951169	5999351	2263968	351065	8614384	1195292
1141	3	firms	2112	786	1056	136	60	2038	56	10	2104	8	2174	815	1085	134	62	2096	58	12	2166	8	2299	892	1120	158	57	2227	51	14	2292	7	2241	810	1153	143	62	2168	54	13	2235	6	1901	696	986	93	66	1841	41	12	1894	7
1141	3	estab.	2120	786	1056	137	60	2039	58	11	2108	12	2181	815	1085	135	62	2097	59	13	2169	12	2308	892	1120	159	57	2228	52	17	2297	11	2252	810	1153	144	64	2171	55	16	2242	10	1916	696	986	93	66	1841	44	18	1903	13
1141	3	empl.	7206	0	1669	862	785	3316	1904	         [f]	         [i]	         [g]	7611	0	1719	850	790	3359	2089	1317	6765	846	7477	0	1779	1006	748	3533	1799	1396	6728	749	7350	0	1858	925	832	3615	1832	1299	6746	604	6537	0	1549	583	885	3017	1413	1304	5734	803
1141	3	ann. pay.	252566	24110	47582	25169	25065	121926	62214	         (D)	         (D)	         (D)	263683	27933	48801	28020	22545	127299	61605	51689	240593	23090	266695	25253	50583	25269	24212	125317	56000	59580	240897	25798	258565	19888	50363	26523	26675	123449	58184	55443	237076	21489	252635	19746	44281	14912	29855	108794	49720	50091	208605	44030
1141	3	rec.																																									1654956	184589	343491	88230	161452	777762	308798	326898	1413458	241498
1142	3	firms	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
1142	3	estab.	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
1142	3	empl.	2107	0	326	198	398	922	         [e]	         [f]	         [g]	         [a]	2375	0	320	318	287	925	585	[e]	[g]	[f]	2511	0	339	264	472	1075	434	         [e]	         [g]	         [f]	2604	0	375	363	422	1160	398	         [e]	         [g]	         [f]	2707	0	414	364	471	1249	424	         [e]	         [g]	         [f]
1142	3	ann. pay.	58552	1515	4980	3226	7536	17257	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	68870	1538	5843	5303	5619	18303	12238	(D)	(D)	(D)	75764	1342	6374	4555	10941	23212	8910	         (D)	         (D)	         (D)	82351	1479	7023	7140	7899	23541	10430	         (D)	         (D)	         (D)	82792	2051	8373	6140	8183	24747	10811	         (D)	         (D)	         (D)
1142	3	rec.																																									319345	15163	38372	21497	24978	100010	37144	         (D)	         (D)	         (D)
1151	3	firms	5532	1033	2514	866	487	4900	446	136	5482	50	5582	1063	2520	875	483	4941	453	137	5531	51	4753	915	2105	779	414	4213	379	122	4714	39	5134	963	2361	814	422	4560	420	125	5105	29	4946	889	2268	789	432	4378	417	115	4910	36
1151	3	estab.	5872	1033	2517	866	492	4908	489	202	5599	273	5929	1068	2522	876	490	4956	498	211	5665	264	5061	915	2109	779	422	4225	414	259	4898	163	5464	963	2367	815	432	4577	466	271	5314	150	5324	889	2271	790	451	4401	471	224	5096	228
1151	3	empl.	64568	0	5166	5651	6445	17262	17518	19201	53981	10587	67441	0	5205	5718	6350	17273	17538	17693	52504	14937	57587	0	4321	5084	5437	14842	15006	17810	47658	9929	59615	0	4877	5353	5638	15868	17097	18596	51561	8054	58541	0	4642	5138	5771	15551	16597	15661	47809	10732
1151	3	ann. pay.	1506905	34473	128606	149021	163927	476027	367025	345403	1188455	318450	1577196	43151	129525	154840	165794	493310	408695	343710	1245715	331481	1347539	34609	114494	142162	140426	431691	348293	333419	1113403	234136	1463707	35719	140227	156801	165100	497847	399420	355689	1252956	210751	1514936	30578	136440	153692	165352	486062	414757	346270	1247089	267847
1151	3	rec.																																									8681380	230054	1004433	890540	865945	2990972	2022811	1877691	6891474	1789906
1152	3	firms	3198	477	1940	451	192	3060	110	21	3191	7	3222	494	1936	466	196	3092	103	18	3213	9	3403	533	1997	507	214	3251	122	22	3395	8	3946	525	2415	577	245	3762	154	21	3937	9	4478	649	2708	624	286	4267	180	23	4470	8
1152	3	estab.	3246	477	1940	451	192	3060	115	57	3232	14	3269	494	1936	466	196	3092	104	48	3244	25	3450	533	1997	507	214	3251	125	59	3435	15	3999	526	2416	579	246	3767	155	59	3981	18	4537	649	2709	625	288	4271	183	65	4519	18
1152	3	empl.	16047	0	3629	2924	2409	8962	3880	         [g]	         [j]	         [f]	16747	0	3631	3031	2587	9249	3621	2365	15235	1512	18197	0	3786	3304	2812	9902	4166	3251	17319	878	20750	0	4588	3774	3210	11572	5097	2945	19614	1136	22876	0	5287	3997	3772	13056	5810	3034	21900	976
1152	3	ann. pay.	307237	7140	52075	43376	41376	143967	78315	         (D)	         (D)	         (D)	326691	14518	55695	49935	45814	165962	78648	49690	294300	32391	383710	12081	60231	56134	55007	183453	84658	88383	356494	27216	452312	10351	76938	68914	60810	217013	105485	91063	413561	38751	495963	13341	89013	69620	76309	248283	112809	100193	461285	34678
1152	3	rec.																																									2558100	92369	580902	289628	300674	1263573	629935	485730	2379238	178862
1153	3	firms	1424	309	688	191	99	1287	111	15	1413	11	1456	293	740	182	104	1319	107	18	1444	12	1513	319	760	181	104	1364	116	25	1505	8	1516	272	782	217	100	1371	113	24	1508	8	1744	386	853	216	138	1593	120	20	1733	11
1153	3	estab.	1454	309	688	191	99	1287	130	24	1441	13	1493	293	740	182	104	1319	128	26	1473	20	1547	319	760	181	104	1364	138	31	1533	14	1553	272	782	217	100	1371	145	24	1540	13	1797	386	853	216	138	1593	151	27	1771	26
1153	3	empl.	13044	0	1384	1248	1361	3993	         [h]	         [g]	         [j]	         [h]	14148	0	1437	1164	1397	3998	4531	[g]	[j]	[h]	14650	0	1503	1160	1404	4067	5052	         [h]	         [j]	         [g]	15173	0	1506	1418	1343	4267	4929	3515	12711	2462	14679	0	1669	1412	1825	4906	5084	2403	12393	2286
1153	3	ann. pay.	280567	8673	33685	29376	31222	102956	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	319781	8081	38278	30169	34022	110550	101031	(D)	(D)	(D)	352584	9844	39061	30154	40857	119916	111434	         (D)	         (D)	         (D)	373066	6345	38847	39986	35641	120819	119660	60162	300641	72425	424917	15287	45087	41188	56078	157640	134861	58120	350621	74296
1153	3	rec.																																									1424020	72940	235671	145821	169003	623435	369679	181919	1175033	248987
2111	3	firms	6723	653	4000	1025	496	6174	365	83	6622	101	6345	679	3803	904	458	5844	312	85	6241	104	6472	807	3779	928	441	5955	341	77	6373	99	6435	741	3734	947	479	5901	356	86	6343	92	6317	597	3816	906	462	5781	354	89	6224	93
2111	3	estab.	7927	654	4011	1039	528	6232	482	234	6948	979	7556	679	3814	916	498	5907	411	236	6554	1002	7740	807	3793	940	479	6019	458	242	6719	1021	7691	741	3750	959	506	5956	453	238	6647	1044	7629	597	3830	932	477	5836	456	292	6584	1045
2111	3	empl.	97039	0	7719	6693	6526	20938	12773	11504	45215	51824	90012	0	7350	5854	5959	19163	11199	10601	40963	49049	83012	0	7414	6047	5723	19184	12285	9966	41435	41577	87980	0	7386	6153	6286	19825	12369	10290	42484	45496	88280	0	7466	5890	5980	19336	12113	11656	43105	45175
2111	3	ann. pay.	5316305	34134	217468	223948	264953	740503	651692	676301	2068496	3247809	5377469	29378	216267	213914	260708	720267	643989	595216	1959472	3417997	5393011	40616	249214	253368	271729	814927	734334	703689	2252950	3140061	6217777	39391	264648	266432	299754	870225	742945	786895	2400065	3817712	6406475	28794	254065	258981	290795	832635	762724	807342	2402701	4003774
2111	3	rec.																																									160879230	228801	2587900	2367043	2389652	7573396	6789872	9608878	23972146	136907084
2121	3	firms	1022	113	190	121	162	586	317	71	974	48	948	92	181	118	147	538	296	68	902	46	880	64	184	105	150	503	266	63	832	48	888	115	170	99	148	532	243	67	842	46	802	58	160	97	130	445	246	67	758	44
2121	3	estab.	1442	113	194	121	162	590	345	129	1064	378	1336	92	183	118	147	540	331	125	996	340	1253	64	186	105	153	508	285	143	936	317	1266	115	172	100	152	539	264	135	938	328	1194	58	161	97	132	448	279	138	865	329
2121	3	empl.	81272	0	473	797	2296	3566	13022	11050	27638	53634	76381	0	399	782	2027	3208	12000	10839	26047	50334	70666	0	413	689	2071	3173	10689	10352	24214	46452	70999	0	371	652	2092	3115	10006	11694	24815	46184	74915	0	363	654	1784	2801	10205	11576	24582	50333
2121	3	ann. pay.	3988677	17988	16089	25740	63813	123630	457117	476258	1057005	2931672	3697834	22611	14086	23240	58631	118568	423939	457081	999588	2698246	3542168	7687	13461	19911	68757	109816	385337	453755	948908	2593260	3786164	36212	14258	25089	70012	145571	408320	556800	1110691	2675473	3812771	13267	15824	21275	59714	110080	407016	564794	1081890	2730881
2121	3	rec.																																									19845659	51399	85970	100213	248433	486015	2095535	2887139	5468689	14376970
2122	3	firms	411	74	164	48	35	321	33	23	377	34	409	92	151	51	35	329	31	18	378	31	412	74	175	56	33	338	25	21	384	28	381	67	176	38	33	314	20	20	354	27	270	44	113	37	22	216	17	15	248	22
2122	3	estab.	536	74	165	48	36	323	42	48	413	123	529	92	151	51	37	331	45	46	422	107	522	74	175	59	35	343	36	41	420	102	485	67	179	39	34	319	26	51	396	89	351	44	113	41	26	224	21	38	283	68
2122	3	empl.	43903	0	339	321	452	1112	1349	3769	6230	37673	39928	0	298	319	454	1071	1044	3428	5543	34385	34820	0	353	368	418	1139	672	3858	5669	29151	32810	0	341	228	416	985	475	3923	5383	27427	25692	0	221	233	297	751	430	3472	4653	21039
2122	3	ann. pay.	2038195	2765	12116	13320	19297	47498	55263	157246	260007	1778188	1844895	3532	11674	14173	19461	48840	44963	133963	227766	1617129	1718470	1629	12880	14205	15301	44015	30010	171961	245986	1472484	1650013	6279	12608	9774	19631	48292	18769	187212	254273	1395740	1373375	4579	15185	9704	30494	59962	22185	204556	286703	1086672
2122	3	rec.																																									8169777	22957	71077	41300	93974	229308	150059	1075887	1455254	6714523
2123	3	firms	3520	282	1011	653	612	2558	640	188	3386	134	3501	318	1056	623	557	2554	637	170	3361	140	3492	324	1014	632	596	2566	618	172	3356	136	3545	336	1102	638	562	2638	617	160	3415	130	3614	375	1153	613	588	2729	585	170	3484	130
2123	3	estab.	5331	282	1012	655	626	2575	842	503	3920	1411	5415	318	1058	625	572	2573	834	473	3880	1535	5456	324	1016	632	606	2578	817	469	3864	1592	5572	336	1103	638	578	2655	825	450	3930	1642	5660	375	1153	616	601	2745	778	495	4018	1642
2123	3	empl.	100134	0	2263	4385	8127	14775	21378	15699	51852	48282	99640	0	2340	4163	7536	14039	21536	14370	49945	49695	98843	0	2255	4262	8145	14662	21091	15836	51589	47254	96926	0	2450	4305	7604	14359	21370	13569	49298	47628	93567	0	2559	4120	8012	14691	19721	13559	47971	45596
2123	3	ann. pay.	3986068	16266	66097	130666	274363	487392	765211	634789	1887392	2098676	4082446	23003	74499	128368	261715	487585	795144	590689	1873418	2209028	4083465	18850	66818	131194	283271	500133	803021	671342	1974496	2108969	4147519	18953	80151	145268	280963	525335	827254	582870	1935459	2212060	3935876	22342	93862	136148	300231	552583	804576	557204	1914363	2021513
2123	3	rec.																																									19717666	95488	380578	539756	1144130	2159952	3135147	2460467	7755566	11962100
2131	3	firms	8299	878	3918	1320	933	7049	985	157	8191	108	7771	817	3877	1171	873	6738	798	136	7672	99	7641	892	3618	1147	877	6534	866	142	7542	99	8222	1034	3731	1211	986	6962	989	172	8123	99	7587	831	3449	1176	970	6426	909	157	7492	95
2131	3	estab.	9423	886	3934	1388	1037	7245	1213	317	8775	648	8863	818	3909	1233	975	6935	994	288	8217	646	8767	894	3646	1205	956	6701	1053	290	8044	723	9305	1036	3749	1253	1043	7081	1160	300	8541	764	9037	831	3465	1209	1089	6594	1200	391	8185	852
2131	3	empl.	175501	0	7905	8608	12225	28738	37685	21839	88262	87239	150684	0	7677	7565	11352	26594	28870	18089	73553	77131	168787	0	7273	7508	11667	26448	32033	19086	77567	91220	196850	0	7550	7967	13063	28580	37500	26479	92559	104291	183321	0	7155	7757	12898	27810	34392	21782	83984	99337
2131	3	ann. pay.	6612671	48592	198099	227664	331263	805618	1127866	810320	2743804	3868867	5973318	55860	205795	216146	346464	824265	941021	727701	2492987	3480331	7354132	58694	207895	237560	391373	895522	1130677	876302	2902501	4451631	9212884	123733	238863	269760	461486	1093842	1438772	1252636	3785250	5427634	8433197	49537	220596	254609	443992	968734	1294040	960205	3222979	5210218
2131	3	rec.																																									28960730	169727	835638	943867	1389401	3338633	3956578	3441276	10736487	18224243
2211	3	firms	1666	107	255	104	167	633	687	200	1520	146	1682	94	271	132	163	660	675	202	1537	145	1704	99	276	140	173	688	666	213	1567	137	1781	130	305	147	173	755	679	211	1645	136	1756	103	329	134	167	733	665	228	1626	130
2211	3	estab.	8305	107	257	106	185	655	1101	749	2505	5800	8811	98	273	134	177	682	1094	743	2519	6292	9150	99	277	141	189	706	1063	760	2529	6621	9207	131	307	147	192	777	1069	743	2589	6618	9493	103	331	137	189	760	1075	819	2654	6839
2211	3	empl.	546696	0	547	688	2439	3674	32231	35244	71149	475547	533214	0	577	855	2308	3740	31927	34993	70660	462554	520854	0	602	892	2445	3939	31759	35298	70996	449858	515988	0	682	949	2516	4147	32060	34621	70828	445160	515769	0	688	857	2441	3986	31245	37306	72537	443232
2211	3	ann. pay.	31647328	27272	19613	28918	106269	182072	1325023	1651816	3158911	28488417	32442619	151568	26878	37710	104619	320775	1350634	1653739	3325148	29117471	33758900	21624	24390	36464	112629	195107	1381543	1740076	3316726	30442174	34337769	22240	30377	41909	120109	214635	1480391	1766727	3461753	30876016	34828436	65545	28031	33185	123220	249981	1468209	1973505	3691695	31136741
2211	3	rec.																																									320502670	131399	1399754	256984	2907973	4696110	15797473	21427328	41920911	278581759
2212	3	firms	630	57	209	105	64	435	55	36	526	104	610	47	222	98	62	429	50	34	513	97	603	47	210	97	58	412	58	35	505	98	592	44	217	97	57	415	51	32	498	94	631	68	223	111	59	461	54	31	546	85
2212	3	estab.	2723	58	209	109	76	452	101	154	707	2016	2851	47	222	100	70	439	98	165	702	2149	2846	47	210	99	67	423	103	152	678	2168	2831	44	219	100	63	426	84	127	637	2194	2897	70	223	118	72	483	86	131	700	2197
2212	3	empl.	99962	0	476	716	775	1967	1890	5620	9477	90485	96953	0	464	660	773	1897	1658	5129	8684	88269	94821	0	478	641	750	1869	1789	4596	8254	86567	95348	0	492	644	712	1848	1831	4323	8002	87346	86890	0	519	721	716	1956	2066	4398	8420	78470
2212	3	ann. pay.	5282225	39923	19143	31650	35093	125809	99422	241408	466639	4815586	5657570	10866	19833	27523	36962	95184	87186	241539	423909	5233661	5529810	16524	19112	28813	37203	101652	94857	231833	428342	5101468	6001077	7422	25643	32563	34731	100359	110365	197485	408209	5592868	5342147	6940	21698	30211	41148	99997	131392	221794	453183	4888964
2212	3	rec.																																									67275310	79932	654470	478929	1310935	2524266	7724447	2878244	13126957	54148353
2213	3	firms	4388	261	2871	782	253	4167	128	39	4334	54	4452	326	2844	779	271	4220	144	32	4396	56	4803	414	2915	901	316	4546	166	34	4746	57	4995	387	3064	928	345	4724	175	36	4935	60	5296	407	3195	1065	354	5021	185	35	5241	55
2213	3	estab.	4867	261	2872	788	273	4194	191	136	4521	346	4916	326	2845	780	294	4245	199	108	4552	364	5305	414	2916	902	337	4569	219	117	4905	400	5664	387	3065	929	364	4745	236	131	5112	552	6042	407	3197	1068	380	5052	262	176	5490	552
2213	3	empl.	35569	0	6297	4958	3150	14405	4006	4473	22884	12685	36895	0	6292	4897	3362	14551	4616	3844	23011	13884	39555	0	6444	5663	4004	16111	5530	3845	25486	14069	43148	0	6780	5859	4381	17020	5949	4171	27140	16008	45595	0	7230	6578	4507	18315	6080	5238	29633	15962
2213	3	ann. pay.	1167674	5354	93517	104197	89566	292634	129847	205040	627521	540153	1254801	10222	98648	106766	98686	314322	142199	171862	628383	626418	1362126	14509	103863	120643	110264	349279	178883	185922	714084	648042	1603457	13735	118573	131112	129308	392728	202838	210572	806138	797319	1674162	16847	127916	139812	140379	424954	212996	234723	872673	801489
2213	3	rec.																																									8298663	84233	673160	636595	639003	2032991	996631	952124	3981746	4316917
2331	3	firms	11192	2829	5871	1299	619	10618	388	95	11101	91	12189	3071	6224	1442	744	11481	507	107	12095	94	12902	2982	6657	1630	858	12127	567	117	12811	91	13175	2836	6655	1814	977	12282	664	130	13076	99	13860	2804	7303	1860	968	12935	693	138	13766	94
2331	3	estab.	11369	2832	5873	1301	622	10628	413	138	11179	190	12383	3072	6226	1443	750	11491	548	124	12163	220	13111	2984	6659	1632	866	12141	601	142	12884	227	13358	2837	6657	1817	980	12291	711	176	13178	180	14044	2804	7308	1864	976	12952	742	164	13858	186
2331	3	empl.	56326	0	11222	8311	8050	27583	13051	9385	50019	6307	68024	0	11962	9235	9842	31039	17582	11659	60280	7744	77885	0	12951	10535	11407	34893	20509	12478	67880	10005	88993	0	13163	11715	12915	37793	23692	13817	75302	13691	90669	0	14466	12018	12603	39087	23532	14669	77288	13381
2331	3	ann. pay.	2262825	166410	393302	293672	281877	1135261	461744	346824	1943829	318996	2814520	172339	437132	343608	354722	1307801	657849	419286	2384936	429584	3269158	164894	468769	377028	465833	1476524	756199	476151	2708874	560284	3990101	156215	484556	438707	513298	1592776	972272	579359	3144407	845694	4100107	141975	545793	473892	515979	1677639	1043208	670559	3391406	708701
2331	3	rec.																																									24460771	1412212	4716723	2654048	2784158	11567141	5133980	3239442	19940563	4520208
2332	3	firms	161068	30573	92211	24500	9367	156651	3976	330	160957	111	159525	26190	92574	25576	10215	154555	4516	342	159413	112	158881	25715	91086	25836	10744	153381	5007	375	158763	118	154774	25402	90322	24380	9604	149708	4573	371	154652	122	169908	33164	96373	24953	10244	164734	4696	357	169787	121
2332	3	estab.	161652	30573	92211	24507	9376	156667	4007	475	161149	503	160178	26190	92576	25577	10229	154572	4577	475	159624	554	159550	25715	91088	25837	10758	153398	5051	512	158961	589	155437	25403	90322	24383	9617	149725	4614	472	154811	626	170720	33164	96375	24956	10263	164758	4788	490	170036	684
2332	3	empl.	688495	0	186882	156823	121851	465556	133929	45405	644890	43605	741588	0	189379	163911	133330	486620	153870	48895	689385	52203	781012	0	187726	166058	140495	494279	171729	56765	722773	58239	735386	0	184403	156413	124882	465698	157256	53008	675962	59424	770851	0	197776	159955	133589	491320	161168	50526	703014	67837
2332	3	ann. pay.	20345686	892536	4486681	3760336	3272156	12411709	4232614	1745098	18389421	1956265	23225796	848303	4774735	4144357	3741959	13509354	5101464	1958103	20568921	2656875	25519665	807571	4837595	4352258	4064840	14062264	6020027	2353660	22435951	3083714	25985907	834885	4950951	4277559	3888583	13951978	6062180	2379736	22393894	3592013	28410104	1100083	5331955	4681775	4335324	15449137	6529749	2475713	24454599	3955505
2332	3	rec.																																									250603429	13293612	52776491	33278742	29927206	129276051	49936625	21012957	200225633	50377796
2333	3	firms	43150	5502	15633	7997	6578	35710	6363	845	42918	232	43058	4869	15841	8035	6605	35350	6599	873	42822	236	42962	4775	15748	7890	6697	35110	6686	924	42720	242	46268	4772	16268	8901	7923	37864	7255	909	46028	240	40755	4168	13384	8201	7163	32916	6770	842	40528	227
2333	3	estab.	43872	5502	15636	7998	6589	35725	6415	1010	43150	722	43794	4869	15842	8037	6614	35362	6646	1041	43049	745	43693	4775	15749	7892	6707	35123	6728	1089	42940	753	47011	4773	16269	8905	7937	37884	7292	1051	46227	784	41630	4168	13384	8206	7178	32936	6850	1011	40797	833
2333	3	empl.	689517	0	34039	53515	89687	177241	239205	131188	547634	141883	728467	0	34557	53469	89993	178019	253643	142386	574048	154419	746016	0	34229	52677	91187	178093	258470	149911	586474	159542	792594	0	35705	59606	107853	203164	276905	145361	625430	167164	724197	0	30318	55102	97235	182655	256539	132855	572049	152148
2333	3	ann. pay.	27669621	299064	1080189	1726461	3170102	6275816	9387703	5688617	21352136	6317485	29843476	258988	1132967	1804322	3331772	6528049	10398098	6249536	23175683	6667793	32009263	276932	1141141	1778848	3474329	6671250	10964633	6771462	24407345	7601918	34980977	335390	1259669	2155071	4203418	7953548	11836469	6829880	26619897	8361080	33220280	259744	1138800	2074087	3894469	7367100	11402995	6498452	25268547	7951733
2333	3	rec.																																									259927734	2472598	9799669	14591648	26509639	53373554	83694014	54250710	191318278	68609456
2341	3	firms	11748	1563	3280	2060	1882	8785	2385	489	11659	89	11457	1354	3240	1962	1832	8388	2438	533	11359	98	11285	1325	3103	1904	1778	8110	2491	574	11175	110	11595	1388	3257	2067	1815	8527	2380	578	11485	110	11279	1561	3112	1931	1760	8364	2230	563	11157	122
2341	3	estab.	12193	1563	3282	2061	1888	8794	2414	573	11781	412	11911	1354	3242	1962	1837	8395	2463	622	11480	431	11795	1325	3104	1905	1784	8118	2508	675	11301	494	12133	1388	3257	2068	1823	8536	2404	677	11617	516	11818	1561	3112	1932	1762	8367	2271	681	11319	499
2341	3	empl.	267142	0	7188	13975	25884	47047	96692	76315	220054	47088	284368	0	7205	13327	25119	45651	99689	84423	229763	54605	304936	0	6894	12809	24449	44152	102703	95275	242130	62806	311019	0	7148	13912	24769	45829	97245	95751	238825	72194	310815	0	7112	12986	24078	44176	92084	94845	231105	79710
2341	3	ann. pay.	12525762	123151	391796	638817	1218524	2372288	4315729	3597181	10285198	2240564	13469410	96812	381461	608089	1216038	2302400	4650669	4052805	11005874	2463536	14316101	101987	357105	563599	1095189	2117880	4693869	4493427	11305176	3010925	15697550	137650	397519	678769	1284264	2498202	4833062	4872265	12203529	3494021	15755131	145598	409854	659160	1218870	2433482	4771811	4752145	11957438	3797693
2341	3	rec.																																									82129692	851493	2155618	2943853	5387124	11338088	22567377	25350793	59256258	22873434
2349	3	firms	27366	3026	9996	5168	4012	22202	4317	634	27153	213	27112	2800	9798	5087	4122	21807	4411	671	26889	223	27076	2918	9625	4972	4077	21592	4585	677	26854	222	27672	2690	10005	5447	4369	22511	4293	652	27456	216	27392	4018	9890	4830	3874	22612	3974	594	27180	212
2349	3	estab.	27898	3026	9996	5171	4023	22216	4362	739	27317	581	27645	2800	9798	5091	4129	21818	4454	778	27050	595	27721	2921	9627	4975	4083	21606	4624	789	27019	702	28343	2690	10008	5448	4377	22523	4324	773	27620	723	28131	4018	9891	4832	3884	22625	4039	734	27398	733
2349	3	empl.	536802	0	21675	34299	54788	110762	164883	101423	377068	159734	564005	0	21354	33836	56024	111214	173226	106410	390850	173155	596051	0	20979	33009	55592	109580	179738	113144	402462	193589	590188	0	21661	36312	59439	117412	165399	108238	391049	199139	545497	0	21908	32146	52695	106749	154713	96163	357625	187872
2349	3	ann. pay.	20820740	187663	694241	1137938	1952948	3972790	6441823	3959372	14373985	6446755	22338456	214706	691165	1135872	2060507	4102250	6821425	4556027	15479702	6858754	24311905	196587	662238	1099943	2062405	4021173	7242679	4819020	16082872	8229033	24104074	182086	752189	1284926	2259777	4478978	6678644	4724814	15882436	8221638	23566416	436099	735023	1106724	2034193	4312039	6525610	4211413	15049062	8517354
2349	3	rec.																																									92254316	1868008	3658610	4452313	7778877	17757808	25670927	17005158	60433893	31820423
2351	3	firms	87653	9319	41925	17448	10808	79500	7343	703	87546	107	88195	9037	41718	17549	11196	79500	7846	733	88079	116	89523	9430	41627	17960	11411	80428	8220	748	89396	127	88519	9098	41850	17595	11063	79606	8034	755	88395	124	89223	10148	41788	17403	11078	80417	7934	743	89094	129
2351	3	estab.	88542	9319	41926	17450	10818	79513	7415	809	87737	805	89125	9042	41719	17551	11206	79518	7912	841	88271	854	90487	9430	41630	17963	11416	80439	8276	850	89565	922	89550	9098	41851	17598	11069	79616	8088	851	88555	995	90341	10148	41788	17405	11083	80424	8028	926	89378	963
2351	3	empl.	817297	0	89820	114986	144693	349499	269298	114766	733563	83734	862013	0	89977	115345	149653	354975	288498	118680	762153	99860	897912	0	90302	118344	153121	361767	300650	122189	784606	113306	898440	0	90400	115786	148993	355179	297562	124152	776893	121547	879908	0	90914	114854	148470	354238	292995	118367	765600	114308
2351	3	ann. pay.	28511597	331349	2120236	3113733	4521349	10086667	9915896	4760536	24763099	3748498	31044940	346678	2236736	3202938	4822837	10609189	10982751	5067474	26659414	4385526	33406016	376565	2293442	3339803	5015791	11025601	11678176	5408794	28112571	5293445	34507914	360885	2331273	3411773	5074568	11178499	12056634	5738807	28973940	5533974	34806094	426073	2421996	3512226	5215143	11575438	12201195	5484360	29260993	5545101
2351	3	rec.																																									115839498	2271644	10985237	11911150	16220810	41388841	37762067	16845561	95996469	19843029
2352	3	firms	39429	7590	20975	6129	2957	37651	1681	88	39420	9	39728	7104	21221	6324	3186	37835	1769	111	39715	13	40931	7644	21495	6432	3312	38883	1914	123	40920	11	40322	7191	21701	6274	3130	38296	1881	134	40311	11	40876	8264	21530	6055	3050	38899	1836	128	40863	13
2352	3	estab.	39475	7590	20975	6130	2958	37653	1692	104	39449	26	39767	7104	21221	6324	3187	37836	1780	126	39742	25	40973	7644	21495	6432	3316	38887	1921	142	40950	23	40364	7191	21701	6275	3133	38300	1891	145	40336	28	40935	8264	21530	6055	3055	38904	1850	144	40898	37
2352	3	empl.	198800	0	42237	39807	39134	121178	59649	13564	194391	4409	212050	0	43066	41120	42210	126396	62827	17255	206478	5572	221787	0	43635	41774	44210	129619	67977	19427	217023	4764	220433	0	43571	40640	41207	125418	67687	22266	215371	5062	218825	0	44181	39439	40768	124388	66428	20456	211272	7553
2352	3	ann. pay.	5227676	187957	893204	878419	954824	2914404	1772168	442661	5129233	98443	5684254	171999	933652	930600	1064253	3100504	1918146	523166	5541816	142438	6121419	204432	966946	961384	1136690	3269452	2096566	647000	6013018	108401	6300673	193084	1005293	975290	1111635	3285302	2162940	722376	6170618	130055	6459789	256518	1002672	991416	1146805	3397411	2159358	687781	6244550	215239
2352	3	rec.																																									18552961	1204714	4049668	2789023	2907978	10951383	5205365	1657915	17814663	738298
2353	3	firms	65093	7219	30177	12665	7929	57990	6214	769	64973	120	65567	6732	29974	12975	8252	57933	6635	865	65433	134	65890	6582	29662	13136	8498	57878	6951	896	65725	165	64890	6439	29585	12801	8245	57070	6745	900	64715	175	64730	7261	29752	12454	7964	57431	6339	801	64571	159
2353	3	estab.	65703	7219	30179	12669	7939	58006	6271	916	65193	510	66220	6732	29978	12977	8260	57947	6691	1008	65646	574	66802	6587	29662	13137	8503	57889	7000	1020	65909	893	65860	6441	29588	12803	8251	57083	6802	1027	64912	948	65858	7262	29754	12461	7974	57451	6422	1031	64904	954
2353	3	empl.	692603	0	64844	83534	106651	255029	233620	128970	617619	74984	742538	0	64771	85353	111084	261208	249444	148014	658666	83872	815056	0	64591	86331	114546	265468	264676	158177	688321	126735	831895	0	64314	84380	110883	259577	260247	159594	679418	152477	770632	0	64811	82055	106698	253564	242360	139413	635337	135295
2353	3	ann. pay.	25345173	331487	1608631	2316309	3378891	7635318	8779206	5454176	21868700	3476473	28361458	362116	1673032	2431662	3646996	8113806	9620898	6397401	24132105	4229353	32698001	301894	1712909	2520241	3873877	8408921	10497081	7218338	26124340	6573661	33480174	280875	1748516	2559963	3844188	8433542	10612221	7350987	26396750	7083424	31707131	329385	1797693	2553645	3807936	8488659	10155458	6804742	25448859	6258272
2353	3	rec.																																									89483864	1513571	7148651	7533578	10405409	26601209	27323333	18184169	72108711	17375153
2354	3	firms	52200	7551	24027	9470	5679	46727	4871	543	52141	59	52303	7213	23998	9570	5818	46599	4997	641	52237	66	53212	7374	24119	9725	6012	47230	5222	693	53145	67	50444	7288	24132	8555	5138	45113	4552	708	50373	71	49423	8604	22621	8102	4934	44261	4416	667	49344	79
2354	3	estab.	52544	7551	24027	9471	5681	46730	4904	622	52256	288	52704	7213	23998	9572	5820	46603	5020	728	52351	353	53625	7374	24120	9725	6016	47235	5251	746	53232	393	50885	7288	24134	8557	5141	45120	4572	764	50456	429	50021	8604	22622	8103	4936	44265	4449	786	49500	521
2354	3	empl.	497600	0	51217	61879	76031	189127	187678	89261	466066	31534	538933	0	51315	63021	78261	192597	195520	106372	494489	44444	564994	0	51713	63700	80833	196246	202393	117978	516617	48377	529521	0	50825	55930	69055	175810	179902	122178	477890	51631	515364	0	48711	52897	66557	168165	173373	115415	456953	58411
2354	3	ann. pay.	14408860	271207	1172464	1408744	1965709	4818124	5656680	2906174	13380978	1027882	15995317	271932	1221035	1490228	2121069	5104264	6079351	3440444	14624059	1371258	17389820	269719	1235522	1526856	2167710	5199807	6465714	4132983	15798504	1591316	17188600	264439	1252319	1394459	1998252	4909469	6143947	4427349	15480765	1707835	17208688	338988	1216390	1378053	1953174	4886605	6048958	4184270	15119833	2088855
2354	3	rec.																																									53198174	1858772	6142087	4938720	5973368	18912947	16482894	10780844	46176685	7021489
2355	3	firms	57101	9246	32486	8914	3986	54632	2197	241	57070	31	57525	8857	32533	9246	4173	54809	2406	276	57491	34	58247	8943	32709	9345	4326	55323	2584	302	58209	38	57189	8914	32757	8963	3805	54439	2374	333	57146	43	60484	10834	33874	9015	4036	57759	2375	306	60440	44
2355	3	estab.	57353	9246	32487	8914	3988	54635	2229	283	57147	206	57801	8858	32533	9247	4177	54815	2433	326	57574	227	58525	8944	32709	9346	4331	55330	2612	345	58287	238	57441	8914	32757	8967	3810	54448	2401	384	57233	208	60754	10834	33875	9018	4044	57771	2422	355	60548	206
2355	3	empl.	303906	0	64982	57518	52923	175423	79281	         [k]	         [m]	         [j]	327772	0	65274	59685	55271	180230	86422	[k]	[m]	[j]	347303	0	66171	60347	56831	183349	92327	52721	328397	18906	337558	0	65593	57630	50297	173520	84698	57709	315927	21631	338784	0	68835	58007	53346	180188	84828	51686	316702	22082
2355	3	ann. pay.	8073441	219491	1323827	1280982	1374912	4199212	2409075	         (D)	         (D)	         (D)	9104443	267582	1394779	1404254	1479248	4545863	2691457	(D)	(D)	(D)	9963643	252985	1448738	1448084	1592481	4742288	2991653	1647409	9381350	582293	9951543	245901	1491686	1428060	1448243	4613890	2851003	1853587	9318480	633063	10438867	314336	1571580	1487550	1575980	4949446	2929905	1816908	9696259	742608
2355	3	rec.																																									39126256	1970882	8157455	5370903	5289792	20789032	10110613	5499308	36398953	2727303
2356	3	firms	30877	4736	14489	5408	3359	27992	2657	209	30858	19	30665	4402	14353	5555	3349	27659	2745	240	30644	21	30855	4526	14445	5484	3380	27835	2740	254	30829	26	30127	4470	14435	5207	3181	27293	2572	236	30101	26	31367	5628	14584	5262	3132	28606	2506	228	31340	27
2356	3	estab.	30980	4736	14489	5408	3368	28001	2692	257	30950	30	30767	4402	14354	5555	3349	27660	2768	307	30735	32	30966	4526	14447	5484	3380	27837	2766	319	30922	44	30247	4470	14440	5209	3182	27301	2595	306	30202	45	31538	5628	14586	5266	3133	28613	2545	312	31470	68
2356	3	empl.	246478	0	30553	35500	45062	111115	99188	29475	239778	6700	257629	0	30195	36524	44938	111657	103103	35010	249770	7859	260774	0	30355	36116	45440	111911	102650	37895	252456	8318	247408	0	30183	34126	42758	107067	97389	36088	240544	6864	244435	0	31050	34653	42198	107901	94101	33740	235742	8693
2356	3	ann. pay.	7087370	135344	672937	825866	1168330	2802477	3063448	997789	6863714	223656	7614393	135528	692200	873856	1216176	2917760	3224343	1210623	7352726	261667	7928821	153834	695745	856150	1250859	2956588	3367430	1305025	7629043	299778	7833919	148495	744568	854250	1211779	2959092	3319018	1296247	7574357	259562	7882266	206428	765748	894010	1234676	3100862	3243552	1205559	7549973	332293
2356	3	rec.																																									30607059	1451406	4775448	3764067	4331768	14322689	10806255	4035309	29164253	1442806
2357	3	firms	29474	5487	11858	5944	3540	26829	2390	222	29441	33	29763	5327	11690	6131	3690	26838	2618	272	29728	35	30136	5085	11794	6336	3847	27062	2738	295	30095	41	30639	5151	12457	6182	3720	27510	2793	291	30594	45	34680	7933	13088	6437	4016	31474	2871	288	34633	47
2357	3	estab.	29575	5487	11858	5944	3542	26831	2399	242	29472	103	29870	5327	11690	6132	3691	26840	2629	293	29762	108	30238	5085	11794	6336	3848	27063	2749	306	30118	120	30743	5151	12457	6183	3721	27512	2802	318	30632	111	34820	7933	13088	6437	4017	31475	2887	323	34685	135
2357	3	empl.	244553	0	26596	39191	47226	113013	85766	34136	232915	11638	269232	0	26263	40474	49050	115787	96365	42133	254285	14947	292569	0	26654	41888	51418	119960	101832	48265	270057	22512	295285	0	27577	40936	49900	118413	104096	48719	271228	24057	306585	0	29622	42381	53644	125647	105563	46682	277892	28693
2357	3	ann. pay.	7719874	239249	801354	1031041	1342315	3413959	2717258	1174471	7305688	414186	8718107	250685	832359	1105339	1392816	3581199	3118430	1504020	8203649	514458	9501215	234502	795617	1123089	1477693	3630901	3386918	1762387	8780206	721009	10419100	255961	913154	1182703	1561835	3913653	3627508	1839042	9380203	1038897	10993175	416073	994193	1256401	1681504	4348171	3729589	1828918	9906678	1086497
2357	3	rec.																																									40255179	2166648	4725941	4623139	5875644	17391372	12997236	6685570	37074178	3181001
2358	3	firms	3756	366	2132	820	303	3621	124	8	3753	3	3718	310	2095	863	299	3567	143	5	3715	3	3735	333	2017	866	361	3577	146	9	3732	3	3648	305	1972	837	353	3467	167	11	3645	3	3955	406	2089	885	403	3783	156	12	3951	4
2358	3	estab.	3830	366	2132	820	304	3622	131	18	3771	59	3789	310	2095	863	299	3567	151	13	3731	58	3797	333	2017	866	363	3579	152	17	3748	49	3722	305	1972	837	356	3470	172	27	3669	53	4028	406	2089	885	406	3786	164	32	3982	46
2358	3	empl.	19905	0	4648	5255	3895	13798	3720	         [f]	         [j]	         [g]	20494	0	4569	5623	3897	14089	4407	[f]	[j]	[g]	21590	0	4443	5581	4745	14769	4570	790	20129	1461	22296	0	4361	5443	4604	14408	5249	1246	20903	1393	23692	0	4709	5774	5327	15810	4997	1507	22314	1378
2358	3	ann. pay.	594841	8578	103512	137252	117458	366800	137384	         (D)	         (D)	         (D)	636779	10236	106840	151414	121709	390199	164725	(D)	(D)	(D)	688475	19071	107329	148805	150187	425392	176257	29109	630758	57717	758907	8260	106779	154725	157717	427481	210222	61175	698878	60029	841050	12850	123730	171589	188173	496342	209751	70363	776456	64594
2358	3	rec.																																									3216861	86344	648250	641635	641245	2017474	685535	271055	2974064	242797
2359	3	firms	66894	11279	30686	12146	7370	61481	4813	487	66781	113	71434	12948	31822	12857	7809	65436	5330	540	71306	128	77075	13874	34238	13989	8528	70629	5694	615	76938	137	72601	12893	34769	12094	7076	66832	5050	587	72469	132	64321	12485	28238	10889	6878	58490	5160	546	64196	125
2359	3	estab.	68032	11286	30687	12148	7391	61512	4910	566	66988	1044	72587	12948	31824	12858	7819	65449	5436	629	71514	1073	78307	13875	34239	13992	8535	70641	5805	749	77195	1112	73804	12893	34771	12095	7089	66848	5139	765	72752	1052	65687	12490	28242	10893	6894	58519	5331	744	64594	1093
2359	3	empl.	539518	0	65277	79769	98631	243677	172393	68122	484192	55326	584513	0	67389	84493	104181	256063	192471	75403	523937	60576	644915	0	72602	91585	114273	278460	206967	90316	575743	69172	590978	0	72572	79402	94015	245989	189733	86834	522556	68422	567116	0	60265	72006	92349	224620	193036	80796	498452	68664
2359	3	ann. pay.	17953557	383859	1627564	2101818	2945502	7058743	5978062	2601200	15638005	2315552	20235739	529782	1759223	2314912	3197128	7801045	6783375	2982128	17566548	2669191	22786647	543468	1892585	2523237	3603606	8562896	7449399	3567302	19579597	3207050	22012036	488666	1917752	2231608	3076356	7714382	7366787	3644770	18725939	3286097	21913364	482966	1652159	2154980	3173056	7463161	7610681	3571673	18645515	3267849
2359	3	rec.																																									77887893	2980624	8603331	8172622	10787547	30544124	24647331	11755324	66946779	10941114
3111	3	firms	1083	57	230	214	212	713	236	67	1016	67	1106	75	239	223	193	730	238	68	1036	70	1127	61	259	210	205	735	245	71	1051	76	1174	68	295	208	206	777	251	77	1105	69	1183	79	295	205	204	783	252	81	1116	67
3111	3	estab.	1712	57	230	214	213	714	272	165	1151	561	1711	75	239	223	196	733	273	152	1158	553	1710	61	259	210	208	738	278	155	1171	539	1779	68	295	208	210	781	286	162	1229	550	1783	79	295	206	207	787	299	169	1255	528
3111	3	empl.	49084	0	555	1426	2816	4797	8445	7265	20507	28577	50384	0	572	1473	2555	4600	8847	7358	20805	29579	50801	0	608	1402	2703	4713	9036	6997	20746	30055	49235	0	690	1366	2745	4801	9170	7845	21816	27419	47012	0	708	1336	2773	4817	9133	8306	22256	24756
3111	3	ann. pay.	1620058	15978	11609	33889	73302	134778	261762	236074	632614	987444	1724796	9647	11647	35257	74756	131307	281379	268875	681561	1043235	1736894	2843	12774	33703	76392	125712	294336	258636	678684	1058210	1764080	6957	17866	34821	74039	133683	320928	306169	760780	1003300	1787858	45517	17776	36266	82577	182136	313943	323368	819447	968411
3111	3	rec.																																									29091490	737804	227151	411305	954780	2331040	3516571	4330377	10177988	18913502
3112	3	firms	534	28	127	86	67	308	108	57	473	61	544	35	123	90	63	311	120	53	484	60	540	34	112	99	61	306	121	61	488	52	553	45	120	95	66	326	113	60	499	54	492	29	100	76	70	275	110	55	440	52
3112	3	estab.	890	28	127	86	67	308	121	99	528	362	897	35	123	90	63	311	134	100	545	352	913	34	112	99	61	306	137	116	559	354	916	45	120	95	66	326	127	110	563	353	832	29	100	78	71	278	118	106	502	330
3112	3	empl.	59298	0	310	567	889	1766	4313	8623	14702	44596	60672	0	299	599	885	1783	5001	8423	15207	45465	59853	0	262	653	844	1759	4872	9032	15663	44190	57643	0	293	625	911	1829	4759	8854	15442	42201	54531	0	232	506	952	1690	4499	8008	14197	40334
3112	3	ann. pay.	2370228	4042	8334	10471	25105	47952	132587	295716	476255	1893973	2431798	2404	6440	12786	24142	45772	158541	279406	483719	1948079	2460270	1864	6862	13150	22615	44491	158528	321570	524589	1935681	2469321	13924	7826	15676	24468	61894	159131	318266	539291	1930030	2422553	5301	4872	11931	25274	47378	157914	308856	514148	1908405
3112	3	rec.																																									47108696	108880	78486	198964	361948	748278	2287593	3798855	6834726	40273970
3113	3	firms	1619	164	463	336	260	1223	252	99	1574	45	1541	124	466	305	254	1149	250	98	1497	44	1502	149	418	300	250	1117	248	95	1460	42	1571	158	452	304	263	1177	253	90	1520	51	1548	135	447	313	258	1153	254	95	1502	46
3113	3	estab.	1815	165	465	336	275	1241	289	131	1661	154	1735	125	467	306	267	1165	285	132	1582	153	1689	152	418	302	263	1135	275	127	1537	152	1750	159	453	305	275	1192	279	122	1593	157	1715	135	447	315	270	1167	275	127	1569	146
3113	3	empl.	86291	0	1055	2253	3427	6735	9543	18828	35106	51185	85230	0	1077	2048	3313	6438	9701	17306	33445	51785	84106	0	972	2029	3313	6314	9529	16432	32275	51831	86916	0	1014	2049	3495	6558	9681	15373	31612	55304	81206	0	1018	2093	3376	6487	9619	16346	32452	48754
3113	3	ann. pay.	2715617	7076	12749	30248	46509	96582	206108	530483	833173	1882444	2767259	3718	13798	25839	43359	86714	217323	508823	812860	1954399	2784940	11530	17783	26268	46738	102319	231822	512336	846477	1938463	2819487	5796	15504	26895	51940	100135	250418	493051	843604	1975883	2734895	9412	33219	30779	53849	127259	233674	508251	869184	1865711
3113	3	rec.																																									25465403	87324	312103	190093	280703	870223	1431886	3859149	6161258	19304145
3114	3	firms	1401	85	309	199	176	769	335	181	1285	116	1398	122	298	193	174	787	328	162	1277	121	1387	120	298	172	191	781	330	162	1273	114	1397	130	287	177	201	795	329	167	1291	106	1322	95	292	158	186	731	317	158	1206	116
3114	3	estab.	1808	85	310	199	176	770	343	250	1363	445	1805	122	299	194	174	789	348	219	1356	449	1796	120	299	172	191	782	350	221	1353	443	1804	130	288	177	202	797	338	244	1379	425	1721	95	292	158	186	731	335	230	1296	425
3114	3	empl.	170477	0	678	1373	2373	4424	14776	34308	53508	116969	171503	0	658	1302	2415	4375	14889	30973	50237	121266	166650	0	639	1152	2636	4427	14542	30460	49429	117221	165395	0	636	1182	2797	4615	13934	31762	50311	115084	158905	0	615	1076	2583	4274	13597	29537	47408	111497
3114	3	ann. pay.	5043577	12303	15685	25167	57036	110191	422231	959933	1492355	3551222	5248746	24986	12223	28027	58226	123462	430059	895346	1448867	3799879	5379596	20165	12580	25558	71597	129900	424350	916808	1471058	3908538	5385475	14470	12739	25403	76386	128998	435114	993353	1557465	3828010	5405741	7727	15369	25637	73824	122557	432596	972439	1527592	3878149
3114	3	rec.																																									53547140	105611	148534	204990	522365	981500	3312301	7847230	12141031	41406109
3115	3	firms	1308	106	253	188	188	735	325	138	1198	110	1272	105	241	180	184	710	336	129	1175	97	1250	103	260	163	177	703	323	129	1155	95	1265	100	271	178	183	732	309	126	1167	98	1190	108	246	153	164	671	299	122	1092	98
3115	3	estab.	1839	106	253	188	189	736	344	183	1263	576	1806	105	241	180	185	711	353	180	1244	562	1769	103	260	163	177	703	340	179	1222	547	1774	100	271	178	184	733	328	166	1227	547	1697	108	246	153	165	672	315	161	1148	549
3115	3	empl.	131481	0	563	1266	2566	4395	13849	22108	40352	91129	132111	0	550	1190	2532	4272	14584	21852	40708	91403	132017	0	584	1091	2383	4058	13927	21949	39934	92083	131799	0	640	1196	2526	4362	13486	21676	39524	92275	129274	0	546	1043	2299	3888	12398	20738	37024	92250
3115	3	ann. pay.	4305878	13138	15059	25133	68630	121960	376123	713779	1211862	3094016	4555632	16579	10703	23565	66977	117824	400670	762930	1281424	3274208	4829655	8745	13055	22196	59783	103779	407323	786146	1297248	3532407	4823532	11808	15301	25456	69868	122433	396337	789028	1307798	3515734	4859792	4152	13616	23450	61184	102402	383721	758862	1244985	3614807
3115	3	rec.																																									65536650	53384	173420	285214	654832	1166850	4250206	8803034	14220090	51316560
3116	3	firms	3512	239	1146	617	500	2502	602	257	3361	151	3503	312	1078	619	482	2491	606	251	3348	155	3405	268	1090	610	451	2419	579	250	3248	157	3443	308	1092	614	442	2456	590	247	3293	150	3191	252	980	594	394	2220	586	242	3048	143
3116	3	estab.	4144	239	1146	618	500	2503	628	326	3457	687	4129	312	1078	619	483	2492	631	311	3434	695	4032	268	1090	611	453	2422	600	308	3330	702	4074	308	1092	616	443	2459	613	297	3369	705	3805	252	980	595	395	2222	614	289	3125	680
3116	3	empl.	468929	0	2655	4053	6807	13515	25985	47361	86861	382068	483137	0	2522	4071	6470	13063	26030	46497	85590	397547	491111	0	2503	4001	6197	12701	25147	45376	83224	407887	496177	0	2551	4021	6037	12609	25398	43770	81777	414400	495730	0	2295	3912	5342	11549	24095	43712	79356	416374
3116	3	ann. pay.	10713520	22059	40231	68337	133685	264312	666426	1231658	2162396	8551124	11431098	43655	39101	63664	128856	275276	686317	1257378	2218971	9212127	11829239	45413	42898	64501	131361	284173	674286	1243379	2201838	9627401	12172408	25235	47513	73788	137129	283665	683837	1210138	2177640	9994768	12391140	27336	41240	72565	126663	267804	691689	1317606	2277099	10114041
3116	3	rec.																																									121523852	213315	452701	815922	1178029	2659967	5984319	11397905	20042191	101481661
3117	3	firms	718	77	149	105	100	431	193	61	685	33	729	84	153	110	94	441	186	75	702	27	741	94	174	110	82	460	182	72	714	27	710	76	169	120	82	447	168	67	682	28	643	85	126	93	88	392	152	74	618	25
3117	3	estab.	839	77	149	105	100	431	210	90	731	108	842	84	153	110	94	441	198	112	751	91	854	94	174	110	83	461	193	114	768	86	823	76	169	121	82	448	178	110	736	87	754	85	126	98	89	398	163	116	677	77
3117	3	empl.	43809	0	327	669	1353	2349	8758	9953	21060	22749	42534	0	342	734	1234	2310	8429	13584	24323	18211	41770	0	373	733	1089	2195	8246	13398	23839	17931	39855	0	383	790	1125	2298	7526	13292	23116	16739	38663	0	281	597	1199	2077	6749	14189	23015	15648
3117	3	ann. pay.	956400	6684	13962	21557	34132	76335	189777	232932	499044	457356	988801	7414	14924	17732	30142	70212	187470	345355	603037	385764	1070573	7170	13952	17841	33218	72181	198083	373640	643904	426669	1057737	8648	15118	21342	36587	81695	201702	392343	675740	381997	1092500	6882	14059	19988	33166	74095	182996	413426	670517	421983
3117	3	rec.																																									8847155	53963	146704	151495	356117	708279	1395985	3100968	5205232	3641923
3118	3	firms	10937	1066	3842	2253	1875	9036	1456	289	10781	156	10075	947	3675	2055	1638	8315	1337	279	9931	144	9843	928	3507	2027	1597	8059	1369	274	9702	141	10011	1024	3594	1993	1598	8209	1399	265	9873	138	9729	986	3439	1947	1576	7948	1375	275	9598	131
3118	3	estab.	11838	1071	3845	2259	1906	9081	1631	429	11141	697	10876	949	3678	2063	1659	8349	1436	419	10204	672	10644	929	3512	2035	1622	8098	1448	434	9980	664	10817	1025	3598	2004	1617	8244	1503	401	10148	669	10534	987	3443	1954	1597	7981	1490	445	9916	618
3118	3	empl.	304049	0	8797	15018	25425	49240	52085	40103	141428	162621	287277	0	8524	13687	21990	44201	47989	41424	133614	153663	293331	0	8066	13582	21646	43294	49934	43923	137151	156180	298017	0	8283	13343	21659	43285	51763	42324	137372	160645	288577	0	8076	12867	21509	42452	50552	43324	136328	152249
3118	3	ann. pay.	7911540	30901	104516	169133	316873	621423	899354	1077218	2597995	5313545	7936750	51191	109762	180386	285597	626936	879454	1125737	2632127	5304623	8595371	45132	113851	182711	296669	638363	991563	1232109	2862035	5733336	8811171	88203	125391	189893	323452	726939	1055769	1242793	3025501	5785670	8702321	75596	116786	183769	336198	712349	1117633	1267767	3097749	5604572
3118	3	rec.																																									49936821	458566	482656	718971	1299407	2959600	4300082	5528130	12787812	37149009
3119	3	firms	2495	197	567	373	393	1530	602	212	2344	151	2556	232	595	367	374	1568	621	215	2404	152	2613	268	580	409	370	1627	631	209	2467	146	2672	259	621	435	377	1692	628	215	2535	137	2454	237	533	356	354	1480	612	223	2315	139
3119	3	estab.	2876	197	567	373	393	1530	630	290	2450	426	2933	232	595	367	374	1568	649	291	2508	425	2994	268	580	410	370	1628	659	285	2572	422	3048	259	621	438	377	1695	651	297	2643	405	2857	237	534	358	361	1490	645	308	2443	414
3119	3	empl.	151021	0	1303	2537	5454	9294	25329	31418	66041	84980	151506	0	1387	2461	5163	9011	26076	32537	67624	83882	148615	0	1327	2778	5127	9232	26935	32822	68989	79626	145109	0	1396	2951	5246	9593	27032	33175	69800	75309	149868	0	1228	2404	4984	8616	25516	33881	68013	81855
3119	3	ann. pay.	4572320	14624	25334	51267	132983	224208	707526	906599	1838333	2733987	4773079	28054	31379	50542	126143	236118	760297	956382	1952797	2820282	5086694	13034	34485	60691	131993	240203	810571	982225	2032999	3053695	4782288	21715	35089	79446	139694	275944	835747	1078150	2189841	2592447	5083265	25678	36087	58022	145168	264955	814388	1114529	2193872	2889393
3119	3	rec.																																									56464090	179821	460433	527987	1069520	2237761	5795507	7994951	16028219	40435871
3121	3	firms	2137	213	653	354	270	1490	424	134	2048	89	2196	265	659	347	291	1562	409	131	2102	94	2267	263	674	371	313	1621	427	132	2180	87	2558	302	792	417	346	1857	484	136	2477	81	2616	331	876	385	352	1944	453	135	2532	84
3121	3	estab.	2601	213	653	355	272	1493	437	180	2110	491	2671	265	659	347	293	1564	424	189	2177	494	2748	263	674	371	316	1624	442	186	2252	496	3033	302	792	417	350	1861	510	183	2554	479	3099	331	876	386	353	1946	481	180	2607	492
3121	3	empl.	140256	         [a]	         [g]	         [g]	         [h]	7569	16630	21306	45505	94751	142139	0	1493	2302	3927	7722	16519	20298	44539	97600	139937	0	1479	2467	4141	8087	16820	20208	45115	94822	145627	0	1736	2774	4599	9109	19317	21361	49787	95840	139364	0	1917	2575	4773	9265	17659	19792	46716	92648
3121	3	ann. pay.	5343926	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	187074	425831	729801	1342706	4001220	5478404	39137	32661	52928	95290	220016	448061	673069	1341146	4137258	5757929	20041	37165	58032	109154	224392	471497	722535	1418424	4339505	5859001	19349	43572	65910	115906	244737	564514	792231	1601482	4257519	5774423	12411	49170	68271	131226	261078	567765	733145	1561988	4212435
3121	3	rec.																																									68519586	99308	392745	446713	805108	1743874	3574459	6365504	11683837	56835749
3122	3	firms	95	18	17	9	6	50	20	10	80	15	87	11	22	7	5	45	15	13	73	14	88	16	22	7	5	50	12	11	73	15	146	22	62	12	8	104	16	11	131	15	107	19	30	8	11	68	16	8	92	15
3122	3	estab.	128	18	17	9	6	50	20	12	82	46	118	11	22	7	5	45	15	15	75	43	121	16	22	7	5	50	12	17	79	42	179	22	62	12	8	104	17	19	140	39	133	19	30	8	11	68	16	15	99	34
3122	3	empl.	32636	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	201	977	1341	2519	30117	30210	0	52	44	64	160	803	2144	3107	27103	29293	0	52	45	64	161	491	2003	2655	26638	25237	0	125	91	94	310	644	1678	2632	22605	24031	0	56	44	131	231	780	1357	2368	21663
3122	3	ann. pay.	1533559	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3311	39518	41226	84055	1449504	1513158	944	1038	728	900	3610	52063	88415	144088	1369070	1559688	1292	1070	2234	1318	5914	10700	67265	83879	1475809	1398792	631	2765	2040	5179	10615	21824	64909	97348	1301444	1379716	2211	2442	1623	5049	11325	21746	48329	81400	1298316
3122	3	rec.																																									39426765	19781	23821	12191	54123	109916	270365	623123	1003404	38423361
3131	3	firms	359	32	54	31	42	159	83	57	299	60	373	34	63	51	35	183	77	57	317	56	374	26	68	43	44	181	80	55	316	58	387	36	82	39	55	212	73	53	338	49	383	36	98	45	42	221	78	40	339	44
3131	3	estab.	603	32	54	31	42	159	85	73	317	286	613	34	63	51	35	183	78	76	337	276	607	26	68	43	44	181	83	76	340	267	605	36	82	40	55	213	75	69	357	248	569	36	98	45	42	221	81	51	353	216
3131	3	empl.	84865	0	129	217	582	928	3855	11453	16236	68629	81028	0	150	370	485	1005	3647	11625	16277	64751	76609	0	152	281	628	1061	3661	10775	15497	61112	66321	0	198	261	795	1254	3503	9287	14044	52277	60243	0	207	301	595	1103	3803	7729	12635	47608
3131	3	ann. pay.	2063017	2756	4765	4107	11121	22749	106824	274356	403929	1659088	1953154	5165	4452	7949	9919	27485	107619	283956	419060	1534094	1930479	1277	4969	5174	12783	24203	98370	267380	389953	1540526	1614660	26816	5705	7075	18746	58342	95034	234526	387902	1226758	1589374	2689	5108	7187	14344	29328	103164	214364	346856	1242518
3131	3	rec.																																									10228526	17309	36082	35938	99526	188855	529634	1130309	1848798	8379728
3132	3	firms	1766	112	446	281	241	1080	349	186	1615	151	1740	105	455	251	248	1059	343	185	1587	153	1667	92	448	255	237	1032	312	171	1515	152	1668	92	467	252	233	1044	309	178	1531	137	1537	106	409	233	209	957	312	153	1422	115
3132	3	estab.	2100	112	446	281	241	1080	359	237	1676	424	2072	105	455	251	248	1059	352	235	1646	426	1987	92	449	255	238	1034	322	219	1575	412	1971	92	467	253	233	1045	322	225	1592	379	1791	106	409	234	210	959	329	189	1477	314
3132	3	empl.	208029	0	985	1885	3222	6092	15580	33057	54729	153300	199782	0	1011	1674	3278	5963	15186	33028	54177	145605	185478	0	961	1702	3238	5901	14174	30401	50476	135002	170441	0	1054	1718	3267	6039	13286	29905	49230	121211	139857	0	919	1569	2888	5376	13873	24984	44233	95624
3132	3	ann. pay.	5542747	30112	20858	41833	74962	167765	383564	861841	1413170	4129577	5361165	18218	23322	37678	76791	156009	394246	857307	1407562	3953603	5233472	5022	23016	41961	77645	147644	378282	814754	1340680	3892792	4698293	11766	24324	37294	85270	158654	348567	808700	1315921	3382372	4109372	22099	21927	41208	87792	173026	385991	744701	1303718	2805654
3132	3	rec.																																									21043476	127360	116333	188476	444776	876945	1764577	3515368	6156890	14886586
3133	3	firms	1845	154	564	299	216	1233	358	164	1755	90	1771	145	539	312	208	1204	341	140	1685	86	1737	123	542	324	206	1195	328	132	1655	82	1758	159	573	312	206	1250	307	126	1683	75	1579	129	500	286	191	1106	289	123	1518	61
3133	3	estab.	1991	154	564	300	219	1237	373	201	1811	180	1902	145	539	313	215	1212	353	165	1730	172	1855	123	542	324	210	1199	343	159	1701	154	1876	159	575	313	209	1256	318	157	1731	145	1685	129	500	287	191	1107	301	155	1563	122
3133	3	empl.	92561	0	1265	1966	2828	6059	15784	27022	48865	43696	81476	0	1212	2029	2727	5968	14633	22230	42831	38645	77307	0	1224	2142	2715	6081	14392	20946	41419	35888	71728	0	1305	2060	2766	6131	12738	19311	38180	33548	61555	0	1138	1909	2553	5600	12192	18462	36254	25301
3133	3	ann. pay.	2615875	19676	35926	57530	98254	211386	481714	767401	1460501	1155374	2380049	16260	33904	64466	95670	210300	473357	626063	1309720	1070329	2327169	11991	36032	66083	97582	211688	488414	591291	1291393	1035776	2090021	12537	35553	62279	94586	204955	429513	542008	1176476	913545	1909451	11080	32019	54495	92810	190404	429603	538611	1158618	750833
3133	3	rec.																																									11964208	64288	214084	359161	636675	1274208	2166986	2840445	6281639	5682569
3141	3	firms	2970	214	1400	538	288	2440	337	132	2909	61	2864	196	1316	543	261	2316	361	132	2809	55	2707	167	1208	498	291	2164	367	117	2648	59	2701	196	1184	468	326	2174	364	102	2640	61	2646	191	1217	434	309	2151	334	103	2588	58
3141	3	estab.	3216	214	1400	542	298	2454	372	181	3007	209	3105	197	1317	546	269	2329	393	182	2904	201	2949	167	1209	500	298	2174	398	166	2738	211	2928	196	1187	469	333	2185	396	136	2717	211	2859	191	1217	437	312	2157	355	134	2646	213
3141	3	empl.	123284	0	2965	3460	3824	10249	14075	24325	48649	74635	123376	0	2781	3524	3551	9856	14895	25435	50186	73190	118346	0	2594	3226	3929	9749	15489	21761	46999	71347	111453	0	2513	2994	4297	9804	15191	18919	43914	67539	105148	0	2585	2918	4165	9668	13433	16997	40098	65050
3141	3	ann. pay.	2893044	13658	45842	59525	75696	194721	293270	516087	1004078	1888966	2989174	15288	46927	65225	76112	203552	323203	584178	1110933	1878241	2919247	10867	48929	63974	87678	211448	349508	512731	1073687	1845560	2765104	12390	47358	60585	103554	223887	352831	431545	1008263	1756841	2856705	130275	48471	64114	104522	347382	343654	426881	1117917	1738788
3141	3	rec.																																									24441120	1264897	266829	329273	489107	2350106	1741143	2349254	6440503	18000617
3149	3	firms	3743	319	1193	696	612	2820	673	160	3653	90	3907	278	1223	744	653	2898	761	156	3815	92	3790	285	1159	717	621	2782	762	162	3706	84	3902	297	1311	715	625	2948	715	153	3816	86	4329	382	1657	747	647	3433	668	150	4251	78
3149	3	estab.	3880	319	1193	696	612	2820	692	196	3708	172	4047	278	1223	744	653	2898	781	196	3875	172	3932	285	1159	717	622	2783	783	204	3770	162	4038	297	1311	715	626	2949	736	181	3866	172	4473	382	1657	747	649	3435	695	183	4313	160
3149	3	empl.	94071	0	2720	4650	8354	15724	26764	21352	63840	30231	98595	0	2767	5038	8965	16770	29832	22094	68696	29899	97323	0	2614	4831	8438	15883	29391	22860	68134	29189	90569	0	2962	4831	8557	16350	27679	20544	64573	25996	85061	0	3641	5021	8857	17519	25337	19842	62698	22363
3149	3	ann. pay.	2187618	28382	47034	93459	174016	342891	588712	480474	1412077	775541	2324281	13589	51454	104739	192813	362595	671949	529021	1563565	760716	2445097	18388	52441	100585	187956	359370	696991	581888	1638249	806848	2294311	21506	66001	105587	194617	387711	676511	515286	1579508	714803	2256144	22395	71760	112319	214989	421463	679121	522142	1622726	633418
3149	3	rec.																																									10571522	114317	317046	400554	811370	1643287	2573251	2347254	6563792	4007730
3151	3	firms	1188	83	217	169	173	642	379	120	1141	47	1127	102	231	128	168	629	342	112	1083	44	1089	107	214	139	156	616	319	113	1048	41	1033	90	227	135	157	609	282	107	998	35	812	59	167	95	129	450	252	80	782	30
3151	3	estab.	1292	83	217	169	174	643	385	145	1173	119	1230	102	232	128	169	631	348	138	1117	113	1182	107	214	139	157	617	322	139	1078	104	1113	90	227	135	157	609	284	128	1021	92	879	60	167	95	129	451	256	97	804	75
3151	3	empl.	94028	0	456	1112	2442	4010	16611	23044	43665	50363	88154	0	530	874	2333	3737	14511	21863	40111	48043	80522	0	485	954	2200	3639	13077	21654	38370	42152	70479	0	494	914	2179	3587	12026	19815	35428	35051	55896	0	381	676	1800	2857	10791	14954	28602	27294
3151	3	ann. pay.	1907985	10477	11109	25226	51479	98291	300741	422913	821945	1086040	1865251	12431	12338	18772	50232	93773	279603	429996	803372	1061879	1739109	10696	11866	21753	47572	91887	263892	433011	788790	950319	1503381	8294	13122	19973	42798	84187	247456	399443	731086	772295	1316761	5622	11140	18661	40085	75508	245387	346360	667255	649506
3151	3	rec.																																									6546916	25716	53728	95437	167717	342598	1024304	1538829	2905731	3641185
3152	3	firms	12885	1658	2762	2015	2261	8696	3312	687	12695	190	12425	2145	2788	1942	1916	8791	2866	606	12263	162	12414	1978	2989	2027	2015	9009	2701	563	12273	141	12456	2042	3415	2143	1813	9413	2428	496	12337	119	10687	1680	2884	1824	1720	8108	2097	389	10594	93
3152	3	estab.	13685	1658	2762	2015	2263	8698	3368	882	12948	737	13100	2145	2791	1950	1917	8803	2913	776	12492	608	12963	1978	2998	2035	2015	9026	2739	722	12487	476	12915	2043	3416	2143	1830	9432	2461	631	12524	391	11039	1680	2884	1827	1726	8117	2139	509	10765	274
3152	3	empl.	520341	0	6313	13634	31453	51400	137175	123763	312338	208003	436374	0	6307	13159	26548	46014	118450	105904	270368	166006	383200	0	6715	13679	27818	48212	110878	99280	258370	124830	328974	0	7571	14441	24736	46748	98256	82970	227974	101000	260416	0	6463	12411	23607	42481	82498	64682	189661	70755
3152	3	ann. pay.	9321730	100884	112639	200574	456218	870315	2139398	2335723	5345436	3976294	8290488	155832	131243	202406	404379	893860	1942072	2141241	4977173	3313315	7651145	117398	135228	224605	446643	923874	1913530	2097287	4934691	2716454	6791378	146344	160809	233309	407666	948128	1693503	1846694	4488325	2303053	5987318	131205	145213	239583	452976	968977	1684247	1600073	4253297	1734021
3152	3	rec.																																									37906456	738668	645420	1027598	2004596	4416282	8137318	9669461	22223061	15683395
3159	3	firms	2373	329	895	335	279	1838	392	101	2331	42	2305	310	888	349	260	1807	383	80	2270	35	2277	321	893	343	260	1817	358	72	2247	30	2064	239	839	334	225	1637	330	70	2037	27	1389	106	555	212	162	1035	264	65	1364	25
3159	3	estab.	2476	329	895	337	282	1843	413	147	2403	73	2391	310	890	349	262	1811	401	122	2334	57	2360	321	893	345	262	1821	368	118	2307	53	2124	239	841	336	227	1643	340	96	2079	45	1441	106	555	214	164	1039	276	86	1401	40
3159	3	empl.	56872	0	1810	2210	3719	7739	16243	14691	38673	18199	50380	0	1857	2285	3519	7661	15966	11871	35498	14882	46760	0	1847	2258	3543	7648	14989	10484	33121	13639	42289	0	1726	2200	3067	6993	13739	10101	30833	11456	34127	0	1180	1417	2241	4838	11048	8658	24544	9583
3159	3	ann. pay.	1136348	16763	28767	39551	64403	149484	306143	283773	739400	396948	1049905	21214	32197	38544	61097	153052	299207	264855	717114	332791	1035925	18135	36886	44164	63441	162626	292831	241103	696560	339365	967504	14883	36568	43602	58374	153427	289305	233037	675769	291735	847546	10989	23507	34955	52911	122362	257064	219093	598519	249027
3159	3	rec.																																									3946004	49992	114856	144526	225429	534803	987571	1207795	2730169	1215835
3161	3	firms	290	25	99	48	34	206	55	13	274	16	329	41	103	50	42	236	63	15	314	15	330	28	103	56	46	233	69	13	315	15	342	34	117	60	39	250	66	13	329	13	274	25	98	45	32	200	53	11	264	10
3161	3	estab.	315	25	99	48	34	206	57	14	277	38	354	41	103	50	42	236	65	16	317	37	354	28	103	56	46	233	72	14	319	35	358	34	117	60	39	250	69	13	332	26	286	25	98	45	32	200	54	14	268	18
3161	3	empl.	13427	         [a]	         [c]	295	482	991	2499	1719	5209	8218	14891	0	235	324	537	1096	2582	2258	5936	8955	13834	0	221	377	601	1199	2898	1828	5925	7909	11660	0	253	413	519	1185	2802	1838	5825	5835	9274	0	213	302	429	944	2141	1670	4755	4519
3161	3	ann. pay.	384198	         (D)	         (D)	5931	10334	22406	63787	48794	134987	249211	426501	7564	4558	7317	14684	34123	71255	61840	167218	259283	406554	1634	5334	8568	14508	30044	78424	55573	164041	242513	353873	1091	5943	9761	11879	28674	76597	45579	150850	203023	315147	964	4667	8361	12461	26453	66719	47456	140628	174519
3161	3	rec.																																									2343202	6877	26770	41745	73966	149358	458337	401938	1009633	1333569
3162	3	firms	362	32	108	34	42	216	71	44	331	31	351	38	108	37	30	213	68	42	323	28	349	34	109	42	41	226	55	42	323	26	346	31	116	48	40	235	55	34	324	22	307	27	111	35	36	209	51	29	289	18
3162	3	estab.	417	32	108	34	42	216	72	51	339	78	400	38	108	37	30	213	74	46	333	67	389	34	109	42	41	226	56	47	329	60	381	31	116	48	40	235	56	38	329	52	339	27	111	35	36	209	51	38	298	41
3162	3	empl.	38207	         [a]	         [c]	220	579	1047	3298	8801	13146	25061	33648	0	246	238	405	889	2869	8318	12076	21572	30437	0	236	273	564	1073	2138	7906	11117	19320	27012	0	242	322	523	1087	2164	6255	9506	17506	21109	0	250	233	461	944	1666	5048	7658	13451
3162	3	ann. pay.	774448	         (D)	         (D)	3929	9455	20682	62817	178078	261577	512871	726291	3868	4909	4668	9158	22603	52022	176638	251263	475028	735276	3632	5348	5809	11224	26013	42982	173971	242966	492310	626534	1554	4835	7605	10096	24090	44039	152184	220313	406221	536030	4244	6006	4832	10194	25276	40975	113805	180056	355974
3162	3	rec.																																									2964457	16292	23279	18507	45983	104061	188647	557002	849710	2114747
3169	3	firms	1042	85	384	177	128	774	193	52	1019	23	1026	111	375	174	109	769	188	47	1004	22	1016	106	374	175	116	771	179	43	993	23	1002	87	389	165	132	773	172	38	983	19	906	79	358	146	131	714	147	32	893	13
3169	3	estab.	1069	85	384	177	128	774	197	71	1042	27	1053	112	375	174	109	770	192	65	1027	26	1040	106	375	175	116	772	183	58	1013	27	1024	87	389	165	132	773	174	55	1002	22	924	79	358	146	131	714	150	45	909	15
3169	3	empl.	27691	0	864	1178	1717	3759	8060	9170	20989	6702	25427	0	865	1174	1474	3513	7763	8299	19575	5852	24241	0	810	1183	1560	3553	7491	7403	18447	5794	21895	0	797	1104	1762	3663	7321	6423	17407	4488	17412	0	763	989	1715	3467	5976	5183	14626	2786
3169	3	ann. pay.	614418	5003	13359	18083	30934	67379	159807	201703	428889	185529	585141	4146	13727	18752	28023	64648	161662	200916	427226	157915	568678	5165	14121	23236	30235	72757	163498	179245	415500	153178	515260	2937	15254	21960	34330	74481	154832	157610	386923	128337	418190	6755	15223	21410	39362	82750	140709	136093	359552	58638
3169	3	rec.																																									1798507	31763	71565	80295	159561	343184	508702	712514	1564400	234107
3211	3	firms	4390	328	1159	793	826	3106	973	236	4315	75	4361	323	1123	823	837	3106	942	229	4277	84	4229	294	1088	766	817	2965	952	233	4150	79	4137	273	1113	788	769	2943	911	208	4062	75	3901	289	1051	713	702	2755	861	217	3833	68
3211	3	estab.	4859	328	1159	793	827	3107	1017	381	4505	354	4839	323	1123	823	840	3109	990	368	4467	372	4695	294	1089	766	819	2968	995	380	4343	352	4594	274	1115	788	771	2948	951	356	4255	339	4368	289	1051	713	707	2760	907	379	4046	322
3211	3	empl.	130373	0	2695	5367	11291	19353	39527	34450	93330	37043	131916	0	2549	5574	11469	19592	38646	33356	91594	40322	131353	0	2453	5152	11097	18702	39005	35563	93270	38083	122188	0	2468	5318	10572	18358	37902	30913	87173	35015	115998	0	2412	4839	9647	16898	34670	31923	83491	32507
3211	3	ann. pay.	3562019	18585	43180	94385	224096	380246	963097	986274	2329617	1232402	3750507	51378	44474	98581	231590	426023	960743	1007523	2394289	1356218	3782683	12463	40525	91832	232643	377463	981619	1060079	2419161	1363522	3520306	16472	46052	98754	218332	379610	961704	946332	2287646	1232660	3549672	15686	48906	94314	215804	374710	927021	1012619	2314350	1235322
3211	3	rec.																																									26164758	143365	398322	662267	1481731	2685685	6314729	7352317	16352731	9812027
3212	3	firms	1521	90	203	170	284	747	520	181	1448	73	1496	85	197	172	260	714	512	192	1418	78	1501	72	207	169	252	700	523	198	1421	80	1538	68	238	186	262	754	507	197	1458	80	1452	45	205	180	269	699	486	187	1372	80
3212	3	estab.	1893	90	203	171	286	750	531	245	1526	367	1886	85	197	173	261	716	524	259	1499	387	1904	72	207	169	253	701	534	263	1498	406	1944	68	238	186	263	755	516	262	1533	411	1844	45	205	180	269	699	504	248	1451	393
3212	3	empl.	113418	0	469	1134	3926	5529	22793	26886	55208	58210	117542	0	456	1180	3634	5270	22528	27755	55553	61989	120578	0	474	1155	3518	5147	23224	28606	56977	63601	116445	0	549	1316	3651	5516	21965	27924	55405	61040	111009	0	469	1245	3727	5441	21004	26084	52529	58480
3212	3	ann. pay.	3358843	12689	12969	25156	90699	141513	597548	730689	1469750	1889093	3625681	9852	12743	26712	87910	137217	607453	800433	1545103	2080578	3749786	7454	12668	27508	85703	133333	627827	827668	1588828	2160958	3696485	5968	15788	31302	98359	151417	632231	809595	1593243	2103242	3670076	6659	15315	34408	100881	157263	641044	821834	1620141	2049935
3212	3	rec.																																									20097487	32520	106645	165668	458363	763196	2713366	3948791	7425353	12672134
3219	3	firms	10089	878	2869	1852	1710	7309	2113	485	9907	182	9917	835	2842	1706	1788	7171	2074	487	9732	185	9881	834	2794	1714	1734	7076	2112	504	9692	189	9894	789	2883	1818	1720	7210	2034	473	9717	177	10004	813	3034	1876	1711	7434	1956	444	9834	170
3219	3	estab.	10904	878	2869	1852	1715	7314	2201	700	10215	689	10748	835	2842	1707	1795	7179	2152	715	10046	702	10729	834	2795	1715	1738	7082	2181	745	10008	721	10751	789	2883	1819	1731	7222	2120	719	10061	690	10840	817	3037	1879	1717	7450	2071	644	10165	675
3219	3	empl.	336543	0	6469	12533	23488	42490	82519	71124	196133	140410	345718	0	6365	11487	24346	42198	82372	70835	195405	150313	345753	0	6234	11593	23749	41576	83381	73220	198177	147576	318874	0	6258	12352	23538	42148	80657	66859	189664	129210	307004	0	6953	12752	23379	43084	76938	60903	180925	126079
3219	3	ann. pay.	8519334	49303	124993	242327	492267	908890	1864575	1695237	4468702	4050632	8996711	58011	129857	234811	542182	964861	1931289	1771155	4667305	4329406	8978927	45333	128050	242958	530165	946506	2004586	1859409	4810501	4168426	8612609	58306	131374	271234	543773	1004687	2000172	1798198	4803057	3809552	8702618	91100	157579	291570	586362	1126611	2046225	1758305	4931141	3771477
3219	3	rec.																																									42386796	519223	860418	1353862	2716289	5449792	9248253	8415788	23113833	19272963
3221	3	firms	254	20	12	7	7	46	44	74	164	90	267	17	22	11	9	59	46	71	176	91	285	16	27	9	15	67	52	73	192	93	308	22	26	19	21	88	51	81	220	88	338	26	48	31	17	122	55	72	249	89
3221	3	estab.	581	20	12	7	7	46	44	86	176	405	592	17	22	11	9	59	46	83	188	404	597	16	27	9	15	67	52	83	202	395	606	22	26	19	21	88	51	93	232	374	628	26	48	31	18	123	55	88	266	362
3221	3	empl.	187641	0	27	47	100	174	2336	14126	16636	171005	185198	0	46	81	130	257	2426	13574	16257	168941	177141	0	59	65	214	338	2813	13640	16791	160350	170033	0	51	128	289	468	2914	15961	19343	150690	162988	0	108	195	234	537	2509	12554	15600	147388
3221	3	ann. pay.	9515122	1772	1385	1543	2913	7613	97738	664747	770098	8745024	9742648	2535	1334	2435	4293	10597	101914	684538	797049	8945599	9475216	6801	3022	2143	5400	17366	121280	687528	826174	8649042	9195407	9012	1773	4017	8083	22885	117965	787349	928199	8267208	9106270	3740	3407	5062	5771	17980	110362	640341	768683	8337587
3221	3	rec.																																									70944105	18998	31526	44366	50887	145777	676858	4571776	5394411	65549694
3222	3	firms	3631	150	499	423	560	1632	1317	459	3408	223	3556	151	477	422	543	1593	1296	454	3343	213	3444	119	475	393	532	1519	1247	473	3239	205	3434	131	509	378	533	1551	1222	461	3234	200	3278	129	503	371	512	1515	1147	424	3086	192
3222	3	estab.	5346	150	500	423	560	1633	1379	709	3721	1625	5291	153	477	422	543	1595	1353	708	3656	1635	5193	119	475	393	532	1519	1296	737	3552	1641	5133	131	509	378	534	1552	1281	706	3539	1594	4918	129	504	371	516	1520	1216	667	3403	1515
3222	3	empl.	380250	0	1233	2909	7817	11959	59055	72930	143944	236306	373822	0	1136	2894	7588	11618	58314	71408	141340	232482	376802	0	1127	2713	7636	11476	56422	75418	143316	233486	363218	0	1177	2588	7472	11237	54263	72125	137625	225593	333002	0	1132	2544	7112	10788	49825	65848	126461	206541
3222	3	ann. pay.	13170609	24222	36924	78072	226865	366083	1815002	2533595	4714680	8455929	13484075	92556	35956	77721	221779	428012	1867937	2536628	4832577	8651498	13815679	27074	36528	80275	234846	378723	1826525	2718364	4923612	8892067	13305427	36827	40260	75960	214566	367613	1753328	2616105	4737046	8568381	12706473	21905	45061	79071	226835	372872	1734039	2499747	4606658	8099815
3222	3	rec.																																									83801981	221546	294244	487642	1309331	2312763	8806231	13048485	24167479	59634502
3231	3	firms	40221	2555	15480	9037	5886	32958	5853	1060	39871	350	38780	2238	15135	8671	5648	31692	5695	1048	38435	345	37188	2231	14282	8341	5459	30313	5533	1004	36850	338	36099	2065	14186	8022	5266	29539	5258	986	35783	316	35174	2191	14391	7627	4979	29188	4845	863	34896	278
3231	3	estab.	42133	2555	15487	9048	5914	33004	6128	1512	40644	1489	40671	2240	15145	8680	5683	31748	5945	1507	39200	1471	39035	2234	14288	8346	5491	30359	5764	1454	37577	1458	37895	2066	14191	8029	5300	29586	5500	1412	36498	1397	36902	2192	14392	7640	5018	29242	5130	1255	35627	1275
3231	3	empl.	845064	0	35938	59523	79168	174629	233054	167573	575256	269808	833649	0	35058	57385	76098	168541	226811	166893	562245	271404	813389	0	33140	55229	73604	161973	221152	159268	542393	270996	784520	0	32631	53099	70894	156624	210277	159410	526311	258209	706419	0	33188	50325	66892	150405	192424	136352	479181	227238
3231	3	ann. pay.	27472755	130725	761021	1410700	2194000	4496446	7745939	5849605	18091990	9380765	27940066	171208	783201	1408829	2185766	4549004	7768103	5911951	18229058	9711008	28318533	149800	770406	1403607	2159587	4483400	7761907	5974238	18219545	10098988	27050907	137186	771280	1359095	2081208	4348769	7322422	5954787	17625978	9424929	25062361	137878	789698	1338401	2029188	4295165	6967670	5162070	16424905	8637456
3231	3	rec.																																									93105255	526082	2827441	4503262	6525920	14382705	22065455	17889250	54337410	38767845
3241	3	firms	1177	71	253	178	155	657	258	130	1045	132	1144	57	245	181	152	635	257	121	1013	131	1136	74	243	162	154	633	241	122	996	140	1133	73	250	166	149	638	242	121	1001	132	1132	66	262	174	151	653	233	119	1005	127
3241	3	estab.	2221	71	253	179	160	663	338	335	1336	885	2226	57	245	182	156	640	330	300	1270	956	2210	74	243	163	155	635	314	290	1239	971	2253	73	250	168	151	642	326	298	1266	987	2296	66	262	175	159	662	323	292	1277	1019
3241	3	empl.	111000	0	585	1212	2090	3887	9221	10626	23734	87266	109104	0	551	1215	1983	3749	9286	10646	23681	85423	109223	0	526	1082	2027	3635	8415	10918	22968	86255	103570	0	549	1103	1938	3590	8572	11252	23414	80156	100403	0	593	1161	1955	3709	8319	10337	22365	78038
3241	3	ann. pay.	5997199	35935	26594	52207	105557	220293	414996	467145	1102434	4894765	6058224	4974	24315	60966	89736	179991	423638	516590	1120219	4938005	6385725	11628	25005	49065	104434	190132	374525	509110	1073767	5311958	6335924	7675	29901	50580	103661	191817	395823	591140	1178780	5157144	6456421	7715	35885	56800	104506	204906	409562	549758	1164226	5292195
3241	3	rec.																																									216624384	81338	436683	578297	822414	1918732	5527588	7753895	15200215	201424169
3251	3	firms	1216	72	246	141	123	582	267	145	994	222	1182	66	220	136	144	566	262	138	966	216	1191	67	254	117	135	573	274	135	982	209	1192	52	261	129	138	580	283	130	993	199	1145	66	217	122	136	541	277	131	949	196
3251	3	estab.	2463	72	246	143	123	584	297	240	1121	1342	2442	66	220	136	147	569	294	233	1096	1346	2431	67	254	117	138	576	308	227	1111	1320	2383	52	262	129	140	583	331	219	1133	1250	2287	66	217	122	139	544	316	231	1091	1196
3251	3	empl.	206863	0	573	947	1646	3166	10330	17405	30901	175962	196954	0	513	898	1950	3361	9957	17711	31029	165925	191979	0	585	778	1782	3145	10582	17030	30757	161222	183249	0	590	857	1885	3332	11056	16575	30963	152286	172964	0	507	814	1850	3171	10392	16525	30088	142876
3251	3	ann. pay.	11102524	20383	20358	35630	70472	146843	451635	883060	1481538	9620986	10773332	3154	19158	33481	85028	140821	447321	906487	1494629	9278703	10878343	7021	23488	31264	74974	136747	495966	927524	1560237	9318106	10771035	5680	22163	39374	84034	151251	523274	908048	1582573	9188462	10517022	7907	24492	33710	84656	150765	516440	861427	1528632	8988390
3251	3	rec.																																									107018155	108369	207552	253790	929869	1499580	4097108	6918480	12515168	94502987
3252	3	firms	492	42	55	43	51	191	127	56	374	118	516	49	74	43	60	226	116	59	401	115	531	32	90	57	54	233	128	56	417	114	568	46	96	59	65	266	132	60	458	110	630	42	135	68	71	316	146	61	523	107
3252	3	estab.	820	42	55	43	51	191	130	85	406	414	851	49	74	43	60	226	122	87	435	416	863	32	90	57	56	235	133	84	452	411	906	46	96	59	65	266	137	102	505	401	969	42	136	68	72	318	163	105	586	383
3252	3	empl.	114197	0	118	297	743	1158	5486	7773	14417	99780	113667	0	163	281	794	1238	4935	8124	14297	99370	113573	0	194	377	711	1282	5522	8328	15132	98441	107863	0	195	388	853	1436	5684	9359	16479	91384	96808	0	291	456	954	1701	6244	10443	18388	78420
3252	3	ann. pay.	5595486	6624	3630	9926	25569	45749	204720	302069	552538	5042948	5802492	7663	3875	9879	27367	48784	255690	330952	635426	5167066	5977426	3305	5787	12155	25725	46972	216392	363111	626475	5350951	5660077	35287	5909	13829	30421	85446	219636	416627	721709	4938368	5296180	12053	10778	17293	37052	77176	250948	483738	811862	4484318
3252	3	rec.																																									63330382	130773	103274	137677	272116	643840	2128823	6221383	8994046	54336336
3253	3	firms	721	57	192	133	94	476	126	54	656	65	700	46	202	130	80	458	124	57	639	61	677	39	188	125	92	444	116	57	617	60	700	49	184	132	95	460	120	57	637	63	704	49	180	137	86	452	132	57	641	63
3253	3	estab.	948	57	192	133	94	476	137	97	710	238	940	48	202	130	80	460	134	110	704	236	915	39	188	125	92	444	131	106	681	234	950	49	184	132	96	461	137	110	708	242	962	49	180	138	87	454	156	107	717	245
3253	3	empl.	38252	0	457	908	1257	2622	4550	5724	12896	25356	37349	0	474	871	1065	2410	4220	5419	12049	25300	36282	0	410	823	1230	2463	4010	5538	12011	24271	35648	0	417	847	1296	2560	4236	5131	11927	23721	34267	0	416	903	1101	2420	4356	5210	11986	22281
3253	3	ann. pay.	1680562	16345	12624	25731	36071	90771	134815	209712	435298	1245264	1687815	4868	13233	27718	33140	78959	135667	205670	420296	1267519	1699812	1556	11973	25911	36978	76418	129405	198659	404482	1295330	1660280	6493	12526	26572	41715	87306	143697	189400	420403	1239877	1649560	2822	13592	32461	34977	83852	158685	199613	442150	1207410
3253	3	rec.																																									20806243	25457	139372	283124	342434	790387	1291336	2142751	4224474	16581769
3254	3	firms	1467	107	339	210	191	847	328	157	1332	135	1481	82	364	217	189	852	333	158	1343	138	1476	105	333	232	180	850	329	160	1339	137	1470	92	354	219	183	848	328	162	1338	132	1411	89	312	205	206	812	295	168	1275	136
3254	3	estab.	1812	107	339	210	192	848	339	201	1388	424	1830	82	364	217	190	853	344	202	1399	431	1823	105	333	232	181	851	343	192	1386	437	1825	93	354	219	185	851	339	197	1387	438	1779	89	313	205	208	815	309	208	1332	447
3254	3	empl.	217111	0	744	1435	2621	4800	14505	25578	44883	172228	218804	0	817	1464	2560	4841	14593	27073	46507	172297	227461	0	736	1555	2436	4727	13946	26413	45086	182375	233503	0	811	1483	2485	4779	14722	27824	47325	186178	237905	0	705	1385	2728	4818	13214	27747	45779	192126
3254	3	ann. pay.	12590376	18563	29604	56902	104331	209400	568405	1115363	1893168	10697208	13009695	34797	34149	57411	99530	225887	602754	1282926	2111567	10898128	13276262	14601	36947	65583	109183	226314	605506	1211330	2043150	11233112	14585333	7885	44339	65918	98934	217076	676263	1364284	2257623	12327710	15878156	21416	45494	56260	117405	240575	617813	1505507	2363895	13514261
3254	3	rec.																																									143323970	154363	343229	350743	732609	1580944	3024571	9065270	13670785	129653185
3255	3	firms	1648	73	427	306	292	1098	339	109	1546	102	1651	93	434	282	289	1098	346	109	1553	98	1653	94	402	301	302	1099	353	107	1559	94	1668	78	444	296	293	1111	355	107	1573	95	1558	84	402	281	279	1046	315	112	1473	85
3255	3	estab.	2110	73	427	306	292	1098	383	196	1677	433	2119	95	434	282	289	1100	389	189	1678	441	2105	94	402	301	303	1100	400	186	1686	419	2098	78	444	296	294	1112	395	183	1690	408	1966	84	402	281	280	1047	364	187	1598	368
3255	3	empl.	74903	0	1019	2054	3986	7059	12978	13651	33688	41215	75082	0	1008	1847	3870	6725	13037	13289	33051	42031	75685	0	927	2008	4106	7041	13690	12506	33237	42448	72935	0	998	1981	3951	6930	13168	12627	32725	40210	68387	0	946	1856	3813	6615	11875	13093	31583	36804
3255	3	ann. pay.	3097105	3518	29414	73373	142177	248482	490343	535158	1273983	1823122	3215611	17588	33014	62412	136607	249621	533031	530912	1313564	1902047	3328940	4506	31547	70512	148836	255401	562336	532806	1350543	1978397	3191057	4264	31591	69608	148768	254231	544029	523241	1321501	1869556	3059460	10063	35515	71488	149596	266662	505846	554728	1327236	1732224
3255	3	rec.																																									27757279	91880	229559	443834	791057	1556330	2795107	3801107	8152544	19604735
3256	3	firms	2299	185	687	396	332	1600	416	147	2163	136	2231	142	661	425	332	1560	390	149	2099	132	2203	152	650	408	325	1535	400	141	2076	127	2141	132	654	386	319	1491	396	138	2025	116	2113	130	680	378	283	1471	398	133	2002	111
3256	3	estab.	2528	185	687	397	332	1601	442	196	2239	289	2462	142	661	426	333	1562	411	207	2180	282	2439	152	651	408	327	1538	419	191	2148	291	2383	132	655	386	322	1495	415	189	2099	284	2354	130	680	378	284	1472	422	180	2074	280
3256	3	empl.	128196	0	1597	2697	4514	8808	16705	25008	50521	77675	125204	0	1509	2874	4550	8933	15843	23613	48389	76815	124597	0	1445	2766	4528	8739	16204	23233	48176	76421	119062	0	1494	2554	4321	8369	16249	21579	46197	72865	110682	0	1515	2535	3880	7930	16164	20961	45055	65627
3256	3	ann. pay.	4910181	22941	53813	80965	134319	292038	608799	808896	1709733	3200448	4903968	14485	44418	87241	153104	299248	592102	795069	1686419	3217549	5148645	15284	43259	89650	158471	306664	616572	832854	1756090	3392555	5040724	16414	43798	102577	150154	312943	629155	828252	1770350	3270374	4895056	88764	46742	89432	146303	371241	677488	786791	1835520	3059536
3256	3	rec.																																									65394672	1190464	448104	781360	1012999	3432927	4096433	5189069	12718429	52676243
3259	3	firms	2250	139	519	378	372	1408	483	164	2055	195	2223	147	499	373	350	1369	487	169	2025	198	2194	135	528	333	366	1362	470	174	2006	188	2178	139	529	328	341	1337	481	180	1998	180	2156	131	541	351	344	1367	436	178	1981	175
3259	3	estab.	2916	139	519	379	375	1412	526	306	2244	672	2890	147	500	373	353	1373	525	317	2215	675	2850	135	529	333	369	1366	498	334	2198	652	2816	139	530	328	345	1342	508	336	2186	630	2779	141	542	353	348	1384	478	334	2196	583
3259	3	empl.	121184	0	1236	2570	5106	8912	18461	18053	45426	75758	119294	0	1139	2552	4813	8504	18006	17811	44321	74973	116271	0	1213	2228	4968	8409	17393	19805	45607	70664	117501	0	1182	2161	4595	7938	18091	19962	45991	71510	106417	0	1200	2326	4657	8183	15845	19347	43375	63042
3259	3	ann. pay.	5147293	14519	38636	82610	178935	314700	673991	690708	1679399	3467894	5345360	26184	37336	84134	177517	325171	707955	698593	1731719	3613641	5300121	19130	41744	73033	191806	325713	698786	796153	1820652	3479469	5486280	9089	40852	75610	182015	307566	747684	855871	1911121	3575159	5135131	10952	43338	85317	194665	334272	692139	837182	1863593	3271538
3259	3	rec.																																									40580560	94219	266636	492631	1069497	1922983	3960984	5772638	11656605	28923955
3261	3	firms	11453	690	2048	1549	1796	6083	3541	1219	10843	610	11291	581	2053	1548	1773	5955	3458	1254	10667	624	10968	546	1906	1513	1737	5702	3392	1265	10359	609	10772	517	1988	1439	1730	5674	3333	1170	10177	595	10407	483	1967	1532	1705	5687	3095	1057	9839	568
3261	3	estab.	13966	690	2048	1550	1797	6085	3664	1762	11511	2455	13892	586	2053	1549	1776	5964	3562	1800	11326	2566	13588	550	1906	1515	1740	5711	3480	1811	11002	2586	13367	519	1989	1440	1733	5681	3435	1698	10814	2553	13004	484	1969	1533	1709	5695	3244	1591	10530	2474
3261	3	empl.	823855	0	4777	10543	25085	40405	156983	205142	402530	421325	838372	0	4745	10506	24679	39930	153529	209784	403243	435129	845247	0	4451	10254	24260	38965	149602	211803	400370	444877	803846	0	4635	9788	23989	38412	146168	191195	375775	428071	744673	0	4699	10459	23590	38748	135849	169684	344281	400392
3261	3	ann. pay.	24467572	77275	130165	273903	694966	1176309	4338252	5787979	11302540	13165032	25866543	78888	140988	296812	702117	1218805	4402764	6227561	11849130	14017413	26403605	70852	129540	283459	724141	1207992	4354025	6385899	11947916	14455689	25504845	79720	137915	276647	685986	1180268	4315224	5792270	11287762	14217083	25087655	47759	148482	310442	727127	1233810	4339188	5529566	11102564	13985091
3261	3	rec.																																									135991494	291525	930782	1495295	3280751	5998353	18901508	26143012	51042873	84948621
3262	3	firms	2243	113	572	307	333	1325	541	216	2082	161	2169	103	548	294	321	1266	515	222	2003	166	2094	91	509	283	292	1175	534	218	1927	167	2006	69	482	288	284	1123	507	217	1847	159	1902	84	427	282	266	1059	498	198	1755	147
3262	3	estab.	2786	113	572	308	336	1329	581	331	2241	545	2754	103	548	295	323	1269	550	342	2161	593	2704	91	509	284	295	1179	568	339	2086	618	2614	69	482	290	287	1128	539	333	2000	614	2458	84	427	284	267	1062	541	310	1913	545
3262	3	empl.	206530	0	1253	2081	4570	7904	20959	32025	60888	145642	208563	0	1226	1986	4362	7574	19820	32635	60029	148534	211260	0	1141	1909	3914	6964	21155	31561	59680	151580	198657	0	1093	1924	3820	6837	19978	30155	56970	141687	180934	0	955	1938	3525	6418	19065	26257	51740	129194
3262	3	ann. pay.	7095754	6816	27627	49816	118566	202825	614580	921203	1738608	5357146	7484065	9241	28675	49288	120328	207532	604402	955216	1767150	5716915	7706493	11203	26716	50310	111223	199452	654412	947940	1801804	5904689	7136511	5420	29110	51110	102669	188309	622925	896015	1707249	5429262	6948396	17535	33411	54111	108713	213770	636475	825859	1676104	5272292
3262	3	rec.																																									33386253	93676	158794	249145	431058	932673	2728399	3916636	7577708	25808545
3271	3	firms	1682	156	615	237	185	1193	293	114	1600	82	1651	130	592	264	168	1154	300	114	1568	83	1582	127	541	248	173	1089	295	118	1502	80	1588	127	550	257	171	1105	295	108	1508	80	1487	139	503	260	152	1054	261	95	1410	77
3271	3	estab.	1940	158	615	237	185	1195	302	161	1658	282	1910	130	594	264	168	1156	309	164	1629	281	1839	127	543	248	173	1091	306	168	1565	274	1833	127	550	257	171	1105	310	149	1564	269	1714	139	503	260	152	1054	280	127	1461	253
3271	3	empl.	77265	0	1290	1596	2511	5397	12784	18098	36279	40986	75672	0	1223	1748	2322	5293	12612	17600	35505	40167	76264	0	1106	1641	2378	5125	12331	18840	36296	39968	73539	0	1135	1657	2283	5075	12512	16052	33639	39900	65846	0	1058	1722	2051	4831	10917	13733	29481	36365
3271	3	ann. pay.	2282261	8905	20811	29154	52348	111218	336421	489415	937054	1345207	2345990	6898	21207	34034	53603	115742	349137	531378	996257	1349733	2411772	3267	18893	33552	59089	114801	345720	581642	1042163	1369609	2316521	11189	20570	34851	51560	118170	340376	493284	951830	1364691	2163620	4300	18806	38118	56370	117594	341259	439607	898460	1265160
3271	3	rec.																																									9034326	20131	73591	140554	214483	448759	1183104	1853548	3485411	5548915
3272	3	firms	1976	183	770	340	224	1517	281	83	1881	95	2074	217	813	367	233	1630	275	90	1995	79	2045	166	807	367	249	1589	288	81	1958	87	2041	165	796	390	224	1575	289	82	1946	95	1879	155	753	343	194	1445	262	88	1795	84
3272	3	estab.	2258	183	770	340	224	1517	290	103	1910	348	2370	217	813	367	235	1632	286	113	2031	339	2340	167	807	368	249	1591	299	96	1986	354	2348	165	796	390	225	1576	299	100	1975	373	2190	155	753	343	194	1445	276	113	1834	356
3272	3	empl.	134626	0	1745	2251	3033	7029	11403	13157	31589	103037	129810	0	1792	2421	3176	7389	11342	13781	32512	97298	131237	0	1788	2417	3376	7581	12241	13224	33046	98191	129971	0	1712	2589	3086	7387	12023	12507	31917	98054	114794	0	1611	2298	2654	6563	10569	13186	30318	84476
3272	3	ann. pay.	4743200	14803	36604	51005	75275	177687	307848	369785	855320	3887880	4763912	17179	39882	55471	83818	196350	324008	404936	925294	3838618	4992941	10248	40092	60372	89732	200444	377932	435367	1013743	3979198	4826718	8068	39812	64213	84666	196759	347978	390115	934852	3891866	4404599	6925	36619	56404	74820	174768	333825	425850	934443	3470156
3272	3	rec.																																									22179763	33886	171726	235501	281444	722557	1251515	1786138	3760210	18419553
3273	3	firms	5826	313	1257	1035	1175	3780	1620	309	5709	117	5725	271	1266	994	1130	3661	1617	322	5600	125	5589	263	1208	932	1104	3507	1630	318	5455	134	5493	255	1215	940	1060	3470	1573	321	5364	129	5336	312	1116	908	1051	3387	1522	306	5215	121
3273	3	estab.	9190	313	1258	1040	1208	3819	2193	1369	7381	1809	9308	272	1269	1000	1155	3696	2202	1278	7176	2132	9385	263	1211	944	1124	3542	2176	1200	6918	2467	9386	261	1218	952	1080	3511	2157	1257	6925	2461	9365	314	1118	914	1082	3428	2174	1305	6907	2458
3273	3	empl.	195354	0	2919	7100	16066	26085	60671	45381	132137	63217	206235	0	2966	6781	15522	25269	60586	48252	134107	72128	216743	0	2885	6380	15260	24525	62984	45743	133252	83491	220614	0	2812	6379	14657	23848	60383	46625	130856	89758	202682	0	2669	6225	14343	23237	58510	43826	125573	77109
3273	3	ann. pay.	6937159	29553	85896	193140	501100	809689	2100425	1651230	4561344	2375815	7546304	21779	90408	186209	507463	805859	2174361	1765330	4745550	2800754	7960861	24354	84912	180711	478428	768405	2210416	1694797	4673618	3287243	8349032	24351	87125	189607	491083	792166	2241289	1815291	4848746	3500286	7994103	27643	82148	194003	493018	796812	2224178	1722006	4742996	3251107
3273	3	rec.																																									43948148	148372	438495	933638	2306570	3827075	10325211	8437605	22589891	21358257
3274	3	firms	233	12	59	36	37	144	45	17	206	27	218	9	55	35	32	131	45	16	192	26	215	13	49	39	25	126	47	16	189	26	213	15	46	32	35	128	44	14	186	27	248	25	79	40	31	175	41	9	225	23
3274	3	estab.	372	12	59	36	37	144	50	34	228	144	364	9	55	35	32	131	49	30	210	154	362	13	49	39	25	126	51	38	215	147	362	15	46	32	35	128	49	27	204	158	378	25	79	40	33	177	46	12	235	143
3274	3	empl.	19578	0	115	245	496	856	1612	2641	5109	14469	20313	0	106	236	449	791	1638	2502	4931	15382	20259	0	97	264	368	729	1818	2828	5375	14884	18997	0	92	210	474	776	1510	2144	4430	14567	17004	0	155	276	404	835	1477	1041	3353	13651
3274	3	ann. pay.	750212	1412	2478	4988	12937	21815	47156	96490	165461	584751	793620	266	2308	5828	12216	20618	49127	96911	166656	626964	781895	982	2269	6906	9475	19632	48713	108298	176643	605252	758338	780	1936	6092	11897	20705	44849	87511	153065	605273	702943	2041	3405	7794	10971	24211	45642	42572	112425	590518
3274	3	rec.																																									5227177	14422	25423	52638	81721	174204	278850	228005	681059	4546118
3279	3	firms	2288	161	583	403	421	1568	488	117	2173	115	2145	138	536	405	398	1477	440	116	2033	112	2145	157	512	393	411	1473	444	119	2036	109	2345	156	567	452	451	1626	488	120	2234	111	2565	188	672	503	505	1868	483	112	2463	102
3279	3	estab.	2714	161	584	403	423	1571	528	229	2328	386	2589	138	536	407	400	1481	485	217	2183	406	2611	157	512	395	413	1477	476	254	2207	404	2803	156	569	452	453	1630	526	239	2395	408	3027	188	672	504	514	1878	526	231	2635	392
3279	3	empl.	81449	0	1376	2723	5703	9802	18128	14796	42726	38723	78286	0	1313	2751	5465	9529	16184	14512	40225	38061	79195	0	1222	2651	5650	9523	16659	15212	41394	37801	81109	0	1358	3048	6135	10541	17693	14647	42881	38228	75150	0	1573	3417	6859	11849	17164	13783	42796	32354
3279	3	ann. pay.	2878069	12673	34371	70227	155001	272272	549138	480923	1302333	1575736	2822756	13088	34908	70265	160486	278747	525562	476968	1281277	1541479	2975165	13218	33242	73020	167552	287032	547262	534702	1368996	1606169	3099338	11941	38861	84464	182938	318204	576578	529958	1424740	1674598	2854391	11167	46488	95928	223966	377549	594298	518402	1490249	1364142
3279	3	rec.																																									15053347	49608	191259	393222	906123	1540212	2318563	2416402	6275177	8778170
3311	3	firms	318	67	47	28	17	159	34	44	237	81	601	247	96	43	36	422	51	47	520	81	898	227	219	124	93	663	98	53	814	84	1268	264	346	216	136	962	157	63	1182	86	1149	157	296	208	186	847	166	58	1071	78
3311	3	estab.	410	67	47	28	17	159	35	48	242	168	702	247	96	43	36	422	52	52	526	176	1003	227	219	124	93	663	100	57	820	183	1374	264	346	216	136	962	157	72	1191	183	1259	157	296	208	189	850	169	69	1088	171
3311	3	empl.	148969	0	98	174	239	511	1420	8224	10155	138814	144194	0	211	284	529	1024	2273	8674	11971	132223	149128	0	465	811	1242	2518	3760	9537	15815	133313	148381	0	770	1470	1889	4129	5811	10788	20728	127653	126969	0	697	1434	2421	4552	6235	10102	20889	106080
3311	3	ann. pay.	7715797	9145	2676	4489	7879	24189	56361	386478	467028	7248769	7542991	50079	8088	8300	15905	82372	87428	376557	546357	6996634	7803502	30511	14154	22962	36912	104539	140671	443934	689144	7114358	7216042	35456	23781	40320	56821	156378	194958	446608	797944	6418098	6519279	97771	23782	45663	73631	240847	223665	442653	907165	5612114
3311	3	rec.																																									48043024	847316	189092	238213	349464	1624085	1073344	2819011	5516440	42526584
3312	3	firms	563	58	81	52	53	244	125	104	473	90	613	76	95	65	53	289	130	96	515	98	711	100	140	76	64	380	134	100	614	97	715	76	156	86	69	387	141	98	626	89	668	62	152	82	63	359	125	100	584	84
3312	3	estab.	769	59	81	52	53	245	135	146	526	243	824	76	95	65	53	289	140	136	565	259	933	100	140	76	64	380	144	139	663	270	939	76	156	86	69	387	154	140	681	258	870	62	152	82	63	359	134	146	639	231
3312	3	empl.	65833	0	178	347	694	1219	5790	16818	23827	42006	64799	0	220	446	708	1374	6071	15853	23298	41501	68030	0	299	511	860	1670	6012	17186	24868	43162	65597	0	340	596	950	1886	6234	17295	25415	40182	58699	0	328	555	877	1760	5113	16940	23813	34886
3312	3	ann. pay.	2443086	14633	5078	9506	23263	52480	201481	592778	846739	1596347	2471127	13985	7708	12988	23967	58648	212207	575230	846085	1625042	2668297	11888	8936	14070	26191	61085	217927	636342	915354	1752943	2447860	16448	9506	16555	33071	75580	213513	598321	887414	1560446	2346212	9602	11472	16383	28687	66144	195532	639614	901290	1444922
3312	3	rec.																																									16377332	87114	90367	98555	154205	430241	1270418	3901021	5601680	10775652
3313	3	firms	386	28	63	31	44	166	87	59	312	74	408	37	70	41	45	193	83	58	334	74	446	39	82	56	47	224	88	71	383	63	497	45	100	69	49	263	99	73	435	62	436	18	86	57	53	214	93	74	381	55
3313	3	estab.	551	28	63	31	44	166	88	75	329	222	573	37	70	41	46	194	84	76	354	219	613	39	82	56	48	225	89	88	402	211	659	45	100	69	50	264	100	90	454	205	584	18	86	57	53	214	96	94	404	180
3313	3	empl.	85364	0	156	207	575	938	3779	9590	14307	71057	85636	0	168	269	606	1043	3790	9453	14286	71350	85999	0	199	392	646	1237	3836	11398	16471	69528	78218	0	220	468	675	1363	4150	11353	16866	61352	68535	0	190	377	700	1267	4183	11621	17071	51464
3313	3	ann. pay.	3438254	1557	5510	5465	17065	29597	135379	334662	499638	2938616	3447399	4546	4992	7895	17294	34727	136098	343146	513971	2933428	3637509	4411	4564	10599	19049	38623	147165	435593	621381	3016128	3328411	23064	5612	12380	20659	61715	142253	400238	604206	2724205	2953853	3322	6826	10204	23208	43560	150902	431128	625590	2328263
3313	3	rec.																																									26814042	18835	65720	92101	165519	342175	1248512	3488858	5079545	21734497
3314	3	firms	757	49	153	91	84	377	183	87	647	110	767	52	157	106	86	401	179	83	663	104	768	45	159	105	98	407	170	90	667	101	746	38	162	96	100	396	171	81	648	98	760	52	185	106	93	436	161	74	671	89
3314	3	estab.	941	49	154	91	84	378	198	111	687	254	958	52	158	106	86	402	192	109	703	255	969	45	159	107	99	410	179	125	714	255	939	38	162	96	102	398	183	107	688	251	958	52	185	106	95	438	174	108	720	238
3314	3	empl.	83650	0	340	616	1130	2086	8262	12074	22422	61228	79290	0	338	696	1166	2200	8101	11901	22202	57088	74500	0	339	685	1337	2361	7569	12641	22571	51929	72295	0	366	648	1381	2395	7666	11548	21609	50686	64203	0	436	709	1276	2421	6680	10407	19508	44695
3314	3	ann. pay.	3286436	4649	8961	18274	36259	68143	300981	464946	834070	2452366	3189006	4349	11876	22335	42130	80690	323649	470507	874846	2314160	3102011	2975	10594	22158	47959	83686	296514	513908	894108	2207903	2966823	2121	11618	17993	45812	77544	294851	440328	812723	2154100	2754038	15486	13451	23847	44799	97583	277740	433144	808467	1945571
3314	3	rec.																																									21329878	111804	86066	145737	273516	617123	2074840	2608736	5300699	16029179
3315	3	firms	2508	115	414	315	376	1220	791	324	2335	173	2513	124	427	335	378	1264	779	309	2352	161	2457	109	427	325	365	1226	771	300	2297	160	2453	99	460	323	374	1256	754	291	2301	152	2254	90	395	305	378	1168	682	264	2114	140
3315	3	estab.	2826	115	414	316	377	1222	807	385	2414	412	2843	124	428	336	378	1266	796	374	2436	407	2782	109	427	326	366	1228	791	360	2379	403	2773	99	461	323	377	1260	766	368	2394	379	2558	90	395	305	380	1170	705	348	2223	335
3315	3	empl.	231361	0	982	2153	5269	8404	35252	56267	99923	131438	223704	0	981	2260	5328	8569	34312	53777	96658	127046	223970	0	1001	2205	5096	8302	34327	54061	96690	127280	208021	0	1093	2189	5227	8509	33254	51532	93295	114726	182632	0	902	2055	5342	8299	30031	44970	83300	99332
3315	3	ann. pay.	7943906	13510	28224	54140	143297	239171	1027253	1737070	3003494	4940412	8115114	18297	26868	58885	143284	247334	1021632	1719374	2988340	5126774	8333300	14637	29615	56677	144155	245084	1048438	1773290	3066812	5266488	7682768	25273	28119	58249	147681	259322	1013904	1660561	2933787	4748981	7049824	21668	26952	58585	165502	272707	956760	1526029	2755496	4294328
3315	3	rec.																																									26896737	80165	115379	220623	562627	978794	3264093	6086137	10329024	16567713
3321	3	firms	3046	129	442	419	521	1511	995	351	2857	189	3039	113	484	415	513	1525	993	329	2847	192	2937	97	443	409	482	1431	981	336	2748	189	2856	81	451	393	499	1424	922	325	2671	185	2725	83	426	408	497	1414	866	272	2552	173
3321	3	estab.	3285	129	442	419	521	1511	1015	424	2950	335	3297	113	484	415	513	1525	1012	398	2935	362	3195	97	443	409	482	1431	999	404	2834	361	3110	81	451	394	499	1425	937	386	2748	362	2973	83	426	408	497	1414	884	347	2645	328
3321	3	empl.	166094	0	1032	2900	7226	11158	43221	54260	108639	57455	166422	0	1120	2831	7146	11097	43050	51982	106129	60293	164435	0	1020	2790	6625	10435	41988	52635	105058	59377	158033	0	1051	2709	7011	10771	39334	50229	100334	57699	135882	0	1033	2746	6988	10767	36873	40783	88423	47459
3321	3	ann. pay.	5913531	29775	32754	91023	236543	390095	1460920	1918749	3769764	2143767	6059584	8514	34922	94057	244897	382390	1499148	1852912	3734450	2325134	6196311	11421	36911	95528	236537	380397	1487772	1964967	3833136	2363175	5737968	15319	32725	91436	246264	385744	1343275	1783702	3512721	2225247	5187228	10661	34476	95300	250906	391343	1370428	1553366	3315137	1872091
3321	3	rec.																																									22814142	61692	150557	360733	920147	1493129	5122203	6983243	13598575	9215567
3322	3	firms	1552	92	412	273	248	1025	341	112	1478	74	1534	92	403	281	232	1008	344	111	1463	71	1498	79	399	263	229	970	355	107	1432	66	1457	74	388	261	229	952	335	107	1394	63	1398	80	394	253	218	945	307	92	1344	54
3322	3	estab.	1700	92	412	273	248	1025	360	148	1533	167	1687	92	403	281	232	1008	362	160	1530	157	1643	79	399	263	229	970	374	144	1488	155	1598	74	388	261	229	952	354	152	1458	140	1537	80	394	253	218	945	334	139	1418	119
3322	3	empl.	79405	0	942	1818	3376	6136	13625	15848	35609	43796	79988	0	921	1855	3158	5934	14247	16016	36197	43791	76842	0	930	1765	3083	5778	14969	16387	37134	39708	71055	0	866	1746	3125	5737	13876	16639	36252	34803	62724	0	874	1694	3051	5619	12689	14385	32693	30031
3322	3	ann. pay.	2657379	6228	23222	47491	99820	176761	447996	536820	1161577	1495802	2697225	7590	23358	52308	96036	179292	472711	550375	1202378	1494847	2846368	4441	24425	49998	100134	178998	510051	598407	1287456	1558912	2498434	5042	25673	55279	98456	184450	466551	595273	1246274	1252160	2333712	12003	25248	52662	97798	187711	450526	547038	1185275	1148437
3322	3	rec.																																									10502974	56300	118043	184007	321959	680309	1514908	2592354	4787571	5715403
3323	3	firms	11655	621	2523	2121	2251	7516	3241	636	11393	262	11351	467	2515	2048	2197	7227	3184	675	11086	265	10906	427	2327	1904	2112	6770	3198	670	10638	268	11387	467	2463	1995	2229	7154	3299	656	11109	278	12994	735	3660	2390	2311	9096	3014	631	12741	253
3323	3	estab.	12492	621	2523	2124	2254	7522	3326	845	11693	799	12249	467	2516	2050	2202	7235	3265	898	11398	851	11854	427	2327	1906	2116	6776	3282	901	10959	895	12363	467	2463	1999	2231	7160	3386	894	11440	923	13974	735	3660	2392	2313	9100	3124	872	13096	878
3323	3	empl.	390599	0	5889	14287	31257	51433	131508	88128	271069	119530	404156	0	5986	13840	30407	50233	129243	92036	271512	132644	409569	0	5608	12944	28939	47491	130887	95463	273841	135728	418133	0	5793	13527	30597	49917	135210	94568	279695	138438	385669	0	8461	15992	31817	56270	121468	84924	262662	123007
3323	3	ann. pay.	12630004	90654	145955	398534	997235	1632378	4359898	2813754	8806030	3823974	13364260	32865	159166	403936	986420	1582387	4446499	3096494	9125380	4238880	13988119	38404	148596	392872	983269	1563141	4635032	3289778	9487951	4500168	14176561	46427	165474	408644	1032859	1653404	4734540	3239663	9627607	4548954	13619366	68544	225912	498608	1098384	1891448	4403514	3048487	9343449	4275917
3323	3	rec.																																									61441956	360582	1007793	1930959	3960649	7259983	16760467	13799943	37820393	23621563
3324	3	firms	1505	85	248	193	226	752	485	163	1400	105	1468	58	266	188	215	727	475	157	1359	109	1403	43	248	199	205	695	453	150	1298	105	1376	52	223	191	224	690	445	137	1272	104	1278	49	209	191	192	641	407	131	1179	99
3324	3	estab.	1856	85	248	193	226	752	499	205	1456	400	1805	58	266	188	215	727	490	198	1415	390	1739	43	248	199	205	695	470	189	1354	385	1702	52	223	191	224	690	463	175	1328	374	1572	49	209	191	192	641	424	178	1243	329
3324	3	empl.	100476	0	580	1326	3072	4978	20552	20631	46161	54315	95093	0	618	1302	2859	4779	19955	20059	44793	50300	93953	0	577	1385	2733	4695	18801	19496	42992	50961	91176	0	503	1289	3031	4823	18479	18000	41302	49874	84666	0	500	1306	2662	4468	16816	16459	37743	46923
3324	3	ann. pay.	3751541	9580	17474	38290	91368	156712	690570	723305	1570587	2180954	3617821	5661	18167	36001	87673	147502	671844	725254	1544600	2073221	3622233	2951	20215	40182	88266	151614	655948	715833	1523395	2098838	3572273	4872	18470	39058	96175	158575	671351	676103	1506029	2066244	3400273	4140	19355	41751	90163	155409	631336	653675	1440420	1959853
3324	3	rec.																																									22142955	61776	101721	185999	415024	764520	2394848	2748030	5907398	16235557
3325	3	firms	894	41	198	125	128	492	233	94	819	75	877	46	197	119	121	483	233	87	803	74	855	35	195	119	112	461	237	83	781	74	840	40	192	122	105	459	223	81	763	77	867	42	208	118	116	484	238	76	798	69
3325	3	estab.	992	41	198	125	128	492	235	109	836	156	981	46	197	119	121	483	235	101	819	162	955	35	195	119	112	461	239	94	794	161	939	40	192	122	105	459	223	93	775	164	959	42	208	118	116	484	242	90	816	143
3325	3	empl.	73162	0	465	841	1726	3032	10116	12871	26019	47143	73601	0	475	795	1641	2911	10567	12678	26156	47445	74686	0	463	794	1503	2760	10477	12685	25922	48764	68884	0	467	830	1427	2724	9880	12204	24808	44076	65577	0	467	790	1537	2794	10690	11218	24702	40875
3325	3	ann. pay.	2341590	3350	11236	20638	49018	84242	307139	401418	792799	1548791	2431543	10423	12212	21091	48656	92382	333338	437474	863194	1568349	2494438	6475	11261	22235	47400	87371	335688	427695	850754	1643684	2316036	5776	12488	22573	45003	85840	323638	426086	835564	1480472	2251202	3860	13561	22840	48747	89008	364718	408688	862414	1388788
3325	3	rec.																																									11606840	18628	76151	99814	206319	400912	1460041	1708430	3569383	8037457
3326	3	firms	1697	88	416	271	286	1061	421	137	1619	78	1682	81	413	265	288	1047	416	137	1600	82	1638	74	386	258	281	999	423	144	1566	72	1590	66	375	250	277	968	413	140	1521	69	1479	55	329	255	258	897	395	125	1417	62
3326	3	estab.	1888	88	416	271	286	1061	439	200	1700	188	1877	81	413	265	290	1049	431	201	1681	196	1839	74	386	258	281	999	442	213	1654	185	1775	66	375	250	278	969	431	201	1601	174	1656	55	329	255	259	898	419	186	1503	153
3326	3	empl.	71494	0	939	1845	3963	6747	18685	20599	46031	25463	70823	0	936	1802	4010	6748	17939	19881	44568	26255	72395	0	892	1748	3871	6511	18566	21559	46636	25759	70284	0	885	1691	3867	6443	17946	21052	45441	24843	62167	0	729	1744	3609	6082	16843	17068	39993	22174
3326	3	ann. pay.	2100652	13584	24000	47323	112067	196974	550896	638778	1386648	714004	2149590	18952	25430	48196	117242	209820	550435	621639	1381894	767696	2287272	6824	26226	46952	121835	201837	585682	716059	1503578	783694	2157871	3289	26335	44118	121105	194847	556244	677064	1428155	729716	2029771	5581	23395	51340	121754	202070	559744	599276	1361090	668681
3326	3	rec.																																									9166996	31031	95965	187779	461721	776496	2116191	2297897	5190584	3976412
3327	3	firms	27278	1777	9183	5739	4991	21690	4746	642	27078	200	26403	1470	9216	5631	4817	21134	4480	583	26197	206	25909	1513	8844	5621	4696	20674	4461	572	25707	202	25735	1369	8944	5581	4612	20506	4469	561	25536	199	25912	1574	9979	5589	4236	21378	3876	467	25721	191
3327	3	estab.	27690	1777	9183	5739	4995	21694	4827	803	27324	366	26858	1470	9218	5631	4822	21141	4562	743	26446	412	26378	1513	8844	5622	4701	20680	4539	740	25959	419	26216	1369	8945	5587	4615	20516	4557	707	25780	436	26377	1575	9979	5590	4245	21389	3989	610	25988	389
3327	3	empl.	442531	0	20908	38783	67670	127361	179810	85952	393123	49408	420646	0	20942	37885	65084	123911	167386	75783	367080	53566	420946	0	20264	37696	63612	121572	168447	76941	366960	53986	418202	0	20491	37517	62462	120470	169705	74825	365000	53202	370065	0	22516	37483	57180	117179	143947	59967	321093	48972
3327	3	ann. pay.	14940650	80313	512734	1055458	2117221	3765726	6238613	3018804	13023143	1917507	14721239	71383	529872	1069125	2090496	3760876	5980204	2783727	12524807	2196432	15613786	90441	539765	1126520	2187019	3943745	6385756	2985287	13314788	2298998	14800477	78434	520619	1094479	2027827	3721359	6104009	2774257	12599625	2200852	13487813	84961	579704	1131501	1945768	3741934	5449381	2261126	11452441	2035372
3327	3	rec.																																									42486875	332889	1761674	3271221	5372106	10737890	15895719	7829591	34463200	8023675
3328	3	firms	5882	326	1314	1060	1125	3825	1613	304	5742	140	5724	246	1367	1019	1125	3757	1536	290	5583	141	5579	262	1254	1035	1091	3642	1499	303	5444	135	5543	241	1262	1020	1120	3643	1482	290	5415	128	5623	310	1396	1135	1128	3969	1284	257	5510	113
3328	3	estab.	6401	326	1314	1062	1130	3832	1700	499	6031	370	6278	246	1368	1019	1125	3758	1628	478	5864	414	6161	262	1255	1035	1093	3645	1590	505	5740	421	6116	241	1263	1020	1123	3647	1573	490	5710	406	6200	310	1396	1135	1136	3977	1393	450	5820	380
3328	3	empl.	159101	0	3084	7235	15565	25884	64456	40188	130528	28573	155081	0	3198	6916	15498	25612	61589	37582	124783	30298	155343	0	2890	7041	15129	25060	60752	40054	125866	29477	152944	0	2956	6881	15509	25346	59321	38418	123085	29859	136702	0	3339	7644	15478	26461	50794	31828	109083	27619
3328	3	ann. pay.	4789683	23727	77229	190876	439659	731491	1866058	1247258	3844807	944876	4864728	15883	86930	196097	450953	749863	1843660	1194245	3787768	1076960	5078437	19314	80089	196032	458289	753724	1912772	1318594	3985090	1093347	4812777	16837	78715	193224	441482	730258	1760239	1227021	3717518	1095259	4579060	30394	87189	223872	471383	812838	1626479	1095084	3534401	1044659
3328	3	rec.																																									18973792	99136	256873	615060	1265455	2236524	4697642	5454647	12388813	6584979
3329	3	firms	6573	599	1621	1173	1127	4520	1340	412	6272	301	6614	524	1764	1196	1103	4587	1338	405	6330	284	6781	606	1786	1267	1091	4750	1349	399	6498	283	6379	377	1799	1187	1026	4389	1339	377	6105	274	5815	371	1534	1090	966	3961	1245	352	5558	257
3329	3	estab.	7162	599	1621	1173	1128	4521	1373	488	6382	780	7210	526	1764	1196	1105	4591	1368	484	6443	767	7380	607	1786	1267	1093	4753	1380	471	6604	776	6972	377	1801	1187	1028	4393	1372	455	6220	752	6404	371	1534	1091	967	3963	1291	437	5691	713
3329	3	empl.	333361	0	3738	7942	15349	27029	52933	58002	137964	195397	322674	0	3971	8078	15097	27146	52474	58176	137796	184878	322648	0	4009	8612	14941	27562	53404	56658	137624	185024	312647	0	4128	7951	14233	26312	53858	54106	134276	178371	278947	0	3513	7331	13281	24125	49914	49163	123202	155745
3329	3	ann. pay.	11805019	64420	100011	219756	453586	837773	1727961	2002861	4568595	7236424	11697767	44135	110273	232925	465040	852373	1769759	2036235	4658367	7039400	12117486	41915	112068	259085	467229	880297	1851767	2006790	4738854	7378632	11730952	34241	113972	236364	456765	841342	1856545	1967254	4665141	7065811	10793117	42253	109780	230692	444527	827252	1773661	1845569	4446482	6346635
3329	3	rec.																																									49836527	214971	490369	809238	1649800	3164378	6469236	7776086	17409700	32426827
3331	3	firms	2871	191	631	463	490	1775	705	235	2715	156	2781	163	638	462	474	1737	676	221	2634	147	2711	162	617	449	449	1677	673	219	2569	142	2646	137	617	439	435	1628	672	207	2507	139	2621	152	632	434	436	1654	629	202	2485	136
3331	3	estab.	3181	191	631	463	490	1775	725	286	2786	395	3110	163	638	462	475	1738	698	277	2713	397	3044	162	617	449	449	1677	697	270	2644	400	2964	137	617	439	435	1628	691	262	2581	383	2937	152	632	435	440	1659	661	255	2575	362
3331	3	empl.	220938	0	1467	3156	6666	11289	29723	35962	76974	143964	207328	0	1481	3084	6467	11032	27711	33838	72581	134747	199497	0	1399	3039	6146	10584	27854	32994	71432	128065	193884	0	1401	3021	5905	10327	27414	32466	70207	123677	176458	0	1491	2999	5931	10421	25215	29529	65165	111293
3331	3	ann. pay.	8157963	18007	32801	82567	180723	314098	949853	1181158	2445109	5712854	7597656	17770	36757	80119	181903	316549	892477	1142494	2351520	5246136	7663231	16363	36130	86735	174536	313764	925792	1162015	2401571	5261660	7442627	10213	39643	87467	172412	309735	910025	1166213	2385973	5056654	6978880	16743	41804	93290	180015	331852	877375	1085485	2294712	4684168
3331	3	rec.																																									47510101	244145	231907	440469	829059	1745580	3732452	5043100	10521132	36988969
3332	3	firms	4383	246	1078	715	712	2751	1085	343	4179	204	4410	301	1093	684	739	2817	1071	326	4214	196	4296	252	1078	706	710	2746	1040	313	4099	197	4163	210	1063	672	717	2662	1016	300	3978	185	3985	238	1041	679	664	2622	930	261	3813	172
3332	3	estab.	4649	246	1078	716	716	2756	1119	403	4278	371	4674	302	1093	686	740	2821	1104	386	4311	363	4544	252	1078	708	711	2749	1074	368	4191	353	4408	210	1063	673	719	2665	1050	350	4065	343	4226	240	1041	680	667	2628	968	317	3913	313
3332	3	empl.	197896	0	2544	4808	9942	17294	44454	49937	111685	86211	181012	0	2540	4559	10219	17318	43845	46782	107945	73067	183398	0	2488	4749	9939	17176	43392	44594	105162	78236	177435	0	2414	4524	9913	16851	41666	43141	101658	75777	146269	0	2349	4585	9105	16039	36651	36457	89147	57122
3332	3	ann. pay.	8468144	46316	75973	150748	353824	626861	1678249	2137214	4442324	4025820	8217769	56217	78299	148217	360448	643181	1717416	2088060	4448657	3769112	9546893	53224	77942	159040	367176	657382	1782037	2042783	4482202	5064691	8367934	19672	76569	143635	350759	590635	1608353	1886879	4085867	4282067	7291338	28728	82132	159466	345277	615603	1512091	1704860	3832554	3458784
3332	3	rec.																																									29064039	169071	348872	592556	1224197	2334696	5329900	6797220	14461816	14602223
3333	3	firms	2436	151	656	380	348	1535	561	185	2281	155	2399	140	683	368	327	1518	535	185	2238	161	2320	133	640	379	310	1462	509	191	2162	158	2289	122	648	377	306	1453	514	169	2136	153	2198	127	588	385	306	1406	491	155	2052	146
3333	3	estab.	2578	151	656	380	348	1535	577	218	2330	248	2550	140	685	368	328	1521	546	218	2285	265	2490	133	640	379	310	1462	520	223	2205	285	2457	122	648	377	306	1453	531	199	2183	274	2358	127	588	385	307	1407	511	187	2105	253
3333	3	empl.	128579	0	1511	2518	4735	8764	22805	25340	56909	71670	130751	0	1559	2456	4467	8482	21668	25473	55623	75128	129077	0	1477	2555	4330	8362	20702	27229	56293	72784	125312	0	1492	2550	4193	8235	21384	26333	55952	69360	111610	0	1301	2539	4179	8019	19766	22314	50099	61511
3333	3	ann. pay.	5003774	19617	45577	75222	173615	314031	805715	931501	2051247	2952527	5121364	17754	50106	79118	155152	302130	788942	1000991	2092063	3029301	5487091	11584	48153	84337	154737	298811	786204	1152477	2237492	3249599	5148991	13301	50248	88111	158594	310254	822433	1081957	2214644	2934347	4847459	17849	44258	90619	165409	318135	818308	963432	2099875	2747584
3333	3	rec.																																									22216885	87609	209357	378221	639268	1314455	3315437	4111883	8741775	13475110
3334	3	firms	1558	100	309	230	212	851	397	167	1415	143	1495	73	300	233	204	810	385	165	1360	135	1450	68	294	246	173	781	383	155	1319	131	1485	82	304	242	190	818	393	144	1355	130	1474	80	322	217	216	835	375	142	1352	122
3334	3	estab.	1868	100	309	230	213	852	411	207	1470	398	1819	73	300	234	204	811	401	204	1416	403	1779	68	294	246	175	783	396	192	1371	408	1814	82	304	242	192	820	407	182	1409	405	1800	80	322	217	216	835	397	186	1418	382
3334	3	empl.	170863	0	705	1600	2873	5178	17104	26011	48293	122570	177520	0	690	1612	2757	5059	16435	25968	47462	130058	178626	0	666	1686	2418	4770	16306	24692	45768	132858	179211	0	682	1630	2578	4890	16935	24621	46446	132765	156821	0	703	1447	2843	4993	15928	23507	44428	112393
3334	3	ann. pay.	5620001	10297	20263	46567	89534	166661	543642	853911	1564214	4055787	5932320	3752	20942	42072	87386	154152	555572	879349	1589073	4343247	6133876	6016	20988	47975	84109	159088	587306	843335	1589729	4544147	5912717	12799	20926	51241	85988	170954	602198	807074	1580226	4332491	5556293	9860	24231	48396	99078	181565	590679	809617	1581861	3974432
3334	3	rec.																																									32657665	52308	118979	233025	446471	850783	2845043	3664401	7360227	25297438
3335	3	firms	10141	587	2611	2037	1988	7223	2290	431	9944	197	9776	398	2705	1970	1920	6993	2174	421	9588	188	9469	409	2554	1893	1877	6733	2147	404	9284	185	9288	340	2615	1894	1850	6699	2050	366	9115	173	8965	441	2701	1872	1747	6761	1723	326	8810	155
3335	3	estab.	10539	587	2611	2037	1991	7226	2356	537	10119	420	10168	401	2705	1970	1923	6999	2241	536	9776	392	9873	409	2554	1893	1880	6736	2218	525	9479	394	9691	340	2615	1894	1854	6703	2124	488	9315	376	9346	442	2701	1874	1750	6767	1796	448	9011	335
3335	3	empl.	255351	0	6086	13759	27139	46984	88695	58365	194044	61307	239484	0	6247	13353	26220	45820	83925	54398	184143	55341	232695	0	6018	12845	25608	44471	82571	52282	179324	53371	220206	0	6058	12891	25193	44142	79024	47524	170690	49516	187361	0	6332	12648	23899	42879	64944	38916	146739	40622
3335	3	ann. pay.	10511461	46898	181583	453958	1019241	1701680	3660476	2466670	7828826	2682635	10034737	37075	194863	458991	995850	1686779	3525714	2384498	7596991	2437746	10164657	26038	198055	448794	997790	1670677	3598886	2371382	7640945	2523712	9071325	24513	190247	424090	930972	1569822	3235640	2029859	6835321	2236004	8136622	32762	201514	450351	932726	1617353	2842641	1776192	6236186	1900436
3335	3	rec.																																									24337092	108738	577342	1188151	2401463	4275694	7829648	5528823	17634165	6702927
3336	3	firms	801	43	158	96	120	417	210	78	705	96	815	35	168	101	129	433	208	82	723	92	800	40	158	106	118	422	216	72	710	90	780	30	155	98	123	406	212	69	687	93	762	29	149	104	122	404	198	74	676	86
3336	3	estab.	960	43	158	96	120	417	217	98	732	228	971	35	168	101	129	433	215	102	750	221	961	40	158	106	118	422	222	94	738	223	949	30	155	98	123	406	220	87	713	236	922	29	149	104	122	404	208	94	706	216
3336	3	empl.	112926	0	353	656	1728	2737	8349	11469	22555	90371	112560	0	366	689	1810	2865	8545	12235	23645	88915	112406	0	357	737	1660	2754	8917	11034	22705	89701	104525	0	351	697	1688	2736	8920	10792	22448	82077	96501	0	339	733	1656	2728	8151	11190	22069	74432
3336	3	ann. pay.	4809472	2614	12153	20668	62157	97592	314809	438037	850438	3959034	4958749	3823	13351	21919	60518	99611	323970	470460	894041	4064708	5086638	3274	11207	25655	61788	101924	357105	463881	922910	4163728	4885008	1571	11892	23936	58717	96116	347979	475739	919834	3965174	4637395	4849	11887	26744	61390	104870	322877	486546	914293	3723102
3336	3	rec.																																									37701159	85881	59106	119736	249950	514673	1325993	2066697	3907363	33793796
3339	3	firms	6383	383	1500	1088	1028	3999	1562	504	6065	318	6195	311	1469	1082	1015	3877	1506	486	5869	326	6059	327	1438	1041	967	3773	1481	482	5736	323	5943	263	1480	1004	970	3717	1477	444	5638	305	5698	273	1428	986	936	3623	1387	404	5414	284
3339	3	estab.	7054	383	1500	1088	1031	4002	1607	620	6229	825	6885	312	1469	1082	1020	3883	1550	608	6041	844	6751	327	1439	1041	970	3777	1525	595	5897	854	6639	263	1480	1005	972	3720	1524	547	5791	848	6352	273	1429	987	937	3626	1433	508	5567	785
3339	3	empl.	357899	0	3474	7319	14153	24946	64287	74763	163996	193903	349571	0	3411	7303	14010	24724	62551	73227	160502	189069	342251	0	3304	7009	13216	23529	60739	71838	156106	186145	332281	0	3370	6847	13386	23603	60795	66547	150945	181336	291201	0	3343	6710	12729	22782	55012	56219	134013	157188
3339	3	ann. pay.	13962003	36313	104709	223847	468882	833751	2390589	2871839	6096179	7865824	14011523	25342	106904	225639	489446	847331	2406379	2844009	6097719	7913804	14304305	26445	108237	232929	473029	840640	2394978	2960392	6196010	8108295	13885047	27156	110453	225814	482432	845855	2355626	2720613	5922094	7962953	12653370	52987	116526	234960	480322	884795	2267934	2300430	5453159	7200211
3339	3	rec.																																									57821592	295054	538633	965041	1808174	3606902	8049376	9808425	21464703	36356889
3341	3	firms	1938	247	534	240	286	1307	357	133	1797	141	1922	253	512	283	264	1312	348	126	1786	136	1969	255	570	285	264	1374	341	121	1836	133	1817	168	510	272	262	1212	343	122	1677	140	1477	148	371	229	192	940	309	122	1371	106
3341	3	estab.	2050	247	534	240	286	1307	370	136	1813	237	2042	253	514	284	264	1315	357	136	1808	234	2077	256	570	286	264	1376	347	132	1855	222	1916	168	510	273	263	1214	350	131	1695	221	1568	148	371	230	192	941	317	147	1405	163
3341	3	empl.	243164	0	1241	1603	3905	6749	14243	20793	41785	201379	224815	0	1155	1853	3563	6571	13851	19196	39618	185197	193897	0	1260	1934	3589	6783	14393	17020	38196	155701	199637	0	1096	1818	3578	6492	14628	19023	40143	159494	155137	0	836	1543	2602	4981	12654	18249	35884	119253
3341	3	ann. pay.	12628448	56540	47765	57935	161909	324149	636739	913480	1874368	10754080	12340294	22485	47814	70812	158153	299264	690189	1009878	1999331	10340963	11812969	128608	56498	88746	179359	453211	744316	1405464	2602991	9209978	11372337	26235	48647	72558	182597	330037	738775	1157019	2225831	9146506	9549212	16719	34895	64638	121589	237841	701785	1164149	2103775	7445437
3341	3	rec.																																									79551928	78324	186008	327879	576640	1168851	3284466	5280457	9733774	69818154
3342	3	firms	2082	158	434	287	275	1154	503	225	1882	200	2021	144	443	275	267	1129	491	213	1833	188	2049	211	443	266	259	1179	469	223	1871	178	1956	113	452	264	255	1084	457	233	1774	182	1761	128	357	248	241	974	442	185	1601	160
3342	3	estab.	2327	158	434	287	276	1155	514	270	1939	388	2266	144	443	275	267	1129	500	255	1884	382	2305	212	443	266	259	1180	477	265	1922	383	2200	113	452	264	255	1084	477	256	1817	383	2008	128	359	249	241	977	459	202	1638	370
3342	3	empl.	276929	0	976	1925	3841	6742	21442	36900	65084	211845	270392	0	1008	1856	3617	6481	21228	34776	62485	207907	256501	0	960	1772	3589	6321	20472	38080	64873	191628	269498	0	968	1786	3573	6327	19935	41170	67432	202066	206255	0	757	1675	3285	5717	19555	30054	55326	150929
3342	3	ann. pay.	16149765	37190	38971	73937	157838	307936	1008462	1736216	3052614	13097151	17225663	62998	42076	68935	155456	329465	1089356	1948980	3367801	13857862	17433245	97065	42492	76242	161619	377418	1185081	2665778	4228277	13204968	16175149	21411	41713	81206	166090	310420	1002059	2604463	3916942	12258207	13346435	27506	32238	72548	144309	276601	1050287	1748758	3075646	10270789
3342	3	rec.																																									73810996	109513	153109	288454	562331	1113407	3708071	6840178	11661656	62149340
3343	3	firms	531	63	153	71	77	364	97	45	506	25	506	57	143	79	74	353	89	39	481	25	533	60	154	86	68	368	99	45	512	21	537	59	166	83	64	372	98	43	513	24	598	58	183	104	88	433	101	42	576	22
3343	3	estab.	572	63	153	71	77	364	101	54	519	53	539	57	143	79	74	353	94	47	494	45	560	60	154	86	68	368	99	53	520	40	561	59	166	83	64	372	98	48	518	43	623	58	183	104	88	433	103	47	583	40
3343	3	empl.	32829	0	357	470	1020	1847	4145	7597	13589	19240	28188	0	325	540	1034	1899	3899	6619	12417	15771	30127	0	347	568	914	1829	4148	8212	14189	15938	28686	0	379	564	873	1816	4382	6785	12983	15703	25344	0	413	691	1164	2268	4441	5763	12472	12872
3343	3	ann. pay.	1019089	6020	8944	12598	28655	56217	120742	238929	415888	603201	977934	12339	9397	15830	33809	71375	124441	221606	417422	560512	1001995	9396	11903	20089	34388	75776	135993	267657	479426	522569	1005565	4281	12639	22450	30478	69848	164743	221567	456158	549407	1043741	3757	14333	27283	47460	92833	209585	208884	511302	532439
3343	3	rec.																																									9393398	23187	75617	122512	209684	431000	913555	1447223	2791778	6601620
3344	3	firms	5551	411	1124	757	792	3084	1516	594	5194	357	5458	351	1189	783	769	3092	1469	557	5118	340	5356	381	1126	739	732	2978	1481	563	5022	334	5242	293	1083	738	730	2844	1491	574	4909	333	4887	294	1018	703	743	2758	1366	481	4605	282
3344	3	estab.	6244	411	1125	758	794	3088	1556	711	5355	889	6181	352	1189	785	771	3097	1503	698	5298	883	6104	382	1126	741	734	2983	1509	690	5182	922	5973	295	1083	741	732	2851	1520	685	5056	917	5560	294	1019	704	745	2762	1417	620	4799	761
3344	3	empl.	588039	0	2521	5174	11011	18706	67741	106397	192844	395195	562211	0	2645	5262	10637	18544	65624	96488	180656	381555	571377	0	2507	5010	10241	17758	65793	97424	180975	390402	603160	0	2346	5028	10235	17609	68155	97956	183720	419440	458945	0	2251	4741	10314	17306	58930	75754	151990	306955
3344	3	ann. pay.	23581337	85407	84489	173418	347003	690317	2135918	3713790	6540025	17041312	25696028	73543	98123	188476	374443	734585	2336548	3841675	6912808	18783220	31940683	85591	99012	192354	402799	779756	2593240	4669218	8042214	23898469	28296971	56659	91595	187352	391452	727058	2508644	3855199	7090901	21206070	21932669	68190	90826	185328	392022	736366	2300477	3253074	6289917	15642752
3344	3	rec.																																									114893236	647901	421266	872483	1622216	3563866	8069279	11689800	23322945	91570291
3345	3	firms	4907	322	1239	783	696	3040	1133	387	4560	347	4709	276	1229	739	698	2942	1076	366	4384	325	4538	297	1154	696	702	2849	1017	366	4232	306	4519	220	1241	691	698	2850	991	387	4228	291	4588	308	1281	708	691	2988	957	354	4299	289
3345	3	estab.	5541	322	1240	785	698	3045	1155	475	4675	866	5351	276	1231	740	700	2947	1095	458	4500	851	5201	297	1156	696	704	2853	1038	460	4351	850	5151	220	1243	691	698	2852	1009	475	4336	815	5228	309	1282	708	691	2990	992	431	4413	815
3345	3	empl.	488782	0	2827	5241	9729	17797	46979	59460	124236	364546	482482	0	2829	4895	9600	17324	44880	56209	118413	364069	461516	0	2721	4621	9727	17069	42081	55188	114338	347178	453496	0	2857	4620	9553	17030	41046	58095	116171	337325	417552	0	2908	4678	9547	17133	39237	50366	106736	310816
3345	3	ann. pay.	24381954	55006	99006	185570	382309	721891	1952757	2628528	5303176	19078778	25793672	72642	102612	191252	386725	753231	1921198	2721880	5396309	20397363	26495638	45135	102271	183214	422340	752960	1940513	2891740	5585213	20910425	26071991	20242	118978	180331	400262	719813	1913877	3000980	5634670	20437321	24255795	45205	113086	189798	431480	779569	1878174	2679906	5337649	18918146
3345	3	rec.																																									93631483	181187	465395	701171	1483598	2831351	5922196	9650787	18404334	75227149
3346	3	firms	824	81	278	127	110	596	125	63	784	40	835	108	266	126	111	611	133	60	804	31	834	97	282	137	105	621	134	42	797	37	887	100	338	131	110	679	134	43	856	31	832	91	320	121	102	634	130	40	804	28
3346	3	estab.	898	81	278	128	113	600	129	88	817	81	900	108	266	126	112	612	140	83	835	65	901	97	282	137	107	623	137	66	826	75	963	100	338	131	112	681	139	75	895	68	896	91	320	121	102	634	147	50	831	65
3346	3	empl.	51113	0	612	830	1565	3007	4871	10529	18407	32706	47089	0	595	819	1473	2887	5370	10307	18564	28525	43669	0	612	903	1425	2940	5429	7593	15962	27707	38830	0	720	875	1434	3029	5520	7912	16461	22369	37178	0	692	797	1385	2874	5149	6586	14609	22569
3346	3	ann. pay.	1924714	11082	21586	30520	54532	117720	174213	403419	695352	1229362	1808394	22348	22010	27958	66621	138937	206511	404177	749625	1058769	1712941	9172	22449	33844	63422	128887	225549	285841	640277	1072664	1600204	8638	30191	34704	61621	135154	259070	336334	730558	869646	1570586	23114	29355	31779	53089	137337	224491	306971	668799	901787
3346	3	rec.																																									8650186	110696	143151	153529	213012	620388	893519	1231320	2745227	5904959
3351	3	firms	1238	83	304	198	189	774	308	111	1193	45	1218	86	308	189	182	765	304	104	1173	45	1190	64	322	191	181	758	281	102	1141	49	1196	80	299	203	190	772	278	97	1147	49	1122	59	289	194	171	713	283	84	1080	42
3351	3	estab.	1355	83	304	198	189	774	314	128	1216	139	1333	86	308	189	182	765	310	118	1193	140	1307	64	322	191	181	758	286	116	1160	147	1307	80	299	203	190	772	283	109	1164	143	1234	59	289	195	172	715	290	93	1098	136
3351	3	empl.	74534	0	702	1351	2589	4642	12902	17608	35152	39382	74351	0	684	1304	2537	4525	13011	16455	33991	40360	74277	0	750	1321	2599	4670	12232	16297	33199	41078	72052	0	652	1358	2640	4650	12346	15350	32346	39706	63848	0	611	1308	2330	4249	12176	12563	28988	34860
3351	3	ann. pay.	2299290	11929	17377	35307	67323	131936	366090	522033	1020059	1279231	2370483	13530	17424	33775	66226	130955	382135	506756	1019846	1350637	2546520	4139	18896	35328	70688	129051	383544	493979	1006574	1539946	2345966	7906	16370	37519	72035	133830	376783	472656	983269	1362697	2212035	5936	16384	36527	70587	129434	395852	437859	963145	1248890
3351	3	rec.																																									12306658	23011	106793	178542	340316	648662	1774740	2037487	4460889	7845769
3352	3	firms	290	28	61	29	37	155	49	24	228	62	305	30	77	31	35	173	45	29	247	58	305	25	75	36	33	169	50	28	247	58	319	25	78	38	38	179	53	33	265	54	334	32	90	40	41	203	54	30	287	47
3352	3	estab.	370	28	61	29	38	156	49	27	232	138	381	30	78	31	35	174	45	33	252	129	377	25	75	36	33	169	50	33	252	125	388	25	78	38	38	179	54	41	274	114	398	32	90	40	41	203	54	32	289	109
3352	3	empl.	102784	         [a]	         [c]	199	505	839	2286	4631	7756	95028	99833	0	169	212	485	866	2015	5662	8543	91290	100835	0	175	232	424	831	2233	4807	7871	92964	94410	0	175	241	517	933	2389	5018	8340	86070	91124	0	209	269	537	1015	2303	5626	8944	82180
3352	3	ann. pay.	3241904	         (D)	         (D)	5559	15573	90996	58093	139909	288998	2952906	3149107	1849	3972	5660	14791	26272	62224	170917	259413	2889694	3282599	2722	4767	10180	12823	30492	65233	132441	228166	3054433	3148512	42144	5258	6860	15678	69940	64528	145551	280019	2868493	3073722	1244	6018	8511	16666	32439	69085	182542	284066	2789656
3352	3	rec.																																									23530011	21655	153964	54673	113129	343421	419541	1571697	2334659	21195352
3353	3	firms	2512	127	622	444	385	1578	559	199	2336	176	2438	118	617	434	355	1524	541	207	2272	166	2362	105	583	415	362	1465	526	209	2200	162	2312	110	548	416	335	1409	545	210	2164	148	2250	110	579	420	305	1414	503	189	2106	144
3353	3	estab.	2964	127	622	444	388	1581	580	250	2411	553	2882	118	617	434	359	1528	557	264	2349	533	2801	105	584	415	364	1468	540	264	2272	529	2751	110	548	417	337	1412	561	266	2239	512	2651	110	580	421	310	1421	522	246	2189	462
3353	3	empl.	210266	0	1464	2989	5242	9695	22238	28874	60807	149459	200255	0	1458	2932	4817	9207	21540	30038	60785	139470	198989	0	1338	2799	4989	9126	21288	30287	60701	138288	193238	0	1296	2815	4547	8658	22480	31961	63099	130139	168352	0	1342	2831	4165	8338	19986	27219	55543	112809
3353	3	ann. pay.	7212010	19031	44341	90337	174833	328542	790120	950892	2069554	5142456	7206029	11721	45465	97524	177188	331898	809841	1007612	2149351	5056678	7414596	13039	45351	94982	189215	342587	845918	1110369	2298874	5115722	7236320	35676	47704	93001	167638	344019	877090	1147337	2368446	4867874	6518083	9595	49831	100768	157174	317368	813613	1030522	2161503	4356580
3353	3	rec.																																									33211206	54861	266081	433846	629969	1384757	2912362	4096123	8393242	24817964
3359	3	firms	2044	146	380	253	251	1030	554	245	1829	215	2084	172	425	259	255	1111	531	226	1868	216	2121	180	462	253	267	1162	524	225	1911	210	2064	161	427	261	266	1115	516	230	1861	203	1924	114	393	274	274	1055	481	212	1748	176
3359	3	estab.	2464	146	381	253	252	1032	565	292	1889	575	2508	173	425	259	255	1112	542	273	1927	581	2556	181	464	253	268	1166	538	265	1969	587	2494	161	428	263	266	1118	527	274	1919	575	2318	114	394	275	274	1057	495	257	1809	509
3359	3	empl.	214816	         [a]	         [f]	1702	3437	6003	23444	36577	66024	148792	211982	0	945	1732	3491	6168	22374	34246	62788	149194	215305	0	1015	1686	3698	6399	22374	34001	62774	152531	215713	0	942	1764	3616	6322	22531	35300	64153	151560	179076	0	845	1835	3715	6395	20963	30056	57414	121662
3359	3	ann. pay.	7476355	         (D)	         (D)	55405	108389	205652	775938	1128338	2109928	5366427	7874016	19952	32276	54543	114107	220878	784267	1144545	2149690	5724326	8609276	41260	35914	59981	132216	269371	829782	1257792	2356945	6252331	8142589	16241	33477	65287	126395	241400	816532	1201945	2259877	5882712	7045527	17922	34488	70139	139866	262415	807827	1071808	2142050	4903477
3359	3	rec.																																									39475392	158525	166362	374713	621852	1321452	3397677	4707817	9426946	30048446
3361	3	firms	342	41	108	54	32	235	50	20	305	37	352	48	114	43	43	248	48	19	315	37	347	39	123	40	37	239	47	24	310	37	342	34	111	52	43	240	41	24	305	37	322	25	111	42	40	218	47	19	284	38
3361	3	estab.	411	41	108	54	33	236	51	21	308	103	418	48	114	43	43	248	49	20	317	101	410	39	123	40	37	239	47	26	312	98	410	34	111	52	43	240	42	26	308	102	395	25	111	42	40	218	47	21	286	109
3361	3	empl.	235483	         [a]	         [c]	359	426	999	2349	3438	6786	228697	233917	0	238	279	574	1091	2148	3117	6356	227561	235413	0	260	269	517	1046	1978	4166	7190	228223	215132	         [a]	         [c]	336	616	1192	1645	4274	7111	208021	216886	0	232	273	552	1057	2031	4273	7361	209525
3361	3	ann. pay.	13017154	         (D)	         (D)	7750	11296	28910	69780	117710	216400	12800754	15105608	6231	5409	6547	15620	33807	72804	113943	220554	14885054	14823702	2141	5836	6732	14704	29413	81461	146044	256918	14566784	12606936	         (D)	         (D)	10115	15613	49273	50487	155941	255701	12351235	13910476	7350	5649	8167	15283	36449	70447	146897	253793	13656683
3361	3	rec.																																									236999089	100970	104769	113555	206154	525448	647397	1842024	3014869	233984220
3362	3	firms	1919	130	422	322	292	1166	517	155	1838	81	1893	136	397	305	302	1140	504	159	1803	90	1860	123	373	284	317	1097	499	168	1764	96	1836	104	399	291	295	1089	521	140	1750	86	1783	104	362	304	321	1091	485	129	1705	78
3362	3	estab.	2116	130	422	322	292	1166	530	190	1886	230	2103	136	397	305	302	1140	519	191	1850	253	2081	123	373	284	317	1097	509	199	1805	276	2062	104	399	291	296	1090	530	167	1787	275	2001	104	362	304	321	1091	503	171	1765	236
3362	3	empl.	128687	0	990	2164	4045	7199	22005	27367	56571	72116	141610	0	899	2050	4132	7081	21486	28875	57442	84168	150461	0	808	1925	4391	7124	21911	31514	60549	89912	132765	0	886	1978	4047	6911	22893	26912	56716	76049	114410	0	857	2042	4393	7292	20879	24460	52631	61779
3362	3	ann. pay.	3815998	9210	21541	47812	94678	173241	596757	818472	1588470	2227528	4346749	29319	20066	46828	102996	199209	624166	864207	1687582	2659167	4460041	16659	18306	43863	108981	187809	610385	931256	1729450	2730591	3959236	6549	20379	46185	108751	181864	640585	803316	1625765	2333471	3864490	14737	28827	55691	124303	223558	636266	811344	1671168	2193322
3362	3	rec.																																									23235348	83751	204518	298728	632581	1219578	3019856	4382768	8622202	14613146
3363	3	firms	4771	299	1181	680	576	2736	1122	542	4400	371	4637	241	1165	677	570	2653	1089	534	4276	361	4471	214	1106	630	557	2507	1083	528	4118	353	4400	218	1111	640	557	2526	1029	494	4049	351	4317	229	1119	628	556	2532	961	491	3984	333
3363	3	estab.	5933	299	1181	681	577	2738	1166	669	4573	1360	5816	246	1167	678	572	2663	1123	654	4440	1376	5621	214	1106	631	564	2515	1112	644	4271	1350	5526	218	1112	644	559	2533	1047	614	4194	1332	5437	230	1119	629	562	2540	996	611	4147	1290
3363	3	empl.	801461	0	2700	4480	7977	15157	48434	103258	166849	634612	794523	0	2667	4495	7821	14983	47847	103227	166057	628466	812191	0	2557	4194	7573	14324	47895	104030	166249	645942	739667	0	2556	4212	7701	14469	45319	93299	153087	586580	657102	0	2557	4190	7731	14478	41854	91441	147773	509329
3363	3	ann. pay.	32724340	41558	61741	110140	224136	437575	1437882	3125012	5000469	27723871	35429395	34911	73472	121220	228512	458115	1503236	3224501	5185852	30243543	35991068	24873	65931	135203	241894	467901	1525807	3293258	5286966	30704102	32388102	71488	69001	114521	236461	491471	1475965	2924217	4891653	27496449	29733646	49429	72698	135537	245262	502926	1450917	3099138	5052981	24680665
3363	3	rec.																																									203963033	387723	502084	874981	1260602	3025390	6834196	16857869	26717455	177245578
3364	3	firms	1521	116	340	223	222	901	372	132	1405	116	1516	111	350	233	217	911	351	140	1402	114	1485	97	351	239	217	904	341	135	1380	105	1466	96	320	249	207	872	356	131	1359	107	1294	75	269	193	217	754	318	122	1194	100
3364	3	estab.	1827	116	340	223	222	901	379	149	1429	398	1845	112	350	233	217	912	358	163	1433	412	1823	98	351	239	217	905	347	150	1402	421	1792	96	320	249	207	872	362	152	1386	406	1619	75	269	193	217	754	324	143	1221	398
3364	3	empl.	518881	0	784	1479	3058	5321	16112	21851	43284	475597	509571	0	788	1553	2950	5291	14640	23307	43238	466333	446243	0	791	1643	2949	5383	14330	21212	40925	405318	449383	0	712	1701	2828	5241	14855	21668	41764	407619	391273	0	617	1345	2984	4946	13747	19880	38573	352700
3364	3	ann. pay.	26872794	27311	25238	44955	107203	204707	610773	888506	1703986	25168808	27718051	23314	27651	50447	98156	199568	549547	927790	1676905	26041146	25026371	19954	26969	51849	102246	201018	564580	893002	1658600	23367771	26204849	11521	23203	53994	104065	192783	615521	921234	1729538	24475311	23250070	18995	23527	45371	119976	207869	570092	828980	1606941	21643129
3364	3	rec.																																									124446482	71943	96438	163887	415616	747884	1984018	2895290	5627192	118819290
3365	3	firms	176	11	24	15	22	72	49	26	147	29	174	11	23	17	26	77	45	23	145	29	159	10	17	18	27	72	39	23	134	25	153	12	17	20	16	65	40	23	128	25	143	8	18	14	21	61	37	21	119	24
3365	3	estab.	237	11	24	15	22	72	52	34	158	79	241	11	23	17	26	77	48	30	155	86	227	10	17	18	27	72	44	29	145	82	218	12	17	20	16	65	44	28	137	81	197	8	18	14	21	61	38	29	128	69
3365	3	empl.	37676	         [a]	         [b]	108	289	449	2111	3648	6208	31468	38815	0	54	118	352	524	2114	3124	5762	33053	38724	0	39	109	383	531	1998	3375	5904	32820	35423	         [a]	         [b]	142	240	423	1897	3483	5803	29620	28199	0	40	95	292	427	1623	3024	5074	23125
3365	3	ann. pay.	1522233	         (D)	         (D)	3203	8772	15374	77741	138741	231856	1290377	1612483	1036	1598	3557	13971	20162	76794	116320	213276	1399207	1633472	3604	2176	3159	11074	20013	74603	125588	220204	1413268	1486943	         (D)	         (D)	4035	7006	24715	69008	126076	219799	1267144	1277714	265	1607	3265	11515	16652	70907	117790	205349	1072365
3365	3	rec.																																									8307047	1703	9234	18002	54546	83485	306427	434333	824245	7482802
3366	3	firms	1727	185	471	287	252	1195	352	124	1671	56	1664	179	481	268	249	1177	312	120	1609	55	1635	145	473	258	256	1132	320	128	1580	55	1685	153	508	276	246	1183	322	129	1634	51	1612	146	490	275	222	1133	314	123	1570	42
3366	3	estab.	1835	185	471	287	253	1196	356	145	1697	138	1779	179	481	268	251	1179	315	135	1629	150	1763	145	473	258	257	1133	323	150	1606	157	1815	153	508	276	247	1184	329	156	1669	146	1736	146	490	275	223	1134	324	151	1609	127
3366	3	empl.	142684	0	1055	1956	3428	6439	15612	23223	45274	97410	145065	0	1052	1798	3396	6246	14021	22918	43185	101880	146969	0	1044	1737	3485	6266	14149	24454	44869	102100	138962	0	1098	1823	3433	6354	14510	23551	44415	94547	131292	0	1019	1817	2994	5830	13554	23358	42742	88550
3366	3	ann. pay.	4761852	17667	26192	47027	90558	181444	429990	700790	1312224	3449628	4804405	16151	27118	43289	100174	186732	419566	682357	1288655	3515750	5044270	9269	28398	40707	97528	175902	415052	783607	1374561	3669709	5094086	9149	29921	45068	97992	182130	462846	753579	1398555	3695531	5111708	19359	28945	50989	91512	190805	448427	833611	1472843	3638865
3366	3	rec.																																									21115423	115074	154395	227705	366594	863768	1947219	3609066	6420053	14695370
3369	3	firms	800	79	222	133	121	555	160	45	760	40	803	83	216	138	119	556	163	43	762	41	806	91	216	128	117	552	170	44	766	40	769	51	229	132	112	524	162	46	732	37	779	90	241	119	106	556	145	41	742	37
3369	3	estab.	843	79	222	133	121	555	172	48	775	68	840	83	216	138	119	556	168	48	772	68	841	91	216	128	117	552	175	46	773	68	804	51	230	132	112	525	166	49	740	64	817	90	241	120	106	557	151	46	754	63
3369	3	empl.	46474	0	502	930	1621	3053	6648	6176	15877	30597	42715	0	486	923	1625	3034	6741	6939	16714	26001	42629	0	464	842	1624	2930	7040	6984	16954	25675	42113	0	511	891	1560	2962	6527	6849	16338	25775	39545	0	556	788	1461	2805	5731	5578	14114	25431
3369	3	ann. pay.	1664365	5138	12281	25650	41243	84312	202091	173209	459612	1204753	1592291	5332	10656	21639	43471	81098	206507	223382	510987	1081304	1652808	4431	9154	20726	48127	82438	223344	212920	518702	1134106	1699739	1587	13599	22136	45457	82779	200820	227654	511253	1188486	1623369	9892	14396	22048	42624	88960	200944	206498	496402	1126967
3369	3	rec.																																									13934969	58983	81692	121244	210515	472434	916615	1029751	2418800	11516169
3371	3	firms	14674	1324	6036	2926	1992	12278	1806	444	14528	146	14423	1233	5861	2860	1993	11947	1884	444	14275	148	14153	1141	5662	2807	2037	11647	1885	471	14003	150	14873	1213	6038	2960	2150	12361	1935	434	14730	143	16450	1318	7186	3342	2214	14060	1844	415	16319	131
3371	3	estab.	15251	1324	6041	2931	2004	12300	1884	538	14722	529	14977	1233	5865	2866	2004	11968	1958	541	14467	510	14684	1142	5665	2812	2048	11667	1936	563	14166	518	15371	1213	6040	2966	2162	12381	1980	524	14885	486	16963	1318	7189	3350	2239	14096	1898	512	16506	457
3371	3	empl.	386318	0	13378	19318	26742	59438	73560	79070	212068	174250	403601	0	12912	18963	26848	58723	76505	80925	216153	187448	414573	0	12553	18528	27595	58676	77174	84934	220784	193789	401541	0	13325	19727	29067	62119	78239	79924	220282	181259	382765	0	15905	22071	29646	67622	73766	74233	215621	167144
3371	3	ann. pay.	9352685	88957	253646	394736	602127	1339466	1748030	1936194	5023690	4328995	10124265	71243	259430	400063	636707	1367443	1916910	2051520	5335873	4788392	10592854	44109	259217	403738	670029	1377093	1980346	2191799	5549238	5043616	10329579	63226	289239	449974	716376	1518815	2059849	2070709	5649373	4680206	10444684	54314	350711	528353	780913	1714291	2038643	2070344	5823278	4621406
3371	3	rec.																																									44754336	246741	1338408	1831879	2621821	6038849	7184440	8804682	22027971	22726365
3372	3	firms	4003	252	860	696	722	2530	1141	249	3920	83	3928	225	870	668	701	2464	1124	251	3839	89	3819	216	811	673	669	2369	1109	254	3732	87	3894	203	862	713	684	2462	1101	247	3810	84	3843	218	919	703	665	2505	1050	216	3771	72
3372	3	estab.	4206	252	860	696	723	2531	1158	299	3988	218	4141	225	870	668	702	2465	1138	306	3909	232	4036	216	811	673	670	2370	1123	314	3807	229	4113	204	862	713	685	2464	1114	306	3884	229	4044	218	919	703	666	2506	1065	279	3850	194
3372	3	empl.	173113	0	2021	4703	9916	16640	48584	37271	102495	70618	174589	0	2023	4500	9683	16206	47539	36780	100525	74064	177200	0	1843	4510	9215	15568	46828	38788	101184	76016	171157	0	1935	4876	9399	16210	45058	37058	98326	72831	148323	0	2102	4792	9110	16004	42576	31627	90207	58116
3372	3	ann. pay.	5582340	17013	51625	119146	271695	459479	1461471	1100143	3021093	2561247	5769328	15196	51872	113514	279257	459839	1472894	1111442	3044175	2725153	6052462	14660	45450	114922	267750	442782	1481916	1233899	3158597	2893865	5772917	12368	48762	132254	277281	470665	1447733	1160997	3079395	2693522	5073529	19460	61771	137999	274494	493724	1425478	1066878	2986080	2087449
3372	3	rec.																																									21316538	93322	242145	482562	933023	1751052	4640328	4096271	10487651	10828887
3379	3	firms	1048	73	297	166	161	697	266	64	1027	21	1028	55	292	178	144	669	267	72	1008	20	1002	58	265	183	153	659	248	75	982	20	987	55	277	173	154	659	239	69	967	20	955	41	278	151	170	640	226	68	934	21
3379	3	estab.	1166	73	298	166	161	698	274	94	1066	100	1148	57	293	178	144	672	273	105	1050	98	1128	60	265	183	153	661	255	111	1027	101	1109	55	277	178	154	664	246	101	1011	98	1076	41	278	151	170	640	238	104	982	94
3379	3	empl.	44430	0	715	1121	2171	4007	11680	9873	25560	18870	44963	0	686	1182	1908	3776	11945	10851	26572	18391	48671	0	620	1225	2095	3940	11421	12090	27451	21220	46499	0	648	1155	2058	3861	11018	11240	26119	20380	44040	0	657	1015	2345	4017	10077	11097	25191	18849
3379	3	ann. pay.	1147266	7197	13862	20083	44322	85464	292266	258264	635994	511272	1234240	7578	15488	22380	41926	87372	304353	303254	694979	539261	1318315	2057	13479	23461	45722	84719	291041	308785	684545	633770	1331153	2359	15186	23515	47094	88154	289275	313067	690496	640657	1287846	2090	15184	21004	53933	92211	282887	330829	705927	581919
3379	3	rec.																																									7426213	14932	92662	129021	263314	499929	1495375	1685250	3680554	3745659
3391	3	firms	11840	795	5949	2181	1272	10197	1175	288	11660	180	11662	784	5787	2185	1251	10007	1182	297	11486	176	11516	795	5607	2181	1275	9858	1182	300	11340	176	11500	777	5680	2147	1232	9836	1188	298	11322	178	10879	781	5243	1988	1223	9235	1169	299	10703	176
3391	3	estab.	12474	795	5950	2185	1277	10207	1228	423	11858	616	12327	784	5787	2189	1257	10017	1232	435	11684	643	12163	795	5607	2184	1282	9868	1229	435	11532	631	12151	777	5680	2149	1239	9845	1233	442	11520	631	11575	781	5243	1991	1231	9246	1228	502	10976	599
3391	3	empl.	295923	0	12571	14175	16995	43741	47090	44310	135141	160782	302227	0	12274	14230	16755	43259	47148	44872	135279	166948	304555	0	12030	14177	17116	43323	47014	46584	136921	167634	304435	0	12174	14052	16648	42874	46670	46335	135879	168556	294154	0	11395	13085	16416	40896	45044	47839	133779	160375
3391	3	ann. pay.	10830803	44293	304372	381693	509665	1240023	1585524	1572451	4397998	6432805	11570561	61634	311371	392827	520941	1286773	1701802	1671787	4660362	6910199	12315561	137758	312947	408384	558082	1417171	1773106	1872891	5063168	7252393	12843366	58069	326747	427430	561816	1374062	1760816	2016989	5151867	7691499	12908614	42229	310227	411684	579404	1343544	1770487	2223456	5337487	7571127
3391	3	rec.																																									59721119	207817	936052	1223949	1812552	4180370	5618581	8526952	18325903	41395216
3399	3	firms	18678	1987	7176	3344	2477	14984	2777	663	18424	254	18528	1866	7195	3390	2417	14868	2745	657	18270	258	18540	1857	7248	3389	2390	14884	2731	664	18279	261	17997	1572	7170	3359	2364	14465	2663	616	17744	253	17412	1627	7081	3174	2276	14158	2455	560	17173	239
3399	3	estab.	19273	1988	7179	3347	2488	15002	2856	837	18695	578	19143	1868	7197	3394	2427	14886	2832	819	18537	606	19140	1857	7249	3392	2398	14896	2816	815	18527	613	18567	1572	7171	3362	2373	14478	2749	765	17992	575	17932	1628	7082	3177	2286	14173	2544	703	17420	512
3399	3	empl.	441545	0	15621	22129	33572	71322	112975	106314	290611	150934	432015	0	15710	22484	33083	71277	110857	103132	285266	146749	427645	0	15716	22442	32478	70636	109766	103981	284383	143262	408730	0	15704	22211	32277	70192	107061	96460	273713	135017	370556	0	15440	20973	30920	67333	96787	84769	248889	121667
3399	3	ann. pay.	12443679	87528	312297	483322	838934	1722081	3105795	3012616	7840492	4603187	12783327	108416	334575	522126	838978	1804095	3173508	3087915	8065518	4717809	13184822	95547	352128	538099	865850	1851624	3299304	3210213	8361141	4823681	12761201	75506	357162	533723	870683	1837074	3217646	3062456	8117176	4644025	12299544	73903	349759	536890	880219	1840771	3109543	2866729	7817043	4482501
3399	3	rec.																																									58369305	384653	1602052	2109796	3351801	7448302	12410987	13902709	33761998	24607307
4211	3	firms	23655	1995	10717	4537	2870	20119	2666	584	23369	286	23156	2028	10371	4397	2808	19604	2677	606	22887	269	22751	2021	10020	4387	2832	19260	2619	589	22468	283	21921	1813	9648	4297	2758	18516	2543	579	21638	283	21388	1871	9565	3938	2654	18028	2503	581	21112	276
4211	3	estab.	28711	2010	10734	4591	3051	20386	3802	1702	25890	2821	28328	2038	10392	4449	2983	19862	3675	1853	25390	2938	28385	2044	10043	4442	2995	19524	3553	1916	24993	3392	27572	1821	9673	4346	2924	18764	3436	1817	24017	3555	27370	1874	9587	3996	2833	18290	3608	2105	24003	3367
4211	3	empl.	384205	0	22905	29851	37766	90522	95968	67239	253729	130476	391849	0	22221	28956	36856	88033	97630	73400	259063	132786	402051	0	21420	28891	37192	87503	96424	73141	257068	144983	387296	0	20590	28199	36511	85300	93286	70396	248982	138314	390438	0	20363	25923	35178	81464	90834	73181	245479	144959
4211	3	ann. pay.	12657789	96813	613108	767570	1058855	2536346	3044995	2184684	7766025	4891764	13568355	104165	593492	808828	1060302	2566787	3187391	2542335	8296513	5271842	14129451	89011	586766	805740	1117061	2598578	3231164	2524811	8354553	5774898	14143412	91142	580337	806055	1112360	2589894	3186631	2429513	8206038	5937374	14036008	73942	596547	764038	1108192	2542719	3141426	2599140	8283285	5752723
4211	3	rec.																																									674943072	1291045	11686086	10579876	11869308	35426315	34227394	44949198	114602907	560340165
4212	3	firms	13652	1355	6699	2303	1443	11800	1436	290	13526	126	13639	1449	6658	2197	1472	11776	1445	303	13524	115	13525	1346	6587	2227	1467	11627	1465	315	13407	118	13204	1270	6394	2207	1449	11320	1460	305	13085	119	13017	1514	6301	2097	1349	11261	1372	268	12901	116
4212	3	estab.	15021	1357	6716	2328	1514	11915	1851	568	14334	687	15008	1449	6671	2224	1541	11885	1821	641	14347	661	14905	1346	6600	2264	1516	11726	1860	648	14234	671	14545	1272	6409	2238	1518	11437	1837	671	13945	600	14487	1515	6309	2148	1435	11407	1840	652	13899	588
4212	3	empl.	157215	0	13623	15141	19146	47910	51641	34470	134021	23194	161687	0	13652	14411	19614	47677	52738	37865	138280	23407	167403	0	13541	14638	19682	47861	53825	40328	142014	25389	166135	0	13054	14550	19349	46953	53506	39748	140207	25928	155212	0	12782	13878	17948	44608	50257	34145	129010	26202
4212	3	ann. pay.	5724510	60107	463221	487442	641659	1652429	1796437	1263348	4712214	1012296	6123814	63974	487138	484212	676295	1711619	1924763	1427362	5063744	1060070	6599675	60282	515853	513174	714905	1804214	2040711	1632844	5477769	1121906	6622790	57717	503846	510811	709951	1782325	2035319	1607325	5424969	1197821	6439694	72332	479865	515869	693707	1761773	2013035	1432994	5207802	1231892
4212	3	rec.																																									78795369	928622	9394154	6598175	6786240	23707191	16599162	12565299	52871652	25923717
4213	3	firms	11339	1343	4811	1935	1314	9403	1312	392	11107	232	11629	1349	4857	2010	1363	9579	1412	399	11390	239	11692	1222	4829	2051	1451	9553	1487	409	11449	243	11894	1299	4884	2073	1475	9731	1512	410	11653	241	12263	1388	5099	2096	1499	10082	1525	427	12034	229
4213	3	estab.	14564	1345	4823	1957	1378	9503	1650	1189	12342	2222	14901	1351	4868	2033	1429	9681	1746	1207	12634	2267	15109	1224	4840	2073	1513	9650	1819	1228	12697	2412	15479	1305	4898	2097	1535	9835	1857	1296	12988	2491	16114	1388	5117	2117	1626	10248	2084	1450	13782	2332
4213	3	empl.	157584	0	10186	12711	17409	40306	43435	31343	115084	42500	169013	0	10304	13243	18218	41765	47631	34130	123526	45487	183937	0	10398	13571	19352	43321	51046	37250	131617	52320	185391	0	10419	13609	19713	43741	51656	36866	132263	53128	182671	0	10828	13828	20112	44768	52951	37794	135513	47158
4213	3	ann. pay.	5788519	72010	352919	415671	593934	1434534	1519080	1116089	4069703	1718816	6502996	88043	378762	460887	655461	1583153	1743916	1242076	4569145	1933851	7179742	67567	385024	476774	686756	1616121	1893778	1437917	4947816	2231926	7510075	83497	394850	491961	726758	1697066	1995972	1453854	5146892	2363183	7541790	59193	411969	509237	759113	1739512	2140470	1513513	5393495	2148295
4213	3	rec.																																									110771000	780473	7523511	6828429	8814194	23946607	21645818	17582310	63174735	47596265
4214	3	firms	37088	4156	15987	6833	4689	31665	4131	776	36572	516	36503	3920	15741	6722	4659	31042	4190	763	35995	508	35600	3477	15331	6586	4735	30129	4175	787	35091	509	34672	3546	14896	6407	4506	29355	4030	789	34174	498	33420	3528	14765	5973	4245	28511	3735	729	32975	445
4214	3	estab.	45681	4160	16014	6925	4928	32027	5444	2155	39626	6055	45157	3929	15785	6813	4892	31419	5399	2061	38879	6278	44378	3481	15372	6668	4981	30502	5282	2056	37840	6538	43076	3555	14941	6495	4746	29737	5059	1942	36738	6338	41630	3536	14793	6086	4553	28968	5017	1854	35839	5791
4214	3	empl.	726783	0	34462	45205	62574	142241	152412	97974	392627	334156	751200	0	33662	44460	62345	140467	153939	96708	391114	360086	763142	0	32720	43595	63355	139670	154237	101813	395720	367422	776712	0	31757	42576	60281	134614	147314	106882	388810	387902	722877	0	31262	39689	56754	127705	134570	94225	356500	366377
4214	3	ann. pay.	38110102	243577	1238775	1618042	2430397	5530791	6582426	4856228	16969445	21140657	41807488	318845	1256916	1679686	2564788	5820235	6989170	4898496	17707901	24099587	44860777	245954	1283158	1727520	2715292	5971924	7453794	5742738	19168456	25692321	45141728	333414	1250866	1695673	2640978	5920931	7201974	5776392	18899297	26242431	41815709	234132	1201141	1624570	2561146	5620989	6798550	5296996	17716535	24099174
4214	3	rec.																																									395613584	2273819	12280522	14066756	18839019	47460116	46213772	39056912	132730800	262882784
4215	3	firms	9740	734	4111	1671	1293	7809	1355	349	9513	227	9534	736	3973	1713	1255	7677	1295	330	9302	232	9288	714	3795	1674	1248	7431	1303	320	9054	234	9066	693	3693	1617	1256	7259	1264	320	8843	223	8812	739	3564	1619	1162	7084	1223	294	8601	211
4215	3	estab.	12473	740	4128	1702	1350	7920	1830	1013	10763	1710	12326	742	3985	1746	1315	7788	1759	896	10443	1883	12126	718	3808	1715	1307	7548	1725	935	10208	1918	11899	693	3710	1651	1312	7366	1673	965	10004	1895	11597	741	3577	1655	1237	7210	1734	957	9901	1696
4215	3	empl.	170928	0	8885	11060	17094	37039	48699	35635	121373	49555	169728	0	8475	11293	16687	36455	47432	32889	116776	52952	173178	0	8016	11013	16597	35626	47730	35287	118643	54535	166365	0	7879	10611	16905	35395	46345	35526	117266	49099	153938	0	7603	10649	15521	33773	44414	30984	109171	44767
4215	3	ann. pay.	7033392	49403	394259	458657	676818	1579137	1917553	1405923	4902613	2130779	7152802	46516	386162	487195	693678	1613551	1895701	1302595	4811847	2340955	7564891	55319	379186	490570	697484	1622559	1974417	1463985	5060961	2503930	7223393	35282	369357	478905	709719	1593263	1882166	1438872	4914301	2309092	6891539	53500	354228	493547	681496	1582771	1906081	1320130	4808982	2082557
4215	3	rec.																																									118248254	740161	8069771	8247287	8858963	25916182	20518084	17749018	64183284	54064970
4216	3	firms	27611	2478	11879	5554	3694	23605	2994	592	27191	420	27093	2376	11657	5387	3724	23144	2948	577	26669	424	26673	2292	11274	5381	3653	22600	3049	618	26267	406	26079	2199	10805	5301	3584	21889	3135	645	25669	410	25875	2474	11001	5139	3361	21975	2946	586	25507	368
4216	3	estab.	38646	2488	11944	5752	4135	24319	4484	1740	30543	8103	38512	2389	11711	5610	4142	23852	4379	1787	30018	8494	38286	2304	11343	5592	4045	23284	4418	1993	29695	8591	37816	2212	10871	5500	3978	22561	4461	1900	28922	8894	36579	2483	11053	5373	3787	22696	4524	2036	29256	7323
4216	3	empl.	499826	0	26077	36611	49151	111839	106186	62985	281010	218816	507297	0	25681	35585	49946	111212	106075	63305	280592	226705	534804	0	24843	35636	48895	109374	111328	71476	292178	242626	559234	0	23871	35163	47606	106640	114219	78827	299686	259548	512242	0	24005	33860	44695	102560	105370	68058	275988	236254
4216	3	ann. pay.	25335399	211788	1008794	1469381	2174949	4864912	4666154	2826161	12357227	12978172	29223491	161828	1042741	1513465	2310537	5028571	4957524	2990015	12976110	16247381	33909102	177424	1088169	1657357	2458403	5381353	5837513	3884100	15102966	18806136	34778654	197767	1031635	1581915	2275504	5086821	5574562	4070759	14732142	20046512	30186473	134916	981572	1474809	2104354	4695651	5198720	3466721	13361092	16825381
4216	3	rec.																																									355758834	1544016	15112210	22116371	25639471	64412068	52735999	38490132	155638199	200120635
4217	3	firms	15069	1040	6284	3016	2232	12572	1928	364	14864	205	14716	973	6073	3013	2224	12283	1872	360	14515	201	14381	941	5844	2993	2134	11912	1892	380	14184	197	14111	926	5674	2916	2121	11637	1901	377	13915	196	14009	1040	5579	2919	2076	11614	1850	363	13827	182
4217	3	estab.	21464	1047	6312	3083	2468	12910	3300	1756	17966	3498	21472	974	6105	3084	2439	12602	3162	1873	17637	3835	21424	943	5868	3056	2336	12203	3076	1968	17247	4177	21323	943	5699	2984	2287	11913	3108	1932	16953	4370	21597	1040	5592	2995	2329	11956	3319	2027	17302	4295
4217	3	empl.	225402	0	13814	19879	29629	63322	68242	41756	173320	52082	237954	0	13418	19902	29718	63038	67194	43077	173309	64645	248895	0	12912	19857	28676	61445	68101	46369	175915	72980	247959	0	12591	19303	28325	60219	68360	47319	175898	72061	237461	0	12381	19220	27729	59330	66180	44547	170057	67404
4217	3	ann. pay.	8733239	49144	483654	740640	1156408	2429846	2678806	1536167	6644819	2088420	9550548	44036	486422	764031	1185925	2480414	2761350	1632309	6874073	2676475	10403978	51490	488048	807202	1189763	2536503	2904393	1861192	7302088	3101890	10661830	55312	485097	773034	1193712	2507155	3058548	1898047	7463750	3198080	10114923	82539	475594	778617	1193354	2530104	2931808	1785109	7247021	2867902
4217	3	rec.																																									108052184	780571	6263248	8099587	10701544	25844950	29776338	16181298	71802586	36249598
4218	3	firms	59803	4447	25362	12137	8751	50697	7181	1280	59158	645	58621	4302	25005	11841	8552	49700	7041	1233	57974	647	57121	4108	24217	11550	8393	48268	7007	1190	56465	656	55235	3835	23271	11190	8215	46511	6912	1170	54593	642	54321	4342	23118	10792	7851	46103	6513	1087	53703	618
4218	3	estab.	76082	4473	25426	12369	9598	51866	11401	5223	68490	7592	75423	4336	25087	12082	9422	50927	11147	5114	67188	8235	73742	4136	24330	11776	9187	49429	10908	4783	65120	8622	72113	3871	23377	11415	9011	47674	10633	4890	63197	8916	71340	4357	23201	11087	8737	47382	10803	4781	62966	8374
4218	3	empl.	798378	0	55384	80459	117254	253097	247745	140010	640852	157526	803332	0	54654	78604	114751	248009	246261	138202	632472	170860	796213	0	52879	76805	112295	241979	245669	135801	623449	172764	797004	0	50791	74222	110275	235288	242681	137179	615148	181856	747944	0	50448	71622	105412	227482	226509	120428	574419	173525
4218	3	ann. pay.	32046022	220019	1956343	2841872	4304822	9323056	9781730	5749681	24854467	7191555	33161822	235003	1979115	2828589	4337355	9380062	9907606	5829052	25116720	8045102	34178360	209103	2013774	2846512	4424875	9494264	10346226	5982483	25822973	8355387	34259509	201827	1888860	2791856	4334093	9216636	10150797	6062270	25429703	8829806	32379308	342933	1833329	2726782	4197108	9100152	9554278	5378131	24032561	8346747
4218	3	rec.																																									316382558	3437526	22115335	24213500	33195288	82961649	71114353	42835791	196911793	119470765
4219	3	firms	35886	4345	18086	5986	3740	32157	2991	471	35619	267	36391	5096	18276	5851	3537	32760	2922	445	36127	264	37725	5355	18945	6007	3673	33980	3030	442	37452	273	37139	4717	19062	6011	3662	33452	2978	449	36879	260	39656	5446	20718	6219	3657	36040	2915	439	39394	262
4219	3	estab.	38457	4348	18107	6052	3933	32440	3608	960	37008	1449	38926	5106	18309	5920	3728	33063	3484	953	37500	1426	40229	5362	18993	6073	3855	34283	3535	981	38799	1430	39612	4722	19096	6085	3819	33722	3485	1002	38209	1403	42245	5448	20746	6305	3852	36351	3529	943	40823	1422
4219	3	empl.	346387	0	37158	39037	49926	126121	105150	53063	284334	62053	335853	0	37404	38126	47328	122858	101965	51086	275909	59944	354994	0	38954	39128	49062	127144	107311	51878	286333	68661	347384	0	39021	39104	48831	126956	106221	52053	285230	62154	340914	0	42203	40533	48965	131701	102693	51120	285514	55400
4219	3	ann. pay.	11471021	171483	1076737	1108242	1506950	3863412	3295572	1867499	9026483	2444538	11692182	204257	1120058	1181475	1497034	4002824	3394100	1876100	9273024	2419158	12926488	212787	1233253	1241108	1637889	4325037	3771123	1970760	10066920	2859568	12855056	175163	1242974	1252698	1617690	4288525	3780713	1976047	10045285	2809771	12990980	206039	1361058	1353375	1712552	4633024	3814696	2047642	10495362	2495618
4219	3	rec.																																									173620000	2715492	23341457	18456851	18857158	63370958	36415172	27561490	127347620	46272380
4221	3	firms	12275	862	5814	2283	1583	10542	1345	241	12128	147	11957	850	5632	2222	1505	10209	1366	245	11820	137	11678	846	5403	2226	1452	9927	1353	259	11539	139	11243	821	5149	2131	1421	9522	1324	254	11100	143	10976	908	5084	2016	1318	9326	1258	256	10840	136
4221	3	estab.	15872	872	5821	2308	1694	10695	1735	756	13186	2686	15368	853	5641	2251	1605	10350	1730	747	12827	2541	14920	848	5414	2254	1542	10058	1689	786	12533	2387	14430	821	5160	2162	1512	9655	1703	755	12113	2317	13670	908	5090	2063	1405	9466	1609	784	11859	1811
4221	3	empl.	227521	0	12206	15030	21218	48454	48008	24921	121383	106138	228588	0	11902	14667	20186	46755	48649	26632	122036	106552	231535	0	11360	14755	19479	45594	48807	28491	122892	108643	225894	0	10897	14035	19172	44104	47960	28491	120555	105339	208781	0	10618	13282	17617	41517	44657	27820	113994	94787
4221	3	ann. pay.	8304389	40112	432301	516558	789205	1778176	1795712	1109075	4682963	3621426	8331851	51208	439522	526494	766854	1784078	1910809	1191280	4886167	3445684	8868579	34759	434496	550385	750887	1770527	1978503	1297184	5046214	3822365	8880210	36396	414418	529094	731750	1711658	1962183	1298206	4972047	3908163	8227705	42241	403939	509433	696196	1651809	1847488	1279655	4778952	3448753
4221	3	rec.																																									120337242	493699	5537425	5881093	6699224	18611441	16969566	14436266	50017273	70319969
4222	3	firms	6382	723	2907	1021	659	5310	706	194	6210	172	6115	671	2757	975	651	5054	701	188	5943	172	5948	627	2649	954	661	4891	699	176	5766	182	5755	588	2559	943	612	4702	699	174	5575	180	5936	750	2628	952	597	4927	651	167	5745	191
4222	3	estab.	8124	723	2910	1027	675	5335	785	349	6469	1655	7510	672	2758	981	664	5075	767	297	6139	1371	7418	628	2651	958	671	4908	774	275	5957	1461	7189	589	2559	953	620	4721	755	289	5765	1424	7243	751	2630	956	617	4954	716	273	5943	1300
4222	3	empl.	194864	0	5994	6796	8793	21583	26407	25298	73288	121576	199759	0	5655	6409	8606	20670	26034	26470	73174	126585	210418	0	5408	6341	8673	20422	26504	25533	72459	137959	234917	0	5296	6207	8077	19580	27215	26161	72956	161961	218150	0	5366	6295	7871	19532	24067	23304	66903	151247
4222	3	ann. pay.	9320121	53335	217033	243646	322343	836357	1007456	1088959	2932772	6387349	10054870	57924	218172	236311	355451	867858	1082697	1109368	3059923	6994947	11979927	138141	217170	264101	348565	967977	1134676	1237040	3339693	8640234	13695588	50176	225652	258156	364941	898925	1204193	1309523	3412641	10282947	12776342	189890	221052	280284	381168	1072394	1095193	1337255	3504842	9271500
4222	3	rec.																																									366325768	2389055	3554125	3441497	4059931	13444608	12749125	24459480	50653213	315672555
4223	3	firms	19339	2490	9594	3117	1861	17062	1700	371	19133	206	18998	2459	9486	3030	1816	16791	1644	368	18803	195	18722	2375	9337	2918	1873	16503	1676	367	18546	176	18161	2231	9111	2725	1847	15914	1711	366	17991	170	17708	2398	8933	2636	1705	15672	1537	345	17554	154
4223	3	estab.	20661	2495	9606	3137	1914	17152	1973	710	19835	826	20284	2472	9500	3054	1868	16894	1893	682	19469	815	20027	2390	9358	2944	1923	16615	1907	728	19250	777	19471	2232	9130	2742	1894	15998	1967	744	18709	762	19031	2399	8945	2671	1770	15785	1859	668	18312	719
4223	3	empl.	209301	0	19579	20347	24697	64623	60870	40873	166366	42935	208649	0	19414	19735	24036	63185	59237	40424	162846	45803	214141	0	19161	19054	24962	63177	61887	41267	166331	47810	212432	0	18822	17832	24622	61276	62765	41535	165576	46856	200838	0	18438	17203	22812	58453	56533	37476	152462	48376
4223	3	ann. pay.	8265640	120684	653698	643788	826660	2244830	2197449	1587252	6029531	2236109	8360952	129899	669763	656094	834994	2290750	2239030	1620309	6150089	2210863	8948501	117734	692552	656308	900604	2367198	2496781	1727180	6591159	2357342	9038390	109645	683897	615518	897274	2306334	2583191	1749218	6638743	2399647	9281711	160691	670784	648516	924207	2404198	2612816	1816364	6833378	2448333
4223	3	rec.																																									122651905	2127782	12187007	9229512	9804784	33349085	27641806	19550965	80541856	42110049
4224	3	firms	34796	3452	14806	6046	4449	28753	4619	971	34343	453	33829	3192	14413	5838	4396	27839	4589	932	33360	469	33040	3086	13976	5674	4338	27074	4551	964	32589	451	32398	3146	13565	5554	4218	26483	4508	977	31968	430	31946	3471	13504	5260	4032	26267	4297	960	31524	422
4224	3	estab.	41448	3452	14830	6110	4597	28989	5236	1839	36064	5384	40568	3201	14437	5896	4557	28091	5162	1748	35001	5567	39721	3098	13999	5737	4487	27321	5055	1781	34157	5564	39206	3151	13599	5616	4353	26719	5013	1768	33500	5706	38550	3475	13518	5328	4193	26514	4893	1872	33279	5271
4224	3	empl.	855776	0	30933	39911	60238	131082	177279	132814	441175	414601	876175	0	29972	38565	59455	127992	177418	127839	433249	442926	874524	0	29284	37482	58698	125464	175108	136687	437259	437265	871071	0	28260	36792	57157	122209	173461	140832	436502	434569	861427	0	28046	34833	54617	117496	166058	135078	418632	442795
4224	3	ann. pay.	28325478	140637	909518	1181065	1738526	3969746	5284383	4144373	13398502	14926976	30070803	175672	919279	1194773	1801922	4091646	5426872	4061049	13579567	16491236	31568378	150978	921823	1204807	1836454	4114062	5610447	4485135	14209644	17358734	32955573	159469	937403	1224589	1887037	4208498	5695211	4708579	14612288	18343285	32673197	163870	943353	1205891	1878812	4191926	5710404	4741935	14644265	18028932
4224	3	rec.																																									655053376	3097986	23141474	26117051	36371055	88727566	90449395	76648841	255825802	399227574
4225	3	firms	6835	473	2447	1438	1089	5447	1193	126	6766	69	6606	523	2343	1373	1016	5255	1150	138	6543	63	6465	524	2296	1344	978	5142	1110	150	6402	63	6268	475	2262	1289	952	4978	1081	149	6208	60	5833	437	2110	1137	902	4586	1043	147	5776	57
4225	3	estab.	10044	473	2461	1512	1337	5783	2175	719	8677	1367	9760	527	2356	1446	1260	5589	2085	768	8442	1318	9546	525	2318	1415	1200	5458	1986	827	8271	1275	9286	489	2281	1369	1173	5312	1939	817	8068	1218	8769	448	2120	1203	1095	4866	1975	822	7663	1106
4225	3	empl.	95394	0	5579	9456	14367	29402	39253	10357	79012	16382	92219	0	5298	9040	13354	27692	38385	10966	77043	15176	91987	0	5143	8829	12937	26909	37462	12158	76529	15458	90547	0	5135	8536	12587	26258	36086	12877	75221	15326	84004	0	4774	7526	12172	24472	34662	11875	71009	12995
4225	3	ann. pay.	2377129	19604	146281	234549	313990	714424	770851	314007	1799282	577847	2395925	23952	142241	230056	297853	694102	794211	349466	1837779	558146	2483393	22369	146751	226438	308967	704525	780485	396696	1881706	601687	2553904	23023	149911	231072	314657	718663	793901	428275	1940839	613065	2362002	14947	140730	207617	302385	665679	792981	416317	1874977	487025
4225	3	rec.																																									117841512	574114	7662411	7482310	11812896	27531731	31052964	19853522	78438217	39403295
4226	3	firms	11618	968	5567	2007	1351	9893	1186	260	11339	279	11310	895	5441	1905	1347	9588	1187	258	11033	277	11018	911	5142	1894	1333	9280	1197	272	10749	269	10689	872	4971	1839	1281	8963	1198	274	10435	254	10587	973	4930	1806	1230	8939	1152	268	10359	228
4226	3	estab.	15790	968	5581	2047	1467	10063	1722	865	12650	3140	15410	900	5462	1945	1451	9758	1697	853	12308	3102	15293	911	5166	1930	1437	9444	1681	900	12025	3268	15819	874	4993	1869	1373	9109	1690	923	11722	4097	15570	973	4947	1843	1335	9098	1749	874	11721	3849
4226	3	empl.	164427	0	11464	13096	18096	42656	39246	19979	101881	62546	159824	0	11279	12430	18023	41732	39817	19933	101482	58342	166400	0	10794	12346	17821	40961	40228	22919	104108	62292	164259	0	10348	12010	17104	39462	40844	21915	102221	62038	156828	0	10269	11860	16313	38442	38790	20286	97518	59310
4226	3	ann. pay.	7560584	48124	489393	542063	771798	1851378	1675937	808430	4335745	3224839	7697921	56030	504034	528212	800066	1888342	1755351	877052	4520745	3177176	8251215	47453	494678	548668	812664	1903463	1839028	1021341	4763832	3487383	8251859	50611	478725	536712	780920	1846968	1891774	987735	4726477	3525382	8025340	58474	458386	550826	774103	1841789	1866008	958895	4666692	3358648
4226	3	rec.																																									117983393	798877	6842796	6571766	7139629	21353068	16899487	12311094	50563649	67419744
4227	3	firms	7867	334	2359	1547	1316	5556	1680	449	7685	182	7685	351	2280	1518	1266	5415	1629	464	7508	177	7445	312	2223	1465	1270	5270	1542	460	7272	173	7177	329	2119	1410	1199	5057	1512	448	7017	160	6910	336	2061	1326	1159	4882	1434	436	6752	158
4227	3	estab.	11251	334	2370	1595	1459	5758	2271	907	8936	2315	11160	353	2291	1565	1395	5604	2189	953	8746	2414	10662	314	2233	1509	1402	5458	2055	968	8481	2181	10375	335	2129	1456	1342	5262	2014	998	8274	2101	9806	341	2069	1365	1304	5079	1964	951	7994	1812
4227	3	empl.	134064	0	5402	10116	16407	31925	44190	24330	100445	33619	134052	0	5210	9994	15640	30844	43345	25855	100044	34008	131990	0	5020	9444	15844	30308	41762	26186	98256	33734	128900	0	4821	9115	15068	29004	41490	25482	95976	32924	121984	0	4718	8713	14395	27826	38291	25407	91524	30460
4227	3	ann. pay.	4757503	19357	178499	296505	498813	993174	1321174	774581	3088929	1668574	4918105	19940	161465	301527	504372	987304	1357246	816488	3161038	1757067	5222859	16500	162390	305450	525332	1009672	1396268	848993	3254933	1967926	5579154	22304	171661	304331	551436	1049732	1504167	878625	3432524	2146630	5214008	19375	167170	287836	517558	991939	1504611	865123	3361673	1852335
4227	3	rec.																																									317499567	650140	7090756	8698983	17225512	33665391	62797916	24588436	121051743	196447824
4228	3	firms	3837	252	963	515	602	2332	1144	306	3782	55	3789	266	976	493	584	2319	1098	314	3731	58	3735	282	973	465	525	2245	1092	340	3677	58	3688	289	983	442	517	2231	1055	342	3628	60	3556	276	951	482	442	2151	1009	331	3491	65
4228	3	estab.	4795	253	964	529	636	2382	1355	603	4340	455	4720	272	981	497	611	2361	1286	615	4262	458	4630	283	976	468	549	2276	1282	636	4194	436	4566	293	988	446	535	2262	1236	618	4116	450	4377	276	954	490	457	2177	1153	633	3963	414
4228	3	empl.	151008	0	2086	3506	8428	14020	49843	51475	115338	35670	152969	0	2097	3330	8114	13541	48120	53502	115163	37806	157259	0	2089	3153	7242	12484	47835	57183	117502	39757	160630	0	2176	2997	7125	12298	46832	57814	116944	43686	163239	0	2083	3212	6194	11489	45154	57832	114475	48764
4228	3	ann. pay.	5940134	18981	59591	109760	284827	473159	1809803	2054809	4337771	1602363	6329881	32199	69395	105005	290011	496610	1809432	2199545	4505587	1824294	6762053	32525	68539	104679	260718	466461	1863489	2406737	4736687	2025366	7130387	52517	75490	109028	268668	505703	1844037	2494291	4844031	2286356	7348325	43747	73303	119845	246433	483328	1865139	2555179	4903646	2444679
4228	3	rec.																																									87988670	635117	1058580	1450212	2962013	6105922	18429511	30247467	54782900	33205770
4229	3	firms	30023	4289	14464	4755	2820	26328	2652	660	29640	383	30217	4159	14665	4826	2850	26500	2685	661	29846	371	30491	4137	14678	4924	2987	26726	2723	671	30120	371	30311	3852	14559	4983	3116	26510	2756	690	29956	355	32018	4384	15748	5031	3071	28234	2815	631	31680	338
4229	3	estab.	34903	4299	14485	4794	2971	26549	3578	1684	31811	3092	35197	4162	14690	4864	3005	26721	3526	1664	31911	3286	35436	4151	14703	4969	3120	26943	3501	1741	32185	3251	35147	3858	14582	5034	3244	26718	3527	1828	32073	3074	36925	4393	15766	5093	3249	28501	3718	1704	33923	3002
4229	3	empl.	386167	0	29262	31013	37212	97487	90081	67047	254615	131552	391874	0	29436	31447	37185	98068	92789	67342	258199	133675	409158	0	29682	32113	39183	100978	95381	71889	268248	140910	419959	0	29406	32415	40769	102590	96207	76756	275553	144406	401308	0	32081	32876	40375	105332	99096	66897	271325	129983
4229	3	ann. pay.	12173482	155122	794004	822138	1058525	2829789	2569600	2068352	7467741	4705741	13053792	157592	840151	873001	1082788	2953532	2791369	2162058	7906959	5146833	14284837	184040	879652	924204	1182813	3170709	3007675	2428420	8606804	5678033	14617904	168492	881715	964638	1244355	3259200	3063632	2553665	8876497	5741407	14222723	162248	958286	1017562	1286074	3424170	3288201	2463689	9176060	5046663
4229	3	rec.																																									252199787	2116668	14658153	13000280	14208209	43983310	37542528	48601418	130127256	122072531
4411	3	firms	46639	4072	16912	5615	4817	31416	13064	2043	46523	116	46573	4478	16815	5594	4650	31537	12782	2141	46460	113	47229	4498	17136	5760	4713	32107	12677	2325	47109	120	47951	4661	17696	5854	4704	32915	12581	2339	47835	116	47912	4557	18044	5700	4638	32939	12357	2482	47778	134
4411	3	estab.	49893	4079	16924	5656	4940	31599	13938	3162	48699	1194	50115	4505	16835	5644	4765	31749	13596	3335	48680	1435	50878	4507	17162	5809	4830	32308	13429	3497	49234	1644	51632	4672	17720	5906	4806	33104	13310	3541	49955	1677	52049	4560	18062	5789	4782	33193	13310	3762	50265	1784
4411	3	empl.	1151397	0	35049	36541	67299	138889	592379	319327	1050595	100802	1175181	0	35016	36616	64714	136346	584685	333582	1054613	120568	1222104	0	35849	37511	65547	138907	585522	364181	1088610	133494	1225419	0	36924	38241	65138	140303	577801	367160	1085264	140155	1259213	0	37996	37210	64479	139685	573480	394068	1107233	151980
4411	3	ann. pay.	41435550	345054	717060	851191	1785250	3698555	21159597	12576202	37434354	4001196	45181287	452303	761974	905014	1854664	3973955	22040070	14062330	40076355	5104932	47836711	434369	789177	927849	1848874	4000269	22348220	15593121	41941610	5895101	50161556	486100	860353	986210	1931968	4264631	23222491	16671794	44158916	6002640	51330458	480980	886236	1004574	1936125	4307915	23090481	17532271	44930667	6399791
4411	3	rec.																																									693062853	9480841	18413301	15340632	28536542	71771316	307852316	219560219	599183851	93879002
4412	3	firms	12981	1273	5364	2988	2134	11759	1129	77	12965	16	13118	1405	5194	2978	2196	11773	1246	77	13096	22	13491	1432	5286	2935	2306	11959	1420	94	13473	18	13902	1545	5473	3002	2254	12274	1514	95	13883	19	14982	1688	6124	3135	2248	13195	1667	95	14957	25
4412	3	estab.	13874	1274	5369	3025	2244	11912	1437	195	13544	330	14081	1406	5202	3008	2301	11917	1544	172	13633	448	14514	1437	5296	2961	2403	12097	1721	217	14035	479	14922	1549	5483	3023	2342	12397	1782	241	14420	502	16224	1688	6128	3167	2366	13349	2059	284	15692	532
4412	3	empl.	107073	0	12069	19835	28263	60167	34750	7450	102367	4706	114827	0	11737	19668	29195	60600	39159	7015	106774	8053	126933	0	11886	19471	30824	62181	45343	10158	117682	9251	131434	0	12287	19839	30325	62451	49070	10773	122294	9140	140296	0	13820	20830	30194	64844	55160	10390	130394	9902
4412	3	ann. pay.	2970483	48713	258216	455674	761053	1523656	1102094	249901	2875651	94832	3394498	60078	265630	476272	827002	1628982	1308648	237517	3175147	219351	3832425	61920	275312	471435	900060	1708727	1524760	358261	3591748	240677	4026196	65462	291222	500093	894982	1751759	1654320	362528	3768607	257589	4523339	71776	336638	543092	926405	1877911	1976362	371939	4226212	297127
4412	3	rec.																																									48739073	1097980	4402544	5977641	9411688	20889853	19107142	3963770	43960765	4778308
4413	3	firms	36474	2420	15489	9716	5515	33140	2807	405	36352	122	35636	2580	15052	9296	5403	32331	2781	399	35511	125	35184	2710	14772	9099	5389	31970	2699	393	35062	122	34963	2745	15020	8879	5197	31841	2623	382	34846	117	34092	2762	14826	8634	4918	31140	2471	373	33984	108
4413	3	estab.	59652	2442	15524	9911	6294	34171	6039	3338	43548	16104	59659	2605	15112	9512	6148	33377	5776	3578	42731	16928	59072	2731	14843	9328	6049	32951	5509	2938	41398	17674	59174	2758	15094	9139	5884	32875	5331	2785	40991	18183	58371	2771	14861	8826	5627	32085	5154	2978	40217	18154
4413	3	empl.	498778	0	36208	64244	71131	171583	89787	43657	305027	193751	513657	0	35320	61397	69793	166510	89999	40853	297362	216295	517256	0	34435	59852	69611	163898	88631	38926	291455	225801	493365	0	34806	58694	67224	160724	86183	38418	285325	208040	491407	0	34604	56839	63657	155100	79499	36620	271219	220188
4413	3	ann. pay.	11146357	77477	657509	1308607	1591604	3635197	2277319	1177511	7090027	4056330	11641638	81482	669410	1289942	1599833	3640667	2313465	1081061	7035193	4606445	12204745	153529	658079	1283026	1625815	3720449	2331631	1088426	7140506	5064239	12431652	88753	694069	1306168	1614300	3703290	2368727	1093523	7165540	5266112	12143035	81102	701744	1311119	1588037	3682002	2225740	1065882	6973624	5169411
4413	3	rec.																																									71406981	605350	5093331	7286863	8061036	21046580	12797050	6480206	40323836	31083145
4421	3	firms	21728	1984	8754	5411	3318	19467	1903	262	21632	96	21591	1848	8781	5271	3331	19231	2005	262	21498	93	21682	1954	8620	5232	3460	19266	2045	281	21592	90	22091	2015	8788	5348	3470	19621	2088	286	21995	96	21464	2188	8403	5148	3371	19110	1994	264	21368	96
4421	3	estab.	29723	1995	8789	5579	3859	20222	3721	1782	25725	3998	29574	1869	8828	5429	3829	19955	3772	1867	25594	3980	29720	1970	8679	5396	3927	19972	3658	1947	25577	4143	29920	2025	8841	5509	3927	20302	3602	1922	25826	4094	29478	2194	8426	5312	3944	19876	3777	2113	25766	3712
4421	3	empl.	267041	0	20150	35719	43299	99168	61541	31970	192679	74362	270455	0	20298	34920	43594	98812	65686	34085	198583	71872	284060	0	19988	34667	45581	100236	68555	36992	205783	78277	278231	0	20153	35165	45601	100919	69628	38284	208831	69400	262634	0	19672	34134	44471	98277	65528	35072	198877	63757
4421	3	ann. pay.	6395872	55975	369734	726108	1001650	2153467	1615844	913043	4682354	1713518	6966887	62571	402672	745964	1054681	2265888	1801660	1073605	5141153	1825734	7472696	64226	402525	752643	1134876	2354270	1948857	1188656	5491783	1980913	7467822	66712	414856	772162	1140770	2394500	1972966	1180778	5548244	1919578	7382786	79106	405627	784100	1160788	2429621	1918830	1097345	5445796	1936990
4421	3	rec.																																									52532504	709426	3570140	5317758	6989671	16586995	11589212	8203168	36379375	16153129
4422	3	firms	26629	2464	13838	5875	2796	24973	1389	167	26529	100	26484	2631	13493	5810	2827	24761	1451	180	26392	92	26771	2733	13450	5925	2905	25013	1489	177	26679	92	27649	2854	14045	6043	2985	25927	1456	171	27554	95	28442	3059	14640	6100	2949	26748	1435	171	28354	88
4422	3	estab.	34722	2476	13871	5986	3204	25537	2774	1093	29404	5318	34684	2639	13521	5925	3210	25295	2746	1202	29243	5441	35122	2850	13481	6040	3237	25608	2749	1152	29509	5613	35846	2860	14082	6179	3353	26474	2598	975	30047	5799	36882	3061	14655	6241	3411	27368	2732	1080	31180	5702
4422	3	empl.	242697	0	30434	38017	35887	104338	43313	14022	161673	81024	254887	0	29844	37769	36433	104046	45347	16752	166145	88742	265124	0	29871	38509	37444	105824	47594	15263	168681	96443	289087	0	31146	39443	38288	108877	46383	16676	171936	117151	288933	0	33055	39714	37805	110574	44410	16916	171900	117033
4422	3	ann. pay.	4882597	57803	563916	784233	836439	2242391	1137922	314064	3694377	1188220	5440836	70815	587291	821069	911689	2390864	1260107	414510	4065481	1375355	5883416	70917	606899	875934	979078	2532828	1433166	403715	4369709	1513707	6176310	92278	647920	907230	1029023	2676451	1418651	466242	4561344	1614966	6381968	93960	683318	954832	1058382	2790492	1396267	531035	4717794	1664174
4422	3	rec.																																									44540622	859109	5513451	5844048	5825329	18041937	7521311	3291716	28854964	15685658
4431	3	firms	32389	4182	15690	6992	3441	30305	1750	201	32256	133	32113	3904	15646	7000	3434	29984	1804	198	31986	127	32252	4013	15541	6941	3552	30047	1846	221	32114	138	33764	4584	16459	6958	3507	31508	1879	235	33622	142	34012	4688	16950	6725	3468	31831	1834	229	33894	118
4431	3	estab.	45235	4188	15746	7182	3953	31069	3139	998	35206	10029	45167	3937	15704	7165	3907	30713	3068	1088	34869	10298	45592	4044	15608	7123	4020	30795	2933	1096	34824	10768	47747	4603	16533	7171	3976	32283	2934	1452	36669	11078	49600	4711	17020	6943	4076	32750	3435	1827	38012	11588
4431	3	empl.	361907	0	35399	45431	44312	125142	54654	18380	198176	163731	384264	0	34957	45648	44205	124810	57118	18902	200830	183434	407321	0	34588	45213	46140	125941	59606	23719	209266	198055	425736	0	36414	45290	45516	127220	60525	26804	214549	211187	418725	0	37830	43876	45158	126864	58597	22582	208043	210682
4431	3	ann. pay.	8575213	142648	671944	935524	1094948	2845064	1654571	636382	5136017	3439196	9573004	151099	700382	1009950	1147220	3008651	1851809	703866	5564326	4008678	11236630	142555	706616	1018616	1236958	3104745	2050184	1091597	6246526	4990104	11593224	151263	758733	1026002	1272527	3208525	2074120	1137695	6420340	5172884	11608791	168216	776325	1042834	1255462	3242837	2093332	861588	6197757	5411034
4431	3	rec.																																									92280756	1408544	5691210	6224857	6947106	20271717	11491484	5788203	37551404	54729352
4441	3	firms	51011	3188	18759	12483	8896	43326	6565	865	50756	255	50487	3414	18407	12159	8734	42714	6611	903	50228	259	50275	3621	18118	11883	8771	42393	6705	908	50006	269	50883	3657	18682	11975	8804	43118	6611	898	50627	256	50304	3711	18612	11806	8623	42752	6445	872	50069	235
4441	3	estab.	71506	3191	18788	12631	9652	44262	10704	4425	59391	12115	71238	3430	18436	12326	9442	43634	10537	4532	58703	12535	70931	3658	18157	12066	9388	43269	10308	4375	57952	12979	71851	3682	18716	12184	9428	44010	10059	4509	58578	13273	71747	3753	18636	11988	9341	43718	10160	4493	58371	13376
4441	3	empl.	963574	0	44144	83106	117764	245014	225608	100055	570677	392897	1012190	0	42930	80959	116183	240072	227107	108457	575636	436554	1055242	0	42111	79045	116837	237993	232640	108213	578846	476396	1062400	0	43086	79623	117354	240063	227394	108402	575859	486541	1091562	0	43734	78664	115073	237471	220201	105714	563386	528176
4441	3	ann. pay.	24256684	144998	923872	1854324	2912592	5835786	6589892	3004105	15429783	8826901	26376156	119018	956481	1899218	2990309	5965026	6896783	3390646	16252455	10123701	28421726	214766	951977	1886057	3056302	6109102	7194888	3484566	16788556	11633170	30336726	130858	1008092	1996269	3214993	6350212	7245960	3650201	17246373	13090353	30836414	149307	1035136	2031573	3247664	6463680	7191233	3652100	17307013	13529401
4441	3	rec.																																									252208178	1336641	8081015	13329809	20335540	43083005	46965081	28101937	118150023	134058155
4442	3	firms	17520	1714	7490	4009	2400	15613	1631	213	17457	63	17253	1660	7255	3920	2455	15290	1672	224	17186	67	17224	1649	7005	3932	2568	15154	1753	249	17156	68	18592	1911	7670	4140	2700	16421	1871	241	18533	59	18586	2217	7513	4109	2650	16489	1803	234	18526	60
4442	3	estab.	21283	1715	7503	4080	2605	15903	2511	786	19200	2083	21055	1664	7267	3992	2661	15584	2509	834	18927	2128	21017	1651	7024	3990	2765	15430	2564	937	18931	2086	22284	1933	7696	4227	2871	16727	2675	922	20324	1960	22362	2218	7523	4178	2894	16813	2739	984	20536	1826
4442	3	empl.	167626	0	17020	26511	30871	74402	49661	15614	139677	27949	171506	0	16430	25971	31811	74212	51978	17220	143410	28096	180145	0	15881	26122	33531	75534	55018	20038	150590	29555	186726	0	17180	27298	35224	79702	59148	20610	159460	27266	179174	0	17116	26857	34702	78675	56246	20296	155217	23957
4442	3	ann. pay.	3520210	49725	316927	510559	661891	1539102	1091979	364707	2995788	524422	3803613	45354	314726	519686	707275	1587041	1190946	411606	3189593	614020	4028557	47844	306796	515822	742607	1613069	1266574	499328	3378971	649586	4364413	60086	354910	560155	809408	1784559	1404157	520946	3709662	654751	4313058	69733	346425	568743	809695	1794596	1405029	512651	3712276	600782
4442	3	rec.																																									36227117	569203	3078863	4312919	5699322	13660307	10056774	4895143	28612224	7614893
4451	3	firms	68126	7948	30396	11823	8007	58174	8063	1469	67706	420	68687	8816	30644	11713	7854	59027	7817	1442	68286	401	70211	9205	31202	12069	8099	60575	7831	1417	69823	388	71672	9743	32315	12100	8090	62248	7688	1336	71272	400	69694	9770	32019	11310	7604	60703	7324	1271	69298	396
4451	3	estab.	96260	7956	30426	11885	8253	58520	9541	4438	72499	23761	97431	8834	30713	11795	8097	59439	9165	4267	72871	24560	98275	9246	31243	12195	8322	61006	9122	3982	74110	24165	99357	9748	32348	12200	8326	62622	8934	3755	75311	24046	97166	9774	32048	11376	7833	61031	8476	3912	73419	23747
4451	3	empl.	2689076	0	65396	78213	106407	250016	313671	233610	797297	1891779	2743237	0	65893	77455	105203	248551	304836	230479	783866	1959371	2716868	0	67199	79786	107926	254911	305736	226133	786780	1930088	2665804	0	69551	79959	108374	257884	301276	214699	773859	1891945	2569351	0	69884	74220	101553	245657	288687	206975	741319	1828032
4451	3	ann. pay.	39748761	189266	731830	815249	1165613	2901958	3963591	3275038	10140587	29608174	41868408	250722	782552	855701	1184673	3073648	3956413	3277254	10307315	31561093	43971989	247892	831016	898927	1246797	3224632	4026225	3362755	10613612	33358377	44633110	261741	897264	938309	1294658	3391972	4140970	3297241	10830183	33802927	44879366	248465	918232	900529	1251101	3318327	4117368	3297351	10733046	34146320
4451	3	rec.																																									418033504	3153787	13022161	10486736	12411266	39073950	34953994	28011986	102039930	315993574
4452	3	firms	19025	3421	8911	3556	1880	17768	1068	131	18967	58	20286	4173	9074	3675	2010	18932	1150	141	20223	63	22172	4460	9860	4084	2269	20673	1297	136	22106	66	22727	4323	10290	4309	2310	21232	1288	142	22662	65	23953	4520	10559	4497	2666	22242	1505	140	23887	66
4452	3	estab.	23647	3425	8947	3625	2046	18043	1717	752	20512	3135	25926	4204	9111	3751	2155	19221	1725	871	21817	4109	27753	4471	9917	4143	2403	20934	1852	1435	24221	3532	28209	4331	10330	4370	2465	21496	1792	1419	24707	3502	29345	4527	10577	4545	2798	22447	2024	811	25282	4063
4452	3	empl.	125616	0	19528	23264	24068	66860	30801	9807	107468	18148	140858	0	19876	23996	25921	69793	33514	11330	114637	26221	153855	0	21600	26705	29536	77841	38347	11078	127266	26589	161785	0	22495	28242	29936	80673	39086	11825	131584	30201	176845	0	23750	29414	34802	87966	44779	12568	145313	31532
4452	3	ann. pay.	1687278	67979	241080	271249	285069	865377	408663	144301	1418341	268937	2110471	89463	258971	286560	321396	956390	440479	170331	1567200	543271	2358060	98305	287521	322809	370134	1078769	517375	178570	1774714	583346	2549756	92967	315286	360412	384273	1152938	551272	223721	1927931	621825	2987390	118962	343313	395226	466222	1323723	644690	236027	2204440	782950
4452	3	rec.																																									17824220	1096384	3451838	3012651	2932134	10493007	3652523	1446696	15592226	2231994
4453	3	firms	24830	2107	14314	5473	2074	23968	721	91	24780	50	24945	2306	14261	5454	2043	24064	740	92	24896	49	25305	2595	14214	5474	2105	24388	787	85	25260	45	25563	2666	14253	5539	2185	24643	782	96	25521	42	25985	2748	14468	5706	2178	25100	746	92	25938	47
4453	3	estab.	27880	2121	14343	5573	2325	24362	1401	622	26385	1495	28149	2320	14288	5570	2265	24443	1445	690	26578	1571	28463	2611	14250	5571	2332	24764	1475	692	26931	1532	28695	2668	14306	5638	2380	24992	1456	737	27185	1510	29166	2748	14494	5828	2438	25508	1389	665	27562	1604
4453	3	empl.	129129	0	31753	35178	25900	92831	20672	7455	120958	8171	130568	0	31635	35142	25582	92359	21446	8018	121823	8745	133687	0	31264	35340	26412	93016	23439	8524	124979	8708	136212	0	31522	35792	27459	94773	23166	9663	127602	8610	137801	0	32994	36773	27397	97164	22058	8268	127490	10311
4453	3	ann. pay.	1820912	30064	406227	418489	337653	1192433	325318	138815	1656566	164346	1941068	39269	424395	450899	346125	1260688	353415	152622	1766725	174343	2065456	42484	444011	470365	371911	1328771	394245	164126	1887142	178314	2153921	46916	464563	488083	401917	1401479	393422	181480	1976381	177540	2197746	60768	481806	521042	405583	1469199	376692	140388	1986279	211467
4453	3	rec.																																									28554782	874215	7891121	6215491	4394104	19374931	3884285	1912626	25171842	3382940
4461	3	firms	44128	3780	18514	11655	6625	40574	2945	271	43790	338	43583	3826	18422	11271	6465	39984	3006	260	43250	333	43408	3818	18316	10967	6636	39737	3069	268	43074	334	43927	4117	18602	10835	6652	40206	3099	281	43586	341	42643	3864	18179	10341	6490	38874	3169	274	42317	326
4461	3	estab.	82749	3808	18620	12079	7690	42197	5803	2089	50089	32660	82392	3972	18542	11670	7475	41659	5563	1865	49087	33305	81189	3852	18466	11358	7562	41238	5452	1765	48455	32734	81898	4137	18752	11249	7558	41696	5285	1881	48862	33036	82574	3869	18255	10751	7455	40330	5816	1820	47966	34608
4461	3	empl.	940248	0	43069	77186	86775	207030	92593	27998	327621	612627	938245	0	42784	74652	84347	201783	94915	26351	323049	615196	913896	0	42488	72785	86766	202039	98169	26512	326720	587176	958072	0	42599	72188	87187	201974	99421	28815	330210	627862	988347	0	42168	68715	85102	195985	102040	29158	327183	661164
4461	3	ann. pay.	16126345	112580	848641	1492536	1659328	4113085	1822741	595291	6531117	9595228	17760222	168572	877555	1526842	1714445	4287414	1987472	625850	6900736	10859486	19281152	124461	908592	1564471	1877303	4474827	2172274	664834	7311935	11969217	20634666	165053	951871	1639766	1994827	4751517	2382504	737228	7871249	12763417	22217762	134910	966684	1698840	2086520	4886954	2586697	810522	8284173	13933589
4461	3	rec.																																									186448806	1288638	8877890	14259776	16797543	41223847	17395840	5022517	63642204	122806602
4471	3	firms	70411	5565	28566	18358	11090	63579	5609	998	70186	225	68002	5399	27641	17382	10865	61287	5491	995	67773	229	66482	5701	27002	16809	10358	59870	5358	1032	66260	222	65511	5959	26997	16164	9922	59042	5247	990	65279	232	64068	6178	26474	15664	9585	57901	5027	902	63830	238
4471	3	estab.	123937	5610	28620	18633	12221	65084	13461	13075	91620	32317	121095	5506	27776	17759	11962	63003	12804	12820	88627	32468	119648	5795	27168	17231	11375	61569	11985	13183	86737	32911	118892	5991	27141	16591	10944	60667	11884	12974	85525	33367	117100	6224	26595	15911	10745	59475	11967	12722	84164	32936
4471	3	empl.	946463	0	68150	122130	141521	331801	179593	128671	640065	306398	930034	0	65474	115331	139064	319869	176185	128314	624368	305666	937083	0	64122	111304	133386	308812	172588	135434	616834	320249	927284	0	63796	106981	127632	298409	168840	128373	595622	331662	895983	0	65106	103577	123394	292077	161026	118923	572026	323957
4471	3	ann. pay.	12330938	147898	898756	1525997	1782426	4355077	2297964	1667404	8320445	4010493	12825358	153184	922567	1521980	1809509	4407240	2336053	1730551	8473844	4351514	13321764	146126	925277	1507977	1767226	4346606	2316580	1865613	8528799	4792965	13455657	153675	972252	1500069	1735117	4361113	2328268	1818707	8508088	4947569	13471484	173213	981229	1501077	1725285	4380804	2223481	1731865	8336150	5135334
4471	3	rec.																																									238083074	3474892	21829603	26087244	24728765	76120504	31687359	29406806	137214669	100868405
4481	3	firms	43299	4646	23064	8946	3945	40601	2032	381	43014	285	41711	4669	22092	8503	3865	39129	1957	359	41445	266	40987	4792	21273	8476	3860	38401	1978	359	40738	249	41195	5024	21217	8448	3871	38560	2039	349	40948	247	41519	5715	21157	8365	3743	38980	1969	325	41274	245
4481	3	estab.	92871	4678	23321	9259	4691	41949	4598	3575	50122	42749	91039	4722	22279	8766	4556	40323	4199	3821	48343	42696	89989	4829	21422	8792	4506	39549	4018	3286	46853	43136	91711	5033	21363	8732	4396	39524	4073	2948	46545	45166	93083	5729	21254	8543	4234	39760	4011	3175	46946	46137
4481	3	empl.	928945	0	50130	58005	50260	158395	63589	43110	265094	663851	943824	0	47947	55238	49637	152822	61759	43358	257939	685885	1015399	0	46594	54883	49584	151061	63407	41805	256273	759126	1033252	0	46142	54806	49678	150626	65447	41539	257612	775640	1045610	0	47022	53947	48354	149323	62127	41254	252704	792906
4481	3	ann. pay.	12117834	86695	617236	761035	754093	2219059	1021032	656037	3896128	8221706	12973999	100955	634737	768791	776511	2280994	1051889	707006	4039889	8934110	13717538	98221	647584	797012	809926	2352743	1123144	764448	4240335	9477203	14518975	103561	669519	802936	831827	2407843	1142742	768272	4318857	10200118	15397381	120584	685984	822216	811162	2439946	1116001	694879	4250826	11146555
4481	3	rec.																																									122165264	1121131	5808956	5250219	4614205	16794511	6277075	4725448	27797034	94368230
4482	3	firms	7289	476	3633	1747	815	6671	471	87	7229	60	7012	526	3470	1646	780	6422	456	72	6950	62	6845	527	3351	1608	771	6257	466	71	6794	51	6761	562	3249	1610	768	6189	459	63	6711	50	7074	678	3495	1645	710	6528	435	62	7025	49
4482	3	estab.	29603	478	3660	1851	1086	7075	1480	1318	9873	19730	30042	546	3507	1751	1029	6833	1385	1237	9455	20587	29664	531	3403	1718	1047	6699	1378	1080	9157	20507	28175	564	3298	1736	1034	6632	1224	915	8771	19404	27961	682	3512	1763	964	6921	1140	955	9016	18945
4482	3	empl.	195504	0	8363	11318	10279	29960	14677	10860	55497	140007	188875	0	8033	10682	9912	28627	14435	9950	53012	135863	185076	0	7759	10476	9644	27879	14908	9647	52434	132642	187624	0	7490	10456	9677	27623	14944	8829	51396	136228	201150	0	8370	10759	9107	28236	13838	8866	50940	150210
4482	3	ann. pay.	2472505	15260	120893	168006	165821	469980	244423	168380	882783	1589722	2608531	10703	121953	166425	162839	461920	256209	157799	875928	1732603	2611208	10893	126740	169896	170030	477559	275212	156865	909636	1701572	2698873	11909	124434	175797	166911	479051	293720	139482	912253	1786620	2732096	12988	132856	183446	170848	500138	270222	147566	917926	1814170
4482	3	rec.																																									22555189	118355	1097879	1180049	993292	3389575	1608500	1071456	6069531	16485658
4483	3	firms	20145	1851	11757	4247	1552	19407	589	100	20096	49	20249	1940	11788	4235	1560	19523	592	85	20200	49	20490	2070	11660	4390	1626	19746	615	82	20443	47	20779	2122	11896	4381	1657	20056	599	75	20730	49	20583	2255	11919	4162	1564	19900	563	75	20538	45
4483	3	estab.	30186	1865	11809	4391	1849	19914	1442	1427	22783	7403	30593	1953	11833	4395	1851	20032	1394	1350	22776	7817	31293	2087	11753	4531	1918	20289	1343	1372	23004	8289	31782	2133	11951	4529	1925	20538	1341	1212	23091	8691	30851	2258	11942	4262	1866	20328	1346	1288	22962	7889
4483	3	empl.	155942	0	25795	27301	19505	72601	18791	12759	104151	51791	160740	0	25904	27271	19722	72897	19303	11712	103912	56828	168190	0	25490	28351	20376	74217	20129	10218	104564	63626	171750	0	25916	28334	20990	75240	19895	9542	104677	67073	162188	0	26327	26966	19804	73097	17627	9669	100393	61795
4483	3	ann. pay.	3222105	33502	448538	534188	446255	1462483	457962	290253	2210698	1011407	3551638	39731	469239	566303	478869	1554142	510048	269880	2334070	1217568	3871694	43813	471388	608166	512125	1635492	560916	243980	2440388	1431306	3899677	43783	497210	609299	525125	1675417	550844	221460	2447721	1451956	3810455	44584	510903	617892	521764	1695143	525742	240827	2461712	1348743
4483	3	rec.																																									25676030	597953	3938922	3693715	2993448	11224038	3034246	1532915	15791199	9884831
4511	3	firms	34258	4212	17836	6838	3287	32173	1786	190	34149	109	32981	3606	17276	6704	3280	30866	1815	198	32879	102	32156	3617	16255	6729	3373	29974	1885	197	32056	100	31705	3494	16038	6607	3395	29534	1899	172	31605	100	32647	4140	16125	6771	3497	30533	1848	172	32553	94
4511	3	estab.	45815	4231	17879	6993	3853	32956	3452	1219	37627	8188	44246	3622	17337	6875	3790	31624	3392	1352	36368	7878	43608	3631	16320	6893	3863	30707	3349	1333	35389	8219	43152	3522	16103	6846	3855	30326	3325	986	34637	8515	44279	4149	16171	6939	4028	31287	3418	947	35652	8627
4511	3	empl.	378358	0	38249	44297	42601	125147	57231	21075	203453	174905	383103	0	37193	43755	42594	123542	59148	21407	204097	179006	388583	0	35344	43852	43715	122911	61681	23345	207937	180646	408743	0	34792	42946	43984	121722	62564	20206	204492	204251	405173	0	35875	44184	45549	125608	59642	18734	203984	201189
4511	3	ann. pay.	5390658	83526	524676	595907	640143	1844252	971680	322858	3138790	2251868	5660262	79743	537501	621008	672042	1910294	1047726	347130	3305150	2355112	5983497	76680	534220	641720	704126	1956746	1120410	417687	3494843	2488654	6324245	73118	543255	654144	715923	1986440	1166206	363887	3516533	2807712	6497442	86902	561751	690203	756768	2095624	1158161	344887	3598672	2898770
4511	3	rec.																																									52513346	797738	4978626	4681171	4608236	15065771	6676497	2129570	23871838	28641508
4512	3	firms	12168	1311	6444	2370	1124	11249	710	145	12104	64	11600	1097	6208	2268	1103	10676	717	146	11539	61	11318	1111	5959	2269	1088	10427	687	144	11258	60	11155	1060	5968	2128	1123	10279	685	129	11093	62	11265	1213	5930	2161	1120	10424	664	115	11203	62
4512	3	estab.	22341	1313	6457	2445	1322	11537	1505	1196	14238	8103	21828	1114	6232	2351	1258	10955	1462	1125	13542	8286	21413	1132	5984	2350	1255	10721	1339	1152	13212	8201	21301	1060	5997	2214	1276	10547	1334	1257	13138	8163	21654	1217	5948	2220	1258	10643	1351	1052	13046	8608
4512	3	empl.	201502	0	13908	15348	14428	43684	24172	17097	84953	116549	206770	0	13284	14663	14031	41978	24463	17250	83691	123079	227654	0	12805	14764	13980	41549	24022	17548	83119	144535	213518	0	12873	13912	14354	41139	23877	16366	81382	132136	212553	0	13020	14035	14403	41458	22591	14529	78578	133975
4512	3	ann. pay.	2504578	33335	163619	175299	187799	560052	348651	234857	1143560	1361018	2587065	20313	163416	180082	186100	549911	351204	239456	1140571	1446494	2781350	23931	160105	189046	193594	566676	364130	251980	1182786	1598564	2897335	23136	169103	178850	206602	577691	374090	243165	1194946	1702389	2828699	24075	168226	178755	197935	568991	345662	213045	1127698	1701001
4512	3	rec.																																									24174083	231528	1383092	1123221	1151876	3889717	2025824	1525228	7440769	16733314
4521	3	firms	167	49	18	8	3	78	15	24	117	50	141	65	1	1	0	67	10	17	94	47	103	31	0	3	0	34	11	15	60	43	95	19	6	2	0	27	13	15	55	40	406	77	148	66	26	317	32	17	366	40
4521	3	estab.	10526	49	18	8	3	78	18	29	125	10401	10538	65	1	1	0	67	13	24	104	10434	10428	33	0	3	0	36	14	20	70	10358	10374	19	6	2	0	27	16	125	168	10206	10418	77	148	66	30	321	47	36	404	10014
4521	3	empl.	1783556	         [a]	37	48	         [b]	         [c]	         [f]	         [h]	4722	1778834	1730991	0	[a]	[a]	0	[a]	[f]	[h]	3771	1727220	1765852	0	0	23	0	23	658	2899	3580	1762272	1727333	0	         [a]	         [a]	0	29	691	3110	3830	1723503	1742136	0	314	437	337	1088	1343	2771	5202	1736934
4521	3	ann. pay.	23494257	         (D)	487	417	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	62723	23431534	25321148	5101	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	64043	25257105	27204111	945	0	514	0	1459	16667	49293	67419	27136692	28631374	547	         (D)	         (D)	0	1130	8645	89438	99213	28532161	29172508	2168	7687	5683	5030	20568	25387	63734	109689	29062819
4521	3	rec.																																									274073931	15129	72234	44020	29731	161114	198752	327190	687056	273386875
4529	3	firms	10510	1450	5203	1992	1039	9684	608	118	10410	100	10589	1262	5408	2044	1021	9735	646	115	10496	93	10632	1322	5377	2002	1052	9753	667	119	10539	93	10369	1173	5300	2002	1046	9521	638	113	10272	97	9315	1335	4516	1685	991	8527	578	119	9224	91
4529	3	estab.	26231	1451	5214	2009	1125	9799	1001	605	11405	14826	27596	1299	5419	2061	1113	9892	999	556	11447	16149	29211	1337	5387	2027	1127	9878	987	639	11504	17707	30795	1175	5312	2022	1119	9628	960	729	11317	19478	30651	1337	4519	1703	1071	8630	910	682	10222	20429
4529	3	empl.	695605	         [a]	11184	12885	         [j]	         [k]	         [j]	         [j]	72825	622780	713547	0	[j]	[j]	13403	[k]	[j]	[j]	75947	637600	760255	0	11723	13024	13676	38423	22410	17078	77911	682344	798641	0	         [j]	         [j]	13589	38044	21712	17043	76799	721842	803958	0	10031	10953	12916	33900	19796	16766	70462	733496
4529	3	ann. pay.	10164094	         (D)	127144	142939	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	975717	9188377	11238049	21155	(D)	(D)	175302	(D)	(D)	(D)	1050725	10187324	12565288	26488	149391	155582	179491	510952	331559	260045	1102556	11462732	13607088	26406	         (D)	         (D)	181819	516264	337618	254502	1108384	12498704	14536002	24677	129851	138407	174949	467884	313704	281341	1062929	13473073
4529	3	rec.																																									170530920	252792	1308885	1155985	1198909	3916571	2149193	2110957	8176721	162354199
4531	3	firms	24471	2269	13484	5715	2240	23708	706	42	24456	15	23658	2001	13053	5638	2214	22906	698	35	23639	19	23087	2161	12409	5450	2312	22332	701	38	23071	16	22724	2077	12058	5493	2352	21980	687	41	22708	16	22101	1966	11825	5317	2245	21353	682	49	22084	17
4531	3	estab.	25634	2270	13492	5802	2482	24046	1147	286	25479	155	24798	2004	13064	5716	2456	23240	1086	182	24508	290	24197	2175	12424	5523	2519	22641	1054	187	23882	315	23870	2095	12070	5573	2559	22297	1015	201	23513	357	23094	1967	11833	5375	2412	21587	1018	249	22854	240
4531	3	empl.	123263	0	30438	36836	28484	95758	21722	4082	121562	1701	121783	0	29233	36382	28324	93939	21606	3201	118746	3037	122224	0	28175	35365	29468	93008	21707	3590	118305	3919	125116	0	27321	35588	30379	93288	21539	4504	119331	5785	119117	0	27627	34573	28586	90786	21208	5431	117425	1692
4531	3	ann. pay.	1469027	31535	320694	393526	340904	1086659	295887	59695	1442241	26786	1537594	30262	322758	413784	361737	1128541	305483	48459	1482483	55111	1584096	32318	320586	415308	374573	1142785	314976	63458	1521219	62877	1643813	43369	317338	427109	393934	1181750	311132	75948	1568830	74983	1597080	31925	312614	420179	380186	1144904	317964	101495	1564363	32717
4531	3	rec.																																									7314208	199884	1945811	1818846	1431713	5396254	1105077	432935	6934266	379942
4532	3	firms	33004	4233	16897	6632	3127	30889	1749	233	32871	133	31922	3730	16308	6572	3223	29833	1731	229	31793	129	30967	3555	15588	6493	3232	28868	1728	247	30843	124	30294	3372	15498	6269	3049	28188	1727	254	30169	125	33464	4670	16769	6789	3158	31386	1702	250	33338	126
4532	3	estab.	44373	4238	16951	6802	3567	31558	3698	1215	36471	7902	43582	3738	16373	6721	3708	30540	3473	1343	35356	8226	43016	3574	15670	6626	3688	29558	3360	1329	34247	8769	42465	3383	15567	6428	3479	28857	3297	1308	33462	9003	45314	4681	16796	6914	3626	32017	3464	1516	36997	8317
4532	3	empl.	324212	0	36197	43173	39955	119325	53705	17102	190132	134080	338802	0	35280	42727	40998	119005	54235	18288	191528	147274	349554	0	33626	42208	41303	117137	54517	22289	193943	155611	338549	0	33449	40840	38749	113038	54597	21702	189337	149212	334734	0	36496	44219	40250	120965	52659	20809	194433	140301
4532	3	ann. pay.	4272344	65281	403097	477019	491317	1436714	738109	247399	2422222	1850122	4841680	75049	427231	489959	513547	1505786	777597	294035	2577418	2264262	5246195	67121	416161	498250	536149	1517681	801953	341097	2660731	2585464	5227319	63149	433143	505421	509516	1511229	825311	350810	2687350	2539969	5439333	88445	466900	555624	559143	1670112	830924	373302	2874338	2564995
4532	3	rec.																																									42135355	758793	3663021	3420042	3050703	10892559	4449306	2427350	17769215	24366140
4533	3	firms	14705	1888	9038	2061	796	13783	569	273	14625	80	14379	1462	9066	2106	820	13454	568	266	14288	91	13703	1326	8558	2082	781	12747	591	272	13610	93	13565	1347	8373	2100	794	12614	570	287	13471	94	13967	1570	8481	2112	815	12978	619	284	13881	86
4533	3	estab.	18220	1889	9053	2103	905	13950	989	1477	16416	1804	18037	1466	9087	2156	913	13622	980	1480	16082	1955	17480	1332	8581	2119	876	12908	970	1525	15403	2077	17436	1348	8394	2147	888	12777	919	1636	15332	2104	17997	1570	8493	2151	918	13132	1096	1657	15885	2112
4533	3	empl.	105357	0	17811	13046	9950	40807	17029	22630	80466	24891	110496	0	18070	13430	10204	41704	17295	23429	82428	28068	113837	0	17144	13332	9759	40235	17949	24056	82240	31597	115719	0	16668	13328	9970	39966	17709	26028	83703	32016	117587	0	17394	13525	10174	41093	18593	26082	85768	31819
4533	3	ann. pay.	1387460	25192	209356	164658	146434	545640	239744	278211	1063595	323865	1524819	19983	230760	180185	156259	587187	256605	296861	1140653	384166	1625138	18637	226860	203491	151659	600647	277267	314661	1192575	432563	1698721	18634	230868	200639	163435	613576	271700	347445	1232721	466000	1789399	25359	233918	204305	160795	624377	295350	349363	1269090	520309
4533	3	rec.																																									7910526	227149	1872646	1216253	791893	4107941	1129432	1152177	6389550	1520976
4539	3	firms	36917	5889	18629	7003	3415	34936	1677	211	36824	93	36791	5230	19041	7031	3507	34809	1675	212	36696	95	37661	5439	19333	7167	3659	35598	1746	214	37558	103	37164	4820	19604	7149	3578	35151	1715	201	37067	97	35061	4641	18286	6773	3460	33160	1603	201	34964	97
4539	3	estab.	44342	5906	18703	7237	4093	35939	3235	1470	40644	3698	44829	5243	19107	7277	4130	35757	3140	1516	40413	4416	46350	5460	19413	7403	4237	36513	3060	1470	41043	5307	45540	4844	19691	7397	4099	36031	3078	1374	40483	5057	43592	4674	18331	7070	4201	34276	3371	1234	38881	4711
4539	3	empl.	243212	0	39732	45516	43702	128950	49320	16977	195247	47965	257743	0	40423	45640	45193	131256	51158	18936	201350	56393	264046	0	41259	46564	47254	135077	53179	18859	207115	56931	262210	0	41694	46294	46186	134174	51989	17464	203627	58583	251554	0	39874	44004	44618	128496	47934	16283	192713	58841
4539	3	ann. pay.	4729695	135724	665975	789176	841642	2432517	1021573	328208	3782298	947397	5129063	131268	710549	823555	923978	2589350	1068103	377006	4034459	1094604	5371952	131951	752210	874358	944109	2702628	1114291	373525	4190444	1181508	5307972	115962	785726	869738	974375	2745801	1130787	322032	4198620	1109352	5286317	119800	752440	871576	943661	2687477	1060820	360520	4108817	1177500
4539	3	rec.																																									40547122	1207708	7473813	6510842	6473202	21665565	7113785	2652566	31431916	9115206
4541	3	firms	8956	961	4331	1447	946	7685	816	238	8739	217	9646	1845	4121	1506	886	8358	809	249	9416	230	10628	1780	4545	1741	1075	9141	952	274	10367	261	9900	1280	4451	1631	1048	8410	943	260	9613	287	10800	1747	5083	1602	1007	9439	849	232	10520	280
4541	3	estab.	9792	961	4333	1455	968	7717	929	301	8947	845	10634	1852	4127	1517	900	8396	918	326	9640	994	11802	1784	4547	1749	1095	9175	1060	346	10581	1221	11086	1285	4455	1642	1075	8457	1042	325	9824	1262	11923	1747	5086	1627	1029	9489	955	337	10781	1142
4541	3	empl.	229954	0	8900	9473	12476	30849	29542	34594	94985	134969	255296	0	8583	9858	11737	30178	29449	35858	95485	159811	276698	0	9403	11446	14342	35191	35070	42672	112933	163765	280912	0	9306	10625	14001	33932	34580	37593	106105	174807	250003	0	10451	10426	13418	34295	30608	32997	97900	152103
4541	3	ann. pay.	7267653	44512	200271	234561	327357	806701	826889	1012985	2646575	4621078	8854120	194124	208232	267357	339592	1009305	977591	1063665	3050561	5803559	10433028	135445	271581	364576	500592	1272194	1224304	1566411	4062909	6370119	10421271	70418	241110	299448	439903	1050879	1199469	1266222	3516570	6904701	9526329	76162	277679	305946	446151	1105938	1153277	1050575	3309790	6216539
4541	3	rec.																																									114234620	815725	2423739	2307951	3370018	8917433	7849758	9873541	26640732	87593888
4542	3	firms	5791	696	3178	851	520	5245	420	90	5755	36	5651	645	3109	817	556	5127	397	92	5616	35	5555	641	3058	816	516	5031	406	85	5522	33	5397	566	3059	761	521	4907	376	85	5368	29	5278	582	3053	704	479	4818	353	80	5251	27
4542	3	estab.	6389	698	3178	854	531	5261	476	231	5968	421	6251	645	3109	819	569	5142	449	232	5823	428	6155	641	3058	818	530	5047	456	209	5712	443	6004	566	3059	764	529	4918	427	214	5559	445	5860	583	3054	704	487	4828	436	220	5484	376
4542	3	empl.	66330	0	6119	5599	6982	18700	15478	13587	47765	18565	66614	0	5936	5322	7490	18748	14694	13311	46753	19861	66657	0	5843	5329	6868	18040	14978	12815	45833	20824	64266	0	5944	5011	6986	17941	13266	13032	44239	20027	57940	0	5984	4669	6388	17041	13017	11217	41275	16665
4542	3	ann. pay.	1428097	18178	108740	108329	148777	384024	348636	311846	1044506	383591	1479907	14637	105413	103427	163507	386984	345945	302777	1035706	444201	1510238	12890	105211	109176	158785	386062	353444	295609	1035115	475123	1500955	10528	108888	105568	159093	384077	336598	313376	1034051	466904	1350338	13858	107329	101422	146047	368656	324221	291177	984054	366284
4542	3	rec.																																									6767287	109338	769706	582685	726826	2188555	1521420	1200322	4910297	1856990
4543	3	firms	20908	2205	10089	3913	2448	18655	1808	297	20760	148	20485	2428	9656	3802	2369	18255	1797	294	20346	139	20691	2659	9746	3791	2292	18488	1768	290	20546	145	19805	2279	9419	3662	2286	17646	1734	288	19668	137	21068	2958	10074	3656	2261	18949	1702	280	20931	137
4543	3	estab.	27167	2208	10112	3977	2680	18977	2671	1059	22707	4460	26681	2435	9686	3866	2554	18541	2593	1043	22177	4504	26793	2690	9764	3856	2463	18773	2558	1050	22381	4412	25832	2289	9436	3719	2500	17944	2479	1068	21491	4341	26952	2961	10083	3708	2471	19223	2515	1015	22753	4199
4543	3	empl.	219147	0	20769	25580	31485	77834	52614	24259	154707	64440	218135	0	19737	24892	30373	75002	53033	24347	152382	65753	223176	0	20038	24713	29610	74361	54059	23507	151927	71249	221101	0	19201	23804	29745	72750	53708	27021	153479	67622	215930	0	20556	24053	29147	73756	51410	24775	149941	65989
4543	3	ann. pay.	5532209	53684	417870	575695	795222	1842471	1379665	682159	3904295	1627914	5754995	79170	417637	593416	794963	1885186	1410309	740211	4035706	1719289	6131846	91536	437207	600056	825218	1954017	1503712	723396	4181125	1950721	6394334	74273	437872	599715	861197	1973057	1573420	813955	4360432	2033902	6470050	81480	462689	619069	862153	2025391	1556090	785434	4366915	2103135
4543	3	rec.																																									43912346	852930	4492171	4390021	5519417	15254539	10321874	5597106	31173519	12738827
4811	3	firms	784	163	209	92	64	528	117	70	715	69	760	118	225	80	76	499	116	73	688	72	778	115	233	102	68	518	115	74	707	71	722	89	235	88	65	477	104	73	654	68	750	93	275	84	66	518	95	69	682	68
4811	3	estab.	3377	164	209	93	69	535	233	420	1188	2189	3237	118	225	81	82	506	230	432	1168	2069	3324	119	233	109	78	539	222	441	1202	2122	3331	89	236	93	76	494	224	453	1171	2160	3297	109	276	85	86	556	215	471	1242	2055
4811	3	empl.	520756	0	413	615	837	1865	5458	13726	21049	499707	539994	0	476	536	1000	2012	5052	14062	21126	518868	570902	0	457	677	935	2069	5043	14466	21578	549324	562103	0	475	573	880	1928	4639	13941	20508	541595	513615	0	509	560	881	1950	4393	11763	18106	495509
4811	3	ann. pay.	20917358	7047	14319	21028	24695	67089	167985	472101	707175	20210183	22506160	5407	16553	17657	31449	71066	164075	524158	759299	21746861	24484512	6919	17035	22344	26919	73217	165769	547277	786263	23698249	26589728	4910	16495	20154	26343	67902	163440	512956	744298	25845430	25739116	13066	18469	20296	31041	82872	163727	449034	695633	25043483
4811	3	rec.																																									98451483	286518	164516	104306	200449	755789	919354	2958233	4633376	93818107
4812	3	firms	1812	215	817	273	179	1484	195	58	1737	75	1871	296	795	249	188	1528	213	56	1797	74	1953	328	821	249	207	1605	219	56	1880	73	1974	287	843	295	192	1617	223	61	1901	73	2035	304	885	267	189	1645	240	66	1951	84
4812	3	estab.	1971	215	817	274	188	1494	238	96	1828	143	2048	296	796	250	195	1537	262	95	1894	154	2105	328	823	250	213	1614	271	90	1975	130	2120	287	843	297	197	1624	270	96	1990	130	2215	304	887	267	198	1656	292	116	2064	151
4812	3	empl.	39270	0	1606	1743	2318	5667	6551	4749	16967	22303	42844	0	1512	1637	2457	5606	7740	5602	18948	23896	44703	0	1617	1590	2803	6010	8153	5436	19599	25104	46883	0	1654	1908	2642	6204	8124	7810	22138	24745	34643	0	1737	1680	2468	5885	8462	6269	20616	14027
4812	3	ann. pay.	1673860	10780	60390	53541	77598	202309	225446	179444	607199	1066661	1908197	15285	59094	56702	80143	211224	280691	205325	697240	1210957	2084775	21563	65409	53686	100311	240969	293839	225567	760375	1324400	2190943	18924	67742	70985	98158	255809	303597	337295	896701	1294242	1731750	47307	79421	68110	99666	294504	346365	278119	918988	812762
4812	3	rec.																																									9248168	247205	485048	343040	496222	1571515	1705907	1280673	4558095	4690073
4831	3	firms	836	85	251	114	118	568	143	69	780	56	881	129	269	121	111	630	140	58	828	53	867	115	265	126	114	620	133	61	814	53	837	116	267	106	107	596	130	56	782	55	812	105	265	116	80	566	135	60	761	51
4831	3	estab.	1272	85	251	115	121	572	163	221	956	316	1307	129	269	122	117	637	164	187	988	319	1254	115	265	128	115	623	151	183	957	297	1227	123	267	107	109	606	146	130	882	345	1222	105	266	116	87	574	166	165	905	317
4831	3	empl.	54680	0	548	762	1587	2897	5670	10030	18597	36083	52532	0	531	814	1507	2852	5697	10021	18570	33962	47838	0	554	829	1516	2899	5178	10066	18143	29695	50717	0	563	732	1460	2755	4983	10068	17806	32911	45523	0	557	765	1075	2397	5047	8450	15894	29629
4831	3	ann. pay.	2383304	21803	25884	24856	57662	130205	228289	446282	804776	1578528	2312408	10265	22527	32103	57382	122277	242689	441172	806138	1506270	2214151	15467	19555	31074	55941	122037	242275	496827	861139	1353012	2491131	8918	22404	27292	56172	114786	236729	502591	854106	1637025	2360346	5724	22144	28693	44096	100657	292293	448856	841806	1518540
4831	3	rec.																																									18500047	39232	162201	152907	385816	740156	1553967	2553338	4847461	13652586
4832	3	firms	593	92	194	97	71	454	75	37	566	27	603	103	193	81	71	448	93	31	572	31	599	90	194	92	70	446	90	37	573	26	596	78	200	93	69	440	97	32	569	27	627	122	200	83	68	473	89	38	600	27
4832	3	estab.	639	92	194	97	71	454	82	49	585	54	643	103	193	81	71	448	96	41	585	58	646	90	194	92	70	446	92	55	593	53	644	78	200	93	69	440	99	52	591	53	680	122	200	83	68	473	95	58	626	54
4832	3	empl.	18074	0	428	633	1011	2072	2899	5211	10182	7892	19312	0	429	520	927	1876	3635	4967	10478	8834	19736	0	397	622	1002	2021	3653	5828	11502	8234	19745	0	413	609	933	1955	3907	5479	11341	8404	18745	0	420	561	919	1900	3436	5708	11044	7701
4832	3	ann. pay.	720447	3894	14064	17354	29854	65166	96005	208477	369648	350799	727102	5560	15343	16927	28410	66240	124304	194927	385471	341631	789022	7576	14930	21217	30128	73851	119164	246981	439996	349026	850930	7169	16167	23188	32660	79184	141299	244973	465456	385474	804356	12970	18179	22358	28505	82012	124260	239411	445683	358673
4832	3	rec.																																									3588649	52774	109568	140835	114683	417860	422639	989951	1830450	1758199
4841	3	firms	42179	8656	19424	5147	3708	36935	4063	839	41837	342	44781	8447	21826	5451	3743	39467	4138	829	44434	347	47743	8986	23691	5782	3899	42358	4173	860	47391	352	47784	8060	24851	5740	3931	42582	4024	845	47451	333	47361	8177	24691	5528	3869	42265	3948	814	47027	334
4841	3	estab.	49895	8658	19434	5172	3765	37029	4697	1960	43686	6209	52724	8457	21835	5475	3808	39575	4720	2010	46305	6419	55874	8991	23699	5796	3968	42454	4671	1903	49028	6846	56378	8067	24860	5754	3993	42674	4487	1963	49124	7254	56746	8205	24699	5544	3936	42384	4591	2011	48986	7760
4841	3	empl.	840243	0	35809	33986	50130	119925	159275	129006	408206	432037	897609	0	39870	35955	50709	126534	163644	129764	419942	477667	922740	0	43031	37962	52783	133776	164309	135718	433803	488937	914969	0	44810	37645	53203	135658	158400	134195	428253	486716	882036	0	45161	36443	52507	134111	155234	126726	416071	465965
4841	3	ann. pay.	27249750	219951	770868	815133	1305625	3111577	4619803	4019842	11751222	15498528	29343436	303242	870304	884511	1361114	3419171	4902004	4189986	12511161	16832275	31613977	251644	945191	949846	1415812	3562493	4996564	4432005	12991062	18622915	31223890	247730	1000040	953817	1444973	3646560	4835574	4495359	12977493	18246397	30866727	278147	1029561	969336	1490683	3767727	4922716	4361424	13051867	17814860
4841	3	rec.																																									109179620	1504908	5935751	4702699	6633132	18776490	19298187	15321431	53396108	55783512
4842	3	firms	54852	7353	29084	8341	5201	49979	4073	564	54616	236	52853	6359	28025	8301	5297	47982	4078	537	52597	256	51474	6591	26494	8097	5298	46480	4214	530	51224	250	50429	6354	26225	7747	5175	45501	4139	546	50186	243	51443	7487	26742	7613	4944	46786	3900	510	51196	247
4842	3	estab.	58099	7354	29096	8375	5279	50104	4680	1425	56209	1890	56025	6361	28034	8323	5374	48092	4662	1352	54106	1919	54542	6603	26509	8126	5355	46593	4759	1289	52641	1901	53436	6360	26239	7765	5250	45614	4647	1270	51531	1905	54562	7488	26752	7637	5018	46895	4552	1306	52753	1809
4842	3	empl.	486915	0	56688	54423	69719	180830	146663	72478	399971	86944	486569	0	54520	54176	71204	179900	148171	68334	396405	90164	493054	0	51927	53001	71076	176004	152652	69332	397988	95066	482896	0	50935	50777	69282	170994	150193	72459	393646	89250	451306	0	52201	49862	66233	168296	139687	64445	372428	78878
4842	3	ann. pay.	13768887	201981	1214353	1228162	1706043	4350539	4072344	2265898	10688781	3080106	14282732	182361	1212223	1269006	1817643	4481233	4254241	2189091	10924565	3358167	14837501	187572	1166509	1256161	1841980	4452222	4546402	2306087	11304711	3532790	14857059	183256	1207381	1255977	1870850	4517464	4548625	2432692	11498781	3358278	14200663	250399	1225964	1269615	1806041	4552019	4344368	2194685	11091072	3109591
4842	3	rec.																																									57542388	1370219	6661284	5512878	7037242	20581623	15474861	7763994	43820478	13721910
4851	3	firms	491	55	165	56	60	336	87	43	466	25	458	39	149	60	46	294	99	37	430	28	449	40	135	64	46	285	98	38	421	28	474	48	136	66	42	292	112	41	445	29	482	58	130	58	49	295	110	48	453	29
4851	3	estab.	615	55	165	56	60	336	90	60	486	129	723	39	149	60	46	294	105	53	452	271	705	40	135	64	46	285	103	46	434	271	715	48	136	66	42	292	121	54	467	248	751	58	130	59	49	296	127	75	498	253
4851	3	empl.	32115	0	353	338	806	1497	3550	6916	11963	20152	40124	[a]	[e]	391	657	1349	3905	7038	12292	27832	43148	0	276	423	677	1376	3920	6909	12205	30943	42216	0	282	444	601	1327	4446	7445	13218	28998	46194	0	260	383	628	1271	4683	8615	14569	31625
4851	3	ann. pay.	981378	3685	5156	4471	11765	25077	62743	205453	293273	688105	1226119	(D)	(D)	6611	10144	33577	72784	209941	316302	909817	1295799	5703	6886	7435	12226	32250	78241	206523	317014	978785	1345563	8632	4209	9053	11778	33672	91606	218322	343600	1001963	1482711	3482	5261	7471	11993	28207	102773	263965	394945	1087766
4851	3	rec.																																									2546176	13603	30722	20040	29174	93539	245152	430204	768895	1777281
4852	3	firms	229	24	70	37	19	150	40	31	221	8	236	32	73	28	25	158	42	26	226	10	250	38	77	36	26	177	39	25	241	9	242	31	69	39	27	166	42	25	233	9	323	44	102	51	34	231	53	29	313	10
4852	3	estab.	415	24	70	37	19	150	55	67	272	143	440	32	73	28	29	162	56	50	268	172	444	38	77	36	26	177	53	51	281	163	460	31	69	39	27	166	53	49	268	192	579	44	102	51	34	231	66	61	358	221
4852	3	empl.	23374	0	151	248	247	646	1480	3218	5344	18030	21800	[a]	[c]	182	310	644	1782	2384	4810	16990	26805	0	179	261	366	806	1753	2161	4720	22085	24672	0	149	253	357	759	1945	2740	5444	19228	20705	0	215	335	450	1000	2396	3130	6526	14179
4852	3	ann. pay.	650834	935	1771	3026	3219	8951	28961	76219	114131	536703	654375	(D)	(D)	2309	3833	15191	33180	66398	114769	539606	709684	4331	3920	3677	5363	17291	33291	64646	115228	594456	810974	1391	3321	4003	6320	15035	38776	76311	130122	680852	730794	8832	5096	4665	6541	25134	47182	85512	157828	572966
4852	3	rec.																																									1712361	32443	22191	20011	39493	114138	120772	235657	470567	1241794
4853	3	firms	6550	898	3371	974	641	5884	589	61	6534	16	6526	950	3248	948	678	5824	618	65	6507	19	6731	1006	3333	981	693	6013	629	70	6712	19	6762	951	3362	1008	703	6024	653	69	6746	16	7027	1043	3563	996	731	6333	621	57	7011	16
4853	3	estab.	6631	898	3371	978	646	5893	609	78	6580	51	6605	950	3249	950	685	5834	634	78	6546	59	6806	1006	3333	984	699	6022	643	82	6747	59	6842	951	3362	1010	711	6034	664	79	6777	65	7146	1043	3563	996	735	6337	643	105	7085	61
4853	3	empl.	60484	0	6058	6502	8751	21311	21869	9152	52332	8152	63375	0	5826	6314	9273	21413	23242	9309	53964	9411	67818	0	6015	6497	9406	21918	23732	11101	56751	11067	69446	0	6072	6655	9494	22221	24324	10995	57540	11906	65575	0	6636	6560	9841	23037	23234	8536	54807	10768
4853	3	ann. pay.	1018165	18059	77990	82462	119141	297652	362004	178605	838261	179904	1131230	28053	83748	83362	127517	322680	394157	202370	919207	212023	1244314	27612	88290	94212	143846	353960	414607	249901	1018468	225846	1257657	27456	91186	90305	140093	349040	418377	244006	1011423	246234	1269235	29956	103420	95763	152190	381329	436936	212213	1030478	238757
4853	3	rec.																																									4374289	183814	624001	443912	518836	1770563	1332895	603496	3706954	667335
4854	3	firms	3346	182	1177	493	466	2318	788	201	3307	39	3263	175	1127	481	474	2257	760	205	3222	41	3165	169	1060	464	471	2164	758	211	3133	32	3129	161	1043	483	453	2140	742	215	3097	32	3180	208	1088	479	431	2206	721	220	3147	33
4854	3	estab.	4400	182	1177	493	472	2324	851	322	3497	903	4341	176	1127	481	481	2265	814	322	3401	940	4217	169	1060	465	473	2167	815	321	3303	914	4287	161	1043	484	460	2148	787	326	3261	1026	4352	208	1088	479	434	2209	759	351	3319	1033
4854	3	empl.	152621	0	2399	3295	6431	12125	33428	34356	79909	72712	161890	0	2293	3155	6615	12063	32590	34436	79089	82801	162877	0	2147	3073	6622	11842	32308	37974	82124	80753	168940	0	2139	3203	6258	11600	31398	37660	80658	88282	171599	0	2200	3141	6025	11366	30381	39800	81547	90052
4854	3	ann. pay.	1950914	10363	20352	30138	63876	124729	397741	484715	1007185	943729	2178747	8998	22130	29206	71509	131843	417784	501039	1050666	1128081	2322642	5122	20793	29852	76672	132439	431001	563653	1127093	1195549	2471790	7494	22535	33279	71256	134564	425981	595036	1155581	1316209	2612166	10291	25031	32427	68747	136496	430178	653863	1220537	1391629
4854	3	rec.																																									5922742	34121	93936	106398	188133	422588	985995	1361821	2770404	3152338
4855	3	firms	1382	125	397	231	227	980	335	52	1367	15	1341	128	381	204	216	929	344	53	1326	15	1312	129	382	186	208	905	344	50	1299	13	1257	115	343	186	219	863	331	50	1244	13	1336	140	386	186	232	944	327	50	1321	15
4855	3	estab.	1532	126	397	231	229	983	370	94	1447	85	1480	129	382	204	219	934	372	92	1398	82	1451	129	384	186	210	909	372	93	1374	77	1395	117	344	187	221	869	358	88	1315	80	1473	140	387	186	232	945	359	86	1390	83
4855	3	empl.	32328	0	826	1552	3105	5483	13022	6908	25413	6915	33589	0	789	1364	2963	5116	13457	7722	26295	7294	34057	0	814	1265	2882	4961	14021	7662	26644	7413	33406	0	718	1257	3001	4976	13570	7408	25954	7452	32162	0	803	1260	3230	5293	13282	6405	24980	7182
4855	3	ann. pay.	594388	4849	12077	22151	46058	85135	223604	135612	444351	150037	651402	4458	12549	19502	44811	81320	248967	146239	476526	174876	668710	3788	13931	18764	44302	80785	262711	155123	498619	170091	659518	3443	12344	19148	46080	81015	258347	146074	485436	174082	666966	16149	14390	20858	53310	104707	267568	136105	508380	158586
4855	3	rec.																																									2025376	58542	79064	106421	218914	462941	784265	374375	1621581	403795
4859	3	firms	2590	349	898	458	363	2068	404	90	2562	28	2475	303	821	450	351	1925	417	100	2442	33	2556	340	830	421	393	1984	430	104	2518	38	2559	333	850	417	363	1963	443	111	2517	42	2516	281	863	404	387	1935	437	100	2472	44
4859	3	estab.	2765	350	898	458	365	2071	441	123	2635	130	2665	304	821	450	352	1927	455	147	2529	136	2760	341	830	421	393	1985	464	159	2608	152	2767	333	850	417	364	1964	479	156	2599	168	2772	281	863	408	388	1940	469	169	2578	194
4859	3	empl.	48456	0	1886	3086	4906	9878	16284	11784	37946	10510	49244	0	1700	3000	4780	9480	16294	13223	38997	10247	52169	0	1722	2788	5282	9792	16580	13063	39435	12734	52881	0	1792	2856	4941	9589	17699	12971	40259	12622	51090	0	1800	2687	5295	9782	16824	11801	38407	12683
4859	3	ann. pay.	821908	12377	29815	43437	72003	157632	262122	195986	615740	206168	887459	14298	29850	41070	74258	159476	274911	232366	666753	220706	973552	20988	28860	42987	80232	173067	295041	243617	711725	261827	1013246	13850	33749	44733	82165	174497	301419	256751	732667	280579	1018183	18361	35906	44101	89124	187492	319010	243426	749928	268255
4859	3	rec.																																									2546116	55143	142902	142486	233399	573930	785224	534518	1893672	652444
4861	3	firms	54	5	4	1	2	12	5	2	19	35	49	4	7	0	1	12	3	5	20	29	48	5	5	1	1	12	4	3	19	29	48	6	7	2	1	16	4	4	24	24	52	2	12	4	3	21	3	2	26	26
4861	3	estab.	358	5	4	1	4	14	8	12	34	324	327	4	7	0	1	12	6	16	34	293	307	5	5	1	1	12	7	4	23	284	229	6	7	2	1	16	12	14	42	187	261	2	12	4	3	21	7	6	34	227
4861	3	empl.	7333	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	651	6682	7137	0	12	0	[a]	[b]	116	[f]	1097	6040	6709	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	162	         [e]	579	6130	5995	         [a]	13	         [a]	         [a]	         [b]	156	         [f]	716	5279	6030	         [a]	22	         [b]	41	84	         [b]	         [c]	291	5739
4861	3	ann. pay.	442039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35025	407014	453446	18	407	0	(D)	(D)	4345	(D)	42344	411102	425645	131	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5573	         (D)	20961	404684	430919	         (D)	1028	         (D)	         (D)	         (D)	10607	         (D)	35750	395169	472339	         (D)	1453	         (D)	983	3665	         (D)	         (D)	15255	457084
4861	3	rec.																																									3783097	         (D)	82606	         (D)	3542	         (D)	         (D)	         (D)	171938	3611159
4862	3	firms	141	11	43	12	13	79	11	8	98	43	139	7	41	17	9	74	10	7	91	48	140	10	42	13	10	75	12	8	95	45	153	15	45	16	12	88	9	13	110	43	154	15	39	15	12	81	13	12	106	48
4862	3	estab.	1561	11	43	12	13	79	24	13	116	1445	1683	7	41	17	9	74	23	7	104	1579	1938	10	42	13	10	75	27	11	113	1825	2017	15	45	16	12	88	19	20	127	1890	1936	15	39	15	12	81	27	61	169	1767
4862	3	empl.	35092	         [a]	92	         [b]	171	         [e]	379	         [e]	1019	34073	34511	0	79	102	125	306	285	428	1019	33492	39214	0	91	77	134	302	415	382	1099	38115	38189	0	92	105	159	356	282	899	1537	36652	37450	0	87	92	168	347	353	1234	1934	35516
4862	3	ann. pay.	1993819	         (D)	3552	         (D)	9500	         (D)	26366	         (D)	59767	1934052	2205385	5865	3395	4877	6638	20775	18057	19881	58713	2146672	2961066	4523	4334	5270	8567	22694	25450	19048	67192	2893874	2981259	1462	4993	6162	11008	23625	16907	46732	87264	2893995	2994108	10804	5195	4843	9666	30508	29800	76510	136818	2857290
4862	3	rec.																																									35896535	166885	33658	110424	724389	1035356	844907	686050	2566313	33330222
4869	3	firms	57	4	10	2	2	18	4	4	26	31	63	5	7	4	3	19	6	3	28	35	61	5	8	3	3	19	6	3	28	33	63	3	10	5	3	21	7	3	31	32	73	5	12	5	8	30	6	3	39	34
4869	3	estab.	576	4	10	2	5	21	23	34	78	498	540	5	7	4	6	22	27	27	76	464	557	5	8	3	3	19	24	30	73	484	539	3	10	5	3	21	24	30	75	464	504	5	12	5	8	30	25	12	67	437
4869	3	empl.	6981	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	596	823	6158	6501	0	15	22	[b]	[b]	302	[e]	803	5698	7037	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	201	         [e]	713	6324	6739	         [a]	27	         [b]	         [b]	         [c]	228	         [e]	709	6030	6882	         [a]	28	         [b]	98	157	         [e]	         [c]	586	6296
4869	3	ann. pay.	411984	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31121	41947	370037	373858	717	171	739	(D)	(D)	15085	(D)	41459	332399	441872	210	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10013	         (D)	38404	403468	468128	         (D)	1005	         (D)	         (D)	         (D)	11129	         (D)	30314	437814	449024	         (D)	1422	         (D)	4940	8673	         (D)	         (D)	35456	413568
4869	3	rec.																																									5373657	         (D)	14154	         (D)	17762	         (D)	         (D)	         (D)	310785	5062872
4871	3	firms	431	102	148	50	44	344	56	18	418	13	420	73	163	51	49	336	55	15	406	14	414	77	173	42	41	333	52	16	401	13	484	99	189	53	61	402	55	14	471	13	500	118	193	49	58	418	60	12	490	10
4871	3	estab.	472	102	148	50	44	344	60	25	429	43	458	73	163	51	49	336	61	19	416	42	454	77	173	42	43	335	57	22	414	40	521	99	189	53	64	405	60	18	483	38	538	118	194	49	62	423	66	18	507	31
4871	3	empl.	9033	         [a]	305	336	637	         [g]	2014	2412	         [i]	         [h]	8704	[a]	300	331	683	[g]	2000	2093	[i]	[h]	8658	         [a]	349	274	575	         [g]	1916	2410	         [i]	         [h]	8605	         [a]	365	327	865	         [g]	1966	1899	         [i]	         [h]	7162	         [a]	378	320	782	         [g]	2158	1504	         [i]	         [g]
4871	3	ann. pay.	187007	         (D)	5341	5782	11291	         (D)	34639	50623	         (D)	         (D)	188320	(D)	5369	6427	11759	(D)	36425	48715	(D)	(D)	192844	         (D)	6114	5887	8232	         (D)	35625	52999	         (D)	         (D)	188107	         (D)	8643	6289	15584	         (D)	35400	36443	         (D)	         (D)	164355	         (D)	8060	6613	12874	         (D)	40830	34572	         (D)	         (D)
4871	3	rec.																																									516114	         (D)	38994	24583	45263	         (D)	137637	103023	         (D)	         (D)
4872	3	firms	1688	509	725	206	127	1567	92	18	1677	11	1619	436	737	197	126	1496	94	20	1610	9	1612	432	715	183	142	1472	111	18	1601	11	1670	449	759	191	137	1536	104	20	1660	10	1756	584	768	164	116	1632	97	19	1748	8
4872	3	estab.	1718	509	725	208	129	1571	96	25	1692	26	1649	436	737	199	128	1500	100	28	1628	21	1642	432	715	185	143	1475	118	24	1617	25	1699	449	759	193	137	1538	111	26	1675	24	1784	584	768	164	117	1633	106	24	1763	21
4872	3	empl.	12296	0	1264	1338	1660	4262	3214	2622	10098	2198	12262	0	1368	1300	1641	4309	3446	2534	10289	1973	12964	0	1338	1192	1880	4410	3986	1958	10354	2610	12921	0	1407	1223	1816	4446	3778	2556	10780	2141	10478	0	1431	1088	1505	4024	3431	1760	9215	1263
4872	3	ann. pay.	273728	14876	32059	28157	37746	112838	63388	50927	227153	46575	295530	15028	35164	31044	30149	111385	75230	59494	246109	49421	331164	19979	38113	27460	36487	122039	91131	50658	263828	67336	313306	13223	38829	28742	37716	118510	85492	52248	256250	57056	281631	21692	39120	27918	38457	127187	87969	41781	256937	24694
4872	3	rec.																																									987696	105118	165570	93133	123355	487176	292320	122782	902278	85418
4879	3	firms	159	26	62	23	22	133	20	4	157	2	155	25	67	19	18	129	19	6	154	1	152	24	63	20	20	127	20	4	151	1	154	33	65	16	19	133	15	5	153	1	177	45	70	20	16	151	20	4	175	2
4879	3	estab.	163	26	63	23	22	134	21	6	161	2	160	25	67	20	19	131	20	8	159	1	158	24	65	20	21	130	21	6	157	1	160	33	67	16	20	136	16	7	159	1	181	45	71	20	16	152	21	6	179	2
4879	3	empl.	1747	         [a]	         [c]	         [c]	302	         [f]	750	377	         [g]	         [b]	1911	[a]	146	132	255	[f]	835	538	[g]	[a]	1990	         [a]	130	133	269	         [f]	863	593	         [g]	         [a]	1888	         [a]	132	109	269	         [f]	686	690	         [g]	         [a]	1693	         [a]	134	131	210	         [e]	730	481	         [g]	         [a]
4879	3	ann. pay.	51256	         (D)	         (D)	         (D)	7577	         (D)	21542	13471	         (D)	         (D)	56852	(D)	3534	3865	7069	(D)	23361	17402	(D)	(D)	59456	         (D)	3466	4289	7134	         (D)	24035	19528	         (D)	         (D)	55393	         (D)	4097	2796	8301	         (D)	19007	20032	         (D)	         (D)	51495	         (D)	4034	3709	5657	         (D)	23319	12967	         (D)	         (D)
4879	3	rec.																																									258450	         (D)	22870	17382	24130	         (D)	114789	70523	         (D)	         (D)
4881	3	firms	3422	371	1467	583	428	2849	400	98	3347	75	3353	323	1388	642	410	2763	415	97	3275	78	3381	354	1362	638	410	2764	433	103	3300	81	3434	354	1368	685	399	2806	445	103	3354	80	3607	404	1494	692	410	3000	424	96	3520	87
4881	3	estab.	4352	371	1467	585	444	2867	443	266	3576	776	4305	323	1389	642	425	2779	460	258	3497	808	4368	354	1362	641	422	2779	473	271	3523	845	4417	354	1368	688	405	2815	492	229	3536	881	4926	404	1495	692	418	3009	487	332	3828	1098
4881	3	empl.	114721	0	3196	3861	5733	12790	14652	14408	41850	72871	118838	0	2982	4242	5548	12772	15394	14133	42299	76539	126701	0	2965	4248	5493	12706	16205	14945	43856	82845	127585	0	2934	4504	5287	12725	16364	16183	45272	82313	126349	0	3179	4539	5506	13224	15511	14913	43648	82701
4881	3	ann. pay.	3076483	38501	70152	90302	140105	339060	409389	390914	1139363	1937120	3454151	21252	77440	103856	155530	358078	443651	450128	1251857	2202294	3634029	29527	71723	110737	151144	363131	472136	458021	1293288	2340741	3713423	39949	81229	111985	152533	385696	496364	474733	1356793	2356630	3899413	93068	87211	122772	166956	470007	503509	527984	1501500	2397913
4881	3	rec.																																									12747510	535561	414067	484514	603023	2037165	1781741	1774055	5592961	7154549
4882	3	firms	472	53	120	81	72	326	71	35	432	40	476	35	134	82	69	320	82	33	435	41	451	37	120	77	66	300	76	38	414	37	454	41	120	86	55	302	78	35	415	39	489	59	149	82	55	345	73	31	449	40
4882	3	estab.	821	53	122	83	81	339	95	104	538	283	837	35	138	83	77	333	107	94	534	303	821	37	120	78	74	309	98	98	505	316	831	41	121	88	59	309	100	89	498	333	924	59	150	84	59	352	104	89	545	379
4882	3	empl.	18704	0	257	552	977	1786	2513	4876	9175	9529	20972	0	273	574	892	1739	3400	4899	10038	10934	21427	0	258	488	879	1625	2877	5262	9764	11663	22954	0	273	571	802	1646	3010	5477	10133	12821	20667	0	317	553	761	1631	2589	4108	8328	12339
4882	3	ann. pay.	572485	7294	6431	15887	26635	56247	65580	154029	275856	296629	672460	1244	6954	17230	22778	48206	84001	152766	284973	387487	714434	1377	6983	13873	24896	47129	76391	163090	286610	427824	738994	1694	7785	15068	21510	46057	82153	170691	298901	440093	733877	11174	10948	18561	23841	64524	83710	141836	290070	443807
4882	3	rec.																																									2324028	37907	74164	76010	98036	286117	256912	341860	884889	1439139
4883	3	firms	2149	337	908	265	211	1721	255	96	2072	77	2058	252	904	252	222	1630	260	87	1977	81	1993	238	854	256	216	1564	258	93	1915	78	1987	242	860	251	202	1555	262	93	1910	77	1960	269	814	257	199	1539	250	92	1881	79
4883	3	estab.	2684	337	913	272	241	1763	334	212	2309	375	2593	253	910	259	241	1663	335	203	2201	392	2543	238	866	265	231	1600	322	202	2124	419	2496	242	866	258	227	1593	312	214	2119	377	2453	269	816	260	226	1571	313	191	2075	378
4883	3	empl.	72453	0	1655	1795	2876	6326	9649	13128	29103	43350	71443	0	1667	1704	3013	6384	9839	11783	28006	43437	81631	0	1534	1707	2942	6183	9467	12759	28409	53222	78702	0	1580	1707	2789	6076	9963	14037	30076	48626	77205	0	1452	1721	2692	5865	9348	12307	27520	49685
4883	3	ann. pay.	3023579	33098	74486	54834	99349	261767	339835	470550	1072152	1951427	2995330	35940	74793	53493	102412	266638	333558	422977	1023173	1972157	3250746	19476	72304	59093	101655	252528	338925	477642	1069095	2181651	3349988	17431	80349	62038	100405	260223	362442	540314	1162979	2187009	3577005	39634	80754	73489	97319	291196	369679	542384	1203259	2373746
4883	3	rec.																																									9592110	130115	233608	266196	417657	1047576	1337621	1790201	4175398	5416712
4884	3	firms	6428	816	2915	1370	845	5946	423	35	6404	24	6609	788	3014	1411	901	6114	428	37	6579	30	6671	779	3040	1402	902	6123	469	48	6640	31	6915	829	3100	1465	941	6335	500	46	6881	34	7751	1049	3555	1552	980	7136	532	46	7714	37
4884	3	estab.	6750	816	2977	1374	886	6053	459	57	6569	181	6943	790	3017	1415	930	6152	459	80	6691	252	7010	779	3044	1408	926	6157	503	99	6759	251	7325	829	3104	1470	970	6373	531	113	7017	308	8238	1049	3558	1557	1009	7173	609	145	7927	311
4884	3	empl.	46742	0	6243	8919	11025	26187	12858	2756	41801	4941	50543	0	6370	9224	11840	27434	12788	3528	43750	6793	56207	0	6564	9214	11799	27577	14205	5220	47002	9205	61283	0	6650	9619	12374	28643	14981	5901	49525	11758	61960	0	7646	10198	13012	30856	16213	4204	51273	10687
4884	3	ann. pay.	1041269	36100	131966	166178	228417	562661	283050	72597	918308	122961	1148677	30133	119080	176158	250662	576033	305238	88429	969700	178977	1308820	24901	123964	187812	264730	601407	351268	130780	1083455	225365	1483289	29441	131268	199463	275499	635671	381447	151729	1168847	314442	1575940	33934	154924	217347	303833	710038	420094	122717	1252849	323091
4884	3	rec.																																									4723123	150100	670433	732961	859459	2412953	1147417	316435	3876805	846318
4885	3	firms	12204	1287	5826	2477	1338	10928	960	215	12103	101	11884	1014	5820	2390	1354	10578	991	207	11776	108	11700	1092	5555	2384	1323	10354	1031	208	11593	107	11716	1060	5607	2356	1353	10376	1027	200	11603	113	11574	1137	5573	2306	1283	10299	977	188	11464	110
4885	3	estab.	15806	1291	5847	2562	1570	11270	1751	1369	14390	1416	15464	1017	5850	2468	1573	10908	1719	1360	13987	1477	15177	1093	5578	2463	1526	10660	1763	1249	13672	1505	15334	1071	5634	2455	1518	10678	1692	1118	13488	1846	15476	1137	5591	2398	1484	10610	1791	1233	13634	1842
4885	3	empl.	148394	0	12920	16213	17522	46655	35205	30366	112226	36168	157548	0	13021	15655	17818	46494	36674	31266	114434	43114	161662	0	12436	15533	17492	45461	37960	30786	114207	47455	168159	0	12407	15246	17929	45582	38761	28680	113023	55136	164374	0	12286	14907	16893	44086	36201	25047	105334	59040
4885	3	ann. pay.	5445908	53268	412119	562122	638895	1666404	1275518	1092884	4034806	1411102	5885937	43313	429627	562157	666306	1701403	1336958	1188478	4226839	1659098	6620349	62039	444988	577680	671912	1756619	1476563	1210154	4443336	2177013	6829426	59225	427417	571973	703102	1761717	1521629	1085208	4368554	2460872	6809918	84371	430213	570449	696359	1781392	1482404	1043322	4307118	2502800
4885	3	rec.																																									27687080	536210	2609369	2514853	2616741	8277173	4844266	3000006	16121445	11565635
4889	3	firms	991	181	459	150	77	867	85	28	980	11	1164	285	508	151	100	1044	89	21	1154	10	1405	316	629	202	112	1259	106	27	1392	13	1350	236	654	197	118	1205	105	29	1339	11	1205	165	610	184	115	1074	89	29	1192	13
4889	3	estab.	1051	181	459	150	79	869	91	52	1012	39	1250	285	508	151	102	1046	94	42	1182	68	1521	316	629	202	113	1260	118	50	1428	93	1473	238	654	197	119	1208	117	76	1401	72	1325	165	610	184	116	1075	109	67	1251	74
4889	3	empl.	20745	0	964	978	1035	2977	3368	2930	9275	11470	20831	0	1084	957	1319	3360	3664	2912	9936	10895	24744	0	1310	1268	1442	4020	4147	3246	11413	13331	25928	0	1365	1272	1569	4206	4190	4393	12789	13139	24911	0	1349	1198	1504	4051	3498	4203	11752	13159
4889	3	ann. pay.	681751	5779	17191	18419	21456	62845	87646	65645	216136	465615	759070	18911	22010	17996	29886	88803	93581	69111	251495	507575	978589	19540	28401	26990	33620	108551	123943	98042	330536	648053	983050	8748	27815	25952	39801	102316	114633	137259	354208	628842	957234	6829	27531	25068	41804	101232	104705	92145	298082	659152
4889	3	rec.																																									3005324	33460	166571	115669	155265	470965	340531	303363	1114859	1890465
4921	3	firms	2464	490	1054	347	222	2113	252	70	2435	29	2616	459	1209	355	223	2246	274	64	2584	32	2762	479	1284	381	255	2399	266	66	2731	31	2996	506	1432	420	273	2631	275	61	2967	29	3152	545	1564	413	268	2790	278	58	3126	26
4921	3	estab.	6096	490	1057	348	230	2125	318	196	2639	3457	6309	459	1214	355	230	2258	330	204	2792	3517	6667	479	1289	382	267	2417	318	217	2952	3715	7105	506	1436	426	280	2648	343	186	3177	3928	7447	545	1567	414	286	2812	396	191	3399	4048
4921	3	empl.	468988	0	2033	2261	3055	7349	9721	11564	28634	440354	508558	0	2325	2323	3001	7649	10321	10840	28810	479748	548858	0	2437	2481	3490	8408	10268	10897	29573	519285	513567	0	2714	2735	3799	9248	10691	9776	29715	483852	497358	0	2975	2669	3564	9208	10699	8341	28248	469110
4921	3	ann. pay.	13928686	15204	42222	50272	62878	170576	200517	256370	627463	13301223	15289462	11504	52954	51699	67592	183749	220547	241618	645914	14643548	15890525	19055	55065	57904	74314	206338	226527	267181	700046	15190479	16455540	21067	61852	65766	84572	233257	227055	251013	711325	15744215	15936070	17291	65983	65975	83355	232604	249857	214795	697256	15238814
4921	3	rec.																																									54757288	87353	385472	332111	341835	1146771	921741	802573	2871085	51886203
4922	3	firms	5160	723	2470	754	527	4474	568	100	5142	18	5155	711	2565	681	527	4484	549	101	5134	21	5172	762	2493	746	523	4524	533	97	5154	18	5298	786	2633	725	515	4659	534	90	5283	15	5251	886	2587	705	486	4664	496	72	5232	19
4922	3	estab.	5627	723	2473	755	530	4481	649	210	5340	287	5629	711	2565	681	534	4491	612	215	5318	311	5630	762	2493	750	531	4536	605	187	5328	302	5750	786	2635	733	524	4678	593	195	5466	284	5726	886	2587	707	500	4680	571	147	5398	328
4922	3	empl.	70579	0	4663	4933	7142	16738	21850	14405	52993	17586	69810	0	4803	4451	7006	16260	20480	14560	51300	18510	70455	0	4634	4845	7205	16684	20572	14499	51755	18700	64008	0	4937	4735	6971	16643	20496	13329	50468	13540	55892	0	4849	4643	6587	16079	18626	9456	44161	11731
4922	3	ann. pay.	1363570	20498	92112	92336	134215	339161	390304	258795	988260	375310	1436498	31874	96548	90689	142750	361861	388496	280621	1030978	405520	1508906	30106	97164	106920	156123	390313	419881	276364	1086558	422348	1359792	26256	103757	100378	157027	387418	408579	273536	1069533	290259	1253249	25033	101801	106859	147821	381514	382337	200019	963870	289379
4922	3	rec.																																									4124355	108245	512740	419917	536458	1577360	1100416	558285	3236061	888294
4931	3	firms	4389	420	1453	711	628	3212	760	284	4256	133	4496	442	1557	712	588	3299	768	293	4360	136	4567	429	1573	763	608	3373	776	280	4429	138	4758	405	1746	790	597	3538	797	282	4617	141	4917	525	1688	782	672	3667	788	285	4740	177
4931	3	estab.	6718	423	1455	729	689	3296	1098	808	5202	1516	6954	448	1558	726	650	3382	1074	802	5258	1696	7123	433	1575	785	651	3444	1098	763	5305	1818	7185	406	1755	809	652	3622	1127	825	5574	1611	7629	532	1692	804	749	3777	1214	803	5794	1835
4931	3	empl.	119500	0	3226	4605	8184	16015	27012	30942	73969	45531	128606	0	3390	4749	7773	15912	26014	32233	74159	54447	135898	0	3397	5069	8112	16578	27716	31074	75368	60530	145266	0	3820	5226	7996	17042	28631	33249	78922	66344	149409	0	3706	5114	8906	17726	28486	31009	77221	72188
4931	3	ann. pay.	3372724	30010	74926	118478	213032	436446	741896	848677	2027019	1345705	3657871	32309	79453	123055	220757	455574	745897	921960	2123431	1534440	4035337	33605	80408	135205	227862	477080	816778	911142	2205000	1830337	4393140	40381	97696	139797	230354	508228	853902	975923	2338053	2055087	4613184	39204	93228	146403	265041	543876	882055	959620	2385551	2227633
4931	3	rec.																																									17808341	185305	552335	711828	1095283	2544751	3145828	3260599	8951178	8857163
5111	3	firms	18338	1925	7472	3445	2373	15215	2262	573	18050	288	17540	1782	7232	3249	2300	14563	2137	553	17253	287	17429	1628	7130	3270	2283	14311	2237	558	17106	323	17095	1585	7011	3170	2250	14016	2222	540	16778	317	17102	1781	7238	3076	2072	14167	2096	541	16804	298
5111	3	estab.	21735	1927	7474	3459	2393	15253	2436	1207	18896	2839	21245	1792	7234	3255	2319	14600	2301	1221	18122	3123	21946	1637	7133	3278	2309	14357	2424	1295	18076	3870	21758	1587	7018	3179	2284	14068	2425	1306	17799	3959	22488	1782	7243	3097	2146	14268	2566	1385	18219	4269
5111	3	empl.	727918	0	16205	22765	31878	70848	88081	96170	255099	472819	700034	0	15536	21464	31036	68036	83594	94207	245837	454197	749179	0	15382	21660	31034	68076	87724	99310	255110	494069	747587	0	14996	20979	30581	66556	88760	97087	252403	495184	707874	0	15597	20422	28089	64108	81780	95657	241545	466329
5111	3	ann. pay.	26148393	110411	405828	575367	922314	2013920	2776375	3298621	8088916	18059477	26820770	125505	420347	581050	914294	2041196	2754653	3502253	8298102	18522668	31257568	119794	434432	624229	986180	2164635	3136804	3955947	9257386	22000182	32026082	133299	422385	608833	960839	2125356	3120938	3895674	9141968	22884114	30661221	112822	454961	603390	907979	2079152	3007272	3932013	9018437	21642784
5111	3	rec.																																									132125712	440224	1845676	2067111	2908246	7261257	9591693	14456553	31309503	100816209
5112	3	firms	9426	933	3789	1537	1252	7511	1339	341	9191	235	8961	878	3514	1386	1228	7006	1365	339	8710	251	8382	881	3168	1263	1080	6392	1379	357	8128	254	8057	770	3106	1192	1031	6099	1329	368	7796	261	7699	879	2948	1212	925	5964	1179	307	7450	249
5112	3	estab.	11694	933	3800	1558	1296	7587	1612	884	10083	1611	11132	881	3527	1406	1258	7072	1604	752	9428	1704	10599	893	3183	1281	1103	6460	1580	662	8702	1897	10353	772	3107	1220	1058	6157	1489	699	8345	2008	10089	880	2961	1233	979	6053	1482	693	8228	1861
5112	3	empl.	283192	0	7939	10280	17068	35287	52744	54348	142379	140813	304663	0	7274	9139	16699	33112	55682	53877	142671	161992	331485	0	6597	8376	14683	29656	57215	61461	148332	183153	353344	0	6479	7970	14102	28551	55343	64087	147981	205363	312102	0	6033	8105	12749	26887	47423	50870	125180	186922
5112	3	ann. pay.	23615784	54417	395910	511009	931234	1892570	3303612	4203993	9400175	14215609	27695721	81849	371936	480768	974374	1908927	3790747	4926913	10626587	17069134	44090006	122077	319166	441076	880121	1762440	4109229	6392219	12263888	31826118	36954665	81433	332937	439169	840152	1693691	3728816	5065146	10487653	26467012	29930377	113171	318668	449253	807859	1688951	3485966	4103042	9277959	20652418
5112	3	rec.																																									96373815	292496	894492	1091038	1845517	4123543	7619505	9019867	20762915	75610900
5121	3	firms	15628	3755	7312	2038	1257	14362	982	167	15511	117	15434	3567	7316	1995	1305	14183	972	169	15324	110	15477	3623	7311	1971	1295	14200	997	178	15375	102	15762	3681	7534	2001	1218	14434	1058	167	15659	103	15990	3962	7812	1778	1203	14755	960	176	15891	99
5121	3	estab.	20064	3763	7328	2072	1322	14485	1321	698	16504	3560	19889	3578	7334	2027	1369	14308	1265	644	16217	3672	19730	3625	7343	1991	1369	14328	1264	641	16233	3497	19532	3684	7560	2028	1283	14555	1287	636	16478	3054	19652	3962	7832	1803	1266	14863	1270	643	16776	2876
5121	3	empl.	255239	0	13797	13359	16631	43787	35048	26628	105463	149776	270164	0	13726	12950	17469	44145	35881	26923	106949	163215	276588	0	13809	12867	17520	44196	36602	29095	109893	166695	270137	0	13997	13049	16469	43515	38788	27356	109659	160478	253378	0	14461	11627	16209	42297	34607	29078	105982	147396
5121	3	ann. pay.	8429318	523328	1091985	532883	603075	2751271	1135884	926558	4813713	3615605	9174921	521459	1082350	474327	687647	2765783	1251463	888441	4905687	4269234	9805935	512897	1075398	512174	678100	2778569	1444034	978338	5200941	4604994	10156424	528119	1109872	514406	630723	2783120	1632648	821260	5237028	4919396	9985896	548213	1135469	489457	687675	2860814	1392141	954043	5206998	4778898
5121	3	rec.																																									62299033	1722915	3328339	2102751	2743274	9897279	5297096	3087924	18282299	44016734
5122	3	firms	2981	560	1685	373	180	2798	134	25	2957	24	3077	539	1741	393	212	2885	145	24	3054	23	2982	453	1734	403	195	2785	147	26	2958	24	3072	472	1804	391	204	2871	148	31	3050	22	3150	548	1868	385	179	2980	129	23	3132	18
5122	3	estab.	3111	560	1685	376	186	2807	148	61	3016	95	3213	542	1741	399	216	2898	162	64	3124	89	3169	459	1735	409	202	2805	177	62	3044	125	3250	472	1804	399	210	2885	173	77	3135	115	3369	548	1868	392	188	2996	156	91	3243	126
5122	3	empl.	26474	0	3205	2379	2351	7935	4793	2582	15310	11164	23205	0	3345	2476	2785	8606	5137	2964	16707	6498	27616	0	3359	2602	2603	8564	5478	3643	17685	9931	27006	0	3466	2506	2718	8690	5311	4078	18079	8927	25021	0	3466	2435	2359	8260	4568	2925	15753	9268
5122	3	ann. pay.	1708179	36167	109816	75860	84462	306305	208782	108339	623426	1084753	1356490	38254	116951	79447	97716	332368	234726	150071	717165	639325	1930201	49103	116652	88132	97393	351280	265615	165828	782723	1147478	1829845	40999	123979	87702	110717	363397	257811	164947	786155	1043690	1714129	31125	124677	92344	115497	363643	219351	132664	715658	998471
5122	3	rec.																																									10981944	121099	503232	398396	401164	1423891	1000031	583461	3007383	7974561
5131	3	firms	6335	695	1408	1231	1442	4776	1202	222	6200	135	6146	630	1485	1227	1306	4648	1146	219	6013	133	5974	599	1546	1193	1200	4538	1097	200	5835	139	5631	540	1546	1089	1151	4326	964	199	5489	142	5261	524	1412	1023	1070	4029	904	193	5126	135
5131	3	estab.	8518	695	1411	1253	1504	4863	1546	683	7092	1426	8546	632	1494	1243	1354	4723	1456	699	6878	1668	8492	607	1556	1214	1256	4633	1365	613	6611	1881	9234	548	1564	1110	1224	4446	1183	577	6206	3028	9038	525	1418	1028	1138	4109	1222	656	5987	3051
5131	3	empl.	242981	0	3206	8576	19506	31288	43960	31559	106807	136174	250271	0	3331	8384	17741	29456	41639	31282	102377	147894	253643	0	3451	8223	16324	27998	40311	29393	97702	155941	269384	0	3448	7454	15684	26586	35879	29293	91758	177626	254257	0	3209	6999	14504	24712	33778	29462	87952	166305
5131	3	ann. pay.	10281461	71900	83006	144161	346927	645994	1147598	1086162	2879754	7401707	11364268	87713	90258	166178	334666	678815	1115189	1164795	2958799	8405469	12292056	83101	98404	180800	337633	699938	1226410	1104504	3030852	9261204	12739672	62157	144290	149338	331610	687395	1079983	1173457	2940835	9798837	12215244	37535	94864	146042	321305	599746	1065480	1241106	2906332	9308912
5131	3	rec.																																									51112379	144411	322815	418289	831528	1717043	3237312	3878699	8833054	42279325
5132	3	firms	1831	214	733	303	194	1444	210	93	1747	84	1855	201	772	316	200	1489	211	69	1769	86	1800	196	759	314	186	1455	192	71	1718	82	1713	175	692	308	181	1356	201	70	1627	86	1669	192	691	285	175	1343	180	68	1591	78
5132	3	estab.	4955	214	735	318	210	1477	346	390	2213	2742	5364	202	775	321	219	1517	314	269	2100	3264	5270	196	765	324	195	1480	235	288	2003	3267	6692	175	695	316	187	1373	269	192	1834	4858	6891	192	692	297	193	1374	249	247	1870	5021
5132	3	empl.	178721	0	1623	1941	2604	6168	7927	15907	30002	148719	182119	0	1658	2086	2661	6405	7905	10838	25148	156971	212710	0	1659	2067	2485	6211	7301	11271	24783	187927	245448	0	1495	2040	2366	5901	8295	10361	24557	220891	300143	0	1444	1898	2324	5666	6561	9769	21996	278147
5132	3	ann. pay.	7271479	38292	43474	50442	80286	212494	262786	657408	1132688	6138791	8059848	31358	49951	61577	90983	233869	270274	569913	1074056	6985792	10084425	40852	51974	70560	88974	252360	280935	618591	1151886	8932539	11730403	59342	47510	65622	83368	255842	332720	569626	1158188	10572215	12450498	11153	48748	62733	84672	207306	245645	527868	980819	11469679
5132	3	rec.																																									81925230	62207	301788	346576	395613	1106184	1264150	2868481	5238815	76686415
5133	3	firms	9106	1900	3443	1370	969	7682	1013	265	8960	146	9749	1872	3878	1449	1026	8225	1071	287	9583	166	10483	1934	4152	1572	1139	8797	1171	312	10280	203	10419	1706	4111	1612	1208	8637	1239	325	10201	218	10204	1695	4273	1493	1090	8551	1162	284	9997	207
5133	3	estab.	33767	1920	3459	1400	1050	7829	1476	907	10212	23555	36942	1909	3901	1470	1101	8381	1473	1024	10878	26064	41209	1956	4165	1588	1223	8932	1552	1050	11534	29675	43749	1721	4117	1645	1295	8778	1589	1157	11524	32225	42783	1700	4279	1534	1224	8737	1775	1113	11625	31158
5133	3	empl.	1040999	0	7184	9069	12949	29202	40453	46041	115696	925303	1071852	0	7999	9598	13701	31298	41838	49736	122872	948980	1165479	0	8761	10386	15212	34359	47140	54364	135863	1029616	1262183	0	8665	10633	16241	35539	49494	55169	140202	1121981	1144008	0	8854	9891	14594	33339	45611	45077	124027	1019981
5133	3	ann. pay.	52128472	160238	221135	289682	481870	1152925	1576550	2076215	4805690	47322782	56586478	190902	275960	358329	542666	1367857	1947951	2328121	5643929	50942549	66389461	552801	321394	405041	651474	1930710	2329352	3463563	7723625	58665836	69489818	188766	285123	377703	637191	1488783	2289174	2801890	6579847	62909971	62947100	164518	306534	346674	563974	1381700	2192380	2262915	5836995	57110105
5133	3	rec.																																									344375735	1091546	1976592	2007395	3091140	8166673	10459551	11919160	30545384	313830351
5141	3	firms	7485	1430	3081	1260	788	6559	660	132	7351	134	10005	2874	3571	1473	940	8858	819	166	9843	162	12588	2911	4585	1969	1384	10849	1262	277	12388	200	11652	1743	4812	1931	1338	9824	1294	309	11427	225	11501	1904	5004	1867	1218	9993	1057	234	11284	217
5141	3	estab.	8483	1444	3082	1272	813	6611	842	306	7759	724	11265	2898	3572	1483	972	8925	985	418	10328	937	14139	2925	4591	1984	1423	10923	1455	480	12858	1281	13437	1749	4818	1937	1373	9877	1486	534	11897	1540	13203	1906	5005	1875	1272	10058	1365	511	11934	1269
5141	3	empl.	118974	0	6570	8303	10558	25431	23441	17700	66572	52402	149238	0	7538	9685	12492	29715	30040	24758	84513	64725	232453	0	9943	12897	18432	41272	49691	46020	136983	95470	262068	0	10170	12661	17787	40618	50563	49809	140990	121078	208181	0	10408	12229	16048	38685	38838	33973	111496	96685
5141	3	ann. pay.	6550761	117282	167541	196632	298870	780325	832517	1174138	2786980	3763781	16472632	531207	242458	299253	408673	1481591	1454476	1737926	4673993	11798639	19022929	481102	394942	538967	835855	2250866	2844617	3851126	8946609	10076320	16709087	186987	323571	395697	667843	1574098	2364974	2906695	6845767	9863320	11671707	145777	339826	388952	600041	1474596	1874041	2004355	5352992	6318715
5141	3	rec.																																									40239793	587530	1424846	1293992	1835873	5142241	5162139	5809688	16114068	24125725
5142	3	firms	4756	787	1840	619	471	3717	633	204	4554	202	4879	710	2063	614	450	3837	628	207	4672	207	5057	827	2032	645	466	3970	671	209	4850	207	4667	600	1923	609	479	3611	638	212	4461	206	5679	843	2431	703	558	4535	689	236	5460	219
5142	3	estab.	8308	787	1842	624	483	3736	698	417	4851	3457	8914	714	2064	616	468	3862	687	371	4920	3994	9036	831	2036	649	479	3995	729	383	5107	3929	9288	602	1926	612	494	3634	705	358	4697	4591	11077	843	2432	706	590	4571	852	441	5864	5213
5142	3	empl.	267526	0	3546	4052	6294	13892	24366	27607	65865	201661	282984	0	4015	4011	6108	14134	24107	28176	66417	216567	296578	0	3947	4201	6258	14406	26839	28915	70160	226418	317541	0	3726	3992	6506	14224	25148	29996	69368	248173	331156	0	4712	4692	7537	16941	26142	26989	70072	261084
5142	3	ann. pay.	10690842	42503	128948	140691	214485	526627	834490	994154	2355271	8335571	12751228	53526	155072	147760	233879	590237	869429	1162706	2622372	10128856	14521219	140164	157997	159464	257690	715315	1128227	1649966	3493508	11027711	15488230	56087	143430	154258	278781	632556	1054752	1321715	3009023	12479207	16500827	74653	181320	194892	322047	772912	1153462	1258343	3184717	13316110
5142	3	rec.																																									50670642	299224	614805	566511	783618	2264158	2789656	3164202	8218016	42452626
5211	3	firms	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12	17	4	0	1	0	5	0	0	5	12	23	5	2	1	0	8	0	2	10	13	27	2	6	1	4	13	1	1	15	12	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12
5211	3	estab.	41	0	0	0	0	0	0	0	0	41	46	4	0	1	0	5	0	0	5	41	62	5	2	1	0	8	0	12	20	42	74	2	6	1	4	13	1	3	17	57	58	0	0	0	0	0	0	0	0	58
5211	3	empl.	21456	0	0	0	0	0	0	0	0	21456	22329	[a]	0	[a]	0	[a]	0	0	[a]	[j]	22337	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [j]	23552	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [j]	23367	0	0	0	0	0	0	0	0	23367
5211	3	ann. pay.	963924	0	0	0	0	0	0	0	0	963924	1018731	(D)	0	(D)	0	(D)	0	0	(D)	(D)	1083947	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	1234656	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1304200	0	0	0	0	0	0	0	0	1304200
5211	3	rec.																																									28909454	0	0	0	0	0	0	0	0	28909454
5221	3	firms	19313	290	4886	2656	3162	10994	6298	1633	18925	388	18883	289	4654	2586	3092	10621	6209	1657	18487	396	18592	303	4470	2528	3066	10367	6148	1684	18199	393	18106	264	4215	2435	2975	9889	6089	1734	17712	394	17551	219	3960	2379	2865	9423	5845	1859	17127	424
5221	3	estab.	105387	293	4898	2784	4058	12033	16889	15986	44908	60479	104045	312	4676	2695	3934	11617	16209	16296	44122	59923	105568	304	4490	2625	3825	11244	15552	16442	43238	62330	107231	267	4221	2538	3683	10709	15065	17276	43050	64181	114286	239	3963	2489	3806	10497	17199	19303	46999	67287
5221	3	empl.	1920435	0	11637	17928	44010	73575	273819	293167	640561	1279874	1937191	0	[j]	[j]	42842	71340	271558	297865	640763	1296428	1934668	0	         [j]	         [j]	42615	70294	270634	302635	643563	1291105	2062520	0	         [j]	         [j]	41461	68087	268332	312849	649268	1413252	2110093	0	9585	16090	40256	65931	256999	327353	650283	1459810
5221	3	ann. pay.	71207637	52337	246131	462869	1222961	1984298	7826663	9532666	19343627	51864010	75882131	50161	(D)	(D)	1240031	1994482	7981490	9801280	19777252	56104879	78549833	72070	         (D)	         (D)	1289287	2065765	8256915	10359459	20682139	57867694	85340360	31290	         (D)	         (D)	1339718	2073443	8616260	11346257	22035960	63304400	87661195	172015	227505	467159	1317372	2184051	8660457	12436060	23280568	64380627
5221	3	rec.																																									594492219	1047479	1216552	2530766	7157784	11952581	48709580	74717747	135379908	459112311
5222	3	firms	20628	3274	9898	3200	1627	17999	1490	625	20114	514	21588	2896	10533	3485	1850	18764	1685	603	21052	536	21726	3081	10931	3435	1715	19162	1501	566	21229	497	22031	3146	11205	3441	1716	19508	1492	553	21553	478	23445	3647	11792	3517	1821	20777	1556	618	22951	494
5222	3	estab.	48050	3277	9935	3365	2086	18663	3465	3071	25199	22851	49611	2925	10582	3671	2265	19443	3520	3150	26113	23498	49287	3097	11014	3629	2125	19865	3140	3049	26054	23233	49833	3156	11254	3634	2088	20132	3120	3283	26535	23298	53026	3651	11838	3711	2393	21593	3737	3840	29170	23856
5222	3	empl.	565529	0	21389	20661	21391	63441	52222	60168	175831	389698	644801	0	22866	22470	24206	69542	60880	61974	192396	452405	620903	0	23301	22087	22357	67745	51824	56349	175918	444985	646369	0	23910	22052	22551	68513	51706	53949	174168	472201	661599	0	24955	22653	23681	71289	53789	59324	184402	477197
5222	3	ann. pay.	25626483	192810	617428	709845	848760	2368843	2327327	2813022	7509192	18117291	29171861	143351	639606	721180	885605	2389742	2524468	2715320	7629530	21542331	29591520	307661	684649	733950	849882	2576142	2117703	2550294	7244139	22347381	35210937	167399	787117	873701	1045384	2873601	2640685	3000777	8515063	26695874	37122533	277566	907354	939668	1155051	3279639	2835187	3424263	9539089	27583444
5222	3	rec.																																									371198879	1341476	4910007	3750184	4907914	14909581	11173114	22138772	48221467	322977412
5223	3	firms	14713	2666	6707	2413	1393	13179	1088	242	14509	204	15078	2564	7079	2491	1440	13574	1081	236	14891	187	15000	2410	7458	2491	1317	13676	918	223	14817	183	16546	3115	7982	2717	1412	15226	910	236	16372	174	18491	3422	8911	2899	1656	16888	1147	265	18300	191
5223	3	estab.	19722	2692	6743	2521	1729	13685	2322	1256	17263	2459	20151	2571	7107	2589	1698	13965	2124	1243	17332	2819	21424	2456	7504	2613	1565	14138	1764	1071	16973	4451	23700	3126	8039	2821	1655	15641	1750	1244	18635	5065	28848	3450	8940	3024	2182	17596	2855	2108	22559	6289
5223	3	empl.	202306	0	14663	15746	18431	48840	39172	26588	114600	87706	198764	0	15323	16050	19103	50476	38598	26378	115452	83312	197619	0	15718	16125	17241	49084	33093	23487	105664	91955	208736	0	16951	17697	18587	53235	33201	25506	111942	96794	234392	0	18566	19002	21631	59199	41444	30859	131502	102890
5223	3	ann. pay.	8208776	135826	524308	587881	752168	2000183	1612330	1070072	4682585	3526191	7530420	130791	462679	507076	657582	1758128	1326156	974586	4058870	3471550	7918610	128536	490172	530195	603678	1752581	1210862	891698	3855141	4063469	9896068	186015	655894	730509	859020	2431438	1555360	1091914	5078712	4817356	11477553	244347	731450	843396	1072030	2891223	2075046	1584776	6551045	4926508
5223	3	rec.																																									64518984	961040	2939663	2466443	2773807	9140953	5923609	20800874	35865436	28653548
5231	3	firms	12627	1832	7090	1507	816	11245	828	274	12347	280	12488	1630	7107	1606	808	11151	795	255	12201	287	12532	1688	6916	1700	844	11148	843	265	12256	276	12336	1477	6958	1699	857	10991	835	255	12081	255	12753	1842	7225	1582	809	11458	758	273	12489	264
5231	3	estab.	32866	1834	7116	1564	946	11460	1284	906	13650	19216	34501	1636	7132	1659	916	11343	1210	848	13401	21100	38143	1691	6945	1747	937	11320	1234	864	13418	24725	39590	1497	6981	1744	956	11178	1184	784	13146	26444	42333	1842	7255	1641	929	11667	1196	993	13856	28477
5231	3	empl.	457443	0	         [j]	         [i]	10675	33891	30906	35369	100166	357277	491283	0	[j]	10286	[j]	34977	30047	32147	97171	394112	538978	0	         [j]	10910	         [j]	         [k]	         [k]	33637	100771	438207	575304	0	13613	         [j]	         [j]	35631	31120	32002	98753	476551	627882	0	13955	         [j]	         [j]	34650	27286	29804	91740	536142
5231	3	ann. pay.	57353485	237976	         (D)	         (D)	935336	2501818	3086777	3777186	9365781	47987704	63179015	232555	(D)	812689	(D)	2779526	3316069	4048133	10143728	53035287	80248397	288798	         (D)	828677	         (D)	         (D)	         (D)	4881662	11647156	68601241	84660971	221698	724337	         (D)	         (D)	2741376	3466226	4549717	10757319	73903652	76670072	172484	700262	         (D)	         (D)	2576458	3142821	4345751	10065030	66605042
5231	3	rec.																																									255403981	990471	2970026	         (D)	         (D)	         (D)	8374718	12200638	29826248	225577733
5232	3	firms	68	33	11	2	3	49	4	5	58	10	104	43	30	8	4	85	6	5	96	8	18	3	1	0	1	5	3	3	11	7	74	26	29	3	2	60	4	4	68	6	151	35	80	11	3	129	6	8	143	8
5232	3	estab.	82	33	11	2	3	49	4	13	66	16	118	43	32	8	4	87	6	9	102	16	30	3	1	0	1	5	3	3	11	19	86	26	29	3	2	60	4	8	72	14	173	36	80	11	3	130	6	18	154	19
5232	3	empl.	6647	0	         [a]	         [a]	49	78	192	1188	1458	5189	6952	0	[b]	57	[b]	170	166	1014	1350	5602	6808	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [c]	725	853	5955	6531	0	51	         [a]	         [b]	95	128	1035	1258	5273	7302	0	144	         [b]	         [b]	251	157	1616	2024	5278
5232	3	ann. pay.	498989	25744	         (D)	         (D)	5320	31868	10154	66779	108801	390188	507967	5342	(D)	3276	(D)	17335	7105	65948	90388	417579	515608	106	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	48274	54347	461261	580888	2530	2339	         (D)	         (D)	6136	6641	75256	88033	492855	718873	4700	5991	         (D)	         (D)	16298	8381	141160	165839	553034
5232	3	rec.																																									3555191	15165	30321	         (D)	         (D)	         (D)	18969	478438	555155	3000036
5239	3	firms	28193	5392	16200	3195	1467	26254	1079	360	27693	500	28980	5398	16605	3350	1558	26911	1182	402	28495	485	31345	6136	17738	3563	1712	29149	1332	398	30879	466	34024	6117	19842	3831	1899	31689	1439	420	33548	476	35477	6651	20750	3795	1778	32974	1464	482	34920	557
5239	3	estab.	30930	5396	16249	3307	1593	26545	1359	550	28454	2476	31734	5410	16651	3456	1653	27170	1447	622	29239	2495	34756	6148	17791	3645	1808	29392	1608	589	31589	3167	37242	6118	19895	3902	2012	31927	1712	617	34256	2986	39184	6656	20794	3887	1937	33274	1872	744	35890	3294
5239	3	empl.	260157	0	29765	20310	18877	68952	34101	26180	129233	130924	281826	0	30590	21295	19989	71874	36959	29203	138036	143790	320436	0	33047	22845	22394	78286	43197	31684	153167	167269	365225	0	36669	24473	24734	85876	48197	32894	166967	198258	373683	0	37917	24269	22732	84918	46022	31576	162516	211167
5239	3	ann. pay.	25593440	433806	1729221	1764425	2105606	6033058	4222598	3288198	13543854	12049586	29258580	524713	1786436	1928549	2347601	6587299	4602650	4078558	15268507	13990073	38767351	874810	2054241	2156378	2790553	7875982	6210447	6448894	20535323	18232028	39786227	497244	2062967	2177134	2865559	7602904	7082073	5340786	20025763	19760464	37724185	508643	2162883	2073049	2579689	7324264	6691601	5768319	19784184	17940001
5239	3	rec.																																									108528157	1968543	8161056	5228964	6256512	21615075	16336519	12682026	50633620	57894537
5241	3	firms	5081	558	1791	732	409	3490	677	435	4602	479	5394	524	2024	773	452	3773	692	429	4894	500	5548	533	2211	758	462	3964	658	450	5072	476	5957	570	2513	835	488	4406	646	434	5486	471	5930	608	2450	855	485	4398	636	424	5458	472
5241	3	estab.	39142	561	1796	748	454	3559	881	1402	5842	33300	42286	531	2028	783	494	3836	886	1316	6038	36248	37437	533	2222	767	482	4004	831	1366	6201	31236	30852	570	2517	868	513	4468	826	1189	6483	24369	31271	608	2457	870	519	4454	863	1456	6773	24498
5241	3	empl.	1532559	0	3962	4707	5416	14085	29285	76539	119909	1412650	1549222	0	4423	4978	6068	15469	30075	74945	120489	1428733	1489183	0	4877	4853	6094	15824	27605	79584	123013	1366170	1505007	0	5461	5322	6518	17301	26786	75288	119375	1385632	1500814	0	5254	5437	6424	17115	26273	70366	113754	1387060
5241	3	ann. pay.	69159311	40286	111727	151468	205951	509432	1240087	3316092	5065611	64093700	72599976	36955	133415	154955	240850	566175	1318888	3357538	5242601	67357375	74733460	43459	161242	164226	234671	603598	1237886	3805679	5647163	69086297	78493632	36602	172049	191001	271136	670788	1297104	3671422	5639314	72854318	78489668	41228	170635	198597	270409	680869	1307303	3505325	5493497	72996171
5241	3	rec.																																									1177580984	459567	1803742	1609588	2374494	6247391	16971702	58262044	81481137	1096099847
5242	3	firms	122999	11063	82082	17834	6791	117770	4111	657	122538	461	122348	10471	81921	17870	6787	117049	4147	674	121870	478	123234	12216	81028	17968	6717	117929	4131	702	122762	472	122329	10882	81250	18163	6712	117007	4141	716	121864	465	124367	12173	81733	18366	6676	118948	4123	778	123849	518
5242	3	estab.	134516	11073	82224	18469	8213	119979	7033	2464	129476	5040	133850	10514	82074	18488	8065	119141	6917	2210	128268	5582	134758	12251	81240	18567	7955	120013	6646	2186	128845	5913	133980	10904	81426	18718	7861	118909	6549	2397	127855	6125	137705	12189	81831	18837	7820	120677	7063	3207	130947	6758
5242	3	empl.	779835	0	166097	113246	88890	368233	142825	79450	590508	189327	796730	0	166736	113534	88595	368865	145739	84150	598754	197976	800979	0	165346	113694	87651	366691	145180	85149	597020	203959	821126	0	166391	114777	87668	368836	146127	90267	605230	215896	841191	0	168704	116207	87037	371948	144059	94198	610205	230986
5242	3	ann. pay.	30178703	368513	4019914	3577816	3411073	11377316	6292186	3324210	20993712	9184991	32216309	423945	4154743	3663019	3538644	11780351	6514733	3600487	21895571	10320738	33339917	425803	4296853	3790110	3613589	12126355	6836289	3727311	22689955	10649962	36265788	390160	4529972	3975171	3803779	12699082	7364360	4290684	24354126	11911662	39135775	494820	4733054	4155225	3993824	13376923	7761435	4869065	26007423	13128352
5242	3	rec.																																									134482834	2045427	18811878	11977097	10090675	42925077	19486238	16184642	78595957	55886877
5259	3	firms	1012	296	439	88	34	857	55	42	954	58	1262	357	567	107	46	1077	75	47	1199	63	1548	410	718	141	72	1341	94	48	1483	65	1659	398	836	136	99	1469	84	48	1601	58	2531	561	1355	227	127	2270	116	65	2451	80
5259	3	estab.	1680	296	440	93	36	865	71	153	1089	591	1995	360	568	112	46	1086	91	195	1372	623	2262	410	718	143	74	1345	111	137	1593	669	2431	398	838	138	102	1476	94	167	1737	694	3538	561	1358	232	132	2283	161	186	2630	908
5259	3	empl.	23972	0	807	527	497	1831	1821	4717	8369	15603	36076	[a]	[g]	[f]	618	[g]	2759	6686	[j]	[j]	31515	         [a]	         [g]	         [f]	960	         [h]	3684	         [i]	         [j]	         [j]	33660	         [a]	         [g]	         [f]	         [g]	         [h]	3525	6369	         [j]	         [j]	34260	0	2444	1460	1629	5533	4316	7018	16867	17393
5259	3	ann. pay.	1218095	33642	32095	40492	54035	160264	153620	316480	630364	587731	1880198	(D)	(D)	(D)	38055	(D)	358042	409310	(D)	(D)	2056809	         (D)	         (D)	         (D)	80469	         (D)	372189	         (D)	         (D)	         (D)	2068581	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	354222	424658	         (D)	         (D)	2352222	56791	128675	146961	208939	541366	399322	479111	1419799	932423
5259	3	rec.																																									23281761	1118708	1194989	900039	2138582	5352318	4478497	5609764	15440579	7841182
5311	3	firms	98234	10435	65202	13038	5208	93883	3081	729	97693	541	97835	10614	64794	12973	5136	93517	3094	710	97321	514	97983	10917	64363	12964	5242	93486	3252	742	97480	503	96631	10453	63496	13000	5176	92125	3283	747	96155	476	96625	11262	63023	12762	5113	92160	3164	801	96125	500
5311	3	estab.	107755	10458	65368	13460	6017	95303	4901	2719	102923	4832	107474	10649	64968	13385	5844	94846	4887	2619	102352	5122	108204	10990	64556	13334	5921	94801	4923	2939	102663	5541	107998	10479	63684	13347	5820	93330	5040	3111	101481	6517	109078	11263	63152	13149	5897	93461	5090	3578	102129	6949
5311	3	empl.	490244	0	122759	82968	66122	271849	97894	56111	425854	64390	484073	0	122282	82520	65446	270248	97821	55853	423922	60151	501492	0	122106	82727	66615	271448	105295	62033	438776	62716	513212	0	120555	82776	66228	269559	106838	66073	442470	70742	515151	0	122342	81442	65273	269057	102172	69299	440528	74623
5311	3	ann. pay.	11005053	315912	2230666	1632311	1375843	5554732	2094009	1492556	9141297	1863756	11398855	330099	2365084	1709739	1438155	5843077	2245874	1493775	9582726	1816129	12545092	384203	2463704	1825440	1544078	6217425	2471910	1744547	10433882	2111210	13893320	389619	2587644	1922678	1631364	6531305	2674310	1967709	11173324	2719996	14179375	409194	2569513	1944267	1641487	6564461	2615875	2220282	11400618	2778757
5311	3	rec.																																									106386810	3308136	25177782	15464880	12384534	56335332	16896746	12487104	85719182	20667628
5312	3	firms	57708	10521	37591	5620	2214	55946	1300	293	57539	169	58096	9854	38240	5879	2338	56311	1329	290	57930	166	58954	10601	38191	5920	2370	57082	1393	306	58781	173	62670	11723	40519	6110	2386	60738	1449	315	62502	168	68781	15343	43184	6042	2378	66947	1377	277	68601	180
5312	3	estab.	63519	10557	37701	5932	2924	57114	2865	1647	61626	1893	64342	9877	38333	6162	2943	57315	2769	1524	61608	2734	65098	10622	38286	6151	2934	57993	2689	1641	62323	2775	68948	11730	40605	6343	2893	61571	2758	1605	65934	3014	76046	15346	43264	6407	3064	68081	3206	1617	72904	3142
5312	3	empl.	241101	0	67242	35528	28186	130956	43555	30981	205492	35609	259992	0	68794	37189	30010	135993	44469	32567	213029	46963	271145	0	69235	37683	30616	137534	47408	33752	218694	52451	283959	0	72561	38649	30692	141902	49508	34802	226212	57747	277561	0	77893	38203	30616	146712	45591	31395	223698	53863
5312	3	ann. pay.	8691590	371460	1741684	961174	866468	3940786	1577129	1196692	6714607	1976983	9560649	350564	1880282	1047361	935073	4213280	1624371	1308510	7146161	2414488	10562944	387318	1967950	1105870	1002154	4463292	1807290	1416737	7687319	2875625	11063932	404629	2104759	1172604	1029503	4711495	1868921	1472874	8053290	3010642	11258252	540619	2254990	1215411	1088997	5100017	1775483	1381475	8256975	3001277
5312	3	rec.																																									67944403	3249830	16051402	8417194	7274696	34993122	9788386	6536360	51317868	16626535
5313	3	firms	48547	7696	26513	6482	3604	44295	3148	780	48223	324	50532	7983	27669	6704	3785	46141	3240	840	50221	311	53148	8675	29202	6909	3846	48632	3348	856	52836	312	54448	8567	30189	7201	3891	49848	3405	881	54134	314	61755	10523	34232	7883	4304	56942	3567	913	61422	333
5313	3	estab.	55943	7726	26554	6585	3844	44709	4129	2387	51225	4718	59521	7999	27719	6797	4007	46522	4192	2369	53083	6438	61647	8692	29253	6986	4061	48992	4203	2538	55733	5914	64169	8604	30245	7287	4097	50233	4201	2863	57297	6872	72071	10525	34262	7945	4518	57250	4721	3171	65142	6929
5313	3	empl.	466187	0	50720	41781	47457	139958	116835	100236	357029	109158	481930	0	53041	43087	49828	145956	118661	112726	377343	104587	506910	0	55643	44599	50519	150761	124652	122495	397908	109002	538127	0	57022	46707	51224	154953	127594	127690	410237	127890	559261	0	65610	51256	56564	173430	133600	131036	438066	121195
5313	3	ann. pay.	14695940	344128	1460226	1297852	1561966	4664172	3436928	2803671	10904771	3791169	15633932	353201	1532630	1367152	1623054	4876037	3734245	3335958	11946240	3687692	17285680	390212	1640642	1419050	1697447	5147351	4127747	3876465	13151563	4134117	19464889	413977	1801830	1627116	1807441	5650364	4326835	4215468	14192667	5272222	20334921	480608	2057506	1827461	2049787	6415362	4715905	4315501	15446768	4888153
5313	3	rec.																																									62326133	2134949	8458647	5554685	5345446	21493727	10743978	9474658	41712363	20613770
5321	3	firms	5112	606	2495	742	497	4340	508	184	5032	80	5076	687	2411	754	493	4345	467	184	4996	80	5018	588	2434	765	505	4292	475	171	4938	80	5093	628	2447	825	486	4386	469	167	5022	71	5074	723	2456	747	482	4408	421	171	5000	74
5321	3	estab.	10835	607	2501	757	583	4448	867	660	5975	4860	11247	692	2425	770	581	4468	753	677	5898	5349	11067	594	2445	785	581	4405	764	594	5763	5304	12071	634	2459	847	556	4496	718	600	5814	6257	11944	723	2467	775	570	4535	729	645	5909	6035
5321	3	empl.	171141	0	5223	4818	6379	16420	16881	16125	49426	121715	179086	0	5029	4872	6349	16250	15902	17295	49447	129639	181963	0	4963	4970	6551	16484	16614	15612	48710	133253	189247	0	5041	5352	6339	16732	15834	15925	48491	140756	181952	0	5077	4810	6221	16108	13104	15498	44710	137242
5321	3	ann. pay.	4449857	29272	123820	117453	160136	430681	440189	396747	1267617	3182240	4874477	24029	126853	126827	167717	445426	437152	454722	1337300	3537177	5071004	25231	126795	128968	175039	456033	441863	423430	1321326	3749678	5345095	23472	129418	140651	177789	471330	412497	438051	1321878	4023217	5366887	27695	128025	128540	177854	462114	371991	448566	1282671	4084216
5321	3	rec.																																									35725874	204829	1007640	926295	1198307	3337071	2459621	2535019	8331711	27394163
5322	3	firms	19690	2525	9029	4228	2183	17965	1433	176	19574	116	18372	2146	8607	3903	2032	16688	1386	181	18255	117	16746	2025	7697	3472	1929	15123	1316	193	16632	114	16003	2013	7277	3265	1828	14383	1313	193	15889	114	14878	1992	6499	3129	1817	13437	1155	188	14780	98
5322	3	estab.	33948	2536	9062	4363	2676	18637	3649	1788	24074	9874	34473	2207	8687	4089	2511	17494	3415	1839	22748	11725	33128	2051	7763	3640	2398	15852	3065	1689	20606	12522	32299	2041	7331	3436	2239	15047	2953	1789	19789	12510	31995	2020	6512	3228	2207	13967	2738	1885	18590	13405
5322	3	empl.	241557	0	20244	27525	28209	75978	45396	20286	141660	99897	255284	0	19106	25434	26369	70909	45564	20139	136612	118672	254716	0	16901	22574	25158	64633	43753	22376	130762	123954	256176	0	15793	21325	23674	60792	43992	22985	127769	128407	252571	0	14531	20367	23877	58775	38348	22909	120032	132539
5322	3	ann. pay.	3379190	61360	246793	307168	377273	992594	738165	301639	2032398	1346792	3979753	89318	247594	305431	376120	1018463	771408	350260	2140131	1839622	4194537	75968	244169	295981	395711	1011829	765846	449683	2227358	1967179	4402260	72691	254164	299564	405074	1031493	797607	449667	2278767	2123493	4547604	63212	224294	303888	405728	997122	710838	464332	2172292	2375312
5322	3	rec.																																									20671673	304739	1131240	1237337	1485939	4159255	2538314	1976930	8674499	11997174
5323	3	firms	3870	352	1577	966	574	3469	316	46	3831	39	3732	287	1537	935	572	3331	324	43	3698	34	3552	274	1463	889	541	3167	309	44	3520	32	3427	261	1404	874	517	3056	298	42	3396	31	3597	316	1499	860	557	3232	289	45	3566	31
5323	3	estab.	6246	352	1584	984	650	3570	682	316	4568	1678	6428	287	1547	948	644	3426	609	347	4382	2046	6358	274	1469	907	617	3267	540	328	4135	2223	6406	261	1411	893	593	3158	527	325	4010	2396	6737	346	1501	873	662	3382	584	360	4326	2411
5323	3	empl.	40034	0	3675	6304	7155	17134	8651	4972	30757	9277	42138	0	3545	6141	7191	16877	8975	4563	30415	11723	41863	0	3396	5917	6864	16177	8811	3972	28960	12903	41355	0	3257	5822	6609	15688	8759	3445	27892	13463	40907	0	3476	5633	7110	16219	8311	3330	27860	13047
5323	3	ann. pay.	1039769	10857	86513	142505	174866	414741	241956	134648	791345	248424	1135420	7946	88126	148343	179830	424245	241944	119596	785785	349635	1189599	9707	87923	149903	180057	427590	251074	110934	789598	400001	1220593	9209	82599	150770	180156	422734	258759	104495	785988	434605	1262493	15725	88253	148324	193905	446207	242410	107519	796136	466357
5323	3	rec.																																									4971199	87427	413374	518717	635956	1655474	745152	444797	2845423	2125776
5324	3	firms	8648	1257	3547	1369	1059	7232	915	252	8399	249	8465	1252	3507	1401	1004	7164	846	210	8220	245	8383	1213	3457	1411	993	7074	835	227	8136	247	8420	1170	3547	1398	991	7106	866	221	8193	227	8227	1251	3453	1323	928	6955	831	214	8000	227
5324	3	estab.	12080	1262	3555	1403	1172	7392	1440	748	9580	2500	12496	1265	3525	1433	1074	7297	1298	586	9181	3315	12621	1219	3469	1437	1073	7198	1133	630	8961	3660	12983	1174	3557	1436	1052	7219	1179	700	9098	3885	12969	1254	3457	1346	1017	7074	1289	585	8948	4021
5324	3	empl.	139873	0	7346	8984	13962	30292	30999	22307	83598	56275	145408	0	7120	9131	13229	29480	29344	18647	77471	67937	157495	0	7077	9247	13018	29342	27188	21355	77885	79610	165936	0	7318	9160	13155	29633	29442	21394	80469	85467	165892	0	7146	8689	12323	28158	28031	19624	75813	90079
5324	3	ann. pay.	5479036	64091	241537	300401	489181	1095210	1144219	922602	3162031	2317005	6052086	90969	241512	311976	488962	1133419	1143095	801115	3077629	2974457	6737595	123776	246552	317077	499818	1187223	1149152	919483	3255858	3481737	6998399	61313	252773	330005	513312	1157403	1250099	978112	3385614	3612785	6844925	62918	245380	319496	499143	1126937	1203679	866379	3196995	3647930
5324	3	rec.																																									37628974	359607	1479268	1495876	2171653	5506404	5573609	4939705	16019718	21609256
5331	3	firms	1991	300	899	248	168	1615	147	68	1830	161	1952	250	923	245	162	1580	150	69	1799	153	1907	224	917	217	172	1530	164	65	1759	148	2027	292	928	254	169	1643	179	64	1886	141	2077	342	885	227	190	1644	200	63	1907	170
5331	3	estab.	2124	300	900	259	179	1638	165	87	1890	234	2099	253	928	254	169	1604	165	101	1870	229	2054	224	923	224	181	1552	174	101	1827	227	2129	292	930	257	178	1657	190	82	1929	200	2184	342	887	233	199	1661	213	77	1951	233
5331	3	empl.	22591	0	1726	1630	2089	5445	4597	4200	14242	8349	25881	0	1804	1561	2081	5446	4972	5004	15422	10459	26462	0	1799	1368	2198	5365	5622	5178	16165	10297	25661	0	1820	1631	2142	5593	6173	5601	17367	8294	24052	0	1721	1466	2525	5712	6403	4208	16323	7729
5331	3	ann. pay.	1147607	23316	77722	68517	96194	265749	214922	205277	685948	461659	1460088	36976	86163	70166	91337	284642	307375	264572	856589	603499	1625641	21355	86047	71296	98307	277005	393236	301845	972086	653555	1621052	26011	91574	85108	93579	296272	350277	319848	966397	654655	1446754	36688	76241	68940	116192	298061	381167	259760	938988	507766
5331	3	rec.																																									14894889	208191	816023	267815	434543	1726572	2291438	1026755	5044765	9850124
5411	3	firms	170467	15570	111492	24281	11180	162523	6935	828	170286	181	169613	15137	110590	24370	11411	161508	7056	850	169414	199	169204	15679	109490	24700	11274	161143	7011	842	168996	208	169239	15911	109458	24693	11174	161236	6934	842	169012	227	170427	17019	108796	25046	11381	162242	7052	899	170193	234
5411	3	estab.	177838	15578	111587	24580	12013	163758	9769	2843	176370	1468	177037	15156	110689	24665	12158	162668	9905	2768	175341	1696	176720	15705	109610	25004	12056	162375	9708	2739	174822	1898	176771	15939	109607	25010	11886	162442	9516	2763	174721	2050	178692	17036	108857	25293	12158	163344	10009	3104	176457	2235
5411	3	empl.	1049373	0	213526	156812	147955	518293	255211	157295	930799	118574	1082253	0	212169	157076	151269	520514	259768	161536	941818	140435	1088963	0	211074	158939	149118	519131	258382	159015	936528	152435	1110187	0	211830	159074	148126	519030	256660	157775	933465	176722	1138451	0	212671	161616	151277	525564	260693	165284	951541	186910
5411	3	ann. pay.	53600979	887822	6913907	5995168	6930908	20727805	14735182	9935872	45398859	8202120	57179550	936270	7112588	6088849	7248728	21386435	15308512	10346945	47041892	10137658	62140749	1065702	7349107	6453983	7453122	22321914	15818240	11173427	49313581	12827168	67236548	1064065	7789423	6760306	7883630	23497424	16610305	11910689	52018418	15218130	70456903	1229238	7754008	7015419	8244819	24243484	17211122	12528670	53983276	16473627
5411	3	rec.																																									182828620	3463739	27755002	19313515	19286679	69818935	37405257	28928451	136152643	46675977
5412	3	firms	93765	10532	56955	15333	6553	89373	3598	524	93495	270	93638	10550	56480	15356	6630	89016	3765	572	93353	285	94067	10882	55945	15671	6758	89256	3913	589	93758	309	95256	11123	56417	15817	6983	90340	3991	617	94948	308	99149	12407	58150	16174	7204	93935	4161	707	98803	346
5412	3	estab.	99083	10542	56986	15441	6968	89937	4940	1358	96235	2848	99422	10579	56511	15471	7029	89590	5050	1462	96102	3320	100363	10902	55980	15779	7154	89815	5180	1450	96445	3918	101826	11128	56456	15937	7349	90870	5178	1490	97538	4288	110844	12409	58165	16270	7585	94429	5728	1680	101837	9007
5412	3	empl.	1060647	0	113979	98588	85867	298434	129493	81009	508936	551711	1093608	0	113388	98740	86730	298858	136196	88433	523487	570121	1164194	0	112815	100762	88306	301883	142827	95199	539909	624285	1191356	0	113619	101783	91574	306976	147728	101854	556558	634798	1241269	0	118511	104193	94548	317252	152925	112846	583023	658246
5412	3	ann. pay.	30260516	357491	2431112	2587571	2691890	8068064	4440435	2408227	14916726	15343790	32697382	472411	2539486	2669606	2782312	8463815	4816529	2586325	15866669	16830713	37698071	355991	2672514	2780351	2905231	8714087	5360035	2988914	17063036	20635035	38302003	471094	2731000	2898282	3102457	9202833	5653830	3436303	18292966	20009037	38929976	495132	2875735	3060147	3265086	9696100	5832590	3693009	19221699	19708277
5412	3	rec.																																									86243925	1417956	8994564	7234539	6897948	24545007	11876599	6888427	43310033	42933892
5413	3	firms	92872	12912	45324	15864	9741	83841	7319	1194	92354	518	92816	11786	45209	16163	10224	83382	7662	1223	92267	549	91816	11575	43967	16156	10268	81966	7990	1324	91280	536	92762	11235	44541	16394	10448	82618	8193	1387	92198	564	95966	13165	46269	16265	10279	85978	8037	1374	95389	577
5413	3	estab.	102744	12917	45359	15963	10032	84271	9380	3929	97580	5164	103430	11811	45245	16258	10496	83810	9617	4055	97482	5948	102292	11596	44018	16240	10527	82381	9869	4334	96584	5708	103597	11249	44584	16489	10698	83020	9936	4458	97414	6183	108061	13185	46293	16371	10679	86528	10764	4780	102072	5989
5413	3	empl.	1171469	0	91682	104506	129729	325917	271220	184572	781709	389760	1212838	0	91211	106566	136646	334423	286593	187681	808697	404141	1213355	0	89101	106670	137130	332901	300916	207349	841166	372189	1285927	0	90082	108354	140162	338598	311142	221718	871458	414469	1236939	0	92982	107391	137001	337374	302900	216585	856859	380080
5413	3	ann. pay.	54825520	537816	3142377	3902637	5436913	13019743	12820862	9124180	34964785	19860735	59780006	590725	3256156	4106451	5916686	13870018	14098599	9557553	37526170	22253836	64768720	676649	3275590	4344609	6268341	14565189	15464367	11611793	41641349	23127371	68712721	579266	3434492	4512639	6511631	15038028	16360990	12410974	43809992	24902729	67128127	655255	3482470	4565319	6488689	15191733	16271155	12353109	43815997	23312130
5413	3	rec.																																									166219410	2194588	10565791	11214271	14672721	38647371	35853297	27332268	101832936	64386474
5414	3	firms	27602	4797	16446	3705	1662	26610	832	86	27528	74	27877	4323	16846	3920	1747	26836	876	96	27808	69	28196	4580	16580	4062	1816	27038	995	94	28127	69	29069	4558	17258	4152	1928	27896	1000	102	28998	71	30426	5258	18613	3927	1668	29466	790	99	30355	71
5414	3	estab.	27817	4798	16454	3721	1692	26665	896	130	27691	126	28097	4334	16849	3939	1774	26896	941	129	27966	131	28422	4581	16582	4080	1844	27087	1059	140	28286	136	29305	4560	17262	4171	1957	27950	1050	167	29167	138	30711	5258	18618	3945	1714	29535	887	164	30586	125
5414	3	empl.	124680	0	31779	23866	21711	77356	27573	8540	113469	11211	131134	0	32395	25220	23037	80652	29582	10073	120307	10827	139726	0	32284	26218	23929	82431	34180	10177	126788	12938	147772	0	33269	26765	25366	85400	34811	11731	131942	15830	131546	0	35421	25349	21922	82692	26420	7726	116838	14708
5414	3	ann. pay.	4897684	163104	955249	813355	878051	2809759	1184081	365248	4359088	538596	5362119	210351	1017557	898251	970979	3097138	1316995	412546	4826679	535440	6046357	152214	1069803	993664	1061305	3276986	1613798	480600	5371384	674973	6088090	154815	1063241	975061	1047664	3240781	1578787	531960	5351528	736562	5685106	162577	1106509	972913	961764	3203763	1285153	407746	4896662	788444
5414	3	rec.																																									19598570	898728	5581103	3562100	2978408	13020339	3409805	1018992	17449136	2149434
5415	3	firms	78806	19487	40872	7980	4641	72980	4320	995	78295	511	85437	18616	46116	8865	5161	78758	5037	1074	84869	568	90776	20154	47134	9778	5920	82986	5954	1243	90183	593	91329	17621	49373	9795	6225	83014	6298	1404	90716	613	92606	19363	50963	9245	5860	85431	5442	1151	92024	582
5415	3	estab.	85535	19494	40905	8047	4789	73235	5093	2175	80503	5032	93798	18665	46157	8927	5276	79025	5717	2223	86965	6833	100144	20169	47172	9859	6038	83238	6592	2536	92366	7778	100852	17628	49427	9861	6349	83265	6901	2673	92839	8013	102872	19378	50999	9324	6082	85783	6574	2615	94972	7900
5415	3	empl.	873455	0	71115	51933	62240	185288	169543	148219	503050	370405	1013049	0	80216	57884	69174	207274	197199	170401	574874	438175	1171236	0	82906	63924	79890	226720	235097	204851	666668	504568	1254805	0	87354	63748	84216	235318	250035	233818	719171	535634	1089497	0	89294	60844	79034	229172	209662	178305	617139	472358
5415	3	ann. pay.	54755626	1245583	3680592	2605362	3527753	11059290	10899080	9501034	31459404	23296222	66314054	1255503	4287669	3117209	4145182	12805563	13259046	11698519	37763128	28550926	85302825	1865174	4441154	3441860	4899863	14648051	16899789	16606593	48154433	37148392	84675882	1358280	4398639	3196610	4916504	13870033	16345995	16722741	46938769	37737113	73836091	1084507	4368145	3220214	4734362	13407228	14597226	13041457	41045911	32790180
5415	3	rec.																																									181779719	3235834	11861613	8046415	10969308	34113170	30648397	28278188	93039755	88739964
5416	3	firms	83564	19155	46554	8610	4475	78794	3391	791	82976	588	86087	20056	47735	8659	4623	81073	3608	788	85469	618	92031	22438	50190	9114	4980	86722	3819	856	91397	634	102083	24755	56264	9912	5412	96343	4231	874	101448	635	110393	27813	61268	10277	5333	104691	4104	923	109718	675
5416	3	estab.	87731	19168	46605	8705	4695	79173	4298	1541	85012	2719	90877	20091	47790	8746	4852	81479	4371	1590	87440	3437	97109	22477	50248	9195	5195	87115	4511	1699	93325	3784	107659	24787	56320	10004	5622	96733	4921	1768	103422	4237	117008	27828	61310	10413	5719	105270	5312	2196	112778	4230
5416	3	empl.	601491	0	83347	55509	59324	198180	121942	92620	412742	188749	658487	0	85191	56119	61214	202524	130036	92133	424693	233794	711611	0	89285	58679	65706	213670	139775	105566	459011	252600	806104	0	99957	64104	71635	235696	157851	112243	505790	300314	820439	0	109174	66426	70281	245881	146191	111436	503508	316931
5416	3	ann. pay.	33841507	1031651	4019621	2792865	3111710	10955847	6194426	4438932	21589205	12252302	38585097	1152328	4223693	2887315	3312802	11576138	6920134	4344955	22841227	15743870	44209697	1403400	4692603	3184317	3786095	13066415	8070585	5252958	26389958	17819739	47344655	1293205	4928382	3293974	3887468	13403029	8465373	5708488	27576890	19767765	49568251	1630767	5145473	3427107	3860196	14063543	7886510	5876886	27826939	21741312
5416	3	rec.																																									130823753	5380519	16287735	9260717	10018584	40947555	19548458	13840984	74336997	56486756
5417	3	firms	9886	1407	3980	1526	1080	7993	1230	411	9634	252	10019	1299	4060	1552	1075	7986	1346	408	9740	279	10431	1526	4037	1624	1127	8314	1397	416	10127	304	11198	1504	4398	1750	1224	8876	1501	497	10874	324	11418	1668	4582	1594	1189	9033	1478	532	11043	375
5417	3	estab.	11689	1410	3982	1542	1111	8045	1509	823	10377	1312	12088	1313	4067	1566	1106	8052	1621	811	10484	1604	12640	1535	4042	1641	1171	8389	1633	848	10870	1770	13514	1507	4409	1773	1260	8949	1744	946	11639	1875	13944	1668	4595	1606	1261	9130	1836	996	11962	1982
5417	3	empl.	309851	0	8183	10021	14470	32674	48859	63911	145444	164407	338346	0	8488	10251	14399	33138	54746	64002	151886	186460	359097	0	8387	10748	15103	34238	57781	67289	159308	199789	387067	0	9024	11634	16408	37066	61026	81578	179670	207397	399213	0	9324	10439	15906	35669	60951	84936	181556	217657
5417	3	ann. pay.	16803084	120142	362569	477102	735306	1695119	2687506	3434820	7817445	8985639	19917814	99658	410863	492230	763045	1765796	3120037	3858730	8744563	11173251	25260607	184007	421190	566284	861398	2032879	3862639	5883651	11779169	13481438	25090589	162094	454559	620038	962153	2198844	3994504	5863977	12057325	13033264	25692084	174889	472013	551593	936230	2134725	3983713	5752246	11870684	13821400
5417	3	rec.																																									62482362	517852	1563043	1507513	2499255	6087663	9357202	13395607	28840472	33641890
5418	3	firms	36928	5118	19298	5977	3326	33719	2558	416	36693	235	37056	4776	19583	5980	3415	33754	2667	407	36828	228	36425	4877	18794	5931	3456	33058	2716	414	36188	237	36108	4518	18822	6024	3340	32704	2764	409	35877	231	34459	4676	18071	5514	3154	31415	2460	370	34245	214
5418	3	estab.	39911	5119	19311	6013	3435	33878	3023	912	37813	2098	40052	4789	19593	6010	3524	33916	3056	877	37849	2203	39532	4886	18805	5968	3551	33210	3081	838	37129	2403	39290	4519	18832	6063	3428	32842	3094	828	36764	2526	37930	4676	18076	5565	3287	31604	2910	870	35384	2546
5418	3	empl.	430669	0	38819	38981	44288	122088	94604	62028	278720	151949	443252	0	39625	39087	45370	124082	99926	61796	285804	157448	472312	0	37943	38883	45642	122468	102123	64626	289217	183095	464243	0	37834	39637	44566	122037	104142	64421	290600	173643	411819	0	36431	36140	41848	114419	91795	55476	261690	150129
5418	3	ann. pay.	18419557	237229	1370890	1477597	1816653	4902369	4036766	2374170	11313305	7106252	19851384	257445	1436725	1546218	1966257	5206645	4473627	2591810	12272082	7579302	22907439	287588	1435548	1641925	2117037	5482098	4920526	3035509	13438133	9469306	22267114	230237	1434388	1597842	2084595	5347062	4912877	2757260	13017199	9249915	20475110	251097	1351825	1517733	1992872	5113527	4419940	2554903	12088370	8386740
5418	3	rec.																																									60400991	972255	5673343	5331852	5996892	17974342	11848432	6224854	36047628	24353363
5419	3	firms	48817	7074	21573	10382	6636	45665	2773	257	48695	122	53071	8646	23210	10699	7007	49562	3131	257	52950	121	58316	10081	25517	11259	7615	54472	3420	295	58187	129	56382	8217	25066	11131	7873	52287	3667	300	56254	128	64480	11441	27795	11904	8550	59690	4274	350	64314	166
5419	3	estab.	55644	7076	21590	10419	6698	45783	3172	859	49814	5830	59978	8649	23235	10733	7070	49687	3539	825	54051	5927	65476	10084	25537	11304	7681	54606	3744	1049	59399	6077	63640	8223	25091	11173	7966	52453	3986	920	57359	6281	72303	11442	27806	11954	8725	59927	5000	799	65726	6577
5419	3	empl.	430730	0	45201	69449	87452	202102	91794	42667	336563	94167	459455	0	47890	71522	92671	212083	102851	43138	358072	101383	495722	0	51968	75247	101313	228528	112518	48602	389648	106074	509118	0	51132	74478	104715	230325	121142	48898	400365	108753	577032	0	57531	79849	113830	251210	140464	59176	450850	126182
5419	3	ann. pay.	10272095	247392	1032623	1396826	1911642	4588483	2212991	956368	7757842	2514253	11551095	353364	1183309	1485905	2073038	5095616	2552581	1073813	8722010	2829085	13673764	481469	1372107	1689634	2411070	5954280	3072137	1348289	10374706	3299058	14691478	315490	1367729	1697065	2541745	5922029	3347422	1374523	10643974	4047504	17006489	437862	1657715	2073202	2953487	7122266	4098610	1712724	12933600	4072889
5419	3	rec.																																									53688288	1871297	7330064	7090024	8658302	24949687	10546826	3973492	39470005	14218283
5511	3	firms	26419	1418	3223	774	1080	6495	5785	7577	19857	6562	26873	1394	3742	841	1149	7126	5527	7607	20260	6613	26762	1245	3988	877	1152	7262	5340	7489	20091	6671	26794	1197	3927	912	1151	7187	5258	7651	20096	6698	28229	1033	3906	899	1296	7134	6043	8328	21505	6724
5511	3	estab.	43681	1422	3231	792	1106	6551	6056	8616	21223	22458	46528	1398	3758	856	1162	7174	5740	8665	21579	24949	47387	1252	4004	887	1179	7322	5535	8487	21344	26043	47559	1199	3941	922	1171	7233	5479	8678	21390	26169	49383	1033	3925	924	1354	7236	6337	9401	22974	26409
5511	3	empl.	2703799	0	5276	3834	6961	16071	66261	221967	304299	2399500	2788276	0	5783	4262	7538	17583	66178	229905	313666	2474610	2873521	0	6314	4452	8114	18880	66768	221993	307641	2565880	2879223	0	6274	4542	8138	18954	69003	237516	325473	2553750	2913798	0	6458	4618	8981	20057	76984	280390	377431	2536367
5511	3	ann. pay.	175648657	290881	251821	221965	375672	1140339	2982466	10857683	14980488	160668169	192378035	422066	259826	291846	435004	1408742	3157343	11834393	16400478	175977557	211361063	519510	339608	386622	504106	1749846	3369774	11775224	16894844	194466219	213123787	446687	426315	346706	459269	1678977	3506076	12782834	17967887	195155900	204802311	167800	312772	292588	552850	1326010	3878867	14690143	19895020	184907291
5511	3	rec.																																									312884523	1773283	5082714	2084373	1871898	10812268	9473077	27879680	48165025	264719498
5611	3	firms	23118	3861	9533	3354	2217	18965	2407	1012	22384	734	23853	3865	9953	3332	2308	19458	2600	1026	23084	769	25021	4002	10301	3496	2473	20272	2866	1072	24210	811	27415	4849	11233	3818	2622	22522	3028	1091	26641	774	20118	4482	6584	2445	1962	15473	2659	1159	19291	827
5611	3	estab.	26238	3869	9544	3364	2253	19030	2673	1417	23120	3118	26293	3879	9962	3351	2335	19527	2861	1441	23829	2464	27359	4003	10310	3512	2499	20324	3095	1475	24894	2465	30147	4856	11248	3835	2644	22583	3242	1370	27195	2952	23680	4490	6591	2461	2003	15545	2938	1436	19919	3761
5611	3	empl.	383987	0	19031	21984	29123	70138	85249	99560	254947	129040	437967	0	20073	21869	30559	72501	95095	112698	280294	157673	472516	0	20889	22786	32780	76455	106261	120546	303262	169254	518112	0	22776	25099	34907	82782	113163	129474	325419	192693	492056	0	13423	15975	26170	55568	98218	127110	280896	211160
5611	3	ann. pay.	14810790	399577	978890	977169	1262366	3618002	3175397	3113396	9906795	4903995	17172711	593911	1051802	1071715	1352585	4070013	3636349	3652523	11358885	5813826	20021361	407977	1120279	1142896	1466297	4137449	4337520	4007034	12482003	7539358	22592484	698530	1214760	1239430	1619240	4771960	4685746	4542844	14000550	8591934	22516155	550826	729393	887151	1377031	3544401	4327745	4750327	12622473	9893682
5611	3	rec.																																									60040579	1488342	1791533	2161960	3394859	8836694	9811200	10128182	28776076	31264503
5612	3	firms	1252	114	214	136	170	634	317	160	1111	141	1254	131	247	130	153	661	296	153	1110	144	1292	155	278	145	153	731	262	160	1153	139	1172	100	275	126	131	632	252	152	1036	136	1600	193	564	161	129	1047	258	150	1455	145
5612	3	estab.	2523	114	214	143	180	651	445	274	1370	1153	2690	138	247	135	156	676	384	350	1410	1280	3023	158	280	151	159	748	345	361	1454	1569	2952	100	275	128	140	643	320	296	1259	1693	3416	193	564	161	140	1058	337	396	1791	1625
5612	3	empl.	109662	0	480	911	2249	3640	13264	23369	40273	69389	115780	0	503	839	2006	3348	12481	23953	39782	75998	115926	0	548	918	2045	3511	11087	25679	40277	75649	115606	0	538	831	1708	3077	10855	25225	39157	76449	125496	0	1079	1025	1725	3829	10795	23235	37859	87637
5612	3	ann. pay.	3520919	27065	22685	45573	91985	187308	437207	601369	1225884	2295035	3624788	26095	24187	39782	82513	172577	404286	639172	1216035	2408753	3754987	70362	26715	41146	81929	220152	387720	731258	1339130	2415857	3758242	31990	21620	38575	83349	175534	378476	728804	1282814	2475428	4397197	15137	48144	43615	72262	179158	424533	712011	1315702	3081495
5612	3	rec.																																									11191876	56859	145450	122216	159748	484273	955689	1610089	3050051	8141825
5613	3	firms	21929	3344	5217	2228	1966	12755	4922	3132	20809	1120	22833	3371	5845	2344	2153	13713	4845	3076	21634	1199	23814	3608	6098	2455	2194	14355	4992	3187	22534	1280	25243	3665	6798	2677	2410	15550	5265	3154	23969	1274	22973	3639	5559	2236	2307	13741	5110	2957	21808	1165
5613	3	estab.	37525	3355	5231	2237	2030	12853	5300	4601	22754	14771	40714	3415	5853	2359	2233	13860	5220	4444	23524	17190	42408	3671	6109	2488	2269	14537	5302	4628	24467	17941	44896	3680	6812	2704	2493	15689	5607	4682	25978	18918	41093	3643	5574	2260	2415	13892	5693	4900	24485	16608
5613	3	empl.	3614119	0	10636	14839	26955	52430	237088	665051	954569	2659550	3993443	0	11964	15602	29694	57260	234684	646584	938528	3054915	4572954	0	12429	16212	30012	58653	241641	684427	984721	3588233	4363620	0	13885	17747	33426	65058	249727	664183	978968	3384652	3880888	0	11643	14906	32094	58643	240504	612731	911878	2969010
5613	3	ann. pay.	71264859	599189	426843	523916	851786	2401734	5610753	12061358	20073845	51191014	81464024	592781	505246	587223	1002280	2687530	5868512	12333400	20889442	60574582	98479494	1738305	581881	625867	1096604	4042657	6336924	13473444	23853025	74626469	100924086	835564	583383	649260	1188600	3256807	6439704	13266382	22962893	77961193	92959996	967879	536361	572487	1091670	3168397	6396839	12857476	22422712	70537284
5613	3	rec.																																									125046444	1507432	1188761	1258904	1985470	5940567	9851858	17476192	33268617	91777827
5614	3	firms	30198	4498	13938	4818	3242	26496	2830	555	29881	317	29737	3911	14234	4824	3128	26097	2744	568	29409	328	29489	4023	13919	4741	3183	25866	2702	576	29144	345	29151	3789	13978	4608	3094	25469	2743	589	28801	350	28360	3600	13558	4516	3028	24702	2693	601	27996	364
5614	3	estab.	35228	4506	13955	4858	3358	26677	3421	1307	31405	3823	34900	3917	14251	4870	3255	26293	3297	1251	30841	4059	34728	4066	13947	4781	3296	26090	3196	1325	30611	4117	34403	3813	14009	4657	3219	25698	3204	1278	30180	4223	33703	3608	13576	4572	3187	24943	3319	1376	29638	4065
5614	3	empl.	642347	0	28502	31597	43452	103551	105699	86579	295829	346518	671035	0	28856	31629	42099	102584	103391	90188	296163	374872	702222	0	28097	31042	42565	101704	102601	93321	297626	404596	710812	0	28086	30261	41556	99903	103037	95565	298505	412307	692741	0	27661	29504	40756	97921	100741	100283	298945	393796
5614	3	ann. pay.	13791245	159906	584935	642358	940021	2327220	2422524	1727399	6477143	7314102	15062208	192784	640631	685618	966235	2485268	2513414	1993474	6992156	8070052	17019042	217473	656806	725129	1080083	2679491	2690316	2241413	7611220	9407822	17875594	193868	677422	713680	1078880	2663850	2754198	2440675	7858723	10016871	17823605	213361	631981	704773	1051518	2601633	2735571	2463739	7800943	10022662
5614	3	rec.																																									50019531	710937	3023811	2581067	3218005	9533820	6877788	6606835	23018443	27001088
5615	3	firms	27765	2720	15169	5997	2186	26072	1301	271	27644	121	26365	2219	14621	5662	2198	24700	1266	274	26240	125	24795	2189	13675	5239	2027	23130	1256	277	24663	132	23562	2051	13097	4755	1965	21868	1285	273	23426	136	19957	1983	11485	3583	1524	18575	1025	233	19833	124
5615	3	estab.	36079	2723	15191	6093	2524	26531	2535	1483	30549	5530	34569	2252	14651	5787	2516	25206	2342	1481	29029	5540	32918	2199	13702	5373	2337	23611	2243	1504	27358	5560	31642	2052	13136	4879	2253	22320	2221	1395	25936	5706	27587	1986	11511	3676	1761	18934	1916	1399	22249	5338
5615	3	empl.	297530	0	34940	38188	28533	101661	48022	43673	193356	104174	300645	0	33473	36236	28531	98240	47116	42541	187897	112748	307666	0	31113	33496	26393	91002	46831	42739	180572	127094	313116	0	29315	30394	25782	85491	47768	42871	176130	136986	258084	0	25397	22939	20014	68350	37414	36166	141930	116154
5615	3	ann. pay.	8016702	111613	667690	767388	666206	2212897	1300310	1200603	4713810	3302892	8658039	85159	703638	761667	701644	2252108	1307720	1246979	4806807	3851232	9660033	82798	661290	767265	688617	2199970	1424084	1383629	5007683	4652350	10008049	83595	615032	682986	659176	2040789	1394363	1479681	4914833	5093216	8469891	70293	542815	540776	552592	1706476	1173583	1150178	4030237	4439654
5615	3	rec.																																									24628213	263891	1773664	1738140	1659185	5434880	3325656	3589847	12350383	12277830
5616	3	firms	17594	2139	7690	2788	1897	14514	2251	639	17404	190	17423	2036	7606	2775	1920	14337	2214	651	17202	221	17375	2114	7540	2743	1910	14307	2201	648	17156	219	17713	2124	7652	2916	1904	14596	2236	670	17502	211	18070	2147	7856	2929	1970	14902	2266	690	17858	212
5616	3	estab.	21598	2142	7697	2806	1944	14589	2446	1071	18106	3492	21607	2056	7609	2792	1974	14431	2405	1137	17973	3634	21683	2119	7545	2765	1959	14388	2396	1056	17840	3843	22041	2131	7656	2950	1959	14696	2449	999	18144	3897	22319	2147	7860	2948	2029	14984	2565	1204	18753	3566
5616	3	empl.	694619	0	15985	18431	25586	60002	95150	119861	275013	419606	707187	0	15671	18242	25998	59911	93907	121857	275675	431512	711003	0	15614	18161	25941	59716	94200	122277	276193	434810	720465	0	15836	19135	25613	60584	95088	126037	281709	438756	732002	0	16517	19298	26946	62761	94023	131096	287880	444122
5616	3	ann. pay.	11855346	89712	330604	388509	494885	1303710	1533013	1872598	4709321	7146025	12888204	111519	339433	398911	530080	1379943	1580682	2092854	5053479	7834725	14029639	113558	349505	415108	557441	1435612	1710181	2341512	5487305	8542334	14939245	107137	379983	467139	587630	1541889	1871680	2258749	5672318	9266927	15835500	150795	385606	477470	645227	1659098	1889513	2517571	6066182	9769318
5616	3	rec.																																									30660748	360935	1385737	1329518	1610808	4686998	3721979	4255444	12664421	17996327
5617	3	firms	141880	29501	68138	22320	12293	132252	8112	1242	141606	274	140497	26312	68815	22677	12735	130539	8407	1260	140206	291	141659	26075	68343	23542	13246	131206	8885	1274	141365	294	148213	28477	71636	23771	13504	137388	9203	1303	147894	319	145987	33676	67633	22244	12275	135828	8580	1266	145674	313
5617	3	estab.	147456	29512	68147	22345	12380	132384	8575	2095	143054	4402	146767	26323	68824	22706	12819	130672	8861	1998	141531	5236	147648	26092	68354	23573	13341	131360	9344	1994	142698	4950	154421	28491	71650	23808	13584	137533	9653	2060	149246	5175	152933	33677	67640	22272	12364	135953	9312	2243	147508	5425
5617	3	empl.	1398083	0	138289	146080	163394	447763	302273	225416	975452	422631	1464752	0	139503	148493	169567	457563	314128	225304	996995	467757	1503042	0	140022	154140	176672	470834	331767	231222	1033823	469219	1549286	0	144976	155955	179935	480866	343994	231373	1056233	493053	1470446	0	140941	144965	163760	449666	320209	220231	990106	480340
5617	3	ann. pay.	22729159	644316	2384708	2321377	2660991	8011392	4732912	3138396	15882700	6846459	24970079	637117	2587544	2511770	2905989	8642420	5236558	3217328	17096306	7873773	26721904	658367	2649152	2725571	3219073	9252163	5933428	3468541	18654132	8067772	29338543	727536	2990251	2931933	3493567	10143287	6477374	3745876	20366537	8972006	28874708	1015649	2775188	2762231	3297784	9850852	6199707	3777824	19828383	9046325
5617	3	rec.																																									73546414	4319111	11065568	8400074	9114099	32898852	14689177	7715372	55303401	18243013
5619	3	firms	25582	4278	12549	3772	2306	22905	1952	448	25305	277	24507	2818	12716	3819	2415	21768	2004	442	24214	293	23532	2896	11642	3788	2428	20754	2028	451	23233	299	23075	2688	11426	3785	2370	20269	2058	457	22784	291	18701	2668	8962	2753	1876	16259	1730	426	18415	286
5619	3	estab.	27527	4281	12559	3795	2374	23009	2214	766	25989	1538	26561	2826	12725	3839	2495	21885	2228	776	24889	1672	25748	2900	11655	3812	2501	20868	2255	764	23887	1861	25414	2689	11449	3813	2425	20376	2260	795	23431	1983	21115	2669	8966	2780	1944	16359	2031	761	19151	1964
5619	3	empl.	347286	0	25068	24704	30639	80411	72574	57242	210227	137059	388540	0	25545	25123	31968	82636	76845	58700	218181	170359	461288	0	23514	24814	32424	80752	77695	61522	219969	241319	470434	0	23039	24647	31712	79398	78608	61299	219305	251129	346924	0	18354	18012	25033	61399	64676	56675	182750	164174
5619	3	ann. pay.	8187498	197828	750012	676379	853601	2477820	1813040	1388805	5679665	2507833	9275986	128053	793626	741197	966761	2629637	2087739	1484112	6201488	3074498	10059798	181636	770002	773318	1031449	2756405	2286058	1577642	6620105	3439693	10635515	126890	751370	789300	1005306	2672866	2392416	1701995	6767277	3868238	9677308	145045	586240	601111	846516	2178912	2123591	1592440	5894943	3782365
5619	3	rec.																																									34103256	719401	3033413	2619724	3253664	9626202	7637405	5291159	22554766	11548490
5621	3	firms	7047	665	3091	1386	995	6137	784	94	7015	32	6464	584	2872	1240	926	5622	722	87	6431	33	6041	574	2661	1188	843	5266	662	77	6005	36	6033	534	2695	1170	828	5227	697	73	5997	36	6253	590	2761	1243	850	5444	693	86	6223	30
5621	3	estab.	8368	665	3091	1391	1009	6156	877	213	7246	1122	7744	586	2872	1246	942	5646	795	209	6650	1094	7368	575	2662	1194	861	5292	708	165	6165	1203	7273	534	2696	1173	845	5248	738	158	6144	1129	7684	590	2762	1248	873	5473	759	186	6418	1266
5621	3	empl.	151562	0	6648	9228	13378	29254	28353	13270	70877	80685	149111	0	6169	8190	12494	26853	26402	11995	65250	83861	146032	0	5741	7847	11345	24933	23938	11447	60318	85714	139864	0	5784	7712	11118	24614	25921	10518	61053	78811	141892	0	6217	8114	11421	25752	24727	12621	63100	78792
5621	3	ann. pay.	4779795	22690	137748	212458	358008	730904	868000	468442	2067346	2712449	4854056	31285	135845	197953	331877	696960	821084	409639	1927683	2926373	5138999	21579	132886	194593	319571	668629	801168	423056	1892853	3246146	5103959	23345	133656	203349	324930	685280	873347	427249	1985876	3118083	5387420	37507	147674	219972	345919	751072	888183	508853	2148108	3239312
5621	3	rec.																																									23348275	197736	751314	892818	1309162	3151030	3370845	1920655	8442530	14905745
5622	3	firms	1663	247	594	292	198	1331	216	58	1605	58	1668	223	611	308	203	1345	206	59	1610	58	1639	161	623	322	205	1311	211	59	1581	58	1689	146	654	321	230	1351	214	67	1632	57	1627	146	634	307	221	1308	203	62	1573	54
5622	3	estab.	2459	247	594	292	210	1343	247	94	1684	775	2452	223	611	308	219	1361	234	92	1687	765	2678	161	626	324	214	1325	235	92	1652	1026	2933	146	654	321	233	1354	236	107	1697	1236	2917	147	634	307	227	1315	235	119	1669	1248
5622	3	empl.	52756	0	1340	1935	2659	5934	7919	7352	21205	31551	51801	0	1342	2052	2676	6070	7232	7967	21269	30532	56647	0	1401	2103	2779	6283	7602	8176	22061	34586	63598	0	1502	2114	3028	6644	7688	8100	22432	41166	59280	0	1459	2018	2861	6338	7089	8061	21488	37792
5622	3	ann. pay.	1967291	15865	35832	51216	74053	176966	260950	284935	722851	1244440	2043488	14486	35932	58404	88544	197366	238783	289863	726012	1317476	2224489	27549	37303	61148	81857	207857	261376	293313	762546	1461943	2553902	9209	42035	59936	100615	211795	256411	323226	791432	1762470	2485051	12293	41443	56038	96809	206583	260177	318917	785677	1699374
5622	3	rec.																																									12718921	71380	222200	247246	431391	972217	1095515	1167298	3235030	9483891
5629	3	firms	5559	685	2452	964	625	4726	651	108	5485	74	5498	581	2491	1022	597	4691	624	111	5426	72	5406	571	2344	1036	635	4586	633	115	5334	72	5954	639	2523	1136	715	5013	734	133	5880	74	6396	735	2725	1195	792	5447	741	135	6323	73
5629	3	estab.	6133	687	2457	967	638	4749	712	255	5716	417	6104	581	2493	1025	606	4705	683	258	5646	458	5967	572	2344	1042	639	4597	680	249	5526	441	6543	639	2523	1136	723	5021	781	272	6074	469	7097	735	2726	1195	803	5459	845	307	6611	486
5629	3	empl.	83082	0	5127	6341	8422	19890	24609	12036	56535	26547	86262	0	5224	6790	8054	20068	23975	12707	56750	29512	88804	0	4963	6800	8671	20434	24233	13982	58649	30155	97074	0	5406	7510	9732	22648	27388	16738	66774	30300	99408	0	5890	7877	10672	24439	27429	16848	68716	30692
5629	3	ann. pay.	2783805	23820	122724	172376	246074	564994	786213	401664	1752871	1030934	3086608	22032	128312	178285	242701	571330	786705	428598	1786633	1299975	3171317	22938	128922	185670	267546	605076	813849	467835	1886760	1284557	3656337	34753	150263	221070	320060	726146	941189	614833	2282168	1374169	3762546	47637	167765	235167	345171	795740	958180	634649	2388569	1373977
5629	3	rec.																																									12136548	214839	704614	820219	1085549	2825221	2792210	2065483	7682914	4453634
6111	3	firms	16416	760	2116	1790	2865	7531	7220	1533	16284	132	16646	625	2130	1819	2845	7419	7442	1645	16506	140	16823	645	2119	1788	2783	7335	7606	1741	16682	141	17256	707	2165	1794	2858	7524	7785	1803	17112	144	18547	868	2334	1943	3060	8205	8298	1883	18386	161
6111	3	estab.	18604	761	2117	1791	2881	7550	7610	2814	17974	630	18889	633	2130	1823	2872	7458	7778	2997	18233	656	19136	646	2119	1794	2801	7360	7940	3089	18389	747	19473	709	2165	1796	2887	7557	8024	3110	18691	782	20894	868	2334	1949	3068	8219	8637	3205	20061	833
6111	3	empl.	659427	0	5121	12263	40932	58316	314262	233178	605756	53671	694749	0	5034	12510	40454	57998	325658	252530	636186	58563	724354	0	5033	12401	39725	57159	334298	266395	657852	66502	747611	0	5070	12315	40815	58200	344523	280635	683358	64253	793638	0	5677	13277	43705	62659	364396	295675	722730	70908
6111	3	ann. pay.	12974811	59984	82795	164831	636442	944052	5731732	5189299	11865083	1109728	14279273	63292	96722	175935	647584	983533	6176771	5880706	13041010	1238263	15458594	63772	89564	181032	648957	983325	6583436	6466359	14033120	1425474	16952249	85374	105446	200364	701130	1092314	7192833	7175854	15461001	1491248	18892435	105714	113487	223493	803617	1246311	8013944	7909091	17169346	1723089
6111	3	rec.																																									41859655	280280	331487	514461	1784109	2910337	17268060	17797656	37976053	3883602
6112	3	firms	549	23	70	40	53	186	173	140	499	50	552	28	69	40	59	196	170	136	502	50	551	34	74	35	63	206	153	137	496	55	562	32	87	41	51	211	159	134	504	58	624	35	115	46	62	258	161	147	566	58
6112	3	estab.	818	23	70	40	53	186	198	230	614	204	816	28	69	40	59	196	192	225	613	203	809	34	74	35	63	206	172	216	594	215	848	32	90	41	51	214	179	202	595	253	931	35	115	46	62	258	174	232	664	267
6112	3	empl.	74788	0	156	280	732	1168	8411	30377	39956	34832	76511	0	145	252	822	1219	8490	30006	39715	36796	82760	0	155	235	870	1260	7679	30394	39333	43427	85964	0	185	290	715	1190	7960	29267	38417	47547	95015	0	230	319	861	1410	8068	32029	41507	53508
6112	3	ann. pay.	1854343	2360	3610	8248	19746	33964	190173	549682	773819	1080524	1995080	1936	3749	8137	21231	35053	201732	561873	798658	1196422	2195705	3209	4815	7465	22240	37729	194679	619426	851834	1343871	2378225	1794	5703	9293	20386	37176	204943	639026	881145	1497080	2657285	9158	7297	9224	27022	52701	211407	720859	984967	1672318
6112	3	rec.																																									3759090	6315	26716	29133	77769	139933	467486	1395150	2002569	1756521
6113	3	firms	2366	81	415	174	165	835	373	545	1753	613	2394	101	407	173	161	842	386	540	1768	626	2448	127	411	170	180	888	375	547	1810	638	2454	116	418	184	165	883	372	548	1803	651	2593	147	488	174	170	979	390	562	1931	662
6113	3	estab.	2946	81	415	174	175	845	389	592	1826	1120	3004	102	407	173	168	850	403	606	1859	1145	3105	127	411	170	184	892	396	599	1887	1218	3136	116	418	189	167	890	389	587	1866	1270	3377	147	488	176	170	981	411	598	1990	1387
6113	3	empl.	1260468	0	859	1133	2303	4295	19160	141803	165258	1095210	1301801	0	838	1140	2211	4189	19372	142705	166266	1135535	1332535	0	882	1133	2468	4483	18610	144619	167712	1164823	1357358	0	853	1221	2313	4387	18354	142406	165147	1192211	1403085	0	1049	1182	2291	4522	19162	144652	168336	1234749
6113	3	ann. pay.	30127844	16204	23528	26899	55317	121948	401633	2839864	3363445	26764399	32354264	19520	22393	27564	57452	126929	428201	2989597	3544727	28809537	34603977	25308	24005	30617	67004	146934	437995	3081118	3666047	30937930	37202837	12169	25903	32530	59812	130414	455759	3144340	3730513	33472324	40128148	11973	28836	31318	65194	137321	504961	3378238	4020520	36107628
6113	3	rec.																																									104059977	59843	150300	118280	196938	525361	1506890	9194734	11226985	92832992
6114	3	firms	6234	1133	3046	896	502	5577	498	97	6172	62	6185	972	3095	894	533	5494	522	108	6124	61	6270	1035	3039	898	582	5554	547	106	6207	63	6394	1041	3138	921	569	5669	570	103	6342	52	6766	1162	3631	840	495	6128	481	111	6720	46
6114	3	estab.	6765	1133	3049	909	523	5614	686	242	6542	223	6701	972	3096	910	544	5522	690	241	6453	248	6787	1039	3046	913	594	5592	688	246	6526	261	6863	1042	3143	936	575	5696	703	289	6688	175	7285	1163	3634	854	525	6176	641	335	7152	133
6114	3	empl.	59137	0	5867	5817	6816	18500	18966	10866	48332	10805	62063	0	6015	5920	7155	19090	19206	11998	50294	11769	65566	0	5992	5942	7704	19638	19694	12902	52234	13332	65502	0	6054	5999	7683	19736	21186	15034	55956	9546	58275	0	6959	5496	6571	19026	17346	14935	51307	6968
6114	3	ann. pay.	2036475	46930	205639	187248	232729	672546	621790	374995	1669331	367144	2188689	46861	212060	187860	242944	689725	636118	418421	1744264	444425	2579260	72816	214105	188928	283934	759783	669551	521622	1950956	628304	2539999	61078	216329	195919	257790	731116	739552	632802	2103470	436529	2375267	45305	229935	190179	255081	720500	663408	625227	2009135	366132
6114	3	rec.																																									6649972	180954	831899	554535	694337	2261725	1747572	1445927	5455224	1194748
6115	3	firms	5946	699	2541	1119	823	5182	590	122	5894	52	5993	714	2549	1138	802	5203	604	132	5939	54	6065	705	2503	1136	848	5192	670	145	6007	58	6251	708	2578	1211	871	5368	684	136	6188	63	6063	719	2415	1157	904	5195	670	139	6004	59
6115	3	estab.	6856	701	2546	1143	901	5291	902	422	6615	241	6901	716	2556	1163	867	5302	927	420	6649	252	7032	713	2512	1160	906	5291	952	445	6688	344	7234	708	2583	1238	941	5470	961	425	6856	378	7076	720	2419	1173	976	5288	1056	380	6724	352
6115	3	empl.	69077	0	5430	7334	10867	23631	20047	11621	55299	13778	74597	0	5423	7569	10665	23657	20831	12296	56784	17813	81175	0	5342	7469	11296	24107	23299	14468	61874	19301	87351	0	5425	7938	11569	24932	24554	14738	64224	23127	84048	0	5230	7708	12002	24940	23282	15494	63716	20332
6115	3	ann. pay.	1667611	19427	110417	132749	207423	470016	450638	288133	1208787	458824	1888540	25742	120735	150148	214286	510911	492964	298870	1302745	585795	2092789	26782	118097	153411	244171	542461	542912	346055	1431428	661361	2390615	28605	130474	170360	265656	595095	615412	361286	1571793	818822	2334620	30707	129892	172275	286886	619760	581633	362768	1564161	770459
6115	3	rec.																																									7162633	130516	565691	539802	851613	2087622	1857544	1044557	4989723	2172910
6116	3	firms	23225	3736	10965	4250	2454	21405	1567	184	23156	69	24137	3903	11269	4317	2622	22111	1749	206	24066	71	25081	4016	11500	4507	2785	22808	1978	220	25006	75	26702	4313	12170	4760	3088	24331	2051	245	26627	75	27002	4729	11819	4843	3177	24568	2129	233	26930	72
6116	3	estab.	24739	3742	10983	4284	2554	21563	2046	560	24169	570	26002	3914	11287	4350	2714	22265	2212	568	25045	957	26961	4021	11524	4543	2874	22962	2394	610	25966	995	28656	4319	12190	4803	3182	24494	2412	714	27620	1036	28988	4729	11829	4855	3284	24697	2630	674	28001	987
6116	3	empl.	167074	0	22334	27900	32593	82827	52456	18351	153634	13440	187360	0	22997	28250	34830	86077	58838	22682	167597	19763	206171	0	23572	29853	37310	90735	67681	25304	183720	22451	222002	0	24885	31402	41116	97403	71453	28544	197400	24602	216593	0	24705	31911	42440	99056	73245	23696	195997	20596
6116	3	ann. pay.	2584806	91203	336597	347197	399344	1174341	757564	342011	2273916	310890	3017662	122842	366691	374824	468251	1332608	886667	411475	2630750	386912	3612567	135545	412622	422635	540123	1510925	1119436	541145	3171506	441061	3903838	124097	454554	472655	611252	1662558	1162867	580028	3405453	498385	3704944	119859	417491	440510	601454	1579314	1141076	483989	3204379	500565
6116	3	rec.																																									10723900	505461	1766318	1432631	1686263	5390673	2877575	1229004	9497252	1226648
6117	3	firms	3937	836	2071	450	284	3641	212	56	3909	28	3906	687	2132	492	273	3584	238	52	3874	32	3897	641	2102	493	296	3532	267	66	3865	32	4272	743	2274	541	306	3864	302	70	4236	36	4541	988	2306	536	312	4142	286	74	4502	39
6117	3	estab.	4174	836	2073	453	299	3661	271	138	4070	104	4179	732	2134	495	285	3646	294	153	4093	86	4184	641	2104	501	302	3548	369	189	4106	78	4668	743	2275	551	313	3882	354	326	4562	106	5150	988	2308	542	329	4167	376	180	4723	427
6117	3	empl.	33846	0	3851	2945	3758	10554	7851	6147	24552	9294	34637	0	3891	3232	3720	10843	8716	6814	26373	8264	39763	0	3907	3226	3963	11096	10015	9372	30483	9280	46642	0	4217	3556	4093	11866	11204	9509	32579	14063	51021	0	4343	3520	4219	12082	10636	8791	31509	19512
6117	3	ann. pay.	1041475	29653	120626	83840	115144	349263	215874	217727	782864	258611	1147527	36685	124128	96195	117498	374506	245949	242698	863153	284374	1380455	27474	130972	105777	137044	401267	296814	335773	1033854	346601	1729778	25572	142939	120039	137804	426354	350808	336836	1113998	615780	1869153	37930	139791	118296	143163	439180	335451	314008	1088639	780514
6117	3	rec.																																									6063612	161817	549077	402589	419210	1532693	1041311	1043263	3617267	2446345
6211	3	firms	173066	14743	83375	40734	20353	159205	11984	1197	172386	680	171735	14629	81501	40356	20552	157038	12709	1276	171023	712	174006	16061	80227	40695	21463	158446	13477	1356	173279	727	177127	16058	80852	41559	22174	160643	14305	1426	176374	753	179583	17266	79875	42427	22836	162404	14778	1637	178819	764
6211	3	estab.	195167	14821	83651	41542	22053	162067	17597	5287	184951	10216	193967	14765	81770	41126	22048	159709	18124	5426	183259	10708	195655	16223	80505	41391	22886	161005	18576	5727	185308	10347	197892	16133	81144	42204	23518	162999	19109	5782	187890	10002	203669	17282	80036	43064	24464	164846	21659	7262	193767	9902
6211	3	empl.	1619363	0	187210	264583	270206	721999	410124	169099	1301222	318141	1692571	0	182911	262793	273120	718824	440982	182791	1342597	349974	1763793	0	180271	265457	285688	731416	475454	199479	1406349	357444	1848200	0	180950	271266	295294	747510	505100	211926	1464536	383664	1904325	0	181235	277350	303814	762399	524112	235320	1521831	382494
6211	3	ann. pay.	90403330	1626805	11536839	13268141	15514488	41946273	24971217	9260710	76178200	14225130	95058555	1518949	11421870	13362361	15847961	42151141	27005667	10122554	79279362	15779193	101252467	1520496	11490041	13591623	16826064	43428224	29700114	11182085	84310423	16942044	109542092	1504893	11961590	14159595	17679148	45305226	32615043	12632793	90553062	18989030	115081001	1720256	11733622	14557046	18210543	46221467	34051553	14526446	94799466	20281535
6211	3	rec.																																									253220236	4901895	31634445	33375783	36877190	106789313	66619982	31680237	205089532	48130704
6212	3	firms	111325	5335	46860	42100	14614	108909	2301	84	111294	31	111497	5413	45605	42600	15284	108902	2477	81	111460	37	112373	5869	44166	43027	16447	109509	2728	101	112338	35	112802	5784	43072	43523	17296	109675	2981	106	112762	40	113128	5983	41978	43592	18159	109712	3268	111	113091	37
6212	3	estab.	115060	5351	46966	42534	15588	110439	3322	610	114371	689	115268	5481	45721	43011	16229	110442	3479	507	114428	840	116494	5879	44273	43433	17325	110910	3734	648	115292	1202	117038	5804	43195	43907	18139	111045	3960	610	115615	1423	117812	5986	42037	43898	19148	111069	4733	838	116640	1172
6212	3	empl.	665498	0	120796	277184	183477	581457	66287	9727	657471	8027	683331	0	117731	281161	192735	591627	71172	8809	671608	11723	710858	0	114117	284325	207581	606023	78052	11635	695710	15148	733862	0	111266	288605	218898	618769	84344	12009	715122	18740	750129	0	109279	290007	230322	629608	93578	12674	735860	14269
6212	3	ann. pay.	19885297	286091	3029447	7813260	5897501	17026299	2313456	318388	19658143	227154	21471821	300124	3150122	8260852	6466857	18177955	2602158	332979	21113092	358729	23235125	320592	3192141	8698170	7184276	19395179	2980788	411252	22787219	447906	25196085	351977	3308382	9219008	7854470	20733837	3346446	493318	24573601	622484	26806179	384111	3350318	9602422	8552426	21889277	3814064	612796	26316137	490042
6212	3	rec.																																									71223564	1336829	12805173	26373130	19517851	60032983	7955975	1606511	69595469	1628095
6213	3	firms	84331	8319	53722	14841	5004	81886	1956	282	84124	207	84343	8255	53449	15005	5188	81897	1958	278	84133	210	86686	9477	53471	15619	5499	84066	2125	281	86472	214	88719	9519	54485	16177	5795	85976	2236	293	88505	214	96595	11332	58542	17160	6437	93471	2504	377	96352	243
6213	3	estab.	89937	8339	53869	15240	5890	83338	3443	988	87769	2168	90084	8304	53609	15408	6041	83362	3304	1143	87809	2275	92441	9504	53638	16003	6325	85470	3479	1305	90254	2187	94555	9540	54682	16551	6573	87346	3512	1302	92160	2395	104171	11352	58639	17523	7446	94960	4691	1576	101227	2944
6213	3	empl.	421106	0	111637	94248	64024	269909	63877	29578	363364	57742	416967	0	111115	95240	66889	273244	64171	27455	364870	52097	417239	0	111758	99634	70874	282266	70149	27893	380308	36931	448479	0	114140	103463	74982	292585	75724	30356	398665	49814	485587	0	123469	110081	83337	316887	84427	38348	439662	45925
6213	3	ann. pay.	11069850	237634	2364701	2238812	1741107	6582254	1771608	761572	9115434	1954416	10981215	247723	2445456	2328724	1817576	6839479	1786760	685147	9311386	1669829	11173131	265648	2571052	2513956	2001344	7352000	2062551	708253	10122804	1050327	12434618	264639	2749015	2715442	2195132	7924228	2289215	853967	11067410	1367208	14025386	332752	2992418	2980229	2492478	8797877	2652234	1084824	12534935	1490451
6213	3	rec.																																									38943543	1269656	11818348	8458208	5917290	27463502	5621045	2241864	35326411	3617132
6214	3	firms	11055	931	3118	1533	1471	7053	2235	1118	10406	649	10849	805	3106	1529	1424	6864	2160	1164	10188	661	10817	817	2949	1516	1451	6733	2220	1195	10148	669	11024	844	2953	1546	1498	6841	2267	1237	10345	679	12806	1148	3733	1857	1701	8439	2373	1290	12102	704
6214	3	estab.	22376	945	3123	1555	1596	7219	3651	4217	15087	7289	22719	822	3125	1563	1536	7046	3434	4428	14908	7811	22203	833	2966	1545	1556	6900	3497	4451	14848	7355	22912	877	2982	1564	1607	7030	3484	4743	15257	7655	25324	1150	3772	1890	1833	8645	3970	5101	17716	7608
6214	3	empl.	541445	0	6424	10384	19831	36639	89808	137211	263658	277787	548329	0	6449	10296	19264	36009	87238	142398	265645	282684	554908	0	6235	10181	19743	36159	89826	150482	276467	278441	582230	0	6281	10462	20412	37155	92633	163347	293135	289095	593462	0	7889	12481	23183	43553	95365	169187	308105	285357
6214	3	ann. pay.	17802215	110758	205567	337965	643216	1297506	2549060	3717956	7564522	10237693	18149977	77309	215745	357125	646866	1297045	2582460	3969657	7849162	10300815	18788958	99975	207141	354652	680026	1341794	2750419	4356118	8448331	10340627	20568625	108075	219439	378298	724653	1430465	3025352	4932887	9388704	11179921	21804181	94132	296633	426764	828025	1645554	3153919	5233345	10032818	11771363
6214	3	rec.																																									64453593	445381	1088190	1316745	2273750	5124066	8247319	12677867	26049252	38404341
6215	3	firms	6006	590	2276	1165	795	4826	766	194	5786	220	5896	651	2136	1092	805	4684	788	204	5676	220	6039	700	2141	1158	801	4800	821	201	5822	217	6206	700	2280	1116	843	4939	847	203	5989	217	6445	742	2382	1108	867	5099	873	237	6209	236
6215	3	estab.	9671	598	2283	1187	851	4919	1084	765	6768	2903	9591	652	2143	1105	853	4753	1067	824	6644	2947	9750	703	2146	1184	833	4866	1083	752	6701	3049	11026	702	2285	1136	900	5023	1069	817	6909	4117	10357	757	2395	1124	943	5219	1323	891	7433	2924
6215	3	empl.	156328	0	4966	7746	10608	23320	28334	24687	76341	79987	152493	0	4576	7194	10737	22507	29156	25842	77505	74988	152059	0	4581	7611	10688	22880	31064	26395	80339	71720	169195	0	4885	7383	11251	23519	31745	27791	83055	86140	181314	0	5203	7333	11583	24119	33318	31924	89361	91953
6215	3	ann. pay.	5649627	68895	244879	376483	497305	1187562	1215071	879336	3281969	2367658	5982830	55728	247914	360727	524695	1189064	1334154	903967	3427185	2555645	6568039	67655	251144	383105	561682	1263586	1473672	1033587	3770845	2797194	7515374	62373	274363	385833	619730	1342299	1626079	1167467	4135845	3379529	8247536	72768	307837	415018	674937	1470560	1771574	1410523	4652657	3594879
6215	3	rec.																																									25546332	268498	944587	1215996	1973859	4402940	4779795	3960864	13143599	12402733
6216	3	firms	12310	1176	2472	1229	1582	6459	3861	1300	11620	690	11234	1215	2442	1176	1367	6200	3184	1170	10554	680	11022	1200	2494	1105	1217	6016	3153	1159	10328	694	11117	1247	2496	1135	1251	6129	3113	1188	10430	687	12791	1745	3166	1237	1368	7516	3274	1294	12084	707
6216	3	estab.	19439	1176	2474	1231	1593	6474	4296	2690	13460	5979	17451	1228	2448	1182	1409	6267	3575	2419	12261	5190	16092	1214	2500	1108	1246	6068	3466	2276	11810	4282	16284	1253	2498	1138	1285	6174	3403	2244	11821	4463	18298	1756	3166	1249	1376	7547	3722	2522	13791	4507
6216	3	empl.	901525	0	5129	8325	22393	35847	170632	215498	421977	479548	796814	0	5044	7906	19163	32113	142701	193600	368414	428400	786607	0	5109	7322	17273	29704	145267	194455	369426	417181	774381	0	5090	7524	17726	30340	144343	197408	372091	402290	804233	0	6406	8339	19284	34029	149958	215856	399843	404390
6216	3	ann. pay.	15245666	157698	119640	164224	416113	857675	2707579	3380185	6945439	8300227	14034345	131532	119647	165820	387786	804785	2359607	3153889	6318281	7716064	14245234	100716	122785	164763	355266	743530	2561810	3243588	6548928	7696306	14941576	94809	137398	172846	389724	794777	2729373	3481457	7005607	7935969	16211222	118287	151203	193041	425485	888016	3049788	3997712	7935516	8275706
6216	3	rec.																																									34312578	289651	484024	556902	1060856	2391433	6328669	7435563	16155665	18156913
6219	3	firms	4680	494	1359	611	744	3208	1050	263	4521	159	4592	444	1338	629	709	3120	1061	252	4433	159	4697	470	1314	672	698	3154	1126	265	4545	152	4827	468	1379	675	740	3262	1159	257	4678	149	5444	582	1731	697	763	3773	1217	291	5281	163
6219	3	estab.	6746	494	1363	613	764	3234	1374	783	5391	1355	6646	444	1344	630	725	3143	1367	811	5321	1325	6779	470	1318	680	706	3174	1433	776	5383	1396	7207	472	1383	679	760	3294	1426	817	5537	1670	8116	591	1731	702	785	3809	1552	992	6353	1763
6219	3	empl.	177097	0	2883	4117	10402	17402	41955	43358	102715	74382	175628	0	2791	4234	9941	16966	42941	44324	104231	71397	180732	0	2802	4506	9755	17063	45671	46848	109582	71150	180284	0	2948	4521	10371	17840	47158	43470	108468	71816	198106	0	3656	4708	10587	18951	48597	48402	115950	82156
6219	3	ann. pay.	4253990	23720	70098	80893	180443	355154	828662	1165681	2349497	1904493	4309399	21184	68497	88885	180038	358604	902725	1238613	2499942	1809457	4589159	31762	68950	97326	182622	380660	986363	1320327	2687350	1901809	5241877	31468	79770	102932	218895	433065	1051908	1323822	2808795	2433082	5961028	41343	103482	116588	216897	478310	1116948	1476549	3071807	2889221
6219	3	rec.																																									17990798	139177	399132	499393	631146	1668848	3016905	4314203	8999956	8990842
6221	3	firms	3677	69	36	18	13	136	384	1439	1959	1718	3623	67	46	29	20	162	381	1393	1936	1687	3637	72	83	33	24	212	380	1389	1981	1656	3626	81	103	44	30	258	387	1338	1983	1643	3581	90	105	52	43	290	388	1289	1967	1614
6221	3	estab.	5648	74	36	18	13	141	392	1453	1986	3662	5621	69	46	29	20	164	389	1415	1968	3653	5756	72	85	33	24	214	391	1412	2017	3739	5765	81	105	44	30	260	388	1372	2020	3745	5971	90	105	57	51	303	399	1367	2069	3902
6221	3	empl.	4610069	0	67	107	182	356	26621	344985	371962	4238107	4599643	0	95	167	277	539	26138	337811	364488	4235155	4623686	0	166	218	332	716	25765	337403	363884	4259802	4680588	0	209	307	428	944	26027	321583	348554	4332034	4713450	0	204	349	577	1130	25092	311346	337568	4375882
6221	3	ann. pay.	147661362	428059	3602	7095	5594	444350	590741	8818977	9854068	137807294	150207196	111094	3337	11440	13561	139432	618368	8778275	9536075	140671121	156596031	368189	6914	12736	13439	401278	627752	9114598	10143628	146452403	166379184	103648	11097	19007	17169	150921	668447	9135537	9954905	156424279	179673489	106980	13220	25329	56744	202273	693192	9425929	10321394	169352095
6221	3	rec.																																									468007640	525446	268810	107783	213717	1115756	2131118	23737230	26984104	441023536
6222	3	firms	538	12	12	3	5	32	40	213	285	253	535	17	17	5	10	49	35	194	278	257	559	24	19	10	13	66	33	202	301	258	579	22	27	14	17	80	35	206	321	258	609	32	46	17	19	114	33	219	366	243
6222	3	estab.	848	12	13	3	5	33	44	228	305	543	838	17	17	6	10	50	36	209	295	543	832	28	19	10	13	70	34	236	340	492	758	22	27	14	17	80	36	229	345	413	797	32	46	17	19	114	40	250	404	393
6222	3	empl.	247775	         [a]	35	         [b]	         [b]	122	2467	52630	55219	192556	244652	0	36	39	135	210	2316	49559	52085	192567	240431	0	38	72	165	275	1997	51729	54001	186430	240512	0	51	98	215	364	1837	53489	55690	184822	235942	0	81	114	254	449	1815	58257	60521	175421
6222	3	ann. pay.	8131790	         (D)	4973	         (D)	         (D)	16194	61453	1690423	1768070	6363720	7956625	2274	1571	1897	4256	9998	57254	1618322	1685574	6271051	7975184	11990	1266	2782	3715	19753	55212	1736206	1811171	6164013	8332977	7079	1555	3275	7226	19135	57565	1870290	1946990	6385987	8787338	6557	3233	3260	8502	21552	57488	2176144	2255184	6532154
6222	3	rec.																																									15576265	25368	14347	10984	18664	69363	116463	3872251	4058077	11518188
6223	3	firms	306	28	12	3	3	46	40	77	163	143	331	41	21	4	15	81	30	74	185	146	352	32	28	12	15	87	35	78	200	152	404	44	48	22	13	127	52	69	248	156	548	88	74	42	30	234	69	88	391	157
6223	3	estab.	468	28	12	3	3	46	41	92	179	289	510	41	21	4	15	81	34	86	201	309	499	32	28	12	19	91	35	92	218	281	615	44	48	22	13	127	52	78	257	358	801	88	74	42	30	234	74	108	416	385
6223	3	empl.	153493	         [a]	24	         [b]	         [b]	82	2587	20710	23379	130114	156236	0	45	25	191	261	1953	19730	21944	134292	150524	0	69	75	193	337	2192	19741	22270	128254	163905	0	101	149	176	426	2933	16891	20250	143655	172192	0	148	258	389	795	3336	19898	24029	148163
6223	3	ann. pay.	5075960	         (D)	1051	         (D)	         (D)	45998	62521	616419	724938	4351022	5276779	6908	1877	1042	13643	23470	53148	592239	668857	4607922	5479550	22548	3520	1752	6050	33870	58602	640072	732544	4747006	6190546	9691	4942	4319	5875	24827	87177	530327	642331	5548215	6636532	12702	6711	10136	12636	42185	103751	651096	797032	5839500
6223	3	rec.																																									15561991	45740	22198	36847	39594	144379	261862	1503635	1909876	13652115
6231	3	firms	8383	518	554	238	274	1584	2928	3178	7690	693	8614	669	712	293	284	1958	2870	3112	7940	674	8631	601	792	357	330	2080	2842	3022	7944	687	8787	628	819	356	366	2169	2869	3031	8069	718	8672	661	717	288	347	2013	2769	3138	7920	752
6231	3	estab.	16065	520	554	239	284	1597	3034	3927	8558	7507	16561	680	713	296	306	1995	2982	3859	8836	7725	16891	661	795	361	339	2156	2966	3719	8841	8050	17046	644	821	367	376	2208	2964	3717	8889	8157	16779	668	717	294	359	2038	2890	3928	8856	7923
6231	3	empl.	1557105	0	1164	1558	3798	6520	183579	533760	723859	833246	1558806	0	1457	1936	3856	7249	179223	530563	717035	841771	1533714	0	1606	2402	4518	8526	177249	520215	705990	827724	1559457	0	1684	2403	4968	9055	178335	519629	707019	852438	1604222	0	1554	1958	4816	8328	172553	538795	719676	884546
6231	3	ann. pay.	28522345	152516	29057	30168	71454	283195	2884662	9899652	13067509	15454836	29672312	185065	39005	47569	76400	348039	2934312	10221328	13503679	16168633	30691284	202181	37221	47197	80688	367287	3099999	10515825	13983111	16708173	33343153	247981	43612	50905	92235	434733	3310169	11097758	14842660	18500493	35808394	316941	42538	40823	92814	493116	3319411	11958631	15771158	20037236
6231	3	rec.																																									74576571	784549	98870	87724	268883	1240026	6761935	24261876	32263837	42312734
6232	3	firms	7816	516	1679	948	1048	4191	1918	1377	7486	330	7636	335	1669	945	1028	3977	1927	1412	7316	320	7541	376	1573	927	975	3851	1902	1432	7185	356	7528	346	1580	931	971	3828	1885	1453	7166	362	7818	394	1733	903	1000	4030	1903	1471	7404	414
6232	3	estab.	20695	532	1685	970	1078	4265	3802	8533	16600	4095	21122	365	1675	958	1062	4060	3786	8986	16832	4290	21727	410	1578	941	1013	3942	3641	8933	16516	5211	23037	370	1584	951	1014	3919	3531	9406	16856	6181	25737	398	1733	917	1063	4111	4006	10277	18394	7343
6232	3	empl.	381793	0	3717	6395	14379	24491	78190	162231	264912	116881	382839	0	3703	6311	14216	24230	80231	165544	270005	112834	396354	0	3557	6264	13429	23250	78696	169580	271526	124828	407354	0	3619	6282	13261	23162	78442	173905	275509	131845	440888	0	3972	6114	13733	23819	77521	180361	281701	159187
6232	3	ann. pay.	6467258	37761	51786	90875	214663	395085	1302434	2791073	4488592	1978666	6797267	21785	59092	92132	216196	389205	1393125	3008152	4790482	2006785	7369341	36625	59118	98184	214974	408901	1419836	3196380	5025117	2344224	7929653	20652	59726	103060	221371	404809	1462416	3446060	5313285	2616368	8932649	29807	62994	104412	234856	432069	1511416	3608916	5552401	3380248
6232	3	rec.																																									17915586	85946	214777	267263	543433	1111419	3079899	6976136	11167454	6748132
6233	3	firms	13837	1740	4222	2097	1825	9884	2449	1117	13450	387	13684	1218	4369	2182	1808	9577	2584	1109	13270	414	13693	1293	4225	2058	1884	9460	2665	1130	13255	438	13936	1230	4254	2058	1904	9446	2860	1185	13491	445	13995	1279	4150	2007	1871	9307	2995	1218	13520	475
6233	3	estab.	16791	1749	4225	2103	1869	9946	2742	1973	14661	2130	17674	1221	4377	2191	1849	9638	2876	2078	14592	3082	18076	1315	4235	2064	1926	9540	2939	2206	14685	3391	18535	1242	4260	2082	1949	9533	3134	2265	14932	3603	18764	1283	4156	2022	1912	9373	3320	2288	14981	3783
6233	3	empl.	434716	0	9228	13988	24941	48157	97181	151894	297232	137484	479349	0	9429	14621	24610	48660	103465	154730	306855	172494	510957	0	9184	13752	25706	48642	107764	161403	317809	193148	546928	0	9215	13823	26058	49096	117095	170910	337101	209827	565955	0	9245	13416	25759	48420	122562	179137	350119	215836
6233	3	ann. pay.	6904700	83142	112487	160034	291368	647031	1309554	2606737	4563322	2341378	8008194	107762	122513	176591	306672	713538	1465947	2753199	4932684	3075510	8842981	125429	131362	178740	332235	767766	1611538	2987140	5366444	3476537	9831877	96545	137214	191956	373175	798890	1838743	3324700	5962333	3869544	10502720	138910	139422	184493	355882	818707	1947264	3592643	6358614	4144106
6233	3	rec.																																									26130513	386989	555473	539024	913327	2394813	4806492	8236546	15437851	10692662
6239	3	firms	3684	293	743	447	533	2016	948	570	3534	150	3601	181	730	447	564	1922	933	589	3444	157	3591	161	706	457	535	1859	967	589	3415	176	3684	211	708	466	550	1935	975	591	3501	183	3587	210	684	416	527	1837	937	613	3387	200
6239	3	estab.	6191	293	746	449	550	2038	1469	1767	5274	917	6200	184	733	448	581	1946	1385	1891	5222	978	6311	161	710	458	552	1881	1454	1870	5205	1106	6470	211	713	469	575	1968	1398	1924	5290	1180	6620	210	685	419	547	1861	1485	2023	5369	1251
6239	3	empl.	137590	0	1596	3019	7415	12030	36618	59140	107788	29802	147018	0	1617	3017	7841	12475	36634	60539	109648	37370	151094	0	1535	3053	7450	12038	37643	62084	111765	39329	157718	0	1546	3173	7777	12496	38832	65081	116409	41309	159600	0	1481	2867	7359	11707	36368	66907	114982	44618
6239	3	ann. pay.	2725256	12057	22705	43874	115945	194581	662392	1248707	2105680	619576	2988695	7806	25933	44951	129131	207821	702983	1286162	2196966	791729	3255674	10640	24614	50238	126468	211960	744152	1402253	2358365	897309	3560413	9845	26560	54743	141963	233111	794214	1547969	2575294	985119	3706728	11002	28177	51151	144545	234875	768288	1620154	2623317	1083411
6239	3	rec.																																									7645076	28260	89949	119423	313540	551172	1589202	3327861	5468235	2176841
6241	3	firms	31018	2188	12579	4738	3728	23233	5024	2330	30587	431	30720	1817	12146	4871	3783	22617	5155	2481	30253	467	30875	1948	11711	4880	3913	22452	5344	2570	30366	509	32301	2195	12082	5105	4098	23480	5611	2672	31763	538	34966	2855	13431	5336	4193	25815	5803	2755	34373	593
6241	3	estab.	43297	2197	12598	4767	3959	23521	8187	8344	40052	3245	43473	1829	12164	4908	3991	22892	8154	8779	39825	3648	44202	1969	11732	4924	4073	22698	8238	9060	39996	4206	46300	2204	12097	5178	4273	23752	8476	9397	41625	4675	50695	2860	13444	5375	4369	26048	9303	10170	45521	5174
6241	3	empl.	704251	0	25635	31268	50392	107295	193689	272120	573104	131147	737839	0	24899	32331	51417	108647	199919	287124	595690	142149	790599	0	24389	32515	53106	110010	209730	307195	626935	163664	839902	0	24900	33952	55706	114558	222698	328857	666113	173789	883958	0	27939	35529	56882	120350	226787	342821	689958	194000
6241	3	ann. pay.	12203888	75219	460435	562407	904910	2002971	3454931	4602774	10060676	2143212	13418337	60167	468908	600506	955453	2085034	3722398	5121959	10929391	2488946	14862084	73475	474660	645489	1014344	2207968	4036719	5682494	11927181	2934903	16630014	71783	520045	706353	1123095	2421276	4468019	6461328	13350623	3279391	17846348	98190	573919	759989	1185350	2617448	4719469	6818890	14155807	3690541
6241	3	rec.																																									44933294	336786	1823216	2125955	3050046	7336003	11451024	18232064	37019091	7914203
6242	3	firms	8318	367	3397	1513	1168	6445	1313	457	8215	103	8261	229	3323	1526	1201	6279	1414	463	8156	105	8305	235	3234	1533	1233	6235	1468	487	8190	115	8493	270	3206	1582	1258	6316	1546	501	8363	130	8876	305	3368	1546	1342	6561	1628	538	8727	149
6242	3	estab.	10213	368	3402	1523	1198	6491	2047	1287	9825	388	10189	231	3323	1536	1231	6321	2186	1265	9772	417	10263	243	3234	1539	1269	6285	2233	1301	9819	444	10489	270	3209	1588	1287	6354	2306	1346	10006	483	11445	307	3369	1554	1395	6625	2726	1592	10943	502
6242	3	empl.	108976	0	7259	10071	15825	33155	43189	23729	100073	8903	114334	0	7181	10182	16199	33562	47939	24358	105859	8475	121175	0	7076	10300	16698	34074	50435	26983	111492	9683	128383	0	7049	10609	17145	34803	54114	27618	116535	11848	133802	0	7430	10313	17902	35645	56018	30490	122153	11649
6242	3	ann. pay.	1979780	8870	123181	173746	279695	585492	796712	445937	1828141	151639	2192809	7206	125591	187758	292377	612932	930874	473197	2017003	175806	2436190	11114	127212	200439	315550	654315	1024677	553448	2232440	203750	2740522	9114	137988	213043	340666	700811	1166528	601701	2469040	271482	2991913	18532	146058	214975	376677	756242	1263617	672190	2692049	299864
6242	3	rec.																																									10879645	79025	706299	866506	1257270	2909100	4953103	1887518	9749721	1129924
6243	3	firms	5446	293	1348	664	586	2891	1290	1054	5235	211	5397	238	1289	629	594	2750	1315	1107	5172	225	5357	250	1233	604	607	2694	1316	1091	5101	256	5324	273	1203	614	587	2677	1259	1135	5071	253	5240	275	1205	578	535	2593	1266	1113	4972	268
6243	3	estab.	8106	295	1359	692	626	2972	1730	2323	7025	1081	8213	243	1304	639	638	2824	1788	2356	6968	1245	8288	261	1239	623	651	2774	1758	2331	6863	1425	8324	273	1212	630	631	2746	1666	2382	6794	1530	8451	276	1210	586	576	2648	1835	2434	6917	1534
6243	3	empl.	296154	0	2790	4377	7983	15150	54543	128050	197743	98411	313822	0	2741	4191	8158	15090	56380	133995	205465	108357	324336	0	2601	4030	8212	14843	58803	135032	208678	115658	326455	0	2528	4080	7980	14588	54349	143683	212620	113835	319609	0	2588	3829	7325	13742	54426	135856	204024	115585
6243	3	ann. pay.	3982781	12735	70369	110286	182268	375658	933670	1572177	2881505	1101276	4470954	14301	71630	107074	188811	381816	997353	1748318	3127487	1343467	4846777	16310	72911	103735	188816	381772	1037352	1831930	3251054	1595723	5184930	9981	74680	110316	192716	387693	1044427	2033160	3465280	1719650	5329584	13487	205328	108000	195241	522056	1056937	2064196	3643189	1686395
6243	3	rec.																																									11808900	40681	517886	270397	516338	1345302	2628956	4308307	8282565	3526335
6244	3	firms	51656	5076	18736	10249	9676	43737	6849	880	51466	190	51598	5069	18464	10029	9898	43460	7003	935	51398	200	53686	6147	18600	10091	10238	45076	7428	975	53479	207	54349	5639	19060	10263	10462	45424	7684	1018	54126	223	55828	6210	19261	10662	10559	46692	7848	1045	55585	243
6244	3	estab.	62963	5086	18745	10285	9958	44074	9474	4682	58230	4733	63719	5106	18551	10071	10180	43908	9464	4986	58358	5361	66300	6164	18632	10150	10487	45433	9781	5200	60414	5886	67117	5680	19097	10319	10724	45820	9921	5432	61173	5944	69733	6217	19266	10688	10748	46919	10427	6010	63356	6377
6244	3	empl.	644111	0	39672	69473	131554	240699	224966	85871	551536	92575	664343	0	39064	68169	135350	242583	231348	92495	566426	97917	699589	0	38952	68716	139961	247629	245549	101860	595038	104551	746893	0	40071	69603	142685	252359	254589	108005	614953	131940	753374	0	41707	71997	144184	257888	257775	113924	629587	123787
6244	3	ann. pay.	7513283	103804	371240	681958	1395397	2552399	2664586	1244299	6461284	1051999	8245850	119773	402532	701118	1502337	2725760	2866395	1401098	6993253	1252597	9223193	169551	419773	741940	1604859	2936123	3156050	1627534	7719707	1503486	10148513	137335	445587	785665	1715268	3083855	3408057	1852450	8344362	1804151	10824999	146894	449369	842426	1786472	3225161	3573310	2019798	8818269	2006730
6244	3	rec.																																									22557876	406684	1293991	1816334	3431890	6948899	6723125	4565696	18237720	4320156
7111	3	firms	9655	1967	4463	1292	836	8558	812	252	9622	33	9252	1590	4418	1329	786	8123	844	249	9216	36	9165	1620	4218	1302	842	7982	885	264	9131	34	9236	1615	4323	1324	794	8056	866	279	9201	35	9240	1679	4417	1201	801	8098	844	262	9204	36
7111	3	estab.	9789	1967	4464	1295	845	8571	843	291	9705	84	9342	1591	4419	1332	794	8136	876	276	9288	54	9253	1621	4218	1305	846	7990	922	285	9197	56	9327	1618	4324	1326	799	8067	902	306	9275	52	9366	1680	4418	1207	806	8111	892	301	9304	62
7111	3	empl.	118145	0	8760	8453	11158	28371	34458	43448	106277	11868	121970	0	8729	8725	10656	28110	35758	42151	106019	15951	126374	0	8394	8490	11419	28303	37559	45566	111428	14946	127806	0	8535	8702	10589	27826	36204	48453	112483	15323	132531	0	8763	7850	10836	27449	37119	45764	110332	22199
7111	3	ann. pay.	2929369	208322	306715	196717	302280	1014034	664127	904829	2582990	346379	3052758	153723	339866	216091	300875	1010555	713354	942029	2665938	386820	3251253	157136	341829	228878	319519	1047362	768818	1011384	2827564	423689	3343588	181877	404619	252989	303655	1143140	712402	1072236	2927778	415810	3331112	164631	374620	229456	276665	1045372	750747	1027161	2823280	507832
7111	3	rec.																																									10830898	571996	1419128	821060	1057403	3869587	2408497	2836988	9115072	1715826
7112	3	firms	4177	962	1738	520	355	3575	375	162	4112	65	4201	932	1773	512	379	3596	377	169	4142	59	4292	925	1794	562	390	3671	402	154	4227	65	4422	916	1899	583	383	3781	408	174	4363	59	4250	941	1810	538	345	3634	385	168	4187	63
7112	3	estab.	4322	962	1746	526	361	3595	398	189	4182	140	4372	943	1784	523	380	3630	393	209	4232	140	4461	925	1800	573	395	3693	421	201	4315	146	4584	916	1901	592	386	3795	426	213	4434	150	4418	941	1811	548	348	3648	412	203	4263	155
7112	3	empl.	91075	0	3424	3429	4699	11552	14032	30851	56435	34640	91043	0	3457	3386	5150	11993	14271	32833	59097	31946	100196	0	3505	3657	5311	12473	15936	31062	59471	40725	104384	0	3675	3904	5139	12718	15958	35324	64000	40384	101504	0	3496	3550	4666	11712	15247	32251	59210	42294
7112	3	ann. pay.	7059658	80955	148737	81321	130771	441784	989599	4102504	5533887	1525771	8159178	71300	139004	104627	150436	465367	1161976	4828502	6455845	1703333	9214948	77489	140619	106375	147590	472073	1342912	4777821	6592806	2622142	9954591	53767	152350	128499	144573	479189	1058821	5884594	7422604	2531987	10515677	63253	149384	102956	180039	495632	766471	6015557	7277660	3238017
7112	3	rec.																																									21543250	283647	643735	425036	592108	1944526	2106360	9668719	13719605	7823645
7113	3	firms	3983	919	1847	502	311	3579	294	72	3945	38	4087	943	1875	507	312	3637	315	93	4045	42	4229	957	1945	544	307	3753	329	104	4186	43	4313	962	1964	565	338	3829	334	106	4269	44	4802	1009	2318	611	343	4281	368	101	4750	52
7113	3	estab.	4103	921	1848	506	315	3590	312	99	4001	102	4224	944	1878	510	315	3647	335	119	4101	123	4394	958	1949	545	310	3762	347	125	4234	160	4456	962	1965	567	342	3836	352	142	4330	126	5008	1011	2318	614	347	4290	401	150	4841	167
7113	3	empl.	57891	0	3576	3285	4204	11065	12104	12973	36142	21749	65413	0	3734	3358	4176	11268	13027	16083	40378	25035	71846	0	3873	3594	4130	11597	13074	18530	43201	28645	73928	0	3844	3691	4535	12070	13767	19693	45530	28398	80006	0	4471	3975	4473	12919	14328	17267	44514	35492
7113	3	ann. pay.	1365516	55288	170599	96381	135315	457583	282420	253554	993557	371959	1672787	60441	211148	94840	117932	484361	341415	327689	1153465	519322	1917235	77941	235787	118280	113180	545188	318742	449874	1313804	603431	2009875	86485	228077	116306	136810	567678	340499	480949	1389126	620749	2208771	75892	228517	131926	142028	578363	369531	475222	1423116	785655
7113	3	rec.																																									10518343	474101	1110292	776776	626364	2987533	1632451	2005238	6625222	3893121
7114	3	firms	2729	509	1586	394	134	2623	89	8	2720	9	2784	578	1534	413	145	2670	94	9	2773	11	2992	613	1674	418	167	2872	98	12	2982	10	3048	612	1755	411	151	2929	97	13	3039	9	3476	711	2078	414	146	3349	100	17	3466	10
7114	3	estab.	2788	509	1587	397	145	2638	109	10	2757	31	2837	578	1535	416	156	2685	112	11	2808	29	3048	613	1675	422	177	2887	117	15	3019	29	3107	612	1757	417	158	2944	111	24	3079	28	3551	711	2080	418	158	3367	125	30	3522	29
7114	3	empl.	14253	0	3135	2494	1712	7341	3513	1503	12357	1896	15069	0	3026	2597	1900	7523	3629	1823	12975	2094	15979	0	3267	2675	2158	8100	3751	1896	13747	2232	16220	0	3410	2628	1903	7941	3953	2200	14094	2126	17052	0	3902	2619	1888	8409	3705	2317	14431	2621
7114	3	ann. pay.	954736	44996	170433	130063	84468	429960	196404	112000	738364	216372	1037071	69085	164942	149112	88694	471833	200514	139973	812320	224751	1117482	63353	168734	142897	112754	487738	218160	152828	858726	258756	1139323	74285	188508	139256	92512	494561	221167	168630	884358	254965	1281125	71990	204887	167792	127945	572614	272742	109572	954928	326197
7114	3	rec.																																									3521784	225594	832561	539047	336637	1933839	607576	237420	2778835	742949
7115	3	firms	11746	3701	6729	756	331	11517	197	23	11737	9	12108	3929	6748	758	359	11794	268	33	12095	13	12682	4241	6836	857	414	12348	290	33	12671	11	13344	4464	7298	891	386	13039	266	31	13336	8	15826	5794	8449	904	427	15574	211	29	15814	12
7115	3	estab.	11768	3701	6734	756	334	11525	201	27	11753	15	12131	3931	6751	758	360	11800	276	38	12114	17	12703	4243	6838	857	418	12356	296	35	12687	16	13366	4464	7300	891	391	13046	273	39	13358	8	15848	5795	8451	907	431	15584	217	34	15835	13
7115	3	empl.	30718	0	10616	4858	4341	19815	7175	2450	29440	1278	36886	0	10805	4919	4696	20420	9614	4133	34167	2719	37524	0	11066	5533	5431	22030	10793	3980	36803	721	39407	0	11790	5778	5049	22617	9897	4520	37034	2373	39236	0	13725	5766	5568	25059	7734	5239	38032	1204
7115	3	ann. pay.	3494555	688162	1865872	373980	164492	3092506	214501	164420	3471427	23128	3458716	738170	1837980	287516	168896	3032562	244919	91391	3368872	89844	3589333	788950	1736130	390273	239532	3154885	332673	75429	3562987	26346	3946090	880156	2085968	320184	225202	3511510	308487	91386	3911383	34707	4317954	1065728	2249299	389399	224889	3929315	226095	135836	4291246	26708
7115	3	rec.																																									9490621	2498201	4533098	964353	631162	8626814	557664	220944	9405422	85199
7121	3	firms	5284	493	2528	834	570	4425	641	189	5255	29	5309	417	2535	846	593	4391	683	196	5270	39	5355	456	2485	844	596	4381	714	218	5313	42	5604	522	2543	915	635	4615	734	213	5562	42	6135	685	2819	964	648	5116	757	219	6092	43
7121	3	estab.	5682	493	2531	842	599	4465	738	366	5569	113	5714	417	2537	853	622	4429	781	353	5563	151	5777	456	2487	850	623	4416	813	382	5611	166	6032	522	2546	920	661	4649	833	377	5859	173	6633	685	2820	972	686	5163	894	413	6470	163
7121	3	empl.	96512	0	5134	5436	7782	18352	26312	33721	78385	18127	104607	0	5163	5560	8027	18750	28361	35978	83089	21518	110380	0	5124	5553	8022	18699	28534	40029	87262	23118	113545	0	5226	5969	8579	19774	30421	38761	88956	24589	116123	0	5868	6286	8672	20826	31720	39903	92449	23674
7121	3	ann. pay.	2086328	8032	85230	91763	134758	319783	528668	774629	1623080	463248	2321151	7204	88512	96562	144149	336427	574027	837470	1747924	573227	2549317	11233	90923	102448	151166	355770	599850	977589	1933209	616108	2781408	17818	99402	112829	169681	399730	676137	994040	2069907	711501	2900281	13802	110415	128426	174948	427591	709254	1060731	2197576	702705
7121	3	rec.																																									8655007	71326	496526	468698	599554	1636104	2105460	2952060	6693624	1961383
7131	3	firms	2402	555	704	405	292	1956	360	53	2369	33	2129	487	653	329	289	1758	296	45	2099	30	2063	456	637	324	268	1685	301	47	2033	30	2027	459	667	281	269	1676	277	45	1998	29	2254	576	718	319	259	1872	306	49	2227	27
7131	3	estab.	3512	555	706	405	305	1971	411	121	2503	1009	3135	487	653	331	294	1765	350	113	2228	907	2879	456	637	328	275	1696	378	89	2163	716	2783	459	668	290	280	1697	319	86	2102	681	2992	576	720	323	264	1883	389	86	2358	634
7131	3	empl.	142603	0	1484	2735	3827	8046	13089	7018	28153	114450	127422	0	1449	2168	3923	7540	11135	6726	25401	102021	124009	0	1412	2170	3741	7323	11297	6450	25070	98939	119301	0	1448	1886	3597	6931	10962	6916	24809	94492	116544	0	1603	2106	3500	7209	11898	7289	26396	90148
7131	3	ann. pay.	2156551	22051	37718	46317	62397	168483	182647	107659	458789	1697762	2266308	28898	36810	40080	61232	167020	193053	114879	474952	1791356	2277054	22767	38157	37721	58995	157640	183646	118203	459489	1817565	2313996	19056	40834	34412	63653	157955	185666	126541	470162	1843834	2149800	31882	38761	39332	61293	171268	199767	129318	500353	1649447
7131	3	rec.																																									9304040	128661	168073	164846	234757	696337	644822	385001	1726160	7577880
7132	3	firms	2172	270	576	416	328	1590	330	159	2079	93	1875	210	476	313	310	1309	301	170	1780	95	1815	186	475	287	297	1245	294	171	1710	105	1796	205	469	268	287	1229	287	173	1689	107	1824	190	459	293	312	1254	280	179	1713	111
7132	3	estab.	2526	270	578	424	330	1602	375	325	2302	224	2238	212	478	314	325	1329	344	324	1997	241	2191	186	479	294	307	1266	333	319	1918	273	2175	205	474	270	302	1251	321	318	1890	285	2224	192	461	294	318	1265	343	310	1918	306
7132	3	empl.	166921	0	1262	2815	4339	8416	12693	34658	55767	111154	178684	0	1023	2120	4140	7283	12147	36282	55712	122972	202600	0	1008	1927	3991	6926	12050	37819	56795	145805	215636	0	998	1779	3741	6518	11549	38198	56265	159371	221878	0	1013	1945	4209	7167	11355	38932	57454	164424
7132	3	ann. pay.	3473179	14627	29326	46469	49903	140325	194735	660425	995485	2477694	4098543	25833	23382	33848	57569	140632	241520	747603	1129755	2968788	4756696	22563	21113	44606	51066	139348	190030	858112	1187490	3569206	5399626	34616	23752	27313	53072	138753	217735	910528	1267016	4132610	5504245	37292	28973	26528	55653	148446	208859	909106	1266411	4237834
7132	3	rec.																																									26908414	198143	193196	175547	380843	947729	1217814	4898004	7063547	19844867
7139	3	firms	54328	10316	18094	8557	7152	44119	8765	1148	54032	296	54466	9766	18492	8724	7213	44195	8771	1195	54161	305	54644	9768	18142	8630	7489	44029	9026	1274	54329	315	55499	9984	18960	8595	7380	44919	8965	1292	55176	323	55409	11434	17450	8596	7293	44773	9016	1302	55091	318
7139	3	estab.	58380	10335	18105	8588	7242	44270	9459	1916	55645	2735	58793	9781	18509	8753	7293	44336	9452	1866	55654	3139	59110	9783	18154	8667	7574	44178	9657	2076	55911	3199	60131	9996	18978	8639	7460	45073	9558	2107	56738	3393	60335	11437	17469	8628	7378	44912	9735	2188	56835	3500
7139	3	empl.	865718	0	38624	57278	96680	192582	348090	164576	705248	160470	898936	0	39229	58507	98228	195964	351525	169079	716568	182368	952589	0	38524	57649	101519	197692	363815	187821	749328	203261	970135	0	40226	57392	99994	197612	360930	191365	749907	220228	976117	0	38210	57104	99411	194725	363856	191726	750307	225810
7139	3	ann. pay.	12526902	322944	757227	872419	1302634	3255224	4887038	2223687	10365949	2160953	13349343	348053	829339	926054	1381925	3485371	5123718	2390099	10999188	2350155	14530588	312931	811975	923988	1450040	3498934	5481580	2730505	11711019	2819569	15244367	334045	906304	971948	1529756	3742053	5625080	2904765	12271898	2972469	15515412	412399	841445	982542	1529213	3765599	5856102	2906777	12528478	2986934
7139	3	rec.																																									46781912	1691400	3623782	3697930	5242317	14255429	15743214	7275822	37274465	9507447
7211	3	firms	39425	5713	12247	5829	6576	30365	7066	1498	38929	496	39360	5396	12368	5719	6865	30348	7086	1437	38871	489	39605	5427	12225	5822	6895	30369	7372	1393	39134	471	40232	5283	12616	5891	7182	30972	7437	1356	39765	467	41551	5937	12579	6476	7414	32406	7400	1301	41107	444
7211	3	estab.	48508	5717	12270	5876	6715	30578	7870	2602	41050	7458	48962	5407	12393	5762	7031	30593	7843	2517	40953	8009	49736	5437	12264	5869	7055	30625	8090	2564	41279	8457	50206	5302	12650	5950	7353	31255	8135	2503	41893	8313	51531	5938	12592	6515	7578	32623	8223	2706	43552	7979
7211	3	empl.	1655906	0	25536	39336	90489	155361	271904	260549	687814	968092	1685482	0	25916	38489	95193	159598	271892	249399	680889	1004593	1714070	0	25723	39091	95522	160336	279282	245312	684930	1029140	1698323	0	26677	39806	99499	165982	280178	239267	685427	1012896	1642067	0	27316	43418	103290	174024	278392	227193	679609	962458
7211	3	ann. pay.	29108620	409033	343526	445416	1000620	2198595	3386417	4002347	9587359	19521261	31220395	269779	385794	459917	1101692	2217182	3529257	4150206	9896645	21323750	33660955	507884	379279	485314	1130608	2503085	3760599	4202918	10466602	23194353	32986127	280514	417668	507803	1227644	2433629	3860810	4091521	10385960	22600167	32968367	303197	431911	571444	1296904	2603456	3994082	4117933	10715471	22252896
7211	3	rec.																																									117414326	1582531	2556881	2668114	5415832	12223358	14518784	12712700	39454842	77959484
7212	3	firms	7013	1955	2946	973	527	6401	441	111	6953	60	6720	1764	2868	956	512	6100	458	103	6661	59	6567	1645	2803	962	519	5929	466	111	6506	61	6582	1607	2850	936	559	5952	449	116	6517	65	6779	1816	2795	982	520	6113	479	120	6712	67
7212	3	estab.	7430	1955	2952	979	560	6446	632	164	7242	188	7123	1765	2873	965	538	6141	635	148	6924	199	6975	1647	2807	971	547	5972	626	175	6773	202	7000	1607	2853	943	591	5994	617	175	6786	214	7280	1820	2800	991	549	6160	691	212	7063	217
7212	3	empl.	36130	0	5959	6225	6155	18339	9799	2937	31075	5055	37117	0	5862	6101	6131	18094	10272	3035	31401	5716	38107	0	5728	6184	6137	18049	10686	3560	32295	5812	38819	0	5808	6019	6697	18524	10516	4037	33077	5742	39053	0	5742	6295	6317	18354	10660	4316	33330	5723
7212	3	ann. pay.	752330	47832	147286	128871	112884	436873	166621	51247	654741	97589	796483	44690	151490	133735	117561	447476	194091	49001	690568	105915	842919	43396	153990	134486	124803	456675	202953	63612	723240	119679	900974	45279	167225	137464	143253	493221	203353	77757	774331	126643	940064	54544	159726	154435	141035	509740	215640	88038	813418	126646
7212	3	rec.																																									3595827	335155	757673	649710	488605	2231143	713417	272936	3217496	378331
7213	3	firms	3314	218	2153	546	271	3188	92	26	3306	8	3125	202	2007	537	261	3007	90	22	3119	6	3079	257	1876	533	277	2943	106	20	3069	10	2926	202	1788	527	261	2778	117	18	2913	13	2897	188	1796	505	266	2755	107	21	2883	14
7213	3	estab.	3393	218	2153	554	279	3204	110	60	3374	19	3193	202	2007	544	271	3024	97	55	3176	17	3140	257	1879	538	283	2957	116	39	3112	28	2990	213	1788	536	265	2802	127	44	2973	17	2984	188	1796	519	273	2776	143	44	2963	21
7213	3	empl.	15992	0	4094	3550	3426	11070	2934	1580	15584	408	15135	0	3815	3536	3369	10720	2859	1056	14635	500	15605	0	3467	3479	3565	10511	3324	1015	14850	755	15640	0	3347	3472	3367	10186	3733	1036	14955	685	15581	0	3367	3354	3410	10131	3476	1467	15074	507
7213	3	ann. pay.	177064	3948	44437	33409	30273	112067	36036	18488	166591	10473	183524	3100	43544	35598	31637	113879	40230	17920	172029	11495	204367	6312	41632	34778	39633	122355	48595	18369	189319	15048	209104	4278	41393	36651	35219	117541	57072	16366	190979	18125	217099	3919	44487	37346	35866	121618	54649	31322	207589	9510
7213	3	rec.																																									1495454	32265	308555	173023	134465	648308	743870	69903	1462081	33373
7221	3	firms	166666	23078	38247	32211	32112	125648	37795	2632	166075	591	163897	19513	39483	32001	31842	122839	37850	2603	163292	605	165128	20969	38982	31718	31672	123341	38427	2735	164503	625	165621	21195	39348	31920	31221	123684	38549	2751	164984	637	170651	22780	38325	33562	32820	127487	39791	2721	169999	652
7221	3	estab.	193140	23141	38277	32270	32313	126001	40004	6494	172499	20641	190788	19618	39514	32080	32091	123303	39917	6330	169550	21238	192342	21016	39024	31803	31883	123726	40466	6420	170612	21730	193262	21273	39386	32007	31470	124136	40416	6468	171020	22242	198531	22836	38348	33609	32967	127760	41869	6768	176397	22134
7221	3	empl.	3703453	0	93627	218349	442205	754181	1417597	392287	2564065	1139388	3788062	0	96084	217019	438976	752079	1429557	395446	2577082	1210980	3897123	0	94969	214724	436747	746440	1461631	420141	2628212	1268911	3963258	0	95555	216347	430583	742485	1470301	428304	2641090	1322168	4000075	0	96708	226163	453209	776080	1509540	420866	2706486	1293589
7221	3	ann. pay.	40642096	1056657	993656	1982432	4152089	8184834	15566671	4625575	28377080	12265016	43410899	987862	1106118	2077143	4325589	8496712	16309627	4782489	29588828	13822071	46707000	1041402	1099160	2159323	4491721	8791606	17308393	5353782	31453781	15253219	48702432	1079364	1198095	2263900	4595562	9136921	17814415	5556674	32508010	16194422	49674450	1253863	1190538	2408255	4975572	9828228	18701273	5293807	33823308	15851142
7221	3	rec.																																									148212500	4279151	5603984	9719326	16380041	35982502	49973387	14484571	100440460	47772040
7222	3	firms	139299	19371	43596	27381	23040	113388	21536	3699	138623	676	136414	18039	42674	26449	22920	110082	21894	3735	135711	703	135981	18716	41608	26170	22481	108975	22430	3835	135240	741	139074	20189	42550	26592	22512	111843	22608	3867	138318	756	143822	21502	43624	27881	23266	116273	22945	3825	143043	779
7222	3	estab.	213643	19651	43681	27572	24090	114994	31454	21419	167867	45776	210920	18317	42796	26709	24013	111835	31130	21455	164420	46500	210895	18938	41748	26474	23464	110624	31027	21342	162993	47902	215793	20348	42660	26894	23421	113323	30586	22276	166185	49608	222816	21624	43701	28045	23966	117336	32427	23409	173172	49644
7222	3	empl.	3277834	0	101487	184074	311751	597312	803806	654651	2055769	1222065	3318549	0	99599	177525	309959	587083	820081	664423	2071587	1246962	3385478	0	97228	176212	305014	578454	845401	684662	2108517	1276961	3407334	0	99594	178494	305506	583594	846939	701826	2132359	1274975	3463127	0	103654	186223	316241	606118	857192	694252	2157562	1305565
7222	3	ann. pay.	29871228	582044	1040239	1587257	2623085	5832625	7017857	5675722	18526204	11345024	31475084	541289	1073561	1591524	2735429	5941803	7485956	6088585	19516344	11958740	33454232	534947	1083404	1663983	2786340	6068674	7902688	6509706	20481068	12973164	34789292	593812	1165298	1755943	2906282	6421335	8207415	6776371	21405121	13384171	35932754	678586	1187180	1853866	3073469	6793101	8391363	6832626	22017090	13915664
7222	3	rec.																																									133821171	2912247	6163240	7982673	11498674	28556834	28972191	25417149	82946174	50874997
7223	3	firms	12199	2743	4337	1916	1343	10339	1427	310	12076	123	13205	2890	4564	2141	1554	11149	1611	316	13076	129	14054	2922	4903	2245	1783	11853	1739	330	13922	132	14231	2816	5101	2308	1747	11972	1810	319	14101	130	13203	2774	4627	2152	1527	11080	1665	333	13078	125
7223	3	estab.	25786	2754	4351	1923	1392	10420	1737	1478	13635	12151	27413	2892	4601	2179	1605	11277	1873	1436	14586	12827	28745	2931	4920	2282	1805	11938	1976	1465	15379	13366	29345	2817	5103	2326	1807	12053	2070	1384	15507	13838	31324	2786	4630	2172	1572	11160	1925	1348	14433	16891
7223	3	empl.	457115	0	9155	12731	17965	39851	54555	45126	139532	317583	468838	0	9674	14217	21166	45057	60865	47150	153072	315766	501920	0	10483	14938	24007	49428	65340	49477	164245	337675	513762	0	10934	15399	23546	49879	68629	46126	164634	349128	541130	0	9849	14334	20606	44789	63288	48867	156944	384186
7223	3	ann. pay.	6072206	65626	124651	144714	201581	536572	671779	591129	1799480	4272726	6700510	79734	138596	166897	251646	636873	785614	646540	2069027	4631483	7367059	79132	146212	186758	286966	699068	863504	709029	2271601	5095458	7576446	73081	160585	193341	293938	720945	919833	696734	2337512	5238934	7697638	80818	151399	187320	272446	691983	860429	750072	2302484	5395154
7223	3	rec.																																									26762794	375189	828816	785156	1003046	2992207	2576496	2355722	7924425	18838369
7224	3	firms	52230	5679	27967	10693	4677	49016	3009	158	52183	47	50714	5361	26620	10637	4779	47397	3111	166	50674	40	50091	5630	25685	10407	4939	46661	3235	153	50049	42	49483	5595	24849	10491	5003	45938	3338	163	49439	44	50195	5645	24732	10987	5072	46436	3556	160	50152	43
7224	3	estab.	52665	5681	27975	10727	4763	49146	3157	236	52539	126	51177	5365	26629	10673	4866	47533	3234	263	51030	147	50578	5635	25697	10442	5015	46789	3359	219	50367	211	49973	5596	24861	10533	5077	46067	3449	299	49815	158	50683	5647	24741	11005	5133	46526	3685	244	50455	228
7224	3	empl.	320230	0	63580	68825	61524	193929	101375	19009	314313	5917	324824	0	60468	68661	63328	192457	106916	20560	319933	4891	328620	0	58634	67347	65586	191567	110292	19167	321026	7594	335165	0	56885	67757	66785	191427	114791	21435	327653	7512	347842	0	57852	70595	67306	195753	121694	20134	337581	10261
7224	3	ann. pay.	2971730	132825	575070	566907	522123	1796925	943210	178770	2918905	52825	3138070	117934	578619	587637	555538	1839728	1033232	213964	3086924	51146	3345304	133999	576598	606797	607280	1924674	1121326	216875	3262875	82429	3485547	130801	585055	624374	633021	1973251	1197418	242759	3413428	72119	3680423	151526	589042	665181	651936	2057685	1289873	230087	3577645	102778
7224	3	rec.																																									15414170	771470	3596363	3106935	2593129	10067897	4302381	691553	15061831	352339
8111	3	firms	153907	15499	87894	31965	12569	147927	5283	520	153730	177	151829	13990	86828	32089	12840	145747	5364	526	151637	192	151530	14414	85416	32313	13120	145263	5534	536	151333	197	151407	14278	85254	32187	13316	145035	5619	549	151203	204	151435	14231	86028	31472	13383	145114	5566	560	151240	195
8111	3	estab.	166901	15557	87958	32259	13479	149253	8179	2845	160277	6624	164898	14078	86927	32387	13717	147109	8189	3169	158467	6431	164116	14968	85512	32615	13931	147026	8150	3338	158514	5602	163951	14349	85383	32503	14133	146368	8088	3322	157778	6173	165049	14238	86086	31753	14478	146555	8705	3469	158729	6320
8111	3	empl.	828722	0	191699	206066	161674	559439	163891	46689	770019	58703	842606	0	189653	206835	165486	561974	166755	48631	777360	65246	855958	0	188056	208267	169259	565582	173366	52498	791446	64512	870881	0	186806	207266	171614	565686	178258	55868	799812	71069	868838	0	190804	202868	172855	566527	175079	55781	797387	71451
8111	3	ann. pay.	18375665	372675	3693401	4615974	3925593	12607643	3500908	1020341	17128892	1246773	19388016	377426	3814889	4801271	4159705	13153291	3680257	1063053	17896601	1491415	20512101	413684	3860353	4980770	4350475	13605282	4015595	1213574	18834451	1677650	21449092	395272	4012690	5131031	4562472	14101465	4261389	1285827	19648681	1800411	21952872	407031	4145220	5179167	4727615	14459033	4316672	1333137	20108842	1844030
8111	3	rec.																																									77479125	2002790	19268840	17724432	14832804	53828866	13492917	4395501	71717284	5761841
8112	3	firms	14958	1471	8437	2516	1347	13771	874	160	14805	153	14237	1244	8114	2369	1312	13039	887	163	14089	148	13424	1216	7550	2255	1244	12265	855	159	13279	145	12924	1203	7263	2168	1190	11824	817	144	12785	139	12470	1306	7150	1947	1082	11485	711	141	12337	133
8112	3	estab.	17214	1474	8456	2549	1455	13934	1285	509	15728	1486	16218	1248	8133	2405	1396	13182	1262	511	14955	1263	15344	1218	7568	2281	1327	12394	1200	552	14146	1198	14633	1214	7278	2198	1278	11968	1164	432	13564	1069	14148	1307	7155	1962	1165	11589	1047	451	13087	1061
8112	3	empl.	138354	0	17187	16426	17480	51093	29341	16551	96985	41369	142210	0	16548	15397	17138	49083	30180	18171	97434	44776	143645	0	15528	14668	16243	46439	29503	18579	94521	49124	140624	0	14837	14116	15615	44568	28311	18310	91189	49435	137794	0	14571	12596	14328	41495	24415	16995	82905	54889
8112	3	ann. pay.	4820022	57488	363576	420892	534346	1376302	1001289	628839	3006430	1813592	5238955	51729	373118	404659	536699	1366205	1080329	716571	3163105	2075850	6608267	35823	358801	399711	519173	1313508	1111053	768338	3192899	3415368	6489709	57020	363691	399895	521297	1341903	1079641	727762	3149306	3340403	6016253	56631	359221	372746	485917	1274515	951912	708557	2934984	3081269
8112	3	rec.																																									18677153	225896	1425021	1221005	1451073	4322995	2750205	2107594	9180794	9496359
8113	3	firms	24137	2588	12493	4556	2554	22191	1515	249	23955	182	23682	2092	12528	4595	2526	21741	1515	245	23501	181	23426	2305	12103	4504	2546	21458	1551	244	23253	173	23499	2100	12314	4495	2617	21526	1563	230	23319	180	24480	2484	12943	4528	2622	22577	1496	235	24308	172
8113	3	estab.	25626	2588	12498	4574	2622	22282	1795	514	24591	1035	25149	2095	12529	4606	2596	21826	1788	484	24098	1051	24950	2306	12104	4518	2610	21538	1804	478	23820	1130	24977	2103	12319	4523	2668	21613	1800	460	23873	1104	25932	2484	12946	4543	2684	22657	1784	464	24905	1027
8113	3	empl.	191016	0	25790	29824	33499	89113	48384	20341	157838	33178	196181	0	25808	30073	33375	89256	49248	21057	159561	36620	197613	0	25146	29527	33442	88115	51149	21446	160710	36903	200954	0	25471	29222	34620	89313	50898	22546	162757	38197	196649	0	27040	29525	34746	91311	49256	20279	160846	35803
8113	3	ann. pay.	6261573	83859	572413	768567	1011296	2436135	1658782	752836	4847753	1413820	6543415	66078	587010	803087	1034266	2490441	1738723	787470	5016634	1526781	6756014	67099	584801	813454	1062055	2527409	1832249	814527	5174185	1581829	7015703	63873	609274	812758	1124791	2610696	1853539	916935	5381170	1634533	7009776	75054	656118	841034	1144463	2716669	1838463	815015	5370147	1639629
8113	3	rec.																																									23832512	429813	2963538	2914803	3593768	9901922	5612313	2548213	18062448	5770064
8114	3	firms	27448	3392	18033	3765	1438	26628	644	90	27362	86	26926	3199	17714	3761	1474	26148	616	85	26849	77	26911	3390	17342	3856	1516	26104	646	82	26832	79	26077	2981	17038	3756	1504	25279	641	78	25998	79	26810	3624	17000	3857	1550	26031	630	77	26738	72
8114	3	estab.	28999	3399	18052	3788	1506	26745	852	266	27863	1136	28290	3201	17731	3789	1555	26276	756	284	27316	974	28157	3392	17362	3888	1569	26211	793	154	27158	999	27306	2983	17055	3791	1551	25380	777	291	26448	858	28105	3625	17010	3877	1601	26113	754	288	27155	950
8114	3	empl.	145016	0	34797	24005	18299	77101	19304	7607	104012	41004	137470	0	34256	24033	18866	77155	18671	6075	101901	35569	136990	0	33522	24658	19481	77661	19344	6583	103588	33402	130721	0	32938	23951	19512	76401	19225	6698	102324	28397	131594	0	33412	24825	20059	78296	18574	5681	102551	29043
8114	3	ann. pay.	3359614	64703	568344	464131	428669	1525847	477243	184453	2187543	1172071	3199154	55661	587192	499019	446352	1588224	478781	178024	2245029	954125	3411179	68368	588060	512786	479747	1648961	560721	204263	2413945	997234	3288257	49567	601432	530043	496812	1677854	547270	201280	2426404	861853	3292850	65004	616816	552396	513794	1748010	535942	175820	2459772	833078
8114	3	rec.																																									10621729	414591	2870989	1858450	1566773	6710803	1518211	562332	8791346	1830383
8121	3	firms	84289	9612	49645	15443	6704	81404	2641	211	84256	33	83331	9247	49093	15159	6788	80287	2794	215	83296	35	83985	10227	48470	15121	6943	80761	2961	230	83952	33	84448	10184	48513	15144	7218	81059	3114	240	84413	35	86008	11022	48806	15195	7450	82473	3261	234	85968	40
8121	3	estab.	95690	9667	49695	15610	7172	82144	4819	2297	89260	6430	95232	9284	49153	15324	7215	80976	4793	2212	87981	7251	95910	10272	48536	15296	7344	81448	4709	2283	88440	7470	96597	10200	48605	15295	7614	81714	4783	2317	88814	7783	99624	11030	48845	15274	7795	82944	5533	2423	90900	8724
8121	3	empl.	473598	0	101709	100047	87536	289292	88116	34056	411464	62134	485465	0	99940	98212	89078	287230	93592	35416	416238	69227	503209	0	98302	98359	91108	287769	100635	38483	426887	76322	516912	0	97242	98643	94547	290432	105758	40367	436557	80355	529593	0	100536	99124	97697	297357	110314	39516	447187	82406
8121	3	ann. pay.	6584011	171828	1135639	1224614	1264572	3796653	1448397	495720	5740770	843241	7037923	166297	1184341	1272743	1338430	3961811	1619208	546118	6127137	910786	7632305	183603	1216266	1334688	1435526	4170083	1803515	628809	6602407	1029898	8147214	238909	1259992	1364326	1533383	4396610	1933888	658378	6988876	1158338	8430790	211181	1282523	1376298	1599610	4469612	2051395	647584	7168591	1262199
8121	3	rec.																																									20704357	832351	4453539	3255984	3288810	11830684	4093058	1456812	17380554	3323803
8122	3	firms	16852	1528	8361	4139	1972	16000	782	52	16834	18	16617	1456	8292	4022	1995	15765	786	48	16599	18	16508	1416	8193	3994	2039	15642	795	55	16492	16	16544	1472	8143	3990	2018	15623	840	65	16528	16	16078	1420	7678	3931	2074	15103	879	72	16054	24
8122	3	estab.	23093	1529	8503	4622	2594	17248	1618	322	19188	3905	22876	1460	8430	4466	2589	16945	1593	417	18955	3921	22878	1425	8328	4398	2660	16811	1581	503	18895	3983	22797	1486	8289	4405	2594	16774	1712	554	19040	3757	22477	1422	7753	4311	2766	16252	2019	491	18762	3715
8122	3	empl.	166682	0	18642	27088	25323	71053	25266	5913	102232	64450	160110	0	18384	26317	25650	70351	25540	5530	101421	58689	166158	0	18243	26133	26264	70640	26408	7047	104095	62063	170340	0	18109	25997	25990	70096	27400	8143	105639	64701	147132	0	17745	25824	26807	70376	29043	8182	107601	39531
8122	3	ann. pay.	3704999	34688	413029	662940	632375	1743032	702450	157479	2602961	1102038	3757568	31689	431573	671596	664762	1799620	724274	181541	2705435	1052133	3937357	29201	434027	676411	693523	1833162	755158	193292	2781612	1155745	4077997	34990	449343	699457	704852	1888642	799211	235925	2923778	1154219	3871379	24085	446815	693673	737841	1902414	840338	256277	2999029	872350
8122	3	rec.																																									14370396	155178	2251388	2614638	2406249	7427453	2439827	848468	10715748	3654648
8123	3	firms	37866	3532	18905	7592	4556	34585	2896	311	37792	74	36944	3338	18648	7316	4393	33695	2868	303	36866	78	36342	3447	18238	7114	4341	33140	2825	306	36271	71	35728	3425	18074	6943	4147	32589	2756	306	35651	77	35818	3585	18451	6781	4054	32871	2602	271	35744	74
8123	3	estab.	44530	3549	18977	7788	5240	35554	5234	1982	42770	1760	43758	3350	18731	7525	5033	34639	5090	1822	41551	2207	43051	3470	18313	7322	4992	34097	5006	1808	40911	2140	42270	3442	18169	7136	4733	33480	4850	1737	40067	2203	42110	3587	18512	6965	4609	33673	4615	1673	39961	2149
8123	3	empl.	392782	0	41044	49586	60081	150711	103531	47745	301987	90795	393080	0	40290	47882	58176	146348	102110	46382	294840	98240	389493	0	39472	46622	57597	143691	100931	48562	293184	96309	383722	0	39002	45603	55237	139842	96670	46581	283093	100629	371240	0	40557	44368	54236	139161	91776	40661	271598	99642
8123	3	ann. pay.	6364893	89941	446689	543788	733327	1813745	1560491	907722	4281958	2082935	6588607	71240	460537	553532	748909	1834218	1592848	899867	4326933	2261674	6742822	72489	469871	546690	729686	1818736	1601292	961636	4381664	2361158	6751367	72625	484298	557511	725526	1839960	1559484	946852	4346296	2405071	6802484	73879	523106	562613	733807	1893405	1523257	873412	4290074	2512410
8123	3	rec.																																									20479181	387908	2611478	1866516	1934772	6800674	3701749	2215135	12717558	7761623
8129	3	firms	21381	4218	10924	3385	1520	20047	1083	171	21301	80	23032	4843	11778	3515	1585	21721	1052	180	22953	79	26294	5831	13452	3836	1749	24868	1159	190	26217	77	24344	4525	12971	3757	1689	22942	1135	193	24270	74	31156	6216	15836	4906	2423	29381	1498	204	31083	73
8129	3	estab.	31139	4235	10949	3459	1712	20355	1956	1626	23937	7202	33241	4881	11915	3586	1805	22187	1805	1684	25676	7565	37581	5906	13496	3898	1950	25250	1914	1593	28757	8824	35146	4526	13013	3849	1873	23261	1907	1608	26776	8370	42673	6217	15866	4961	2591	29635	2262	1745	33642	9031
8129	3	empl.	214789	0	22415	21798	19894	64107	38607	27260	129974	84815	222728	0	23897	22615	20797	67309	38045	29553	134907	87821	234355	0	26925	24813	22885	74623	41720	31938	148281	86074	240548	0	25922	24303	22194	72419	41345	33873	147637	92911	266355	0	32606	31779	31886	96271	52759	36169	185199	81156
8129	3	ann. pay.	3877361	110492	350095	346254	335104	1141945	738221	466485	2346651	1530710	4203276	118670	406577	370714	372077	1268038	830049	536901	2634988	1568288	4469250	151407	483042	417073	436479	1488001	856605	664993	3009599	1459651	4652583	96513	465613	415752	415003	1392881	827745	647814	2868440	1784143	5114736	151659	586984	572962	584492	1896097	1002647	690585	3589329	1525407
8129	3	rec.																																									19574391	907000	3000563	2150330	1841734	7899627	2935942	2221945	13057514	6516877
8131	3	firms	161205	5581	85392	37075	17754	145802	14291	1002	161095	110	164446	6506	85840	37887	18229	148462	14807	1066	164335	111	166598	6705	85947	38542	18679	149873	15440	1169	166482	116	165859	6029	84980	38873	18943	148825	15712	1210	165747	112	172311	7532	87434	40589	19482	155037	15942	1213	172192	119
8131	3	estab.	161332	5581	85393	37076	17759	145809	14336	1048	161193	139	164574	6506	85841	37889	18233	148469	14854	1102	164425	149	166716	6707	85949	38543	18685	149884	15484	1202	166570	146	165984	6029	84983	38874	18951	148837	15761	1246	165844	140	172562	7532	87436	40589	19485	155042	16009	1272	172323	239
8131	3	empl.	1469479	0	192115	240091	236535	668741	539166	164597	1372504	96975	1517882	0	192299	245550	243445	681294	561687	175519	1418500	99382	1569353	0	192972	249912	249364	692248	587271	187485	1467004	102349	1595009	0	191539	252752	253292	697583	598202	196792	1492577	102432	1638915	0	200736	261971	259923	722630	607209	197037	1526876	112039
8131	3	ann. pay.	18855527	87838	2007913	2584394	2794289	7474434	6859178	2659056	16992668	1862859	20390610	122886	2124993	2772870	3019986	8040735	7410576	2918466	18369777	2020833	22089462	147168	2242849	2960284	3225583	8575884	8022148	3219807	19817839	2271623	23294649	108633	2347702	3102665	3425528	8984528	8515581	3535837	21035946	2258703	24843744	138677	2521215	3324490	3607367	9591749	9046341	3703308	22341398	2502346
8131	3	rec.																																									82910385	581781	8926690	11243940	11998419	32750830	29654114	12089227	74494171	8416214
8132	3	firms	10596	852	6188	1461	861	9362	788	240	10390	206	10760	678	6338	1524	911	9451	854	244	10549	211	11155	832	6367	1655	927	9781	917	249	10947	208	11835	824	6823	1757	994	10398	972	260	11630	205	12944	978	7564	1833	1070	11445	993	277	12715	229
8132	3	estab.	12349	852	6188	1480	926	9446	1122	567	11135	1214	12540	679	6339	1543	965	9526	1164	571	11261	1279	12925	837	6368	1668	991	9864	1217	556	11637	1288	13648	824	6827	1786	1046	10483	1275	556	12314	1334	14952	978	7565	1871	1176	11590	1357	737	13684	1268
8132	3	empl.	113658	0	11752	9527	11480	32759	29157	26674	88590	25068	121342	0	12295	9956	12009	34260	31682	29017	94959	26383	128873	0	12384	10861	12278	35523	34510	29616	99649	29224	135947	0	13339	11568	13282	38189	36861	32100	107150	28797	143800	0	14576	11922	14188	40686	38164	33322	112172	31628
8132	3	ann. pay.	3640553	61064	334373	309401	372380	1077218	924948	795073	2797239	843314	3959660	19571	369112	330073	399742	1118498	1059791	925498	3103787	855873	4388361	25734	383524	384265	423554	1217077	1183764	994848	3395689	992672	4951121	32143	437805	423450	468222	1361620	1343792	1151178	3856590	1094531	5415980	42543	489339	446046	527479	1505407	1453154	1221915	4180476	1235504
8132	3	rec.																																									46518426	816104	5938738	4939756	5549376	17243974	12823379	12080457	42147810	4370616
8133	3	firms	8840	771	4365	1610	1030	7776	791	213	8780	60	9053	531	4482	1752	1073	7838	937	221	8996	57	9266	628	4375	1807	1180	7990	990	223	9203	63	9954	614	4772	1979	1241	8606	1037	242	9885	69	11443	831	5794	2105	1355	10085	1045	243	11373	70
8133	3	estab.	10398	771	4368	1626	1088	7853	1159	916	9928	470	10741	533	4486	1767	1129	7915	1303	880	10098	643	11057	640	4378	1820	1243	8081	1352	1035	10468	589	11886	617	4778	1996	1312	8703	1387	1089	11179	707	13485	833	5802	2123	1417	10175	1518	996	12689	796
8133	3	empl.	89539	0	9094	10540	13715	33349	27646	18537	79532	10007	100107	0	9443	11531	14497	35471	32883	20581	88935	11172	107824	0	9309	11816	15582	36707	34920	22704	94331	13493	116907	0	10049	12975	16547	39571	36273	25372	101216	15691	124217	0	12078	13751	18146	43975	36314	26686	106975	17242
8133	3	ann. pay.	2220271	21156	201885	236269	321682	780992	665452	485767	1932211	288060	2533382	16334	222594	269518	347716	856162	795315	547823	2199300	334082	2836905	18431	227259	285619	384757	916066	885857	647462	2449385	387520	3239402	20874	264430	331877	436105	1053286	952658	748415	2754359	485043	3584777	25792	320956	368917	491614	1207279	994454	858105	3059838	524939
8133	3	rec.																																									12940150	171505	1336694	1291598	1595979	4395776	2949112	3378800	10723688	2216462
8134	3	firms	30183	1988	15650	6292	3480	27410	2268	425	30103	80	29762	1609	15691	6263	3411	26974	2260	446	29680	82	29739	1766	15323	6325	3452	26866	2331	452	29649	90	29742	1786	15253	6322	3439	26800	2378	467	29645	97	28975	1806	14475	6368	3338	25987	2422	468	28877	98
8134	3	estab.	32063	1988	15655	6325	3651	27619	2865	959	31443	620	31642	1609	15697	6299	3552	27157	2875	1021	31053	589	31628	1766	15333	6359	3590	27048	2926	1059	31033	595	31711	1786	15256	6355	3560	26957	2969	1148	31074	637	31176	1809	14476	6387	3470	26142	3268	1128	30538	638
8134	3	empl.	314725	0	31244	41313	45677	118234	83315	65174	266723	48002	320681	0	31569	41303	45280	118152	83702	67038	268892	51789	330697	0	30864	41646	45723	118233	85898	70549	274680	56017	339182	0	30807	41603	45286	117696	88498	72921	279115	60067	339933	0	30023	41692	44201	115916	90588	73707	280211	59722
8134	3	ann. pay.	3890204	30852	344984	411718	493086	1280640	1195262	856902	3332804	557400	4044190	24367	371147	421004	496141	1312659	1225263	920195	3458117	586073	4332728	33448	375416	438092	521189	1368145	1321915	988736	3678796	653932	4700999	33706	397264	452521	542519	1426010	1438597	1068628	3933235	767764	4789128	32818	384592	466461	524363	1408234	1505267	1123370	4036871	752257
8134	3	rec.																																									16117675	215275	2363440	2196555	2076162	6851432	4226702	2795465	13873599	2244076
8139	3	firms	68067	4925	39829	11919	6630	63303	4165	498	67966	101	66707	4375	39215	11692	6584	61866	4225	514	66605	102	66963	4691	38824	11814	6651	61980	4339	544	66863	100	66468	4597	38573	11770	6549	61489	4318	554	66361	107	65708	4824	37356	11500	6934	60614	4435	561	65610	98
8139	3	estab.	70034	4937	39842	11977	6797	63553	4856	1193	69602	432	68733	4383	39222	11745	6734	62084	4963	1138	68185	548	69010	4694	38848	11871	6789	62202	5051	1172	68425	585	68496	4597	38595	11830	6686	61708	5007	1236	67951	545	67825	4824	37372	11551	7090	60837	5150	1294	67281	544
8139	3	empl.	500357	0	79148	78435	87529	245112	147953	75332	468397	31960	511602	0	77774	76998	87460	242232	152475	78751	473458	38144	529231	0	77517	77904	88498	243919	156944	85440	486303	42928	528732	0	77169	77389	86996	241554	156278	86729	484561	44171	524027	0	76093	75827	91539	243459	158859	86052	488370	35657
8139	3	ann. pay.	14058167	159731	1724256	1747105	2075496	5706588	4245885	2905817	12858290	1199877	15068485	122013	1750395	1807232	2178197	5857837	4699570	3197371	13754778	1313707	16160019	116207	1828333	1916411	2331538	6192489	4902003	3575933	14670425	1489594	17160238	120976	1901440	1998770	2434420	6455606	5161051	3855058	15471715	1688523	17775134	125366	1912997	2021428	2524473	6584264	5479497	4022121	16085882	1689252
8139	3	rec.																																									61874310	657721	8408690	7429626	8659859	25155896	18165691	12144427	55466014	6408296
11311	4	firms	358	72	163	58	18	311	22	4	337	21	381	81	180	51	23	335	22	5	362	19	418	89	194	60	27	370	24	7	401	17	392	71	185	67	27	350	19	7	376	16	633	108	318	112	41	579	33	6	618	15
11311	4	estab.	418	72	163	58	19	312	24	6	342	76	431	81	181	51	24	337	24	7	368	63	469	90	194	61	27	372	31	9	412	57	441	72	185	69	27	353	20	10	383	58	680	108	318	113	42	581	35	8	624	56
11311	4	empl.	3426	0	310	383	242	935	         [f]	         [e]	         [g]	         [g]	3258	0	353	329	281	963	[f]	[e]	1982	1276	3337	0	378	389	341	1108	         [f]	         [e]	2116	1221	3203	0	363	439	354	1156	488	439	2083	1120	4203	0	652	729	528	1909	1004	250	3163	1040
11311	4	ann. pay.	132368	1233	7462	12207	7922	28824	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	121920	2133	8612	9447	10023	30215	(D)	(D)	58629	63291	132021	2989	10050	10760	12208	36007	         (D)	         (D)	67560	64461	122992	1898	9281	14026	10895	36100	16940	11534	64574	58418	158214	1889	16880	22206	15346	56321	35500	6492	98313	59901
11311	4	rec.																																									1112163	24049	201641	152818	95088	473596	188002	29485	691083	421080
11321	4	firms	152	33	65	27	9	134	8	3	145	7	185	53	76	26	11	166	10	3	179	6	191	40	86	30	14	170	13	3	186	5	188	36	86	32	11	165	13	4	182	6	286	57	128	47	23	255	20	5	280	6
11321	4	estab.	221	33	65	27	9	134	8	3	145	76	252	53	76	26	11	166	10	3	179	73	258	40	86	30	14	170	13	3	186	72	256	36	86	32	11	165	14	4	183	73	352	57	128	47	23	255	21	5	281	71
11321	4	empl.	1387	0	139	167	106	412	         [e]	         [b]	         [f]	         [f]	1380	0	163	170	156	489	[e]	[b]	851	529	1677	0	182	192	168	542	         [e]	         [b]	1005	672	2049	0	175	214	145	534	363	         [c]	         [g]	         [g]	2657	0	243	306	303	852	822	320	1994	663
11321	4	ann. pay.	45919	1043	3214	3892	1890	10039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	49617	1533	3877	4176	2942	12528	(D)	(D)	20571	29046	66968	1672	4719	4099	3613	14103	         (D)	         (D)	25724	41244	70068	1137	4068	5450	2798	13453	7268	         (D)	         (D)	         (D)	75806	1985	4902	7604	7249	21740	14218	5880	41838	33968
11321	4	rec.																																									313498	14411	33458	31717	28815	108401	43699	20925	173025	140473
11331	4	firms	13530	1872	6420	3007	1592	12891	570	35	13496	34	12931	1522	6237	2981	1561	12301	564	33	12898	33	12538	1538	5963	2872	1505	11878	598	32	12508	30	12027	1326	6059	2674	1372	11431	541	25	11997	30	11397	1462	5534	2473	1318	10787	557	24	11368	29
11331	4	estab.	13616	1872	6422	3008	1593	12895	587	39	13521	95	13011	1522	6237	2985	1563	12307	574	37	12918	93	12620	1539	5966	2873	1507	11885	608	35	12528	92	12098	1326	6062	2675	1374	11437	552	25	12014	84	11477	1462	5535	2476	1319	10792	574	25	11391	86
11331	4	empl.	79364	0	13838	19680	20657	54175	17211	2077	73463	5901	79195	0	13492	19535	20242	53269	17484	2435	73188	6007	78129	0	12795	18955	19620	51370	18831	2557	72758	5371	72732	0	12825	17763	17976	48564	17576	1967	68107	4625	68962	0	12034	16284	17315	45633	17019	1908	64560	4402
11331	4	ann. pay.	2070191	53603	290156	418739	494167	1256665	472853	78669	1808187	262004	2084891	44190	288731	427989	496102	1257012	476426	87189	1820627	264264	2057252	38974	271741	418989	472907	1202611	514450	92692	1809753	247499	1968788	33495	281658	408335	458074	1181562	484979	79664	1746205	222583	1973028	40070	272753	389633	457947	1160403	504357	71952	1736712	236316
11331	4	rec.																																									9809676	328186	1813654	1906342	1951169	5999351	2263968	351065	8614384	1195292
11411	4	firms	2112	786	1056	136	60	2038	56	10	2104	8	2174	815	1085	134	62	2096	58	12	2166	8	2299	892	1120	158	57	2227	51	14	2292	7	2241	810	1153	143	62	2168	54	13	2235	6	1901	696	986	93	66	1841	41	12	1894	7
11411	4	estab.	2120	786	1056	137	60	2039	58	11	2108	12	2181	815	1085	135	62	2097	59	13	2169	12	2308	892	1120	159	57	2228	52	17	2297	11	2252	810	1153	144	64	2171	55	16	2242	10	1916	696	986	93	66	1841	44	18	1903	13
11411	4	empl.	7206	0	1669	862	785	3316	1904	         [f]	         [i]	         [g]	7611	0	1719	850	790	3359	2089	1317	6765	846	7477	0	1779	1006	748	3533	1799	1396	6728	749	7350	0	1858	925	832	3615	1832	1299	6746	604	6537	0	1549	583	885	3017	1413	1304	5734	803
11411	4	ann. pay.	252566	24110	47582	25169	25065	121926	62214	         (D)	         (D)	         (D)	263683	27933	48801	28020	22545	127299	61605	51689	240593	23090	266695	25253	50583	25269	24212	125317	56000	59580	240897	25798	258565	19888	50363	26523	26675	123449	58184	55443	237076	21489	252635	19746	44281	14912	29855	108794	49720	50091	208605	44030
11411	4	rec.																																									1654956	184589	343491	88230	161452	777762	308798	326898	1413458	241498
11421	4	firms	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
11421	4	estab.	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
11421	4	empl.	2107	0	326	198	398	922	         [e]	         [f]	         [g]	         [a]	2375	0	320	318	287	925	585	[e]	[g]	[f]	2511	0	339	264	472	1075	434	         [e]	         [g]	         [f]	2604	0	375	363	422	1160	398	         [e]	         [g]	         [f]	2707	0	414	364	471	1249	424	         [e]	         [g]	         [f]
11421	4	ann. pay.	58552	1515	4980	3226	7536	17257	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	68870	1538	5843	5303	5619	18303	12238	(D)	(D)	(D)	75764	1342	6374	4555	10941	23212	8910	         (D)	         (D)	         (D)	82351	1479	7023	7140	7899	23541	10430	         (D)	         (D)	         (D)	82792	2051	8373	6140	8183	24747	10811	         (D)	         (D)	         (D)
11421	4	rec.																																									319345	15163	38372	21497	24978	100010	37144	         (D)	         (D)	         (D)
11511	4	firms	5532	1033	2514	866	487	4900	446	136	5482	50	5582	1063	2520	875	483	4941	453	137	5531	51	4753	915	2105	779	414	4213	379	122	4714	39	5134	963	2361	814	422	4560	420	125	5105	29	4946	889	2268	789	432	4378	417	115	4910	36
11511	4	estab.	5872	1033	2517	866	492	4908	489	202	5599	273	5929	1068	2522	876	490	4956	498	211	5665	264	5061	915	2109	779	422	4225	414	259	4898	163	5464	963	2367	815	432	4577	466	271	5314	150	5324	889	2271	790	451	4401	471	224	5096	228
11511	4	empl.	64568	0	5166	5651	6445	17262	17518	19201	53981	10587	67441	0	5205	5718	6350	17273	17538	17693	52504	14937	57587	0	4321	5084	5437	14842	15006	17810	47658	9929	59615	0	4877	5353	5638	15868	17097	18596	51561	8054	58541	0	4642	5138	5771	15551	16597	15661	47809	10732
11511	4	ann. pay.	1506905	34473	128606	149021	163927	476027	367025	345403	1188455	318450	1577196	43151	129525	154840	165794	493310	408695	343710	1245715	331481	1347539	34609	114494	142162	140426	431691	348293	333419	1113403	234136	1463707	35719	140227	156801	165100	497847	399420	355689	1252956	210751	1514936	30578	136440	153692	165352	486062	414757	346270	1247089	267847
11511	4	rec.																																									8681380	230054	1004433	890540	865945	2990972	2022811	1877691	6891474	1789906
11521	4	firms	3198	477	1940	451	192	3060	110	21	3191	7	3222	494	1936	466	196	3092	103	18	3213	9	3403	533	1997	507	214	3251	122	22	3395	8	3946	525	2415	577	245	3762	154	21	3937	9	4478	649	2708	624	286	4267	180	23	4470	8
11521	4	estab.	3246	477	1940	451	192	3060	115	57	3232	14	3269	494	1936	466	196	3092	104	48	3244	25	3450	533	1997	507	214	3251	125	59	3435	15	3999	526	2416	579	246	3767	155	59	3981	18	4537	649	2709	625	288	4271	183	65	4519	18
11521	4	empl.	16047	0	3629	2924	2409	8962	3880	         [g]	         [j]	         [f]	16747	0	3631	3031	2587	9249	3621	2365	15235	1512	18197	0	3786	3304	2812	9902	4166	3251	17319	878	20750	0	4588	3774	3210	11572	5097	2945	19614	1136	22876	0	5287	3997	3772	13056	5810	3034	21900	976
11521	4	ann. pay.	307237	7140	52075	43376	41376	143967	78315	         (D)	         (D)	         (D)	326691	14518	55695	49935	45814	165962	78648	49690	294300	32391	383710	12081	60231	56134	55007	183453	84658	88383	356494	27216	452312	10351	76938	68914	60810	217013	105485	91063	413561	38751	495963	13341	89013	69620	76309	248283	112809	100193	461285	34678
11521	4	rec.																																									2558100	92369	580902	289628	300674	1263573	629935	485730	2379238	178862
11531	4	firms	1424	309	688	191	99	1287	111	15	1413	11	1456	293	740	182	104	1319	107	18	1444	12	1513	319	760	181	104	1364	116	25	1505	8	1516	272	782	217	100	1371	113	24	1508	8	1744	386	853	216	138	1593	120	20	1733	11
11531	4	estab.	1454	309	688	191	99	1287	130	24	1441	13	1493	293	740	182	104	1319	128	26	1473	20	1547	319	760	181	104	1364	138	31	1533	14	1553	272	782	217	100	1371	145	24	1540	13	1797	386	853	216	138	1593	151	27	1771	26
11531	4	empl.	13044	0	1384	1248	1361	3993	         [h]	         [g]	         [j]	         [h]	14148	0	1437	1164	1397	3998	4531	[g]	[j]	[h]	14650	0	1503	1160	1404	4067	5052	         [h]	         [j]	         [g]	15173	0	1506	1418	1343	4267	4929	3515	12711	2462	14679	0	1669	1412	1825	4906	5084	2403	12393	2286
11531	4	ann. pay.	280567	8673	33685	29376	31222	102956	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	319781	8081	38278	30169	34022	110550	101031	(D)	(D)	(D)	352584	9844	39061	30154	40857	119916	111434	         (D)	         (D)	         (D)	373066	6345	38847	39986	35641	120819	119660	60162	300641	72425	424917	15287	45087	41188	56078	157640	134861	58120	350621	74296
11531	4	rec.																																									1424020	72940	235671	145821	169003	623435	369679	181919	1175033	248987
21111	4	firms	6723	653	4000	1025	496	6174	365	83	6622	101	6345	679	3803	904	458	5844	312	85	6241	104	6472	807	3779	928	441	5955	341	77	6373	99	6435	741	3734	947	479	5901	356	86	6343	92	6317	597	3816	906	462	5781	354	89	6224	93
21111	4	estab.	7927	654	4011	1039	528	6232	482	234	6948	979	7556	679	3814	916	498	5907	411	236	6554	1002	7740	807	3793	940	479	6019	458	242	6719	1021	7691	741	3750	959	506	5956	453	238	6647	1044	7629	597	3830	932	477	5836	456	292	6584	1045
21111	4	empl.	97039	0	7719	6693	6526	20938	12773	11504	45215	51824	90012	0	7350	5854	5959	19163	11199	10601	40963	49049	83012	0	7414	6047	5723	19184	12285	9966	41435	41577	87980	0	7386	6153	6286	19825	12369	10290	42484	45496	88280	0	7466	5890	5980	19336	12113	11656	43105	45175
21111	4	ann. pay.	5316305	34134	217468	223948	264953	740503	651692	676301	2068496	3247809	5377469	29378	216267	213914	260708	720267	643989	595216	1959472	3417997	5393011	40616	249214	253368	271729	814927	734334	703689	2252950	3140061	6217777	39391	264648	266432	299754	870225	742945	786895	2400065	3817712	6406475	28794	254065	258981	290795	832635	762724	807342	2402701	4003774
21111	4	rec.																																									160879230	228801	2587900	2367043	2389652	7573396	6789872	9608878	23972146	136907084
21211	4	firms	1022	113	190	121	162	586	317	71	974	48	948	92	181	118	147	538	296	68	902	46	880	64	184	105	150	503	266	63	832	48	888	115	170	99	148	532	243	67	842	46	802	58	160	97	130	445	246	67	758	44
21211	4	estab.	1442	113	194	121	162	590	345	129	1064	378	1336	92	183	118	147	540	331	125	996	340	1253	64	186	105	153	508	285	143	936	317	1266	115	172	100	152	539	264	135	938	328	1194	58	161	97	132	448	279	138	865	329
21211	4	empl.	81272	0	473	797	2296	3566	13022	11050	27638	53634	76381	0	399	782	2027	3208	12000	10839	26047	50334	70666	0	413	689	2071	3173	10689	10352	24214	46452	70999	0	371	652	2092	3115	10006	11694	24815	46184	74915	0	363	654	1784	2801	10205	11576	24582	50333
21211	4	ann. pay.	3988677	17988	16089	25740	63813	123630	457117	476258	1057005	2931672	3697834	22611	14086	23240	58631	118568	423939	457081	999588	2698246	3542168	7687	13461	19911	68757	109816	385337	453755	948908	2593260	3786164	36212	14258	25089	70012	145571	408320	556800	1110691	2675473	3812771	13267	15824	21275	59714	110080	407016	564794	1081890	2730881
21211	4	rec.																																									19845659	51399	85970	100213	248433	486015	2095535	2887139	5468689	14376970
21221	4	firms	32	4	9	4	6	23	3	1	27	5	31	5	6	5	6	22	2	1	25	6	31	4	8	5	2	19	4	4	27	4	34	3	12	3	7	25	1	2	28	6	32	3	9	7	4	23	3	2	28	4
21221	4	estab.	37	4	9	4	6	23	3	1	27	10	36	5	6	5	6	22	2	1	25	11	39	4	8	5	2	19	4	7	30	9	42	3	12	3	7	25	1	5	31	11	40	3	9	7	4	23	3	5	31	9
21221	4	empl.	8052	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	         [c]	273	7779	7982	0	[a]	35	64	[c]	[b]	[c]	238	7744	7707	0	         [a]	38	         [b]	79	55	665	799	6908	7433	0	17	18	72	107	         [b]	         [c]	319	7114	5403	         [a]	         [b]	42	46	111	         [c]	         [f]	746	4657
21221	4	ann. pay.	388133	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10137	377996	382590	97	(D)	2371	2199	(D)	(D)	(D)	10298	372292	383872	43	         (D)	2237	         (D)	3277	1611	34419	39307	344565	357279	3	951	1308	1979	4241	         (D)	         (D)	11131	346148	287281	         (D)	         (D)	1580	1568	4975	         (D)	         (D)	33518	253763
21221	4	rec.																																									1794384	         (D)	         (D)	6836	6571	         (D)	         (D)	         (D)	179430	1614954
21222	4	firms	257	56	106	30	20	212	20	13	245	12	264	64	105	34	20	223	19	11	253	11	272	57	122	36	21	236	13	11	260	12	245	52	121	24	16	213	11	11	235	10	156	29	75	17	10	131	10	9	150	6
21222	4	estab.	317	56	107	30	20	213	28	28	269	48	321	64	105	34	21	224	24	36	284	37	320	57	122	36	22	237	20	23	280	40	288	52	121	25	16	214	11	31	256	32	187	29	75	18	10	132	12	23	167	20
21222	4	empl.	16542	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	         [f]	911	2204	         [h]	         [j]	13805	0	220	219	261	700	598	2005	3303	10502	12278	0	253	228	262	743	380	1812	2935	9343	11222	0	238	140	212	590	221	2146	2957	8265	9026	         [a]	144	100	137	         [e]	         [c]	1938	2506	6520
21222	4	ann. pay.	800480	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	39416	92035	         (D)	         (D)	675773	3019	8630	9391	11648	32688	29762	65845	128295	547478	625555	1275	9693	8727	10223	29918	19616	62703	112237	513318	600658	6010	8752	5458	12333	32553	9779	90963	133295	467363	544926	         (D)	11641	4583	23525	         (D)	         (D)	107356	163588	381338
21222	4	rec.																																									3121700	         (D)	55045	20575	58000	         (D)	         (D)	526389	770743	2350957
21223	4	firms	46	3	16	4	5	28	4	3	35	11	53	11	15	5	4	35	5	3	43	10	53	5	20	8	4	37	3	3	43	10	53	8	21	5	4	38	3	5	46	7	34	3	11	7	3	24	1	3	28	6
21223	4	estab.	83	3	16	4	6	29	4	5	38	45	90	11	15	5	5	36	7	5	48	42	86	5	20	10	5	40	3	4	47	39	84	8	23	5	5	41	3	7	51	33	56	3	11	9	3	26	2	4	32	24
21223	4	empl.	15474	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	725	925	14549	14376	[a]	[b]	20	68	117	162	839	1118	13258	11517	0	40	52	60	152	43	821	1016	10501	10679	0	46	37	50	133	62	1021	1216	9463	7824	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	542	677	7147
21223	4	ann. pay.	666361	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	29247	37890	628471	605465	(D)	(D)	887	4288	6387	4077	44799	55263	550202	515781	72	1102	1491	2797	5462	1639	47771	54872	460909	488165	126	1420	1515	3155	6216	1929	64555	72700	415465	360224	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	43481	50972	309252
21223	4	rec.																																									2563925	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	282540	323641	2240284
21229	4	firms	85	11	33	10	4	58	7	8	73	12	69	12	25	7	5	49	7	3	59	10	65	8	25	8	6	47	5	4	56	9	58	4	23	6	6	39	6	4	49	9	55	9	18	7	5	39	4	4	47	8
21229	4	estab.	99	11	33	10	4	58	7	14	79	20	82	12	25	7	5	49	12	4	65	17	77	8	25	8	6	47	9	7	63	14	71	4	23	6	6	39	11	8	58	13	68	9	18	7	9	43	4	6	53	15
21229	4	empl.	3835	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]	3765	[a]	42	45	61	[c]	[e]	[e]	884	2881	3318	0	         [b]	50	         [b]	165	194	560	919	2399	3476	0	40	33	82	155	         [c]	         [f]	891	2585	3439	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	724	2715
21229	4	ann. pay.	183221	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	181067	(D)	1838	1524	1326	(D)	(D)	(D)	33910	147157	193262	239	         (D)	1750	         (D)	5358	7144	27068	39570	153692	203911	140	1485	1493	2164	5282	         (D)	         (D)	37147	166764	180944	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	38625	142319
21229	4	rec.																																									689768	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	181440	508328
21231	4	firms	1325	90	278	226	259	853	301	92	1246	79	1312	101	298	221	245	865	284	81	1230	82	1290	91	294	223	246	854	277	80	1211	79	1312	97	329	223	233	882	282	73	1237	75	1362	125	355	223	252	955	257	79	1291	71
21231	4	estab.	2338	90	279	226	262	857	396	252	1505	833	2384	101	299	221	248	869	382	236	1487	897	2420	91	295	223	249	858	375	226	1459	961	2456	97	329	223	236	885	383	229	1497	959	2514	125	355	226	255	961	360	263	1584	930
21231	4	empl.	44564	0	632	1540	3529	5701	10057	8206	23964	20600	46053	0	673	1490	3336	5499	9864	7479	22842	23211	46849	0	658	1546	3390	5594	9791	7932	23317	23532	45171	0	736	1513	3169	5418	9727	6772	21917	23254	45099	0	796	1515	3454	5765	8947	7176	21888	23211
21231	4	ann. pay.	1724929	6137	18833	40897	117886	183753	365301	333773	882827	842102	1830454	10747	20906	42819	112672	187144	356793	303670	847607	982847	1914976	4389	18138	47044	117937	187508	364171	343244	894923	1020053	1929868	7128	26671	49158	112158	195115	375991	288267	859373	1070495	1853226	9169	31735	49003	129009	218916	359879	291012	869807	983419
21231	4	rec.																																									9295827	38650	133641	199660	495021	866972	1468369	1322523	3657864	5637963
21232	4	firms	2018	167	656	377	319	1519	316	100	1935	83	2027	186	680	364	295	1525	327	88	1940	87	2024	203	638	371	319	1531	315	97	1943	81	2049	213	692	372	302	1579	302	89	1970	79	2066	219	713	355	309	1596	302	89	1987	79
21232	4	estab.	2636	167	656	378	325	1526	395	224	2145	491	2702	186	681	365	301	1533	401	207	2141	561	2698	203	639	371	322	1535	389	216	2140	558	2779	213	693	372	308	1586	380	199	2165	614	2819	219	713	355	313	1600	369	203	2172	647
21232	4	empl.	38484	0	1456	2507	4115	8078	9755	6061	23894	14590	37985	0	1499	2413	3899	7811	10063	5256	23130	14855	37883	0	1412	2455	4304	8171	9642	6034	23847	14036	37703	0	1533	2506	4039	8078	9665	5219	22962	14741	36381	0	1582	2373	4122	8077	9311	4931	22319	14062
21232	4	ann. pay.	1509134	9367	41899	77466	142249	270981	350969	240997	862947	646187	1545436	11206	47714	76463	140961	276344	385116	218139	879599	665837	1521325	12504	42414	76250	151729	282897	382123	236421	901441	619884	1579743	10683	48315	87339	155585	301922	376679	224137	902738	677005	1528220	12382	55529	78723	156640	303274	388061	216553	907888	620332
21232	4	rec.																																									7354662	53336	219324	305595	591244	1169499	1404292	945381	3519172	3835490
21239	4	firms	291	25	77	50	37	189	43	19	251	40	271	31	78	38	22	169	43	21	233	38	283	30	82	38	34	184	43	18	245	38	283	26	81	43	30	180	52	16	248	35	278	31	85	35	32	183	41	18	242	36
21239	4	estab.	357	25	77	51	39	192	51	27	270	87	329	31	78	39	23	171	51	30	252	77	338	30	82	38	35	185	53	27	265	73	337	26	81	43	34	184	62	22	268	69	327	31	85	35	33	184	49	29	262	65
21239	4	empl.	17086	0	175	338	483	996	1566	1432	3994	13092	15602	0	168	260	301	729	1609	1635	3973	11629	14111	0	185	261	451	897	1658	1870	4425	9686	14052	0	181	286	396	863	1978	1578	4419	9633	12087	0	181	232	436	849	1463	1452	3764	8323
21239	4	ann. pay.	752005	762	5365	12303	14228	32658	48941	60019	141618	610387	706556	1050	5879	9086	8082	24097	53235	68880	146212	560344	647164	1957	6266	7900	13605	29728	56727	91677	178132	469032	637908	1142	5165	8771	13220	28298	74584	70466	173348	464560	554430	791	6598	8422	14582	30393	56636	49639	136668	417762
21239	4	rec.																																									3067177	3502	27613	34501	57865	123481	262486	192563	578530	2488647
21311	4	firms	8299	878	3918	1320	933	7049	985	157	8191	108	7771	817	3877	1171	873	6738	798	136	7672	99	7641	892	3618	1147	877	6534	866	142	7542	99	8222	1034	3731	1211	986	6962	989	172	8123	99	7587	831	3449	1176	970	6426	909	157	7492	95
21311	4	estab.	9423	886	3934	1388	1037	7245	1213	317	8775	648	8863	818	3909	1233	975	6935	994	288	8217	646	8767	894	3646	1205	956	6701	1053	290	8044	723	9305	1036	3749	1253	1043	7081	1160	300	8541	764	9037	831	3465	1209	1089	6594	1200	391	8185	852
21311	4	empl.	175501	0	7905	8608	12225	28738	37685	21839	88262	87239	150684	0	7677	7565	11352	26594	28870	18089	73553	77131	168787	0	7273	7508	11667	26448	32033	19086	77567	91220	196850	0	7550	7967	13063	28580	37500	26479	92559	104291	183321	0	7155	7757	12898	27810	34392	21782	83984	99337
21311	4	ann. pay.	6612671	48592	198099	227664	331263	805618	1127866	810320	2743804	3868867	5973318	55860	205795	216146	346464	824265	941021	727701	2492987	3480331	7354132	58694	207895	237560	391373	895522	1130677	876302	2902501	4451631	9212884	123733	238863	269760	461486	1093842	1438772	1252636	3785250	5427634	8433197	49537	220596	254609	443992	968734	1294040	960205	3222979	5210218
21311	4	rec.																																									28960730	169727	835638	943867	1389401	3338633	3956578	3441276	10736487	18224243
22111	4	firms	527	51	142	44	33	270	84	60	414	113	521	42	136	52	31	261	84	58	403	118	534	39	141	59	40	279	84	59	422	112	570	53	151	65	39	308	96	55	459	111	563	47	172	60	36	315	92	54	461	102
22111	4	estab.	1936	51	143	44	37	275	129	176	580	1356	1991	42	137	52	35	266	128	164	558	1433	2118	39	142	59	44	284	128	160	572	1546	2208	54	152	65	45	316	140	143	599	1609	2349	47	173	63	43	326	132	163	621	1728
22111	4	empl.	148972	0	301	280	477	1058	3223	9843	14124	134848	147282	0	281	332	419	1032	3264	8918	13214	134068	143927	0	303	365	521	1189	3514	7815	12518	131409	139254	0	328	410	558	1296	3908	7431	12635	126619	135521	0	362	384	516	1262	3895	7398	12555	122966
22111	4	ann. pay.	9078750	19917	10780	12669	24626	67992	154750	534915	757657	8321093	9453630	102955	14861	16226	25960	160002	168033	488814	816849	8636781	10044613	7297	11100	15029	34574	68000	192367	460140	720507	9324106	10188048	9867	14248	16596	35010	75721	228734	464266	768721	9419327	9765666	56420	15009	14024	33142	118595	219554	494475	832624	8933042
22111	4	rec.																																									89479824	89138	242203	123682	2253957	2708980	3726584	6377101	12812665	76667159
22112	4	firms	1252	56	113	60	134	363	609	165	1137	115	1278	52	135	80	132	399	600	166	1165	113	1278	60	135	81	133	409	588	176	1173	105	1317	77	154	82	135	448	590	173	1211	106	1290	56	157	74	131	418	579	192	1189	101
22112	4	estab.	6369	56	114	62	148	380	972	573	1925	4444	6820	56	136	82	142	416	966	579	1961	4859	7032	60	135	82	145	422	935	600	1957	5075	6999	77	155	82	147	461	929	600	1990	5009	7144	56	158	74	146	434	943	656	2033	5111
22112	4	empl.	397724	0	246	408	1962	2616	29008	25401	57025	340699	385932	0	296	523	1889	2708	28663	26075	57446	328486	376927	0	299	527	1924	2750	28245	27483	58478	318449	376734	0	354	539	1958	2851	28152	27190	58193	318541	380248	0	326	473	1925	2724	27350	29908	59982	320266
22112	4	ann. pay.	22568578	7355	8833	16249	81643	114080	1170273	1116901	2401254	20167324	22988989	48613	12017	21484	78659	160773	1182601	1164925	2508299	20480690	23714287	14327	13290	21435	78055	127107	1189176	1279936	2596219	21118068	24149721	12373	16129	25313	85099	138914	1251657	1302461	2693032	21456689	25062770	9125	13022	19161	90078	131386	1248655	1479030	2859071	22203699
22112	4	rec.																																									231022846	42261	1157551	133302	654016	1987130	12070889	15050227	29108246	201914600
22121	4	firms	630	57	209	105	64	435	55	36	526	104	610	47	222	98	62	429	50	34	513	97	603	47	210	97	58	412	58	35	505	98	592	44	217	97	57	415	51	32	498	94	631	68	223	111	59	461	54	31	546	85
22121	4	estab.	2723	58	209	109	76	452	101	154	707	2016	2851	47	222	100	70	439	98	165	702	2149	2846	47	210	99	67	423	103	152	678	2168	2831	44	219	100	63	426	84	127	637	2194	2897	70	223	118	72	483	86	131	700	2197
22121	4	empl.	99962	0	476	716	775	1967	1890	5620	9477	90485	96953	0	464	660	773	1897	1658	5129	8684	88269	94821	0	478	641	750	1869	1789	4596	8254	86567	95348	0	492	644	712	1848	1831	4323	8002	87346	86890	0	519	721	716	1956	2066	4398	8420	78470
22121	4	ann. pay.	5282225	39923	19143	31650	35093	125809	99422	241408	466639	4815586	5657570	10866	19833	27523	36962	95184	87186	241539	423909	5233661	5529810	16524	19112	28813	37203	101652	94857	231833	428342	5101468	6001077	7422	25643	32563	34731	100359	110365	197485	408209	5592868	5342147	6940	21698	30211	41148	99997	131392	221794	453183	4888964
22121	4	rec.																																									67275310	79932	654470	478929	1310935	2524266	7724447	2878244	13126957	54148353
22131	4	firms	3789	205	2545	680	204	3634	89	30	3753	36	3836	257	2505	685	224	3671	105	23	3799	37	4184	347	2575	805	271	3998	121	27	4146	38	4323	323	2699	819	287	4128	130	26	4284	39	4562	340	2782	944	293	4359	140	26	4525	37
22131	4	estab.	4086	205	2546	683	217	3651	124	113	3888	198	4129	257	2506	686	239	3688	136	88	3912	217	4523	347	2576	806	285	4014	150	95	4259	264	4832	323	2700	820	299	4142	166	106	4414	418	5114	340	2783	947	308	4378	178	134	4690	424
22131	4	empl.	28623	0	5604	4318	2482	12404	2736	4066	19206	9417	29996	0	5554	4292	2711	12557	3348	3252	19157	10839	32786	0	5690	5048	3412	14150	3857	3356	21363	11423	35206	0	5982	5168	3596	14746	4167	3557	22470	12736	37041	0	6321	5863	3679	15863	4307	4198	24368	12673
22131	4	ann. pay.	936881	3927	79748	90600	69519	243794	85997	190157	519948	416933	1016102	7610	84018	93323	77457	262408	97712	152611	512731	503371	1120315	8907	88633	107635	91744	296919	120436	169836	587191	533124	1324944	10271	100393	114588	107371	332623	141071	191116	664810	660134	1356633	13699	107555	123621	111839	356714	144080	199917	700711	655922
22131	4	rec.																																									6522869	63563	560115	568543	514687	1706908	639328	847558	3193794	3329075
22132	4	firms	563	54	306	99	45	504	34	12	550	13	584	65	325	91	45	526	32	11	569	15	583	61	326	94	40	521	40	11	572	11	632	61	347	105	51	564	42	13	619	13	690	57	395	116	53	621	44	12	677	13
22132	4	estab.	700	54	306	102	48	510	55	19	584	116	715	65	325	91	49	530	49	18	597	118	708	61	326	94	45	526	55	20	601	107	748	61	347	105	56	569	57	23	649	99	831	57	395	116	60	628	70	40	738	93
22132	4	empl.	5307	         [a]	660	         [f]	559	1837	         [f]	         [e]	3117	2190	5270	0	714	583	571	1868	[f]	[f]	3278	1992	5141	         [a]	726	         [f]	506	         [g]	1245	         [e]	3527	1614	6312	0	761	         [f]	671	         [g]	1396	         [f]	4057	2255	7022	         [a]	879	680	667	         [g]	1452	         [f]	4677	2345
22132	4	ann. pay.	150714	         (D)	12921	         (D)	15808	42467	         (D)	         (D)	84163	66551	161170	2546	13934	12503	17977	46960	(D)	(D)	92627	68543	159909	         (D)	14389	         (D)	15480	         (D)	40285	         (D)	101432	58477	197818	3448	17426	         (D)	17646	         (D)	43278	         (D)	115439	82379	233413	         (D)	19397	15118	22276	         (D)	52537	         (D)	144841	88572
22132	4	rec.																																									1011069	         (D)	106810	64003	89636	         (D)	259334	         (D)	630194	380875
22133	4	firms	57	2	20	3	8	33	10	2	45	12	54	4	14	3	6	27	12	2	41	13	57	6	14	2	7	29	12	2	43	14	62	3	18	4	9	34	11	2	47	15	70	10	19	5	12	46	8	2	56	14
22133	4	estab.	81	2	20	3	8	33	12	4	49	32	72	4	14	3	6	27	14	2	43	29	74	6	14	2	7	29	14	2	45	29	84	3	18	4	9	34	13	2	49	35	97	10	19	5	12	46	14	2	62	35
22133	4	empl.	1639	         [a]	33	         [b]	109	164	         [e]	         [b]	561	1078	1629	0	24	22	80	126	[e]	[b]	576	1053	1628	         [a]	28	         [a]	86	         [c]	428	         [b]	596	1032	1630	0	37	         [b]	114	         [c]	386	         [b]	613	1017	1532	         [a]	30	35	161	         [c]	321	         [b]	588	944
22133	4	ann. pay.	80079	         (D)	848	         (D)	4239	6373	         (D)	         (D)	23410	56669	77529	66	696	940	3252	4954	(D)	(D)	23025	54504	81902	         (D)	841	         (D)	3040	         (D)	18162	         (D)	25461	56441	80695	16	754	         (D)	4291	         (D)	18489	         (D)	25889	54806	84116	         (D)	964	1073	6264	         (D)	16379	         (D)	27121	56995
22133	4	rec.																																									764725	         (D)	6235	4049	34680	         (D)	97969	         (D)	157758	606967
23311	4	firms	11192	2829	5871	1299	619	10618	388	95	11101	91	12189	3071	6224	1442	744	11481	507	107	12095	94	12902	2982	6657	1630	858	12127	567	117	12811	91	13175	2836	6655	1814	977	12282	664	130	13076	99	13860	2804	7303	1860	968	12935	693	138	13766	94
23311	4	estab.	11369	2832	5873	1301	622	10628	413	138	11179	190	12383	3072	6226	1443	750	11491	548	124	12163	220	13111	2984	6659	1632	866	12141	601	142	12884	227	13358	2837	6657	1817	980	12291	711	176	13178	180	14044	2804	7308	1864	976	12952	742	164	13858	186
23311	4	empl.	56326	0	11222	8311	8050	27583	13051	9385	50019	6307	68024	0	11962	9235	9842	31039	17582	11659	60280	7744	77885	0	12951	10535	11407	34893	20509	12478	67880	10005	88993	0	13163	11715	12915	37793	23692	13817	75302	13691	90669	0	14466	12018	12603	39087	23532	14669	77288	13381
23311	4	ann. pay.	2262825	166410	393302	293672	281877	1135261	461744	346824	1943829	318996	2814520	172339	437132	343608	354722	1307801	657849	419286	2384936	429584	3269158	164894	468769	377028	465833	1476524	756199	476151	2708874	560284	3990101	156215	484556	438707	513298	1592776	972272	579359	3144407	845694	4100107	141975	545793	473892	515979	1677639	1043208	670559	3391406	708701
23311	4	rec.																																									24460771	1412212	4716723	2654048	2784158	11567141	5133980	3239442	19940563	4520208
23321	4	firms	153029	29168	88281	23133	8658	149240	3440	257	152937	92	151354	24820	88532	24156	9545	147053	3937	274	151264	90	150685	24403	86967	24508	9986	145864	4426	304	150594	91	146056	24079	86030	22949	8759	141817	3846	296	145959	97	160917	31607	92161	23478	9281	156527	4007	287	160821	96
23321	4	estab.	153561	29168	88281	23138	8666	149253	3466	389	153108	453	151952	24820	88534	24157	9558	147069	3992	395	151456	496	151296	24403	86969	24508	10000	145880	4460	430	150770	526	146670	24080	86030	22952	8771	141833	3878	391	146102	568	161677	31607	92163	23481	9299	156550	4086	408	161044	633
23321	4	empl.	626161	0	178768	148002	112363	439133	114262	34946	588341	37820	677065	0	181121	154654	124421	460196	133136	38819	632151	44914	713339	0	179222	157360	130460	467042	150829	45577	663448	49891	661414	0	175524	147038	113719	436281	131713	42420	610414	51000	696886	0	188836	150275	120762	459873	136130	41020	637023	59863
23321	4	ann. pay.	18245529	841060	4276552	3524962	2960414	11602988	3556445	1358778	16518211	1727318	20956582	787495	4555966	3882441	3451910	12677812	4349212	1575404	18602428	2354154	23058337	760584	4605643	4095991	3737593	13199811	5226447	1905572	20331830	2726507	23160092	783248	4694110	3993667	3500990	12972015	5060011	1937368	19969394	3190698	25396809	1033760	5039096	4357778	3899888	14330522	5519878	2004518	21854918	3541891
23321	4	rec.																																									225893991	12571664	50162636	31013814	26833715	120581829	41394207	17009933	178985969	46908022
23322	4	firms	8054	1405	3930	1368	710	7413	538	76	8027	27	8186	1370	4042	1420	671	7503	580	73	8156	30	8208	1312	4119	1329	758	7518	583	76	8177	31	8730	1323	4292	1431	846	7892	729	77	8698	32	9007	1557	4212	1475	964	8208	693	74	8975	32
23322	4	estab.	8091	1405	3930	1369	710	7414	541	86	8041	50	8226	1370	4042	1420	671	7503	585	80	8168	58	8254	1312	4119	1329	758	7518	591	82	8191	63	8767	1323	4292	1431	846	7892	736	81	8709	58	9043	1557	4212	1475	964	8208	702	82	8992	51
23322	4	empl.	62334	0	8114	8821	9488	26423	19667	10459	56549	5785	64523	0	8258	9257	8909	26424	20734	10076	57234	7289	67673	0	8504	8698	10035	27237	20900	11188	59325	8348	73972	0	8879	9375	11163	29417	25543	10588	65548	8424	73965	0	8940	9680	12827	31447	25038	9506	65991	7974
23322	4	ann. pay.	2100157	51476	210129	235374	311742	808721	676169	386320	1871210	228947	2269214	60808	218769	261916	290049	831542	752252	382699	1966493	302721	2461328	46987	231952	256267	327247	862453	793580	448088	2104121	357207	2825815	51637	256841	283892	387593	979963	1002169	442368	2424500	401315	3013295	66323	292859	323997	435436	1118615	1009871	471195	2599681	413614
23322	4	rec.																																									24709438	721948	2613855	2264928	3093491	8694222	8542418	4003024	21239664	3469774
23331	4	firms	6842	720	2366	1283	1101	5470	1126	179	6775	67	6936	798	2372	1257	1078	5505	1188	175	6868	68	6984	723	2482	1263	1093	5561	1175	184	6920	64	5821	746	2410	1091	885	5132	539	84	5755	66	2342	477	672	386	323	1858	338	84	2280	62
23331	4	estab.	6904	720	2366	1283	1102	5471	1129	184	6784	120	6998	798	2372	1257	1079	5506	1192	183	6881	117	7039	723	2482	1263	1094	5562	1179	193	6934	105	5887	746	2410	1091	887	5134	541	92	5767	120	2406	477	672	388	324	1861	345	93	2299	107
23331	4	empl.	161159	0	5216	8576	14947	28739	42872	29401	101012	60147	166000	0	5255	8470	14610	28335	45794	30460	104589	61411	164858	0	5417	8414	14887	28718	45662	31828	106208	58650	114021	0	5220	7256	11826	24302	19715	13035	57052	56969	86859	0	1489	2559	4348	8396	12579	12859	33834	53025
23331	4	ann. pay.	6145133	56760	170830	271011	505289	1003890	1641905	1207662	3853457	2291676	6461894	41188	176499	271398	522937	1012022	1832626	1253744	4098392	2363502	6797251	54092	186109	267060	553447	1060708	1873363	1338163	4272234	2525017	4565607	48386	168424	237458	408325	862593	695142	524091	2081826	2483781	3828813	24182	50489	90371	163405	328447	540426	540503	1409376	2419437
23331	4	rec.																																									20501999	273576	339270	513843	921922	2048611	2551474	3040739	7640824	12861175
23332	4	firms	36355	4782	13267	6714	5477	30240	5240	678	36158	197	36170	4071	13469	6778	5527	29845	5414	710	35969	201	36022	4052	13266	6627	5604	29549	5514	752	35815	207	40490	4026	13858	7810	7039	32733	6719	833	40285	205	38452	3691	12712	7816	6841	31060	6434	765	38259	193
23332	4	estab.	36968	4782	13270	6715	5487	30254	5286	826	36366	602	36796	4071	13470	6780	5535	29856	5454	858	36168	628	36654	4052	13267	6629	5613	29561	5549	896	36006	648	41124	4027	13859	7814	7050	32750	6751	959	40460	664	39224	3691	12712	7818	6854	31075	6505	918	38498	726
23332	4	empl.	528358	0	28823	44939	74740	148502	196333	101787	446622	81736	562467	0	29302	44999	75383	149684	207849	111926	469459	93008	581158	0	28812	44263	76300	149375	212808	118083	480266	100892	678573	0	30485	52350	96027	178862	257190	132326	568378	110195	637338	0	28829	52543	92887	174259	243960	119996	538215	99123
23332	4	ann. pay.	21524488	242304	909359	1455450	2664813	5271926	7745798	4480955	17498679	4025809	23381582	217800	956468	1532924	2808835	5516027	8565472	4995792	19077291	4304291	25212012	222840	955032	1511788	2920882	5610542	9091270	5433299	20135111	5076901	30415370	287004	1091245	1917613	3795093	7090955	11141327	6305789	24538071	5877299	29391467	235562	1088311	1983716	3731064	7038653	10862569	5957949	23859171	5532296
23332	4	rec.																																									239425735	2199022	9460399	14077805	25587717	51324943	81142540	51209971	183677454	55748281
23411	4	firms	10884	1493	3113	1923	1736	8265	2122	418	10805	79	10606	1297	3062	1843	1688	7890	2170	464	10524	82	10434	1267	2927	1792	1645	7631	2212	496	10339	95	10837	1342	3090	1953	1692	8077	2156	511	10744	93	10507	1478	2956	1804	1636	7874	2027	504	10405	102
23411	4	estab.	11268	1493	3114	1924	1742	8273	2142	486	10901	367	11006	1297	3062	1843	1693	7895	2188	542	10625	381	10889	1267	2927	1793	1650	7637	2222	581	10440	449	11314	1342	3090	1954	1699	8085	2172	597	10854	460	10985	1478	2956	1805	1638	7877	2060	609	10546	439
23411	4	empl.	232811	0	6810	13009	23814	43633	85220	64991	193844	38967	248814	0	6772	12495	23099	42366	87907	72854	203127	45687	265678	0	6489	12041	22626	41156	90001	80710	211867	53811	275191	0	6778	13136	23118	43032	87479	84293	214804	60387	274144	0	6771	12139	22321	41231	83304	84505	209040	65104
23411	4	ann. pay.	10868266	106846	368564	590813	1123977	2190200	3786449	3029273	9005922	1862344	11706960	90995	356385	564357	1123477	2135214	4060570	3434156	9629940	2077020	12328611	93841	330221	523755	1013416	1961233	4095642	3727429	9784304	2544307	13758593	129318	375503	638399	1207890	2351110	4342130	4228769	10922009	2836584	13767501	130528	390044	613152	1136052	2269776	4290408	4162914	10723098	3044403
23411	4	rec.																																									72164772	783334	2050671	2736983	5031905	10602893	20196223	22407376	53206492	18958280
23412	4	firms	886	70	167	137	146	520	266	79	865	21	871	57	179	119	144	499	269	77	845	26	872	58	176	112	134	480	280	86	846	26	778	46	167	114	124	451	225	75	751	27	792	83	156	127	124	490	204	66	760	32
23412	4	estab.	925	70	168	137	146	521	272	87	880	45	905	57	180	119	144	500	275	80	855	50	906	58	177	112	134	481	286	94	861	45	819	46	167	114	124	451	232	80	763	56	833	83	156	127	124	490	211	72	773	60
23412	4	empl.	34331	0	378	966	2070	3414	11472	11324	26210	8121	35554	0	433	832	2020	3285	11782	11569	26636	8918	39258	0	405	768	1823	2996	12702	14565	30263	8995	35828	0	370	776	1651	2797	9766	11458	24021	11807	36671	0	341	847	1757	2945	8780	10340	22065	14606
23412	4	ann. pay.	1657496	16305	23232	48004	94547	182088	529280	567908	1279276	378220	1762450	5817	25076	43732	92561	167186	590099	618649	1375934	386516	1987490	8146	26884	39844	81773	156647	598227	765998	1520872	466618	1938957	8332	22016	40370	76374	147092	490932	643496	1281520	657437	1987630	15070	19810	46008	82818	163706	481403	589231	1234340	753290
23412	4	rec.																																									9964920	68159	104947	206870	355219	735195	2371154	2943417	6049766	3915154
23491	4	firms	7749	676	2195	1502	1413	5786	1700	218	7704	45	7523	597	2062	1430	1414	5503	1749	225	7477	46	7390	578	2026	1351	1361	5316	1792	236	7344	46	8987	550	2323	1904	1827	6604	2069	268	8941	46	10520	868	3356	2091	1826	8141	2065	262	10468	52
23491	4	estab.	7823	676	2195	1502	1414	5787	1705	234	7726	97	7597	597	2062	1430	1415	5504	1754	241	7499	98	7483	579	2026	1352	1362	5319	1798	254	7371	112	9090	550	2323	1904	1828	6605	2073	294	8972	118	10652	868	3356	2091	1826	8141	2086	297	10524	128
23491	4	empl.	156448	0	4932	10090	19416	34438	66813	35039	136290	20158	163751	0	4681	9612	19372	33665	69964	35646	139275	24476	165784	0	4554	9083	18789	32426	71994	39822	144242	21542	193347	0	5392	12898	25360	43650	81027	44811	169488	23859	198821	0	7782	14007	24981	46770	80799	42605	170174	28647
23491	4	ann. pay.	6355696	50331	189080	367098	729144	1335653	2713393	1348895	5397941	957755	6728813	84669	176164	359417	744182	1364432	2842752	1605561	5812745	916068	7033034	39053	171250	333645	740634	1284582	2997125	1663953	5945660	1087374	8484892	47170	231318	521624	1016876	1816988	3470124	1973553	7260665	1224227	8785618	68245	300265	529704	1041887	1940101	3570992	1871136	7382229	1403389
23491	4	rec.																																									35161006	354108	1518676	2252728	4207078	8332590	14647434	7694469	30674493	4486513
23492	4	firms	3170	404	974	605	481	2464	550	119	3133	37	3281	386	991	657	511	2545	564	126	3235	46	3411	469	1035	632	494	2630	623	111	3364	47	3837	368	1161	749	624	2902	734	151	3787	50	4077	488	1344	771	643	3246	671	114	4031	46
23492	4	estab.	3305	404	974	606	481	2465	555	137	3157	148	3436	386	991	658	511	2546	571	146	3263	173	3644	470	1035	633	494	2632	632	125	3389	255	4065	368	1161	750	625	2904	739	166	3809	256	4325	488	1344	771	646	3249	689	127	4065	260
23492	4	empl.	76411	0	2221	4062	6639	12922	20800	19347	53069	23342	85302	0	2243	4414	6955	13612	22340	18685	54637	30665	97545	0	2334	4206	6718	13258	24592	18312	56162	41383	114999	0	2607	5009	8480	16096	29451	24555	70102	44897	98465	         [a]	         [h]	5184	8773	16991	27281	17678	61950	36515
23492	4	ann. pay.	2786378	28081	75603	133617	220635	457936	742158	645112	1845206	941172	3186979	36655	77586	146748	237910	498899	802137	668382	1969418	1217561	3815794	50678	82359	138151	227826	499014	910341	704194	2113549	1702245	4382043	44447	95299	164975	297654	602375	1080122	929945	2612442	1769601	3909650	         (D)	         (D)	162646	293802	619090	990328	637060	2246478	1663172
23492	4	rec.																																									12463879	         (D)	         (D)	538083	921759	         (D)	3123895	1941707	7211838	5252041
23493	4	firms	641	52	195	89	75	411	109	55	575	66	626	43	192	92	68	395	113	56	564	62	631	51	195	85	76	407	109	52	568	63	582	35	194	79	66	374	92	55	521	61	470	56	118	62	49	285	88	41	414	56
23493	4	estab.	709	52	195	89	75	411	113	59	583	126	696	43	192	92	68	395	116	62	573	123	689	51	195	85	76	407	111	56	574	115	647	35	194	79	66	374	94	60	528	119	527	56	118	62	49	285	93	48	426	101
23493	4	empl.	100218	0	394	598	1026	2018	4683	9788	16489	83729	98580	0	421	613	939	1973	4852	10429	17254	81326	101745	0	431	581	1019	2031	4913	8952	15896	85849	105367	0	404	550	878	1832	3952	9584	15368	89999	91921	         [a]	         [e]	408	680	1354	3720	6868	11942	79979
23493	4	ann. pay.	3784244	19057	12600	19803	32144	83604	177763	366318	627685	3156559	3844681	11505	11996	20847	31656	76004	190653	464671	731328	3113353	4137821	14477	11718	18748	33367	78310	200082	390785	669177	3468644	4036493	10343	15071	16749	34688	76851	139202	424958	641011	3395482	4087472	         (D)	         (D)	14986	25910	245830	141045	330593	717468	3370004
23493	4	rec.																																									16078240	         (D)	         (D)	61832	89920	         (D)	434625	985357	2177457	13900783
23499	4	firms	15860	1894	6632	2972	2043	13541	1963	254	15758	102	15734	1774	6553	2908	2129	13364	1990	276	15630	104	15702	1820	6369	2904	2146	13239	2065	290	15594	108	14321	1737	6327	2715	1852	12631	1401	188	14220	101	12373	2606	5072	1906	1356	10940	1151	186	12277	96
23499	4	estab.	16061	1894	6632	2974	2053	13553	1989	309	15851	210	15916	1774	6553	2911	2135	13373	2013	329	15715	201	15905	1821	6371	2905	2151	13248	2083	354	15685	220	14541	1737	6330	2715	1858	12640	1418	253	14311	230	12627	2606	5073	1908	1363	10950	1171	262	12383	244
23499	4	empl.	203725	0	14128	19549	27707	61384	72587	37249	171220	32505	216372	0	14009	19197	28758	61964	76070	41650	179684	36688	230977	0	13660	19139	29066	61865	78239	46058	186162	44815	176475	0	13258	17855	24721	55834	50969	29288	136091	40384	156290	0	10826	12547	18261	41634	42913	29012	113559	42731
23499	4	ann. pay.	7894422	90194	416958	617420	971025	2095597	2808509	1599047	6503153	1391269	8577983	81877	425419	608860	1046759	2162915	2985883	1817413	6966211	1611772	9325256	92379	396911	609399	1060578	2159267	3135131	2060088	7354486	1970770	7200646	80126	410501	581578	910559	1982764	1989196	1396358	5368318	1832328	6783676	104730	330306	399388	672594	1507018	1823245	1372624	4702887	2080789
23499	4	rec.																																									28551191	698661	1663056	1599670	2560120	6521507	7464973	6383625	20370105	8181086
23511	4	firms	87653	9319	41925	17448	10808	79500	7343	703	87546	107	88195	9037	41718	17549	11196	79500	7846	733	88079	116	89523	9430	41627	17960	11411	80428	8220	748	89396	127	88519	9098	41850	17595	11063	79606	8034	755	88395	124	89223	10148	41788	17403	11078	80417	7934	743	89094	129
23511	4	estab.	88542	9319	41926	17450	10818	79513	7415	809	87737	805	89125	9042	41719	17551	11206	79518	7912	841	88271	854	90487	9430	41630	17963	11416	80439	8276	850	89565	922	89550	9098	41851	17598	11069	79616	8088	851	88555	995	90341	10148	41788	17405	11083	80424	8028	926	89378	963
23511	4	empl.	817297	0	89820	114986	144693	349499	269298	114766	733563	83734	862013	0	89977	115345	149653	354975	288498	118680	762153	99860	897912	0	90302	118344	153121	361767	300650	122189	784606	113306	898440	0	90400	115786	148993	355179	297562	124152	776893	121547	879908	0	90914	114854	148470	354238	292995	118367	765600	114308
23511	4	ann. pay.	28511597	331349	2120236	3113733	4521349	10086667	9915896	4760536	24763099	3748498	31044940	346678	2236736	3202938	4822837	10609189	10982751	5067474	26659414	4385526	33406016	376565	2293442	3339803	5015791	11025601	11678176	5408794	28112571	5293445	34507914	360885	2331273	3411773	5074568	11178499	12056634	5738807	28973940	5533974	34806094	426073	2421996	3512226	5215143	11575438	12201195	5484360	29260993	5545101
23511	4	rec.																																									115839498	2271644	10985237	11911150	16220810	41388841	37762067	16845561	95996469	19843029
23521	4	firms	39429	7590	20975	6129	2957	37651	1681	88	39420	9	39728	7104	21221	6324	3186	37835	1769	111	39715	13	40931	7644	21495	6432	3312	38883	1914	123	40920	11	40322	7191	21701	6274	3130	38296	1881	134	40311	11	40876	8264	21530	6055	3050	38899	1836	128	40863	13
23521	4	estab.	39475	7590	20975	6130	2958	37653	1692	104	39449	26	39767	7104	21221	6324	3187	37836	1780	126	39742	25	40973	7644	21495	6432	3316	38887	1921	142	40950	23	40364	7191	21701	6275	3133	38300	1891	145	40336	28	40935	8264	21530	6055	3055	38904	1850	144	40898	37
23521	4	empl.	198800	0	42237	39807	39134	121178	59649	13564	194391	4409	212050	0	43066	41120	42210	126396	62827	17255	206478	5572	221787	0	43635	41774	44210	129619	67977	19427	217023	4764	220433	0	43571	40640	41207	125418	67687	22266	215371	5062	218825	0	44181	39439	40768	124388	66428	20456	211272	7553
23521	4	ann. pay.	5227676	187957	893204	878419	954824	2914404	1772168	442661	5129233	98443	5684254	171999	933652	930600	1064253	3100504	1918146	523166	5541816	142438	6121419	204432	966946	961384	1136690	3269452	2096566	647000	6013018	108401	6300673	193084	1005293	975290	1111635	3285302	2162940	722376	6170618	130055	6459789	256518	1002672	991416	1146805	3397411	2159358	687781	6244550	215239
23521	4	rec.																																									18552961	1204714	4049668	2789023	2907978	10951383	5205365	1657915	17814663	738298
23531	4	firms	65093	7219	30177	12665	7929	57990	6214	769	64973	120	65567	6732	29974	12975	8252	57933	6635	865	65433	134	65890	6582	29662	13136	8498	57878	6951	896	65725	165	64890	6439	29585	12801	8245	57070	6745	900	64715	175	64730	7261	29752	12454	7964	57431	6339	801	64571	159
23531	4	estab.	65703	7219	30179	12669	7939	58006	6271	916	65193	510	66220	6732	29978	12977	8260	57947	6691	1008	65646	574	66802	6587	29662	13137	8503	57889	7000	1020	65909	893	65860	6441	29588	12803	8251	57083	6802	1027	64912	948	65858	7262	29754	12461	7974	57451	6422	1031	64904	954
23531	4	empl.	692603	0	64844	83534	106651	255029	233620	128970	617619	74984	742538	0	64771	85353	111084	261208	249444	148014	658666	83872	815056	0	64591	86331	114546	265468	264676	158177	688321	126735	831895	0	64314	84380	110883	259577	260247	159594	679418	152477	770632	0	64811	82055	106698	253564	242360	139413	635337	135295
23531	4	ann. pay.	25345173	331487	1608631	2316309	3378891	7635318	8779206	5454176	21868700	3476473	28361458	362116	1673032	2431662	3646996	8113806	9620898	6397401	24132105	4229353	32698001	301894	1712909	2520241	3873877	8408921	10497081	7218338	26124340	6573661	33480174	280875	1748516	2559963	3844188	8433542	10612221	7350987	26396750	7083424	31707131	329385	1797693	2553645	3807936	8488659	10155458	6804742	25448859	6258272
23531	4	rec.																																									89483864	1513571	7148651	7533578	10405409	26601209	27323333	18184169	72108711	17375153
23541	4	firms	24429	3888	11875	4618	2295	22676	1612	124	24412	17	24493	3697	11809	4740	2378	22624	1684	169	24477	16	24993	3769	11804	4843	2510	22926	1863	187	24976	17	23630	3828	11724	4200	2066	21818	1605	190	23613	17	21672	4314	9965	3727	1974	19980	1479	194	21653	19
23541	4	estab.	24471	3888	11875	4618	2295	22676	1623	144	24443	28	24532	3697	11809	4741	2379	22626	1690	192	24508	24	25030	3769	11804	4843	2511	22927	1876	202	25005	25	23664	3828	11725	4201	2066	21820	1611	205	23636	28	21720	4314	9966	3727	1974	19981	1485	227	21693	27
23541	4	empl.	169823	0	25564	29996	30249	85809	60010	18938	164757	5066	182702	0	25514	31030	31822	88366	64326	25681	178373	4329	197878	0	25619	31439	33486	90544	71281	         [k]	         [m]	         [i]	178820	0	24868	27330	27346	79544	62149	         [k]	         [m]	         [i]	170005	0	21876	24075	26391	72342	57936	32560	162838	7167
23541	4	ann. pay.	4710880	131777	592893	658098	757309	2140077	1827071	598864	4566012	144868	5208921	129670	612369	693983	847019	2283041	1999724	804323	5087088	121833	5667795	132519	594758	709626	858036	2294939	2194269	         (D)	         (D)	         (D)	5605994	130385	608110	650112	760662	2149269	2152234	         (D)	         (D)	         (D)	5460469	157260	548411	602470	739646	2047787	2047620	1154701	5250108	210361
23541	4	rec.																																									16264237	825910	2443972	1950597	2115794	7336273	5459644	2922554	15718471	545766
23542	4	firms	21294	2812	8609	3795	2784	18000	2859	395	21254	40	21164	2570	8623	3829	2778	17800	2872	444	21116	48	21408	2690	8731	3774	2821	18016	2872	470	21358	50	19940	2568	8755	3267	2384	16974	2437	475	19886	54	19404	2917	8129	3153	2291	16490	2421	434	19345	59
23542	4	estab.	21585	2812	8609	3795	2785	18001	2881	450	21332	253	21515	2570	8623	3829	2779	17801	2889	505	21195	320	21774	2690	8731	3774	2824	18019	2888	503	21410	364	20337	2568	8756	3267	2387	16978	2451	511	19940	397	19944	2917	8129	3154	2293	16493	2448	515	19456	488
23542	4	empl.	287445	0	18686	25002	37862	81550	113168	67319	262037	25408	312683	0	18690	25389	37623	81702	115122	77176	274000	38683	319342	0	18860	24951	38328	82139	113145	82269	277553	41789	300984	0	18514	21393	32588	72495	98566	85118	256179	44805	293849	0	17743	20802	31254	69799	96235	77349	243383	50466
23542	4	ann. pay.	8535448	117062	434048	581518	987196	2119824	3356148	2213462	7689434	846014	9454216	113014	452787	627677	1020770	2214248	3535537	2513807	8263592	1190624	10224375	111655	473593	631337	1046256	2262841	3639875	2925535	8828251	1396124	9973183	102566	468245	549931	955330	2076072	3305986	3082733	8464791	1508392	10054987	143151	461816	558994	932618	2096579	3293657	2817807	8208043	1846944
23542	4	rec.																																									31376116	799258	2652159	2230713	2994171	8676301	9101233	7247410	25024944	6351172
23543	4	firms	6481	851	3543	1058	601	6053	400	25	6478	3	6649	946	3566	1002	662	6176	441	28	6645	4	6814	915	3585	1108	681	6289	487	36	6812	2	6877	892	3653	1089	688	6322	510	43	6875	2	8349	1373	4527	1222	669	7791	516	39	8346	3
23543	4	estab.	6488	851	3543	1058	601	6053	400	28	6481	7	6657	946	3566	1002	662	6176	441	31	6648	9	6821	915	3585	1108	681	6289	487	41	6817	4	6884	892	3653	1089	688	6322	510	48	6880	4	8357	1373	4527	1222	669	7791	516	44	8351	6
23543	4	empl.	40332	0	6967	6881	7920	21768	14500	3004	39272	1060	43548	0	7111	6602	8816	22529	16072	3515	42116	1432	47774	0	7234	7310	9019	23563	17967	         [i]	         [k]	         [f]	49717	0	7443	7207	9121	23771	19187	         [i]	         [k]	         [f]	51510	0	9092	8020	8912	26024	19202	5506	50732	778
23543	4	ann. pay.	1162532	22368	145523	169128	221204	558223	473461	93848	1125532	37000	1332180	29248	155879	168568	253280	606975	544090	122314	1273379	58801	1497650	25545	167171	185893	263418	642027	631570	         (D)	         (D)	         (D)	1609423	31488	175964	194416	282260	684128	685727	         (D)	         (D)	         (D)	1693232	38577	206163	216589	280910	742239	707681	211762	1661682	31550
23543	4	rec.																																									5557821	233604	1045956	757410	863403	2900373	1922017	610880	5433270	124551
23551	4	firms	44088	7347	24899	6961	3006	42213	1642	211	44066	22	44282	6933	24889	7262	3158	42242	1770	243	44255	27	44857	7015	25156	7227	3276	42674	1893	258	44825	32	44239	6986	25227	7105	2882	42200	1723	280	44203	36	46774	8596	26029	7119	3011	44755	1716	265	46736	38
23551	4	estab.	44252	7347	24900	6961	3007	42215	1666	240	44121	131	44449	6934	24889	7263	3159	42245	1792	278	44315	134	45028	7016	25156	7228	3280	42680	1916	277	44873	155	44391	6986	25227	7109	2886	42208	1744	313	44265	126	46918	8596	26030	7120	3015	44761	1743	294	46798	120
23551	4	empl.	237285	0	50377	44895	39800	135072	59150	34782	229004	8281	256279	0	50347	46780	41671	138798	64059	41911	244768	11511	269786	0	51318	46587	42757	140662	68308	45121	254091	15695	262936	0	50912	45695	37905	134512	61696	48975	245183	17753	262569	0	53371	45735	39740	138846	61418	44258	244522	18047
23551	4	ann. pay.	6164620	180401	1030066	982094	998800	3191361	1734327	1008456	5934144	230476	6935370	216089	1078991	1081683	1087924	3464687	1922930	1242399	6630016	305354	7533333	199448	1123430	1087985	1175524	3586387	2137166	1349931	7073484	459849	7507081	187074	1174083	1115894	1061923	3538974	2000732	1469781	7009487	497594	7809913	256097	1231737	1163602	1134747	3786183	2065306	1420329	7271818	538095
23551	4	rec.																																									28846419	1582254	6300497	4071758	3664538	15619047	6909535	4413352	26941934	1904485
23552	4	firms	13016	1899	7587	1953	980	12419	556	32	13007	9	13246	1924	7644	1984	1015	12567	637	35	13239	7	13393	1928	7553	2118	1050	12649	692	46	13387	6	12953	1928	7530	1858	923	12239	652	54	12945	8	13714	2238	7845	1896	1025	13004	661	42	13707	7
23552	4	estab.	13101	1899	7587	1953	981	12420	563	43	13026	75	13352	1924	7644	1984	1018	12570	641	48	13259	93	13497	1928	7553	2118	1051	12650	696	68	13414	83	13050	1928	7530	1858	924	12240	657	71	12968	82	13836	2238	7845	1898	1029	13010	679	61	13750	86
23552	4	empl.	66621	0	14605	12623	13123	40351	20131	         [h]	         [l]	         [g]	71493	0	14927	12905	13600	41432	22363	[i]	[l]	[h]	77517	0	14853	13760	14074	42687	24019	7600	74306	3211	74622	0	14681	11935	12392	39008	23002	8734	70744	3878	76215	0	15464	12272	13606	41342	23410	7428	72180	4035
23552	4	ann. pay.	1908821	39090	293761	298888	376112	1007851	674748	         (D)	         (D)	         (D)	2169073	51493	315788	322571	391324	1081176	768527	(D)	(D)	(D)	2430310	53537	325308	360099	416957	1155901	854487	297478	2307866	122444	2444462	58827	317603	312166	386320	1074916	850271	383806	2308993	135469	2628954	58239	339843	323948	441233	1163263	864599	396579	2424441	204513
23552	4	rec.																																									10279837	388628	1856958	1299145	1625254	5169985	3201078	1085956	9457019	822818
23561	4	firms	30877	4736	14489	5408	3359	27992	2657	209	30858	19	30665	4402	14353	5555	3349	27659	2745	240	30644	21	30855	4526	14445	5484	3380	27835	2740	254	30829	26	30127	4470	14435	5207	3181	27293	2572	236	30101	26	31367	5628	14584	5262	3132	28606	2506	228	31340	27
23561	4	estab.	30980	4736	14489	5408	3368	28001	2692	257	30950	30	30767	4402	14354	5555	3349	27660	2768	307	30735	32	30966	4526	14447	5484	3380	27837	2766	319	30922	44	30247	4470	14440	5209	3182	27301	2595	306	30202	45	31538	5628	14586	5266	3133	28613	2545	312	31470	68
23561	4	empl.	246478	0	30553	35500	45062	111115	99188	29475	239778	6700	257629	0	30195	36524	44938	111657	103103	35010	249770	7859	260774	0	30355	36116	45440	111911	102650	37895	252456	8318	247408	0	30183	34126	42758	107067	97389	36088	240544	6864	244435	0	31050	34653	42198	107901	94101	33740	235742	8693
23561	4	ann. pay.	7087370	135344	672937	825866	1168330	2802477	3063448	997789	6863714	223656	7614393	135528	692200	873856	1216176	2917760	3224343	1210623	7352726	261667	7928821	153834	695745	856150	1250859	2956588	3367430	1305025	7629043	299778	7833919	148495	744568	854250	1211779	2959092	3319018	1296247	7574357	259562	7882266	206428	765748	894010	1234676	3100862	3243552	1205559	7549973	332293
23561	4	rec.																																									30607059	1451406	4775448	3764067	4331768	14322689	10806255	4035309	29164253	1442806
23571	4	firms	29474	5487	11858	5944	3540	26829	2390	222	29441	33	29763	5327	11690	6131	3690	26838	2618	272	29728	35	30136	5085	11794	6336	3847	27062	2738	295	30095	41	30639	5151	12457	6182	3720	27510	2793	291	30594	45	34680	7933	13088	6437	4016	31474	2871	288	34633	47
23571	4	estab.	29575	5487	11858	5944	3542	26831	2399	242	29472	103	29870	5327	11690	6132	3691	26840	2629	293	29762	108	30238	5085	11794	6336	3848	27063	2749	306	30118	120	30743	5151	12457	6183	3721	27512	2802	318	30632	111	34820	7933	13088	6437	4017	31475	2887	323	34685	135
23571	4	empl.	244553	0	26596	39191	47226	113013	85766	34136	232915	11638	269232	0	26263	40474	49050	115787	96365	42133	254285	14947	292569	0	26654	41888	51418	119960	101832	48265	270057	22512	295285	0	27577	40936	49900	118413	104096	48719	271228	24057	306585	0	29622	42381	53644	125647	105563	46682	277892	28693
23571	4	ann. pay.	7719874	239249	801354	1031041	1342315	3413959	2717258	1174471	7305688	414186	8718107	250685	832359	1105339	1392816	3581199	3118430	1504020	8203649	514458	9501215	234502	795617	1123089	1477693	3630901	3386918	1762387	8780206	721009	10419100	255961	913154	1182703	1561835	3913653	3627508	1839042	9380203	1038897	10993175	416073	994193	1256401	1681504	4348171	3729589	1828918	9906678	1086497
23571	4	rec.																																									40255179	2166648	4725941	4623139	5875644	17391372	12997236	6685570	37074178	3181001
23581	4	firms	3756	366	2132	820	303	3621	124	8	3753	3	3718	310	2095	863	299	3567	143	5	3715	3	3735	333	2017	866	361	3577	146	9	3732	3	3648	305	1972	837	353	3467	167	11	3645	3	3955	406	2089	885	403	3783	156	12	3951	4
23581	4	estab.	3830	366	2132	820	304	3622	131	18	3771	59	3789	310	2095	863	299	3567	151	13	3731	58	3797	333	2017	866	363	3579	152	17	3748	49	3722	305	1972	837	356	3470	172	27	3669	53	4028	406	2089	885	406	3786	164	32	3982	46
23581	4	empl.	19905	0	4648	5255	3895	13798	3720	         [f]	         [j]	         [g]	20494	0	4569	5623	3897	14089	4407	[f]	[j]	[g]	21590	0	4443	5581	4745	14769	4570	790	20129	1461	22296	0	4361	5443	4604	14408	5249	1246	20903	1393	23692	0	4709	5774	5327	15810	4997	1507	22314	1378
23581	4	ann. pay.	594841	8578	103512	137252	117458	366800	137384	         (D)	         (D)	         (D)	636779	10236	106840	151414	121709	390199	164725	(D)	(D)	(D)	688475	19071	107329	148805	150187	425392	176257	29109	630758	57717	758907	8260	106779	154725	157717	427481	210222	61175	698878	60029	841050	12850	123730	171589	188173	496342	209751	70363	776456	64594
23581	4	rec.																																									3216861	86344	648250	641635	641245	2017474	685535	271055	2974064	242797
23591	4	firms	4560	604	1238	868	829	3539	873	126	4538	22	4907	772	1323	872	828	3795	950	137	4882	25	5339	870	1520	963	872	4225	941	140	5306	33	4732	774	1576	772	659	3781	785	136	4702	30	3741	582	975	640	641	2838	756	119	3713	28
23591	4	estab.	4598	604	1238	868	830	3540	879	138	4557	41	4945	772	1323	872	829	3796	955	153	4904	41	5382	870	1520	963	873	4226	948	148	5322	60	4782	774	1576	772	660	3782	789	155	4726	56	3799	582	975	640	642	2839	767	143	3749	50
23591	4	empl.	79102	0	2833	5852	11169	19854	34165	18752	72771	6331	86642	0	2989	5858	11223	20070	37846	20427	78343	8299	93564	0	3383	6436	11945	21764	38381	21164	81309	12255	81995	0	3507	5115	8936	17558	32905	22035	72498	9497	76231	0	2275	4326	8760	15361	30804	19218	65383	10848
23591	4	ann. pay.	2846486	42709	85445	175129	355943	659226	1230497	705885	2595608	250878	3199771	46056	99314	177733	368539	691642	1379392	819782	2890816	308955	3585788	50166	98946	198536	409025	756673	1477727	862833	3097233	488555	3260927	42410	100500	162121	310817	615848	1313363	906425	2835636	425291	3130304	46757	82227	145687	323862	598533	1261753	825803	2686089	444215
23591	4	rec.																																									9798113	233357	450725	482149	963300	2129531	3522228	2668335	8320094	1478019
23592	4	firms	5233	550	2232	1258	770	4810	398	22	5230	3	5411	658	2225	1232	822	4937	445	26	5408	3	5693	750	2325	1267	833	5175	479	35	5689	4	5454	668	2379	1138	755	4940	469	41	5450	4	5112	490	2165	1173	748	4576	486	45	5107	5
23592	4	estab.	5275	557	2232	1260	774	4823	417	28	5268	7	5450	658	2225	1233	826	4942	463	39	5444	6	5772	750	2325	1269	836	5180	495	90	5765	7	5531	668	2379	1138	759	4944	485	98	5527	4	5205	490	2166	1173	752	4581	512	66	5159	46
23592	4	empl.	39584	0	5136	8296	10218	23650	13448	         [g]	         [k]	         [e]	42259	0	5109	8128	11020	24257	15131	2779	42167	92	45837	0	5335	8383	11213	24931	16108	4073	45112	725	47125	0	5381	7617	10055	23053	17171	         [i]	         [k]	         [g]	46220	0	5061	7854	10071	22986	17049	5725	45760	460
23592	4	ann. pay.	1247764	18103	115029	222134	316451	671717	480428	         (D)	         (D)	         (D)	1409795	25110	125744	221578	359812	732244	554937	117423	1404604	5191	1570121	27805	133128	236997	378672	776602	614243	169271	1560116	10005	1756166	26847	134174	216720	360661	738402	706272	         (D)	         (D)	         (D)	1773257	16954	127771	231136	374174	750035	727683	275898	1753616	19641
23592	4	rec.																																									6556872	108757	656758	845164	1260999	2871678	2568376	1032770	6472824	84048
23593	4	firms	23209	4310	12054	3892	1889	22145	987	69	23201	8	25031	4824	12692	4193	2107	23816	1127	76	25019	12	26980	4966	13554	4704	2346	25570	1303	94	26967	13	25383	4761	13660	3720	1814	23955	1293	122	25370	13	22763	4355	11438	3572	1899	21264	1363	120	22747	16
23593	4	estab.	23240	4310	12054	3892	1889	22145	989	89	23223	17	25060	4824	12692	4193	2107	23816	1129	89	25034	26	27005	4966	13554	4704	2346	25570	1305	107	26982	23	25409	4761	13660	3720	1814	23955	1295	135	25385	24	22812	4355	11440	3572	1899	21266	1371	146	22783	29
23593	4	empl.	118521	0	24866	25315	25156	75337	33345	8868	117550	971	133165	0	26305	27288	27776	81369	39099	10901	131369	1796	152542	0	28211	30468	31195	89874	45801	14256	149931	2611	144439	0	27683	23972	23800	75455	48741	17609	141805	2634	145838	0	23821	23351	25206	72378	51083	17902	141363	4475
23593	4	ann. pay.	3979861	128237	648785	693365	776101	2246488	1251713	410496	3908697	71164	4625680	177634	707280	781471	863026	2529411	1492910	493881	4516202	109478	5253631	182792	751347	855413	975278	2764830	1685502	635128	5085460	168171	5482190	163850	749504	694794	815478	2423626	2032079	885516	5341221	140969	5666394	140544	669875	725185	922695	2458299	2103654	858124	5420077	246317
23593	4	rec.																																									22944363	934190	3416727	2845798	3356524	10553239	7899638	3282170	21735047	1209316
23594	4	firms	1336	247	419	238	190	1094	203	32	1329	7	1509	332	467	266	193	1258	211	33	1502	7	1733	375	578	280	214	1447	235	45	1727	6	1895	346	652	303	278	1579	259	49	1887	8	1827	325	589	324	266	1504	275	41	1820	7
23594	4	estab.	1344	247	419	238	190	1094	205	33	1332	12	1519	332	467	266	193	1258	212	37	1507	12	1752	375	578	280	214	1447	237	49	1733	19	1923	346	652	303	278	1579	261	50	1890	33	1874	325	589	324	266	1504	277	63	1844	30
23594	4	empl.	18295	0	892	1608	2641	5141	7259	         [h]	         [j]	         [f]	19447	0	970	1795	2652	5417	7750	5172	18339	1108	21896	0	1205	1840	2908	5953	8569	6289	20811	1085	27056	0	1350	2036	3840	7226	10057	         [i]	         [j]	         [h]	26911	0	1307	2178	3655	7140	10559	5813	23512	3399
23594	4	ann. pay.	638416	14647	25204	44602	85942	170395	256074	         (D)	         (D)	         (D)	702996	17206	29875	50084	91253	188418	280981	180491	649890	53106	808738	19178	35498	51907	97743	204326	308302	241776	754404	54334	953062	22468	39949	61714	131388	255519	394968	         (D)	         (D)	         (D)	950062	21836	41550	66230	125301	254917	395478	225721	876116	73946
23594	4	rec.																																									3448827	128235	239915	253445	444550	1066145	1262895	876561	3205601	243226
23595	4	firms	3294	417	1094	599	563	2673	510	79	3262	32	3582	623	1143	633	543	2942	531	77	3550	32	4026	686	1372	686	613	3357	542	94	3993	33	3840	628	1441	710	502	3281	449	76	3806	34	3135	444	1095	619	459	2617	432	56	3105	30
23595	4	estab.	4065	417	1094	599	566	2676	531	86	3293	772	4374	623	1143	633	545	2944	557	82	3583	791	4820	686	1372	687	614	3359	566	98	4023	797	4600	628	1441	710	505	3284	472	80	3836	764	3912	444	1095	619	462	2620	465	67	3152	760
23595	4	empl.	72618	0	2453	3985	7626	14064	19871	10847	44782	27836	73371	0	2578	4258	7387	14223	20551	9684	44458	28913	80929	0	2951	4627	8413	15991	21041	12754	49786	31143	72616	0	3067	4723	6783	14573	16722	9488	40783	31833	66532	0	2469	4183	6183	12835	16569	6848	36252	30280
23595	4	ann. pay.	3198473	20557	75501	124068	273052	493178	827900	488215	1809293	1389180	3472586	27633	81084	140804	291665	541186	880928	472706	1894820	1577766	3859624	30798	88951	148159	330141	598049	915537	581157	2094743	1764881	3543120	31986	88232	159819	261397	541434	758824	449118	1749376	1793744	3448290	23617	78757	148242	245745	496361	790942	359906	1647209	1801081
23595	4	rec.																																									10416479	111882	342643	476337	767931	1698793	2142183	943817	4784793	5631686
23599	4	firms	29288	5151	13650	5291	3131	27223	1849	162	29234	54	31017	5739	13973	5661	3317	28690	2073	193	30956	61	33328	6227	14889	6089	3650	30855	2200	214	33269	59	31320	5716	15061	5451	3069	29297	1799	171	31267	53	27763	6290	11976	4561	2865	25692	1852	170	27714	49
23599	4	estab.	29510	5151	13650	5291	3142	27234	1889	192	29315	195	31239	5739	13974	5661	3319	28693	2120	229	31042	197	33576	6228	14890	6089	3652	30859	2254	257	33370	206	31559	5716	15063	5452	3073	29304	1837	247	31388	171	28085	6294	11977	4565	2873	25709	1939	259	27907	178
23599	4	empl.	211398	0	29097	34713	41821	105631	64305	22571	192507	18891	229629	0	29438	37166	44123	110727	72094	26440	209261	20368	250147	0	31517	39831	48599	119947	77067	31780	228794	21353	217747	0	31584	35939	40601	108124	64137	24698	196959	20788	205384	0	25332	30114	38474	93920	66972	25290	186182	19202
23599	4	ann. pay.	6042557	159606	677600	842520	1138013	2817739	1931450	750274	5499463	543094	6824911	236143	715926	943242	1222833	3118144	2194227	897845	6210216	614695	7708745	232729	784715	1032225	1412747	3462416	2448088	1077137	6987641	721104	7016571	201105	805393	936440	1196615	3139553	2161281	941139	6241973	774598	6945057	233258	651979	838500	1181279	2905016	2331171	1026221	6262408	682649
23599	4	rec.																																									24723239	1464203	3496563	3269729	3994243	12224738	7252011	2951671	22428420	2294819
31111	4	firms	1083	57	230	214	212	713	236	67	1016	67	1106	75	239	223	193	730	238	68	1036	70	1127	61	259	210	205	735	245	71	1051	76	1174	68	295	208	206	777	251	77	1105	69	1183	79	295	205	204	783	252	81	1116	67
31111	4	estab.	1712	57	230	214	213	714	272	165	1151	561	1711	75	239	223	196	733	273	152	1158	553	1710	61	259	210	208	738	278	155	1171	539	1779	68	295	208	210	781	286	162	1229	550	1783	79	295	206	207	787	299	169	1255	528
31111	4	empl.	49084	0	555	1426	2816	4797	8445	7265	20507	28577	50384	0	572	1473	2555	4600	8847	7358	20805	29579	50801	0	608	1402	2703	4713	9036	6997	20746	30055	49235	0	690	1366	2745	4801	9170	7845	21816	27419	47012	0	708	1336	2773	4817	9133	8306	22256	24756
31111	4	ann. pay.	1620058	15978	11609	33889	73302	134778	261762	236074	632614	987444	1724796	9647	11647	35257	74756	131307	281379	268875	681561	1043235	1736894	2843	12774	33703	76392	125712	294336	258636	678684	1058210	1764080	6957	17866	34821	74039	133683	320928	306169	760780	1003300	1787858	45517	17776	36266	82577	182136	313943	323368	819447	968411
31111	4	rec.																																									29091490	737804	227151	411305	954780	2331040	3516571	4330377	10177988	18913502
31121	4	firms	315	13	78	52	46	189	68	29	286	29	322	24	78	52	38	192	74	27	293	29	324	22	67	61	38	188	75	34	297	27	329	27	73	58	42	200	68	34	302	27	293	19	67	38	44	168	67	33	268	25
31121	4	estab.	469	13	78	52	46	189	75	59	323	146	477	24	78	52	38	192	80	64	336	141	491	22	67	61	38	188	81	77	346	145	492	27	73	58	42	200	73	73	346	146	447	19	67	40	45	171	70	73	314	133
31121	4	empl.	18360	         [a]	         [c]	348	605	1137	2497	4186	7820	10540	18920	0	189	354	536	1079	2926	4148	8153	10767	18612	0	159	397	514	1070	2723	4963	8756	9856	18206	         [a]	         [c]	382	569	1132	2591	4902	8625	9581	17332	0	161	254	594	1009	2565	4399	7973	9359
31121	4	ann. pay.	658756	         (D)	         (D)	6100	16929	31248	71275	156483	259006	399750	652306	1624	3683	7636	14326	27269	87692	143182	258143	394163	658346	1275	3482	7561	13660	25978	81281	182663	289922	368424	639296	         (D)	         (D)	9417	14303	30779	79325	174308	284412	354884	636762	2209	3254	6303	16320	28086	83519	169585	281190	355572
31121	4	rec.																																									8912238	26315	47847	91258	176924	342344	880486	1902211	3125041	5787197
31122	4	firms	188	13	39	30	17	99	34	20	153	35	190	10	33	35	18	96	42	18	156	34	189	10	37	34	19	100	38	20	158	31	196	15	40	33	19	107	40	19	166	30	174	9	27	32	22	90	37	18	145	29
31122	4	estab.	354	13	39	30	17	99	40	31	170	184	352	10	33	35	18	96	50	27	173	179	357	10	37	34	19	100	48	31	179	178	360	15	40	33	19	107	49	28	184	176	324	9	27	32	22	90	42	26	158	166
31122	4	empl.	27898	         [a]	         [c]	194	225	524	1592	2712	4828	23070	27696	[a]	[b]	224	245	549	1920	2538	5007	22689	27657	         [a]	         [b]	233	271	588	1882	2407	4877	22780	26565	0	97	220	259	576	1979	2288	4843	21722	24250	         [a]	         [b]	214	293	561	1703	2213	4477	19773
31122	4	ann. pay.	1077745	         (D)	         (D)	3973	6153	13813	54950	89196	157959	919786	1067638	(D)	(D)	4573	5366	12734	66351	83294	162379	905259	1111345	         (D)	         (D)	5108	7034	15680	68784	91825	176289	935056	1139079	7692	4161	5353	6821	24027	73233	93425	190685	948394	1084695	         (D)	         (D)	4387	8091	16864	65687	93943	176494	908201
31122	4	rec.																																									28791046	         (D)	         (D)	90635	178114	         (D)	1236571	1486222	3099765	25691281
31123	4	firms	48	2	10	4	4	20	6	9	35	13	48	1	12	3	7	23	4	9	36	12	43	2	8	4	4	18	8	8	34	9	43	3	7	4	5	19	5	9	33	10	41	1	6	6	4	17	6	7	30	11
31123	4	estab.	67	2	10	4	4	20	6	9	35	32	68	1	12	3	7	23	4	9	36	32	65	2	8	4	4	18	8	8	34	31	64	3	7	4	5	19	5	9	33	31	61	1	6	6	4	17	6	7	30	31
31123	4	empl.	13040	         [a]	         [b]	25	59	105	224	1725	2054	10986	14056	[a]	[b]	21	104	155	155	1737	2047	12009	13584	         [a]	         [a]	23	59	101	267	1662	2030	11554	12872	         [a]	         [a]	23	83	121	189	1664	1974	10898	12949	         [a]	         [a]	38	65	120	231	1396	1747	11202
31123	4	ann. pay.	633727	         (D)	         (D)	398	2023	2891	6362	50037	59290	574437	711854	(D)	(D)	577	4450	5769	4498	52930	63197	648657	690579	         (D)	         (D)	481	1921	2833	8463	47082	58378	632201	690946	         (D)	         (D)	906	3344	7088	6573	50533	64194	626752	701096	         (D)	         (D)	1241	863	2428	8708	45328	56464	644632
31123	4	rec.																																									9405412	         (D)	         (D)	17071	6910	         (D)	170536	410422	609920	8795492
31131	4	firms	52	4	5	2	3	14	17	10	41	11	55	4	5	2	4	15	16	11	42	13	53	3	4	4	5	16	17	9	42	11	56	6	7	2	3	18	19	7	44	12	53	2	9	3	5	19	11	12	42	11
31131	4	estab.	95	4	5	2	3	14	18	12	44	51	98	4	5	2	4	15	16	13	44	54	94	3	4	4	5	16	17	11	44	50	94	6	7	2	3	18	19	9	46	48	90	2	9	3	5	19	11	18	48	42
31131	4	empl.	15998	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [g]	2143	3217	12781	17699	0	[a]	[a]	50	74	928	2359	3361	14338	16072	0	4	23	61	88	1022	2263	3373	12699	14594	0	         [a]	         [a]	46	79	1072	1533	2684	11910	14384	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	109	534	2702	3345	11039
31131	4	ann. pay.	632652	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	82438	124407	508245	699589	81	(D)	(D)	1049	1661	35550	86713	123924	575665	639704	105	178	452	815	1550	38083	91829	131462	508242	568999	184	         (D)	         (D)	791	1962	41961	66054	109977	459022	606003	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20428	23449	98568	142445	463558
31131	4	rec.																																									6896168	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	282023	1202675	1682901	5213267
31132	4	firms	145	14	34	47	19	114	15	11	140	5	141	9	39	36	28	112	15	9	136	5	146	17	39	39	23	118	14	8	140	6	155	14	47	40	30	131	12	6	149	6	120	8	44	26	17	95	12	5	112	8
31132	4	estab.	158	14	34	47	19	114	15	17	146	12	153	9	39	36	28	112	15	14	141	12	158	17	39	39	23	118	14	12	144	14	167	14	47	40	30	131	12	10	153	14	133	8	44	26	18	96	12	7	115	18
31132	4	empl.	10687	0	         [b]	         [e]	         [e]	         [f]	         [f]	2277	3596	7091	9794	0	[c]	[c]	366	701	627	2109	3437	6357	10012	0	96	256	321	673	543	1700	2916	7096	9908	0	         [c]	         [e]	429	810	495	1323	2628	7280	9109	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	528	522	1199	2249	6860
31132	4	ann. pay.	374161	115	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	68352	89007	285154	350487	72	(D)	(D)	4635	9282	10404	68763	88449	262038	351961	743	1735	3380	4387	10245	9444	52896	72585	279376	361874	491	         (D)	         (D)	5756	11658	9075	51857	72590	289284	367016	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10870	9813	46668	67351	299665
31132	4	rec.																																									3951877	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	57414	475523	639315	3312562
31133	4	firms	857	84	220	165	170	639	151	46	836	21	793	44	219	164	148	575	153	46	774	19	760	60	196	149	147	552	147	43	742	18	801	74	201	156	157	588	146	44	778	23	808	71	199	160	158	588	152	49	789	19
31133	4	estab.	935	85	222	165	177	649	176	63	888	47	874	45	220	164	153	582	179	66	827	47	837	62	196	149	154	561	163	64	788	49	873	75	201	157	163	596	159	66	821	52	873	71	199	161	164	595	164	69	828	45
31133	4	empl.	34286	0	510	1111	2222	3843	5349	7708	16900	17386	32903	0	494	1111	1906	3511	5441	6758	15710	17193	33222	0	476	1035	1931	3442	5189	5749	14380	18842	36005	0	458	1092	2056	3606	5161	5781	14548	21457	33429	0	468	1069	2034	3571	5378	6519	15468	17961
31133	4	ann. pay.	926140	1711	6762	14032	30023	52528	98589	177596	328713	597427	935217	1421	6686	13574	24190	45871	101466	165921	313258	621959	969845	7575	7943	13699	26394	55611	108485	151511	315607	654238	1013176	2348	7326	14172	29173	53019	114387	152931	320337	692839	970007	5464	7222	14449	29742	56877	113496	169840	340213	629794
31133	4	rec.																																									8975142	48556	70812	80144	154307	353819	603374	974233	1931426	7043716
31134	4	firms	583	62	204	122	71	459	73	34	566	17	571	67	203	103	76	449	71	35	555	16	559	70	179	108	77	434	73	37	544	15	575	64	197	106	75	442	80	34	556	19	586	54	195	124	80	453	84	32	569	17
31134	4	estab.	627	62	204	122	76	464	80	39	583	44	610	67	203	104	82	456	75	39	570	40	600	70	179	110	81	440	81	40	561	39	616	64	198	106	79	447	89	37	573	43	619	54	195	125	83	457	88	33	578	41
31134	4	empl.	25320	         [a]	         [e]	808	887	2140	2553	6700	11393	13927	24834	0	469	692	991	2152	2705	6080	10937	13897	24800	0	396	715	1000	2111	2775	6720	11606	13194	26409	0	421	678	964	2063	2953	6736	11752	14657	24284	0	415	816	1048	2279	3185	5926	11390	12894
31134	4	ann. pay.	782664	         (D)	         (D)	11733	11195	28718	60231	202097	291046	491618	781966	2144	5071	9200	13485	29900	69903	187426	287229	494737	823430	3107	7927	8737	15142	34913	75810	216100	326823	496607	875438	2773	5286	9217	16220	33496	84995	222209	340700	534738	791869	2080	6804	12338	17862	39084	86916	193175	319175	472694
31134	4	rec.																																									5642216	19548	41315	74763	76197	211823	489075	1206718	1907616	3734600
31141	4	firms	507	18	76	65	67	226	137	74	437	70	513	40	66	66	72	244	135	69	448	65	510	35	76	60	74	245	128	73	446	64	511	43	77	57	73	250	130	71	451	60	489	28	87	43	75	233	123	75	431	58
31141	4	estab.	656	18	77	65	67	227	139	95	461	195	662	40	67	67	72	246	139	88	473	189	660	35	77	60	74	246	130	92	468	192	665	43	78	57	73	251	132	91	474	191	644	28	87	43	75	233	124	101	458	186
31141	4	empl.	88468	0	181	467	870	1518	6118	13896	21532	66936	90688	0	152	452	984	1588	6390	14234	22212	68476	85922	0	151	411	1041	1603	5695	12977	20275	65647	86238	0	151	382	1014	1547	5627	13714	20888	65350	82763	0	187	295	1028	1510	5224	13297	20031	62732
31141	4	ann. pay.	2277966	2560	5529	9874	16817	34780	157987	337952	530719	1747247	2415636	7384	3180	11394	20366	42324	168561	353277	564162	1851474	2435524	7180	3645	10931	26654	48410	150856	355893	555159	1880365	2515073	5168	3581	9312	27820	45881	158559	388664	593104	1921969	2444668	1653	4029	8995	28971	43648	153989	383607	581244	1863424
31141	4	rec.																																									21493649	48539	32667	59505	177832	318543	1155455	2823122	4297120	17196529
31142	4	firms	919	67	233	134	109	543	199	108	850	69	910	82	232	127	102	543	194	95	832	78	903	85	222	112	117	536	204	92	832	71	911	87	210	120	128	545	200	99	844	67	858	67	205	115	111	498	195	87	780	78
31142	4	estab.	1152	67	233	134	109	543	204	155	902	250	1143	82	232	127	102	543	209	131	883	260	1136	85	222	112	117	536	220	129	885	251	1139	87	210	120	129	546	206	153	905	234	1077	67	205	115	111	498	211	129	838	239
31142	4	empl.	82009	0	497	906	1503	2906	8658	20412	31976	50033	80815	0	506	850	1431	2787	8499	16739	28025	52790	80728	0	488	741	1595	2824	8847	17483	29154	51574	79157	0	485	800	1783	3068	8307	18048	29423	49734	76142	0	428	781	1555	2764	8373	16240	27377	48765
31142	4	ann. pay.	2765611	9743	10156	15293	40219	75411	264244	621981	961636	1803975	2833110	17602	9043	16633	37860	81138	261498	542069	884705	1948405	2944072	12985	8935	14627	44943	81490	273494	560915	915899	2028173	2870402	9302	9158	16091	48566	83117	276555	604689	964361	1906041	2961073	6074	11340	16642	44853	78909	278607	588832	946348	2014725
31142	4	rec.																																									32053491	57072	115867	145485	344533	662957	2156846	5024108	7843911	24209580
31151	4	firms	932	46	158	126	129	459	265	113	837	95	911	47	157	116	130	450	269	111	830	81	888	47	168	105	116	436	263	109	808	80	909	53	175	109	132	469	245	110	824	85	844	48	148	108	109	413	238	105	756	88
31151	4	estab.	1395	46	158	126	130	460	280	156	896	499	1381	47	157	116	131	451	282	162	895	486	1350	47	168	105	116	436	277	159	872	478	1365	53	175	109	133	470	261	149	880	485	1296	48	148	108	110	414	251	140	805	491
31151	4	empl.	111066	0	357	845	1783	2985	11652	19029	33666	77400	111737	0	362	773	1798	2933	12166	19808	34907	76830	112001	0	392	709	1611	2712	11694	19406	33812	78189	112293	0	407	732	1853	2992	10947	19147	33086	79207	110169	0	339	740	1534	2613	10129	17490	30232	79937
31151	4	ann. pay.	3662263	5199	11269	18072	52289	86829	324942	623858	1035629	2626634	3920184	14325	7695	16914	51209	90143	342089	703362	1135594	2784590	4170392	3429	8773	15824	43232	71258	352999	713106	1137363	3033029	4166250	9717	9731	16443	54807	90698	329737	710632	1131067	3035183	4216871	1763	8261	17508	44904	72436	324411	672313	1069160	3147711
31151	4	rec.																																									58459671	28254	115070	228844	517860	890028	3848285	8187718	12926031	45533640
31152	4	firms	401	60	95	62	59	276	61	25	362	39	380	58	84	64	54	260	68	18	346	34	380	56	92	58	61	267	60	20	347	33	373	47	96	69	51	263	64	16	343	30	364	60	98	45	55	258	61	19	338	26
31152	4	estab.	444	60	95	62	59	276	64	27	367	77	425	58	84	64	54	260	71	18	349	76	419	56	92	58	61	267	63	20	350	69	409	47	96	69	51	263	67	17	347	62	401	60	98	45	55	258	64	21	343	58
31152	4	empl.	20415	0	206	421	783	1410	2197	3079	6686	13729	20374	0	188	417	734	1339	2418	2044	5801	14573	20016	0	192	382	772	1346	2233	2543	6122	13894	19506	0	233	464	673	1370	2539	2529	6438	13068	19105	0	207	303	765	1275	2269	3248	6792	12313
31152	4	ann. pay.	643615	7939	3790	7061	16341	35131	51181	89921	176233	467382	635448	2254	3008	6651	15768	27681	58581	59568	145830	489618	659263	5316	4282	6372	16551	32521	54324	73040	159885	499378	657282	2091	5570	9013	15061	31735	66600	78396	176731	480551	642921	2389	5355	5942	16280	29966	59310	86549	175825	467096
31152	4	rec.																																									7076979	25130	58350	56370	136972	276822	401921	615316	1294059	5782920
31161	4	firms	3512	239	1146	617	500	2502	602	257	3361	151	3503	312	1078	619	482	2491	606	251	3348	155	3405	268	1090	610	451	2419	579	250	3248	157	3443	308	1092	614	442	2456	590	247	3293	150	3191	252	980	594	394	2220	586	242	3048	143
31161	4	estab.	4144	239	1146	618	500	2503	628	326	3457	687	4129	312	1078	619	483	2492	631	311	3434	695	4032	268	1090	611	453	2422	600	308	3330	702	4074	308	1092	616	443	2459	613	297	3369	705	3805	252	980	595	395	2222	614	289	3125	680
31161	4	empl.	468929	0	2655	4053	6807	13515	25985	47361	86861	382068	483137	0	2522	4071	6470	13063	26030	46497	85590	397547	491111	0	2503	4001	6197	12701	25147	45376	83224	407887	496177	0	2551	4021	6037	12609	25398	43770	81777	414400	495730	0	2295	3912	5342	11549	24095	43712	79356	416374
31161	4	ann. pay.	10713520	22059	40231	68337	133685	264312	666426	1231658	2162396	8551124	11431098	43655	39101	63664	128856	275276	686317	1257378	2218971	9212127	11829239	45413	42898	64501	131361	284173	674286	1243379	2201838	9627401	12172408	25235	47513	73788	137129	283665	683837	1210138	2177640	9994768	12391140	27336	41240	72565	126663	267804	691689	1317606	2277099	10114041
31161	4	rec.																																									121523852	213315	452701	815922	1178029	2659967	5984319	11397905	20042191	101481661
31171	4	firms	718	77	149	105	100	431	193	61	685	33	729	84	153	110	94	441	186	75	702	27	741	94	174	110	82	460	182	72	714	27	710	76	169	120	82	447	168	67	682	28	643	85	126	93	88	392	152	74	618	25
31171	4	estab.	839	77	149	105	100	431	210	90	731	108	842	84	153	110	94	441	198	112	751	91	854	94	174	110	83	461	193	114	768	86	823	76	169	121	82	448	178	110	736	87	754	85	126	98	89	398	163	116	677	77
31171	4	empl.	43809	0	327	669	1353	2349	8758	9953	21060	22749	42534	0	342	734	1234	2310	8429	13584	24323	18211	41770	0	373	733	1089	2195	8246	13398	23839	17931	39855	0	383	790	1125	2298	7526	13292	23116	16739	38663	0	281	597	1199	2077	6749	14189	23015	15648
31171	4	ann. pay.	956400	6684	13962	21557	34132	76335	189777	232932	499044	457356	988801	7414	14924	17732	30142	70212	187470	345355	603037	385764	1070573	7170	13952	17841	33218	72181	198083	373640	643904	426669	1057737	8648	15118	21342	36587	81695	201702	392343	675740	381997	1092500	6882	14059	19988	33166	74095	182996	413426	670517	421983
31171	4	rec.																																									8847155	53963	146704	151495	356117	708279	1395985	3100968	5205232	3641923
31181	4	firms	9958	980	3575	2076	1729	8360	1265	213	9838	120	9113	862	3429	1886	1486	7663	1142	208	9013	100	8912	863	3262	1857	1451	7433	1167	208	8808	104	9050	941	3323	1835	1452	7551	1198	199	8948	102	8796	904	3173	1802	1437	7316	1171	208	8695	101
31181	4	estab.	10680	985	3578	2082	1760	8405	1428	330	10163	517	9742	864	3432	1894	1507	7697	1233	328	9258	484	9540	864	3267	1865	1476	7472	1241	343	9056	484	9679	942	3327	1846	1471	7586	1294	311	9191	488	9420	905	3177	1809	1458	7349	1277	349	8975	445
31181	4	empl.	230577	0	8180	13807	23381	45368	44056	29159	118583	111994	216550	0	7933	12555	19911	40399	39730	30893	111022	105528	223421	0	7486	12415	19620	39521	41445	33257	114223	109198	229426	0	7657	12254	19639	39550	43067	31480	114097	115329	220296	0	7451	11889	19606	38946	41921	32228	113095	107201
31181	4	ann. pay.	5684553	26604	94799	152474	284175	558052	714790	762599	2035441	3649112	5745577	48925	100600	163005	249336	561866	692689	828312	2082867	3662710	6344408	43327	103930	163578	263033	573868	788762	926763	2289393	4055015	6560357	82811	113212	171748	287133	654904	840148	925480	2420532	4139825	6421790	71753	104797	166361	296062	638973	886893	956100	2481966	3939824
31181	4	rec.																																									30342559	429037	389289	586666	1041315	2446307	3173924	3802045	9422276	20920283
31182	4	firms	784	60	220	139	115	534	135	57	726	58	763	71	194	136	116	517	133	51	701	62	738	49	191	137	120	497	133	49	679	59	747	65	203	122	116	506	137	47	690	57	693	54	190	110	101	455	138	50	643	50
31182	4	estab.	909	60	220	139	115	534	142	71	747	162	887	71	194	136	116	517	136	64	717	170	857	49	191	137	120	497	134	64	695	162	870	65	203	122	116	506	140	64	710	160	817	54	190	110	101	455	141	67	663	154
31182	4	empl.	62287	0	493	955	1603	3051	5408	8070	16529	45758	58942	0	451	916	1577	2944	5341	7731	16016	42926	58125	0	448	945	1677	3070	5335	7819	16224	41901	56258	0	453	844	1596	2893	5702	7960	16555	39703	56220	0	447	742	1393	2582	5634	7984	16200	40020
31182	4	ann. pay.	1991548	2850	7888	14012	26816	51566	136932	255959	444457	1547091	1937572	1696	7330	14538	28395	51959	135176	237504	424639	1512933	1986213	1572	7709	15730	29109	54120	146495	241040	441655	1544558	1956073	4393	9502	14511	30131	58537	154440	250338	463315	1492758	1984520	2642	8701	14146	31193	56682	167640	242539	466861	1517659
31182	4	rec.																																									18129209	23650	78368	118678	219218	439914	870808	1454437	2765159	15364050
31183	4	firms	230	26	47	38	31	142	59	25	226	4	227	14	52	33	36	135	64	24	223	4	226	16	54	33	26	129	69	24	222	4	246	18	68	36	30	152	65	24	241	5	272	28	76	35	38	177	66	24	267	5
31183	4	estab.	249	26	47	38	31	142	61	28	231	18	247	14	52	33	36	135	67	27	229	18	247	16	54	33	26	129	73	27	229	18	268	18	68	36	30	152	69	26	247	21	297	28	76	35	38	177	72	29	278	19
31183	4	empl.	11185	0	124	256	441	821	2621	2874	6316	4869	11785	0	140	216	502	858	2918	2800	6576	5209	11785	0	132	222	349	703	3154	2847	6704	5081	12333	0	173	245	424	842	2994	2884	6720	5613	12061	0	178	236	510	924	2997	3112	7033	5028
31183	4	ann. pay.	235439	1447	1829	2647	5882	11805	47632	58660	118097	117342	253601	570	1832	2843	7866	13111	51589	59921	124621	128980	264750	233	2212	3403	4527	10375	56306	64306	130987	133763	294741	999	2677	3634	6188	13498	61181	66975	141654	153087	296011	1201	3288	3262	8943	16694	63100	69128	148922	147089
31183	4	rec.																																									1465053	5879	14999	13627	38874	73379	255350	271648	600377	864676
31191	4	firms	461	42	93	66	63	264	120	39	423	38	475	37	116	63	62	278	117	40	435	40	478	43	102	70	61	276	124	38	438	40	462	51	104	60	55	270	115	41	426	36	397	33	76	51	46	206	115	44	365	32
31191	4	estab.	553	42	93	66	63	264	124	51	439	114	565	37	116	63	62	278	120	52	450	115	568	43	102	70	61	276	129	47	452	116	548	51	104	60	55	270	119	53	442	106	480	33	76	52	46	207	119	55	381	99
31191	4	empl.	45337	0	222	460	899	1581	5157	6644	13382	31955	45820	0	272	437	858	1567	5061	6858	13486	32334	42785	0	231	471	878	1580	5422	6188	13190	29595	38354	0	230	416	750	1396	5017	6458	12871	25483	45630	0	165	333	647	1145	4695	7679	13519	32111
31191	4	ann. pay.	1398134	2106	4823	8004	17465	32398	123781	186261	342440	1055694	1438648	2378	7679	7680	17528	35265	126620	182425	344310	1094338	1627766	1334	8129	9650	17607	36720	134331	171911	342962	1284804	1163004	4916	5965	8122	18323	37326	133877	193457	364660	798344	1386853	2456	5874	6759	14362	29451	134243	232071	395765	991088
31191	4	rec.																																									16667666	27660	68179	69597	130427	295863	1004416	1555447	2855726	13811940
31192	4	firms	224	15	54	29	36	134	49	19	202	22	232	20	56	39	25	140	54	18	212	20	261	34	62	49	27	172	52	15	239	22	263	26	56	60	34	176	51	16	243	20	276	36	68	50	32	186	54	18	258	18
31192	4	estab.	255	15	54	29	36	134	51	23	208	47	259	20	56	39	25	140	55	22	217	42	289	34	62	50	27	173	53	19	245	44	291	26	56	60	34	176	52	22	250	41	297	36	69	50	32	187	56	22	265	32
31192	4	empl.	12931	         [a]	         [c]	197	490	825	1860	2477	5162	7769	12260	0	131	266	346	743	2000	2406	5149	7111	12523	0	152	345	376	873	2129	2109	5111	7412	12130	0	123	405	471	999	2095	2405	5499	6631	11423	0	149	337	413	899	1926	2612	5437	5986
31192	4	ann. pay.	450966	         (D)	         (D)	4510	10547	19067	61826	90202	171095	279871	461426	659	2992	5873	9033	18557	72213	94000	184770	276656	486390	1318	3278	10092	9530	24218	81589	80305	186112	300278	478850	1037	3083	10057	12123	26300	74503	87614	188417	290433	467170	8483	3136	9911	10752	32282	75252	97950	205484	261686
31192	4	rec.																																									5443286	50573	148998	100016	76171	375758	464368	671115	1511241	3932045
31193	4	firms	143	4	32	29	23	88	33	9	130	13	142	10	32	24	26	92	32	4	128	14	153	15	39	25	22	101	33	5	139	14	154	13	37	27	19	96	38	7	141	13	135	6	34	22	23	85	33	7	125	10
31193	4	estab.	165	4	32	29	23	88	37	12	137	28	165	10	32	24	26	92	36	7	135	30	177	15	39	25	22	101	36	10	147	30	180	13	37	27	19	96	41	11	148	32	159	6	34	22	23	85	36	11	132	27
31193	4	empl.	5664	         [a]	         [b]	196	309	585	1383	1069	3037	2627	5388	0	74	154	347	575	1395	740	2710	2678	5375	0	89	174	291	554	1452	756	2762	2613	5894	0	85	182	261	528	1618	939	3085	2809	5625	0	86	153	313	552	1365	1026	2943	2682
31193	4	ann. pay.	246984	         (D)	         (D)	7100	12706	22273	70490	30418	123181	123803	238904	963	2404	4476	13202	21045	70758	22738	114541	124363	234611	1676	3150	5446	12663	22935	63777	25557	112269	122342	276365	1053	3143	7429	10968	22593	71791	44550	138934	137431	253610	459	4644	4395	14686	24184	68043	44584	136811	116799
31193	4	rec.																																									8701902	4838	48318	50139	126982	230277	465345	443196	1138818	7563084
31194	4	firms	537	40	142	83	77	342	105	44	491	46	559	56	133	80	66	335	132	40	507	52	552	44	131	91	64	330	139	37	506	46	577	57	137	100	75	369	131	38	538	39	517	53	118	74	71	316	119	42	477	40
31194	4	estab.	609	40	142	83	77	342	108	60	510	99	629	56	133	80	66	335	136	56	527	102	620	44	131	91	64	330	145	51	526	94	645	57	137	100	75	369	137	55	561	84	590	53	118	75	74	320	125	59	504	86
31194	4	empl.	25356	0	308	567	1076	1951	4386	5086	11423	13933	26880	0	296	523	896	1715	5437	5632	12784	14096	26602	0	291	610	901	1802	6062	5783	13647	12955	26578	0	294	689	1067	2050	5755	5888	13693	12885	27331	0	259	493	1032	1784	5190	6195	13169	14162
31194	4	ann. pay.	905265	2718	6914	11993	39119	60744	154011	186517	401272	503993	1043873	8195	6194	12062	30945	57396	200261	223752	481409	562464	1055468	1434	7644	13749	31953	54780	229417	230013	514210	541258	1080115	4079	7068	17533	36350	65030	232723	250673	548426	531689	1120669	4648	7751	14205	43494	70098	202783	261153	534034	586635
31194	4	rec.																																									11049374	41025	69352	133314	374089	617780	1348297	1975234	3941311	7108063
31199	4	firms	1189	96	246	166	194	702	296	118	1116	73	1204	109	258	161	195	723	287	124	1134	70	1225	132	246	174	196	748	284	125	1157	68	1266	112	287	188	194	781	293	123	1197	69	1181	109	237	159	182	687	291	123	1101	80
31199	4	estab.	1294	96	246	166	194	702	310	144	1156	138	1315	109	258	161	195	723	302	154	1179	136	1340	132	246	174	196	748	296	158	1202	138	1384	112	287	191	194	784	302	156	1242	142	1331	109	237	159	186	691	309	161	1161	170
31199	4	empl.	61733	0	555	1117	2680	4352	12543	16142	33037	28696	61158	0	614	1081	2716	4411	12183	16901	33495	27663	61330	0	564	1178	2681	4423	11870	17986	34279	27051	62153	0	664	1259	2697	4620	12547	17485	34652	27501	59859	0	569	1088	2579	4236	12340	16369	32945	26914
31199	4	ann. pay.	1570971	8000	8920	19660	53146	89726	297418	413201	800345	770626	1590228	15859	12110	20451	55435	103855	290445	433467	827767	762461	1682459	7272	12284	21754	60240	101550	301457	474439	877446	805013	1783954	10630	15830	36305	61930	124695	322853	501856	949404	834550	1854963	9632	14682	22752	61874	108940	334067	478771	921778	933185
31199	4	rec.																																									14601862	55725	125586	174921	361851	718083	2513081	3349959	6581123	8020739
31211	4	firms	956	85	287	152	120	644	171	75	890	66	930	92	275	145	126	638	146	77	861	69	927	100	263	147	131	641	147	74	862	65	959	110	275	155	132	672	152	76	900	59	965	107	304	137	134	682	150	75	907	58
31211	4	estab.	1300	85	287	153	122	647	179	96	922	378	1285	92	275	145	128	640	157	111	908	377	1289	100	263	147	134	644	159	104	907	382	1317	110	275	155	135	675	174	101	950	367	1324	107	304	137	135	683	167	95	945	379
31211	4	empl.	81318	0	649	1037	1592	3278	6861	11847	21986	59332	83143	0	601	969	1681	3251	6270	11390	20911	62232	80302	0	589	984	1690	3263	6174	11265	20702	59600	80819	0	601	1042	1745	3388	6434	12128	21950	58869	75740	0	679	911	1819	3409	5907	10683	19999	55741
31211	4	ann. pay.	2707089	4938	16295	22393	38434	82060	200754	395408	678222	2028867	2844451	21602	12335	22923	43105	99965	197534	367253	664752	2179699	3021430	6746	16565	23532	45690	92533	192989	387479	673001	2348429	3006102	10983	15592	24005	45108	95688	196613	408981	701282	2304820	2817865	3024	15894	25198	51499	95615	207044	359060	661719	2156146
31211	4	rec.																																									35594783	21317	108138	133557	310639	573651	1470133	3202510	5246294	30348489
31212	4	firms	478	49	164	73	46	332	119	17	468	10	500	73	173	63	51	360	114	15	489	11	508	72	162	76	48	358	124	16	498	10	500	66	153	77	50	346	127	18	491	9	415	66	125	51	50	292	95	18	405	10
31212	4	estab.	514	49	164	73	46	332	120	21	473	41	533	73	173	63	51	360	115	19	494	39	538	72	162	76	48	358	125	20	503	35	526	66	153	77	50	346	128	22	496	30	446	66	125	51	50	292	98	24	414	32
31212	4	empl.	32038	         [a]	         [e]	496	600	1483	4725	2348	8556	23482	30650	0	410	402	671	1483	4681	2084	8248	22402	32122	         [a]	         [e]	511	649	1525	5054	2068	8647	23475	32931	0	         [e]	         [f]	677	1527	5382	2729	9638	23293	30761	0	258	350	668	1276	4014	2391	7681	23080
31212	4	ann. pay.	1620892	         (D)	         (D)	9890	10865	29459	88368	87378	205205	1415687	1568844	12296	8752	6646	13149	40843	92489	66005	199337	1369507	1591318	         (D)	         (D)	10058	17090	38108	106254	68478	212840	1378478	1573687	2668	         (D)	         (D)	13612	33650	121557	115721	270928	1302759	1585176	3529	6225	7254	15510	32518	109937	89016	231471	1353705
31212	4	rec.																																									18659524	28865	73054	69501	118543	289963	577770	701247	1568980	17090544
31213	4	firms	672	75	196	125	101	497	129	30	656	16	732	92	205	135	110	542	143	29	714	18	798	89	236	145	130	600	149	32	781	17	1064	120	354	183	161	818	197	31	1046	18	1175	147	427	192	159	925	198	33	1156	19
31213	4	estab.	727	75	196	125	101	497	132	48	677	50	788	92	205	135	110	542	145	46	733	55	856	89	236	145	130	600	150	49	799	57	1125	120	354	183	162	819	199	47	1065	60	1239	147	427	193	159	926	203	49	1178	61
31213	4	empl.	20325	0	466	846	1411	2723	4845	4745	12313	8012	22218	0	467	903	1521	2891	5279	4727	12897	9321	21814	0	496	953	1751	3200	5333	4683	13216	8598	26060	0	778	1202	2142	4122	7202	4323	15647	10413	26832	0	937	1281	2167	4385	7242	4592	16219	10613
31213	4	ann. pay.	741722	5182	10949	18819	37972	72922	129166	160405	362493	379229	811705	5041	11386	22536	37641	76604	147876	156788	381268	430437	876638	8958	13112	23717	45048	90835	162200	169121	422156	454482	1000810	5564	20444	30430	55473	111911	232105	167747	511763	489047	1087093	5778	26082	34026	60972	126858	224581	189842	541281	545812
31213	4	rec.																																									9717671	48216	202973	228871	348516	828576	1286857	1715392	3830825	5886846
31214	4	firms	45	4	6	4	3	17	6	14	37	8	49	8	6	4	4	22	7	12	41	8	50	2	13	3	4	22	8	13	43	7	49	6	10	2	3	21	9	13	43	6	75	11	20	5	9	45	13	11	69	6
31214	4	estab.	60	4	6	4	3	17	6	15	38	22	65	8	6	4	4	22	7	13	42	23	65	2	13	3	4	22	8	13	43	22	65	6	10	2	3	21	9	13	43	22	90	11	20	5	9	45	13	12	70	20
31214	4	empl.	6575	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	85	199	2366	2650	3925	6128	0	15	28	54	97	289	2097	2483	3645	5699	         [a]	         [b]	19	51	99	259	2192	2550	3149	5817	0	         [b]	         [a]	35	72	299	2181	2552	3265	6031	0	43	33	119	195	496	2126	2817	3214
31214	4	ann. pay.	274223	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2633	7543	86610	96786	177437	253404	198	188	823	1395	2604	10162	83023	95789	157615	268543	         (D)	         (D)	725	1326	2916	10054	97457	110427	158116	278402	134	         (D)	         (D)	1713	3488	14239	99782	117509	160893	284289	80	969	1793	3245	6087	26203	95227	127517	156772
31214	4	rec.																																									4547608	910	8580	14784	27410	51684	239699	746355	1037738	3509870
31221	4	firms	22	4	3	1	1	9	2	3	14	8	18	3	3	0	0	6	1	5	12	6	24	8	5	0	0	13	0	3	16	8	24	2	8	1	0	11	2	3	16	8	16	3	2	0	0	5	3	3	11	5
31221	4	estab.	32	4	3	1	1	9	2	3	14	18	27	3	3	0	0	6	1	6	13	14	33	8	5	0	0	13	0	3	16	17	32	2	8	1	0	11	2	4	17	15	20	3	2	0	0	5	3	4	12	8
31221	4	empl.	5067	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [e]	493	4574	5141	0	[a]	0	0	[a]	[b]	[g]	1206	3935	5024	0	10	0	0	10	0	503	513	4511	3597	         [a]	20	         [a]	0	         [b]	         [b]	322	404	3193	2264	0	         [a]	0	0	         [a]	         [c]	365	592	1672
31221	4	ann. pay.	135945	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21492	114453	154811	22	(D)	0	0	(D)	(D)	(D)	75073	79738	123477	710	237	0	0	947	0	6696	7643	115834	110158	         (D)	439	         (D)	0	         (D)	         (D)	6342	7841	102317	69658	28	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	7488	14417	55241
31221	4	rec.																																									1141540	1124	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	128387	223371	918169
31222	4	firms	79	14	14	8	5	41	18	8	67	12	75	8	19	7	5	39	14	9	62	13	70	8	17	7	5	37	12	9	58	12	128	20	54	11	8	93	14	9	116	12	95	16	28	8	11	63	13	6	82	13
31222	4	estab.	96	14	14	8	5	41	18	9	68	28	91	8	19	7	5	39	14	9	62	29	88	8	17	7	5	37	12	14	63	25	147	20	54	11	8	93	15	15	123	24	113	16	28	8	11	63	13	11	87	26
31222	4	empl.	27569	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [f]	         [f]	2026	25543	25069	0	[b]	44	64	[c]	[f]	[f]	1901	23168	24269	0	42	45	64	151	491	1500	2142	22127	21640	         [a]	105	         [b]	94	         [e]	         [f]	1356	2228	19412	21767	0	         [b]	44	131	         [c]	         [f]	992	1776	19991
31222	4	ann. pay.	1397614	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	62563	1335051	1358347	922	(D)	728	900	(D)	(D)	(D)	69015	1289332	1436211	582	833	2234	1318	4967	10700	60569	76236	1359975	1288634	         (D)	2326	         (D)	5179	         (D)	         (D)	58567	89507	1199127	1310058	2183	         (D)	1623	5049	         (D)	         (D)	40841	66983	1243075
31222	4	rec.																																									38285225	18657	         (D)	12191	54123	         (D)	         (D)	494736	780033	37505192
31311	4	firms	359	32	54	31	42	159	83	57	299	60	373	34	63	51	35	183	77	57	317	56	374	26	68	43	44	181	80	55	316	58	387	36	82	39	55	212	73	53	338	49	383	36	98	45	42	221	78	40	339	44
31311	4	estab.	603	32	54	31	42	159	85	73	317	286	613	34	63	51	35	183	78	76	337	276	607	26	68	43	44	181	83	76	340	267	605	36	82	40	55	213	75	69	357	248	569	36	98	45	42	221	81	51	353	216
31311	4	empl.	84865	0	129	217	582	928	3855	11453	16236	68629	81028	0	150	370	485	1005	3647	11625	16277	64751	76609	0	152	281	628	1061	3661	10775	15497	61112	66321	0	198	261	795	1254	3503	9287	14044	52277	60243	0	207	301	595	1103	3803	7729	12635	47608
31311	4	ann. pay.	2063017	2756	4765	4107	11121	22749	106824	274356	403929	1659088	1953154	5165	4452	7949	9919	27485	107619	283956	419060	1534094	1930479	1277	4969	5174	12783	24203	98370	267380	389953	1540526	1614660	26816	5705	7075	18746	58342	95034	234526	387902	1226758	1589374	2689	5108	7187	14344	29328	103164	214364	346856	1242518
31311	4	rec.																																									10228526	17309	36082	35938	99526	188855	529634	1130309	1848798	8379728
31321	4	firms	748	57	235	125	83	500	105	63	668	80	730	43	230	114	85	472	110	65	647	83	712	40	217	120	94	471	99	61	631	81	728	47	221	123	89	480	104	71	655	73	663	47	191	111	79	428	107	65	600	63
31321	4	estab.	924	57	235	125	83	500	107	73	680	244	899	43	230	114	85	472	112	72	656	243	874	40	218	120	94	472	100	68	640	234	880	47	221	124	89	481	105	77	663	217	792	47	191	112	79	429	110	72	611	181
31321	4	empl.	130441	0	511	823	1063	2397	4777	13155	20329	110112	124188	0	503	750	1102	2355	4788	12494	19637	104551	113249	0	419	780	1279	2478	4581	10750	17809	95440	105590	0	498	820	1230	2548	4520	12347	19415	86175	87391	0	432	743	1067	2242	4501	11192	17935	69456
31321	4	ann. pay.	3422150	25171	9593	16545	21228	72537	114511	337438	524486	2897664	3220720	3236	9612	15322	21827	49997	125110	333947	509054	2711666	3138544	1559	9585	17620	26884	55648	133722	298733	488103	2650441	2808970	3665	10773	18422	29454	62314	123954	336630	522898	2286072	2444690	7844	9599	18333	31545	67321	121849	333379	522549	1922141
31321	4	rec.																																									12198829	40301	50340	90657	164073	345371	624919	1715605	2685895	9512934
31322	4	firms	463	32	140	81	76	329	71	41	441	22	447	27	146	69	69	311	77	37	425	22	425	26	139	77	58	300	66	38	404	21	420	22	143	77	55	297	69	36	402	18	372	29	127	60	47	263	66	27	356	16
31322	4	estab.	503	32	140	81	76	329	73	58	460	43	488	27	146	69	69	311	79	55	445	43	465	26	139	77	59	301	68	55	424	41	459	22	143	77	55	297	76	50	423	36	401	29	127	60	48	264	67	38	369	32
31322	4	empl.	19844	0	334	540	1036	1910	2913	6766	11589	8255	19106	0	327	462	890	1679	3266	6457	11402	7704	18683	0	311	509	773	1593	2718	6755	11066	7617	17466	0	306	522	760	1588	2840	6372	10800	6666	14746	0	278	417	671	1366	2917	4858	9141	5605
31322	4	ann. pay.	482147	3378	6167	9580	22412	41537	68783	166956	277276	204871	466331	2375	5836	8780	18265	35256	75952	159028	270236	196095	464981	1698	5958	11489	15510	34655	63671	173502	271828	193153	433619	812	4953	9503	17800	33068	63709	166664	263441	170178	410745	4681	5536	11486	17752	39455	80465	133929	253849	156896
31322	4	rec.																																									1596347	22919	26273	37959	67127	154278	319363	497119	970760	625587
31323	4	firms	202	9	30	27	22	88	51	30	169	33	202	15	27	22	29	93	47	28	168	34	199	16	30	21	28	95	43	23	161	38	194	7	39	17	30	93	43	24	160	34	194	11	32	20	31	94	45	22	161	33
31323	4	estab.	245	9	30	27	22	88	54	38	180	65	248	15	27	22	29	93	49	38	180	68	249	16	30	21	28	95	46	33	174	75	242	7	39	17	30	93	45	35	173	69	234	11	32	20	31	94	48	28	170	64
31323	4	empl.	20002	0	58	185	312	555	2432	4435	7422	12580	20851	[a]	[b]	140	383	576	2099	3851	6526	14325	20650	0	71	147	380	598	2040	3074	5712	14938	19925	0	85	125	427	637	1871	3239	5747	14178	17934	0	69	130	422	621	2038	2541	5200	12734
31323	4	ann. pay.	736740	793	2922	6055	8902	18672	62942	142369	223983	512757	769800	(D)	(D)	4578	12291	30171	60076	115602	205849	563951	786306	1516	4104	4426	11526	21572	59584	96951	178107	608199	744849	264	4202	3634	12675	20775	56260	89232	166267	578582	689565	2524	2810	3789	14843	23966	64321	88458	176745	512820
31323	4	rec.																																									4337555	13628	13964	20593	80090	128275	355913	415018	899206	3438349
31324	4	firms	387	14	41	48	60	163	124	59	346	41	395	20	52	46	65	183	110	61	354	41	362	10	62	37	57	166	105	54	325	37	352	16	64	35	59	174	95	51	320	32	333	19	59	42	52	172	98	40	310	23
31324	4	estab.	428	14	41	48	60	163	125	68	356	72	437	20	52	46	65	183	112	70	365	72	399	10	62	37	57	166	108	63	337	62	390	16	64	35	59	174	96	63	333	57	364	19	59	42	52	172	104	51	327	37
31324	4	empl.	37742	0	82	337	811	1230	5458	8701	15389	22353	35637	[a]	[c]	322	903	1353	5033	10226	16612	19025	32896	0	160	266	806	1232	4835	9822	15889	17007	27460	0	165	251	850	1266	4055	7947	13268	14192	19786	0	140	279	728	1147	4417	6393	11957	7829
31324	4	ann. pay.	901710	770	2176	9653	22420	35019	137328	215078	387425	514285	904314	(D)	(D)	8998	24408	40585	133108	248730	422423	481891	843641	249	3369	8426	23725	35769	121305	245568	402642	440999	710855	7025	4396	5735	25341	42497	104644	216174	363315	347540	564372	7050	3982	7600	23652	42284	119356	188935	350575	213797
31324	4	rec.																																									2910745	50512	25756	39267	133486	249021	464382	887626	1601029	1309716
31331	4	firms	1608	143	518	265	186	1112	292	132	1536	72	1535	126	500	268	184	1078	279	113	1470	65	1509	112	496	279	184	1071	270	109	1450	59	1530	144	524	271	186	1125	250	100	1475	55	1385	119	462	250	171	1002	239	96	1337	48
31331	4	estab.	1731	143	518	266	189	1116	305	158	1579	152	1644	126	500	269	191	1086	289	130	1505	139	1602	112	496	279	188	1075	281	129	1485	117	1624	144	526	272	189	1131	260	121	1512	112	1467	119	462	251	171	1003	249	117	1369	98
31331	4	empl.	80790	0	1159	1747	2423	5329	12822	22303	40454	40336	70211	0	1117	1747	2419	5283	12091	18648	36022	34189	66265	0	1127	1841	2417	5385	11778	17456	34619	31646	61466	0	1198	1774	2486	5458	10425	15750	31633	29833	53002	0	1050	1675	2280	5005	10065	15076	30146	22856
31331	4	ann. pay.	2222287	19286	33235	51776	88018	192315	395288	580030	1167633	1054654	1992830	15105	31472	56611	87747	190935	393038	477753	1061726	931104	1914987	11548	33454	57317	87551	189870	395854	449817	1035541	879446	1707452	12071	32425	53571	87468	185535	344800	406083	936418	771034	1578168	10412	29461	47756	85201	172830	347934	400846	921610	656558
31331	4	rec.																																									10077341	57246	199382	323038	600507	1180173	1786789	2040310	5007272	5070069
31332	4	firms	243	11	46	34	30	121	66	33	220	23	242	19	39	44	24	126	62	28	216	26	234	11	46	45	22	124	59	23	206	28	232	15	49	41	20	125	57	26	208	24	199	10	38	36	20	104	51	27	182	17
31332	4	estab.	260	11	46	34	30	121	68	43	232	28	258	19	39	44	24	126	64	35	225	33	253	11	46	45	22	124	62	30	216	37	252	15	49	41	20	125	58	36	219	33	218	10	38	36	20	104	52	38	194	24
31332	4	empl.	11771	0	106	219	405	730	2962	4719	8411	3360	11265	0	95	282	308	685	2542	3582	6809	4456	11042	0	97	301	298	696	2614	3490	6800	4242	10262	0	107	286	280	673	2313	3561	6547	3715	8553	0	88	234	273	595	2127	3386	6108	2445
31332	4	ann. pay.	393588	390	2691	5754	10236	19071	86426	187371	292868	100720	387219	1155	2432	7855	7923	19365	80319	148310	247994	139225	412182	443	2578	8766	10031	21818	92560	141474	255852	156330	382569	466	3128	8708	7118	19420	84713	135925	240058	142511	331283	668	2558	6739	7609	17574	81669	137765	237008	94275
31332	4	rec.																																									1886867	7042	14702	36123	36168	94035	380197	800135	1274367	612500
31411	4	firms	412	35	134	66	48	283	72	31	386	26	413	37	135	65	45	282	76	33	391	22	375	14	122	57	50	243	82	27	352	23	373	22	120	51	56	249	78	22	349	24	361	24	114	56	52	246	66	26	338	23
31411	4	estab.	483	35	134	66	49	284	76	41	401	82	478	37	135	65	45	282	79	43	404	74	441	14	122	57	50	243	85	35	363	78	437	22	120	51	57	250	81	26	357	80	422	24	114	56	53	247	67	29	343	79
31411	4	empl.	51458	0	321	421	640	1382	3043	5801	10226	41232	51153	0	330	420	609	1359	3135	7061	11555	39598	46742	0	306	379	691	1376	3636	5812	10824	35918	45188	0	304	346	741	1391	3457	5127	9975	35213	44438	         [a]	         [e]	377	734	1366	2698	5021	9085	35353
31411	4	ann. pay.	1420311	5761	7008	9027	13407	35203	80748	155498	271449	1148862	1418035	2596	6815	10138	13776	33325	81928	191216	306469	1111566	1323961	2191	7029	9556	16329	35105	96831	173547	305483	1018478	1284917	2683	7746	7927	20370	38726	91907	138466	269099	1015818	1409503	         (D)	         (D)	9503	21945	146731	77804	146525	371060	1038443
31411	4	rec.																																									14962557	         (D)	         (D)	77729	162005	         (D)	449381	772802	2685503	12277054
31412	4	firms	2561	179	1266	472	240	2157	265	101	2523	38	2456	159	1181	478	216	2034	285	100	2419	37	2337	153	1086	441	241	1921	285	91	2297	40	2334	174	1064	417	270	1925	286	81	2292	42	2289	167	1103	378	257	1905	268	77	2250	39
31412	4	estab.	2733	179	1266	476	249	2170	296	140	2606	127	2627	160	1182	481	224	2047	314	139	2500	127	2508	153	1087	443	248	1931	313	131	2375	133	2491	174	1067	418	276	1935	315	110	2360	131	2437	167	1103	381	259	1910	288	105	2303	134
31412	4	empl.	71826	0	2644	3039	3184	8867	11032	18524	38423	33403	72223	0	2451	3104	2942	8497	11760	18374	38631	33592	71604	0	2288	2847	3238	8373	11853	15949	36175	35429	66265	0	2209	2648	3556	8413	11734	13792	33939	32326	60710	         [a]	         [g]	2541	3431	8302	10735	11976	31013	29697
31412	4	ann. pay.	1472733	7897	38834	50498	62289	159518	212522	360589	732629	740104	1571139	12692	40112	55087	62336	170227	241275	392962	804464	766675	1595286	8676	41900	54418	71349	176343	252677	339184	768204	827082	1480187	9707	39612	52658	83184	185161	260924	293079	739164	741023	1447202	         (D)	         (D)	54611	82577	200651	265850	280356	746857	700345
31412	4	rec.																																									9478563	         (D)	         (D)	251544	327102	         (D)	1291762	1576452	3755000	5723563
31491	4	firms	2000	166	770	410	294	1640	286	52	1978	22	1965	143	751	407	300	1601	294	49	1944	21	1887	136	699	398	284	1517	296	54	1867	20	1886	142	708	384	300	1534	273	58	1865	21	1923	163	768	377	295	1603	254	49	1906	17
31491	4	estab.	2032	166	770	410	294	1640	297	62	1999	33	1999	143	751	407	300	1601	305	60	1966	33	1925	136	699	398	285	1518	306	69	1893	32	1922	142	708	384	300	1534	283	71	1888	34	1962	163	768	377	296	1604	266	62	1932	30
31491	4	empl.	31241	0	1743	2707	3996	8446	11149	6746	26341	4900	31776	0	1700	2724	4067	8491	11453	7213	27157	4619	31356	0	1550	2687	3842	8079	11559	7766	27404	3952	30257	0	1592	2571	4064	8227	10462	7432	26121	4136	26637	0	1757	2521	3957	8235	9665	6439	24339	2298
31491	4	ann. pay.	679299	11244	29424	53498	85794	179960	252783	140959	573702	105597	731529	5342	30840	56956	89306	182444	273101	170417	625962	105567	762972	6834	30046	54790	92651	184321	283419	191177	658917	104055	767782	9408	35021	56117	97918	198464	271262	179939	649665	118117	718064	10631	35723	57883	101662	205899	277400	161871	645170	72894
31491	4	rec.																																									2832639	51079	134965	184378	327489	697911	985357	654161	2337429	495210
31499	4	firms	1747	153	423	286	318	1180	387	109	1676	71	1948	135	472	337	353	1297	468	108	1873	75	1909	149	460	319	337	1265	467	109	1841	68	2022	155	603	331	325	1414	443	96	1953	69	2411	219	889	370	352	1830	415	102	2347	64
31499	4	estab.	1848	153	423	286	318	1180	395	134	1709	139	2048	135	472	337	353	1297	476	136	1909	139	2007	149	460	319	337	1265	477	135	1877	130	2116	155	603	331	326	1415	453	110	1978	138	2511	219	889	370	353	1831	429	121	2381	130
31499	4	empl.	62830	0	977	1943	4358	7278	15615	14606	37499	25331	66819	0	1067	2314	4898	8279	18379	14881	41539	25280	65967	0	1064	2144	4596	7804	17832	15094	40730	25237	60312	0	1370	2260	4493	8123	17217	13112	38452	21860	58424	0	1884	2500	4900	9284	15672	13403	38359	20065
31499	4	ann. pay.	1508319	17138	17610	39961	88222	162931	335929	339515	838375	669944	1592752	8247	20614	47783	103507	180151	398848	358604	937603	655149	1682125	11554	22395	45795	95305	175049	413572	390711	979332	702793	1526529	12098	30980	49470	96699	189247	405249	335347	929843	596686	1538080	11764	36037	54436	113327	215564	401721	360271	977556	560524
31499	4	rec.																																									7738883	63238	182081	216176	483881	945376	1587894	1693093	4226363	3512520
31511	4	firms	516	31	81	68	75	255	171	64	490	26	489	33	81	48	75	237	168	60	465	24	489	38	80	55	68	241	162	63	466	23	474	36	79	54	84	253	142	57	452	22	395	25	65	36	64	190	136	50	376	19
31511	4	estab.	573	31	81	68	75	255	173	76	504	69	551	33	82	48	75	238	171	74	483	68	546	38	80	55	68	241	163	77	481	65	528	36	79	54	84	253	143	69	465	63	442	25	65	36	64	190	139	60	389	53
31511	4	empl.	51371	0	172	455	1075	1702	7253	13393	22348	29023	49229	0	198	321	1081	1600	7124	13103	21827	27402	45800	0	188	375	968	1531	6692	13006	21229	24571	42551	0	175	365	1195	1735	6295	11410	19440	23111	35120	0	149	249	899	1297	5697	9346	16340	18780
31511	4	ann. pay.	1010825	6999	4173	8853	17688	37713	121304	244424	403441	607384	1002668	4984	4068	5015	18119	32186	128025	262761	422972	579696	959988	4853	3635	7681	17573	33742	123386	269864	426992	532996	879108	2607	3239	6560	20488	32894	121529	228279	382702	496406	798030	2978	3327	5927	17845	30077	120704	218158	368939	429091
31511	4	rec.																																									3579351	17397	14161	24814	72017	128389	433772	967693	1529854	2049497
31519	4	firms	676	52	136	101	98	387	208	56	651	25	642	69	150	80	93	392	174	52	618	24	602	69	134	84	88	375	157	50	582	20	561	54	148	81	73	356	140	50	546	15	419	34	102	59	65	260	116	30	406	13
31519	4	estab.	719	52	136	101	99	388	212	69	669	50	679	69	150	80	94	393	177	64	634	45	636	69	134	84	89	376	159	62	597	39	585	54	148	81	73	356	141	59	556	29	437	35	102	59	65	261	117	37	415	22
31519	4	empl.	42657	0	284	657	1367	2308	9358	9651	21317	21340	38925	0	332	553	1252	2137	7387	8760	18284	20641	34722	0	297	579	1232	2108	6385	8648	17141	17581	27928	0	319	549	984	1852	5731	8405	15988	11940	20776	0	232	427	901	1560	5094	5608	12262	8514
31519	4	ann. pay.	897160	3478	6936	16373	33791	60578	179437	178489	418504	478656	862583	7447	8270	13757	32113	61587	151578	167235	380400	482183	779121	5843	8231	14072	29999	58145	140506	163147	361798	417323	624273	5687	9883	13413	22310	51293	125927	171164	348384	275889	518731	2644	7813	12734	22240	45431	124683	128202	298316	220415
31519	4	rec.																																									2967565	8319	39567	70623	95700	214209	590532	571136	1375877	1591688
31521	4	firms	8144	786	1783	1342	1503	5414	2283	353	8050	94	7057	1330	1607	1149	1107	5193	1551	255	6999	58	7110	1213	1702	1171	1212	5298	1533	236	7067	43	7472	1346	2015	1335	1090	5786	1444	205	7435	37	7186	1190	2113	1378	1139	5820	1208	134	7162	24
31521	4	estab.	8359	786	1783	1342	1503	5414	2295	424	8133	226	7191	1330	1607	1149	1107	5193	1558	305	7056	135	7222	1213	1705	1171	1212	5301	1543	282	7126	96	7563	1346	2015	1335	1091	5787	1454	240	7481	82	7251	1190	2113	1380	1139	5822	1220	159	7201	50
31521	4	empl.	231766	0	4098	9068	20944	34110	93473	58415	185998	45768	156379	0	3637	7712	15395	26744	63549	40037	130330	26049	146030	0	3872	7921	16651	28444	61322	37742	127508	18522	133325	0	4515	9019	14880	28414	57004	31500	116918	16407	102646	0	4777	9352	15605	29734	45859	19919	95512	7134
31521	4	ann. pay.	3190116	48162	65473	113300	248865	475800	1151556	799875	2427231	762885	2239230	87534	68880	101668	184312	442394	786414	564224	1793032	446198	2150914	65967	68441	106535	209282	450225	788805	567543	1806573	344341	2006880	84131	81531	122021	182798	470481	720240	484802	1675523	331357	1652459	72122	91167	149617	212728	525634	663783	333186	1522603	129856
31521	4	rec.																																									4946673	276791	226946	435738	590922	1530397	1774231	1021770	4326398	620275
31522	4	firms	1056	84	201	112	127	524	275	151	950	106	1154	94	240	132	136	602	309	152	1063	91	1113	102	238	133	141	614	279	142	1035	78	1040	87	279	119	132	617	230	128	975	65	801	78	168	83	110	439	213	100	752	49
31522	4	estab.	1345	84	201	112	128	525	287	185	997	348	1434	94	240	138	137	609	316	191	1116	318	1335	102	239	139	141	621	288	180	1089	246	1221	88	279	119	146	632	237	162	1031	190	944	78	168	83	115	444	220	142	806	138
31522	4	empl.	144562	0	445	740	1755	2940	12518	26739	42197	102365	129018	0	546	896	1907	3349	13998	26894	44241	84777	102473	0	547	874	1959	3380	12567	24877	40824	61649	84139	0	607	792	1815	3214	10355	21525	35094	49045	70789	0	344	575	1482	2401	9854	17263	29518	41271
31522	4	ann. pay.	2667844	2960	8331	15399	29873	56563	234143	533467	824173	1843671	2367505	7805	12980	17974	43707	82466	259213	525701	867380	1500125	2061211	5974	13366	18737	46323	84400	260205	494133	838738	1222473	1756521	11847	16262	18627	44883	91619	210940	448703	751262	1005259	1612269	6282	13882	16316	46746	83226	230759	408637	722622	889647
31522	4	rec.																																									11956414	50477	83892	99079	242134	475582	1355656	2340438	4171676	7784738
31523	4	firms	3362	679	645	489	579	2392	702	206	3300	62	3693	605	748	579	601	2533	900	203	3636	57	3623	561	844	627	570	2602	783	190	3575	48	3354	522	897	591	496	2506	637	167	3310	44	2211	349	429	290	385	1453	573	142	2168	43
31523	4	estab.	3486	679	645	489	580	2393	717	241	3351	135	3813	605	749	580	601	2535	918	236	3689	124	3719	561	847	628	570	2606	790	217	3613	106	3438	522	897	591	497	2507	643	191	3341	97	2272	349	429	291	385	1454	581	162	2197	75
31523	4	empl.	125801	0	1476	3338	8010	12824	28243	33759	74826	50975	129438	0	1700	3983	8255	13938	35890	33565	83393	46045	114850	0	1866	4250	7981	14097	32236	31471	77804	37046	93915	0	1988	3987	6759	12734	25929	25205	63868	30047	72419	0	982	1990	5353	8325	22364	21715	52404	20015
31523	4	ann. pay.	3107147	41538	31814	64282	163445	301079	700114	890463	1891656	1215491	3274313	52953	39629	72955	157391	322928	805817	941173	2069918	1204395	3038153	40842	42504	87989	164669	336004	768007	930314	2034325	1003828	2645136	45874	52098	80174	151544	329690	660810	813718	1804218	840918	2361910	48987	30012	61244	162580	302823	677476	734877	1715176	646734
31523	4	rec.																																									19491697	393252	271058	433361	1071749	2169420	4536972	5785062	12491454	7000243
31529	4	firms	479	109	133	72	52	366	68	29	463	16	642	116	195	83	72	466	120	38	624	18	668	102	207	97	92	498	116	37	651	17	681	87	225	98	96	506	125	35	666	15	559	63	174	73	87	397	115	40	552	7
31529	4	estab.	495	109	133	72	52	366	69	32	467	28	662	116	195	83	72	466	121	44	631	31	687	102	207	97	92	498	118	43	659	28	693	87	225	98	96	506	127	38	671	22	572	63	174	73	87	397	118	46	561	11
31529	4	empl.	18212	0	294	488	744	1526	2941	4850	9317	8895	21539	0	424	568	991	1983	5013	5408	12404	9135	19847	0	430	634	1227	2291	4753	5190	12234	7613	17595	0	461	643	1282	2386	4968	4740	12094	5501	14562	0	360	494	1167	2021	4421	5785	12227	2335
31529	4	ann. pay.	356623	8224	7021	7593	14035	36873	53585	111918	202376	154247	409440	7540	9754	9809	18969	46072	90628	110143	246843	162597	400867	4615	10917	11344	26369	53245	96513	105297	255055	145812	382841	4492	10918	12487	28441	56338	101513	99471	257322	125519	360680	3814	10152	12406	30922	57294	112229	123373	292896	67784
31529	4	rec.																																									1511672	18148	63524	59420	99791	240883	470459	522191	1233533	278139
31599	4	firms	2373	329	895	335	279	1838	392	101	2331	42	2305	310	888	349	260	1807	383	80	2270	35	2277	321	893	343	260	1817	358	72	2247	30	2064	239	839	334	225	1637	330	70	2037	27	1389	106	555	212	162	1035	264	65	1364	25
31599	4	estab.	2476	329	895	337	282	1843	413	147	2403	73	2391	310	890	349	262	1811	401	122	2334	57	2360	321	893	345	262	1821	368	118	2307	53	2124	239	841	336	227	1643	340	96	2079	45	1441	106	555	214	164	1039	276	86	1401	40
31599	4	empl.	56872	0	1810	2210	3719	7739	16243	14691	38673	18199	50380	0	1857	2285	3519	7661	15966	11871	35498	14882	46760	0	1847	2258	3543	7648	14989	10484	33121	13639	42289	0	1726	2200	3067	6993	13739	10101	30833	11456	34127	0	1180	1417	2241	4838	11048	8658	24544	9583
31599	4	ann. pay.	1136348	16763	28767	39551	64403	149484	306143	283773	739400	396948	1049905	21214	32197	38544	61097	153052	299207	264855	717114	332791	1035925	18135	36886	44164	63441	162626	292831	241103	696560	339365	967504	14883	36568	43602	58374	153427	289305	233037	675769	291735	847546	10989	23507	34955	52911	122362	257064	219093	598519	249027
31599	4	rec.																																									3946004	49992	114856	144526	225429	534803	987571	1207795	2730169	1215835
31611	4	firms	290	25	99	48	34	206	55	13	274	16	329	41	103	50	42	236	63	15	314	15	330	28	103	56	46	233	69	13	315	15	342	34	117	60	39	250	66	13	329	13	274	25	98	45	32	200	53	11	264	10
31611	4	estab.	315	25	99	48	34	206	57	14	277	38	354	41	103	50	42	236	65	16	317	37	354	28	103	56	46	233	72	14	319	35	358	34	117	60	39	250	69	13	332	26	286	25	98	45	32	200	54	14	268	18
31611	4	empl.	13427	         [a]	         [c]	295	482	991	2499	1719	5209	8218	14891	0	235	324	537	1096	2582	2258	5936	8955	13834	0	221	377	601	1199	2898	1828	5925	7909	11660	0	253	413	519	1185	2802	1838	5825	5835	9274	0	213	302	429	944	2141	1670	4755	4519
31611	4	ann. pay.	384198	         (D)	         (D)	5931	10334	22406	63787	48794	134987	249211	426501	7564	4558	7317	14684	34123	71255	61840	167218	259283	406554	1634	5334	8568	14508	30044	78424	55573	164041	242513	353873	1091	5943	9761	11879	28674	76597	45579	150850	203023	315147	964	4667	8361	12461	26453	66719	47456	140628	174519
31611	4	rec.																																									2343202	6877	26770	41745	73966	149358	458337	401938	1009633	1333569
31621	4	firms	362	32	108	34	42	216	71	44	331	31	351	38	108	37	30	213	68	42	323	28	349	34	109	42	41	226	55	42	323	26	346	31	116	48	40	235	55	34	324	22	307	27	111	35	36	209	51	29	289	18
31621	4	estab.	417	32	108	34	42	216	72	51	339	78	400	38	108	37	30	213	74	46	333	67	389	34	109	42	41	226	56	47	329	60	381	31	116	48	40	235	56	38	329	52	339	27	111	35	36	209	51	38	298	41
31621	4	empl.	38207	         [a]	         [c]	220	579	1047	3298	8801	13146	25061	33648	0	246	238	405	889	2869	8318	12076	21572	30437	0	236	273	564	1073	2138	7906	11117	19320	27012	0	242	322	523	1087	2164	6255	9506	17506	21109	0	250	233	461	944	1666	5048	7658	13451
31621	4	ann. pay.	774448	         (D)	         (D)	3929	9455	20682	62817	178078	261577	512871	726291	3868	4909	4668	9158	22603	52022	176638	251263	475028	735276	3632	5348	5809	11224	26013	42982	173971	242966	492310	626534	1554	4835	7605	10096	24090	44039	152184	220313	406221	536030	4244	6006	4832	10194	25276	40975	113805	180056	355974
31621	4	rec.																																									2964457	16292	23279	18507	45983	104061	188647	557002	849710	2114747
31699	4	firms	1042	85	384	177	128	774	193	52	1019	23	1026	111	375	174	109	769	188	47	1004	22	1016	106	374	175	116	771	179	43	993	23	1002	87	389	165	132	773	172	38	983	19	906	79	358	146	131	714	147	32	893	13
31699	4	estab.	1069	85	384	177	128	774	197	71	1042	27	1053	112	375	174	109	770	192	65	1027	26	1040	106	375	175	116	772	183	58	1013	27	1024	87	389	165	132	773	174	55	1002	22	924	79	358	146	131	714	150	45	909	15
31699	4	empl.	27691	0	864	1178	1717	3759	8060	9170	20989	6702	25427	0	865	1174	1474	3513	7763	8299	19575	5852	24241	0	810	1183	1560	3553	7491	7403	18447	5794	21895	0	797	1104	1762	3663	7321	6423	17407	4488	17412	0	763	989	1715	3467	5976	5183	14626	2786
31699	4	ann. pay.	614418	5003	13359	18083	30934	67379	159807	201703	428889	185529	585141	4146	13727	18752	28023	64648	161662	200916	427226	157915	568678	5165	14121	23236	30235	72757	163498	179245	415500	153178	515260	2937	15254	21960	34330	74481	154832	157610	386923	128337	418190	6755	15223	21410	39362	82750	140709	136093	359552	58638
31699	4	rec.																																									1798507	31763	71565	80295	159561	343184	508702	712514	1564400	234107
32111	4	firms	4390	328	1159	793	826	3106	973	236	4315	75	4361	323	1123	823	837	3106	942	229	4277	84	4229	294	1088	766	817	2965	952	233	4150	79	4137	273	1113	788	769	2943	911	208	4062	75	3901	289	1051	713	702	2755	861	217	3833	68
32111	4	estab.	4859	328	1159	793	827	3107	1017	381	4505	354	4839	323	1123	823	840	3109	990	368	4467	372	4695	294	1089	766	819	2968	995	380	4343	352	4594	274	1115	788	771	2948	951	356	4255	339	4368	289	1051	713	707	2760	907	379	4046	322
32111	4	empl.	130373	0	2695	5367	11291	19353	39527	34450	93330	37043	131916	0	2549	5574	11469	19592	38646	33356	91594	40322	131353	0	2453	5152	11097	18702	39005	35563	93270	38083	122188	0	2468	5318	10572	18358	37902	30913	87173	35015	115998	0	2412	4839	9647	16898	34670	31923	83491	32507
32111	4	ann. pay.	3562019	18585	43180	94385	224096	380246	963097	986274	2329617	1232402	3750507	51378	44474	98581	231590	426023	960743	1007523	2394289	1356218	3782683	12463	40525	91832	232643	377463	981619	1060079	2419161	1363522	3520306	16472	46052	98754	218332	379610	961704	946332	2287646	1232660	3549672	15686	48906	94314	215804	374710	927021	1012619	2314350	1235322
32111	4	rec.																																									26164758	143365	398322	662267	1481731	2685685	6314729	7352317	16352731	9812027
32121	4	firms	1521	90	203	170	284	747	520	181	1448	73	1496	85	197	172	260	714	512	192	1418	78	1501	72	207	169	252	700	523	198	1421	80	1538	68	238	186	262	754	507	197	1458	80	1452	45	205	180	269	699	486	187	1372	80
32121	4	estab.	1893	90	203	171	286	750	531	245	1526	367	1886	85	197	173	261	716	524	259	1499	387	1904	72	207	169	253	701	534	263	1498	406	1944	68	238	186	263	755	516	262	1533	411	1844	45	205	180	269	699	504	248	1451	393
32121	4	empl.	113418	0	469	1134	3926	5529	22793	26886	55208	58210	117542	0	456	1180	3634	5270	22528	27755	55553	61989	120578	0	474	1155	3518	5147	23224	28606	56977	63601	116445	0	549	1316	3651	5516	21965	27924	55405	61040	111009	0	469	1245	3727	5441	21004	26084	52529	58480
32121	4	ann. pay.	3358843	12689	12969	25156	90699	141513	597548	730689	1469750	1889093	3625681	9852	12743	26712	87910	137217	607453	800433	1545103	2080578	3749786	7454	12668	27508	85703	133333	627827	827668	1588828	2160958	3696485	5968	15788	31302	98359	151417	632231	809595	1593243	2103242	3670076	6659	15315	34408	100881	157263	641044	821834	1620141	2049935
32121	4	rec.																																									20097487	32520	106645	165668	458363	763196	2713366	3948791	7425353	12672134
32191	4	firms	4156	384	1118	743	689	2934	879	235	4048	108	4105	354	1102	693	716	2865	888	249	4002	103	4177	366	1130	687	706	2889	923	252	4064	113	4318	409	1183	741	740	3073	902	238	4213	105	4583	381	1393	817	766	3357	886	240	4483	100
32191	4	estab.	4445	384	1118	743	691	2936	909	308	4153	292	4399	354	1102	694	720	2870	911	333	4114	285	4485	366	1130	688	708	2892	949	335	4176	309	4631	409	1183	742	746	3080	924	323	4327	304	4887	383	1393	818	767	3361	921	313	4595	292
32191	4	empl.	143133	0	2558	5073	9533	17164	35446	31164	83774	59359	150175	0	2454	4680	9692	16826	35907	32911	85644	64531	157685	0	2509	4667	9656	16832	37185	34023	88040	69645	151227	0	2534	5100	10175	17809	36322	31167	85298	65929	147745	0	3104	5577	10459	19140	35454	30459	85053	62692
32191	4	ann. pay.	3770371	19523	54682	107905	217716	399826	858245	764838	2022909	1747462	4121156	20026	53036	104563	234981	412606	897483	851955	2162044	1959112	4363969	20447	55006	107354	237548	420355	949642	899645	2269642	2094327	4360757	29027	59010	124992	259781	472810	961078	867250	2301138	2059619	4433223	32906	72008	136978	283254	525146	998974	886328	2410448	2022775
32191	4	rec.																																									22657156	174384	444598	618700	1306555	2544237	4680328	4551814	11776379	10880777
32192	4	firms	2884	212	756	555	586	2109	692	68	2869	15	2823	201	738	534	605	2078	656	70	2804	19	2799	208	714	534	584	2040	665	76	2781	18	2755	172	746	565	564	2047	619	73	2739	16	2763	181	811	569	538	2099	588	61	2748	15
32192	4	estab.	3024	212	756	555	587	2110	726	128	2964	60	2968	201	738	534	606	2079	686	136	2901	67	2947	208	714	534	584	2040	687	152	2879	68	2915	172	746	565	564	2047	658	150	2855	60	2921	181	812	570	542	2105	640	104	2849	72
32192	4	empl.	52953	0	1755	3756	8011	13522	25710	9009	48241	4712	53043	0	1737	3597	8322	13656	24766	9327	47749	5294	53504	0	1675	3622	7982	13279	24813	9468	47560	5944	51239	0	1711	3828	7690	13229	23375	9490	46094	5145	47509	0	1981	3870	7397	13248	21534	7355	42137	5372
32192	4	ann. pay.	1045438	11246	32040	61800	145423	250509	508988	176540	936037	109401	1090077	23406	30826	63299	157619	275150	501746	194638	971534	118543	1153302	9585	31767	67142	152959	261453	519100	231068	1011621	141681	1098859	13416	32246	68799	151389	265850	491621	222025	979496	119363	1111775	39419	39106	74876	158535	311936	486741	182723	981400	130375
32192	4	rec.																																									5036797	245350	203507	362054	776833	1587744	2119054	830013	4536811	499986
32199	4	firms	3090	282	995	554	436	2267	545	200	3012	78	3029	280	1002	479	468	2229	533	189	2951	78	2945	260	950	493	445	2148	527	194	2869	76	2856	208	954	512	417	2091	517	177	2785	71	2686	251	830	490	407	1978	486	154	2618	68
32199	4	estab.	3435	282	995	554	437	2268	566	264	3098	337	3381	280	1002	479	469	2230	555	246	3031	350	3297	260	951	493	446	2150	545	258	2953	344	3205	208	954	512	421	2095	538	246	2879	326	3032	253	832	491	408	1984	510	227	2721	311
32199	4	empl.	140457	0	2156	3704	5944	11804	21363	30951	64118	76339	142500	0	2174	3210	6332	11716	21699	28597	62012	80488	134564	0	2050	3304	6111	11465	21383	29729	62577	71987	116408	0	2013	3424	5673	11110	20960	26202	58272	58136	111750	0	1868	3305	5523	10696	19950	23089	53735	58015
32199	4	ann. pay.	3703525	18534	38271	72622	129128	258555	497342	753859	1509756	2193769	3785478	14579	45995	66949	149582	277105	532060	724562	1533727	2251751	3461656	15301	41277	68462	139658	264698	535844	728696	1529238	1932418	3152993	15863	40118	77443	132603	266027	547473	708923	1522423	1630570	3157620	18775	46465	79716	144573	289529	560510	689254	1539293	1618327
32199	4	rec.																																									14692843	99489	212313	373108	632901	1317811	2448871	3033961	6800643	7892200
32211	4	firms	32	4	3	0	1	8	7	4	19	13	33	1	3	2	3	9	6	4	19	14	36	1	4	0	2	7	10	5	22	14	40	1	5	1	4	11	8	7	26	14	27	0	2	4	2	8	4	5	17	10
32211	4	estab.	44	4	3	0	1	8	7	6	21	23	45	1	3	2	3	9	6	6	21	24	48	1	4	0	2	7	10	7	24	24	51	1	5	1	4	11	8	9	28	23	44	0	2	4	2	8	4	7	19	25
32211	4	empl.	10475	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [e]	386	678	9797	9793	[a]	[a]	[a]	51	67	255	362	684	9109	9963	         [a]	         [a]	0	         [b]	35	455	607	1097	8866	9813	         [a]	         [a]	         [a]	56	72	326	933	1331	8482	8373	0	         [a]	22	         [b]	59	151	729	939	7434
32211	4	ann. pay.	536329	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	10738	26207	510122	532294	(D)	(D)	(D)	2282	2623	11088	13638	27349	504945	583593	         (D)	         (D)	0	         (D)	2403	20138	25236	47777	535816	551593	         (D)	         (D)	         (D)	2355	3286	12939	45568	61793	489800	505399	0	         (D)	1178	         (D)	1666	6162	39591	47419	457980
32211	4	rec.																																									3790816	0	         (D)	10046	         (D)	         (D)	53747	348921	415885	3374931
32212	4	firms	153	8	6	4	4	22	24	48	94	59	164	10	15	2	4	31	26	47	104	60	166	8	18	3	8	37	28	43	108	58	174	9	14	10	10	43	27	48	118	56	220	17	37	16	7	77	35	51	163	57
32212	4	estab.	305	8	6	4	4	22	24	56	102	203	314	10	15	2	4	31	26	54	111	203	311	8	18	3	8	37	28	47	112	199	308	9	14	10	10	43	27	55	125	183	353	17	37	16	7	77	35	64	176	177
32212	4	empl.	123256	0	         [a]	         [b]	         [b]	100	1438	10828	12366	110890	123696	[a]	34	[a]	[b]	106	1462	10636	12204	111492	113828	0	44	21	111	176	1538	9466	11180	102648	108535	0	         [b]	         [b]	148	243	1594	11190	13027	95508	105829	0	         [b]	103	         [c]	288	1515	9981	11784	94045
32212	4	ann. pay.	6274030	250	         (D)	         (D)	         (D)	3536	62812	528073	594421	5679609	6435104	(D)	940	(D)	(D)	4001	64483	550076	618560	5816544	6023906	5742	1156	636	2954	10488	68030	491444	569962	5453944	5851086	7437	         (D)	         (D)	4069	13818	67923	559904	641645	5209441	5873220	2488	         (D)	2289	         (D)	9608	68338	497094	575040	5298180
32212	4	rec.																																									45774675	12080	         (D)	23459	         (D)	         (D)	365993	3517087	3973647	41801028
32213	4	firms	95	8	3	3	2	16	13	23	52	43	95	6	4	7	2	19	14	21	54	41	105	7	5	6	5	23	14	27	64	41	116	12	7	8	7	34	16	27	77	39	107	9	9	11	8	37	16	16	69	38
32213	4	estab.	232	8	3	3	2	16	13	24	53	179	233	6	4	7	2	19	14	23	56	177	238	7	5	6	5	23	14	29	66	172	247	12	7	8	7	34	16	29	79	168	231	9	9	11	9	38	16	17	71	160
32213	4	empl.	53910	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [f]	2912	3592	50318	51709	0	[a]	55	[b]	84	709	2576	3369	48340	53350	         [a]	         [a]	44	         [b]	127	820	3567	4514	48836	51685	         [a]	         [a]	57	85	153	994	3838	4985	46700	48786	0	21	70	99	190	843	1844	2877	45909
32213	4	ann. pay.	2704763	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	125936	149470	2555293	2775250	1380	(D)	1793	(D)	3973	26343	120824	151140	2624110	2867717	         (D)	         (D)	1507	         (D)	4475	33112	170848	208435	2659282	2792728	         (D)	         (D)	1686	1659	5781	37103	181877	224761	2567967	2727651	1252	739	1595	3120	6706	35862	103656	146224	2581427
32213	4	rec.																																									21378614	6918	4159	10861	20055	41993	257118	705768	1004879	20373735
32221	4	firms	1678	51	160	149	257	617	719	248	1584	94	1648	53	163	134	247	597	720	236	1553	95	1602	43	159	146	239	587	670	253	1510	92	1590	45	178	139	241	603	665	232	1500	90	1542	48	186	134	240	608	638	217	1463	79
32221	4	estab.	2846	51	160	149	257	617	747	405	1769	1077	2828	53	163	134	247	597	749	396	1742	1086	2809	43	159	146	239	587	690	420	1697	1112	2766	45	178	139	241	603	695	379	1677	1089	2699	48	187	134	242	611	676	372	1659	1040
32221	4	empl.	206719	0	389	1029	3654	5072	33106	40707	78885	127834	206713	0	396	941	3505	4842	33050	39284	77176	129537	211822	0	391	1007	3471	4869	30789	42087	77745	134077	204016	0	431	951	3405	4787	29990	37991	72768	131248	188637	0	424	919	3324	4667	27897	35284	67848	120789
32221	4	ann. pay.	7201278	14105	13286	28560	107273	163224	1043118	1458922	2665264	4536014	7496881	19150	15859	24343	101579	160931	1078524	1444732	2684187	4812694	7812038	8587	16854	28838	101704	155983	1014030	1557929	2727942	5084096	7470249	8086	19087	26138	94717	148028	981403	1416274	2545705	4924544	7239833	8983	22060	28970	103757	163770	975010	1372594	2511374	4728459
32221	4	rec.																																									44304153	115553	135912	182391	643710	1077566	4858658	6642834	12579058	31725095
32222	4	firms	783	34	117	102	104	357	206	113	676	107	777	39	105	107	105	356	208	111	675	102	755	30	105	88	102	325	218	114	657	98	767	29	118	93	107	347	205	120	672	95	743	31	131	91	96	349	196	104	649	94
32222	4	estab.	977	34	117	102	104	357	210	147	714	263	972	41	105	107	105	358	212	148	718	254	955	30	105	88	102	325	227	148	700	255	964	29	118	93	107	347	212	158	717	247	929	31	131	91	97	350	203	142	695	234
32222	4	empl.	75390	0	279	672	1473	2424	8891	15092	26407	48983	71545	0	252	709	1455	2416	9016	14360	25792	45753	72603	0	249	596	1474	2319	9492	14902	26713	45890	70146	0	273	616	1511	2400	8897	15805	27102	43044	66078	0	286	598	1332	2216	8205	13697	24118	41960
32222	4	ann. pay.	2767668	6361	8116	18731	46753	79961	292638	550039	922638	1845030	2762451	69395	6961	20075	48406	144837	309420	522774	977031	1785420	2788921	7507	7258	18578	54523	87866	324183	553264	965313	1823608	2709665	23073	9638	19757	49974	102442	310593	598197	1011232	1698433	2668606	2027	10384	21013	48646	82070	312774	540592	935436	1733170
32222	4	rec.																																									18044907	14706	72127	137880	283394	508107	1636364	3133100	5277571	12767336
32223	4	firms	647	22	131	106	110	369	183	60	612	35	632	27	116	122	100	365	173	59	597	35	607	19	122	105	99	345	163	66	574	33	590	18	127	92	94	331	161	68	560	30	538	21	99	88	98	306	142	61	509	29
32223	4	estab.	774	22	131	106	110	369	188	74	631	143	775	27	116	122	100	365	179	70	614	161	741	19	122	105	99	345	167	79	591	150	714	18	127	92	94	331	165	80	576	138	644	21	99	88	98	306	146	70	522	122
32223	4	empl.	47055	0	341	745	1460	2546	7978	9002	19526	27529	46096	0	270	829	1346	2445	7788	8484	18717	27379	44423	0	292	736	1381	2409	7413	9439	19261	25162	43250	0	299	643	1271	2213	6893	9783	18889	24361	39077	0	236	613	1334	2183	6225	8991	17399	21678
32223	4	ann. pay.	1366759	982	8373	18504	35229	63088	226380	287665	577133	789626	1417161	1598	5995	22122	33053	62768	231720	282551	577039	840122	1442727	7687	6625	20036	35990	70338	223396	326779	620513	822214	1408489	1231	7191	16760	33631	58813	205049	340253	604115	804374	1313428	2377	6775	17393	39696	66241	200388	313677	580306	733122
32223	4	rec.																																									7925658	16587	45197	100108	215229	377121	891482	1667596	2936199	4989459
32229	4	firms	620	43	91	66	89	289	213	62	564	56	597	32	93	59	91	275	199	68	542	55	577	27	89	54	92	262	198	63	523	54	582	39	86	54	91	270	195	66	531	51	541	29	87	58	78	252	177	62	491	50
32229	4	estab.	749	43	92	66	89	290	234	83	607	142	716	32	93	59	91	275	213	94	582	134	688	27	89	54	92	262	212	90	564	124	689	39	86	54	92	271	209	89	569	120	646	29	87	58	79	253	191	83	527	119
32229	4	empl.	51086	0	224	463	1230	1917	9080	8129	19126	31960	49468	0	218	415	1282	1915	8460	9280	19655	29813	47954	0	195	374	1310	1879	8728	8990	19597	28357	45806	0	174	378	1285	1837	8483	8546	18866	26940	39210	0	186	414	1122	1722	7498	7876	17096	22114
32229	4	ann. pay.	1834904	2774	7149	12277	37610	59810	252866	236969	549645	1285259	1807582	2413	7141	11181	38741	59476	248273	286571	594320	1213262	1771993	3293	5791	12823	42629	64536	264916	280392	609844	1162149	1717024	4437	4344	13305	36244	58330	256283	261381	575994	1141030	1484606	8518	5842	11695	34736	60791	245867	272884	579542	905064
32229	4	rec.																																									13527263	74700	41008	67263	166998	349969	1419727	1604955	3374651	10152612
32311	4	firms	36042	2286	13900	8203	5269	29658	5094	962	35714	328	34791	2004	13629	7840	5078	28551	4964	953	34468	323	33439	2002	12855	7613	4893	27363	4857	906	33126	313	32633	1879	12871	7340	4732	26822	4628	891	32341	292	31999	2026	13117	7018	4506	26667	4288	782	31737	262
32311	4	estab.	37688	2286	13906	8213	5292	29697	5335	1339	36371	1317	36432	2006	13639	7848	5108	28601	5179	1331	35111	1321	35016	2005	12861	7618	4922	27406	5051	1282	33739	1277	34172	1880	12876	7347	4762	26865	4832	1244	32941	1231	33482	2026	13118	7030	4541	26715	4526	1100	32341	1141
32311	4	empl.	762441	0	32499	54024	70659	157182	202290	150828	510300	252141	755016	0	31754	51831	68243	151828	197279	150905	500012	255004	737534	0	29973	50353	65859	146185	193826	143514	483525	254009	713855	0	29686	48598	63660	141944	184770	144098	470812	243043	645256	0	30420	46280	60460	137160	169874	123273	430307	214949
32311	4	ann. pay.	24572208	117288	679510	1256747	1930009	3983554	6661825	5296956	15942335	8629873	25086367	157546	702255	1250603	1940656	4051060	6697144	5374837	16123041	8963326	25496255	121203	688189	1261889	1915525	3986806	6758545	5430351	16175702	9320553	24539045	124155	695612	1231745	1861341	3912853	6427090	5432292	15772235	8766810	22862427	129885	718354	1217854	1824149	3890242	6158872	4726251	14775365	8087062
32311	4	rec.																																									87399394	498044	2624093	4191207	6012597	13325941	20136835	16772327	50235103	37164291
32312	4	firms	4261	269	1580	834	619	3302	777	128	4207	54	4065	234	1506	831	572	3143	747	121	4011	54	3821	229	1427	728	566	2950	695	116	3761	60	3538	186	1315	682	536	2719	645	117	3481	57	3249	166	1274	610	475	2525	569	104	3198	51
32312	4	estab.	4445	269	1581	835	622	3307	793	173	4273	172	4239	234	1506	832	575	3147	766	176	4089	150	4019	229	1427	728	569	2953	713	172	3838	181	3723	186	1315	682	538	2721	668	168	3557	166	3420	166	1274	610	477	2527	604	155	3286	134
32312	4	empl.	82623	0	3439	5499	8509	17447	30764	16745	64956	17667	78633	0	3304	5554	7855	16713	29532	15988	62233	16400	75855	0	3167	4876	7745	15788	27326	15754	58868	16987	70665	0	2945	4501	7234	14680	25507	15312	55499	15166	61163	0	2768	4045	6432	13245	22550	13079	48874	12289
32312	4	ann. pay.	2900547	13437	81511	153953	263991	512892	1084114	552649	2149655	750892	2853699	13662	80946	158226	245110	497944	1070959	537114	2106017	747682	2822278	28597	82217	141718	244062	496594	1003362	543887	2043843	778435	2511862	13031	75668	127350	219867	435916	895332	522495	1853743	658119	2199934	7993	71344	120547	205039	404923	808798	435819	1649540	550394
32312	4	rec.																																									5705861	28038	203348	312055	513323	1056764	1928620	1116923	4102307	1603554
32411	4	firms	155	18	23	9	7	57	24	19	100	55	145	10	20	11	13	54	21	21	96	49	162	20	22	15	12	69	21	19	109	53	165	15	29	15	12	71	22	23	116	49	202	22	44	27	13	106	24	23	153	49
32411	4	estab.	304	18	23	9	7	57	25	24	106	198	292	10	20	11	13	54	21	24	99	193	298	20	22	15	12	69	22	21	112	186	302	15	29	15	12	71	23	28	122	180	349	22	44	28	13	107	29	28	164	185
32411	4	empl.	69491	0	45	62	85	192	1091	2716	3999	65492	65813	0	52	70	190	312	1026	3217	4555	61258	66422	0	49	94	165	308	994	2697	3999	62423	63165	0	62	94	151	307	1039	3404	4750	58415	62132	0	89	177	188	454	1100	2870	4424	57708
32411	4	ann. pay.	4202766	16147	2108	1870	2988	23113	56077	140299	219489	3983277	4141531	828	1620	3785	6463	12696	56769	166797	236262	3905269	4461494	8245	1471	4941	10757	25414	51607	152449	229470	4232024	4414025	4408	1926	3160	5350	14844	53462	210278	278584	4135441	4569613	4211	2940	6044	8119	21314	60542	170845	252701	4316912
32411	4	rec.																																									195751999	54361	139722	155120	172047	521250	2782031	4499806	7803087	187948912
32412	4	firms	662	24	128	120	94	366	156	82	604	58	645	27	114	121	88	350	159	72	581	64	617	29	114	101	84	328	147	76	551	66	630	40	123	95	88	346	151	71	568	62	617	31	131	101	84	347	138	69	554	63
32412	4	estab.	1452	24	128	121	99	372	227	251	850	602	1483	27	114	122	92	355	224	217	796	687	1463	29	114	102	85	330	215	219	764	699	1520	40	123	97	90	350	229	220	799	721	1537	31	131	101	92	355	217	214	786	751
32412	4	empl.	26947	0	317	821	1234	2372	5055	4505	11932	15015	29041	0	265	826	1094	2185	5266	4052	11503	17538	28510	0	266	705	1070	2041	4562	5156	11759	16751	27248	0	295	651	1125	2071	4977	5106	12154	15094	25806	0	311	682	1054	2047	4557	4764	11368	14438
32412	4	ann. pay.	1180411	1822	16595	38345	64634	121396	232570	198433	552399	628012	1293140	1836	14935	43497	51283	111551	239040	193033	543624	749516	1276088	2193	15607	33372	53601	104773	204258	219517	528548	747540	1296100	2032	20687	34622	63155	120496	224619	246526	591641	704459	1272406	1873	26005	38020	59596	125494	220138	250134	595766	676640
32412	4	rec.																																									13811101	17854	242995	348091	457985	1066925	1779457	1900253	4746635	9064466
32419	4	firms	388	29	102	49	54	234	78	30	342	46	379	20	111	49	51	231	77	30	338	41	383	25	107	46	58	236	73	29	338	45	365	18	98	56	49	221	70	28	319	46	341	13	87	46	54	200	73	28	301	40
32419	4	estab.	465	29	102	49	54	234	86	60	380	85	451	20	111	49	51	231	85	59	375	76	449	25	107	46	58	236	77	50	363	86	431	18	98	56	49	221	74	50	345	86	410	13	87	46	54	200	77	50	327	83
32419	4	empl.	14562	0	223	329	771	1323	3075	3405	7803	6759	14250	0	234	319	699	1252	2994	3377	7623	6627	14291	0	211	283	792	1286	2859	3065	7210	7081	13157	0	192	358	662	1212	2556	2742	6510	6647	12465	0	193	302	713	1208	2662	2703	6573	5892
32419	4	ann. pay.	614022	17966	7891	11992	37935	75784	126349	128413	330546	283476	623553	2310	7760	13684	31990	55744	127829	156760	340333	283220	648143	1190	7927	10752	40076	59945	118660	137144	315749	332394	625799	1235	7288	12798	35156	56477	117742	134336	308555	317244	614402	1631	6940	12736	36791	58098	128882	128779	315759	298643
32419	4	rec.																																									7061284	9123	53966	75086	192382	330557	966100	1353836	2650493	4410791
32511	4	firms	41	1	4	4	2	11	4	6	21	20	37	0	1	1	4	6	4	7	17	20	37	0	2	1	3	6	3	9	18	19	37	1	1	0	4	6	4	8	18	19	39	2	6	2	3	13	3	8	24	15
32511	4	estab.	58	1	4	4	2	11	6	8	25	33	53	0	1	1	4	6	5	9	20	33	56	0	2	1	3	6	3	14	23	33	53	1	1	0	4	6	4	11	21	32	58	2	6	2	3	13	3	13	29	29
32511	4	empl.	11259	         [a]	         [a]	31	         [b]	72	170	878	1120	10139	10826	0	[a]	[a]	[b]	59	131	842	1032	9794	10689	0	         [a]	         [a]	42	56	91	934	1081	9608	9961	         [a]	         [a]	0	         [b]	57	190	873	1120	8841	10449	         [a]	         [a]	         [a]	43	70	94	662	826	9623
32511	4	ann. pay.	702422	         (D)	         (D)	1001	         (D)	2568	7659	58726	68953	633469	688004	0	(D)	(D)	(D)	3363	6532	59164	69059	618945	670788	0	         (D)	         (D)	4295	4460	4761	71384	80605	590183	696167	         (D)	         (D)	0	         (D)	4018	12445	59145	75608	620559	763357	         (D)	         (D)	         (D)	2534	3422	6264	30764	40450	722907
32511	4	rec.																																									20967769	         (D)	         (D)	         (D)	15031	         (D)	90163	415600	550518	20417251
32512	4	firms	118	6	45	13	9	73	15	8	96	22	112	9	33	17	9	68	15	6	89	23	116	10	41	15	6	72	14	9	95	21	112	9	36	13	8	66	20	6	92	20	87	4	25	13	7	49	12	8	69	18
32512	4	estab.	647	6	45	13	9	73	18	13	104	543	637	9	33	17	9	68	18	17	103	534	623	10	41	15	6	72	14	26	112	511	586	9	36	13	8	66	26	13	105	481	551	4	25	13	7	49	20	20	89	462
32512	4	empl.	12881	         [a]	         [c]	80	         [b]	278	356	221	855	12026	11562	0	[b]	111	[c]	285	317	571	1173	10389	12032	0	90	106	68	264	349	652	1265	10767	11212	         [a]	         [b]	91	         [c]	278	633	246	1157	10055	9557	         [a]	         [b]	88	89	240	394	709	1343	8214
32512	4	ann. pay.	603967	         (D)	         (D)	3140	         (D)	8765	11106	7301	27172	576795	571509	365	(D)	3694	(D)	9774	10483	23020	43277	528232	611550	1328	2695	3768	1494	9285	11139	24619	45043	566507	612718	         (D)	         (D)	2553	         (D)	10244	25266	7380	42890	569828	569743	         (D)	         (D)	3612	3261	9124	25184	31509	65817	503926
32512	4	rec.																																									5780466	         (D)	         (D)	21904	34187	         (D)	331165	107920	514022	5266444
32513	4	firms	155	8	24	13	18	63	39	18	120	35	152	8	22	11	23	64	37	18	119	33	152	10	23	15	15	63	42	16	121	31	150	6	24	20	19	69	35	19	123	27	152	11	22	20	18	71	40	15	126	26
32513	4	estab.	204	8	24	13	18	63	43	25	131	73	201	8	22	11	23	64	42	25	131	70	204	10	23	15	15	63	49	24	136	68	202	6	24	20	19	69	41	27	137	65	198	11	22	20	18	71	45	24	140	58
32513	4	empl.	17433	0	54	89	252	395	1406	3234	5035	12398	16803	0	[b]	[b]	328	456	1350	3362	5168	11635	16336	0	         [b]	         [b]	196	343	1585	3120	5048	11288	15483	0	52	145	249	446	1390	2891	4727	10756	14632	         [a]	         [b]	         [c]	238	422	1483	2846	4751	9881
32513	4	ann. pay.	823845	491	1507	4253	9531	15782	56117	154203	226102	597743	804870	454	(D)	(D)	12925	18212	54670	168531	241413	563457	853194	1530	         (D)	         (D)	7573	16213	66599	164836	247648	605546	801304	426	1651	6116	9416	17609	59249	147245	224103	577201	761956	         (D)	         (D)	         (D)	11170	19574	67337	140107	227018	534938
32513	4	rec.																																									6062160	         (D)	         (D)	         (D)	68647	         (D)	463542	863111	1448718	4613442
32518	4	firms	427	27	75	52	40	194	89	49	332	95	428	27	75	49	47	198	86	52	336	92	426	15	86	38	55	194	93	47	334	92	427	15	81	49	49	194	96	48	338	89	396	14	59	43	49	165	97	46	308	88
32518	4	estab.	724	27	75	54	40	196	101	94	391	333	734	27	75	49	49	200	100	91	391	343	730	15	86	38	57	196	112	79	387	343	727	15	81	49	51	196	122	83	401	326	674	14	59	43	51	167	116	79	362	312
32518	4	empl.	63672	0	191	346	525	1062	3590	4814	9466	54206	62202	0	194	310	620	1124	3418	5413	9955	52247	59952	0	200	240	723	1163	3712	5063	9938	50014	57605	0	190	316	675	1181	3814	5476	10471	47134	56036	0	143	277	658	1078	3675	5041	9794	46242
32518	4	ann. pay.	3293604	17044	7009	13423	22055	59531	158243	230053	447827	2845777	3296368	1121	6507	11816	28406	47850	150202	266520	464572	2831796	3309015	1422	7668	9233	29313	47636	169126	261073	477835	2831180	3339424	2868	7196	15707	26395	52166	178338	292759	523263	2816161	3350881	1335	7623	11001	30144	50103	183005	265392	498500	2852381
32518	4	rec.																																									19400040	8414	50389	71530	191859	322192	1348835	1934666	3605693	15794347
32519	4	firms	579	30	98	59	54	241	123	77	441	138	552	22	89	58	61	230	123	65	418	134	553	32	102	48	56	238	125	61	424	129	559	21	119	47	58	245	130	61	436	123	559	35	105	44	59	243	126	66	435	124
32519	4	estab.	830	30	98	59	54	241	129	100	470	360	817	22	89	58	62	231	129	91	451	366	818	32	102	48	57	239	130	84	453	365	815	21	120	47	58	246	138	85	469	346	806	35	105	44	60	244	132	95	471	335
32519	4	empl.	101618	0	220	401	738	1359	4808	8258	14425	87193	95561	0	197	394	846	1437	4741	7523	13701	81860	92970	0	239	327	753	1319	4845	7261	13425	79545	88988	0	268	305	797	1370	5029	7089	13488	75500	82290	0	242	297	822	1361	4746	7267	13374	68916
32519	4	ann. pay.	5678686	2420	9260	13813	34704	60197	218510	432777	711484	4967202	5412581	1214	8885	14778	36745	61622	225434	389252	676308	4736273	5433796	2741	11226	12887	32299	59153	244341	405612	709106	4724690	5321422	1988	11164	14998	39064	67214	247976	401519	716709	4604713	5071085	4803	12549	13643	37547	68542	234650	393655	696847	4374238
32519	4	rec.																																									54807720	79566	118457	117463	620145	935631	1863403	3597183	6396217	48411503
32521	4	firms	426	37	46	38	47	168	114	47	329	97	449	44	65	39	55	203	107	47	357	92	462	29	75	53	50	207	118	46	371	91	494	39	83	55	62	239	116	50	405	89	564	37	126	63	63	289	131	52	472	92
32521	4	estab.	708	37	46	38	47	168	116	74	358	350	737	44	65	39	55	203	111	73	387	350	746	29	75	53	50	207	121	73	401	345	783	39	83	55	62	239	121	81	441	342	858	37	127	63	64	291	148	83	522	336
32521	4	empl.	75339	0	98	261	679	1038	4845	6254	12137	63202	74863	0	142	257	724	1123	4639	6303	12065	62798	76517	0	168	349	657	1174	5130	6757	13061	63456	72565	         [a]	         [c]	360	817	1346	4930	7341	13617	58948	70229	         [a]	         [e]	422	842	1538	5444	8359	15341	54888
32521	4	ann. pay.	4047060	6299	3234	9181	23902	42616	179760	252717	475093	3571967	4165459	7410	3349	9335	25764	45858	247206	269939	563003	3602456	4433612	3150	4164	11604	23870	42788	205072	315860	563720	3869892	4255069	         (D)	         (D)	12537	29276	72771	195179	358263	626213	3628856	4155326	         (D)	         (D)	16032	31154	66624	220999	419445	707068	3448258
32521	4	rec.																																									53853663	         (D)	         (D)	130381	236471	         (D)	1942684	5824548	8327234	45526429
32522	4	firms	73	5	9	5	4	23	13	9	45	28	74	5	9	4	5	23	9	12	44	30	76	3	15	4	4	26	10	10	46	30	81	7	13	4	3	27	16	11	54	27	75	5	9	5	8	27	15	10	52	23
32522	4	estab.	112	5	9	5	4	23	14	11	48	64	114	5	9	4	5	23	11	14	48	66	117	3	15	4	6	28	12	11	51	66	123	7	13	4	3	27	16	21	64	59	111	5	9	5	8	27	15	22	64	47
32522	4	empl.	38858	0	20	36	64	120	641	1519	2280	36578	38804	0	21	24	70	115	296	1821	2232	36572	37056	0	26	28	54	108	392	1571	2071	34985	35298	         [a]	         [b]	28	36	90	754	2018	2862	32436	26579	         [a]	         [a]	34	112	163	800	2084	3047	23532
32522	4	ann. pay.	1548426	325	396	745	1667	3133	24960	49352	77445	1470981	1637033	253	526	544	1603	2926	8484	61013	72423	1564610	1543814	155	1623	551	1855	4184	11320	47251	62755	1481059	1405008	         (D)	         (D)	1292	1145	12675	24457	58364	95496	1309512	1140854	         (D)	         (D)	1261	5898	10552	29949	64293	104794	1036060
32522	4	rec.																																									9476719	         (D)	         (D)	7296	35645	         (D)	186139	396835	666812	8809907
32531	4	firms	501	37	135	98	65	335	96	32	463	38	491	34	141	98	55	328	88	36	452	39	476	27	133	100	61	321	85	36	442	34	492	36	130	103	67	336	83	37	456	36	511	35	136	107	60	338	99	38	475	36
32531	4	estab.	682	37	135	98	65	335	105	67	507	175	684	36	141	98	55	330	95	82	507	177	665	27	133	100	61	321	99	78	498	167	704	36	130	103	68	337	99	83	519	185	727	35	136	108	61	340	122	82	544	183
32531	4	empl.	23543	         [a]	         [e]	668	856	1860	3441	3373	8674	14869	22906	0	332	651	725	1708	2871	3518	8097	14809	21673	0	300	670	812	1782	3043	3230	8055	13618	21329	0	294	661	916	1871	3017	3024	7912	13417	20246	0	318	708	738	1764	3254	3083	8101	12145
32531	4	ann. pay.	968633	         (D)	         (D)	17553	23073	50534	99914	118650	269098	699535	977706	4492	9635	19516	21182	54825	85414	131180	271419	706287	942012	906	7816	20391	22368	51481	93838	118211	263530	678482	941240	2882	8783	19352	27453	58470	96466	113523	268459	672781	950308	2371	9958	24366	21407	58102	111411	123724	293237	657071
32531	4	rec.																																									10403498	19898	91569	193565	186436	491468	865922	1191752	2549142	7854356
32532	4	firms	228	20	57	35	29	141	30	23	194	34	217	12	61	32	25	130	36	22	188	29	206	12	55	25	31	123	31	22	176	30	212	13	54	29	28	124	37	21	182	30	198	14	44	30	26	114	33	19	166	32
32532	4	estab.	266	20	57	35	29	141	32	30	203	63	256	12	61	32	25	130	39	28	197	59	250	12	55	25	31	123	32	28	183	67	246	13	54	29	28	124	38	27	189	57	235	14	44	30	26	114	34	25	173	62
32532	4	empl.	14709	         [a]	         [c]	240	401	762	1109	2351	4222	10487	14443	0	142	220	340	702	1349	1901	3952	10491	14609	0	110	153	418	681	967	2308	3956	10653	14319	0	123	186	380	689	1219	2107	4015	10304	14021	0	98	195	363	656	1102	2127	3885	10136
32532	4	ann. pay.	711929	         (D)	         (D)	8178	12998	40237	34901	91062	166200	545729	710109	376	3598	8202	11958	24134	50253	74490	148877	561232	757800	650	4157	5520	14610	24937	35567	80448	140952	616848	719040	3611	3743	7220	14262	28836	47231	75877	151944	567096	699252	451	3634	8095	13570	25750	47274	75889	148913	550339
32532	4	rec.																																									10402745	5559	47803	89559	155998	298919	425414	950999	1675332	8727413
32541	4	firms	1467	107	339	210	191	847	328	157	1332	135	1481	82	364	217	189	852	333	158	1343	138	1476	105	333	232	180	850	329	160	1339	137	1470	92	354	219	183	848	328	162	1338	132	1411	89	312	205	206	812	295	168	1275	136
32541	4	estab.	1812	107	339	210	192	848	339	201	1388	424	1830	82	364	217	190	853	344	202	1399	431	1823	105	333	232	181	851	343	192	1386	437	1825	93	354	219	185	851	339	197	1387	438	1779	89	313	205	208	815	309	208	1332	447
32541	4	empl.	217111	0	744	1435	2621	4800	14505	25578	44883	172228	218804	0	817	1464	2560	4841	14593	27073	46507	172297	227461	0	736	1555	2436	4727	13946	26413	45086	182375	233503	0	811	1483	2485	4779	14722	27824	47325	186178	237905	0	705	1385	2728	4818	13214	27747	45779	192126
32541	4	ann. pay.	12590376	18563	29604	56902	104331	209400	568405	1115363	1893168	10697208	13009695	34797	34149	57411	99530	225887	602754	1282926	2111567	10898128	13276262	14601	36947	65583	109183	226314	605506	1211330	2043150	11233112	14585333	7885	44339	65918	98934	217076	676263	1364284	2257623	12327710	15878156	21416	45494	56260	117405	240575	617813	1505507	2363895	13514261
32541	4	rec.																																									143323970	154363	343229	350743	732609	1580944	3024571	9065270	13670785	129653185
32551	4	firms	1140	44	290	204	216	754	250	72	1076	64	1155	68	290	195	220	773	247	72	1092	63	1156	72	284	202	219	777	251	69	1097	59	1192	60	320	199	220	799	263	71	1133	59	1107	70	285	185	217	757	223	72	1052	55
32551	4	estab.	1428	44	290	204	216	754	282	118	1154	274	1448	68	290	195	220	773	277	114	1164	284	1441	72	284	202	220	778	285	112	1175	266	1463	60	320	199	221	800	292	119	1211	252	1363	70	285	185	218	758	258	113	1129	234
32551	4	empl.	52935	0	694	1363	2921	4978	9143	8957	23078	29857	53048	0	669	1285	2983	4937	9008	8652	22597	30451	53235	0	662	1349	3023	5034	9441	7921	22396	30839	50727	0	697	1324	2967	4988	9344	8301	22633	28094	47329	0	665	1211	2986	4862	8170	7782	20814	26515
32551	4	ann. pay.	2184193	2201	19832	48896	98096	169025	338780	348245	856050	1328143	2245750	4144	20427	42063	101147	167781	361307	337507	866595	1379155	2289601	3419	20812	45530	103013	172774	377280	313940	863994	1425607	2202951	3285	21304	43109	107015	174713	370225	331363	876301	1326650	2104491	7663	24531	44321	107660	184175	337149	323879	845203	1259288
32551	4	rec.																																									20395969	76416	162634	276905	585905	1101860	1852047	2346525	5300432	15095537
32552	4	firms	528	29	137	102	76	344	91	39	474	54	515	25	144	87	69	325	101	38	464	51	511	22	118	99	83	322	103	39	464	47	491	18	124	97	73	312	93	37	442	49	468	14	117	96	62	289	93	41	423	45
32552	4	estab.	682	29	137	102	76	344	101	78	523	159	671	27	144	87	69	327	112	75	514	157	664	22	118	99	83	322	115	74	511	153	635	18	124	97	73	312	103	64	479	156	603	14	117	96	62	289	106	74	469	134
32552	4	empl.	21968	0	325	691	1065	2081	3835	4694	10610	11358	22034	0	339	562	887	1788	4029	4637	10454	11580	22450	0	265	659	1083	2007	4249	4585	10841	11609	22208	0	301	657	984	1942	3824	4326	10092	12116	21058	0	281	645	827	1753	3705	5311	10769	10289
32552	4	ann. pay.	912912	1317	9582	24477	44081	79457	151563	186913	417933	494979	969861	13444	12587	20349	35460	81840	171724	193405	446969	522892	1039339	1087	10735	24982	45823	82627	185056	218866	486549	552790	988106	979	10287	26499	41753	79518	173804	191878	445200	542906	954969	2400	10984	27167	41936	82487	168697	230849	482033	472936
32552	4	rec.																																									7361310	15464	66925	166929	205152	454470	943060	1454582	2852112	4509198
32561	4	firms	1597	103	509	300	235	1147	278	81	1506	91	1534	84	473	314	236	1107	254	87	1448	86	1515	97	472	290	228	1087	265	80	1432	83	1457	87	470	279	221	1057	247	79	1383	74	1398	76	466	268	193	1003	249	74	1326	72
32561	4	estab.	1765	103	509	301	235	1148	303	119	1570	195	1701	84	473	315	237	1109	272	131	1512	189	1684	97	473	290	230	1090	283	117	1490	194	1624	87	471	279	224	1061	266	115	1442	182	1560	76	466	268	194	1004	272	109	1385	175
32561	4	empl.	63155	0	1202	2044	3174	6420	10633	12062	29115	34040	62173	0	1058	2109	3235	6402	9783	11960	28145	34028	61122	0	1043	1959	3179	6181	10459	11962	28602	32520	58357	0	1077	1841	3002	5920	9739	11036	26695	31662	54035	0	1039	1792	2651	5482	9569	10708	25759	28276
32561	4	ann. pay.	2565322	18173	32886	60731	98362	210152	399931	407085	1017168	1548154	2604853	8122	30753	64504	112800	216179	383957	417639	1017775	1587078	2704813	9925	30903	59881	114916	215625	414521	437467	1067613	1637200	2618589	7267	29327	59015	104783	200392	399112	435183	1034687	1583902	2605192	84511	30005	58561	104256	277333	425863	393976	1097172	1508020
32561	4	rec.																																									33714820	1134472	308265	555751	744159	2742647	2412054	2571765	7726466	25988354
32562	4	firms	712	82	178	96	97	453	139	67	659	53	708	58	188	111	96	453	137	64	654	54	700	55	178	118	97	448	135	63	646	54	697	45	184	107	98	434	149	61	644	53	726	54	214	110	90	468	149	60	677	49
32562	4	estab.	763	82	178	96	97	453	139	77	669	94	761	58	188	111	96	453	139	76	668	93	755	55	178	118	97	448	136	74	658	97	759	45	184	107	98	434	149	74	657	102	794	54	214	110	90	468	150	71	689	105
32562	4	empl.	65041	0	395	653	1340	2388	6072	12946	21406	43635	63031	0	451	765	1315	2531	6060	11653	20244	42787	63475	0	402	807	1349	2558	5745	11271	19574	43901	60705	0	417	713	1319	2449	6510	10543	19502	41203	56647	0	476	743	1229	2448	6595	10253	19296	37351
32562	4	ann. pay.	2344859	4768	20927	20234	35957	81886	208868	401811	692565	1652294	2299115	6363	13665	22737	40304	83069	208145	377430	668644	1630471	2443832	5359	12356	29769	43555	91039	202051	395387	688477	1755355	2422135	9147	14471	43562	45371	112551	230043	393069	735663	1686472	2289864	4253	16737	30871	42047	93908	251625	392815	738348	1551516
32562	4	rec.																																									31679852	55992	139839	225609	268840	690280	1684379	2617304	4991963	26687889
32591	4	firms	254	11	45	54	41	151	61	22	234	20	244	12	45	42	42	141	60	23	224	20	245	10	54	39	48	151	51	24	226	19	230	8	41	41	47	137	52	23	212	18	226	6	48	36	48	138	51	20	209	17
32591	4	estab.	564	11	45	54	41	151	85	108	344	220	541	12	45	42	42	141	77	116	334	207	533	10	54	39	48	151	63	123	337	196	505	8	41	41	48	138	66	117	321	184	501	16	48	36	50	150	75	115	340	161
32591	4	empl.	13494	         [a]	         [c]	363	         [f]	1059	2421	2585	6065	7429	13311	[a]	[c]	276	567	950	2184	2836	5970	7341	13050	         [a]	         [c]	262	696	1089	1924	2981	5994	7056	12886	0	95	255	633	983	2127	3082	6192	6694	12001	         [a]	         [c]	244	         [f]	991	2033	3013	6037	5964
32591	4	ann. pay.	554750	         (D)	         (D)	12584	         (D)	37879	101796	102315	241990	312760	591828	(D)	(D)	9686	21044	35531	99015	120261	254807	337021	553991	         (D)	         (D)	8910	29189	44932	83416	129378	257726	296265	587216	1191	4422	8736	26478	40827	103984	135158	279969	307247	556363	         (D)	         (D)	9470	         (D)	43275	102681	134577	280533	275830
32591	4	rec.																																									4174624	         (D)	         (D)	54828	         (D)	         (D)	485943	925764	1683276	2491348
32592	4	firms	62	4	13	7	2	26	15	11	52	10	59	1	13	6	3	23	13	12	48	11	57	2	11	4	3	20	13	12	45	12	63	8	10	3	3	24	17	11	52	11	61	2	11	9	2	24	14	11	49	12
32592	4	estab.	99	4	13	7	2	26	15	18	59	40	95	1	13	6	3	23	13	20	56	39	92	2	11	4	3	20	13	17	50	42	100	8	10	3	3	24	17	18	59	41	92	2	11	9	2	24	14	17	55	37
32592	4	empl.	7773	         [a]	         [b]	50	         [b]	111	627	1617	2355	5418	7806	[a]	[b]	39	35	101	449	1698	2248	5558	7504	         [a]	         [b]	28	41	92	484	1322	1898	5606	7325	0	23	20	39	82	617	1038	1737	5588	6304	         [a]	         [b]	64	         [b]	111	474	1094	1679	4625
32592	4	ann. pay.	278163	         (D)	         (D)	1760	         (D)	4916	19022	56531	80469	197694	289511	(D)	(D)	1781	836	4457	16352	60223	81032	208479	288003	         (D)	         (D)	1337	1436	4725	17356	42826	64907	223096	276290	993	775	1083	1015	3866	21424	35933	61223	215067	262041	         (D)	         (D)	2391	         (D)	4626	16308	41985	62919	199122
32592	4	rec.																																									1111244	         (D)	         (D)	8792	         (D)	         (D)	83100	224320	323543	787701
32599	4	firms	1941	124	461	317	329	1231	407	131	1769	172	1930	134	441	325	305	1205	415	134	1754	176	1903	123	463	290	315	1191	407	138	1736	167	1893	123	478	284	291	1176	413	146	1735	158	1876	123	482	306	294	1205	372	147	1724	152
32599	4	estab.	2253	124	461	318	332	1235	426	180	1841	412	2254	134	442	325	308	1209	435	181	1825	429	2225	123	464	290	318	1195	422	194	1811	414	2211	123	479	284	294	1180	425	201	1806	405	2186	123	483	308	296	1210	389	202	1801	385
32599	4	empl.	99917	0	1095	2157	4490	7742	15413	13851	37006	62911	98177	0	1005	2237	4211	7453	15373	13277	36103	62074	95717	0	1059	1938	4231	7228	14985	15502	37715	58002	97290	0	1064	1886	3923	6873	15347	15842	38062	59228	88112	0	1067	2018	3996	7081	13338	15240	35659	52453
32599	4	ann. pay.	4314380	13829	32828	68266	156982	271905	553173	531862	1356940	2957440	4464021	24698	32181	72667	155637	285183	592588	518109	1395880	3068141	4458127	16516	35573	62786	161181	276056	598014	623949	1498019	2960108	4622774	6905	35655	65791	154522	262873	622276	684780	1569929	3052845	4316727	9349	38042	73456	165524	286371	573150	660620	1520141	2796586
32599	4	rec.																																									35294692	62183	233878	429011	910219	1635291	3391941	4622554	9649786	25644906
32611	4	firms	1234	49	176	159	178	562	388	162	1112	122	1192	38	179	148	173	538	372	162	1072	120	1173	45	169	135	184	533	361	161	1055	118	1144	42	185	121	174	522	350	151	1023	121	1093	44	184	123	161	512	333	134	979	114
32611	4	estab.	1481	49	176	159	178	562	400	202	1164	317	1460	38	179	148	173	538	383	208	1129	331	1460	45	169	135	184	533	371	201	1105	355	1440	42	185	121	175	523	361	196	1080	360	1395	44	184	124	162	514	345	171	1030	365
32611	4	empl.	112154	0	432	1099	2466	3997	18209	26200	48406	63748	108987	0	423	1034	2377	3834	17410	25611	46855	62132	111704	0	397	925	2569	3891	16806	24843	45540	66164	108464	0	452	825	2409	3686	16431	22768	42885	65579	100385	0	456	854	2197	3507	15320	19196	38023	62362
32611	4	ann. pay.	3858609	5063	11954	29694	73631	120342	572223	814966	1507531	2351078	3958064	9228	14157	27890	71677	122952	562985	901528	1587465	2370599	4103091	6512	13269	24334	77515	121630	544400	839709	1505739	2597352	4049902	4067	13883	22087	71251	111288	540014	771684	1422986	2626916	3917179	5382	14325	24666	72748	117121	558257	680438	1355816	2561363
32611	4	rec.																																									25603823	42997	99121	151792	398182	692092	3102210	3852422	7646724	17957099
32612	4	firms	1016	36	224	166	154	580	255	94	929	87	978	33	212	143	156	544	247	98	889	89	941	36	194	137	138	505	255	101	861	80	924	29	179	150	142	500	246	98	844	80	904	31	173	161	139	504	231	95	830	74
32612	4	estab.	1203	36	224	166	154	580	276	127	983	220	1176	36	212	143	156	547	263	135	945	231	1141	36	194	137	138	505	272	142	919	222	1125	29	179	150	142	500	260	145	905	220	1092	32	173	161	139	505	252	135	892	200
32612	4	empl.	48436	0	526	1114	2122	3762	11457	11714	26933	21503	49496	0	496	938	2078	3512	10831	12610	26953	22543	50200	0	483	900	1892	3275	11254	13205	27734	22466	49083	0	430	986	1980	3396	10777	12925	27098	21985	45458	0	392	1080	1902	3374	10224	11034	24632	20826
32612	4	ann. pay.	1519124	3133	15589	25884	56990	101596	323449	352298	777343	741781	1636209	6128	15076	25322	58635	105161	326358	393157	824676	811533	1680767	3789	17676	25982	57959	105406	346782	413452	865640	815127	1608836	2216	13045	26526	55850	97637	325740	393636	817013	791823	1634457	1326	13110	32353	63115	109904	357993	369952	837849	796608
32612	4	rec.																																									9823907	11445	74516	150468	302804	539233	1531656	1995449	4066338	5757569
32613	4	firms	434	28	137	96	75	336	61	12	409	25	418	25	128	96	68	317	60	15	392	26	409	22	107	90	72	291	76	16	383	26	400	20	109	87	64	280	73	19	372	28	362	19	99	80	57	255	69	17	341	21
32613	4	estab.	448	28	137	96	75	336	63	15	414	34	432	25	128	96	68	317	62	18	397	35	426	22	107	90	72	291	78	19	388	38	417	20	109	87	64	280	74	22	376	41	377	19	99	80	57	255	70	23	348	29
32613	4	empl.	15691	0	343	614	991	1948	2291	1959	6198	9493	16012	0	310	624	916	1850	2283	2485	6618	9394	17239	0	255	589	985	1829	2912	2346	7087	10152	16695	0	254	574	860	1688	2814	2893	7395	9300	12910	0	234	537	773	1544	2694	2103	6341	6569
32613	4	ann. pay.	535563	3966	9321	14712	23612	51611	69459	68109	189179	346384	551110	1433	8930	16632	24844	51839	74793	82096	208728	342382	596112	2918	7810	15126	25574	51428	96233	79104	226765	369347	615983	8480	9517	14983	21442	54422	94299	96363	245084	370899	530698	2376	11148	16114	22581	52219	93693	83214	229126	301572
32613	4	rec.																																									2622467	7379	63060	81969	128082	280490	530828	446678	1257996	1364471
32614	4	firms	566	21	118	97	103	339	138	45	522	44	402	35	58	68	59	220	102	42	364	38	397	29	63	62	49	203	112	42	357	40	390	17	75	59	45	196	121	38	355	35	380	17	71	51	54	193	114	37	344	36
32614	4	estab.	774	21	118	97	103	339	147	111	597	177	575	35	58	68	60	221	106	95	422	153	569	29	63	62	49	203	115	99	417	152	566	17	75	59	45	196	124	98	418	148	551	17	71	51	54	193	123	85	401	150
32614	4	empl.	37070	0	294	650	1377	2321	5475	6756	14552	22518	31748	0	116	447	830	1393	4172	6172	11737	20011	33394	0	165	433	678	1276	4637	6612	12525	20869	31503	0	169	412	605	1186	4854	5653	11693	19810	30520	0	174	339	741	1254	4412	4735	10401	20119
32614	4	ann. pay.	1069200	1388	7873	15137	32739	57137	149281	197699	404117	665083	955269	4123	4955	11514	19098	39690	123485	185949	349124	606145	974221	2484	4687	10989	17871	36031	133253	201136	370420	603801	939688	4346	5807	11403	15166	36722	141413	169577	347712	591976	948640	3913	5760	10989	21566	42228	139251	151753	333232	615408
32614	4	rec.																																									6329984	29928	36249	59605	113053	238835	623209	832688	1694732	4635252
32615	4	firms	257	14	19	13	30	76	99	48	223	34	426	15	65	53	68	201	125	67	393	33	404	16	52	52	67	187	117	60	364	40	406	15	52	53	64	184	136	50	370	36	409	18	68	50	73	209	118	49	376	33
32615	4	estab.	416	14	19	13	30	76	102	69	247	169	630	15	65	53	68	201	133	101	435	195	608	16	52	52	67	187	125	88	400	208	610	15	52	53	64	184	149	76	409	201	610	18	69	50	73	210	133	73	416	194
32615	4	empl.	29820	0	43	89	425	557	4729	5922	11208	18612	37456	0	160	367	931	1458	5357	9462	16277	21179	37940	0	129	352	944	1425	5148	9009	15582	22358	35645	0	114	356	877	1347	6356	7534	15237	20408	33653	0	165	346	1010	1521	5446	6656	13623	20030
32615	4	ann. pay.	863862	5740	1075	2512	15434	24761	135460	178672	338893	524969	1105125	1182	4392	10508	26809	42891	148954	292387	484232	620893	1141000	922	4329	10602	28555	44408	149960	271759	466127	674873	1070156	1841	3071	10020	26281	41213	180925	234170	456308	613848	1094919	1305	5581	11636	32410	50932	164414	225401	440747	654172
32615	4	rec.																																									7169556	16013	46770	87272	172488	322543	771543	1063323	2157409	5012147
32616	4	firms	218	14	35	20	19	88	72	24	184	34	199	8	25	16	20	69	69	26	164	35	199	9	22	15	29	75	61	30	166	33	186	8	30	14	18	70	59	26	155	31	173	8	25	14	18	65	57	22	144	29
32616	4	estab.	486	14	35	20	19	88	73	59	220	266	489	8	25	16	20	69	71	55	195	294	481	9	22	15	29	75	61	62	198	283	459	8	30	14	18	70	61	46	177	282	459	8	25	14	18	65	59	42	166	293
32616	4	empl.	34874	0	77	133	280	490	3458	3957	7905	26969	37955	0	55	112	286	453	3339	4153	7945	30010	37488	0	46	95	412	553	2993	4820	8366	29122	35655	0	59	94	267	420	3009	3342	6771	28884	35168	0	58	89	243	390	3045	3058	6493	28675
32616	4	ann. pay.	1037326	1347	1378	3911	7529	14165	83813	105151	203129	834197	1177798	588	1828	3458	8581	14455	91416	123605	229476	948322	1164689	873	1399	2020	11057	15349	79798	135378	230525	934164	1188673	842	2967	2377	7211	13397	83921	91550	188868	999805	1222519	1308	1669	2206	7380	12563	91071	91488	195122	1027397
32616	4	rec.																																									8454314	8358	9394	13953	44974	76679	457894	455127	989700	7464614
32619	4	firms	7994	528	1339	998	1237	4102	2544	886	7532	462	7938	427	1386	1024	1229	4066	2499	901	7466	472	7699	389	1299	1022	1199	3909	2421	912	7242	457	7572	386	1358	955	1224	3923	2360	839	7122	450	7323	346	1348	1053	1203	3950	2186	763	6899	424
32619	4	estab.	9158	528	1339	999	1238	4104	2603	1179	7886	1272	9130	429	1386	1025	1231	4071	2544	1188	7803	1327	8903	393	1299	1024	1201	3917	2458	1200	7575	1328	8750	388	1359	956	1225	3928	2406	1115	7449	1301	8520	346	1348	1053	1206	3953	2262	1062	7277	1243
32619	4	empl.	545810	0	3062	6844	17424	27330	111364	148634	287328	258482	556718	0	3185	6984	17261	27430	110137	149291	286858	269860	557282	0	2976	6960	16780	26716	105852	150968	283536	273746	526801	0	3157	6541	16991	26689	101927	136080	264696	262105	486579	0	3220	7214	16724	27158	94708	122902	244768	241811
32619	4	ann. pay.	15583888	56638	82975	182053	485031	806697	3004567	4071084	7882348	7701540	16482968	56206	91650	201488	492473	841817	3074773	4248839	8165429	8317539	16743725	53354	80370	194406	505610	833740	3003599	4445361	8282700	8461025	16031607	57928	89625	189251	488785	825589	2948912	4035290	7809791	8221816	15739243	32149	96889	212478	507327	848843	2934509	3927320	7710672	8028571
32619	4	rec.																																									75987443	175405	601672	950236	2121168	3848481	11884168	17497325	33229974	42757469
32621	4	firms	701	43	302	102	89	536	92	47	675	26	665	44	277	97	76	494	94	50	638	27	635	43	255	96	75	469	88	51	608	27	597	33	242	90	74	439	81	53	573	24	494	22	173	77	61	333	89	51	473	21
32621	4	estab.	874	43	302	103	90	538	100	78	716	158	867	44	277	98	76	495	101	86	682	185	868	43	255	97	75	470	92	88	650	218	838	33	242	91	74	440	87	95	622	216	707	22	173	78	61	334	99	90	523	184
32621	4	empl.	72784	0	633	678	1196	2507	2147	4636	9290	63494	72608	0	598	636	999	2233	2365	5101	9699	62909	74325	         [a]	         [f]	638	974	2152	2265	5011	9428	64897	72481	0	523	582	951	2056	2085	4577	8718	63763	68862	0	370	523	769	1662	2356	4160	8178	60684
32621	4	ann. pay.	3016771	1431	11867	13064	28665	55027	58284	121724	235035	2781736	3125341	1515	10729	12926	25405	50575	68708	137456	256739	2868602	3245451	         (D)	         (D)	14059	24423	52321	64387	140631	257339	2988112	3117085	2821	13089	13133	22384	51427	61925	130472	243824	2873261	3140095	2262	8822	12716	20877	44677	72329	133975	250981	2889114
32621	4	rec.																																									14550226	6691	47508	66847	86990	208036	452330	691187	1351553	13198673
32622	4	firms	155	5	29	14	25	73	38	16	127	28	155	5	26	12	21	64	38	21	123	32	151	3	26	11	19	59	41	19	119	32	162	7	27	18	20	72	39	19	130	32	184	10	38	18	23	89	44	18	151	33
32622	4	estab.	222	5	29	14	27	75	44	26	145	77	225	5	26	12	23	66	43	35	144	81	217	3	26	11	21	61	46	30	137	80	228	7	27	18	22	74	43	26	143	85	257	10	38	19	24	91	52	25	168	89
32622	4	empl.	23454	0	67	94	345	506	1767	2436	4709	18745	24803	0	58	85	309	452	1549	2977	4978	19825	24502	         [a]	         [b]	73	258	391	1644	2557	4592	19910	23553	0	60	119	265	444	1598	2371	4413	19140	22201	0	91	110	301	502	1915	2124	4541	17660
32622	4	ann. pay.	755288	1292	1941	2837	11613	17683	54958	83824	156465	598823	813891	375	1496	2860	10316	15047	50394	92671	158112	655779	807403	         (D)	         (D)	2254	8301	11976	56815	83431	152222	655181	758799	572	1315	3566	8217	13670	53568	78940	146178	612621	772799	1529	1957	3765	9902	17153	67734	72561	157448	615351
32622	4	rec.																																									3973031	7145	10360	19321	50237	87063	337814	388733	813610	3159421
32629	4	firms	1411	65	241	191	219	716	412	155	1283	128	1372	54	245	185	224	708	384	153	1245	127	1332	45	228	176	198	647	406	150	1203	129	1274	29	213	180	190	612	388	147	1147	127	1250	52	216	187	182	637	365	132	1134	116
32629	4	estab.	1690	65	241	191	219	716	437	227	1380	310	1662	54	245	185	224	708	406	221	1335	327	1619	45	228	176	199	648	430	221	1299	320	1548	29	213	181	191	614	409	212	1235	313	1494	52	216	187	182	637	390	195	1222	272
32629	4	empl.	110292	0	553	1309	3029	4891	17045	24953	46889	63403	111152	0	570	1265	3054	4889	15906	24557	45352	65800	112433	0	541	1198	2682	4421	17246	23993	45660	66773	102623	0	510	1223	2604	4337	16295	23207	43839	58784	89871	0	494	1305	2455	4254	14794	19973	39021	50850
32629	4	ann. pay.	3323695	4093	13819	33915	78288	130115	501338	715655	1347108	1976587	3544833	7351	16450	33502	84607	141910	485300	725089	1352299	2192534	3653639	8293	14366	33997	78499	135155	533210	723878	1392243	2261396	3260627	2027	14706	34411	72068	123212	507432	686603	1317247	1943380	3035502	13744	22632	37630	77934	151940	496412	619323	1267675	1767827
32629	4	rec.																																									14862996	79840	100926	162977	293831	637574	1938255	2836716	5412545	9450451
32711	4	firms	1144	114	481	164	126	885	160	58	1103	41	1125	98	468	181	112	859	167	56	1082	43	1062	99	422	170	104	795	171	55	1021	41	1052	94	429	166	109	798	159	51	1008	44	966	108	371	179	90	748	131	42	921	45
32711	4	estab.	1191	116	481	164	126	887	163	69	1119	72	1173	98	470	181	112	861	169	70	1100	73	1107	99	424	170	104	797	175	67	1039	68	1092	94	429	166	109	798	163	59	1020	72	1006	108	371	179	90	748	135	50	933	73
32711	4	empl.	39610	0	974	1102	1714	3790	6780	9818	20388	19222	38514	0	941	1200	1577	3718	6645	9740	20103	18411	38641	0	834	1118	1428	3380	6845	9765	19990	18651	36944	0	868	1058	1460	3386	6496	8180	18062	18882	33866	0	759	1192	1203	3154	5249	7013	15416	18450
32711	4	ann. pay.	1113666	5619	13360	17600	29124	65703	162092	241537	469332	644334	1126262	2626	14051	21636	30244	68557	165771	269629	503957	622305	1166867	2022	12085	21556	30498	66161	173050	283343	522554	644313	1092849	9456	13819	19099	28889	71263	156103	228262	455628	637221	1034741	2546	11389	23686	27643	65264	144626	198757	408647	626094
32711	4	rec.																																									3673630	10772	37870	79985	76504	205131	383495	745419	1334045	2339585
32712	4	firms	547	42	134	73	59	308	133	58	499	48	536	32	124	83	56	295	134	60	489	47	531	28	119	78	69	294	125	65	484	47	544	33	121	91	62	307	136	58	501	43	527	31	132	81	62	306	131	53	490	37
32712	4	estab.	749	42	134	73	59	308	139	92	539	210	737	32	124	83	56	295	140	94	529	208	732	28	119	78	69	294	131	101	526	206	741	33	121	91	62	307	147	90	544	197	708	31	132	81	62	306	145	77	528	180
32712	4	empl.	37655	0	316	494	797	1607	6004	8280	15891	21764	37158	0	282	548	745	1575	5967	7860	15402	21756	37623	0	272	523	950	1745	5486	9075	16306	21317	36595	0	267	599	823	1689	6016	7872	15577	21018	31980	0	299	530	848	1677	5668	6720	14065	17915
32712	4	ann. pay.	1168595	3286	7451	11554	23224	45515	174329	247878	467722	700873	1219728	4272	7156	12398	23359	47185	183366	261749	492300	727428	1244905	1245	6808	11996	28591	48640	172670	298299	519609	725296	1223672	1733	6751	15752	22671	46907	184273	265022	496202	727470	1128879	1754	7417	14432	28727	52330	196633	240850	489813	639066
32712	4	rec.																																									5360696	9359	35721	60569	137979	243628	799609	1108129	2151366	3209330
32721	4	firms	1976	183	770	340	224	1517	281	83	1881	95	2074	217	813	367	233	1630	275	90	1995	79	2045	166	807	367	249	1589	288	81	1958	87	2041	165	796	390	224	1575	289	82	1946	95	1879	155	753	343	194	1445	262	88	1795	84
32721	4	estab.	2258	183	770	340	224	1517	290	103	1910	348	2370	217	813	367	235	1632	286	113	2031	339	2340	167	807	368	249	1591	299	96	1986	354	2348	165	796	390	225	1576	299	100	1975	373	2190	155	753	343	194	1445	276	113	1834	356
32721	4	empl.	134626	0	1745	2251	3033	7029	11403	13157	31589	103037	129810	0	1792	2421	3176	7389	11342	13781	32512	97298	131237	0	1788	2417	3376	7581	12241	13224	33046	98191	129971	0	1712	2589	3086	7387	12023	12507	31917	98054	114794	0	1611	2298	2654	6563	10569	13186	30318	84476
32721	4	ann. pay.	4743200	14803	36604	51005	75275	177687	307848	369785	855320	3887880	4763912	17179	39882	55471	83818	196350	324008	404936	925294	3838618	4992941	10248	40092	60372	89732	200444	377932	435367	1013743	3979198	4826718	8068	39812	64213	84666	196759	347978	390115	934852	3891866	4404599	6925	36619	56404	74820	174768	333825	425850	934443	3470156
32721	4	rec.																																									22179763	33886	171726	235501	281444	722557	1251515	1786138	3760210	18419553
32731	4	firms	153	7	28	28	25	88	20	15	123	30	175	11	41	28	27	107	23	15	145	30	170	12	32	32	25	101	25	15	141	29	159	4	33	29	24	90	27	14	131	28	136	5	22	25	20	72	21	12	105	31
32731	4	estab.	257	7	28	28	25	88	26	22	136	121	273	11	41	28	27	107	27	22	156	117	268	12	32	32	25	101	29	21	151	117	260	4	33	29	24	90	31	20	141	119	253	5	22	25	20	72	29	22	123	130
32731	4	empl.	16775	0	59	201	325	585	549	1993	3127	13648	16915	0	91	207	350	648	642	1985	3275	13640	17076	0	70	228	334	632	861	1647	3140	13936	17227	0	69	205	315	589	834	1586	3009	14218	16905	0	47	178	268	493	735	1535	2763	14142
32731	4	ann. pay.	754211	1231	3770	7729	11942	24672	15408	95724	135804	618407	799451	1068	4083	7775	12288	25214	21597	88394	135205	664246	833287	903	4162	7575	12744	25384	31318	86390	143092	690195	877532	245	3393	6710	12722	23070	27151	104805	155026	722506	849855	234	2823	6704	10829	20590	26274	79705	126569	723286
32731	4	rec.																																									7251839	2721	22411	54339	103086	182557	172557	584059	939173	6312666
32732	4	firms	2809	139	520	477	568	1704	882	155	2741	68	2743	123	534	433	546	1636	879	155	2670	73	2645	106	510	398	523	1537	867	166	2570	75	2551	95	500	411	490	1496	829	153	2478	73	2522	143	457	400	493	1493	807	153	2453	69
32732	4	estab.	5242	139	521	480	597	1737	1330	954	4021	1221	5364	123	537	438	566	1664	1350	852	3866	1498	5414	106	513	405	536	1560	1298	837	3695	1719	5398	99	503	419	505	1526	1305	842	3673	1725	5471	145	459	405	517	1526	1322	887	3735	1736
32732	4	empl.	90691	0	1215	3228	7828	12271	32371	20904	65546	25145	95866	0	1251	2929	7564	11744	32349	20351	64444	31422	100239	0	1219	2722	7253	11194	32912	20360	64466	35773	101483	0	1182	2762	6778	10722	31749	19757	62228	39255	92497	0	1094	2712	6640	10446	31148	19564	61158	31339
32732	4	ann. pay.	3309854	13026	42360	93387	259779	408552	1177639	808058	2394249	915605	3617119	10779	43342	85998	258598	398717	1236926	812604	2448247	1168872	3739776	9145	39411	80015	235393	363964	1216387	771475	2351826	1387950	3917192	9032	38510	89590	237443	374575	1239182	808865	2422622	1494570	3735056	14967	36409	90023	236988	378387	1228744	800567	2407698	1327358
32732	4	rec.																																									21598968	80718	229231	486352	1204304	2000605	6297378	4370245	12668228	8930740
32733	4	firms	930	28	154	127	176	485	316	88	889	41	906	37	144	124	171	476	302	82	860	46	894	41	139	119	163	462	304	81	847	47	884	40	151	120	164	475	287	77	839	45	863	42	144	115	175	476	268	80	824	39
32733	4	estab.	1338	28	154	127	178	487	382	182	1051	287	1334	37	144	124	174	479	353	176	1008	326	1372	41	139	123	165	468	360	165	993	379	1362	41	151	122	166	480	339	168	987	375	1350	42	144	115	176	477	339	177	993	357
32733	4	empl.	32656	0	344	897	2467	3708	11952	7762	23422	9234	33964	0	326	866	2408	3600	11355	7703	22658	11306	36855	0	333	826	2279	3438	11700	7766	22904	13951	36162	0	342	814	2338	3494	10986	7158	21638	14524	32248	0	336	793	2443	3572	10060	6982	20614	11634
32733	4	ann. pay.	1131037	4773	9751	27194	78857	120575	424766	265573	810914	320123	1213292	2851	9178	28767	84213	125009	407326	267631	799966	413326	1298019	4952	8461	27387	74786	115586	420771	281593	817950	480069	1350405	6163	10365	25730	81547	123805	417641	284017	825463	524942	1286970	4574	11851	28938	85947	131310	411104	275055	817469	469501
32733	4	rec.																																									6522157	25516	60360	128596	420866	635338	1820809	1369632	3825779	2696378
32739	4	firms	2092	139	555	403	406	1503	423	111	2037	55	2064	100	547	409	386	1442	438	122	2002	62	2035	104	527	383	395	1409	453	104	1966	69	2052	117	531	381	382	1411	449	125	1985	67	1974	122	493	368	365	1348	447	117	1912	62
32739	4	estab.	2353	139	555	405	408	1507	455	211	2173	180	2337	101	547	410	388	1446	472	228	2146	191	2331	104	527	384	398	1413	489	177	2079	252	2366	117	531	382	385	1415	482	227	2124	242	2291	122	493	369	369	1353	484	219	2056	235
32739	4	empl.	55232	0	1301	2774	5446	9521	15799	14722	40042	15190	59490	0	1298	2779	5200	9277	16240	18213	43730	15760	62573	0	1263	2604	5394	9261	17511	15970	42742	19831	65742	0	1219	2598	5226	9043	16814	18124	43981	21761	61032	0	1192	2542	4992	8726	16567	15745	41038	19994
32739	4	ann. pay.	1742057	10523	30015	64830	150522	255890	482612	481875	1220377	521680	1916442	7081	33805	63669	152364	256919	508512	596701	1362132	554310	2089779	9354	32878	65734	155505	263471	541940	555339	1360750	729029	2203903	8911	34857	67577	159371	270716	557315	617604	1445635	758268	2122222	7868	31065	68338	159254	266525	558056	566679	1391260	730962
32739	4	rec.																																									8575184	39417	126493	264351	578314	1008575	2034467	2113669	5156711	3418473
32741	4	firms	45	1	4	5	3	13	11	8	32	13	42	0	5	4	4	13	9	7	29	13	39	0	2	3	3	8	11	7	26	13	41	2	2	2	4	10	10	7	27	14	41	2	7	5	4	18	10	4	32	9
32741	4	estab.	84	1	4	5	3	13	16	17	46	38	84	0	5	4	4	13	13	19	45	39	80	0	2	3	3	8	15	19	42	38	82	2	2	2	4	10	13	19	42	40	77	2	7	5	6	20	13	6	39	38
32741	4	empl.	5201	         [a]	         [a]	31	36	78	472	1089	1639	3562	5360	0	11	27	58	96	399	1227	1722	3638	5167	0	         [a]	         [a]	45	68	503	1247	1818	3349	4533	         [a]	         [a]	         [a]	63	77	378	1158	1613	2920	4393	         [a]	         [a]	33	56	100	480	345	925	3468
32741	4	ann. pay.	216172	         (D)	         (D)	727	1299	2538	18676	48276	69490	146682	214502	0	395	625	2036	3056	16912	52381	72349	142153	209683	0	         (D)	         (D)	1474	2052	17831	51456	71339	138344	192225	         (D)	         (D)	         (D)	1514	2158	15273	51815	69246	122979	182836	         (D)	         (D)	1409	2099	4558	19422	16352	40332	142504
32741	4	rec.																																									1017852	         (D)	         (D)	5668	12467	         (D)	109251	72854	205164	812688
32742	4	firms	189	11	55	31	34	131	34	9	174	15	177	9	50	31	28	118	36	9	163	14	177	13	47	36	22	118	36	9	163	14	174	13	44	30	31	118	34	7	159	15	207	23	72	35	27	157	31	5	193	14
32742	4	estab.	288	11	55	31	34	131	34	17	182	106	280	9	50	31	28	118	36	11	165	115	282	13	47	36	22	118	36	19	173	109	280	13	44	30	31	118	36	8	162	118	301	23	72	35	27	157	33	6	196	105
32742	4	empl.	14377	         [a]	         [c]	214	460	778	1140	1552	3470	10907	14953	0	95	209	391	695	1239	1275	3209	11744	15092	0	         [b]	         [c]	323	661	1315	1581	3557	11535	14464	         [a]	         [b]	         [c]	411	699	1132	986	2817	11647	12611	         [a]	         [c]	243	348	735	997	696	2428	10183
32742	4	ann. pay.	534040	         (D)	         (D)	4261	11638	19277	28480	48214	95971	438069	579118	266	1913	5203	10180	17562	32215	44530	94307	484811	572212	982	         (D)	         (D)	8001	17580	30882	56842	105304	466908	566113	         (D)	         (D)	         (D)	10383	18547	29576	35696	83819	482294	520107	         (D)	         (D)	6385	8872	19653	26220	26220	72093	448014
32742	4	rec.																																									4209325	         (D)	         (D)	46970	69254	         (D)	169599	155151	475895	3733430
32791	4	firms	319	13	43	41	57	154	115	33	302	17	313	10	50	42	55	157	109	31	297	16	299	12	43	39	60	154	99	32	285	14	300	9	49	41	57	156	98	30	284	16	299	8	58	39	64	169	94	25	288	11
32791	4	estab.	363	13	43	41	57	154	118	46	318	45	365	10	50	43	55	158	111	45	314	51	348	12	43	40	60	155	101	50	306	42	352	9	50	41	57	157	101	43	301	51	347	8	58	39	64	169	100	42	311	36
32791	4	empl.	20695	0	108	301	790	1199	4640	5416	11255	9440	19532	0	125	302	753	1180	4298	5017	10495	9037	18900	0	106	280	837	1223	4022	5406	10651	8249	19598	0	116	281	775	1172	3899	5059	10130	9468	16079	0	114	269	854	1237	3637	4652	9526	6553
32791	4	ann. pay.	804486	3351	3045	10065	23886	40347	156589	173053	369989	434497	764762	5150	4027	9503	24255	42935	142614	176566	362115	402647	776185	1718	3071	9943	28350	43082	140602	217160	400844	375341	837878	517	3606	9119	25726	38968	127346	215166	381480	456398	651973	1023	3490	8854	30664	44031	130915	197042	371988	279985
32791	4	rec.																																									3349835	6234	16821	36636	125703	185394	486403	817983	1489780	1860055
32799	4	firms	1977	148	540	362	364	1414	374	86	1874	103	1838	128	486	363	343	1320	332	87	1739	99	1852	145	469	354	351	1319	346	90	1755	97	2052	147	518	411	394	1470	392	92	1954	98	2273	180	614	464	441	1699	391	89	2179	94
32799	4	estab.	2351	148	541	362	366	1417	410	183	2010	341	2224	128	486	364	345	1323	374	172	1869	355	2263	145	469	355	353	1322	375	204	1901	362	2451	147	519	411	396	1473	425	196	2094	357	2680	180	614	465	450	1709	426	189	2324	356
32799	4	empl.	60754	0	1268	2422	4913	8603	13488	9380	31471	29283	58754	0	1188	2449	4712	8349	11886	9495	29730	29024	60295	0	1116	2371	4813	8300	12637	9806	30743	29552	61511	0	1242	2767	5360	9369	13794	9588	32751	28760	59071	0	1459	3148	6005	10612	13527	9131	33270	25801
32799	4	ann. pay.	2073583	9322	31326	60162	131115	231925	392549	307870	932344	1141239	2057994	7938	30881	60762	136231	235812	382948	300402	919162	1138832	2198980	11500	30171	63077	139202	243950	406660	317542	968152	1230828	2261460	11424	35255	75345	157212	279236	449232	314792	1043260	1218200	2202418	10144	42998	87074	193302	333518	463383	321360	1118261	1084157
32799	4	rec.																																									11703512	43374	174438	356586	780420	1354818	1832160	1598419	4785397	6918115
33111	4	firms	318	67	47	28	17	159	34	44	237	81	601	247	96	43	36	422	51	47	520	81	898	227	219	124	93	663	98	53	814	84	1268	264	346	216	136	962	157	63	1182	86	1149	157	296	208	186	847	166	58	1071	78
33111	4	estab.	410	67	47	28	17	159	35	48	242	168	702	247	96	43	36	422	52	52	526	176	1003	227	219	124	93	663	100	57	820	183	1374	264	346	216	136	962	157	72	1191	183	1259	157	296	208	189	850	169	69	1088	171
33111	4	empl.	148969	0	98	174	239	511	1420	8224	10155	138814	144194	0	211	284	529	1024	2273	8674	11971	132223	149128	0	465	811	1242	2518	3760	9537	15815	133313	148381	0	770	1470	1889	4129	5811	10788	20728	127653	126969	0	697	1434	2421	4552	6235	10102	20889	106080
33111	4	ann. pay.	7715797	9145	2676	4489	7879	24189	56361	386478	467028	7248769	7542991	50079	8088	8300	15905	82372	87428	376557	546357	6996634	7803502	30511	14154	22962	36912	104539	140671	443934	689144	7114358	7216042	35456	23781	40320	56821	156378	194958	446608	797944	6418098	6519279	97771	23782	45663	73631	240847	223665	442653	907165	5612114
33111	4	rec.																																									48043024	847316	189092	238213	349464	1624085	1073344	2819011	5516440	42526584
33121	4	firms	179	17	13	13	11	54	45	35	134	45	188	16	22	17	12	67	46	31	144	44	209	21	32	15	19	87	43	35	165	44	197	7	31	18	20	76	41	36	153	44	205	18	33	20	18	89	39	35	163	42
33121	4	estab.	253	18	13	13	11	55	46	48	149	104	265	16	22	17	12	67	48	43	158	107	290	21	32	15	19	87	45	45	177	113	281	7	31	18	20	76	43	49	168	113	281	18	33	20	18	89	40	47	176	105
33121	4	empl.	27759	0	29	93	145	267	2116	6277	8660	19099	26759	0	48	122	170	340	2311	5985	8636	18123	27681	0	71	107	254	432	2122	6635	9189	18492	27490	         [a]	         [b]	128	276	463	2018	7202	9683	17807	25191	0	64	135	259	458	1743	6433	8634	16557
33121	4	ann. pay.	1018269	5321	917	2524	4934	13696	75956	238235	327887	690382	999807	1763	2427	3947	5439	13576	84831	226596	325003	674804	1069255	734	2932	2671	8396	14733	82670	263848	361251	708004	1057736	         (D)	         (D)	3721	10300	20735	77101	272978	370814	686922	1013373	5970	2130	4420	8261	20781	72647	251346	344774	668599
33121	4	rec.																																									6866376	54877	14920	29102	41217	140116	498028	1546392	2184536	4681840
33122	4	firms	392	41	68	39	42	190	80	69	339	53	433	60	73	48	41	222	84	66	372	61	509	79	108	61	45	293	91	66	450	59	525	69	125	68	49	311	100	63	474	51	469	44	119	62	45	270	86	66	422	47
33122	4	estab.	516	41	68	39	42	190	89	98	377	139	559	60	73	48	41	222	92	93	407	152	643	79	108	61	45	293	99	94	486	157	658	69	125	68	49	311	111	91	513	145	589	44	119	62	45	270	94	99	463	126
33122	4	empl.	38074	0	149	254	549	952	3674	10541	15167	22907	38040	0	172	324	538	1034	3760	9868	14662	23378	40349	0	228	404	606	1238	3890	10551	15679	24670	38107	         [a]	         [e]	468	674	1423	4216	10093	15732	22375	33508	0	264	420	618	1302	3370	10507	15179	18329
33122	4	ann. pay.	1424817	9312	4161	6982	18329	38784	125525	354543	518852	905965	1471320	12222	5281	9041	18528	45072	127376	348634	521082	950238	1599042	11154	6004	11399	17795	46352	135257	372494	554103	1044939	1390124	         (D)	         (D)	12834	22771	54845	136412	325343	516600	873524	1332839	3632	9342	11963	20426	45363	122885	388268	556516	776323
33122	4	rec.																																									9510956	32237	75447	69453	112988	290125	772390	2354629	3417144	6093812
33131	4	firms	386	28	63	31	44	166	87	59	312	74	408	37	70	41	45	193	83	58	334	74	446	39	82	56	47	224	88	71	383	63	497	45	100	69	49	263	99	73	435	62	436	18	86	57	53	214	93	74	381	55
33131	4	estab.	551	28	63	31	44	166	88	75	329	222	573	37	70	41	46	194	84	76	354	219	613	39	82	56	48	225	89	88	402	211	659	45	100	69	50	264	100	90	454	205	584	18	86	57	53	214	96	94	404	180
33131	4	empl.	85364	0	156	207	575	938	3779	9590	14307	71057	85636	0	168	269	606	1043	3790	9453	14286	71350	85999	0	199	392	646	1237	3836	11398	16471	69528	78218	0	220	468	675	1363	4150	11353	16866	61352	68535	0	190	377	700	1267	4183	11621	17071	51464
33131	4	ann. pay.	3438254	1557	5510	5465	17065	29597	135379	334662	499638	2938616	3447399	4546	4992	7895	17294	34727	136098	343146	513971	2933428	3637509	4411	4564	10599	19049	38623	147165	435593	621381	3016128	3328411	23064	5612	12380	20659	61715	142253	400238	604206	2724205	2953853	3322	6826	10204	23208	43560	150902	431128	625590	2328263
33131	4	rec.																																									26814042	18835	65720	92101	165519	342175	1248512	3488858	5079545	21734497
33141	4	firms	148	14	36	23	10	83	27	11	121	27	156	18	40	24	13	95	26	8	129	27	153	6	44	23	15	88	23	14	125	28	147	8	41	20	16	85	27	10	122	25	142	10	44	15	11	80	25	13	118	24
33141	4	estab.	171	14	37	23	10	84	28	14	126	45	182	18	41	24	13	96	28	11	135	47	178	6	44	23	16	89	25	19	133	45	171	8	41	20	17	86	29	13	128	43	164	10	44	15	11	80	28	17	125	39
33141	4	empl.	15857	0	81	155	141	377	1214	1739	3330	12527	14894	0	86	157	186	429	1210	1327	2966	11928	12548	0	102	144	214	460	904	1714	3078	9470	12076	0	99	137	227	463	1184	1208	2855	9221	11273	         [a]	         [c]	106	162	376	1008	1634	3018	8255
33141	4	ann. pay.	688611	920	2538	4717	6792	14967	46872	66878	128717	559894	623801	513	3136	5591	10694	19934	46974	46864	113772	510029	532782	332	3039	4750	8559	16680	37229	55367	109276	423506	527794	873	3232	4521	8110	16736	47745	43408	107889	419905	504841	         (D)	         (D)	4214	7602	16166	46550	65709	128425	376416
33141	4	rec.																																									4923989	         (D)	         (D)	24738	56295	         (D)	362042	310297	779401	4144588
33142	4	firms	193	12	26	20	19	77	43	33	153	40	182	12	26	19	17	74	42	26	142	40	190	15	26	23	17	81	39	32	152	38	186	10	31	18	22	81	39	29	149	37	173	9	27	19	24	79	38	24	141	32
33142	4	estab.	247	12	26	20	19	77	43	40	160	87	236	12	26	19	17	74	42	30	146	90	252	15	26	25	17	83	39	40	162	90	244	10	31	18	22	81	39	36	156	88	232	9	27	19	24	79	38	33	150	82
33142	4	empl.	28824	0	50	134	248	432	1861	4683	6976	21848	26205	0	58	127	215	400	1911	4160	6471	19734	26569	0	60	165	227	452	1828	4661	6941	19628	25150	0	62	115	291	468	1847	4348	6663	18487	21876	         [a]	         [b]	134	323	510	1657	3978	6145	15731
33142	4	ann. pay.	1049647	436	1386	4622	6924	13368	67129	174246	254743	794904	1034371	2484	1853	5106	5923	15366	79406	162407	257179	777192	1081274	451	1547	6338	9673	18009	70039	193694	281742	799532	958079	276	1869	3169	11812	17126	64307	162399	243832	714247	876031	         (D)	         (D)	4222	9379	22380	61415	169623	253418	622613
33142	4	rec.																																									7907838	         (D)	         (D)	29626	59110	         (D)	370825	1137389	1647961	6259877
33149	4	firms	441	23	91	48	55	217	115	44	376	65	458	22	91	63	56	232	113	51	396	62	456	24	89	59	66	238	109	48	395	61	442	20	90	58	62	230	107	45	382	60	471	33	114	72	58	277	100	40	417	54
33149	4	estab.	523	23	91	48	55	217	127	57	401	122	540	22	91	63	56	232	122	68	422	118	539	24	89	59	66	238	115	66	419	120	524	20	90	58	63	231	115	58	404	120	562	33	114	72	60	279	108	58	445	117
33149	4	empl.	38969	0	209	327	741	1277	5187	5652	12116	26853	38191	0	194	412	765	1371	4980	6414	12765	25426	35383	0	177	376	896	1449	4837	6266	12552	22831	35069	0	205	396	863	1464	4635	5992	12091	22978	31054	0	275	469	791	1535	4015	4795	10345	20709
33149	4	ann. pay.	1548178	3293	5037	8935	22543	39808	186980	223822	450610	1097568	1530834	1352	6887	11638	25513	45390	197269	261236	503895	1026939	1487955	2192	6008	11070	29727	48997	189246	264847	503090	984865	1480950	972	6517	10303	25890	43682	182799	234521	461002	1019948	1373166	7542	8266	15411	27818	59037	169775	197812	426624	946542
33149	4	rec.																																									8498051	65247	55583	91373	158111	370314	1341973	1161050	2873337	5624714
33151	4	firms	985	50	151	82	106	389	334	163	886	99	1027	70	173	92	124	459	325	149	933	94	1031	63	183	103	127	476	318	144	938	93	1056	53	208	118	128	507	322	135	964	92	936	41	167	93	123	424	299	133	856	80
33151	4	estab.	1149	50	151	82	106	389	341	187	917	232	1200	70	173	92	124	459	333	172	964	236	1198	63	183	103	127	476	328	166	970	228	1212	53	208	118	131	510	326	163	999	213	1076	41	167	93	125	426	309	169	904	172
33151	4	empl.	134943	0	362	553	1481	2396	15627	29206	47229	87714	129516	0	384	607	1808	2799	15231	25628	43658	85858	126141	0	424	682	1818	2924	14927	25298	43149	82992	116518	0	486	785	1819	3090	14925	23666	41681	74837	101537	0	385	619	1763	2767	13712	22230	38709	62828
33151	4	ann. pay.	4923662	5644	11433	15026	39046	71149	453223	914312	1438684	3484978	5004606	4494	12060	15677	50538	82769	445483	826127	1354379	3650227	5059694	5946	14165	17616	52728	90455	458368	864331	1413154	3646540	4580613	19661	12951	23417	54903	110932	439949	768918	1319799	3260814	4169720	10073	12286	19751	59461	101571	435612	763193	1300376	2869344
33151	4	rec.																																									15367068	34633	57487	86830	194654	373604	1360527	3173467	4907598	10459470
33152	4	firms	1550	65	263	233	270	831	458	166	1455	95	1510	54	254	243	254	805	456	167	1428	82	1452	46	244	222	238	750	456	163	1369	83	1423	46	252	205	246	749	434	163	1346	77	1346	49	228	212	255	744	385	141	1270	76
33152	4	estab.	1677	65	263	234	271	833	466	198	1497	180	1643	54	255	244	254	807	463	202	1472	171	1584	46	244	223	239	752	463	194	1409	175	1561	46	253	205	246	750	440	205	1395	166	1482	49	228	212	255	744	396	179	1319	163
33152	4	empl.	96418	0	620	1600	3788	6008	19625	27061	52694	43724	94188	0	597	1653	3520	5770	19081	28149	53000	41188	97829	0	577	1523	3278	5378	19400	28763	53541	44288	91503	0	607	1404	3408	5419	18329	27866	51614	39889	81095	0	517	1436	3579	5532	16319	22740	44591	36504
33152	4	ann. pay.	3020244	7866	16791	39114	104251	168022	574030	822758	1564810	1455434	3110508	13803	14808	43208	92746	164565	576149	893247	1633961	1476547	3273606	8691	15450	39061	91427	154629	590070	908959	1653658	1619948	3102155	5612	15168	34832	92778	148390	573955	891643	1613988	1488167	2880104	11595	14666	38834	106041	171136	521148	762836	1455120	1424984
33152	4	rec.																																									11529669	45532	57892	133793	367973	605190	1903566	2912670	5421426	6108243
33211	4	firms	3046	129	442	419	521	1511	995	351	2857	189	3039	113	484	415	513	1525	993	329	2847	192	2937	97	443	409	482	1431	981	336	2748	189	2856	81	451	393	499	1424	922	325	2671	185	2725	83	426	408	497	1414	866	272	2552	173
33211	4	estab.	3285	129	442	419	521	1511	1015	424	2950	335	3297	113	484	415	513	1525	1012	398	2935	362	3195	97	443	409	482	1431	999	404	2834	361	3110	81	451	394	499	1425	937	386	2748	362	2973	83	426	408	497	1414	884	347	2645	328
33211	4	empl.	166094	0	1032	2900	7226	11158	43221	54260	108639	57455	166422	0	1120	2831	7146	11097	43050	51982	106129	60293	164435	0	1020	2790	6625	10435	41988	52635	105058	59377	158033	0	1051	2709	7011	10771	39334	50229	100334	57699	135882	0	1033	2746	6988	10767	36873	40783	88423	47459
33211	4	ann. pay.	5913531	29775	32754	91023	236543	390095	1460920	1918749	3769764	2143767	6059584	8514	34922	94057	244897	382390	1499148	1852912	3734450	2325134	6196311	11421	36911	95528	236537	380397	1487772	1964967	3833136	2363175	5737968	15319	32725	91436	246264	385744	1343275	1783702	3512721	2225247	5187228	10661	34476	95300	250906	391343	1370428	1553366	3315137	1872091
33211	4	rec.																																									22814142	61692	150557	360733	920147	1493129	5122203	6983243	13598575	9215567
33221	4	firms	1552	92	412	273	248	1025	341	112	1478	74	1534	92	403	281	232	1008	344	111	1463	71	1498	79	399	263	229	970	355	107	1432	66	1457	74	388	261	229	952	335	107	1394	63	1398	80	394	253	218	945	307	92	1344	54
33221	4	estab.	1700	92	412	273	248	1025	360	148	1533	167	1687	92	403	281	232	1008	362	160	1530	157	1643	79	399	263	229	970	374	144	1488	155	1598	74	388	261	229	952	354	152	1458	140	1537	80	394	253	218	945	334	139	1418	119
33221	4	empl.	79405	0	942	1818	3376	6136	13625	15848	35609	43796	79988	0	921	1855	3158	5934	14247	16016	36197	43791	76842	0	930	1765	3083	5778	14969	16387	37134	39708	71055	0	866	1746	3125	5737	13876	16639	36252	34803	62724	0	874	1694	3051	5619	12689	14385	32693	30031
33221	4	ann. pay.	2657379	6228	23222	47491	99820	176761	447996	536820	1161577	1495802	2697225	7590	23358	52308	96036	179292	472711	550375	1202378	1494847	2846368	4441	24425	49998	100134	178998	510051	598407	1287456	1558912	2498434	5042	25673	55279	98456	184450	466551	595273	1246274	1252160	2333712	12003	25248	52662	97798	187711	450526	547038	1185275	1148437
33221	4	rec.																																									10502974	56300	118043	184007	321959	680309	1514908	2592354	4787571	5715403
33231	4	firms	4469	256	904	789	848	2797	1296	256	4349	120	4316	165	872	765	841	2643	1281	267	4191	125	4095	128	789	698	796	2411	1292	262	3965	130	4342	166	862	698	868	2594	1338	272	4204	138	5226	289	1475	903	892	3559	1275	262	5096	130
33231	4	estab.	4744	256	904	791	848	2799	1326	322	4447	297	4595	165	872	767	842	2646	1308	342	4296	299	4389	128	789	700	797	2414	1317	333	4064	325	4648	166	862	701	868	2597	1364	353	4314	334	5556	289	1475	905	893	3562	1316	335	5213	343
33231	4	empl.	150387	0	2119	5324	11886	19329	52226	31597	103152	47235	153300	0	2086	5173	11717	18976	51558	33748	104282	49018	152889	0	1890	4719	10943	17552	52644	33709	103905	48984	159824	0	2052	4763	12009	18824	54701	36511	110036	49788	152420	0	3390	6053	12315	21758	51567	33202	106527	45893
33231	4	ann. pay.	5142431	64076	54727	149800	371203	639806	1780756	1077067	3497629	1644802	5347880	14283	58826	155693	372117	600919	1827195	1177526	3605640	1742240	5519442	18468	54958	148475	361857	583758	1898912	1243360	3726030	1793412	5801506	16610	60231	148075	409615	634531	2014827	1352961	4002319	1799187	5585352	32515	94101	187061	423594	737271	1885454	1233494	3856219	1729133
33231	4	rec.																																									26754111	197868	470696	836119	1688786	3193469	8091588	6197918	17482975	9271136
33232	4	firms	7237	365	1619	1332	1403	4719	1951	399	7069	168	7086	302	1643	1283	1356	4584	1910	424	6918	168	6864	299	1538	1206	1316	4359	1913	425	6697	167	7099	301	1601	1297	1361	4560	1968	398	6926	173	7823	446	2185	1487	1419	5537	1744	386	7667	156
33232	4	estab.	7748	365	1619	1333	1406	4723	2000	523	7246	502	7654	302	1644	1283	1360	4589	1957	556	7102	552	7465	299	1538	1206	1319	4362	1965	568	6895	570	7715	301	1601	1298	1363	4563	2022	541	7126	589	8418	446	2185	1487	1420	5538	1808	537	7883	535
33232	4	empl.	240212	0	3770	8963	19371	32104	79282	56531	167917	72295	250856	0	3900	8667	18690	31257	77685	58288	167230	83626	256680	0	3718	8225	17996	29939	78243	61754	169936	86744	258309	0	3741	8764	18588	31093	80509	58057	169659	88650	233249	0	5071	9939	19502	34512	69901	51722	156135	77114
33232	4	ann. pay.	7487573	26578	91228	248734	626032	992572	2579142	1736687	5308401	2179172	8016380	18582	100340	248243	614303	981468	2619304	1918968	5519740	2496640	8468677	19936	93638	244397	621412	979383	2736120	2046418	5761921	2706756	8375055	29817	105243	260569	623244	1018873	2719713	1886702	5625288	2749767	8034014	36029	131811	311547	674790	1154177	2518060	1814993	5487230	2546784
33232	4	rec.																																									34687845	162714	537097	1094840	2271863	4066514	8668879	7602025	20337418	14350427
33241	4	firms	427	29	53	49	59	190	138	61	389	38	426	24	64	45	56	189	137	63	389	37	405	14	66	51	54	185	126	57	368	37	375	12	47	41	62	162	127	48	337	38	334	9	29	48	52	138	111	48	297	37
33241	4	estab.	474	29	53	49	59	190	139	71	400	74	467	24	64	45	56	189	139	70	398	69	447	14	66	51	54	185	129	61	375	72	413	12	47	41	62	162	131	51	344	69	375	9	29	48	52	138	115	53	306	69
33241	4	empl.	26505	0	127	343	800	1270	5984	8332	15586	10919	24661	0	148	330	717	1195	5681	8000	14876	9785	23942	0	153	363	737	1253	5413	7072	13738	10204	23298	0	107	287	807	1201	5457	6289	12947	10351	21278	0	70	342	734	1146	4526	5597	11269	10009
33241	4	ann. pay.	928139	2575	4786	11792	24934	44087	199871	300084	544042	384097	883516	1508	4549	9073	22664	37794	189146	296870	523810	359706	891229	1660	7227	11645	25585	46117	188930	266977	502024	389205	900847	941	6081	9554	27588	44164	207401	240380	491945	408902	803930	1192	5167	12971	24455	43785	170003	214823	428611	375319
33241	4	rec.																																									3560654	48777	22251	53283	82647	206958	630366	805223	1642547	1918107
33242	4	firms	558	14	52	57	94	217	227	60	504	54	557	15	51	59	94	219	224	59	502	55	536	15	45	64	92	216	210	61	487	49	531	15	55	54	98	222	208	56	486	45	514	22	67	61	91	241	182	48	471	43
33242	4	estab.	631	14	52	57	94	217	234	72	523	108	633	15	51	59	94	219	232	72	523	110	613	15	45	64	92	216	219	74	509	104	608	15	55	54	98	222	217	70	509	99	578	22	67	61	91	241	190	63	494	84
33242	4	empl.	33853	0	118	401	1315	1834	9260	6980	18074	15779	32410	0	113	411	1250	1774	9134	7329	18237	14173	32537	0	101	452	1201	1754	8289	7179	17222	15315	31781	0	135	381	1342	1858	8456	6888	17202	14579	28862	0	160	422	1273	1855	7614	6035	15504	13358
33242	4	ann. pay.	1232102	768	4228	13320	39723	58039	325294	253022	636355	595747	1175664	1697	4372	12849	38963	57881	316764	258830	633475	542189	1209886	693	3712	13812	38873	57090	299505	265473	622068	587818	1198384	2397	4944	11344	42352	61037	311262	274413	646712	551672	1108277	1390	5871	14840	43801	65902	288080	249098	603080	505197
33242	4	rec.																																									4329560	6061	24078	60536	223199	313874	998888	824139	2136901	2192659
33243	4	firms	540	42	143	87	73	345	121	45	511	29	506	19	151	84	65	319	115	40	474	32	483	14	137	84	59	294	118	37	449	34	487	25	121	96	64	306	111	37	454	33	445	18	113	82	49	262	115	39	416	29
33243	4	estab.	751	42	143	87	73	345	126	62	533	218	705	19	151	84	65	319	119	56	494	211	679	14	137	84	59	294	122	54	470	209	681	25	121	96	64	306	115	54	475	206	619	18	113	82	49	262	119	62	443	176
33243	4	empl.	40118	0	335	582	957	1874	5308	5319	12501	27617	38022	0	357	561	892	1810	5140	4730	11680	26342	37474	0	323	570	795	1688	5099	5245	12032	25442	36097	0	261	621	882	1764	4566	4823	11153	24944	34526	0	270	542	655	1467	4676	4827	10970	23556
33243	4	ann. pay.	1591300	6237	8460	13178	26711	54586	165405	170199	390190	1201110	1558641	2456	9246	14079	26046	51827	165934	169554	387315	1171326	1521118	598	9276	14725	23808	48407	167513	183383	399303	1121815	1473042	1534	7445	18160	26235	53374	152688	161310	367372	1105670	1488066	1558	8317	13940	21907	45722	173253	189754	408729	1079337
33243	4	rec.																																									14252741	6938	55392	72180	109178	243688	765594	1118668	2127950	12124791
33251	4	firms	894	41	198	125	128	492	233	94	819	75	877	46	197	119	121	483	233	87	803	74	855	35	195	119	112	461	237	83	781	74	840	40	192	122	105	459	223	81	763	77	867	42	208	118	116	484	238	76	798	69
33251	4	estab.	992	41	198	125	128	492	235	109	836	156	981	46	197	119	121	483	235	101	819	162	955	35	195	119	112	461	239	94	794	161	939	40	192	122	105	459	223	93	775	164	959	42	208	118	116	484	242	90	816	143
33251	4	empl.	73162	0	465	841	1726	3032	10116	12871	26019	47143	73601	0	475	795	1641	2911	10567	12678	26156	47445	74686	0	463	794	1503	2760	10477	12685	25922	48764	68884	0	467	830	1427	2724	9880	12204	24808	44076	65577	0	467	790	1537	2794	10690	11218	24702	40875
33251	4	ann. pay.	2341590	3350	11236	20638	49018	84242	307139	401418	792799	1548791	2431543	10423	12212	21091	48656	92382	333338	437474	863194	1568349	2494438	6475	11261	22235	47400	87371	335688	427695	850754	1643684	2316036	5776	12488	22573	45003	85840	323638	426086	835564	1480472	2251202	3860	13561	22840	48747	89008	364718	408688	862414	1388788
33251	4	rec.																																									11606840	18628	76151	99814	206319	400912	1460041	1708430	3569383	8037457
33261	4	firms	1697	88	416	271	286	1061	421	137	1619	78	1682	81	413	265	288	1047	416	137	1600	82	1638	74	386	258	281	999	423	144	1566	72	1590	66	375	250	277	968	413	140	1521	69	1479	55	329	255	258	897	395	125	1417	62
33261	4	estab.	1888	88	416	271	286	1061	439	200	1700	188	1877	81	413	265	290	1049	431	201	1681	196	1839	74	386	258	281	999	442	213	1654	185	1775	66	375	250	278	969	431	201	1601	174	1656	55	329	255	259	898	419	186	1503	153
33261	4	empl.	71494	0	939	1845	3963	6747	18685	20599	46031	25463	70823	0	936	1802	4010	6748	17939	19881	44568	26255	72395	0	892	1748	3871	6511	18566	21559	46636	25759	70284	0	885	1691	3867	6443	17946	21052	45441	24843	62167	0	729	1744	3609	6082	16843	17068	39993	22174
33261	4	ann. pay.	2100652	13584	24000	47323	112067	196974	550896	638778	1386648	714004	2149590	18952	25430	48196	117242	209820	550435	621639	1381894	767696	2287272	6824	26226	46952	121835	201837	585682	716059	1503578	783694	2157871	3289	26335	44118	121105	194847	556244	677064	1428155	729716	2029771	5581	23395	51340	121754	202070	559744	599276	1361090	668681
33261	4	rec.																																									9166996	31031	95965	187779	461721	776496	2116191	2297897	5190584	3976412
33271	4	firms	23787	1719	8750	5150	4134	19753	3500	399	23652	135	23032	1420	8750	5061	4001	19232	3296	366	22894	138	22627	1457	8401	5041	3918	18817	3306	360	22483	144	22544	1339	8488	5011	3882	18720	3330	345	22395	149	22878	1531	9484	4980	3572	19567	2874	295	22736	142
33271	4	estab.	23967	1719	8750	5150	4138	19757	3562	466	23785	182	23233	1420	8752	5061	4006	19239	3355	445	23039	194	22830	1457	8401	5042	3923	18823	3365	430	22618	212	22756	1339	8489	5013	3885	18726	3391	409	22526	230	23107	1532	9484	4981	3579	19576	2961	369	22906	201
33271	4	empl.	304052	0	19802	34680	55746	110228	129014	46618	285860	18192	286833	0	19752	33933	53754	107439	119290	41039	267768	19065	291642	0	19165	33738	52798	105701	121119	42049	268869	22773	292720	0	19368	33559	52387	105314	123312	41325	269951	22769	261423	0	21309	33239	48014	102562	103570	34104	240236	21187
33271	4	ann. pay.	10085350	74699	473753	929727	1739678	3217857	4522377	1628186	9368420	716930	9901950	62771	488650	945192	1730194	3226807	4309693	1524775	9061275	840675	10687168	84693	502402	985465	1814947	3387507	4626185	1660747	9674439	1012729	10232161	71089	482748	964096	1701673	3219606	4500670	1565849	9286125	946036	9396977	80491	538379	990351	1626903	3236124	3962188	1291243	8489555	907422
33271	4	rec.																																									27994126	312943	1623558	2832154	4467831	9236486	11327367	4269179	24833032	3161094
33272	4	firms	3516	58	433	589	857	1937	1249	255	3441	75	3397	50	466	570	816	1902	1187	229	3318	79	3309	56	443	580	778	1857	1157	224	3238	71	3221	30	456	571	730	1787	1143	223	3153	68	3063	43	495	609	665	1812	1006	179	2997	66
33272	4	estab.	3723	58	433	589	857	1937	1265	337	3539	184	3625	50	466	570	816	1902	1207	298	3407	218	3548	56	443	580	778	1857	1174	310	3341	207	3460	30	456	574	730	1790	1166	298	3254	206	3270	43	495	609	666	1813	1028	241	3082	188
33272	4	empl.	138479	0	1106	4103	11924	17133	50796	39334	107263	31216	133813	0	1190	3952	11330	16472	48096	34744	99312	34501	129304	0	1099	3958	10814	15871	47328	34892	98091	31213	125482	0	1123	3958	10075	15156	46393	33500	95049	30433	108642	0	1207	4244	9166	14617	40377	25863	80857	27785
33272	4	ann. pay.	4855300	5614	38981	125731	377543	547869	1716236	1390618	3654723	1200577	4819289	8612	41222	123933	360302	534069	1670511	1258952	3463532	1355757	4926618	5748	37363	141055	372072	556238	1759571	1324540	3640349	1286269	4568316	7345	37871	130383	326154	501753	1603339	1208408	3313500	1254816	4090836	4470	41325	141150	318865	505810	1487193	969883	2962886	1127950
33272	4	rec.																																									14492749	19946	138116	439067	904275	1501404	4568352	3560412	9630168	4862581
33281	4	firms	5882	326	1314	1060	1125	3825	1613	304	5742	140	5724	246	1367	1019	1125	3757	1536	290	5583	141	5579	262	1254	1035	1091	3642	1499	303	5444	135	5543	241	1262	1020	1120	3643	1482	290	5415	128	5623	310	1396	1135	1128	3969	1284	257	5510	113
33281	4	estab.	6401	326	1314	1062	1130	3832	1700	499	6031	370	6278	246	1368	1019	1125	3758	1628	478	5864	414	6161	262	1255	1035	1093	3645	1590	505	5740	421	6116	241	1263	1020	1123	3647	1573	490	5710	406	6200	310	1396	1135	1136	3977	1393	450	5820	380
33281	4	empl.	159101	0	3084	7235	15565	25884	64456	40188	130528	28573	155081	0	3198	6916	15498	25612	61589	37582	124783	30298	155343	0	2890	7041	15129	25060	60752	40054	125866	29477	152944	0	2956	6881	15509	25346	59321	38418	123085	29859	136702	0	3339	7644	15478	26461	50794	31828	109083	27619
33281	4	ann. pay.	4789683	23727	77229	190876	439659	731491	1866058	1247258	3844807	944876	4864728	15883	86930	196097	450953	749863	1843660	1194245	3787768	1076960	5078437	19314	80089	196032	458289	753724	1912772	1318594	3985090	1093347	4812777	16837	78715	193224	441482	730258	1760239	1227021	3717518	1095259	4579060	30394	87189	223872	471383	812838	1626479	1095084	3534401	1044659
33281	4	rec.																																									18973792	99136	256873	615060	1265455	2236524	4697642	5454647	12388813	6584979
33291	4	firms	1176	75	215	144	170	604	299	144	1047	129	1194	80	233	155	165	633	285	152	1070	124	1203	87	240	173	158	658	286	136	1080	123	1145	49	241	166	159	615	281	128	1024	121	1052	52	211	149	135	547	267	125	939	113
33291	4	estab.	1454	75	215	144	170	604	306	166	1076	378	1481	80	233	155	166	634	292	175	1101	380	1487	88	240	173	159	660	292	158	1110	377	1419	49	241	166	160	616	286	151	1053	366	1330	52	211	149	135	547	279	158	984	346
33291	4	empl.	125046	0	519	979	2311	3809	12881	21360	38050	86996	124415	0	550	1043	2237	3830	11955	22470	38255	86160	120733	0	570	1214	2125	3909	12123	19611	35643	85090	118931	0	548	1128	2242	3918	11979	19941	35838	83093	107896	0	482	994	1877	3353	11627	19050	34030	73866
33291	4	ann. pay.	4568359	27455	14939	29893	74164	146451	445442	800629	1392522	3175837	4603906	7949	16693	30404	72606	127652	426852	833455	1387959	3215947	4699786	9764	16610	37952	72894	137220	455419	745157	1337796	3361990	4628887	1942	15371	37836	89738	144887	454684	753741	1353312	3275575	4350880	9670	19927	35148	72097	136842	444179	751827	1332848	3018032
33291	4	rec.																																									21611704	59580	126706	137319	294729	618334	1756373	3259794	5634501	15977203
33299	4	firms	5447	524	1406	1029	957	3916	1043	275	5234	213	5470	444	1531	1041	938	3954	1056	261	5271	199	5629	519	1546	1094	933	4092	1067	269	5428	201	5282	328	1558	1021	867	3774	1061	256	5091	191	4807	319	1323	941	831	3414	980	234	4628	179
33299	4	estab.	5708	524	1406	1029	958	3917	1067	322	5306	402	5729	446	1531	1041	939	3957	1076	309	5342	387	5893	519	1546	1094	934	4093	1088	313	5494	399	5553	328	1560	1021	868	3777	1086	304	5167	386	5074	319	1323	942	832	3416	1012	279	4707	367
33299	4	empl.	208315	0	3219	6963	13038	23220	40052	36642	99914	108401	198259	0	3421	7035	12860	23316	40519	35706	99541	98718	201915	0	3439	7398	12816	23653	41281	37047	101981	99934	193716	0	3580	6823	11991	22394	41879	34165	98438	95278	171051	0	3031	6337	11404	20772	38287	30113	89172	81879
33299	4	ann. pay.	7236660	36965	85072	189863	379422	691322	1282519	1202232	3176073	4060587	7093861	36186	93580	202521	392434	724721	1342907	1202780	3270408	3823453	7417700	32151	95458	221133	394335	743077	1396348	1261633	3401058	4016642	7102065	32299	98601	198528	367027	696455	1401861	1213513	3311829	3790236	6442237	32583	89853	195544	372430	690410	1329482	1093742	3113634	3328603
33299	4	rec.																																									28224823	155391	363663	671919	1355071	2546044	4712863	4516292	11775199	16449624
33311	4	firms	1400	89	328	235	254	906	321	106	1333	67	1349	70	342	217	259	888	303	100	1291	58	1302	71	311	215	245	842	306	101	1249	53	1277	65	312	226	223	826	307	94	1227	50	1265	78	321	217	223	839	295	84	1218	47
33311	4	estab.	1502	89	328	235	254	906	330	125	1361	141	1454	70	342	217	260	889	314	122	1325	129	1406	71	311	215	245	842	317	123	1282	124	1377	65	312	226	223	826	317	121	1264	113	1367	78	321	217	226	842	309	104	1255	112
33311	4	empl.	101017	0	748	1618	3450	5816	13417	15967	35200	65817	90467	0	798	1462	3502	5762	12186	15099	33047	57420	88551	0	683	1455	3325	5463	12669	15521	33653	54898	85795	0	701	1575	3030	5306	12235	15452	32993	52802	79005	0	767	1512	2988	5267	11863	12757	29887	49118
33311	4	ann. pay.	3227881	6165	14169	33185	80337	133856	370118	472707	976681	2251200	2917221	7196	16852	31615	86199	141862	338507	475218	955587	1961634	2971576	4227	14540	35021	82870	136658	353551	512287	1002496	1969080	2872446	3285	15731	38044	77808	134868	345641	519872	1000381	1872065	2755226	8935	16640	38924	79325	143824	360338	435162	939324	1815902
33311	4	rec.																																									21059871	169741	96555	204981	376659	847936	1558160	2028096	4434192	16625679
33312	4	firms	734	63	125	100	102	390	197	86	673	61	740	62	119	109	97	387	205	82	674	66	734	49	138	105	97	389	201	80	670	64	715	42	146	95	98	381	197	73	651	64	698	46	138	105	99	388	176	72	636	62
33312	4	estab.	804	63	125	100	102	390	200	100	690	114	814	62	119	109	97	387	208	95	690	124	813	49	138	105	97	389	205	93	687	126	793	42	146	95	98	381	198	86	665	128	783	46	138	106	100	390	186	92	668	115
33312	4	empl.	73978	0	312	696	1440	2448	8683	12735	23866	50112	75800	0	274	727	1361	2362	9031	12355	23748	52052	74127	0	318	689	1336	2343	8737	11357	22437	51690	70016	0	325	644	1322	2291	8479	10629	21399	48617	59627	0	318	718	1407	2443	7445	9949	19837	39790
33312	4	ann. pay.	3076878	6959	8096	19745	42843	77643	299382	425368	802393	2274485	3094555	5715	8699	21353	45129	80896	324828	427062	832786	2261769	3063130	7983	10085	20159	44912	83139	323747	409620	816506	2246624	2848536	2086	10914	20196	42116	75312	309184	381077	765573	2082963	2543705	4628	11535	26907	46514	89584	284503	379241	753328	1790377
33312	4	rec.																																									19261747	50666	66410	127268	235961	480305	1230849	2087938	3799092	15462655
33313	4	firms	761	39	178	128	134	479	187	46	712	49	718	31	177	136	118	462	168	42	672	46	698	42	168	129	107	446	166	41	653	45	677	30	159	118	114	421	168	44	633	44	678	28	173	112	114	427	158	49	634	44
33313	4	estab.	875	39	178	128	134	479	195	61	735	140	842	31	177	136	118	462	176	60	698	144	825	42	168	129	107	446	175	54	675	150	794	30	159	118	114	421	176	55	652	142	787	28	173	112	114	427	166	59	652	135
33313	4	empl.	45943	0	407	842	1776	3025	7623	7260	17908	28035	41061	0	409	895	1604	2908	6494	6384	15786	25275	36819	0	398	895	1485	2778	6448	6116	15342	21477	38073	0	375	802	1553	2730	6700	6385	15815	22258	37826	0	406	769	1536	2711	5907	6823	15441	22385
33313	4	ann. pay.	1853204	4883	10536	29637	57543	102599	280353	283083	666035	1187169	1585880	4859	11206	27151	50575	93791	229142	240214	563147	1022733	1628525	4153	11505	31555	46754	93967	248494	240108	582569	1045956	1721645	4842	12998	29227	52488	99555	255200	265264	620019	1101626	1679949	3180	13629	27459	54176	98444	232534	271082	602060	1077889
33313	4	rec.																																									7188483	23738	68942	108220	216439	417339	943443	927066	2287848	4900635
33321	4	firms	304	26	88	55	46	215	70	12	297	7	316	29	99	52	50	230	64	14	308	8	307	22	95	50	52	219	63	15	297	10	292	13	96	45	52	206	64	13	283	9	280	19	91	53	47	210	54	8	272	8
33321	4	estab.	316	26	88	56	46	216	72	16	304	12	327	29	99	53	50	231	66	18	315	12	318	22	95	51	52	220	65	19	304	14	302	13	96	45	52	206	67	17	290	12	292	19	91	53	47	210	59	12	281	11
33321	4	empl.	8570	0	212	355	642	1209	2900	2220	6329	2241	8341	0	238	336	697	1271	2623	2064	5958	2383	8764	0	221	327	703	1251	2567	2415	6233	2531	8208	0	235	301	716	1252	2575	2046	5873	2335	6720	0	218	359	641	1218	2216	1272	4706	2014
33321	4	ann. pay.	306407	944	6017	8615	20185	35761	110564	79769	226094	80313	309088	2657	5345	8508	23231	39741	101125	78740	219606	89482	330972	1543	5347	9145	22207	38242	108440	91701	238383	92589	287461	484	5877	8166	20217	34744	96509	71401	202654	84807	257040	498	5976	10252	21135	37861	89739	48896	176496	80544
33321	4	rec.																																									915980	2830	22111	39042	79991	143974	287545	189103	620622	295358
33322	4	firms	434	29	110	66	69	274	97	30	401	33	476	53	103	71	72	299	104	33	436	40	492	46	106	89	71	312	111	31	454	38	496	34	123	71	85	313	113	34	460	36	537	47	167	75	75	364	112	25	501	36
33322	4	estab.	463	29	110	66	69	274	99	34	407	56	503	53	103	71	72	299	106	37	442	61	518	46	106	89	71	312	113	35	460	58	524	34	123	71	85	313	117	38	468	56	558	48	167	76	75	366	113	27	506	52
33322	4	empl.	19293	0	267	449	945	1661	4049	4424	10134	9159	19981	0	238	488	939	1665	4266	4846	10777	9204	21235	0	237	590	1017	1844	4891	4860	11595	9640	20820	0	259	454	1142	1855	4852	5154	11861	8959	16820	0	369	495	1056	1920	4575	3254	9749	7071
33322	4	ann. pay.	774805	5402	8371	14955	31736	60464	154553	179816	394833	379972	833208	17196	8754	15770	30711	72431	162663	188973	424067	409141	896960	8189	8290	18463	36140	71082	197775	223148	492005	404955	826086	5936	8989	12718	36674	64317	172381	215517	452215	373871	708349	6834	13031	16397	37213	73475	173866	139996	387337	321012
33322	4	rec.																																									3190795	28253	49301	55375	150333	283262	695561	606031	1584854	1605941
33329	4	firms	3658	191	880	594	597	2262	918	304	3484	174	3633	219	891	561	617	2288	903	282	3473	160	3510	184	877	567	587	2215	867	268	3350	160	3386	163	844	556	580	2143	839	254	3236	150	3178	172	783	551	542	2048	764	229	3041	137
33329	4	estab.	3870	191	880	594	601	2266	948	353	3567	303	3844	220	891	562	618	2291	932	331	3554	290	3708	184	877	568	588	2217	896	314	3427	281	3582	163	844	557	582	2146	866	295	3307	275	3376	173	783	551	545	2052	796	278	3126	250
33329	4	empl.	170033	0	2065	4004	8355	14424	37505	43293	95222	74811	152690	0	2064	3735	8583	14382	36956	39872	91210	61480	153399	0	2030	3832	8219	14081	35934	37319	87334	66065	148407	0	1920	3769	8055	13744	34239	35941	83924	64483	122729	0	1762	3731	7408	12901	29860	31931	74692	48037
33329	4	ann. pay.	7386932	39970	61585	127178	301903	530636	1413132	1877629	3821397	3565535	7075473	36364	64200	123939	306506	531009	1453628	1820347	3804984	3270489	8318961	43492	64305	131432	308829	548058	1475822	1727934	3751814	4567147	7254387	13252	61703	122751	293868	491574	1339463	1599961	3430998	3823389	6325949	21396	63125	132817	286929	504267	1248486	1515968	3268721	3057228
33329	4	rec.																																									24957264	137988	277460	498139	993873	1907460	4346794	6002086	12256340	12700924
33331	4	firms	2436	151	656	380	348	1535	561	185	2281	155	2399	140	683	368	327	1518	535	185	2238	161	2320	133	640	379	310	1462	509	191	2162	158	2289	122	648	377	306	1453	514	169	2136	153	2198	127	588	385	306	1406	491	155	2052	146
33331	4	estab.	2578	151	656	380	348	1535	577	218	2330	248	2550	140	685	368	328	1521	546	218	2285	265	2490	133	640	379	310	1462	520	223	2205	285	2457	122	648	377	306	1453	531	199	2183	274	2358	127	588	385	307	1407	511	187	2105	253
33331	4	empl.	128579	0	1511	2518	4735	8764	22805	25340	56909	71670	130751	0	1559	2456	4467	8482	21668	25473	55623	75128	129077	0	1477	2555	4330	8362	20702	27229	56293	72784	125312	0	1492	2550	4193	8235	21384	26333	55952	69360	111610	0	1301	2539	4179	8019	19766	22314	50099	61511
33331	4	ann. pay.	5003774	19617	45577	75222	173615	314031	805715	931501	2051247	2952527	5121364	17754	50106	79118	155152	302130	788942	1000991	2092063	3029301	5487091	11584	48153	84337	154737	298811	786204	1152477	2237492	3249599	5148991	13301	50248	88111	158594	310254	822433	1081957	2214644	2934347	4847459	17849	44258	90619	165409	318135	818308	963432	2099875	2747584
33331	4	rec.																																									22216885	87609	209357	378221	639268	1314455	3315437	4111883	8741775	13475110
33341	4	firms	1558	100	309	230	212	851	397	167	1415	143	1495	73	300	233	204	810	385	165	1360	135	1450	68	294	246	173	781	383	155	1319	131	1485	82	304	242	190	818	393	144	1355	130	1474	80	322	217	216	835	375	142	1352	122
33341	4	estab.	1868	100	309	230	213	852	411	207	1470	398	1819	73	300	234	204	811	401	204	1416	403	1779	68	294	246	175	783	396	192	1371	408	1814	82	304	242	192	820	407	182	1409	405	1800	80	322	217	216	835	397	186	1418	382
33341	4	empl.	170863	0	705	1600	2873	5178	17104	26011	48293	122570	177520	0	690	1612	2757	5059	16435	25968	47462	130058	178626	0	666	1686	2418	4770	16306	24692	45768	132858	179211	0	682	1630	2578	4890	16935	24621	46446	132765	156821	0	703	1447	2843	4993	15928	23507	44428	112393
33341	4	ann. pay.	5620001	10297	20263	46567	89534	166661	543642	853911	1564214	4055787	5932320	3752	20942	42072	87386	154152	555572	879349	1589073	4343247	6133876	6016	20988	47975	84109	159088	587306	843335	1589729	4544147	5912717	12799	20926	51241	85988	170954	602198	807074	1580226	4332491	5556293	9860	24231	48396	99078	181565	590679	809617	1581861	3974432
33341	4	rec.																																									32657665	52308	118979	233025	446471	850783	2845043	3664401	7360227	25297438
33351	4	firms	10141	587	2611	2037	1988	7223	2290	431	9944	197	9776	398	2705	1970	1920	6993	2174	421	9588	188	9469	409	2554	1893	1877	6733	2147	404	9284	185	9288	340	2615	1894	1850	6699	2050	366	9115	173	8965	441	2701	1872	1747	6761	1723	326	8810	155
33351	4	estab.	10539	587	2611	2037	1991	7226	2356	537	10119	420	10168	401	2705	1970	1923	6999	2241	536	9776	392	9873	409	2554	1893	1880	6736	2218	525	9479	394	9691	340	2615	1894	1854	6703	2124	488	9315	376	9346	442	2701	1874	1750	6767	1796	448	9011	335
33351	4	empl.	255351	0	6086	13759	27139	46984	88695	58365	194044	61307	239484	0	6247	13353	26220	45820	83925	54398	184143	55341	232695	0	6018	12845	25608	44471	82571	52282	179324	53371	220206	0	6058	12891	25193	44142	79024	47524	170690	49516	187361	0	6332	12648	23899	42879	64944	38916	146739	40622
33351	4	ann. pay.	10511461	46898	181583	453958	1019241	1701680	3660476	2466670	7828826	2682635	10034737	37075	194863	458991	995850	1686779	3525714	2384498	7596991	2437746	10164657	26038	198055	448794	997790	1670677	3598886	2371382	7640945	2523712	9071325	24513	190247	424090	930972	1569822	3235640	2029859	6835321	2236004	8136622	32762	201514	450351	932726	1617353	2842641	1776192	6236186	1900436
33351	4	rec.																																									24337092	108738	577342	1188151	2401463	4275694	7829648	5528823	17634165	6702927
33361	4	firms	801	43	158	96	120	417	210	78	705	96	815	35	168	101	129	433	208	82	723	92	800	40	158	106	118	422	216	72	710	90	780	30	155	98	123	406	212	69	687	93	762	29	149	104	122	404	198	74	676	86
33361	4	estab.	960	43	158	96	120	417	217	98	732	228	971	35	168	101	129	433	215	102	750	221	961	40	158	106	118	422	222	94	738	223	949	30	155	98	123	406	220	87	713	236	922	29	149	104	122	404	208	94	706	216
33361	4	empl.	112926	0	353	656	1728	2737	8349	11469	22555	90371	112560	0	366	689	1810	2865	8545	12235	23645	88915	112406	0	357	737	1660	2754	8917	11034	22705	89701	104525	0	351	697	1688	2736	8920	10792	22448	82077	96501	0	339	733	1656	2728	8151	11190	22069	74432
33361	4	ann. pay.	4809472	2614	12153	20668	62157	97592	314809	438037	850438	3959034	4958749	3823	13351	21919	60518	99611	323970	470460	894041	4064708	5086638	3274	11207	25655	61788	101924	357105	463881	922910	4163728	4885008	1571	11892	23936	58717	96116	347979	475739	919834	3965174	4637395	4849	11887	26744	61390	104870	322877	486546	914293	3723102
33361	4	rec.																																									37701159	85881	59106	119736	249950	514673	1325993	2066697	3907363	33793796
33391	4	firms	729	45	150	113	113	421	174	56	651	78	704	30	140	128	123	421	156	50	627	77	677	34	136	120	104	394	155	50	599	78	669	24	149	112	109	394	153	45	592	77	668	35	160	117	93	405	143	46	594	74
33391	4	estab.	889	45	150	113	113	421	181	69	671	218	867	30	140	128	123	421	165	59	645	222	844	34	136	120	104	394	162	65	621	223	837	24	149	112	109	394	160	53	607	230	818	35	160	117	93	405	150	56	611	207
33391	4	empl.	69853	0	370	766	1542	2678	7354	8606	18638	51215	65923	0	358	873	1682	2913	6474	7523	16910	49013	63355	0	333	834	1393	2560	6101	7684	16345	47010	62993	0	340	788	1463	2591	6045	6683	15319	47674	55238	0	367	815	1267	2449	5675	6358	14482	40756
33391	4	ann. pay.	2724022	5947	10071	25999	50468	92485	263049	333977	689511	2034511	2673871	2421	9467	29743	56680	98311	237234	283812	619357	2054514	2713856	1575	9389	31815	50767	93546	227923	334691	656160	2057696	2783856	6172	12256	27903	55126	101457	234453	296880	632790	2151066	2516241	24167	11825	30235	47902	114129	232353	271182	617664	1898577
33391	4	rec.																																									12789839	135809	69534	158881	223902	588126	979251	1577131	3144508	9645331
33392	4	firms	1717	87	309	265	277	938	516	175	1629	88	1691	79	319	255	287	940	492	170	1602	89	1680	93	315	229	293	930	485	171	1586	94	1669	66	325	237	303	931	486	161	1578	91	1572	80	295	253	265	893	449	146	1488	84
33392	4	estab.	1834	87	309	265	279	940	532	203	1675	159	1816	79	319	255	290	943	504	211	1658	158	1809	93	316	229	294	932	499	205	1636	173	1799	66	325	238	303	932	502	194	1628	171	1700	80	295	254	265	894	469	177	1540	160
33392	4	empl.	98261	0	731	1808	3866	6405	21551	25643	53599	44662	96750	0	746	1759	4071	6576	21114	26304	53994	42756	97092	0	726	1554	4034	6314	20433	25079	51826	45266	93532	0	760	1597	4215	6572	20241	23249	50062	43470	78058	0	701	1757	3688	6146	17752	19746	43644	34414
33392	4	ann. pay.	3732899	14630	22746	54193	128135	219704	786450	954367	1960521	1772378	3795758	5762	23462	53697	143124	226045	814555	989363	2029963	1765795	3921510	7937	21976	49118	143107	222138	802132	1003462	2027732	1893778	3656398	5547	23769	52749	157782	239847	774602	909832	1924281	1732117	3265868	12386	26350	62807	143478	245021	724370	767959	1737350	1528518
33392	4	rec.																																									15694721	50553	133738	251826	542684	978801	2619161	3351663	6949625	8745096
33399	4	firms	4001	251	1041	710	638	2640	876	283	3799	202	3860	202	1010	699	605	2516	860	278	3654	206	3764	200	987	692	570	2449	842	274	3565	199	3665	173	1006	655	558	2392	839	250	3481	184	3512	158	973	616	578	2325	797	221	3343	169
33399	4	estab.	4331	251	1041	710	639	2641	894	348	3883	448	4202	203	1010	699	607	2519	881	338	3738	464	4098	200	987	692	572	2451	864	325	3640	458	4003	173	1006	655	560	2394	862	300	3556	447	3834	158	974	616	579	2327	814	275	3416	418
33399	4	empl.	189785	0	2373	4745	8745	15863	35382	40514	91759	98026	186898	0	2307	4671	8257	15235	34963	39400	89598	97300	181804	0	2245	4621	7789	14655	34205	39075	87935	93869	175756	0	2270	4462	7708	14440	34509	36615	85564	90192	157905	0	2275	4138	7774	14187	31585	30115	75887	82018
33399	4	ann. pay.	7505082	15736	71892	143655	290279	521562	1341090	1583495	3446147	4058935	7541894	17159	73975	142199	289642	522975	1354590	1570834	3448399	4093495	7668939	16933	76872	151996	279155	524956	1364923	1622239	3512118	4156821	7444793	15437	74428	145162	269524	504551	1346571	1513901	3365023	4079770	6871261	16434	78351	141918	288942	525645	1311211	1261289	3098145	3773116
33399	4	rec.																																									29337032	108692	335361	554334	1041588	2039975	4450964	4879631	11370570	17966462
33411	4	firms	1938	247	534	240	286	1307	357	133	1797	141	1922	253	512	283	264	1312	348	126	1786	136	1969	255	570	285	264	1374	341	121	1836	133	1817	168	510	272	262	1212	343	122	1677	140	1477	148	371	229	192	940	309	122	1371	106
33411	4	estab.	2050	247	534	240	286	1307	370	136	1813	237	2042	253	514	284	264	1315	357	136	1808	234	2077	256	570	286	264	1376	347	132	1855	222	1916	168	510	273	263	1214	350	131	1695	221	1568	148	371	230	192	941	317	147	1405	163
33411	4	empl.	243164	0	1241	1603	3905	6749	14243	20793	41785	201379	224815	0	1155	1853	3563	6571	13851	19196	39618	185197	193897	0	1260	1934	3589	6783	14393	17020	38196	155701	199637	0	1096	1818	3578	6492	14628	19023	40143	159494	155137	0	836	1543	2602	4981	12654	18249	35884	119253
33411	4	ann. pay.	12628448	56540	47765	57935	161909	324149	636739	913480	1874368	10754080	12340294	22485	47814	70812	158153	299264	690189	1009878	1999331	10340963	11812969	128608	56498	88746	179359	453211	744316	1405464	2602991	9209978	11372337	26235	48647	72558	182597	330037	738775	1157019	2225831	9146506	9549212	16719	34895	64638	121589	237841	701785	1164149	2103775	7445437
33411	4	rec.																																									79551928	78324	186008	327879	576640	1168851	3284466	5280457	9733774	69818154
33421	4	firms	561	46	94	71	63	274	134	80	488	73	549	40	104	66	61	271	133	76	480	69	556	55	101	74	60	290	123	75	488	68	525	27	109	72	57	265	110	81	456	69	423	35	69	55	45	204	107	55	366	57
33421	4	estab.	615	46	94	71	63	274	135	94	503	112	609	40	104	66	61	271	135	86	492	117	616	56	101	74	60	291	125	82	498	118	574	27	109	72	57	265	112	85	462	112	485	35	71	56	45	207	110	57	374	111
33421	4	empl.	97046	0	210	467	898	1575	5951	13097	20623	76423	98373	0	236	448	843	1527	6183	12373	20083	78290	83117	0	230	496	823	1549	5847	12290	19686	63431	86964	0	237	493	810	1540	5116	14609	21265	65699	65176	0	155	367	594	1116	5021	8187	14324	50852
33421	4	ann. pay.	7545310	13345	13215	19914	45290	91764	356211	737451	1185426	6359884	8429599	50994	10045	16369	41955	119363	409088	845967	1374418	7055181	7252927	48915	14607	23109	40752	127383	441411	1089959	1658753	5594174	5789793	7468	14061	23646	50343	95518	310951	1156798	1563267	4226526	4591461	16073	6711	17042	29482	69308	330759	535799	935866	3655595
33421	4	rec.																																									29785834	60067	43640	66418	116360	286485	1109319	2400168	3795972	25989862
33422	4	firms	1088	80	192	124	158	554	299	116	969	119	1057	78	196	131	149	554	287	106	947	110	1067	115	200	123	137	575	276	115	966	101	1023	60	202	128	140	530	279	111	920	103	937	62	145	126	136	469	270	99	838	99
33422	4	estab.	1216	80	192	124	158	554	306	135	995	221	1182	78	196	131	149	554	292	129	975	207	1200	115	200	123	137	575	280	141	996	204	1158	60	202	128	140	530	296	123	949	209	1069	62	145	126	136	469	281	110	860	209
33422	4	empl.	155223	0	435	847	2229	3511	12431	19037	34979	120244	147123	0	441	897	2032	3370	12069	17490	32929	114194	148347	0	432	822	1931	3185	11526	20672	35383	112964	153962	0	420	864	1960	3244	12062	19656	34962	119000	117229	0	310	849	1892	3051	11735	17554	32340	84889
33422	4	ann. pay.	7680288	14834	14173	33499	91948	154454	538155	834970	1527579	6152709	7831204	8170	18752	35261	89577	151760	551228	928414	1631402	6199802	8937337	40947	18736	33333	87838	180854	588944	1248455	2018253	6919084	8859028	11101	16054	38486	83777	149418	574157	1075379	1798954	7060074	7487693	6269	12857	36015	79036	134177	583201	1001879	1719257	5768436
33422	4	rec.																																									38513924	26380	56203	143055	299297	524935	1995757	3581934	6102626	32411298
33429	4	firms	463	32	148	92	54	326	71	35	432	31	445	26	143	78	57	304	72	36	412	33	455	41	142	69	62	314	71	38	423	32	431	26	141	64	58	289	69	42	400	31	428	31	143	67	60	301	66	32	399	29
33429	4	estab.	496	32	148	92	55	327	73	41	441	55	475	26	143	78	57	304	73	40	417	58	489	41	142	69	62	314	72	42	428	61	468	26	141	64	58	289	69	48	406	62	454	31	143	67	60	301	68	35	404	50
33429	4	empl.	24660	0	331	611	714	1656	3060	4766	9482	15178	24896	0	331	511	742	1584	2976	4913	9473	15423	25037	0	298	454	835	1587	3099	5118	9804	15233	28572	0	311	429	803	1543	2757	6905	11205	17367	23850	0	292	459	799	1550	2799	4313	8662	15188
33429	4	ann. pay.	924167	9011	11583	20524	20600	61718	114096	163795	339609	584558	964860	3834	13279	17305	23924	58342	129040	174599	361981	602879	1242981	7203	9149	19800	33029	69181	154726	327364	551271	691710	1526328	2842	11598	19074	31970	65484	116951	372286	554721	971607	1267281	5164	12670	19491	35791	73116	136327	211080	420523	846758
33429	4	rec.																																									5511238	23066	53266	78981	146674	301987	602995	858076	1763058	3748180
33431	4	firms	531	63	153	71	77	364	97	45	506	25	506	57	143	79	74	353	89	39	481	25	533	60	154	86	68	368	99	45	512	21	537	59	166	83	64	372	98	43	513	24	598	58	183	104	88	433	101	42	576	22
33431	4	estab.	572	63	153	71	77	364	101	54	519	53	539	57	143	79	74	353	94	47	494	45	560	60	154	86	68	368	99	53	520	40	561	59	166	83	64	372	98	48	518	43	623	58	183	104	88	433	103	47	583	40
33431	4	empl.	32829	0	357	470	1020	1847	4145	7597	13589	19240	28188	0	325	540	1034	1899	3899	6619	12417	15771	30127	0	347	568	914	1829	4148	8212	14189	15938	28686	0	379	564	873	1816	4382	6785	12983	15703	25344	0	413	691	1164	2268	4441	5763	12472	12872
33431	4	ann. pay.	1019089	6020	8944	12598	28655	56217	120742	238929	415888	603201	977934	12339	9397	15830	33809	71375	124441	221606	417422	560512	1001995	9396	11903	20089	34388	75776	135993	267657	479426	522569	1005565	4281	12639	22450	30478	69848	164743	221567	456158	549407	1043741	3757	14333	27283	47460	92833	209585	208884	511302	532439
33431	4	rec.																																									9393398	23187	75617	122512	209684	431000	913555	1447223	2791778	6601620
33441	4	firms	5551	411	1124	757	792	3084	1516	594	5194	357	5458	351	1189	783	769	3092	1469	557	5118	340	5356	381	1126	739	732	2978	1481	563	5022	334	5242	293	1083	738	730	2844	1491	574	4909	333	4887	294	1018	703	743	2758	1366	481	4605	282
33441	4	estab.	6244	411	1125	758	794	3088	1556	711	5355	889	6181	352	1189	785	771	3097	1503	698	5298	883	6104	382	1126	741	734	2983	1509	690	5182	922	5973	295	1083	741	732	2851	1520	685	5056	917	5560	294	1019	704	745	2762	1417	620	4799	761
33441	4	empl.	588039	0	2521	5174	11011	18706	67741	106397	192844	395195	562211	0	2645	5262	10637	18544	65624	96488	180656	381555	571377	0	2507	5010	10241	17758	65793	97424	180975	390402	603160	0	2346	5028	10235	17609	68155	97956	183720	419440	458945	0	2251	4741	10314	17306	58930	75754	151990	306955
33441	4	ann. pay.	23581337	85407	84489	173418	347003	690317	2135918	3713790	6540025	17041312	25696028	73543	98123	188476	374443	734585	2336548	3841675	6912808	18783220	31940683	85591	99012	192354	402799	779756	2593240	4669218	8042214	23898469	28296971	56659	91595	187352	391452	727058	2508644	3855199	7090901	21206070	21932669	68190	90826	185328	392022	736366	2300477	3253074	6289917	15642752
33441	4	rec.																																									114893236	647901	421266	872483	1622216	3563866	8069279	11689800	23322945	91570291
33451	4	firms	4907	322	1239	783	696	3040	1133	387	4560	347	4709	276	1229	739	698	2942	1076	366	4384	325	4538	297	1154	696	702	2849	1017	366	4232	306	4519	220	1241	691	698	2850	991	387	4228	291	4588	308	1281	708	691	2988	957	354	4299	289
33451	4	estab.	5541	322	1240	785	698	3045	1155	475	4675	866	5351	276	1231	740	700	2947	1095	458	4500	851	5201	297	1156	696	704	2853	1038	460	4351	850	5151	220	1243	691	698	2852	1009	475	4336	815	5228	309	1282	708	691	2990	992	431	4413	815
33451	4	empl.	488782	0	2827	5241	9729	17797	46979	59460	124236	364546	482482	0	2829	4895	9600	17324	44880	56209	118413	364069	461516	0	2721	4621	9727	17069	42081	55188	114338	347178	453496	0	2857	4620	9553	17030	41046	58095	116171	337325	417552	0	2908	4678	9547	17133	39237	50366	106736	310816
33451	4	ann. pay.	24381954	55006	99006	185570	382309	721891	1952757	2628528	5303176	19078778	25793672	72642	102612	191252	386725	753231	1921198	2721880	5396309	20397363	26495638	45135	102271	183214	422340	752960	1940513	2891740	5585213	20910425	26071991	20242	118978	180331	400262	719813	1913877	3000980	5634670	20437321	24255795	45205	113086	189798	431480	779569	1878174	2679906	5337649	18918146
33451	4	rec.																																									93631483	181187	465395	701171	1483598	2831351	5922196	9650787	18404334	75227149
33461	4	firms	824	81	278	127	110	596	125	63	784	40	835	108	266	126	111	611	133	60	804	31	834	97	282	137	105	621	134	42	797	37	887	100	338	131	110	679	134	43	856	31	832	91	320	121	102	634	130	40	804	28
33461	4	estab.	898	81	278	128	113	600	129	88	817	81	900	108	266	126	112	612	140	83	835	65	901	97	282	137	107	623	137	66	826	75	963	100	338	131	112	681	139	75	895	68	896	91	320	121	102	634	147	50	831	65
33461	4	empl.	51113	0	612	830	1565	3007	4871	10529	18407	32706	47089	0	595	819	1473	2887	5370	10307	18564	28525	43669	0	612	903	1425	2940	5429	7593	15962	27707	38830	0	720	875	1434	3029	5520	7912	16461	22369	37178	0	692	797	1385	2874	5149	6586	14609	22569
33461	4	ann. pay.	1924714	11082	21586	30520	54532	117720	174213	403419	695352	1229362	1808394	22348	22010	27958	66621	138937	206511	404177	749625	1058769	1712941	9172	22449	33844	63422	128887	225549	285841	640277	1072664	1600204	8638	30191	34704	61621	135154	259070	336334	730558	869646	1570586	23114	29355	31779	53089	137337	224491	306971	668799	901787
33461	4	rec.																																									8650186	110696	143151	153529	213012	620388	893519	1231320	2745227	5904959
33511	4	firms	61	4	14	4	9	31	15	6	52	9	67	9	14	5	8	36	17	5	58	9	68	4	13	12	9	38	16	6	60	8	72	11	13	11	8	43	15	6	64	8	96	5	32	18	9	64	20	7	91	5
33511	4	estab.	90	4	14	4	9	31	16	6	53	37	94	9	14	5	8	36	18	5	59	35	92	4	13	12	9	38	17	6	61	31	95	11	13	11	8	43	16	6	65	30	121	5	32	19	9	65	21	7	93	28
33511	4	empl.	16156	0	29	25	126	180	695	1208	2083	14073	15026	0	29	32	111	172	709	860	1741	13285	14153	0	28	82	124	234	743	1055	2032	12121	13220	0	26	77	107	210	672	959	1841	11379	11961	0	68	121	135	324	814	1061	2199	9762
33511	4	ann. pay.	556421	264	610	559	3449	4882	21080	29169	55131	501290	542393	1502	745	1030	1512	4789	23240	23117	51146	491247	618966	48	469	2681	3958	7156	26218	29868	63242	555724	516267	596	536	2249	2561	5942	26469	30139	62550	453717	496981	249	1419	3466	4456	9590	28919	33579	72088	424893
33511	4	rec.																																									2712869	1154	7008	21261	22168	51591	157367	110900	319858	2393011
33512	4	firms	1179	79	290	194	180	743	293	105	1141	38	1153	77	294	184	174	729	287	99	1115	38	1126	60	309	179	172	720	265	96	1081	45	1128	69	286	192	182	729	263	91	1083	45	1030	54	257	176	162	649	264	77	990	40
33512	4	estab.	1265	79	290	194	180	743	298	122	1163	102	1239	77	294	184	174	729	292	113	1134	105	1215	60	309	179	172	720	269	110	1099	116	1212	69	286	192	182	729	267	103	1099	113	1113	54	257	176	163	650	269	86	1005	108
33512	4	empl.	58378	0	673	1326	2463	4462	12207	16400	33069	25309	59325	0	655	1272	2426	4353	12302	15595	32250	27075	60124	0	722	1239	2475	4436	11489	15242	31167	28957	58832	0	626	1281	2533	4440	11674	14391	30505	28327	51887	0	543	1187	2195	3925	11362	11502	26789	25098
33512	4	ann. pay.	1742869	11665	16767	34748	63874	127054	345010	492864	964928	777941	1828090	12028	16679	32745	64714	126166	358895	483639	968700	859390	1927554	4091	18427	32647	66730	121895	357326	464111	943332	984222	1829699	7310	15834	35270	69474	127888	350314	442517	920719	908980	1715054	5687	14965	33061	66131	119844	366933	404280	891057	823997
33512	4	rec.																																									9593789	21857	99785	157281	318148	597071	1617373	1926587	4141031	5452758
33521	4	firms	156	18	31	20	21	90	22	12	124	32	161	16	40	19	22	97	20	15	132	29	168	12	41	22	25	100	26	13	139	29	167	9	45	19	23	96	28	16	140	27	171	19	45	19	24	107	28	12	147	24
33521	4	estab.	189	18	31	20	21	90	22	13	125	64	191	16	40	19	22	97	20	17	134	57	194	12	41	22	25	100	26	15	141	53	190	9	45	19	23	96	29	22	147	43	191	19	45	19	24	107	28	13	148	43
33521	4	empl.	29021	         [a]	         [b]	         [c]	286	488	1058	2160	3706	25315	25531	0	89	129	321	539	943	2688	4170	21361	24438	0	95	138	323	556	1210	1926	3692	20746	21291	         [a]	         [c]	         [c]	300	528	1218	2340	4086	17205	20368	0	103	126	313	542	1178	1612	3332	17036
33521	4	ann. pay.	905908	         (D)	         (D)	         (D)	8970	82079	23017	66859	171955	733953	742426	929	2634	4107	9477	17147	27185	86372	130704	611722	725692	1615	2983	5353	9933	19884	33879	59593	113356	612336	666661	         (D)	         (D)	         (D)	9411	19733	27500	71373	118606	548055	657675	723	3887	3921	10449	18980	31763	46780	97523	560152
33521	4	rec.																																									5216512	17268	39742	24236	76032	157278	174008	324407	655693	4560819
33522	4	firms	139	10	30	9	16	65	27	12	104	35	149	14	37	12	13	76	25	14	115	34	142	13	34	14	8	69	24	16	109	33	157	16	33	19	15	83	25	18	126	31	167	13	45	21	17	96	26	18	140	27
33522	4	estab.	181	10	30	9	17	66	27	14	107	74	190	14	38	12	13	77	25	16	118	72	183	13	34	14	8	69	24	18	111	72	198	16	33	19	15	83	25	19	127	71	207	13	45	21	17	96	26	19	141	66
33522	4	empl.	73763	         [a]	         [b]	         [b]	219	351	1228	2471	4050	69713	74302	0	80	83	164	327	1072	2974	4373	69929	76397	0	80	94	101	275	1023	2881	4179	72218	73119	         [a]	         [b]	         [c]	217	405	1171	2678	4254	68865	70756	0	106	143	224	473	1125	4014	5612	65144
33522	4	ann. pay.	2335996	         (D)	         (D)	         (D)	6603	8917	35076	73050	117043	2218953	2406681	920	1338	1553	5314	9125	35039	84545	128709	2277972	2556907	1107	1784	4827	2890	10608	31354	72848	114810	2442097	2481851	         (D)	         (D)	         (D)	6267	50207	37028	74178	161413	2320438	2416047	521	2131	4590	6217	13459	37322	135762	186543	2229504
33522	4	rec.																																									18313499	4387	114222	30437	37097	186143	245533	1247290	1678966	16634533
33531	4	firms	2512	127	622	444	385	1578	559	199	2336	176	2438	118	617	434	355	1524	541	207	2272	166	2362	105	583	415	362	1465	526	209	2200	162	2312	110	548	416	335	1409	545	210	2164	148	2250	110	579	420	305	1414	503	189	2106	144
33531	4	estab.	2964	127	622	444	388	1581	580	250	2411	553	2882	118	617	434	359	1528	557	264	2349	533	2801	105	584	415	364	1468	540	264	2272	529	2751	110	548	417	337	1412	561	266	2239	512	2651	110	580	421	310	1421	522	246	2189	462
33531	4	empl.	210266	0	1464	2989	5242	9695	22238	28874	60807	149459	200255	0	1458	2932	4817	9207	21540	30038	60785	139470	198989	0	1338	2799	4989	9126	21288	30287	60701	138288	193238	0	1296	2815	4547	8658	22480	31961	63099	130139	168352	0	1342	2831	4165	8338	19986	27219	55543	112809
33531	4	ann. pay.	7212010	19031	44341	90337	174833	328542	790120	950892	2069554	5142456	7206029	11721	45465	97524	177188	331898	809841	1007612	2149351	5056678	7414596	13039	45351	94982	189215	342587	845918	1110369	2298874	5115722	7236320	35676	47704	93001	167638	344019	877090	1147337	2368446	4867874	6518083	9595	49831	100768	157174	317368	813613	1030522	2161503	4356580
33531	4	rec.																																									33211206	54861	266081	433846	629969	1384757	2912362	4096123	8393242	24817964
33591	4	firms	122	4	26	22	13	65	21	15	101	21	130	8	29	22	10	69	26	15	110	20	133	9	30	18	14	71	28	13	112	21	134	10	31	23	12	76	23	16	115	19	123	8	22	21	19	70	18	18	106	17
33591	4	estab.	177	4	26	22	13	65	21	17	103	74	181	8	29	22	10	69	26	17	112	69	182	9	30	18	14	71	28	14	113	69	184	10	31	23	12	76	23	18	117	67	175	8	22	21	19	70	19	23	112	63
33591	4	empl.	31320	         [a]	         [b]	144	184	387	1052	2986	4425	26895	31245	0	70	131	138	339	1085	2973	4397	26848	31391	0	70	113	179	362	1205	2450	4017	27374	30924	0	68	161	150	379	1012	3047	4438	26486	26067	0	44	138	263	445	805	2960	4210	21857
33591	4	ann. pay.	1088658	         (D)	         (D)	4190	5493	11724	30037	90865	132626	956032	1162407	4615	2261	3552	4143	14571	37969	96653	149193	1013214	1182697	3113	1813	4110	5986	15022	47427	80944	143393	1039304	1144600	1280	2898	5376	5081	14635	41782	104809	161226	983374	970500	2189	1224	4382	8860	16655	26654	102149	145458	825042
33591	4	rec.																																									6571691	24507	6949	32658	51009	115123	139755	551375	806253	5765438
33592	4	firms	296	21	25	15	27	88	97	52	237	59	301	24	35	18	23	100	94	48	242	59	313	31	37	18	35	121	90	43	254	59	313	21	33	32	34	120	89	43	252	61	307	16	33	34	44	127	83	44	254	53
33592	4	estab.	413	21	25	15	27	88	99	62	249	164	421	24	35	18	23	100	96	57	253	168	447	31	39	18	35	123	93	51	267	180	447	21	33	34	34	122	92	49	263	184	420	16	33	34	44	127	85	52	264	156
33592	4	empl.	57999	         [a]	         [b]	97	366	527	4628	8377	13532	44467	59471	0	80	123	312	515	4300	7966	12781	46690	61942	0	85	123	477	685	4070	7144	11899	50043	65989	0	89	209	463	761	4139	7421	12321	53668	49601	0	76	233	590	899	3904	6146	10949	38652
33592	4	ann. pay.	2125177	         (D)	         (D)	2956	10415	18441	150532	263028	432001	1693176	2336093	2736	4073	4529	11329	22667	156388	284263	463318	1872775	2752764	20475	4966	3744	17839	47024	157818	321586	526428	2226336	2565719	1695	4270	10573	15425	31963	153312	239644	424919	2140800	2005485	6206	2663	7420	24279	40568	163236	215606	419410	1586075
33592	4	rec.																																									13439459	42567	19201	59004	171098	291870	858846	1083677	2234393	11205066
33593	4	firms	616	39	119	84	81	323	148	70	541	75	612	42	121	89	87	339	132	68	539	73	622	51	135	75	79	340	142	69	551	71	604	45	129	75	82	331	133	75	539	65	565	26	124	80	80	310	135	59	504	61
33593	4	estab.	752	39	120	84	82	325	152	77	554	198	750	43	121	89	87	340	135	76	551	199	765	52	135	75	79	341	148	77	566	199	743	45	130	75	82	332	136	89	557	186	690	26	125	81	80	312	136	73	521	169
33593	4	empl.	68248	0	268	571	1131	1970	6195	10548	18713	49535	67285	0	275	593	1234	2102	5863	10582	18547	48738	68091	0	313	489	1117	1919	6170	10279	18368	49723	66345	0	286	509	1137	1932	5980	11903	19815	46530	58590	0	271	535	1079	1885	5811	9557	17253	41337
33593	4	ann. pay.	2174622	3428	7086	17543	35319	63376	189718	296419	549513	1625109	2245516	2413	7989	17110	37563	65075	189345	308111	562531	1682985	2360814	4321	11117	14978	36778	67194	206712	304101	578007	1782807	2266820	2346	9791	16661	33469	62267	188346	359164	609777	1657043	2161177	5481	8553	17593	33482	65109	202499	309658	577266	1583911
33593	4	rec.																																									11311416	72017	38585	77352	140832	328786	790013	1307878	2426677	8884739
33599	4	firms	1048	82	210	132	130	554	288	115	957	91	1078	98	240	130	135	603	279	102	984	94	1090	89	260	142	139	630	264	106	1000	90	1049	85	234	131	138	588	271	100	959	90	961	64	214	139	131	548	247	96	891	70
33599	4	estab.	1122	82	210	132	130	554	293	136	983	139	1156	98	240	130	135	603	285	123	1011	145	1162	89	260	142	140	631	269	123	1023	139	1120	85	234	131	138	588	276	118	982	138	1033	64	214	139	131	548	255	109	912	121
33599	4	empl.	57249	0	473	890	1756	3119	11569	14666	29354	27895	53981	0	520	885	1807	3212	11126	12725	27063	26918	53881	0	547	961	1925	3433	10929	14128	28490	25391	52455	0	499	885	1866	3250	11400	12929	27579	24876	44818	0	454	929	1783	3166	10443	11393	25002	19816
33599	4	ann. pay.	2087898	8992	15241	30716	57162	112111	405651	478026	995788	1092110	2130000	10188	17953	29352	61072	118565	400565	455518	974648	1155352	2313001	13351	18018	37149	71613	140131	417825	551161	1109117	1203884	2165450	10920	16518	32677	72420	132535	433092	498328	1063955	1101495	1908365	4046	22048	40744	73245	140083	415438	444395	999916	908449
33599	4	rec.																																									8152826	19434	101627	205699	258913	585673	1609063	1764887	3959623	4193203
33611	4	firms	268	36	96	35	26	193	38	14	245	23	276	39	99	30	37	205	38	10	253	23	274	32	109	29	31	201	35	15	251	23	267	30	96	40	34	200	32	13	245	22	248	23	96	31	31	181	34	8	223	25
33611	4	estab.	324	36	96	35	26	193	39	14	246	78	329	39	99	30	37	205	39	10	254	75	324	32	109	29	31	201	35	16	252	72	321	30	96	40	34	200	33	14	247	74	308	23	96	31	31	181	34	9	224	84
33611	4	empl.	204054	         [a]	         [c]	         [c]	334	763	1855	2410	5028	199026	199924	0	198	195	494	887	1678	1528	4093	195831	199974	0	225	197	436	858	1493	2248	4599	195375	187713	0	200	262	485	947	1301	2121	4369	183344	196197	         [a]	         [c]	200	412	809	1350	1772	3931	192266
33611	4	ann. pay.	11596677	         (D)	         (D)	         (D)	8043	19868	60165	84960	164993	11431684	13415712	3627	4431	4319	12996	25373	59506	54755	139634	13276078	13186679	1878	4948	4834	12303	23963	67631	82296	173890	13012789	11413129	17142	4891	8186	11384	41603	41537	80809	163949	11249180	12991526	         (D)	         (D)	5828	11183	29109	49581	63720	142410	12849116
33611	4	rec.																																									226640386	         (D)	         (D)	86962	163002	         (D)	505539	1069466	2019603	224620783
33612	4	firms	77	5	12	19	7	43	12	6	61	16	78	9	15	13	6	43	10	9	62	16	75	7	14	11	6	38	12	9	59	16	76	4	15	12	9	40	9	11	60	16	76	2	15	11	9	37	13	11	61	15
33612	4	estab.	87	5	12	19	7	43	12	7	62	25	89	9	15	13	6	43	10	10	63	26	86	7	14	11	6	38	12	10	60	26	89	4	15	12	9	40	9	12	61	28	87	2	15	11	9	37	13	12	62	25
33612	4	empl.	31429	         [a]	         [b]	         [c]	92	236	494	1028	1758	29671	33993	0	40	84	80	204	470	1589	2263	31730	35439	0	35	72	81	188	485	1918	2591	32848	27419	         [a]	         [b]	74	131	245	344	2153	2742	24677	20689	         [a]	         [b]	73	140	248	681	2501	3430	17259
33612	4	ann. pay.	1420477	         (D)	         (D)	         (D)	3253	9042	9615	32750	51407	1369070	1689896	2604	978	2228	2624	8434	13298	59188	80920	1608976	1637023	263	888	1898	2401	5450	13830	63748	83028	1553995	1193807	         (D)	         (D)	1929	4229	7670	8950	75132	91752	1102055	918950	         (D)	         (D)	2339	4100	7340	20866	83177	111383	807567
33612	4	rec.																																									10358703	         (D)	         (D)	26593	43152	         (D)	141858	772558	995266	9363437
33621	4	firms	1919	130	422	322	292	1166	517	155	1838	81	1893	136	397	305	302	1140	504	159	1803	90	1860	123	373	284	317	1097	499	168	1764	96	1836	104	399	291	295	1089	521	140	1750	86	1783	104	362	304	321	1091	485	129	1705	78
33621	4	estab.	2116	130	422	322	292	1166	530	190	1886	230	2103	136	397	305	302	1140	519	191	1850	253	2081	123	373	284	317	1097	509	199	1805	276	2062	104	399	291	296	1090	530	167	1787	275	2001	104	362	304	321	1091	503	171	1765	236
33621	4	empl.	128687	0	990	2164	4045	7199	22005	27367	56571	72116	141610	0	899	2050	4132	7081	21486	28875	57442	84168	150461	0	808	1925	4391	7124	21911	31514	60549	89912	132765	0	886	1978	4047	6911	22893	26912	56716	76049	114410	0	857	2042	4393	7292	20879	24460	52631	61779
33621	4	ann. pay.	3815998	9210	21541	47812	94678	173241	596757	818472	1588470	2227528	4346749	29319	20066	46828	102996	199209	624166	864207	1687582	2659167	4460041	16659	18306	43863	108981	187809	610385	931256	1729450	2730591	3959236	6549	20379	46185	108751	181864	640585	803316	1625765	2333471	3864490	14737	28827	55691	124303	223558	636266	811344	1671168	2193322
33621	4	rec.																																									23235348	83751	204518	298728	632581	1219578	3019856	4382768	8622202	14613146
33631	4	firms	939	58	352	164	111	685	115	66	866	73	898	35	324	174	107	640	114	69	823	75	873	53	302	151	101	607	125	69	801	72	872	53	311	152	101	617	120	64	801	71	874	51	348	148	98	645	108	60	813	61
33631	4	estab.	1048	58	352	165	111	686	115	76	877	171	1003	35	324	175	107	641	114	80	835	168	982	53	302	152	101	608	125	76	809	173	984	53	311	155	101	620	120	72	812	172	971	51	348	149	98	646	111	66	823	148
33631	4	empl.	104197	0	797	1068	1520	3385	5027	12197	20609	83588	103848	0	715	1157	1435	3307	4903	12599	20809	83039	105256	0	691	999	1353	3043	5385	12673	21101	84155	98182	0	710	985	1366	3061	5092	11326	19479	78703	80507	0	776	951	1328	3055	4654	10161	17870	62637
33631	4	ann. pay.	4491238	15555	17358	26862	37652	97427	150493	408789	656709	3834529	5002317	3599	21243	33379	35839	94060	153976	399087	647123	4355194	5177133	7090	17131	25438	39297	88956	182796	417630	689382	4487751	4916038	35184	15684	26288	37756	114912	176513	360867	652292	4263746	4106306	11639	18914	29731	38065	98349	175499	332082	605930	3500376
33631	4	rec.																																									32744212	67609	116385	161057	209524	554575	849122	1801503	3205200	29539012
33632	4	firms	1035	64	251	156	110	581	251	90	922	113	1012	50	279	135	104	568	232	97	897	115	979	47	254	134	109	544	227	99	870	109	944	36	250	121	111	518	225	89	832	112	837	28	227	100	108	463	197	81	741	96
33632	4	estab.	1135	64	251	156	110	581	252	101	934	201	1109	50	279	135	104	568	232	114	914	195	1072	47	254	134	109	544	227	115	886	186	1034	36	250	121	111	518	226	105	849	185	922	28	227	100	108	463	200	97	760	162
33632	4	empl.	118129	0	544	1021	1514	3079	11058	14650	28787	89342	111989	0	628	905	1413	2946	10106	15976	29028	82961	113031	0	577	899	1475	2951	10108	16360	29419	83612	104769	0	567	783	1472	2822	9793	14851	27466	77303	83434	0	522	649	1431	2602	8415	14024	25041	58393
33632	4	ann. pay.	4094164	4899	12837	24820	47022	89578	294262	337848	721688	3372476	4210692	13789	17184	24572	40402	95947	289826	408198	793971	3416721	4263993	7495	15778	46724	49286	119283	289156	430670	839109	3424884	4016612	2391	15482	22627	45775	86275	290811	397009	774095	3242517	3169695	1692	14407	19287	45516	80902	273015	392728	746645	2423050
33632	4	rec.																																									24137326	10594	89278	175169	231340	506381	1212624	2167636	3886641	20250685
33633	4	firms	179	11	36	27	21	95	31	20	146	33	177	8	34	26	25	93	31	20	144	33	171	6	34	25	23	88	32	18	138	33	168	6	34	23	26	89	30	15	134	34	185	12	40	20	28	100	33	18	151	34
33633	4	estab.	211	11	36	27	21	95	32	21	148	63	212	8	34	26	25	93	32	21	146	66	207	6	34	25	23	88	33	19	140	67	204	6	34	23	26	89	31	17	137	67	221	12	40	20	28	100	33	22	155	66
33633	4	empl.	48499	0	87	189	286	562	1171	5112	6845	41654	47467	0	91	171	326	588	1258	5456	7302	40165	50001	0	74	160	302	536	1314	5150	7000	43001	44251	0	81	145	334	560	1199	3754	5513	38738	36109	         [a]	         [b]	130	396	612	1361	4225	6198	29911
33633	4	ann. pay.	2294232	207	2072	6134	6868	15281	34391	165106	214778	2079454	2452249	699	2360	4041	8248	15348	41193	181206	237747	2214502	2390938	443	2054	4042	7039	13578	42220	163038	218836	2172102	2091211	880	2580	3386	9389	16235	39852	133397	189484	1901727	1788109	         (D)	         (D)	8475	11475	29031	48673	151341	229045	1559064
33633	4	rec.																																									10103427	         (D)	         (D)	72323	41780	         (D)	214578	900773	1264271	8839156
33634	4	firms	207	11	36	24	31	102	49	27	178	29	201	6	45	20	32	103	42	25	170	31	198	10	41	23	25	99	43	25	167	31	193	10	42	22	25	99	38	29	166	27	194	11	51	17	21	100	40	23	163	31
33634	4	estab.	282	11	36	24	31	102	51	32	185	97	278	6	45	20	32	103	43	30	176	102	266	10	41	23	25	99	44	31	174	92	260	10	42	22	25	99	39	35	173	87	253	11	51	17	21	100	41	29	170	83
33634	4	empl.	41357	0	92	149	405	646	2181	4796	7623	33734	43812	0	108	130	432	670	1779	4635	7084	36728	43115	0	100	156	345	601	1859	4379	6839	36276	39484	0	103	144	383	630	1731	4824	7185	32299	36478	0	121	103	280	504	1897	3523	5924	30554
33634	4	ann. pay.	1478517	1212	2147	3317	9153	15829	63940	139004	218773	1259744	1675180	1221	3102	3253	13978	21554	56059	129241	206854	1468326	1584230	286	3133	4086	9820	17325	65240	119126	201691	1382539	1477891	4119	4021	3624	10870	22634	54305	130095	207034	1270857	1394536	2699	5489	3777	7282	19247	61836	108547	189630	1204906
33634	4	rec.																																									12523497	26151	35173	23001	42270	126595	387408	524302	1038305	11485192
33635	4	firms	453	36	126	65	53	280	71	43	394	59	431	27	109	68	51	255	80	38	373	58	411	24	110	54	51	239	77	40	356	55	410	21	109	64	52	246	69	40	355	55	413	20	120	66	51	257	67	40	364	49
33635	4	estab.	550	36	126	65	53	280	73	49	402	148	532	27	110	68	51	256	82	45	383	149	509	24	110	54	52	240	78	44	362	147	507	21	109	64	52	246	71	45	362	145	513	20	120	66	52	258	70	45	373	140
33635	4	empl.	115906	0	294	427	751	1472	2914	6148	10534	105372	113184	0	252	434	677	1363	3410	5462	10235	102949	118268	0	278	351	699	1328	3101	6188	10617	107651	105316	0	271	420	724	1415	2899	6145	10459	94857	92395	0	291	442	700	1433	2812	6451	10696	81699
33635	4	ann. pay.	6013521	6507	6501	10448	19616	43072	86244	189267	318583	5694938	6450096	687	6096	11249	17378	35410	99246	175724	310380	6139716	6684394	1735	7220	10565	26600	46120	93245	205292	344657	6339737	5889799	2018	7583	11589	21790	42980	83264	218669	344913	5544886	5353543	1624	7711	13287	22774	45396	98056	240174	383626	4969917
33635	4	rec.																																									34296275	14508	39617	63148	112367	229640	548680	1527297	2305617	31990658
33636	4	firms	276	23	64	34	26	147	62	32	241	35	259	22	56	34	25	137	56	33	226	33	242	16	50	34	25	125	58	28	211	31	247	15	53	38	24	130	61	28	219	28	245	22	45	37	28	132	58	30	220	25
33636	4	estab.	366	23	64	34	27	148	63	44	255	111	350	22	56	34	25	137	57	40	234	116	335	16	50	34	25	125	58	36	219	116	338	15	53	38	24	130	61	37	228	110	332	22	45	37	28	132	58	35	225	107
33636	4	empl.	46977	0	148	217	352	717	2356	6229	9302	37675	50847	0	152	222	328	702	2240	6583	9525	41322	53783	0	117	210	348	675	2231	5846	8752	45031	50433	0	130	254	333	717	2320	5699	8736	41697	47931	0	108	246	359	713	2171	6003	8887	39044
33636	4	ann. pay.	1687217	1037	2309	4790	7290	15426	51146	166194	232766	1454451	1861304	978	3490	4737	7116	16321	48165	177081	241567	1619737	1959934	3917	2660	4375	9480	20432	57584	162257	240273	1719661	1774288	2536	2704	5691	9422	20353	86044	164911	271308	1502980	1871255	12047	2432	6286	10120	30885	66030	186670	283585	1587670
33636	4	rec.																																									17773782	174164	16589	91277	60965	342995	366385	1016293	1725673	16048109
33637	4	firms	638	15	56	45	75	191	226	141	558	80	635	25	53	49	72	199	220	132	551	84	612	13	48	46	69	176	220	133	529	83	603	15	59	48	70	192	206	126	524	79	584	21	49	56	62	188	201	118	507	77
33637	4	estab.	789	15	56	45	75	191	232	169	592	197	784	25	53	49	73	200	225	155	580	204	754	13	48	46	70	177	224	167	568	186	740	15	60	48	70	193	210	153	556	184	719	21	49	56	64	190	206	144	540	179
33637	4	empl.	126060	0	135	306	1083	1524	10133	26673	38330	87730	127248	0	116	326	1032	1474	10321	24892	36687	90561	129416	0	109	309	984	1402	10369	26700	38471	90945	115931	0	135	327	1060	1522	9545	24062	35129	80802	111908	         [a]	         [c]	394	934	1433	8846	23252	33531	78377
33637	4	ann. pay.	5549720	3196	3683	8321	36042	51242	369956	878221	1299419	4250301	6233803	5546	3330	11391	38440	58707	396598	894823	1350128	4883675	6282397	1414	3021	9018	35012	48465	393751	962096	1404312	4878085	5304947	9805	4925	9392	37151	61273	360778	812668	1234719	4070228	5379524	         (D)	         (D)	13961	34536	55280	359989	872185	1287454	4092070
33637	4	rec.																																									24428350	         (D)	         (D)	78857	144440	         (D)	1499474	4170964	5930308	18498042
33639	4	firms	1282	81	260	165	149	655	323	148	1126	156	1267	68	266	171	154	659	317	146	1122	145	1219	45	267	163	154	629	305	137	1071	148	1190	62	253	172	148	635	283	125	1043	147	1204	64	239	184	160	647	261	140	1048	156
33639	4	estab.	1552	81	260	165	149	655	348	177	1180	372	1548	73	266	171	155	665	338	169	1172	376	1496	45	267	163	159	634	323	156	1113	383	1459	62	253	173	150	638	289	150	1077	382	1506	65	239	184	163	651	277	173	1101	405
33639	4	empl.	200336	0	603	1103	2066	3772	13594	27453	44819	155517	196128	0	605	1150	2178	3933	13830	27624	45387	150741	199321	0	611	1110	2067	3788	13528	26734	44050	155271	181301	0	559	1154	2029	3742	12740	22638	39120	142181	168340	0	548	1275	2303	4126	11698	23802	39626	128714
33639	4	ann. pay.	7115731	8945	14834	25448	60493	109720	387450	840583	1337753	5777978	7543754	8392	16667	28598	67111	120768	418173	859141	1398082	6145672	7648049	2493	14934	30955	65360	113742	401815	833149	1348706	6299343	6917316	14555	16022	31924	64308	126809	384398	706601	1217808	5699508	6670678	9138	18471	40733	75494	143836	367819	815411	1327066	5343612
33639	4	rec.																																									47956164	51208	177141	210149	417916	856414	1755925	4749101	7361440	40594724
33641	4	firms	1521	116	340	223	222	901	372	132	1405	116	1516	111	350	233	217	911	351	140	1402	114	1485	97	351	239	217	904	341	135	1380	105	1466	96	320	249	207	872	356	131	1359	107	1294	75	269	193	217	754	318	122	1194	100
33641	4	estab.	1827	116	340	223	222	901	379	149	1429	398	1845	112	350	233	217	912	358	163	1433	412	1823	98	351	239	217	905	347	150	1402	421	1792	96	320	249	207	872	362	152	1386	406	1619	75	269	193	217	754	324	143	1221	398
33641	4	empl.	518881	0	784	1479	3058	5321	16112	21851	43284	475597	509571	0	788	1553	2950	5291	14640	23307	43238	466333	446243	0	791	1643	2949	5383	14330	21212	40925	405318	449383	0	712	1701	2828	5241	14855	21668	41764	407619	391273	0	617	1345	2984	4946	13747	19880	38573	352700
33641	4	ann. pay.	26872794	27311	25238	44955	107203	204707	610773	888506	1703986	25168808	27718051	23314	27651	50447	98156	199568	549547	927790	1676905	26041146	25026371	19954	26969	51849	102246	201018	564580	893002	1658600	23367771	26204849	11521	23203	53994	104065	192783	615521	921234	1729538	24475311	23250070	18995	23527	45371	119976	207869	570092	828980	1606941	21643129
33641	4	rec.																																									124446482	71943	96438	163887	415616	747884	1984018	2895290	5627192	118819290
33651	4	firms	176	11	24	15	22	72	49	26	147	29	174	11	23	17	26	77	45	23	145	29	159	10	17	18	27	72	39	23	134	25	153	12	17	20	16	65	40	23	128	25	143	8	18	14	21	61	37	21	119	24
33651	4	estab.	237	11	24	15	22	72	52	34	158	79	241	11	23	17	26	77	48	30	155	86	227	10	17	18	27	72	44	29	145	82	218	12	17	20	16	65	44	28	137	81	197	8	18	14	21	61	38	29	128	69
33651	4	empl.	37676	         [a]	         [b]	108	289	449	2111	3648	6208	31468	38815	0	54	118	352	524	2114	3124	5762	33053	38724	0	39	109	383	531	1998	3375	5904	32820	35423	         [a]	         [b]	142	240	423	1897	3483	5803	29620	28199	0	40	95	292	427	1623	3024	5074	23125
33651	4	ann. pay.	1522233	         (D)	         (D)	3203	8772	15374	77741	138741	231856	1290377	1612483	1036	1598	3557	13971	20162	76794	116320	213276	1399207	1633472	3604	2176	3159	11074	20013	74603	125588	220204	1413268	1486943	         (D)	         (D)	4035	7006	24715	69008	126076	219799	1267144	1277714	265	1607	3265	11515	16652	70907	117790	205349	1072365
33651	4	rec.																																									8307047	1703	9234	18002	54546	83485	306427	434333	824245	7482802
33661	4	firms	1727	185	471	287	252	1195	352	124	1671	56	1664	179	481	268	249	1177	312	120	1609	55	1635	145	473	258	256	1132	320	128	1580	55	1685	153	508	276	246	1183	322	129	1634	51	1612	146	490	275	222	1133	314	123	1570	42
33661	4	estab.	1835	185	471	287	253	1196	356	145	1697	138	1779	179	481	268	251	1179	315	135	1629	150	1763	145	473	258	257	1133	323	150	1606	157	1815	153	508	276	247	1184	329	156	1669	146	1736	146	490	275	223	1134	324	151	1609	127
33661	4	empl.	142684	0	1055	1956	3428	6439	15612	23223	45274	97410	145065	0	1052	1798	3396	6246	14021	22918	43185	101880	146969	0	1044	1737	3485	6266	14149	24454	44869	102100	138962	0	1098	1823	3433	6354	14510	23551	44415	94547	131292	0	1019	1817	2994	5830	13554	23358	42742	88550
33661	4	ann. pay.	4761852	17667	26192	47027	90558	181444	429990	700790	1312224	3449628	4804405	16151	27118	43289	100174	186732	419566	682357	1288655	3515750	5044270	9269	28398	40707	97528	175902	415052	783607	1374561	3669709	5094086	9149	29921	45068	97992	182130	462846	753579	1398555	3695531	5111708	19359	28945	50989	91512	190805	448427	833611	1472843	3638865
33661	4	rec.																																									21115423	115074	154395	227705	366594	863768	1947219	3609066	6420053	14695370
33699	4	firms	800	79	222	133	121	555	160	45	760	40	803	83	216	138	119	556	163	43	762	41	806	91	216	128	117	552	170	44	766	40	769	51	229	132	112	524	162	46	732	37	779	90	241	119	106	556	145	41	742	37
33699	4	estab.	843	79	222	133	121	555	172	48	775	68	840	83	216	138	119	556	168	48	772	68	841	91	216	128	117	552	175	46	773	68	804	51	230	132	112	525	166	49	740	64	817	90	241	120	106	557	151	46	754	63
33699	4	empl.	46474	0	502	930	1621	3053	6648	6176	15877	30597	42715	0	486	923	1625	3034	6741	6939	16714	26001	42629	0	464	842	1624	2930	7040	6984	16954	25675	42113	0	511	891	1560	2962	6527	6849	16338	25775	39545	0	556	788	1461	2805	5731	5578	14114	25431
33699	4	ann. pay.	1664365	5138	12281	25650	41243	84312	202091	173209	459612	1204753	1592291	5332	10656	21639	43471	81098	206507	223382	510987	1081304	1652808	4431	9154	20726	48127	82438	223344	212920	518702	1134106	1699739	1587	13599	22136	45457	82779	200820	227654	511253	1188486	1623369	9892	14396	22048	42624	88960	200944	206498	496402	1126967
33699	4	rec.																																									13934969	58983	81692	121244	210515	472434	916615	1029751	2418800	11516169
33711	4	firms	7797	618	3465	1760	1109	6952	723	98	7773	24	7633	567	3337	1727	1105	6736	766	104	7606	27	7475	550	3154	1694	1123	6521	809	117	7447	28	8071	588	3410	1802	1252	7052	880	112	8044	27	9560	711	4455	2086	1312	8564	858	110	9532	28
33711	4	estab.	7904	618	3466	1760	1111	6955	748	118	7821	83	7749	567	3338	1727	1108	6740	789	126	7655	94	7585	551	3155	1694	1127	6527	817	141	7485	100	8176	588	3410	1803	1256	7057	890	130	8077	99	9670	711	4456	2087	1317	8571	869	124	9564	106
33711	4	empl.	101442	0	7729	11550	14858	34137	26980	15975	77092	24350	110070	0	7478	11421	14853	33752	28401	17419	79572	30498	116420	0	7152	11189	15175	33516	30328	20361	84205	32215	122015	0	7728	12013	16869	36610	32681	19972	89263	32752	127541	0	10036	13732	17567	41335	31690	18889	91914	35627
33711	4	ann. pay.	2582130	54432	151572	247961	350628	804593	700515	417810	1922918	659212	2882244	20745	156005	255010	365515	797275	779487	478657	2055419	826825	3122805	23844	152802	256872	382962	816480	850976	567633	2235089	887716	3370054	28456	175475	287768	443001	934700	950791	571548	2457039	913015	3656587	26256	227720	342557	485679	1082212	949449	570177	2601838	1054749
33711	4	rec.																																									14688148	100114	779398	1106399	1535485	3521396	2916730	2284004	8722130	5966018
33712	4	firms	6883	706	2572	1166	884	5328	1085	347	6760	123	6798	666	2524	1133	889	5212	1120	343	6675	123	6685	591	2508	1113	915	5127	1077	356	6560	125	6809	625	2628	1158	899	5310	1056	323	6689	120	6897	607	2731	1256	903	5497	987	306	6790	107
33712	4	estab.	7347	706	2575	1171	893	5345	1136	420	6901	446	7228	666	2527	1139	896	5228	1169	415	6812	416	7099	591	2510	1118	921	5140	1119	422	6681	418	7195	625	2630	1163	906	5324	1090	394	6808	387	7293	607	2733	1263	922	5525	1029	388	6942	351
33712	4	empl.	284876	0	5649	7768	11884	25301	46580	63095	134976	149900	293531	0	5434	7542	11995	24971	48104	63506	136581	156950	298153	0	5401	7339	12420	25160	46846	64573	136579	161574	279526	0	5597	7714	12198	25509	45558	59952	131019	148507	255224	0	5869	8339	12079	26287	42076	55344	123707	131517
33712	4	ann. pay.	6770555	34525	102074	146775	251499	534873	1047515	1518384	3100772	3669783	7242021	50498	103425	145053	271192	570168	1137423	1572863	3280454	3961567	7470049	20265	106415	146866	287067	560613	1129370	1624166	3314149	4155900	6959525	34770	113764	162206	273375	584115	1109058	1499161	3192334	3767191	6788097	28058	122991	185796	295234	632079	1089194	1500167	3221440	3566657
33712	4	rec.																																									30066188	146627	559010	725480	1086336	2517453	4267710	6520678	13305841	16760347
33721	4	firms	4003	252	860	696	722	2530	1141	249	3920	83	3928	225	870	668	701	2464	1124	251	3839	89	3819	216	811	673	669	2369	1109	254	3732	87	3894	203	862	713	684	2462	1101	247	3810	84	3843	218	919	703	665	2505	1050	216	3771	72
33721	4	estab.	4206	252	860	696	723	2531	1158	299	3988	218	4141	225	870	668	702	2465	1138	306	3909	232	4036	216	811	673	670	2370	1123	314	3807	229	4113	204	862	713	685	2464	1114	306	3884	229	4044	218	919	703	666	2506	1065	279	3850	194
33721	4	empl.	173113	0	2021	4703	9916	16640	48584	37271	102495	70618	174589	0	2023	4500	9683	16206	47539	36780	100525	74064	177200	0	1843	4510	9215	15568	46828	38788	101184	76016	171157	0	1935	4876	9399	16210	45058	37058	98326	72831	148323	0	2102	4792	9110	16004	42576	31627	90207	58116
33721	4	ann. pay.	5582340	17013	51625	119146	271695	459479	1461471	1100143	3021093	2561247	5769328	15196	51872	113514	279257	459839	1472894	1111442	3044175	2725153	6052462	14660	45450	114922	267750	442782	1481916	1233899	3158597	2893865	5772917	12368	48762	132254	277281	470665	1447733	1160997	3079395	2693522	5073529	19460	61771	137999	274494	493724	1425478	1066878	2986080	2087449
33721	4	rec.																																									21316538	93322	242145	482562	933023	1751052	4640328	4096271	10487651	10828887
33791	4	firms	620	46	140	101	100	387	180	40	607	13	604	30	145	100	90	365	183	44	592	12	575	31	130	95	90	346	177	40	563	12	557	27	128	97	89	341	168	36	545	12	522	17	117	87	95	316	159	35	510	12
33791	4	estab.	696	46	141	101	100	388	183	60	631	65	685	32	146	100	90	368	183	69	620	65	661	33	130	95	90	348	179	66	593	68	639	27	128	102	89	346	170	57	573	66	607	17	117	87	95	316	164	63	543	64
33791	4	empl.	24452	0	335	685	1362	2382	8116	6108	16606	7846	25264	0	345	665	1171	2181	8152	6384	16717	8547	26207	0	314	633	1193	2140	7996	6140	16276	9931	25500	0	308	645	1173	2126	7684	5467	15277	10223	24138	0	286	588	1315	2189	7298	5675	15162	8976
33791	4	ann. pay.	671147	5161	5798	12114	26191	49264	208171	171878	429313	241834	737740	4433	7145	11898	23504	46980	211880	194919	453779	283961	776111	1474	6465	10958	24929	43826	209070	168653	421549	354562	770601	987	6817	12489	26183	46476	208787	166731	421994	348607	762839	1268	6184	11436	29309	48197	206599	182527	437323	325516
33791	4	rec.																																									5020164	8889	41070	77964	156245	284168	1144512	1089276	2517956	2502208
33792	4	firms	428	27	157	65	61	310	86	24	420	8	424	25	147	78	54	304	84	28	416	8	427	27	135	88	63	313	71	35	419	8	430	28	149	76	65	318	71	33	422	8	433	24	161	64	75	324	67	33	424	9
33792	4	estab.	470	27	157	65	61	310	91	34	435	35	463	25	147	78	54	304	90	36	430	33	467	27	135	88	63	313	76	45	434	33	470	28	149	76	65	318	76	44	438	32	469	24	161	64	75	324	74	41	439	30
33792	4	empl.	19978	0	380	436	809	1625	3564	3765	8954	11024	19699	0	341	517	737	1595	3793	4467	9855	9844	22464	0	306	592	902	1800	3425	5950	11175	11289	20999	0	340	510	885	1735	3334	5773	10842	10157	19902	0	371	427	1030	1828	2779	5422	10029	9873
33792	4	ann. pay.	476119	2036	8064	7969	18131	36200	84095	86386	206681	269438	496500	3145	8343	10482	18422	40392	92473	108335	241200	255300	542204	583	7014	12503	20793	40893	81971	140132	262996	279208	560552	1372	8369	11026	20911	41678	80488	146336	268502	292050	525007	822	9000	9568	24624	44014	76288	148302	268604	256403
33792	4	rec.																																									2406049	6043	51592	51057	107069	215761	350863	595974	1162598	1243451
33911	4	firms	11840	795	5949	2181	1272	10197	1175	288	11660	180	11662	784	5787	2185	1251	10007	1182	297	11486	176	11516	795	5607	2181	1275	9858	1182	300	11340	176	11500	777	5680	2147	1232	9836	1188	298	11322	178	10879	781	5243	1988	1223	9235	1169	299	10703	176
33911	4	estab.	12474	795	5950	2185	1277	10207	1228	423	11858	616	12327	784	5787	2189	1257	10017	1232	435	11684	643	12163	795	5607	2184	1282	9868	1229	435	11532	631	12151	777	5680	2149	1239	9845	1233	442	11520	631	11575	781	5243	1991	1231	9246	1228	502	10976	599
33911	4	empl.	295923	0	12571	14175	16995	43741	47090	44310	135141	160782	302227	0	12274	14230	16755	43259	47148	44872	135279	166948	304555	0	12030	14177	17116	43323	47014	46584	136921	167634	304435	0	12174	14052	16648	42874	46670	46335	135879	168556	294154	0	11395	13085	16416	40896	45044	47839	133779	160375
33911	4	ann. pay.	10830803	44293	304372	381693	509665	1240023	1585524	1572451	4397998	6432805	11570561	61634	311371	392827	520941	1286773	1701802	1671787	4660362	6910199	12315561	137758	312947	408384	558082	1417171	1773106	1872891	5063168	7252393	12843366	58069	326747	427430	561816	1374062	1760816	2016989	5151867	7691499	12908614	42229	310227	411684	579404	1343544	1770487	2223456	5337487	7571127
33911	4	rec.																																									59721119	207817	936052	1223949	1812552	4180370	5618581	8526952	18325903	41395216
33991	4	firms	3769	370	1750	676	423	3219	454	72	3745	24	3686	377	1656	689	412	3134	453	74	3661	25	3662	359	1674	659	421	3113	453	75	3641	21	3473	297	1598	650	408	2953	421	74	3448	25	3000	270	1374	568	342	2554	361	63	2978	22
33991	4	estab.	3802	370	1751	676	423	3220	464	81	3765	37	3718	377	1656	690	412	3135	465	79	3679	39	3693	359	1675	660	421	3115	460	83	3658	35	3505	297	1598	651	409	2955	427	81	3463	42	3031	271	1374	568	345	2558	366	69	2993	38
33991	4	empl.	59990	0	3696	4439	5637	13772	18016	13787	45575	14415	59923	0	3504	4541	5587	13632	18058	12971	44661	15262	58000	0	3538	4344	5712	13594	17809	13648	45051	12949	55353	0	3386	4245	5477	13108	16238	12174	41520	13833	47195	0	2911	3847	4649	11407	14098	10665	36170	11025
33991	4	ann. pay.	1628839	12418	74968	98581	134923	320890	481468	397831	1200189	428650	1710858	18222	78664	104506	131621	333013	510614	394690	1238317	472541	1717264	15496	80615	105777	148818	350706	514859	434750	1300315	416949	1637398	12433	75136	99077	133442	320088	466930	411585	1198603	438795	1511769	10850	68085	98450	134849	312234	448430	403576	1164240	347529
33991	4	rec.																																									8705029	59501	355823	454154	652383	1521861	2161290	2605178	6288329	2416700
33992	4	firms	2485	272	900	449	328	1949	374	120	2443	42	2411	259	878	445	318	1900	356	109	2365	46	2410	264	898	425	313	1900	349	110	2359	51	2365	241	887	442	300	1870	347	103	2320	45	2185	218	839	384	285	1726	317	98	2141	44
33992	4	estab.	2572	273	901	449	328	1951	379	153	2483	89	2496	259	878	446	318	1901	362	137	2400	96	2486	264	898	425	313	1900	355	135	2390	96	2433	241	887	442	300	1870	353	132	2355	78	2256	218	839	384	285	1726	327	124	2177	79
33992	4	empl.	74252	0	1944	2962	4497	9403	15201	20372	44976	29276	66910	0	1887	2923	4354	9164	14455	17720	41339	25571	68072	0	1921	2827	4203	8951	14405	17733	41089	26983	66132	0	1935	2981	4109	9025	14544	17526	41095	25037	60456	0	1792	2518	3855	8165	12701	16616	37482	22974
33992	4	ann. pay.	2013094	13402	36986	56103	96988	203479	361539	561711	1126729	886365	1968222	22625	37755	60805	98947	220132	362040	525587	1107759	860463	2065608	9432	42065	67417	96011	214925	402966	494636	1112527	953081	2051571	14003	44307	66342	97363	222015	398129	509795	1129939	921632	2040221	15589	37822	60180	92689	206280	406072	509626	1121978	918243
33992	4	rec.																																									11579141	86686	223428	280002	438675	1028791	1968042	2880830	5877663	5701478
33993	4	firms	997	135	364	143	125	767	151	60	978	19	997	138	383	142	120	783	144	53	980	17	992	125	391	159	119	794	135	49	978	14	946	98	370	162	118	748	138	45	931	15	865	85	338	152	114	689	124	36	849	16
33993	4	estab.	1022	135	364	143	125	767	151	71	989	33	1017	138	383	142	120	783	144	61	988	29	1007	125	391	159	119	794	135	55	984	23	958	98	370	162	118	748	138	51	937	21	878	85	338	152	115	690	124	42	856	22
33993	4	empl.	30690	0	721	954	1671	3346	5889	9801	19036	11654	28854	0	787	950	1645	3382	5934	9576	18892	9962	26691	0	829	1073	1652	3554	5540	8973	18067	8624	23915	0	772	1076	1602	3450	5331	7403	16184	7731	20163	0	723	999	1541	3263	4866	5481	13610	6553
33993	4	ann. pay.	802395	7343	14858	22493	37979	82673	143867	235814	462354	340041	774558	6231	15324	23349	39068	83972	154126	252384	490482	284076	752758	3861	17477	25926	39985	87249	159542	255608	502399	250359	681485	2421	16824	25697	38347	83289	142787	237944	464020	217465	656149	3973	14359	26449	43394	88175	133151	172244	393570	262579
33993	4	rec.																																									4015148	29721	84050	145399	176813	435983	658000	1029832	2123815	1891333
33994	4	firms	972	73	347	178	137	735	161	50	946	26	952	64	374	158	131	727	151	48	926	26	935	78	340	169	125	712	154	45	911	24	882	60	337	155	127	679	140	44	863	19	781	41	295	151	111	598	131	37	766	15
33994	4	estab.	1006	73	347	178	137	735	169	61	965	41	988	64	374	158	131	727	164	51	942	46	972	78	340	169	125	712	170	49	931	41	918	60	337	155	127	679	157	51	887	31	811	41	295	151	113	600	143	45	788	23
33994	4	empl.	28737	0	788	1173	1802	3763	6658	6644	17065	11672	27837	0	868	1058	1737	3663	6129	6657	16449	11388	26949	0	764	1113	1617	3494	6331	6734	16559	10390	24535	0	769	1020	1710	3499	5780	6240	15519	9016	21328	0	679	995	1498	3172	5316	5465	13953	7375
33994	4	ann. pay.	805804	2367	16314	23506	44846	87033	175119	179764	441916	363888	796137	3663	19807	22968	45648	92086	166308	182732	441126	355011	784869	4344	16768	25208	45419	91739	171752	187728	451219	333650	722771	2532	16686	22917	46950	89085	157972	178057	425114	297657	641068	1468	15873	24886	43624	85851	161330	154172	401353	239715
33994	4	rec.																																									3551588	7444	73201	94048	182763	357456	619831	705514	1682801	1868787
33995	4	firms	5800	587	2348	1133	820	4888	750	131	5769	31	5854	594	2386	1138	799	4917	755	147	5819	35	5965	596	2429	1181	805	5011	765	150	5926	39	5905	493	2471	1168	822	4954	772	140	5866	39	6102	578	2644	1151	834	5207	730	129	6066	36
33995	4	estab.	5932	587	2349	1135	827	4898	771	188	5857	75	6007	595	2386	1139	806	4926	781	208	5915	92	6105	596	2429	1181	810	5016	793	198	6007	98	6041	493	2471	1168	827	4959	802	185	5946	95	6231	578	2644	1152	837	5211	761	174	6146	85
33995	4	empl.	84503	0	5258	7476	11189	23923	29493	20428	73844	10659	87487	0	5382	7527	10914	23823	28974	21722	74519	12968	88427	0	5400	7770	11027	24197	29109	21527	74833	13594	88034	0	5519	7661	11235	24415	29593	21659	75667	12367	81993	0	5939	7515	11305	24759	27785	18699	71243	10750
33995	4	ann. pay.	2572760	21609	104160	167737	297592	591098	949511	667936	2208545	364215	2761188	27141	113651	179812	299819	620423	962064	731758	2314245	446943	2897013	35111	119693	186091	311353	652248	998159	776712	2427119	469894	2871694	23114	123261	186801	324344	657520	1019585	767468	2444573	427121	2771658	20741	129453	195869	335747	681810	979454	718533	2379797	391861
33995	4	rec.																																									9360435	81387	471553	624627	981362	2158929	3084276	2772584	8015789	1344646
33999	4	firms	4690	550	1467	766	644	3427	891	238	4556	134	4660	434	1518	818	638	3408	888	235	4531	129	4605	435	1516	797	607	3355	877	243	4475	130	4458	383	1507	783	589	3262	848	219	4329	129	4511	435	1591	768	591	3385	796	205	4386	125
33999	4	estab.	4939	550	1467	766	648	3431	922	283	4636	303	4917	435	1520	819	640	3414	916	283	4613	304	4877	435	1516	798	610	3359	903	295	4557	320	4712	383	1508	784	592	3267	872	265	4404	308	4725	435	1592	770	591	3388	823	249	4460	265
33999	4	empl.	163373	0	3214	5125	8776	17115	37718	35282	90115	73258	161004	0	3282	5485	8846	17613	37307	34486	89406	71598	159506	0	3264	5315	8267	16846	36572	35366	88784	70722	150761	0	3323	5228	8144	16695	35575	31458	83728	67033	139421	0	3396	5099	8072	16567	32021	27843	76431	62990
33999	4	ann. pay.	4620787	30389	65011	114902	226606	436908	994291	969560	2400759	2220028	4772364	30534	69374	130686	223875	454469	1018356	1000764	2473589	2298775	4967310	27303	75510	127680	224264	454757	1052026	1060779	2567562	2399748	4796282	21003	80948	132889	230237	465077	1032243	957607	2454927	2341355	4678679	21282	84167	131056	229916	466421	981106	908578	2356105	2322574
33999	4	rec.																																									21157964	119914	393997	511566	919805	1945282	3919548	3908771	9773601	11384363
42111	4	firms	6572	729	2914	922	643	5208	1030	250	6488	84	6566	738	2829	949	648	5164	1051	269	6484	82	6590	698	2843	968	698	5207	1035	260	6502	88	6398	642	2739	988	678	5047	1017	248	6312	86	6086	605	2672	878	620	4775	967	263	6005	81
42111	4	estab.	7701	729	2915	924	662	5230	1233	501	6964	737	7708	739	2830	951	671	5191	1230	543	6964	744	7805	703	2844	971	721	5239	1209	536	6984	821	7617	642	2742	992	700	5076	1187	528	6791	826	7404	606	2674	885	639	4804	1175	612	6591	813
42111	4	empl.	156084	0	5999	6103	8710	20812	42996	34204	98012	58072	161232	0	5825	6278	8752	20855	43532	38312	102699	58533	166023	0	5801	6313	9376	21490	43269	36963	101722	64301	153814	0	5612	6408	9149	21169	41674	35570	98413	55401	162224	0	5458	5752	8365	19575	39016	38050	96641	65583
42111	4	ann. pay.	5190224	33161	181765	175852	264992	655770	1438055	1162962	3256787	1933437	5641423	37109	169741	193797	281035	681682	1490814	1407267	3579763	2061660	5870126	36405	173854	193360	309029	712648	1501431	1324846	3538925	2331201	5826606	33504	172350	199886	312887	718627	1448751	1252830	3420208	2406398	5737828	24417	176746	190522	278525	670210	1358397	1346157	3374764	2363064
42111	4	rec.																																									565189710	611745	4928794	4305641	4435656	14281836	18093768	32225897	64601501	500588209
42112	4	firms	9140	746	4017	1664	1133	7560	1089	280	8929	211	9022	871	3895	1594	1103	7463	1087	275	8825	197	8961	865	3801	1659	1103	7428	1063	264	8755	206	8736	781	3729	1639	1113	7262	1003	263	8528	208	9022	937	3926	1578	1111	7552	1005	260	8817	205
42112	4	estab.	12159	754	4029	1696	1239	7718	1794	880	10392	1767	12101	873	3908	1626	1195	7602	1683	945	10230	1871	12285	878	3819	1694	1192	7583	1604	1024	10211	2074	12083	787	3745	1674	1199	7405	1507	949	9861	2222	12659	939	3940	1618	1214	7711	1656	1162	10529	2130
42112	4	empl.	161154	0	8427	10974	14876	34277	35487	25878	95642	65512	162304	0	8181	10523	14479	33183	36099	26115	95397	66907	166430	0	8053	10923	14410	33386	35623	27081	96090	70340	165975	0	7775	10729	14751	33255	34033	26315	93603	72372	165149	0	8197	10467	14790	33454	34337	27311	95102	70047
42112	4	ann. pay.	5662166	43175	281183	329943	458895	1113196	1111737	802938	3027871	2634295	6010078	46788	269593	352420	447741	1116542	1172648	858056	3147246	2862832	6231853	33564	262700	354828	470183	1121275	1201377	904762	3227414	3004439	6269721	40305	258415	351489	471349	1121558	1184298	886952	3192808	3076913	6390137	38596	276846	339374	501860	1156676	1232244	973982	3362902	3027235
42112	4	rec.																																									90907472	560281	5552443	4865665	5650145	16628534	11909396	9825731	38363661	52543811
42113	4	firms	1315	74	502	254	172	1002	219	66	1287	28	1336	107	482	245	178	1012	225	73	1310	26	1322	110	480	242	184	1016	209	70	1295	27	1302	94	489	235	171	989	210	74	1273	29	1268	90	468	239	166	963	207	69	1239	29
42113	4	estab.	1872	77	503	262	183	1025	315	234	1574	298	1925	109	484	251	187	1031	330	259	1620	305	2036	110	481	247	193	1031	310	251	1592	444	2005	95	491	240	176	1002	319	249	1570	435	1928	90	470	243	186	989	340	252	1581	347
42113	4	empl.	22195	0	1057	1666	2254	4977	6338	4582	15897	6298	24090	0	1058	1605	2311	4974	7149	5323	17446	6644	25752	0	1043	1623	2373	5039	7065	4842	16946	8806	24907	0	1069	1573	2215	4857	7143	4920	16920	7987	23069	0	990	1584	2189	4763	6745	4754	16262	6807
42113	4	ann. pay.	806004	5451	26590	47261	67406	146708	204550	146063	497321	308683	883412	4409	27871	46547	68827	147654	234914	171505	554073	329339	957037	8331	28253	46073	74716	157373	243542	167599	568514	388523	971151	6613	29593	48644	69677	154527	260387	185932	600846	370305	860796	4034	29022	50215	72141	155412	243995	183972	583379	277417
42113	4	rec.																																									12740937	47462	402621	491217	625366	1566666	2787439	2263772	6617877	6123060
42114	4	firms	6757	446	3285	1700	925	6356	369	24	6749	8	6361	312	3167	1612	883	5974	350	31	6355	6	6007	349	2897	1520	851	5617	350	31	5998	9	5612	296	2691	1437	799	5223	350	26	5599	13	5135	239	2499	1244	761	4743	357	22	5122	13
42114	4	estab.	6979	450	3287	1709	967	6413	460	87	6960	19	6594	317	3170	1621	930	6038	432	106	6576	18	6259	353	2899	1530	889	5671	430	105	6206	53	5867	297	2695	1440	849	5281	423	91	5795	72	5379	239	2503	1250	794	4786	437	79	5302	77
42114	4	empl.	44772	0	7422	11108	11926	30456	11147	2575	44178	594	44223	0	7157	10550	11314	29021	10850	3650	43521	702	43846	0	6523	10032	11033	27588	10467	4255	42310	1536	42600	0	6134	9489	10396	26019	10436	3591	40046	2554	39996	0	5718	8120	9834	23672	10736	3066	37474	2522
42114	4	ann. pay.	999395	15026	123570	214514	267562	620672	290653	72721	984046	15349	1033442	15859	126287	216064	262699	620909	289015	105507	1015431	18011	1070435	10711	121959	211479	263133	607282	284814	127604	1019700	50735	1075934	10720	119979	206036	258447	595182	293195	103799	992176	83758	1047247	6895	113933	183927	255666	560421	306790	95029	962240	85007
42114	4	rec.																																									6104953	71557	802228	917353	1158141	2949279	1436791	633798	5019868	1085085
42121	4	firms	6095	631	3057	947	627	5262	658	131	6051	44	6088	680	3024	916	624	5244	672	128	6044	44	6071	644	3011	951	610	5216	670	138	6024	47	5962	583	2969	936	611	5099	680	135	5914	48	5939	735	2956	876	580	5147	633	115	5895	44
42121	4	estab.	6730	632	3064	954	656	5306	851	258	6415	315	6704	680	3026	926	649	5281	851	268	6400	304	6673	644	3014	960	628	5246	844	275	6365	308	6521	584	2976	944	645	5149	847	265	6261	260	6566	735	2960	888	615	5198	871	255	6324	242
42121	4	empl.	67806	0	6139	6198	8343	20680	23893	15576	60149	7657	70291	0	6076	5997	8329	20402	24329	17202	61933	8358	72457	0	6112	6293	8244	20649	24198	17684	62531	9926	72519	0	5957	6177	8130	20264	24926	17163	62353	10166	64675	0	5855	5698	7704	19257	23358	13716	56331	8344
42121	4	ann. pay.	2684905	28904	223596	207339	295721	755560	874423	670784	2300767	384138	2845880	32120	230887	210493	300442	773942	917519	734472	2425933	419947	3095204	28930	246022	229574	320566	825092	962444	841095	2628631	466573	3026744	25709	238037	216178	323882	803806	956100	782052	2541958	484786	2715893	38251	228699	210757	306072	783779	931229	617934	2332942	382951
42121	4	rec.																																									31826576	470854	5017144	2856186	2884638	11228822	7496689	5091350	23816861	8009715
42122	4	firms	7570	724	3643	1356	818	6541	781	161	7483	87	7563	769	3635	1281	849	6534	777	177	7488	75	7466	702	3577	1276	858	6413	799	179	7391	75	7254	687	3426	1271	840	6224	784	172	7180	74	7090	779	3346	1224	770	6119	743	154	7016	74
42122	4	estab.	8291	725	3652	1374	858	6609	1000	310	7919	372	8304	769	3645	1298	892	6604	970	373	7947	357	8232	702	3586	1304	888	6480	1016	373	7869	363	8024	688	3433	1294	873	6288	990	406	7684	340	7921	780	3349	1260	820	6209	969	397	7575	346
42122	4	empl.	89409	0	7484	8943	10803	27230	27748	18894	73872	15537	91396	0	7576	8414	11285	27275	28409	20663	76347	15049	94946	0	7429	8345	11438	27212	29627	22644	79483	15463	93616	0	7097	8373	11219	26689	28580	22585	77854	15762	90537	0	6927	8180	10244	25351	26899	20429	72679	17858
42122	4	ann. pay.	3039605	31203	239625	280103	345938	896869	922014	592564	2411447	628158	3277934	31854	256251	273719	375853	937677	1007244	692890	2637811	640123	3504471	31352	269831	283600	394339	979122	1078267	791749	2849138	655333	3596046	32008	265809	294633	386069	978519	1079219	825273	2883011	713035	3723801	34081	251166	305112	387635	977994	1081806	815060	2874860	848941
42122	4	rec.																																									46968793	457768	4377010	3741989	3901602	12478369	9102473	7473949	29054791	17914002
42131	4	firms	5639	586	2296	950	723	4555	763	215	5533	106	5746	604	2289	985	727	4605	819	213	5637	109	5739	526	2279	996	758	4559	852	214	5625	114	5818	589	2313	980	765	4647	844	209	5700	118	5887	647	2368	966	745	4726	830	220	5776	111
42131	4	estab.	6898	586	2304	963	759	4612	927	549	6088	810	7019	606	2296	993	770	4665	979	566	6210	809	7105	526	2288	1010	799	4623	1002	570	6195	910	7220	589	2322	997	800	4708	1002	563	6273	947	7322	647	2380	975	804	4806	1045	635	6486	836
42131	4	empl.	91465	0	4871	6212	9719	20802	26531	19664	66997	24468	96929	0	4894	6480	9902	21276	29319	20461	71056	25873	104798	0	4940	6586	10292	21818	30374	22059	74251	30547	101631	0	4953	6413	10323	21689	30038	20616	72343	29288	97926	0	5023	6383	10130	21536	29765	21622	72923	25003
42131	4	ann. pay.	3406634	36120	178678	220219	333195	768212	922822	693162	2384196	1022438	3783173	52912	189458	238747	366613	847730	1061029	748740	2657499	1125674	4119890	27257	195385	243695	378509	844846	1119865	861085	2825796	1294094	4097033	33889	194831	249074	394397	872191	1144342	803000	2819533	1277500	4075326	26648	200743	246753	396585	870729	1185592	876729	2933050	1142276
42131	4	rec.																																									74088907	434243	4290695	4253842	5672215	14650995	14428349	11656426	40735770	33353137
42132	4	firms	2284	333	918	404	241	1896	242	75	2213	71	2400	311	983	418	259	1971	274	80	2325	75	2487	312	993	428	306	2039	292	82	2413	74	2561	316	1024	442	306	2088	314	83	2485	76	2749	366	1114	461	339	2280	313	84	2677	72
42132	4	estab.	3104	333	919	406	250	1908	307	217	2432	672	3236	311	985	426	266	1988	346	230	2564	672	3351	312	993	430	313	2048	368	238	2654	697	3502	316	1026	446	320	2108	384	261	2753	749	3819	366	1116	465	367	2314	440	303	3057	762
42132	4	empl.	23428	0	1949	2671	3156	7776	7143	3151	18070	5358	25998	0	2059	2820	3406	8285	8274	3939	20498	5500	29196	0	2144	2861	4113	9118	9231	4498	22847	6349	31621	0	2168	2926	4193	9287	9995	4887	24169	7452	31848	0	2427	3043	4539	10009	10192	4409	24610	7238
42132	4	ann. pay.	858347	15613	62251	79762	107395	265021	255775	113219	634015	224332	996464	16469	69817	90595	119235	296116	310749	150152	757017	239447	1141362	18686	71442	93188	139787	323103	352069	173584	848756	292606	1280658	15377	76936	95339	147645	335297	400662	198761	934720	345938	1317628	16949	88226	103625	161807	370607	437530	187130	995267	322361
42132	4	rec.																																									14433747	183358	997760	984984	1153958	3320060	2530645	1670232	7520937	6912810
42133	4	firms	1032	115	460	156	105	836	108	53	997	35	1095	129	476	168	115	888	114	56	1058	37	1082	115	455	177	115	862	118	62	1042	40	1122	130	463	187	118	898	125	61	1084	38	1138	124	460	195	131	910	130	62	1102	36
42133	4	estab.	1658	117	462	158	115	852	166	183	1201	457	1777	129	478	171	123	901	170	203	1274	503	1766	115	457	179	123	874	171	221	1266	500	1835	130	465	190	123	908	186	242	1336	499	1906	124	464	200	158	946	216	282	1444	462
42133	4	empl.	17413	0	911	1040	1352	3303	3523	4033	10859	6554	19343	0	981	1113	1530	3624	3607	4862	12093	7250	20899	0	939	1171	1498	3608	3845	5818	13271	7628	22287	0	962	1240	1501	3703	3946	6082	13731	8556	21912	0	950	1304	1728	3982	4240	6313	14535	7377
42133	4	ann. pay.	679567	9412	38989	39121	53817	141339	125729	150412	417480	262087	773664	5127	42206	44270	61641	153244	138833	174298	466375	307289	874543	6069	40037	47367	58811	152284	141901	227536	521721	352822	1003709	17342	40700	47821	63775	169638	158253	249725	577616	426093	964685	5776	40336	54649	70303	171064	172424	248590	592078	372607
42133	4	rec.																																									11834441	60997	1078693	704929	894599	2739218	2285918	2577999	7603135	4231306
42139	4	firms	2468	309	1137	425	245	2116	210	74	2400	68	2469	305	1109	439	263	2116	213	73	2402	67	2466	270	1102	450	272	2094	232	76	2402	64	2472	264	1084	464	286	2098	237	75	2410	62	2568	251	1157	474	284	2166	264	79	2509	59
42139	4	estab.	2904	309	1138	430	254	2131	250	240	2621	283	2869	305	1109	443	270	2127	251	208	2586	283	2887	271	1102	454	278	2105	278	199	2582	305	2922	270	1085	464	292	2111	285	230	2626	296	3067	251	1157	477	297	2182	383	230	2795	272
42139	4	empl.	25278	0	2455	2788	3182	8425	6238	4495	19158	6120	26743	0	2370	2830	3380	8580	6431	4868	19879	6864	29044	0	2375	2953	3449	8777	7596	4875	21248	7796	29852	0	2336	3030	3696	9062	7677	5281	22020	7832	30985	0	2428	3098	3715	9241	8754	5450	23445	7540
42139	4	ann. pay.	843971	10865	73001	76569	99527	259962	214754	159296	634012	209959	949695	13535	77281	87275	107972	286063	233305	168886	688254	261441	1043947	15555	78160	92524	109649	295888	279943	175712	751543	292404	1128675	16889	82383	99727	120941	319940	292715	202368	815023	313652	1184151	9820	82664	104210	130418	327112	344924	201064	873100	311051
42139	4	rec.																																									10413905	101875	1156363	884674	1093422	3236334	2400906	1677653	7314893	3099012
42141	4	firms	1129	93	460	195	137	885	174	39	1098	31	1105	78	447	192	133	850	188	32	1070	35	1066	69	431	177	137	814	184	33	1031	35	1027	69	415	175	130	789	175	27	991	36	987	70	395	162	143	770	154	31	955	32
42141	4	estab.	1374	93	460	197	143	893	228	117	1238	136	1358	78	447	194	138	857	244	91	1192	166	1350	70	433	179	144	826	240	81	1147	203	1293	69	415	178	140	802	224	58	1084	209	1214	70	395	167	151	783	197	62	1042	172
42141	4	empl.	21787	0	1027	1299	1858	4184	6123	3848	14155	7632	22003	0	961	1249	1775	3985	6718	2590	13293	8710	23606	0	919	1164	1783	3866	6819	2775	13460	10146	22533	0	891	1146	1735	3772	6233	2080	12085	10448	22481	0	836	1085	1873	3794	5244	2757	11795	10686
42141	4	ann. pay.	1067047	3887	35694	47077	69791	156449	261754	159586	577789	489258	1095821	9267	33364	42798	67912	153341	305507	108474	567322	528499	1246329	3991	33115	39783	70943	147832	312286	111330	571448	674881	1219970	4238	30450	41208	72830	148726	284105	86801	519632	700338	1254236	3072	28972	42194	79661	153899	252423	126268	532590	721646
42141	4	rec.																																									19763430	26317	381688	497457	591055	1496517	2028681	920423	4445621	15317809
42142	4	firms	5136	401	2034	1107	772	4314	677	89	5080	56	4942	318	2001	1048	752	4119	671	97	4887	55	4771	272	1917	999	775	3963	651	95	4709	62	4617	292	1851	973	702	3818	652	84	4554	63	4300	284	1708	880	654	3526	630	87	4243	57
42142	4	estab.	7235	402	2038	1120	813	4373	958	296	5627	1608	7120	322	2003	1062	798	4185	935	321	5441	1679	7023	272	1921	1011	830	4034	916	300	5250	1773	6779	297	1857	985	738	3877	914	305	5096	1683	6462	284	1713	896	708	3601	927	289	4817	1645
42142	4	empl.	140372	0	4644	7354	10196	22194	24408	10918	57520	82852	141388	0	4512	6972	10001	21485	23847	12938	58270	83118	134340	0	4314	6694	10334	21342	23275	12844	57461	76879	147160	0	4176	6525	9272	19973	22842	12203	55018	92142	136619	0	3837	5896	8626	18359	22804	11048	52211	84408
42142	4	ann. pay.	5943666	16688	123248	202203	312292	654431	867787	456041	1978259	3965407	6058195	24137	124534	212164	318098	678933	873012	535211	2087156	3971039	6172834	22370	126680	205200	350615	704865	874060	565136	2144061	4028773	6456525	82939	123800	209013	325373	741125	888436	525414	2154975	4301550	5786409	13471	111459	194602	311487	631019	952789	489148	2072956	3713453
42142	4	rec.																																									42815313	89994	889266	1201393	2052725	4233378	4010825	2712288	10956491	31858822
42143	4	firms	13741	1956	5364	2450	1768	11538	1650	330	13518	223	13863	1942	5409	2509	1780	11640	1673	316	13629	234	13571	1629	5419	2487	1792	11327	1680	335	13342	229	13082	1616	5319	2358	1659	10952	1584	332	12868	214	11589	1361	4934	2003	1452	9750	1373	283	11406	183
42143	4	estab.	17315	1957	5374	2480	1857	11668	2106	895	14669	2646	17511	1944	5432	2538	1869	11783	2051	848	14682	2829	17235	1631	5433	2508	1880	11452	2031	811	14294	2941	16524	1617	5337	2385	1754	11093	1891	713	13697	2827	14807	1367	4943	2034	1568	9912	1790	702	12404	2403
42143	4	empl.	326097	0	11786	16227	23621	51634	61932	46635	160201	165896	346049	0	11644	16583	23939	52166	63558	43790	159514	186535	356853	0	11546	16464	24075	52085	63835	48802	164722	192131	347834	0	11260	15669	22479	49408	59442	50250	159100	188734	313055	0	10398	13326	19551	43275	49544	39888	132707	180348
42143	4	ann. pay.	20454371	135288	457334	640825	1031655	2265102	3083283	2663174	8011559	12442812	23187287	192383	484871	677202	1150574	2505030	3346313	2574158	8425501	14761786	24989921	137777	517017	729895	1202883	2587572	3652088	3314725	9554385	15435536	24339672	147965	474690	681502	1117913	2422070	3374440	3205996	9002506	15337166	21613170	99766	428908	595900	983014	2107588	2914491	2643953	7666032	13947138
42143	4	rec.																																									205000739	1023388	4166906	5569619	7622859	18382772	22965762	20703398	62051932	142948807
42144	4	firms	5006	382	2180	1050	724	4336	539	84	4959	47	4834	344	2061	1026	725	4156	549	86	4791	43	4756	356	2001	976	743	4076	547	88	4711	45	4671	349	1969	996	705	4019	522	86	4627	44	4704	409	2043	966	687	4105	487	76	4668	36
42144	4	estab.	5404	383	2186	1064	761	4394	662	189	5245	159	5239	344	2068	1038	759	4209	681	171	5061	178	5152	357	2005	994	775	4131	664	196	4991	161	5071	349	1973	1013	743	4078	640	198	4916	155	5134	411	2045	984	735	4175	614	191	4980	154
42144	4	empl.	52516	0	4904	6891	9687	21482	18362	6913	46757	5759	53097	0	4539	6795	9608	20942	18537	7773	47252	5845	52991	0	4494	6444	9784	20722	18472	8095	47289	5702	53002	0	4377	6584	9356	20317	17876	8969	47162	5840	50442	0	4520	6361	9187	20068	17076	7428	44572	5870
42144	4	ann. pay.	1899852	17300	139666	222719	320716	700401	679001	281402	1660804	239048	2013749	14843	137151	230957	327071	710022	719665	324135	1753822	259927	2037692	13403	136802	223308	346281	719794	721525	348506	1789825	247867	2060032	18259	142008	227732	333438	721437	710339	363714	1795490	264542	2010224	21586	143316	228991	343133	737026	716126	313283	1766435	243789
42144	4	rec.																																									17295695	184298	1764971	2351326	2701288	7001883	4787175	2861522	14650580	2645115
42145	4	firms	8281	989	4251	1302	799	7341	647	152	8140	141	8067	964	4142	1250	783	7139	647	146	7932	135	7853	870	3964	1268	811	6913	661	146	7720	133	7804	927	3818	1260	848	6853	651	164	7668	136	8349	1088	4137	1312	854	7391	649	174	8214	135
42145	4	estab.	9829	990	4254	1312	829	7385	870	402	8657	1172	9489	967	4149	1258	812	7186	848	377	8411	1078	9287	870	3970	1278	839	6957	839	380	8176	1111	9212	928	3824	1270	871	6893	810	389	8092	1120	9826	1088	4140	1328	901	7457	875	369	8701	1125
42145	4	empl.	124557	0	8558	8593	10627	27778	24100	17917	69795	54762	126334	0	8456	8203	10480	27139	23314	17038	67491	58843	130855	0	8068	8323	10820	27211	24421	16788	68420	62435	139657	0	7808	8318	11235	27361	24030	20118	71509	68148	139054	0	8422	8664	11430	28516	23514	21420	73450	65604
42145	4	ann. pay.	6358123	54600	356413	333163	456503	1200679	1057118	835186	3092983	3265140	6980103	61149	350334	342374	464947	1218804	1079267	846802	3144873	3835230	7494290	47329	343158	352473	491146	1234106	1198866	852606	3285578	4208712	8228509	62070	350007	365507	533313	1310897	1249706	1000228	3560831	4667678	8534099	80550	370579	384155	583866	1419150	1291453	1195854	3906457	4627642
42145	4	rec.																																									88619859	709034	3892838	3184259	4024972	11811103	8380488	8053994	28245585	60374274
42146	4	firms	1504	129	657	245	178	1209	222	48	1479	25	1442	100	651	224	165	1140	232	49	1421	21	1410	120	619	211	165	1115	225	50	1390	20	1372	119	600	210	158	1087	212	51	1350	22	1352	124	591	218	149	1082	206	42	1330	22
42146	4	estab.	1755	129	658	245	180	1212	287	131	1630	125	1712	100	652	224	166	1142	306	108	1556	156	1632	120	620	212	167	1119	271	124	1514	118	1582	119	601	211	161	1092	251	118	1461	121	1547	124	593	222	152	1091	246	94	1431	116
42146	4	empl.	28755	0	1311	1623	2414	5348	9034	6909	21291	7464	30353	0	1323	1504	2245	5072	9271	7643	21986	8367	28452	0	1276	1414	2220	4910	9016	6891	20817	7635	27990	0	1248	1436	2114	4798	8293	7020	20111	7879	28554	0	1234	1462	2002	4698	8066	6558	19322	9232
42146	4	ann. pay.	947256	8087	44637	52229	75523	180476	305006	237290	722772	224484	1019651	5333	45950	47544	72466	171293	312937	270619	754849	264802	1011119	12859	46152	48805	79040	186856	330288	256937	774081	237038	1012469	8537	49685	49583	78850	186655	303689	273685	764029	248440	981093	7055	39997	54736	81688	183476	307627	252586	743689	237404
42146	4	rec.																																									7482457	74434	444567	427690	561484	1508175	1799028	1920414	5227617	2254840
42149	4	firms	2410	206	1041	484	312	2043	247	60	2350	60	2366	174	1030	474	321	1999	253	60	2312	54	2290	161	980	468	316	1925	245	62	2232	58	2213	174	924	436	308	1842	252	60	2154	59	2242	192	957	433	307	1889	251	55	2195	47
42149	4	estab.	2769	206	1044	507	345	2102	333	125	2560	209	2728	174	1034	499	350	2057	334	145	2536	192	2699	161	990	486	346	1983	321	164	2468	231	2615	176	934	453	339	1902	329	161	2392	223	2640	192	964	455	338	1949	368	147	2464	176
42149	4	empl.	32699	0	2232	3218	4171	9621	8453	4834	22908	9791	31976	0	2227	3154	4297	9678	8694	4936	23308	8668	36045	0	2103	3092	4339	9534	8399	5618	23551	12494	38536	0	1997	2898	4090	8985	8598	6242	23825	14711	32672	0	2015	2895	4085	8995	8322	5126	22443	10229
42149	4	ann. pay.	1439787	7727	81783	119826	163917	373253	328477	223549	925279	514508	1452682	11733	80712	126647	163720	382812	352469	239097	974378	478304	1908592	8225	80234	128056	174384	390899	364681	293498	1049078	859514	1824551	9406	80226	121128	179261	390021	391259	320554	1101834	722717	1636478	8632	77910	123992	178297	388831	363641	275904	1028376	608102
42149	4	rec.																																									14636091	166354	740286	835012	1284636	3026288	2241813	1884873	7152974	7483117
42151	4	firms	9124	678	3800	1568	1225	7271	1307	340	8918	206	8942	671	3687	1616	1189	7163	1248	320	8731	211	8723	661	3516	1573	1187	6937	1266	309	8512	211	8510	629	3416	1528	1201	6774	1228	306	8308	202	8303	696	3292	1535	1123	6646	1186	284	8116	187
42151	4	estab.	11744	684	3815	1593	1273	7365	1754	987	10106	1638	11631	677	3698	1642	1240	7257	1692	870	9819	1812	11465	665	3528	1607	1236	7036	1672	908	9616	1849	11250	629	3431	1552	1251	6863	1621	936	9420	1830	10997	697	3304	1567	1186	6754	1680	932	9366	1631
42151	4	empl.	166137	0	8273	10393	16227	34893	47437	35398	117728	48409	165112	0	7894	10664	15867	34425	46305	32673	113403	51709	168576	0	7442	10354	15839	33635	46665	34896	115196	53380	162222	0	7320	10051	16193	33564	45399	35074	114037	48185	150064	0	7037	10097	15012	32146	43338	30780	106264	43800
42151	4	ann. pay.	6762552	43897	363039	421374	627473	1455783	1871549	1387504	4714836	2047716	6886938	42318	355429	454104	648986	1500837	1850519	1284791	4636147	2250791	7275017	50083	349238	452615	661665	1513601	1923542	1432407	4869550	2405467	6967047	31304	336494	440848	674841	1483487	1830134	1413050	4726671	2240376	6641621	50287	322651	452454	653012	1478404	1853869	1302272	4634545	2007076
42151	4	rec.																																									108063473	656286	6992932	6723706	8023129	22396053	18552930	16646178	57595161	50468312
42152	4	firms	627	56	311	103	68	538	48	11	597	30	602	65	286	97	66	514	47	12	573	29	575	53	279	101	61	494	37	13	544	31	565	64	277	89	55	485	36	15	536	29	518	43	272	84	39	438	37	11	486	32
42152	4	estab.	729	56	313	109	77	555	76	26	657	72	695	65	287	104	75	531	67	26	624	71	661	53	280	108	71	512	53	27	592	69	649	64	279	99	61	503	52	29	584	65	600	44	273	88	51	456	54	25	535	65
42152	4	empl.	4791	0	612	667	867	2146	1262	237	3645	1146	4616	0	581	629	820	2030	1127	216	3373	1243	4602	0	574	659	758	1991	1065	391	3447	1155	4143	0	559	560	712	1831	946	452	3229	914	3874	0	566	552	509	1627	1076	204	2907	967
42152	4	ann. pay.	270840	5506	31220	37283	49345	123354	46004	18419	187777	83063	265864	4198	30733	33091	44692	112714	45182	17804	175700	90164	289874	5236	29948	37955	35819	108958	50875	31578	191411	98463	256346	3978	32863	38057	34878	109776	52032	25822	187630	68716	249918	3213	31577	41093	28484	104367	52212	17858	174437	75481
42152	4	rec.																																									10184781	83875	1076839	1523581	835834	3520129	1965154	1102840	6588123	3596658
42161	4	firms	9531	750	4144	1929	1295	8118	1016	225	9359	172	9471	790	4060	1894	1344	8088	1005	209	9302	169	9357	731	4010	1873	1326	7940	1038	225	9203	154	9223	738	3809	1926	1280	7753	1082	238	9073	150	9595	955	3997	1946	1266	8164	1053	232	9449	146
42161	4	estab.	13773	759	4162	1988	1431	8340	1553	750	10643	3130	13873	791	4072	1966	1475	8304	1506	776	10586	3287	13904	736	4026	1949	1445	8156	1524	927	10607	3297	13878	739	3825	2002	1412	7978	1572	909	10459	3419	14337	960	4009	2028	1421	8418	1679	1016	11113	3224
42161	4	empl.	154975	0	9159	12726	17210	39095	34407	19722	93224	61751	155489	0	8958	12559	18110	39627	35010	19672	94309	61180	165955	0	8887	12449	17619	38955	36504	22220	97679	68276	168091	0	8411	12779	16955	38145	37586	24424	100155	67936	166242	0	8722	12835	16685	38242	36385	23842	98469	67773
42161	4	ann. pay.	6601753	43165	351978	510167	733112	1638422	1493067	795905	3927394	2674359	7105745	49151	365251	533452	779629	1727483	1572750	818900	4119133	2986612	8250900	57889	381823	550206	817194	1807112	1737247	965363	4509722	3741178	8098979	47145	366278	571522	773828	1758773	1776667	1081829	4617269	3481710	7768540	47987	359431	556168	777509	1741095	1750128	1033081	4524304	3244236
42161	4	rec.																																									93524189	499017	5569832	7212916	9067251	22349016	16228732	9689782	48267530	45256659
42162	4	firms	3211	247	1347	675	427	2696	378	76	3150	61	3115	255	1300	628	420	2603	375	74	3052	63	3023	249	1218	636	409	2512	378	75	2965	58	2955	243	1177	632	396	2448	372	83	2903	52	2882	274	1184	598	322	2378	374	78	2830	52
42162	4	estab.	3785	247	1355	690	456	2748	547	156	3451	334	3711	257	1303	650	445	2655	543	160	3358	353	3595	250	1221	653	438	2562	542	202	3306	289	3541	243	1180	647	421	2491	526	172	3189	352	3510	275	1186	624	346	2431	554	189	3174	336
42162	4	empl.	51016	0	3066	4435	5614	13115	13315	7090	33520	17496	54202	0	2968	4107	5495	12570	13442	8008	34020	20182	52676	0	2742	4219	5407	12368	14007	9068	35443	17233	52655	0	2669	4147	5219	12035	13397	10583	36015	16640	52580	0	2631	3938	4233	10802	13366	9287	33455	19125
42162	4	ann. pay.	2192995	15910	95371	153403	205721	470405	522481	266484	1259370	933625	2516213	22033	104907	150542	220364	497846	539103	317987	1354936	1161277	2509102	15077	102964	175709	226884	520634	593824	371818	1486276	1022826	2647494	46794	98845	168242	225506	539387	573140	454669	1567196	1080298	2509101	13709	91784	168671	190548	464712	595570	372728	1433010	1076091
42162	4	rec.																																									68254948	171344	1892421	4597171	3150708	9811644	10387657	10576745	30776046	37478902
42169	4	firms	15014	1481	6389	2956	1979	12805	1635	314	14754	260	14652	1331	6300	2868	1967	12466	1601	316	14383	269	14429	1312	6048	2876	1925	12161	1664	341	14166	263	14028	1218	5821	2746	1915	11700	1707	346	13753	275	13535	1245	5822	2597	1779	11443	1549	303	13295	240
42169	4	estab.	21088	1482	6427	3074	2248	13231	2384	834	16449	4639	20928	1341	6336	2994	2222	12893	2330	851	16074	4854	20787	1318	6096	2990	2162	12566	2352	864	15782	5005	20397	1230	5866	2851	2145	12092	2363	819	15274	5123	18732	1248	5858	2721	2020	11847	2291	831	14969	3763
42169	4	empl.	293835	0	13852	19450	26327	59629	58464	36173	154266	139569	297606	0	13755	18919	26341	59015	57623	35625	152263	145343	316173	0	13214	18968	25869	58051	60817	40188	159056	157117	338488	0	12791	18237	25432	56460	63236	43820	163516	174972	293420	0	12652	17087	23777	53516	55619	34929	144064	149356
42169	4	ann. pay.	16540651	152713	561445	805811	1236116	2756085	2650606	1763772	7170463	9370188	19601533	90644	572583	829471	1310544	2803242	2845671	1853128	7502041	12099492	23149100	104458	603382	931442	1414325	3053607	3506442	2546919	9106968	14042132	24032181	103828	566512	842151	1276170	2788661	3224755	2534261	8547677	15484504	19908832	73220	530357	749970	1136297	2489844	2853022	2060912	7403778	12505054
42169	4	rec.																																									193979697	873655	7649957	10306284	13421512	32251408	26119610	18223605	76594623	117385074
42171	4	firms	7250	440	3050	1387	1084	5961	1008	169	7138	112	7032	412	2926	1374	1077	5789	968	162	6919	113	6866	448	2782	1346	1039	5615	977	166	6758	108	6710	457	2703	1290	1021	5471	979	160	6610	100	6457	487	2625	1218	981	5311	904	149	6364	93
42171	4	estab.	9533	441	3064	1409	1141	6055	1470	651	8176	1357	9436	413	2937	1394	1131	5875	1401	656	7932	1504	9457	448	2790	1367	1092	5697	1358	685	7740	1717	9387	466	2713	1310	1070	5559	1369	665	7593	1794	9373	487	2632	1236	1059	5414	1399	725	7538	1835
42171	4	empl.	112859	0	6570	9130	14408	30108	35936	20384	86428	26431	117224	0	6317	9074	14448	29839	35136	20484	85459	31765	124860	0	6015	8926	13970	28911	35364	21287	85562	39298	122386	0	5873	8543	13660	28076	35727	20902	84705	37681	111066	0	5677	8013	13194	26884	32353	20624	79861	31205
42171	4	ann. pay.	4194475	24922	222327	322887	536944	1107080	1347249	704772	3159101	1035374	4536231	18349	218987	339454	547308	1124098	1376208	726119	3226425	1309806	5014707	25735	219043	349225	546041	1140044	1470663	802959	3413666	1601041	5073216	24847	215751	320010	539895	1100503	1553405	757749	3411657	1661559	4439761	39328	208946	303569	527749	1079592	1353468	736704	3169764	1269997
42171	4	rec.																																									45771182	358520	2753685	2834931	4412372	10359508	10588339	6938776	27886623	17884559
42172	4	firms	3669	337	1543	756	483	3119	393	97	3609	60	3653	297	1538	772	514	3121	376	96	3593	60	3585	256	1504	776	489	3025	394	105	3524	61	3556	238	1451	791	496	2976	407	107	3490	66	3715	323	1463	818	504	3108	436	108	3652	63
42172	4	estab.	4801	337	1547	766	532	3182	622	334	4138	663	4839	297	1542	788	558	3185	571	374	4130	709	4756	256	1509	783	535	3083	582	384	4049	707	4912	243	1454	805	537	3039	605	424	4068	844	5144	323	1465	833	573	3194	720	455	4369	775
42172	4	empl.	47331	0	3385	4977	6306	14668	12967	8949	36584	10747	49740	0	3389	5063	6764	15216	12632	9470	37318	12422	52669	0	3326	5130	6484	14940	13458	10373	38771	13898	54353	0	3224	5202	6561	14987	13600	11806	40393	13960	54879	0	3301	5327	6665	15293	14813	11074	41180	13699
42172	4	ann. pay.	1801565	11846	120851	184305	246991	563993	524330	321856	1410179	391386	1971444	14532	125705	186291	274567	601095	539117	355384	1495596	475848	2131807	14258	127776	203731	266165	611930	580325	410499	1602754	529053	2270478	14249	125533	208073	280349	628204	603684	469753	1701641	568837	2361259	20386	129729	219536	293095	662746	674703	479496	1816945	544314
42172	4	rec.																																									31668105	246003	1859958	2722929	3720994	8549884	12321533	4156016	25027433	6640672
42173	4	firms	3247	194	1279	702	526	2701	407	90	3198	49	3146	195	1205	687	502	2589	414	91	3094	52	3077	174	1176	682	486	2518	408	99	3025	52	3022	179	1149	653	481	2462	413	98	2973	49	3001	173	1127	689	464	2453	407	95	2955	46
42173	4	estab.	5589	197	1288	726	637	2848	906	613	4367	1222	5651	195	1215	707	604	2721	910	659	4290	1361	5710	176	1184	707	566	2633	867	711	4211	1499	5579	181	1159	674	541	2555	880	653	4088	1491	5598	173	1131	723	540	2567	929	654	4150	1448
42173	4	empl.	52121	0	2928	4639	7054	14621	14350	10498	39469	12652	57424	0	2803	4569	6695	14067	14556	10890	39513	17911	57696	0	2714	4564	6532	13810	14371	12186	40367	17329	57478	0	2646	4339	6411	13396	14213	12251	39860	17618	57267	0	2602	4579	6109	13290	14335	10369	37994	19273
42173	4	ann. pay.	2210840	9746	108955	189357	303449	611507	612026	432220	1655753	555087	2481839	8057	109540	194006	294930	606533	644598	463075	1714206	767633	2674106	6673	111161	205808	310963	634605	648959	538973	1822537	851569	2705747	13963	113064	194542	304274	625843	693781	562098	1881722	824025	2693297	17320	107742	201026	303445	629533	695071	472466	1797070	896227
42173	4	rec.																																									25599100	120328	1243799	2004288	2178350	5546765	5075241	4351473	14973479	10625621
42174	4	firms	995	70	413	173	145	801	142	30	973	22	985	69	405	183	137	794	137	30	961	24	951	63	383	190	127	763	136	32	931	20	918	53	372	185	128	738	126	33	897	21	936	57	364	196	132	749	132	34	915	21
42174	4	estab.	1541	72	413	182	158	825	302	158	1285	256	1546	69	411	195	146	821	280	184	1285	261	1501	63	385	199	143	790	269	188	1247	254	1445	53	373	195	139	760	254	190	1204	241	1482	57	364	203	157	781	271	193	1245	237
42174	4	empl.	13091	0	931	1133	1861	3925	4989	1925	10839	2252	13566	0	909	1196	1811	3916	4870	2233	11019	2547	13670	0	857	1237	1690	3784	4908	2523	11215	2455	13742	0	848	1219	1693	3760	4820	2360	10940	2802	14249	0	801	1301	1761	3863	4679	2480	11022	3227
42174	4	ann. pay.	526359	2630	31521	44091	69024	147266	195201	77319	419786	106573	561034	3098	32190	44280	69120	148688	201427	87731	437846	123188	583358	4824	30068	48438	66594	149924	204446	108761	463131	120227	612389	2253	30749	50409	69194	152605	207678	108447	468730	143659	620606	5505	29177	54486	69065	158233	208566	96443	463242	157364
42174	4	rec.																																									5013797	55720	405806	537439	389828	1388793	1791225	735033	3915051	1098746
42181	4	firms	3681	271	1411	618	512	2812	594	172	3578	103	3564	255	1363	599	505	2722	573	155	3450	114	3464	268	1316	594	471	2649	540	157	3346	118	3331	215	1272	585	461	2533	526	150	3209	122	3387	279	1309	595	443	2626	502	141	3269	118
42181	4	estab.	5267	290	1412	626	571	2899	1003	728	4630	637	5214	274	1370	604	555	2803	967	671	4441	773	5152	275	1327	597	512	2711	895	676	4282	870	5050	231	1281	589	509	2610	866	624	4100	950	5112	280	1313	615	499	2707	896	638	4241	871
42181	4	empl.	91431	0	3090	4063	6864	14017	21389	26486	61892	29539	95928	0	3023	3974	6783	13780	21597	24402	59779	36149	93450	0	2844	3948	6306	13098	20028	24316	57442	36008	93168	0	2740	3868	6134	12742	19636	22689	55067	38101	89608	0	2820	3938	5995	12753	18233	20181	51167	38441
42181	4	ann. pay.	3945761	11717	112549	142846	261041	528153	901021	1175219	2604393	1341368	4274322	13292	108073	149401	266867	537633	922072	1087997	2547702	1726620	4285046	14988	106616	148335	255883	525822	881649	1106165	2513636	1771410	4304186	20043	102816	149317	251263	523439	858334	1041192	2422965	1881221	4029157	25952	104695	151565	246427	528639	797207	926830	2252676	1776481
42181	4	rec.																																									47308673	213378	1317346	1534140	2026007	5090871	6695514	8453571	20239956	27068717
42182	4	firms	8329	473	2750	1804	1763	6790	1366	125	8281	48	8110	450	2671	1790	1683	6594	1342	119	8055	55	7888	433	2608	1723	1645	6409	1313	114	7836	52	7628	434	2540	1633	1566	6173	1290	116	7579	49	7377	455	2459	1519	1542	5975	1237	114	7326	51
42182	4	estab.	9583	473	2758	1814	1859	6904	2018	488	9410	173	9448	452	2681	1805	1761	6699	1998	445	9142	306	9206	437	2617	1737	1726	6517	1940	401	8858	348	9086	439	2554	1652	1653	6298	1870	527	8695	391	9008	461	2463	1532	1639	6095	1971	542	8608	400
42182	4	empl.	102538	0	6109	12234	24199	42542	44134	10667	97343	5195	102044	0	5994	12101	22932	41027	43515	10945	95487	6557	101374	0	5869	11704	22487	40060	43014	10273	93347	8027	99387	0	5658	11022	21236	37916	42785	10793	91494	7893	95610	0	5430	10272	21060	36762	41452	10100	88314	7296
42182	4	ann. pay.	2999045	22090	136670	281930	644045	1084735	1356675	337053	2778463	220582	3099342	24911	142476	288996	630745	1087128	1382866	355469	2825463	273879	3199447	16745	142234	290277	634890	1084146	1448138	344292	2876576	322871	3250385	19076	142747	286397	626342	1074562	1474114	367797	2916473	333912	3166621	32049	137565	267952	640039	1077605	1414703	354970	2847278	319343
42182	4	rec.																																									40444575	551934	1792279	2690436	6589425	11624074	14455879	3551335	29631288	10813287
42183	4	firms	29095	2256	12938	5853	3857	24904	3122	662	28688	407	28545	2142	12862	5704	3764	24472	3040	638	28150	395	27764	2063	12440	5498	3742	23743	3019	604	27366	398	26796	1915	11831	5403	3652	22801	3022	583	26406	390	26219	2162	11758	5143	3453	22516	2782	549	25847	372
42183	4	estab.	35488	2260	12972	5999	4298	25529	4782	2070	32381	3107	34947	2151	12906	5855	4221	25133	4693	2024	31850	3097	34089	2076	12496	5641	4169	24382	4569	1972	30923	3166	33098	1918	11886	5547	4047	23398	4499	1949	29846	3252	32437	2169	11807	5313	3875	23164	4362	1888	29414	3023
42183	4	empl.	353234	0	27877	38618	51269	117764	106787	61607	286158	67076	347881	0	27679	37655	50212	115546	106048	60752	282346	65535	349093	0	26857	36389	49841	113087	105679	60501	279267	69826	352561	0	25586	35650	48845	110081	105215	61333	276629	75932	324366	0	25608	33966	46106	105680	95159	53380	254219	70147
42183	4	ann. pay.	15377738	107785	1067069	1531169	2117444	4823467	4657245	2685633	12166345	3211393	15534301	113772	1080992	1505589	2138758	4839111	4693941	2774838	12307890	3226411	16406251	105551	1099629	1511237	2231924	4948341	4888177	2868852	12705370	3700881	16364269	101689	1033229	1471122	2123870	4729910	4774505	2865026	12369441	3994828	15286055	162815	999667	1432877	2018709	4614068	4363928	2551662	11529658	3756397
42183	4	rec.																																									122659567	1489579	11522338	12027749	14423154	39462820	28455195	17993088	85911103	36748464
42184	4	firms	9882	674	4075	1980	1418	8147	1302	265	9714	168	9743	678	4046	1909	1402	8035	1279	257	9571	172	9572	647	3916	1911	1366	7840	1310	250	9400	172	9358	609	3851	1856	1370	7686	1257	251	9194	164	9256	709	3854	1846	1256	7665	1217	229	9111	145
42184	4	estab.	14984	676	4086	2011	1575	8348	2325	1289	11962	3022	15152	680	4058	1948	1574	8260	2262	1272	11794	3358	14880	650	3936	1949	1526	8061	2262	1169	11492	3388	14723	621	3865	1884	1551	7921	2172	1192	11285	3438	14479	710	3871	1902	1451	7934	2287	1171	11392	3087
42184	4	empl.	144708	0	9024	13151	18898	41073	43633	23191	107897	36811	146666	0	8986	12682	18766	40434	43181	22716	106331	40335	145730	0	8597	12682	18122	39401	44450	22365	106216	39514	144668	0	8481	12270	18434	39185	43153	23061	105399	39269	137162	0	8394	12181	16843	37418	41180	20721	99319	37843
42184	4	ann. pay.	5627905	36944	319424	479068	722773	1558209	1721032	895933	4175174	1452731	5859420	38089	329504	471863	730120	1569576	1727996	902458	4200030	1659390	6047589	35706	327956	475593	728667	1567922	1866731	934355	4369008	1678581	5931115	28526	317784	463721	739614	1549645	1783038	952345	4285028	1646087	5706129	33736	311004	460772	696537	1502049	1756519	870159	4128727	1577402
42184	4	rec.																																									58876765	372146	3739294	3845655	5133035	13090130	12233095	7148386	32471611	26405154
42185	4	firms	5664	409	2472	1255	792	4928	585	109	5622	42	5570	431	2387	1220	795	4833	584	112	5529	41	5382	365	2293	1195	761	4614	618	102	5334	48	5183	376	2205	1104	759	4444	590	103	5137	46	5152	395	2207	1089	738	4429	586	91	5106	46
42185	4	estab.	6768	410	2473	1276	849	5008	858	488	6354	414	6738	433	2389	1233	868	4923	819	540	6282	456	6548	365	2298	1207	812	4682	849	412	5943	605	6426	376	2208	1120	812	4516	809	452	5777	649	6573	395	2211	1105	811	4522	885	396	5803	770
42185	4	empl.	60566	0	5628	8279	10335	24242	20122	10433	54797	5769	61153	0	5325	8095	10332	23752	19646	11452	54850	6303	61407	0	5135	7884	9756	22775	20749	10024	53548	7859	61700	0	4971	7377	9895	22243	19838	11462	53543	8157	60212	0	4962	7308	9603	21873	19932	8944	50749	9463
42185	4	ann. pay.	1944730	18767	156617	225636	312003	713023	663903	333167	1710093	234637	2056176	22589	161210	228508	319562	731869	671792	367439	1771100	285076	2159614	14137	181150	228352	313183	736822	756608	339668	1833098	326516	2283248	17320	146349	230531	333760	727960	734798	470248	1933006	350242	2293056	66970	144806	233448	330833	776057	752454	364525	1893036	400020
42185	4	rec.																																									19696370	559900	1410146	2048756	2253826	6272628	4695250	2723469	13691347	6005023
42186	4	firms	3646	364	1718	632	433	3147	341	81	3569	77	3578	346	1678	626	429	3079	342	79	3500	78	3524	333	1648	635	427	3043	330	76	3449	75	3397	286	1575	615	427	2903	349	71	3323	74	3364	342	1531	608	432	2913	312	64	3289	75
42186	4	estab.	3992	364	1725	643	446	3178	415	160	3753	239	3924	346	1683	637	443	3109	408	162	3679	245	3867	333	1656	645	442	3076	393	153	3622	245	3730	286	1583	623	439	2931	417	146	3494	236	3731	342	1536	620	462	2960	402	146	3508	223
42186	4	empl.	45901	0	3656	4114	5689	13459	11680	7626	32765	13136	49660	0	3647	4097	5726	13470	12274	7935	33679	15981	45159	0	3577	4198	5783	13558	11749	8322	33629	11530	45520	0	3355	4035	5731	13121	12054	7841	33016	12504	40986	0	3234	3957	5805	12996	10553	7102	30651	10335
42186	4	ann. pay.	2150843	22716	164014	181223	247516	615469	481854	322676	1419999	730844	2338261	22350	156860	184232	251303	614745	508939	340851	1464535	873726	2080413	21976	156189	192718	260328	631211	504923	389151	1525285	555128	2126306	15173	145935	190768	259244	611120	526008	365662	1502790	623516	1898290	21411	135592	180168	264563	601734	469467	309985	1381186	517104
42186	4	rec.																																									27396608	250589	2333932	2066764	2769841	7421126	4579420	2965942	14966488	12430120
42191	4	firms	5725	613	2718	997	693	5021	566	90	5677	48	5699	700	2665	989	641	4995	573	83	5651	48	5749	696	2671	988	657	5012	603	86	5701	48	5613	643	2612	976	645	4876	603	88	5567	46	6158	853	2967	979	657	5456	568	87	6111	47
42191	4	estab.	6200	613	2728	1007	749	5097	666	182	5945	255	6179	700	2675	1003	685	5063	698	157	5918	261	6221	697	2691	1002	699	5089	698	174	5961	260	6085	643	2616	995	679	4933	696	181	5810	275	6707	853	2972	998	697	5520	671	181	6372	335
42191	4	empl.	57676	0	5601	6538	9177	21316	19275	9638	50229	7447	55508	0	5390	6427	8583	20400	19497	8829	48726	6782	57625	0	5442	6415	8693	20550	21161	9687	51398	6227	57716	0	5303	6417	8577	20297	21250	10101	51648	6068	57587	0	6019	6413	8853	21285	19847	9541	50673	6914
42191	4	ann. pay.	1919239	24067	176162	194944	306115	701288	583488	328791	1613567	305672	1959883	28481	174580	211750	293820	708631	649109	310251	1667991	291892	2139652	27163	185050	216000	310118	738331	728461	359852	1826644	313008	2204681	24061	178380	223797	301473	727711	783730	374983	1886424	318257	2294568	32549	211584	229880	321675	795688	773912	394723	1964323	330245
42191	4	rec.																																									28972284	409065	3805658	3398167	3541613	11154503	7836498	4985257	23976258	4996026
42192	4	firms	3055	308	1522	526	329	2685	288	52	3025	30	3028	371	1482	506	289	2648	306	46	3000	28	3008	363	1452	498	299	2612	313	52	2977	31	2890	312	1395	497	298	2502	306	57	2865	25	3012	352	1495	475	300	2622	310	52	2984	28
42192	4	estab.	3190	309	1522	531	347	2709	339	92	3140	50	3158	375	1483	511	300	2669	349	95	3113	45	3140	367	1457	503	311	2638	342	110	3090	50	3025	312	1399	502	310	2523	338	127	2988	37	3181	352	1499	484	314	2649	365	110	3124	57
42192	4	empl.	35626	0	3215	3385	4334	10934	10315	6174	27423	8203	35505	0	3108	3281	3948	10337	11267	6409	28013	7492	38325	0	3030	3219	3965	10214	11532	7277	29023	9302	36890	0	2917	3239	4014	10170	11648	7761	29579	7311	35313	0	3079	3066	4001	10146	11418	6471	28035	7278
42192	4	ann. pay.	1328107	12204	99445	102402	144511	358562	370887	221515	950964	377143	1329045	23270	102298	109686	138715	373969	426598	237782	1038349	290696	1477673	15567	107833	106831	145974	376205	460926	271292	1108423	369250	1483239	13502	102523	107707	144135	367867	459969	295452	1123288	359951	1467009	15433	106467	107375	154057	383332	463963	291664	1138959	328050
42192	4	rec.																																									18323292	201000	1910146	1596563	2340889	6048598	4672425	3238901	13959924	4363368
42193	4	firms	7790	688	2996	1485	1208	6377	1157	163	7697	93	7289	629	2980	1326	1117	6052	999	148	7199	90	7102	593	2807	1317	1135	5852	1027	136	7015	87	6847	541	2737	1270	1097	5645	989	130	6764	83	6710	587	2692	1272	1009	5560	941	126	6627	83
42193	4	estab.	8974	689	2999	1504	1256	6448	1444	383	8275	699	8459	634	2993	1348	1176	6151	1247	368	7766	693	8267	594	2823	1337	1185	5939	1269	359	7567	700	8002	544	2752	1296	1140	5732	1222	347	7301	701	7870	588	2700	1292	1064	5644	1202	331	7177	693
42193	4	empl.	113246	0	6543	9922	16526	32991	41797	18707	93495	19751	102260	0	6522	8789	15214	30525	35274	16162	81961	20299	103108	0	6124	8764	15532	30420	36705	14614	81739	21369	99109	0	5960	8381	14928	29269	35777	14081	79127	19982	93060	0	5891	8459	13685	28035	33034	13753	74822	18238
42193	4	ann. pay.	3185572	30755	165145	230139	428714	854753	1144336	521347	2520436	665136	3040080	35157	169748	232000	411528	848433	1040278	479436	2368147	671933	3302669	27546	175810	231457	463169	897982	1159315	477246	2534543	768126	3132047	25629	169825	226068	424102	845624	1135958	441726	2423308	708739	3045028	30847	167254	243837	412796	854734	1060242	465094	2380070	664958
42193	4	rec.																																									31616739	313662	2237690	2191370	3378624	8121346	8480552	5324534	21926432	9690307
42194	4	firms	7858	907	4689	1217	606	7419	364	53	7836	22	7989	945	4753	1229	578	7505	404	62	7971	18	8226	1038	4820	1269	604	7731	415	58	8204	22	8083	896	4829	1257	618	7600	401	57	8058	25	8607	1055	5190	1319	592	8156	377	52	8585	22
42194	4	estab.	7992	908	4693	1228	624	7453	416	73	7942	50	8126	946	4758	1239	595	7538	444	96	8078	48	8355	1039	4823	1278	628	7768	445	93	8306	49	8215	897	4835	1265	642	7639	428	96	8163	52	8745	1055	5194	1327	614	8190	431	77	8698	47
42194	4	empl.	49800	0	9635	7839	7962	25436	12926	7364	45726	4074	51289	0	9834	7849	7576	25259	13982	8054	47295	3994	55854	0	10018	8116	8016	26150	14780	8009	48939	6915	54408	0	10065	8014	8180	26259	13974	7816	48049	6359	54205	0	10613	8461	7903	26977	13792	7114	47883	6322
42194	4	ann. pay.	1765354	33882	308425	252245	267734	862286	454935	319024	1636245	129109	1890128	26869	313561	266541	270868	877839	496261	378277	1752377	137751	2102777	38167	328488	284566	298577	949798	567850	366621	1884269	218508	2080304	29331	332791	278487	299224	939833	540961	365344	1846138	234166	2209461	39680	355767	306922	304910	1007279	583644	335209	1926132	283329
42194	4	rec.																																									36002379	741128	7373991	5833788	4691319	18640226	6930699	6805028	32375953	3626426
42199	4	firms	11487	1829	6161	1761	907	10658	621	117	11396	91	12411	2451	6396	1802	913	11562	646	111	12319	92	13665	2665	7195	1936	979	12775	678	117	13570	95	13730	2325	7489	2012	1006	12832	684	124	13640	90	15192	2599	8374	2176	1101	14250	725	126	15101	91
42199	4	estab.	12101	1829	6165	1782	957	10733	743	230	11706	395	13004	2451	6400	1819	972	11642	746	237	12625	379	14246	2665	7199	1953	1032	12849	781	245	13875	371	14285	2326	7494	2027	1048	12895	801	251	13947	338	15742	2600	8381	2204	1163	14348	860	244	15452	290
42199	4	empl.	90039	0	12164	11353	11927	35444	20837	11180	67461	22578	91291	0	12550	11780	12007	36337	21945	11632	69914	21377	100082	0	14340	12614	12856	39810	23133	12291	75234	24848	99261	0	14776	13053	13132	40961	23572	12294	76827	22434	100749	0	16601	14134	14523	45258	24602	14241	84101	16648
42199	4	ann. pay.	3272749	70575	327560	328512	359876	1086523	741926	476822	2305271	967478	3473046	90480	359871	361498	382103	1193952	781854	470354	2446160	1026886	3903717	104344	436072	402254	420051	1362721	854571	495749	2713041	1190676	3954785	82640	459455	416639	448756	1407490	860095	498542	2766127	1188658	3974914	87530	519986	465361	519114	1591991	932935	560952	3085878	889036
42199	4	rec.																																									58705306	1050637	8013972	5436963	4904713	19406285	8494998	7207770	35109053	23596253
42211	4	firms	1489	82	768	259	169	1278	129	46	1453	36	1413	84	739	228	146	1197	138	45	1380	33	1345	75	684	219	149	1127	140	46	1313	32	1279	82	645	214	131	1072	132	45	1249	30	1228	96	601	207	130	1034	118	51	1203	25
42211	4	estab.	2263	82	769	264	180	1295	173	173	1641	622	2215	84	740	234	154	1212	179	174	1565	650	2104	75	685	224	156	1140	187	166	1493	611	2018	82	646	217	139	1084	178	153	1415	603	1986	96	601	213	139	1049	178	187	1414	572
42211	4	empl.	32427	0	1566	1670	2297	5533	4512	5341	15386	17041	32512	0	1567	1503	1988	5058	4781	5272	15111	17401	31475	0	1409	1421	1974	4804	4824	5636	15264	16211	31024	0	1353	1421	1762	4536	4631	5745	14912	16112	28644	0	1227	1329	1715	4271	4231	5370	13872	14772
42211	4	ann. pay.	1630580	3946	62057	63207	109059	238269	216563	266632	721464	909116	1610883	3624	60827	62877	89914	217242	248889	284388	750519	860364	1717166	2150	55636	59083	98986	215855	259419	294077	769351	947815	1712310	2510	55701	64719	89113	212043	249991	305111	767145	945165	1620785	3619	49903	60159	84523	198204	235746	291064	725014	895771
42211	4	rec.																																									40972544	66098	620819	878800	1313063	2878780	4426092	4838774	12143646	28828898
42212	4	firms	6049	380	2921	1181	797	5279	606	93	5978	71	5970	454	2845	1147	753	5199	609	93	5901	69	5862	432	2786	1143	728	5089	605	98	5792	70	5641	425	2641	1107	715	4888	580	97	5565	76	5602	483	2671	1041	671	4866	567	102	5535	67
42212	4	estab.	8104	380	2926	1191	869	5366	792	335	6493	1611	7864	455	2849	1160	812	5276	797	307	6380	1484	7623	432	2790	1158	783	5163	765	307	6235	1388	7323	425	2646	1125	776	4972	776	281	6029	1294	6813	483	2675	1064	719	4941	717	295	5953	860
42212	4	empl.	124413	0	6150	7831	10566	24547	20103	7516	52166	72247	127087	0	5984	7588	10034	23606	20553	8501	52660	74427	129198	0	5822	7579	9712	23113	20825	9083	53021	76177	123458	0	5526	7249	9565	22340	20222	8666	51228	72230	113722	0	5518	6875	8911	21304	19166	9032	49502	64220
42212	4	ann. pay.	3680634	15464	193156	252006	373730	834356	675153	298038	1807547	1873087	3733252	22362	194553	251662	366873	835450	743729	333688	1912867	1820385	3919206	17109	197269	262141	355529	832048	771066	375153	1978267	1940939	3877471	19538	187621	249569	350508	807236	756668	355837	1919741	1957730	3504712	22857	186950	238815	329652	778274	717483	346211	1841968	1662744
42212	4	rec.																																									34522503	182626	1997919	1961487	2264463	6406495	4647244	2686589	13740328	20782175
42213	4	firms	4794	400	2125	843	618	3986	620	116	4722	72	4630	312	2048	847	607	3814	629	123	4566	64	4525	339	1933	864	577	3713	616	129	4458	67	4374	314	1864	810	576	3564	621	126	4311	63	4193	329	1812	769	518	3428	579	121	4128	65
42213	4	estab.	5505	410	2126	853	645	4034	770	248	5052	453	5289	314	2052	857	639	3862	754	266	4882	407	5193	341	1939	872	603	3755	737	313	4805	388	5089	314	1868	820	597	3599	749	321	4669	420	4871	329	1814	786	547	3476	714	302	4492	379
42213	4	empl.	70681	0	4490	5529	8355	18374	23393	12064	53831	16850	68989	0	4351	5576	8164	18091	23315	12859	54265	14724	70862	0	4129	5755	7793	17677	23158	13772	54607	16255	71412	0	4018	5365	7845	17228	23107	14080	54415	16997	66415	0	3873	5078	6991	15942	21260	13418	50620	15795
42213	4	ann. pay.	2993175	20702	177088	201345	306416	705551	903996	544405	2153952	839223	2987716	25222	184142	211955	310067	731386	918191	573204	2222781	764935	3232207	15500	181591	229161	296372	722624	948018	627954	2298596	933611	3290429	14348	171096	214806	292129	692379	955524	637258	2285161	1005268	3102208	15765	167086	210459	282021	675331	894259	642380	2211970	890238
42213	4	rec.																																									44842195	244975	2918687	3040806	3121698	9326166	7896230	6910903	24133299	20708896
42221	4	firms	6382	723	2907	1021	659	5310	706	194	6210	172	6115	671	2757	975	651	5054	701	188	5943	172	5948	627	2649	954	661	4891	699	176	5766	182	5755	588	2559	943	612	4702	699	174	5575	180	5936	750	2628	952	597	4927	651	167	5745	191
42221	4	estab.	8124	723	2910	1027	675	5335	785	349	6469	1655	7510	672	2758	981	664	5075	767	297	6139	1371	7418	628	2651	958	671	4908	774	275	5957	1461	7189	589	2559	953	620	4721	755	289	5765	1424	7243	751	2630	956	617	4954	716	273	5943	1300
42221	4	empl.	194864	0	5994	6796	8793	21583	26407	25298	73288	121576	199759	0	5655	6409	8606	20670	26034	26470	73174	126585	210418	0	5408	6341	8673	20422	26504	25533	72459	137959	234917	0	5296	6207	8077	19580	27215	26161	72956	161961	218150	0	5366	6295	7871	19532	24067	23304	66903	151247
42221	4	ann. pay.	9320121	53335	217033	243646	322343	836357	1007456	1088959	2932772	6387349	10054870	57924	218172	236311	355451	867858	1082697	1109368	3059923	6994947	11979927	138141	217170	264101	348565	967977	1134676	1237040	3339693	8640234	13695588	50176	225652	258156	364941	898925	1204193	1309523	3412641	10282947	12776342	189890	221052	280284	381168	1072394	1095193	1337255	3504842	9271500
42221	4	rec.																																									366325768	2389055	3554125	3441497	4059931	13444608	12749125	24459480	50653213	315672555
42231	4	firms	5263	700	2517	948	535	4700	406	92	5198	65	5366	675	2669	918	524	4786	420	92	5298	68	5316	641	2639	909	553	4742	424	90	5256	60	5183	605	2625	826	562	4618	415	91	5124	59	4808	648	2391	782	496	4317	360	75	4752	56
42231	4	estab.	5743	704	2520	952	554	4730	492	307	5529	214	5853	676	2673	921	539	4809	514	281	5604	249	5802	656	2642	914	569	4781	505	283	5569	233	5668	605	2628	830	579	4642	516	284	5442	226	5275	648	2392	790	514	4344	479	251	5074	201
42231	4	empl.	46315	0	5317	6202	7142	18661	13974	8385	41020	5295	46711	0	5617	5958	6898	18473	14496	7797	40766	5945	47544	0	5445	5899	7361	18705	14985	7746	41436	6108	46755	0	5484	5331	7463	18278	14473	7807	40558	6197	40493	0	5030	5095	6579	16704	12494	6221	35419	5074
42231	4	ann. pay.	1721969	34912	186617	205945	255454	682928	492772	302294	1477994	243975	1788850	44361	197213	206154	255188	702916	516890	289022	1508828	280022	1879619	28645	202527	216024	262134	709330	579310	303467	1592107	287512	1861183	24551	203198	191534	264195	683478	575239	303509	1562226	298957	1775392	44058	187894	192457	259644	684053	517644	284536	1486233	289159
42231	4	rec.																																									21896968	545247	3133344	2726545	2751792	9156928	5049030	2483382	16689340	5207628
42232	4	firms	4586	507	2196	734	494	3931	471	112	4514	72	4472	544	2112	719	463	3838	464	104	4406	66	4339	476	2078	690	469	3713	459	111	4283	56	4181	487	1988	618	470	3563	451	113	4127	54	3980	453	1950	601	425	3429	393	111	3933	47
42232	4	estab.	4899	508	2199	739	509	3955	521	178	4654	245	4769	547	2117	728	477	3869	507	159	4535	234	4628	476	2086	699	481	3742	495	167	4404	224	4465	488	1993	623	484	3588	495	162	4245	220	4273	454	1955	610	439	3458	445	160	4063	210
42232	4	empl.	61105	0	4478	4791	6630	15899	17120	11097	44116	16989	58641	0	4385	4731	6194	15310	16889	10489	42688	15953	60632	0	4333	4513	6318	15164	16762	11739	43665	16967	59912	0	4171	4077	6352	14600	16395	12048	43043	16869	59145	0	4082	3939	5740	13761	14166	12477	40404	18741
42232	4	ann. pay.	2249678	26581	148319	150444	199064	524408	565055	357571	1447034	802644	2172820	28025	155781	150922	195481	530209	575691	372138	1478038	694782	2383007	25130	160674	148814	211327	545945	634502	427857	1608304	774703	2330159	30349	154307	142280	222535	549471	624831	439875	1614177	715982	2384278	35944	140830	147536	221354	545664	640101	472109	1657874	726404
42232	4	rec.																																									32858037	447142	2460784	2045660	2313810	7267396	7047592	5247156	19562144	13295893
42233	4	firms	7883	1081	4054	1175	683	6993	681	138	7812	71	7548	1028	3872	1132	684	6716	629	141	7486	62	7462	1045	3810	1069	688	6612	658	135	7405	57	7213	915	3697	1047	672	6331	696	130	7157	56	7220	1058	3679	1002	653	6392	648	126	7166	54
42233	4	estab.	8273	1081	4060	1182	699	7022	789	176	7987	286	7912	1037	3877	1142	701	6757	716	186	7659	253	7824	1045	3820	1079	704	6648	747	185	7580	244	7583	915	3707	1054	685	6361	783	196	7340	243	7608	1058	3685	1013	681	6437	781	191	7409	199
42233	4	empl.	78130	0	8163	7677	9032	24872	24675	17899	67446	10684	77609	0	7799	7352	9047	24198	23002	18375	65575	12034	79373	0	7750	7014	9178	23942	24927	17375	66244	13129	79595	0	7547	6854	8965	23366	26108	16986	66460	13135	76252	0	7473	6507	8732	22712	24348	14678	61738	14514
42233	4	ann. pay.	2954221	50570	253160	227529	296610	827869	896508	730449	2454826	499395	2989586	48114	249692	229649	309957	837412	891714	756504	2485630	503956	3212906	50259	261210	228350	335546	875365	1008178	750798	2634341	578565	3348318	43938	256805	218366	326408	845517	1081967	740343	2667827	680491	3554955	62866	268421	233589	362296	927172	1089575	785333	2802080	752875
42233	4	rec.																																									46070771	867731	5159273	3094333	3767450	12888787	11763289	8339224	32991300	13079471
42234	4	firms	1650	202	827	262	149	1440	149	31	1620	30	1652	212	833	261	147	1453	135	36	1624	28	1642	213	810	250	164	1437	140	38	1615	27	1621	224	801	234	143	1402	155	40	1597	24	1738	239	913	251	132	1535	142	37	1714	24
42234	4	estab.	1746	202	827	264	152	1445	171	49	1665	81	1750	212	833	263	151	1459	156	56	1671	79	1773	213	810	252	169	1444	160	93	1697	76	1755	224	802	235	146	1407	173	102	1682	73	1875	239	913	258	136	1546	154	66	1766	109
42234	4	empl.	23751	0	1621	1677	1893	5191	5101	3492	13784	9967	25688	0	1613	1694	1897	5204	4850	3763	13817	11871	26592	0	1633	1628	2105	5366	5213	4407	14986	11606	26170	0	1620	1570	1842	5032	5789	4694	15515	10655	24948	0	1853	1662	1761	5276	5525	4100	14901	10047
42234	4	ann. pay.	1339772	8621	65602	59870	75532	209625	243114	196938	649677	690095	1409696	9399	67077	69369	74368	220213	254735	202645	677593	732103	1472969	13700	68141	63120	91597	236558	274791	245058	756407	716562	1498730	10807	69587	63338	84136	227868	301154	265491	794513	704217	1567086	17823	73639	74934	80913	247309	365496	274386	887191	679895
42234	4	rec.																																									21826129	267662	1433606	1362974	971732	4035974	3781895	3481203	11299072	10527057
42241	4	firms	3438	442	1396	605	375	2818	397	120	3335	103	3285	306	1403	597	388	2694	380	109	3183	102	3183	312	1351	566	389	2618	365	110	3093	90	3094	292	1318	534	393	2537	363	104	3004	90	3385	385	1452	580	410	2827	371	97	3295	90
42241	4	estab.	4300	442	1397	608	380	2827	448	196	3471	829	4163	306	1406	600	391	2703	415	163	3281	882	4036	312	1354	569	394	2629	392	174	3195	841	3993	296	1323	537	398	2554	387	155	3096	897	4334	385	1452	584	431	2852	422	178	3452	882
42241	4	empl.	169776	0	2899	4072	4955	11926	15250	18167	45343	124433	173722	0	2916	3921	5075	11912	14719	15159	41790	131932	171229	0	2819	3770	5163	11752	14460	17133	43345	127884	172432	0	2769	3603	5168	11540	14055	16285	41880	130552	172514	0	3018	3855	5510	12383	13971	15103	41457	131057
42241	4	ann. pay.	5892475	18469	78277	101217	124133	322096	467090	585836	1375022	4517453	6284408	17026	86507	106267	128567	338367	472931	523605	1334903	4949505	6480920	14841	89493	105113	143307	352754	480234	570125	1403113	5077807	7149010	20500	88456	107356	145613	361925	477151	572237	1411313	5737697	6850228	22291	95391	123643	161909	403234	497332	570659	1471225	5379003
42241	4	rec.																																									173346910	571625	2397683	2733091	4239451	9941850	11268181	16901821	38111852	135235058
42242	4	firms	3124	210	1199	581	416	2406	489	141	3036	88	3035	236	1146	529	419	2330	483	127	2940	95	2946	234	1071	504	427	2236	476	143	2855	91	2834	231	1029	469	410	2139	473	137	2749	85	2704	254	992	451	359	2056	451	124	2631	73
42242	4	estab.	3683	210	1200	592	437	2439	564	221	3224	459	3588	240	1150	536	446	2372	570	190	3132	456	3509	234	1073	515	451	2273	542	238	3053	456	3390	231	1033	480	436	2180	539	225	2944	446	3232	257	993	461	380	2091	517	218	2826	406
42242	4	empl.	85495	0	2611	3799	5606	12016	18779	19075	49870	35625	82915	0	2484	3514	5687	11685	19168	17535	48388	34527	85680	0	2302	3321	5863	11486	18217	19945	49648	36032	87251	0	2218	3082	5573	10873	18150	18675	47698	39553	81855	0	2136	3002	4872	10010	17947	16713	44670	37185
42242	4	ann. pay.	3015156	11905	83627	132563	190729	418824	586349	659584	1664757	1350399	2989142	13909	84757	133557	203397	435620	621903	608067	1665590	1323552	3224290	14905	77970	130708	202127	425710	646128	715826	1787664	1436626	3328726	9601	84676	117179	213727	425183	647414	687410	1760007	1568719	3251504	10807	85252	118584	180254	394897	673800	634310	1703007	1548497
42242	4	rec.																																									67080683	292969	2437428	3256349	4703460	10690206	15263034	11321397	37274637	29806046
42243	4	firms	2191	195	952	375	267	1789	276	68	2133	58	2157	197	913	374	261	1745	293	68	2106	51	2137	191	888	388	269	1736	274	73	2083	54	2109	204	876	371	259	1710	269	75	2054	55	1990	197	852	317	248	1614	245	76	1935	55
42243	4	estab.	2795	195	954	376	272	1797	327	200	2324	471	2769	197	915	375	265	1752	343	206	2301	468	2741	191	890	389	273	1743	312	216	2271	470	2741	204	877	374	265	1720	303	200	2223	518	2565	198	852	318	256	1624	296	189	2109	456
42243	4	empl.	48096	0	1973	2515	3508	7996	10851	7788	26635	21461	48499	0	1874	2497	3394	7765	11511	7687	26963	21536	49578	0	1850	2523	3588	7961	10889	8515	27365	22213	50239	0	1820	2438	3429	7687	10719	9021	27427	22812	47529	0	1792	2118	3358	7268	9589	8579	25436	22093
42243	4	ann. pay.	1764862	6232	58786	76433	110264	251715	356333	285646	893694	871168	1832198	8776	54115	83534	108731	255156	379417	286542	921115	911083	1890884	6314	56375	81683	118506	262878	380036	318456	961370	929514	2001136	14909	61168	83152	120974	280203	379904	345053	1005160	995976	1951801	8747	66043	72374	119274	266438	352965	340218	959621	992180
42243	4	rec.																																									32081043	154745	1580511	1734377	2092201	5561834	4737078	6130933	16429845	15651198
42244	4	firms	942	48	327	165	164	704	178	43	925	17	904	56	321	156	146	679	168	38	885	19	867	57	311	139	144	651	164	39	854	13	881	57	318	147	140	662	169	37	868	13	830	50	301	137	135	623	159	35	817	13
42244	4	estab.	1016	48	327	165	168	708	204	59	971	45	975	56	322	156	152	686	186	58	930	45	937	58	311	139	151	659	180	60	899	38	960	57	318	148	150	673	185	57	915	45	912	50	302	137	148	637	173	57	867	45
42244	4	empl.	18661	0	724	1078	2213	4015	7019	6048	17082	1579	18352	0	721	1037	2029	3787	6827	4917	15531	2821	17612	0	700	904	1964	3568	6759	5782	16109	1503	17975	0	684	975	1917	3576	7058	5139	15773	2202	17306	0	661	884	1825	3370	6574	4792	14736	2570
42244	4	ann. pay.	533414	1786	23412	30376	66637	122211	191118	169982	483311	50103	541960	3623	26538	28619	72379	131159	195559	137546	464264	77696	537811	2438	24687	32001	69978	129104	200003	162357	491464	46347	577276	2102	25172	31282	79251	137807	219824	155451	513082	64194	574472	1973	24122	32145	77873	136113	224656	137631	498400	76072
42244	4	rec.																																									11119192	51173	943251	982996	1801207	3778627	4294512	1999753	10072892	1046300
42245	4	firms	2134	205	981	343	288	1817	236	44	2097	37	2104	209	963	334	279	1785	241	41	2067	37	2027	192	921	333	259	1705	236	46	1987	40	2009	222	877	355	231	1685	243	42	1970	39	2047	236	958	312	231	1737	224	49	2010	37
42245	4	estab.	2500	205	984	348	301	1838	275	79	2192	308	2473	209	965	335	300	1809	277	78	2164	309	2397	192	923	335	279	1729	269	86	2084	313	2381	223	878	357	244	1702	279	94	2075	306	2369	236	959	317	246	1758	267	96	2121	248
42245	4	empl.	54639	0	1950	2290	3830	8070	8325	4486	20881	33758	54870	0	1919	2189	3672	7780	8541	4501	20822	34048	51332	0	1818	2230	3449	7497	8689	5065	21251	30081	46929	0	1712	2354	3076	7142	9081	4835	21058	25871	63680	0	1860	2064	3110	7034	8213	5282	20529	43151
42245	4	ann. pay.	1464086	7538	47198	63218	99144	217098	234437	122767	574302	889784	1540093	15838	49150	60162	98852	224002	246271	123456	593729	946364	1735398	5211	50581	63229	94417	213438	251641	130615	595694	1139704	1680843	7593	48240	66824	89554	212211	279444	130625	622280	1058563	2302495	11686	54328	61382	92439	219835	261291	172384	653510	1648985
42245	4	rec.																																									54284362	191008	1057633	1369579	1339428	3957648	3803461	1727891	9489000	44795362
42246	4	firms	2978	454	1301	506	351	2612	310	43	2965	13	2943	433	1275	507	348	2563	330	38	2931	12	2897	404	1269	486	360	2519	318	49	2886	11	2879	410	1244	493	360	2507	314	46	2867	12	2775	454	1189	452	323	2418	303	42	2763	12
42246	4	estab.	3072	454	1303	509	361	2627	345	66	3038	34	3048	433	1275	512	358	2578	363	68	3009	39	2992	404	1269	491	364	2528	354	73	2955	37	2980	410	1246	497	362	2515	354	73	2942	38	2883	454	1190	458	332	2434	339	69	2842	41
42246	4	empl.	27239	0	2835	3282	4672	10789	11419	3851	26059	1180	27706	0	2706	3295	4678	10679	12228	3604	26511	1195	28710	0	2727	3187	4817	10731	11613	5023	27367	1343	28405	0	2638	3214	4815	10667	11325	5066	27058	1347	26719	0	2554	2968	4254	9776	10964	4462	25202	1517
42246	4	ann. pay.	736211	15756	81220	84689	120193	301858	291993	102674	696525	39686	797304	14009	79883	89594	132114	315600	334555	104721	754876	42428	854649	14977	78002	93981	140483	327443	346274	136364	810081	44568	882232	16426	78710	99085	136272	330493	353489	149217	833199	49033	895718	17940	79411	100329	138904	336584	351870	146736	835190	60528
42246	4	rec.																																									15760715	411941	2086497	2297036	2678700	7474174	5438135	1642247	14554556	1206159
42247	4	firms	3315	213	1366	640	490	2709	482	76	3267	48	3262	243	1304	607	493	2647	485	78	3210	52	3185	229	1283	575	488	2575	482	79	3136	49	3133	249	1257	562	472	2540	475	79	3094	39	3004	263	1204	535	423	2425	459	79	2963	41
42247	4	estab.	3483	213	1367	646	497	2723	512	94	3329	154	3423	243	1305	613	500	2661	508	102	3271	152	3353	232	1283	579	496	2590	507	100	3197	156	3305	249	1260	566	479	2554	500	99	3153	152	3182	263	1208	539	435	2445	485	106	3036	146
42247	4	empl.	51002	0	2953	4221	6733	13907	18428	9319	41654	9348	57172	0	2823	4032	6721	13576	18295	10541	42412	14760	57312	0	2763	3808	6732	13303	18586	10798	42687	14625	53407	0	2631	3705	6524	12860	18490	11347	42697	10710	51207	0	2634	3531	5760	11925	17746	11533	41204	10003
42247	4	ann. pay.	1601235	7919	82430	118706	181506	390561	549475	315185	1255221	346014	1850329	12845	78546	118219	193403	403013	561714	360621	1325348	524981	1885818	15318	82412	112694	191833	402257	580294	385201	1367752	518066	1811481	15339	84287	112491	204156	416273	603113	411381	1430767	380714	1833556	12244	83256	109552	183782	388834	598435	434308	1421577	411979
42247	4	rec.																																									39597608	242568	2475065	2582220	3576895	8876748	9912757	7207434	25996939	13600669
42248	4	firms	5546	428	2069	1005	831	4333	987	184	5504	42	5403	470	1983	965	809	4227	941	191	5359	44	5355	459	1995	947	769	4170	943	194	5307	48	5294	412	1974	944	743	4073	965	215	5253	41	5165	522	1838	900	730	3990	923	208	5121	44
42248	4	estab.	5984	428	2078	1022	858	4386	1061	295	5742	242	5880	470	1990	984	836	4280	1016	333	5629	251	5829	461	2002	965	799	4227	1009	286	5522	307	5753	412	1981	962	768	4123	1035	309	5467	286	5659	522	1844	921	752	4039	1012	350	5401	258
42248	4	empl.	105047	0	4645	6613	11263	22521	40216	28632	91369	13678	106582	0	4346	6442	10938	21726	38785	31686	92197	14385	108650	0	4441	6268	10375	21084	37766	31359	90209	18441	113100	0	4339	6261	10134	20734	38512	36376	95622	17478	111470	0	3912	6008	9939	19859	37001	33220	90080	21390
42248	4	ann. pay.	3190105	26237	166613	236787	351628	781265	1208051	756958	2746274	443831	3285058	24012	158836	230356	364249	777453	1166625	847681	2791759	493299	3539862	30512	163800	232324	365883	792519	1190535	895412	2878466	661396	3753290	28490	164378	246283	375328	814479	1225864	1023357	3063700	689590	3771433	31013	156147	241414	370011	798585	1243046	1049951	3091582	679851
42248	4	rec.																																									54232789	520018	3694902	5112235	6608941	15936096	16639404	12286329	44861829	9370960
42249	4	firms	11436	1257	5216	1827	1281	9581	1307	313	11201	235	11023	1042	5105	1769	1267	9183	1308	292	10783	240	10718	1009	4887	1739	1245	8880	1327	279	10486	232	10415	1069	4673	1683	1218	8643	1273	285	10201	214	10289	1110	4718	1578	1181	8587	1195	295	10077	212
42249	4	estab.	14615	1257	5220	1844	1323	9644	1500	629	11773	2842	14249	1047	5109	1785	1309	9250	1484	550	11284	2965	13927	1014	4894	1755	1280	8943	1490	548	10981	2946	13703	1069	4683	1695	1251	8698	1431	556	10685	3018	13414	1110	4718	1593	1213	8634	1382	609	10625	2789
42249	4	empl.	295821	0	10343	12041	17458	39842	46992	35448	122282	173539	306357	0	10183	11638	17261	39082	47344	32209	118635	187722	304421	0	9864	11471	16747	38082	48129	33067	119278	185143	301333	0	9449	11160	16521	37130	46071	34088	117289	184044	289147	0	9479	10403	15989	35871	44053	35394	115318	173829
42249	4	ann. pay.	10127934	44795	287955	337076	494292	1164118	1399537	1145741	3709396	6418538	10950311	65634	300947	344465	500230	1211276	1447897	1068810	3727983	7222328	11418746	46462	298503	353074	509920	1207959	1535302	1170779	3914040	7504706	11771579	44509	302316	360937	522162	1229924	1509008	1233848	3972780	7798799	11241990	47169	299403	346468	554366	1247406	1507009	1255738	4010153	7231837
42249	4	rec.																																									207550074	661939	6468504	6049168	9330772	22510383	19092833	17431036	59034252	148515822
42251	4	firms	3636	145	1083	949	699	2876	611	104	3591	45	3552	185	1061	895	652	2793	608	109	3510	42	3474	187	1038	882	629	2736	574	120	3430	44	3350	168	1026	831	603	2628	562	122	3312	38	3130	150	993	742	569	2454	523	116	3093	37
42251	4	estab.	6305	145	1092	1012	922	3171	1514	537	5222	1083	6197	189	1070	953	878	3090	1476	572	5138	1059	6077	188	1050	939	837	3014	1378	642	5034	1043	5890	182	1040	892	809	2923	1354	671	4948	942	5653	161	1000	796	753	2710	1396	682	4788	865
42251	4	empl.	57139	0	2664	6253	9045	17962	18752	7537	44251	12888	56523	0	2598	5907	8420	16925	19233	8279	44437	12086	56407	0	2520	5806	8204	16530	18560	9009	44099	12308	54945	0	2530	5520	7766	15816	18003	9766	43585	11360	51249	0	2393	4920	7518	14831	16947	8898	40676	10573
42251	4	ann. pay.	1715682	6527	67716	163206	241484	478933	531664	245195	1255792	459890	1750490	12026	66543	158874	227535	464978	567053	277302	1309333	441157	1783106	10430	67164	153341	232835	463770	551908	305148	1320826	462280	1812100	7831	69479	155380	235684	468374	561219	333996	1363589	448511	1725744	5579	68756	144473	228995	447803	551105	329342	1328250	397494
42251	4	rec.																																									82846759	247743	3228240	4689361	8150931	16316275	17179419	15553668	49049362	33797397
42252	4	firms	1694	113	590	242	259	1204	468	13	1685	9	1633	129	581	228	230	1168	441	15	1624	9	1604	134	578	226	209	1147	433	15	1595	9	1584	123	568	227	221	1139	421	14	1574	10	1479	125	499	192	220	1036	420	14	1470	9
42252	4	estab.	2046	113	592	243	268	1216	501	139	1856	190	1960	129	582	232	234	1177	474	140	1791	169	1905	134	578	230	215	1157	468	128	1753	152	1879	123	568	231	229	1151	445	82	1678	201	1751	125	499	198	222	1044	442	79	1565	186
42252	4	empl.	25116	0	1237	1586	3635	6458	16334	1633	24425	691	23453	0	1232	1492	3204	5928	15471	1570	22969	484	23170	0	1202	1473	2960	5635	15174	1879	22688	482	22736	0	1203	1518	3150	5871	14555	1282	21708	1028	21976	0	1065	1284	3113	5462	14221	1424	21107	869
42252	4	ann. pay.	255721	3285	23501	24419	32236	83441	134311	20476	238228	17493	254584	3531	25607	23979	32435	85552	135454	21359	242365	12219	280843	4108	28387	27699	31878	92072	139031	36249	267352	13491	277999	8379	30320	28037	34816	101552	135831	21012	258395	19604	252169	3904	23345	22714	31282	81245	134769	16890	232904	19265
42252	4	rec.																																									20436855	124753	2191425	1556966	2512959	6386103	10889762	1204726	18480591	1956264
42259	4	firms	1539	215	774	249	134	1372	123	18	1513	26	1452	209	701	253	135	1298	109	21	1428	24	1416	203	680	238	142	1263	111	22	1396	20	1358	184	668	233	129	1214	107	18	1339	19	1242	162	618	204	115	1099	104	22	1225	17
42259	4	estab.	1693	215	777	257	147	1396	160	43	1599	94	1603	209	704	261	148	1322	135	56	1513	90	1564	203	690	246	148	1287	140	57	1484	80	1517	184	673	246	135	1238	140	64	1442	75	1365	162	621	209	120	1112	137	61	1310	55
42259	4	empl.	13139	0	1678	1617	1687	4982	4167	1187	10336	2803	12243	0	1468	1641	1730	4839	3681	1117	9637	2606	12410	0	1421	1550	1773	4744	3728	1270	9742	2668	12866	0	1402	1498	1671	4571	3528	1829	9928	2938	10779	0	1316	1322	1541	4179	3494	1553	9226	1553
42259	4	ann. pay.	405726	9792	55064	46924	40270	152050	104876	48336	305262	100464	390851	8395	50091	47203	37883	143572	91704	50805	286081	104770	419444	7831	51200	45398	44254	148683	89546	55299	293528	125916	463805	6813	50112	47655	44157	148737	96851	73267	318855	144950	384089	5464	48629	40430	42108	136631	107107	70085	313823	70266
42259	4	rec.																																									14557898	201618	2242746	1235983	1149006	4829353	2983783	3095128	10908264	3649634
42261	4	firms	3351	251	1572	550	397	2770	400	94	3264	87	3286	247	1554	488	414	2703	399	92	3194	92	3209	283	1459	484	397	2623	393	106	3122	87	3108	263	1414	484	384	2545	378	100	3023	85	2997	286	1359	473	356	2474	352	92	2918	79
42261	4	estab.	4258	251	1576	563	446	2836	576	308	3720	538	4158	247	1559	499	464	2769	564	289	3622	536	4038	283	1467	494	444	2688	543	304	3535	503	3908	264	1421	493	424	2602	518	308	3428	480	3717	286	1362	483	393	2524	518	281	3323	394
42261	4	empl.	43497	0	3235	3591	5484	12310	14208	7613	34131	9366	41990	0	3212	3170	5670	12052	14292	6977	33321	8669	44576	0	3039	3141	5429	11609	13795	9267	34671	9905	43116	0	2930	3231	5222	11383	13729	8133	33245	9871	40079	0	2855	3120	4820	10795	12566	6993	30354	9725
42261	4	ann. pay.	1832737	13096	162985	157704	234732	568517	542280	275767	1386564	446173	1838062	12926	169353	139775	250687	572741	570416	274264	1417421	420641	2054561	16242	167519	148854	241578	574193	600024	349345	1523562	530999	1951502	17817	154687	154290	227477	554271	558088	311640	1423999	527503	1941899	14459	146547	153582	219283	533871	565302	309250	1408423	533476
42261	4	rec.																																									32648096	243856	2530203	2495455	2319258	7588772	5785189	4090777	17464738	15183358
42269	4	firms	8304	717	3995	1457	956	7125	791	174	8090	214	8062	648	3887	1417	935	6887	792	177	7856	206	7845	628	3683	1410	937	6658	808	178	7644	201	7618	609	3557	1355	899	6420	822	186	7428	190	7622	687	3571	1333	874	6465	803	186	7454	168
42269	4	estab.	11532	717	4005	1484	1021	7227	1146	557	8930	2602	11252	653	3903	1446	987	6989	1133	564	8686	2566	11255	628	3699	1436	993	6756	1138	596	8490	2765	11911	610	3572	1376	949	6507	1172	615	8294	3617	11853	687	3585	1360	942	6574	1231	593	8398	3455
42269	4	empl.	120930	0	8229	9505	12612	30346	25038	12366	67750	53180	117834	0	8067	9260	12353	29680	25525	12956	68161	49673	121824	0	7755	9205	12392	29352	26433	13652	69437	52387	121143	0	7418	8779	11882	28079	27115	13782	68976	52167	116749	0	7414	8740	11493	27647	26224	13293	67164	49585
42269	4	ann. pay.	5727847	35028	326408	384359	537066	1282861	1133657	532663	2949181	2778666	5859859	43104	334681	388437	549379	1315601	1184935	602788	3103324	2756535	6196654	31211	327159	399814	571086	1329270	1239004	671996	3240270	2956384	6300357	32794	324038	382422	553443	1292697	1333686	676095	3302478	2997879	6083441	44015	311839	397244	554820	1307918	1300706	649645	3258269	2825172
42269	4	rec.																																									85335297	555021	4312593	4076311	4820371	13764296	11114298	8220317	33098911	52236386
42271	4	firms	5124	85	1095	1079	1016	3275	1368	343	4986	138	4990	144	1078	1005	956	3183	1327	350	4860	130	4830	128	1065	961	951	3105	1243	355	4703	127	4646	128	1011	930	905	2974	1207	349	4530	116	4332	110	952	849	834	2745	1136	339	4220	112
42271	4	estab.	7503	85	1101	1115	1138	3439	1818	690	5947	1556	7500	146	1086	1042	1062	3336	1763	723	5822	1678	7203	128	1072	992	1062	3254	1649	735	5638	1565	7020	133	1019	964	1021	3137	1604	759	5500	1520	6532	115	958	875	951	2899	1547	709	5155	1377
42271	4	empl.	99466	0	2657	7095	12575	22327	35440	19022	76789	22677	99286	0	2662	6683	11698	21043	34574	19770	75387	23899	97236	0	2576	6225	11762	20563	32795	20066	73424	23812	94034	0	2475	6064	11194	19733	32489	19670	71892	22142	87956	0	2367	5654	10321	18342	29416	18734	66492	21464
42271	4	ann. pay.	3305423	4372	67465	194573	360756	627166	1040305	576567	2244038	1061385	3448623	9442	70744	190527	343564	614277	1059083	592848	2266208	1182415	3600020	7266	72914	183797	362169	626146	1051141	628329	2305616	1294404	3731903	6826	73763	184533	365844	630966	1112860	664546	2408372	1323531	3485137	5281	69265	173312	331836	579694	1072800	636237	2288731	1196406
42271	4	rec.																																									214437460	147539	2063044	4951394	8290039	15452016	36004164	17830297	69286477	145150983
42272	4	firms	2927	249	1265	473	310	2297	375	153	2825	102	2863	207	1202	517	321	2247	360	158	2765	98	2775	184	1158	508	330	2180	348	152	2680	95	2684	202	1108	486	307	2103	344	147	2594	90	2720	226	1109	481	330	2146	344	140	2630	90
42272	4	estab.	3748	249	1269	480	321	2319	453	217	2989	759	3660	207	1205	523	333	2268	426	230	2924	736	3459	186	1161	517	340	2204	406	233	2843	616	3355	202	1110	492	321	2125	410	239	2774	581	3274	226	1111	490	353	2180	417	242	2839	435
42272	4	empl.	34598	0	2745	3021	3832	9598	8750	5308	23656	10942	34766	0	2548	3311	3942	9801	8771	6085	24657	10109	34754	0	2444	3219	4082	9745	8967	6120	24832	9922	34866	0	2346	3051	3874	9271	9001	5812	24084	10782	34028	0	2351	3059	4074	9484	8875	6673	25032	8996
42272	4	ann. pay.	1452080	14985	111034	101932	138057	366008	280869	198014	844891	607189	1469482	10498	90721	111000	160808	373027	298163	223640	894830	574652	1622839	9234	89476	121653	163163	383526	345127	220664	949317	673522	1847251	15478	97898	119798	185592	418766	391307	214079	1024152	823099	1728871	14094	97905	114524	185722	412245	431811	228886	1072942	655929
42272	4	rec.																																									103062107	502601	5027712	3747589	8935473	18213375	26793752	6758139	51765266	51296841
42281	4	firms	2504	101	487	306	434	1328	915	237	2480	24	2426	121	462	282	420	1285	869	240	2394	32	2355	133	473	240	367	1213	849	263	2325	30	2287	129	473	234	342	1178	816	262	2256	31	2142	109	417	261	274	1061	788	259	2108	34
42281	4	estab.	2958	102	487	319	450	1358	1069	430	2857	101	2876	127	464	285	435	1311	1019	432	2762	114	2788	133	475	243	381	1232	995	459	2686	102	2713	133	476	237	356	1202	949	456	2607	106	2545	109	417	266	285	1077	896	464	2437	108
42281	4	empl.	95440	0	1101	2098	6082	9281	40337	37969	87587	7853	96252	0	1022	1903	5867	8792	38555	38695	86042	10210	97379	0	1056	1633	5125	7814	37555	41691	87060	10319	97580	0	1078	1608	4796	7482	36657	42804	86943	10637	99754	0	927	1758	3888	6573	35699	43429	85701	14053
42281	4	ann. pay.	3449998	13173	23643	54235	192360	283411	1421042	1442591	3147044	302954	3574807	19799	25831	50588	191028	287246	1405461	1473320	3166027	408780	3741072	15220	27988	45019	163936	252163	1399580	1653833	3305576	435496	3867074	41355	31332	53581	158904	285172	1390589	1720243	3396004	471070	3981868	9458	29237	56756	133725	229176	1404562	1771262	3405000	576868
42281	4	rec.																																									43239043	134608	405306	641194	1319067	2500175	13436928	19228064	35165167	8073876
42282	4	firms	1363	151	476	209	169	1005	235	82	1322	41	1393	145	514	211	165	1035	236	84	1355	38	1407	149	500	225	158	1032	250	87	1369	38	1428	160	510	208	176	1054	245	88	1387	41	1440	167	534	222	168	1091	228	79	1398	42
42282	4	estab.	1837	151	477	210	186	1024	286	173	1483	354	1844	145	517	212	176	1050	267	183	1500	344	1842	150	501	225	168	1044	287	177	1508	334	1853	160	512	209	179	1060	287	162	1509	344	1832	167	537	224	172	1100	257	169	1526	306
42282	4	empl.	55568	0	985	1408	2346	4739	9506	13506	27751	27817	56717	0	1075	1427	2247	4749	9565	14807	29121	27596	59880	0	1033	1520	2117	4670	10280	15492	30442	29438	63050	0	1098	1389	2329	4816	10175	15010	30001	33049	63485	0	1156	1454	2306	4916	9455	14403	28774	34711
42282	4	ann. pay.	2490136	5808	35948	55525	92467	189748	388761	612218	1190727	1299409	2755074	12400	43564	54417	98983	209364	403971	726225	1339560	1415514	3020981	17305	40551	59660	96782	214298	463909	752904	1431111	1589870	3263313	11162	44158	55447	109764	220531	453448	774048	1448027	1815286	3366457	34289	44066	63089	112708	254152	460577	783917	1498646	1867811
42282	4	rec.																																									44749627	500509	653274	809018	1642946	3605747	4992583	11019403	19617733	25131894
42291	4	firms	5176	512	2317	948	573	4350	576	155	5081	95	5018	448	2216	946	577	4187	583	161	4931	87	4933	426	2145	939	594	4104	570	175	4849	84	4800	400	2037	938	617	3992	551	179	4722	78	4825	421	2071	935	586	4013	569	167	4749	76
42291	4	estab.	7427	512	2323	957	633	4425	1007	494	5926	1501	7313	451	2221	957	633	4262	962	487	5711	1602	7158	432	2151	948	639	4170	922	520	5612	1546	6885	402	2043	949	660	4054	877	584	5515	1370	7052	429	2078	948	653	4108	958	606	5672	1380
42291	4	empl.	76223	0	4934	6156	7424	18514	17239	11604	47357	28866	75012	0	4669	6152	7381	18202	17600	11737	47539	27473	75258	0	4520	6146	7646	18312	17462	12239	48013	27245	74868	0	4339	6139	7903	18381	17357	12777	48515	26353	72542	0	4525	6157	7617	18299	17456	11676	47431	25111
42291	4	ann. pay.	2595981	22525	121722	158426	213277	515950	514866	410117	1440933	1155048	2611494	16329	123130	163899	214680	518038	554666	415147	1487851	1123643	2732370	17287	120354	168787	235374	541802	567859	438314	1547975	1184395	2798245	17486	119822	167308	255020	559636	570465	475132	1605233	1193012	2711113	20605	117915	180956	246631	566107	614999	446706	1627812	1083301
42291	4	rec.																																									46870897	360386	2342571	2558263	3065849	8327069	7967961	7340453	23635483	23235414
42292	4	firms	3237	274	1509	501	298	2582	380	169	3131	106	3124	266	1458	481	292	2497	358	155	3010	114	3007	262	1384	469	288	2403	350	145	2898	109	2885	272	1311	458	278	2319	325	137	2781	104	2854	283	1353	405	275	2316	322	123	2761	93
42292	4	estab.	4202	274	1509	501	307	2591	469	392	3452	750	4105	266	1460	482	304	2512	429	341	3282	823	3998	262	1385	474	298	2419	409	340	3168	830	3883	272	1311	461	287	2331	379	300	3010	873	3776	283	1353	406	288	2330	390	287	3007	769
42292	4	empl.	88779	0	3103	3270	3903	10276	13574	15731	39581	49198	92201	0	2989	3120	3826	9935	13401	14674	38010	54191	96303	0	2856	3059	3711	9626	13092	14514	37232	59071	95795	0	2730	3002	3639	9371	12107	14385	35863	59932	80385	0	2811	2675	3586	9072	11918	12480	33470	46915
42292	4	ann. pay.	2835261	11762	94863	100341	137224	344190	399888	426469	1170547	1664714	3287832	11367	96938	98636	139704	346645	411241	406823	1164709	2123123	3624914	15828	98305	101093	136073	351299	427673	470314	1249286	2375628	3428154	12381	93908	107599	137573	351461	382281	443078	1176820	2251334	2780791	11395	89738	104820	128009	333962	382799	389936	1106697	1674094
42292	4	rec.																																									35146741	105178	957562	776670	875372	2714782	3284463	3708980	9708225	25438516
42293	4	firms	3538	394	1417	706	473	2990	454	72	3516	22	3630	429	1435	693	531	3088	447	70	3605	25	3712	448	1451	727	522	3148	475	63	3686	26	4181	468	1613	787	626	3494	562	100	4156	25	4309	478	1753	805	615	3651	544	91	4286	23
42293	4	estab.	3938	401	1423	713	488	3025	577	255	3857	81	4034	429	1440	697	556	3122	553	257	3932	102	4104	454	1455	734	540	3183	579	253	4015	89	4598	468	1617	797	652	3534	676	324	4534	64	4751	478	1753	819	641	3691	698	286	4675	76
42293	4	empl.	46748	0	3029	4615	6404	14048	16869	10755	41672	5076	48621	0	3075	4507	7104	14686	16836	10225	41747	6874	49657	0	3080	4770	7119	14969	18101	10123	43193	6464	60890	0	3452	5150	8342	16944	20640	15247	52831	8059	59335	0	3788	5408	8232	17428	21345	13251	52024	7311
42293	4	ann. pay.	1126205	16180	67735	103834	148741	336490	409416	260159	1006065	120140	1227443	12572	69519	106511	170112	358714	423524	272590	1054828	172615	1333397	27805	78166	115419	172901	394291	476925	290544	1161760	171637	1607701	23184	89020	127712	201515	441431	548401	388696	1378528	229173	1632166	16859	95669	133713	208380	454621	577484	369680	1401785	230381
42293	4	rec.																																									10761904	169103	972236	1158298	1353969	3653606	3571532	2242515	9467653	1294251
42294	4	firms	1343	107	389	227	215	938	300	70	1308	35	1313	120	361	226	206	913	297	71	1281	32	1300	116	380	216	204	916	281	72	1269	31	1277	124	374	212	193	903	270	69	1242	35	1354	150	426	218	190	984	268	67	1319	35
42294	4	estab.	1573	107	389	230	220	946	339	93	1378	195	1548	120	361	230	208	919	334	98	1351	197	1539	116	380	220	209	925	315	99	1339	200	1520	124	374	216	197	911	307	92	1310	210	1597	150	426	228	199	1003	296	94	1393	204
42294	4	empl.	55531	0	860	1531	3007	5398	11731	10852	27981	27550	56328	0	808	1534	2838	5180	11818	11635	28633	27695	57802	0	831	1445	2788	5064	11294	12059	28417	29385	57261	0	782	1406	2640	4828	10899	11569	27296	29965	55571	0	914	1419	2525	4858	10741	11300	26899	28672
42294	4	ann. pay.	1656342	5202	21774	37431	78635	143042	304337	324254	771633	884709	1763990	4698	22067	38886	77097	142748	334136	358594	835478	928512	1898880	4558	23439	38867	79812	146676	329098	372456	848230	1050650	1951011	3434	23449	38922	78483	144288	331241	375769	851298	1099713	2072610	6088	28098	41106	75347	150639	332342	493939	976920	1095690
42294	4	rec.																																									83827872	256760	886747	1509700	2549384	5202591	10389891	16345660	31938142	51889730
42295	4	firms	1527	139	564	335	225	1263	184	47	1494	33	1497	123	562	330	206	1221	195	53	1469	28	1477	117	556	314	214	1201	198	47	1446	31	1420	103	532	314	209	1158	191	41	1390	30	1457	131	571	303	195	1200	193	38	1431	26
42295	4	estab.	2219	139	568	340	272	1319	328	188	1835	384	2186	123	568	334	248	1273	335	206	1814	372	2179	117	563	316	251	1247	342	205	1794	385	2093	106	535	320	242	1203	330	199	1732	361	2110	132	574	311	235	1252	340	185	1777	333
42295	4	empl.	20466	0	1218	2214	2946	6378	4976	3067	14421	6045	20470	0	1208	2177	2692	6077	5410	3436	14923	5547	20619	0	1220	2052	2817	6089	5639	3454	15182	5437	19970	0	1157	2056	2784	5997	5616	3064	14677	5293	20224	0	1236	1996	2618	5850	5855	2537	14242	5982
42295	4	ann. pay.	749368	7084	38228	67106	99205	211623	170173	108253	490049	259319	758519	6786	41216	66197	89768	203967	190583	127275	521825	236694	810233	6029	39043	63948	98494	207514	208118	133211	548843	261390	798344	4549	38061	68670	95954	207234	208483	122848	538565	259779	824718	4178	43071	64779	96420	208448	225721	111849	546018	278700
42295	4	rec.																																									9335797	35412	506738	682717	755443	1980310	1726110	1048742	4755162	4580635
42299	4	firms	15243	2863	8268	2038	1037	14206	766	157	15129	114	15674	2773	8633	2150	1039	14595	811	161	15567	107	16103	2768	8763	2259	1165	14955	856	181	15992	111	15788	2485	8693	2274	1193	14645	864	174	15683	105	17259	2921	9575	2365	1211	16072	925	156	17153	106
42299	4	estab.	15544	2866	8273	2053	1051	14243	858	262	15363	181	16011	2773	8640	2164	1056	14633	913	275	15821	190	16458	2770	8769	2277	1183	14999	934	324	16257	201	16168	2486	8702	2291	1206	14685	958	329	15972	196	17639	2921	9582	2381	1233	16117	1036	246	17399	240
42299	4	empl.	98420	0	16118	13227	13528	42873	25692	15038	83603	14817	99242	0	16687	13957	13344	43988	27724	15635	87347	11895	109519	0	17175	14641	15102	46918	29793	19500	96211	13308	111175	0	16946	14662	15461	47069	29588	19714	96371	14804	113251	0	18807	15221	15797	49825	31781	15653	97259	15992
42299	4	ann. pay.	3210325	92369	449682	355000	381443	1278494	770920	539100	2588514	621811	3404514	105840	487281	398872	391427	1383420	877219	581629	2842268	562246	3885043	112533	520345	436090	460159	1529127	998002	723581	3250710	634333	4034449	107458	517455	454427	475810	1555150	1022761	748142	3326053	708396	4201325	103123	583795	492188	531287	1710393	1154856	651579	3516828	684497
42299	4	rec.																																									66256576	1189829	8992299	6314632	5608192	22104952	10602571	17915068	50622591	15633985
44111	4	firms	23762	1187	2714	1777	3442	9120	12523	2010	23653	109	23415	1220	2769	1755	3239	8983	12222	2102	23307	108	23412	1299	2897	1677	3125	8998	12023	2280	23301	111	23576	1345	3151	1715	3097	9308	11868	2293	23469	107	22478	1171	2746	1501	2883	8301	11618	2433	22352	126
44111	4	estab.	26219	1191	2716	1779	3463	9149	13075	2961	25185	1034	26117	1236	2773	1759	3264	9032	12751	3089	24872	1245	26225	1304	2902	1682	3140	9028	12519	3266	24813	1412	26444	1350	3157	1721	3110	9338	12346	3313	24997	1447	25625	1174	2750	1509	2906	8339	12224	3521	24084	1541
44111	4	empl.	1049621	0	5848	12265	49818	67931	574603	314265	956799	92822	1070428	0	5983	12115	46739	64837	566664	327879	959380	111048	1111848	0	6204	11405	45150	62759	563812	357708	984279	127569	1112471	0	6751	11720	44422	62893	554443	360785	978121	134350	1138977	0	5940	10339	41813	58092	548959	387150	994201	144776
44111	4	ann. pay.	38856502	268043	148907	312350	1342197	2071497	20652681	12403489	35127667	3728835	42321667	351857	163674	322111	1364039	2201681	21484382	13868481	37554544	4767123	44768288	340847	168093	294536	1299461	2102937	21655930	15382612	39141479	5626809	46915520	370787	206644	325607	1353289	2256327	22461345	16432840	41150512	5765008	47866732	357917	183973	307278	1292144	2141312	22287787	17276598	41705697	6161035
44111	4	rec.																																									638732031	6702896	2907504	5042380	20106899	34759679	298277650	216261817	549299146	89432885
44112	4	firms	23079	2885	14198	3838	1378	22299	664	94	23057	22	23365	3259	14046	3839	1417	22561	672	110	23343	22	24014	3199	14240	4084	1594	23117	759	115	23991	23	24570	3317	14546	4141	1610	23614	810	121	24545	25	25640	3386	15298	4200	1756	24640	842	130	25612	28
44112	4	estab.	23674	2888	14208	3877	1477	22450	863	201	23514	160	23998	3269	14062	3885	1501	22717	845	246	23808	190	24653	3203	14260	4127	1690	23280	910	231	24421	232	25188	3322	14563	4185	1696	23766	964	228	24958	230	26424	3386	15312	4280	1876	24854	1086	241	26181	243
44112	4	empl.	101776	0	29201	24276	17481	70958	17776	5062	93796	7980	104753	0	29033	24501	17975	71509	18021	5703	95233	9520	110256	0	29645	26106	20397	76148	21710	6473	104331	5925	112948	0	30173	26521	20716	77410	23358	6375	107143	5805	120236	0	32056	26871	22666	81593	24521	6918	113032	7204
44112	4	ann. pay.	2579048	77011	568153	538841	443053	1627058	506916	172713	2306687	272361	2859620	100446	598300	582903	490625	1772274	555688	193849	2521811	337809	3068423	93522	621084	633313	549413	1897332	692290	210509	2800131	268292	3246036	115313	653709	660603	578679	2008304	761146	238954	3008404	237632	3463726	123063	702263	697296	643981	2166603	802694	255673	3224970	238756
44112	4	rec.																																									54330822	2777945	15505797	10298252	8429643	37011637	9574666	3298402	49884705	4446117
44121	4	firms	2789	202	1013	668	525	2408	338	33	2779	10	2817	283	948	652	534	2417	352	36	2805	12	2884	258	980	652	552	2442	389	43	2874	10	2905	266	998	681	521	2466	389	42	2897	8	2909	241	1055	649	518	2463	401	37	2901	8
44121	4	estab.	3015	202	1014	671	560	2447	432	82	2961	54	3039	284	949	656	562	2451	440	82	2973	66	3114	258	981	654	580	2473	477	84	3034	80	3134	267	1000	685	546	2498	476	108	3082	52	3145	241	1055	653	539	2488	503	102	3093	52
44121	4	empl.	31000	0	2356	4449	7051	13856	11483	4043	29382	1618	33272	0	2251	4361	7268	13880	12334	3825	30039	3233	36376	0	2275	4309	7392	13976	13545	5198	32719	3657	34829	0	2273	4485	6974	13732	13674	4667	32073	2756	35662	0	2538	4333	6994	13865	14252	4607	32724	2938
44121	4	ann. pay.	962793	10563	49664	102849	193208	356284	396709	158383	911376	51417	1090022	14848	48954	107720	203676	375198	453332	140155	968685	121337	1146545	11844	48552	100966	211035	372397	455857	183673	1011927	134618	1142979	10069	53494	110340	198672	372575	479143	179777	1031495	111484	1274148	12014	62249	112419	217063	403745	541769	189745	1135259	138889
44121	4	rec.																																									15878887	210042	826317	1220674	2298515	4555548	5980440	2353858	12889846	2989041
44122	4	firms	10196	1071	4351	2320	1610	9352	792	45	10189	7	10305	1122	4246	2326	1663	9357	895	43	10295	10	10611	1174	4306	2284	1754	9518	1032	53	10603	8	11001	1279	4475	2322	1733	9809	1126	55	10990	11	12076	1447	5069	2486	1730	10732	1268	59	12059	17
44122	4	estab.	10859	1072	4355	2354	1684	9465	1005	113	10583	276	11042	1122	4253	2352	1739	9466	1104	90	10660	382	11400	1179	4315	2307	1823	9624	1244	133	11001	399	11788	1282	4483	2338	1796	9899	1306	133	11338	450	13079	1447	5073	2514	1827	10861	1556	182	12599	480
44122	4	empl.	76073	0	9713	15386	21212	46311	23267	3407	72985	3088	81555	0	9486	15307	21927	46720	26825	3190	76735	4820	90557	0	9611	15162	23432	48205	31798	4960	84963	5594	96605	0	10014	15354	23351	48719	35396	6106	90221	6384	104634	0	11282	16497	23200	50979	40908	5783	97670	6964
44122	4	ann. pay.	2007690	38150	208552	352825	567845	1167372	705385	91518	1964275	43415	2304476	45230	216676	368552	623326	1253784	855316	97362	2206462	98014	2685880	50076	226760	370469	689025	1336330	1068903	174588	2579821	106059	2883217	55393	237728	389753	696310	1379184	1175177	182751	2737112	146105	3249191	59762	274389	430673	709342	1474166	1434593	182194	3090953	158238
44122	4	rec.																																									32860186	887938	3576227	4756967	7113173	16334305	13126702	1609912	31070919	1789267
44131	4	firms	26068	1769	11818	6683	3475	23745	1921	306	25972	96	25287	1852	11468	6316	3372	23008	1884	296	25188	99	24753	1880	11147	6195	3318	22540	1832	281	24653	100	24339	1888	11230	5936	3191	22245	1732	267	24244	95	23482	1981	10860	5695	2939	21475	1652	267	23394	88
44131	4	estab.	41890	1783	11840	6839	4035	24497	4063	2079	30639	11251	41869	1871	11513	6482	3911	23777	3896	2305	29978	11891	41084	1896	11200	6381	3774	23251	3718	1652	28621	12463	40766	1898	11293	6144	3661	22996	3585	1520	28101	12665	39834	1984	10883	5837	3424	22128	3410	1601	27139	12695
44131	4	empl.	345427	0	27470	43694	44822	115986	60993	30277	207256	138171	353602	0	26836	41222	43561	111619	61009	27193	199821	153781	355342	0	25966	40316	42779	109061	60042	24389	193492	161850	328832	0	26043	38808	41194	106045	57223	23599	186867	141965	329751	0	25306	37036	37829	100171	52793	22857	175821	153930
44131	4	ann. pay.	7228735	53566	498749	853656	972104	2378075	1488680	794500	4661255	2567480	7446988	54509	513137	839619	968968	2376233	1518055	681737	4576025	2870963	7828007	126094	495164	840716	966281	2428255	1528762	646833	4603850	3224157	7870635	57658	520039	842264	956169	2376130	1521115	630547	4527792	3342843	7582925	51620	515584	829316	907374	2303894	1412190	619802	4335886	3247039
44131	4	rec.																																									46934715	415083	3740413	4821753	4769335	13746584	8209304	3827571	25783459	21151256
44132	4	firms	10528	652	3672	3036	2055	9415	940	132	10487	41	10461	729	3585	2982	2049	9345	941	136	10422	39	10535	831	3626	2908	2089	9454	906	138	10498	37	10721	857	3791	2947	2022	9617	928	139	10684	37	10714	781	3967	2943	1993	9684	858	136	10678	36
44132	4	estab.	17762	659	3684	3072	2259	9674	1976	1259	12909	4853	17790	734	3599	3030	2237	9600	1880	1273	12753	5037	17988	835	3643	2947	2275	9700	1791	1286	12777	5211	18408	860	3801	2995	2223	9879	1746	1265	12890	5518	18537	787	3978	2989	2203	9957	1744	1377	13078	5459
44132	4	empl.	153351	0	8738	20550	26309	55597	28794	13380	97771	55580	160055	0	8484	20175	26232	54891	28990	13660	97541	62514	161914	0	8469	19536	26832	54837	28589	14537	97963	63951	164533	0	8763	19886	26030	54679	28960	14819	98458	66075	161656	0	9298	19803	25828	54929	26706	13763	95398	66258
44132	4	ann. pay.	3917622	23911	158760	454951	619500	1257122	788639	383011	2428772	1488850	4194650	26973	156273	450323	630865	1264434	795410	399324	2459168	1735482	4376738	27435	162915	442310	659534	1292194	802869	441593	2536656	1840082	4561017	31095	174030	463904	658131	1327160	847612	462976	2637748	1923269	4560110	29482	186160	481803	680663	1378108	813550	446080	2637738	1922372
44132	4	rec.																																									24472266	190267	1352918	2465110	3291701	7299996	4587746	2652635	14540377	9931889
44211	4	firms	21728	1984	8754	5411	3318	19467	1903	262	21632	96	21591	1848	8781	5271	3331	19231	2005	262	21498	93	21682	1954	8620	5232	3460	19266	2045	281	21592	90	22091	2015	8788	5348	3470	19621	2088	286	21995	96	21464	2188	8403	5148	3371	19110	1994	264	21368	96
44211	4	estab.	29723	1995	8789	5579	3859	20222	3721	1782	25725	3998	29574	1869	8828	5429	3829	19955	3772	1867	25594	3980	29720	1970	8679	5396	3927	19972	3658	1947	25577	4143	29920	2025	8841	5509	3927	20302	3602	1922	25826	4094	29478	2194	8426	5312	3944	19876	3777	2113	25766	3712
44211	4	empl.	267041	0	20150	35719	43299	99168	61541	31970	192679	74362	270455	0	20298	34920	43594	98812	65686	34085	198583	71872	284060	0	19988	34667	45581	100236	68555	36992	205783	78277	278231	0	20153	35165	45601	100919	69628	38284	208831	69400	262634	0	19672	34134	44471	98277	65528	35072	198877	63757
44211	4	ann. pay.	6395872	55975	369734	726108	1001650	2153467	1615844	913043	4682354	1713518	6966887	62571	402672	745964	1054681	2265888	1801660	1073605	5141153	1825734	7472696	64226	402525	752643	1134876	2354270	1948857	1188656	5491783	1980913	7467822	66712	414856	772162	1140770	2394500	1972966	1180778	5548244	1919578	7382786	79106	405627	784100	1160788	2429621	1918830	1097345	5445796	1936990
44211	4	rec.																																									52532504	709426	3570140	5317758	6989671	16586995	11589212	8203168	36379375	16153129
44221	4	firms	14277	1245	7124	3271	1702	13342	848	65	14255	22	14086	1228	6920	3247	1714	13109	889	73	14071	15	14253	1310	6875	3257	1789	13231	934	75	14240	13	14800	1388	7133	3398	1849	13768	937	82	14787	13	14231	1333	6828	3248	1812	13221	913	82	14216	15
44221	4	estab.	15967	1247	7139	3330	1931	13647	1611	349	15607	360	15720	1230	6933	3312	1947	13422	1598	319	15339	381	15845	1322	6891	3316	1981	13510	1689	353	15552	293	16127	1390	7153	3463	2059	14065	1621	400	16086	41	15765	1335	6836	3331	2080	13582	1675	476	15733	32
44221	4	empl.	99924	0	16043	21315	22086	59444	28039	5258	92741	7183	99683	0	15625	21240	22403	59268	29322	5929	94519	5164	103479	0	15621	21430	23344	60395	31370	6683	98448	5031	105106	0	16152	22299	24008	62459	31323	8295	102077	3029	100882	0	15771	21388	23538	60697	29567	9081	99345	1537
44221	4	ann. pay.	2740273	33730	348273	518207	612851	1513061	876052	167547	2556660	183613	2969946	37719	356968	539939	660491	1595117	971152	216812	2783081	186865	3171891	38126	364997	570257	703402	1676782	1087037	247652	3011471	160420	3294078	46830	390836	594668	749612	1781946	1103072	290431	3175449	118629	3294332	54677	380827	609989	760826	1806319	1064948	358226	3229493	64839
44221	4	rec.																																									20408847	429936	3358420	3987453	4373542	12149351	5743296	2225397	20118044	290803
44229	4	firms	12356	1219	6714	2604	1094	11631	542	102	12275	81	12402	1403	6573	2563	1113	11652	563	107	12322	80	12521	1423	6575	2668	1116	11782	556	102	12440	81	12852	1466	6912	2645	1136	12159	520	89	12768	84	14213	1726	7812	2852	1137	13527	523	89	14139	74
44229	4	estab.	18755	1229	6732	2656	1273	11890	1163	744	13797	4958	18964	1409	6588	2613	1263	11873	1148	883	13904	5060	19277	1528	6590	2724	1256	12098	1060	799	13957	5320	19719	1470	6929	2716	1294	12409	977	575	13961	5758	21117	1726	7819	2910	1331	13786	1057	604	15447	5670
44229	4	empl.	142773	0	14391	16702	13801	44894	15274	8764	68932	73841	155204	0	14219	16529	14030	44778	16025	10823	71626	83578	161645	0	14250	17079	14100	45429	16224	8580	70233	91412	183981	0	14994	17144	14280	46418	15060	8381	69859	114122	188051	0	17284	18326	14267	49877	14843	7835	72555	115496
44229	4	ann. pay.	2142324	24073	215643	266026	223588	729330	261870	146517	1137717	1004607	2470890	33096	230323	281130	251198	795747	288955	197698	1282400	1188490	2711525	32791	241902	305677	275676	856046	346129	156063	1358238	1353287	2882232	45448	257084	312562	279411	894505	315579	175811	1385895	1496337	3087636	39283	302491	344843	297556	984173	331319	172809	1488301	1599335
44229	4	rec.																																									24131775	429173	2155031	1856595	1451787	5892586	1778015	1066319	8736920	15394855
44311	4	firms	19526	1990	9948	4325	2062	18325	1006	115	19446	80	19432	1957	9819	4311	2079	18166	1068	124	19358	74	19850	2241	9699	4381	2222	18543	1091	139	19773	77	21407	2858	10326	4530	2277	19991	1194	140	21325	82	22427	2967	11180	4499	2357	21003	1201	153	22357	70
44311	4	estab.	28831	1996	9997	4483	2465	18941	2043	636	21620	7211	29041	1986	9869	4448	2448	18751	2036	822	21609	7432	29615	2263	9754	4522	2599	19138	1920	869	21927	7688	31596	2875	10382	4706	2659	20622	2033	1166	23821	7775	34228	2990	11238	4688	2883	21799	2566	1542	25907	8321
44311	4	empl.	238445	0	22340	28025	26396	76761	31180	11028	118969	119476	258442	0	21922	28156	26389	76467	32905	12067	121439	137003	278879	0	21600	28550	28552	78702	33819	15343	127864	151015	294605	0	23015	29524	29242	81781	37400	15712	134893	159712	304781	0	25051	29382	30525	84958	37762	16077	138797	165984
44311	4	ann. pay.	5134389	51288	389375	537950	603630	1582243	827501	319578	2729322	2405067	5934755	63116	396996	562000	636733	1658845	941670	339275	2939790	2994965	6613131	63244	405832	591365	705916	1766357	1007086	491327	3264770	3348361	7279237	79638	434824	614388	727939	1856789	1091462	504863	3453114	3826123	7897734	90053	469790	649604	772834	1982281	1161212	500442	3643935	4253799
44311	4	rec.																																									66176262	679406	3462157	3900866	4394227	12436656	6310942	3885499	22633097	43543165
44312	4	firms	11431	2114	5046	2351	1174	10685	616	79	11380	51	11265	1837	5146	2393	1157	10533	616	62	11211	54	10996	1665	5194	2238	1139	10236	629	69	10934	62	10990	1627	5491	2131	1036	10285	570	77	10932	58	10214	1610	5107	1945	920	9582	522	63	10167	47
44312	4	estab.	13248	2114	5049	2366	1237	10766	805	287	11858	1390	13046	1841	5149	2406	1218	10614	750	185	11549	1497	12889	1674	5204	2263	1195	10336	733	178	11247	1642	13069	1629	5508	2152	1084	10373	670	187	11230	1839	12469	1610	5117	1962	969	9658	635	195	10488	1981
44312	4	empl.	103453	0	11517	15310	15237	42064	19506	6347	67917	35536	105061	0	11496	15522	15186	42204	20534	[i]	[l]	[k]	106213	0	11581	14593	15006	41180	21704	7344	70228	35985	109025	0	11982	13804	13702	39488	19590	         [i]	         [l]	         [k]	94370	0	11282	12634	12097	36013	17285	         [i]	         [l]	         [k]
44312	4	ann. pay.	3050799	88207	256208	356670	435708	1136793	735284	297685	2169762	881037	3238118	84303	274967	407878	452178	1219326	825326	(D)	(D)	(D)	4187431	76209	273137	387598	473551	1210495	945816	568699	2725010	1462421	3866907	67684	297071	372585	481967	1219307	895700	         (D)	         (D)	         (D)	3297181	74372	278788	353132	422754	1129046	839213	         (D)	         (D)	         (D)
44312	4	rec.																																									23413796	692463	2031131	2074354	2195454	6993402	4468448	         (D)	         (D)	         (D)
44313	4	firms	1450	78	696	319	206	1299	133	12	1444	6	1431	110	681	298	200	1289	123	15	1427	4	1421	107	648	323	195	1273	128	15	1416	5	1378	99	642	300	196	1237	117	19	1373	5	1379	111	663	283	193	1250	113	14	1377	2
44313	4	estab.	3156	78	700	333	251	1362	291	75	1728	1428	3080	110	686	311	241	1348	282	81	1711	1369	3088	107	650	338	226	1321	280	49	1650	1438	3082	99	643	313	233	1288	231	99	1618	1464	2903	111	665	293	224	1293	234	90	1617	1286
44313	4	empl.	20009	0	1542	2096	2679	6317	3968	1005	11290	8719	20761	0	1539	1970	2630	6139	3679	[g]	[j]	[i]	22229	0	1407	2070	2582	6059	4083	1032	11174	11055	22106	0	1417	1962	2572	5951	3535	         [g]	         [j]	         [j]	19574	0	1497	1860	2536	5893	3550	         [g]	         [j]	         [i]
44313	4	ann. pay.	390025	3153	26361	40904	55610	126028	91786	19119	236933	153092	400131	3680	28419	40072	58309	130480	84813	(D)	(D)	(D)	436068	3102	27647	39653	57491	127893	97282	31571	256746	179322	447080	3941	26838	39029	62621	132429	86958	         (D)	         (D)	         (D)	413876	3791	27747	40098	59874	131510	92907	         (D)	         (D)	         (D)
44313	4	rec.																																									2690698	36675	197922	249637	357425	841659	712094	         (D)	         (D)	         (D)
44411	4	firms	1510	136	401	335	266	1138	273	69	1480	30	1672	161	451	357	294	1263	304	75	1642	30	1783	213	485	363	318	1379	294	75	1748	35	1949	214	629	380	332	1555	288	80	1923	26	2195	216	758	436	366	1776	310	85	2171	24
44411	4	estab.	3929	136	402	335	269	1142	362	206	1710	2219	4377	161	451	359	299	1270	397	215	1882	2495	4366	213	485	364	323	1385	379	220	1984	2382	4841	214	629	382	336	1561	377	321	2259	2582	5280	252	758	440	380	1830	417	244	2491	2789
44411	4	empl.	284442	0	940	2252	3458	6650	9387	6639	22676	261766	324645	0	1065	2428	3930	7423	10684	7206	25313	299332	350901	0	1133	2422	4229	7784	10586	7514	25884	325017	368798	0	1446	2518	4378	8342	10191	8089	26622	342176	416450	0	1750	2901	4914	9565	10952	8749	29266	387184
44411	4	ann. pay.	5610906	3647	19537	44567	70099	137850	200657	141053	479560	5131346	6760644	5103	25402	50384	82474	163363	227653	162495	553511	6207133	7576968	7000	23548	49542	92064	172154	230371	165187	567712	7009256	8844884	7197	32279	54595	100590	194661	242674	176384	613719	8231165	9417957	7159	38640	69758	118717	234274	273121	209669	717064	8700893
44411	4	rec.																																									92813043	64261	326448	543884	839799	1774392	1852345	1686205	5312942	87500101
44412	4	firms	3648	261	1809	880	434	3384	200	46	3630	18	3490	254	1729	839	406	3228	199	45	3472	18	3427	275	1657	818	406	3156	208	43	3407	20	3361	245	1622	832	405	3104	198	41	3343	18	3176	251	1543	763	374	2931	190	37	3158	18
44412	4	estab.	8376	262	1814	908	572	3556	610	558	4724	3652	8380	257	1732	878	525	3392	602	616	4610	3770	8396	276	1661	867	512	3316	544	476	4336	4060	8445	245	1625	875	511	3256	518	492	4266	4179	8302	253	1544	795	495	3087	543	405	4035	4267
44412	4	empl.	43799	0	4239	5694	5296	15229	5922	3780	24931	18868	43130	0	4109	5430	5018	14557	5701	3508	23766	19364	46060	0	3853	5333	5070	14256	5911	2944	23111	22949	44442	0	3701	5334	5087	14122	5613	3090	22825	21617	45339	0	3670	5024	4707	13401	5166	2809	21376	23963
44412	4	ann. pay.	1049969	5754	77651	116164	124833	324402	154240	96006	574648	475321	1082866	7350	80254	115866	124110	327580	153739	97880	579199	503667	1200810	7436	78336	118615	121459	325846	169498	81309	576653	624157	1223178	4794	76463	119997	131365	332619	163807	93503	589929	633249	1281144	11997	74211	118585	125168	329961	155312	87939	573212	707932
44412	4	rec.																																									8839227	122022	550834	697977	670957	2041790	851820	507131	3400741	5438486
44413	4	firms	13445	666	5361	3537	2384	11948	1344	118	13410	35	13231	726	5193	3399	2376	11694	1375	126	13195	36	12994	743	5073	3269	2375	11460	1368	128	12956	38	12902	777	5034	3237	2335	11383	1357	125	12865	37	12838	809	5020	3144	2331	11304	1382	119	12805	33
44413	4	estab.	15431	666	5366	3561	2501	12094	1841	469	14404	1027	15259	733	5200	3422	2494	11849	1831	505	14185	1074	15026	774	5080	3296	2486	11636	1777	531	13944	1082	14837	795	5043	3276	2437	11551	1753	486	13790	1047	14755	809	5023	3163	2443	11438	1838	519	13795	960
44413	4	empl.	138849	0	12575	23480	31452	67507	40500	10813	118820	20029	145112	0	12135	22621	31332	66088	41336	12369	119793	25319	146086	0	11801	21709	31431	64941	42352	12663	119956	26130	139468	0	11568	21560	30984	64112	41842	12565	118519	20949	140075	0	11640	21011	30906	63557	42380	12578	118515	21560
44413	4	ann. pay.	2198684	16969	187243	354730	491079	1050021	689957	174461	1914439	284245	2302302	21020	190023	348688	503431	1063162	722852	205601	1991615	310687	2484323	107644	186876	348264	515512	1158296	743555	219989	2121840	362483	2428392	24347	195245	359214	528587	1107393	763469	222392	2093254	335138	2564410	23623	199111	363663	550101	1136498	804232	258955	2199685	364725
44413	4	rec.																																									16737413	200199	1552594	2242604	3086517	7081914	4399710	1509238	12990862	3746551
44419	4	firms	32622	2125	11190	7737	5838	26890	4845	690	32425	197	32315	2273	11036	7573	5681	26563	4832	724	32119	196	32284	2390	10903	7442	5696	26431	4922	730	32083	201	32878	2421	11398	7534	5755	27108	4853	717	32678	200	32307	2435	11293	7468	5567	26763	4658	700	32121	186
44419	4	estab.	43770	2127	11206	7827	6310	27470	7891	3192	38553	5217	43222	2279	11053	7667	6124	27123	7707	3196	38026	5196	43143	2395	10931	7539	6067	26932	7608	3148	37688	5455	43728	2428	11419	7651	6144	27642	7411	3210	38263	5465	43410	2439	11311	7590	6023	27363	7362	3325	38050	5360
44419	4	empl.	496484	0	26390	51680	77558	155628	169799	78823	404250	92234	499303	0	25621	50480	75903	152004	169386	85374	406764	92539	512195	0	25324	49581	76107	151012	173791	85092	409895	102300	509692	0	26371	50211	76905	153487	169748	84658	407893	101799	489698	0	26674	49728	74546	150948	161703	81578	394229	95469
44419	4	ann. pay.	15397125	118628	639441	1338863	2226581	4323513	5545038	2592585	12461136	2935989	16230344	85545	660802	1384280	2280294	4410921	5792539	2924670	13128130	3102214	17159625	92686	663217	1369636	2327267	4452806	6051464	3018081	13522351	3637274	17840272	94520	704105	1462463	2454451	4715539	6076010	3157922	13949471	3890801	17572903	106528	723174	1479567	2453678	4762947	5958568	3095537	13817052	3755851
44419	4	rec.																																									133818495	950159	5651139	9845344	15738267	32184909	39861206	24399363	96445478	37373017
44421	4	firms	4527	397	2308	1078	482	4265	227	26	4518	9	4403	349	2179	1076	518	4122	240	33	4395	8	4297	340	2046	1063	556	4005	251	33	4289	8	4288	318	2106	1027	542	3993	258	31	4282	6	4295	348	2078	1075	508	4009	247	32	4288	7
44421	4	estab.	4769	397	2308	1094	511	4310	302	75	4687	82	4624	351	2179	1089	550	4169	313	83	4565	59	4558	340	2048	1073	595	4056	322	108	4486	72	4514	318	2110	1038	573	4039	337	82	4458	56	4579	348	2079	1088	540	4055	373	128	4556	23
44421	4	empl.	26580	0	5265	7026	5989	18280	5575	1156	25011	1569	27032	0	4939	7026	6549	18514	6204	1557	26275	757	28606	0	4663	6935	7125	18723	6888	2007	27618	988	28436	0	4762	6714	6935	18411	7250	1997	27658	778	27775	0	4769	6931	6599	18299	6955	2128	27382	393
44421	4	ann. pay.	582641	10916	94362	140059	137234	382571	146028	37542	566141	16500	627463	8876	91891	141888	155393	398048	164291	49767	612106	15357	678266	8828	87352	141197	174296	411673	186288	63186	661147	17119	711663	8601	97987	143957	171792	422337	202769	70738	695844	15819	728625	10499	98691	152533	173262	434985	205492	74182	714659	13966
44421	4	rec.																																									5586529	104355	837546	1090101	1269954	3301956	1519962	625710	5447628	138901
44422	4	firms	13014	1317	5183	2932	1920	11352	1413	192	12957	57	12871	1311	5077	2845	1939	11172	1441	197	12810	61	12947	1309	4961	2869	2015	11154	1508	223	12885	62	14324	1593	5565	3115	2159	12432	1620	217	14269	55	14307	1869	5435	3036	2142	12482	1563	208	14253	54
44422	4	estab.	16514	1318	5195	2986	2094	11593	2209	711	14513	2001	16431	1313	5088	2903	2111	11415	2196	751	14362	2069	16459	1311	4976	2917	2170	11374	2242	829	14445	2014	17770	1615	5586	3189	2298	12688	2338	840	15866	1904	17783	1870	5444	3090	2354	12758	2366	856	15980	1803
44422	4	empl.	141046	0	11755	19485	24882	56122	44086	14458	114666	26380	144474	0	11491	18945	25262	55698	45774	15663	117135	27339	151539	0	11218	19187	26406	56811	48130	18031	122972	28567	158290	0	12418	20584	28289	61291	51898	18613	131802	26488	151399	0	12347	19926	28103	60376	49291	18168	127835	23564
44422	4	ann. pay.	2937569	38809	222565	370500	524657	1156531	945951	327165	2429647	507922	3176150	36478	222835	377798	551882	1188993	1026655	361839	2577487	598663	3350291	39016	219444	374625	568311	1201396	1080286	436142	2717824	632467	3652750	51485	256923	416198	637616	1362222	1201388	450208	3013818	638932	3584433	59234	247734	416210	636433	1359611	1199537	438469	2997617	586816
44422	4	rec.																																									30640588	464848	2241317	3222818	4429368	10358351	8536812	4269433	23164596	7475992
44511	4	firms	45597	4918	18696	7212	5734	36560	7321	1353	45234	363	45563	5347	18907	7028	5574	36856	7038	1321	45215	348	45767	5401	19199	7113	5517	37230	6914	1290	45434	333	46050	5655	19580	7058	5444	37737	6766	1209	45712	338	40176	5192	16664	5678	4712	32246	6438	1157	39841	335
44511	4	estab.	68553	4926	18713	7239	5857	36735	8276	3705	48716	19837	69004	5362	18923	7060	5687	37032	7947	3420	48399	20605	68779	5422	19223	7164	5632	37441	7784	3308	48533	20246	68797	5657	19600	7093	5570	37920	7628	3112	48660	20137	62934	5193	16677	5703	4801	32374	7212	3171	42757	20177
44511	4	empl.	2533012	0	39862	47994	77600	165456	293572	225733	684761	1848251	2583957	0	40149	46723	75905	162777	283065	221620	667462	1916495	2543527	0	40839	47264	74863	162966	279012	217267	659245	1884282	2487338	0	41647	46694	74081	162422	274120	204812	641354	1845984	2387828	0	36051	37343	64482	137876	264232	199136	601244	1786584
44511	4	ann. pay.	37986296	133745	458268	515088	882217	1989318	3756014	3173976	8919308	29066988	39938737	180439	487239	529192	883664	2080534	3717373	3157952	8955859	30982878	41795041	166192	515464	550686	905924	2138266	3735679	3234533	9108478	32686563	42341542	177886	544628	570550	918294	2211358	3841078	3150874	9203310	33138232	42470977	161411	475685	478797	833731	1949624	3820852	3184456	8954932	33516045
44511	4	rec.																																									389913474	1817409	6098816	5264379	8107081	21287685	32422029	26918361	80628075	309285399
44512	4	firms	22657	3030	11702	4614	2282	21628	790	149	22567	90	23233	3469	11741	4690	2284	22184	820	150	23154	79	24553	3804	12006	4959	2586	23355	959	158	24472	81	25730	4088	12736	5047	2652	24523	963	154	25640	90	29616	4578	15355	5634	2897	28464	923	141	29528	88
44512	4	estab.	27707	3030	11713	4646	2396	21785	1265	733	23783	3924	28427	3472	11790	4735	2410	22407	1218	847	24472	3955	29496	3824	12020	5031	2690	23565	1338	674	25577	3919	30560	4091	12748	5107	2756	24702	1306	643	26651	3909	34232	4581	15371	5673	3032	28657	1264	741	30662	3570
44512	4	empl.	156064	0	25534	30219	28807	84560	20099	7877	112536	43528	159280	0	25744	30732	29298	85774	21771	8859	116404	42876	173341	0	26360	32522	33063	91945	26724	8866	127535	45806	178466	0	27904	33265	34293	95462	27156	9887	132505	45961	181523	0	33833	36877	37071	107781	24455	7839	140075	41448
44512	4	ann. pay.	1762465	55521	273562	300161	283396	912640	207577	101062	1221279	541186	1929671	70283	295313	326509	301009	993114	239040	119302	1351456	578215	2176948	81700	315552	348241	340873	1086366	290546	128222	1505134	671814	2291568	83855	352636	367759	376364	1180614	299892	146367	1626873	664695	2408389	87054	442547	421732	417370	1368703	296516	112895	1778114	630275
44512	4	rec.																																									28120030	1336378	6923345	5222357	4304185	17786265	2531965	1093625	21411855	6708175
44521	4	firms	6188	591	3173	1391	693	5848	305	26	6179	9	6070	646	3003	1358	694	5701	327	35	6063	7	5960	600	2951	1327	698	5576	341	31	5948	12	6042	674	2950	1342	691	5657	339	35	6031	11	5913	683	2803	1282	730	5498	367	40	5905	8
44521	4	estab.	6619	592	3184	1404	720	5900	411	123	6434	185	6516	647	3010	1374	719	5750	416	172	6338	178	6517	602	2965	1339	720	5626	426	162	6214	303	6599	674	2960	1358	717	5709	399	193	6301	298	6467	684	2809	1293	759	5545	447	184	6176	291
44521	4	empl.	38887	0	7222	9068	9030	25320	9143	2186	36649	2238	39664	0	6902	8879	9117	24898	9675	3417	37990	1674	41010	0	6862	8635	9228	24725	10167	         [h]	         [k]	         [h]	41924	0	6803	8751	9052	24606	10249	3637	38492	3432	41765	0	6609	8409	9487	24505	10766	3826	39097	2668
44521	4	ann. pay.	564455	11633	95681	121735	125896	354945	139109	39284	533338	31117	593936	13235	95837	122013	129672	360757	142493	62892	566142	27794	643337	13238	97923	125444	140687	377292	157382	         (D)	         (D)	         (D)	695646	14649	102571	134085	139576	390881	168267	74659	633807	61839	714230	32362	101691	135185	154622	423860	183089	71496	678445	35785
44521	4	rec.																																									5648059	390581	1069229	1121842	980856	3562508	1229485	563821	5355814	292245
44522	4	firms	1727	254	965	303	131	1653	69	3	1725	2	1761	272	960	310	140	1682	73	4	1759	2	1809	280	965	335	149	1729	75	3	1807	2	1896	274	1040	350	142	1806	86	2	1894	2	2197	349	1204	385	177	2115	78	2	2195	2
44522	4	estab.	1776	254	965	310	146	1675	89	7	1771	5	1807	272	964	316	152	1704	93	5	1802	5	1853	280	967	343	159	1749	95	4	1848	5	1940	274	1046	358	151	1829	103	3	1935	5	2238	349	1209	390	186	2134	97	2	2233	5
44522	4	empl.	7857	0	2043	1962	1596	5601	2140	         [b]	         [i]	         [b]	8299	0	2061	1992	1692	5745	2162	[e]	[i]	[b]	8458	0	2055	2149	1855	6059	2178	         [c]	         [i]	         [b]	8990	0	2179	2282	1786	6247	2610	         [b]	         [i]	         [b]	9771	0	2674	2489	2289	7452	2206	         [b]	         [i]	         [b]
44522	4	ann. pay.	121554	5966	27993	26854	23163	83976	35481	         (D)	         (D)	         (D)	137701	5352	29098	27979	28984	91413	32851	(D)	(D)	(D)	137306	5880	31042	31299	29230	97451	35806	         (D)	         (D)	         (D)	149310	6031	32751	35485	30640	104907	42267	         (D)	         (D)	         (D)	167634	8372	43579	38682	38246	128879	36170	         (D)	         (D)	         (D)
44522	4	rec.																																									1560631	89353	527275	359082	294576	1270286	230195	         (D)	         (D)	         (D)
44523	4	firms	3094	676	1526	432	262	2896	179	19	3094	0	3050	664	1477	450	259	2850	178	19	3047	3	3092	670	1497	454	258	2879	195	18	3092	0	3268	685	1587	486	287	3045	203	19	3267	1	3458	761	1650	512	281	3204	232	21	3457	1
44523	4	estab.	3209	677	1528	438	277	2920	234	55	3209	0	3166	664	1483	459	275	2881	225	57	3163	3	3204	670	1503	458	275	2906	229	69	3204	0	3382	685	1594	490	304	3073	235	73	3381	1	3569	764	1650	518	296	3228	267	73	3568	1
44523	4	empl.	17533	0	3207	2780	3397	9384	5874	2275	17533	0	18011	0	3050	2891	3402	9343	6086	[g]	[j]	[e]	18451	0	3084	2961	3373	9418	6812	2221	18451	0	20615	0	3341	3172	3862	10375	7397	         [h]	         [j]	         [a]	21580	0	3469	3292	3700	10461	8320	         [h]	         [j]	         [a]
44523	4	ann. pay.	256153	14041	44639	35522	42493	136695	85049	34409	256153	0	273196	14036	45389	38776	45685	143886	89118	(D)	(D)	(D)	295007	16396	47632	40391	46770	151189	102173	41645	295007	0	374488	15345	55230	48793	53980	173348	121570	         (D)	         (D)	         (D)	412580	20220	58183	52881	58591	189875	138362	         (D)	         (D)	         (D)
44523	4	rec.																																									3583146	232947	756916	581659	616837	2188359	1039332	         (D)	         (D)	         (D)
44529	4	firms	8033	1900	3250	1432	800	7382	519	84	7985	48	9420	2591	3636	1561	922	8710	574	84	9368	52	11324	2910	4448	1972	1167	10497	689	85	11271	53	11533	2690	4714	2134	1193	10731	663	87	11481	52	12395	2727	4902	2320	1481	11430	830	78	12338	57
44529	4	estab.	12043	1902	3270	1473	903	7548	983	567	9098	2945	14437	2621	3654	1602	1009	8886	991	637	10514	3923	16179	2919	4482	2003	1249	10653	1102	1200	12955	3224	16288	2698	4730	2164	1293	10885	1055	1150	13090	3198	17071	2730	4909	2344	1557	11540	1213	552	13305	3766
44529	4	empl.	61339	0	7056	9454	10045	26555	13644	         [i]	         [k]	         [j]	74884	0	7863	10234	11710	29807	15591	5345	50743	24141	85936	0	9599	12960	15080	37639	19190	5453	62282	23654	90256	0	10172	14037	15236	39445	18830	5266	63541	26715	103729	0	10998	15224	19326	45548	23487	5880	74915	28814
44529	4	ann. pay.	745116	36339	72767	87138	93517	289761	149024	         (D)	         (D)	         (D)	1105638	56840	88647	97792	117055	360334	176017	57853	594204	511434	1282410	62791	110924	125675	153447	452837	222014	71281	746132	536278	1330312	56942	124734	142049	160077	483802	219168	68612	771582	558730	1692946	58008	139860	168478	214763	581109	287069	78674	946852	746094
44529	4	rec.																																									7032384	383503	1098418	950068	1039865	3471854	1153511	477311	5102676	1929708
44531	4	firms	24830	2107	14314	5473	2074	23968	721	91	24780	50	24945	2306	14261	5454	2043	24064	740	92	24896	49	25305	2595	14214	5474	2105	24388	787	85	25260	45	25563	2666	14253	5539	2185	24643	782	96	25521	42	25985	2748	14468	5706	2178	25100	746	92	25938	47
44531	4	estab.	27880	2121	14343	5573	2325	24362	1401	622	26385	1495	28149	2320	14288	5570	2265	24443	1445	690	26578	1571	28463	2611	14250	5571	2332	24764	1475	692	26931	1532	28695	2668	14306	5638	2380	24992	1456	737	27185	1510	29166	2748	14494	5828	2438	25508	1389	665	27562	1604
44531	4	empl.	129129	0	31753	35178	25900	92831	20672	7455	120958	8171	130568	0	31635	35142	25582	92359	21446	8018	121823	8745	133687	0	31264	35340	26412	93016	23439	8524	124979	8708	136212	0	31522	35792	27459	94773	23166	9663	127602	8610	137801	0	32994	36773	27397	97164	22058	8268	127490	10311
44531	4	ann. pay.	1820912	30064	406227	418489	337653	1192433	325318	138815	1656566	164346	1941068	39269	424395	450899	346125	1260688	353415	152622	1766725	174343	2065456	42484	444011	470365	371911	1328771	394245	164126	1887142	178314	2153921	46916	464563	488083	401917	1401479	393422	181480	1976381	177540	2197746	60768	481806	521042	405583	1469199	376692	140388	1986279	211467
44531	4	rec.																																									28554782	874215	7891121	6215491	4394104	19374931	3884285	1912626	25171842	3382940
44611	4	firms	22073	1005	6658	7238	4798	19699	1988	146	21833	240	21353	1140	6385	6863	4560	18948	2037	136	21121	232	20874	1117	6174	6542	4621	18454	2049	144	20647	227	20493	1151	5972	6258	4637	18018	2100	147	20265	228	19488	1037	5458	5901	4559	16955	2169	141	19265	223
44611	4	estab.	42565	1008	6671	7317	5138	20134	3076	611	23821	18744	41846	1147	6404	6947	4852	19350	3029	558	22937	18909	40617	1132	6195	6630	4897	18854	3002	519	22375	18242	40026	1153	5996	6343	4918	18410	2981	571	21962	18064	40152	1041	5465	5959	4768	17233	3094	604	20931	19221
44611	4	empl.	722779	0	17252	48763	63200	129215	61250	14318	204783	517996	709175	0	16406	46284	59932	122622	62684	12454	197760	511415	680251	0	15797	44179	60892	120868	63890	12256	197014	483237	699160	0	15126	42507	61255	118888	66309	13333	198530	500630	730557	0	14295	40045	60149	114489	68337	14601	197427	533130
44611	4	ann. pay.	12010871	46092	374471	945437	1170349	2536349	1157710	274554	3968613	8042258	13395865	62208	376964	964520	1187874	2591566	1285730	252069	4129365	9266500	14542974	43101	386356	977258	1306362	2713077	1383897	308740	4405714	10137260	15484007	61367	397507	1014054	1397893	2870821	1551717	333465	4756003	10728004	16752617	60918	398005	1050410	1491244	3000577	1692196	401478	5094251	11658366
44611	4	rec.																																									159070305	719024	5266749	11132931	14173172	31291876	13388574	3139069	47819519	111250786
44612	4	firms	4197	655	2398	680	289	4022	129	25	4176	21	4247	657	2472	665	278	4072	130	25	4227	20	4493	747	2573	695	301	4316	129	27	4472	21	5072	905	2865	820	293	4883	140	26	5049	23	5636	1023	3213	892	309	5437	153	24	5614	22
44612	4	estab.	9526	655	2408	727	385	4175	420	333	4928	4598	9587	661	2483	701	387	4232	377	275	4884	4703	9615	748	2594	728	414	4484	309	245	5038	4577	10630	905	2880	859	387	5031	292	244	5567	5063	11255	1023	3225	933	368	5549	340	194	6083	5172
44612	4	empl.	58182	0	4846	4383	3608	12837	3784	3158	19779	38403	61771	0	5175	4255	3475	12905	3886	2575	19366	42405	61237	0	5301	4449	3748	13498	3742	2935	20175	41062	75658	0	5844	5212	3695	14751	4105	3362	22218	53440	83323	0	6692	5747	3972	16411	4606	2814	23831	59492
44612	4	ann. pay.	695306	11851	58747	55346	51300	177244	63427	61825	302496	392810	759045	23064	68685	60415	53027	205191	69552	65241	339984	419061	842413	25375	72547	67179	58403	223504	78238	77272	379014	463399	1054136	43371	83325	83489	59650	269835	91775	73622	435232	618904	1201877	20451	91506	89894	65767	267618	107133	75829	450580	751297
44612	4	rec.																																									7402954	162385	777917	588329	378789	1907420	595946	323595	2826961	4575993
44613	4	firms	6683	484	3978	1419	499	6380	235	42	6657	26	6645	502	3911	1435	516	6364	219	36	6619	26	6532	469	3828	1416	549	6262	212	31	6505	27	6485	523	3734	1410	550	6217	207	33	6457	28	5809	433	3359	1276	488	5556	205	24	5785	24
44613	4	estab.	14724	488	4016	1535	726	6765	941	757	8463	6261	14673	624	3952	1554	758	6888	843	502	8233	6440	14281	481	3872	1523	767	6643	795	544	7982	6299	14006	533	3788	1529	769	6619	714	531	7864	6142	13006	433	3378	1384	708	5903	831	381	7115	5891
44613	4	empl.	74368	0	8880	8996	6213	24089	7053	4840	35982	38386	76074	0	8817	9085	6423	24325	6712	3782	34819	41255	74426	0	8651	9057	6799	24507	6626	3397	34530	39896	74617	0	8398	9054	6875	24327	6301	3318	33946	40671	72544	0	7619	8122	6061	21802	6074	2448	30324	42220
44613	4	ann. pay.	1600739	10652	194320	198374	143834	547180	153871	110709	811760	788979	1632553	26944	197462	207278	157319	589003	152821	103235	845059	787494	1696648	14117	202741	213055	170236	600149	168983	87052	856184	840464	1679079	14406	202434	215506	173041	605387	161504	90424	857315	821764	1723345	14211	187008	203968	159988	565175	154740	66597	786512	936833
44613	4	rec.																																									6868663	84573	872542	775925	557296	2290336	543605	198974	3032915	3835748
44619	4	firms	11316	1636	5482	2322	1057	10497	649	74	11220	96	11473	1528	5660	2310	1130	10628	668	78	11374	99	11642	1486	5746	2321	1178	10731	726	82	11539	103	11998	1538	6033	2354	1187	11112	693	89	11894	104	11824	1371	6150	2276	1146	10943	687	93	11723	101
44619	4	estab.	15934	1657	5525	2500	1441	11123	1366	388	12877	3057	16286	1540	5703	2468	1478	11189	1314	530	13033	3253	16676	1491	5805	2477	1484	11257	1346	457	13060	3616	17236	1546	6088	2518	1484	11636	1298	535	13469	3767	18161	1372	6187	2475	1611	11645	1551	641	13837	4324
44619	4	empl.	84919	0	12091	15044	13754	40889	20506	5682	67077	17842	91225	0	12386	15028	14517	41931	21633	7540	71104	20121	97982	0	12739	15100	15327	43166	23911	7924	75001	22981	108637	0	13231	15415	15362	44008	22706	8802	75516	33121	101923	0	13562	14801	14920	43283	23023	9295	75601	26322
44619	4	ann. pay.	1819429	43985	221103	293379	293845	852312	447733	148203	1448248	371181	1972759	56356	234444	294629	316225	901654	479369	205305	1586328	386431	2199117	41868	246948	306979	342302	938097	541156	191770	1671023	528094	2417444	45909	268605	326717	364243	1005474	577508	239717	1822699	594745	2539923	39330	290165	354568	369521	1053584	632628	266618	1952830	587093
44619	4	rec.																																									13106884	322656	1960682	1762591	1688286	5734215	2867715	1360879	9962809	3144075
44711	4	firms	38342	3160	13167	9969	7084	33380	3938	831	38149	193	36865	2831	12803	9492	6870	31996	3851	822	36669	196	35866	2985	12455	9018	6629	31087	3742	846	35675	191	36255	3335	12863	8897	6458	31553	3672	827	36052	203	39598	4148	14484	9685	6645	34962	3665	764	39391	207
44711	4	estab.	82207	3190	13200	10107	7713	34210	9816	10762	54788	27419	81486	2926	12873	9695	7496	32990	9354	10640	52984	28502	80512	3043	12540	9252	7251	32086	8736	10966	51788	28724	81171	3364	12945	9141	7064	32514	8726	10883	52123	29048	84701	4189	14559	9827	7423	35998	9043	10843	55884	28817
44711	4	empl.	647007	0	32153	67199	90257	189609	117457	97724	404790	242217	645931	0	30936	63820	88024	182780	115453	96933	395166	250765	653279	0	30130	60293	85577	176000	114017	102211	392228	261051	655433	0	31034	59409	82919	173362	111340	98416	383118	272315	652765	0	36220	64428	85645	186293	111176	94062	391531	261234
44711	4	ann. pay.	7990907	86570	365603	751974	1038753	2242900	1408417	1232469	4883786	3107121	8446220	78488	380120	753865	1039669	2252142	1431805	1274793	4958740	3487480	8925782	79039	388115	734243	1037839	2239236	1428105	1376329	5043670	3882112	9018452	84048	422813	743132	1027608	2277601	1434271	1364229	5076101	3942351	9357008	110631	492510	835522	1085127	2523790	1439917	1342812	5306519	4050489
44711	4	rec.																																									169759197	2407020	12797665	16094396	16538434	47837515	21800665	22551298	92189478	77569719
44719	4	firms	33441	2406	15405	8415	4151	30377	2343	568	33288	153	32463	2569	14858	7922	4134	29483	2265	563	32311	152	31895	2724	14567	7832	3856	28979	2188	578	31745	150	30494	2625	14148	7313	3599	27685	2118	539	30342	152	25583	2031	11993	6003	3050	23077	1869	489	25435	148
44719	4	estab.	41730	2420	15420	8526	4508	30874	3645	2313	36832	4898	39609	2580	14903	8064	4466	30013	3450	2180	35643	3966	39136	2752	14628	7979	4124	29483	3249	2217	34949	4187	37721	2627	14196	7450	3880	28153	3158	2091	33402	4319	32399	2035	12036	6084	3322	23477	2924	1879	28280	4119
44719	4	empl.	299456	0	35997	54931	51264	142192	62136	30947	235275	64181	284103	0	34538	51511	51040	137089	60732	31381	229202	54901	283804	0	33992	51011	47809	132812	58571	33223	224606	59198	271851	0	32762	47572	44713	125047	57500	29957	212504	59347	243218	0	28886	39149	37749	105784	49850	24861	180495	62723
44719	4	ann. pay.	4340031	61328	533153	774023	743673	2112177	889547	434935	3436659	903372	4379138	74696	542447	768115	769840	2155098	904248	455758	3515104	864034	4395982	67087	537162	773734	729387	2107370	888475	489284	3485129	910853	4437205	69627	549439	756937	707509	2083512	893997	454478	3431987	1005218	4114476	62582	488719	665555	640158	1857014	783564	389053	3029631	1084845
44719	4	rec.																																									68323877	1067872	9031938	9992848	8190331	28282989	9886694	6855508	45025191	23298686
44811	4	firms	6218	379	3122	1518	670	5689	388	79	6156	62	5902	422	2956	1373	661	5412	356	74	5842	60	5706	422	2851	1325	625	5223	353	75	5651	55	5616	471	2765	1298	604	5138	357	68	5563	53	5465	478	2786	1205	560	5029	327	61	5417	48
44811	4	estab.	11863	391	3134	1564	813	5902	889	572	7363	4500	11445	431	2972	1422	831	5656	805	558	7019	4426	10670	423	2870	1379	785	5457	762	519	6738	3932	10732	471	2787	1337	713	5308	784	487	6579	4153	10416	478	2796	1235	637	5146	674	464	6284	4132
44811	4	empl.	87451	0	7052	9848	8258	25158	11123	7237	43518	43933	84890	0	6625	8880	8210	23715	10195	6453	40363	44527	84973	0	6441	8609	7783	22833	10465	6521	39819	45154	86192	0	6176	8375	7507	22058	10363	6685	39106	47086	83175	0	6351	7795	7078	21224	9230	5845	36299	46876
44811	4	ann. pay.	1434785	7378	116594	170124	163985	458081	221054	138265	817400	617385	1481019	10140	115338	164109	169789	459376	211567	137438	808381	672638	1594760	7088	115612	165269	174622	462591	227290	168420	858301	736459	1551278	10578	114680	159346	169087	453691	220892	164199	838782	712496	1580023	11535	117202	156623	159356	444716	202735	124744	772195	807828
44811	4	rec.																																									9957974	123435	885274	890607	828680	2727996	1072894	709732	4510622	5447352
44812	4	firms	16723	1502	9428	3494	1432	15856	623	128	16607	116	15977	1577	8833	3341	1390	15141	605	126	15872	105	15296	1617	8239	3232	1385	14473	599	123	15195	101	14750	1626	7883	3054	1357	13920	615	115	14650	100	13778	1727	7207	2844	1215	12993	578	111	13682	96
44812	4	estab.	37451	1516	9609	3582	1693	16400	1414	1478	19292	18159	36154	1591	8926	3394	1574	15485	1268	1811	18564	17590	35633	1617	8289	3327	1559	14792	1209	1326	17327	18306	35564	1629	7931	3130	1498	14188	1213	1073	16474	19090	34559	1735	7244	2891	1355	13225	1182	1153	15560	18999
44812	4	empl.	294306	0	20651	22483	18046	61180	18758	14223	94161	200145	283872	0	19326	21582	17598	58506	18293	15885	92684	191188	302491	0	18119	20817	17723	56659	18727	13478	88864	213627	304645	0	17421	19729	17296	54446	19547	13345	87338	217307	299652	0	16128	18176	15643	49947	18076	13680	81703	217949
44812	4	ann. pay.	3516459	25280	236390	270257	256025	787952	285825	191005	1264782	2251677	3734851	31896	237595	279788	259113	808392	306312	214311	1329015	2405836	3893314	30615	239375	279843	269732	819565	321966	211416	1352947	2540367	4044792	30956	239126	269900	269237	809219	329644	210200	1349063	2695729	4091544	34181	219652	261581	253445	768859	307288	197065	1273212	2818332
44812	4	rec.																																									31679581	338867	1962533	1730062	1442608	5474070	1769199	1407388	8650657	23028924
44813	4	firms	2857	378	1569	541	206	2694	114	31	2839	18	2796	414	1477	541	203	2635	114	26	2775	21	2832	421	1463	560	214	2658	131	23	2812	20	2922	441	1460	613	230	2744	138	22	2904	18	2993	448	1509	624	242	2823	131	22	2976	17
44813	4	estab.	5168	378	1574	556	231	2739	182	187	3108	2060	5333	414	1480	559	221	2674	177	176	3027	2306	5647	425	1469	574	240	2708	198	195	3101	2546	5724	441	1466	626	255	2788	197	184	3169	2555	6119	448	1512	631	262	2853	197	197	3247	2872
44813	4	empl.	47442	0	3425	3435	2619	9479	3406	2858	15743	31699	50686	0	3242	3471	2712	9425	3569	2579	15573	35113	58608	0	3229	3577	2751	9557	4258	2541	16356	42252	57076	0	3187	3897	2946	10030	4399	2954	17383	39693	62411	0	3371	4011	3100	10482	4411	2747	17640	44771
44813	4	ann. pay.	533654	5751	32025	34045	31444	103265	45829	35243	184337	349317	582653	6421	33920	36377	34580	111298	50467	35432	197197	385456	675358	6196	34977	39738	37450	118361	62828	34779	215968	459390	726189	6931	34941	42944	39791	124607	67150	44173	235930	490259	731544	6803	38975	44984	38897	129659	73031	43163	245853	485691
44813	4	rec.																																									6528762	61725	359754	312770	237486	971735	411270	261093	1644098	4884664
44814	4	firms	7911	832	3665	1634	926	7057	590	133	7780	131	7489	769	3523	1526	887	6705	550	117	7372	117	7332	794	3425	1506	848	6573	533	117	7223	109	7590	904	3558	1522	846	6830	529	120	7479	111	8025	1100	3792	1537	840	7269	516	121	7906	119
44814	4	estab.	20838	835	3680	1668	1047	7230	1077	732	9039	11799	20901	793	3548	1558	984	6883	997	635	8515	12386	20627	810	3453	1558	914	6735	951	607	8293	12334	21774	904	3580	1577	926	6987	873	579	8439	13335	22897	1102	3802	1559	921	7384	853	632	8869	14028
44814	4	empl.	393745	0	7863	10780	11733	30376	17729	12386	60491	333254	419754	0	7560	10011	11238	28809	16898	11743	57450	362304	453088	0	7487	9774	10746	28007	16319	12394	56720	396368	469949	0	7560	9920	10723	28203	16110	11531	55844	414105	473934	0	8252	9955	10709	28916	15090	11702	55708	418226
44814	4	ann. pay.	5195951	15510	95001	134440	161957	406908	274019	186440	867367	4328584	5654479	14775	97949	131938	161870	406532	275823	202762	885117	4769362	5918257	16564	99424	136811	162170	414969	278075	223009	916053	5002204	6452283	22614	106178	142716	168054	439562	265430	206146	911138	5541145	7046497	29590	119455	148344	164078	461467	272071	198525	932063	6114434
44814	4	rec.																																									61064919	263670	1048875	1060894	1026477	3399916	1631342	1553112	6584370	54480549
44815	4	firms	2325	355	1366	345	131	2197	86	22	2305	20	2323	371	1354	364	109	2198	84	21	2303	20	2404	399	1376	382	122	2279	87	20	2386	18	2559	413	1437	440	146	2436	84	21	2541	18	2955	603	1600	453	169	2825	93	19	2937	18
44815	4	estab.	5790	357	1374	373	158	2262	237	215	2714	3076	5529	375	1365	387	136	2263	217	250	2730	2799	5661	403	1390	397	145	2335	191	214	2740	2921	5860	417	1447	457	163	2484	189	216	2889	2971	6388	603	1607	462	198	2870	238	256	3364	3024
44815	4	empl.	29089	0	2770	2197	1592	6559	2203	2162	10924	18165	28628	0	2734	2286	1334	6354	2211	2385	10950	17678	28463	0	2848	2449	1494	6791	2240	1815	10846	17617	28860	0	2927	2771	1784	7482	2450	1845	11777	17083	30993	0	3321	2878	2058	8257	2734	1736	12727	18266
44815	4	ann. pay.	368638	9246	33201	29643	22951	95041	35254	41210	171505	197133	391493	5526	36911	31531	20469	94437	39859	46153	180449	211044	400245	7134	40972	35355	22997	106458	38012	40647	185117	215128	420105	6752	43406	41486	27935	119579	44501	37459	201539	218566	528736	9715	51132	43409	29798	134054	49240	39616	222910	305826
44815	4	rec.																																									3214324	94426	440350	278675	156906	970357	263640	274303	1508300	1706024
44819	4	firms	7733	1200	3931	1446	641	7218	386	74	7678	55	7654	1118	3964	1389	674	7145	382	74	7601	53	7811	1141	3934	1501	720	7296	397	74	7767	44	8130	1170	4128	1549	740	7587	430	71	8088	42	8662	1359	4273	1720	767	8119	432	67	8618	44
44819	4	estab.	11761	1201	3950	1516	749	7416	799	391	8606	3155	11677	1118	3988	1446	810	7362	735	391	8488	3189	11751	1151	3951	1557	863	7522	707	425	8654	3097	12057	1171	4152	1605	841	7769	817	409	8995	3062	12704	1363	4293	1765	861	8282	867	473	9622	3082
44819	4	empl.	76912	0	8369	9262	8012	25643	10370	4244	40257	36655	75994	0	8460	9008	8545	26013	10593	4313	40919	35075	87776	0	8470	9657	9087	27214	11398	5056	43668	44108	86530	0	8871	10114	9422	28407	12578	5179	46164	40366	95445	0	9599	11132	9766	30497	12586	5544	48627	46818
44819	4	ann. pay.	1068347	23530	104025	122526	117731	367812	159051	63874	590737	477610	1129504	32197	113024	125048	130690	400959	167861	70910	639730	489774	1235604	30624	117224	139996	142955	430799	194973	86177	711949	523655	1324328	25730	131188	146544	157723	461185	215125	106095	782405	541923	1419037	28760	139568	167275	165588	501191	211636	91766	804593	614444
44819	4	rec.																																									9719704	239008	1112170	977211	922048	3250437	1128730	519820	4898987	4820717
44821	4	firms	7289	476	3633	1747	815	6671	471	87	7229	60	7012	526	3470	1646	780	6422	456	72	6950	62	6845	527	3351	1608	771	6257	466	71	6794	51	6761	562	3249	1610	768	6189	459	63	6711	50	7074	678	3495	1645	710	6528	435	62	7025	49
44821	4	estab.	29603	478	3660	1851	1086	7075	1480	1318	9873	19730	30042	546	3507	1751	1029	6833	1385	1237	9455	20587	29664	531	3403	1718	1047	6699	1378	1080	9157	20507	28175	564	3298	1736	1034	6632	1224	915	8771	19404	27961	682	3512	1763	964	6921	1140	955	9016	18945
44821	4	empl.	195504	0	8363	11318	10279	29960	14677	10860	55497	140007	188875	0	8033	10682	9912	28627	14435	9950	53012	135863	185076	0	7759	10476	9644	27879	14908	9647	52434	132642	187624	0	7490	10456	9677	27623	14944	8829	51396	136228	201150	0	8370	10759	9107	28236	13838	8866	50940	150210
44821	4	ann. pay.	2472505	15260	120893	168006	165821	469980	244423	168380	882783	1589722	2608531	10703	121953	166425	162839	461920	256209	157799	875928	1732603	2611208	10893	126740	169896	170030	477559	275212	156865	909636	1701572	2698873	11909	124434	175797	166911	479051	293720	139482	912253	1786620	2732096	12988	132856	183446	170848	500138	270222	147566	917926	1814170
44821	4	rec.																																									22555189	118355	1097879	1180049	993292	3389575	1608500	1071456	6069531	16485658
44831	4	firms	19306	1754	11337	4106	1461	18658	527	83	19268	38	19403	1835	11363	4090	1474	18762	533	70	19365	38	19639	1978	11241	4223	1544	18986	550	65	19601	38	19925	2024	11478	4218	1573	19293	537	55	19885	40	19700	2138	11472	4009	1484	19103	503	58	19664	36
44831	4	estab.	28104	1768	11387	4243	1730	19128	1224	1107	21459	6645	28552	1848	11404	4240	1739	19231	1187	1051	21469	7083	29303	1991	11330	4354	1819	19494	1134	986	21614	7689	29780	2035	11530	4357	1825	19747	1132	852	21731	8049	28914	2141	11493	4099	1770	19503	1133	946	21582	7332
44831	4	empl.	144380	0	24874	26384	18372	69630	16395	10736	96761	47619	148849	0	24988	26330	18626	69944	17011	9944	96899	51950	156383	0	24592	27266	19371	71229	17716	8241	97186	59197	159314	0	24988	27257	19940	72185	17664	7564	97413	61901	150915	0	25345	25956	18779	70080	15699	7811	93590	57325
44831	4	ann. pay.	3030158	32181	433316	519687	426332	1411516	418893	261800	2092209	937949	3325994	36645	453371	549784	456670	1496470	470153	239499	2206122	1119872	3637708	42017	455634	588816	492968	1579435	515858	207923	2303216	1334492	3651427	41754	481384	589111	502969	1615218	510540	188531	2314289	1337138	3583339	42015	493438	599615	501439	1636507	487323	211761	2335591	1247748
44831	4	rec.																																									23829905	395721	3796145	3580118	2881123	10653107	2822966	1356534	14832607	8997298
44832	4	firms	841	97	420	141	91	749	62	18	829	12	848	105	425	145	86	761	60	15	836	12	853	92	419	167	82	760	65	18	843	10	855	98	418	163	84	763	62	20	845	10	885	117	447	153	80	797	60	17	874	11
44832	4	estab.	2082	97	422	148	119	786	218	320	1324	758	2041	105	429	155	112	801	207	299	1307	734	1990	96	423	177	99	795	209	386	1390	600	2002	98	421	172	100	791	209	360	1360	642	1937	117	449	163	96	825	213	342	1380	557
44832	4	empl.	11562	0	921	917	1133	2971	2396	2023	7390	4172	11891	0	916	941	1096	2953	2292	1768	7013	4878	11807	0	898	1085	1005	2988	2413	1977	7378	4429	12436	0	928	1077	1050	3055	2231	1978	7264	5172	11273	0	982	1010	1025	3017	1928	1858	6803	4470
44832	4	ann. pay.	191947	1321	15222	14501	19923	50967	39069	28453	118489	73458	225644	3086	15868	16519	22199	57672	39895	30381	127948	97696	233986	1796	15754	19350	19157	56057	45058	36057	137172	96814	248250	2029	15826	20188	22156	60199	40304	32929	133432	114818	227116	2569	17465	18277	20325	58636	38419	29066	126121	100995
44832	4	rec.																																									1846125	202232	142777	113597	112325	570931	211280	176381	958592	887533
45111	4	firms	19882	2663	10145	3926	1922	18656	1066	100	19822	60	19029	2212	9852	3849	1888	17801	1058	113	18972	57	18535	2247	9197	3864	1965	17273	1093	112	18478	57	18374	2214	9146	3775	1965	17100	1116	100	18316	58	18775	2614	9068	3853	1986	17521	1100	100	18721	54
45111	4	estab.	24146	2677	10169	4020	2232	19098	2072	518	21688	2458	23140	2225	9887	3945	2175	18232	1977	697	20906	2234	22611	2260	9232	3955	2255	17702	1928	725	20355	2256	22468	2231	9185	3920	2231	17567	1960	544	20071	2397	23018	2619	9092	3960	2297	17968	2073	507	20548	2470
45111	4	empl.	181428	0	21959	25508	24806	72273	34707	9230	116210	65218	181739	0	21382	25137	24428	70947	35021	10634	116602	65137	184964	0	20010	25130	25409	70549	36559	12506	119614	65350	189494	0	19921	24506	25669	70096	37566	11050	118712	70782	190543	0	20256	25171	26047	71474	35896	9977	117347	73196
45111	4	ann. pay.	2653013	50307	328969	360402	370467	1110145	562554	143778	1816477	836536	2752938	46931	336684	374882	387562	1146059	592498	180375	1918932	834006	2948289	49632	330518	389153	411977	1181280	654827	217815	2053922	894367	3062098	47824	340687	399959	418656	1207126	690080	197035	2094241	967857	3191861	58959	347411	421760	447054	1275184	693919	177044	2146147	1045714
45111	4	rec.																																									26169189	537500	3154769	2940113	2827675	9460057	4261568	1251259	14972884	11196305
45112	4	firms	6529	894	3421	1207	585	6107	339	56	6502	27	6338	803	3322	1166	605	5896	365	53	6314	24	6208	752	3186	1218	610	5766	370	50	6186	22	6076	737	3100	1191	628	5656	358	39	6053	23	6217	849	3075	1220	667	5811	339	43	6193	24
45112	4	estab.	10934	897	3425	1221	658	6201	567	457	7225	3709	10789	804	3328	1182	670	5984	620	449	7053	3736	10911	753	3193	1236	677	5859	617	381	6857	4054	10783	744	3105	1236	692	5777	573	217	6567	4216	11021	849	3081	1234	721	5885	550	265	6700	4321
45112	4	empl.	118603	0	7010	7782	7576	22368	9835	7477	39680	78923	124806	0	6961	7627	7861	22449	11235	7060	40744	84062	131456	0	6825	7978	7980	22783	11323	6761	40867	90589	137147	0	6491	7741	7998	22230	11022	5119	38371	98776	139748	0	6674	7959	8615	23248	10327	5134	38709	101039
45112	4	ann. pay.	1582076	20692	74709	82836	87843	266080	129920	91006	487006	1095070	1686001	17066	79694	84087	94798	275645	167301	91938	534884	1151117	1775316	16651	81261	90072	98416	286400	149062	109125	544587	1230729	1893986	11714	82102	90492	104952	289260	151339	82204	522803	1371183	1968363	14519	81251	95002	108167	298939	148756	85489	533184	1435179
45112	4	rec.																																									17129724	144842	750591	650446	671638	2217517	869222	528780	3615519	13514205
45113	4	firms	4040	374	2373	829	303	3879	130	16	4025	15	3926	349	2285	813	316	3763	135	17	3915	11	3783	364	2127	773	346	3610	144	17	3771	12	3710	313	2090	782	351	3536	147	16	3699	11	3922	384	2111	869	395	3759	139	15	3913	9
45113	4	estab.	6223	376	2381	846	351	3954	275	82	4311	1912	5888	351	2296	829	357	3833	275	85	4193	1695	5695	364	2138	788	390	3680	266	81	4027	1668	5543	313	2101	798	391	3603	253	73	3929	1614	5642	384	2120	877	439	3820	233	68	4121	1521
45113	4	empl.	47828	0	5005	5345	3872	14222	3971	1465	19658	28170	44797	0	4795	5277	4044	14116	4184	1799	20099	24698	38952	0	4541	5009	4374	13924	4420	1881	20225	18727	47960	0	4532	5095	4436	14063	4605	1813	20481	27479	40984	0	4638	5613	5047	15298	4472	1831	21601	19383
45113	4	ann. pay.	499594	5921	49608	55277	51137	161943	68816	17660	248419	251175	521205	9545	51784	57470	52518	171317	76217	22591	270125	251080	507166	4504	52700	53769	60881	171854	85462	26110	283426	223740	602251	7179	52237	58981	61456	179853	88144	24706	292703	309548	567035	5100	54668	66507	72479	198754	87634	29887	316275	250760
45113	4	rec.																																									4124080	37720	427483	414745	372882	1252830	399938	137448	1790216	2333864
45114	4	firms	3818	281	1897	877	478	3533	254	22	3809	9	3698	242	1817	877	472	3408	260	19	3687	11	3639	254	1745	876	452	3327	282	19	3628	11	3556	230	1703	860	451	3244	283	18	3545	11	3739	293	1871	829	450	3443	272	14	3729	10
45114	4	estab.	4512	281	1904	906	612	3703	538	162	4403	109	4429	242	1826	919	588	3575	520	121	4216	213	4391	254	1757	914	541	3466	538	146	4150	241	4358	234	1712	892	541	3379	539	152	4070	288	4598	297	1878	868	571	3614	562	107	4283	315
45114	4	empl.	30499	0	4275	5662	6347	16284	8718	2903	27905	2594	31761	0	4055	5714	6261	16030	8708	1914	26652	5109	33211	0	3968	5735	5952	15655	9379	2197	27231	5980	34142	0	3848	5604	5881	15333	9371	2224	26928	7214	33898	0	4307	5441	5840	15588	8947	1792	26327	7571
45114	4	ann. pay.	655975	6606	71390	97392	130696	306084	210390	70414	586888	69087	700118	6201	69339	104569	137164	317273	211710	52226	581209	118909	752726	5893	69741	108726	132852	317212	231059	64637	612908	139818	765910	6401	68229	104712	130859	310201	236643	59942	606786	159124	770183	8324	78421	106934	129068	322747	227852	52467	603066	167117
45114	4	rec.																																									5090353	77676	645783	675867	736041	2135367	1145769	212083	3493219	1597134
45121	4	firms	8536	860	4471	1680	838	7849	525	111	8485	51	8126	708	4314	1601	815	7438	523	115	8076	50	7831	722	4093	1572	781	7168	507	108	7783	48	7649	657	4077	1449	817	7000	506	94	7600	49	7534	765	3920	1418	804	6907	495	84	7486	48
45121	4	estab.	14385	862	4479	1732	979	8052	1075	777	9904	4481	14065	719	4329	1651	937	7636	1036	735	9407	4658	13693	739	4111	1618	911	7379	954	750	9083	4610	13599	657	4090	1512	930	7189	945	799	8933	4666	14198	769	3933	1465	901	7068	978	777	8823	5375
45121	4	empl.	137149	0	9678	10914	10702	31294	17882	12639	61815	75334	139590	0	9213	10407	10387	30007	17773	13125	60905	78685	151666	0	8772	10273	10081	29126	17344	12817	59287	92379	143985	0	8828	9498	10436	28762	17122	11456	57340	86645	146718	0	8681	9212	10332	28225	16465	10222	54912	91806
45121	4	ann. pay.	1703524	23408	109487	115309	132554	380758	250361	173445	804564	898960	1765406	11604	108358	119547	130339	369848	247990	184329	802167	963239	1896482	14219	105741	126646	132128	378734	248652	182353	809739	1086743	1990266	14864	111430	114168	145699	386161	247033	175382	808576	1181690	2017642	15248	108341	114964	137912	376465	248653	155193	780311	1237331
45121	4	rec.																																									16623498	161940	933273	726337	817533	2639083	1455829	1072727	5167639	11455859
45122	4	firms	3640	451	1973	690	286	3400	187	36	3623	17	3481	389	1894	667	288	3238	196	33	3467	14	3494	389	1866	697	307	3259	183	37	3479	15	3513	403	1891	679	306	3279	182	36	3497	16	3738	448	2010	743	316	3517	172	32	3721	17
45122	4	estab.	7956	451	1978	713	343	3485	430	419	4334	3622	7763	395	1903	700	321	3319	426	390	4135	3628	7720	393	1873	732	344	3342	385	402	4129	3591	7702	403	1907	702	346	3358	389	458	4205	3497	7456	448	2015	755	357	3575	373	275	4223	3233
45122	4	empl.	64353	0	4230	4434	3726	12390	6290	4458	23138	41215	67180	0	4071	4256	3644	11971	6690	4125	22786	44394	75988	0	4033	4491	3899	12423	6678	4731	23832	52156	69533	0	4045	4414	3918	12377	6755	4910	24042	45491	65835	0	4339	4823	4071	13233	6126	4307	23666	42169
45122	4	ann. pay.	801054	9927	54132	59990	55245	179294	98290	61412	338996	462058	821659	8709	55058	60535	55761	180063	103214	55127	338404	483255	884868	9712	54364	62400	61466	187942	115478	69627	373047	511821	907069	8272	57673	64682	60903	191530	127057	67783	386370	520699	811057	8827	59885	63791	60023	192526	97009	57852	347387	463670
45122	4	rec.																																									7550585	69588	449819	396884	334343	1250634	569995	452501	2273130	5277455
45211	4	firms	167	49	18	8	3	78	15	24	117	50	141	65	1	1	0	67	10	17	94	47	103	31	0	3	0	34	11	15	60	43	95	19	6	2	0	27	13	15	55	40	406	77	148	66	26	317	32	17	366	40
45211	4	estab.	10526	49	18	8	3	78	18	29	125	10401	10538	65	1	1	0	67	13	24	104	10434	10428	33	0	3	0	36	14	20	70	10358	10374	19	6	2	0	27	16	125	168	10206	10418	77	148	66	30	321	47	36	404	10014
45211	4	empl.	1783556	         [a]	37	48	         [b]	         [c]	         [f]	         [h]	4722	1778834	1730991	0	[a]	[a]	0	[a]	[f]	[h]	3771	1727220	1765852	0	0	23	0	23	658	2899	3580	1762272	1727333	0	         [a]	         [a]	0	29	691	3110	3830	1723503	1742136	0	314	437	337	1088	1343	2771	5202	1736934
45211	4	ann. pay.	23494257	         (D)	487	417	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	62723	23431534	25321148	5101	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	64043	25257105	27204111	945	0	514	0	1459	16667	49293	67419	27136692	28631374	547	         (D)	         (D)	0	1130	8645	89438	99213	28532161	29172508	2168	7687	5683	5030	20568	25387	63734	109689	29062819
45211	4	rec.																																									274073931	15129	72234	44020	29731	161114	198752	327190	687056	273386875
45291	4	firms	138	70	32	14	3	119	2	6	127	11	118	12	60	24	5	101	1	3	105	13	102	8	50	22	4	84	4	3	91	11	142	17	64	32	9	122	5	4	131	11	204	13	110	39	17	179	10	4	193	11
45291	4	estab.	1788	70	32	14	3	119	2	16	137	1651	1840	12	60	24	5	101	1	3	105	1735	1968	8	50	22	4	84	4	4	92	1876	2051	17	64	32	9	122	5	5	132	1919	2241	13	110	39	17	179	11	28	218	2023
45291	4	empl.	449645	         [a]	73	97	         [b]	         [c]	         [b]	         [g]	1364	448281	461992	0	[c]	[c]	67	[e]	[a]	[f]	1103	460889	477521	0	99	139	53	291	165	1128	1584	475937	495230	0	         [c]	         [c]	114	458	139	722	1319	493911	497947	0	240	254	239	733	376	720	1829	496118
45291	4	ann. pay.	7021711	         (D)	915	1018	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	17971	7003740	7915156	253	(D)	(D)	864	(D)	(D)	(D)	14827	7900329	8736584	203	795	1368	1127	3493	2010	18920	24423	8712161	9330882	178	         (D)	         (D)	1086	5589	1566	8557	15712	9315170	10094387	348	3318	3403	3472	10541	7616	10060	28217	10066170
45291	4	rec.																																									129762125	3376	44024	39420	20188	107008	70156	106304	283468	129478657
45299	4	firms	10374	1380	5171	1978	1036	9565	606	112	10283	91	10474	1250	5348	2020	1016	9634	645	112	10391	83	10533	1314	5327	1980	1048	9669	663	116	10448	85	10230	1156	5236	1970	1037	9399	633	109	10141	89	9114	1322	4406	1646	974	8348	568	115	9031	83
45299	4	estab.	24443	1381	5182	1995	1122	9680	999	589	11268	13175	25756	1287	5359	2037	1108	9791	998	553	11342	14414	27243	1329	5337	2005	1123	9794	983	635	11412	15831	28744	1158	5248	1990	1110	9506	955	724	11185	17559	28410	1324	4409	1664	1054	8451	899	654	10004	18406
45299	4	empl.	245960	0	11111	12788	13463	37362	19933	14166	71461	174499	251555	0	11603	13119	13336	38058	21936	14850	74844	176711	282734	0	11624	12885	13623	38132	22245	15950	76327	206407	303411	0	11287	12824	13475	37586	21573	16321	75480	227931	306011	0	9791	10699	12677	33167	19420	16046	68633	237378
45299	4	ann. pay.	3142383	22150	126229	141921	171859	462159	285268	210319	957746	2184637	3322893	20902	141808	157350	174438	494498	321174	220226	1035898	2286995	3828704	26285	148596	154214	178364	507459	329549	241125	1078133	2750571	4276206	26228	146739	156975	180733	510675	336052	245945	1092672	3183534	4441615	24329	126533	135004	171477	457343	306088	271281	1034712	3406903
45299	4	rec.																																									40768795	249416	1264861	1116565	1178721	3809563	2079037	2004653	7893253	32875542
45311	4	firms	24471	2269	13484	5715	2240	23708	706	42	24456	15	23658	2001	13053	5638	2214	22906	698	35	23639	19	23087	2161	12409	5450	2312	22332	701	38	23071	16	22724	2077	12058	5493	2352	21980	687	41	22708	16	22101	1966	11825	5317	2245	21353	682	49	22084	17
45311	4	estab.	25634	2270	13492	5802	2482	24046	1147	286	25479	155	24798	2004	13064	5716	2456	23240	1086	182	24508	290	24197	2175	12424	5523	2519	22641	1054	187	23882	315	23870	2095	12070	5573	2559	22297	1015	201	23513	357	23094	1967	11833	5375	2412	21587	1018	249	22854	240
45311	4	empl.	123263	0	30438	36836	28484	95758	21722	4082	121562	1701	121783	0	29233	36382	28324	93939	21606	3201	118746	3037	122224	0	28175	35365	29468	93008	21707	3590	118305	3919	125116	0	27321	35588	30379	93288	21539	4504	119331	5785	119117	0	27627	34573	28586	90786	21208	5431	117425	1692
45311	4	ann. pay.	1469027	31535	320694	393526	340904	1086659	295887	59695	1442241	26786	1537594	30262	322758	413784	361737	1128541	305483	48459	1482483	55111	1584096	32318	320586	415308	374573	1142785	314976	63458	1521219	62877	1643813	43369	317338	427109	393934	1181750	311132	75948	1568830	74983	1597080	31925	312614	420179	380186	1144904	317964	101495	1564363	32717
45311	4	rec.																																									7314208	199884	1945811	1818846	1431713	5396254	1105077	432935	6934266	379942
45321	4	firms	4688	439	2148	1068	595	4250	364	43	4657	31	4766	464	2195	1078	582	4319	375	44	4738	28	4721	414	2181	1078	599	4272	373	48	4693	28	4790	425	2236	1104	582	4347	366	50	4763	27	5327	542	2490	1215	628	4875	376	48	5299	28
45321	4	estab.	7730	439	2148	1090	667	4344	617	118	5079	2651	8415	464	2199	1101	652	4416	605	112	5133	3282	8617	417	2186	1095	664	4362	597	129	5088	3529	8787	429	2241	1118	652	4440	579	148	5167	3620	9267	543	2493	1231	730	4997	633	176	5806	3461
45321	4	empl.	110228	0	4789	7012	7569	19370	11175	2523	33068	77160	124063	0	4954	7113	7361	19428	11296	2684	33408	90655	134941	0	4898	7133	7593	19624	11371	3904	34899	100042	127922	0	5006	7351	7419	19776	11436	3711	34923	92999	125670	0	5695	7993	8049	21737	11594	3555	36886	88784
45321	4	ann. pay.	1990633	12253	71839	115753	142203	342048	243107	57913	643068	1347565	2415455	19911	81089	125177	137942	364119	260776	80153	705048	1710407	2702087	15885	82274	125320	151257	374736	270754	109073	754563	1947524	2685698	12662	90825	136766	148730	388983	288149	83105	760237	1925461	2799686	14297	99206	154821	177048	445372	300205	106676	852253	1947433
45321	4	rec.																																									25073489	132225	760519	991744	950286	2834774	1549560	718893	5103227	19970262
45322	4	firms	28370	3794	14749	5566	2541	26650	1414	197	28261	109	27205	3266	14116	5496	2647	25525	1380	194	27099	106	26293	3141	13410	5417	2637	24605	1382	207	26194	99	25550	2947	13264	5168	2474	23853	1384	212	25449	101	28180	4129	14279	5575	2537	26520	1347	211	28078	102
45322	4	estab.	36643	3799	14803	5712	2900	27214	3081	1097	31392	5251	35167	3274	14174	5620	3056	26124	2868	1231	30223	4944	34399	3157	13484	5531	3024	25196	2763	1200	29159	5240	33678	2954	13326	5310	2827	24417	2718	1160	28295	5383	36047	4138	14303	5683	2896	27020	2831	1340	31191	4856
45322	4	empl.	213984	0	31408	36161	32386	99955	42530	14579	157064	56920	214739	0	30326	35614	33637	99577	42939	15604	158120	56619	214613	0	28728	35075	33710	97513	43146	18385	159044	55569	210627	0	28443	33489	31330	93262	43161	17991	154414	56213	209064	0	30801	36226	32201	99228	41065	17254	157547	51517
45322	4	ann. pay.	2281711	53028	331258	361266	349114	1094666	495002	189486	1779154	502557	2426225	55138	346142	364782	375605	1141667	516821	213882	1872370	553855	2544108	51236	333887	372930	384892	1142945	531199	232024	1906168	637940	2541621	50487	342318	368655	360786	1122246	537162	267705	1927113	614508	2639647	74148	367694	400803	382095	1224740	530719	266626	2022085	617562
45322	4	rec.																																									17061866	626568	2902502	2428298	2100417	8057785	2899746	1708457	12665988	4395878
45331	4	firms	14705	1888	9038	2061	796	13783	569	273	14625	80	14379	1462	9066	2106	820	13454	568	266	14288	91	13703	1326	8558	2082	781	12747	591	272	13610	93	13565	1347	8373	2100	794	12614	570	287	13471	94	13967	1570	8481	2112	815	12978	619	284	13881	86
45331	4	estab.	18220	1889	9053	2103	905	13950	989	1477	16416	1804	18037	1466	9087	2156	913	13622	980	1480	16082	1955	17480	1332	8581	2119	876	12908	970	1525	15403	2077	17436	1348	8394	2147	888	12777	919	1636	15332	2104	17997	1570	8493	2151	918	13132	1096	1657	15885	2112
45331	4	empl.	105357	0	17811	13046	9950	40807	17029	22630	80466	24891	110496	0	18070	13430	10204	41704	17295	23429	82428	28068	113837	0	17144	13332	9759	40235	17949	24056	82240	31597	115719	0	16668	13328	9970	39966	17709	26028	83703	32016	117587	0	17394	13525	10174	41093	18593	26082	85768	31819
45331	4	ann. pay.	1387460	25192	209356	164658	146434	545640	239744	278211	1063595	323865	1524819	19983	230760	180185	156259	587187	256605	296861	1140653	384166	1625138	18637	226860	203491	151659	600647	277267	314661	1192575	432563	1698721	18634	230868	200639	163435	613576	271700	347445	1232721	466000	1789399	25359	233918	204305	160795	624377	295350	349363	1269090	520309
45331	4	rec.																																									7910526	227149	1872646	1216253	791893	4107941	1129432	1152177	6389550	1520976
45391	4	firms	6768	952	3251	1462	751	6416	312	26	6754	14	6370	673	3182	1414	752	6021	305	33	6359	11	6223	703	3030	1363	767	5863	316	33	6212	11	6009	597	2891	1396	748	5632	335	32	5999	10	5833	649	2671	1357	788	5465	335	23	5823	10
45391	4	estab.	8462	953	3265	1479	834	6531	604	287	7422	1040	8213	674	3187	1448	830	6139	576	274	6989	1224	8138	704	3042	1383	841	5970	584	268	6822	1316	7945	597	2899	1434	798	5728	581	265	6574	1371	7903	649	2675	1379	859	5562	643	243	6448	1455
45391	4	empl.	63650	0	7108	9582	9803	26493	10126	         [h]	         [k]	         [j]	66075	0	6935	9216	9701	25852	9896	4070	39818	26257	67967	0	6659	8911	9974	25544	10614	3940	40098	27869	72120	0	6358	9175	9785	25318	10724	3730	39772	32348	75782	0	6141	8949	10399	25489	10986	2610	39085	36697
45391	4	ann. pay.	801523	18825	83042	108360	113616	323843	126348	         (D)	         (D)	         (D)	880010	15644	88217	109602	123279	336742	130019	63988	530749	349261	947780	14855	90416	112968	128411	346650	145495	57323	549468	398312	1010849	13796	88718	118297	135536	356347	154949	54272	565568	445281	1127287	12240	82628	114143	142955	351966	156894	40676	549536	577751
45391	4	rec.																																									7883142	112881	717267	732081	800445	2362674	933287	303334	3599295	4283847
45392	4	firms	5614	924	3437	845	266	5472	112	24	5608	6	5583	762	3481	876	302	5421	128	24	5573	10	5636	806	3427	907	327	5467	137	22	5626	10	5837	795	3610	923	333	5661	145	21	5827	10	6294	974	3956	906	308	6144	119	21	6284	10
45392	4	estab.	5953	926	3447	875	328	5576	207	160	5943	10	5921	763	3492	910	357	5522	229	121	5872	49	5971	806	3442	941	376	5565	235	125	5925	46	6162	796	3626	953	387	5762	253	133	6148	14	6651	974	3966	953	371	6264	239	135	6638	13
45392	4	empl.	21509	0	7058	5369	3277	15704	2725	         [g]	         [j]	         [g]	24707	0	7172	5637	3700	16509	3138	1490	21137	3570	22284	0	7167	5811	3972	16950	3420	1694	22064	220	22988	0	7521	5856	4086	17463	3766	1625	22854	134	22853	0	8173	5724	3815	17712	3161	1673	22546	307
45392	4	ann. pay.	521298	19485	136468	113405	79903	349261	71755	         (D)	         (D)	         (D)	598372	19254	146865	122324	102901	391344	83755	50315	525414	72958	601996	17897	158359	143513	113833	433602	105440	58177	597219	4777	602422	20366	159700	134495	127276	441837	118739	39435	600011	2411	602791	22983	176587	137867	103744	441181	103233	50602	595016	7775
45392	4	rec.																																									4260451	186363	1548905	926092	619747	3281107	647602	280055	4208764	51687
45393	4	firms	4050	462	1429	984	720	3595	416	27	4038	12	3984	416	1437	952	744	3549	393	27	3969	15	3844	378	1446	935	679	3438	365	25	3828	16	3757	362	1611	867	622	3462	267	14	3743	14	3755	312	1707	914	549	3482	237	21	3740	15
45393	4	estab.	5724	464	1440	1019	889	3812	809	319	4940	784	5951	418	1449	990	905	3762	743	354	4859	1092	6156	385	1455	975	839	3654	643	367	4664	1492	5865	382	1632	913	762	3689	545	277	4511	1354	5611	312	1716	960	710	3698	588	104	4390	1221
45393	4	empl.	43234	0	3326	6540	9468	19334	13485	3330	36149	7085	46195	0	3300	6336	9913	19549	13120	3923	36592	9603	43101	0	3306	6249	8972	18527	11448	3142	33117	9984	35519	0	3651	5719	8151	17521	8257	1609	27387	8132	32738	0	3894	6011	7275	17180	7194	1376	25750	6988
45393	4	ann. pay.	1342157	22497	84991	173792	265335	546615	409179	94670	1050464	291693	1370487	18108	81556	166944	283850	550458	372519	95399	1018376	352111	1270613	13765	77227	153792	240183	484967	306908	72689	864564	406049	1043750	16212	91283	145570	228033	481098	239541	32077	752716	291034	925770	9086	89581	157291	205195	461153	198783	34595	694531	231239
45393	4	rec.																																									9604491	180810	1331028	1675959	1943421	5131218	1733432	317434	7182084	2422407
45399	4	firms	20499	3551	10512	3712	1679	19454	844	135	20433	66	20868	3379	10941	3789	1710	19819	856	132	20807	61	21973	3552	11430	3962	1888	20832	934	138	21904	69	21574	3066	11492	3963	1877	20398	972	138	21508	66	19189	2706	9952	3597	1815	18070	916	139	19125	64
45399	4	estab.	24203	3563	10551	3864	2042	20020	1615	704	22339	1864	24744	3388	10979	3929	2038	20334	1592	767	22693	2051	26085	3565	11474	4104	2181	21324	1598	710	23632	2453	25568	3069	11534	4097	2152	20852	1699	699	23250	2318	23427	2739	9974	3778	2261	18752	1901	752	21405	2022
45399	4	empl.	114819	0	22240	24025	21154	67419	22984	8729	99132	15687	120766	0	23016	24451	21879	69346	25004	9453	103803	16963	130694	0	24127	25593	24336	74056	27697	10083	111836	18858	131583	0	24164	25544	24164	73872	29242	10500	113614	17969	120181	0	21666	23320	23129	68115	26593	10624	105332	14849
45399	4	ann. pay.	2064717	74917	361474	393619	382788	1212798	414291	145424	1772513	292204	2280194	78262	393911	424685	413948	1310806	481810	167304	1959920	320274	2551563	85434	426208	464085	461682	1437409	556448	185336	2179193	372370	2650951	65588	446025	471376	483530	1466519	617558	196248	2280325	370626	2630469	75491	403644	462275	491767	1433177	601910	234647	2269734	360735
45399	4	rec.																																									18799038	727654	3876613	3176710	3109589	10890566	3799464	1751743	16441773	2357265
45411	4	firms	8956	961	4331	1447	946	7685	816	238	8739	217	9646	1845	4121	1506	886	8358	809	249	9416	230	10628	1780	4545	1741	1075	9141	952	274	10367	261	9900	1280	4451	1631	1048	8410	943	260	9613	287	10800	1747	5083	1602	1007	9439	849	232	10520	280
45411	4	estab.	9792	961	4333	1455	968	7717	929	301	8947	845	10634	1852	4127	1517	900	8396	918	326	9640	994	11802	1784	4547	1749	1095	9175	1060	346	10581	1221	11086	1285	4455	1642	1075	8457	1042	325	9824	1262	11923	1747	5086	1627	1029	9489	955	337	10781	1142
45411	4	empl.	229954	0	8900	9473	12476	30849	29542	34594	94985	134969	255296	0	8583	9858	11737	30178	29449	35858	95485	159811	276698	0	9403	11446	14342	35191	35070	42672	112933	163765	280912	0	9306	10625	14001	33932	34580	37593	106105	174807	250003	0	10451	10426	13418	34295	30608	32997	97900	152103
45411	4	ann. pay.	7267653	44512	200271	234561	327357	806701	826889	1012985	2646575	4621078	8854120	194124	208232	267357	339592	1009305	977591	1063665	3050561	5803559	10433028	135445	271581	364576	500592	1272194	1224304	1566411	4062909	6370119	10421271	70418	241110	299448	439903	1050879	1199469	1266222	3516570	6904701	9526329	76162	277679	305946	446151	1105938	1153277	1050575	3309790	6216539
45411	4	rec.																																									114234620	815725	2423739	2307951	3370018	8917433	7849758	9873541	26640732	87593888
45421	4	firms	5791	696	3178	851	520	5245	420	90	5755	36	5651	645	3109	817	556	5127	397	92	5616	35	5555	641	3058	816	516	5031	406	85	5522	33	5397	566	3059	761	521	4907	376	85	5368	29	5278	582	3053	704	479	4818	353	80	5251	27
45421	4	estab.	6389	698	3178	854	531	5261	476	231	5968	421	6251	645	3109	819	569	5142	449	232	5823	428	6155	641	3058	818	530	5047	456	209	5712	443	6004	566	3059	764	529	4918	427	214	5559	445	5860	583	3054	704	487	4828	436	220	5484	376
45421	4	empl.	66330	0	6119	5599	6982	18700	15478	13587	47765	18565	66614	0	5936	5322	7490	18748	14694	13311	46753	19861	66657	0	5843	5329	6868	18040	14978	12815	45833	20824	64266	0	5944	5011	6986	17941	13266	13032	44239	20027	57940	0	5984	4669	6388	17041	13017	11217	41275	16665
45421	4	ann. pay.	1428097	18178	108740	108329	148777	384024	348636	311846	1044506	383591	1479907	14637	105413	103427	163507	386984	345945	302777	1035706	444201	1510238	12890	105211	109176	158785	386062	353444	295609	1035115	475123	1500955	10528	108888	105568	159093	384077	336598	313376	1034051	466904	1350338	13858	107329	101422	146047	368656	324221	291177	984054	366284
45421	4	rec.																																									6767287	109338	769706	582685	726826	2188555	1521420	1200322	4910297	1856990
45431	4	firms	8053	383	3013	2029	1360	6785	1019	183	7987	66	7782	337	2882	1987	1316	6522	1013	176	7711	71	7542	345	2809	1894	1281	6329	965	176	7470	72	7330	312	2683	1861	1285	6141	947	174	7262	68	7133	301	2634	1794	1243	5972	938	156	7066	67
45431	4	estab.	12512	383	3016	2071	1472	6942	1673	826	9441	3071	12204	337	2899	2022	1422	6680	1633	810	9123	3081	11820	353	2815	1934	1378	6480	1553	844	8877	2943	11600	321	2687	1887	1422	6317	1495	866	8678	2922	11317	304	2636	1824	1393	6157	1510	754	8421	2896
45431	4	empl.	106044	0	7176	13310	17350	37836	27251	12530	77617	28427	107234	0	6866	13084	16692	36642	27527	12467	76636	30598	106360	0	6752	12466	16428	35646	27353	12212	75211	31149	105351	0	6419	12120	16575	35114	27376	12920	75410	29941	102172	0	6287	11804	15841	33932	26329	10813	71074	31098
45431	4	ann. pay.	2934046	11757	155645	320569	477537	965508	791392	373519	2130419	803627	2999221	10916	149969	319743	479678	960306	811852	381785	2153943	845278	3143266	15012	152601	319896	480675	968184	834860	391167	2194211	949055	3311690	13503	155632	331826	514659	1015620	888952	436592	2341164	970526	3298896	12235	152642	324278	497869	987024	876356	373035	2236415	1062481
45431	4	rec.																																									25964140	158939	1950964	2644504	3755469	8509876	6968128	3351026	18829030	7135110
45439	4	firms	12857	1822	7076	1884	1088	11870	790	115	12775	82	12705	2091	6774	1816	1053	11734	784	119	12637	68	13152	2314	6937	1898	1011	12160	803	115	13078	74	12477	1967	6736	1801	1002	11506	787	115	12408	69	13936	2657	7440	1862	1018	12977	764	125	13866	70
45439	4	estab.	14655	1825	7096	1906	1208	12035	998	233	13266	1389	14477	2098	6787	1844	1132	11861	960	233	13054	1423	14973	2337	6949	1922	1085	12293	1005	206	13504	1469	14232	1968	6749	1832	1078	11627	984	202	12813	1419	15635	2657	7447	1884	1078	13066	1005	261	14332	1303
45439	4	empl.	113103	0	13593	12270	14135	39998	25363	11729	77090	36013	110901	0	12871	11808	13681	38360	25506	11880	75746	35155	116816	0	13286	12247	13182	38715	26706	11295	76716	40100	115750	0	12782	11684	13170	37636	26332	14101	78069	37681	113758	0	14269	12249	13306	39824	25081	13962	78867	34891
45439	4	ann. pay.	2598163	41927	262225	255126	317685	876963	588273	308640	1773876	824287	2755774	68254	267668	273673	315285	924880	598457	358426	1881763	874011	2988580	76524	284606	280160	344543	985833	668852	332229	1986914	1001666	3082644	60770	282240	267889	346538	957437	684468	377363	2019268	1063376	3171154	69245	310047	294791	364284	1038367	679734	412399	2130500	1040654
45439	4	rec.																																									17948206	693991	2541207	1745517	1763948	6744663	3353746	2246080	12344489	5603717
48111	4	firms	784	163	209	92	64	528	117	70	715	69	760	118	225	80	76	499	116	73	688	72	778	115	233	102	68	518	115	74	707	71	722	89	235	88	65	477	104	73	654	68	750	93	275	84	66	518	95	69	682	68
48111	4	estab.	3377	164	209	93	69	535	233	420	1188	2189	3237	118	225	81	82	506	230	432	1168	2069	3324	119	233	109	78	539	222	441	1202	2122	3331	89	236	93	76	494	224	453	1171	2160	3297	109	276	85	86	556	215	471	1242	2055
48111	4	empl.	520756	0	413	615	837	1865	5458	13726	21049	499707	539994	0	476	536	1000	2012	5052	14062	21126	518868	570902	0	457	677	935	2069	5043	14466	21578	549324	562103	0	475	573	880	1928	4639	13941	20508	541595	513615	0	509	560	881	1950	4393	11763	18106	495509
48111	4	ann. pay.	20917358	7047	14319	21028	24695	67089	167985	472101	707175	20210183	22506160	5407	16553	17657	31449	71066	164075	524158	759299	21746861	24484512	6919	17035	22344	26919	73217	165769	547277	786263	23698249	26589728	4910	16495	20154	26343	67902	163440	512956	744298	25845430	25739116	13066	18469	20296	31041	82872	163727	449034	695633	25043483
48111	4	rec.																																									98451483	286518	164516	104306	200449	755789	919354	2958233	4633376	93818107
48121	4	firms	1812	215	817	273	179	1484	195	58	1737	75	1871	296	795	249	188	1528	213	56	1797	74	1953	328	821	249	207	1605	219	56	1880	73	1974	287	843	295	192	1617	223	61	1901	73	2035	304	885	267	189	1645	240	66	1951	84
48121	4	estab.	1971	215	817	274	188	1494	238	96	1828	143	2048	296	796	250	195	1537	262	95	1894	154	2105	328	823	250	213	1614	271	90	1975	130	2120	287	843	297	197	1624	270	96	1990	130	2215	304	887	267	198	1656	292	116	2064	151
48121	4	empl.	39270	0	1606	1743	2318	5667	6551	4749	16967	22303	42844	0	1512	1637	2457	5606	7740	5602	18948	23896	44703	0	1617	1590	2803	6010	8153	5436	19599	25104	46883	0	1654	1908	2642	6204	8124	7810	22138	24745	34643	0	1737	1680	2468	5885	8462	6269	20616	14027
48121	4	ann. pay.	1673860	10780	60390	53541	77598	202309	225446	179444	607199	1066661	1908197	15285	59094	56702	80143	211224	280691	205325	697240	1210957	2084775	21563	65409	53686	100311	240969	293839	225567	760375	1324400	2190943	18924	67742	70985	98158	255809	303597	337295	896701	1294242	1731750	47307	79421	68110	99666	294504	346365	278119	918988	812762
48121	4	rec.																																									9248168	247205	485048	343040	496222	1571515	1705907	1280673	4558095	4690073
48311	4	firms	836	85	251	114	118	568	143	69	780	56	881	129	269	121	111	630	140	58	828	53	867	115	265	126	114	620	133	61	814	53	837	116	267	106	107	596	130	56	782	55	812	105	265	116	80	566	135	60	761	51
48311	4	estab.	1272	85	251	115	121	572	163	221	956	316	1307	129	269	122	117	637	164	187	988	319	1254	115	265	128	115	623	151	183	957	297	1227	123	267	107	109	606	146	130	882	345	1222	105	266	116	87	574	166	165	905	317
48311	4	empl.	54680	0	548	762	1587	2897	5670	10030	18597	36083	52532	0	531	814	1507	2852	5697	10021	18570	33962	47838	0	554	829	1516	2899	5178	10066	18143	29695	50717	0	563	732	1460	2755	4983	10068	17806	32911	45523	0	557	765	1075	2397	5047	8450	15894	29629
48311	4	ann. pay.	2383304	21803	25884	24856	57662	130205	228289	446282	804776	1578528	2312408	10265	22527	32103	57382	122277	242689	441172	806138	1506270	2214151	15467	19555	31074	55941	122037	242275	496827	861139	1353012	2491131	8918	22404	27292	56172	114786	236729	502591	854106	1637025	2360346	5724	22144	28693	44096	100657	292293	448856	841806	1518540
48311	4	rec.																																									18500047	39232	162201	152907	385816	740156	1553967	2553338	4847461	13652586
48321	4	firms	593	92	194	97	71	454	75	37	566	27	603	103	193	81	71	448	93	31	572	31	599	90	194	92	70	446	90	37	573	26	596	78	200	93	69	440	97	32	569	27	627	122	200	83	68	473	89	38	600	27
48321	4	estab.	639	92	194	97	71	454	82	49	585	54	643	103	193	81	71	448	96	41	585	58	646	90	194	92	70	446	92	55	593	53	644	78	200	93	69	440	99	52	591	53	680	122	200	83	68	473	95	58	626	54
48321	4	empl.	18074	0	428	633	1011	2072	2899	5211	10182	7892	19312	0	429	520	927	1876	3635	4967	10478	8834	19736	0	397	622	1002	2021	3653	5828	11502	8234	19745	0	413	609	933	1955	3907	5479	11341	8404	18745	0	420	561	919	1900	3436	5708	11044	7701
48321	4	ann. pay.	720447	3894	14064	17354	29854	65166	96005	208477	369648	350799	727102	5560	15343	16927	28410	66240	124304	194927	385471	341631	789022	7576	14930	21217	30128	73851	119164	246981	439996	349026	850930	7169	16167	23188	32660	79184	141299	244973	465456	385474	804356	12970	18179	22358	28505	82012	124260	239411	445683	358673
48321	4	rec.																																									3588649	52774	109568	140835	114683	417860	422639	989951	1830450	1758199
48411	4	firms	16802	3548	7976	2244	1531	15299	1235	195	16729	73	17955	3488	8944	2417	1533	16382	1314	184	17880	75	19454	3840	9761	2574	1656	17831	1346	199	19376	78	19922	3544	10506	2604	1690	18344	1311	198	19853	69	20058	4222	9900	2523	1714	18359	1401	210	19970	88
48411	4	estab.	17532	3548	7980	2251	1550	15329	1396	385	17110	422	18737	3488	8946	2424	1557	16415	1475	416	18306	431	20329	3844	9764	2579	1683	17870	1477	365	19712	617	20726	3546	10509	2609	1711	18375	1424	427	20226	500	21172	4227	9903	2527	1743	18400	1656	506	20562	610
48411	4	empl.	136007	0	14976	14826	20623	50425	44871	21598	116894	19113	141575	0	16573	15897	20657	53127	47878	20622	121627	19948	153280	0	17974	16794	22352	57120	49416	23290	129826	23454	149788	0	19305	17060	22804	59169	48059	22209	129437	20351	156098	0	18374	16593	23053	58020	50814	24169	133003	23095
48411	4	ann. pay.	3866921	88552	330404	355791	536122	1310869	1270087	660970	3241926	624995	4087463	102050	370157	395089	551002	1418298	1394320	654269	3466887	620576	4529759	99482	402131	422384	602874	1526871	1484231	704533	3715635	814124	4434046	103461	435550	437989	614720	1591720	1439713	693963	3725396	708650	4903477	112142	423224	444662	658088	1638116	1613229	817454	4068799	834678
48411	4	rec.																																									17614449	641693	2220660	1951856	2639393	7453602	5399474	2409443	15262519	2351930
48412	4	firms	25491	5108	11449	2903	2178	21638	2854	696	25188	303	26943	4959	12883	3034	2211	23087	2851	695	26633	310	28402	5146	13931	3208	2243	24528	2851	707	28086	316	27969	4517	14346	3137	2242	24242	2737	689	27668	301	27433	3955	14792	3005	2157	23909	2581	645	27135	298
48412	4	estab.	32363	5110	11454	2921	2215	21700	3301	1575	26576	5787	33987	4969	12889	3051	2251	23160	3245	1594	27999	5988	35545	5147	13935	3217	2285	24584	3194	1538	29316	6229	35652	4521	14351	3145	2282	24299	3063	1536	28898	6754	35574	3978	14796	3017	2193	23984	2935	1505	28424	7150
48412	4	empl.	704236	0	20833	19160	29507	69500	114404	107408	291312	412924	756034	0	23297	20058	30052	73407	115766	109142	298315	457719	769460	0	25057	21168	30431	76656	114893	112428	303977	465483	765181	0	25505	20585	30399	76489	110341	111986	298816	466365	725938	0	26787	19850	29454	76091	104420	102557	283068	442870
48412	4	ann. pay.	23382829	131399	440464	459342	769503	1800708	3349716	3358872	8509296	14873533	25255973	201192	500147	489422	810112	2000873	3507684	3535717	9044274	16211699	27084218	152162	543060	527462	812938	2035622	3512333	3727472	9275427	17808791	26789844	144269	564490	515828	830253	2054840	3395861	3801396	9252097	17537747	25963250	166005	606337	524674	832595	2129611	3309487	3543970	8983068	16980182
48412	4	rec.																																									91565171	863215	3715091	2750843	3993739	11322888	13898713	12911988	38133589	53431582
48421	4	firms	8260	860	3257	1402	1284	6803	1273	145	8221	39	8232	879	3225	1358	1298	6760	1274	158	8192	40	8226	908	3208	1381	1256	6753	1276	159	8188	38	7987	883	3118	1296	1223	6520	1262	166	7948	39	7768	850	3065	1286	1231	6432	1161	143	7736	32
48421	4	estab.	9278	860	3260	1409	1316	6845	1527	456	8828	450	9219	880	3230	1361	1331	6802	1515	462	8779	440	9147	917	3213	1395	1280	6805	1508	451	8764	383	8913	886	3125	1301	1253	6565	1489	456	8510	403	8781	851	3069	1295	1263	6478	1427	446	8351	430
48421	4	empl.	124055	0	6708	9377	17590	33675	47638	23107	104420	19635	126960	0	6616	9106	17822	33544	48065	24133	105742	21218	128905	0	6569	9222	17143	32934	47587	24985	105506	23399	128222	0	6537	8628	16577	31742	47277	26201	105220	23002	114558	0	6461	8581	16921	31963	42930	22176	97069	17489
48421	4	ann. pay.	3273377	30783	127175	178906	368855	705719	1209143	711886	2626748	646629	3453693	33337	134218	181498	386710	735763	1255053	731258	2722074	731619	3661367	36685	138498	189451	394198	758832	1323446	798641	2880919	780448	3657921	34938	146575	178648	381043	741204	1312720	820108	2874032	783889	3314099	34221	137648	181872	405503	759244	1226194	711912	2697350	616749
48421	4	rec.																																									13548866	157863	625783	587820	1194574	2566040	3693881	2588124	8848045	4700821
48422	4	firms	34020	5035	19408	5035	2592	32070	1651	193	33914	106	32715	4302	18701	5043	2694	30740	1693	169	32602	113	31771	4419	17601	4928	2749	29697	1792	171	31660	111	31420	4336	17640	4724	2674	29374	1763	176	31313	107	32519	5337	17931	4708	2541	30517	1718	166	32401	118
48422	4	estab.	34732	5036	19413	5052	2617	32118	1784	354	34256	476	33459	4303	18703	5051	2722	30779	1831	313	32923	536	32493	4420	17604	4935	2770	29729	1928	264	31921	572	32099	4339	17641	4729	2700	29409	1876	278	31563	536	33326	5337	17933	4716	2559	30545	1912	323	32780	546
48422	4	empl.	194961	0	37426	32549	34288	104263	56124	19132	179519	15442	197529	0	36076	32635	35913	104624	58853	16703	180180	17349	200437	0	34387	31962	36546	102895	62141	17761	182797	17640	196163	0	34041	30720	35538	100299	61109	18251	179659	16504	189612	0	34802	30525	33564	98891	58397	16083	173371	16241
48422	4	ann. pay.	5181558	129279	816113	741782	864256	2551430	1575378	566943	4693751	487807	5457150	112574	813187	774024	937654	2637439	1695312	501003	4833754	623396	5692418	117892	779859	768597	958947	2625295	1834844	566028	5026167	666251	5800444	115581	814102	783966	988291	2701940	1874070	599161	5175171	625273	5650453	161236	830819	799257	936483	2727795	1812015	531011	5070821	579632
48422	4	rec.																																									23396513	911726	4431246	3518858	3689370	12551200	6672297	1729426	20952923	2443590
48423	4	firms	12671	1458	6420	1907	1328	11113	1175	250	12538	133	11997	1178	6100	1902	1308	10488	1135	229	11852	145	11561	1264	5686	1789	1296	10035	1169	218	11422	139	11103	1135	5469	1728	1280	9612	1132	223	10967	136	11239	1300	5747	1622	1172	9841	1042	222	11105	134
48423	4	estab.	14089	1458	6423	1914	1346	11141	1369	615	13125	964	13347	1178	6101	1911	1321	10511	1316	577	12404	943	12902	1266	5692	1796	1305	10059	1323	574	11956	946	12424	1135	5473	1735	1297	9640	1282	536	11458	966	12455	1300	5750	1626	1196	9872	1213	537	11622	833
48423	4	empl.	167899	0	12554	12497	17841	42892	42901	30239	116032	51867	162080	0	11828	12435	17469	41732	41253	27498	110483	51597	163712	0	10971	11817	17387	40175	42924	26586	109685	54027	158511	0	10357	11429	17167	38953	41807	28007	108767	49744	147136	0	10938	10756	15748	37442	38360	26186	101988	45148
48423	4	ann. pay.	5313952	41919	271065	307474	472932	1093390	1287823	987069	3368282	1945670	5371889	36450	264818	313484	493279	1108031	1303876	956830	3368737	2003152	5483716	32995	248152	298113	488835	1068095	1388112	941418	3397625	2086091	5398694	32737	246704	293363	501516	1074320	1361835	1013423	3449578	1949116	5236111	54942	257497	288486	464055	1064980	1306159	951762	3322901	1913210
48423	4	rec.																																									20597009	300630	1604255	1406200	2153298	5464383	5108683	3446444	14019510	6577499
48511	4	firms	491	55	165	56	60	336	87	43	466	25	458	39	149	60	46	294	99	37	430	28	449	40	135	64	46	285	98	38	421	28	474	48	136	66	42	292	112	41	445	29	482	58	130	58	49	295	110	48	453	29
48511	4	estab.	615	55	165	56	60	336	90	60	486	129	723	39	149	60	46	294	105	53	452	271	705	40	135	64	46	285	103	46	434	271	715	48	136	66	42	292	121	54	467	248	751	58	130	59	49	296	127	75	498	253
48511	4	empl.	32115	0	353	338	806	1497	3550	6916	11963	20152	40124	[a]	[e]	391	657	1349	3905	7038	12292	27832	43148	0	276	423	677	1376	3920	6909	12205	30943	42216	0	282	444	601	1327	4446	7445	13218	28998	46194	0	260	383	628	1271	4683	8615	14569	31625
48511	4	ann. pay.	981378	3685	5156	4471	11765	25077	62743	205453	293273	688105	1226119	(D)	(D)	6611	10144	33577	72784	209941	316302	909817	1295799	5703	6886	7435	12226	32250	78241	206523	317014	978785	1345563	8632	4209	9053	11778	33672	91606	218322	343600	1001963	1482711	3482	5261	7471	11993	28207	102773	263965	394945	1087766
48511	4	rec.																																									2546176	13603	30722	20040	29174	93539	245152	430204	768895	1777281
48521	4	firms	229	24	70	37	19	150	40	31	221	8	236	32	73	28	25	158	42	26	226	10	250	38	77	36	26	177	39	25	241	9	242	31	69	39	27	166	42	25	233	9	323	44	102	51	34	231	53	29	313	10
48521	4	estab.	415	24	70	37	19	150	55	67	272	143	440	32	73	28	29	162	56	50	268	172	444	38	77	36	26	177	53	51	281	163	460	31	69	39	27	166	53	49	268	192	579	44	102	51	34	231	66	61	358	221
48521	4	empl.	23374	0	151	248	247	646	1480	3218	5344	18030	21800	[a]	[c]	182	310	644	1782	2384	4810	16990	26805	0	179	261	366	806	1753	2161	4720	22085	24672	0	149	253	357	759	1945	2740	5444	19228	20705	0	215	335	450	1000	2396	3130	6526	14179
48521	4	ann. pay.	650834	935	1771	3026	3219	8951	28961	76219	114131	536703	654375	(D)	(D)	2309	3833	15191	33180	66398	114769	539606	709684	4331	3920	3677	5363	17291	33291	64646	115228	594456	810974	1391	3321	4003	6320	15035	38776	76311	130122	680852	730794	8832	5096	4665	6541	25134	47182	85512	157828	572966
48521	4	rec.																																									1712361	32443	22191	20011	39493	114138	120772	235657	470567	1241794
48531	4	firms	3160	371	1763	449	294	2877	246	29	3152	8	3069	367	1676	424	310	2777	255	29	3061	8	3085	377	1683	437	293	2790	256	32	3078	7	3049	363	1650	436	311	2760	255	27	3042	7	3084	383	1688	425	311	2807	249	21	3077	7
48531	4	estab.	3194	371	1763	452	298	2884	253	38	3175	19	3102	367	1676	426	315	2784	261	37	3082	20	3116	377	1683	439	297	2796	262	40	3098	18	3086	363	1650	437	316	2766	261	33	3060	26	3164	383	1688	425	315	2811	264	63	3138	26
48531	4	empl.	27586	0	3036	3001	4034	10071	9155	4525	23751	3835	28601	0	2849	2795	4231	9875	9472	4621	23968	4633	30355	0	2934	2914	4024	9872	9685	5289	24846	5509	30281	0	2859	2860	4214	9933	9113	5037	24083	6198	29114	0	2994	2776	4189	9959	9277	3798	23034	6080
48531	4	ann. pay.	412601	7730	33976	35232	52183	129121	138273	75612	343006	69595	459288	13439	34496	34905	53714	136554	147714	88636	372904	86384	485190	12586	36450	40812	55038	144886	152434	103527	400847	84343	488704	12452	37169	38187	59352	147160	146387	92333	385880	102824	492776	11849	41226	38134	61123	152332	156825	84010	393167	99609
48531	4	rec.																																									1661854	76000	236288	151530	190967	654785	474817	221869	1351471	310383
48532	4	firms	3395	527	1608	525	347	3007	344	33	3384	11	3462	583	1572	524	368	3047	364	37	3448	14	3650	629	1650	544	400	3223	374	39	3636	14	3717	588	1712	572	392	3264	399	43	3706	11	3947	660	1875	571	420	3526	372	38	3936	11
48532	4	estab.	3437	527	1608	526	348	3009	356	40	3405	32	3503	583	1573	524	370	3050	373	41	3464	39	3690	629	1650	545	402	3226	381	42	3649	41	3756	588	1712	573	395	3268	403	46	3717	39	3982	660	1875	571	420	3526	379	42	3947	35
48532	4	empl.	32898	0	3022	3501	4717	11240	12714	4627	28581	4317	34774	0	2977	3519	5042	11538	13770	4688	29996	4778	37463	0	3081	3583	5382	12046	14047	5812	31905	5558	39165	0	3213	3795	5280	12288	15211	5958	33457	5708	36461	0	3642	3784	5652	13078	13957	4738	31773	4688
48532	4	ann. pay.	605564	10329	44014	47230	66958	168531	223731	102993	495255	110309	671942	14614	49252	48457	73803	186126	246443	113734	546303	125639	759124	15026	51840	53400	88808	209074	262173	146374	617621	141503	768953	15004	54017	52118	80741	201880	271990	151673	625543	143410	776459	18107	62194	57629	91067	228997	280111	128203	637311	139148
48532	4	rec.																																									2712435	107814	387713	292382	327869	1115778	858078	381627	2355483	356952
48541	4	firms	3346	182	1177	493	466	2318	788	201	3307	39	3263	175	1127	481	474	2257	760	205	3222	41	3165	169	1060	464	471	2164	758	211	3133	32	3129	161	1043	483	453	2140	742	215	3097	32	3180	208	1088	479	431	2206	721	220	3147	33
48541	4	estab.	4400	182	1177	493	472	2324	851	322	3497	903	4341	176	1127	481	481	2265	814	322	3401	940	4217	169	1060	465	473	2167	815	321	3303	914	4287	161	1043	484	460	2148	787	326	3261	1026	4352	208	1088	479	434	2209	759	351	3319	1033
48541	4	empl.	152621	0	2399	3295	6431	12125	33428	34356	79909	72712	161890	0	2293	3155	6615	12063	32590	34436	79089	82801	162877	0	2147	3073	6622	11842	32308	37974	82124	80753	168940	0	2139	3203	6258	11600	31398	37660	80658	88282	171599	0	2200	3141	6025	11366	30381	39800	81547	90052
48541	4	ann. pay.	1950914	10363	20352	30138	63876	124729	397741	484715	1007185	943729	2178747	8998	22130	29206	71509	131843	417784	501039	1050666	1128081	2322642	5122	20793	29852	76672	132439	431001	563653	1127093	1195549	2471790	7494	22535	33279	71256	134564	425981	595036	1155581	1316209	2612166	10291	25031	32427	68747	136496	430178	653863	1220537	1391629
48541	4	rec.																																									5922742	34121	93936	106398	188133	422588	985995	1361821	2770404	3152338
48551	4	firms	1382	125	397	231	227	980	335	52	1367	15	1341	128	381	204	216	929	344	53	1326	15	1312	129	382	186	208	905	344	50	1299	13	1257	115	343	186	219	863	331	50	1244	13	1336	140	386	186	232	944	327	50	1321	15
48551	4	estab.	1532	126	397	231	229	983	370	94	1447	85	1480	129	382	204	219	934	372	92	1398	82	1451	129	384	186	210	909	372	93	1374	77	1395	117	344	187	221	869	358	88	1315	80	1473	140	387	186	232	945	359	86	1390	83
48551	4	empl.	32328	0	826	1552	3105	5483	13022	6908	25413	6915	33589	0	789	1364	2963	5116	13457	7722	26295	7294	34057	0	814	1265	2882	4961	14021	7662	26644	7413	33406	0	718	1257	3001	4976	13570	7408	25954	7452	32162	0	803	1260	3230	5293	13282	6405	24980	7182
48551	4	ann. pay.	594388	4849	12077	22151	46058	85135	223604	135612	444351	150037	651402	4458	12549	19502	44811	81320	248967	146239	476526	174876	668710	3788	13931	18764	44302	80785	262711	155123	498619	170091	659518	3443	12344	19148	46080	81015	258347	146074	485436	174082	666966	16149	14390	20858	53310	104707	267568	136105	508380	158586
48551	4	rec.																																									2025376	58542	79064	106421	218914	462941	784265	374375	1621581	403795
48599	4	firms	2590	349	898	458	363	2068	404	90	2562	28	2475	303	821	450	351	1925	417	100	2442	33	2556	340	830	421	393	1984	430	104	2518	38	2559	333	850	417	363	1963	443	111	2517	42	2516	281	863	404	387	1935	437	100	2472	44
48599	4	estab.	2765	350	898	458	365	2071	441	123	2635	130	2665	304	821	450	352	1927	455	147	2529	136	2760	341	830	421	393	1985	464	159	2608	152	2767	333	850	417	364	1964	479	156	2599	168	2772	281	863	408	388	1940	469	169	2578	194
48599	4	empl.	48456	0	1886	3086	4906	9878	16284	11784	37946	10510	49244	0	1700	3000	4780	9480	16294	13223	38997	10247	52169	0	1722	2788	5282	9792	16580	13063	39435	12734	52881	0	1792	2856	4941	9589	17699	12971	40259	12622	51090	0	1800	2687	5295	9782	16824	11801	38407	12683
48599	4	ann. pay.	821908	12377	29815	43437	72003	157632	262122	195986	615740	206168	887459	14298	29850	41070	74258	159476	274911	232366	666753	220706	973552	20988	28860	42987	80232	173067	295041	243617	711725	261827	1013246	13850	33749	44733	82165	174497	301419	256751	732667	280579	1018183	18361	35906	44101	89124	187492	319010	243426	749928	268255
48599	4	rec.																																									2546116	55143	142902	142486	233399	573930	785224	534518	1893672	652444
48611	4	firms	54	5	4	1	2	12	5	2	19	35	49	4	7	0	1	12	3	5	20	29	48	5	5	1	1	12	4	3	19	29	48	6	7	2	1	16	4	4	24	24	52	2	12	4	3	21	3	2	26	26
48611	4	estab.	358	5	4	1	4	14	8	12	34	324	327	4	7	0	1	12	6	16	34	293	307	5	5	1	1	12	7	4	23	284	229	6	7	2	1	16	12	14	42	187	261	2	12	4	3	21	7	6	34	227
48611	4	empl.	7333	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	651	6682	7137	0	12	0	[a]	[b]	116	[f]	1097	6040	6709	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	162	         [e]	579	6130	5995	         [a]	13	         [a]	         [a]	         [b]	156	         [f]	716	5279	6030	         [a]	22	         [b]	41	84	         [b]	         [c]	291	5739
48611	4	ann. pay.	442039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35025	407014	453446	18	407	0	(D)	(D)	4345	(D)	42344	411102	425645	131	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5573	         (D)	20961	404684	430919	         (D)	1028	         (D)	         (D)	         (D)	10607	         (D)	35750	395169	472339	         (D)	1453	         (D)	983	3665	         (D)	         (D)	15255	457084
48611	4	rec.																																									3783097	         (D)	82606	         (D)	3542	         (D)	         (D)	         (D)	171938	3611159
48621	4	firms	141	11	43	12	13	79	11	8	98	43	139	7	41	17	9	74	10	7	91	48	140	10	42	13	10	75	12	8	95	45	153	15	45	16	12	88	9	13	110	43	154	15	39	15	12	81	13	12	106	48
48621	4	estab.	1561	11	43	12	13	79	24	13	116	1445	1683	7	41	17	9	74	23	7	104	1579	1938	10	42	13	10	75	27	11	113	1825	2017	15	45	16	12	88	19	20	127	1890	1936	15	39	15	12	81	27	61	169	1767
48621	4	empl.	35092	         [a]	92	         [b]	171	         [e]	379	         [e]	1019	34073	34511	0	79	102	125	306	285	428	1019	33492	39214	0	91	77	134	302	415	382	1099	38115	38189	0	92	105	159	356	282	899	1537	36652	37450	0	87	92	168	347	353	1234	1934	35516
48621	4	ann. pay.	1993819	         (D)	3552	         (D)	9500	         (D)	26366	         (D)	59767	1934052	2205385	5865	3395	4877	6638	20775	18057	19881	58713	2146672	2961066	4523	4334	5270	8567	22694	25450	19048	67192	2893874	2981259	1462	4993	6162	11008	23625	16907	46732	87264	2893995	2994108	10804	5195	4843	9666	30508	29800	76510	136818	2857290
48621	4	rec.																																									35896535	166885	33658	110424	724389	1035356	844907	686050	2566313	33330222
48691	4	firms	47	4	8	1	2	15	2	4	21	26	53	3	7	2	3	15	4	3	22	31	51	5	6	2	3	16	3	3	22	29	52	3	9	3	2	17	5	3	25	27	60	3	11	4	4	22	5	3	30	30
48691	4	estab.	490	4	8	1	5	18	16	34	68	422	482	3	7	2	6	18	20	27	65	417	497	5	6	2	3	16	16	30	62	435	482	3	9	3	2	17	18	30	65	417	429	3	11	4	4	22	20	11	53	376
48691	4	empl.	5935	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	596	735	5200	5940	[a]	15	[a]	[b]	[b]	[c]	[e]	705	5235	6276	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	97	         [e]	595	5681	6004	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	604	5400	5871	         [a]	         [b]	         [b]	53	         [c]	201	         [c]	472	5399
48691	4	ann. pay.	347012	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31121	37581	309431	339036	(D)	171	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	35873	303163	393122	210	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	4573	         (D)	32447	360675	416575	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	24966	391609	383845	         (D)	         (D)	         (D)	2908	         (D)	9834	         (D)	28601	355244
48691	4	rec.																																									4535869	         (D)	         (D)	         (D)	11245	         (D)	63724	         (D)	271904	4263965
48699	4	firms	15	0	2	1	0	3	2	0	5	10	14	2	0	2	0	4	2	0	6	8	15	0	2	1	0	3	3	0	6	9	16	0	1	2	1	4	2	0	6	10	25	2	1	1	4	8	1	1	10	15
48699	4	estab.	86	0	2	1	0	3	7	0	10	76	58	2	0	2	0	4	7	0	11	47	60	0	2	1	0	3	8	0	11	49	57	0	1	2	1	4	6	0	10	47	75	2	1	1	4	8	5	1	14	61
48699	4	empl.	1046	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	0	88	958	561	[a]	0	[a]	0	[a]	[b]	0	98	463	761	0	         [a]	         [a]	0	14	104	0	118	643	735	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	0	105	630	1011	         [a]	         [a]	         [a]	45	         [b]	         [b]	         [a]	114	897
48699	4	ann. pay.	64972	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	4366	60606	34822	(D)	0	(D)	0	(D)	(D)	0	5586	29236	48750	0	         (D)	         (D)	0	517	5440	0	5957	42793	51553	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	5348	46205	65179	         (D)	         (D)	         (D)	2032	         (D)	         (D)	         (D)	6855	58324
48699	4	rec.																																									837788	         (D)	         (D)	         (D)	6517	         (D)	         (D)	         (D)	38881	798907
48711	4	firms	431	102	148	50	44	344	56	18	418	13	420	73	163	51	49	336	55	15	406	14	414	77	173	42	41	333	52	16	401	13	484	99	189	53	61	402	55	14	471	13	500	118	193	49	58	418	60	12	490	10
48711	4	estab.	472	102	148	50	44	344	60	25	429	43	458	73	163	51	49	336	61	19	416	42	454	77	173	42	43	335	57	22	414	40	521	99	189	53	64	405	60	18	483	38	538	118	194	49	62	423	66	18	507	31
48711	4	empl.	9033	         [a]	305	336	637	         [g]	2014	2412	         [i]	         [h]	8704	[a]	300	331	683	[g]	2000	2093	[i]	[h]	8658	         [a]	349	274	575	         [g]	1916	2410	         [i]	         [h]	8605	         [a]	365	327	865	         [g]	1966	1899	         [i]	         [h]	7162	         [a]	378	320	782	         [g]	2158	1504	         [i]	         [g]
48711	4	ann. pay.	187007	         (D)	5341	5782	11291	         (D)	34639	50623	         (D)	         (D)	188320	(D)	5369	6427	11759	(D)	36425	48715	(D)	(D)	192844	         (D)	6114	5887	8232	         (D)	35625	52999	         (D)	         (D)	188107	         (D)	8643	6289	15584	         (D)	35400	36443	         (D)	         (D)	164355	         (D)	8060	6613	12874	         (D)	40830	34572	         (D)	         (D)
48711	4	rec.																																									516114	         (D)	38994	24583	45263	         (D)	137637	103023	         (D)	         (D)
48721	4	firms	1688	509	725	206	127	1567	92	18	1677	11	1619	436	737	197	126	1496	94	20	1610	9	1612	432	715	183	142	1472	111	18	1601	11	1670	449	759	191	137	1536	104	20	1660	10	1756	584	768	164	116	1632	97	19	1748	8
48721	4	estab.	1718	509	725	208	129	1571	96	25	1692	26	1649	436	737	199	128	1500	100	28	1628	21	1642	432	715	185	143	1475	118	24	1617	25	1699	449	759	193	137	1538	111	26	1675	24	1784	584	768	164	117	1633	106	24	1763	21
48721	4	empl.	12296	0	1264	1338	1660	4262	3214	2622	10098	2198	12262	0	1368	1300	1641	4309	3446	2534	10289	1973	12964	0	1338	1192	1880	4410	3986	1958	10354	2610	12921	0	1407	1223	1816	4446	3778	2556	10780	2141	10478	0	1431	1088	1505	4024	3431	1760	9215	1263
48721	4	ann. pay.	273728	14876	32059	28157	37746	112838	63388	50927	227153	46575	295530	15028	35164	31044	30149	111385	75230	59494	246109	49421	331164	19979	38113	27460	36487	122039	91131	50658	263828	67336	313306	13223	38829	28742	37716	118510	85492	52248	256250	57056	281631	21692	39120	27918	38457	127187	87969	41781	256937	24694
48721	4	rec.																																									987696	105118	165570	93133	123355	487176	292320	122782	902278	85418
48799	4	firms	159	26	62	23	22	133	20	4	157	2	155	25	67	19	18	129	19	6	154	1	152	24	63	20	20	127	20	4	151	1	154	33	65	16	19	133	15	5	153	1	177	45	70	20	16	151	20	4	175	2
48799	4	estab.	163	26	63	23	22	134	21	6	161	2	160	25	67	20	19	131	20	8	159	1	158	24	65	20	21	130	21	6	157	1	160	33	67	16	20	136	16	7	159	1	181	45	71	20	16	152	21	6	179	2
48799	4	empl.	1747	         [a]	         [c]	         [c]	302	         [f]	750	377	         [g]	         [b]	1911	[a]	146	132	255	[f]	835	538	[g]	[a]	1990	         [a]	130	133	269	         [f]	863	593	         [g]	         [a]	1888	         [a]	132	109	269	         [f]	686	690	         [g]	         [a]	1693	         [a]	134	131	210	         [e]	730	481	         [g]	         [a]
48799	4	ann. pay.	51256	         (D)	         (D)	         (D)	7577	         (D)	21542	13471	         (D)	         (D)	56852	(D)	3534	3865	7069	(D)	23361	17402	(D)	(D)	59456	         (D)	3466	4289	7134	         (D)	24035	19528	         (D)	         (D)	55393	         (D)	4097	2796	8301	         (D)	19007	20032	         (D)	         (D)	51495	         (D)	4034	3709	5657	         (D)	23319	12967	         (D)	         (D)
48799	4	rec.																																									258450	         (D)	22870	17382	24130	         (D)	114789	70523	         (D)	         (D)
48811	4	firms	1265	124	471	200	184	979	197	47	1223	42	1230	116	453	205	171	945	200	43	1188	42	1231	118	449	208	160	935	208	43	1186	45	1200	110	445	202	157	914	197	46	1157	43	1228	112	442	206	160	920	207	57	1184	44
48811	4	estab.	1826	124	471	202	190	987	217	177	1381	445	1834	116	454	205	176	951	224	168	1343	491	1834	118	449	210	162	939	228	169	1336	498	1811	110	445	204	158	917	222	135	1274	537	1942	112	443	206	163	924	243	244	1411	531
48811	4	empl.	60268	0	984	1335	2433	4752	7008	5948	17708	42560	62944	0	921	1351	2345	4617	7403	5462	17482	45462	67932	0	922	1383	2148	4453	7830	6066	18349	49583	65876	0	927	1337	2113	4377	7238	6316	17931	47945	67572	0	927	1338	2122	4387	7412	8317	20116	47456
48811	4	ann. pay.	1215867	5440	16832	25196	48753	96221	172957	146339	415517	800350	1431085	8229	18328	27239	54612	108408	189143	150183	447734	983351	1569466	8945	19264	33228	49197	110634	214634	185616	510884	1058582	1515341	9813	27577	29126	52824	119340	194563	195147	509050	1006291	1762700	72077	20488	30072	50465	173102	217703	313010	703815	1058885
48811	4	rec.																																									5602059	461902	109632	131839	213440	916813	860989	1101555	2879357	2722702
48819	4	firms	2184	247	996	383	244	1870	209	57	2136	48	2148	207	935	437	239	1818	220	61	2099	49	2174	236	913	430	251	1830	231	66	2127	47	2259	244	923	484	242	1893	253	64	2210	49	2403	292	1052	486	251	2081	222	45	2348	55
48819	4	estab.	2526	247	996	383	254	1880	226	89	2195	331	2471	207	935	437	249	1828	236	90	2154	317	2534	236	913	431	260	1840	245	102	2187	347	2606	244	923	484	247	1898	270	94	2262	344	2984	292	1052	486	255	2085	244	88	2417	567
48819	4	empl.	54453	0	2212	2526	3300	8038	7644	8460	24142	30311	55894	0	2061	2891	3203	8155	7991	8671	24817	31077	58769	0	2043	2865	3345	8253	8375	8879	25507	33262	61709	0	2007	3167	3174	8348	9126	9867	27341	34368	58777	0	2252	3201	3384	8837	8099	6596	23532	35245
48819	4	ann. pay.	1860616	33061	53320	65106	91352	242839	236432	244575	723846	1136770	2023066	13023	59112	76617	100918	249670	254508	299945	804123	1218943	2064563	20582	52459	77509	101947	252497	257502	272405	782404	1282159	2198082	30136	53652	82859	99709	266356	301801	279586	847743	1350339	2136713	20991	66723	92700	116491	296905	285806	214974	797685	1339028
48819	4	rec.																																									7145451	73659	304435	352675	389583	1120352	920752	672500	2713604	4431847
48821	4	firms	472	53	120	81	72	326	71	35	432	40	476	35	134	82	69	320	82	33	435	41	451	37	120	77	66	300	76	38	414	37	454	41	120	86	55	302	78	35	415	39	489	59	149	82	55	345	73	31	449	40
48821	4	estab.	821	53	122	83	81	339	95	104	538	283	837	35	138	83	77	333	107	94	534	303	821	37	120	78	74	309	98	98	505	316	831	41	121	88	59	309	100	89	498	333	924	59	150	84	59	352	104	89	545	379
48821	4	empl.	18704	0	257	552	977	1786	2513	4876	9175	9529	20972	0	273	574	892	1739	3400	4899	10038	10934	21427	0	258	488	879	1625	2877	5262	9764	11663	22954	0	273	571	802	1646	3010	5477	10133	12821	20667	0	317	553	761	1631	2589	4108	8328	12339
48821	4	ann. pay.	572485	7294	6431	15887	26635	56247	65580	154029	275856	296629	672460	1244	6954	17230	22778	48206	84001	152766	284973	387487	714434	1377	6983	13873	24896	47129	76391	163090	286610	427824	738994	1694	7785	15068	21510	46057	82153	170691	298901	440093	733877	11174	10948	18561	23841	64524	83710	141836	290070	443807
48821	4	rec.																																									2324028	37907	74164	76010	98036	286117	256912	341860	884889	1439139
48831	4	firms	145	11	36	13	17	77	27	16	120	25	148	8	32	21	17	78	26	16	120	28	145	13	27	18	18	76	27	16	119	26	157	15	37	19	23	94	23	14	131	26	169	18	41	21	20	100	27	16	143	26
48831	4	estab.	196	11	36	13	20	80	31	22	133	63	199	8	33	21	20	82	29	21	132	67	196	13	27	18	19	77	30	22	129	67	201	15	37	19	24	95	26	20	141	60	212	18	41	21	22	102	32	22	156	56
48831	4	empl.	7471	0	67	93	247	407	887	1506	2800	4671	7427	0	65	146	230	441	843	1207	2491	4936	7445	0	56	118	243	417	882	1715	3014	4431	7304	0	82	136	340	558	855	1097	2510	4794	6304	0	76	143	270	489	718	1205	2412	3892
48831	4	ann. pay.	277692	800	1950	3570	9506	15826	32157	57342	105325	172367	264651	189	1531	5580	9212	16512	29417	46260	92189	172462	265766	366	1423	5229	9111	16129	27065	56376	99570	166196	254864	1648	2555	5578	11800	21581	26344	48634	96559	158305	245979	2249	1962	6273	9652	20136	24473	52113	96722	149257
48831	4	rec.																																									1082342	10158	9178	23750	71536	114622	102661	331359	548642	533700
48832	4	firms	400	41	93	38	59	231	77	46	354	46	383	27	97	32	51	207	79	49	335	48	371	23	85	39	52	199	76	50	325	46	385	37	95	30	55	217	69	54	340	45	380	40	90	42	50	222	66	49	337	43
48832	4	estab.	619	41	96	38	64	239	106	91	436	183	601	27	100	33	52	212	95	101	408	193	607	23	88	40	52	203	97	92	392	215	612	37	98	30	57	222	85	113	420	192	595	40	90	42	55	227	89	88	404	191
48832	4	empl.	44967	0	216	240	849	1305	3201	6952	11458	33509	43785	0	225	218	660	1103	2823	7182	11108	32677	53496	0	182	259	715	1156	2804	6914	10874	42622	50273	0	221	205	775	1201	2596	8711	12508	37765	50428	0	200	287	711	1198	2620	6450	10268	40160
48832	4	ann. pay.	2029910	10788	7212	6285	27276	51561	114350	258947	424858	1605052	2016081	17267	7901	6597	22821	54586	93030	243894	391510	1624571	2194692	1252	6515	8475	25626	41868	106962	255348	404178	1790514	2249516	3793	10705	8762	27224	50484	93761	316750	460995	1788521	2425187	20444	15700	12835	26300	75279	93672	278464	447415	1977772
48832	4	rec.																																									5647484	54288	44911	71648	105197	276044	381472	872072	1529588	4117896
48833	4	firms	826	150	356	99	85	690	91	25	806	20	815	119	362	106	89	676	95	19	790	25	784	96	360	105	84	645	96	21	762	22	756	90	339	101	81	611	104	17	732	24	753	113	332	90	83	618	93	20	731	22
48833	4	estab.	906	150	356	101	90	697	107	38	842	64	891	119	362	108	94	683	111	30	824	67	863	96	360	107	89	652	113	28	793	70	830	90	339	103	87	619	120	23	762	68	828	113	332	90	91	626	108	27	761	67
48833	4	empl.	11535	0	579	687	1109	2375	3577	2894	8846	2689	11393	0	593	729	1206	2528	3885	2006	8419	2974	11775	0	582	715	1117	2414	3578	2544	8536	3239	11957	0	552	706	1077	2335	3945	2117	8397	3560	11224	0	514	615	1112	2241	3463	2434	8138	3086
48833	4	ann. pay.	429598	15449	40981	21404	37694	115528	125950	82209	323687	105911	430114	10243	41929	22772	41270	116214	137674	63897	317785	112329	478748	13489	41590	25178	37990	118247	135085	88548	341880	136868	507806	7917	41092	25164	37734	111907	152563	85943	350413	157393	509953	13883	40438	25781	40715	120817	150301	96441	367559	142394
48833	4	rec.																																									1818193	52962	109763	87111	183794	433630	584291	302437	1320358	497835
48839	4	firms	817	135	423	115	50	723	62	20	805	12	755	98	413	93	65	669	62	13	744	11	732	106	382	94	62	644	61	15	720	12	726	100	389	101	43	633	68	17	718	8	693	98	351	104	46	599	67	15	681	12
48839	4	estab.	963	135	425	120	67	747	90	61	898	65	902	99	415	97	75	686	100	51	837	65	877	106	391	100	71	668	82	60	810	67	853	100	392	106	59	657	81	58	796	57	818	98	353	107	58	616	84	54	754	64
48839	4	empl.	8480	0	793	775	671	2239	1984	1776	5999	2481	8838	0	784	611	917	2312	2288	1388	5988	2850	8915	0	714	615	867	2196	2203	1586	5985	2930	9168	0	725	660	597	1982	2567	2112	6661	2507	9249	0	662	676	599	1937	2547	2218	6702	2547
48839	4	ann. pay.	286379	6061	24343	23575	24873	78852	67378	72052	218282	68097	284484	8241	23432	18544	29109	79326	73437	68926	221689	62795	311540	4369	22776	20211	28928	76284	69813	77370	223467	88073	337802	4073	25997	22534	23647	76251	89774	88987	255012	82790	395886	3058	22654	28600	20652	74964	101233	115366	291563	104323
48839	4	rec.																																									1044091	12707	69756	83687	57130	223280	269197	284333	776810	267281
48841	4	firms	5851	695	2696	1292	793	5476	357	14	5847	4	5948	634	2778	1320	847	5579	346	16	5941	7	5902	608	2752	1282	848	5490	385	18	5893	9	6105	673	2780	1343	864	5660	421	14	6095	10	6632	850	3082	1384	864	6180	429	14	6623	9
48841	4	estab.	6045	695	2758	1295	833	5581	386	22	5989	56	6145	635	2781	1323	876	5615	372	41	6028	117	6078	608	2755	1287	872	5522	414	47	5983	95	6294	673	2783	1347	893	5696	444	51	6191	103	6813	850	3085	1388	893	6216	470	52	6738	75
48841	4	empl.	37271	0	5801	8414	10320	24535	10139	         [f]	         [k]	         [g]	39934	0	5902	8660	11127	25689	9493	1522	36704	3230	41753	0	5991	8442	11070	25503	10930	1682	38115	3638	43742	0	6015	8847	11359	26221	11986	1321	39528	4214	43344	0	6674	9120	11468	27262	12091	1130	40483	2861
48841	4	ann. pay.	809073	27033	122798	156240	212083	518154	228491	         (D)	         (D)	         (D)	878687	19977	107702	164518	235358	527555	232296	37047	796898	81789	961739	14402	111078	169911	245949	541340	274544	42417	858301	103438	1030781	20679	115325	179977	253016	568997	309266	32555	910818	119963	1064803	26336	131241	192551	266338	616466	310977	37696	965139	99664
48841	4	rec.																																									3162921	111819	551820	608294	743284	2015217	794288	95855	2905360	257561
48849	4	firms	577	121	219	78	52	470	66	21	557	20	661	154	236	91	54	535	82	21	638	23	769	171	288	120	54	633	84	30	747	22	810	156	320	122	77	675	79	32	786	24	1120	199	473	168	116	956	103	33	1092	28
48849	4	estab.	705	121	219	79	53	472	73	35	580	125	798	155	236	92	54	537	87	39	663	135	932	171	289	121	54	635	89	52	776	156	1031	156	321	123	77	677	87	62	826	205	1425	199	473	169	116	957	139	93	1189	236
48849	4	empl.	9471	0	442	505	705	1652	2719	         [g]	         [i]	         [h]	10609	0	468	564	713	1745	3295	2006	7046	3563	14454	0	573	772	729	2074	3275	3538	8887	5567	17541	0	635	772	1015	2422	2995	4580	9997	7544	18616	0	972	1078	1544	3594	4122	3074	10790	7826
48849	4	ann. pay.	232196	9067	9168	9938	16334	44507	54559	         (D)	         (D)	         (D)	269990	10156	11378	11640	15304	48478	72942	51382	172802	97188	347081	10499	12886	17901	18781	60067	76724	88363	225154	121927	452508	8762	15943	19486	22483	66674	72181	119174	258029	194479	511137	7598	23683	24796	37495	93572	109117	85021	287710	223427
48849	4	rec.																																									1560202	38281	118613	124667	116175	397736	353129	220580	971445	588757
48851	4	firms	12204	1287	5826	2477	1338	10928	960	215	12103	101	11884	1014	5820	2390	1354	10578	991	207	11776	108	11700	1092	5555	2384	1323	10354	1031	208	11593	107	11716	1060	5607	2356	1353	10376	1027	200	11603	113	11574	1137	5573	2306	1283	10299	977	188	11464	110
48851	4	estab.	15806	1291	5847	2562	1570	11270	1751	1369	14390	1416	15464	1017	5850	2468	1573	10908	1719	1360	13987	1477	15177	1093	5578	2463	1526	10660	1763	1249	13672	1505	15334	1071	5634	2455	1518	10678	1692	1118	13488	1846	15476	1137	5591	2398	1484	10610	1791	1233	13634	1842
48851	4	empl.	148394	0	12920	16213	17522	46655	35205	30366	112226	36168	157548	0	13021	15655	17818	46494	36674	31266	114434	43114	161662	0	12436	15533	17492	45461	37960	30786	114207	47455	168159	0	12407	15246	17929	45582	38761	28680	113023	55136	164374	0	12286	14907	16893	44086	36201	25047	105334	59040
48851	4	ann. pay.	5445908	53268	412119	562122	638895	1666404	1275518	1092884	4034806	1411102	5885937	43313	429627	562157	666306	1701403	1336958	1188478	4226839	1659098	6620349	62039	444988	577680	671912	1756619	1476563	1210154	4443336	2177013	6829426	59225	427417	571973	703102	1761717	1521629	1085208	4368554	2460872	6809918	84371	430213	570449	696359	1781392	1482404	1043322	4307118	2502800
48851	4	rec.																																									27687080	536210	2609369	2514853	2616741	8277173	4844266	3000006	16121445	11565635
48899	4	firms	991	181	459	150	77	867	85	28	980	11	1164	285	508	151	100	1044	89	21	1154	10	1405	316	629	202	112	1259	106	27	1392	13	1350	236	654	197	118	1205	105	29	1339	11	1205	165	610	184	115	1074	89	29	1192	13
48899	4	estab.	1051	181	459	150	79	869	91	52	1012	39	1250	285	508	151	102	1046	94	42	1182	68	1521	316	629	202	113	1260	118	50	1428	93	1473	238	654	197	119	1208	117	76	1401	72	1325	165	610	184	116	1075	109	67	1251	74
48899	4	empl.	20745	0	964	978	1035	2977	3368	2930	9275	11470	20831	0	1084	957	1319	3360	3664	2912	9936	10895	24744	0	1310	1268	1442	4020	4147	3246	11413	13331	25928	0	1365	1272	1569	4206	4190	4393	12789	13139	24911	0	1349	1198	1504	4051	3498	4203	11752	13159
48899	4	ann. pay.	681751	5779	17191	18419	21456	62845	87646	65645	216136	465615	759070	18911	22010	17996	29886	88803	93581	69111	251495	507575	978589	19540	28401	26990	33620	108551	123943	98042	330536	648053	983050	8748	27815	25952	39801	102316	114633	137259	354208	628842	957234	6829	27531	25068	41804	101232	104705	92145	298082	659152
48899	4	rec.																																									3005324	33460	166571	115669	155265	470965	340531	303363	1114859	1890465
49211	4	firms	2464	490	1054	347	222	2113	252	70	2435	29	2616	459	1209	355	223	2246	274	64	2584	32	2762	479	1284	381	255	2399	266	66	2731	31	2996	506	1432	420	273	2631	275	61	2967	29	3152	545	1564	413	268	2790	278	58	3126	26
49211	4	estab.	6096	490	1057	348	230	2125	318	196	2639	3457	6309	459	1214	355	230	2258	330	204	2792	3517	6667	479	1289	382	267	2417	318	217	2952	3715	7105	506	1436	426	280	2648	343	186	3177	3928	7447	545	1567	414	286	2812	396	191	3399	4048
49211	4	empl.	468988	0	2033	2261	3055	7349	9721	11564	28634	440354	508558	0	2325	2323	3001	7649	10321	10840	28810	479748	548858	0	2437	2481	3490	8408	10268	10897	29573	519285	513567	0	2714	2735	3799	9248	10691	9776	29715	483852	497358	0	2975	2669	3564	9208	10699	8341	28248	469110
49211	4	ann. pay.	13928686	15204	42222	50272	62878	170576	200517	256370	627463	13301223	15289462	11504	52954	51699	67592	183749	220547	241618	645914	14643548	15890525	19055	55065	57904	74314	206338	226527	267181	700046	15190479	16455540	21067	61852	65766	84572	233257	227055	251013	711325	15744215	15936070	17291	65983	65975	83355	232604	249857	214795	697256	15238814
49211	4	rec.																																									54757288	87353	385472	332111	341835	1146771	921741	802573	2871085	51886203
49221	4	firms	5160	723	2470	754	527	4474	568	100	5142	18	5155	711	2565	681	527	4484	549	101	5134	21	5172	762	2493	746	523	4524	533	97	5154	18	5298	786	2633	725	515	4659	534	90	5283	15	5251	886	2587	705	486	4664	496	72	5232	19
49221	4	estab.	5627	723	2473	755	530	4481	649	210	5340	287	5629	711	2565	681	534	4491	612	215	5318	311	5630	762	2493	750	531	4536	605	187	5328	302	5750	786	2635	733	524	4678	593	195	5466	284	5726	886	2587	707	500	4680	571	147	5398	328
49221	4	empl.	70579	0	4663	4933	7142	16738	21850	14405	52993	17586	69810	0	4803	4451	7006	16260	20480	14560	51300	18510	70455	0	4634	4845	7205	16684	20572	14499	51755	18700	64008	0	4937	4735	6971	16643	20496	13329	50468	13540	55892	0	4849	4643	6587	16079	18626	9456	44161	11731
49221	4	ann. pay.	1363570	20498	92112	92336	134215	339161	390304	258795	988260	375310	1436498	31874	96548	90689	142750	361861	388496	280621	1030978	405520	1508906	30106	97164	106920	156123	390313	419881	276364	1086558	422348	1359792	26256	103757	100378	157027	387418	408579	273536	1069533	290259	1253249	25033	101801	106859	147821	381514	382337	200019	963870	289379
49221	4	rec.																																									4124355	108245	512740	419917	536458	1577360	1100416	558285	3236061	888294
49311	4	firms	2675	248	899	433	365	1945	482	179	2606	69	2741	259	962	411	371	2003	478	189	2670	71	2838	274	983	452	377	2086	483	191	2760	78	3004	260	1138	476	373	2247	494	188	2929	75	3152	333	1096	470	439	2338	514	199	3051	101
49311	4	estab.	3868	249	901	447	396	1993	665	527	3185	683	4246	261	963	421	407	2052	645	524	3221	1025	4415	276	984	465	403	2128	654	500	3282	1133	4500	261	1141	490	404	2296	670	531	3497	1003	4893	340	1097	482	478	2397	805	529	3731	1162
49311	4	empl.	65890	0	1993	2784	4732	9509	17196	20166	46871	19019	75946	0	2109	2692	4850	9651	16154	21708	47513	28433	80704	0	2130	2985	5063	10178	17247	22007	49432	31272	89356	0	2463	3160	5017	10640	17966	23980	52586	36770	94316	0	2406	3073	5815	11294	18392	21859	51545	42771
49311	4	ann. pay.	1804429	18696	45560	70824	122686	257766	463179	552603	1273548	530881	2121153	20773	46798	69216	133699	270486	461751	632140	1364377	756776	2359205	25220	49147	79818	143632	297817	495519	633305	1426641	932564	2656539	28967	61751	83179	145245	319142	533628	683268	1536038	1120501	2876318	28754	59084	88793	166274	342905	560806	658044	1561755	1314563
49311	4	rec.																																									9288010	115702	344075	361293	635718	1456788	1907776	1978856	5343420	3944590
49312	4	firms	558	36	146	94	102	378	120	34	532	26	583	62	145	104	87	398	122	37	557	26	612	48	161	118	87	414	138	36	588	24	607	45	156	122	86	409	139	34	582	25	608	53	158	117	83	411	138	34	583	25
49312	4	estab.	864	38	146	97	107	388	180	78	646	218	911	62	145	106	94	407	172	88	667	244	945	48	161	121	93	423	184	88	695	250	942	45	159	124	91	419	195	76	690	252	970	53	160	119	88	420	204	96	720	250
49312	4	empl.	22692	0	365	625	1392	2382	4995	5572	12949	9743	25404	0	335	720	1170	2225	4930	5401	12556	12848	27096	0	372	805	1123	2300	5326	5208	12834	14262	28231	0	367	820	1167	2354	5528	4800	12682	15549	28100	0	361	771	1106	2238	5427	5010	12675	15425
49312	4	ann. pay.	647103	3843	9580	18699	39801	71923	140469	142748	355140	291963	699395	5297	8521	20716	36313	70847	148051	139079	357977	341418	805809	3219	8625	21944	34441	68229	166630	154403	389262	416547	853705	6408	10990	22222	34294	73914	168075	142276	384265	469440	866540	3623	9831	22788	37139	73381	181854	151164	406399	460141
49312	4	rec.																																									4241802	19278	49500	98748	133510	301036	663428	508298	1472762	2769040
49313	4	firms	360	58	105	48	59	270	55	16	341	19	361	52	103	64	48	267	56	17	340	21	357	40	111	64	53	268	48	21	337	20	358	34	121	58	52	265	55	18	338	20	363	39	121	60	56	276	48	18	342	21
49313	4	estab.	509	58	105	48	69	280	100	59	439	70	516	54	103	65	54	276	99	63	438	78	516	42	112	66	54	274	91	69	434	82	552	34	124	58	60	276	100	76	452	100	539	39	122	64	64	289	78	73	440	99
49313	4	empl.	4511	0	237	304	693	1234	1482	950	3666	845	5143	0	224	425	612	1261	1386	1071	3718	1425	4891	0	241	419	698	1358	1215	1136	3709	1182	5459	0	279	366	665	1310	1310	1351	3971	1488	4798	0	268	364	693	1325	1233	1007	3565	1233
49313	4	ann. pay.	110249	4302	5776	6211	15136	31425	31381	20055	82861	27388	128232	2464	6573	8839	15081	32957	31001	27566	91524	36708	127052	2901	5802	9439	16091	34233	28324	31016	93573	33479	147543	1660	6843	8582	18235	35320	32761	35692	103773	43770	139954	2964	6988	8086	18850	36888	35481	29111	101480	38474
49313	4	rec.																																									1715364	27904	66053	95745	163416	353118	195602	274020	822740	892624
49319	4	firms	841	78	303	136	107	624	111	66	801	40	857	70	347	133	87	637	120	61	818	39	808	67	318	130	95	610	117	43	770	38	831	66	331	134	90	621	121	50	792	39	846	100	313	136	98	647	98	49	794	52
49319	4	estab.	1477	78	303	137	117	635	153	144	932	545	1281	71	347	134	95	647	158	127	932	349	1247	67	318	133	101	619	169	106	894	353	1191	66	331	137	97	631	162	142	935	256	1227	100	313	139	119	671	127	105	903	324
49319	4	empl.	26407	0	631	892	1367	2890	3339	4254	10483	15924	22113	0	722	912	1141	2775	3544	4053	10372	11741	23207	0	654	860	1228	2742	3928	2723	9393	13814	22220	0	711	880	1147	2738	3827	3118	9683	12537	22195	0	671	906	1292	2869	3434	3133	9436	12759
49319	4	ann. pay.	810943	3169	14010	22744	35409	75332	106867	133271	315470	495473	709091	3775	17561	24284	35664	81284	105094	123175	309553	399538	743271	2265	16834	24004	33698	76801	126305	92418	295524	447747	735353	3346	18112	25814	32580	79852	119438	114687	313977	421376	730372	3863	17325	26736	42778	90702	103914	121301	315917	414455
49319	4	rec.																																									2563165	22421	92707	156042	162639	433809	379022	499425	1312256	1250909
51111	4	firms	6616	501	2294	1462	1035	5292	957	244	6493	123	6415	456	2244	1407	1041	5148	919	222	6289	126	6172	366	2133	1390	988	4877	935	230	6042	130	6055	390	2122	1324	937	4773	938	214	5925	130	6023	410	2210	1297	873	4790	895	214	5899	124
51111	4	estab.	8686	501	2294	1463	1042	5300	1066	644	7010	1676	8625	466	2244	1408	1050	5168	1026	648	6842	1783	8586	370	2133	1393	998	4894	1050	691	6635	1951	8540	391	2122	1327	946	4786	1064	683	6533	2007	8728	410	2211	1303	897	4821	1166	791	6778	1950
51111	4	empl.	401373	0	5244	9743	13840	28827	36748	44072	109647	291726	393543	0	5080	9444	13909	28433	36017	40665	105115	288428	412627	0	4831	9304	13333	27468	36375	41895	105738	306889	413951	0	4767	8816	12673	26256	36761	40497	103514	310437	387993	0	5093	8658	11785	25536	35066	41439	102041	285952
51111	4	ann. pay.	12244525	22950	88594	159827	256270	527641	790723	1106015	2424379	9820146	12739812	38746	88842	166617	275365	569570	827742	1082473	2479785	10260027	14216000	26621	89005	174334	273104	563064	871866	1150097	2585027	11630973	14747105	21471	93887	176069	264425	555852	881372	1125874	2563098	12184007	14039848	21255	116570	174189	251838	563852	895733	1176228	2635813	11404035
51111	4	rec.																																									46477469	70262	453913	541918	702718	1768811	2407082	3286824	7462717	39014752
51112	4	firms	5719	616	2529	1008	673	4826	602	172	5600	119	5465	549	2434	971	642	4596	580	171	5347	118	5257	477	2301	954	632	4364	603	173	5140	117	5185	498	2235	953	632	4318	588	163	5069	116	5589	680	2461	945	624	4710	598	171	5479	110
51112	4	estab.	6250	616	2529	1008	676	4829	632	282	5743	507	5984	549	2434	971	645	4599	603	279	5481	503	6252	477	2301	955	640	4373	638	318	5329	923	6248	498	2236	956	637	4327	621	365	5313	935	6912	681	2461	953	640	4735	715	318	5768	1144
51112	4	empl.	131949	0	5463	6564	9065	21092	23571	24149	68812	63137	126824	0	5226	6288	8769	20283	22322	24112	66717	60107	135586	0	4912	6266	8613	19791	22916	26777	69484	66102	133245	0	4777	6317	8598	19692	23126	26174	68992	64253	127161	0	5310	6227	8437	19974	22476	25465	67915	59246
51112	4	ann. pay.	6247801	39976	153360	205659	339485	738480	1019264	1140052	2897796	3350005	6412418	42292	162428	213692	333103	751515	1019847	1214511	2985873	3426545	7676311	32330	162828	225186	348445	768789	1139334	1452317	3360440	4315871	7544103	39556	146904	222658	337819	746937	1091777	1365629	3204343	4339760	7190913	51959	164913	226361	350820	794053	1103771	1367926	3265750	3925163
51112	4	rec.																																									32824021	221339	673017	779818	1133571	2807745	3571329	5425415	11804489	21019532
51113	4	firms	2552	304	1205	379	222	2110	285	86	2481	71	2495	288	1199	344	235	2066	272	86	2424	71	2490	275	1180	340	230	2025	289	90	2404	86	2522	293	1193	329	248	2063	287	92	2442	80	2408	230	1201	326	217	1974	261	97	2332	76
51113	4	estab.	2683	304	1207	381	222	2114	293	96	2503	180	2646	288	1201	346	235	2070	279	101	2450	196	2661	275	1183	341	231	2030	296	103	2429	232	2698	294	1196	330	249	2069	296	108	2473	225	2713	230	1203	329	221	1983	291	116	2390	323
51113	4	empl.	90454	0	2441	2494	3010	7945	11487	11874	31306	59148	81391	0	2406	2287	3140	7833	10854	12316	31003	50388	87242	0	2390	2232	3113	7735	11517	12793	32045	55197	89676	0	2410	2137	3350	7897	11955	13270	33122	56554	90017	0	2375	2111	2939	7425	10495	13411	31331	58686
51113	4	ann. pay.	3781501	14994	68943	77194	103274	264405	413586	472242	1150233	2631268	3767370	14401	75211	79400	115177	284189	398323	534732	1217244	2550126	4309858	13809	73325	74379	116203	277716	451967	567701	1297384	3012474	4803151	38354	73190	74008	127556	313108	468958	640521	1422587	3380564	4863261	12932	75020	73168	118956	280076	430391	647285	1357752	3505509
51113	4	rec.																																									27937864	44301	320958	319902	479787	1164948	1716349	2653717	5535014	22402850
51114	4	firms	1139	101	464	202	147	914	138	44	1096	43	849	97	335	136	98	666	94	45	805	44	1146	108	456	197	150	911	136	43	1090	56	1164	107	467	201	151	926	146	37	1109	55	1136	143	485	199	109	936	118	30	1084	52
51114	4	estab.	1277	103	464	209	150	926	141	65	1132	145	970	97	335	136	101	669	97	63	829	141	1370	109	456	197	154	916	138	61	1115	255	1394	107	467	203	153	930	148	47	1125	269	1566	143	486	203	120	952	136	47	1135	431
51114	4	empl.	38024	0	1052	1365	1958	4375	5364	6693	16432	21592	31665	0	746	903	1327	2976	3491	7122	13589	18076	46240	0	1023	1299	2057	4379	5370	7187	16936	29304	45096	0	1016	1294	2070	4380	5585	6160	16125	28971	46913	0	1042	1328	1527	3897	4469	5107	13473	33440
51114	4	ann. pay.	1642916	3822	36324	50662	90101	180909	215022	274959	670890	972026	1454873	4536	27833	33821	58146	124336	156974	293182	574492	880381	2418061	6695	37223	63324	115385	222627	258105	334022	814754	1603307	2327697	11868	37047	50979	94976	194870	275488	325673	796031	1531666	2275843	9317	40438	55141	57982	162878	234596	266051	663525	1612318
51114	4	rec.																																									11989265	32293	170902	186540	204131	593866	766847	858116	2218829	9770436
51119	4	firms	2536	403	980	394	299	2076	296	78	2450	86	2533	392	1020	391	287	2090	288	78	2456	77	2591	404	1060	389	284	2137	293	72	2502	89	2381	297	994	363	284	1938	284	74	2296	85	2156	318	881	309	252	1760	243	79	2082	74
51119	4	estab.	2839	403	980	398	303	2084	304	120	2508	331	3020	392	1020	394	288	2094	296	130	2520	500	3077	406	1060	392	286	2144	302	122	2568	509	2878	297	997	363	299	1956	296	103	2355	523	2569	318	882	309	268	1777	258	113	2148	421
51119	4	empl.	66118	0	2005	2599	4005	8609	10911	9382	28902	37216	66611	0	2078	2542	3891	8511	10910	9992	29413	37198	67484	0	2226	2559	3918	8703	11546	10658	30907	36577	65619	0	2026	2415	3890	8331	11333	10986	30650	34969	55790	0	1777	2098	3401	7276	9274	10235	26785	29005
51119	4	ann. pay.	2231650	28669	58607	82025	133184	302485	337780	305353	945618	1286032	2446297	25530	66033	87520	132503	311586	351767	377355	1040708	1405589	2637338	40339	72051	87006	133043	332439	415532	451810	1199781	1437557	2604026	22050	71357	85119	136063	314589	403343	437977	1155909	1448117	2291356	17359	58020	74531	128383	278293	342781	474523	1095597	1195759
51119	4	rec.																																									12897093	72029	226886	238933	388039	925887	1130086	2232481	4288454	8608639
51121	4	firms	9426	933	3789	1537	1252	7511	1339	341	9191	235	8961	878	3514	1386	1228	7006	1365	339	8710	251	8382	881	3168	1263	1080	6392	1379	357	8128	254	8057	770	3106	1192	1031	6099	1329	368	7796	261	7699	879	2948	1212	925	5964	1179	307	7450	249
51121	4	estab.	11694	933	3800	1558	1296	7587	1612	884	10083	1611	11132	881	3527	1406	1258	7072	1604	752	9428	1704	10599	893	3183	1281	1103	6460	1580	662	8702	1897	10353	772	3107	1220	1058	6157	1489	699	8345	2008	10089	880	2961	1233	979	6053	1482	693	8228	1861
51121	4	empl.	283192	0	7939	10280	17068	35287	52744	54348	142379	140813	304663	0	7274	9139	16699	33112	55682	53877	142671	161992	331485	0	6597	8376	14683	29656	57215	61461	148332	183153	353344	0	6479	7970	14102	28551	55343	64087	147981	205363	312102	0	6033	8105	12749	26887	47423	50870	125180	186922
51121	4	ann. pay.	23615784	54417	395910	511009	931234	1892570	3303612	4203993	9400175	14215609	27695721	81849	371936	480768	974374	1908927	3790747	4926913	10626587	17069134	44090006	122077	319166	441076	880121	1762440	4109229	6392219	12263888	31826118	36954665	81433	332937	439169	840152	1693691	3728816	5065146	10487653	26467012	29930377	113171	318668	449253	807859	1688951	3485966	4103042	9277959	20652418
51121	4	rec.																																									96373815	292496	894492	1091038	1845517	4123543	7619505	9019867	20762915	75610900
51211	4	firms	9529	2881	4772	943	464	9060	343	60	9463	66	9581	2696	4923	951	512	9082	379	59	9520	61	9786	2709	5009	999	554	9271	392	69	9732	54	10226	2840	5284	1042	515	9681	428	66	10175	51	10563	3084	5625	927	473	10109	346	58	10513	50
51211	4	estab.	9703	2884	4777	953	479	9093	366	68	9527	176	9796	2698	4928	961	526	9113	405	66	9584	212	10018	2710	5017	1006	566	9299	419	76	9794	224	10595	2843	5295	1048	525	9711	454	81	10246	349	10943	3084	5634	938	493	10149	391	68	10608	335
51211	4	empl.	63336	0	8578	6173	6093	20844	12356	7785	40985	22351	72505	0	8853	6086	6817	21756	14852	7486	44094	28411	84549	0	9015	6500	7471	22986	14670	10299	47955	36594	96892	0	9472	6733	6824	23029	15834	9048	47911	48981	85659	0	10020	5980	6206	22206	12502	8099	42807	42852
51211	4	ann. pay.	4742149	443982	863510	347165	329054	1983711	552682	464944	3001337	1740812	5301296	449606	877075	288511	401325	2016517	688986	404291	3109794	2191502	5722993	433305	867393	312973	403641	2017312	811555	501056	3329923	2393070	6815633	444811	904641	333462	362571	2045485	979830	386463	3411778	3403855	6662753	466879	939946	312427	434582	2153834	776017	435034	3364885	3297868
51211	4	rec.																																									44832326	1363213	2643733	1466381	1663063	7136390	3048133	1066226	11250749	33581577
51212	4	firms	629	82	303	94	69	548	49	10	607	22	579	74	291	78	58	501	44	12	557	22	562	83	281	72	48	484	46	11	541	21	512	62	264	70	50	446	48	10	504	8	508	69	255	68	53	445	44	11	500	8
51212	4	estab.	711	83	303	94	72	552	59	14	625	86	706	75	291	78	61	505	48	18	571	135	678	83	283	72	51	489	50	17	556	122	537	62	266	71	52	451	53	13	517	20	541	69	258	69	59	455	52	14	521	20
51212	4	empl.	26900	0	637	589	888	2114	1970	974	5058	21842	27669	0	607	509	806	1922	1492	1148	4562	23107	13861	0	610	461	682	1753	1713	1096	4562	9299	5870	0	559	456	679	1694	1556	944	4194	1676	5311	0	536	447	729	1712	1588	925	4225	1086
51212	4	ann. pay.	889219	3873	42492	22906	45195	114466	94187	36805	245458	643761	1058311	4344	27821	32577	41108	105850	65120	48910	219880	838431	1118723	6616	34147	34074	37231	112068	86245	48041	246354	872369	306638	6758	28095	32697	38556	106106	86099	43485	235690	70948	311907	8849	27269	37291	35513	108922	91837	43264	244023	67884
51212	4	rec.																																									1544022	29257	131342	165690	334574	660863	470427	216237	1347527	196495
51213	4	firms	2301	367	552	476	438	1833	375	60	2268	33	2240	339	549	475	436	1799	345	64	2208	32	2158	345	563	396	427	1731	333	61	2125	33	2148	345	529	426	389	1689	366	59	2114	34	2129	339	466	393	440	1638	384	73	2095	34
51213	4	estab.	6280	369	558	495	477	1899	616	536	3051	3229	6197	345	556	495	477	1873	568	485	2926	3271	5884	345	583	405	481	1814	543	461	2818	3066	5353	345	539	446	435	1765	538	439	2742	2611	5198	339	472	405	466	1682	586	475	2743	2455
51213	4	empl.	132412	0	1318	3249	5785	10352	12749	11654	34755	97657	137137	0	1276	3197	5721	10194	11872	11664	33730	103407	143958	0	1315	2681	5713	9709	11711	11160	32580	111378	132661	0	1179	2879	5323	9381	13136	11851	34368	98293	134055	0	1107	2718	6053	9878	13526	14523	37927	96128
51213	4	ann. pay.	1083890	28240	16096	27745	46583	118664	106279	93673	318616	765274	1133532	20709	20742	29008	48941	119400	102933	106159	328492	805040	1129991	22943	21867	27326	50267	122403	108784	93746	324933	805058	1188564	33310	23169	29436	46548	132463	120197	105187	357847	830717	1340696	20048	19687	27584	53155	120474	120722	151143	392339	948357
51213	4	rec.																																									11007327	106754	96725	132321	287871	623671	732842	972918	2329431	8677896
51219	4	firms	3210	426	1685	525	287	2923	223	40	3186	24	3079	458	1553	491	300	2802	215	39	3056	23	3022	487	1458	504	267	2716	241	40	2997	25	2913	434	1457	463	266	2620	227	38	2885	28	2832	470	1467	391	242	2570	198	39	2807	25
51219	4	estab.	3370	427	1690	530	294	2941	280	80	3301	69	3190	460	1559	493	305	2817	244	75	3136	54	3150	487	1460	508	271	2726	252	87	3065	85	3047	434	1460	463	271	2628	242	103	2973	74	2970	470	1468	391	248	2577	241	86	2904	66
51219	4	empl.	32591	0	3264	3348	3865	10477	7973	6215	24665	7926	32853	0	2990	3158	4125	10273	7665	6625	24563	8290	34220	0	2869	3225	3654	9748	8508	6540	24796	9424	34714	0	2787	2981	3643	9411	8262	5513	23186	11528	28353	0	2798	2482	3221	8501	6991	5531	21023	7330
51219	4	ann. pay.	1714060	47233	169887	135067	182243	534430	382736	331136	1248302	465758	1681782	46800	156712	124231	196273	524016	394424	329081	1247521	434261	1834228	50033	151991	137801	186961	526786	437450	335495	1299731	534497	1845589	43240	153967	118811	183048	499066	446522	286125	1231713	613876	1670540	52437	148567	112155	164425	477584	403565	324602	1205751	464789
51219	4	rec.																																									4915358	223691	456539	338359	457766	1476355	1045694	832543	3354592	1560766
51221	4	firms	279	57	162	33	18	270	8	0	278	1	271	63	151	32	14	260	9	0	269	2	268	54	157	34	9	254	12	0	266	2	262	52	152	30	9	243	17	0	260	2	356	74	217	29	14	334	17	2	353	3
51221	4	estab.	279	57	162	33	18	270	8	0	278	1	274	63	151	32	14	260	9	0	269	5	276	59	157	34	9	259	12	0	271	5	270	52	152	30	9	243	22	0	265	5	370	74	217	29	14	334	17	7	358	12
51221	4	empl.	1073	0	294	212	233	739	         [e]	0	         [g]	         [a]	1042	0	265	205	194	664	[e]	0	[g]	[b]	1110	0	285	222	118	625	         [e]	0	         [g]	         [b]	1225	0	275	202	118	595	         [f]	0	         [g]	         [b]	1916	0	393	188	167	748	687	         [c]	         [g]	         [e]
51221	4	ann. pay.	48686	3615	13603	6584	12320	36122	         (D)	0	         (D)	         (D)	53115	4310	17384	5933	7317	34944	(D)	0	(D)	(D)	54576	8039	14129	7638	5025	34831	         (D)	0	         (D)	         (D)	73294	5722	12621	8717	9316	36376	         (D)	0	         (D)	         (D)	114852	6781	16593	10621	7428	41423	30112	         (D)	         (D)	         (D)
51221	4	rec.																																									548637	24729	76695	49636	25737	176797	148539	         (D)	         (D)	         (D)
51222	4	firms	264	42	128	36	24	230	21	5	256	8	263	45	133	35	19	232	20	4	256	7	267	42	140	34	19	235	21	5	261	6	261	37	140	31	24	232	16	7	255	6	247	34	126	36	23	219	18	3	240	7
51222	4	estab.	289	42	128	36	24	230	21	5	256	33	289	47	133	35	19	234	20	4	258	31	310	43	140	34	21	238	21	9	268	42	305	37	140	31	27	235	16	10	261	44	303	34	126	37	28	225	22	8	255	48
51222	4	empl.	6970	0	240	236	323	799	928	407	2134	4836	6705	0	260	217	260	737	875	581	2193	4512	9001	0	269	213	257	739	870	757	2366	6635	8794	0	256	203	331	790	615	852	2257	6537	8705	0	231	248	331	810	770	440	2020	6685
51222	4	ann. pay.	675618	1818	12513	10232	15202	39765	63976	38860	142601	533017	676563	5727	12138	7775	14180	39820	69188	59553	168561	508002	1100330	5405	11523	10545	10235	37708	75589	34816	148113	952217	1042538	2248	14357	9872	17673	44150	53562	39739	137451	905087	954729	1338	12042	13471	22520	49371	49749	21777	120897	833832
51222	4	rec.																																									7250889	10602	45034	73967	110718	240321	271452	83174	594947	6655942
51223	4	firms	692	143	381	74	33	631	40	10	681	11	671	140	362	72	39	613	37	9	659	12	637	115	362	68	40	585	32	9	626	11	613	105	348	72	37	562	31	9	602	11	674	132	389	75	35	631	27	7	665	9
51223	4	estab.	718	143	381	74	34	632	47	16	695	23	701	141	362	73	39	615	46	15	676	25	670	115	363	69	40	587	42	18	647	23	645	105	348	73	37	563	41	17	621	24	706	132	389	77	35	633	35	15	683	23
51223	4	empl.	5185	0	729	476	419	1624	         [g]	1050	         [h]	         [g]	5229	0	696	461	499	1656	1333	1085	4074	1155	5125	0	695	422	528	1645	1181	1053	3879	1246	5050	0	677	444	487	1608	1048	1105	3761	1289	4548	0	695	455	462	1612	904	1045	3561	987
51223	4	ann. pay.	232378	11183	24878	16812	12563	65436	         (D)	33679	         (D)	         (D)	251842	7625	24229	15820	19144	66818	62521	35739	165078	86764	282621	20009	25967	13797	19979	79752	60706	46694	187152	95469	277208	19106	27806	15983	22163	85058	49864	48243	183165	94043	288954	11123	31114	17455	30748	90440	53941	52056	196437	92517
51223	4	rec.																																									2026566	36876	121777	105461	122841	386955	336870	351647	1075472	951094
51224	4	firms	1410	246	820	191	89	1346	52	6	1404	6	1539	250	889	204	119	1462	66	6	1534	5	1494	208	884	219	102	1413	66	9	1488	6	1599	237	954	219	104	1514	68	11	1593	6	1491	244	904	206	78	1432	47	6	1485	6
51224	4	estab.	1422	246	820	193	93	1352	57	7	1416	6	1553	250	889	207	123	1469	72	7	1548	5	1516	208	884	222	107	1421	78	10	1509	7	1621	237	954	224	107	1522	77	15	1614	7	1517	244	904	208	82	1438	61	9	1508	9
51224	4	empl.	10699	0	1586	1200	1167	3953	         [g]	347	         [i]	         [h]	7250	0	1774	1270	1560	4604	2203	396	7203	47	8127	0	1758	1420	1360	4538	2465	1072	8075	52	8449	0	1871	1402	1381	4654	2564	1178	8396	53	6398	0	1728	1298	1035	4061	1549	464	6074	324
51224	4	ann. pay.	649352	14191	43566	35553	38726	132036	         (D)	5909	         (D)	         (D)	266792	14057	50231	39116	51893	155297	75849	33514	264660	2132	326506	13103	51872	46815	51206	162996	95947	65444	324387	2119	313418	11829	56238	45553	51257	164877	105584	40704	311165	2253	233808	10010	50635	43262	44574	148481	61188	13560	223229	10579
51224	4	rec.																																									784604	39907	200684	145845	112864	499300	175848	39016	714164	70440
51229	4	firms	345	72	194	39	17	322	14	4	340	5	343	41	206	51	21	319	14	5	338	5	326	34	191	49	25	299	17	3	319	7	347	41	210	40	30	321	17	5	343	4	394	64	232	40	29	365	21	5	391	3
51229	4	estab.	403	72	194	40	17	323	15	33	371	32	396	41	206	52	21	320	15	38	373	23	397	34	191	50	25	300	24	25	349	48	409	41	210	41	30	322	17	35	374	35	473	64	232	41	29	366	21	52	439	34
51229	4	empl.	2547	0	356	255	209	820	432	778	2030	517	2979	0	350	323	272	945	[e]	902	[g]	[f]	4253	0	352	325	340	1017	         [e]	761	         [g]	         [g]	3488	0	387	255	401	1043	         [e]	943	         [g]	         [g]	3454	0	419	246	364	1029	658	         [f]	         [h]	         [f]
51229	4	ann. pay.	102145	5360	15256	6679	5651	32946	12902	29891	75739	26406	108178	6535	12969	10803	5182	35489	(D)	21265	(D)	(D)	166168	2547	13161	9337	10948	35993	         (D)	18874	         (D)	         (D)	123387	2094	12957	7577	10308	32936	         (D)	36261	         (D)	         (D)	121786	1873	14293	7535	10227	33928	24361	         (D)	         (D)	         (D)
51229	4	rec.																																									371248	8985	59042	23487	29004	120518	67322	         (D)	         (D)	         (D)
51311	4	firms	5293	542	1146	1098	1340	4126	958	128	5212	81	5086	518	1186	1081	1196	3981	904	120	5005	81	4925	479	1252	1050	1105	3886	843	112	4841	84	4606	433	1238	963	1044	3678	730	109	4517	89	4249	414	1099	893	959	3365	688	109	4162	87
51311	4	estab.	6573	542	1147	1115	1401	4205	1246	469	5920	653	6537	520	1190	1096	1243	4049	1160	489	5698	839	6442	487	1260	1066	1156	3969	1067	427	5463	979	7297	441	1252	981	1112	3786	902	395	5083	2214	7029	415	1104	898	1027	3444	946	456	4846	2183
51311	4	empl.	114255	0	2640	7656	18124	28420	32574	15613	76607	37648	123469	0	2691	7389	16199	26279	30688	15305	72272	51197	121492	0	2812	7285	15008	25105	28955	14725	68785	52707	142650	0	2778	6644	14192	23614	25638	13594	62846	79804	130848	0	2543	6139	12965	21647	23974	14089	59710	71138
51311	4	ann. pay.	3626997	36134	59764	120671	308297	524866	821503	497107	1843476	1783521	4540588	57205	64066	141103	290425	552799	789520	554563	1896882	2643706	4840722	46235	71425	153698	301362	572720	848154	523498	1944372	2896350	5381144	35129	76069	127188	291717	530103	740074	538906	1809083	3572061	5061669	23625	60019	123365	273493	480502	719794	587067	1787363	3274306
51311	4	rec.																																									17553818	90075	208469	330365	659538	1288447	1956926	1802605	5047978	12505840
51312	4	firms	1107	153	262	134	102	651	250	114	1015	92	1119	112	299	146	110	667	248	117	1032	87	1107	120	294	143	95	652	260	102	1014	93	1081	107	308	126	108	649	240	103	992	89	1071	110	313	130	111	664	226	97	987	84
51312	4	estab.	1945	153	264	138	103	658	300	214	1172	773	2009	112	304	147	111	674	296	210	1180	829	2050	120	296	148	100	664	298	186	1148	902	1937	107	312	129	112	660	281	182	1123	814	2009	110	314	130	111	665	276	200	1141	868
51312	4	empl.	128726	0	566	920	1382	2868	11386	15946	30200	98526	126802	0	640	995	1542	3177	10951	15977	30105	96697	132151	0	639	938	1316	2893	11356	14668	28917	103234	126734	0	670	810	1492	2972	10241	15699	28912	97822	123409	0	666	860	1539	3065	9804	15373	28242	95167
51312	4	ann. pay.	6654464	35766	23242	23490	38630	121128	326095	589055	1036278	5618186	6823680	30508	26192	25075	44241	126016	325669	610232	1061917	5761763	7451334	36866	26979	27102	36271	127218	378256	581006	1086480	6364854	7358528	27028	68221	22150	39893	157292	339909	634551	1131752	6226776	7153575	13910	34845	22677	47812	119244	345686	654039	1118969	6034606
51312	4	rec.																																									33558561	54336	114346	87924	171990	428596	1280386	2076094	3785076	29773485
51321	4	firms	349	47	117	44	33	241	44	25	310	39	373	52	129	48	35	264	49	22	335	38	382	55	118	52	40	265	52	24	341	41	361	32	102	58	41	233	60	25	318	43	454	60	157	72	47	336	54	22	412	42
51321	4	estab.	752	47	117	45	33	242	69	67	378	374	755	52	129	49	42	272	67	56	395	360	689	55	118	53	41	267	65	58	390	299	887	32	102	61	41	236	64	53	353	534	1292	60	158	74	52	344	64	54	462	830
51321	4	empl.	32480	0	259	290	457	1006	1628	4313	6947	25533	33171	0	278	319	493	1090	1857	4104	7051	26120	39147	0	239	343	539	1121	1987	4693	7801	31346	41022	0	209	382	550	1141	2565	5101	8807	32215	61796	0	323	498	630	1451	2074	4537	8062	53734
51321	4	ann. pay.	1902915	27078	9769	5533	18010	60390	63379	262479	386248	1516667	2057419	17049	11720	8806	16224	53799	77487	279844	411130	1646289	2654028	26489	11061	9646	17384	64580	102398	372248	539226	2114802	2963623	6289	10366	11743	17516	45914	110051	376299	532264	2431359	3445590	5016	14788	20693	23502	63999	86634	335253	485886	2959704
51321	4	rec.																																									25288176	22964	125233	141573	123301	413071	471676	1762517	2647264	22640912
51322	4	firms	1516	167	616	259	161	1203	168	73	1444	72	1513	149	643	268	165	1225	164	49	1438	75	1446	141	641	262	146	1190	142	49	1381	65	1379	143	590	250	140	1123	142	46	1311	68	1244	132	534	213	128	1007	128	46	1181	63
51322	4	estab.	4203	167	618	273	177	1235	277	323	1835	2368	4609	150	646	272	177	1245	247	213	1705	2904	4581	141	647	271	154	1213	170	230	1613	2968	5805	143	593	255	146	1137	205	139	1481	4324	5599	132	534	223	141	1030	185	193	1408	4191
51322	4	empl.	146241	0	1364	1651	2147	5162	6299	11594	23055	123186	148948	0	1380	1767	2168	5315	6048	6734	18097	130851	173563	0	1420	1724	1946	5090	5314	6578	16982	156581	204426	0	1286	1658	1816	4760	5730	5260	15750	188676	238347	0	1121	1400	1694	4215	4487	5232	13934	224413
51322	4	ann. pay.	5368564	11214	33705	44909	62276	152104	199407	394929	746440	4622124	6002429	14309	38231	52771	74759	180070	192787	290069	662926	5339503	7430397	14363	40913	60914	71590	187780	178537	246343	612660	6817737	8766780	53053	37144	53879	65852	209928	222669	193327	625924	8140856	9004908	6137	33960	42040	61170	143307	159011	192615	494933	8509975
51322	4	rec.																																									56637054	39243	176555	205003	272312	693113	792474	1105964	2591551	54045503
51331	4	firms	3037	582	952	447	382	2363	474	131	2968	69	3188	486	1109	463	410	2468	510	129	3107	81	3357	511	1113	511	432	2567	534	156	3257	100	3279	418	1101	511	423	2453	566	152	3171	108	3044	401	1028	456	390	2275	519	135	2929	115
51331	4	estab.	22275	595	954	456	409	2414	664	374	3452	18823	23461	487	1122	469	439	2517	668	371	3556	19905	26223	512	1115	514	455	2596	675	469	3740	22483	27509	418	1102	515	447	2482	684	350	3516	23993	26883	402	1029	462	419	2312	711	393	3416	23467
51331	4	empl.	818245	0	2037	2965	5127	10129	18704	20366	49199	769046	815662	0	2323	3064	5478	10865	19982	21246	52093	763569	870235	0	2361	3410	5844	11615	21671	26056	59342	810893	905518	0	2334	3381	5636	11351	22514	24539	58404	847114	848013	0	2137	3026	5251	10414	20712	20301	51427	796586
51331	4	ann. pay.	42099071	51735	71656	104397	204601	432389	762293	900790	2095472	40003599	44613615	54566	83155	125647	227683	491051	908793	960546	2360390	42253225	49010081	332452	100242	137978	284465	855137	1053919	1302156	3211212	45798869	50210483	38089	83759	131266	249507	502621	1045732	1181359	2729712	47480771	47962181	59864	94568	120441	228701	503574	986237	917526	2407337	45554844
51331	4	rec.																																									231169001	571031	620296	644764	1081039	2917130	4418517	4650375	11986022	219182979
51332	4	firms	3356	709	1404	517	323	2953	277	67	3297	59	3597	703	1543	570	339	3155	308	67	3530	67	3912	731	1686	594	404	3415	349	73	3837	75	3890	645	1644	632	424	3345	376	86	3807	83	3691	634	1683	529	356	3202	338	78	3618	73
51332	4	estab.	7867	711	1413	536	365	3025	450	256	3731	4136	9263	738	1552	578	377	3245	457	406	4108	5155	10424	750	1694	603	460	3507	493	365	4365	6059	11610	652	1648	651	470	3421	550	603	4574	7036	11079	634	1687	546	423	3290	627	517	4434	6645
51332	4	empl.	162430	0	2958	3445	4234	10637	10210	9875	30722	131708	186048	0	3192	3755	4461	11408	11164	10296	32868	153180	202476	0	3600	3843	5320	12763	13218	11380	37361	165115	256558	0	3462	4182	5726	13370	14560	11609	39539	217019	216769	0	3492	3477	4669	11638	12266	10474	34378	182391
51332	4	ann. pay.	7101135	48435	77765	82637	124313	333150	300506	466450	1100106	6001029	8101780	72686	103408	101155	137892	415141	428787	418727	1262655	6839125	11027145	93245	110123	134339	189648	527355	584231	682418	1794004	9233141	13367882	53294	101891	127751	188323	471259	636297	538732	1646288	11721594	10418015	57815	94243	100746	146587	399391	545930	587816	1533137	8884878
51332	4	rec.																																									88061331	249952	566612	510291	624958	1951813	2788942	2339540	7080295	80981036
51333	4	firms	1664	354	614	249	156	1373	192	65	1630	34	1709	351	665	242	164	1422	171	75	1668	41	1794	368	695	253	168	1484	186	67	1737	57	1791	332	705	248	202	1487	179	62	1728	63	2237	412	945	335	220	1912	208	55	2175	62
51333	4	estab.	2083	357	616	249	160	1382	253	167	1802	281	2208	352	665	245	167	1429	236	171	1836	372	2458	370	696	255	169	1490	244	139	1873	585	2475	339	706	248	206	1499	219	102	1820	655	3060	416	945	346	250	1957	296	89	2342	718
51333	4	empl.	41232	0	1254	1607	2134	4995	8022	10891	23908	17324	43600	0	1352	1617	2229	5198	7011	12234	24443	19157	54587	0	1470	1694	2224	5388	7870	10291	23549	31038	59941	0	1490	1635	2733	5858	7547	10671	24076	35865	49808	0	1988	2213	2982	7183	8169	8339	23691	26117
51333	4	ann. pay.	1698084	38338	39361	61447	95808	234954	312375	366517	913846	784238	2167477	36546	46946	80241	111042	274775	422135	615629	1312539	854938	3341749	72916	58493	70834	93416	295659	409856	934855	1640370	1701379	3217934	39262	52955	59335	118091	269643	352222	558851	1180716	2037218	2666336	32807	69939	79656	116265	298667	404605	404271	1107543	1558793
51333	4	rec.																																									15577521	195558	505146	636499	880247	2217450	2195267	2299749	6712466	8865055
51334	4	firms	418	59	139	55	66	319	55	20	394	24	474	100	161	67	48	376	48	22	446	28	512	92	187	68	53	400	56	22	478	34	528	95	185	68	70	418	51	25	494	34	567	84	236	75	54	449	67	23	539	28
51334	4	estab.	679	61	139	57	67	324	74	85	483	196	791	100	161	69	49	379	58	55	492	299	728	92	188	68	54	402	70	50	522	206	737	95	185	76	76	432	52	69	553	184	746	84	237	78	57	456	81	75	612	134
51334	4	empl.	11818	0	276	379	875	1530	2270	3725	7525	4293	17608	0	337	445	663	1445	2014	3592	7051	10557	21252	0	384	452	720	1556	2033	3714	7303	13949	21259	0	398	441	934	1773	1920	4342	8035	13224	16001	0	467	489	714	1670	2672	3646	7988	8013
51334	4	ann. pay.	781838	8016	10591	17666	38350	74623	132501	285616	492740	289098	1235099	9937	15610	23257	29612	78416	108849	242646	429911	805188	1680417	20908	14705	18112	30241	83966	133962	323080	541008	1139409	1491568	4642	15605	21281	37781	79309	110057	293143	482509	1009059	1052506	4752	19971	20844	27729	73296	167783	238063	479142	573364
51334	4	rec.																																									6419151	31896	123276	114679	329231	599082	822784	2034311	3456177	2962974
51339	4	firms	740	196	337	102	47	682	31	12	725	15	888	232	401	109	68	810	46	16	872	16	1044	232	472	148	84	936	63	21	1020	24	1074	217	476	155	93	941	79	28	1048	26	825	164	381	102	74	721	55	23	799	26
51339	4	estab.	863	196	337	102	49	684	35	25	744	119	1219	232	401	109	69	811	54	21	886	333	1376	232	472	148	85	937	70	27	1034	342	1418	217	476	155	96	944	84	33	1061	357	1015	164	381	102	75	722	60	39	821	194
51339	4	empl.	7274	0	659	673	579	1911	1247	1184	4342	2932	8934	0	795	717	870	2382	1667	2368	6417	2517	16929	0	946	987	1104	3037	2348	2923	8308	8621	18907	0	981	994	1212	3187	2953	4008	10148	8759	13417	0	770	686	978	2434	1792	2317	6543	6874
51339	4	ann. pay.	448344	13714	21762	23535	18798	77809	68875	56842	203526	244818	468507	17167	26841	28029	36437	108474	79387	90573	278434	190073	1330069	33280	37831	43778	53704	168593	147384	221054	537031	793038	1201951	53479	30913	38070	43489	165951	144866	229805	540622	661329	848062	9280	27813	24987	44692	106772	87825	115239	309836	538226
51339	4	rec.																																									3148731	43109	161262	101162	175665	481198	234041	595185	1310424	1838307
51411	4	firms	285	42	121	39	19	221	28	13	262	23	324	61	128	41	22	252	35	10	297	27	324	45	138	46	26	255	35	10	300	24	300	46	126	39	22	233	31	11	275	25	311	48	143	38	23	252	29	7	288	23
51411	4	estab.	516	42	122	41	26	231	48	60	339	177	564	61	129	43	28	261	54	56	371	193	567	45	139	47	36	267	68	45	380	187	540	46	129	39	28	242	51	19	312	228	543	48	143	39	26	256	55	38	349	194
51411	4	empl.	9920	0	219	269	231	719	937	2080	3736	6184	11363	0	255	266	264	785	1291	1700	3776	7587	11283	0	266	304	317	887	1393	1940	4220	7063	12205	0	249	254	290	793	1035	1517	3345	8860	10158	0	254	258	311	823	1015	1201	3039	7119
51411	4	ann. pay.	521746	2955	19474	9646	9233	41308	46563	138069	225940	295806	612001	2478	14454	10853	10015	37800	60572	119301	217673	394328	647566	3402	16210	14053	12258	45923	81064	158024	285011	362555	679652	11661	17286	9265	10959	49171	58719	75480	183370	496282	584239	1565	28025	8937	17960	56487	59137	62882	178506	405733
51411	4	rec.																																									1761716	8456	60980	24719	43672	137827	135836	185936	459599	1302117
51412	4	firms	2027	88	1081	396	229	1794	202	21	2017	10	2298	118	1145	476	274	2013	246	28	2287	11	2461	157	1207	475	318	2157	257	33	2447	14	2435	118	1181	503	326	2128	253	35	2416	19	2546	257	1140	505	324	2226	274	29	2529	17
51412	4	estab.	2320	92	1081	398	241	1812	315	77	2204	116	2590	122	1145	478	285	2030	358	84	2472	118	2754	161	1207	477	329	2174	369	89	2632	122	2725	122	1181	505	337	2145	365	90	2600	125	2875	257	1140	507	336	2240	428	84	2752	123
51412	4	empl.	24111	0	2293	2595	3015	7903	7281	3444	18628	5483	31031	0	2388	3122	3648	9158	9097	5271	23526	7505	33765	0	2596	3110	4205	9911	9686	6214	25811	7954	36129	0	2522	3269	4336	10127	9471	6244	25842	10287	33611	0	2504	3302	4304	10110	10379	5796	26285	7326
51412	4	ann. pay.	416271	1312	25469	30448	42072	99301	125804	70156	295261	121010	565849	10209	27333	38589	55169	131300	162951	107729	401980	163869	679348	8722	32321	43289	68893	153225	193235	130544	477004	202344	919946	5595	32682	45362	73041	156680	191731	152055	500466	419480	723830	10118	33673	44336	71669	159796	227099	129378	516273	207557
51412	4	rec.																																									1750414	35333	117225	118702	174874	446134	553378	299696	1299208	451206
51419	4	firms	5184	1300	1879	825	540	4544	431	98	5073	111	7397	2695	2298	956	644	6593	539	129	7261	136	9820	2709	3240	1448	1040	8437	971	236	9644	176	8934	1579	3505	1389	990	7463	1011	265	8739	195	8659	1599	3721	1324	871	7515	755	200	8470	189
51419	4	estab.	5647	1310	1879	833	546	4568	479	169	5216	431	8111	2715	2298	962	659	6634	573	278	7485	626	10818	2719	3245	1460	1058	8482	1018	346	9846	972	10172	1581	3508	1393	1008	7490	1070	425	8985	1187	9785	1601	3722	1329	910	7562	882	389	8833	952
51419	4	empl.	84943	0	4058	5439	7312	16809	15223	12176	44208	40735	106844	0	4895	6297	8580	19772	19652	17787	57211	49633	187405	0	7081	9483	13910	30474	38612	37866	106952	80453	213734	0	7399	9138	13161	29698	40057	42048	111803	101931	164412	0	7650	8669	11433	27752	27444	26976	82172	82240
51419	4	ann. pay.	5612744	113015	122598	156538	247565	639716	660150	965913	2265779	3346965	15294782	518520	200671	249811	343489	1312491	1230953	1510896	4054340	11240442	17696015	468978	346411	481625	754704	2051718	2570318	3562558	8184594	9511421	15109489	169731	273603	341070	583843	1368247	2114524	2679160	6161931	8947558	10363638	134094	278128	335679	510412	1258313	1587805	1812095	4658213	5705425
51419	4	rec.																																									36727663	543741	1246641	1150571	1617327	4558280	4472925	5324056	14355261	22372402
51421	4	firms	4756	787	1840	619	471	3717	633	204	4554	202	4879	710	2063	614	450	3837	628	207	4672	207	5057	827	2032	645	466	3970	671	209	4850	207	4667	600	1923	609	479	3611	638	212	4461	206	5679	843	2431	703	558	4535	689	236	5460	219
51421	4	estab.	8308	787	1842	624	483	3736	698	417	4851	3457	8914	714	2064	616	468	3862	687	371	4920	3994	9036	831	2036	649	479	3995	729	383	5107	3929	9288	602	1926	612	494	3634	705	358	4697	4591	11077	843	2432	706	590	4571	852	441	5864	5213
51421	4	empl.	267526	0	3546	4052	6294	13892	24366	27607	65865	201661	282984	0	4015	4011	6108	14134	24107	28176	66417	216567	296578	0	3947	4201	6258	14406	26839	28915	70160	226418	317541	0	3726	3992	6506	14224	25148	29996	69368	248173	331156	0	4712	4692	7537	16941	26142	26989	70072	261084
51421	4	ann. pay.	10690842	42503	128948	140691	214485	526627	834490	994154	2355271	8335571	12751228	53526	155072	147760	233879	590237	869429	1162706	2622372	10128856	14521219	140164	157997	159464	257690	715315	1128227	1649966	3493508	11027711	15488230	56087	143430	154258	278781	632556	1054752	1321715	3009023	12479207	16500827	74653	181320	194892	322047	772912	1153462	1258343	3184717	13316110
51421	4	rec.																																									50670642	299224	614805	566511	783618	2264158	2789656	3164202	8218016	42452626
52111	4	firms	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12	17	4	0	1	0	5	0	0	5	12	23	5	2	1	0	8	0	2	10	13	27	2	6	1	4	13	1	1	15	12	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12
52111	4	estab.	41	0	0	0	0	0	0	0	0	41	46	4	0	1	0	5	0	0	5	41	62	5	2	1	0	8	0	12	20	42	74	2	6	1	4	13	1	3	17	57	58	0	0	0	0	0	0	0	0	58
52111	4	empl.	21456	0	0	0	0	0	0	0	0	21456	22329	[a]	0	[a]	0	[a]	0	0	[a]	[j]	22337	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [j]	23552	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [j]	23367	0	0	0	0	0	0	0	0	23367
52111	4	ann. pay.	963924	0	0	0	0	0	0	0	0	963924	1018731	(D)	0	(D)	0	(D)	0	0	(D)	(D)	1083947	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	1234656	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1304200	0	0	0	0	0	0	0	0	1304200
52111	4	rec.																																									28909454	0	0	0	0	0	0	0	0	28909454
52211	4	firms	7920	206	202	568	1660	2636	3995	998	7629	291	7717	189	214	554	1581	2538	3910	991	7439	278	7594	161	211	558	1531	2461	3855	1002	7318	276	7419	144	192	526	1460	2322	3799	1025	7146	273	7201	124	166	495	1385	2170	3601	1138	6909	292
52211	4	estab.	72956	206	205	601	2004	3016	10227	9610	22853	50103	72481	203	226	579	1916	2924	9745	9871	22540	49941	73938	161	226	580	1819	2786	9280	9897	21963	51975	75768	144	193	551	1740	2628	8943	10513	22084	53684	80417	144	167	522	1784	2617	10357	12195	25169	55248
52211	4	empl.	1483498	0	505	4186	23408	28099	172725	176927	377751	1105747	1493571	0	489	4094	22267	26850	171046	176261	374157	1119414	1492834	0	489	4094	21639	26222	169539	178800	374561	1118273	1603194	0	451	3899	20730	25080	167641	185271	377992	1225202	1630036	0	378	3681	19961	24020	157200	194969	376189	1253847
52211	4	ann. pay.	57390813	42902	30037	139209	698501	910649	5026962	6035609	11973220	45417593	61512400	38011	34535	144023	695182	911751	5136944	6061023	12109718	49402682	63623909	53724	30992	145524	713448	943688	5295141	6406335	12645164	50978745	69163105	24552	29659	141417	741412	937040	5496885	6955513	13389438	55773667	69817139	164161	26055	138698	713279	1042193	5475483	7417803	13935479	55881660
52211	4	rec.																																									474858616	1002263	175862	783334	3832721	5794180	30594479	46162461	82551120	392307496
52212	4	firms	1836	27	74	150	245	496	817	340	1653	183	1732	23	67	131	246	467	755	331	1553	179	1642	20	65	119	234	438	730	319	1487	155	1571	13	53	111	226	403	703	314	1420	151	1506	11	49	102	212	374	663	320	1357	149
52212	4	estab.	16861	27	74	154	327	582	2662	3733	6977	9884	15934	23	68	134	317	542	2410	3595	6547	9387	15881	20	65	122	301	508	2293	3409	6210	9671	15743	13	53	114	288	468	2167	3327	5962	9781	17342	11	49	105	282	447	2283	3389	6119	11223
52212	4	empl.	258906	0	192	         [g]	         [h]	         [h]	         [k]	         [l]	100481	158425	253723	0	175	911	3492	4578	35545	57041	97164	156559	243586	         [a]	         [c]	826	3291	4273	34853	54736	93862	149724	253111	         [a]	         [c]	759	3231	4136	33098	52637	89871	163240	263257	0	130	683	3001	3814	31279	51894	86987	176270
52212	4	ann. pay.	9194476	5974	7176	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3241783	5952693	9131548	3792	5637	28369	112026	149824	1120536	1893584	3163944	5967604	9178711	         (D)	         (D)	27290	116308	155530	1137793	1883181	3176504	6002207	9820880	         (D)	         (D)	27464	122251	157466	1143857	1960596	3261919	6558961	10657084	2772	5714	25258	114678	148422	1126055	2010241	3284718	7372366
52212	4	rec.																																									81369398	14430	40210	176594	728776	960010	7383428	12789857	21133295	60236103
52213	4	firms	9723	54	4606	1935	1251	7846	1505	345	9696	27	9528	61	4368	1897	1259	7585	1544	370	9499	29	9417	99	4179	1842	1297	7417	1568	395	9380	37	9165	89	3951	1791	1279	7110	1600	417	9127	38	8872	61	3703	1771	1252	6787	1601	441	8829	43
52213	4	estab.	15521	57	4615	2026	1721	8419	3993	2624	15036	485	15474	70	4377	1978	1695	8120	4006	2812	14938	536	15573	100	4184	1914	1701	7899	3966	3089	14954	619	15543	92	3956	1866	1644	7558	3947	3384	14889	654	16303	61	3705	1851	1718	7335	4530	3678	15543	760
52213	4	empl.	176166	0	10929	12678	17088	40695	63019	58154	161868	14298	184152	0	10403	12388	16995	39786	64466	64296	168548	15604	192277	0	10050	11976	17629	39655	65923	68844	174422	17855	200406	0	9538	11738	17332	38608	67362	74399	180369	20037	210780	0	8995	11657	17018	37670	68087	79944	185701	25079
52213	4	ann. pay.	4489743	3428	208748	290726	410308	913210	1609236	1579568	4102014	387729	4911741	6851	199314	291135	427004	924304	1701326	1832390	4458020	453721	5374744	11420	199352	292088	456292	959152	1808928	2060342	4828422	546322	5956780	3555	199607	294919	467402	965483	1965712	2402448	5333643	623137	6761758	4112	192552	301417	477344	975425	2038688	2978680	5992793	768965
52213	4	rec.																																									36523131	23038	982410	1564689	2542298	5112435	10641484	15649524	31403443	5119688
52219	4	firms	31	3	4	3	6	16	4	6	26	5	59	16	5	4	6	31	12	3	46	13	78	23	15	9	4	51	10	5	66	12	80	18	19	7	11	55	8	7	70	10	125	23	42	11	20	96	12	8	116	9
52219	4	estab.	49	3	4	3	6	16	7	19	42	7	156	16	5	4	6	31	48	18	97	59	176	23	15	9	4	51	13	47	111	65	177	18	19	7	11	55	8	52	115	62	224	23	42	11	22	98	29	41	168	56
52219	4	empl.	1865	0	11	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [c]	461	1404	5745	0	[a]	[b]	88	126	501	267	894	4851	5971	         [a]	         [b]	         [b]	56	144	319	255	718	5253	5809	         [a]	         [b]	         [b]	168	263	231	542	1036	4773	6020	0	82	69	276	427	433	546	1406	4614
52219	4	ann. pay.	132605	33	170	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	26610	105995	326442	1507	(D)	(D)	5819	8603	22684	14283	45570	280872	372469	         (D)	         (D)	         (D)	3239	7395	15053	9601	32049	340420	399595	         (D)	         (D)	         (D)	8653	13454	9806	27700	50960	348635	425214	970	3184	1786	12071	18011	20231	29336	67578	357636
52219	4	rec.																																									1741074	7748	18070	6149	53989	85956	90189	115905	292050	1449024
52221	4	firms	154	20	28	16	9	73	24	12	109	45	170	17	37	12	12	78	22	15	115	55	186	22	46	12	15	95	20	19	134	52	190	27	50	18	7	102	21	12	135	55	216	29	61	23	13	126	24	18	168	48
52221	4	estab.	700	20	28	16	9	73	39	16	128	572	761	17	37	12	13	79	32	25	136	625	778	22	46	12	17	97	27	31	155	623	830	27	50	18	8	103	30	21	154	676	787	29	61	23	14	127	36	28	191	596
52221	4	empl.	45972	0	54	105	127	286	609	791	1686	44286	58877	0	90	75	162	327	560	1398	2285	56592	67950	0	102	75	196	373	580	1843	2796	65154	72133	0	107	102	93	302	663	1123	2088	70045	68936	0	128	137	160	425	740	1730	2895	66041
52221	4	ann. pay.	1449178	1341	1753	5722	5801	14617	26137	21058	61812	1387366	1949973	1155	2781	2375	6739	13050	22097	38478	73625	1876348	2530658	3237	4207	4033	6155	17632	22851	106236	146719	2383939	3186359	1065	3856	6043	4645	15609	25359	65128	106096	3080263	2645356	3656	4525	4940	4920	18041	30076	97922	146039	2499317
52221	4	rec.																																									35938169	46113	21077	18843	33580	119613	299292	1025557	1444462	34493707
52222	4	firms	3198	399	1448	455	242	2544	256	139	2939	259	3089	344	1445	434	233	2456	253	129	2838	251	3043	386	1423	420	216	2445	241	118	2804	239	2960	317	1432	405	227	2381	228	121	2730	230	3021	368	1464	393	207	2432	236	126	2794	227
52222	4	estab.	7610	399	1450	474	265	2588	368	324	3280	4330	7814	356	1452	445	255	2508	346	232	3086	4728	7429	388	1428	428	237	2481	317	249	3047	4382	7493	317	1439	414	247	2417	294	276	2987	4506	7395	368	1464	409	233	2474	347	372	3193	4202
52222	4	empl.	140247	0	2973	2923	3090	8986	7801	8925	25712	114535	153547	0	2987	2792	2956	8735	8020	8019	24774	128773	154144	0	2907	2696	2704	8307	7507	7365	23179	130965	160546	0	2928	2577	2918	8423	6743	8049	23215	137331	161273	0	3002	2514	2710	8226	6865	8557	23648	137625
52222	4	ann. pay.	6861074	24015	104858	120946	127692	377511	377126	376816	1131453	5729621	8171132	21268	109955	126617	135022	392862	406341	419936	1219139	6951993	8811694	45511	118648	130007	130994	425160	369396	403043	1197599	7614095	9375342	15397	122883	116511	157780	412571	375929	450502	1239002	8136340	8906253	18796	127866	124445	144920	416027	365918	462225	1244170	7662083
52222	4	rec.																																									107571581	164052	883060	744145	752706	2543963	2153602	4492458	9190023	98381558
52229	4	firms	17464	2855	8422	2729	1381	15387	1238	497	17122	342	18520	2536	9051	3042	1607	16236	1432	480	18148	372	18672	2673	9464	3005	1487	16629	1257	450	18336	336	19040	2802	9724	3021	1485	17032	1260	435	18727	313	20363	3250	10267	3104	1603	18224	1314	491	20029	334
52229	4	estab.	39740	2858	8457	2875	1812	16002	3058	2731	21791	17949	41036	2552	9093	3214	1997	16856	3142	2893	22891	18145	41080	2687	9540	3189	1871	17287	2796	2769	22852	18228	41510	2812	9765	3202	1833	17612	2796	2986	23394	18116	44844	3254	10313	3279	2146	18992	3354	3440	25786	19058
52229	4	empl.	379310	0	18362	17633	18174	54169	43812	50452	148433	230877	432377	0	19789	19603	21088	60480	52300	52557	165337	267040	398809	0	20292	19316	19457	59065	43737	47141	149943	248866	413690	0	20875	19373	19540	59788	44300	44777	148865	264825	431390	0	21825	20002	20811	62638	46184	49037	157859	273531
52229	4	ann. pay.	17316231	167454	510817	583177	715267	1976715	1924064	2415148	6315927	11000304	19050756	120928	526870	592188	743844	1983830	2096030	2256906	6336766	12713990	18249168	258913	561794	599910	712733	2133350	1725456	2041015	5899821	12349347	22649236	150937	660378	751147	882959	2445421	2239397	2485147	7169965	15479271	25570924	255114	774963	810283	1005211	2845571	2439193	2864116	8148880	17422044
52229	4	rec.																																									227689129	1131311	4005870	2987196	4121628	12246005	8720220	16620757	37586982	190102147
52231	4	firms	9535	1857	4280	1573	967	8677	693	91	9461	74	10191	2008	4626	1660	1008	9302	712	105	10119	72	10077	1831	5045	1602	879	9357	556	92	10005	72	11364	2495	5469	1752	951	10667	536	96	11299	65	13133	2743	6276	1994	1163	12176	755	119	13050	83
52231	4	estab.	10954	1862	4293	1628	1093	8876	1106	393	10375	579	11363	2015	4638	1693	1118	9464	1057	359	10880	483	11030	1863	5079	1656	988	9586	816	262	10664	366	12236	2500	5508	1800	1049	10857	705	311	11873	363	14774	2757	6295	2056	1379	12487	1316	568	14371	403
52231	4	empl.	70183	0	9184	10361	12751	32296	23556	7984	63836	6347	75954	0	9859	10693	13387	33939	24257	10111	68307	7647	66542	0	10387	10421	11479	32287	19517	7001	58805	7737	70314	0	11363	11358	12474	35195	19041	8211	62447	7867	87429	0	12779	13073	15194	41046	26584	12969	80599	6830
52231	4	ann. pay.	3338246	88927	386004	448722	581816	1505469	1099163	415147	3019779	318467	2953779	99048	326953	365527	487096	1278624	883975	411199	2573798	379981	2701524	79905	353833	362728	431035	1227501	762632	318380	2308513	393011	3978491	150271	505893	535059	671412	1862635	1060660	465734	3389029	589462	5067844	192114	578195	659632	854363	2284304	1484454	791064	4559822	508022
52231	4	rec.																																									13590879	695148	2196247	1836711	2024820	6752926	3596849	1796152	12145927	1444952
52232	4	firms	821	129	311	117	77	634	91	47	772	49	834	124	342	102	75	643	90	48	781	53	896	131	381	110	79	701	92	45	838	58	1028	145	447	140	89	821	104	47	972	56	1284	253	544	143	104	1044	119	61	1224	60
52232	4	estab.	1273	129	311	121	95	656	149	119	924	349	1294	124	342	106	87	659	134	143	936	358	1475	138	381	114	89	722	151	124	997	478	1570	146	451	144	101	842	173	155	1170	400	2083	253	545	146	148	1092	187	396	1675	408
52232	4	empl.	51171	         [a]	         [f]	753	1062	2438	3435	7097	12970	38201	58293	0	708	650	1020	2378	3621	8005	14004	44289	62973	0	801	697	1078	2576	3545	7081	13202	49771	67064	0	917	911	1195	3023	4048	6923	13994	53070	70520	0	1097	936	1333	3366	4826	8312	16504	54016
52232	4	ann. pay.	1932085	         (D)	         (D)	21492	37171	91912	109663	249266	450841	1481244	2361061	13831	21570	21348	41115	97864	134753	296808	529425	1831636	2929034	30086	25284	30699	42088	128157	153781	264518	546456	2382578	3404220	16050	29773	41186	38580	125589	154381	275758	555728	2848492	3421542	25728	33400	37924	50188	147240	202358	427348	776946	2644596
52232	4	rec.																																									35032666	103590	241179	166497	266158	777424	1038782	16892939	18709145	16323521
52239	4	firms	4441	680	2116	724	353	3873	324	114	4311	130	4115	432	2111	730	360	3633	290	92	4015	100	4084	448	2032	782	361	3623	277	94	3994	90	4208	475	2066	827	374	3742	277	100	4119	89	4153	426	2091	764	393	3674	284	97	4055	98
52239	4	estab.	7495	701	2139	772	541	4153	1067	744	5964	1531	7494	432	2127	790	493	3842	933	741	5516	1978	8919	455	2044	843	488	3830	797	685	5312	3607	9894	480	2080	877	505	3942	872	778	5592	4302	11991	440	2100	822	655	4017	1352	1144	6513	5478
52239	4	empl.	80952	         [a]	         [h]	4632	4618	14106	12181	11507	37794	43158	64517	0	4756	4707	4696	14159	10720	8262	33141	31376	68104	0	4530	5007	4684	14221	10031	9405	33657	34447	71358	0	4671	5428	4918	15017	10112	10372	35501	35857	76443	0	4690	4993	5104	14787	10034	9578	34399	42044
52239	4	ann. pay.	2938445	         (D)	         (D)	117667	133181	402802	403504	405659	1211965	1726480	2215580	17912	114156	120201	129371	381640	307428	266579	955647	1259933	2288052	18545	111055	136768	130555	396923	294449	308800	1000172	1287880	2513357	19694	120228	154264	149028	443214	340319	350422	1133955	1379402	2988167	26505	119855	145840	167479	459679	388234	366364	1214277	1773890
52239	4	rec.																																									15895439	162302	502237	463235	482829	1610603	1287978	2111783	5010364	10885075
52311	4	firms	2838	503	1282	291	214	2290	278	110	2678	160	2817	443	1378	307	196	2324	248	98	2670	147	2785	471	1322	326	181	2300	239	104	2643	142	2750	432	1337	319	192	2280	240	103	2623	127	2826	492	1381	303	192	2368	231	98	2697	129
52311	4	estab.	7105	504	1290	316	236	2346	412	267	3025	4080	5862	445	1385	326	217	2373	323	205	2901	2961	6304	473	1327	344	199	2343	300	214	2857	3447	6995	440	1341	332	212	2325	291	237	2853	4142	7056	492	1393	321	218	2424	318	253	2995	4061
52311	4	empl.	164073	0	2447	1872	2816	7135	10032	14200	31367	132706	129555	0	2633	2001	2627	7261	9221	12075	28557	100998	138487	0	2467	2104	2409	6980	8558	12900	28438	110049	172729	0	2546	2064	2536	7146	8484	13779	29409	143320	164887	0	2602	1953	2422	6977	7886	12126	26989	137898
52311	4	ann. pay.	26179962	135592	173448	181459	352972	843471	1264434	1813277	3921182	22258780	23698273	84235	196338	253452	297272	831297	1233220	1978310	4042827	19655446	31209402	110594	195006	225410	375004	906014	1252838	2352968	4511820	26697582	35168001	69385	192684	168989	321229	752287	1125739	2530182	4408208	30759793	27667148	71291	145137	166192	295856	678476	1046179	2325365	4050020	23617128
52311	4	rec.																																									90196247	400319	613347	562162	895765	2471593	2476696	6552971	11501260	78694987
52312	4	firms	8053	1001	4811	941	479	7232	459	164	7855	198	7930	880	4682	1040	503	7105	462	154	7721	209	7982	899	4547	1111	551	7108	516	160	7784	198	7768	745	4535	1117	539	6936	492	155	7583	185	7886	918	4637	1019	505	7079	439	179	7697	189
52312	4	estab.	23577	1001	4826	963	557	7347	689	560	8596	14981	26297	881	4695	1063	570	7209	699	547	8455	17842	29496	900	4567	1133	609	7209	753	552	8514	20982	30262	757	4548	1147	602	7054	715	447	8216	22046	32792	918	4652	1046	574	7190	706	638	8534	24258
52312	4	empl.	273692	0	9136	6016	6203	21355	16442	18097	55894	217798	340409	0	9076	6631	6710	22417	17155	16392	55964	284445	377665	0	8908	7116	7228	23252	19313	17147	59712	317953	381118	0	8890	7154	6965	23009	18395	14686	56090	325028	443173	0	9015	6482	6670	22167	15827	13790	51784	391389
52312	4	ann. pay.	29825689	73037	391775	379895	488277	1332984	1556023	1769340	4658347	25167342	37857014	111860	412839	471038	614552	1610289	1857442	1857919	5325650	32531364	47031272	130002	460913	519607	683801	1794323	2236163	2286529	6317015	40714257	47501487	128886	416508	466151	637693	1649238	1992737	1798178	5440153	42061334	47224938	63563	415842	438543	573056	1491004	1806129	1720296	5017429	42207509
52312	4	rec.																																									143492136	279836	1543047	1238645	1614074	4675602	4521394	4258265	13455261	130036875
52313	4	firms	618	113	301	77	39	530	42	17	589	29	609	115	327	56	32	530	41	12	583	26	634	106	349	70	35	560	36	14	610	24	706	122	382	77	38	619	48	16	683	23	848	209	437	82	40	768	39	14	821	27
52313	4	estab.	740	113	302	82	53	550	81	38	669	71	732	115	328	58	44	545	95	45	685	47	754	106	349	73	43	571	86	45	702	52	802	122	383	79	42	626	83	48	757	45	942	209	437	87	44	777	78	41	896	46
52313	4	empl.	6278	0	         [f]	         [f]	520	1603	1390	1173	4166	2112	5641	0	[f]	350	[e]	1452	1274	1258	3984	1657	6332	0	         [f]	449	         [e]	         [g]	         [g]	1032	3783	2549	6603	0	757	         [e]	         [e]	1739	1618	1505	4862	1741	7301	0	819	         [f]	         [f]	1861	1235	1438	4534	2767
52313	4	ann. pay.	455366	8648	         (D)	         (D)	26592	84347	72884	63777	221008	234358	436250	9528	(D)	14872	(D)	76954	65651	53487	196092	240158	582473	26302	         (D)	15531	         (D)	         (D)	         (D)	67645	231051	351422	640377	7778	29974	         (D)	         (D)	91481	122632	78016	292129	348248	588284	17362	38938	         (D)	         (D)	123091	85548	105189	313828	274456
52313	4	rec.																																									17855305	175881	319773	         (D)	         (D)	         (D)	792485	839017	2456591	15398714
52314	4	firms	1340	215	697	200	89	1201	83	18	1302	38	1329	192	722	205	81	1200	73	20	1293	36	1311	212	700	193	80	1185	74	20	1279	32	1280	178	706	186	93	1163	71	17	1251	29	1371	223	773	179	78	1253	69	23	1345	26
52314	4	estab.	1444	216	698	203	100	1217	102	41	1360	84	1610	195	724	212	85	1216	93	51	1360	250	1589	212	702	197	86	1197	95	53	1345	244	1531	178	709	186	100	1173	95	52	1320	211	1543	223	773	187	93	1276	94	61	1431	112
52314	4	empl.	13400	0	1416	1246	1136	3798	3042	1899	8739	4661	15678	0	1461	1304	1082	3847	2397	2422	8666	7012	16494	0	1439	1241	1070	3750	2530	2558	8838	7656	14854	0	1420	1167	1150	3737	2623	2032	8392	6462	12521	0	1519	1139	987	3645	2338	2450	8433	4088
52314	4	ann. pay.	892468	20699	86864	65958	67495	241016	193436	130792	565244	327224	1187478	26932	88543	73327	72184	260986	159756	158417	579159	608319	1425250	21900	87492	68129	69608	247129	165621	174520	587270	837980	1351106	15649	85171	69122	78428	248370	225118	143341	616829	734277	1189702	20268	100345	87030	76244	283887	204965	194901	683753	505949
52314	4	rec.																																									3860293	134435	493859	264523	385791	1278608	584143	550385	2413136	1447157
52321	4	firms	68	33	11	2	3	49	4	5	58	10	104	43	30	8	4	85	6	5	96	8	18	3	1	0	1	5	3	3	11	7	74	26	29	3	2	60	4	4	68	6	151	35	80	11	3	129	6	8	143	8
52321	4	estab.	82	33	11	2	3	49	4	13	66	16	118	43	32	8	4	87	6	9	102	16	30	3	1	0	1	5	3	3	11	19	86	26	29	3	2	60	4	8	72	14	173	36	80	11	3	130	6	18	154	19
52321	4	empl.	6647	0	         [a]	         [a]	49	78	192	1188	1458	5189	6952	0	[b]	57	[b]	170	166	1014	1350	5602	6808	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [c]	725	853	5955	6531	0	51	         [a]	         [b]	95	128	1035	1258	5273	7302	0	144	         [b]	         [b]	251	157	1616	2024	5278
52321	4	ann. pay.	498989	25744	         (D)	         (D)	5320	31868	10154	66779	108801	390188	507967	5342	(D)	3276	(D)	17335	7105	65948	90388	417579	515608	106	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	48274	54347	461261	580888	2530	2339	         (D)	         (D)	6136	6641	75256	88033	492855	718873	4700	5991	         (D)	         (D)	16298	8381	141160	165839	553034
52321	4	rec.																																									3555191	15165	30321	         (D)	         (D)	         (D)	18969	478438	555155	3000036
52391	4	firms	6732	1224	4135	631	244	6234	196	96	6526	206	6545	1076	4056	641	253	6026	226	101	6353	192	6553	1089	4037	627	278	6031	243	99	6373	180	6381	885	4010	656	291	5842	262	104	6208	173	5756	786	3565	608	243	5202	235	111	5548	208
52391	4	estab.	6883	1224	4144	646	256	6270	215	117	6602	281	6704	1076	4063	659	267	6065	245	116	6426	278	6744	1098	4049	640	292	6079	266	109	6454	290	6575	885	4019	669	312	5885	284	114	6283	292	5972	786	3571	630	259	5246	263	125	5634	338
52391	4	empl.	25721	0	7141	3936	2865	13942	4375	3905	22222	3499	30986	0	7022	3991	3012	14025	5882	3900	23807	7179	34779	0	7156	3985	3467	14608	6333	5088	26029	8750	39454	0	7219	4143	3571	14933	7537	5713	28183	11271	33169	0	6471	3792	2854	13117	6145	3177	22439	10730
52391	4	ann. pay.	1796791	98095	330352	251113	199068	878628	263780	195492	1337900	458891	2249848	133812	339259	284417	228373	985861	378328	203465	1567654	682194	2950875	121309	354174	297541	312642	1085666	622970	248858	1957494	993381	3461220	78105	361335	304547	364193	1108180	716951	367147	2192278	1268942	3116559	53612	328130	278443	297857	958042	678655	363341	2000038	1116521
52391	4	rec.																																									12388956	328936	1730172	1061795	983926	4104829	2503309	1330671	7938809	4450147
52392	4	firms	10315	1711	5520	1424	706	9361	550	173	10084	231	10338	1437	5658	1504	751	9350	573	193	10116	222	10339	1420	5643	1501	784	9348	597	183	10128	211	10105	1217	5622	1477	809	9125	598	170	9893	212	9974	1262	5534	1405	755	8956	597	190	9743	231
52392	4	estab.	11334	1713	5544	1476	778	9511	671	269	10451	883	11378	1444	5681	1548	798	9471	705	292	10468	910	11625	1422	5665	1535	827	9449	727	265	10441	1184	11258	1217	5643	1510	860	9230	696	260	10186	1072	11307	1267	5552	1443	834	9096	769	296	10161	1146
52392	4	empl.	128676	0	10935	9106	9195	29236	17613	14117	60966	67710	140301	0	11212	9615	9673	30500	18194	15696	64390	75911	156178	0	11176	9677	10255	31108	19566	15574	66248	89930	171452	0	11076	9476	10557	31109	20316	15179	66604	104848	177502	0	10591	9148	9782	29521	19578	13255	62354	115148
52392	4	ann. pay.	16457265	134505	798895	1059654	1378907	3371961	2903813	2440615	8716389	7740876	18520613	149733	785093	1105514	1519396	3559736	3136737	2805749	9502222	9018391	24852708	303456	880354	1251248	1693202	4128260	3955249	4818136	12901645	11951063	23663148	88960	831214	1175330	1604375	3699879	4341724	3382379	11423982	12239166	20979756	105856	903721	1064615	1414335	3488527	3967127	3182074	10637728	10342028
52392	4	rec.																																									55531578	359575	2838270	2229232	3035049	8462126	8619444	5442074	22523644	33007934
52393	4	firms	8329	1907	4839	828	362	7936	225	54	8215	114	9480	2486	5229	899	404	9018	265	75	9358	122	11852	3241	6438	1121	470	11270	374	79	11723	129	15023	3668	8645	1390	617	14320	453	107	14880	143	17608	4314	10269	1533	635	16751	517	149	17417	191
52393	4	estab.	9185	1909	4848	860	382	7999	298	84	8381	804	10291	2491	5237	935	422	9085	319	119	9523	768	12794	3242	6450	1149	493	11334	437	127	11898	896	16023	3669	8660	1409	645	14383	545	161	15089	934	18840	4314	10284	1559	681	16838	641	232	17711	1129
52393	4	empl.	47218	0	8679	5243	4727	18649	7286	4046	29981	17237	53076	0	9406	5703	5276	20385	8060	5106	33551	19525	66166	0	11747	7146	6149	25042	12404	5794	43240	22926	83371	0	15509	8812	8071	32392	15197	7126	54715	28656	102956	0	18346	9693	8095	36134	15770	10164	62068	40888
52393	4	ann. pay.	4206377	149976	509758	383768	448371	1491873	843457	419863	2755193	1451184	5100765	210863	562711	448033	503362	1724969	863194	833301	3421464	1679301	6920489	417260	686089	505953	650287	2259589	1395769	1061315	4716673	2203816	8343278	305589	763306	593499	753387	2415781	1725817	1306542	5448140	2895138	9587391	320192	843998	651644	747701	2563535	1725956	1807641	6097132	3490259
52393	4	rec.																																									27100311	1098840	3119934	1673200	1794139	7686113	3996194	4944961	16627268	10473043
52399	4	firms	3062	550	1708	318	163	2739	134	56	2929	133	2856	399	1663	310	159	2531	139	59	2729	127	2841	386	1623	317	188	2514	139	65	2718	123	2753	347	1568	312	189	2416	148	66	2630	123	2402	289	1385	253	153	2080	139	68	2287	115
52399	4	estab.	3528	550	1713	325	177	2765	175	80	3020	508	3361	399	1670	314	166	2549	178	95	2822	539	3593	386	1627	321	196	2530	178	88	2796	797	3386	347	1573	314	195	2429	187	82	2698	688	3065	289	1387	255	163	2094	199	91	2384	681
52399	4	empl.	58542	0	3010	2025	2090	7125	4827	4112	16064	42478	57463	0	2950	1986	2028	6964	4823	4501	16288	41175	63313	0	2968	2037	2523	7528	4894	5228	17650	45663	70948	0	2865	2042	2535	7442	5147	4876	17465	53483	60056	0	2509	1636	2001	6146	4529	4980	15655	44401
52399	4	ann. pay.	3133007	51230	90216	69890	79260	290596	211548	232228	734372	2398635	3387354	30305	99373	90585	96470	316733	224391	236043	777167	2610187	4043279	32785	133624	101636	134422	402467	236459	320585	959511	3083768	4318581	24590	107112	103758	143604	379064	297581	284718	961363	3357218	4040479	28983	87034	78347	119796	314160	319863	415263	1049286	2991193
52399	4	rec.																																									13507312	181192	472680	264737	443398	1362007	1217572	964320	3543899	9963413
52411	4	firms	1846	181	470	183	152	986	307	217	1510	336	1923	152	561	180	168	1061	297	212	1570	353	1981	210	624	174	145	1153	264	230	1647	334	2001	198	668	187	146	1199	269	214	1682	319	1910	190	631	190	136	1147	253	198	1598	312
52411	4	estab.	14684	184	471	186	177	1018	401	647	2066	12618	14472	154	563	189	189	1095	358	547	2000	12472	13872	210	632	176	156	1174	312	611	2097	11775	13539	198	669	189	154	1210	331	478	2019	11520	12704	190	634	195	142	1161	327	703	2191	10513
52411	4	empl.	875544	0	959	1176	2023	4158	13676	38883	56717	818827	858647	0	1101	1144	2194	4439	13535	36154	54128	804519	813418	0	1242	1146	1937	4325	11463	39820	55608	757810	821869	0	1325	1206	2010	4541	11514	37609	53664	768205	798034	0	1226	1174	1814	4214	10849	33364	48427	749607
52411	4	ann. pay.	37179347	18889	29271	43388	72552	164100	536505	1565630	2266235	34913112	38711724	16436	39898	40591	88833	185758	532516	1513198	2231472	36480252	40016868	15286	54326	47063	78005	194680	462264	1750642	2407586	37609282	41819141	15915	46256	48152	81248	191571	489855	1668803	2350229	39468912	40939771	17136	43283	49744	81644	191807	503053	1537383	2232243	38707528
52411	4	rec.																																									751391520	326237	741542	707717	1055423	2830919	7317283	33824953	43973155	707418365
52412	4	firms	3097	346	1209	515	245	2315	339	221	2875	222	3337	356	1346	561	270	2533	367	213	3113	224	3428	312	1476	549	302	2639	362	216	3217	211	3802	356	1735	612	325	3028	346	213	3587	215	3882	398	1714	640	332	3084	353	221	3658	224
52412	4	estab.	24055	346	1213	527	264	2350	432	724	3506	20549	27221	361	1348	562	291	2562	480	691	3733	23488	22969	312	1479	556	311	2658	465	688	3811	19158	16751	356	1738	643	341	3078	451	663	4192	12559	18055	398	1718	649	360	3125	490	715	4330	13725
52412	4	empl.	648248	0	2783	3312	3227	9322	14119	35938	59379	588869	672191	0	3074	3630	3676	10380	15092	35731	61203	610988	660428	0	3400	3492	3952	10844	14576	36296	61716	598712	668620	0	3900	3885	4267	12052	13981	34362	60395	608225	688291	0	3811	4103	4381	12295	14148	34219	60662	627629
52412	4	ann. pay.	31479951	17035	74379	100061	119047	310522	619340	1627541	2557403	28922548	32475784	17150	83626	105047	138888	344711	680468	1573003	2598182	29877602	33459434	17014	96313	106973	143468	363768	670279	1723902	2757949	30701485	35421942	18430	114627	126825	173546	433428	701149	1706110	2840687	32581255	36252226	20186	116655	137924	178865	453630	711436	1720006	2885072	33367154
52412	4	rec.																																									403512559	97935	978433	856696	1261430	3194494	6456832	18090695	27742021	375770538
52413	4	firms	275	31	112	34	12	189	41	12	242	33	276	16	117	32	14	179	38	21	238	38	268	11	111	35	15	172	41	22	235	33	265	16	110	36	18	180	36	21	237	28	253	20	105	26	17	168	36	17	221	32
52413	4	estab.	403	31	112	35	13	191	48	31	270	133	593	16	117	32	14	179	48	78	305	288	596	11	111	35	15	172	54	67	293	303	562	16	110	36	18	180	44	48	272	290	512	20	105	26	17	168	46	38	252	260
52413	4	empl.	8767	0	220	219	166	605	1490	1718	3813	4954	18384	0	248	204	198	650	1448	3060	5158	13226	15337	0	235	215	205	655	1566	3468	5689	9648	14518	0	236	231	241	708	1291	3317	5316	9202	14489	0	217	160	229	606	1276	2783	4665	9824
52413	4	ann. pay.	500013	4362	8077	8019	14352	34810	84242	122921	241973	258040	1412468	3369	9891	9317	13129	35706	105904	271337	412947	999521	1257158	11159	10603	10190	13198	45150	105343	331135	481628	775530	1252549	2257	11166	16024	16342	45789	106100	296509	448398	804151	1297671	3906	10697	10929	9900	35432	92814	247936	376182	921489
52413	4	rec.																																									22676905	35395	83767	45175	57641	221978	3197587	6346396	9765961	12910944
52421	4	firms	113112	9695	77408	16246	5821	109170	3205	424	112799	313	112481	9321	76974	16331	5839	108465	3238	442	112145	336	113328	10973	76114	16436	5791	109314	3214	467	112995	333	112776	9854	76412	16657	5814	108737	3229	480	112446	330	115675	11231	77464	17026	5829	111550	3207	541	115298	377
52421	4	estab.	120837	9702	77521	16837	7068	111128	5503	1491	118122	2715	120287	9338	77108	16901	6971	110318	5379	1396	117093	3194	121450	10991	76298	16971	6898	111158	5193	1365	117716	3734	120891	9872	76557	17166	6833	110428	5098	1596	117122	3769	125241	11245	77548	17459	6849	113101	5476	2086	120663	4578
52421	4	empl.	583399	0	156630	102827	75741	335198	106550	41913	483661	99738	592887	0	156843	103411	75744	335998	108976	45609	490583	102304	596156	0	155497	103688	75169	334354	108747	47671	490772	105384	613024	0	156655	104907	75568	337130	109579	50947	497656	115368	641229	0	160061	107445	75663	343169	107571	54117	504857	136372
52421	4	ann. pay.	22360275	298515	3702809	3179239	2912481	10093044	4848106	1896691	16837841	5522434	23816724	363420	3834232	3269210	3016595	10483457	5036674	2087607	17607738	6208986	24710623	343399	3963081	3391801	3086947	10785228	5327411	2234795	18347434	6363189	27122135	320377	4166557	3561432	3274493	11322859	5779757	2538229	19640845	7481290	29984280	421317	4414593	3788796	3479708	12104414	6086321	3015139	21205874	8778406
52421	4	rec.																																									104189974	1759167	17767678	10948831	8723023	39198699	15213299	10016841	64428839	39761135
52429	4	firms	10089	1368	4675	1593	985	8621	967	273	9861	228	10078	1150	4947	1544	962	8603	972	276	9851	227	10117	1243	4914	1537	939	8633	975	277	9885	232	9750	1028	4841	1509	910	8288	961	282	9531	219	8892	942	4270	1340	856	7408	967	290	8665	227
52429	4	estab.	13679	1371	4703	1632	1145	8851	1530	973	11354	2325	13563	1176	4966	1587	1094	8823	1538	814	11175	2388	13308	1260	4942	1596	1057	8855	1453	821	11129	2179	13089	1032	4869	1552	1028	8481	1451	801	10733	2356	12464	944	4283	1378	971	7576	1587	1121	10284	2180
52429	4	empl.	196436	0	9467	10419	13149	33035	36275	37537	106847	89589	203843	0	9893	10123	12851	32867	36763	38541	108171	95672	204823	0	9849	10006	12482	32337	36433	37478	106248	98575	208102	0	9736	9870	12100	31706	36548	39320	107574	100528	199962	0	8643	8762	11374	28779	36488	40081	105348	94614
52429	4	ann. pay.	7818428	69998	317105	398577	498592	1284272	1444080	1427519	4155871	3662557	8399585	60525	320511	393809	522049	1296894	1478059	1512880	4287833	4111752	8629294	82404	333772	398309	526642	1341127	1508878	1492516	4342521	4286773	9143653	69783	363415	413739	529286	1376223	1584603	1752455	4713281	4430372	9151495	73503	318461	366429	514116	1272509	1675114	1853926	4801549	4349946
52429	4	rec.																																									30292860	286260	1044200	1028266	1367652	3726378	4272939	6167801	14167118	16125742
52591	4	firms	172	61	78	6	5	150	5	6	161	11	163	27	96	12	6	141	7	5	153	10	174	34	93	16	6	149	8	6	163	11	232	46	130	19	15	210	5	6	221	11	388	56	221	52	19	348	15	5	368	20
52591	4	estab.	196	61	78	6	5	150	7	6	163	33	185	27	96	12	6	141	9	5	155	30	207	34	93	16	6	149	10	6	165	42	266	46	130	19	15	210	7	6	223	43	435	56	221	55	22	354	22	5	381	54
52591	4	empl.	1246	0	127	         [b]	         [b]	242	146	271	659	587	1520	[a]	[c]	[b]	75	[e]	[c]	[c]	[f]	[f]	1501	         [a]	         [c]	         [c]	78	         [e]	231	         [e]	         [g]	         [f]	1768	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	         [f]	142	332	         [g]	         [f]	2343	0	393	349	231	973	         [e]	         [c]	1513	830
52591	4	ann. pay.	113675	5964	6025	         (D)	         (D)	35875	7668	32368	75911	37764	131768	(D)	(D)	(D)	6089	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	226472	         (D)	         (D)	         (D)	5826	         (D)	40442	         (D)	         (D)	         (D)	234787	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31012	54434	         (D)	         (D)	264647	7913	30053	26979	34835	99780	         (D)	         (D)	158772	105875
52591	4	rec.																																									919786	34253	134254	77869	99291	345667	         (D)	         (D)	596333	323453
52593	4	firms	577	119	256	62	24	461	42	33	536	41	638	115	295	61	26	497	58	36	591	47	680	123	296	73	41	533	65	35	633	47	782	160	369	69	45	643	64	32	739	43	974	173	524	77	60	834	56	36	926	48
52593	4	estab.	1217	119	257	66	26	468	54	143	665	552	1347	117	296	65	26	504	72	184	760	587	1350	123	296	73	43	535	80	124	739	611	1507	160	371	69	48	648	72	151	871	636	1913	173	524	77	60	834	93	155	1082	831
52593	4	empl.	21730	0	478	361	357	1196	1548	4234	6978	14752	31789	0	569	368	339	1276	2273	5945	9494	22295	25726	0	581	435	544	1560	2575	5664	9799	15927	27739	0	698	442	571	1711	2679	5231	9621	18118	25464	0	956	476	780	2212	2337	5499	10048	15416
52593	4	ann. pay.	1036974	12123	17015	30696	30140	89974	137206	277594	504774	532200	1527312	7094	27130	28259	18301	80784	198181	380096	659061	868251	1436391	16431	29440	24729	46039	116639	219896	371288	707823	728568	1489938	14360	39230	37368	50215	141173	238800	353327	733300	756638	1574156	8083	43871	78165	93519	223638	237404	418869	879911	694245
52593	4	rec.																																									20689440	858782	804474	719453	1836953	4219662	3989921	5408711	13618294	7071146
52599	4	firms	264	116	105	20	5	246	8	4	258	6	461	215	176	34	14	439	10	6	455	6	694	253	329	52	25	659	21	7	687	7	644	192	337	48	37	614	15	10	639	5	1174	332	610	98	48	1088	45	24	1157	17
52599	4	estab.	267	116	105	21	5	247	10	4	261	6	463	216	176	35	14	441	10	6	457	6	705	253	329	54	25	661	21	7	689	16	656	192	337	50	37	616	15	10	641	15	1190	332	613	100	50	1095	46	26	1167	23
52599	4	empl.	996	0	202	         [c]	         [b]	393	127	212	732	264	2767	0	331	210	204	745	[e]	[f]	1557	1210	4288	0	586	325	338	1249	878	885	3012	1276	4121	0	583	306	492	1381	704	806	2891	1230	6453	0	1095	635	618	2348	         [g]	         [g]	5306	1147
52599	4	ann. pay.	67446	15555	9055	         (D)	         (D)	34415	8746	6518	49679	17767	221118	22637	14632	10655	13665	61589	(D)	(D)	194566	26552	393946	24050	24138	20539	28604	97331	111851	41433	250615	143331	343464	12964	30120	19032	32742	94858	84410	16897	196165	147299	513419	40795	54751	41817	80585	217948	         (D)	         (D)	381116	132303
52599	4	rec.																																									1672535	225673	256261	102717	202338	786989	         (D)	         (D)	1225952	446583
53111	4	firms	54244	5279	35677	7677	3229	51862	1758	396	54016	228	53571	5177	35345	7570	3122	51214	1757	398	53369	202	53220	5223	34820	7638	3107	50788	1815	414	53017	203	52386	5061	34177	7604	3061	49903	1858	428	52189	197	52190	5260	33966	7468	3043	49737	1799	441	51977	213
53111	4	estab.	58913	5294	35744	7873	3661	52572	2855	1919	57346	1567	58238	5200	35431	7766	3504	51901	2871	1869	56641	1597	57946	5284	34913	7823	3487	51507	2851	2088	56446	1500	57342	5063	34261	7768	3387	50479	3012	2261	55752	1590	57748	5260	34022	7649	3433	50364	2992	2491	55847	1901
53111	4	empl.	276495	0	66357	49239	41085	156681	57766	30982	245429	31066	272368	0	65994	48489	39940	154423	57665	33360	245448	26920	276455	0	65412	49207	39799	154418	60575	36816	251809	24646	281375	0	64248	48721	39223	152192	61633	40638	254463	26912	281250	0	65449	48024	38877	152350	59796	42104	254250	27000
53111	4	ann. pay.	5363183	150124	1034320	868617	769501	2822562	1105955	700568	4629085	734098	5563175	150997	1108550	906337	787417	2953301	1185841	777245	4916387	646788	5936218	176510	1145567	970714	838617	3131408	1268004	888855	5288267	647951	6492068	177181	1210525	1026623	883253	3297582	1385298	1056616	5739496	752572	6625384	175305	1194427	1028398	895769	3293899	1394348	1174462	5862709	762675
53111	4	rec.																																									49772896	1530226	12750453	8533932	6764231	29578842	8626803	5947038	44152683	5620213
53112	4	firms	28523	3389	18436	3467	1503	26795	1095	319	28209	314	28441	3546	18247	3447	1518	26758	1091	292	28141	300	28591	3701	18190	3390	1568	26849	1162	292	28303	288	27806	3539	17654	3417	1532	26142	1113	288	27543	263	28241	4051	17741	3267	1501	26560	1077	329	27966	275
53112	4	estab.	29945	3393	18482	3519	1623	27017	1302	635	28954	991	29827	3552	18297	3500	1628	26977	1283	541	28801	1026	30177	3711	18238	3432	1665	27046	1361	531	28938	1239	30198	3544	17697	3465	1643	26349	1265	507	28121	2077	30777	4051	17776	3319	1611	26757	1313	597	28667	2110
53112	4	empl.	154459	0	34511	21820	18681	75012	32066	21867	128945	25514	150762	0	34203	21720	19011	74934	31239	19174	125347	25415	158490	0	34176	21416	19395	74987	34896	20671	130554	27936	160832	0	33276	21627	19305	74208	34145	20402	128755	32077	163501	0	33794	20664	18853	73311	32364	22319	127994	35507
53112	4	ann. pay.	4461976	121994	845283	552023	468992	1988292	820284	722033	3530609	931367	4579702	129415	877078	577306	510721	2094520	864101	634420	3593041	986661	5144253	143861	913562	613083	541696	2212202	998749	750027	3960978	1183275	5820382	156082	938439	634138	570481	2299140	1034246	783315	4116701	1703681	5966550	153314	946908	643269	572161	2315652	979138	883155	4177945	1788605
53112	4	rec.																																									45808372	1234737	8896983	5195073	4533410	19860203	7018857	5733858	32612918	13195454
53113	4	firms	4877	486	3566	551	139	4742	97	20	4859	18	5014	545	3588	578	161	4872	103	21	4996	18	5415	645	3879	560	167	5251	115	31	5397	18	5751	640	4099	632	196	5567	131	35	5733	18	6619	763	4728	749	218	6458	110	36	6604	15
53113	4	estab.	7268	486	3580	598	231	4895	306	26	5227	2041	7614	545	3598	631	228	5002	324	59	5385	2229	8154	645	3888	598	232	5363	329	96	5788	2366	8574	658	4115	672	262	5707	314	154	6175	2399	9739	764	4733	809	337	6643	333	265	7241	2498
53113	4	empl.	20184	0	7289	3335	1654	12278	2316	511	15105	5079	21782	0	7366	3484	1902	12752	2978	723	16453	5329	25163	0	8023	3383	1998	13404	3106	1347	17857	7306	29727	0	8440	3827	2381	14648	3753	2422	20823	8904	31959	0	9977	4602	2603	17182	3102	1994	22278	9681
53113	4	ann. pay.	386837	10019	102961	51491	37215	201686	46825	10891	259402	127435	425774	11975	110441	54425	39491	216332	72472	18352	307156	118618	551406	25544	126280	60579	43226	255629	67215	30790	353634	197772	604921	17239	138565	67304	55749	278857	88802	61453	429112	175809	642371	16135	166069	81163	57543	320910	84928	79617	485455	156916
53113	4	rec.																																									4101315	122528	1329746	526966	279316	2258556	443802	164289	2866647	1234668
53119	4	firms	10913	1282	7544	1390	399	10615	208	55	10878	35	11090	1347	7632	1419	388	10786	218	51	11055	35	11024	1348	7493	1418	453	10712	225	53	10990	34	10950	1214	7585	1389	439	10627	245	46	10918	32	9834	1188	6602	1313	409	9512	243	50	9805	29
53119	4	estab.	11629	1285	7562	1470	502	10819	438	139	11396	233	11795	1352	7642	1488	484	10966	409	150	11525	270	11927	1350	7517	1481	537	10885	382	224	11491	436	11884	1214	7611	1442	528	10795	449	189	11433	451	10814	1188	6621	1372	516	9697	452	225	10374	440
53119	4	empl.	39106	0	14602	8574	4702	27878	5746	2751	36375	2731	39161	0	14719	8827	4593	28139	5939	2596	36674	2487	41384	0	14495	8721	5423	28639	6718	3199	38556	2828	41278	0	14591	8601	5319	28511	7307	2611	38429	2849	38441	0	13122	8152	4940	26214	6910	2882	36006	2435
53119	4	ann. pay.	793057	33775	248102	160180	100135	542192	120945	59064	722201	70856	830204	37712	269015	171671	100526	578924	123460	63758	766142	64062	913215	38288	278295	181064	120539	618186	137942	74875	831003	82212	975949	39117	300115	194613	121881	655726	165964	66325	888015	87934	945070	64440	262109	191437	116014	634000	157461	83048	874509	70561
53119	4	rec.																																									6704227	420645	2200600	1208909	807577	4637731	807284	641919	6086934	617293
53121	4	firms	57708	10521	37591	5620	2214	55946	1300	293	57539	169	58096	9854	38240	5879	2338	56311	1329	290	57930	166	58954	10601	38191	5920	2370	57082	1393	306	58781	173	62670	11723	40519	6110	2386	60738	1449	315	62502	168	68781	15343	43184	6042	2378	66947	1377	277	68601	180
53121	4	estab.	63519	10557	37701	5932	2924	57114	2865	1647	61626	1893	64342	9877	38333	6162	2943	57315	2769	1524	61608	2734	65098	10622	38286	6151	2934	57993	2689	1641	62323	2775	68948	11730	40605	6343	2893	61571	2758	1605	65934	3014	76046	15346	43264	6407	3064	68081	3206	1617	72904	3142
53121	4	empl.	241101	0	67242	35528	28186	130956	43555	30981	205492	35609	259992	0	68794	37189	30010	135993	44469	32567	213029	46963	271145	0	69235	37683	30616	137534	47408	33752	218694	52451	283959	0	72561	38649	30692	141902	49508	34802	226212	57747	277561	0	77893	38203	30616	146712	45591	31395	223698	53863
53121	4	ann. pay.	8691590	371460	1741684	961174	866468	3940786	1577129	1196692	6714607	1976983	9560649	350564	1880282	1047361	935073	4213280	1624371	1308510	7146161	2414488	10562944	387318	1967950	1105870	1002154	4463292	1807290	1416737	7687319	2875625	11063932	404629	2104759	1172604	1029503	4711495	1868921	1472874	8053290	3010642	11258252	540619	2254990	1215411	1088997	5100017	1775483	1381475	8256975	3001277
53121	4	rec.																																									67944403	3249830	16051402	8417194	7274696	34993122	9788386	6536360	51317868	16626535
53131	4	firms	27348	3318	13560	4183	2667	23728	2698	672	27098	250	27856	3400	13879	4177	2701	24157	2730	721	27608	248	28522	3541	14087	4356	2786	24770	2771	732	28273	249	30506	3872	15241	4664	2876	26653	2847	757	30257	249	31655	3290	16608	4803	3026	27727	2879	790	31396	259
53131	4	estab.	33775	3336	13579	4238	2799	23952	3423	2066	29441	4334	35854	3410	13901	4223	2828	24362	3466	2005	29833	6021	36053	3551	14108	4401	2907	24967	3422	2112	30501	5552	39196	3909	15268	4712	2995	26884	3463	2436	32783	6413	40826	3291	16623	4832	3157	27903	3760	2779	34442	6384
53131	4	empl.	377239	0	26560	27207	35351	89118	101926	90907	281951	95288	385897	0	27083	27050	35853	89986	101685	101400	293071	92826	406692	0	27619	28390	36831	92840	105225	109710	307775	98917	437429	0	29749	30501	38106	98356	109281	114587	322224	115205	440782	0	32805	31494	39834	104133	109939	118383	332455	108327
53131	4	ann. pay.	10874996	178052	697712	759824	1026877	2662465	2786754	2424190	7873409	3001587	11679051	168702	747776	801957	1057800	2776235	3015557	2922721	8714513	2964538	13194972	175927	791280	845757	1120323	2933287	3343953	3326486	9603726	3591246	14946396	219426	873027	963531	1217634	3273618	3487824	3592548	10353990	4592406	14918670	160281	938012	1016236	1292129	3406658	3647925	3736251	10790834	4127836
53131	4	rec.																																									44465529	582844	3879865	3064342	3288347	10815398	7886358	7779172	26480928	17984601
53132	4	firms	11839	1780	8055	1337	452	11624	159	32	11815	24	12217	1505	8490	1484	506	11985	175	38	12198	19	12105	1552	8587	1298	443	11880	171	36	12087	18	12307	1757	8612	1298	414	12081	169	38	12288	19	13529	2188	9278	1424	426	13316	159	30	13505	24
53132	4	estab.	12048	1781	8064	1366	495	11706	254	52	12012	36	12425	1508	8503	1512	546	12069	254	75	12398	27	12311	1553	8603	1316	483	11955	248	85	12288	23	12478	1757	8626	1322	448	12153	232	67	12452	26	13731	2189	9284	1443	464	13380	253	51	13684	47
53132	4	empl.	38622	0	15175	8483	5724	29382	5356	2029	36767	1855	41923	0	16203	9377	6460	32040	5896	2684	40620	1303	39451	0	16054	8207	5607	29868	5708	3003	38579	872	38742	0	15775	8179	5298	29252	5694	2886	37832	910	40272	0	17323	9035	5555	31913	5218	1689	38820	1452
53132	4	ann. pay.	1347762	43357	419455	299973	223989	986774	213695	68129	1268598	79164	1386076	39855	420135	302893	235634	998517	218685	69146	1286348	99728	1277038	33709	417942	264691	214627	930969	198842	90034	1219845	57193	1448228	51776	483786	316767	231635	1083964	199531	101636	1385131	63097	1582620	65359	530152	362454	246866	1204831	229325	62003	1496159	86461
53132	4	rec.																																									4825380	272907	1922608	872536	516862	3584913	510244	199579	4294736	530644
53139	4	firms	9458	2601	4901	965	493	8960	310	98	9368	90	10544	3079	5304	1047	585	10015	352	96	10463	81	12597	3584	6532	1256	627	11999	420	101	12520	77	11705	2938	6339	1240	609	11126	403	99	11628	77	16646	5045	8346	1657	858	15906	547	110	16563	83
53139	4	estab.	10120	2609	4911	981	550	9051	452	269	9772	348	11242	3081	5315	1062	633	10091	472	289	10852	390	13283	3588	6542	1269	671	12070	533	341	12944	339	12495	2938	6351	1253	654	11196	506	360	12062	433	17514	5045	8355	1670	897	15967	708	341	17016	498
53139	4	empl.	50326	0	8985	6091	6382	21458	9553	7300	38311	12015	54110	0	9755	6660	7515	23930	11080	8642	43652	10458	60767	0	11970	8002	8081	28053	13719	9782	51554	9213	61956	0	11498	8027	7820	27345	12619	10217	50181	11775	78207	0	15482	10727	11175	37384	18443	10964	66791	11416
53139	4	ann. pay.	2473182	122719	343059	238055	311100	1014933	436479	311352	1762764	710418	2568805	144644	364719	262302	329620	1101285	500003	344091	1945379	623426	2813670	180576	431420	308602	362497	1283095	584952	459945	2327992	485678	3070265	142775	445017	346818	358172	1292782	639480	521284	2453546	616719	3833631	254968	589342	448771	510792	1803873	838655	517247	3159775	673856
53139	4	rec.																																									13035224	1279198	2656174	1617807	1540237	7093416	2347376	1495907	10936699	2098525
53211	4	firms	2999	347	1392	465	324	2528	324	107	2959	40	2981	384	1371	455	315	2525	304	111	2940	41	2968	341	1378	474	321	2514	313	100	2927	41	3075	405	1404	507	312	2628	316	94	3038	37	3024	397	1438	472	304	2611	276	98	2985	39
53211	4	estab.	5067	348	1396	479	392	2615	556	386	3557	1510	5453	389	1383	468	378	2618	498	403	3519	1934	5228	347	1386	489	378	2600	509	338	3447	1781	5487	410	1414	520	366	2710	494	323	3527	1960	5647	397	1448	491	380	2716	498	395	3609	2038
53211	4	empl.	120008	0	2993	3047	4139	10179	11246	9956	31381	88627	127364	0	2915	2941	4018	9874	10783	10704	31361	96003	128695	0	2908	3057	4225	10190	11423	9632	31245	97450	135921	0	2980	3257	4096	10333	11260	9609	31202	104719	131344	0	3075	2993	3919	9987	9165	9268	28420	102924
53211	4	ann. pay.	2847643	10822	63575	67719	96164	238280	249712	203947	691939	2155704	3242384	13927	67505	67573	97462	246467	256680	231025	734172	2508212	3373064	14142	67845	69530	108260	259777	259292	212383	731452	2641612	3575045	14495	70151	76067	106365	267078	254957	212255	734290	2840755	3614706	16242	71978	70000	100764	258984	222555	226142	707681	2907025
53211	4	rec.																																									23292438	127673	646732	536352	807311	2118068	1587166	1401777	5107011	18185427
53212	4	firms	2131	259	1103	277	175	1814	189	82	2085	46	2112	303	1040	300	179	1822	165	78	2065	47	2067	247	1056	293	184	1780	164	77	2021	46	2036	223	1043	320	174	1760	155	78	1993	43	2065	326	1018	275	178	1797	146	79	2022	43
53212	4	estab.	5768	259	1105	278	191	1833	311	274	2418	3350	5794	303	1042	302	203	1850	255	274	2379	3415	5839	247	1059	296	203	1805	255	256	2316	3523	6584	224	1045	327	190	1786	224	277	2287	4297	6297	326	1019	284	190	1819	231	250	2300	3997
53212	4	empl.	51133	0	2230	1771	2240	6241	5635	6169	18045	33088	51722	0	2114	1931	2331	6376	5119	6591	18086	33636	53268	0	2055	1913	2326	6294	5191	5980	17465	35803	53326	0	2061	2095	2243	6399	4574	6316	17289	36037	50608	0	2002	1817	2302	6121	3939	6230	16290	34318
53212	4	ann. pay.	1602214	18450	60245	49734	63972	192401	190477	192800	575678	1026536	1632093	10102	59348	59254	70255	198959	180472	223697	603128	1028965	1697940	11089	58950	59438	66779	196256	182571	211047	589874	1108066	1770050	8977	59267	64584	71424	204252	157540	225796	587588	1182462	1752181	11453	56047	58540	77090	203130	149436	222424	574990	1177191
53212	4	rec.																																									12433436	77156	360908	389943	390996	1219003	872455	1133242	3224700	9208736
53221	4	firms	1168	168	441	236	132	977	151	23	1151	17	1172	121	494	227	160	1002	134	18	1154	18	1114	116	446	219	153	934	137	23	1094	20	1101	109	445	215	157	926	133	20	1079	22	991	98	402	210	131	841	112	22	975	16
53221	4	estab.	2918	168	443	243	168	1022	517	152	1691	1227	2718	151	500	232	212	1095	447	147	1689	1029	2834	117	453	223	191	984	409	179	1572	1262	2771	109	448	221	194	972	361	176	1509	1262	2620	108	403	217	186	914	375	246	1535	1085
53221	4	empl.	18296	0	974	1534	1652	4160	5057	1646	10863	7433	16598	0	1047	1442	2031	4520	4744	1096	10360	6238	17701	0	974	1394	1933	4301	4843	1919	11063	6638	18777	0	964	1347	2056	4367	4517	1515	10399	8378	15959	0	877	1331	1733	3941	3655	1943	9539	6420
53221	4	ann. pay.	466126	6440	23057	39015	42231	110743	128638	47247	286628	179498	443195	23595	24453	36884	54748	139680	125620	25718	291018	152177	497927	5600	24714	34969	53383	118666	133171	65741	317578	180349	502823	5010	25379	32587	60139	123115	131054	37843	292012	210811	483395	4835	22344	34268	50092	111539	108073	51703	271315	212080
53221	4	rec.																																									2130847	21995	98373	139696	186724	446788	406518	214935	1068241	1062606
53222	4	firms	1537	220	761	268	135	1384	124	22	1530	7	1466	157	749	262	147	1315	122	24	1461	5	1387	141	696	252	147	1236	121	25	1382	5	1383	128	693	270	135	1226	123	29	1378	5	1230	113	608	254	133	1108	94	24	1226	4
53222	4	estab.	2746	220	762	283	191	1456	478	371	2305	441	2774	168	754	282	208	1412	431	422	2265	509	2685	152	696	275	198	1321	398	386	2105	580	2715	128	694	278	185	1285	394	471	2150	565	2553	119	608	274	180	1181	359	419	1959	594
53222	4	empl.	14589	0	1615	1739	1695	5049	4151	2756	11956	2633	15302	0	1600	1714	1882	5196	4361	3254	12811	2491	15530	0	1502	1685	1909	5096	4359	3215	12670	2860	16306	0	1501	1762	1741	5004	4187	3918	13109	3197	15269	0	1356	1669	1719	4744	3226	3334	11304	3965
53222	4	ann. pay.	226045	3361	21243	22250	24895	71749	67975	48140	187864	38181	246162	2572	23411	22678	29094	77755	70609	60331	208695	37467	256848	3122	22996	23112	28802	78032	71634	58596	208262	48586	270588	4998	24858	24427	28124	82407	69493	71115	223015	47573	266321	4979	20431	26094	28001	79505	56921	67942	204368	61953
53222	4	rec.																																									982902	22585	108000	95786	84959	311330	180062	261411	752803	230099
53223	4	firms	12340	1156	6116	2921	1346	11539	696	80	12315	25	11083	955	5605	2591	1189	10340	648	73	11061	22	9643	898	4828	2181	1049	8956	590	75	9621	22	8846	856	4392	1976	956	8180	573	72	8825	21	7785	759	3668	1842	940	7209	495	66	7770	15
53223	4	estab.	21700	1164	6140	3016	1667	11987	1910	1004	14901	6799	20851	970	5672	2724	1492	10858	1801	936	13595	7256	19609	907	4873	2309	1364	9453	1580	789	11822	7787	18590	879	4438	2105	1228	8650	1476	818	10944	7646	18431	770	3677	1895	1149	7491	1270	914	9675	8756
53223	4	empl.	157859	0	13974	18948	17228	50150	22117	11362	83629	74230	156138	0	12732	16817	15229	44778	21082	10468	76328	79810	151604	0	10757	14022	13557	38336	19757	10713	68806	82798	150330	0	9621	12836	12170	34627	19284	10830	64741	85589	151159	0	8304	11913	12174	32391	16595	10832	59818	91341
53223	4	ann. pay.	1438267	25042	116694	138015	142560	422311	208645	101834	732790	705477	1484422	37768	109850	126539	132558	406715	191905	112425	711045	773377	1565439	35090	103624	115490	129579	383783	189233	121408	694424	871015	1587730	30857	104136	115194	130067	380254	199806	127005	707065	880665	1715798	18948	82915	107971	116758	326592	166466	134188	627246	1088552
53223	4	rec.																																									9660756	86840	463778	521098	525816	1597532	804924	786011	3188467	6472289
53229	4	firms	4678	981	1713	803	576	4073	472	55	4600	78	4684	914	1760	825	543	4042	491	69	4602	82	4632	870	1729	822	583	4004	478	74	4556	76	4701	920	1748	806	583	4057	492	77	4626	75	4901	1023	1821	824	618	4286	464	81	4831	70
53229	4	estab.	6584	984	1717	821	650	4172	744	261	5177	1407	8130	918	1761	851	599	4129	736	334	5199	2931	8000	875	1741	833	645	4094	678	335	5107	2893	8223	925	1751	832	632	4140	722	324	5186	3037	8391	1023	1824	842	692	4381	734	306	5421	2970
53229	4	empl.	50813	0	3681	5304	7634	16619	14071	4522	35212	15601	67246	0	3727	5461	7227	16415	15377	5321	37113	30133	69881	0	3668	5473	7759	16900	14794	6529	38223	31658	70763	0	3707	5380	7707	16794	16004	6722	39520	31243	70184	0	3994	5454	8251	17699	14872	6800	39371	30813
53229	4	ann. pay.	1248752	26517	85799	107888	167587	387791	332907	104418	825116	423636	1805974	25383	89880	119330	159720	394313	383274	151786	929373	876601	1874323	32156	92835	122410	183947	431348	371808	203938	1007094	867229	2041119	31826	99791	127356	186744	445717	397254	213704	1056675	984444	2082090	34450	98604	135555	210877	479486	379378	210499	1069363	1012727
53229	4	rec.																																									7897168	173319	461089	480757	688440	1803605	1146810	714573	3664988	4232180
53231	4	firms	3870	352	1577	966	574	3469	316	46	3831	39	3732	287	1537	935	572	3331	324	43	3698	34	3552	274	1463	889	541	3167	309	44	3520	32	3427	261	1404	874	517	3056	298	42	3396	31	3597	316	1499	860	557	3232	289	45	3566	31
53231	4	estab.	6246	352	1584	984	650	3570	682	316	4568	1678	6428	287	1547	948	644	3426	609	347	4382	2046	6358	274	1469	907	617	3267	540	328	4135	2223	6406	261	1411	893	593	3158	527	325	4010	2396	6737	346	1501	873	662	3382	584	360	4326	2411
53231	4	empl.	40034	0	3675	6304	7155	17134	8651	4972	30757	9277	42138	0	3545	6141	7191	16877	8975	4563	30415	11723	41863	0	3396	5917	6864	16177	8811	3972	28960	12903	41355	0	3257	5822	6609	15688	8759	3445	27892	13463	40907	0	3476	5633	7110	16219	8311	3330	27860	13047
53231	4	ann. pay.	1039769	10857	86513	142505	174866	414741	241956	134648	791345	248424	1135420	7946	88126	148343	179830	424245	241944	119596	785785	349635	1189599	9707	87923	149903	180057	427590	251074	110934	789598	400001	1220593	9209	82599	150770	180156	422734	258759	104495	785988	434605	1262493	15725	88253	148324	193905	446207	242410	107519	796136	466357
53231	4	rec.																																									4971199	87427	413374	518717	635956	1655474	745152	444797	2845423	2125776
53241	4	firms	3392	480	1340	592	437	2849	341	102	3292	100	3354	481	1360	609	416	2866	311	85	3262	92	3375	491	1368	599	423	2881	307	93	3281	94	3472	475	1457	577	447	2956	338	86	3380	92	3395	526	1380	555	423	2884	329	83	3296	99
53241	4	estab.	4816	480	1342	603	474	2899	526	231	3656	1160	5213	486	1369	619	443	2917	450	179	3546	1667	5459	495	1370	608	454	2927	402	198	3527	1932	5696	476	1458	588	474	2996	444	205	3645	2051	5707	526	1382	564	443	2915	493	188	3596	2111
53241	4	empl.	51652	0	2834	3932	5624	12390	10844	7162	30396	21256	55821	0	2802	4048	5446	12296	10093	5609	27998	27823	64037	0	2800	3992	5441	12233	9359	6452	28044	35993	67902	0	3017	3824	5944	12785	11506	5690	29981	37921	70028	0	2872	3679	5526	12077	10824	6338	29239	40789
53241	4	ann. pay.	1970198	28993	91445	131039	183229	434706	376307	286282	1097295	872903	2277381	44384	98002	139448	184324	466158	391511	229691	1087360	1190021	2707689	39469	99713	141222	199956	480360	396229	256918	1133507	1574182	3014179	31515	106101	148059	231005	516680	523246	248238	1288164	1726015	3049403	30714	100599	140566	228741	500620	474634	283124	1258378	1791025
53241	4	rec.																																									19739454	146574	610978	670487	1036419	2464458	2779620	1242119	6486197	13253257
53242	4	firms	1052	156	470	161	104	891	102	21	1014	38	1019	158	455	160	98	871	91	20	982	37	1010	147	445	163	107	862	89	23	974	36	995	145	445	167	90	847	85	28	960	35	946	146	428	151	88	813	74	24	911	35
53242	4	estab.	1415	158	471	170	114	913	196	80	1189	226	1362	161	460	170	103	894	168	84	1146	216	1361	147	449	170	119	885	147	111	1143	218	1305	145	451	173	98	867	138	155	1160	145	1175	146	429	154	104	833	118	113	1064	111
53242	4	empl.	14178	0	920	1044	1349	3313	3521	2052	8886	5292	15012	0	884	1015	1300	3199	3412	2434	9045	5967	15872	0	894	1027	1418	3339	3057	2914	9310	6562	15211	0	891	1058	1150	3099	2941	3775	9815	5396	11299	0	870	944	1121	2935	2424	2879	8238	3061
53242	4	ann. pay.	867861	7127	37641	51865	55273	151906	169772	135019	456697	411164	1001732	17709	36533	51312	58135	163689	168622	142596	474907	526825	1123842	5610	37937	45992	70699	160238	165981	195337	521556	602286	890987	8486	36610	43385	55282	143763	132303	245108	521174	369813	613644	5568	35885	38494	51006	130953	115460	154946	401359	212285
53242	4	rec.																																									4595303	39509	245395	230334	290792	806030	505023	2092912	3403965	1191338
53249	4	firms	4281	621	1737	617	527	3502	488	145	4135	146	4152	613	1692	632	494	3431	452	121	4004	148	4056	575	1644	649	467	3335	447	126	3908	148	4011	550	1645	654	457	3306	451	121	3878	133	3942	579	1645	617	421	3262	435	120	3817	125
53249	4	estab.	5849	624	1742	630	584	3580	718	437	4735	1114	5921	618	1696	644	528	3486	680	323	4489	1432	5801	577	1650	659	500	3386	584	321	4291	1510	5982	553	1648	675	480	3356	597	340	4293	1689	6087	582	1646	628	470	3326	678	284	4288	1799
53249	4	empl.	74043	0	3592	4008	6989	14589	16634	13093	44316	29727	74575	0	3434	4068	6483	13985	15839	10604	40428	34147	77586	0	3383	4228	6159	13770	14772	11989	40531	37055	82823	0	3410	4278	6061	13749	14995	11929	40673	42150	84565	0	3404	4066	5676	13146	14783	10407	38336	46229
53249	4	ann. pay.	2640977	27971	112451	117497	250679	508598	598140	501301	1608039	1032938	2772973	28876	106977	121216	246503	503572	582962	428828	1515362	1257611	2906064	78697	108902	129863	229163	546625	586942	467228	1600795	1305269	3093233	21312	110062	138561	227025	496960	594550	484766	1576276	1516957	3181878	26636	108896	140436	219396	495364	613585	428309	1537258	1644620
53249	4	rec.																																									13294217	173524	622895	595055	844442	2235916	2288966	1604674	6129556	7164661
53311	4	firms	1991	300	899	248	168	1615	147	68	1830	161	1952	250	923	245	162	1580	150	69	1799	153	1907	224	917	217	172	1530	164	65	1759	148	2027	292	928	254	169	1643	179	64	1886	141	2077	342	885	227	190	1644	200	63	1907	170
53311	4	estab.	2124	300	900	259	179	1638	165	87	1890	234	2099	253	928	254	169	1604	165	101	1870	229	2054	224	923	224	181	1552	174	101	1827	227	2129	292	930	257	178	1657	190	82	1929	200	2184	342	887	233	199	1661	213	77	1951	233
53311	4	empl.	22591	0	1726	1630	2089	5445	4597	4200	14242	8349	25881	0	1804	1561	2081	5446	4972	5004	15422	10459	26462	0	1799	1368	2198	5365	5622	5178	16165	10297	25661	0	1820	1631	2142	5593	6173	5601	17367	8294	24052	0	1721	1466	2525	5712	6403	4208	16323	7729
53311	4	ann. pay.	1147607	23316	77722	68517	96194	265749	214922	205277	685948	461659	1460088	36976	86163	70166	91337	284642	307375	264572	856589	603499	1625641	21355	86047	71296	98307	277005	393236	301845	972086	653555	1621052	26011	91574	85108	93579	296272	350277	319848	966397	654655	1446754	36688	76241	68940	116192	298061	381167	259760	938988	507766
53311	4	rec.																																									14894889	208191	816023	267815	434543	1726572	2291438	1026755	5044765	9850124
54111	4	firms	163485	14770	108033	22910	10443	156156	6432	758	163346	139	162553	14302	107259	22984	10558	155103	6531	767	162401	152	162011	14847	105942	23262	10503	154554	6524	776	161854	157	161875	15055	105751	23223	10427	154456	6451	791	161698	177	162732	16118	104960	23527	10569	155174	6545	827	162546	186
54111	4	estab.	169399	14778	108122	23185	11145	157230	8842	2464	168536	863	168486	14320	107351	23255	11198	156124	8988	2387	167499	987	167936	14873	106058	23534	11151	155616	8814	2409	166839	1097	167852	15083	105893	23499	11030	155505	8608	2483	166596	1256	169205	16135	105021	23748	11208	156112	8987	2774	167873	1332
54111	4	empl.	988948	0	206153	147767	138402	492322	238163	148719	879204	109744	1014850	0	204979	147991	140003	492973	241290	150450	884713	130137	1023682	0	203393	149594	138929	491916	241453	150820	884189	139493	1045794	0	203939	149532	138246	491717	239223	151454	882394	163400	1063238	0	204470	151660	140530	496660	243126	156957	896743	166495
54111	4	ann. pay.	51535054	860675	6726194	5727195	6623780	19937844	14127341	9606611	43671796	7863258	54991274	902331	6932618	5840086	6903561	20578596	14704988	9972476	45256060	9735214	59940068	1036833	7154842	6197647	7138696	21528018	15236018	10850445	47614481	12325587	64738245	1034710	7561879	6457123	7535476	22589188	15916155	11641122	50146465	14591780	67295119	1185232	7513987	6692550	7831861	23223630	16510945	12159634	51894209	15400910
54111	4	rec.																																									173488212	3307854	26918108	18388114	18219606	66833682	35619759	27886682	130340123	43148089
54119	4	firms	7010	800	3459	1375	740	6374	514	79	6967	43	7087	835	3332	1389	856	6412	535	91	7038	49	7220	832	3548	1441	775	6596	497	75	7168	52	7390	856	3707	1474	752	6789	490	59	7338	52	7725	901	3836	1522	817	7076	516	80	7672	53
54119	4	estab.	8439	800	3465	1395	868	6528	927	379	7834	605	8551	836	3338	1410	960	6544	917	381	7842	709	8784	832	3552	1470	905	6759	894	330	7983	801	8919	856	3714	1511	856	6937	908	280	8125	794	9487	901	3836	1545	950	7232	1022	330	8584	903
54119	4	empl.	60425	0	7373	9045	9553	25971	17048	8576	51595	8830	67403	0	7190	9085	11266	27541	18478	11086	57105	10298	65281	0	7681	9345	10189	27215	16929	8195	52339	12942	64393	0	7891	9542	9880	27313	17437	6321	51071	13322	75213	0	8201	9956	10747	28904	17567	8327	54798	20415
54119	4	ann. pay.	2065925	27147	187713	267973	307128	789961	607841	329261	1727063	338862	2188276	33939	179970	248763	345167	807839	603524	374469	1785832	402444	2200681	28869	194265	256336	314426	793896	582222	322982	1699100	501581	2498303	29355	227544	303183	348154	908236	694150	269567	1871953	626350	3161784	44006	240021	322869	412958	1019854	700177	369036	2089067	1072717
54119	4	rec.																																									9340408	155885	836894	925401	1067073	2985253	1785498	1041769	5812520	3527888
54121	4	firms	93765	10532	56955	15333	6553	89373	3598	524	93495	270	93638	10550	56480	15356	6630	89016	3765	572	93353	285	94067	10882	55945	15671	6758	89256	3913	589	93758	309	95256	11123	56417	15817	6983	90340	3991	617	94948	308	99149	12407	58150	16174	7204	93935	4161	707	98803	346
54121	4	estab.	99083	10542	56986	15441	6968	89937	4940	1358	96235	2848	99422	10579	56511	15471	7029	89590	5050	1462	96102	3320	100363	10902	55980	15779	7154	89815	5180	1450	96445	3918	101826	11128	56456	15937	7349	90870	5178	1490	97538	4288	110844	12409	58165	16270	7585	94429	5728	1680	101837	9007
54121	4	empl.	1060647	0	113979	98588	85867	298434	129493	81009	508936	551711	1093608	0	113388	98740	86730	298858	136196	88433	523487	570121	1164194	0	112815	100762	88306	301883	142827	95199	539909	624285	1191356	0	113619	101783	91574	306976	147728	101854	556558	634798	1241269	0	118511	104193	94548	317252	152925	112846	583023	658246
54121	4	ann. pay.	30260516	357491	2431112	2587571	2691890	8068064	4440435	2408227	14916726	15343790	32697382	472411	2539486	2669606	2782312	8463815	4816529	2586325	15866669	16830713	37698071	355991	2672514	2780351	2905231	8714087	5360035	2988914	17063036	20635035	38302003	471094	2731000	2898282	3102457	9202833	5653830	3436303	18292966	20009037	38929976	495132	2875735	3060147	3265086	9696100	5832590	3693009	19221699	19708277
54121	4	rec.																																									86243925	1417956	8994564	7234539	6897948	24545007	11876599	6888427	43310033	42933892
54131	4	firms	20569	2467	10577	4042	2014	19100	1288	148	20536	33	20822	2262	10536	4241	2201	19240	1384	161	20785	37	21272	2340	10532	4409	2291	19572	1481	179	21232	40	21715	2283	10735	4578	2334	19930	1538	194	21662	53	22521	2601	11221	4555	2379	20756	1517	195	22468	53
54131	4	estab.	21188	2468	10584	4063	2097	19212	1500	334	21046	142	21453	2275	10543	4258	2268	19344	1589	348	21281	172	21951	2343	10538	4427	2346	19654	1674	414	21742	209	22468	2285	10741	4592	2385	20003	1711	448	22162	306	23486	2601	11225	4574	2456	20856	1863	499	23218	268
54131	4	empl.	157670	0	22368	26421	26496	75285	47253	21710	144248	13422	168337	0	22171	27764	28903	78838	51410	21873	152121	16216	179467	0	22377	28864	30238	81479	54814	25374	161667	17800	193406	0	22671	30076	31064	83811	57237	27572	168620	24786	185649	0	23570	29833	31178	84581	56025	26967	167573	18076
54131	4	ann. pay.	7550260	93006	751521	1039662	1188463	3072652	2500457	1204086	6777195	773065	8373796	107324	783240	1124158	1339971	3354693	2851701	1262009	7468403	905393	9441449	97972	827457	1217828	1483341	3626598	3157317	1557051	8340966	1100483	10298865	101913	843312	1291720	1536411	3773356	3309956	1737188	8820500	1478365	9997521	97535	874884	1300671	1573046	3846136	3313785	1704584	8864505	1133016
54131	4	rec.																																									25700888	422758	2994726	3333945	3857423	10608852	8083380	4033196	22725428	2975460
54132	4	firms	7584	1865	3500	1208	631	7204	338	34	7576	8	7653	1683	3605	1285	656	7229	374	41	7644	9	6390	1327	2998	1095	564	5984	365	33	6382	8	6447	1250	3087	1117	576	6030	370	38	6438	9	6729	1535	2916	1144	662	6257	418	44	6719	10
54132	4	estab.	7626	1865	3502	1212	636	7215	354	46	7615	11	7695	1683	3606	1289	661	7239	388	55	7682	13	6424	1327	2998	1098	568	5991	373	49	6413	11	6486	1250	3087	1121	580	6038	374	62	6474	12	6829	1535	2916	1148	678	6277	444	75	6796	33
54132	4	empl.	39510	0	7101	7844	8358	23303	11829	3949	39081	429	42691	0	7376	8450	8756	24582	13013	4617	42212	479	38271	0	6055	7191	7449	20695	13200	4082	37977	294	39628	0	6175	7231	7638	21044	13298	4906	39248	380	43711	0	6113	7531	8790	22434	14885	5345	42664	1047
54132	4	ann. pay.	1115885	51761	193559	196225	236376	677921	334374	92017	1104312	11573	1240426	53843	208192	226734	258460	747229	366527	109575	1223331	17095	1205902	46167	176736	206205	235103	664211	404265	123967	1192443	13459	1359344	38932	195504	227819	256953	719208	447107	178778	1345093	14251	1560413	60794	208452	255042	313296	837584	495118	182411	1515113	45300
54132	4	rec.																																									4429316	250974	704313	721884	794088	2471259	1210918	511322	4193499	235817
54133	4	firms	46182	6336	21519	7324	5256	40435	4465	870	45770	412	45812	5845	21176	7330	5495	39846	4631	894	45371	441	45579	5905	20641	7266	5506	39318	4861	971	45150	429	45540	5582	20655	7262	5587	39086	4994	1011	45091	449	45849	6551	20845	6974	5224	39594	4795	1001	45390	459
54133	4	estab.	53424	6339	21540	7367	5386	40632	5824	2955	49411	4013	53729	5849	21198	7378	5631	40056	5887	3085	49028	4701	53479	5916	20676	7310	5638	39540	6066	3287	48893	4586	53763	5592	20682	7306	5715	39295	6136	3355	48786	4977	54910	6569	20859	7022	5453	39903	6580	3579	50062	4848
54133	4	empl.	795629	0	42046	48665	70676	161387	167274	132456	461117	334512	826717	0	41252	48614	74111	163977	175348	136862	476187	350530	816031	0	40530	48392	74109	163031	184586	151683	499300	316731	859691	0	40652	48366	75472	164490	191693	161090	517273	342418	815541	0	40381	46323	70212	156916	182895	156801	496612	318929
54133	4	ann. pay.	40097774	320759	1705945	2061606	3243616	7331926	8400565	6891738	22624229	17473545	43916818	360881	1746016	2118635	3510053	7735585	9179005	7249614	24164204	19752614	47405254	462823	1751358	2250536	3687521	8152238	10050505	8851047	27053790	20351464	49388522	354717	1824991	2284957	3807080	8271745	10636433	9321595	28229773	21158749	47837768	411766	1760504	2237220	3618778	8028268	10437405	9296922	27762595	20075173
54133	4	rec.																																									118300133	1234427	5000247	5384479	7944348	19563501	22194248	20258842	62016591	56283542
54134	4	firms	2119	400	1251	245	136	2032	73	11	2116	3	2090	345	1271	248	132	1996	80	10	2086	4	2186	358	1335	251	151	2095	78	8	2181	5	2236	367	1374	260	146	2147	76	7	2230	6	2694	412	1752	311	146	2621	61	8	2690	4
54134	4	estab.	2133	400	1251	245	138	2034	80	16	2130	3	2103	345	1271	248	134	1998	87	11	2096	7	2200	358	1335	251	153	2097	87	8	2192	8	2253	367	1375	261	149	2152	84	7	2243	10	2713	412	1753	314	149	2628	71	9	2708	5
54134	4	empl.	9410	0	2332	1564	1722	5618	2465	1277	9360	50	9633	0	2377	1616	1763	5756	2603	[g]	[i]	[e]	10204	0	2464	1630	1986	6080	3013	696	9789	415	10335	0	2467	1722	1928	6117	2822	908	9847	488	10088	0	3118	2005	1892	7015	2083	871	9969	119
54134	4	ann. pay.	352730	10589	58903	47546	61518	178556	108396	64175	351127	1603	357404	7807	63190	53611	63186	187794	101605	(D)	(D)	(D)	399188	11588	64494	52959	73441	202482	130982	33502	366966	32222	412486	6860	65752	57288	68760	198660	122852	54659	376171	36315	373003	10125	84100	70027	70249	234501	95977	32568	363046	9957
54134	4	rec.																																									768166	35451	239792	140374	130985	546602	163221	52269	762092	6074
54135	4	firms	3077	588	1973	287	135	2983	79	7	3069	8	3210	565	2078	321	139	3103	92	8	3203	7	3280	549	2118	352	139	3158	98	16	3272	8	3520	597	2250	377	164	3388	107	16	3511	9	4099	739	2706	374	162	3981	98	11	4090	9
54135	4	estab.	3133	589	1973	290	138	2990	102	18	3110	23	3270	566	2078	321	145	3110	120	20	3250	20	3338	549	2119	352	145	3165	123	30	3318	20	3581	597	2251	380	168	3396	132	31	3559	22	4182	739	2707	379	171	3996	135	32	4163	19
54135	4	empl.	12223	0	3469	1866	1744	7079	3043	622	10744	1479	11940	0	3737	2067	1841	7645	3571	565	11781	159	13738	0	3814	2258	1832	7904	3569	1832	13305	433	15138	0	4015	2411	2119	8545	3676	1806	14027	1111	13897	0	4859	2399	2047	9305	3553	868	13726	171
54135	4	ann. pay.	337544	16585	87358	52043	51435	207421	97596	13939	318956	18588	391532	15742	98569	58932	57507	230750	131455	21536	383741	7791	474127	15112	99120	69426	60056	243714	129309	84244	457267	16860	539533	14650	110815	75490	67137	268092	157405	47600	473097	66436	495556	21631	131101	79318	78312	310362	143468	30978	484808	10748
54135	4	rec.																																									1334226	77111	407975	245438	177027	907551	303819	112620	1323990	10236
54136	4	firms	624	108	313	93	49	563	42	12	617	7	609	114	317	84	43	558	37	9	604	5	623	107	323	89	53	572	34	10	616	7	648	96	339	94	63	592	36	13	641	7	878	137	469	121	78	805	51	12	868	10
54136	4	estab.	668	108	313	96	51	568	51	15	634	34	644	114	317	85	45	561	49	11	621	23	663	107	324	90	55	576	45	18	639	24	691	96	339	95	65	595	47	22	664	27	966	137	469	124	85	815	69	16	900	66
54136	4	empl.	11798	0	583	616	646	1845	1656	1601	5102	6696	8773	0	606	531	558	1695	1489	[f]	[h]	[h]	7081	0	624	544	684	1852	1238	1117	4207	2874	9887	0	675	593	805	2073	1396	1716	5185	4702	7773	0	884	761	1041	2686	1837	1452	5975	1798
54136	4	ann. pay.	486638	4791	17737	23262	33077	78867	67272	43051	189190	297448	369974	3981	17186	21081	33302	75550	59316	(D)	(D)	(D)	296890	4299	20464	19086	37104	80953	61032	41317	183302	113588	445716	10995	26099	23681	35052	95827	68285	72386	236498	209218	364986	6138	29839	34833	43248	114058	93416	62160	269634	95352
54136	4	rec.																																									1090077	26161	92287	91337	113929	323714	288049	173195	784958	305119
54137	4	firms	8764	757	4704	1880	955	8296	403	42	8741	23	8780	677	4724	1863	1001	8265	446	43	8754	26	8720	686	4568	1927	987	8168	477	49	8694	26	8685	716	4535	1894	985	8130	484	48	8662	23	8767	751	4516	1920	1020	8207	492	46	8745	22
54137	4	estab.	8957	757	4705	1892	983	8337	498	70	8905	52	8979	679	4726	1873	1022	8300	551	74	8925	54	8919	688	4572	1935	1007	8202	576	80	8858	61	8881	716	4538	1908	1008	8170	563	89	8822	59	9013	751	4517	1929	1044	8241	630	82	8953	60
54137	4	empl.	55231	0	10386	12288	12391	35065	12353	3459	50877	4354	56733	0	10362	12248	13071	35681	14099	3912	53692	3041	58676	0	9978	12677	12857	35512	15018	4406	54936	3740	59420	0	9960	12552	12822	35334	15609	4375	55318	4102	59483	0	9947	12706	13369	36022	15908	4363	56293	3190
54137	4	ann. pay.	1649852	21354	224717	317540	369758	933369	432253	122267	1487889	161963	1784877	27191	234577	330500	400975	993243	506907	156722	1656872	128005	1940343	23437	229831	354318	408387	1015973	564793	201067	1781833	158510	2051931	25008	243121	362100	435368	1065597	602520	217931	1886048	165883	2095167	22367	248001	377857	464929	1113154	640458	206593	1960205	134962
54137	4	rec.																																									4311513	67146	690830	768615	867928	2394519	1212551	376918	3983988	327525
54138	4	firms	4224	391	1488	790	578	3247	721	160	4128	96	4115	295	1502	796	569	3162	703	147	4012	103	4040	303	1453	770	590	3116	684	145	3945	95	4244	344	1566	819	606	3335	666	142	4143	101	4708	440	1846	872	617	3775	680	148	4603	105
54138	4	estab.	5615	391	1491	798	603	3283	971	475	4729	886	5557	300	1506	806	590	3202	946	451	4599	958	5318	308	1456	777	615	3156	925	448	4529	789	5474	346	1571	826	628	3371	889	444	4704	770	5962	441	1847	881	643	3812	972	488	5272	690
54138	4	empl.	89998	0	3397	5242	7696	16335	25347	19498	61180	28818	88014	0	3330	5276	7643	16249	25060	17876	59185	28829	89887	0	3259	5114	7975	16348	25478	18159	59985	29902	98422	0	3467	5403	8314	17184	25411	19345	61940	36482	100797	0	4110	5833	8472	18415	25714	19918	64047	36750
54138	4	ann. pay.	3234837	18971	102637	164753	252670	539031	879949	692907	2111887	1122950	3345179	13956	105186	172800	253232	545174	902083	671529	2118786	1226393	3605567	15251	106130	174251	283388	579020	966164	719598	2264782	1340785	4216324	26191	124898	189584	304870	645543	1016432	780837	2442812	1773512	4403713	24899	145589	210351	326831	707670	1051528	836893	2596091	1807622
54138	4	rec.																																									10285091	80560	435621	528199	786993	1831373	2397111	1813906	6042390	4242701
54141	4	firms	10132	1844	6241	1260	514	9859	234	23	10116	16	10162	1586	6339	1363	562	9850	266	29	10145	17	10376	1671	6296	1463	603	10033	298	27	10358	18	10823	1726	6676	1472	592	10466	312	28	10806	17	11132	1939	7042	1391	501	10873	216	25	11114	18
54141	4	estab.	10195	1845	6242	1268	525	9880	249	45	10174	21	10220	1587	6340	1371	573	9871	281	49	10201	19	10440	1672	6297	1471	615	10055	311	50	10416	24	10889	1728	6678	1480	603	10489	324	54	10867	22	11217	1939	7042	1399	526	10906	235	53	11194	23
54141	4	empl.	36714	0	12083	8073	6664	26820	7269	1799	35888	826	40683	0	12400	8694	7345	28439	8556	2936	39931	752	44206	0	12490	9350	7936	29776	9884	2504	42164	2042	46486	0	13045	9416	7742	30203	10347	2829	43379	3107	39536	0	13576	8927	6578	29081	6846	2042	37969	1567
54141	4	ann. pay.	1263331	58656	318356	227473	244198	848683	283426	84801	1216910	46421	1451607	50014	346478	271815	270273	938580	326809	133484	1398873	52734	1669778	50714	369726	307096	317728	1045264	393237	144382	1582883	86895	1756820	55124	389610	308105	296476	1049315	414069	118292	1581676	175144	1485396	52440	394380	308611	273183	1028614	294831	99372	1422817	62579
54141	4	rec.																																									7035892	407646	2802981	1515095	1079114	5804836	869500	221318	6895654	140238
54142	4	firms	1453	288	729	184	113	1314	106	15	1435	18	1380	222	736	168	128	1254	95	15	1364	16	1388	257	691	191	116	1255	101	17	1373	15	1392	238	694	210	117	1259	97	20	1376	16	1605	289	866	213	115	1483	86	18	1587	18
54142	4	estab.	1489	288	731	185	115	1319	115	19	1453	36	1418	222	736	169	130	1257	103	19	1379	39	1427	257	691	192	118	1258	109	22	1389	38	1428	238	694	213	117	1262	105	25	1392	36	1644	289	866	216	118	1489	100	23	1612	32
54142	4	empl.	14366	0	1373	1227	1475	4075	3822	1355	9252	5114	14009	0	1401	1114	1681	4196	3467	[g]	[i]	[i]	13898	0	1338	1262	1537	4137	3819	         [g]	         [i]	         [h]	14307	0	1349	1397	1564	4310	         [h]	         [g]	10535	3772	12720	0	1605	1425	1543	4573	2972	1315	8860	3860
54142	4	ann. pay.	676874	17348	52522	51492	60185	181547	170758	66036	418341	258533	622551	8422	56492	49619	76399	190932	162491	(D)	(D)	(D)	689546	9820	58983	60095	73370	202268	184963	         (D)	         (D)	         (D)	678356	10838	55540	62196	76514	205088	         (D)	         (D)	481264	197092	657113	12556	67866	67216	73513	221151	156171	62739	440061	217052
54142	4	rec.																																									2055079	52375	235250	218740	169848	676213	398421	193624	1268258	786821
54143	4	firms	14952	2378	8914	2140	977	14409	460	44	14913	39	15208	2293	9118	2236	1005	14652	477	46	15175	33	15265	2413	8933	2271	1018	14635	549	48	15232	33	15576	2335	9177	2315	1121	14948	541	52	15541	35	15952	2661	9662	2148	964	15435	434	52	15921	31
54143	4	estab.	15063	2378	8919	2147	994	14438	499	62	14999	64	15329	2303	9120	2246	1019	14688	519	54	15261	68	15383	2413	8934	2280	1032	14659	592	64	15315	68	15705	2335	9179	2323	1139	14976	571	86	15633	72	16102	2661	9667	2154	981	15463	493	84	16040	62
54143	4	empl.	68785	0	17308	13779	12781	43868	15328	4343	63539	5246	69937	0	17419	14361	13332	45112	16353	4639	66104	3833	74882	0	17220	14711	13420	45351	19007	5515	69873	5009	78739	0	17568	14924	14756	47248	19206	6137	72591	6148	69597	0	18378	13899	12630	44907	14936	4242	64085	5512
54143	4	ann. pay.	2792839	76133	549114	512093	544088	1681428	694077	185347	2560852	231987	3075241	142885	575491	546117	598406	1862899	788814	198345	2850058	225183	3428453	81271	588109	600639	630186	1900205	980703	237427	3118335	310118	3359301	79127	574908	578341	639725	1872101	920127	301632	3093860	265441	3205643	80387	585580	563244	579875	1809086	755083	240557	2804726	400917
54143	4	rec.																																									9412475	352638	2240237	1684932	1607546	5885353	1928502	596492	8410347	1002128
54149	4	firms	1069	287	562	121	58	1028	32	4	1064	5	1130	222	653	153	52	1080	38	7	1125	5	1171	239	660	137	79	1115	47	3	1165	6	1282	259	711	155	98	1223	50	2	1275	7	1740	369	1043	175	88	1675	54	4	1733	7
54149	4	estab.	1070	287	562	121	58	1028	33	4	1065	5	1130	222	653	153	52	1080	38	7	1125	5	1172	239	660	137	79	1115	47	4	1166	6	1283	259	711	155	98	1223	50	2	1275	8	1748	369	1043	176	89	1677	59	4	1740	8
54149	4	empl.	4815	0	1015	787	791	2593	1154	1043	4790	25	6505	0	1175	1051	679	2905	1206	[g]	[i]	[g]	6740	0	1236	895	1036	3167	1470	         [e]	         [i]	         [g]	8240	0	1307	1028	1304	3639	         [g]	         [e]	5437	2803	9693	0	1862	1098	1171	4131	1666	127	5924	3769
54149	4	ann. pay.	164640	10967	35257	22297	29580	98101	35820	29064	162985	1655	212720	9030	39096	30700	25901	104727	38881	(D)	(D)	(D)	258580	10409	52985	25834	40021	129249	54895	         (D)	         (D)	         (D)	293613	9726	43183	26419	34949	114277	         (D)	         (D)	194728	98885	336954	17194	58683	33842	35193	144912	79068	5078	229058	107896
54149	4	rec.																																									1095124	86069	302635	143333	121900	653937	213382	7558	874877	220247
54151	4	firms	78806	19487	40872	7980	4641	72980	4320	995	78295	511	85437	18616	46116	8865	5161	78758	5037	1074	84869	568	90776	20154	47134	9778	5920	82986	5954	1243	90183	593	91329	17621	49373	9795	6225	83014	6298	1404	90716	613	92606	19363	50963	9245	5860	85431	5442	1151	92024	582
54151	4	estab.	85535	19494	40905	8047	4789	73235	5093	2175	80503	5032	93798	18665	46157	8927	5276	79025	5717	2223	86965	6833	100144	20169	47172	9859	6038	83238	6592	2536	92366	7778	100852	17628	49427	9861	6349	83265	6901	2673	92839	8013	102872	19378	50999	9324	6082	85783	6574	2615	94972	7900
54151	4	empl.	873455	0	71115	51933	62240	185288	169543	148219	503050	370405	1013049	0	80216	57884	69174	207274	197199	170401	574874	438175	1171236	0	82906	63924	79890	226720	235097	204851	666668	504568	1254805	0	87354	63748	84216	235318	250035	233818	719171	535634	1089497	0	89294	60844	79034	229172	209662	178305	617139	472358
54151	4	ann. pay.	54755626	1245583	3680592	2605362	3527753	11059290	10899080	9501034	31459404	23296222	66314054	1255503	4287669	3117209	4145182	12805563	13259046	11698519	37763128	28550926	85302825	1865174	4441154	3441860	4899863	14648051	16899789	16606593	48154433	37148392	84675882	1358280	4398639	3196610	4916504	13870033	16345995	16722741	46938769	37737113	73836091	1084507	4368145	3220214	4734362	13407228	14597226	13041457	41045911	32790180
54151	4	rec.																																									181779719	3235834	11861613	8046415	10969308	34113170	30648397	28278188	93039755	88739964
54161	4	firms	62629	14425	34761	6359	3285	58830	2620	676	62126	503	64657	15265	35640	6389	3370	60664	2790	671	64125	532	69271	17157	37504	6717	3672	65050	2932	727	68709	562	77269	18906	42551	7289	4005	72751	3231	722	76704	565	87694	21961	49435	7861	3956	83213	3120	770	87103	591
54161	4	estab.	65691	14437	34803	6421	3445	59106	3230	1131	63467	2224	68241	15293	35683	6445	3542	60963	3249	1173	65385	2856	73197	17194	37548	6777	3818	65337	3363	1274	69974	3223	81574	18937	42592	7348	4160	73037	3637	1262	77936	3638	92713	21966	49464	7970	4193	83593	3895	1641	89129	3584
54161	4	empl.	487590	0	62227	41038	43580	146845	95076	77029	318950	168640	539209	0	63523	41360	44574	149457	102037	76967	328461	210748	586056	0	66516	43154	48314	157984	109041	87419	354444	231612	669823	0	75209	47031	53016	175256	121871	89663	386790	283033	685341	0	87499	50607	52029	190135	111855	90345	392335	293006
54161	4	ann. pay.	28436637	838294	3177360	2197554	2438571	8651779	4927167	3668725	17247671	11188966	32717119	867827	3325708	2245017	2583449	9022001	5603747	3606573	18232321	14484798	37501811	1135900	3626506	2449476	2953033	10164915	6548993	4217342	20931250	16570561	40121050	1041965	3822437	2498922	2988094	10351418	6619019	4457054	21427491	18693559	42150278	1342102	4194566	2646980	2950293	11133941	6095771	4665732	21895444	20254834
54161	4	rec.																																									111798746	4418057	13254438	7187227	7755192	32614914	15217126	11128846	58960886	52837860
54162	4	firms	6285	890	3257	1014	631	5792	384	58	6234	51	6540	1131	3302	944	643	6020	407	61	6488	52	7002	1298	3518	1009	633	6458	428	66	6952	50	7463	1372	3751	1067	673	6863	478	71	7412	51	7853	1414	3961	1119	709	7203	522	73	7798	55
54162	4	estab.	6913	891	3261	1023	658	5833	532	248	6613	300	7239	1133	3305	959	667	6064	570	265	6899	340	7654	1299	3523	1018	666	6506	559	288	7353	301	8218	1372	3756	1081	691	6900	636	340	7876	342	8855	1414	3966	1134	789	7303	806	350	8459	396
54162	4	empl.	48627	0	6482	6576	8320	21378	12826	5925	40129	8498	51329	0	6451	6226	8593	21270	13464	6831	41565	9764	54230	0	6795	6635	8432	21862	14538	8400	44800	9430	59009	0	7238	6980	8899	23117	16864	10057	50038	8971	62554	0	7751	7356	9418	24525	18037	9654	52216	10338
54162	4	ann. pay.	2040495	31189	222987	242239	318773	815188	531380	294905	1641473	399022	2284608	78772	237341	231993	341453	889559	575640	317161	1782360	502248	2537341	65288	271276	267512	359306	963382	647163	402417	2012962	524379	2804661	55953	292254	298848	381877	1028932	781999	484453	2295384	509277	3063664	65695	303080	337448	424965	1131188	849865	504163	2485216	578448
54162	4	rec.																																									7791713	233474	997397	914831	1071677	3217379	2052658	1154166	6424203	1367510
54169	4	firms	14745	3840	8536	1240	561	14177	408	77	14662	83	14977	3660	8794	1328	614	14396	428	72	14896	81	15838	3983	9168	1390	680	15221	476	74	15771	67	17426	4477	9963	1558	738	16736	536	91	17363	63	14926	4438	7873	1299	671	14281	475	95	14851	75
54169	4	estab.	15127	3840	8541	1261	592	14234	536	162	14932	195	15397	3665	8802	1342	643	14452	552	152	15156	241	16258	3984	9177	1400	711	15272	589	137	15998	260	17867	4478	9972	1575	771	16796	648	166	17610	257	15440	4448	7880	1309	737	14374	611	205	15190	250
54169	4	empl.	65274	0	14638	7895	7424	29957	14040	9666	53663	11611	67949	0	15217	8533	8047	31797	14535	8335	54667	13282	71325	0	15974	8890	8960	33824	16196	9747	59767	11558	77272	0	17510	10093	9720	37323	19116	12523	68962	8310	72544	0	13924	8463	8834	31221	16299	11437	58957	13587
54169	4	ann. pay.	3364375	162168	619274	353072	354366	1488880	735879	475302	2700061	664314	3583370	205729	660644	410305	387900	1664578	740747	421221	2826546	756824	4170545	202212	794821	467329	473756	1938118	874429	633199	3445746	724799	4418944	195287	813691	496204	517497	2022679	1064355	766981	3854015	564929	4354309	222970	647827	442679	484938	1798414	940874	706991	3446279	908030
54169	4	rec.																																									11233294	728988	2035900	1158659	1191715	5115262	2278674	1557972	8951908	2281386
54171	4	firms	8049	1179	3142	1239	892	6452	1026	343	7821	228	8153	1083	3228	1256	870	6437	1122	344	7903	250	8524	1292	3220	1303	918	6733	1167	348	8248	276	9202	1293	3516	1408	1012	7229	1249	427	8905	297	9339	1392	3657	1271	979	7299	1234	457	8990	349
54171	4	estab.	9652	1182	3142	1248	917	6489	1252	672	8413	1239	9988	1097	3232	1268	892	6489	1328	706	8523	1465	10518	1301	3223	1316	956	6796	1358	729	8883	1635	11299	1296	3523	1429	1039	7287	1443	820	9550	1749	11605	1392	3666	1281	1038	7377	1522	852	9751	1854
54171	4	empl.	275141	0	6480	8193	11971	26644	41323	53604	121571	153570	301353	0	6816	8328	11689	26833	46048	54665	127546	173807	319453	0	6743	8660	12367	27770	49062	56611	133443	186010	343690	0	7279	9356	13645	30280	51010	70560	151850	191840	355085	0	7462	8318	13112	28892	51070	74234	154196	200889
54171	4	ann. pay.	15282308	103633	299809	402307	620512	1426261	2370431	3001877	6798569	8483739	18250780	88237	338208	416211	640485	1483141	2738470	3463585	7685196	10565584	23266511	157633	354449	468626	739456	1720164	3458129	5306485	10484778	12781733	22927878	142671	382015	517114	831200	1873000	3501475	5359910	10734385	12193493	23475312	156122	394305	458228	796413	1805068	3495476	5270714	10571258	12904054
54171	4	rec.																																									55779326	450139	1280900	1235530	2106331	5072900	8047974	12083404	25204278	30575048
54172	4	firms	1856	228	838	288	188	1542	207	77	1826	30	1883	216	832	296	206	1550	230	67	1847	36	1925	234	817	322	209	1582	234	71	1887	38	2015	211	882	342	213	1648	256	74	1978	37	2100	276	925	323	210	1734	249	80	2063	37
54172	4	estab.	2037	228	840	294	194	1556	257	151	1964	73	2100	216	835	298	214	1563	293	105	1961	139	2122	234	819	325	215	1593	275	119	1987	135	2215	211	886	344	221	1662	301	126	2089	126	2339	276	929	325	223	1753	314	144	2211	128
54172	4	empl.	34710	0	1703	1828	2499	6030	7536	10307	23873	10837	36993	0	1672	1923	2710	6305	8698	9337	24340	12653	39644	0	1644	2088	2736	6468	8719	10678	25865	13779	43377	0	1745	2278	2763	6786	10016	11018	27820	15557	44128	0	1862	2121	2794	6777	9881	10702	27360	16768
54172	4	ann. pay.	1520776	16509	62760	74795	114794	268858	317075	432943	1018876	501900	1667034	11421	72655	76019	122560	282655	381567	395145	1059367	607667	1994096	26374	66741	97658	121942	312715	404510	577166	1294391	699705	2162711	19423	72544	102924	130953	325844	493029	504067	1322940	839771	2216772	18767	77708	93365	139817	329657	488237	481532	1299426	917346
54172	4	rec.																																									6703036	67713	282143	271983	392924	1014763	1309228	1312203	3636194	3066842
54181	4	firms	12824	1935	6257	2224	1281	11697	938	117	12752	72	13017	1905	6452	2135	1351	11843	983	121	12947	70	12977	1914	6298	2160	1358	11730	1048	125	12903	74	13027	1807	6458	2177	1324	11766	1063	126	12955	72	10982	1862	5077	1786	1143	9868	934	112	10914	68
54181	4	estab.	13635	1935	6259	2229	1293	11716	1037	298	13051	584	13833	1910	6453	2142	1364	11869	1080	269	13218	615	13866	1916	6300	2170	1369	11755	1150	259	13164	702	13960	1807	6458	2185	1336	11786	1141	277	13204	756	12002	1862	5077	1791	1166	9896	1063	272	11231	771
54181	4	empl.	147108	0	12467	14626	17121	44214	34405	16603	95222	51886	153124	0	12936	14062	18042	45040	36745	17372	99157	53967	167215	0	12642	14297	17996	44935	39025	18825	102785	64430	172115	0	12901	14429	17825	45155	39763	19411	104329	67786	149054	0	10238	11842	15339	37419	34219	15373	87011	62043
54181	4	ann. pay.	8472136	103719	461061	603882	803843	1972505	1832351	966646	4771502	3700634	8992608	105615	489220	608027	861546	2064408	2059538	1041003	5164949	3827659	10473964	110868	489484	647670	925336	2173358	2265183	1177704	5616245	4857719	10167913	93804	498390	606542	938564	2137300	2210299	1067018	5414617	4753296	9310462	111040	396948	518583	805669	1832240	2022744	1004500	4859484	4450978
54181	4	rec.																																									20179500	329882	1115777	1439355	2064713	4949727	4464987	1841229	11255943	8923557
54182	4	firms	6253	817	3740	920	432	5909	276	43	6228	25	6084	696	3679	916	440	5731	292	35	6058	26	5923	695	3483	906	449	5533	317	46	5896	27	6038	719	3472	981	464	5636	336	39	6011	27	6130	816	3584	939	459	5798	264	37	6099	31
54182	4	estab.	6580	818	3745	930	460	5953	376	87	6416	164	6399	700	3683	924	463	5770	387	69	6226	173	6273	697	3488	917	468	5570	403	84	6057	216	6439	719	3475	988	485	5667	422	69	6158	281	6547	816	3585	954	499	5854	346	91	6291	256
54182	4	empl.	42377	0	7299	5956	5823	19078	9484	4555	33117	9260	44063	0	7189	5866	5800	18855	10339	3933	33127	10936	52253	0	6835	5881	5966	18682	11507	5561	35750	16503	52984	0	6732	6372	6175	19279	12365	4565	36209	16775	45853	0	6908	6098	6065	19071	9211	3685	31967	13886
54182	4	ann. pay.	2369622	31884	327510	286240	304263	949897	541570	254318	1745785	623837	2625643	31685	329721	288490	340981	990877	638704	238194	1867775	757868	3132646	33305	324188	321227	386167	1064887	755511	315400	2135798	996848	3188494	35738	320908	331486	376861	1064993	749085	262654	2076732	1111762	2968802	40383	327719	344302	380067	1092471	619455	216811	1928737	1040065
54182	4	rec.																																									6798910	135924	1034429	960045	827551	2957949	1307909	470232	4736090	2062820
54183	4	firms	766	98	389	126	65	678	57	19	754	12	785	104	406	120	61	691	60	22	773	12	813	109	422	131	64	726	54	22	802	11	808	116	408	124	74	722	57	17	796	12	895	125	473	151	74	823	47	12	882	13
54183	4	estab.	890	98	390	127	67	682	90	36	808	82	900	104	407	120	64	695	66	61	822	78	931	110	423	131	67	731	59	63	853	78	937	117	409	124	77	727	61	52	840	97	1002	125	473	154	77	829	54	35	918	84
54183	4	empl.	8957	0	793	817	843	2453	2266	1930	6649	2308	9238	0	860	790	814	2464	2477	1896	6837	2401	9780	0	835	850	839	2524	2142	2159	6825	2955	10507	0	817	811	960	2588	2265	1905	6758	3749	9963	0	964	981	978	2923	1900	1910	6733	3230
54183	4	ann. pay.	491977	5740	38536	50515	53321	148112	151805	97785	397702	94275	558915	5495	39376	49412	52565	146848	181591	123147	451586	107329	626943	8761	39764	47615	61204	157344	158246	144600	460190	166753	658212	8676	41864	49392	63826	163758	154223	133202	451183	207029	642630	8445	50953	58382	77064	194844	124196	149828	468868	173762
54183	4	rec.																																									1361024	28850	166369	158668	153358	507245	253538	316167	1076950	284074
54184	4	firms	2112	270	1033	358	227	1888	146	28	2062	50	2137	296	1048	361	194	1899	155	33	2087	50	2193	325	1044	355	221	1945	160	34	2139	54	2151	254	1089	360	191	1894	164	38	2096	55	2140	289	1081	349	196	1915	137	41	2093	47
54184	4	estab.	2731	270	1036	363	253	1922	214	76	2212	519	2715	298	1052	365	217	1932	196	76	2204	511	2758	325	1047	360	246	1978	200	77	2255	503	2798	254	1091	370	208	1923	199	98	2220	578	2810	289	1081	359	218	1947	187	115	2249	561
54184	4	empl.	30625	0	2075	2363	3037	7475	5310	2172	14957	15668	31339	0	2093	2380	2563	7036	5603	2862	15501	15838	35959	0	2026	2346	2859	7231	5700	4454	17385	18574	35816	0	2161	2426	2512	7099	5804	4595	17498	18318	33451	0	2162	2302	2553	7017	4975	3881	15873	17578
54184	4	ann. pay.	1277940	16982	98317	91953	108125	315377	217495	81777	614649	663291	1372935	33335	88507	107865	97340	327047	231074	160911	719032	653903	1782678	31937	96743	117144	124216	370040	251205	333978	955223	827455	1715560	15011	93830	113029	99827	321697	249346	248156	819199	896361	1655924	18843	90669	109491	109632	328635	201262	241738	771635	884289
54184	4	rec.																																									7318923	81464	408522	406546	325876	1222408	538947	606137	2367492	4951431
54185	4	firms	1862	248	966	279	188	1681	136	21	1838	24	1873	274	982	276	166	1698	128	22	1848	25	1870	302	933	273	192	1700	127	20	1847	23	1820	246	954	291	161	1652	124	23	1799	21	2012	291	1111	282	156	1840	132	19	1991	21
54185	4	estab.	2222	248	967	283	195	1693	165	62	1920	302	2276	274	982	281	175	1712	150	41	1903	373	2335	302	933	274	202	1711	144	40	1895	440	2210	246	955	295	170	1666	139	45	1850	360	2417	291	1112	286	166	1855	162	42	2059	358
54185	4	empl.	41804	0	1877	1840	2485	6202	4580	2648	13430	28374	43516	0	1904	1900	2151	5955	4379	3104	13438	30078	45148	0	1807	1805	2491	6103	4481	3065	13649	31499	32612	0	1879	1922	2118	5919	4265	3170	13354	19258	24223	0	2095	1891	2025	6011	4674	2473	13158	11065
54185	4	ann. pay.	949302	11964	57454	62683	90492	222593	164056	82607	469256	480046	1025612	15412	69608	64568	81442	231030	151480	98030	480540	545072	1126443	14351	66857	71926	97846	250980	181383	105925	538288	588155	952530	11129	68944	75873	95197	251143	179916	100572	531631	420899	894427	14162	74476	70573	82787	241998	185754	79764	507516	386911
54185	4	rec.																																									4315985	72987	410340	276764	292889	1052980	650483	322842	2026305	2289680
54186	4	firms	3566	453	1304	563	477	2797	577	133	3507	59	3669	313	1434	606	518	2871	605	128	3604	65	3270	301	1247	534	453	2535	550	121	3206	64	3132	270	1163	558	421	2412	538	115	3065	67	3357	248	1377	587	448	2660	532	101	3293	64
54186	4	estab.	3770	453	1305	565	483	2806	602	163	3571	199	3897	313	1434	608	526	2881	638	161	3680	217	3491	301	1247	534	458	2540	581	157	3278	213	3359	270	1163	558	427	2418	573	138	3129	230	3602	248	1378	590	455	2671	579	142	3392	210
54186	4	empl.	85988	0	2790	3704	6411	12905	22913	22613	58431	27557	90044	0	3063	4097	7067	14227	24312	21398	59937	30107	85472	0	2649	3559	6127	12335	21897	19676	53908	31564	84766	0	2399	3752	5838	11989	22019	19464	53472	31294	78619	0	2943	3878	5997	12818	21600	17089	51507	27112
54186	4	ann. pay.	2742321	22864	90487	110818	191931	416100	641098	608204	1665402	1076919	3070984	21331	101904	134644	238203	496082	717706	610532	1824320	1246664	3226674	27158	94238	123573	191454	436423	723481	586406	1746310	1480364	3035504	18626	84049	125815	193298	421788	748067	588881	1758736	1276768	2875814	24756	108877	138619	223281	495533	727457	548521	1771511	1104303
54186	4	rec.																																									10561103	108793	646961	686706	881236	2323696	2293903	1519698	6137297	4423806
54187	4	firms	500	79	241	62	50	432	38	14	484	16	513	73	263	73	40	449	34	16	499	14	499	77	255	65	37	434	35	16	485	14	583	92	305	73	49	519	36	13	568	15	647	119	340	80	38	577	39	15	631	16
54187	4	estab.	573	79	241	62	50	432	43	30	505	68	580	73	263	73	40	449	34	35	518	62	564	77	255	65	37	434	35	34	503	61	648	92	305	73	49	519	36	31	586	62	721	119	340	80	39	578	46	66	690	31
54187	4	empl.	9363	0	495	402	676	1573	1632	2252	5457	3906	6591	0	513	479	542	1534	1378	2308	5220	1371	6534	0	525	434	471	1430	1589	2117	5136	1398	7000	0	633	476	667	1776	1576	2055	5407	1593	6291	0	650	529	490	1669	1549	1750	4968	1323
54187	4	ann. pay.	222800	1982	13913	11813	16429	44137	40111	51947	136195	86605	192500	4969	14727	15029	15896	50621	33023	61403	145047	47453	199945	7462	14770	13444	17712	53388	35423	62485	151296	48649	210772	2374	20630	13633	19155	55792	40849	65583	162224	48548	238451	4399	19836	16195	17096	57526	49582	86499	193607	44844
54187	4	rec.																																									873559	30992	110739	71963	93935	307629	192447	257475	757551	116008
54189	4	firms	9175	1218	5368	1448	608	8642	416	70	9128	47	9114	1115	5319	1494	647	8575	429	67	9071	43	9012	1154	5112	1507	684	8457	444	59	8960	52	8675	1014	4973	1461	656	8104	464	64	8632	43	8430	926	5029	1342	642	7939	395	59	8393	37
54189	4	estab.	9510	1218	5368	1454	634	8674	496	160	9330	180	9452	1117	5319	1497	675	8608	505	165	9278	174	9314	1158	5112	1517	704	8491	509	124	9124	190	8939	1014	4976	1470	676	8136	523	118	8777	162	8829	926	5030	1351	667	7974	473	107	8554	275
54189	4	empl.	64447	0	11023	9273	7892	28188	14014	9255	51457	12990	65337	0	11067	9513	8391	28971	14693	8923	52587	12750	69951	0	10624	9711	8893	29228	15782	8769	53779	16172	68443	0	10312	9449	8471	28232	16085	9256	53573	14870	64365	0	10471	8619	8401	27491	13667	9315	50473	13892
54189	4	ann. pay.	1893459	42094	283612	259693	248249	833648	448280	230886	1512814	380645	2012187	39603	303662	278183	278284	899732	460511	258590	1618833	393354	2338146	53746	309504	299326	313102	975678	550094	309011	1834783	503363	2338129	44879	305773	282072	297867	930591	581092	291194	1802877	535252	1888600	29069	282347	261588	297276	870280	489490	227242	1587012	301588
54189	4	rec.																																									8991987	183363	1780206	1331805	1357334	4652708	2146218	891074	7690000	1301987
54191	4	firms	3408	479	1354	445	345	2623	566	147	3336	72	3446	492	1376	443	357	2668	564	148	3380	66	3542	524	1447	439	364	2774	551	155	3480	62	3516	485	1468	480	335	2768	537	153	3458	58	4365	770	1942	515	387	3614	537	149	4300	65
54191	4	estab.	4247	479	1356	448	357	2640	663	358	3661	586	4300	492	1378	448	365	2683	664	364	3711	589	4427	524	1449	445	383	2801	636	369	3806	621	4321	485	1470	491	353	2799	630	306	3735	586	5193	770	1945	530	409	3654	658	335	4647	546
54191	4	empl.	118328	0	2630	2951	4711	10292	25068	28429	63789	54539	120417	0	2634	2909	4933	10476	23918	27847	62241	58176	118400	0	2766	2901	4974	10641	23553	29407	63601	54799	113038	0	2790	3206	4611	10607	22623	27660	60890	52148	114827	0	3720	3395	5153	12268	22022	28656	62946	51881
54191	4	ann. pay.	3448761	32056	138301	127152	184185	481694	641310	571831	1694835	1753926	3673290	26546	147289	129795	186505	490135	667376	624987	1782498	1890792	4019141	33664	150429	139779	201318	525190	712842	732097	1970129	2049012	4438343	31131	151832	144073	194405	521441	747452	680058	1948951	2489392	4077541	43322	191944	201329	199379	635974	727726	707415	2071115	2006426
54191	4	rec.																																									11379034	169086	670297	503887	632995	1976265	1940318	1604317	5520900	5858134
54192	4	firms	13051	1862	8579	1600	571	12612	364	52	13028	23	13223	1905	8685	1610	589	12789	369	44	13202	21	13190	1833	8606	1715	601	12755	364	49	13168	22	13379	1927	8702	1681	648	12958	360	40	13358	21	12831	1856	8433	1552	599	12440	336	33	12809	22
54192	4	estab.	18328	1864	8592	1632	607	12695	570	354	13619	4709	18344	1908	8704	1636	635	12883	579	327	13789	4555	18426	1834	8621	1753	633	12841	518	514	13873	4553	18758	1928	8723	1709	697	13057	492	421	13970	4788	18186	1857	8440	1574	647	12518	487	170	13175	5011
54192	4	empl.	80955	0	16369	10133	7487	33989	12974	6752	53715	27240	75827	0	16627	10154	7626	34407	13191	[i]	[l]	[j]	77910	0	16590	10818	7800	35208	12858	6865	54931	22979	81903	0	16726	10642	8444	35812	13154	         [i]	         [l]	         [k]	79315	0	16417	9829	7726	33972	12014	4906	50892	28423
54192	4	ann. pay.	1598665	41344	355906	220386	163169	780805	294320	136932	1212057	386608	1641363	52197	381894	213596	178250	825937	308816	(D)	(D)	(D)	1764055	53357	389289	241514	191827	875987	323651	182462	1382100	381955	1842995	53096	393628	232007	212221	890952	321176	         (D)	         (D)	         (D)	1700844	46066	365738	223942	186306	822052	317229	103808	1243089	457755
54192	4	rec.																																									6575836	237952	1736274	796727	615166	3386119	942940	309707	4638766	1937070
54193	4	firms	1046	189	603	125	66	983	55	7	1045	1	1078	182	626	124	76	1008	62	7	1077	1	1146	198	669	123	80	1070	64	8	1142	4	1204	228	689	127	80	1124	67	9	1200	4	1506	309	883	154	88	1434	60	7	1501	5
54193	4	estab.	1049	189	604	125	67	985	55	8	1048	1	1081	182	627	124	77	1010	62	8	1080	1	1152	198	670	123	81	1072	64	9	1145	7	1220	228	689	128	81	1126	67	19	1212	8	1605	309	883	154	91	1437	62	11	1510	95
54193	4	empl.	5936	0	1129	819	894	2842	2051	         [f]	         [i]	         [b]	6320	0	1148	810	993	2951	2332	[f]	[i]	[b]	6710	0	1226	776	1044	3046	2240	1104	6390	320	8298	0	1257	816	1070	3143	2689	         [g]	         [i]	         [g]	8339	0	1533	1014	1150	3697	2188	716	6601	1738
54193	4	ann. pay.	184499	6034	27975	22619	27099	83727	68901	         (D)	         (D)	         (D)	194986	4763	29546	23554	31487	89350	76353	(D)	(D)	(D)	241595	6776	33067	24311	37802	101956	90728	32341	225025	16570	278777	5560	34708	27651	33517	101436	92213	         (D)	         (D)	         (D)	287531	7125	41137	33578	40000	121840	79369	30802	232011	55520
54193	4	rec.																																									900158	29578	169574	113071	128561	440784	214796	88796	744376	155782
54194	4	firms	23573	1331	7683	7574	5360	21948	1599	19	23566	7	23705	1218	7551	7521	5549	21839	1840	18	23697	8	23993	1383	7161	7537	5866	21947	2012	25	23984	9	24460	1356	7192	7494	6134	22176	2241	33	24450	10	24598	1352	7250	7291	6214	22107	2448	30	24585	13
54194	4	estab.	23970	1331	7684	7576	5365	21956	1631	34	23621	349	24125	1218	7554	7524	5551	21847	1869	31	23747	378	24510	1383	7163	7538	5874	21958	2047	38	24043	467	25000	1358	7194	7496	6145	22193	2279	46	24518	482	25601	1352	7251	7304	6302	22209	2756	70	25035	566
54194	4	empl.	195708	0	19054	51460	70621	141135	45382	3135	189652	6056	205537	0	18616	51190	73307	143113	53254	2755	199122	6415	219868	0	17561	51431	78134	147126	58871	3741	209738	10130	231862	0	17738	51161	81619	150518	66215	5088	221821	10041	241631	0	17939	49964	83131	151034	72388	4631	228053	13578
54194	4	ann. pay.	3977829	51405	334200	917315	1432849	2735769	993620	83309	3812698	165131	4320940	54480	347215	944416	1523004	2869115	1191335	77612	4138062	182878	4819590	65010	338324	979875	1673707	3056916	1387084	108061	4552061	267529	5288469	66825	369243	1015090	1821320	3272478	1588590	150596	5011664	276805	5773930	66827	406561	1028576	1936527	3438491	1809060	163584	5411135	362795
54194	4	rec.																																									16999832	269552	1936899	3617871	5331919	11156241	4247170	382881	15786292	1213540
54199	4	firms	7744	3213	3354	638	294	7499	189	33	7721	23	11624	4849	4972	1001	436	11258	296	41	11595	29	16452	6143	7634	1445	704	15926	429	59	16414	38	13832	4221	7015	1349	676	13261	462	65	13788	44	21193	7154	9287	2392	1262	20095	894	132	21121	72
54199	4	estab.	8050	3213	3354	638	302	7507	253	105	7865	185	12128	4849	4972	1001	442	11264	365	95	11724	404	16961	6145	7634	1445	710	15934	479	119	16532	429	14341	4224	7015	1349	690	13278	518	128	13924	417	21718	7154	9287	2392	1276	20109	1037	213	21359	359
54199	4	empl.	29803	0	6019	4086	3739	13844	6319	         [h]	         [j]	         [i]	51354	0	8865	6459	5812	21136	10156	5891	37183	14171	72834	0	13825	9321	9361	32507	14996	7485	54988	17846	74017	0	12621	8653	8971	30245	16461	8959	55665	18352	132920	0	17922	15647	16670	50239	31852	20267	102358	30562
54199	4	ann. pay.	1062341	116553	176241	109354	104340	506488	214840	         (D)	         (D)	         (D)	1720516	215378	277365	174544	153792	821079	308701	200606	1330386	390130	2829383	322662	460998	304155	306416	1394231	557832	293328	2245391	583992	2842894	158878	418318	278244	280282	1135722	597991	332082	2065795	777099	5166643	274522	652335	585777	591275	2103909	1165226	707115	3976250	1190393
54199	4	rec.																																									17833428	1165129	2817020	2058468	1949661	7990278	3201602	1587791	12779671	5053757
55111	4	firms	26419	1418	3223	774	1080	6495	5785	7577	19857	6562	26873	1394	3742	841	1149	7126	5527	7607	20260	6613	26762	1245	3988	877	1152	7262	5340	7489	20091	6671	26794	1197	3927	912	1151	7187	5258	7651	20096	6698	28229	1033	3906	899	1296	7134	6043	8328	21505	6724
55111	4	estab.	43681	1422	3231	792	1106	6551	6056	8616	21223	22458	46528	1398	3758	856	1162	7174	5740	8665	21579	24949	47387	1252	4004	887	1179	7322	5535	8487	21344	26043	47559	1199	3941	922	1171	7233	5479	8678	21390	26169	49383	1033	3925	924	1354	7236	6337	9401	22974	26409
55111	4	empl.	2703799	0	5276	3834	6961	16071	66261	221967	304299	2399500	2788276	0	5783	4262	7538	17583	66178	229905	313666	2474610	2873521	0	6314	4452	8114	18880	66768	221993	307641	2565880	2879223	0	6274	4542	8138	18954	69003	237516	325473	2553750	2913798	0	6458	4618	8981	20057	76984	280390	377431	2536367
55111	4	ann. pay.	175648657	290881	251821	221965	375672	1140339	2982466	10857683	14980488	160668169	192378035	422066	259826	291846	435004	1408742	3157343	11834393	16400478	175977557	211361063	519510	339608	386622	504106	1749846	3369774	11775224	16894844	194466219	213123787	446687	426315	346706	459269	1678977	3506076	12782834	17967887	195155900	204802311	167800	312772	292588	552850	1326010	3878867	14690143	19895020	184907291
55111	4	rec.																																									312884523	1773283	5082714	2084373	1871898	10812268	9473077	27879680	48165025	264719498
56111	4	firms	23118	3861	9533	3354	2217	18965	2407	1012	22384	734	23853	3865	9953	3332	2308	19458	2600	1026	23084	769	25021	4002	10301	3496	2473	20272	2866	1072	24210	811	27415	4849	11233	3818	2622	22522	3028	1091	26641	774	20118	4482	6584	2445	1962	15473	2659	1159	19291	827
56111	4	estab.	26238	3869	9544	3364	2253	19030	2673	1417	23120	3118	26293	3879	9962	3351	2335	19527	2861	1441	23829	2464	27359	4003	10310	3512	2499	20324	3095	1475	24894	2465	30147	4856	11248	3835	2644	22583	3242	1370	27195	2952	23680	4490	6591	2461	2003	15545	2938	1436	19919	3761
56111	4	empl.	383987	0	19031	21984	29123	70138	85249	99560	254947	129040	437967	0	20073	21869	30559	72501	95095	112698	280294	157673	472516	0	20889	22786	32780	76455	106261	120546	303262	169254	518112	0	22776	25099	34907	82782	113163	129474	325419	192693	492056	0	13423	15975	26170	55568	98218	127110	280896	211160
56111	4	ann. pay.	14810790	399577	978890	977169	1262366	3618002	3175397	3113396	9906795	4903995	17172711	593911	1051802	1071715	1352585	4070013	3636349	3652523	11358885	5813826	20021361	407977	1120279	1142896	1466297	4137449	4337520	4007034	12482003	7539358	22592484	698530	1214760	1239430	1619240	4771960	4685746	4542844	14000550	8591934	22516155	550826	729393	887151	1377031	3544401	4327745	4750327	12622473	9893682
56111	4	rec.																																									60040579	1488342	1791533	2161960	3394859	8836694	9811200	10128182	28776076	31264503
56121	4	firms	1252	114	214	136	170	634	317	160	1111	141	1254	131	247	130	153	661	296	153	1110	144	1292	155	278	145	153	731	262	160	1153	139	1172	100	275	126	131	632	252	152	1036	136	1600	193	564	161	129	1047	258	150	1455	145
56121	4	estab.	2523	114	214	143	180	651	445	274	1370	1153	2690	138	247	135	156	676	384	350	1410	1280	3023	158	280	151	159	748	345	361	1454	1569	2952	100	275	128	140	643	320	296	1259	1693	3416	193	564	161	140	1058	337	396	1791	1625
56121	4	empl.	109662	0	480	911	2249	3640	13264	23369	40273	69389	115780	0	503	839	2006	3348	12481	23953	39782	75998	115926	0	548	918	2045	3511	11087	25679	40277	75649	115606	0	538	831	1708	3077	10855	25225	39157	76449	125496	0	1079	1025	1725	3829	10795	23235	37859	87637
56121	4	ann. pay.	3520919	27065	22685	45573	91985	187308	437207	601369	1225884	2295035	3624788	26095	24187	39782	82513	172577	404286	639172	1216035	2408753	3754987	70362	26715	41146	81929	220152	387720	731258	1339130	2415857	3758242	31990	21620	38575	83349	175534	378476	728804	1282814	2475428	4397197	15137	48144	43615	72262	179158	424533	712011	1315702	3081495
56121	4	rec.																																									11191876	56859	145450	122216	159748	484273	955689	1610089	3050051	8141825
56131	4	firms	6841	1440	2422	896	621	5379	1012	346	6737	104	7618	1628	2783	982	682	6075	1039	377	7491	127	8506	1731	3108	1120	791	6750	1167	434	8351	155	9393	1701	3590	1211	913	7415	1307	510	9232	161	8708	1753	3119	1037	862	6771	1301	469	8541	167
56131	4	estab.	7447	1447	2428	898	644	5417	1087	459	6963	484	8477	1655	2787	988	710	6140	1092	494	7726	751	9343	1748	3115	1130	810	6803	1218	599	8620	723	10261	1703	3595	1219	934	7451	1385	692	9528	733	9692	1754	3124	1042	892	6812	1434	664	8910	782
56131	4	empl.	183243	0	4901	5908	8344	19153	43695	59096	121944	61299	257875	0	5681	6475	9209	21365	45496	64455	131316	126559	306465	0	6271	7391	10634	24296	53941	77118	155355	151110	348669	0	7320	7941	12493	27754	57492	90881	176127	172542	309174	0	6397	6856	11790	25043	56532	82959	164534	144640
56131	4	ann. pay.	3917012	175982	202251	236275	296611	911119	1040544	981632	2933295	983717	6044770	161069	248261	273518	352185	1035033	1148517	1138547	3322097	2722673	7507015	233021	283468	315875	443777	1276141	1485265	1430632	4192038	3314977	8527785	154194	286727	297328	486901	1225150	1476907	1611808	4313865	4213920	7345085	157416	238233	274406	395257	1065312	1463059	1574179	4102550	3242535
56131	4	rec.																																									11750905	355271	695700	685921	803998	2540890	2413079	2373108	7327077	4423828
56132	4	firms	11151	1403	2075	941	884	5303	2859	2208	10370	781	11376	1352	2284	976	1016	5628	2798	2148	10574	802	11490	1419	2274	963	989	5645	2837	2170	10652	838	11969	1556	2428	1064	1096	6144	2966	2067	11177	792	10092	1379	1615	771	956	4721	2791	1898	9410	682
56132	4	estab.	25114	1406	2083	946	919	5354	3112	3412	11878	13236	27272	1365	2288	982	1061	5696	3080	3261	12037	15235	28104	1449	2276	984	1044	5753	3069	3282	12104	16000	29637	1563	2435	1080	1154	6232	3202	3276	12710	16927	26383	1382	1623	788	1030	4823	3166	3444	11433	14950
56132	4	empl.	2549701	0	4277	6297	12228	22802	143766	473169	639737	1909964	2725800	0	4660	6528	14201	25389	140932	457969	624290	2101510	3012681	0	4631	6373	13695	24699	141163	474927	640789	2371892	2676010	0	4907	7117	15305	27329	145057	442912	615298	2060712	2390634	0	3472	5207	13489	22168	136614	396702	555484	1835150
56132	4	ann. pay.	46968885	287159	156709	199767	350315	993950	3132969	7791645	11918564	35050321	51286088	285801	194853	213223	445155	1139032	3275352	8191408	12605792	38680296	58713099	295844	232344	220636	441243	1190067	3400090	8630070	13220227	45492872	57262337	395290	213623	247273	457574	1313760	3425856	8164377	12903993	44358344	52969668	480466	190468	188357	437509	1296800	3361950	7661294	12320044	40649624
56132	4	rec.																																									72208487	664291	334206	378571	817283	2194351	4880366	10423759	17498476	54710011
56133	4	firms	4115	501	720	391	462	2074	1062	625	3761	354	4022	391	778	386	457	2012	1020	598	3630	392	3984	458	716	372	414	1960	996	631	3587	397	4058	409	780	402	402	1993	1002	626	3621	437	4360	507	825	429	489	2250	1034	649	3933	427
56133	4	estab.	4964	502	720	393	467	2082	1101	730	3913	1051	4965	395	778	389	462	2024	1048	689	3761	1204	4961	474	718	374	415	1981	1015	747	3743	1218	4998	414	782	405	405	2006	1020	714	3740	1258	5018	507	827	430	493	2257	1093	792	4142	876
56133	4	empl.	881175	0	1458	2634	6383	10475	49627	132786	192888	688287	1009768	0	1623	2599	6284	10506	48256	124160	182922	826846	1253808	0	1527	2448	5683	9658	46537	132382	188577	1065231	1338941	0	1658	2689	5628	9975	47178	130390	187543	1151398	1181080	0	1774	2843	6815	11432	47358	133070	191860	989220
56133	4	ann. pay.	20378962	136048	67883	87874	204860	496665	1437240	3288081	5221986	15156976	24133166	145911	62132	100482	204940	513465	1444643	3003445	4961553	19171613	32259380	1209440	66069	89356	211584	1576449	1451569	3412742	6440760	25818620	35133964	286080	83033	104659	244125	717897	1536941	3490197	5745035	29388929	32645243	329997	107660	109724	258904	806285	1571830	3622003	6000118	26645125
56133	4	rec.																																									41087052	487870	158855	194412	364189	1205326	2558413	4679325	8443064	32643988
56141	4	firms	4520	760	2716	493	266	4235	230	37	4502	18	4481	791	2672	465	270	4198	224	33	4455	26	4492	767	2687	474	283	4211	215	42	4468	24	4656	848	2793	459	261	4361	237	37	4635	21	5080	870	3148	477	275	4770	250	40	5060	20
56141	4	estab.	4794	760	2717	499	272	4248	266	88	4602	192	4748	791	2674	469	289	4223	242	85	4550	198	4721	767	2691	476	301	4235	235	95	4565	156	4857	848	2795	465	267	4375	261	80	4716	141	5272	870	3151	479	278	4778	286	72	5136	136
56141	4	empl.	34853	0	4746	3169	3525	11440	8225	4922	24587	10266	38481	0	4712	3033	3604	11349	8430	4703	24482	13999	37521	0	4695	3064	3802	11561	8308	5777	25646	11875	37916	0	4787	3012	3528	11327	9247	5417	25991	11925	37507	0	5479	3088	3710	12277	9053	4529	25859	11648
56141	4	ann. pay.	787837	15458	89966	66472	76954	248850	180987	119987	549824	238013	852056	23133	89788	67417	87280	267618	202310	112677	582605	269451	922846	29557	95912	74973	96412	296854	212963	138450	648267	274579	953436	23326	103882	75727	93210	296145	243574	147016	686735	266701	962929	32041	119419	89388	96277	337125	237018	111096	685239	277690
56141	4	rec.																																									2372753	103157	449925	261773	232663	1047518	502813	230593	1780924	591829
56142	4	firms	5298	797	1553	763	896	4009	918	235	5162	136	4928	562	1586	721	814	3683	855	246	4784	144	4604	512	1442	656	796	3406	817	235	4458	146	4443	493	1363	637	727	3220	831	235	4286	157	4079	417	1084	604	753	2858	810	251	3919	160
56142	4	estab.	6657	797	1554	768	907	4026	1052	436	5514	1143	6256	565	1588	727	831	3711	981	409	5101	1155	5826	515	1446	658	805	3424	934	471	4829	997	5633	499	1367	647	737	3250	928	392	4570	1063	5260	421	1086	608	767	2882	921	432	4235	1025
56142	4	empl.	314845	0	3225	5184	12379	20788	36120	41351	98259	216586	323553	0	3224	4916	11169	19309	34188	43823	97320	226233	344378	0	2906	4458	10941	18305	32319	42390	93014	251364	343419	0	2752	4333	10055	17140	32556	40136	89832	253587	338279	0	2263	4144	10478	16885	31152	45774	93811	244468
56142	4	ann. pay.	5295699	37955	79691	92540	182655	392841	607626	591614	1592081	3703618	5879949	35674	90889	95890	185610	408063	611105	720049	1739217	4140732	6621604	42140	84842	89404	207646	424032	615878	767771	1807681	4813923	6669644	33069	88815	84107	194288	400279	645324	741155	1786758	4882886	6959400	70353	60755	83101	195884	410093	595960	753835	1759888	5199512
56142	4	rec.																																									17189880	163634	233244	332240	471212	1200330	1514702	1810514	4525546	12664334
56143	4	firms	8758	1141	4570	1665	746	8122	522	79	8723	35	8544	968	4464	1700	756	7888	537	81	8506	38	8282	879	4240	1729	764	7612	548	78	8238	44	8222	866	4245	1646	793	7550	555	81	8186	36	8280	993	4314	1634	743	7684	487	67	8238	42
56143	4	estab.	10767	1144	4573	1673	792	8182	681	313	9176	1591	10721	971	4465	1713	794	7943	716	305	8964	1757	10610	913	4244	1745	796	7698	691	282	8671	1939	10643	871	4257	1659	842	7629	666	351	8646	1997	10667	994	4320	1650	812	7776	681	307	8764	1903
56143	4	empl.	110428	0	10273	10714	9604	30591	18549	10708	59848	50580	117525	0	10039	10914	9892	30845	18968	12198	62011	55514	113069	0	9479	11098	9841	30418	19542	12282	62242	50827	106915	0	9588	10614	10214	30416	19035	13518	62969	43946	94976	0	9887	10448	9629	29964	16836	11349	58149	36827
56143	4	ann. pay.	2542927	38053	167507	181022	198527	585109	425681	261860	1272650	1270277	2841507	38639	180618	197250	212738	629245	486632	299770	1415647	1425860	2854171	29633	179001	210897	239077	658608	507178	315587	1481373	1372798	2803706	47662	186866	201491	251906	687925	512838	352906	1553669	1250037	2498677	39030	186040	191439	239818	656327	451793	350127	1458247	1040430
56143	4	rec.																																									9001872	175342	1154020	866933	816893	3013188	1295582	1083489	5392259	3609613
56144	4	firms	4696	434	1692	934	721	3781	698	117	4596	100	4568	369	1670	929	703	3671	670	129	4470	98	4377	358	1572	859	715	3504	653	124	4281	96	4420	412	1554	857	693	3516	665	138	4319	101	4492	410	1575	887	671	3543	702	143	4388	104
56144	4	estab.	5272	438	1692	938	741	3809	821	265	4895	377	5086	369	1674	931	722	3696	790	254	4740	346	4976	358	1573	859	735	3525	762	256	4543	433	5051	425	1556	860	713	3554	798	242	4594	457	5161	413	1575	890	691	3569	850	309	4728	433
56144	4	empl.	88882	0	3783	6288	9671	19742	25690	17027	62459	26423	91556	0	3679	6200	9542	19421	24823	17892	62136	29420	100066	0	3498	5754	9667	18919	24798	19275	62992	37074	111822	0	3376	5725	9400	18501	25224	22373	66098	45724	119078	0	3547	5891	9029	18467	26939	24575	69981	49097
56144	4	ann. pay.	2334510	25320	83438	143042	245683	497483	726236	434371	1658090	676420	2523011	26433	88554	145887	263675	524549	728773	511009	1764331	758680	2987725	16603	86640	140978	273281	517502	774510	630054	1922066	1065659	3450492	47127	87084	150792	278661	563664	796758	764608	2125030	1325462	3627378	26477	85582	158158	266884	537101	898455	787201	2222757	1404621
56144	4	rec.																																									8494398	92459	276389	415319	646874	1431041	1990301	1670621	5091963	3402435
56145	4	firms	1102	101	405	213	178	897	158	28	1083	19	1047	75	417	205	146	843	160	26	1029	18	971	82	387	190	125	784	140	28	952	19	937	66	402	176	129	773	118	26	917	20	795	53	314	159	121	647	104	24	775	20
56145	4	estab.	1509	101	407	217	181	906	205	75	1186	323	1504	75	418	211	148	852	207	78	1137	367	1406	83	390	193	126	792	182	79	1053	353	1360	66	402	178	137	783	154	61	998	362	1177	53	315	161	125	654	146	54	854	323
56145	4	empl.	35613	0	898	1402	2408	4708	5414	3346	13468	22145	37837	0	911	1357	1938	4206	5567	2732	12505	25332	34048	0	825	1281	1666	3772	4781	3350	11903	22145	33890	0	871	1151	1744	3766	4154	3162	11082	22808	27256	0	661	1030	1600	3291	3754	3101	10146	17110
56145	4	ann. pay.	1340700	7014	21967	33305	63287	125573	168591	107418	401582	939118	1266714	13494	21145	35520	52888	123047	177372	114404	414823	851891	1438965	3787	19131	36220	50000	109138	163462	110527	383127	1055838	1789791	1820	22763	34721	52161	111465	143098	118950	373513	1416278	1255393	2094	17185	30924	53341	103544	141730	100440	345714	909679
56145	4	rec.																																									4801628	10698	65839	95444	150024	322005	450604	753591	1526200	3275428
56149	4	firms	5904	1265	3003	750	444	5462	326	71	5859	45	6251	1146	3426	805	447	5824	314	69	6207	44	6839	1425	3591	835	506	6357	348	83	6788	51	6551	1104	3621	836	495	6056	355	86	6497	54	5702	857	3123	757	468	5205	354	91	5650	52
56149	4	estab.	6229	1266	3012	763	465	5506	396	130	6032	197	6585	1146	3432	819	471	5868	361	120	6349	236	7189	1430	3603	850	533	6416	392	142	6950	239	6859	1104	3632	848	523	6107	397	152	6656	203	6166	857	3129	784	514	5284	435	202	5921	245
56149	4	empl.	57726	0	5577	4840	5865	16282	11701	9225	37208	20518	62083	0	6291	5209	5954	17454	11415	8840	37709	24374	73140	0	6694	5387	6648	18729	12853	10247	41829	31311	76850	0	6712	5426	6615	18753	12821	10959	42533	34317	75645	0	5824	4903	6310	17037	13007	10955	40999	34646
56149	4	ann. pay.	1489572	36106	142366	125977	172915	477364	313403	212149	1002916	486656	1698971	55411	169637	143654	164044	532746	307222	235565	1075533	623438	2193731	95753	191280	172657	213667	673357	416325	279024	1368706	825025	2208525	40864	188012	166842	208654	604372	412606	316040	1333018	875507	2519828	43366	163000	151763	199314	557443	410615	361040	1329098	1190730
56149	4	rec.																																									8159000	165647	844394	609358	900339	2519738	1123786	1058027	4701551	3457449
56151	4	firms	21896	1957	12345	4981	1602	20885	790	151	21826	70	20674	1572	11882	4648	1578	19680	763	158	20601	73	19362	1585	11098	4244	1441	18368	752	164	19284	78	18094	1438	10463	3806	1377	17084	765	158	18007	87	14838	1290	9004	2747	1024	14065	565	128	14758	80
56151	4	estab.	28782	1960	12360	5069	1896	21285	1822	972	24079	4703	27390	1602	11904	4762	1852	20120	1645	1001	22766	4624	25975	1595	11117	4368	1711	18791	1546	1019	21356	4619	24654	1439	10495	3921	1627	17482	1486	955	19923	4731	21079	1292	9023	2834	1220	14369	1244	969	16582	4497
56151	4	empl.	185391	0	28886	31542	20678	81106	28002	19060	128168	57223	184912	0	27638	29590	20297	77525	27695	20048	125268	59644	183143	0	25591	26961	18587	71139	27096	20791	119026	64117	182054	0	23717	24201	17970	65888	27362	19792	113042	69012	151770	0	20078	17477	13358	50913	19678	15730	86321	65449
56151	4	ann. pay.	4774773	54688	512993	591077	458915	1617673	752977	528582	2899232	1875541	4884583	51932	516524	575759	476114	1620329	750691	596931	2967951	1916632	5313269	52378	500426	568933	471231	1592968	808029	706131	3107128	2206141	5533357	51732	458357	503150	433359	1446598	792923	729311	2968832	2564525	4595040	38103	396512	375434	342699	1152748	612975	487324	2253047	2341993
56151	4	rec.																																									11117611	113440	1119369	979681	824160	3036650	1422296	1071279	5530225	5587386
56152	4	firms	3220	417	1504	591	347	2859	281	55	3195	25	3122	382	1453	569	358	2762	278	54	3094	28	2938	353	1347	551	332	2583	270	59	2912	26	2956	375	1394	499	334	2602	265	61	2928	28	2733	400	1326	443	262	2431	227	52	2710	23
56152	4	estab.	3514	417	1508	595	360	2880	340	139	3359	155	3434	385	1458	574	370	2787	328	140	3255	179	3229	353	1351	557	339	2600	324	136	3060	169	3235	375	1397	503	348	2623	317	128	3068	167	2975	400	1330	445	270	2445	285	105	2835	140
56152	4	empl.	39555	0	3241	3888	4570	11699	10283	8717	30699	8856	40638	0	3101	3727	4659	11487	10283	7831	29601	11037	40701	0	2856	3626	4354	10836	10014	8382	29232	11469	44645	0	2922	3263	4370	10555	9813	8620	28988	15657	34579	0	2788	2908	3415	9111	8079	7349	24539	10040
56152	4	ann. pay.	1159275	39783	84213	104662	123709	352367	289195	282718	924280	234995	1383040	20700	116409	105591	127888	370588	305606	267815	944009	439031	1484483	15773	85242	113374	119243	333632	322267	303962	959861	524622	1474543	15236	82526	95249	124651	317662	295072	310741	923475	551068	1342720	18026	77824	84139	105605	285594	275211	262716	823521	519199
56152	4	rec.																																									3685354	54742	221165	236261	309132	821300	842782	1007316	2671398	1013956
56159	4	firms	2756	346	1321	427	245	2339	254	102	2695	61	2675	265	1288	448	269	2270	248	95	2613	62	2600	251	1233	446	260	2190	257	89	2536	64	2613	238	1243	452	259	2192	277	87	2556	57	2482	293	1157	395	245	2090	251	85	2426	56
56159	4	estab.	3783	346	1323	429	268	2366	373	372	3111	672	3745	265	1289	451	294	2299	369	340	3008	737	3714	251	1234	448	287	2220	373	349	2942	772	3753	238	1244	455	278	2215	418	312	2945	808	3533	294	1158	397	271	2120	387	325	2832	701
56159	4	empl.	72584	0	2813	2758	3285	8856	9737	15896	34489	38095	75095	0	2734	2919	3575	9228	9138	14662	33028	42067	83822	0	2666	2909	3452	9027	9721	13566	32314	51508	86417	0	2676	2930	3442	9048	10593	14459	34100	52317	71735	0	2531	2554	3241	8326	9657	13087	31070	40665
56159	4	ann. pay.	2082654	17142	70484	71649	83582	242857	258138	389303	890298	1192356	2390416	12527	70705	80317	97642	261191	251423	382233	894847	1495569	2862281	14647	75622	84958	98143	273370	293788	373536	940694	1921587	3000149	16627	74149	84587	101166	276529	306368	439629	1022526	1977623	2532131	14164	68479	81203	104288	268134	285397	400138	953669	1578462
56159	4	rec.																																									9825248	95709	433130	522198	525893	1576930	1060578	1511252	4148760	5676488
56161	4	firms	10081	1352	3691	1364	1191	7598	1754	570	9922	159	9785	1220	3626	1338	1141	7325	1699	581	9605	180	9657	1271	3568	1302	1115	7256	1650	571	9477	180	9721	1270	3583	1387	1098	7338	1627	584	9549	172	9765	1334	3513	1350	1119	7316	1667	599	9582	183
56161	4	estab.	12506	1353	3693	1369	1207	7622	1847	834	10303	2203	12417	1237	3629	1342	1154	7362	1789	916	10067	2350	12382	1272	3571	1311	1128	7282	1737	809	9828	2554	12429	1277	3586	1399	1116	7378	1735	777	9890	2539	12736	1334	3515	1357	1129	7335	1789	923	10047	2689
56161	4	empl.	565924	0	7522	9114	16274	32910	77174	110171	220255	345669	571619	0	7264	8901	15624	31789	74646	110939	217374	354245	569949	0	7210	8758	15273	31241	73901	110623	215765	354184	572475	0	7187	9148	14996	31331	71790	112889	216010	356465	603415	0	7197	8969	15602	31768	71680	117254	220702	382713
56161	4	ann. pay.	8397176	62013	153512	159975	248410	623910	1018735	1546148	3188793	5208383	8949795	77557	153694	161191	246973	639415	1034236	1616873	3290524	5659271	9804744	74407	155512	169164	261348	660431	1080050	1743870	3484351	6320393	10330634	73123	167644	187410	274653	702830	1140859	1824660	3668349	6662285	11577541	113696	165214	179355	298112	756377	1145096	2008993	3910466	7667075
56161	4	rec.																																									18587014	223424	531051	430590	612405	1797470	1886547	2943400	6627417	11959597
56162	4	firms	7539	787	3999	1424	706	6916	499	74	7489	50	7661	816	3980	1437	779	7012	516	77	7605	56	7741	843	3972	1441	795	7051	553	83	7687	54	8014	854	4069	1529	806	7258	610	90	7958	56	8331	813	4343	1579	851	7586	601	97	8284	47
56162	4	estab.	9092	789	4004	1437	737	6967	599	237	7803	1289	9190	819	3980	1450	820	7069	616	221	7906	1284	9301	847	3974	1454	831	7106	659	247	8012	1289	9612	854	4070	1551	843	7318	714	222	8254	1358	9583	813	4345	1591	900	7649	776	281	8706	877
56162	4	empl.	128695	0	8463	9317	9312	27092	17976	9690	54758	73937	135568	0	8407	9341	10374	28122	19261	10918	58301	77267	141054	0	8404	9403	10668	28475	20299	11654	60428	80626	147990	0	8649	9987	10617	29253	23298	13148	65699	82291	128587	0	9320	10329	11344	30993	22343	13842	67178	61409
56162	4	ann. pay.	3458170	27699	177092	228534	246475	679800	514278	326450	1520528	1937642	3938409	33962	185739	237720	283107	740528	546446	475981	1762955	2175454	4224895	39151	193993	245944	296093	775181	630131	597642	2002954	2221941	4608611	34014	212339	279729	312977	839059	730821	434089	2003969	2604642	4257959	37099	220392	298115	347115	902721	744417	508578	2155716	2102243
56162	4	rec.																																									12073734	137511	854686	898928	998403	2889528	1835432	1312044	6037004	6036730
56171	4	firms	9409	1057	5137	1755	961	8910	439	39	9388	21	9358	909	5126	1796	977	8808	488	39	9335	23	9428	973	5040	1857	992	8862	504	39	9405	23	9468	985	5063	1833	1021	8902	502	43	9447	21	9513	1050	5091	1818	975	8934	508	51	9493	20
56171	4	estab.	11170	1057	5139	1757	1012	8965	643	370	9978	1192	11127	912	5128	1805	1022	8867	687	330	9884	1243	11111	985	5042	1867	1037	8931	702	311	9944	1167	11130	987	5066	1842	1058	8953	683	343	9979	1151	11230	1050	5093	1823	1017	8983	732	403	10118	1112
56171	4	empl.	83008	0	10573	11526	12764	34863	15571	6344	56778	26230	91330	0	10535	11778	12895	35208	17325	6348	58881	32449	91669	0	10360	12130	13193	35683	18066	5822	59571	32098	90361	0	10437	12098	13490	36025	17537	6442	60004	30357	89854	0	10738	11977	13023	35738	17259	7557	60554	29300
56171	4	ann. pay.	2134454	20333	204694	249034	312090	786151	416202	187708	1390061	744393	2362549	27132	215528	260068	329824	832552	473059	175486	1481097	881452	2439661	21763	215489	277281	346139	860672	510820	180411	1551903	887758	2520956	23339	228661	290655	362926	905581	518852	205465	1629898	891058	2669673	31327	238654	295665	363330	928976	523894	254930	1707800	961873
56171	4	rec.																																									6584134	119589	736292	746036	823824	2425741	1137006	566678	4129425	2454709
56172	4	firms	52887	8178	23928	9004	5938	47048	4647	975	52670	217	51527	6779	24068	8877	5977	45701	4638	963	51302	225	50957	7180	23179	8782	5852	44993	4767	968	50728	229	51466	7237	23393	8857	5895	45382	4868	962	51212	254	45824	7121	20150	7870	5122	40263	4402	913	45578	246
56172	4	estab.	55648	8182	23931	9014	5954	47081	4795	1342	53218	2430	54962	6785	24070	8885	5998	45738	4786	1291	51815	3147	54288	7185	23185	8793	5875	45038	4933	1323	51294	2994	54810	7247	23399	8865	5917	45428	5037	1309	51774	3036	49530	7122	20154	7878	5136	40290	4667	1335	46292	3238
56172	4	empl.	878966	0	49130	59530	79596	188256	179697	182049	550002	328964	903635	0	49056	58667	80224	187947	179929	177375	545251	358384	918552	0	47396	58043	78593	184032	185279	181938	551249	367303	931515	0	47426	58763	79168	185357	188669	177101	551127	380388	866175	0	42805	51715	68987	163507	172418	166409	502334	363841
56172	4	ann. pay.	11060638	185690	613678	665124	884114	2348606	1976270	2160004	6484880	4575758	12094901	179108	686920	714498	961988	2542514	2122713	2157172	6822399	5272502	12830126	186628	680833	745161	1007923	2620545	2357618	2332018	7310181	5519945	13669620	178027	709358	785382	1072429	2745196	2517226	2380044	7642466	6027154	12966950	251854	567199	649761	947539	2416353	2342229	2368275	7126857	5840093
56172	4	rec.																																									26937846	705686	2263609	1889085	2549520	7407900	4838315	4265978	16512193	10425653
56173	4	firms	64584	17606	30775	9207	4282	61870	2476	203	64549	35	64683	16399	31114	9593	4596	61702	2705	234	64641	42	66331	15521	31882	10428	5195	63026	3020	243	66289	42	71539	17773	34375	10568	5313	68029	3192	269	71490	49	72975	22417	32761	9726	4819	69723	2933	265	72921	54
56173	4	estab.	65377	17606	30776	9208	4284	61874	2514	285	64673	704	65490	16401	31115	9594	4598	61708	2738	285	64731	759	67053	15521	31883	10428	5198	63030	3055	290	66375	678	72504	17775	34376	10572	5316	68039	3233	326	71598	906	74208	22417	32761	9733	4838	69749	3074	411	73234	974
56173	4	empl.	363906	0	62361	59778	56323	178462	88819	31597	298878	65028	393575	0	63131	62387	60773	186291	97324	36466	320081	73494	415873	0	65786	67880	68886	202552	108550	38681	349783	66090	446111	0	69687	68754	70342	208783	115608	42396	366787	79324	423474	0	67797	62889	63837	194523	105556	40307	340386	83088
56173	4	ann. pay.	8082010	374365	1285297	1141380	1176099	3977141	1980459	673717	6631317	1450693	8935831	380073	1377011	1246489	1299589	4303162	2221986	792147	7317295	1618536	9770825	396259	1437923	1390248	1521339	4745769	2618096	858945	8222810	1548015	11258488	468108	1698757	1513577	1669097	5349539	2910727	1035195	9295461	1963027	11103071	643770	1575431	1430196	1577255	5226652	2740955	1020313	8987920	2115151
56173	4	rec.																																									33598503	3086201	6449085	4611333	4629720	18776339	7262903	2547814	28587056	5011447
56174	4	firms	9174	1422	5195	1508	670	8795	350	25	9170	4	8892	1072	5250	1497	693	8512	348	25	8885	7	8634	1142	4914	1516	691	8263	340	23	8626	8	8724	1118	5033	1478	716	8345	353	19	8717	7	8155	1114	4570	1396	650	7730	397	19	8146	9
56174	4	estab.	9342	1429	5196	1515	680	8820	401	81	9302	40	9050	1072	5251	1504	701	8528	397	72	8997	53	8789	1142	4915	1523	703	8283	379	51	8713	76	8872	1118	5035	1491	726	8370	388	56	8814	58	8307	1114	4570	1401	659	7744	444	53	8241	66
56174	4	empl.	45415	0	10289	9755	8829	28873	11370	         [h]	         [k]	         [f]	45983	0	10395	9725	9054	29174	11467	3590	44231	1752	45814	0	9787	9849	9138	28774	11162	3447	43383	2431	45854	0	9916	9607	9449	28972	12003	3230	44205	1649	45685	0	9312	9142	8491	26945	13300	3315	43560	2125
56174	4	ann. pay.	801762	25748	151974	152339	146503	476564	207311	         (D)	         (D)	         (D)	845081	17521	162139	160199	157883	497742	230466	62228	790436	54645	875399	18354	160943	172780	166323	518400	231174	58873	808447	66952	930240	20447	169827	181538	185204	557016	258599	66449	882064	48176	949830	23412	161318	175154	169319	529203	293273	67376	889852	59978
56174	4	rec.																																									2766671	111211	652925	514520	458471	1737127	696238	169845	2603210	163461
56179	4	firms	5873	1238	3103	848	444	5633	215	12	5860	13	6085	1153	3258	915	496	5822	240	11	6073	12	6352	1259	3328	960	522	6069	261	12	6342	10	7059	1364	3772	1036	563	6735	297	19	7051	8	9570	1974	5061	1434	712	9181	355	26	9562	8
56179	4	estab.	5919	1238	3105	851	450	5644	222	17	5883	36	6138	1153	3260	918	500	5831	253	20	6104	34	6407	1259	3329	962	528	6078	275	19	6372	35	7105	1364	3774	1038	567	6743	312	26	7081	24	9658	1974	5062	1437	714	9187	395	41	9623	35
56179	4	empl.	26788	0	5936	5491	5882	17309	6816	         [g]	         [k]	         [g]	30229	0	6386	5936	6621	18943	8083	1525	28551	1678	31134	0	6693	6238	6862	19793	8710	1334	29837	1297	35445	0	7510	6733	7486	21729	10177	2204	34110	1335	45258	0	10289	9242	9422	28953	11676	2643	43272	1986
56179	4	ann. pay.	650295	38180	129065	113500	142185	422930	152670	         (D)	         (D)	         (D)	731717	33283	145946	130516	156705	466450	188334	30295	685079	46638	805893	35363	153964	140101	177349	506777	215720	38294	760791	45102	959239	37615	183648	160781	203911	585955	271970	58723	916648	42591	1185184	65286	232586	211455	240341	749668	299356	66930	1115954	69230
56179	4	rec.																																									3659260	296424	963657	639100	652564	2551745	754715	165057	3471517	187743
56191	4	firms	2337	316	884	327	251	1778	386	123	2287	50	2224	212	865	342	268	1687	372	118	2177	47	2134	197	793	331	261	1582	385	115	2082	52	2141	179	810	352	259	1600	368	123	2091	50	1799	200	647	261	215	1323	328	108	1759	40
56191	4	estab.	2424	316	884	327	260	1787	404	158	2349	75	2312	212	865	342	276	1695	390	151	2236	76	2231	197	793	331	262	1583	411	142	2136	95	2249	179	810	352	261	1602	381	149	2132	117	1915	200	647	261	216	1324	346	142	1812	103
56191	4	empl.	58126	0	1824	2195	3521	7540	15756	18062	41358	16768	60707	0	1812	2272	3604	7688	15785	18225	41698	19009	57924	0	1717	2227	3566	7510	16478	18155	42143	15781	58005	0	1715	2347	3529	7591	15611	16691	39893	18112	50614	0	1448	1745	2935	6128	13767	14565	34460	16154
56191	4	ann. pay.	1256537	12450	47354	53441	74343	187588	323044	355538	866170	390367	1411877	11444	51137	58449	81856	202886	351424	388660	942970	468907	1337165	11778	47842	59781	84048	203449	389183	384957	977589	359576	1370361	12919	47703	62482	85578	208682	361398	375973	946053	424308	1245773	13772	40806	50967	78569	184114	339885	337786	861785	383988
56191	4	rec.																																									4776440	69342	232136	232687	366714	900879	1133097	1287344	3321320	1455120
56192	4	firms	3915	688	1765	603	382	3438	351	85	3874	41	3772	492	1794	599	397	3282	364	86	3732	40	3725	530	1687	611	390	3218	368	94	3680	45	3884	553	1787	625	390	3355	391	91	3837	47	4063	585	2012	589	389	3575	355	87	4017	46
56192	4	estab.	4186	690	1769	606	391	3456	390	151	3997	189	4031	493	1796	601	408	3298	410	143	3851	180	3997	530	1690	615	398	3233	400	159	3792	205	4154	554	1791	630	397	3372	416	154	3942	212	4354	586	2013	592	402	3593	395	189	4177	177
56192	4	empl.	70594	0	3587	3990	5129	12706	13645	12108	38459	32135	66346	0	3651	3916	5383	12950	14412	12467	39829	26517	69874	0	3351	3987	5311	12649	14648	12952	40249	29625	71676	0	3569	4040	5271	12880	15061	13291	41232	30444	67763	0	4091	3880	5118	13089	13560	13562	40211	27552
56192	4	ann. pay.	1816926	30451	126369	136875	178313	472008	422384	318579	1212971	603955	1961961	25893	133549	142775	200054	502271	477198	334334	1313803	648158	2211908	31406	131734	160083	193242	516465	523082	376974	1416521	795387	2214686	30421	132855	157173	184201	504650	520543	394229	1419422	795264	2156593	29026	150136	150350	194183	523695	473236	380721	1377652	778941
56192	4	rec.																																									8149850	169971	802042	737698	789316	2499027	1635623	1233087	5367737	2782113
56199	4	firms	19344	3274	9900	2843	1673	17690	1218	242	19150	194	18528	2114	10057	2878	1750	16799	1272	241	18312	216	17691	2169	9162	2846	1778	15955	1277	245	17477	214	17069	1956	8829	2809	1721	15315	1302	247	16864	205	12856	1883	6303	1903	1273	11362	1048	234	12644	212
56199	4	estab.	20917	3275	9906	2862	1723	17766	1420	457	19643	1274	20218	2121	10064	2896	1811	16892	1428	482	18802	1416	19520	2173	9172	2866	1841	16052	1444	463	17959	1561	19011	1956	8848	2831	1767	15402	1463	492	17357	1654	14846	1883	6306	1927	1326	11442	1290	430	13162	1684
56199	4	empl.	218566	0	19657	18519	21989	60165	43173	27072	130410	88156	261487	0	20082	18935	22981	61998	46648	28008	136654	124833	333490	0	18446	18600	23547	60593	46569	30415	137577	195913	340753	0	17755	18260	22912	58927	47936	31317	138180	202573	228547	0	12815	12387	16980	42182	37349	28548	108079	120468
56199	4	ann. pay.	5114035	154927	576289	486063	600945	1818224	1067612	714688	3600524	1513511	5902148	90716	608940	539973	684851	1924480	1259117	761118	3944715	1957433	6510725	138452	590426	553454	754159	2036491	1373793	815711	4225995	2284730	7050468	83550	570812	569645	735527	1959534	1510475	931793	4401802	2648666	6274942	102247	395298	399794	573764	1471103	1310470	873933	3655506	2619436
56199	4	rec.																																									21176966	480088	1999235	1649339	2097634	6226296	4868685	2770728	13865709	7311257
56211	4	firms	7047	665	3091	1386	995	6137	784	94	7015	32	6464	584	2872	1240	926	5622	722	87	6431	33	6041	574	2661	1188	843	5266	662	77	6005	36	6033	534	2695	1170	828	5227	697	73	5997	36	6253	590	2761	1243	850	5444	693	86	6223	30
56211	4	estab.	8368	665	3091	1391	1009	6156	877	213	7246	1122	7744	586	2872	1246	942	5646	795	209	6650	1094	7368	575	2662	1194	861	5292	708	165	6165	1203	7273	534	2696	1173	845	5248	738	158	6144	1129	7684	590	2762	1248	873	5473	759	186	6418	1266
56211	4	empl.	151562	0	6648	9228	13378	29254	28353	13270	70877	80685	149111	0	6169	8190	12494	26853	26402	11995	65250	83861	146032	0	5741	7847	11345	24933	23938	11447	60318	85714	139864	0	5784	7712	11118	24614	25921	10518	61053	78811	141892	0	6217	8114	11421	25752	24727	12621	63100	78792
56211	4	ann. pay.	4779795	22690	137748	212458	358008	730904	868000	468442	2067346	2712449	4854056	31285	135845	197953	331877	696960	821084	409639	1927683	2926373	5138999	21579	132886	194593	319571	668629	801168	423056	1892853	3246146	5103959	23345	133656	203349	324930	685280	873347	427249	1985876	3118083	5387420	37507	147674	219972	345919	751072	888183	508853	2148108	3239312
56211	4	rec.																																									23348275	197736	751314	892818	1309162	3151030	3370845	1920655	8442530	14905745
56221	4	firms	1663	247	594	292	198	1331	216	58	1605	58	1668	223	611	308	203	1345	206	59	1610	58	1639	161	623	322	205	1311	211	59	1581	58	1689	146	654	321	230	1351	214	67	1632	57	1627	146	634	307	221	1308	203	62	1573	54
56221	4	estab.	2459	247	594	292	210	1343	247	94	1684	775	2452	223	611	308	219	1361	234	92	1687	765	2678	161	626	324	214	1325	235	92	1652	1026	2933	146	654	321	233	1354	236	107	1697	1236	2917	147	634	307	227	1315	235	119	1669	1248
56221	4	empl.	52756	0	1340	1935	2659	5934	7919	7352	21205	31551	51801	0	1342	2052	2676	6070	7232	7967	21269	30532	56647	0	1401	2103	2779	6283	7602	8176	22061	34586	63598	0	1502	2114	3028	6644	7688	8100	22432	41166	59280	0	1459	2018	2861	6338	7089	8061	21488	37792
56221	4	ann. pay.	1967291	15865	35832	51216	74053	176966	260950	284935	722851	1244440	2043488	14486	35932	58404	88544	197366	238783	289863	726012	1317476	2224489	27549	37303	61148	81857	207857	261376	293313	762546	1461943	2553902	9209	42035	59936	100615	211795	256411	323226	791432	1762470	2485051	12293	41443	56038	96809	206583	260177	318917	785677	1699374
56221	4	rec.																																									12718921	71380	222200	247246	431391	972217	1095515	1167298	3235030	9483891
56291	4	firms	1586	183	440	213	245	1081	382	70	1533	53	1581	199	425	235	223	1082	375	74	1531	50	1559	168	399	260	242	1069	359	78	1506	53	1926	230	478	326	301	1335	443	93	1871	55	2296	303	667	379	347	1696	452	96	2244	52
56291	4	estab.	1850	185	445	213	249	1092	418	142	1652	198	1839	199	425	236	225	1085	417	149	1651	188	1790	168	399	262	244	1073	388	144	1605	185	2186	230	478	326	303	1337	470	175	1982	204	2647	303	668	379	351	1701	520	212	2433	214
56291	4	empl.	46328	0	934	1429	3372	5735	15499	8788	30022	16306	46693	0	934	1574	3064	5572	15591	8661	29824	16869	49580	0	844	1719	3400	5963	14974	9934	30871	18709	55618	0	1044	2197	4176	7417	17281	12276	36974	18644	57801	0	1504	2536	4761	8801	17358	12474	38633	19168
56291	4	ann. pay.	1700879	8862	31258	45529	113432	199081	533334	253927	986342	714537	1867466	12220	28812	50471	102425	193928	531246	286386	1011560	855906	1912726	9822	28704	53298	118955	210779	527689	318976	1057444	855282	2266361	17209	38345	80821	157923	294298	617660	431577	1343535	922826	2378880	28293	58033	88082	162677	337085	633100	467369	1437554	941326
56291	4	rec.																																									7228144	118604	213940	298674	521200	1152418	1806816	1493508	4452742	2775402
56292	4	firms	771	117	290	124	93	624	103	21	748	23	703	68	286	144	78	576	83	19	678	25	653	60	251	135	79	525	89	17	631	22	609	39	231	129	83	482	86	20	588	21	693	67	284	133	82	566	87	19	672	21
56292	4	estab.	874	117	290	126	96	629	109	25	763	111	837	68	288	144	80	580	87	20	687	150	777	61	251	136	79	527	94	19	640	137	736	39	231	129	86	485	93	20	598	138	831	67	284	133	89	573	100	21	694	137
56292	4	empl.	12485	0	632	846	1229	2707	3582	1130	7419	5066	13113	0	593	965	1042	2600	2812	1688	7100	6013	12185	0	534	907	1032	2473	2966	1170	6609	5576	12928	0	515	852	1124	2491	3060	1600	7151	5777	12744	0	626	884	1102	2612	3065	1280	6957	5787
56292	4	ann. pay.	347014	6289	12998	22762	29902	71951	83959	33643	189553	157461	400151	2485	13404	22624	25652	64165	76488	54748	195401	204750	379313	3839	14428	25469	23813	67549	81052	38408	187009	192304	415831	3020	14433	21700	30341	69494	81502	60438	211434	204397	398197	3197	17867	23575	29723	74362	85254	34933	194549	203648
56292	4	rec.																																									1826802	18863	99820	128530	130525	377738	326945	129175	833858	992944
56299	4	firms	3224	385	1722	627	287	3021	167	20	3208	16	3235	314	1780	643	296	3033	167	22	3222	13	3212	343	1694	641	314	2992	186	23	3201	11	3438	370	1814	681	331	3196	205	24	3425	13	3426	365	1774	683	363	3185	203	22	3410	16
56299	4	estab.	3409	385	1722	628	293	3028	185	88	3301	108	3428	314	1780	645	301	3040	179	89	3308	120	3400	343	1694	644	316	2997	198	86	3281	119	3621	370	1814	681	334	3199	218	77	3494	127	3619	365	1774	683	363	3185	225	74	3484	135
56299	4	empl.	24269	0	3561	4066	3821	11448	5528	2118	19094	5175	26456	0	3697	4251	3948	11896	5572	2358	19826	6630	27039	0	3585	4174	4239	11998	6293	2878	21169	5870	28528	0	3847	4461	4432	12740	7047	2862	22649	5879	28863	0	3760	4457	4809	13026	7006	3094	23126	5737
56299	4	ann. pay.	735912	8669	78468	104085	102740	293962	168920	114094	576976	158936	818991	7327	86096	105190	114624	313237	178971	87464	579672	239319	879278	9277	85790	106903	124778	326748	205108	110451	642307	236971	974145	14524	97485	118549	131796	362354	242027	122818	727199	246946	985469	16147	91865	123510	152771	384293	239826	132347	756466	229003
56299	4	rec.																																									3081602	77372	390854	393015	433824	1295065	658449	442800	2396314	685288
61111	4	firms	16416	760	2116	1790	2865	7531	7220	1533	16284	132	16646	625	2130	1819	2845	7419	7442	1645	16506	140	16823	645	2119	1788	2783	7335	7606	1741	16682	141	17256	707	2165	1794	2858	7524	7785	1803	17112	144	18547	868	2334	1943	3060	8205	8298	1883	18386	161
61111	4	estab.	18604	761	2117	1791	2881	7550	7610	2814	17974	630	18889	633	2130	1823	2872	7458	7778	2997	18233	656	19136	646	2119	1794	2801	7360	7940	3089	18389	747	19473	709	2165	1796	2887	7557	8024	3110	18691	782	20894	868	2334	1949	3068	8219	8637	3205	20061	833
61111	4	empl.	659427	0	5121	12263	40932	58316	314262	233178	605756	53671	694749	0	5034	12510	40454	57998	325658	252530	636186	58563	724354	0	5033	12401	39725	57159	334298	266395	657852	66502	747611	0	5070	12315	40815	58200	344523	280635	683358	64253	793638	0	5677	13277	43705	62659	364396	295675	722730	70908
61111	4	ann. pay.	12974811	59984	82795	164831	636442	944052	5731732	5189299	11865083	1109728	14279273	63292	96722	175935	647584	983533	6176771	5880706	13041010	1238263	15458594	63772	89564	181032	648957	983325	6583436	6466359	14033120	1425474	16952249	85374	105446	200364	701130	1092314	7192833	7175854	15461001	1491248	18892435	105714	113487	223493	803617	1246311	8013944	7909091	17169346	1723089
61111	4	rec.																																									41859655	280280	331487	514461	1784109	2910337	17268060	17797656	37976053	3883602
61121	4	firms	549	23	70	40	53	186	173	140	499	50	552	28	69	40	59	196	170	136	502	50	551	34	74	35	63	206	153	137	496	55	562	32	87	41	51	211	159	134	504	58	624	35	115	46	62	258	161	147	566	58
61121	4	estab.	818	23	70	40	53	186	198	230	614	204	816	28	69	40	59	196	192	225	613	203	809	34	74	35	63	206	172	216	594	215	848	32	90	41	51	214	179	202	595	253	931	35	115	46	62	258	174	232	664	267
61121	4	empl.	74788	0	156	280	732	1168	8411	30377	39956	34832	76511	0	145	252	822	1219	8490	30006	39715	36796	82760	0	155	235	870	1260	7679	30394	39333	43427	85964	0	185	290	715	1190	7960	29267	38417	47547	95015	0	230	319	861	1410	8068	32029	41507	53508
61121	4	ann. pay.	1854343	2360	3610	8248	19746	33964	190173	549682	773819	1080524	1995080	1936	3749	8137	21231	35053	201732	561873	798658	1196422	2195705	3209	4815	7465	22240	37729	194679	619426	851834	1343871	2378225	1794	5703	9293	20386	37176	204943	639026	881145	1497080	2657285	9158	7297	9224	27022	52701	211407	720859	984967	1672318
61121	4	rec.																																									3759090	6315	26716	29133	77769	139933	467486	1395150	2002569	1756521
61131	4	firms	2366	81	415	174	165	835	373	545	1753	613	2394	101	407	173	161	842	386	540	1768	626	2448	127	411	170	180	888	375	547	1810	638	2454	116	418	184	165	883	372	548	1803	651	2593	147	488	174	170	979	390	562	1931	662
61131	4	estab.	2946	81	415	174	175	845	389	592	1826	1120	3004	102	407	173	168	850	403	606	1859	1145	3105	127	411	170	184	892	396	599	1887	1218	3136	116	418	189	167	890	389	587	1866	1270	3377	147	488	176	170	981	411	598	1990	1387
61131	4	empl.	1260468	0	859	1133	2303	4295	19160	141803	165258	1095210	1301801	0	838	1140	2211	4189	19372	142705	166266	1135535	1332535	0	882	1133	2468	4483	18610	144619	167712	1164823	1357358	0	853	1221	2313	4387	18354	142406	165147	1192211	1403085	0	1049	1182	2291	4522	19162	144652	168336	1234749
61131	4	ann. pay.	30127844	16204	23528	26899	55317	121948	401633	2839864	3363445	26764399	32354264	19520	22393	27564	57452	126929	428201	2989597	3544727	28809537	34603977	25308	24005	30617	67004	146934	437995	3081118	3666047	30937930	37202837	12169	25903	32530	59812	130414	455759	3144340	3730513	33472324	40128148	11973	28836	31318	65194	137321	504961	3378238	4020520	36107628
61131	4	rec.																																									104059977	59843	150300	118280	196938	525361	1506890	9194734	11226985	92832992
61141	4	firms	478	50	152	65	59	326	122	23	471	7	458	50	143	60	55	308	121	22	451	7	442	40	133	72	58	303	110	21	434	8	418	31	137	70	44	282	109	18	409	9	385	31	142	51	42	266	91	20	377	8
61141	4	estab.	570	50	152	65	59	326	172	50	548	22	553	50	143	60	56	309	173	49	531	22	539	40	134	72	59	305	154	54	513	26	509	31	137	71	45	284	146	50	480	29	474	31	142	51	43	267	132	58	457	17
61141	4	empl.	10608	0	313	423	809	1545	4859	2730	9134	1474	10642	0	308	407	780	1495	4943	2740	9178	1464	11138	0	290	470	812	1572	4713	2699	8984	2154	10796	0	279	435	623	1337	4522	2533	8392	2404	8269	0	308	312	565	1185	3634	2750	7569	700
61141	4	ann. pay.	230650	2293	6664	9705	16919	35581	106509	54380	196470	34180	246036	3375	8752	10490	14549	37166	109853	52537	199556	46480	259016	2772	7750	11830	18555	40907	106962	54022	201891	57125	273898	598	9815	12581	16989	39983	108079	53916	201978	71920	202952	1066	8804	9117	14412	33399	90673	60400	184472	18480
61141	4	rec.																																									538904	4370	34478	27194	35088	101130	219287	166675	487092	51812
61142	4	firms	2589	428	1167	432	241	2268	236	47	2551	38	2632	463	1191	403	239	2296	247	52	2595	37	2750	517	1209	409	269	2404	257	54	2715	35	2793	485	1258	425	260	2428	287	52	2767	26	2626	492	1248	344	241	2325	230	52	2607	19
61142	4	estab.	2896	428	1167	438	252	2285	327	133	2745	151	2930	463	1191	408	243	2305	332	116	2753	177	3045	521	1213	413	276	2423	311	128	2862	183	3060	485	1260	429	264	2438	365	157	2960	100	2914	493	1248	348	265	2354	311	177	2842	72
61142	4	empl.	29603	0	2322	2817	3327	8466	9104	5714	23284	6319	31791	0	2390	2670	3271	8331	9339	6091	23761	8030	33684	0	2418	2718	3605	8741	9243	7336	25320	8364	32478	0	2440	2769	3500	8709	10648	8624	27981	4497	26749	0	2396	2285	3212	7893	8508	7274	23675	3074
61142	4	ann. pay.	1113783	20716	71445	82465	118377	293003	347192	212952	853147	260636	1207961	23576	81694	78904	107247	291421	366476	226935	884832	323129	1490566	40964	83092	76731	136130	336917	364582	321209	1022708	467858	1344630	33462	81733	79947	114674	309816	397563	379304	1086683	257947	1116838	17409	68852	69677	110478	266416	361290	328838	956544	160294
61142	4	rec.																																									2985150	59788	220729	197591	287880	765988	850273	691093	2307354	677796
61143	4	firms	3176	655	1727	399	202	2983	142	31	3156	20	3105	459	1761	431	239	2890	156	38	3084	21	3084	478	1697	417	255	2847	182	33	3062	22	3188	525	1743	426	265	2959	175	35	3169	19	3762	639	2241	445	212	3537	160	43	3740	22
61143	4	estab.	3299	655	1730	406	212	3003	187	59	3249	50	3218	459	1762	442	245	2908	185	76	3169	49	3203	478	1699	428	259	2864	223	64	3151	52	3294	526	1746	436	266	2974	192	82	3248	46	3897	639	2244	455	217	3555	198	100	3853	44
61143	4	empl.	18926	0	3232	2577	2680	8489	5003	2422	15914	3012	19630	0	3317	2843	3104	9264	4924	3167	17355	2275	20744	0	3284	2754	3287	9325	5738	2867	17930	2814	22228	0	3335	2795	3560	9690	6016	3877	19583	2645	23257	0	4255	2899	2794	9948	5204	4911	20063	3194
61143	4	ann. pay.	692042	23921	127530	95078	97433	343962	168089	107663	619714	72328	734692	19910	121614	98466	121148	361138	159789	138949	659876	74816	829678	29080	123263	100367	129249	381959	198007	146391	726357	103321	921471	27018	124781	103391	126127	381317	233910	199582	814809	106662	1055477	26830	152279	111385	130191	420685	211445	235989	868119	187358
61143	4	rec.																																									3125918	116796	576692	329750	371369	1394607	678012	588159	2660778	465140
61151	4	firms	5946	699	2541	1119	823	5182	590	122	5894	52	5993	714	2549	1138	802	5203	604	132	5939	54	6065	705	2503	1136	848	5192	670	145	6007	58	6251	708	2578	1211	871	5368	684	136	6188	63	6063	719	2415	1157	904	5195	670	139	6004	59
61151	4	estab.	6856	701	2546	1143	901	5291	902	422	6615	241	6901	716	2556	1163	867	5302	927	420	6649	252	7032	713	2512	1160	906	5291	952	445	6688	344	7234	708	2583	1238	941	5470	961	425	6856	378	7076	720	2419	1173	976	5288	1056	380	6724	352
61151	4	empl.	69077	0	5430	7334	10867	23631	20047	11621	55299	13778	74597	0	5423	7569	10665	23657	20831	12296	56784	17813	81175	0	5342	7469	11296	24107	23299	14468	61874	19301	87351	0	5425	7938	11569	24932	24554	14738	64224	23127	84048	0	5230	7708	12002	24940	23282	15494	63716	20332
61151	4	ann. pay.	1667611	19427	110417	132749	207423	470016	450638	288133	1208787	458824	1888540	25742	120735	150148	214286	510911	492964	298870	1302745	585795	2092789	26782	118097	153411	244171	542461	542912	346055	1431428	661361	2390615	28605	130474	170360	265656	595095	615412	361286	1571793	818822	2334620	30707	129892	172275	286886	619760	581633	362768	1564161	770459
61151	4	rec.																																									7162633	130516	565691	539802	851613	2087622	1857544	1044557	4989723	2172910
61161	4	firms	7285	846	3735	1623	752	6956	298	27	7281	4	7565	932	3802	1640	818	7192	337	32	7561	4	7930	1058	3891	1664	878	7491	394	40	7925	5	8355	1097	4035	1766	998	7896	408	44	8348	7	8707	1135	4085	1904	1092	8216	440	45	8701	6
61161	4	estab.	7448	848	3744	1643	792	7027	369	46	7442	6	7719	933	3810	1659	852	7254	411	49	7714	5	8079	1059	3902	1681	913	7555	447	71	8073	6	8508	1100	4042	1783	1034	7959	464	77	8500	8	8851	1135	4088	1909	1134	8266	497	81	8844	7
61161	4	empl.	42432	0	7796	10633	9679	28108	10663	3442	42213	219	45249	0	7962	10669	10550	29181	11680	4219	45080	169	49862	0	8198	10979	11351	30528	13909	5129	49566	296	53319	0	8544	11663	12917	33124	14588	5303	53015	304	57370	0	8791	12535	14263	35589	15488	5971	57048	322
61161	4	ann. pay.	455384	14672	82818	94333	95745	287568	126146	36618	450332	5052	530363	25671	91165	101238	113910	331984	145529	47868	525381	4982	648652	28405	104783	113364	134021	380573	202024	58640	641237	7415	710901	26555	117293	131062	153488	428398	209643	64330	702371	8530	746074	24103	116600	129075	158358	428136	217706	84173	730015	16059
61161	4	rec.																																									2299777	106294	551456	454343	441583	1553676	507704	198869	2260249	39528
61162	4	firms	6374	1480	2852	1020	602	5954	376	30	6360	14	6766	1632	2980	1045	646	6303	411	37	6751	15	7116	1618	3099	1140	731	6588	474	38	7100	16	7709	1727	3417	1183	810	7137	513	45	7695	14	8707	2054	3809	1362	844	8069	573	52	8694	13
61162	4	estab.	6527	1480	2859	1026	613	5978	450	77	6505	22	6961	1636	2987	1048	659	6330	489	114	6933	28	7312	1618	3106	1149	743	6616	544	124	7284	28	7911	1727	3421	1195	829	7172	572	142	7886	25	8940	2054	3812	1366	862	8094	674	149	8917	23
61162	4	empl.	33576	0	5661	6652	8085	20398	11129	1048	32575	1001	37892	0	5973	6814	8708	21495	12405	2595	36495	1397	41308	0	6166	7543	9862	23571	14280	2926	40777	531	45848	0	6728	7761	10915	25404	16372	3548	45324	524	50488	0	7662	8952	11312	27926	18077	3570	49573	915
61162	4	ann. pay.	453160	34016	90463	83129	81633	289241	130104	12266	431611	21549	539193	44073	98775	88696	101641	333185	151188	29186	513559	25634	694665	50596	110280	105730	124638	391244	193122	94600	678966	15699	710954	45245	127831	116530	137690	427296	218656	49132	695084	15870	747488	49032	140507	128046	133630	451215	216607	58474	726296	21192
61162	4	rec.																																									2451169	215019	628886	445430	376699	1666034	554072	190412	2410518	40651
61163	4	firms	754	106	278	122	118	624	109	15	748	6	792	122	281	138	111	652	120	15	787	5	816	113	307	128	123	671	122	18	811	5	832	106	321	130	124	681	125	22	828	4	882	125	306	145	152	728	135	15	878	4
61163	4	estab.	902	106	279	122	121	628	135	40	803	99	941	122	281	139	117	659	145	39	843	98	961	113	307	129	131	680	141	43	864	97	981	106	321	131	132	690	143	54	887	94	1032	125	308	147	157	737	166	39	942	90
61163	4	empl.	11525	0	590	834	1647	3071	3878	1769	8718	2807	11718	0	581	920	1523	3024	4206	1733	8963	2755	12351	0	675	838	1710	3223	4194	2170	9587	2764	12601	0	685	861	1714	3260	4387	2643	10290	2311	12195	0	626	952	2055	3633	4749	1655	10037	2158
61163	4	ann. pay.	163767	1949	8669	10107	17880	38605	55487	31056	125148	38619	173672	3096	9472	11062	18645	42275	64861	29956	137092	36580	192133	3487	11114	11603	22183	48387	64591	40485	153463	38670	216219	3822	13764	11687	25917	55190	66202	49425	170817	45402	200063	3777	10843	12784	29687	57091	57714	44436	159241	40822
61163	4	rec.																																									499750	11693	36729	37222	75576	161220	130388	79568	371176	128574
61169	4	firms	8830	1304	4100	1485	986	7875	791	115	8781	49	9032	1217	4206	1494	1049	7966	890	125	8981	51	9236	1227	4203	1576	1054	8060	995	128	9183	53	9824	1383	4397	1682	1157	8619	1013	140	9772	52	8726	1415	3619	1432	1090	7556	991	127	8674	52
61169	4	estab.	9862	1308	4101	1493	1028	7930	1092	397	9419	443	10381	1223	4209	1504	1086	8022	1167	366	9555	826	10609	1231	4209	1584	1087	8111	1262	372	9745	864	11256	1386	4406	1694	1187	8673	1233	441	10347	909	10165	1415	3621	1433	1131	7600	1293	405	9298	867
61169	4	empl.	79541	0	8287	9781	13182	31250	26786	12092	70128	9413	92501	0	8481	9847	14049	32377	30547	14135	77059	15442	102650	0	8533	10493	14387	33413	35298	15079	83790	18860	110234	0	8928	11117	15570	35615	36106	17050	88771	21463	96540	0	7626	9472	14810	31908	34931	12500	79339	17201
61169	4	ann. pay.	1512495	40566	154647	159628	204086	558927	445827	262071	1266825	245670	1774434	50002	167279	173828	234055	625164	525089	304465	1454718	319716	2077117	53057	186445	191938	259281	690721	659699	347420	1697840	379277	2265764	48475	195666	213376	294157	751674	668366	417141	1837181	428583	2011319	42947	149541	170605	279779	642872	649049	296906	1588827	422492
61169	4	rec.																																									5473204	172455	549247	495636	792405	2009743	1685411	760155	4455309	1017895
61171	4	firms	3937	836	2071	450	284	3641	212	56	3909	28	3906	687	2132	492	273	3584	238	52	3874	32	3897	641	2102	493	296	3532	267	66	3865	32	4272	743	2274	541	306	3864	302	70	4236	36	4541	988	2306	536	312	4142	286	74	4502	39
61171	4	estab.	4174	836	2073	453	299	3661	271	138	4070	104	4179	732	2134	495	285	3646	294	153	4093	86	4184	641	2104	501	302	3548	369	189	4106	78	4668	743	2275	551	313	3882	354	326	4562	106	5150	988	2308	542	329	4167	376	180	4723	427
61171	4	empl.	33846	0	3851	2945	3758	10554	7851	6147	24552	9294	34637	0	3891	3232	3720	10843	8716	6814	26373	8264	39763	0	3907	3226	3963	11096	10015	9372	30483	9280	46642	0	4217	3556	4093	11866	11204	9509	32579	14063	51021	0	4343	3520	4219	12082	10636	8791	31509	19512
61171	4	ann. pay.	1041475	29653	120626	83840	115144	349263	215874	217727	782864	258611	1147527	36685	124128	96195	117498	374506	245949	242698	863153	284374	1380455	27474	130972	105777	137044	401267	296814	335773	1033854	346601	1729778	25572	142939	120039	137804	426354	350808	336836	1113998	615780	1869153	37930	139791	118296	143163	439180	335451	314008	1088639	780514
61171	4	rec.																																									6063612	161817	549077	402589	419210	1532693	1041311	1043263	3617267	2446345
62111	4	firms	173066	14743	83375	40734	20353	159205	11984	1197	172386	680	171735	14629	81501	40356	20552	157038	12709	1276	171023	712	174006	16061	80227	40695	21463	158446	13477	1356	173279	727	177127	16058	80852	41559	22174	160643	14305	1426	176374	753	179583	17266	79875	42427	22836	162404	14778	1637	178819	764
62111	4	estab.	195167	14821	83651	41542	22053	162067	17597	5287	184951	10216	193967	14765	81770	41126	22048	159709	18124	5426	183259	10708	195655	16223	80505	41391	22886	161005	18576	5727	185308	10347	197892	16133	81144	42204	23518	162999	19109	5782	187890	10002	203669	17282	80036	43064	24464	164846	21659	7262	193767	9902
62111	4	empl.	1619363	0	187210	264583	270206	721999	410124	169099	1301222	318141	1692571	0	182911	262793	273120	718824	440982	182791	1342597	349974	1763793	0	180271	265457	285688	731416	475454	199479	1406349	357444	1848200	0	180950	271266	295294	747510	505100	211926	1464536	383664	1904325	0	181235	277350	303814	762399	524112	235320	1521831	382494
62111	4	ann. pay.	90403330	1626805	11536839	13268141	15514488	41946273	24971217	9260710	76178200	14225130	95058555	1518949	11421870	13362361	15847961	42151141	27005667	10122554	79279362	15779193	101252467	1520496	11490041	13591623	16826064	43428224	29700114	11182085	84310423	16942044	109542092	1504893	11961590	14159595	17679148	45305226	32615043	12632793	90553062	18989030	115081001	1720256	11733622	14557046	18210543	46221467	34051553	14526446	94799466	20281535
62111	4	rec.																																									253220236	4901895	31634445	33375783	36877190	106789313	66619982	31680237	205089532	48130704
62121	4	firms	111325	5335	46860	42100	14614	108909	2301	84	111294	31	111497	5413	45605	42600	15284	108902	2477	81	111460	37	112373	5869	44166	43027	16447	109509	2728	101	112338	35	112802	5784	43072	43523	17296	109675	2981	106	112762	40	113128	5983	41978	43592	18159	109712	3268	111	113091	37
62121	4	estab.	115060	5351	46966	42534	15588	110439	3322	610	114371	689	115268	5481	45721	43011	16229	110442	3479	507	114428	840	116494	5879	44273	43433	17325	110910	3734	648	115292	1202	117038	5804	43195	43907	18139	111045	3960	610	115615	1423	117812	5986	42037	43898	19148	111069	4733	838	116640	1172
62121	4	empl.	665498	0	120796	277184	183477	581457	66287	9727	657471	8027	683331	0	117731	281161	192735	591627	71172	8809	671608	11723	710858	0	114117	284325	207581	606023	78052	11635	695710	15148	733862	0	111266	288605	218898	618769	84344	12009	715122	18740	750129	0	109279	290007	230322	629608	93578	12674	735860	14269
62121	4	ann. pay.	19885297	286091	3029447	7813260	5897501	17026299	2313456	318388	19658143	227154	21471821	300124	3150122	8260852	6466857	18177955	2602158	332979	21113092	358729	23235125	320592	3192141	8698170	7184276	19395179	2980788	411252	22787219	447906	25196085	351977	3308382	9219008	7854470	20733837	3346446	493318	24573601	622484	26806179	384111	3350318	9602422	8552426	21889277	3814064	612796	26316137	490042
62121	4	rec.																																									71223564	1336829	12805173	26373130	19517851	60032983	7955975	1606511	69595469	1628095
62131	4	firms	30505	2906	21610	4922	920	30358	140	5	30503	2	30750	2832	21756	5033	958	30579	161	7	30747	3	31807	3401	21922	5243	1052	31618	172	13	31803	4	32682	3378	22385	5564	1137	32464	202	11	32677	5	33738	3569	22892	5778	1286	33525	193	11	33729	9
62131	4	estab.	30884	2911	21634	4981	1030	30556	288	38	30882	2	31131	2837	21784	5098	1069	30788	291	46	31125	6	32191	3406	21945	5299	1145	31795	302	86	32183	8	33078	3382	22419	5616	1234	32651	308	110	33069	9	34173	3572	22901	5830	1419	33722	383	57	34162	11
62131	4	empl.	92993	0	46087	30367	11523	87977	4213	         [f]	         [l]	         [c]	95208	0	46515	31098	11994	89607	4813	[f]	[l]	[b]	99621	0	46993	32605	13138	92736	5181	1588	99505	116	111637	0	48400	34736	14172	97308	5903	1783	104994	6643	110134	0	50733	36106	16093	102932	5596	1056	109584	550
62131	4	ann. pay.	2003852	59498	842525	677228	295100	1874351	113138	         (D)	         (D)	         (D)	2102138	62679	882800	710372	301509	1957360	124144	(D)	(D)	(D)	2309659	70930	937793	762655	343195	2114573	148558	40372	2303503	6156	2606520	73177	1011363	845843	382399	2312782	160989	60877	2534648	71872	2724415	79029	1067753	903172	430839	2480793	155369	32850	2669012	55403
62131	4	rec.																																									9318941	363158	4572863	2496896	1046617	8479534	386040	71955	8937529	381412
62132	4	firms	16163	964	9141	4203	1440	15748	366	25	16139	24	16246	1029	8943	4313	1511	15796	401	25	16222	24	16499	1180	8735	4446	1655	16016	436	27	16479	20	16582	1086	8683	4629	1675	16073	458	32	16563	19	17127	1164	8958	4655	1804	16581	490	36	17107	20
62132	4	estab.	17606	968	9191	4358	1821	16338	815	177	17330	276	17673	1051	8989	4472	1878	16390	837	176	17403	270	17948	1195	8788	4597	2032	16612	857	217	17686	262	17969	1093	8747	4794	2009	16643	874	239	17756	213	18759	1165	8992	4817	2205	17179	1082	323	18584	175
62132	4	empl.	82368	0	21599	27027	18212	66838	10578	2117	79533	2835	84604	0	21052	27561	19238	67851	11633	2074	81558	3046	88347	0	20674	28589	21232	70495	12906	2399	85800	2547	90971	0	20689	29910	21665	72264	14009	2942	89215	1756	95026	0	21555	30261	23167	74983	15241	3297	93521	1505
62132	4	ann. pay.	1917446	32864	426035	566949	458508	1484356	302616	63997	1850969	66477	2068350	39853	437216	609820	504278	1591167	345961	68733	2005861	62489	2261672	41272	448507	649388	560160	1699327	409611	91435	2200373	61299	2399511	38078	466382	702742	596287	1803489	452706	101741	2357936	41575	2578152	41664	485566	727709	654548	1909487	502479	118356	2530322	47830
62132	4	rec.																																									8464738	165886	2246648	2492433	1815366	6720333	1291143	329315	8340791	123947
62133	4	firms	11318	1345	8357	898	375	10975	221	80	11276	42	10916	1238	8059	908	389	10594	212	74	10880	36	10832	1320	7894	930	340	10484	237	76	10797	35	10933	1343	7944	929	374	10590	235	71	10896	37	12475	1806	8932	948	381	12067	254	95	12416	59
62133	4	estab.	11738	1347	8369	912	397	11025	329	186	11540	198	11330	1242	8075	918	416	10651	288	237	11176	154	11231	1320	7916	946	359	10541	310	254	11105	126	11303	1343	7965	943	393	10644	307	209	11160	143	12971	1807	8945	961	411	12124	417	244	12785	186
62133	4	empl.	41004	0	13779	5741	4824	24344	7096	         [i]	         [k]	         [h]	39620	0	13318	5760	5083	24161	7082	[h]	[k]	[h]	40957	0	13186	5983	4430	23599	7776	4701	36076	4881	43648	0	13136	5972	4827	23935	8479	5041	37455	6193	48063	0	14884	5993	5096	25973	9443	7000	42416	5647
62133	4	ann. pay.	1059341	33391	345258	135829	120619	635097	168809	         (D)	         (D)	         (D)	1014326	32473	348611	145856	125042	651982	177033	(D)	(D)	(D)	1082976	28712	364045	156320	118456	667533	205060	103198	975791	107185	1194382	32407	375311	161161	134343	703222	237484	116677	1057383	136999	1349154	44295	407279	165106	143185	759865	265176	169148	1194189	154965
62133	4	rec.																																									3420780	150852	1309625	412134	287752	2160363	504350	314978	2979691	441089
62134	4	firms	11862	1453	5313	2364	1529	10659	960	121	11740	122	11854	1516	5351	2318	1520	10705	904	118	11727	127	12299	1650	5465	2396	1578	11089	960	118	12167	132	13173	1864	5912	2459	1675	11910	1006	121	13037	136	14725	2218	6524	2726	1858	13326	1093	166	14585	140
62134	4	estab.	14455	1458	5329	2421	1721	10929	1580	489	12998	1457	14597	1531	5372	2383	1693	10979	1441	575	12995	1602	15048	1651	5483	2461	1753	11348	1491	663	13502	1546	16117	1868	5939	2521	1837	12165	1513	644	14322	1795	18690	2232	6540	2784	2100	13656	2046	801	16503	2187
62134	4	empl.	144201	0	10921	15567	20023	46511	33319	17506	97336	46865	135006	0	10862	15362	20274	46498	31477	14890	92865	42141	120512	0	11225	15912	20976	48113	33452	14473	96038	24474	131011	0	12009	16306	22331	50646	35756	14810	101212	29799	145356	0	13188	18201	24843	56232	38413	19775	114420	30936
62134	4	ann. pay.	4412727	55718	289680	416022	569997	1331417	948520	491752	2771689	1641038	4038525	57292	294481	421700	567165	1340638	879873	396964	2617475	1421050	3514483	59248	308137	457402	611911	1436698	963511	385224	2785433	729050	4048800	65000	357473	492696	672635	1587804	1078393	427007	3093204	955596	4575363	82860	382240	554598	771031	1790729	1197317	577756	3565802	1009561
62134	4	rec.																																									10128116	257128	1288740	1357495	1617775	4521138	2328548	1041274	7890960	2237156
62139	4	firms	14556	1651	9303	2459	746	14159	277	61	14497	59	14643	1640	9344	2437	813	14234	284	66	14584	59	15310	1927	9458	2608	877	14870	325	55	15250	60	15409	1849	9565	2598	938	14950	340	65	15355	54	18610	2576	11236	3057	1112	17981	478	82	18541	69
62139	4	estab.	15254	1655	9346	2568	921	14490	431	98	15019	235	15353	1643	9389	2537	985	14554	447	109	15110	243	16023	1932	9506	2700	1036	15174	519	85	15778	245	16088	1854	9612	2677	1100	15243	510	100	15853	235	19578	2576	11261	3131	1311	18279	763	151	19193	385
62139	4	empl.	60540	0	19251	15546	9442	44239	8671	4182	57092	3448	62529	0	19368	15459	10300	45127	9166	4937	59230	3299	67802	0	19680	16545	11098	47323	10834	4732	62889	4913	71212	0	19906	16539	11987	48432	11577	5780	65789	5423	87008	0	23109	19520	14138	56767	15734	7220	79721	7287
62139	4	ann. pay.	1676484	56163	461203	442784	296883	1257033	238525	77432	1572990	103494	1757876	55426	482348	440976	319582	1298332	259749	103533	1661614	96262	2004341	65486	512570	488191	367622	1433869	335811	88024	1857704	146637	2185405	55977	538486	513000	409468	1516931	359643	147665	2024239	161166	2798302	84904	649580	629644	492875	1857003	531893	186714	2575610	222692
62139	4	rec.																																									7610968	332632	2400472	1699250	1149780	5582134	1110964	484342	7177440	433528
62141	4	firms	1020	60	403	138	123	724	187	78	989	31	982	47	372	145	129	693	186	72	951	31	992	57	378	156	108	699	192	67	958	34	1013	52	396	157	120	725	184	74	983	30	1090	70	448	170	118	806	174	76	1056	34
62141	4	estab.	1845	60	403	139	155	757	481	505	1743	102	1820	48	372	163	153	736	473	508	1717	103	1801	58	379	159	128	724	481	498	1703	98	1808	52	399	162	131	744	461	513	1718	90	1905	70	448	170	138	826	473	513	1812	93
62141	4	empl.	18966	0	825	933	1664	3422	6685	6363	16470	2496	19148	0	790	925	1675	3390	6904	5898	16192	2956	19972	0	838	1021	1474	3333	7092	6022	16447	3525	20265	0	867	1048	1594	3509	6945	6585	17039	3226	18621	0	970	1112	1589	3671	6503	6387	16561	2060
62141	4	ann. pay.	440604	5813	14985	16775	34759	72332	150327	146956	369615	70989	465553	2968	14277	19165	34665	71075	165494	148298	384867	80686	510385	4379	15496	20476	31591	71942	179248	157563	408753	101632	523645	1859	17475	21754	32958	74046	186680	177679	438405	85240	502344	2405	18528	25199	40363	86495	163363	187027	436885	65459
62141	4	rec.																																									1330813	7641	69580	77827	101528	256576	388950	474698	1120224	210589
62142	4	firms	3709	311	1175	451	381	2318	664	544	3526	183	3608	209	1167	444	373	2193	644	583	3420	188	3486	216	1046	398	397	2057	647	590	3294	192	3482	215	1027	398	386	2026	657	606	3289	193	3919	326	1253	437	382	2398	686	622	3706	213
62142	4	estab.	6414	311	1175	460	410	2356	1117	1994	5467	947	6425	209	1181	447	408	2245	1063	2094	5402	1023	6371	216	1052	407	446	2121	1054	2115	5290	1081	6518	243	1035	399	435	2112	1074	2247	5433	1085	7216	328	1256	443	436	2463	1251	2332	6046	1170
62142	4	empl.	132460	0	2277	3045	5184	10506	25981	63198	99685	32775	140497	0	2237	2962	5081	10280	25540	68098	103918	36579	141937	0	2098	2652	5323	10073	26566	69697	106336	35601	149570	0	2095	2689	5220	10004	27011	74552	111567	38003	152596	0	2462	2911	5222	10595	27567	74867	113029	39567
62142	4	ann. pay.	3346652	26037	52983	69560	125203	273783	625437	1497854	2397074	949578	3594665	11498	58284	80390	127616	277788	629818	1662721	2570327	1024338	3747931	14520	54357	66005	136483	271365	671880	1796512	2739757	1008174	4053204	16365	56695	74425	140810	288295	718702	1964777	2971774	1081430	4232381	13641	63278	77407	138679	293005	745733	2020730	3059468	1172913
62142	4	rec.																																									10560971	34832	200614	197746	299841	733033	1538646	4054478	6326157	4234814
62149	4	firms	6607	560	1540	945	969	4014	1425	615	6054	553	6540	549	1567	942	924	3982	1364	627	5973	567	6610	544	1527	963	949	3983	1412	652	6047	563	6795	577	1531	992	995	4095	1456	676	6227	568	8076	752	2033	1251	1202	5238	1551	709	7498	578
62149	4	estab.	14117	574	1545	956	1031	4106	2053	1718	7877	6240	14474	565	1572	953	975	4065	1898	1826	7789	6685	14031	559	1535	979	982	4055	1962	1838	7855	6176	14586	582	1548	1003	1041	4174	1949	1983	8106	6480	16203	752	2068	1277	1259	5356	2246	2256	9858	6345
62149	4	empl.	390019	0	3322	6406	12983	22711	57142	67650	147503	242516	388684	0	3422	6409	12508	22339	54794	68402	145535	243149	392999	0	3299	6508	12946	22753	56168	74763	153684	239315	412395	0	3319	6725	13598	23642	58677	82210	164529	247866	422245	0	4457	8458	16372	29287	61295	87933	178515	243730
62149	4	ann. pay.	14014959	78908	137599	251630	483254	951391	1773296	2073146	4797833	9217126	14089759	62843	143184	257570	484585	948182	1787148	2158638	4893968	9195791	14530642	81076	137288	268171	511952	998487	1899291	2402043	5299821	9230821	15991776	89851	145269	282119	550885	1068124	2119970	2790431	5978525	10013251	17069456	78086	214827	324158	648983	1266054	2244823	3025588	6536465	10532991
62149	4	rec.																																									52561809	402908	817996	1041172	1872381	4134457	6319723	8148691	18602871	33958938
62151	4	firms	6006	590	2276	1165	795	4826	766	194	5786	220	5896	651	2136	1092	805	4684	788	204	5676	220	6039	700	2141	1158	801	4800	821	201	5822	217	6206	700	2280	1116	843	4939	847	203	5989	217	6445	742	2382	1108	867	5099	873	237	6209	236
62151	4	estab.	9671	598	2283	1187	851	4919	1084	765	6768	2903	9591	652	2143	1105	853	4753	1067	824	6644	2947	9750	703	2146	1184	833	4866	1083	752	6701	3049	11026	702	2285	1136	900	5023	1069	817	6909	4117	10357	757	2395	1124	943	5219	1323	891	7433	2924
62151	4	empl.	156328	0	4966	7746	10608	23320	28334	24687	76341	79987	152493	0	4576	7194	10737	22507	29156	25842	77505	74988	152059	0	4581	7611	10688	22880	31064	26395	80339	71720	169195	0	4885	7383	11251	23519	31745	27791	83055	86140	181314	0	5203	7333	11583	24119	33318	31924	89361	91953
62151	4	ann. pay.	5649627	68895	244879	376483	497305	1187562	1215071	879336	3281969	2367658	5982830	55728	247914	360727	524695	1189064	1334154	903967	3427185	2555645	6568039	67655	251144	383105	561682	1263586	1473672	1033587	3770845	2797194	7515374	62373	274363	385833	619730	1342299	1626079	1167467	4135845	3379529	8247536	72768	307837	415018	674937	1470560	1771574	1410523	4652657	3594879
62151	4	rec.																																									25546332	268498	944587	1215996	1973859	4402940	4779795	3960864	13143599	12402733
62161	4	firms	12310	1176	2472	1229	1582	6459	3861	1300	11620	690	11234	1215	2442	1176	1367	6200	3184	1170	10554	680	11022	1200	2494	1105	1217	6016	3153	1159	10328	694	11117	1247	2496	1135	1251	6129	3113	1188	10430	687	12791	1745	3166	1237	1368	7516	3274	1294	12084	707
62161	4	estab.	19439	1176	2474	1231	1593	6474	4296	2690	13460	5979	17451	1228	2448	1182	1409	6267	3575	2419	12261	5190	16092	1214	2500	1108	1246	6068	3466	2276	11810	4282	16284	1253	2498	1138	1285	6174	3403	2244	11821	4463	18298	1756	3166	1249	1376	7547	3722	2522	13791	4507
62161	4	empl.	901525	0	5129	8325	22393	35847	170632	215498	421977	479548	796814	0	5044	7906	19163	32113	142701	193600	368414	428400	786607	0	5109	7322	17273	29704	145267	194455	369426	417181	774381	0	5090	7524	17726	30340	144343	197408	372091	402290	804233	0	6406	8339	19284	34029	149958	215856	399843	404390
62161	4	ann. pay.	15245666	157698	119640	164224	416113	857675	2707579	3380185	6945439	8300227	14034345	131532	119647	165820	387786	804785	2359607	3153889	6318281	7716064	14245234	100716	122785	164763	355266	743530	2561810	3243588	6548928	7696306	14941576	94809	137398	172846	389724	794777	2729373	3481457	7005607	7935969	16211222	118287	151203	193041	425485	888016	3049788	3997712	7935516	8275706
62161	4	rec.																																									34312578	289651	484024	556902	1060856	2391433	6328669	7435563	16155665	18156913
62191	4	firms	2773	224	622	361	552	1759	832	121	2712	61	2773	259	594	377	525	1755	828	120	2703	70	2946	304	638	402	531	1875	867	134	2876	70	3015	296	640	388	580	1904	902	141	2947	68	2972	262	546	381	564	1753	976	169	2898	74
62191	4	estab.	3524	224	624	361	556	1765	1029	308	3102	422	3526	259	598	377	528	1762	1004	335	3101	425	3748	304	640	404	535	1883	1040	313	3236	512	3830	300	642	388	590	1920	1055	351	3326	504	3865	262	546	381	567	1756	1163	480	3399	466
62191	4	empl.	107312	0	1342	2490	7852	11684	33228	19040	63952	43360	103818	0	1283	2561	7450	11294	33450	19868	64612	39206	107951	0	1344	2730	7500	11574	34646	21573	67793	40158	101831	0	1414	2640	8253	12307	36269	22783	71359	30472	109064	0	1253	2639	7970	11862	38325	26967	77154	31910
62191	4	ann. pay.	2173076	10538	26059	36541	108816	181954	565057	443149	1190160	982916	2130582	14793	23695	38271	110523	187282	600443	462918	1250643	879939	2319228	25185	26319	44888	118595	214987	639588	516380	1370955	948273	2653785	21114	31060	45590	156389	254153	708460	592406	1555019	1098766	2883862	21557	30167	49470	135969	237163	761526	732683	1731372	1152490
62191	4	rec.																																									6800309	63059	111911	151141	326580	652691	1775617	1690305	4118613	2681696
62199	4	firms	1910	270	737	250	192	1449	218	142	1809	101	1823	185	744	252	184	1365	233	132	1730	93	1754	166	676	270	167	1279	259	131	1669	85	1816	172	739	287	160	1358	257	116	1731	85	2477	320	1185	316	199	2020	241	122	2383	94
62199	4	estab.	3222	270	739	252	208	1469	345	475	2289	933	3120	185	746	253	197	1381	363	476	2220	900	3031	166	678	276	171	1291	393	463	2147	884	3377	172	741	291	170	1374	371	466	2211	1166	4251	329	1185	321	218	2053	389	512	2954	1297
62199	4	empl.	69785	0	1541	1627	2550	5718	8727	24318	38763	31022	71810	0	1508	1673	2491	5672	9491	24456	39619	32191	72781	0	1458	1776	2255	5489	11025	25275	41789	30992	78453	0	1534	1881	2118	5533	10889	20687	37109	41344	89042	0	2403	2069	2617	7089	10272	21435	38796	50246
62199	4	ann. pay.	2080914	13182	44039	44352	71627	173200	263605	722532	1159337	921577	2178817	6391	44802	50614	69515	171322	302282	775695	1249299	929518	2269931	6577	42631	52438	64027	165673	346775	803947	1316395	953536	2588092	10354	48710	57342	62506	178912	343448	731416	1253776	1334316	3077166	19786	73315	67118	80928	241147	355422	743866	1340435	1736731
62199	4	rec.																																									11190489	76118	287221	348252	304566	1016157	1241288	2623898	4881343	6309146
62211	4	firms	3677	69	36	18	13	136	384	1439	1959	1718	3623	67	46	29	20	162	381	1393	1936	1687	3637	72	83	33	24	212	380	1389	1981	1656	3626	81	103	44	30	258	387	1338	1983	1643	3581	90	105	52	43	290	388	1289	1967	1614
62211	4	estab.	5648	74	36	18	13	141	392	1453	1986	3662	5621	69	46	29	20	164	389	1415	1968	3653	5756	72	85	33	24	214	391	1412	2017	3739	5765	81	105	44	30	260	388	1372	2020	3745	5971	90	105	57	51	303	399	1367	2069	3902
62211	4	empl.	4610069	0	67	107	182	356	26621	344985	371962	4238107	4599643	0	95	167	277	539	26138	337811	364488	4235155	4623686	0	166	218	332	716	25765	337403	363884	4259802	4680588	0	209	307	428	944	26027	321583	348554	4332034	4713450	0	204	349	577	1130	25092	311346	337568	4375882
62211	4	ann. pay.	147661362	428059	3602	7095	5594	444350	590741	8818977	9854068	137807294	150207196	111094	3337	11440	13561	139432	618368	8778275	9536075	140671121	156596031	368189	6914	12736	13439	401278	627752	9114598	10143628	146452403	166379184	103648	11097	19007	17169	150921	668447	9135537	9954905	156424279	179673489	106980	13220	25329	56744	202273	693192	9425929	10321394	169352095
62211	4	rec.																																									468007640	525446	268810	107783	213717	1115756	2131118	23737230	26984104	441023536
62221	4	firms	538	12	12	3	5	32	40	213	285	253	535	17	17	5	10	49	35	194	278	257	559	24	19	10	13	66	33	202	301	258	579	22	27	14	17	80	35	206	321	258	609	32	46	17	19	114	33	219	366	243
62221	4	estab.	848	12	13	3	5	33	44	228	305	543	838	17	17	6	10	50	36	209	295	543	832	28	19	10	13	70	34	236	340	492	758	22	27	14	17	80	36	229	345	413	797	32	46	17	19	114	40	250	404	393
62221	4	empl.	247775	         [a]	35	         [b]	         [b]	122	2467	52630	55219	192556	244652	0	36	39	135	210	2316	49559	52085	192567	240431	0	38	72	165	275	1997	51729	54001	186430	240512	0	51	98	215	364	1837	53489	55690	184822	235942	0	81	114	254	449	1815	58257	60521	175421
62221	4	ann. pay.	8131790	         (D)	4973	         (D)	         (D)	16194	61453	1690423	1768070	6363720	7956625	2274	1571	1897	4256	9998	57254	1618322	1685574	6271051	7975184	11990	1266	2782	3715	19753	55212	1736206	1811171	6164013	8332977	7079	1555	3275	7226	19135	57565	1870290	1946990	6385987	8787338	6557	3233	3260	8502	21552	57488	2176144	2255184	6532154
62221	4	rec.																																									15576265	25368	14347	10984	18664	69363	116463	3872251	4058077	11518188
62231	4	firms	306	28	12	3	3	46	40	77	163	143	331	41	21	4	15	81	30	74	185	146	352	32	28	12	15	87	35	78	200	152	404	44	48	22	13	127	52	69	248	156	548	88	74	42	30	234	69	88	391	157
62231	4	estab.	468	28	12	3	3	46	41	92	179	289	510	41	21	4	15	81	34	86	201	309	499	32	28	12	19	91	35	92	218	281	615	44	48	22	13	127	52	78	257	358	801	88	74	42	30	234	74	108	416	385
62231	4	empl.	153493	         [a]	24	         [b]	         [b]	82	2587	20710	23379	130114	156236	0	45	25	191	261	1953	19730	21944	134292	150524	0	69	75	193	337	2192	19741	22270	128254	163905	0	101	149	176	426	2933	16891	20250	143655	172192	0	148	258	389	795	3336	19898	24029	148163
62231	4	ann. pay.	5075960	         (D)	1051	         (D)	         (D)	45998	62521	616419	724938	4351022	5276779	6908	1877	1042	13643	23470	53148	592239	668857	4607922	5479550	22548	3520	1752	6050	33870	58602	640072	732544	4747006	6190546	9691	4942	4319	5875	24827	87177	530327	642331	5548215	6636532	12702	6711	10136	12636	42185	103751	651096	797032	5839500
62231	4	rec.																																									15561991	45740	22198	36847	39594	144379	261862	1503635	1909876	13652115
62311	4	firms	8383	518	554	238	274	1584	2928	3178	7690	693	8614	669	712	293	284	1958	2870	3112	7940	674	8631	601	792	357	330	2080	2842	3022	7944	687	8787	628	819	356	366	2169	2869	3031	8069	718	8672	661	717	288	347	2013	2769	3138	7920	752
62311	4	estab.	16065	520	554	239	284	1597	3034	3927	8558	7507	16561	680	713	296	306	1995	2982	3859	8836	7725	16891	661	795	361	339	2156	2966	3719	8841	8050	17046	644	821	367	376	2208	2964	3717	8889	8157	16779	668	717	294	359	2038	2890	3928	8856	7923
62311	4	empl.	1557105	0	1164	1558	3798	6520	183579	533760	723859	833246	1558806	0	1457	1936	3856	7249	179223	530563	717035	841771	1533714	0	1606	2402	4518	8526	177249	520215	705990	827724	1559457	0	1684	2403	4968	9055	178335	519629	707019	852438	1604222	0	1554	1958	4816	8328	172553	538795	719676	884546
62311	4	ann. pay.	28522345	152516	29057	30168	71454	283195	2884662	9899652	13067509	15454836	29672312	185065	39005	47569	76400	348039	2934312	10221328	13503679	16168633	30691284	202181	37221	47197	80688	367287	3099999	10515825	13983111	16708173	33343153	247981	43612	50905	92235	434733	3310169	11097758	14842660	18500493	35808394	316941	42538	40823	92814	493116	3319411	11958631	15771158	20037236
62311	4	rec.																																									74576571	784549	98870	87724	268883	1240026	6761935	24261876	32263837	42312734
62321	4	firms	4538	255	931	497	557	2240	1127	936	4303	235	4430	177	900	504	536	2117	1150	944	4211	219	4356	210	826	505	495	2036	1124	945	4105	251	4358	207	820	505	514	2046	1093	967	4106	252	4862	277	1088	539	567	2471	1111	986	4568	294
62321	4	estab.	14773	270	936	511	579	2296	2533	6667	11496	3277	15119	207	904	509	566	2186	2555	7017	11758	3361	15542	244	828	513	526	2111	2440	6960	11511	4031	16741	226	821	518	544	2109	2353	7339	11801	4940	19369	277	1088	544	609	2518	2686	8167	13371	5998
62321	4	empl.	277751	0	2049	3375	7635	13059	49402	120455	182916	94835	275603	0	2002	3410	7455	12867	51299	122451	186617	88986	284362	0	1885	3409	6838	12132	49589	124666	186387	97975	293254	0	1915	3395	7042	12352	48668	127486	188506	104748	317056	0	2457	3661	7771	13889	48041	131402	193332	123724
62321	4	ann. pay.	4493222	28030	29323	48314	110528	216195	766011	1959404	2941610	1551612	4671746	12780	34542	48078	108674	204074	834785	2112381	3151240	1520506	5065303	23483	32434	52670	108377	216964	837005	2226133	3280102	1785201	5462929	12190	31431	55828	115422	214871	848953	2404788	3468612	1994317	6179164	21516	36761	61506	125066	244849	859498	2495570	3599917	2579247
62321	4	rec.																																									11998659	61406	122017	151703	282897	618023	1671595	4742190	7031808	4966851
62322	4	firms	3539	261	748	451	491	1951	815	601	3367	172	3458	158	769	441	492	1860	796	627	3283	175	3431	166	747	422	480	1815	794	633	3242	189	3414	139	760	426	457	1782	808	632	3222	192	3231	117	645	364	433	1559	812	648	3019	212
62322	4	estab.	5922	262	749	459	499	1969	1269	1866	5104	818	6003	158	771	449	496	1874	1231	1969	5074	929	6185	166	750	428	487	1831	1201	1973	5005	1180	6296	144	763	433	470	1810	1178	2067	5055	1241	6368	121	645	373	454	1593	1320	2110	5023	1345
62322	4	empl.	104042	0	1668	3020	6744	11432	28788	41776	81996	22046	107236	0	1701	2901	6761	11363	28932	43093	83388	23848	111992	0	1672	2855	6591	11118	29107	44914	85139	26853	114100	0	1704	2887	6219	10810	29774	46419	87003	27097	123832	0	1515	2453	5962	9930	29480	48959	88369	35463
62322	4	ann. pay.	1974036	9731	22463	42561	104135	178890	536423	831669	1546982	427054	2125521	9005	24550	44054	107522	185131	558340	895771	1639242	486279	2304038	13142	26684	45514	106597	191937	582831	970247	1745015	559023	2466724	8462	28295	47232	105949	189938	613463	1041272	1844673	622051	2753485	8291	26233	42906	109790	187220	651918	1113346	1952484	801001
62322	4	rec.																																									5916927	24540	92760	115560	260536	493396	1408304	2233946	4135646	1781281
62331	4	firms	13837	1740	4222	2097	1825	9884	2449	1117	13450	387	13684	1218	4369	2182	1808	9577	2584	1109	13270	414	13693	1293	4225	2058	1884	9460	2665	1130	13255	438	13936	1230	4254	2058	1904	9446	2860	1185	13491	445	13995	1279	4150	2007	1871	9307	2995	1218	13520	475
62331	4	estab.	16791	1749	4225	2103	1869	9946	2742	1973	14661	2130	17674	1221	4377	2191	1849	9638	2876	2078	14592	3082	18076	1315	4235	2064	1926	9540	2939	2206	14685	3391	18535	1242	4260	2082	1949	9533	3134	2265	14932	3603	18764	1283	4156	2022	1912	9373	3320	2288	14981	3783
62331	4	empl.	434716	0	9228	13988	24941	48157	97181	151894	297232	137484	479349	0	9429	14621	24610	48660	103465	154730	306855	172494	510957	0	9184	13752	25706	48642	107764	161403	317809	193148	546928	0	9215	13823	26058	49096	117095	170910	337101	209827	565955	0	9245	13416	25759	48420	122562	179137	350119	215836
62331	4	ann. pay.	6904700	83142	112487	160034	291368	647031	1309554	2606737	4563322	2341378	8008194	107762	122513	176591	306672	713538	1465947	2753199	4932684	3075510	8842981	125429	131362	178740	332235	767766	1611538	2987140	5366444	3476537	9831877	96545	137214	191956	373175	798890	1838743	3324700	5962333	3869544	10502720	138910	139422	184493	355882	818707	1947264	3592643	6358614	4144106
62331	4	rec.																																									26130513	386989	555473	539024	913327	2394813	4806492	8236546	15437851	10692662
62399	4	firms	3684	293	743	447	533	2016	948	570	3534	150	3601	181	730	447	564	1922	933	589	3444	157	3591	161	706	457	535	1859	967	589	3415	176	3684	211	708	466	550	1935	975	591	3501	183	3587	210	684	416	527	1837	937	613	3387	200
62399	4	estab.	6191	293	746	449	550	2038	1469	1767	5274	917	6200	184	733	448	581	1946	1385	1891	5222	978	6311	161	710	458	552	1881	1454	1870	5205	1106	6470	211	713	469	575	1968	1398	1924	5290	1180	6620	210	685	419	547	1861	1485	2023	5369	1251
62399	4	empl.	137590	0	1596	3019	7415	12030	36618	59140	107788	29802	147018	0	1617	3017	7841	12475	36634	60539	109648	37370	151094	0	1535	3053	7450	12038	37643	62084	111765	39329	157718	0	1546	3173	7777	12496	38832	65081	116409	41309	159600	0	1481	2867	7359	11707	36368	66907	114982	44618
62399	4	ann. pay.	2725256	12057	22705	43874	115945	194581	662392	1248707	2105680	619576	2988695	7806	25933	44951	129131	207821	702983	1286162	2196966	791729	3255674	10640	24614	50238	126468	211960	744152	1402253	2358365	897309	3560413	9845	26560	54743	141963	233111	794214	1547969	2575294	985119	3706728	11002	28177	51151	144545	234875	768288	1620154	2623317	1083411
62399	4	rec.																																									7645076	28260	89949	119423	313540	551172	1589202	3327861	5468235	2176841
62411	4	firms	7277	569	2638	1071	884	5162	1341	629	7132	145	7053	388	2429	1160	899	4876	1345	677	6898	155	7007	400	2323	1119	921	4763	1389	688	6840	167	7219	415	2345	1144	989	4893	1444	701	7038	181	7711	570	2636	1210	1010	5426	1389	699	7514	197
62411	4	estab.	9361	574	2640	1083	942	5239	1851	1431	8521	840	9282	389	2431	1176	947	4943	1826	1607	8376	906	9393	400	2329	1131	948	4808	1842	1687	8337	1056	9722	415	2350	1169	1032	4966	1903	1718	8587	1135	10426	570	2638	1219	1039	5466	1975	1809	9250	1176
62411	4	empl.	139302	0	5741	7096	11905	24742	46704	45913	117359	21943	147235	0	5260	7668	12138	25066	47335	50829	123230	24005	160364	0	5123	7433	12632	25188	50348	55868	131404	28960	170848	0	5136	7581	13363	26080	53030	59885	138995	31853	169612	0	5747	8020	13671	27438	50438	59618	137494	32118
62411	4	ann. pay.	2790621	25497	114607	143144	226635	509883	902414	921667	2333964	456657	3075612	14601	113160	154594	242017	524372	975484	1042836	2542692	532920	3440468	11640	113574	163728	262064	551006	1061608	1172381	2784995	655473	3843944	14497	117569	180210	292335	604611	1164853	1315210	3084674	759270	3909639	15532	134967	188202	309479	648180	1154078	1332090	3134348	775291
62411	4	rec.																																									10114049	59581	462485	580065	857022	1959153	2893348	3454745	8307246	1806803
62412	4	firms	9674	653	3080	1450	1242	6425	1829	1170	9424	250	9597	525	3072	1462	1241	6300	1844	1194	9338	259	9686	519	2980	1491	1313	6303	1899	1200	9402	284	9949	616	2998	1530	1305	6449	1988	1226	9663	286	10791	816	3279	1597	1373	7065	2127	1271	10463	328
62412	4	estab.	13289	655	3085	1457	1289	6486	2724	3018	12228	1061	13257	528	3078	1472	1285	6363	2700	3046	12109	1148	13505	536	2990	1499	1352	6377	2725	3061	12163	1342	13906	623	3004	1548	1340	6515	2824	3118	12457	1449	15285	816	3287	1605	1418	7126	3096	3342	13564	1721
62412	4	empl.	279754	0	6402	9570	16623	32595	71499	121517	225611	54143	283444	0	6446	9752	16977	33175	71919	121873	226967	56477	298984	0	6318	9919	17831	34068	74843	128604	237515	61469	308365	0	6380	10242	17736	34358	79507	135090	248955	59410	336800	0	7156	10682	18822	36660	83780	142764	263204	73596
62412	4	ann. pay.	4063488	16626	97473	141363	253508	508970	1068178	1763528	3340676	722812	4365085	14883	102479	150491	270666	538519	1117335	1883002	3538856	826229	4765566	21329	103484	160354	290266	575433	1199049	2084990	3859472	906094	5199934	24292	109068	170985	307967	612312	1321876	2336793	4270981	928953	5732241	34365	118585	186684	334005	673639	1440207	2485495	4599341	1132900
62412	4	rec.																																									14431391	101026	366548	507894	805675	1781143	3446451	7035805	12263399	2167992
62419	4	firms	15093	967	6862	2219	1616	11664	2095	1114	14873	220	15108	905	6646	2252	1657	11460	2191	1203	14854	254	15247	1029	6408	2274	1690	11401	2278	1273	14952	295	16215	1165	6739	2433	1813	12150	2388	1358	15896	319	17561	1470	7516	2532	1819	13337	2493	1391	17221	340
62419	4	estab.	20647	968	6873	2227	1728	11796	3612	3895	19303	1344	20934	912	6655	2260	1759	11586	3628	4126	19340	1594	21304	1033	6413	2294	1773	11513	3671	4312	19496	1808	22672	1166	6743	2461	1901	12271	3749	4561	20581	2091	24984	1474	7519	2551	1912	13456	4232	5019	22707	2277
62419	4	empl.	285195	0	13492	14602	21864	49958	75486	104690	230134	55061	307160	0	13193	14911	22302	50406	80665	114422	245493	61667	331251	0	12948	15163	22643	50754	84539	122723	258016	73235	360689	0	13384	16129	24607	54120	90161	133882	278163	82526	377546	0	15036	16827	24389	56252	92569	140439	289260	88286
62419	4	ann. pay.	5349779	33096	248355	277900	424767	984118	1484339	1917579	4386036	963743	5977640	30683	253269	295421	442770	1022143	1629579	2196121	4847843	1129797	6656050	40506	257602	321407	462014	1081529	1776062	2425123	5282714	1373336	7586136	32994	293408	355158	522793	1204353	1981290	2809325	5994968	1591168	8204468	48293	320367	385103	541866	1295629	2125184	3001305	6422118	1782350
62419	4	rec.																																									20387854	176179	994183	1037996	1387349	3595707	5111225	7741514	16448446	3939408
62421	4	firms	2300	71	1109	410	239	1829	276	154	2259	41	2286	55	1098	414	244	1811	282	152	2245	41	2291	50	1092	406	245	1793	302	154	2249	42	2321	59	1084	398	261	1802	319	155	2276	45	2447	74	1150	398	269	1891	337	168	2396	51
62421	4	estab.	3119	72	1114	414	246	1846	616	546	3008	111	3128	55	1098	418	259	1830	679	512	3021	107	3135	54	1092	409	263	1818	718	484	3020	115	3153	59	1085	399	272	1815	727	499	3041	112	3455	74	1150	399	290	1913	800	624	3337	118
62421	4	empl.	24341	0	2325	2669	3187	8181	8964	5114	22259	2082	24980	0	2335	2725	3237	8297	9020	5738	23055	1925	26041	0	2372	2710	3251	8333	9971	5664	23968	2073	27156	0	2354	2645	3453	8452	10732	6005	25189	1967	28952	0	2494	2543	3476	8513	10983	7094	26590	2362
62421	4	ann. pay.	368870	1379	28455	37018	52176	119028	148671	73083	340782	28088	396655	1711	30205	39198	54653	125767	156753	86656	369176	27479	433130	1908	30901	40161	55296	128266	187712	87161	403139	29991	488598	1439	32517	41609	63735	139300	215343	103244	457887	30711	536613	2096	34323	40829	66062	143310	233985	115307	492602	44011
62421	4	rec.																																									3078384	15172	183632	212114	340958	751876	1812627	405222	2969725	108659
62422	4	firms	4422	227	1416	777	736	3156	883	313	4352	70	4442	134	1382	802	761	3079	965	324	4368	74	4497	146	1336	801	784	3067	1002	346	4415	82	4677	161	1392	832	784	3169	1053	364	4586	91	4942	173	1485	830	839	3327	1122	388	4837	105
62422	4	estab.	5111	227	1416	782	750	3175	1155	601	4931	180	5156	136	1382	807	774	3099	1211	628	4938	218	5263	150	1336	803	800	3089	1250	673	5012	251	5493	161	1394	836	800	3191	1297	726	5214	279	6085	175	1485	836	862	3358	1595	834	5787	298
62422	4	empl.	66069	0	3106	5280	10120	18506	27478	14854	60838	5231	71146	0	3025	5408	10384	18817	31669	15124	65610	5536	75273	0	2924	5412	10771	19107	33400	16856	69363	5910	79444	0	3088	5618	10851	19557	35564	17915	73036	6408	83353	0	3294	5637	11373	20304	37225	19468	76997	6356
62422	4	ann. pay.	1256046	5703	66672	103756	187277	363408	523904	275030	1162342	93704	1413057	4685	66252	114260	192875	378072	629439	295230	1302741	110316	1571587	5629	66532	121899	210926	404986	690804	346657	1442447	129140	1758834	6446	76191	128369	222877	433883	775349	403741	1612973	145861	1923134	15431	80825	133159	247718	477133	844529	451306	1772968	150166
62422	4	rec.																																									5214353	58769	400224	503585	705172	1667750	2087771	1132268	4887789	326564
62423	4	firms	1722	69	872	326	193	1460	185	63	1708	14	1658	40	843	310	196	1389	197	57	1643	15	1646	39	806	326	204	1375	190	67	1632	14	1626	50	730	352	213	1345	204	57	1606	20	1628	58	733	318	234	1343	203	62	1608	20
62423	4	estab.	1983	69	872	327	202	1470	276	140	1886	97	1905	40	843	311	198	1392	296	125	1813	92	1865	39	806	327	206	1378	265	144	1787	78	1843	50	730	353	215	1348	282	121	1751	92	1905	58	734	319	243	1354	331	134	1819	86
62423	4	empl.	18566	0	1828	2122	2518	6468	6747	3761	16976	1590	18208	0	1821	2049	2578	6448	7250	3496	17194	1014	19861	0	1780	2178	2676	6634	7064	4463	18161	1700	21783	0	1607	2346	2841	6794	7818	3698	18310	3473	21497	0	1642	2133	3053	6828	7810	3928	18566	2931
62423	4	ann. pay.	354864	1788	28054	32972	40242	103056	124137	97824	325017	29847	383097	810	29134	34300	44849	109093	144682	91311	345086	38011	431473	3577	29779	38379	49328	121063	146161	119630	386854	44619	493090	1229	29280	43065	54054	127628	175836	94716	398180	94910	532166	1005	30910	40987	62897	135799	185103	105577	426479	105687
62423	4	rec.																																									2586908	5084	122443	150807	211140	489474	1052705	350028	1892207	694701
62431	4	firms	5446	293	1348	664	586	2891	1290	1054	5235	211	5397	238	1289	629	594	2750	1315	1107	5172	225	5357	250	1233	604	607	2694	1316	1091	5101	256	5324	273	1203	614	587	2677	1259	1135	5071	253	5240	275	1205	578	535	2593	1266	1113	4972	268
62431	4	estab.	8106	295	1359	692	626	2972	1730	2323	7025	1081	8213	243	1304	639	638	2824	1788	2356	6968	1245	8288	261	1239	623	651	2774	1758	2331	6863	1425	8324	273	1212	630	631	2746	1666	2382	6794	1530	8451	276	1210	586	576	2648	1835	2434	6917	1534
62431	4	empl.	296154	0	2790	4377	7983	15150	54543	128050	197743	98411	313822	0	2741	4191	8158	15090	56380	133995	205465	108357	324336	0	2601	4030	8212	14843	58803	135032	208678	115658	326455	0	2528	4080	7980	14588	54349	143683	212620	113835	319609	0	2588	3829	7325	13742	54426	135856	204024	115585
62431	4	ann. pay.	3982781	12735	70369	110286	182268	375658	933670	1572177	2881505	1101276	4470954	14301	71630	107074	188811	381816	997353	1748318	3127487	1343467	4846777	16310	72911	103735	188816	381772	1037352	1831930	3251054	1595723	5184930	9981	74680	110316	192716	387693	1044427	2033160	3465280	1719650	5329584	13487	205328	108000	195241	522056	1056937	2064196	3643189	1686395
62431	4	rec.																																									11808900	40681	517886	270397	516338	1345302	2628956	4308307	8282565	3526335
62441	4	firms	51656	5076	18736	10249	9676	43737	6849	880	51466	190	51598	5069	18464	10029	9898	43460	7003	935	51398	200	53686	6147	18600	10091	10238	45076	7428	975	53479	207	54349	5639	19060	10263	10462	45424	7684	1018	54126	223	55828	6210	19261	10662	10559	46692	7848	1045	55585	243
62441	4	estab.	62963	5086	18745	10285	9958	44074	9474	4682	58230	4733	63719	5106	18551	10071	10180	43908	9464	4986	58358	5361	66300	6164	18632	10150	10487	45433	9781	5200	60414	5886	67117	5680	19097	10319	10724	45820	9921	5432	61173	5944	69733	6217	19266	10688	10748	46919	10427	6010	63356	6377
62441	4	empl.	644111	0	39672	69473	131554	240699	224966	85871	551536	92575	664343	0	39064	68169	135350	242583	231348	92495	566426	97917	699589	0	38952	68716	139961	247629	245549	101860	595038	104551	746893	0	40071	69603	142685	252359	254589	108005	614953	131940	753374	0	41707	71997	144184	257888	257775	113924	629587	123787
62441	4	ann. pay.	7513283	103804	371240	681958	1395397	2552399	2664586	1244299	6461284	1051999	8245850	119773	402532	701118	1502337	2725760	2866395	1401098	6993253	1252597	9223193	169551	419773	741940	1604859	2936123	3156050	1627534	7719707	1503486	10148513	137335	445587	785665	1715268	3083855	3408057	1852450	8344362	1804151	10824999	146894	449369	842426	1786472	3225161	3573310	2019798	8818269	2006730
62441	4	rec.																																									22557876	406684	1293991	1816334	3431890	6948899	6723125	4565696	18237720	4320156
71111	4	firms	3451	584	1487	470	325	2866	427	135	3428	23	3273	468	1397	490	303	2658	462	131	3251	22	3320	526	1355	475	333	2689	468	140	3297	23	3303	470	1371	465	346	2652	473	154	3279	24	3368	513	1429	426	339	2707	486	150	3343	25
71111	4	estab.	3505	584	1488	470	328	2870	447	158	3475	30	3322	469	1397	491	308	2665	481	146	3292	30	3367	526	1355	476	335	2692	488	153	3333	34	3354	473	1372	465	350	2660	487	173	3320	34	3449	513	1429	430	342	2714	517	177	3408	41
71111	4	empl.	59229	0	2961	3102	4374	10437	18056	22672	51165	8064	61710	0	2853	3249	4116	10218	20041	22189	52448	9262	63401	0	2810	3080	4565	10455	20146	23788	54389	9012	66438	0	2813	3071	4635	10519	19985	26258	56762	9676	66925	0	2981	2839	4692	10512	21281	25124	56917	10008
71111	4	ann. pay.	1289480	53723	94137	69378	78406	295644	330860	439307	1065811	223669	1349502	43546	91251	70554	79096	284447	384287	466303	1135037	214465	1468581	52472	110150	70413	106244	339279	397492	474757	1211528	257053	1516587	53407	113818	69098	89219	325542	390752	534930	1251224	265363	1602590	49918	106145	72761	88124	316948	421013	555589	1293550	309040
71111	4	rec.																																									5337276	181447	425091	239608	299972	1146118	1330175	1798805	4275098	1062178
71112	4	firms	576	79	251	77	67	474	84	16	574	2	586	86	247	79	71	483	80	21	584	2	579	70	248	84	73	475	79	23	577	2	599	82	253	91	76	502	73	22	597	2	644	104	267	96	76	543	77	23	643	1
71112	4	estab.	581	79	251	78	68	476	86	17	579	2	591	86	247	80	72	485	82	22	589	2	584	70	248	85	74	477	81	23	581	3	604	82	253	92	77	504	75	22	601	3	648	104	267	97	76	544	79	24	647	1
71112	4	empl.	9553	0	510	517	889	1916	3522	         [h]	         [i]	         [f]	10217	0	508	514	944	1966	[h]	4354	[i]	[f]	10688	0	525	574	973	2072	         [h]	4405	         [i]	         [f]	10904	0	513	605	1033	2151	         [h]	4763	         [j]	         [f]	9970	0	540	642	1001	2183	         [h]	         [h]	         [i]	         [a]
71112	4	ann. pay.	177805	5359	10937	5731	12880	34907	58966	         (D)	         (D)	         (D)	194730	9242	11727	6006	13930	40905	(D)	83974	(D)	(D)	215867	2945	11071	8216	14225	36457	         (D)	106028	         (D)	         (D)	217841	7078	11134	8292	17758	44262	         (D)	97644	         (D)	         (D)	210335	6267	11639	10403	13454	41763	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
71112	4	rec.																																									570020	23535	46896	33060	38334	141825	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
71113	4	firms	4720	1058	2311	648	375	4392	228	93	4713	7	4594	852	2388	669	353	4262	231	89	4582	12	4486	821	2274	661	370	4126	257	94	4477	9	4554	871	2334	684	316	4205	244	97	4546	8	4532	880	2400	611	325	4216	222	84	4522	10
71113	4	estab.	4732	1058	2311	650	377	4396	229	98	4723	9	4604	852	2388	670	355	4265	233	92	4590	14	4497	822	2274	662	371	4129	259	98	4486	11	4562	871	2334	685	316	4206	247	101	4554	8	4552	881	2401	612	326	4220	229	90	4539	13
71113	4	empl.	40833	0	4530	4182	4954	13666	10220	15824	39710	1123	42616	0	4646	4364	4752	13762	[i]	14445	[k]	[h]	43985	0	4427	4300	4958	13685	         [j]	16207	         [k]	         [h]	42957	0	4533	4484	4172	13189	         [j]	16459	         [k]	         [h]	48959	0	4676	3930	4314	12920	         [j]	15173	         [k]	         [j]
71113	4	ann. pay.	1228814	128827	156289	108529	177434	571079	232560	370979	1174618	54196	1289181	80152	195020	124780	190922	590874	(D)	366642	(D)	(D)	1340707	75445	185147	137164	183402	581158	         (D)	407542	         (D)	         (D)	1349035	98039	236979	125267	181514	641799	         (D)	414247	         (D)	         (D)	1316162	90047	224095	126401	158903	599446	         (D)	354548	         (D)	         (D)
71113	4	rec.																																									4146826	308403	847121	500768	660513	2316805	         (D)	755632	         (D)	         (D)
71119	4	firms	914	246	414	97	69	826	74	9	909	5	802	184	386	91	59	720	71	8	799	3	783	203	341	82	66	692	81	7	780	3	784	192	365	84	56	697	77	7	781	3	702	182	321	68	61	632	60	7	699	3
71119	4	estab.	971	246	414	97	72	829	81	18	928	43	825	184	387	91	59	721	80	16	817	8	805	203	341	82	66	692	94	11	797	8	807	192	365	84	56	697	93	10	800	7	717	182	321	68	62	633	67	10	710	7
71119	4	empl.	8530	0	759	652	941	2352	2660	         [g]	         [i]	         [g]	7427	0	722	598	844	2164	[h]	1163	[i]	[g]	8300	0	632	536	923	2091	         [h]	1166	         [i]	         [g]	7507	0	676	542	749	1967	         [h]	973	         [i]	         [g]	6677	0	566	439	829	1834	         [g]	         [g]	         [i]	         [g]
71119	4	ann. pay.	233270	20413	45352	13079	33560	112404	41741	         (D)	         (D)	         (D)	219345	20783	41868	14751	16927	94329	(D)	25110	(D)	(D)	226098	26274	35461	13085	15648	90468	         (D)	23057	         (D)	         (D)	260125	23353	42688	50332	15164	131537	         (D)	25415	         (D)	         (D)	202025	18399	32741	19891	16184	87215	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
71119	4	rec.																																									776776	58611	100020	47624	58584	264839	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
71121	4	firms	4177	962	1738	520	355	3575	375	162	4112	65	4201	932	1773	512	379	3596	377	169	4142	59	4292	925	1794	562	390	3671	402	154	4227	65	4422	916	1899	583	383	3781	408	174	4363	59	4250	941	1810	538	345	3634	385	168	4187	63
71121	4	estab.	4322	962	1746	526	361	3595	398	189	4182	140	4372	943	1784	523	380	3630	393	209	4232	140	4461	925	1800	573	395	3693	421	201	4315	146	4584	916	1901	592	386	3795	426	213	4434	150	4418	941	1811	548	348	3648	412	203	4263	155
71121	4	empl.	91075	0	3424	3429	4699	11552	14032	30851	56435	34640	91043	0	3457	3386	5150	11993	14271	32833	59097	31946	100196	0	3505	3657	5311	12473	15936	31062	59471	40725	104384	0	3675	3904	5139	12718	15958	35324	64000	40384	101504	0	3496	3550	4666	11712	15247	32251	59210	42294
71121	4	ann. pay.	7059658	80955	148737	81321	130771	441784	989599	4102504	5533887	1525771	8159178	71300	139004	104627	150436	465367	1161976	4828502	6455845	1703333	9214948	77489	140619	106375	147590	472073	1342912	4777821	6592806	2622142	9954591	53767	152350	128499	144573	479189	1058821	5884594	7422604	2531987	10515677	63253	149384	102956	180039	495632	766471	6015557	7277660	3238017
71121	4	rec.																																									21543250	283647	643735	425036	592108	1944526	2106360	9668719	13719605	7823645
71131	4	firms	908	165	348	120	89	722	121	39	882	26	956	187	343	119	92	741	128	60	929	27	1034	203	382	142	91	818	123	67	1008	26	1112	188	429	136	116	869	149	67	1085	27	1355	231	548	170	133	1082	169	70	1321	34
71131	4	estab.	976	166	348	121	92	727	131	53	911	65	1030	187	343	120	94	744	137	80	961	69	1107	203	383	142	94	822	131	85	1038	69	1184	188	430	137	118	873	158	86	1117	67	1451	233	548	171	133	1085	177	91	1353	98
71131	4	empl.	34481	0	685	798	1248	2731	5488	7951	16170	18311	41246	0	709	797	1255	2761	5461	12025	20247	20999	44268	0	808	969	1236	3013	5110	12897	21020	23248	48304	0	843	879	1581	3303	6635	14213	24151	24153	51137	0	1063	1114	1768	3945	7018	13230	24193	26944
71131	4	ann. pay.	570181	7586	18053	19027	25560	70226	88708	145738	304672	265509	782023	10487	20298	18707	28291	77783	100187	203437	381407	400616	787309	15663	25228	26992	25941	93824	90821	237460	422105	365204	941537	11021	32645	21605	44000	109271	125955	272146	507372	434165	1069285	14486	33512	29566	49255	126819	134452	290691	551962	517323
71131	4	rec.																																									3967111	134971	185194	187519	196870	704554	548267	1001082	2253903	1713208
71132	4	firms	3082	754	1500	382	222	2858	175	33	3066	16	3137	756	1533	388	220	2897	189	33	3119	18	3200	754	1564	402	216	2936	207	37	3180	20	3206	774	1535	429	222	2960	186	39	3185	21	3454	778	1770	441	210	3199	200	32	3431	23
71132	4	estab.	3127	755	1500	385	223	2863	181	46	3090	37	3194	757	1535	390	221	2903	198	39	3140	54	3287	755	1566	403	216	2940	216	40	3196	91	3272	774	1535	430	224	2963	194	56	3213	59	3557	778	1770	443	214	3205	224	59	3488	69
71132	4	empl.	23410	0	2891	2487	2956	8334	6616	5022	19972	3438	24167	0	3025	2561	2921	8507	7566	4058	20131	4036	27578	0	3065	2625	2894	8584	7964	5633	22181	5397	25624	0	3001	2812	2954	8767	7132	5480	21379	4245	28869	0	3408	2861	2705	8974	7310	4037	20321	8548
71132	4	ann. pay.	795335	47702	152546	77354	109755	387357	193712	107816	688885	106450	890764	49954	190850	76133	89641	406578	241228	124252	772058	118706	1129926	62278	210559	91288	87239	451364	227921	212414	891699	238227	1068338	75464	195432	94701	92810	458407	214544	208803	881754	186584	1139486	61406	195005	102360	92773	451544	235079	184531	871154	268332
71132	4	rec.																																									6551232	339130	925098	589257	429494	2282979	1084184	1004156	4371319	2179913
71141	4	firms	2729	509	1586	394	134	2623	89	8	2720	9	2784	578	1534	413	145	2670	94	9	2773	11	2992	613	1674	418	167	2872	98	12	2982	10	3048	612	1755	411	151	2929	97	13	3039	9	3476	711	2078	414	146	3349	100	17	3466	10
71141	4	estab.	2788	509	1587	397	145	2638	109	10	2757	31	2837	578	1535	416	156	2685	112	11	2808	29	3048	613	1675	422	177	2887	117	15	3019	29	3107	612	1757	417	158	2944	111	24	3079	28	3551	711	2080	418	158	3367	125	30	3522	29
71141	4	empl.	14253	0	3135	2494	1712	7341	3513	1503	12357	1896	15069	0	3026	2597	1900	7523	3629	1823	12975	2094	15979	0	3267	2675	2158	8100	3751	1896	13747	2232	16220	0	3410	2628	1903	7941	3953	2200	14094	2126	17052	0	3902	2619	1888	8409	3705	2317	14431	2621
71141	4	ann. pay.	954736	44996	170433	130063	84468	429960	196404	112000	738364	216372	1037071	69085	164942	149112	88694	471833	200514	139973	812320	224751	1117482	63353	168734	142897	112754	487738	218160	152828	858726	258756	1139323	74285	188508	139256	92512	494561	221167	168630	884358	254965	1281125	71990	204887	167792	127945	572614	272742	109572	954928	326197
71141	4	rec.																																									3521784	225594	832561	539047	336637	1933839	607576	237420	2778835	742949
71151	4	firms	11746	3701	6729	756	331	11517	197	23	11737	9	12108	3929	6748	758	359	11794	268	33	12095	13	12682	4241	6836	857	414	12348	290	33	12671	11	13344	4464	7298	891	386	13039	266	31	13336	8	15826	5794	8449	904	427	15574	211	29	15814	12
71151	4	estab.	11768	3701	6734	756	334	11525	201	27	11753	15	12131	3931	6751	758	360	11800	276	38	12114	17	12703	4243	6838	857	418	12356	296	35	12687	16	13366	4464	7300	891	391	13046	273	39	13358	8	15848	5795	8451	907	431	15584	217	34	15835	13
71151	4	empl.	30718	0	10616	4858	4341	19815	7175	2450	29440	1278	36886	0	10805	4919	4696	20420	9614	4133	34167	2719	37524	0	11066	5533	5431	22030	10793	3980	36803	721	39407	0	11790	5778	5049	22617	9897	4520	37034	2373	39236	0	13725	5766	5568	25059	7734	5239	38032	1204
71151	4	ann. pay.	3494555	688162	1865872	373980	164492	3092506	214501	164420	3471427	23128	3458716	738170	1837980	287516	168896	3032562	244919	91391	3368872	89844	3589333	788950	1736130	390273	239532	3154885	332673	75429	3562987	26346	3946090	880156	2085968	320184	225202	3511510	308487	91386	3911383	34707	4317954	1065728	2249299	389399	224889	3929315	226095	135836	4291246	26708
71151	4	rec.																																									9490621	2498201	4533098	964353	631162	8626814	557664	220944	9405422	85199
71211	4	firms	3714	312	1783	614	400	3109	454	132	3695	19	3749	259	1790	628	430	3107	481	138	3726	23	3789	298	1745	634	430	3107	501	155	3763	26	3936	339	1778	674	448	3239	519	151	3909	27	4224	420	1943	680	466	3509	537	153	4199	25
71211	4	estab.	3903	312	1785	618	421	3136	517	217	3870	33	3940	259	1792	631	451	3133	545	227	3905	35	3988	298	1747	636	447	3128	569	236	3933	55	4140	339	1780	676	463	3258	586	247	4091	49	4464	420	1944	685	488	3537	623	266	4426	38
71211	4	empl.	66057	0	3694	3995	5444	13133	18723	22204	54060	11997	71382	0	3713	4135	5736	13584	19972	24312	57868	13514	75400	0	3659	4191	5754	13604	19879	26514	59997	15403	76831	0	3673	4429	6021	14123	21164	24997	60284	16547	77952	0	4113	4447	6220	14780	22296	25502	62578	15374
71211	4	ann. pay.	1441234	5374	61915	67702	93662	228653	374620	504843	1108116	333118	1602612	4251	64511	72935	102967	244664	405591	562639	1212894	389718	1764538	6360	64968	78097	111677	261102	418383	645499	1324984	439554	1907012	6801	70559	85186	119300	281846	473071	633939	1388856	518156	1973092	7825	77045	92674	126325	303869	505356	687276	1496501	476591
71211	4	rec.																																									5920808	41062	356098	339718	440082	1176960	1568224	1847393	4592577	1328231
71212	4	firms	865	84	517	104	71	776	72	14	862	3	852	70	517	104	78	769	65	15	849	3	851	74	503	108	75	760	71	17	848	3	853	69	497	127	74	767	67	15	849	4	950	111	535	133	83	862	68	15	945	5
71212	4	estab.	903	84	518	105	74	781	79	39	899	4	891	70	517	106	81	774	71	42	887	4	892	74	503	110	79	766	76	46	888	4	893	69	498	128	78	773	72	28	873	20	1002	111	535	134	92	872	74	35	981	21
71212	4	empl.	8410	0	972	658	940	2570	2357	         [g]	         [i]	         [g]	7965	0	984	657	1061	2702	2285	[g]	[i]	[g]	8300	         [a]	970	670	983	         [h]	2526	1997	         [i]	         [g]	8439	0	969	784	970	2723	2486	1886	7095	1344	8893	0	1045	839	1055	2939	2572	1967	7478	1415
71212	4	ann. pay.	132442	752	14289	9920	12755	37716	42871	         (D)	         (D)	         (D)	131411	821	14514	9686	17013	42034	39997	(D)	(D)	(D)	143178	         (D)	14970	11392	14121	         (D)	45604	36454	         (D)	         (D)	154385	1147	15709	13181	16653	46690	47191	35324	129205	25180	163526	1545	17829	14701	18051	52126	53377	34065	139568	23958
71212	4	rec.																																									461088	7217	69202	46592	51393	174404	144307	94484	413195	47893
71213	4	firms	382	36	103	55	57	251	84	42	377	5	390	43	98	58	42	241	95	43	379	11	400	39	115	48	46	248	92	49	389	11	444	47	128	56	59	290	95	47	432	12	508	70	147	74	54	345	99	51	495	13
71213	4	estab.	395	36	103	55	57	251	89	44	384	11	404	43	98	58	42	241	100	45	386	18	414	39	115	48	46	248	96	52	396	18	459	47	128	56	59	290	99	50	439	20	525	70	147	74	54	345	101	59	505	20
71213	4	empl.	17472	0	227	369	792	1388	3837	8578	13803	3669	19566	0	201	394	579	1174	4298	8739	14211	5355	20505	0	247	334	629	1210	4189	10252	15651	4854	21775	0	279	365	821	1465	4513	10629	16607	5168	22257	0	329	480	727	1536	4569	10771	16876	5381
71213	4	ann. pay.	412160	886	3735	7247	16611	28479	83530	208006	320015	92145	468919	855	3646	7744	11512	23757	93488	211461	328706	140213	508771	3456	5069	6690	12097	27312	95660	256279	379251	129520	558407	1352	5801	7056	17825	32034	106013	280060	418107	140300	581700	2543	7292	9323	16601	35759	101238	284846	421843	159857
71213	4	rec.																																									1663809	11741	29325	29411	64217	134694	264676	816103	1215473	448336
71219	4	firms	355	61	125	64	45	295	44	12	351	4	352	45	130	57	48	280	55	11	346	6	350	45	122	56	50	273	59	12	344	6	407	67	140	60	59	326	64	12	402	5	490	84	194	79	50	407	65	13	485	5
71219	4	estab.	481	61	125	64	47	297	53	66	416	65	479	45	130	58	48	281	65	39	385	94	483	45	122	56	51	274	72	48	394	89	540	67	140	60	61	328	76	52	456	84	642	84	194	79	52	409	96	53	558	84
71219	4	empl.	4573	0	241	414	606	1261	1395	         [g]	         [h]	         [f]	5694	0	265	374	651	1290	1806	[g]	[h]	[g]	6175	         [a]	248	358	656	         [g]	1940	1266	         [h]	         [g]	6500	0	305	391	767	1463	2258	1249	4970	1530	7021	0	381	520	670	1571	2283	1663	5517	1504
71219	4	ann. pay.	100492	1020	5291	6894	11730	24935	27647	         (D)	         (D)	         (D)	118209	1277	5841	6197	12657	25972	34951	(D)	(D)	(D)	132830	         (D)	5916	6269	13271	         (D)	40203	39357	         (D)	         (D)	161604	8518	7333	7406	15903	39160	49862	44717	133739	27865	181963	1889	8249	11728	13971	35837	49283	54544	139664	42299
71219	4	rec.																																									609302	11306	41901	52977	43862	150046	128253	194080	472379	136923
71311	4	firms	846	256	190	106	86	638	154	32	824	22	608	175	134	70	76	455	107	27	589	19	633	182	130	82	75	469	117	29	615	18	611	145	153	76	80	454	115	26	595	16	675	209	160	74	70	513	118	27	658	17
71311	4	estab.	931	256	190	106	86	638	157	41	836	95	689	175	134	70	76	455	108	32	595	94	716	182	130	82	75	469	119	33	621	95	700	145	153	76	80	454	119	30	603	97	772	209	160	74	70	513	124	31	668	104
71311	4	empl.	114786	0	385	716	1144	2245	6036	4409	12690	102096	102099	0	294	478	1015	1787	4334	4377	10498	91601	102753	0	281	558	1076	1915	4887	4205	11007	91746	98816	0	322	529	1119	1970	4992	4252	11214	87602	94107	0	337	490	983	1810	5093	4218	11121	82986
71311	4	ann. pay.	1879963	12686	17626	22909	35840	89061	116039	80241	285341	1594622	1962744	18057	16243	20299	30864	85463	107231	87677	280371	1682373	2010721	13154	16856	16449	30239	76698	123725	89216	289639	1721082	2043643	7721	19770	15638	34554	77683	125672	98360	301715	1741928	1858356	16987	13865	17732	35192	83776	129041	92811	305628	1552728
71311	4	rec.																																									8101592	66408	57227	60297	122254	306186	407784	273008	986978	7114614
71312	4	firms	1561	299	514	299	206	1318	207	21	1546	15	1525	312	519	259	213	1303	189	18	1510	15	1434	274	507	242	193	1216	184	18	1418	16	1418	314	514	205	189	1222	162	19	1403	15	1582	367	558	245	189	1359	188	22	1569	13
71312	4	estab.	2581	299	516	299	219	1333	254	80	1667	914	2446	312	519	261	218	1310	242	81	1633	813	2163	274	507	246	200	1227	259	56	1542	621	2083	314	515	214	200	1243	200	56	1499	584	2220	367	560	249	194	1370	265	55	1690	530
71312	4	empl.	27817	0	1099	2019	2683	5801	7053	2609	15463	12354	25323	0	1155	1690	2908	5753	6801	2349	14903	10420	21256	0	1131	1612	2665	5408	6410	2245	14063	7193	20485	0	1126	1357	2478	4961	5970	2664	13595	6890	22437	0	1266	1616	2517	5399	6805	3071	15275	7162
71312	4	ann. pay.	276588	9365	20092	23408	26557	79422	66608	27418	173448	103140	303564	10841	20567	19781	30368	81557	85822	27202	194581	108983	266333	9613	21301	21272	28756	80942	59921	28987	169850	96483	270353	11335	21064	18774	29099	80272	59994	28181	168447	101906	291444	14895	24896	21600	26101	87492	70726	36507	194725	96719
71312	4	rec.																																									1202448	62253	110846	104549	112503	390151	237038	111993	739182	463266
71321	4	firms	520	76	75	69	40	260	95	100	455	65	472	62	60	56	44	222	89	95	406	66	460	38	63	56	38	195	96	99	390	70	486	54	69	46	45	214	93	106	413	73	465	39	58	45	43	185	92	112	389	76
71321	4	estab.	595	76	75	69	40	260	98	135	493	102	546	64	60	56	44	224	90	126	440	106	537	38	65	56	38	197	97	131	425	112	562	54	69	46	45	214	93	138	445	117	562	39	58	45	43	185	97	152	434	128
71321	4	empl.	119820	0	145	447	525	1117	4372	22649	28138	91682	128446	0	126	374	582	1082	4307	22169	27558	100888	150218	0	129	387	502	1018	4498	24093	29609	120609	156151	0	142	299	563	1004	4407	25420	30831	125320	163956	0	132	298	578	1008	4620	27185	32813	131143
71321	4	ann. pay.	2611157	8596	11378	11710	9707	41391	71551	422555	535497	2075660	3077079	20706	2830	5610	12903	42049	126601	451922	620572	2456507	3592162	15377	5014	5296	9080	34767	80645	538303	653715	2938447	4007402	29482	5911	6897	15416	57706	102815	599492	760013	3247389	4120898	26430	8189	5274	14590	54483	87772	607050	749305	3371593
71321	4	rec.																																									18687578	128219	50783	29654	49369	258025	462419	2675569	3396013	15291565
71329	4	firms	1665	194	501	348	288	1331	237	63	1631	34	1417	148	416	258	266	1088	215	77	1380	37	1366	148	412	232	259	1051	201	73	1325	41	1322	151	400	222	244	1017	196	68	1281	41	1372	151	401	248	270	1070	190	69	1329	43
71329	4	estab.	1931	194	503	355	290	1342	277	190	1809	122	1692	148	418	258	281	1105	254	198	1557	135	1654	148	414	238	269	1069	236	188	1493	161	1613	151	405	224	257	1037	228	180	1445	168	1662	153	403	249	275	1080	246	158	1484	178
71329	4	empl.	47101	0	1117	2368	3814	7299	8321	12009	27629	19472	50238	0	897	1746	3558	6201	7840	14113	28154	22084	52382	0	879	1540	3489	5908	7552	13726	27186	25196	59485	0	856	1480	3178	5514	7142	12778	25434	34051	57922	0	881	1647	3631	6159	6735	11747	24641	33281
71329	4	ann. pay.	862022	6031	17948	34759	40196	98934	123184	237870	459988	402034	1021464	5127	20552	28238	44666	98583	114919	295681	509183	512281	1164534	7186	16099	39310	41986	104581	109385	319809	533775	630759	1392224	5134	17841	20416	37656	81047	114920	311036	507003	885221	1383347	10862	20784	21254	41063	93963	121087	302056	517106	866241
71329	4	rec.																																									8220836	69924	142413	145893	331474	689704	755395	2222435	3667534	4553302
71391	4	firms	10986	1305	2745	1782	1607	7439	3043	413	10895	91	11003	1248	2778	1780	1613	7419	3065	428	10912	91	11058	1264	2622	1735	1677	7298	3187	484	10969	89	11020	1198	2864	1715	1596	7373	3077	480	10930	90	11011	1617	2554	1555	1558	7284	3165	471	10920	91
71391	4	estab.	11755	1305	2745	1786	1620	7456	3113	484	11053	702	11809	1252	2781	1784	1629	7446	3132	494	11072	737	11885	1265	2622	1738	1687	7312	3250	563	11125	760	11861	1198	2865	1719	1608	7390	3129	567	11086	775	11842	1618	2554	1562	1570	7304	3245	581	11130	712
71391	4	empl.	270260	0	6266	11989	22029	40284	138822	55296	234402	35858	280053	0	6286	12021	22157	40464	140228	57562	238254	41799	297876	0	5907	11697	23037	40641	145138	65439	251218	46658	295095	0	6343	11492	21849	39684	141803	66862	248349	46746	290041	0	5974	10421	21487	37882	146889	64260	249031	41010
71391	4	ann. pay.	5562133	70318	210220	281212	446843	1008593	2707417	1069820	4785830	776303	5816678	73085	226151	291239	460256	1050731	2825801	1177727	5054259	762419	6243095	64721	197748	270202	464157	996828	2965259	1361500	5323587	919508	6472021	72656	245117	303648	499401	1120822	3058883	1420629	5600334	871687	6590959	129425	226969	284080	499549	1140023	3273281	1396560	5809864	781095
71391	4	rec.																																									16857370	455115	733979	851738	1448114	3488946	7849824	3249565	14588335	2269035
71392	4	firms	367	32	54	42	40	168	71	95	334	33	365	31	64	33	34	162	76	94	332	33	358	31	66	37	39	173	70	85	328	30	372	38	63	35	41	177	72	90	339	33	344	24	68	34	35	161	66	84	311	33
71392	4	estab.	400	32	54	42	40	168	71	102	341	59	395	31	64	33	34	162	76	99	337	58	389	31	66	37	39	173	70	91	334	55	404	38	63	35	41	177	72	95	344	60	379	24	68	34	35	161	66	89	316	63
71392	4	empl.	55738	0	110	274	556	940	3117	20637	24694	31044	60097	0	129	227	473	829	3460	20229	24518	35579	56860	0	134	264	505	903	3233	19130	23266	33594	63906	0	116	245	581	942	3580	20281	24803	39103	63872	0	143	226	474	843	3152	18856	22851	41021
71392	4	ann. pay.	420948	675	1760	3038	3238	8711	18355	114977	142043	278905	425577	1451	1644	2401	3350	8846	19680	106616	135142	290435	452407	875	2108	3790	6831	13604	18837	119296	151737	300670	494642	1274	3151	2631	4772	11828	19868	119329	151025	343617	520891	616	2629	3057	5832	12134	20879	116060	149073	371818
71392	4	rec.																																									1675962	2174	12187	13262	19411	47034	60645	323551	431230	1244732
71393	4	firms	4136	676	2008	771	417	3872	215	31	4118	18	4076	606	1981	784	433	3804	225	28	4057	19	4038	603	1882	795	478	3758	239	22	4019	19	4021	595	1878	788	478	3739	236	24	3999	22	3906	710	1770	730	430	3640	215	31	3886	20
71393	4	estab.	4227	678	2008	772	427	3885	238	46	4169	58	4170	606	1982	786	444	3818	245	42	4105	65	4126	603	1883	797	490	3773	259	57	4089	37	4121	595	1882	790	487	3754	263	35	4052	69	4021	710	1773	736	441	3660	248	45	3953	68
71393	4	empl.	23167	0	4295	5043	5366	14704	6161	1363	22228	939	24016	0	4206	5146	5631	14983	6507	1158	22648	1368	24824	0	4137	5209	6254	15600	7392	1107	24099	725	24660	0	4046	5116	6229	15391	7030	1088	23509	1151	23047	0	3915	4722	5619	14256	6211	1462	21929	1118
71393	4	ann. pay.	564470	18299	105200	116901	127087	367487	150439	27685	545611	18859	599112	16818	106012	121624	136224	380678	164948	23480	569106	30006	640131	15042	103908	124982	159171	403103	191597	24034	618734	21397	674576	19538	108504	128953	159434	416429	188520	29927	634876	39700	675529	23841	109680	129822	157061	420404	178395	41049	639848	35681
71393	4	rec.																																									3289466	142109	589296	642458	743212	2117075	858349	161601	3137025	152441
71394	4	firms	20141	4310	6223	2955	2611	16099	3402	492	19993	148	20402	4245	6413	3062	2649	16369	3358	522	20249	153	20891	4405	6541	3074	2775	16795	3387	553	20735	156	21769	4690	6993	3122	2781	17586	3446	572	21604	165	22857	5313	6869	3481	2905	18568	3534	596	22698	159
71394	4	estab.	21942	4322	6228	2965	2639	16154	3735	917	20806	1136	22401	4253	6417	3070	2669	16409	3672	894	20975	1426	23003	4415	6544	3087	2802	16848	3673	960	21481	1522	24068	4699	7000	3137	2811	17647	3697	1043	22387	1681	25477	5313	6877	3490	2932	18612	3853	1103	23568	1909
71394	4	empl.	343556	0	13132	19907	35440	68479	132074	72153	272706	70850	357466	0	13467	20654	36430	70551	131875	75695	278121	79345	382808	0	13701	20584	38035	72320	134219	83638	290177	92631	399434	0	14734	20958	37837	73529	135928	85671	295128	104306	422294	0	14949	23101	39788	77838	137962	90146	305946	116348
71394	4	ann. pay.	3673968	117775	192888	207601	338533	856797	1236140	769068	2862005	811963	4035119	142033	221353	224536	366856	954778	1257202	860229	3072209	962910	4498973	125265	227745	244190	398490	995690	1335589	960845	3292124	1206849	4844349	139764	248443	252898	429608	1070713	1394436	1032628	3497777	1346572	5024407	144612	239145	276166	435014	1094937	1428453	1075656	3599046	1425361
71394	4	rec.																																									15036862	537334	998330	967585	1395179	3898428	3969112	2694755	10562295	4474567
71395	4	firms	4691	289	1082	847	1168	3386	1251	46	4683	8	4597	314	1091	835	1118	3358	1195	35	4588	9	4545	353	1060	769	1106	3288	1208	41	4537	8	4391	300	1021	764	1061	3146	1195	41	4382	9	4233	282	946	754	1035	3017	1163	43	4223	10
71395	4	estab.	5400	291	1083	849	1173	3396	1333	123	4852	548	5291	314	1092	835	1122	3363	1285	99	4747	544	5234	354	1060	770	1111	3295	1303	99	4697	537	5059	300	1021	765	1067	3153	1289	97	4539	520	4898	282	946	754	1040	3022	1251	108	4381	517
71395	4	empl.	86523	0	2555	5842	16168	24565	41288	5128	70981	15542	84241	0	2529	5695	15498	23722	39929	4376	68027	16214	87867	0	2415	5244	15146	22805	40662	5058	68525	19342	84562	0	2400	5208	14574	22182	39755	4587	66524	18038	81617	0	2230	5166	14347	21743	39288	4880	65911	15706
71395	4	ann. pay.	822107	8665	27483	48416	140935	225499	380573	51522	657594	164513	846650	10095	29966	52513	141857	234431	388859	50573	673863	172787	887757	12911	29335	49301	142095	233642	407582	59644	700868	186889	888712	8825	30248	52349	141233	232655	415881	60864	709400	179312	919348	10654	26414	50747	146187	234002	421831	69407	725240	194108
71395	4	rec.																																									3057184	48115	146369	207070	506020	907574	1320303	183000	2410877	646307
71399	4	firms	14151	3704	5982	2163	1313	13162	826	113	14101	50	14168	3323	6166	2232	1370	13091	899	121	14111	57	13894	3112	5972	2224	1417	12725	979	127	13831	63	14067	3163	6141	2177	1428	12909	979	122	14010	57	13207	3488	5244	2044	1335	12111	913	125	13149	58
71399	4	estab.	14656	3707	5987	2174	1343	13211	969	244	14424	232	14727	3325	6173	2245	1395	13138	1042	238	14418	309	14473	3115	5979	2238	1445	12777	1102	306	14185	288	14618	3166	6147	2193	1446	12952	1108	270	14330	288	13718	3490	5251	2052	1360	12153	1072	262	13487	231
71399	4	empl.	86474	0	12266	14223	17121	43610	26628	9999	80237	6237	93063	0	12612	14764	18039	45415	29526	10059	85000	8063	102354	0	12230	14651	18542	45423	33171	13449	92043	10311	102478	0	12587	14373	18924	45884	32834	12876	91594	10884	95246	0	10999	13468	17696	42163	30354	12122	84639	10607
71399	4	ann. pay.	1483276	107212	219676	215251	245998	788137	394114	190615	1372866	110410	1626207	104571	244213	233741	273382	855907	467228	171474	1494609	131598	1808225	94117	251131	231523	279296	856067	562716	205186	1623969	184256	1870067	91988	270841	231469	295308	889606	547492	241388	1678486	191581	1784278	103251	236608	238670	285570	864099	533263	208045	1605407	178871
71399	4	rec.																																									6865068	506553	1143621	1015817	1130381	3796372	1684981	663350	6144703	720365
72111	4	firms	35385	4839	10419	5220	6196	26674	6839	1449	34962	423	35408	4588	10581	5125	6460	26754	6846	1388	34988	420	35610	4589	10464	5201	6495	26749	7110	1344	35203	407	36185	4516	10753	5279	6758	27306	7167	1303	35776	409	36667	4832	10328	5756	6988	27904	7136	1246	36286	381
72111	4	estab.	44286	4843	10439	5267	6327	26876	7621	2526	37023	7263	44832	4597	10605	5167	6617	26986	7581	2444	37011	7821	45554	4599	10501	5248	6647	26995	7806	2488	37289	8265	45972	4535	10787	5335	6922	27579	7843	2419	37841	8131	46440	4833	10340	5794	7145	28112	7934	2608	38654	7786
72111	4	empl.	1343314	0	21934	35366	85548	142848	263736	248878	655462	687852	1364320	0	22330	34637	89847	146814	263242	237349	647405	716915	1378844	0	22230	35017	90241	147488	269873	232421	649782	729062	1377158	0	22990	35814	93832	152636	270785	226715	650136	727022	1312857	0	22658	38803	97685	159146	269124	214427	642697	670160
72111	4	ann. pay.	21906277	367087	300504	402049	939499	2009139	3275400	3809126	9093665	12812612	23289646	247914	340169	412764	1040732	2041579	3407579	3849856	9299014	13990632	25181023	484632	333401	434174	1064911	2317118	3623807	3978125	9919050	15261973	24806674	264135	357915	458697	1153514	2234261	3716942	3838552	9789755	15016919	24660984	266744	365535	504756	1224188	2361223	3862536	3870997	10094756	14566228
72111	4	rec.																																									89767226	1391154	2194249	2399614	5152622	11137639	14113189	11980741	37231569	52535657
72112	4	firms	201	14	12	6	11	43	36	39	118	83	188	12	9	7	12	40	26	42	108	80	185	13	11	11	6	41	32	40	113	72	194	10	16	15	13	54	34	41	129	65	218	20	28	15	15	78	31	41	150	68
72112	4	estab.	295	14	12	6	11	43	36	40	119	176	279	13	9	7	12	41	26	42	109	170	288	13	11	11	6	41	32	41	114	174	304	10	16	15	13	54	34	45	133	171	333	20	28	15	15	78	31	43	152	181
72112	4	empl.	291489	0	26	45	146	217	1815	10104	12136	279353	298890	0	18	50	161	229	1346	10591	12166	286724	311576	0	26	81	80	187	1541	10567	12295	299281	296839	0	34	101	182	317	1471	10317	12105	284734	301909	0	60	103	209	372	1511	9917	11800	290109
72112	4	ann. pay.	6928844	21138	1042	408	5208	27796	35212	169095	232103	6696741	7635321	5711	242	1724	1653	9330	27616	278793	315739	7319582	8142986	4674	561	2905	796	8936	28510	187490	224936	7918050	7837147	1004	9588	2654	5049	18295	34913	219176	272384	7564763	7886229	15003	1614	3885	2211	22713	22293	199422	244428	7641801
72112	4	rec.																																									26088854	59606	10855	9280	8439	88180	76872	608989	774041	25314813
72119	4	firms	3885	860	1817	603	371	3651	204	21	3876	9	3810	797	1779	588	396	3560	225	17	3802	8	3852	825	1752	610	396	3583	241	20	3844	8	3893	757	1847	599	415	3618	246	22	3886	7	4706	1085	2223	706	413	4427	242	29	4698	8
72119	4	estab.	3927	860	1819	603	377	3659	213	36	3908	19	3851	797	1779	588	402	3566	236	31	3833	18	3894	825	1752	610	402	3589	252	35	3876	18	3930	757	1847	600	418	3622	258	39	3919	11	4758	1085	2224	706	418	4433	258	55	4746	12
72119	4	empl.	21103	0	3576	3925	4795	12296	6353	1567	20216	887	22272	0	3568	3802	5185	12555	7304	1459	21318	954	23650	0	3467	3993	5201	12661	7868	2324	22853	797	24326	0	3653	3891	5485	13029	7922	2235	23186	1140	27301	0	4598	4512	5396	14506	7757	2849	25112	2189
72119	4	ann. pay.	273499	20808	41980	42959	55913	161660	75805	24126	261591	11908	295428	16154	45383	45429	59307	166273	94062	21557	281892	13536	336946	18578	45317	48235	64901	177031	108282	37303	322616	14330	342306	15375	50165	46452	69081	181073	108955	33793	323821	18485	421154	21450	64762	62803	70505	219520	109253	47514	376287	44867
72119	4	rec.																																									1558246	131771	351777	259220	254771	997539	328723	122970	1449232	109014
72121	4	firms	7013	1955	2946	973	527	6401	441	111	6953	60	6720	1764	2868	956	512	6100	458	103	6661	59	6567	1645	2803	962	519	5929	466	111	6506	61	6582	1607	2850	936	559	5952	449	116	6517	65	6779	1816	2795	982	520	6113	479	120	6712	67
72121	4	estab.	7430	1955	2952	979	560	6446	632	164	7242	188	7123	1765	2873	965	538	6141	635	148	6924	199	6975	1647	2807	971	547	5972	626	175	6773	202	7000	1607	2853	943	591	5994	617	175	6786	214	7280	1820	2800	991	549	6160	691	212	7063	217
72121	4	empl.	36130	0	5959	6225	6155	18339	9799	2937	31075	5055	37117	0	5862	6101	6131	18094	10272	3035	31401	5716	38107	0	5728	6184	6137	18049	10686	3560	32295	5812	38819	0	5808	6019	6697	18524	10516	4037	33077	5742	39053	0	5742	6295	6317	18354	10660	4316	33330	5723
72121	4	ann. pay.	752330	47832	147286	128871	112884	436873	166621	51247	654741	97589	796483	44690	151490	133735	117561	447476	194091	49001	690568	105915	842919	43396	153990	134486	124803	456675	202953	63612	723240	119679	900974	45279	167225	137464	143253	493221	203353	77757	774331	126643	940064	54544	159726	154435	141035	509740	215640	88038	813418	126646
72121	4	rec.																																									3595827	335155	757673	649710	488605	2231143	713417	272936	3217496	378331
72131	4	firms	3314	218	2153	546	271	3188	92	26	3306	8	3125	202	2007	537	261	3007	90	22	3119	6	3079	257	1876	533	277	2943	106	20	3069	10	2926	202	1788	527	261	2778	117	18	2913	13	2897	188	1796	505	266	2755	107	21	2883	14
72131	4	estab.	3393	218	2153	554	279	3204	110	60	3374	19	3193	202	2007	544	271	3024	97	55	3176	17	3140	257	1879	538	283	2957	116	39	3112	28	2990	213	1788	536	265	2802	127	44	2973	17	2984	188	1796	519	273	2776	143	44	2963	21
72131	4	empl.	15992	0	4094	3550	3426	11070	2934	1580	15584	408	15135	0	3815	3536	3369	10720	2859	1056	14635	500	15605	0	3467	3479	3565	10511	3324	1015	14850	755	15640	0	3347	3472	3367	10186	3733	1036	14955	685	15581	0	3367	3354	3410	10131	3476	1467	15074	507
72131	4	ann. pay.	177064	3948	44437	33409	30273	112067	36036	18488	166591	10473	183524	3100	43544	35598	31637	113879	40230	17920	172029	11495	204367	6312	41632	34778	39633	122355	48595	18369	189319	15048	209104	4278	41393	36651	35219	117541	57072	16366	190979	18125	217099	3919	44487	37346	35866	121618	54649	31322	207589	9510
72131	4	rec.																																									1495454	32265	308555	173023	134465	648308	743870	69903	1462081	33373
72211	4	firms	166666	23078	38247	32211	32112	125648	37795	2632	166075	591	163897	19513	39483	32001	31842	122839	37850	2603	163292	605	165128	20969	38982	31718	31672	123341	38427	2735	164503	625	165621	21195	39348	31920	31221	123684	38549	2751	164984	637	170651	22780	38325	33562	32820	127487	39791	2721	169999	652
72211	4	estab.	193140	23141	38277	32270	32313	126001	40004	6494	172499	20641	190788	19618	39514	32080	32091	123303	39917	6330	169550	21238	192342	21016	39024	31803	31883	123726	40466	6420	170612	21730	193262	21273	39386	32007	31470	124136	40416	6468	171020	22242	198531	22836	38348	33609	32967	127760	41869	6768	176397	22134
72211	4	empl.	3703453	0	93627	218349	442205	754181	1417597	392287	2564065	1139388	3788062	0	96084	217019	438976	752079	1429557	395446	2577082	1210980	3897123	0	94969	214724	436747	746440	1461631	420141	2628212	1268911	3963258	0	95555	216347	430583	742485	1470301	428304	2641090	1322168	4000075	0	96708	226163	453209	776080	1509540	420866	2706486	1293589
72211	4	ann. pay.	40642096	1056657	993656	1982432	4152089	8184834	15566671	4625575	28377080	12265016	43410899	987862	1106118	2077143	4325589	8496712	16309627	4782489	29588828	13822071	46707000	1041402	1099160	2159323	4491721	8791606	17308393	5353782	31453781	15253219	48702432	1079364	1198095	2263900	4595562	9136921	17814415	5556674	32508010	16194422	49674450	1253863	1190538	2408255	4975572	9828228	18701273	5293807	33823308	15851142
72211	4	rec.																																									148212500	4279151	5603984	9719326	16380041	35982502	49973387	14484571	100440460	47772040
72221	4	firms	139299	19371	43596	27381	23040	113388	21536	3699	138623	676	136414	18039	42674	26449	22920	110082	21894	3735	135711	703	135981	18716	41608	26170	22481	108975	22430	3835	135240	741	139074	20189	42550	26592	22512	111843	22608	3867	138318	756	143822	21502	43624	27881	23266	116273	22945	3825	143043	779
72221	4	estab.	213643	19651	43681	27572	24090	114994	31454	21419	167867	45776	210920	18317	42796	26709	24013	111835	31130	21455	164420	46500	210895	18938	41748	26474	23464	110624	31027	21342	162993	47902	215793	20348	42660	26894	23421	113323	30586	22276	166185	49608	222816	21624	43701	28045	23966	117336	32427	23409	173172	49644
72221	4	empl.	3277834	0	101487	184074	311751	597312	803806	654651	2055769	1222065	3318549	0	99599	177525	309959	587083	820081	664423	2071587	1246962	3385478	0	97228	176212	305014	578454	845401	684662	2108517	1276961	3407334	0	99594	178494	305506	583594	846939	701826	2132359	1274975	3463127	0	103654	186223	316241	606118	857192	694252	2157562	1305565
72221	4	ann. pay.	29871228	582044	1040239	1587257	2623085	5832625	7017857	5675722	18526204	11345024	31475084	541289	1073561	1591524	2735429	5941803	7485956	6088585	19516344	11958740	33454232	534947	1083404	1663983	2786340	6068674	7902688	6509706	20481068	12973164	34789292	593812	1165298	1755943	2906282	6421335	8207415	6776371	21405121	13384171	35932754	678586	1187180	1853866	3073469	6793101	8391363	6832626	22017090	13915664
72221	4	rec.																																									133821171	2912247	6163240	7982673	11498674	28556834	28972191	25417149	82946174	50874997
72231	4	firms	2590	479	801	405	305	1990	358	149	2497	93	2558	406	804	424	342	1976	350	138	2464	94	2506	343	773	444	340	1900	373	136	2409	97	2491	384	776	411	317	1888	380	128	2396	95	2202	373	695	373	228	1669	299	138	2106	96
72231	4	estab.	15905	480	814	410	342	2046	591	1233	3870	12035	16455	408	840	451	373	2072	533	1148	3753	12702	16894	348	790	474	353	1965	536	1185	3686	13208	17330	384	778	426	348	1936	565	1134	3635	13695	20004	383	695	386	264	1728	454	1072	3254	16750
72231	4	empl.	358851	0	1814	2718	4103	8635	13625	24814	47074	311777	356731	0	1860	2805	4602	9267	12650	23426	45343	311388	377485	0	1768	2950	4461	9179	13419	23070	45668	331817	384642	0	1759	2743	4250	8752	14017	21323	44092	340550	415991	0	1536	2499	3050	7085	10844	21397	39326	376665
72231	4	ann. pay.	4793388	12615	21272	30301	43183	107371	170503	336684	614558	4178830	5187039	13970	24309	31904	52931	123114	171769	340679	635562	4551477	5632030	10862	21523	36728	48716	117829	187524	338834	644187	4987843	5771381	11510	23115	35005	48425	118055	203414	335832	657301	5114080	5910258	18804	23411	34749	39455	116419	159719	367544	643682	5266576
72231	4	rec.																																									20650581	70668	142280	139913	150398	503259	476373	1272389	2252021	18398560
72232	4	firms	7244	1562	2425	1229	883	6099	956	155	7210	34	8017	1514	2682	1414	1045	6655	1151	171	7977	40	8574	1585	2903	1412	1216	7116	1227	189	8532	42	8927	1555	3119	1517	1218	7409	1290	185	8884	43	8461	1555	2844	1481	1110	6990	1243	186	8419	42
72232	4	estab.	7350	1563	2425	1230	887	6105	996	192	7293	57	8171	1514	2683	1417	1051	6665	1202	237	8104	67	8714	1585	2903	1415	1220	7123	1270	231	8624	90	9058	1556	3119	1518	1225	7418	1325	229	8972	86	8629	1556	2847	1482	1112	6997	1289	255	8541	88
72232	4	empl.	84724	0	5234	8194	11826	25254	36535	19544	81333	3391	99295	0	5708	9440	14346	29494	44175	22365	96034	3261	108616	0	6289	9427	16550	32266	46792	24810	103868	4748	113461	0	6799	10201	16478	33478	49840	23639	106957	6504	110988	0	6188	9891	15140	31219	48290	26115	105624	5364
72232	4	ann. pay.	1058085	41213	72784	92468	133894	340359	435767	241759	1017885	40200	1292951	47462	82268	109619	170701	410050	553508	280317	1243875	49076	1470192	46778	89527	119243	204549	460097	601410	339587	1401094	69098	1543126	43901	100523	127548	210662	482634	644538	338644	1465816	77310	1560690	46352	96483	129033	201634	473502	634236	360170	1467908	92782
72232	4	rec.																																									4923881	212787	492316	524835	703183	1933121	1781506	958414	4673041	250840
72233	4	firms	2399	702	1111	283	155	2251	122	16	2389	10	2662	970	1078	303	168	2519	119	15	2653	9	3006	994	1227	389	227	2837	147	14	2998	8	2845	877	1206	380	212	2675	147	16	2838	7	2574	847	1088	299	189	2423	128	17	2568	6
72233	4	estab.	2531	711	1112	283	163	2269	150	53	2472	59	2787	970	1078	311	181	2540	138	51	2729	58	3137	998	1227	393	232	2850	170	49	3069	68	2957	877	1206	382	234	2699	180	21	2900	57	2691	847	1088	304	196	2435	182	21	2638	53
72233	4	empl.	13540	0	2107	1819	2036	5962	4395	768	11125	2415	12812	0	2106	1972	2218	6296	4040	1359	11695	1117	15819	0	2426	2561	2996	7983	5129	1597	14709	1110	15659	0	2376	2455	2818	7649	4772	1164	13585	2074	14151	0	2125	1944	2416	6485	4154	1355	11994	2157
72233	4	ann. pay.	220733	11798	30595	21945	24504	88842	65509	12686	167037	53696	220520	18302	32019	25374	28014	103709	60337	25544	189590	30930	264837	21492	35162	30787	33701	121142	74570	30608	226320	38517	261939	17670	36947	30788	34851	120256	71881	22258	214395	47544	226690	15662	31505	23538	31357	102062	66474	22358	190894	35796
72233	4	rec.																																									1188332	91734	194220	120408	149465	555827	318617	124919	999363	188969
72241	4	firms	52230	5679	27967	10693	4677	49016	3009	158	52183	47	50714	5361	26620	10637	4779	47397	3111	166	50674	40	50091	5630	25685	10407	4939	46661	3235	153	50049	42	49483	5595	24849	10491	5003	45938	3338	163	49439	44	50195	5645	24732	10987	5072	46436	3556	160	50152	43
72241	4	estab.	52665	5681	27975	10727	4763	49146	3157	236	52539	126	51177	5365	26629	10673	4866	47533	3234	263	51030	147	50578	5635	25697	10442	5015	46789	3359	219	50367	211	49973	5596	24861	10533	5077	46067	3449	299	49815	158	50683	5647	24741	11005	5133	46526	3685	244	50455	228
72241	4	empl.	320230	0	63580	68825	61524	193929	101375	19009	314313	5917	324824	0	60468	68661	63328	192457	106916	20560	319933	4891	328620	0	58634	67347	65586	191567	110292	19167	321026	7594	335165	0	56885	67757	66785	191427	114791	21435	327653	7512	347842	0	57852	70595	67306	195753	121694	20134	337581	10261
72241	4	ann. pay.	2971730	132825	575070	566907	522123	1796925	943210	178770	2918905	52825	3138070	117934	578619	587637	555538	1839728	1033232	213964	3086924	51146	3345304	133999	576598	606797	607280	1924674	1121326	216875	3262875	82429	3485547	130801	585055	624374	633021	1973251	1197418	242759	3413428	72119	3680423	151526	589042	665181	651936	2057685	1289873	230087	3577645	102778
72241	4	rec.																																									15414170	771470	3596363	3106935	2593129	10067897	4302381	691553	15061831	352339
81111	4	firms	95369	9286	59578	19196	5440	93500	1585	184	95269	100	94420	8356	59030	19523	5609	92518	1627	179	94324	96	93661	8461	57900	19698	5683	91742	1641	184	93567	94	93725	8520	57771	19765	5757	91813	1632	187	93632	93	94448	8429	59000	19476	5676	92581	1591	187	94359	89
81111	4	estab.	100311	9303	59610	19363	5923	94199	2842	971	98012	2299	99295	8390	59082	19695	6082	93249	2859	1056	97164	2131	98299	8977	57947	19879	6117	92920	2810	1039	96769	1530	98361	8543	57838	19939	6183	92503	2673	1037	96213	2148	99305	8432	59027	19637	6242	93338	2852	966	97156	2149
81111	4	empl.	392728	0	130151	121659	68193	320003	44719	11732	376454	16274	397792	0	129188	123903	70160	323251	45810	12302	381363	16429	398825	0	128230	125253	71005	324488	47111	13392	384991	13834	402965	0	127187	125438	72311	324936	46939	14002	385877	17088	402913	0	131236	123686	71127	326049	45108	12972	384129	18784
81111	4	ann. pay.	9330626	197324	2570714	2823738	1725425	7317201	1209995	347393	8874589	456037	9724370	214565	2654845	2965616	1820386	7655412	1263264	369255	9287931	436439	10174747	245849	2689852	3089735	1887830	7913266	1330864	445372	9689502	485245	10570128	220137	2792861	3203305	1954922	8171225	1369610	448416	9989251	580877	10755772	218293	2911288	3267674	2001576	8398831	1341418	415140	10155389	600383
81111	4	rec.																																									40336745	1156961	13595859	11166639	6525143	32444602	4713510	1378661	38536773	1799972
81112	4	firms	38753	3379	19563	9041	4871	36854	1724	134	38712	41	37846	3026	19063	8870	4963	35922	1745	126	37793	53	38045	3293	18784	8890	5045	36012	1851	123	37986	59	37862	3196	18604	8753	5155	35708	1961	133	37802	60	38002	3305	18913	8369	5271	35858	1941	142	37941	61
81112	4	estab.	42004	3383	19565	9077	5007	37032	2269	650	39951	2053	40961	3031	19069	8906	5095	36101	2274	482	38857	2104	41081	3296	18788	8934	5185	36203	2296	514	39013	2068	40848	3198	18613	8788	5293	35892	2427	520	38839	2009	41398	3305	18920	8406	5457	36088	2585	634	39307	2091
81112	4	empl.	237179	0	42930	59734	63375	166039	48438	11110	225587	11592	239818	0	41935	58430	64837	165202	49513	9158	223873	15945	246537	0	41253	58465	66224	165942	53321	9302	228565	17972	252983	0	40656	57644	67244	165544	57426	10939	233909	19074	252560	0	41787	55388	69158	166333	56562	11432	234327	18233
81112	4	ann. pay.	6436951	100907	865295	1454144	1794463	4214809	1477251	376546	6068606	368345	6816572	89579	886851	1485358	1908735	4370523	1572149	317268	6259940	556632	7249979	97683	885809	1525238	2005903	4514633	1773700	328501	6616834	633145	7725757	101466	912796	1546606	2128847	4689715	1944532	394705	7028952	696805	7948021	115738	948342	1534100	2221508	4819688	1994067	442016	7255771	692250
81112	4	rec.																																									26238558	524849	4245501	5181264	6677911	16629525	5863305	1495889	23988719	2249839
81119	4	firms	19910	2834	8759	3735	2287	17615	2021	221	19857	53	19680	2608	8741	3707	2291	17347	2033	241	19621	59	19940	2660	8739	3735	2416	17550	2082	247	19879	61	19936	2564	8885	3682	2424	17555	2066	248	19869	67	19100	2497	8119	3637	2462	16715	2065	255	19035	65
81119	4	estab.	24586	2871	8783	3819	2549	18022	3068	1224	22314	2272	24642	2657	8776	3786	2540	17759	3056	1631	22446	2196	24736	2695	8777	3802	2629	17903	3044	1785	22732	2004	24742	2608	8932	3776	2657	17973	2988	1765	22726	2016	24346	2501	8139	3710	2779	17129	3268	1869	22266	2080
81119	4	empl.	198815	0	18618	24673	30106	73397	70734	23847	167978	30837	204996	0	18530	24502	30489	73521	71432	27171	172124	32872	210596	0	18573	24549	32030	75152	72934	29804	177890	32706	214933	0	18963	24184	32059	75206	73893	30927	180026	34907	213365	0	17781	23794	32570	74145	73409	31377	178931	34434
81119	4	ann. pay.	2608088	74444	257392	338092	405705	1075633	813662	296402	2185697	422391	2847074	73282	273193	350297	430584	1127356	844844	376530	2348730	498344	3087375	70152	284692	365797	456742	1177383	911031	439701	2528115	559260	3153207	73669	307033	381120	478703	1240525	947247	442706	2630478	522729	3249079	73000	285590	377393	504531	1240514	981187	475981	2697682	551397
81119	4	rec.																																									10903822	320980	1427480	1376529	1629750	4754739	2916102	1520951	9191792	1712030
81121	4	firms	14958	1471	8437	2516	1347	13771	874	160	14805	153	14237	1244	8114	2369	1312	13039	887	163	14089	148	13424	1216	7550	2255	1244	12265	855	159	13279	145	12924	1203	7263	2168	1190	11824	817	144	12785	139	12470	1306	7150	1947	1082	11485	711	141	12337	133
81121	4	estab.	17214	1474	8456	2549	1455	13934	1285	509	15728	1486	16218	1248	8133	2405	1396	13182	1262	511	14955	1263	15344	1218	7568	2281	1327	12394	1200	552	14146	1198	14633	1214	7278	2198	1278	11968	1164	432	13564	1069	14148	1307	7155	1962	1165	11589	1047	451	13087	1061
81121	4	empl.	138354	0	17187	16426	17480	51093	29341	16551	96985	41369	142210	0	16548	15397	17138	49083	30180	18171	97434	44776	143645	0	15528	14668	16243	46439	29503	18579	94521	49124	140624	0	14837	14116	15615	44568	28311	18310	91189	49435	137794	0	14571	12596	14328	41495	24415	16995	82905	54889
81121	4	ann. pay.	4820022	57488	363576	420892	534346	1376302	1001289	628839	3006430	1813592	5238955	51729	373118	404659	536699	1366205	1080329	716571	3163105	2075850	6608267	35823	358801	399711	519173	1313508	1111053	768338	3192899	3415368	6489709	57020	363691	399895	521297	1341903	1079641	727762	3149306	3340403	6016253	56631	359221	372746	485917	1274515	951912	708557	2934984	3081269
81121	4	rec.																																									18677153	225896	1425021	1221005	1451073	4322995	2750205	2107594	9180794	9496359
81131	4	firms	24137	2588	12493	4556	2554	22191	1515	249	23955	182	23682	2092	12528	4595	2526	21741	1515	245	23501	181	23426	2305	12103	4504	2546	21458	1551	244	23253	173	23499	2100	12314	4495	2617	21526	1563	230	23319	180	24480	2484	12943	4528	2622	22577	1496	235	24308	172
81131	4	estab.	25626	2588	12498	4574	2622	22282	1795	514	24591	1035	25149	2095	12529	4606	2596	21826	1788	484	24098	1051	24950	2306	12104	4518	2610	21538	1804	478	23820	1130	24977	2103	12319	4523	2668	21613	1800	460	23873	1104	25932	2484	12946	4543	2684	22657	1784	464	24905	1027
81131	4	empl.	191016	0	25790	29824	33499	89113	48384	20341	157838	33178	196181	0	25808	30073	33375	89256	49248	21057	159561	36620	197613	0	25146	29527	33442	88115	51149	21446	160710	36903	200954	0	25471	29222	34620	89313	50898	22546	162757	38197	196649	0	27040	29525	34746	91311	49256	20279	160846	35803
81131	4	ann. pay.	6261573	83859	572413	768567	1011296	2436135	1658782	752836	4847753	1413820	6543415	66078	587010	803087	1034266	2490441	1738723	787470	5016634	1526781	6756014	67099	584801	813454	1062055	2527409	1832249	814527	5174185	1581829	7015703	63873	609274	812758	1124791	2610696	1853539	916935	5381170	1634533	7009776	75054	656118	841034	1144463	2716669	1838463	815015	5370147	1639629
81131	4	rec.																																									23832512	429813	2963538	2914803	3593768	9901922	5612313	2548213	18062448	5770064
81141	4	firms	8876	1018	5751	1323	514	8606	192	32	8830	46	8601	907	5565	1305	549	8326	207	29	8562	39	8417	944	5328	1298	559	8129	222	30	8381	36	8273	837	5273	1290	581	7981	227	30	8238	35	7631	795	4887	1176	505	7363	207	28	7598	33
81141	4	estab.	9943	1021	5755	1326	530	8632	234	72	8938	1005	9512	907	5569	1310	565	8351	246	64	8661	851	9228	944	5331	1304	572	8151	271	76	8498	730	9085	838	5276	1297	592	8003	285	68	8356	729	8400	795	4888	1178	517	7378	251	61	7690	710
81141	4	empl.	69235	0	11079	8465	6524	26068	5245	2540	33853	35382	64130	0	10800	8359	6995	26154	5854	1531	33539	30591	61353	0	10335	8314	7207	25856	6202	2234	34292	27061	57998	0	10143	8195	7565	25903	6569	2222	34694	23304	54975	0	9608	7666	6600	23874	5822	1838	31534	23441
81141	4	ann. pay.	1834137	22524	196161	180621	169348	568654	155428	59376	783458	1050679	1651840	16773	201179	188643	183748	590343	175221	41045	806609	845231	1732903	20016	196478	189492	197925	603911	196995	68244	869150	863753	1631725	14093	199449	199994	212042	625578	216715	71457	913750	717975	1521305	15354	191443	191534	190168	588499	193144	56447	838090	683215
81141	4	rec.																																									4424565	106960	964937	693175	598822	2363894	548969	159678	3072541	1352024
81142	4	firms	6428	702	4368	962	297	6329	95	3	6427	1	6274	621	4303	937	310	6171	98	3	6272	2	6150	639	4127	930	334	6030	111	6	6147	3	5964	600	3991	938	316	5845	110	5	5960	4	5940	678	3928	923	304	5833	99	3	5935	5
81142	4	estab.	6441	702	4369	962	299	6332	105	3	6440	1	6285	621	4304	938	314	6177	103	3	6283	2	6161	639	4128	933	336	6036	116	6	6158	3	5972	600	3992	939	317	5848	115	5	5968	4	5947	678	3928	923	309	5838	101	3	5942	5
81142	4	empl.	         [j]	0	8550	6136	3752	18438	2940	         [e]	         [j]	         [b]	22053	0	8470	5990	3977	18437	[h]	[e]	[j]	[b]	22777	0	8202	5943	4252	18397	         [h]	699	         [j]	         [e]	22458	0	7937	5979	4111	18027	         [h]	         [f]	         [j]	         [e]	21385	0	7979	5936	3923	17838	         [h]	         [e]	         [j]	         [e]
81142	4	ann. pay.	         (D)	11648	133130	110705	80529	336012	64184	         (D)	         (D)	         (D)	439702	10844	139427	113904	89668	353843	(D)	(D)	(D)	(D)	477715	13712	139692	114975	95879	364258	         (D)	16037	         (D)	         (D)	474922	10968	139542	121176	92628	364314	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	461627	11782	142849	122433	90269	367333	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
81142	4	rec.																																									1457169	68458	561865	338914	221573	1190810	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
81143	4	firms	1882	188	1481	142	46	1857	22	1	1880	2	1773	146	1435	135	34	1750	19	1	1770	3	1674	158	1325	142	30	1655	16	0	1671	3	1505	117	1219	122	27	1485	17	1	1503	2	1381	121	1114	106	26	1367	11	2	1380	1
81143	4	estab.	2027	189	1488	148	76	1901	99	25	2025	2	1993	146	1442	145	67	1800	51	139	1990	3	1886	159	1332	153	47	1691	48	0	1739	147	1714	117	1226	138	45	1526	43	143	1712	2	1578	121	1118	119	45	1403	39	135	1577	1
81143	4	empl.	         [i]	0	2603	856	579	4038	669	         [e]	         [i]	         [a]	4793	0	2551	827	437	3815	[f]	[e]	[h]	[a]	4627	0	2332	879	387	3598	         [e]	0	         [h]	         [f]	4246	0	2178	747	350	3275	         [e]	         [e]	         [h]	         [a]	3751	0	1981	646	358	2985	         [e]	         [e]	         [h]	         [a]
81143	4	ann. pay.	         (D)	1843	32416	12296	9067	55622	10206	         (D)	         (D)	         (D)	70680	1529	32507	13122	7097	54255	(D)	(D)	(D)	(D)	67157	1508	30653	14065	7177	53403	         (D)	0	         (D)	         (D)	64190	1159	30599	12054	6854	50666	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	57674	1477	28142	11154	6811	47584	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
81143	4	rec.																																									218306	9090	127052	32813	18344	187299	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
81149	4	firms	10266	1484	6433	1339	581	9837	335	55	10227	39	10282	1525	6411	1385	581	9902	292	54	10248	34	10673	1649	6562	1487	593	10291	297	47	10635	38	10339	1427	6555	1407	580	9969	287	43	10299	40	11860	2030	7071	1652	715	11468	313	44	11825	35
81149	4	estab.	10588	1487	6440	1352	601	9880	414	166	10460	128	10500	1527	6416	1396	609	9948	356	78	10382	118	10882	1650	6571	1498	614	10333	358	72	10763	119	10535	1428	6561	1417	597	10003	334	75	10412	123	12180	2031	7076	1657	730	11494	363	89	11946	234
81149	4	empl.	48825	0	12565	8548	7444	28557	10450	4245	43252	5573	46494	0	12435	8857	7457	28749	9075	3735	41559	4935	48233	0	12653	9522	7635	29810	9285	3650	42745	5488	46019	0	12680	9030	7486	29196	8645	3374	41215	4804	51483	0	13844	10577	9178	33599	9460	3117	46176	5307
81149	4	ann. pay.	1040061	28688	206637	160509	169725	565559	247425	107134	920118	119943	1036932	26515	214079	183350	165839	589783	218092	121488	929363	107569	1133404	33132	221237	194254	178766	627389	270057	119982	1017428	115976	1117420	23347	231842	196819	185288	637296	234141	107705	979142	138278	1252244	36391	254382	227275	226546	744594	260488	103972	1109054	143190
81149	4	rec.																																									4521689	230083	1217135	793548	728034	2968800	750643	337830	4057273	464416
81211	4	firms	74562	7809	44497	13670	6051	72027	2344	169	74540	22	73140	7418	43686	13340	6014	70458	2486	173	73117	23	73342	8187	43001	13269	6102	70559	2580	180	73319	23	73240	8098	42860	13087	6308	70353	2674	190	73217	23	75385	9022	43898	12945	6489	72354	2820	183	75357	28
81211	4	estab.	84073	7857	44531	13779	6407	72574	4202	1994	78770	5303	83276	7447	43727	13457	6342	70973	4204	1932	77109	6167	83587	8227	43043	13405	6421	71096	4094	1965	77155	6432	83448	8112	42929	13210	6609	70860	4098	2012	76970	6478	86638	9030	43929	13003	6737	72699	4619	2046	79364	7274
81211	4	empl.	411580	0	91300	88658	79026	258984	77843	27572	364399	47181	421094	0	88959	86463	78897	254319	82518	28377	365214	55880	433378	0	87125	86289	80061	253475	87053	30200	370728	62650	438157	0	85872	85296	82758	253926	90319	31764	376009	62148	450025	0	89949	84518	85215	259682	95158	30316	385156	64869
81211	4	ann. pay.	5836594	139380	1019041	1117108	1169587	3445116	1291293	419911	5156320	680274	6237947	132069	1054408	1155243	1223087	3564807	1446856	455770	5467433	770514	6752585	149163	1078171	1209691	1300686	3737711	1608031	512264	5858006	894579	7129027	200613	1114975	1222928	1392677	3931193	1720153	542785	6194131	934896	7378763	170435	1154707	1231706	1452780	4009628	1830393	508336	6348357	1030406
81211	4	rec.																																									16608808	628870	3852946	2753936	2826703	10062455	3418983	1030779	14512217	2096591
81219	4	firms	9740	1803	5148	1777	655	9383	303	43	9729	11	10202	1830	5407	1819	778	9834	314	42	10190	12	10652	2040	5469	1854	843	10206	385	51	10642	10	11218	2086	5653	2059	913	10711	444	51	11206	12	10632	2000	4908	2250	963	10121	446	52	10619	13
81219	4	estab.	11617	1810	5164	1831	765	9570	617	303	10490	1127	11956	1837	5426	1867	873	10003	589	280	10872	1084	12323	2045	5493	1891	923	10352	615	318	11285	1038	13149	2088	5676	2085	1005	10854	685	305	11844	1305	12986	2000	4916	2271	1058	10245	914	377	11536	1450
81219	4	empl.	62018	0	10409	11389	8510	30308	10273	6484	47065	14953	64371	0	10981	11749	10181	32911	11074	7039	51024	13347	69831	0	11177	12070	11047	34294	13582	8283	56159	13672	78755	0	11370	13347	11789	36506	15439	8603	60548	18207	79568	0	10587	14606	12482	37675	15156	9200	62031	17537
81219	4	ann. pay.	747417	32448	116598	107506	94985	351537	157104	75809	584450	162967	799976	34228	129933	117500	115343	397004	172352	90348	659704	140272	879720	34440	138095	124997	134840	432372	195484	116545	744401	135319	1018187	38296	145017	141398	140706	465417	213735	115593	794745	223442	1052027	40746	127816	144592	146830	459984	221002	139248	820234	231793
81219	4	rec.																																									4095549	203481	600593	502048	462107	1768229	674075	426033	2868337	1227212
81221	4	firms	11519	558	5313	3419	1626	10916	567	27	11510	9	11414	580	5242	3310	1675	10807	570	25	11402	12	11353	573	5184	3257	1713	10727	583	33	11343	10	11435	643	5181	3252	1686	10762	621	42	11425	10	11427	593	5138	3200	1752	10683	690	43	11416	11
81221	4	estab.	16215	559	5453	3890	2197	12099	1260	154	13513	2702	16097	584	5378	3741	2232	11935	1233	135	13303	2794	16121	582	5318	3649	2289	11838	1246	225	13309	2812	16103	652	5326	3659	2218	11855	1287	295	13437	2666	16228	595	5208	3569	2401	11773	1574	232	13579	2649
81221	4	empl.	105776	0	12644	22526	20740	55910	17515	2349	75774	30002	104764	0	12461	21708	21404	55573	17655	2006	75234	29530	109157	0	12367	21364	21947	55678	18556	3174	77408	31749	112590	0	12367	21303	21607	55277	19299	4386	78962	33628	105050	0	12528	21138	22571	56237	21742	3980	81959	23091
81221	4	ann. pay.	2499299	14186	326565	569840	517368	1427959	456829	52616	1937404	561895	2571288	16288	341030	570898	550548	1478764	468377	52486	1999627	571661	2711245	16335	340550	572222	573260	1502367	488723	73693	2064783	646462	2773635	19604	355111	590224	576775	1541714	510085	108320	2160119	613516	2813190	16302	361825	587645	615337	1581109	576500	105585	2263194	549996
81221	4	rec.																																									10961391	121249	1963276	2309257	2084686	6478468	1794792	344861	8618121	2343270
81222	4	firms	5407	970	3048	726	360	5104	248	38	5390	17	5276	876	3051	717	331	4975	252	35	5262	14	5229	843	3009	742	341	4935	243	38	5216	13	5192	831	2962	743	346	4882	254	43	5179	13	4737	827	2541	736	335	4439	229	49	4717	20
81222	4	estab.	6878	970	3050	732	397	5149	358	168	5675	1203	6779	876	3052	725	357	5010	360	282	5652	1127	6757	843	3010	749	371	4973	335	278	5586	1171	6694	834	2963	746	376	4919	425	259	5603	1091	6249	827	2545	742	365	4479	445	259	5183	1066
81222	4	empl.	60906	0	5998	4562	4583	15143	7751	3564	26458	34448	55346	0	5923	4609	4246	14778	7885	3524	26187	29159	57001	0	5876	4769	4317	14962	7852	3873	26687	30314	57750	0	5742	4694	4383	14819	8101	3757	26677	31073	42082	0	5217	4686	4236	14139	7301	4202	25642	16440
81222	4	ann. pay.	1205700	20502	86464	93100	115007	315073	245621	104863	665557	540143	1186280	15401	90543	100698	114214	320856	255897	129055	705808	480472	1226112	12866	93477	104189	120263	330795	266435	119599	716829	509283	1304362	15386	94232	109233	128077	346928	289126	127605	763659	540703	1058189	7783	84990	106028	122504	321305	263838	150692	735835	322354
81222	4	rec.																																									3409005	33929	288112	305381	321563	948985	645035	503607	2097627	1311378
81231	4	firms	12264	1292	7513	2109	877	11791	416	48	12255	9	11804	1067	7475	2023	813	11378	376	39	11793	11	11301	987	7099	1977	816	10879	372	39	11290	11	10930	987	6922	1854	725	10488	391	37	10916	14	10996	1131	6892	1873	691	10587	362	35	10984	12
81231	4	estab.	13992	1295	7564	2216	1182	12257	925	550	13732	260	13487	1075	7527	2150	1090	11842	865	347	13054	433	12956	996	7145	2101	1098	11340	830	377	12547	409	12565	990	6979	1955	975	10899	837	348	12084	481	12521	1131	6928	1972	906	10937	821	311	12069	452
81231	4	empl.	56567	0	15872	13401	10687	39960	10220	3080	53260	3307	53588	0	15708	12795	9997	38500	8780	1579	48859	4729	53310	0	14965	12511	9908	37384	9046	2646	49076	4234	51528	0	14566	11774	8911	35251	9438	2288	46977	4551	49179	0	14657	11797	8507	34961	8563	1561	45085	4094
81231	4	ann. pay.	709894	18341	148650	126150	117690	410831	145434	57899	614164	95730	668672	15884	154305	127190	113377	410756	128465	24546	563767	104905	714956	14285	153188	123637	115514	406624	145463	50307	602394	112562	722076	13605	156161	119909	106294	395969	146342	50761	593072	129004	669971	15827	157284	123346	100854	397311	129701	27983	554995	114976
81231	4	rec.																																									3438898	112469	921646	489764	333000	1856879	484594	127632	2469105	969793
81232	4	firms	24174	2133	10982	5257	3474	21846	2157	155	24158	16	23786	2181	10757	5076	3400	21414	2191	161	23766	20	23753	2369	10770	4918	3367	21424	2152	157	23733	20	23572	2371	10796	4868	3267	21302	2090	159	23551	21	23714	2384	11245	4721	3216	21566	1983	143	23692	22
81232	4	estab.	27674	2145	11001	5334	3816	22296	3806	1141	27243	431	27382	2184	10781	5142	3730	21837	3754	1199	26790	592	27324	2381	10795	4988	3694	21858	3715	1149	26722	602	27026	2379	10828	4943	3565	21715	3584	1118	26417	609	27059	2386	11266	4795	3518	21965	3388	1099	26452	607
81232	4	empl.	203388	0	24234	34588	46107	104929	72379	21079	198387	5001	203807	0	23661	33520	45200	102381	73459	22130	197970	5837	201742	0	23685	32543	44999	101227	72425	22276	195928	5814	197888	0	23627	32251	43752	99630	69275	20931	189836	8052	190399	0	25164	31225	43243	99632	65782	17390	182804	7595
81232	4	ann. pay.	2683906	59776	285408	394726	560132	1300042	995943	327622	2623607	60299	2804853	51928	292939	400133	587093	1332093	1041141	343140	2716374	88479	2819649	54640	303271	395611	569922	1323444	1038624	362617	2724685	94964	2835945	55608	313850	405397	575233	1350088	1019632	330191	2699911	136034	2819867	54010	352373	412958	582748	1402089	993733	289219	2685041	134826
81232	4	rec.																																									7851550	258932	1622921	1268459	1465211	4615523	2221887	694772	7532182	319368
81233	4	firms	1676	107	412	238	241	998	473	151	1622	54	1595	91	422	233	212	958	442	143	1543	52	1522	93	372	233	197	895	437	145	1477	45	1454	67	361	238	189	855	406	146	1407	47	1320	70	318	198	183	769	374	131	1274	46
81233	4	estab.	2864	109	412	238	242	1001	503	291	1795	1069	2889	91	423	233	213	960	471	276	1707	1182	2771	93	373	233	200	899	461	282	1642	1129	2679	73	362	238	193	866	429	271	1566	1113	2530	70	318	198	185	771	406	263	1440	1090
81233	4	empl.	132827	0	938	1597	3287	5822	20932	23586	50340	82487	135685	0	921	1567	2979	5467	19871	22673	48011	87674	134441	0	822	1568	2690	5080	19460	23640	48180	86261	134306	0	809	1578	2574	4961	17957	23362	46280	88026	131662	0	736	1346	2486	4568	17431	21710	43709	87953
81233	4	ann. pay.	2971093	11824	12631	22912	55505	102872	419114	522201	1044187	1926906	3115082	3428	13293	26209	48439	91369	423242	532181	1046792	2068290	3208217	3564	13412	27442	44250	88668	417205	548712	1054585	2153632	3193346	3412	14287	32205	43999	93903	393510	565900	1053313	2140033	3312646	4042	13449	26309	50205	94005	399823	556210	1050038	2262608
81233	4	rec.																																									9188733	16507	66911	108293	136561	328272	995268	1392731	2716271	6472462
81291	4	firms	6742	1024	4244	1042	332	6642	92	5	6739	3	6857	901	4349	1140	363	6753	98	4	6855	2	7025	989	4330	1189	399	6907	110	4	7021	4	7436	1054	4496	1285	456	7291	138	4	7433	3	8130	1170	4832	1420	547	7969	151	6	8126	4
81291	4	estab.	6769	1024	4244	1042	332	6642	93	6	6741	28	6894	901	4351	1140	363	6755	99	4	6858	36	7061	991	4330	1189	399	6909	110	4	7023	38	7482	1054	4498	1292	458	7302	138	4	7444	38	8188	1170	4834	1426	549	7979	157	10	8146	42
81291	4	empl.	23449	0	8499	6646	4234	19379	2564	513	22456	993	24908	0	8754	7197	4662	20613	2772	[f]	[j]	[f]	26767	0	8777	7658	5108	21543	3165	584	25292	1475	28954	0	9183	8244	5841	23268	3945	         [g]	         [k]	         [f]	32177	0	10102	9037	6982	26121	4136	         [g]	         [k]	         [f]
81291	4	ann. pay.	314354	10847	100984	80034	53095	244960	40148	10954	296062	18292	337383	12419	108912	90844	62440	274615	44642	(D)	(D)	(D)	365318	11823	112181	97323	69803	291130	50828	10653	352611	12707	413219	14361	119440	109600	80933	324334	62958	         (D)	         (D)	         (D)	472468	16163	132242	122983	99458	370846	67477	         (D)	         (D)	         (D)
81291	4	rec.																																									1505152	84882	525925	359576	250784	1221167	165014	         (D)	         (D)	         (D)
81292	4	firms	4571	384	2222	949	549	4104	406	43	4553	18	4309	313	2127	898	518	3856	390	47	4293	16	4016	273	1984	839	479	3575	377	49	4001	15	3713	280	1819	785	413	3297	356	46	3699	14	3281	201	1689	647	395	2932	303	37	3272	9
81292	4	estab.	6449	384	2228	982	639	4233	693	147	5073	1376	6269	315	2140	935	606	3996	661	146	4803	1466	5843	275	1995	877	554	3701	634	144	4479	1364	5357	280	1835	827	490	3432	563	148	4143	1214	4810	202	1701	670	446	3019	469	160	3648	1162
81292	4	empl.	72242	0	4970	6106	7233	18309	14661	6778	39748	32494	64831	0	4733	5924	6744	17401	14254	[i]	[k]	[k]	61530	0	4345	5535	6263	16143	13645	7801	37589	23941	60366	0	3959	5126	5485	14570	12864	         [i]	         [k]	         [k]	49247	0	3672	4226	5138	13036	10463	         [i]	         [k]	         [j]
81292	4	ann. pay.	1581788	23243	77035	104190	140219	344687	361098	165495	871280	710508	1497325	8530	79653	103923	134270	326376	361222	(D)	(D)	(D)	1483929	6874	72702	101242	136188	317006	361433	200561	879000	604929	1497337	5766	68623	96460	116942	287791	336659	         (D)	         (D)	         (D)	1239594	8841	63945	79860	106871	259517	286904	         (D)	         (D)	         (D)
81292	4	rec.																																									3894508	50040	298676	274143	304474	927333	759608	         (D)	         (D)	         (D)
81293	4	firms	2070	190	831	420	209	1650	300	86	2036	34	1921	225	779	389	203	1596	220	70	1886	35	1954	221	783	413	201	1618	234	66	1918	36	1994	245	805	379	209	1638	255	68	1961	33	2289	257	961	454	242	1914	265	72	2251	38
81293	4	estab.	9613	205	844	454	293	1796	813	1363	3972	5641	9811	261	895	415	316	1887	636	1358	3881	5930	10934	249	808	432	305	1794	660	1212	3666	7268	10661	245	824	417	297	1783	729	1180	3692	6969	11775	257	972	476	339	2044	800	1247	4091	7684
81293	4	empl.	78538	0	1873	2779	2709	7361	11321	14579	33261	45277	80570	0	1709	2531	2717	6957	8460	11487	26904	53666	81049	0	1762	2693	2649	7104	8909	11389	27402	53647	88259	0	1808	2472	2817	7097	10049	12572	29718	58541	86176	0	2225	2936	3195	8356	10187	13401	31944	54232
81293	4	ann. pay.	1081268	9949	31226	48089	39476	128740	150254	200828	479822	601446	1189905	6489	33429	46850	42488	129256	124395	189157	442808	747097	1151860	7697	35197	48348	43223	134465	140749	183986	459200	692660	1356739	10352	34947	46588	47353	139240	156915	200168	496323	860416	1365243	9629	45578	57785	57123	170115	153958	209594	533667	831576
81293	4	rec.																																									6687864	49332	237803	252581	233040	772756	591760	891185	2255701	4432163
81299	4	firms	8007	2620	3627	974	430	7651	286	41	7978	29	9960	3404	4523	1088	502	9517	347	64	9928	32	13314	4348	6355	1395	670	12768	443	75	13286	28	11213	2946	5851	1308	611	10716	390	79	11185	28	17467	4588	8354	2385	1240	16567	780	94	17441	26
81299	4	estab.	8308	2622	3633	981	448	7684	357	110	8151	157	10267	3404	4529	1096	520	9549	409	176	10134	133	13743	4391	6363	1400	692	12846	510	233	13589	154	11646	2947	5856	1313	628	10744	477	276	11497	149	17900	4588	8359	2389	1257	16593	836	328	17757	143
81299	4	empl.	40560	0	7073	6267	5718	19058	10061	5390	34509	6051	52419	0	8701	6963	6674	22338	12559	9509	44406	8013	65009	0	12041	8927	8865	29833	16001	12164	57998	7011	62969	0	10972	8461	8051	27484	14487	13277	55248	7721	98755	0	16607	15580	16571	48758	27973	15488	92219	6536
81299	4	ann. pay.	899951	66453	140850	113941	102314	423558	186721	89208	699487	200464	1178663	91232	184583	129097	132879	537791	299790	154177	991758	186905	1468143	125013	262962	170160	187265	745400	303595	269793	1318788	149355	1385288	66034	242603	163104	169775	641516	271213	241730	1154459	230829	2037431	117026	345219	312334	321040	1095619	494308	303011	1892938	144493
81299	4	rec.																																									7486867	722746	1938159	1264030	1053436	4978371	1419560	776503	7174434	312433
81311	4	firms	161205	5581	85392	37075	17754	145802	14291	1002	161095	110	164446	6506	85840	37887	18229	148462	14807	1066	164335	111	166598	6705	85947	38542	18679	149873	15440	1169	166482	116	165859	6029	84980	38873	18943	148825	15712	1210	165747	112	172311	7532	87434	40589	19482	155037	15942	1213	172192	119
81311	4	estab.	161332	5581	85393	37076	17759	145809	14336	1048	161193	139	164574	6506	85841	37889	18233	148469	14854	1102	164425	149	166716	6707	85949	38543	18685	149884	15484	1202	166570	146	165984	6029	84983	38874	18951	148837	15761	1246	165844	140	172562	7532	87436	40589	19485	155042	16009	1272	172323	239
81311	4	empl.	1469479	0	192115	240091	236535	668741	539166	164597	1372504	96975	1517882	0	192299	245550	243445	681294	561687	175519	1418500	99382	1569353	0	192972	249912	249364	692248	587271	187485	1467004	102349	1595009	0	191539	252752	253292	697583	598202	196792	1492577	102432	1638915	0	200736	261971	259923	722630	607209	197037	1526876	112039
81311	4	ann. pay.	18855527	87838	2007913	2584394	2794289	7474434	6859178	2659056	16992668	1862859	20390610	122886	2124993	2772870	3019986	8040735	7410576	2918466	18369777	2020833	22089462	147168	2242849	2960284	3225583	8575884	8022148	3219807	19817839	2271623	23294649	108633	2347702	3102665	3425528	8984528	8515581	3535837	21035946	2258703	24843744	138677	2521215	3324490	3607367	9591749	9046341	3703308	22341398	2502346
81311	4	rec.																																									82910385	581781	8926690	11243940	11998419	32750830	29654114	12089227	74494171	8416214
81321	4	firms	10596	852	6188	1461	861	9362	788	240	10390	206	10760	678	6338	1524	911	9451	854	244	10549	211	11155	832	6367	1655	927	9781	917	249	10947	208	11835	824	6823	1757	994	10398	972	260	11630	205	12944	978	7564	1833	1070	11445	993	277	12715	229
81321	4	estab.	12349	852	6188	1480	926	9446	1122	567	11135	1214	12540	679	6339	1543	965	9526	1164	571	11261	1279	12925	837	6368	1668	991	9864	1217	556	11637	1288	13648	824	6827	1786	1046	10483	1275	556	12314	1334	14952	978	7565	1871	1176	11590	1357	737	13684	1268
81321	4	empl.	113658	0	11752	9527	11480	32759	29157	26674	88590	25068	121342	0	12295	9956	12009	34260	31682	29017	94959	26383	128873	0	12384	10861	12278	35523	34510	29616	99649	29224	135947	0	13339	11568	13282	38189	36861	32100	107150	28797	143800	0	14576	11922	14188	40686	38164	33322	112172	31628
81321	4	ann. pay.	3640553	61064	334373	309401	372380	1077218	924948	795073	2797239	843314	3959660	19571	369112	330073	399742	1118498	1059791	925498	3103787	855873	4388361	25734	383524	384265	423554	1217077	1183764	994848	3395689	992672	4951121	32143	437805	423450	468222	1361620	1343792	1151178	3856590	1094531	5415980	42543	489339	446046	527479	1505407	1453154	1221915	4180476	1235504
81321	4	rec.																																									46518426	816104	5938738	4939756	5549376	17243974	12823379	12080457	42147810	4370616
81331	4	firms	8840	771	4365	1610	1030	7776	791	213	8780	60	9053	531	4482	1752	1073	7838	937	221	8996	57	9266	628	4375	1807	1180	7990	990	223	9203	63	9954	614	4772	1979	1241	8606	1037	242	9885	69	11443	831	5794	2105	1355	10085	1045	243	11373	70
81331	4	estab.	10398	771	4368	1626	1088	7853	1159	916	9928	470	10741	533	4486	1767	1129	7915	1303	880	10098	643	11057	640	4378	1820	1243	8081	1352	1035	10468	589	11886	617	4778	1996	1312	8703	1387	1089	11179	707	13485	833	5802	2123	1417	10175	1518	996	12689	796
81331	4	empl.	89539	0	9094	10540	13715	33349	27646	18537	79532	10007	100107	0	9443	11531	14497	35471	32883	20581	88935	11172	107824	0	9309	11816	15582	36707	34920	22704	94331	13493	116907	0	10049	12975	16547	39571	36273	25372	101216	15691	124217	0	12078	13751	18146	43975	36314	26686	106975	17242
81331	4	ann. pay.	2220271	21156	201885	236269	321682	780992	665452	485767	1932211	288060	2533382	16334	222594	269518	347716	856162	795315	547823	2199300	334082	2836905	18431	227259	285619	384757	916066	885857	647462	2449385	387520	3239402	20874	264430	331877	436105	1053286	952658	748415	2754359	485043	3584777	25792	320956	368917	491614	1207279	994454	858105	3059838	524939
81331	4	rec.																																									12940150	171505	1336694	1291598	1595979	4395776	2949112	3378800	10723688	2216462
81341	4	firms	30183	1988	15650	6292	3480	27410	2268	425	30103	80	29762	1609	15691	6263	3411	26974	2260	446	29680	82	29739	1766	15323	6325	3452	26866	2331	452	29649	90	29742	1786	15253	6322	3439	26800	2378	467	29645	97	28975	1806	14475	6368	3338	25987	2422	468	28877	98
81341	4	estab.	32063	1988	15655	6325	3651	27619	2865	959	31443	620	31642	1609	15697	6299	3552	27157	2875	1021	31053	589	31628	1766	15333	6359	3590	27048	2926	1059	31033	595	31711	1786	15256	6355	3560	26957	2969	1148	31074	637	31176	1809	14476	6387	3470	26142	3268	1128	30538	638
81341	4	empl.	314725	0	31244	41313	45677	118234	83315	65174	266723	48002	320681	0	31569	41303	45280	118152	83702	67038	268892	51789	330697	0	30864	41646	45723	118233	85898	70549	274680	56017	339182	0	30807	41603	45286	117696	88498	72921	279115	60067	339933	0	30023	41692	44201	115916	90588	73707	280211	59722
81341	4	ann. pay.	3890204	30852	344984	411718	493086	1280640	1195262	856902	3332804	557400	4044190	24367	371147	421004	496141	1312659	1225263	920195	3458117	586073	4332728	33448	375416	438092	521189	1368145	1321915	988736	3678796	653932	4700999	33706	397264	452521	542519	1426010	1438597	1068628	3933235	767764	4789128	32818	384592	466461	524363	1408234	1505267	1123370	4036871	752257
81341	4	rec.																																									16117675	215275	2363440	2196555	2076162	6851432	4226702	2795465	13873599	2244076
81391	4	firms	16076	656	10641	2602	1088	14987	914	146	16047	29	16534	583	10747	2799	1253	15382	978	146	16506	28	16542	622	10639	2831	1277	15369	995	150	16514	28	16625	620	10657	2892	1264	15433	1010	151	16594	31	16355	683	10500	2762	1199	15144	1036	150	16330	25
81391	4	estab.	16641	660	10645	2623	1160	15088	1178	326	16592	49	17154	589	10750	2818	1331	15488	1300	328	17116	38	17144	624	10654	2856	1342	15476	1313	314	17103	41	17214	620	10673	2919	1329	15541	1301	318	17160	54	16937	683	10511	2788	1272	15254	1327	309	16890	47
81391	4	empl.	116928	0	22023	16746	14256	53025	32714	19348	105087	11841	121817	0	22366	17823	16384	56573	35048	19687	111308	10509	127217	0	22598	18133	16642	57373	35783	20781	113937	13280	129650	0	22694	18490	16502	57686	36598	20590	114874	14776	120671	0	22323	17664	15646	55633	36570	20324	112527	8144
81391	4	ann. pay.	4477273	28839	571805	528425	537278	1666347	1435856	964339	4066542	410731	4922933	26685	605359	596780	630609	1859433	1652858	1038604	4550895	372038	5288226	26606	637014	631298	674255	1969173	1708397	1136409	4813979	474247	5599951	26070	673383	659333	687984	2046770	1807166	1215255	5069191	530760	5581162	23194	684468	666795	682915	2057372	1843610	1261271	5162253	418909
81391	4	rec.																																									19049690	128064	2633399	2242121	2187491	7191075	5949349	3783386	16923810	2125880
81392	4	firms	7621	470	4496	1277	673	6916	568	118	7602	19	7140	444	4279	1132	574	6429	566	125	7120	20	7202	443	4276	1161	581	6461	583	138	7182	20	7328	461	4277	1207	624	6569	592	143	7304	24	7258	529	4261	1121	609	6520	581	135	7236	22
81392	4	estab.	7928	470	4498	1290	698	6956	711	224	7891	37	7429	444	4280	1137	593	6454	696	237	7387	42	7493	443	4278	1165	600	6486	704	257	7447	46	7653	461	4279	1212	637	6589	714	270	7573	80	7630	529	4263	1127	625	6544	725	273	7542	88
81392	4	empl.	69482	0	9196	8293	8788	26277	         [j]	         [j]	         [l]	         [h]	75037	0	8668	7342	7584	23594	22254	[j]	[l]	[j]	78577	0	8631	7562	7681	23874	22348	         [j]	         [l]	         [j]	82207	0	8670	7868	8349	24887	22696	         [j]	         [l]	         [j]	77456	         [a]	8613	7272	8119	         [j]	23211	         [j]	         [l]	         [i]
81392	4	ann. pay.	2703465	49958	264042	274879	315047	903926	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2832918	18193	254736	245810	282518	801257	904596	(D)	(D)	(D)	3047829	14595	264931	264644	300324	844494	928232	         (D)	         (D)	         (D)	3436845	18485	277260	288192	348187	932124	997899	         (D)	         (D)	         (D)	3536327	         (D)	285315	285487	349004	         (D)	1077774	         (D)	         (D)	         (D)
81392	4	rec.																																									11409755	         (D)	1298371	1039887	1171825	         (D)	3532638	         (D)	         (D)	         (D)
81393	4	firms	17952	803	8587	4397	2624	16411	1384	137	17932	20	17382	787	8347	4180	2513	15827	1394	141	17362	20	16963	883	7909	4075	2500	15367	1428	151	16946	17	16666	881	7840	4004	2377	15102	1399	147	16648	18	16689	881	7261	4101	2792	15035	1491	141	16667	22
81393	4	estab.	18697	811	8594	4414	2679	16498	1578	398	18474	223	18197	789	8350	4201	2554	15894	1596	372	17862	335	17811	883	7912	4099	2539	15433	1627	395	17455	356	17476	881	7842	4025	2423	15171	1597	389	17157	319	17520	881	7262	4115	2844	15102	1680	419	17201	319
81393	4	empl.	167206	0	18609	29158	34532	82299	48812	24604	155715	11491	166926	0	18005	27945	33570	79520	49826	25443	154789	12137	168175	0	17064	27219	33497	77780	51123	27836	156739	11436	163284	0	16749	26728	31607	75084	50238	26893	152215	11069	170894	0	16570	27509	36848	80927	53123	24307	158357	12537
81393	4	ann. pay.	3558338	16417	331710	411389	555662	1315178	1011873	815058	3142109	416229	3728856	12401	335113	422676	585132	1355322	1071312	844438	3271072	457784	3921562	15971	329780	433067	619787	1398605	1108336	982776	3489717	431845	4047683	20545	334009	456267	615371	1426192	1168104	996510	3590806	456877	4362340	19644	324702	471548	677182	1493076	1330876	977740	3801692	560648
81393	4	rec.																																									13997265	94712	1378220	1571443	2061000	5105375	4050999	3046628	12203002	1794263
81394	4	firms	2429	557	1404	261	121	2343	78	7	2428	1	1989	389	1245	186	86	1906	75	7	1988	1	2540	564	1511	257	118	2450	81	8	2539	1	2223	483	1363	213	87	2146	69	7	2222	1	2858	707	1650	269	141	2767	79	11	2857	1
81394	4	estab.	2435	557	1404	262	122	2345	82	7	2434	1	1995	389	1245	187	87	1908	79	7	1994	1	2546	564	1511	257	120	2452	85	8	2545	1	2229	483	1363	213	89	2148	73	7	2228	1	2864	707	1650	269	144	2770	81	12	2863	1
81394	4	empl.	9954	0	2628	1659	1608	5895	         [h]	         [g]	         [i]	         [a]	8456	0	2211	1201	1109	4521	2853	[g]	[i]	[a]	10889	0	2698	1679	1505	5882	3262	         [g]	         [j]	         [a]	8884	0	2434	1373	1143	4950	2510	         [g]	         [i]	         [a]	11580	         [a]	3105	1746	1837	         [i]	2809	         [g]	         [j]	         [a]
81394	4	ann. pay.	297652	21297	68798	52104	44089	186288	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	249507	14873	53247	33031	30027	131178	82551	(D)	(D)	(D)	343605	20616	78635	48191	48366	195808	100064	         (D)	         (D)	         (D)	288752	16101	62480	41122	34781	154484	88340	         (D)	         (D)	         (D)	402376	         (D)	89859	57587	66657	         (D)	106757	         (D)	         (D)	         (D)
81394	4	rec.																																									1432176	         (D)	368828	188022	228485	         (D)	340683	         (D)	         (D)	         (D)
81399	4	firms	24033	2439	14701	3384	2128	22652	1244	103	23999	34	23704	2172	14597	3396	2164	22329	1234	107	23670	34	23757	2180	14491	3490	2182	22343	1270	109	23722	35	23664	2152	14437	3456	2203	22248	1265	117	23630	34	22580	2024	13685	3249	2197	21155	1261	134	22550	30
81399	4	estab.	24333	2439	14701	3388	2138	22666	1307	238	24211	122	23958	2172	14597	3402	2169	22340	1292	194	23826	132	24016	2180	14493	3494	2188	22355	1322	198	23875	141	23924	2152	14438	3461	2208	22259	1322	252	23833	91	22874	2024	13686	3252	2205	21167	1337	281	22785	89
81399	4	empl.	136787	0	26692	22579	28345	77616	41944	13543	133103	3684	139366	0	26524	22687	28813	78024	42494	14087	134605	4761	144373	0	26526	23311	29173	79010	44428	14867	138305	6068	144707	0	26622	22930	29395	78947	44236	16151	139334	5373	143426	0	25482	21636	29089	76207	43146	18306	137659	5767
81399	4	ann. pay.	3021439	43220	487901	480308	623420	1634849	912457	366963	2914269	107170	3334271	49861	501940	508935	649911	1710647	988253	479331	3178231	156040	3558797	38419	517973	539211	688806	1784409	1056974	484665	3326048	232749	3787007	39775	554308	553856	748097	1896036	1099542	585680	3581258	205749	3892929	33277	528653	540011	748715	1850656	1120480	669317	3640453	252476
81399	4	rec.																																									15985424	223152	2729872	2388153	3011058	8352235	4292022	2186333	14830590	1154834
113110	5	firms	358	72	163	58	18	311	22	4	337	21	381	81	180	51	23	335	22	5	362	19	418	89	194	60	27	370	24	7	401	17	392	71	185	67	27	350	19	7	376	16	633	108	318	112	41	579	33	6	618	15
113110	5	estab.	418	72	163	58	19	312	24	6	342	76	431	81	181	51	24	337	24	7	368	63	469	90	194	61	27	372	31	9	412	57	441	72	185	69	27	353	20	10	383	58	680	108	318	113	42	581	35	8	624	56
113110	5	empl.	3426	0	310	383	242	935	         [f]	         [e]	         [g]	         [g]	3258	0	353	329	281	963	[f]	[e]	1982	1276	3337	0	378	389	341	1108	         [f]	         [e]	2116	1221	3203	0	363	439	354	1156	488	439	2083	1120	4203	0	652	729	528	1909	1004	250	3163	1040
113110	5	ann. pay.	132368	1233	7462	12207	7922	28824	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	121920	2133	8612	9447	10023	30215	(D)	(D)	58629	63291	132021	2989	10050	10760	12208	36007	         (D)	         (D)	67560	64461	122992	1898	9281	14026	10895	36100	16940	11534	64574	58418	158214	1889	16880	22206	15346	56321	35500	6492	98313	59901
113110	5	rec.																																									1112163	24049	201641	152818	95088	473596	188002	29485	691083	421080
113210	5	firms	152	33	65	27	9	134	8	3	145	7	185	53	76	26	11	166	10	3	179	6	191	40	86	30	14	170	13	3	186	5	188	36	86	32	11	165	13	4	182	6	286	57	128	47	23	255	20	5	280	6
113210	5	estab.	221	33	65	27	9	134	8	3	145	76	252	53	76	26	11	166	10	3	179	73	258	40	86	30	14	170	13	3	186	72	256	36	86	32	11	165	14	4	183	73	352	57	128	47	23	255	21	5	281	71
113210	5	empl.	1387	0	139	167	106	412	         [e]	         [b]	         [f]	         [f]	1380	0	163	170	156	489	[e]	[b]	851	529	1677	0	182	192	168	542	         [e]	         [b]	1005	672	2049	0	175	214	145	534	363	         [c]	         [g]	         [g]	2657	0	243	306	303	852	822	320	1994	663
113210	5	ann. pay.	45919	1043	3214	3892	1890	10039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	49617	1533	3877	4176	2942	12528	(D)	(D)	20571	29046	66968	1672	4719	4099	3613	14103	         (D)	         (D)	25724	41244	70068	1137	4068	5450	2798	13453	7268	         (D)	         (D)	         (D)	75806	1985	4902	7604	7249	21740	14218	5880	41838	33968
113210	5	rec.																																									313498	14411	33458	31717	28815	108401	43699	20925	173025	140473
113310	5	firms	13530	1872	6420	3007	1592	12891	570	35	13496	34	12931	1522	6237	2981	1561	12301	564	33	12898	33	12538	1538	5963	2872	1505	11878	598	32	12508	30	12027	1326	6059	2674	1372	11431	541	25	11997	30	11397	1462	5534	2473	1318	10787	557	24	11368	29
113310	5	estab.	13616	1872	6422	3008	1593	12895	587	39	13521	95	13011	1522	6237	2985	1563	12307	574	37	12918	93	12620	1539	5966	2873	1507	11885	608	35	12528	92	12098	1326	6062	2675	1374	11437	552	25	12014	84	11477	1462	5535	2476	1319	10792	574	25	11391	86
113310	5	empl.	79364	0	13838	19680	20657	54175	17211	2077	73463	5901	79195	0	13492	19535	20242	53269	17484	2435	73188	6007	78129	0	12795	18955	19620	51370	18831	2557	72758	5371	72732	0	12825	17763	17976	48564	17576	1967	68107	4625	68962	0	12034	16284	17315	45633	17019	1908	64560	4402
113310	5	ann. pay.	2070191	53603	290156	418739	494167	1256665	472853	78669	1808187	262004	2084891	44190	288731	427989	496102	1257012	476426	87189	1820627	264264	2057252	38974	271741	418989	472907	1202611	514450	92692	1809753	247499	1968788	33495	281658	408335	458074	1181562	484979	79664	1746205	222583	1973028	40070	272753	389633	457947	1160403	504357	71952	1736712	236316
113310	5	rec.																																									9809676	328186	1813654	1906342	1951169	5999351	2263968	351065	8614384	1195292
114111	5	firms	1269	481	619	88	38	1226	29	6	1261	8	1307	515	622	86	33	1256	33	10	1299	8	1350	531	639	104	31	1305	27	11	1343	7	1293	470	654	84	38	1246	32	9	1287	6	1100	397	580	43	38	1058	26	9	1093	7
114111	5	estab.	1275	481	619	88	38	1226	30	7	1263	12	1312	515	622	86	33	1256	33	11	1300	12	1357	531	639	104	31	1305	27	14	1346	11	1302	470	654	84	40	1248	32	12	1292	10	1113	397	580	43	38	1058	27	15	1100	13
114111	5	empl.	4630	0	944	         [f]	         [e]	1978	1085	         [e]	         [h]	         [g]	5088	0	970	545	417	1932	[g]	[g]	4242	846	4833	0	1001	662	397	2060	1025	999	4084	749	4586	0	1035	544	500	2079	1065	838	3982	604	4301	0	912	278	507	1697	874	927	3498	803
114111	5	ann. pay.	182152	14457	27362	         (D)	         (D)	76651	40334	         (D)	         (D)	         (D)	191521	19511	26863	21317	13957	81648	(D)	(D)	168431	23090	190500	16341	26174	16185	16399	75099	35592	54011	164702	25798	183490	12423	27551	16516	16796	73286	39120	49595	162001	21489	190657	13016	27094	7443	19590	67143	35325	44159	146627	44030
114111	5	rec.																																									1239527	115906	217322	37708	115367	486303	224636	287090	998029	241498
114112	5	firms	831	299	434	47	22	802	25	4	831	0	858	295	461	49	28	833	23	2	858	0	940	356	478	55	25	914	23	3	940	0	935	332	497	59	22	910	21	4	935	0	791	297	401	50	26	774	14	3	791	0
114112	5	estab.	832	299	434	47	22	802	26	4	832	0	859	295	461	49	28	833	24	2	859	0	941	356	478	55	25	914	24	3	941	0	936	332	497	59	22	910	22	4	936	0	793	297	401	50	26	774	16	3	793	0
114112	5	empl.	         [h]	         [a]	         [f]	         [e]	         [e]	         [g]	         [f]	         [e]	         [h]	0	[g]	0	[f]	305	[e]	1411	[f]	[e]	[g]	0	2628	0	775	344	         [e]	         [g]	         [f]	397	2628	0	         [h]	0	         [f]	         [e]	         [e]	1500	         [f]	461	         [h]	0	2195	         [a]	         [f]	305	         [e]	         [g]	         [f]	377	2195	0
114112	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	(D)	8358	(D)	6703	(D)	45227	(D)	(D)	(D)	0	75414	8569	24371	9084	         (D)	         (D)	         (D)	5569	75414	0	         (D)	7332	         (D)	         (D)	         (D)	49024	         (D)	5848	         (D)	0	60944	         (D)	         (D)	7469	         (D)	         (D)	         (D)	5932	60944	0
114112	5	rec.																																									408975	         (D)	         (D)	50522	         (D)	         (D)	         (D)	39808	408975	0
114119	5	firms	13	6	3	2	0	11	2	0	13	0	10	5	2	0	1	8	2	0	10	0	10	5	3	0	1	9	1	0	10	0	14	8	2	1	2	13	1	0	14	0	10	2	5	0	2	9	1	0	10	0
114119	5	estab.	13	6	3	2	0	11	2	0	13	0	10	5	2	0	1	8	2	0	10	0	10	5	3	0	1	9	1	0	10	0	14	8	2	1	2	13	1	0	14	0	10	2	5	0	2	9	1	0	10	0
114119	5	empl.	         [b]	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	0	         [b]	0	[b]	0	[a]	0	[a]	16	[b]	0	[b]	0	16	0	3	0	         [a]	         [a]	         [a]	0	16	0	         [b]	0	         [a]	         [a]	         [b]	36	         [a]	0	         [b]	0	41	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [b]	         [a]	0	41	0
114119	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	(D)	64	(D)	0	(D)	424	(D)	0	(D)	0	781	343	38	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	781	0	         (D)	133	         (D)	         (D)	         (D)	1139	         (D)	0	         (D)	0	1034	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	1034	0
114119	5	rec.																																									6454	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	6454	0
114210	5	firms	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
114210	5	estab.	345	94	175	29	30	328	13	3	344	1	360	84	184	47	22	337	17	3	357	3	363	85	185	40	33	343	13	4	360	3	384	75	205	56	30	366	12	4	382	2	469	136	226	52	35	449	14	4	467	2
114210	5	empl.	2107	0	326	198	398	922	         [e]	         [f]	         [g]	         [a]	2375	0	320	318	287	925	585	[e]	[g]	[f]	2511	0	339	264	472	1075	434	         [e]	         [g]	         [f]	2604	0	375	363	422	1160	398	         [e]	         [g]	         [f]	2707	0	414	364	471	1249	424	         [e]	         [g]	         [f]
114210	5	ann. pay.	58552	1515	4980	3226	7536	17257	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	68870	1538	5843	5303	5619	18303	12238	(D)	(D)	(D)	75764	1342	6374	4555	10941	23212	8910	         (D)	         (D)	         (D)	82351	1479	7023	7140	7899	23541	10430	         (D)	         (D)	         (D)	82792	2051	8373	6140	8183	24747	10811	         (D)	         (D)	         (D)
114210	5	rec.																																									319345	15163	38372	21497	24978	100010	37144	         (D)	         (D)	         (D)
115111	5	firms	316	33	106	68	53	260	46	4	310	6	313	30	121	73	42	266	37	5	308	5	277	31	83	75	47	236	34	4	274	3	302	33	94	80	47	254	41	4	299	3	283	21	86	67	53	227	49	4	280	3
115111	5	estab.	408	33	107	68	54	262	51	10	323	85	401	30	122	74	43	269	41	17	327	74	365	31	85	75	48	239	39	71	349	16	379	33	96	80	50	259	44	69	372	7	356	21	86	67	54	228	55	66	349	7
115111	5	empl.	3600	0	252	439	715	1406	1368	         [c]	         [h]	         [f]	3143	0	274	484	522	1280	1064	272	2616	527	2594	0	198	492	625	1315	911	302	2528	66	2997	0	242	542	608	1392	1290	265	2947	50	3226	0	198	464	727	1389	1480	296	3165	61
115111	5	ann. pay.	90340	1319	8168	14281	16877	40645	30668	         (D)	         (D)	         (D)	91953	1416	9869	16029	15900	43214	30331	7040	80585	11368	81387	1415	8228	16652	18794	45089	26221	8000	79310	2077	93899	2039	10486	19533	20530	52588	32870	7140	92598	1301	90151	1409	8715	16446	21215	47785	34790	6454	89029	1122
115111	5	rec.																																									629607	12697	77660	117453	130257	338067	237294	46410	621771	7836
115112	5	firms	2762	556	1430	428	212	2626	107	16	2749	13	2736	525	1417	420	211	2573	127	23	2723	13	2223	443	1137	381	157	2118	89	12	2219	4	2385	488	1252	367	174	2281	87	15	2383	2	2359	470	1246	377	157	2250	93	12	2355	4
115112	5	estab.	2812	556	1430	428	213	2627	118	39	2784	28	2785	530	1417	420	212	2579	139	44	2762	23	2254	443	1138	381	158	2120	90	38	2248	6	2435	488	1253	368	175	2284	90	57	2431	4	2425	470	1246	378	157	2251	97	12	2360	65
115112	5	empl.	14193	0	2945	2787	2691	8423	3651	1263	13337	856	15284	0	2907	2726	2705	8338	4266	1863	14467	817	11038	0	2329	2474	1984	6787	2925	1272	10984	54	12036	0	2578	2399	2264	7241	2964	         [g]	         [j]	         [b]	11962	0	2567	2420	2056	7043	3081	         [g]	         [j]	         [f]
115112	5	ann. pay.	389768	12506	69969	68745	69724	220944	90452	44187	355583	34185	421687	13390	69468	70809	65916	219583	112177	60739	392499	29188	302617	13829	58706	63830	47177	183542	75641	39462	298645	3972	358438	12920	71294	67482	65550	217246	74203	         (D)	         (D)	         (D)	373344	11973	71328	71103	57219	211623	88096	         (D)	         (D)	         (D)
115112	5	rec.																																									1949032	93853	517591	364965	266219	1242628	339040	         (D)	         (D)	         (D)
115113	5	firms	379	118	165	35	35	353	18	7	378	1	365	96	153	57	33	339	18	5	362	3	338	86	142	52	26	306	20	5	331	7	374	78	179	59	27	343	22	5	370	4	347	80	163	47	24	314	22	7	343	4
115113	5	estab.	381	118	165	35	35	353	18	9	380	1	367	96	153	57	33	339	18	6	363	4	340	86	142	52	26	306	20	6	332	8	375	78	179	59	27	343	22	6	371	4	348	80	163	47	24	314	22	8	344	4
115113	5	empl.	3753	0	341	228	496	1065	644	         [g]	         [h]	         [f]	4237	0	313	362	451	1126	653	[e]	[g]	[g]	5026	0	276	338	366	980	730	         [c]	         [g]	         [h]	3940	0	370	379	370	1119	847	379	2345	1595	3677	0	339	307	327	973	868	353	2194	1483
115113	5	ann. pay.	64855	3197	6711	5635	12060	27603	14764	         (D)	         (D)	         (D)	63101	2628	6340	9498	10853	29319	13898	(D)	(D)	(D)	68578	4072	6531	8185	9692	28480	15771	         (D)	         (D)	         (D)	69781	1885	9064	9097	10390	30436	20351	3220	54007	15774	65132	1943	8146	8527	8908	27524	16906	7145	51575	13557
115113	5	rec.																																									385464	14677	72585	49689	49527	186478	99377	33852	319707	65757
115114	5	firms	1061	126	325	181	110	742	193	92	1027	34	1057	142	311	173	115	741	195	86	1022	35	876	109	246	139	114	608	160	79	847	29	946	129	276	157	98	660	184	79	923	23	925	105	273	160	104	642	184	73	899	26
115114	5	estab.	1218	126	325	181	110	742	218	115	1075	143	1223	142	311	173	116	742	222	111	1075	148	1028	109	246	139	118	612	187	107	906	122	1113	129	276	157	103	665	223	98	986	127	1124	105	273	160	122	660	224	97	981	143
115114	5	empl.	32611	0	668	1214	1450	3332	8720	13612	25664	6947	34384	0	675	1159	1492	3326	8420	12130	23876	10508	28492	0	535	945	1525	3005	7454	11900	22359	6133	29019	0	595	1047	1335	2977	8668	11261	22906	6113	28341	0	577	1057	1373	3007	8308	9599	20914	7427
115114	5	ann. pay.	728729	6900	19569	32141	37219	95829	182746	235822	514397	214332	758619	9454	17524	30718	41832	99528	192270	223792	515590	243029	666952	4161	13728	27748	41557	87194	173521	218671	479386	187566	699328	7701	19454	29986	36605	93746	211050	212043	516839	182489	749906	6179	19725	35385	42613	103902	212175	213427	529504	220402
115114	5	rec.																																									4835640	54165	149520	238577	299149	741411	1196150	1328551	3266112	1569528
115115	5	firms	482	136	173	85	35	429	43	9	481	1	574	189	206	92	39	526	37	10	573	1	517	172	196	66	31	465	36	15	516	1	564	155	238	74	34	501	48	13	562	2	470	135	163	74	41	413	37	17	467	3
115115	5	estab.	487	136	173	85	35	429	43	9	481	6	579	189	206	92	39	526	37	10	573	6	521	172	196	66	31	465	36	15	516	5	566	155	238	74	34	501	48	13	562	4	473	135	163	74	41	413	37	17	467	6
115115	5	empl.	5485	0	348	542	494	1384	1766	         [g]	         [i]	         [e]	5367	0	418	600	560	1578	1647	[g]	[i]	[e]	5734	0	384	411	398	1193	1525	         [h]	         [i]	         [e]	6643	0	447	484	486	1417	1929	         [h]	         [i]	         [c]	6826	0	319	471	561	1351	1631	2724	5706	1120
115115	5	ann. pay.	99472	7181	10100	17228	11443	45952	24128	         (D)	         (D)	         (D)	111661	13213	11269	16423	13878	54783	29751	(D)	(D)	(D)	101733	8275	12346	13874	7677	42172	25501	         (D)	         (D)	         (D)	102632	8776	13409	13134	14860	50179	29608	         (D)	         (D)	         (D)	112316	7123	10986	9991	14926	43026	25842	36611	105479	6837
115115	5	rec.																																									453570	40451	112426	61479	49172	263528	57947	107417	428892	24678
115116	5	firms	550	64	317	69	43	493	40	10	543	7	557	81	313	60	46	500	39	13	552	5	541	74	302	66	41	483	41	12	536	5	580	80	324	77	43	524	38	15	577	3	582	78	338	64	53	533	35	11	579	3
115116	5	estab.	566	64	317	69	45	495	41	20	556	10	574	81	313	60	47	501	41	23	565	9	553	74	302	66	41	483	42	22	547	6	596	80	325	77	43	525	39	28	592	4	598	78	340	64	53	535	36	24	595	3
115116	5	empl.	4926	0	612	441	599	1652	1369	831	3852	1074	5026	0	618	387	620	1625	1488	1094	4207	819	4703	0	599	424	539	1562	1461	1407	4430	273	4980	0	645	502	575	1722	1399	1707	4828	152	4509	0	642	419	727	1788	1229	         [g]	         [h]	         [b]
115116	5	ann. pay.	133741	3370	14089	10991	16604	45054	24267	26637	95958	37783	130175	3050	15055	11363	17415	46883	30268	31731	108882	21293	126272	2857	14955	11873	15529	45214	31638	41637	118489	7783	139629	2398	16520	17569	17165	53652	31338	49432	134422	5207	124087	1951	17540	12240	20471	52202	36948	         (D)	         (D)	         (D)
115116	5	rec.																																									428067	14211	74651	58377	71621	218860	93003	         (D)	         (D)	         (D)
115210	5	firms	3198	477	1940	451	192	3060	110	21	3191	7	3222	494	1936	466	196	3092	103	18	3213	9	3403	533	1997	507	214	3251	122	22	3395	8	3946	525	2415	577	245	3762	154	21	3937	9	4478	649	2708	624	286	4267	180	23	4470	8
115210	5	estab.	3246	477	1940	451	192	3060	115	57	3232	14	3269	494	1936	466	196	3092	104	48	3244	25	3450	533	1997	507	214	3251	125	59	3435	15	3999	526	2416	579	246	3767	155	59	3981	18	4537	649	2709	625	288	4271	183	65	4519	18
115210	5	empl.	16047	0	3629	2924	2409	8962	3880	         [g]	         [j]	         [f]	16747	0	3631	3031	2587	9249	3621	2365	15235	1512	18197	0	3786	3304	2812	9902	4166	3251	17319	878	20750	0	4588	3774	3210	11572	5097	2945	19614	1136	22876	0	5287	3997	3772	13056	5810	3034	21900	976
115210	5	ann. pay.	307237	7140	52075	43376	41376	143967	78315	         (D)	         (D)	         (D)	326691	14518	55695	49935	45814	165962	78648	49690	294300	32391	383710	12081	60231	56134	55007	183453	84658	88383	356494	27216	452312	10351	76938	68914	60810	217013	105485	91063	413561	38751	495963	13341	89013	69620	76309	248283	112809	100193	461285	34678
115210	5	rec.																																									2558100	92369	580902	289628	300674	1263573	629935	485730	2379238	178862
115310	5	firms	1424	309	688	191	99	1287	111	15	1413	11	1456	293	740	182	104	1319	107	18	1444	12	1513	319	760	181	104	1364	116	25	1505	8	1516	272	782	217	100	1371	113	24	1508	8	1744	386	853	216	138	1593	120	20	1733	11
115310	5	estab.	1454	309	688	191	99	1287	130	24	1441	13	1493	293	740	182	104	1319	128	26	1473	20	1547	319	760	181	104	1364	138	31	1533	14	1553	272	782	217	100	1371	145	24	1540	13	1797	386	853	216	138	1593	151	27	1771	26
115310	5	empl.	13044	0	1384	1248	1361	3993	         [h]	         [g]	         [j]	         [h]	14148	0	1437	1164	1397	3998	4531	[g]	[j]	[h]	14650	0	1503	1160	1404	4067	5052	         [h]	         [j]	         [g]	15173	0	1506	1418	1343	4267	4929	3515	12711	2462	14679	0	1669	1412	1825	4906	5084	2403	12393	2286
115310	5	ann. pay.	280567	8673	33685	29376	31222	102956	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	319781	8081	38278	30169	34022	110550	101031	(D)	(D)	(D)	352584	9844	39061	30154	40857	119916	111434	         (D)	         (D)	         (D)	373066	6345	38847	39986	35641	120819	119660	60162	300641	72425	424917	15287	45087	41188	56078	157640	134861	58120	350621	74296
115310	5	rec.																																									1424020	72940	235671	145821	169003	623435	369679	181919	1175033	248987
211111	5	firms	6660	644	3985	1014	492	6135	357	78	6570	90	6286	671	3793	893	454	5811	305	78	6194	92	6417	800	3768	916	437	5921	334	72	6327	90	6377	735	3713	940	473	5861	351	80	6292	85	6238	591	3775	897	458	5721	348	85	6154	84
211111	5	estab.	7433	644	3996	1027	524	6191	470	207	6868	565	7088	671	3804	904	494	5873	401	215	6489	599	7273	800	3782	927	475	5984	443	226	6653	620	7254	735	3729	951	500	5915	446	212	6573	681	7135	591	3789	923	473	5776	449	254	6479	656
211111	5	empl.	86117	0	7692	6616	6484	20792	12445	11004	44241	41876	80013	0	7332	5784	5920	19036	10876	9971	39883	40130	73704	         [a]	         [i]	5975	5679	19049	11870	9718	40637	33067	78394	0	7339	6104	6213	19656	12079	9889	41624	36770	76794	         [a]	         [i]	5825	5926	19138	11882	11154	42174	34620
211111	5	ann. pay.	4699020	31756	216756	221605	262534	732651	634161	643120	2009932	2689088	4809688	29112	215690	210170	257830	712802	628477	555029	1896308	2913380	4809154	         (D)	         (D)	248567	270312	805166	712978	690067	2208211	2600943	5493358	39219	263112	263376	295688	861395	728787	763900	2354082	3139276	5204465	         (D)	         (D)	255954	286757	820303	750332	779553	2350188	2854277
211111	5	rec.																																									88388300	         (D)	         (D)	2353181	2373702	         (D)	6528144	8851853	22897060	65491240
211112	5	firms	102	10	15	11	4	40	12	11	63	39	92	8	10	11	4	33	10	11	54	38	84	7	11	12	4	34	10	6	50	34	84	6	21	7	6	40	7	8	55	29	113	6	41	9	4	60	7	10	77	36
211112	5	estab.	494	10	15	12	4	41	12	27	80	414	468	8	10	12	4	34	10	21	65	403	467	7	11	13	4	35	15	16	66	401	437	6	21	8	6	41	7	26	74	363	494	6	41	9	4	60	7	38	105	389
211112	5	empl.	10922	0	27	77	42	146	328	500	974	9948	9999	0	18	70	39	127	323	630	1080	8919	9308	         [a]	         [a]	72	44	135	415	248	798	8510	9586	0	47	49	73	169	290	401	860	8726	11486	         [a]	         [b]	65	54	198	231	502	931	10555
211112	5	ann. pay.	617285	2378	712	2343	2419	7852	17531	33181	58564	558721	567781	266	577	3744	2878	7465	15512	40187	63164	504617	583857	         (D)	         (D)	4801	1417	9761	21356	13622	44739	539118	724419	172	1536	3056	4066	8830	14158	22995	45983	678436	1202010	         (D)	         (D)	3027	4038	12332	12392	27789	52513	1149497
211112	5	rec.																																									72490930	         (D)	         (D)	13862	15950	         (D)	261728	757025	1075086	71415844
212111	5	firms	573	59	127	77	76	339	149	45	533	40	542	44	120	70	80	314	147	43	504	38	505	36	115	63	77	291	134	39	464	41	492	46	105	59	73	283	135	36	454	38	430	23	93	53	51	220	128	43	391	39
212111	5	estab.	792	59	128	77	76	340	168	72	580	212	741	44	120	70	80	314	173	67	554	187	699	36	115	63	80	294	147	77	518	181	694	46	105	60	76	287	152	65	504	190	630	23	93	53	53	222	149	78	449	181
212111	5	empl.	34514	         [a]	323	507	         [g]	         [g]	         [i]	5606	         [j]	         [j]	33042	0	272	443	1082	1797	6074	[i]	[j]	[j]	31114	         [a]	255	410	1028	         [g]	5310	5181	         [j]	         [j]	31439	         [a]	         [c]	384	1020	1630	5726	         [i]	         [j]	         [j]	32924	         [a]	         [c]	359	686	1252	5473	6233	12958	19966
212111	5	ann. pay.	1677612	         (D)	10982	14809	         (D)	         (D)	         (D)	245315	         (D)	         (D)	1606125	9165	9383	11666	30833	61047	214342	(D)	(D)	(D)	1570927	         (D)	7005	9686	33005	         (D)	202525	236549	         (D)	         (D)	1680281	         (D)	         (D)	10950	34590	66047	236532	         (D)	         (D)	         (D)	1720242	         (D)	         (D)	10545	23051	43722	224535	304755	573012	1147230
212111	5	rec.																																									10074142	         (D)	         (D)	56836	90751	         (D)	1346559	1575827	3123100	6951042
212112	5	firms	439	51	49	33	78	211	165	32	408	31	392	46	45	35	58	184	146	33	363	29	366	25	56	31	66	178	128	32	338	28	384	67	52	29	67	215	104	37	356	28	357	32	46	31	69	178	115	34	327	30
212112	5	estab.	588	51	50	33	78	212	167	45	424	164	531	46	45	35	58	184	147	49	380	151	496	25	56	31	66	178	129	54	361	135	514	67	52	29	67	215	104	58	377	137	499	32	46	31	69	178	117	56	351	148
212112	5	empl.	45705	0	         [c]	         [c]	1113	1441	6767	4931	13139	32566	42366	[a]	[b]	257	825	1172	5596	5142	11910	30456	38644	0	119	212	957	1288	5048	4815	11151	27493	38848	0	107	199	959	1265	3985	5979	11229	27619	41209	0	         [b]	218	981	         [g]	4401	         [i]	10842	30367
212112	5	ann. pay.	2278102	9862	         (D)	         (D)	29139	51847	228653	214544	495044	1783058	2060415	(D)	(D)	9330	24571	51194	197233	207903	456330	1604085	1940981	3492	5442	8433	33805	51172	173137	202605	426914	1514067	2080613	24610	4441	12244	32506	73801	159947	267441	501189	1579424	2064659	10869	         (D)	8405	32876	         (D)	169607	         (D)	481008	1583651
212112	5	rec.																																									9633243	40407	         (D)	31025	135307	         (D)	692499	         (D)	2207315	7425928
212113	5	firms	52	3	16	11	8	38	9	3	50	2	54	2	18	13	9	42	8	2	52	2	48	3	15	11	7	36	8	3	47	1	47	2	15	11	9	37	7	2	46	1	57	3	22	13	10	48	7	2	57	0
212113	5	estab.	62	3	16	11	8	38	10	12	60	2	64	2	18	13	9	42	11	9	62	2	58	3	15	11	7	36	9	12	57	1	58	2	15	11	9	37	8	12	57	1	65	3	22	13	10	48	13	4	65	0
212113	5	empl.	1053	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	513	         [g]	         [b]	973	[a]	[b]	82	120	239	330	[e]	[f]	[b]	908	         [a]	39	67	86	         [c]	331	356	         [f]	         [b]	712	         [a]	         [b]	69	113	220	295	         [c]	         [f]	         [b]	782	         [a]	         [b]	77	117	         [e]	331	         [c]	782	0
212113	5	ann. pay.	32963	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	16399	         (D)	         (D)	31294	(D)	(D)	2244	3227	6327	12364	(D)	(D)	(D)	30260	         (D)	1014	1792	1947	         (D)	9675	14601	         (D)	         (D)	25270	         (D)	         (D)	1895	2916	5723	11841	         (D)	         (D)	         (D)	27870	         (D)	         (D)	2325	3787	         (D)	12874	         (D)	27870	0
212113	5	rec.																																									138274	         (D)	         (D)	12352	22375	         (D)	56477	         (D)	138274	0
212210	5	firms	32	4	9	4	6	23	3	1	27	5	31	5	6	5	6	22	2	1	25	6	31	4	8	5	2	19	4	4	27	4	34	3	12	3	7	25	1	2	28	6	32	3	9	7	4	23	3	2	28	4
212210	5	estab.	37	4	9	4	6	23	3	1	27	10	36	5	6	5	6	22	2	1	25	11	39	4	8	5	2	19	4	7	30	9	42	3	12	3	7	25	1	5	31	11	40	3	9	7	4	23	3	5	31	9
212210	5	empl.	8052	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	         [c]	273	7779	7982	0	[a]	35	64	[c]	[b]	[c]	238	7744	7707	0	         [a]	38	         [b]	79	55	665	799	6908	7433	0	17	18	72	107	         [b]	         [c]	319	7114	5403	         [a]	         [b]	42	46	111	         [c]	         [f]	746	4657
212210	5	ann. pay.	388133	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10137	377996	382590	97	(D)	2371	2199	(D)	(D)	(D)	10298	372292	383872	43	         (D)	2237	         (D)	3277	1611	34419	39307	344565	357279	3	951	1308	1979	4241	         (D)	         (D)	11131	346148	287281	         (D)	         (D)	1580	1568	4975	         (D)	         (D)	33518	253763
212210	5	rec.																																									1794384	         (D)	         (D)	6836	6571	         (D)	         (D)	         (D)	179430	1614954
212221	5	firms	247	54	100	29	20	203	20	12	235	12	254	61	100	33	20	214	19	10	243	11	261	54	118	35	19	226	13	10	249	12	231	46	116	23	15	200	10	11	221	10	148	26	71	17	9	123	10	9	142	6
212221	5	estab.	303	54	101	29	20	204	28	27	259	44	307	61	100	33	21	215	23	35	273	34	306	54	118	35	20	227	20	21	268	38	271	46	116	24	15	201	10	28	239	32	176	26	71	18	9	124	12	21	157	19
212221	5	empl.	15577	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	         [f]	911	         [g]	         [h]	         [j]	[j]	[a]	[c]	[c]	261	[f]	[f]	[g]	[h]	[j]	11508	         [a]	243	         [c]	         [c]	         [f]	380	         [g]	         [h]	         [i]	10717	         [a]	231	         [c]	         [c]	         [f]	         [c]	         [g]	2452	8265	         [i]	         [a]	         [c]	100	         [c]	         [e]	         [c]	         [g]	         [g]	         [i]
212221	5	ann. pay.	750673	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	39416	         (D)	         (D)	         (D)	(D)	(D)	(D)	(D)	11648	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	595462	         (D)	9527	         (D)	         (D)	         (D)	19616	         (D)	         (D)	         (D)	574325	         (D)	8620	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	106962	467363	         (D)	         (D)	         (D)	4583	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
212221	5	rec.																																									         (D)	         (D)	         (D)	20575	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
212222	5	firms	12	2	6	1	0	9	0	1	10	2	12	3	5	1	0	9	1	1	11	1	13	3	4	1	2	10	0	2	12	1	16	6	5	1	1	13	1	2	16	0	10	3	4	0	1	8	0	1	9	1
212222	5	estab.	14	2	6	1	0	9	0	1	10	4	14	3	5	1	0	9	1	1	11	3	14	3	4	1	2	10	0	2	12	2	17	6	5	1	1	13	1	3	17	0	11	3	4	0	1	8	0	2	10	1
212222	5	empl.	965	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	0	         [c]	         [c]	         [f]	[f]	[a]	[a]	[a]	0	[b]	[a]	[c]	[e]	[e]	770	         [a]	10	         [a]	         [b]	         [b]	0	         [e]	         [e]	         [e]	505	         [a]	7	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [e]	505	0	         [e]	0	         [a]	0	         [a]	16	0	         [e]	         [e]	         [b]
212222	5	ann. pay.	49807	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	(D)	(D)	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	30093	         (D)	166	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	26333	         (D)	132	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	26333	0	         (D)	18	         (D)	0	         (D)	595	0	         (D)	         (D)	         (D)
212222	5	rec.																																									         (D)	244	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)
212231	5	firms	18	1	6	1	3	11	1	0	12	6	21	6	5	1	1	13	2	1	16	5	20	1	8	3	1	13	1	1	15	5	19	3	7	1	2	13	0	3	16	3	15	3	4	1	2	10	0	2	12	3
212231	5	estab.	32	1	6	1	4	12	1	0	13	19	33	6	5	1	2	14	2	3	19	14	31	1	8	3	2	14	1	2	17	14	29	3	7	1	3	14	0	5	19	10	24	3	4	1	2	10	0	3	13	11
212231	5	empl.	2275	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [a]	0	72	2203	2088	[a]	[a]	[a]	[a]	32	[b]	[e]	[e]	[g]	2074	         [a]	         [a]	21	         [a]	54	         [a]	         [e]	         [e]	         [g]	1994	0	11	         [a]	         [a]	         [b]	0	         [f]	         [f]	         [g]	1831	         [a]	4	         [a]	         [b]	         [b]	0	         [f]	554	1277
212231	5	ann. pay.	101905	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	2317	99588	95270	(D)	(D)	(D)	(D)	1495	(D)	(D)	(D)	(D)	98906	         (D)	         (D)	371	         (D)	2024	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	90448	48	286	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	83314	         (D)	45	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	41463	41851
212231	5	rec.																																									493553	         (D)	382	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	278240	215313
212234	5	firms	29	2	10	3	2	17	3	3	23	6	33	5	10	4	3	22	3	2	27	6	34	4	12	5	3	24	2	2	28	6	35	5	14	4	2	25	3	2	30	5	20	0	7	6	1	14	1	1	16	4
212234	5	estab.	51	2	10	3	2	17	3	5	25	26	57	5	10	4	3	22	5	2	29	28	55	4	12	7	3	26	2	2	30	25	55	5	16	4	2	27	3	2	32	23	32	0	7	8	1	16	2	1	19	13
212234	5	empl.	13199	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	725	853	12346	12288	0	[b]	[a]	[b]	85	[c]	[e]	[f]	[j]	9443	         [a]	         [b]	31	         [b]	98	         [b]	         [e]	         [f]	         [i]	8685	0	35	         [b]	         [b]	         [b]	62	         [c]	         [e]	         [i]	5993	0	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	123	5870
212234	5	ann. pay.	564456	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	29247	35573	528883	510195	52	(D)	(D)	(D)	4892	(D)	(D)	(D)	(D)	416875	         (D)	         (D)	1120	         (D)	3438	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	397717	78	1134	         (D)	         (D)	         (D)	1929	         (D)	         (D)	         (D)	276910	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	9509	267401
212234	5	rec.																																									2070372	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	45401	2024971
212291	5	firms	24	4	6	3	1	14	2	3	19	5	20	2	4	3	0	9	5	1	15	5	18	0	4	3	1	8	4	2	14	4	17	0	5	1	1	7	5	2	14	3	16	1	4	1	2	8	4	1	13	3
212291	5	estab.	33	4	6	3	1	14	2	7	23	10	29	2	4	3	0	9	9	1	19	10	26	0	4	3	1	8	8	3	19	7	26	0	5	1	1	7	10	5	22	4	25	1	4	1	6	12	4	2	18	7
212291	5	empl.	792	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	         [e]	725	[a]	5	[a]	0	[b]	197	[b]	308	417	584	0	         [a]	19	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	352	232	426	0	         [a]	         [a]	         [a]	32	         [c]	         [c]	         [e]	         [c]	         [e]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	         [c]	         [c]
212291	5	ann. pay.	32423	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	27134	(D)	194	(D)	0	(D)	8105	(D)	11699	15435	30079	0	         (D)	1092	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	16180	13899	22274	0	         (D)	         (D)	         (D)	1830	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
212291	5	rec.																																									         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
212299	5	firms	63	7	27	7	3	44	5	6	55	8	50	10	21	4	5	40	3	2	45	5	48	8	21	5	5	39	1	3	43	5	41	4	18	5	5	32	1	2	35	6	39	8	14	6	3	31	0	3	34	5
212299	5	estab.	66	7	27	7	3	44	5	7	56	10	53	10	21	4	5	40	3	3	46	7	51	8	21	5	5	39	1	4	44	7	45	4	18	5	5	32	1	3	36	9	43	8	14	6	3	31	0	4	35	8
212299	5	empl.	3043	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	893	2150	3040	[a]	37	[b]	61	[c]	[b]	[e]	576	2464	2734	0	         [b]	31	         [b]	         [c]	         [b]	         [e]	567	2167	3050	0	         [b]	         [b]	         [b]	123	         [b]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]	         [a]	         [b]	44	         [b]	107	0	         [e]	         [e]	         [h]
212299	5	ann. pay.	150798	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	36090	114708	153933	(D)	1644	(D)	1326	(D)	(D)	(D)	22211	131722	163183	239	         (D)	658	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	23390	139793	181637	140	         (D)	         (D)	         (D)	3452	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1212	         (D)	4038	0	         (D)	         (D)	         (D)
212299	5	rec.																																									         (D)	         (D)	         (D)	4509	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)
212311	5	firms	199	31	74	49	21	175	15	4	194	5	219	45	79	40	27	191	22	2	215	4	224	33	87	40	37	197	20	3	220	4	282	46	110	51	39	246	28	4	278	4	357	63	128	62	55	308	34	6	348	9
212311	5	estab.	224	31	74	49	21	175	17	4	196	28	246	45	79	40	27	191	22	2	215	31	255	33	87	40	37	197	23	4	224	31	315	46	110	51	39	246	30	7	283	32	390	63	128	62	55	308	40	8	356	34
212311	5	empl.	1967	         [a]	         [c]	326	290	780	465	135	1380	587	2169	0	[c]	257	338	[f]	663	[c]	1555	614	2566	0	200	289	486	975	776	252	2003	563	2817	0	248	351	515	1114	984	181	2279	538	3711	0	292	419	749	1460	1161	529	3150	561
212311	5	ann. pay.	51345	         (D)	         (D)	6738	7326	20193	11438	4084	35715	15630	64005	3906	(D)	5857	8178	(D)	16072	(D)	43766	20239	78269	1494	4771	6341	14610	27216	21983	6877	56076	22193	90555	3247	9156	9077	13649	35129	28434	8242	71805	18750	113713	3450	9046	10679	23262	46437	33815	13224	93476	20237
212311	5	rec.																																									440668	14947	34557	39287	83102	171893	152797	38300	362990	77678
212312	5	firms	682	32	96	93	149	370	188	63	621	61	645	27	105	93	133	358	167	56	581	64	629	28	100	92	126	346	166	57	569	60	596	30	96	89	114	329	160	51	540	56	580	24	106	80	114	324	146	55	525	55
212312	5	estab.	1365	32	96	93	151	372	264	187	823	542	1372	27	105	93	136	361	249	175	785	587	1381	28	100	92	129	349	248	166	763	618	1363	30	96	89	116	331	242	171	744	619	1354	24	106	83	117	330	231	191	752	602
212312	5	empl.	27442	0	215	623	2009	2847	6383	5661	14891	12551	28068	0	246	647	1829	2722	5920	5370	14012	14056	28417	0	217	628	1741	2586	5952	5393	13931	14486	26712	0	207	603	1552	2362	5335	4835	12532	14180	26234	0	243	545	1574	2362	4831	4775	11968	14266
212312	5	ann. pay.	1059780	2790	7535	17402	66769	94496	236992	218165	549653	510127	1106467	3064	9385	19953	62712	95114	220032	212980	528126	578341	1152534	2010	6521	21152	59529	89212	220700	225566	535478	617056	1132382	2443	8167	19669	58968	89247	214673	195627	499547	632835	1090137	2974	11681	18728	61381	94764	204689	192779	492232	597905
212312	5	rec.																																									5377368	12735	49229	76836	238545	377345	817630	929898	2124873	3252495
212313	5	firms	118	3	21	17	17	58	31	10	99	19	115	4	17	20	18	59	24	11	94	21	117	8	18	24	12	62	25	10	97	20	116	4	27	19	15	65	23	10	98	18	105	5	21	19	15	60	18	10	88	17
212313	5	estab.	283	3	21	17	17	58	34	16	108	175	287	4	17	20	18	59	27	17	103	184	297	8	18	24	12	62	26	17	105	192	295	4	27	19	15	65	24	18	107	188	273	5	21	19	15	60	18	19	97	176
212313	5	empl.	6668	         [a]	         [b]	126	239	415	964	830	2209	4459	7188	0	[b]	132	254	[e]	855	[f]	1825	5363	7327	0	40	166	183	389	946	734	2069	5258	7138	0	51	131	202	384	955	548	1887	5251	6774	0	39	131	200	370	752	537	1659	5115
212313	5	ann. pay.	286153	         (D)	         (D)	3682	8728	14298	37468	48460	100226	185927	323294	110	(D)	3522	8526	(D)	35622	(D)	73929	249365	333284	311	1344	5397	5880	12932	39788	47991	100711	232573	336429	180	1706	4986	6755	13627	37657	27120	78404	258025	286719	242	2422	5410	6541	14615	33640	24178	72433	214286
212313	5	rec.																																									1799430	2067	12360	30674	28772	73873	147319	129203	350395	1449035
212319	5	firms	384	24	88	67	72	251	76	26	353	31	391	25	98	68	67	258	77	24	359	32	379	22	90	67	71	250	70	23	343	36	374	17	96	64	65	242	77	19	338	36	378	33	100	62	68	263	63	21	347	31
212319	5	estab.	466	24	88	67	73	252	81	45	378	88	479	25	98	68	67	258	84	42	384	95	487	22	90	67	71	250	78	39	367	120	483	17	96	64	66	243	87	33	363	120	497	33	100	62	68	263	71	45	379	118
212319	5	empl.	8487	0	203	465	991	1659	2245	1580	5484	3003	8628	0	206	454	915	1575	2426	1449	5450	3178	8539	0	201	463	980	1644	2117	1553	5314	3225	8504	0	230	428	900	1558	2453	1208	5219	3285	8380	0	222	420	931	1573	2203	1335	5111	3269
212319	5	ann. pay.	327651	1353	5275	13075	35063	54766	79403	63064	197233	130418	336688	3667	5704	13487	33256	56114	85067	60605	201786	134902	350889	574	5502	14154	37918	58148	81700	62810	202658	148231	370502	1258	7642	15426	32786	57112	95227	57278	209617	160885	362657	2503	8586	14186	37825	63100	87735	60831	211666	150991
212319	5	rec.																																									1678361	8901	37495	52863	144602	243861	350623	225122	819606	858755
212321	5	firms	1843	160	607	338	305	1410	282	91	1783	60	1843	174	629	330	279	1412	289	81	1782	61	1843	193	585	339	299	1416	278	90	1784	59	1871	206	640	341	283	1470	262	82	1814	57	1884	204	663	324	283	1474	268	83	1825	59
212321	5	estab.	2344	160	607	339	310	1416	352	197	1965	379	2386	174	630	331	285	1420	352	192	1964	422	2387	193	586	339	302	1420	340	194	1954	433	2464	206	641	341	289	1477	324	184	1985	479	2509	204	663	324	287	1478	324	189	1991	518
212321	5	empl.	28400	0	1348	2247	3942	7537	8540	5177	21254	7146	27665	0	1389	2177	3713	7279	8706	4806	20791	6874	28348	0	1300	2233	4069	7602	8249	5356	21207	7141	27968	0	1423	2298	3798	7519	8210	4638	20367	7601	26751	0	1471	2174	3810	7455	7952	4432	19839	6912
212321	5	ann. pay.	1097378	9204	39026	69702	137853	255785	314804	208671	779260	318118	1098351	9980	44051	69599	136358	259988	341310	202461	803759	294592	1129374	12241	38842	70088	145403	266574	335291	209182	811047	318327	1180866	10499	45014	81249	149069	285831	327488	201936	815255	365611	1137034	12060	52294	72365	145336	282055	340079	197869	820003	317031
212321	5	rec.																																									4815579	51526	204209	274124	533948	1063807	1193402	856302	3113511	1702068
212322	5	firms	77	2	23	16	8	49	19	2	70	7	79	7	25	11	8	51	18	1	70	9	78	5	21	18	8	52	16	2	70	8	81	4	18	18	11	51	18	1	70	11	93	11	25	16	13	65	16	1	82	11
212322	5	estab.	130	2	23	16	8	49	25	10	84	46	143	7	25	11	8	51	23	5	79	64	144	5	21	18	8	52	21	12	85	59	148	4	18	18	11	51	23	6	80	68	151	11	25	16	13	65	20	3	88	63
212322	5	empl.	2578	         [a]	         [b]	         [c]	         [b]	         [e]	         [f]	         [e]	1106	1472	2779	[a]	62	76	87	[c]	[f]	[c]	855	1924	2603	0	         [b]	124	         [b]	         [e]	475	         [e]	1015	1588	2962	0	         [b]	122	143	         [e]	509	         [c]	920	2042	2754	0	         [b]	106	142	         [e]	480	         [b]	888	1866
212322	5	ann. pay.	90996	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	33802	57194	107385	(D)	2428	2020	2179	(D)	(D)	(D)	27587	79798	101104	185	         (D)	2993	         (D)	         (D)	16189	         (D)	35687	65417	116430	90	         (D)	2969	4035	         (D)	17137	         (D)	30023	86407	107705	126	         (D)	3320	5892	         (D)	17654	         (D)	33091	74614
212322	5	rec.																																									638034	968	         (D)	16622	28991	         (D)	81390	         (D)	163569	474465
212324	5	firms	20	0	1	0	0	1	6	1	8	12	23	2	1	0	1	4	5	0	9	14	21	0	2	0	1	3	6	1	10	11	21	0	2	0	1	3	6	2	11	10	20	0	1	1	2	4	6	1	11	9
212324	5	estab.	33	0	1	0	0	1	6	3	10	23	42	2	1	0	1	4	5	0	9	33	38	0	2	0	1	3	6	1	10	28	39	0	2	0	1	3	6	2	11	28	37	0	1	1	2	4	6	1	11	26
212324	5	empl.	3840	0	         [a]	0	0	         [a]	         [e]	         [c]	395	3445	3913	[a]	[a]	0	[a]	[a]	[e]	0	273	3640	3366	0	         [a]	0	         [a]	         [b]	307	         [b]	376	2990	3257	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	306	         [c]	502	2755	3203	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	352	         [b]	432	2771
212324	5	ann. pay.	195139	0	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	12890	182249	207327	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	0	9542	197785	159624	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	10275	         (D)	12491	147133	153261	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	9409	         (D)	16428	136833	149622	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	14466	         (D)	17042	132580
212324	5	rec.																																									878226	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	44946	         (D)	57571	820655
212325	5	firms	99	5	25	23	7	60	11	7	78	21	102	3	25	23	7	58	16	7	81	21	102	5	30	14	11	60	16	6	82	20	98	3	32	13	7	55	18	5	78	20	92	4	24	14	11	53	12	6	71	21
212325	5	estab.	129	5	25	23	7	60	12	14	86	43	131	3	25	23	7	58	21	10	89	42	129	5	30	14	11	60	22	9	91	38	128	3	32	13	7	55	27	7	89	39	122	4	24	14	11	53	19	10	82	40
212325	5	empl.	3666	         [a]	         [b]	         [c]	         [b]	282	400	457	1139	2527	3628	[a]	[b]	160	[b]	[e]	592	[e]	1211	2417	3566	0	62	98	126	286	611	352	1249	2317	3516	0	         [b]	86	         [b]	         [c]	640	         [e]	1173	2343	3673	0	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	527	         [e]	1160	2513
212325	5	ann. pay.	125621	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	8269	11522	17204	36995	88626	132373	(D)	(D)	4844	(D)	(D)	17750	(D)	38711	93662	131223	78	1998	3169	3246	8491	20368	13357	42216	89007	129186	94	         (D)	3121	         (D)	         (D)	22645	         (D)	41032	88154	133859	196	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15862	         (D)	37752	96107
212325	5	rec.																																									1022823	842	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	84554	         (D)	184521	838302
212391	5	firms	18	1	4	1	0	6	1	1	8	10	17	0	5	0	0	5	1	2	8	9	17	1	4	1	0	6	1	2	9	8	19	1	5	0	1	7	4	1	12	7	21	0	8	0	0	8	5	0	13	8
212391	5	estab.	26	1	4	1	0	6	1	3	10	16	26	0	5	0	0	5	1	4	10	16	26	1	4	1	0	6	1	4	11	15	28	1	5	0	1	7	6	1	14	14	28	0	8	0	0	8	7	0	15	13
212391	5	empl.	4718	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [b]	180	4538	5060	0	[a]	0	0	[a]	[b]	[c]	180	4880	5315	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [f]	595	4720	4972	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	         [e]	637	4335	2990	0	14	0	0	14	283	0	297	2693
212391	5	ann. pay.	245689	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	6311	239378	277064	0	(D)	0	0	(D)	(D)	(D)	6483	270581	280582	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	33139	247443	269585	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35705	233880	170257	0	588	0	0	588	12996	0	13584	156673
212391	5	rec.																																									1172358	0	3122	0	0	3122	84253	0	87375	1084983
212392	5	firms	14	0	1	2	1	4	0	1	5	9	13	0	1	1	0	2	1	2	5	8	13	0	1	1	0	2	2	1	5	8	12	0	1	1	0	2	1	1	4	8	14	2	1	1	0	4	1	1	6	8
212392	5	estab.	18	0	1	2	1	4	0	1	5	13	16	0	1	1	0	2	1	2	5	11	16	0	1	1	0	2	2	1	5	11	15	0	1	1	0	2	1	1	4	11	17	2	1	1	0	4	1	1	6	11
212392	5	empl.	5230	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [c]	         [c]	         [i]	3610	0	[a]	[a]	0	[a]	[a]	[c]	[c]	[h]	1989	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [c]	         [c]	         [g]	2071	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [g]	2796	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [a]	17	2779
212392	5	ann. pay.	238886	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	161173	0	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	97031	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	94048	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	147657	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	1125	146532
212392	5	rec.																																									936017	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	6465	929552
212393	5	firms	49	5	11	13	2	31	9	2	42	7	46	7	10	9	3	29	9	2	40	6	46	3	13	8	3	27	10	2	39	7	39	1	8	8	4	21	10	2	33	6	38	4	8	7	3	22	6	4	32	6
212393	5	estab.	57	5	11	13	2	31	13	3	47	10	54	7	10	9	3	29	13	3	45	9	54	3	13	8	3	27	14	3	44	10	46	1	8	8	4	21	14	2	37	9	45	4	8	7	3	22	6	8	36	9
212393	5	empl.	2181	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [e]	         [f]	         [g]	2032	0	[b]	[b]	36	114	[e]	[e]	[f]	[g]	1992	         [a]	         [b]	         [b]	34	         [c]	         [e]	         [c]	         [f]	         [g]	2083	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	114	         [e]	         [b]	         [f]	         [g]	1860	         [a]	         [b]	         [b]	45	         [c]	         [e]	         [e]	674	1186
212393	5	ann. pay.	98569	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	94116	358	(D)	(D)	917	4921	(D)	(D)	(D)	(D)	92275	         (D)	         (D)	         (D)	1029	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	93015	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	4475	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	77455	         (D)	         (D)	         (D)	580	         (D)	         (D)	         (D)	27956	49499
212393	5	rec.																																									284288	         (D)	         (D)	         (D)	3389	         (D)	         (D)	         (D)	144247	140041
212399	5	firms	218	19	61	34	34	148	33	15	196	22	203	24	62	28	19	133	32	15	180	23	215	26	64	28	31	149	30	13	192	23	220	24	67	34	25	150	38	12	200	20	210	25	68	27	29	149	30	13	192	18
212399	5	estab.	256	19	61	35	36	151	37	20	208	48	233	24	62	29	20	135	36	21	192	41	242	26	64	28	32	150	36	19	205	37	248	24	67	34	29	154	41	18	213	35	237	25	68	27	30	150	35	20	205	32
212399	5	empl.	4957	         [a]	         [c]	231	         [e]	821	1131	829	2781	2176	4900	0	132	199	265	596	1175	1016	2787	2113	4815	0	142	198	417	757	1165	1021	2943	1872	4926	         [a]	         [c]	229	336	717	1338	1052	3107	1819	4441	0	145	179	391	715	909	1152	2776	1665
212399	5	ann. pay.	168861	         (D)	         (D)	5523	         (D)	23550	33208	28969	85727	83134	174203	692	4255	5946	7165	18058	36312	35669	90039	84164	177276	1791	4511	5031	12576	23909	38083	40473	102465	74811	181260	         (D)	         (D)	6029	11037	22442	47477	36228	106147	75113	159061	671	5362	6134	14002	26169	32271	35563	94003	65058
212399	5	rec.																																									674514	2998	17960	26909	54476	102343	131428	106672	340443	334071
213111	5	firms	1332	133	598	177	143	1051	196	49	1296	36	1281	161	600	179	124	1064	152	36	1252	29	1295	171	575	174	139	1059	161	46	1266	29	1435	178	645	199	159	1181	169	51	1401	34	1504	164	754	176	154	1248	178	44	1470	34
213111	5	estab.	1608	133	605	193	158	1089	254	84	1427	181	1532	161	609	202	138	1110	199	74	1383	149	1532	173	580	191	153	1097	208	81	1386	146	1654	179	647	210	174	1210	206	85	1501	153	1813	164	755	186	177	1282	255	110	1647	166
213111	5	empl.	48471	0	1193	1127	1848	4168	8120	7760	20048	28423	37244	0	1150	1142	1652	3944	6186	4938	15068	22176	47197	0	1118	1108	1880	4106	6417	6904	17427	29770	58528	0	1276	1301	2190	4767	6925	8833	20525	38003	56022	0	1482	1137	2056	4675	7105	6708	18488	37534
213111	5	ann. pay.	1668629	7099	26516	32753	48601	114969	220021	255806	590796	1077833	1453822	5067	33622	35334	49138	123161	203475	189725	516361	937461	2123646	15149	30720	38671	68322	152862	236484	318092	707438	1416208	2647487	16713	37709	44937	78791	178150	288802	416158	883110	1764377	2493365	7847	40857	35504	74972	159180	281312	300820	741312	1752053
213111	5	rec.																																									9489609	36798	171706	130611	251748	590863	957281	995244	2543388	6946221
213112	5	firms	6407	669	3118	1052	712	5551	696	92	6339	68	5973	593	3077	913	673	5256	561	88	5905	68	5827	633	2854	906	662	5055	620	82	5757	70	6217	753	2885	926	751	5315	725	113	6153	64	5578	601	2534	898	730	4763	657	99	5519	59
213112	5	estab.	7135	677	3127	1101	790	5695	834	185	6714	421	6692	594	3100	948	752	5394	679	175	6248	444	6611	633	2874	941	723	5171	736	166	6073	538	6980	754	2898	950	790	5392	838	180	6410	570	6544	601	2548	917	816	4882	836	230	5948	596
213112	5	empl.	117214	0	6275	6866	9384	22525	25705	11713	59943	57271	103545	0	6103	5897	8770	20770	19431	10419	50620	52925	111731	0	5743	5943	8792	20478	22426	9389	52293	59438	127801	0	5864	6059	9875	21798	26938	15344	64080	63721	116943	0	5325	5930	9728	20983	24361	12964	58308	58635
213112	5	ann. pay.	4539714	38191	157292	176059	250173	621715	768796	451397	1841908	2697806	4091497	30017	157574	165453	263685	616729	622118	428165	1667012	2424485	4820010	38027	164408	182480	291489	676404	781262	438176	1895842	2924168	6065115	88439	186989	202570	346301	824299	1013120	733008	2570427	3494688	5469011	38115	167396	191626	332141	729278	896764	558432	2184474	3284537
213112	5	rec.																																									17403759	120263	622976	607801	993555	2344595	2619332	1989119	6953046	10450713
213113	5	firms	289	25	84	58	39	206	59	11	276	13	274	30	83	48	37	198	51	12	261	13	261	41	68	34	44	187	50	12	249	12	303	51	80	48	45	224	60	9	293	10	310	32	92	56	54	234	51	12	297	13
213113	5	estab.	325	25	84	59	43	211	70	27	308	17	300	30	83	49	40	202	57	21	280	20	284	41	68	35	46	190	56	20	266	18	326	51	80	49	48	228	65	17	310	16	346	32	92	58	58	240	63	23	326	20
213113	5	empl.	5763	0	184	392	503	1079	2496	1466	5041	722	5456	0	187	304	447	938	1925	1616	4479	977	5448	0	161	216	563	940	1851	1577	4368	1080	5568	0	185	339	593	1117	2235	1341	4693	875	6218	0	192	385	695	1272	1788	1389	4449	1769
213113	5	ann. pay.	221715	1963	4717	9837	15163	31680	86887	64473	183040	38675	213469	8468	6187	8300	13771	36726	57736	68091	162553	50916	210046	4318	4401	5922	16524	31165	63423	60016	154604	55442	242079	15420	6495	11506	19074	52495	82371	52836	187702	54377	271174	1999	6332	13468	22031	43830	66016	70012	179858	91316
213113	5	rec.																																									1387937	6075	22773	172360	100634	301842	208945	334234	845021	542916
213114	5	firms	162	38	62	17	12	129	19	8	156	6	148	24	62	18	15	119	17	5	141	7	162	35	74	15	10	134	17	7	158	4	165	37	73	21	10	141	13	6	160	5	90	12	24	22	13	71	7	6	84	6
213114	5	estab.	203	38	62	18	15	133	31	15	179	24	197	24	62	19	18	123	33	12	168	29	199	35	77	18	10	140	26	17	183	16	198	37	76	25	10	148	20	13	181	17	183	12	25	24	16	77	17	21	115	68
213114	5	empl.	2022	0	128	110	139	377	717	458	1552	470	2266	[a]	126	[c]	181	425	589	645	1659	607	2172	0	151	103	137	391	565	747	1703	469	2315	0	131	137	130	398	465	599	1462	853	2035	0	49	144	172	365	416	         [e]	         [g]	         [f]
213114	5	ann. pay.	104229	858	5605	5508	5472	17443	29877	22464	69784	34445	130045	(D)	4103	(D)	8649	28433	29290	26757	84480	45565	113861	851	4494	4357	4657	14359	22585	43879	80823	33038	123150	2032	4850	4881	5293	17056	20990	35804	73850	49300	112979	483	1935	6394	5807	14619	23253	         (D)	         (D)	         (D)
213114	5	rec.																																									405440	1727	5771	18507	15950	41955	71905	         (D)	         (D)	         (D)
213115	5	firms	144	13	56	17	28	114	20	5	139	5	134	9	55	15	24	103	22	5	130	4	133	12	47	20	22	101	22	5	128	5	137	15	48	19	21	103	24	4	131	6	135	22	45	24	19	110	19	4	133	2
213115	5	estab.	152	13	56	17	31	117	24	6	147	5	142	9	55	15	27	106	26	6	138	4	141	12	47	20	24	103	27	6	136	5	147	15	48	19	21	103	31	5	139	8	151	22	45	24	22	113	29	7	149	2
213115	5	empl.	2031	0	125	113	351	589	647	442	1678	353	2173	[a]	111	[c]	302	517	739	471	1727	446	2239	0	100	138	295	533	774	469	1776	463	2638	0	94	131	275	500	937	362	1799	839	2103	0	107	161	247	515	722	         [e]	         [g]	         [e]
213115	5	ann. pay.	78384	481	3969	3507	11854	19811	22285	16180	58276	20108	84485	(D)	4309	(D)	11221	19216	28402	14963	62581	21904	86569	349	3872	6130	10381	20732	26923	16139	63794	22775	135053	1129	2820	5866	12027	21842	33489	14830	70161	64892	86668	1093	4076	7617	9041	21827	26695	         (D)	         (D)	         (D)
213115	5	rec.																																									273985	4864	12412	14588	27514	59378	99115	         (D)	         (D)	         (D)
221111	5	firms	163	16	49	16	8	89	15	13	117	46	166	13	51	23	5	92	16	11	119	47	165	9	54	18	10	91	15	14	120	45	175	13	55	26	8	102	17	9	128	47	164	11	67	16	6	100	18	5	123	41
221111	5	estab.	456	16	49	16	8	89	23	51	163	293	461	13	51	23	5	92	24	46	162	299	463	9	54	18	10	91	23	68	182	281	462	13	55	26	8	102	25	58	185	277	428	11	67	16	6	100	22	54	176	252
221111	5	empl.	9870	         [a]	         [c]	         [b]	108	         [e]	         [e]	         [g]	1826	8044	10573	[a]	[b]	142	68	[e]	[e]	[f]	1737	8836	9736	         [a]	         [c]	99	         [c]	         [e]	         [e]	         [f]	1700	8036	11650	         [a]	113	         [c]	         [b]	         [e]	         [f]	         [f]	1416	10234	7597	         [a]	139	         [b]	         [b]	311	         [f]	         [e]	1197	6400
221111	5	ann. pay.	542697	         (D)	         (D)	         (D)	4471	         (D)	         (D)	         (D)	91114	451583	559442	(D)	(D)	6196	3645	(D)	(D)	(D)	87067	472375	581739	         (D)	         (D)	2928	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	87689	494050	792528	         (D)	4987	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	73851	718677	522492	         (D)	4919	         (D)	         (D)	45715	         (D)	         (D)	89738	432754
221111	5	rec.																																									4229508	         (D)	44063	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	389785	3839723
221112	5	firms	221	10	33	10	9	62	33	35	130	91	219	11	27	10	9	57	33	37	127	92	216	9	28	14	9	60	31	34	125	91	234	11	35	13	13	72	34	37	143	91	228	17	38	13	11	79	26	38	143	85
221112	5	estab.	1069	10	33	10	10	63	43	99	205	864	1072	11	27	10	10	58	43	90	191	881	1213	9	28	14	10	61	41	61	163	1050	1301	12	35	13	15	75	44	69	188	1113	1427	17	38	13	15	83	36	73	192	1235
221112	5	empl.	90538	0	75	57	136	268	1245	6478	7991	82547	87237	[a]	[b]	[b]	116	245	1154	6057	7456	79781	86936	0	71	98	112	281	1256	4977	6514	80422	80674	         [a]	         [b]	         [b]	170	338	1268	5344	6950	73724	78790	         [a]	         [b]	         [b]	160	324	1063	5190	6577	72213
221112	5	ann. pay.	5263862	6420	3398	3863	6222	19903	64570	354972	439445	4824417	5342951	(D)	(D)	(D)	7114	15084	65884	323518	404486	4938465	5848225	2006	2943	5713	5909	16571	77921	283147	377639	5470586	5683079	         (D)	         (D)	         (D)	7066	18046	77250	323019	418315	5264764	5558361	         (D)	         (D)	         (D)	10078	18854	68764	344294	431912	5126449
221112	5	rec.																																									60368880	         (D)	         (D)	         (D)	67871	         (D)	1132341	4902259	6253289	54115591
221113	5	firms	30	1	2	1	0	4	1	3	8	22	31	1	3	1	0	5	1	3	9	22	28	1	2	0	1	4	2	1	7	21	32	3	2	0	1	6	3	1	10	22	32	1	2	1	1	5	3	1	9	23
221113	5	estab.	67	1	2	1	0	4	1	3	8	59	73	1	3	1	0	5	1	3	9	64	68	1	2	0	1	4	2	1	7	61	72	3	2	0	1	6	3	1	10	62	80	1	2	1	1	5	3	1	9	71
221113	5	empl.	33649	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [f]	571	33078	34901	[a]	5	[a]	0	[a]	[b]	[e]	491	34410	32876	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [e]	449	32427	33064	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	         [e]	468	32596	34904	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	26	         [c]	         [e]	472	34432
221113	5	ann. pay.	2348544	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	42167	2306377	2610880	(D)	199	(D)	0	(D)	(D)	(D)	129150	2481730	2652762	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	33546	2619216	2791379	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	41188	2750191	2769260	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1224	         (D)	         (D)	34794	2734466
221113	5	rec.																																									13239076	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	428863	12810213
221119	5	firms	211	24	59	17	16	116	42	15	173	38	204	17	56	18	17	108	40	14	162	42	221	20	58	27	20	125	42	16	183	38	229	26	60	26	18	130	47	12	189	40	235	18	66	30	18	132	49	14	195	40
221119	5	estab.	344	24	59	17	19	119	62	23	204	140	385	17	56	18	20	111	60	25	196	189	374	20	58	27	23	128	62	30	220	154	373	26	60	26	21	133	68	15	216	157	414	18	66	33	21	138	71	35	244	170
221119	5	empl.	14915	0	123	117	233	473	1582	1681	3736	11179	14571	[a]	120	[c]	235	472	1605	1453	3530	11041	14379	0	115	168	278	561	1779	1515	3855	10524	13866	0	129	177	272	578	1978	1245	3801	10065	14230	         [a]	135	         [c]	264	601	2135	1573	4309	9921
221119	5	ann. pay.	923647	4895	5004	4897	13933	28729	69827	86375	184931	738716	940357	(D)	8620	(D)	15201	32805	78132	85209	196146	744211	961887	1130	5151	6388	21622	34291	86159	101183	221633	740254	921062	3133	6097	8980	20911	39121	115995	80251	235367	685695	915553	         (D)	6639	         (D)	19172	52802	114478	108900	276180	639373
221119	5	rec.																																									11642360	         (D)	72341	         (D)	2147194	         (D)	2109000	1248675	5740728	5901632
221121	5	firms	57	7	11	4	6	28	5	8	41	16	63	11	11	5	6	33	6	7	46	17	66	6	17	8	4	35	8	6	49	17	77	8	22	6	6	42	9	7	58	19	88	9	27	4	8	48	11	13	72	16
221121	5	estab.	148	7	11	4	6	28	5	21	54	94	153	11	11	5	6	33	12	14	59	94	145	6	17	8	4	35	14	14	63	82	161	8	22	6	6	42	15	14	71	90	217	9	27	4	8	48	20	29	97	120
221121	5	empl.	4592	0	         [b]	         [b]	71	119	186	1002	1307	3285	5107	0	24	33	67	124	254	1194	1572	3535	5420	0	36	52	51	139	335	1259	1733	3687	6233	0	56	40	78	174	379	1548	2101	4132	18590	0	57	24	96	177	548	2096	2821	15769
221121	5	ann. pay.	257840	1542	         (D)	         (D)	2784	6364	7717	71059	85140	172700	322519	28969	1600	1479	2313	34361	10623	92153	137137	185382	343822	7824	2495	3180	2261	15760	17356	98094	131210	212612	365774	872	3520	879	5235	10506	24478	91463	126447	239327	1365272	1306	2877	652	7460	12295	26026	143477	181798	1183474
221121	5	rec.																																									13831440	4901	38116	7570	27854	78441	417105	1013283	1508829	12322611
221122	5	firms	1215	49	102	56	128	335	605	161	1101	114	1236	41	124	75	126	366	595	163	1124	112	1232	54	118	73	129	374	581	172	1127	105	1260	69	132	76	129	406	582	167	1155	105	1221	47	130	70	123	370	569	181	1120	101
221122	5	estab.	6221	49	103	58	142	352	967	552	1871	4350	6667	45	125	77	136	383	954	565	1902	4765	6887	54	118	74	141	387	921	586	1894	4993	6838	69	133	76	141	419	914	586	1919	4919	6927	47	131	70	138	386	923	627	1936	4991
221122	5	empl.	393132	0	         [c]	         [e]	1891	2497	28822	24399	55718	337414	380825	0	272	490	1822	2584	28409	24881	55874	324951	371507	0	263	475	1873	2611	27910	26224	56745	314762	370501	0	298	499	1880	2677	27773	25642	56092	314409	361658	0	269	449	1829	2547	26802	27812	57161	304497
221122	5	ann. pay.	22310738	5813	         (D)	         (D)	78859	107716	1162556	1045842	2316114	19994624	22666470	19644	10417	20005	76346	126412	1171978	1072772	2371162	20295308	23370465	6503	10795	18255	75794	111347	1171820	1181842	2465009	20905456	23783947	11501	12609	24434	79864	128408	1227179	1210998	2566585	21217362	23697498	7819	10145	18509	82618	119091	1222629	1335553	2677273	21020225
221122	5	rec.																																									217191406	37360	1119435	125732	626162	1908689	11653784	14036944	27599417	189591989
221210	5	firms	630	57	209	105	64	435	55	36	526	104	610	47	222	98	62	429	50	34	513	97	603	47	210	97	58	412	58	35	505	98	592	44	217	97	57	415	51	32	498	94	631	68	223	111	59	461	54	31	546	85
221210	5	estab.	2723	58	209	109	76	452	101	154	707	2016	2851	47	222	100	70	439	98	165	702	2149	2846	47	210	99	67	423	103	152	678	2168	2831	44	219	100	63	426	84	127	637	2194	2897	70	223	118	72	483	86	131	700	2197
221210	5	empl.	99962	0	476	716	775	1967	1890	5620	9477	90485	96953	0	464	660	773	1897	1658	5129	8684	88269	94821	0	478	641	750	1869	1789	4596	8254	86567	95348	0	492	644	712	1848	1831	4323	8002	87346	86890	0	519	721	716	1956	2066	4398	8420	78470
221210	5	ann. pay.	5282225	39923	19143	31650	35093	125809	99422	241408	466639	4815586	5657570	10866	19833	27523	36962	95184	87186	241539	423909	5233661	5529810	16524	19112	28813	37203	101652	94857	231833	428342	5101468	6001077	7422	25643	32563	34731	100359	110365	197485	408209	5592868	5342147	6940	21698	30211	41148	99997	131392	221794	453183	4888964
221210	5	rec.																																									67275310	79932	654470	478929	1310935	2524266	7724447	2878244	13126957	54148353
221310	5	firms	3789	205	2545	680	204	3634	89	30	3753	36	3836	257	2505	685	224	3671	105	23	3799	37	4184	347	2575	805	271	3998	121	27	4146	38	4323	323	2699	819	287	4128	130	26	4284	39	4562	340	2782	944	293	4359	140	26	4525	37
221310	5	estab.	4086	205	2546	683	217	3651	124	113	3888	198	4129	257	2506	686	239	3688	136	88	3912	217	4523	347	2576	806	285	4014	150	95	4259	264	4832	323	2700	820	299	4142	166	106	4414	418	5114	340	2783	947	308	4378	178	134	4690	424
221310	5	empl.	28623	0	5604	4318	2482	12404	2736	4066	19206	9417	29996	0	5554	4292	2711	12557	3348	3252	19157	10839	32786	0	5690	5048	3412	14150	3857	3356	21363	11423	35206	0	5982	5168	3596	14746	4167	3557	22470	12736	37041	0	6321	5863	3679	15863	4307	4198	24368	12673
221310	5	ann. pay.	936881	3927	79748	90600	69519	243794	85997	190157	519948	416933	1016102	7610	84018	93323	77457	262408	97712	152611	512731	503371	1120315	8907	88633	107635	91744	296919	120436	169836	587191	533124	1324944	10271	100393	114588	107371	332623	141071	191116	664810	660134	1356633	13699	107555	123621	111839	356714	144080	199917	700711	655922
221310	5	rec.																																									6522869	63563	560115	568543	514687	1706908	639328	847558	3193794	3329075
221320	5	firms	563	54	306	99	45	504	34	12	550	13	584	65	325	91	45	526	32	11	569	15	583	61	326	94	40	521	40	11	572	11	632	61	347	105	51	564	42	13	619	13	690	57	395	116	53	621	44	12	677	13
221320	5	estab.	700	54	306	102	48	510	55	19	584	116	715	65	325	91	49	530	49	18	597	118	708	61	326	94	45	526	55	20	601	107	748	61	347	105	56	569	57	23	649	99	831	57	395	116	60	628	70	40	738	93
221320	5	empl.	5307	         [a]	660	         [f]	559	1837	         [f]	         [e]	3117	2190	5270	0	714	583	571	1868	[f]	[f]	3278	1992	5141	         [a]	726	         [f]	506	         [g]	1245	         [e]	3527	1614	6312	0	761	         [f]	671	         [g]	1396	         [f]	4057	2255	7022	         [a]	879	680	667	         [g]	1452	         [f]	4677	2345
221320	5	ann. pay.	150714	         (D)	12921	         (D)	15808	42467	         (D)	         (D)	84163	66551	161170	2546	13934	12503	17977	46960	(D)	(D)	92627	68543	159909	         (D)	14389	         (D)	15480	         (D)	40285	         (D)	101432	58477	197818	3448	17426	         (D)	17646	         (D)	43278	         (D)	115439	82379	233413	         (D)	19397	15118	22276	         (D)	52537	         (D)	144841	88572
221320	5	rec.																																									1011069	         (D)	106810	64003	89636	         (D)	259334	         (D)	630194	380875
221330	5	firms	57	2	20	3	8	33	10	2	45	12	54	4	14	3	6	27	12	2	41	13	57	6	14	2	7	29	12	2	43	14	62	3	18	4	9	34	11	2	47	15	70	10	19	5	12	46	8	2	56	14
221330	5	estab.	81	2	20	3	8	33	12	4	49	32	72	4	14	3	6	27	14	2	43	29	74	6	14	2	7	29	14	2	45	29	84	3	18	4	9	34	13	2	49	35	97	10	19	5	12	46	14	2	62	35
221330	5	empl.	1639	         [a]	33	         [b]	109	164	         [e]	         [b]	561	1078	1629	0	24	22	80	126	[e]	[b]	576	1053	1628	         [a]	28	         [a]	86	         [c]	428	         [b]	596	1032	1630	0	37	         [b]	114	         [c]	386	         [b]	613	1017	1532	         [a]	30	35	161	         [c]	321	         [b]	588	944
221330	5	ann. pay.	80079	         (D)	848	         (D)	4239	6373	         (D)	         (D)	23410	56669	77529	66	696	940	3252	4954	(D)	(D)	23025	54504	81902	         (D)	841	         (D)	3040	         (D)	18162	         (D)	25461	56441	80695	16	754	         (D)	4291	         (D)	18489	         (D)	25889	54806	84116	         (D)	964	1073	6264	         (D)	16379	         (D)	27121	56995
221330	5	rec.																																									764725	         (D)	6235	4049	34680	         (D)	97969	         (D)	157758	606967
233110	5	firms	11192	2829	5871	1299	619	10618	388	95	11101	91	12189	3071	6224	1442	744	11481	507	107	12095	94	12902	2982	6657	1630	858	12127	567	117	12811	91	13175	2836	6655	1814	977	12282	664	130	13076	99	13860	2804	7303	1860	968	12935	693	138	13766	94
233110	5	estab.	11369	2832	5873	1301	622	10628	413	138	11179	190	12383	3072	6226	1443	750	11491	548	124	12163	220	13111	2984	6659	1632	866	12141	601	142	12884	227	13358	2837	6657	1817	980	12291	711	176	13178	180	14044	2804	7308	1864	976	12952	742	164	13858	186
233110	5	empl.	56326	0	11222	8311	8050	27583	13051	9385	50019	6307	68024	0	11962	9235	9842	31039	17582	11659	60280	7744	77885	0	12951	10535	11407	34893	20509	12478	67880	10005	88993	0	13163	11715	12915	37793	23692	13817	75302	13691	90669	0	14466	12018	12603	39087	23532	14669	77288	13381
233110	5	ann. pay.	2262825	166410	393302	293672	281877	1135261	461744	346824	1943829	318996	2814520	172339	437132	343608	354722	1307801	657849	419286	2384936	429584	3269158	164894	468769	377028	465833	1476524	756199	476151	2708874	560284	3990101	156215	484556	438707	513298	1592776	972272	579359	3144407	845694	4100107	141975	545793	473892	515979	1677639	1043208	670559	3391406	708701
233110	5	rec.																																									24460771	1412212	4716723	2654048	2784158	11567141	5133980	3239442	19940563	4520208
233210	5	firms	153029	29168	88281	23133	8658	149240	3440	257	152937	92	151354	24820	88532	24156	9545	147053	3937	274	151264	90	150685	24403	86967	24508	9986	145864	4426	304	150594	91	146056	24079	86030	22949	8759	141817	3846	296	145959	97	160917	31607	92161	23478	9281	156527	4007	287	160821	96
233210	5	estab.	153561	29168	88281	23138	8666	149253	3466	389	153108	453	151952	24820	88534	24157	9558	147069	3992	395	151456	496	151296	24403	86969	24508	10000	145880	4460	430	150770	526	146670	24080	86030	22952	8771	141833	3878	391	146102	568	161677	31607	92163	23481	9299	156550	4086	408	161044	633
233210	5	empl.	626161	0	178768	148002	112363	439133	114262	34946	588341	37820	677065	0	181121	154654	124421	460196	133136	38819	632151	44914	713339	0	179222	157360	130460	467042	150829	45577	663448	49891	661414	0	175524	147038	113719	436281	131713	42420	610414	51000	696886	0	188836	150275	120762	459873	136130	41020	637023	59863
233210	5	ann. pay.	18245529	841060	4276552	3524962	2960414	11602988	3556445	1358778	16518211	1727318	20956582	787495	4555966	3882441	3451910	12677812	4349212	1575404	18602428	2354154	23058337	760584	4605643	4095991	3737593	13199811	5226447	1905572	20331830	2726507	23160092	783248	4694110	3993667	3500990	12972015	5060011	1937368	19969394	3190698	25396809	1033760	5039096	4357778	3899888	14330522	5519878	2004518	21854918	3541891
233210	5	rec.																																									225893991	12571664	50162636	31013814	26833715	120581829	41394207	17009933	178985969	46908022
233220	5	firms	8054	1405	3930	1368	710	7413	538	76	8027	27	8186	1370	4042	1420	671	7503	580	73	8156	30	8208	1312	4119	1329	758	7518	583	76	8177	31	8730	1323	4292	1431	846	7892	729	77	8698	32	9007	1557	4212	1475	964	8208	693	74	8975	32
233220	5	estab.	8091	1405	3930	1369	710	7414	541	86	8041	50	8226	1370	4042	1420	671	7503	585	80	8168	58	8254	1312	4119	1329	758	7518	591	82	8191	63	8767	1323	4292	1431	846	7892	736	81	8709	58	9043	1557	4212	1475	964	8208	702	82	8992	51
233220	5	empl.	62334	0	8114	8821	9488	26423	19667	10459	56549	5785	64523	0	8258	9257	8909	26424	20734	10076	57234	7289	67673	0	8504	8698	10035	27237	20900	11188	59325	8348	73972	0	8879	9375	11163	29417	25543	10588	65548	8424	73965	0	8940	9680	12827	31447	25038	9506	65991	7974
233220	5	ann. pay.	2100157	51476	210129	235374	311742	808721	676169	386320	1871210	228947	2269214	60808	218769	261916	290049	831542	752252	382699	1966493	302721	2461328	46987	231952	256267	327247	862453	793580	448088	2104121	357207	2825815	51637	256841	283892	387593	979963	1002169	442368	2424500	401315	3013295	66323	292859	323997	435436	1118615	1009871	471195	2599681	413614
233220	5	rec.																																									24709438	721948	2613855	2264928	3093491	8694222	8542418	4003024	21239664	3469774
233310	5	firms	6842	720	2366	1283	1101	5470	1126	179	6775	67	6936	798	2372	1257	1078	5505	1188	175	6868	68	6984	723	2482	1263	1093	5561	1175	184	6920	64	5821	746	2410	1091	885	5132	539	84	5755	66	2342	477	672	386	323	1858	338	84	2280	62
233310	5	estab.	6904	720	2366	1283	1102	5471	1129	184	6784	120	6998	798	2372	1257	1079	5506	1192	183	6881	117	7039	723	2482	1263	1094	5562	1179	193	6934	105	5887	746	2410	1091	887	5134	541	92	5767	120	2406	477	672	388	324	1861	345	93	2299	107
233310	5	empl.	161159	0	5216	8576	14947	28739	42872	29401	101012	60147	166000	0	5255	8470	14610	28335	45794	30460	104589	61411	164858	0	5417	8414	14887	28718	45662	31828	106208	58650	114021	0	5220	7256	11826	24302	19715	13035	57052	56969	86859	0	1489	2559	4348	8396	12579	12859	33834	53025
233310	5	ann. pay.	6145133	56760	170830	271011	505289	1003890	1641905	1207662	3853457	2291676	6461894	41188	176499	271398	522937	1012022	1832626	1253744	4098392	2363502	6797251	54092	186109	267060	553447	1060708	1873363	1338163	4272234	2525017	4565607	48386	168424	237458	408325	862593	695142	524091	2081826	2483781	3828813	24182	50489	90371	163405	328447	540426	540503	1409376	2419437
233310	5	rec.																																									20501999	273576	339270	513843	921922	2048611	2551474	3040739	7640824	12861175
233320	5	firms	36355	4782	13267	6714	5477	30240	5240	678	36158	197	36170	4071	13469	6778	5527	29845	5414	710	35969	201	36022	4052	13266	6627	5604	29549	5514	752	35815	207	40490	4026	13858	7810	7039	32733	6719	833	40285	205	38452	3691	12712	7816	6841	31060	6434	765	38259	193
233320	5	estab.	36968	4782	13270	6715	5487	30254	5286	826	36366	602	36796	4071	13470	6780	5535	29856	5454	858	36168	628	36654	4052	13267	6629	5613	29561	5549	896	36006	648	41124	4027	13859	7814	7050	32750	6751	959	40460	664	39224	3691	12712	7818	6854	31075	6505	918	38498	726
233320	5	empl.	528358	0	28823	44939	74740	148502	196333	101787	446622	81736	562467	0	29302	44999	75383	149684	207849	111926	469459	93008	581158	0	28812	44263	76300	149375	212808	118083	480266	100892	678573	0	30485	52350	96027	178862	257190	132326	568378	110195	637338	0	28829	52543	92887	174259	243960	119996	538215	99123
233320	5	ann. pay.	21524488	242304	909359	1455450	2664813	5271926	7745798	4480955	17498679	4025809	23381582	217800	956468	1532924	2808835	5516027	8565472	4995792	19077291	4304291	25212012	222840	955032	1511788	2920882	5610542	9091270	5433299	20135111	5076901	30415370	287004	1091245	1917613	3795093	7090955	11141327	6305789	24538071	5877299	29391467	235562	1088311	1983716	3731064	7038653	10862569	5957949	23859171	5532296
233320	5	rec.																																									239425735	2199022	9460399	14077805	25587717	51324943	81142540	51209971	183677454	55748281
234110	5	firms	10884	1493	3113	1923	1736	8265	2122	418	10805	79	10606	1297	3062	1843	1688	7890	2170	464	10524	82	10434	1267	2927	1792	1645	7631	2212	496	10339	95	10837	1342	3090	1953	1692	8077	2156	511	10744	93	10507	1478	2956	1804	1636	7874	2027	504	10405	102
234110	5	estab.	11268	1493	3114	1924	1742	8273	2142	486	10901	367	11006	1297	3062	1843	1693	7895	2188	542	10625	381	10889	1267	2927	1793	1650	7637	2222	581	10440	449	11314	1342	3090	1954	1699	8085	2172	597	10854	460	10985	1478	2956	1805	1638	7877	2060	609	10546	439
234110	5	empl.	232811	0	6810	13009	23814	43633	85220	64991	193844	38967	248814	0	6772	12495	23099	42366	87907	72854	203127	45687	265678	0	6489	12041	22626	41156	90001	80710	211867	53811	275191	0	6778	13136	23118	43032	87479	84293	214804	60387	274144	0	6771	12139	22321	41231	83304	84505	209040	65104
234110	5	ann. pay.	10868266	106846	368564	590813	1123977	2190200	3786449	3029273	9005922	1862344	11706960	90995	356385	564357	1123477	2135214	4060570	3434156	9629940	2077020	12328611	93841	330221	523755	1013416	1961233	4095642	3727429	9784304	2544307	13758593	129318	375503	638399	1207890	2351110	4342130	4228769	10922009	2836584	13767501	130528	390044	613152	1136052	2269776	4290408	4162914	10723098	3044403
234110	5	rec.																																									72164772	783334	2050671	2736983	5031905	10602893	20196223	22407376	53206492	18958280
234120	5	firms	886	70	167	137	146	520	266	79	865	21	871	57	179	119	144	499	269	77	845	26	872	58	176	112	134	480	280	86	846	26	778	46	167	114	124	451	225	75	751	27	792	83	156	127	124	490	204	66	760	32
234120	5	estab.	925	70	168	137	146	521	272	87	880	45	905	57	180	119	144	500	275	80	855	50	906	58	177	112	134	481	286	94	861	45	819	46	167	114	124	451	232	80	763	56	833	83	156	127	124	490	211	72	773	60
234120	5	empl.	34331	0	378	966	2070	3414	11472	11324	26210	8121	35554	0	433	832	2020	3285	11782	11569	26636	8918	39258	0	405	768	1823	2996	12702	14565	30263	8995	35828	0	370	776	1651	2797	9766	11458	24021	11807	36671	0	341	847	1757	2945	8780	10340	22065	14606
234120	5	ann. pay.	1657496	16305	23232	48004	94547	182088	529280	567908	1279276	378220	1762450	5817	25076	43732	92561	167186	590099	618649	1375934	386516	1987490	8146	26884	39844	81773	156647	598227	765998	1520872	466618	1938957	8332	22016	40370	76374	147092	490932	643496	1281520	657437	1987630	15070	19810	46008	82818	163706	481403	589231	1234340	753290
234120	5	rec.																																									9964920	68159	104947	206870	355219	735195	2371154	2943417	6049766	3915154
234910	5	firms	7749	676	2195	1502	1413	5786	1700	218	7704	45	7523	597	2062	1430	1414	5503	1749	225	7477	46	7390	578	2026	1351	1361	5316	1792	236	7344	46	8987	550	2323	1904	1827	6604	2069	268	8941	46	10520	868	3356	2091	1826	8141	2065	262	10468	52
234910	5	estab.	7823	676	2195	1502	1414	5787	1705	234	7726	97	7597	597	2062	1430	1415	5504	1754	241	7499	98	7483	579	2026	1352	1362	5319	1798	254	7371	112	9090	550	2323	1904	1828	6605	2073	294	8972	118	10652	868	3356	2091	1826	8141	2086	297	10524	128
234910	5	empl.	156448	0	4932	10090	19416	34438	66813	35039	136290	20158	163751	0	4681	9612	19372	33665	69964	35646	139275	24476	165784	0	4554	9083	18789	32426	71994	39822	144242	21542	193347	0	5392	12898	25360	43650	81027	44811	169488	23859	198821	0	7782	14007	24981	46770	80799	42605	170174	28647
234910	5	ann. pay.	6355696	50331	189080	367098	729144	1335653	2713393	1348895	5397941	957755	6728813	84669	176164	359417	744182	1364432	2842752	1605561	5812745	916068	7033034	39053	171250	333645	740634	1284582	2997125	1663953	5945660	1087374	8484892	47170	231318	521624	1016876	1816988	3470124	1973553	7260665	1224227	8785618	68245	300265	529704	1041887	1940101	3570992	1871136	7382229	1403389
234910	5	rec.																																									35161006	354108	1518676	2252728	4207078	8332590	14647434	7694469	30674493	4486513
234920	5	firms	3170	404	974	605	481	2464	550	119	3133	37	3281	386	991	657	511	2545	564	126	3235	46	3411	469	1035	632	494	2630	623	111	3364	47	3837	368	1161	749	624	2902	734	151	3787	50	4077	488	1344	771	643	3246	671	114	4031	46
234920	5	estab.	3305	404	974	606	481	2465	555	137	3157	148	3436	386	991	658	511	2546	571	146	3263	173	3644	470	1035	633	494	2632	632	125	3389	255	4065	368	1161	750	625	2904	739	166	3809	256	4325	488	1344	771	646	3249	689	127	4065	260
234920	5	empl.	76411	0	2221	4062	6639	12922	20800	19347	53069	23342	85302	0	2243	4414	6955	13612	22340	18685	54637	30665	97545	0	2334	4206	6718	13258	24592	18312	56162	41383	114999	0	2607	5009	8480	16096	29451	24555	70102	44897	98465	         [a]	         [h]	5184	8773	16991	27281	17678	61950	36515
234920	5	ann. pay.	2786378	28081	75603	133617	220635	457936	742158	645112	1845206	941172	3186979	36655	77586	146748	237910	498899	802137	668382	1969418	1217561	3815794	50678	82359	138151	227826	499014	910341	704194	2113549	1702245	4382043	44447	95299	164975	297654	602375	1080122	929945	2612442	1769601	3909650	         (D)	         (D)	162646	293802	619090	990328	637060	2246478	1663172
234920	5	rec.																																									12463879	         (D)	         (D)	538083	921759	         (D)	3123895	1941707	7211838	5252041
234930	5	firms	641	52	195	89	75	411	109	55	575	66	626	43	192	92	68	395	113	56	564	62	631	51	195	85	76	407	109	52	568	63	582	35	194	79	66	374	92	55	521	61	470	56	118	62	49	285	88	41	414	56
234930	5	estab.	709	52	195	89	75	411	113	59	583	126	696	43	192	92	68	395	116	62	573	123	689	51	195	85	76	407	111	56	574	115	647	35	194	79	66	374	94	60	528	119	527	56	118	62	49	285	93	48	426	101
234930	5	empl.	100218	0	394	598	1026	2018	4683	9788	16489	83729	98580	0	421	613	939	1973	4852	10429	17254	81326	101745	0	431	581	1019	2031	4913	8952	15896	85849	105367	0	404	550	878	1832	3952	9584	15368	89999	91921	         [a]	         [e]	408	680	1354	3720	6868	11942	79979
234930	5	ann. pay.	3784244	19057	12600	19803	32144	83604	177763	366318	627685	3156559	3844681	11505	11996	20847	31656	76004	190653	464671	731328	3113353	4137821	14477	11718	18748	33367	78310	200082	390785	669177	3468644	4036493	10343	15071	16749	34688	76851	139202	424958	641011	3395482	4087472	         (D)	         (D)	14986	25910	245830	141045	330593	717468	3370004
234930	5	rec.																																									16078240	         (D)	         (D)	61832	89920	         (D)	434625	985357	2177457	13900783
234990	5	firms	15860	1894	6632	2972	2043	13541	1963	254	15758	102	15734	1774	6553	2908	2129	13364	1990	276	15630	104	15702	1820	6369	2904	2146	13239	2065	290	15594	108	14321	1737	6327	2715	1852	12631	1401	188	14220	101	12373	2606	5072	1906	1356	10940	1151	186	12277	96
234990	5	estab.	16061	1894	6632	2974	2053	13553	1989	309	15851	210	15916	1774	6553	2911	2135	13373	2013	329	15715	201	15905	1821	6371	2905	2151	13248	2083	354	15685	220	14541	1737	6330	2715	1858	12640	1418	253	14311	230	12627	2606	5073	1908	1363	10950	1171	262	12383	244
234990	5	empl.	203725	0	14128	19549	27707	61384	72587	37249	171220	32505	216372	0	14009	19197	28758	61964	76070	41650	179684	36688	230977	0	13660	19139	29066	61865	78239	46058	186162	44815	176475	0	13258	17855	24721	55834	50969	29288	136091	40384	156290	0	10826	12547	18261	41634	42913	29012	113559	42731
234990	5	ann. pay.	7894422	90194	416958	617420	971025	2095597	2808509	1599047	6503153	1391269	8577983	81877	425419	608860	1046759	2162915	2985883	1817413	6966211	1611772	9325256	92379	396911	609399	1060578	2159267	3135131	2060088	7354486	1970770	7200646	80126	410501	581578	910559	1982764	1989196	1396358	5368318	1832328	6783676	104730	330306	399388	672594	1507018	1823245	1372624	4702887	2080789
234990	5	rec.																																									28551191	698661	1663056	1599670	2560120	6521507	7464973	6383625	20370105	8181086
235110	5	firms	87653	9319	41925	17448	10808	79500	7343	703	87546	107	88195	9037	41718	17549	11196	79500	7846	733	88079	116	89523	9430	41627	17960	11411	80428	8220	748	89396	127	88519	9098	41850	17595	11063	79606	8034	755	88395	124	89223	10148	41788	17403	11078	80417	7934	743	89094	129
235110	5	estab.	88542	9319	41926	17450	10818	79513	7415	809	87737	805	89125	9042	41719	17551	11206	79518	7912	841	88271	854	90487	9430	41630	17963	11416	80439	8276	850	89565	922	89550	9098	41851	17598	11069	79616	8088	851	88555	995	90341	10148	41788	17405	11083	80424	8028	926	89378	963
235110	5	empl.	817297	0	89820	114986	144693	349499	269298	114766	733563	83734	862013	0	89977	115345	149653	354975	288498	118680	762153	99860	897912	0	90302	118344	153121	361767	300650	122189	784606	113306	898440	0	90400	115786	148993	355179	297562	124152	776893	121547	879908	0	90914	114854	148470	354238	292995	118367	765600	114308
235110	5	ann. pay.	28511597	331349	2120236	3113733	4521349	10086667	9915896	4760536	24763099	3748498	31044940	346678	2236736	3202938	4822837	10609189	10982751	5067474	26659414	4385526	33406016	376565	2293442	3339803	5015791	11025601	11678176	5408794	28112571	5293445	34507914	360885	2331273	3411773	5074568	11178499	12056634	5738807	28973940	5533974	34806094	426073	2421996	3512226	5215143	11575438	12201195	5484360	29260993	5545101
235110	5	rec.																																									115839498	2271644	10985237	11911150	16220810	41388841	37762067	16845561	95996469	19843029
235210	5	firms	39429	7590	20975	6129	2957	37651	1681	88	39420	9	39728	7104	21221	6324	3186	37835	1769	111	39715	13	40931	7644	21495	6432	3312	38883	1914	123	40920	11	40322	7191	21701	6274	3130	38296	1881	134	40311	11	40876	8264	21530	6055	3050	38899	1836	128	40863	13
235210	5	estab.	39475	7590	20975	6130	2958	37653	1692	104	39449	26	39767	7104	21221	6324	3187	37836	1780	126	39742	25	40973	7644	21495	6432	3316	38887	1921	142	40950	23	40364	7191	21701	6275	3133	38300	1891	145	40336	28	40935	8264	21530	6055	3055	38904	1850	144	40898	37
235210	5	empl.	198800	0	42237	39807	39134	121178	59649	13564	194391	4409	212050	0	43066	41120	42210	126396	62827	17255	206478	5572	221787	0	43635	41774	44210	129619	67977	19427	217023	4764	220433	0	43571	40640	41207	125418	67687	22266	215371	5062	218825	0	44181	39439	40768	124388	66428	20456	211272	7553
235210	5	ann. pay.	5227676	187957	893204	878419	954824	2914404	1772168	442661	5129233	98443	5684254	171999	933652	930600	1064253	3100504	1918146	523166	5541816	142438	6121419	204432	966946	961384	1136690	3269452	2096566	647000	6013018	108401	6300673	193084	1005293	975290	1111635	3285302	2162940	722376	6170618	130055	6459789	256518	1002672	991416	1146805	3397411	2159358	687781	6244550	215239
235210	5	rec.																																									18552961	1204714	4049668	2789023	2907978	10951383	5205365	1657915	17814663	738298
235310	5	firms	65093	7219	30177	12665	7929	57990	6214	769	64973	120	65567	6732	29974	12975	8252	57933	6635	865	65433	134	65890	6582	29662	13136	8498	57878	6951	896	65725	165	64890	6439	29585	12801	8245	57070	6745	900	64715	175	64730	7261	29752	12454	7964	57431	6339	801	64571	159
235310	5	estab.	65703	7219	30179	12669	7939	58006	6271	916	65193	510	66220	6732	29978	12977	8260	57947	6691	1008	65646	574	66802	6587	29662	13137	8503	57889	7000	1020	65909	893	65860	6441	29588	12803	8251	57083	6802	1027	64912	948	65858	7262	29754	12461	7974	57451	6422	1031	64904	954
235310	5	empl.	692603	0	64844	83534	106651	255029	233620	128970	617619	74984	742538	0	64771	85353	111084	261208	249444	148014	658666	83872	815056	0	64591	86331	114546	265468	264676	158177	688321	126735	831895	0	64314	84380	110883	259577	260247	159594	679418	152477	770632	0	64811	82055	106698	253564	242360	139413	635337	135295
235310	5	ann. pay.	25345173	331487	1608631	2316309	3378891	7635318	8779206	5454176	21868700	3476473	28361458	362116	1673032	2431662	3646996	8113806	9620898	6397401	24132105	4229353	32698001	301894	1712909	2520241	3873877	8408921	10497081	7218338	26124340	6573661	33480174	280875	1748516	2559963	3844188	8433542	10612221	7350987	26396750	7083424	31707131	329385	1797693	2553645	3807936	8488659	10155458	6804742	25448859	6258272
235310	5	rec.																																									89483864	1513571	7148651	7533578	10405409	26601209	27323333	18184169	72108711	17375153
235410	5	firms	24429	3888	11875	4618	2295	22676	1612	124	24412	17	24493	3697	11809	4740	2378	22624	1684	169	24477	16	24993	3769	11804	4843	2510	22926	1863	187	24976	17	23630	3828	11724	4200	2066	21818	1605	190	23613	17	21672	4314	9965	3727	1974	19980	1479	194	21653	19
235410	5	estab.	24471	3888	11875	4618	2295	22676	1623	144	24443	28	24532	3697	11809	4741	2379	22626	1690	192	24508	24	25030	3769	11804	4843	2511	22927	1876	202	25005	25	23664	3828	11725	4201	2066	21820	1611	205	23636	28	21720	4314	9966	3727	1974	19981	1485	227	21693	27
235410	5	empl.	169823	0	25564	29996	30249	85809	60010	18938	164757	5066	182702	0	25514	31030	31822	88366	64326	25681	178373	4329	197878	0	25619	31439	33486	90544	71281	         [k]	         [m]	         [i]	178820	0	24868	27330	27346	79544	62149	         [k]	         [m]	         [i]	170005	0	21876	24075	26391	72342	57936	32560	162838	7167
235410	5	ann. pay.	4710880	131777	592893	658098	757309	2140077	1827071	598864	4566012	144868	5208921	129670	612369	693983	847019	2283041	1999724	804323	5087088	121833	5667795	132519	594758	709626	858036	2294939	2194269	         (D)	         (D)	         (D)	5605994	130385	608110	650112	760662	2149269	2152234	         (D)	         (D)	         (D)	5460469	157260	548411	602470	739646	2047787	2047620	1154701	5250108	210361
235410	5	rec.																																									16264237	825910	2443972	1950597	2115794	7336273	5459644	2922554	15718471	545766
235420	5	firms	21294	2812	8609	3795	2784	18000	2859	395	21254	40	21164	2570	8623	3829	2778	17800	2872	444	21116	48	21408	2690	8731	3774	2821	18016	2872	470	21358	50	19940	2568	8755	3267	2384	16974	2437	475	19886	54	19404	2917	8129	3153	2291	16490	2421	434	19345	59
235420	5	estab.	21585	2812	8609	3795	2785	18001	2881	450	21332	253	21515	2570	8623	3829	2779	17801	2889	505	21195	320	21774	2690	8731	3774	2824	18019	2888	503	21410	364	20337	2568	8756	3267	2387	16978	2451	511	19940	397	19944	2917	8129	3154	2293	16493	2448	515	19456	488
235420	5	empl.	287445	0	18686	25002	37862	81550	113168	67319	262037	25408	312683	0	18690	25389	37623	81702	115122	77176	274000	38683	319342	0	18860	24951	38328	82139	113145	82269	277553	41789	300984	0	18514	21393	32588	72495	98566	85118	256179	44805	293849	0	17743	20802	31254	69799	96235	77349	243383	50466
235420	5	ann. pay.	8535448	117062	434048	581518	987196	2119824	3356148	2213462	7689434	846014	9454216	113014	452787	627677	1020770	2214248	3535537	2513807	8263592	1190624	10224375	111655	473593	631337	1046256	2262841	3639875	2925535	8828251	1396124	9973183	102566	468245	549931	955330	2076072	3305986	3082733	8464791	1508392	10054987	143151	461816	558994	932618	2096579	3293657	2817807	8208043	1846944
235420	5	rec.																																									31376116	799258	2652159	2230713	2994171	8676301	9101233	7247410	25024944	6351172
235430	5	firms	6481	851	3543	1058	601	6053	400	25	6478	3	6649	946	3566	1002	662	6176	441	28	6645	4	6814	915	3585	1108	681	6289	487	36	6812	2	6877	892	3653	1089	688	6322	510	43	6875	2	8349	1373	4527	1222	669	7791	516	39	8346	3
235430	5	estab.	6488	851	3543	1058	601	6053	400	28	6481	7	6657	946	3566	1002	662	6176	441	31	6648	9	6821	915	3585	1108	681	6289	487	41	6817	4	6884	892	3653	1089	688	6322	510	48	6880	4	8357	1373	4527	1222	669	7791	516	44	8351	6
235430	5	empl.	40332	0	6967	6881	7920	21768	14500	3004	39272	1060	43548	0	7111	6602	8816	22529	16072	3515	42116	1432	47774	0	7234	7310	9019	23563	17967	         [i]	         [k]	         [f]	49717	0	7443	7207	9121	23771	19187	         [i]	         [k]	         [f]	51510	0	9092	8020	8912	26024	19202	5506	50732	778
235430	5	ann. pay.	1162532	22368	145523	169128	221204	558223	473461	93848	1125532	37000	1332180	29248	155879	168568	253280	606975	544090	122314	1273379	58801	1497650	25545	167171	185893	263418	642027	631570	         (D)	         (D)	         (D)	1609423	31488	175964	194416	282260	684128	685727	         (D)	         (D)	         (D)	1693232	38577	206163	216589	280910	742239	707681	211762	1661682	31550
235430	5	rec.																																									5557821	233604	1045956	757410	863403	2900373	1922017	610880	5433270	124551
235510	5	firms	44088	7347	24899	6961	3006	42213	1642	211	44066	22	44282	6933	24889	7262	3158	42242	1770	243	44255	27	44857	7015	25156	7227	3276	42674	1893	258	44825	32	44239	6986	25227	7105	2882	42200	1723	280	44203	36	46774	8596	26029	7119	3011	44755	1716	265	46736	38
235510	5	estab.	44252	7347	24900	6961	3007	42215	1666	240	44121	131	44449	6934	24889	7263	3159	42245	1792	278	44315	134	45028	7016	25156	7228	3280	42680	1916	277	44873	155	44391	6986	25227	7109	2886	42208	1744	313	44265	126	46918	8596	26030	7120	3015	44761	1743	294	46798	120
235510	5	empl.	237285	0	50377	44895	39800	135072	59150	34782	229004	8281	256279	0	50347	46780	41671	138798	64059	41911	244768	11511	269786	0	51318	46587	42757	140662	68308	45121	254091	15695	262936	0	50912	45695	37905	134512	61696	48975	245183	17753	262569	0	53371	45735	39740	138846	61418	44258	244522	18047
235510	5	ann. pay.	6164620	180401	1030066	982094	998800	3191361	1734327	1008456	5934144	230476	6935370	216089	1078991	1081683	1087924	3464687	1922930	1242399	6630016	305354	7533333	199448	1123430	1087985	1175524	3586387	2137166	1349931	7073484	459849	7507081	187074	1174083	1115894	1061923	3538974	2000732	1469781	7009487	497594	7809913	256097	1231737	1163602	1134747	3786183	2065306	1420329	7271818	538095
235510	5	rec.																																									28846419	1582254	6300497	4071758	3664538	15619047	6909535	4413352	26941934	1904485
235520	5	firms	13016	1899	7587	1953	980	12419	556	32	13007	9	13246	1924	7644	1984	1015	12567	637	35	13239	7	13393	1928	7553	2118	1050	12649	692	46	13387	6	12953	1928	7530	1858	923	12239	652	54	12945	8	13714	2238	7845	1896	1025	13004	661	42	13707	7
235520	5	estab.	13101	1899	7587	1953	981	12420	563	43	13026	75	13352	1924	7644	1984	1018	12570	641	48	13259	93	13497	1928	7553	2118	1051	12650	696	68	13414	83	13050	1928	7530	1858	924	12240	657	71	12968	82	13836	2238	7845	1898	1029	13010	679	61	13750	86
235520	5	empl.	66621	0	14605	12623	13123	40351	20131	         [h]	         [l]	         [g]	71493	0	14927	12905	13600	41432	22363	[i]	[l]	[h]	77517	0	14853	13760	14074	42687	24019	7600	74306	3211	74622	0	14681	11935	12392	39008	23002	8734	70744	3878	76215	0	15464	12272	13606	41342	23410	7428	72180	4035
235520	5	ann. pay.	1908821	39090	293761	298888	376112	1007851	674748	         (D)	         (D)	         (D)	2169073	51493	315788	322571	391324	1081176	768527	(D)	(D)	(D)	2430310	53537	325308	360099	416957	1155901	854487	297478	2307866	122444	2444462	58827	317603	312166	386320	1074916	850271	383806	2308993	135469	2628954	58239	339843	323948	441233	1163263	864599	396579	2424441	204513
235520	5	rec.																																									10279837	388628	1856958	1299145	1625254	5169985	3201078	1085956	9457019	822818
235610	5	firms	30877	4736	14489	5408	3359	27992	2657	209	30858	19	30665	4402	14353	5555	3349	27659	2745	240	30644	21	30855	4526	14445	5484	3380	27835	2740	254	30829	26	30127	4470	14435	5207	3181	27293	2572	236	30101	26	31367	5628	14584	5262	3132	28606	2506	228	31340	27
235610	5	estab.	30980	4736	14489	5408	3368	28001	2692	257	30950	30	30767	4402	14354	5555	3349	27660	2768	307	30735	32	30966	4526	14447	5484	3380	27837	2766	319	30922	44	30247	4470	14440	5209	3182	27301	2595	306	30202	45	31538	5628	14586	5266	3133	28613	2545	312	31470	68
235610	5	empl.	246478	0	30553	35500	45062	111115	99188	29475	239778	6700	257629	0	30195	36524	44938	111657	103103	35010	249770	7859	260774	0	30355	36116	45440	111911	102650	37895	252456	8318	247408	0	30183	34126	42758	107067	97389	36088	240544	6864	244435	0	31050	34653	42198	107901	94101	33740	235742	8693
235610	5	ann. pay.	7087370	135344	672937	825866	1168330	2802477	3063448	997789	6863714	223656	7614393	135528	692200	873856	1216176	2917760	3224343	1210623	7352726	261667	7928821	153834	695745	856150	1250859	2956588	3367430	1305025	7629043	299778	7833919	148495	744568	854250	1211779	2959092	3319018	1296247	7574357	259562	7882266	206428	765748	894010	1234676	3100862	3243552	1205559	7549973	332293
235610	5	rec.																																									30607059	1451406	4775448	3764067	4331768	14322689	10806255	4035309	29164253	1442806
235710	5	firms	29474	5487	11858	5944	3540	26829	2390	222	29441	33	29763	5327	11690	6131	3690	26838	2618	272	29728	35	30136	5085	11794	6336	3847	27062	2738	295	30095	41	30639	5151	12457	6182	3720	27510	2793	291	30594	45	34680	7933	13088	6437	4016	31474	2871	288	34633	47
235710	5	estab.	29575	5487	11858	5944	3542	26831	2399	242	29472	103	29870	5327	11690	6132	3691	26840	2629	293	29762	108	30238	5085	11794	6336	3848	27063	2749	306	30118	120	30743	5151	12457	6183	3721	27512	2802	318	30632	111	34820	7933	13088	6437	4017	31475	2887	323	34685	135
235710	5	empl.	244553	0	26596	39191	47226	113013	85766	34136	232915	11638	269232	0	26263	40474	49050	115787	96365	42133	254285	14947	292569	0	26654	41888	51418	119960	101832	48265	270057	22512	295285	0	27577	40936	49900	118413	104096	48719	271228	24057	306585	0	29622	42381	53644	125647	105563	46682	277892	28693
235710	5	ann. pay.	7719874	239249	801354	1031041	1342315	3413959	2717258	1174471	7305688	414186	8718107	250685	832359	1105339	1392816	3581199	3118430	1504020	8203649	514458	9501215	234502	795617	1123089	1477693	3630901	3386918	1762387	8780206	721009	10419100	255961	913154	1182703	1561835	3913653	3627508	1839042	9380203	1038897	10993175	416073	994193	1256401	1681504	4348171	3729589	1828918	9906678	1086497
235710	5	rec.																																									40255179	2166648	4725941	4623139	5875644	17391372	12997236	6685570	37074178	3181001
235810	5	firms	3756	366	2132	820	303	3621	124	8	3753	3	3718	310	2095	863	299	3567	143	5	3715	3	3735	333	2017	866	361	3577	146	9	3732	3	3648	305	1972	837	353	3467	167	11	3645	3	3955	406	2089	885	403	3783	156	12	3951	4
235810	5	estab.	3830	366	2132	820	304	3622	131	18	3771	59	3789	310	2095	863	299	3567	151	13	3731	58	3797	333	2017	866	363	3579	152	17	3748	49	3722	305	1972	837	356	3470	172	27	3669	53	4028	406	2089	885	406	3786	164	32	3982	46
235810	5	empl.	19905	0	4648	5255	3895	13798	3720	         [f]	         [j]	         [g]	20494	0	4569	5623	3897	14089	4407	[f]	[j]	[g]	21590	0	4443	5581	4745	14769	4570	790	20129	1461	22296	0	4361	5443	4604	14408	5249	1246	20903	1393	23692	0	4709	5774	5327	15810	4997	1507	22314	1378
235810	5	ann. pay.	594841	8578	103512	137252	117458	366800	137384	         (D)	         (D)	         (D)	636779	10236	106840	151414	121709	390199	164725	(D)	(D)	(D)	688475	19071	107329	148805	150187	425392	176257	29109	630758	57717	758907	8260	106779	154725	157717	427481	210222	61175	698878	60029	841050	12850	123730	171589	188173	496342	209751	70363	776456	64594
235810	5	rec.																																									3216861	86344	648250	641635	641245	2017474	685535	271055	2974064	242797
235910	5	firms	4560	604	1238	868	829	3539	873	126	4538	22	4907	772	1323	872	828	3795	950	137	4882	25	5339	870	1520	963	872	4225	941	140	5306	33	4732	774	1576	772	659	3781	785	136	4702	30	3741	582	975	640	641	2838	756	119	3713	28
235910	5	estab.	4598	604	1238	868	830	3540	879	138	4557	41	4945	772	1323	872	829	3796	955	153	4904	41	5382	870	1520	963	873	4226	948	148	5322	60	4782	774	1576	772	660	3782	789	155	4726	56	3799	582	975	640	642	2839	767	143	3749	50
235910	5	empl.	79102	0	2833	5852	11169	19854	34165	18752	72771	6331	86642	0	2989	5858	11223	20070	37846	20427	78343	8299	93564	0	3383	6436	11945	21764	38381	21164	81309	12255	81995	0	3507	5115	8936	17558	32905	22035	72498	9497	76231	0	2275	4326	8760	15361	30804	19218	65383	10848
235910	5	ann. pay.	2846486	42709	85445	175129	355943	659226	1230497	705885	2595608	250878	3199771	46056	99314	177733	368539	691642	1379392	819782	2890816	308955	3585788	50166	98946	198536	409025	756673	1477727	862833	3097233	488555	3260927	42410	100500	162121	310817	615848	1313363	906425	2835636	425291	3130304	46757	82227	145687	323862	598533	1261753	825803	2686089	444215
235910	5	rec.																																									9798113	233357	450725	482149	963300	2129531	3522228	2668335	8320094	1478019
235920	5	firms	5233	550	2232	1258	770	4810	398	22	5230	3	5411	658	2225	1232	822	4937	445	26	5408	3	5693	750	2325	1267	833	5175	479	35	5689	4	5454	668	2379	1138	755	4940	469	41	5450	4	5112	490	2165	1173	748	4576	486	45	5107	5
235920	5	estab.	5275	557	2232	1260	774	4823	417	28	5268	7	5450	658	2225	1233	826	4942	463	39	5444	6	5772	750	2325	1269	836	5180	495	90	5765	7	5531	668	2379	1138	759	4944	485	98	5527	4	5205	490	2166	1173	752	4581	512	66	5159	46
235920	5	empl.	39584	0	5136	8296	10218	23650	13448	         [g]	         [k]	         [e]	42259	0	5109	8128	11020	24257	15131	2779	42167	92	45837	0	5335	8383	11213	24931	16108	4073	45112	725	47125	0	5381	7617	10055	23053	17171	         [i]	         [k]	         [g]	46220	0	5061	7854	10071	22986	17049	5725	45760	460
235920	5	ann. pay.	1247764	18103	115029	222134	316451	671717	480428	         (D)	         (D)	         (D)	1409795	25110	125744	221578	359812	732244	554937	117423	1404604	5191	1570121	27805	133128	236997	378672	776602	614243	169271	1560116	10005	1756166	26847	134174	216720	360661	738402	706272	         (D)	         (D)	         (D)	1773257	16954	127771	231136	374174	750035	727683	275898	1753616	19641
235920	5	rec.																																									6556872	108757	656758	845164	1260999	2871678	2568376	1032770	6472824	84048
235930	5	firms	23209	4310	12054	3892	1889	22145	987	69	23201	8	25031	4824	12692	4193	2107	23816	1127	76	25019	12	26980	4966	13554	4704	2346	25570	1303	94	26967	13	25383	4761	13660	3720	1814	23955	1293	122	25370	13	22763	4355	11438	3572	1899	21264	1363	120	22747	16
235930	5	estab.	23240	4310	12054	3892	1889	22145	989	89	23223	17	25060	4824	12692	4193	2107	23816	1129	89	25034	26	27005	4966	13554	4704	2346	25570	1305	107	26982	23	25409	4761	13660	3720	1814	23955	1295	135	25385	24	22812	4355	11440	3572	1899	21266	1371	146	22783	29
235930	5	empl.	118521	0	24866	25315	25156	75337	33345	8868	117550	971	133165	0	26305	27288	27776	81369	39099	10901	131369	1796	152542	0	28211	30468	31195	89874	45801	14256	149931	2611	144439	0	27683	23972	23800	75455	48741	17609	141805	2634	145838	0	23821	23351	25206	72378	51083	17902	141363	4475
235930	5	ann. pay.	3979861	128237	648785	693365	776101	2246488	1251713	410496	3908697	71164	4625680	177634	707280	781471	863026	2529411	1492910	493881	4516202	109478	5253631	182792	751347	855413	975278	2764830	1685502	635128	5085460	168171	5482190	163850	749504	694794	815478	2423626	2032079	885516	5341221	140969	5666394	140544	669875	725185	922695	2458299	2103654	858124	5420077	246317
235930	5	rec.																																									22944363	934190	3416727	2845798	3356524	10553239	7899638	3282170	21735047	1209316
235940	5	firms	1336	247	419	238	190	1094	203	32	1329	7	1509	332	467	266	193	1258	211	33	1502	7	1733	375	578	280	214	1447	235	45	1727	6	1895	346	652	303	278	1579	259	49	1887	8	1827	325	589	324	266	1504	275	41	1820	7
235940	5	estab.	1344	247	419	238	190	1094	205	33	1332	12	1519	332	467	266	193	1258	212	37	1507	12	1752	375	578	280	214	1447	237	49	1733	19	1923	346	652	303	278	1579	261	50	1890	33	1874	325	589	324	266	1504	277	63	1844	30
235940	5	empl.	18295	0	892	1608	2641	5141	7259	         [h]	         [j]	         [f]	19447	0	970	1795	2652	5417	7750	5172	18339	1108	21896	0	1205	1840	2908	5953	8569	6289	20811	1085	27056	0	1350	2036	3840	7226	10057	         [i]	         [j]	         [h]	26911	0	1307	2178	3655	7140	10559	5813	23512	3399
235940	5	ann. pay.	638416	14647	25204	44602	85942	170395	256074	         (D)	         (D)	         (D)	702996	17206	29875	50084	91253	188418	280981	180491	649890	53106	808738	19178	35498	51907	97743	204326	308302	241776	754404	54334	953062	22468	39949	61714	131388	255519	394968	         (D)	         (D)	         (D)	950062	21836	41550	66230	125301	254917	395478	225721	876116	73946
235940	5	rec.																																									3448827	128235	239915	253445	444550	1066145	1262895	876561	3205601	243226
235950	5	firms	3294	417	1094	599	563	2673	510	79	3262	32	3582	623	1143	633	543	2942	531	77	3550	32	4026	686	1372	686	613	3357	542	94	3993	33	3840	628	1441	710	502	3281	449	76	3806	34	3135	444	1095	619	459	2617	432	56	3105	30
235950	5	estab.	4065	417	1094	599	566	2676	531	86	3293	772	4374	623	1143	633	545	2944	557	82	3583	791	4820	686	1372	687	614	3359	566	98	4023	797	4600	628	1441	710	505	3284	472	80	3836	764	3912	444	1095	619	462	2620	465	67	3152	760
235950	5	empl.	72618	0	2453	3985	7626	14064	19871	10847	44782	27836	73371	0	2578	4258	7387	14223	20551	9684	44458	28913	80929	0	2951	4627	8413	15991	21041	12754	49786	31143	72616	0	3067	4723	6783	14573	16722	9488	40783	31833	66532	0	2469	4183	6183	12835	16569	6848	36252	30280
235950	5	ann. pay.	3198473	20557	75501	124068	273052	493178	827900	488215	1809293	1389180	3472586	27633	81084	140804	291665	541186	880928	472706	1894820	1577766	3859624	30798	88951	148159	330141	598049	915537	581157	2094743	1764881	3543120	31986	88232	159819	261397	541434	758824	449118	1749376	1793744	3448290	23617	78757	148242	245745	496361	790942	359906	1647209	1801081
235950	5	rec.																																									10416479	111882	342643	476337	767931	1698793	2142183	943817	4784793	5631686
235990	5	firms	29288	5151	13650	5291	3131	27223	1849	162	29234	54	31017	5739	13973	5661	3317	28690	2073	193	30956	61	33328	6227	14889	6089	3650	30855	2200	214	33269	59	31320	5716	15061	5451	3069	29297	1799	171	31267	53	27763	6290	11976	4561	2865	25692	1852	170	27714	49
235990	5	estab.	29510	5151	13650	5291	3142	27234	1889	192	29315	195	31239	5739	13974	5661	3319	28693	2120	229	31042	197	33576	6228	14890	6089	3652	30859	2254	257	33370	206	31559	5716	15063	5452	3073	29304	1837	247	31388	171	28085	6294	11977	4565	2873	25709	1939	259	27907	178
235990	5	empl.	211398	0	29097	34713	41821	105631	64305	22571	192507	18891	229629	0	29438	37166	44123	110727	72094	26440	209261	20368	250147	0	31517	39831	48599	119947	77067	31780	228794	21353	217747	0	31584	35939	40601	108124	64137	24698	196959	20788	205384	0	25332	30114	38474	93920	66972	25290	186182	19202
235990	5	ann. pay.	6042557	159606	677600	842520	1138013	2817739	1931450	750274	5499463	543094	6824911	236143	715926	943242	1222833	3118144	2194227	897845	6210216	614695	7708745	232729	784715	1032225	1412747	3462416	2448088	1077137	6987641	721104	7016571	201105	805393	936440	1196615	3139553	2161281	941139	6241973	774598	6945057	233258	651979	838500	1181279	2905016	2331171	1026221	6262408	682649
235990	5	rec.																																									24723239	1464203	3496563	3269729	3994243	12224738	7252011	2951671	22428420	2294819
311111	5	firms	131	9	33	15	15	72	27	16	115	16	136	20	32	15	13	80	27	13	120	16	138	17	33	18	14	82	27	14	123	15	150	19	44	20	14	97	25	13	135	15	157	18	52	14	17	101	28	15	144	13
311111	5	estab.	201	9	33	15	15	72	30	22	124	77	203	20	32	15	13	80	28	16	124	79	202	17	33	18	14	82	28	16	126	76	214	19	44	20	14	97	25	18	140	74	222	18	52	14	17	101	32	25	158	64
311111	5	empl.	15592	0	70	94	217	381	1133	2324	3838	11754	15525	0	65	103	185	353	1251	1786	3390	12135	15760	0	68	124	178	370	1334	1978	3682	12078	15042	0	103	138	213	454	1182	2068	3704	11338	13491	0	113	94	243	450	1219	2643	4312	9179
311111	5	ann. pay.	569139	664	1258	1664	4901	8487	36158	85376	130021	439118	583194	1442	1059	2280	3881	8662	37556	80687	126905	456289	611022	543	1017	2077	5015	8652	38124	91482	138258	472764	589683	3089	1947	3754	5347	14137	37357	99160	150654	439029	590354	895	2599	2077	7206	12777	42415	116389	171581	418773
311111	5	rec.																																									9894674	10387	31877	26451	77623	146338	397102	1148015	1691455	8203219
311119	5	firms	962	48	197	199	197	641	210	53	904	58	978	55	207	208	180	650	212	56	918	60	998	44	226	192	191	653	219	58	930	68	1031	49	251	188	192	680	226	65	971	60	1032	61	243	191	187	682	224	68	974	58
311119	5	estab.	1511	48	197	199	198	642	242	143	1027	484	1508	55	207	208	183	653	245	136	1034	474	1508	44	226	192	194	656	250	139	1045	463	1565	49	251	188	196	684	261	144	1089	476	1561	61	243	192	190	686	267	144	1097	464
311119	5	empl.	33492	0	485	1332	2599	4416	7312	4941	16669	16823	34859	0	507	1370	2370	4247	7596	5572	17415	17444	35041	0	540	1278	2525	4343	7702	5019	17064	17977	34193	0	587	1228	2532	4347	7988	5777	18112	16081	33521	0	595	1242	2530	4367	7914	5663	17944	15577
311119	5	ann. pay.	1050919	15314	10351	32225	68401	126291	225604	150698	502593	548326	1141602	8205	10588	32977	70875	122645	243823	188188	554656	586946	1125872	2300	11757	31626	71377	117060	256212	167154	540426	585446	1174397	3868	15919	31067	68692	119546	283571	207009	610126	564271	1197504	44622	15177	34189	75371	169359	271528	206979	647866	549638
311119	5	rec.																																									19196816	727417	195274	384854	877157	2184702	3119469	3182362	8486533	10710283
311211	5	firms	248	10	65	44	40	159	48	20	227	21	250	17	64	45	34	160	50	19	229	21	254	20	54	54	29	157	54	24	235	19	258	21	61	49	35	166	49	24	239	19	219	16	47	30	37	130	49	24	203	16
311211	5	estab.	373	10	65	44	40	159	53	45	257	116	377	17	64	45	34	160	54	48	262	115	393	20	54	54	29	157	59	58	274	119	395	21	61	49	35	166	53	58	277	118	346	16	47	30	38	131	51	59	241	105
311211	5	empl.	13333	         [a]	         [c]	291	531	977	1673	2739	5389	7944	13741	0	164	300	481	945	1807	2971	5723	8018	13392	         [a]	         [c]	349	392	873	1849	3409	6131	7261	13279	0	152	320	472	944	1744	3777	6465	6814	12267	         [a]	         [c]	192	491	799	1776	3299	5874	6393
311211	5	ann. pay.	489610	         (D)	         (D)	4633	13645	24040	48246	104448	176734	312876	485495	1463	3136	5046	12846	22491	53215	104100	179806	305689	486032	         (D)	         (D)	6525	9582	20147	55981	130852	206980	279052	468844	1878	2792	7308	10940	22918	55418	135516	213852	254992	463015	         (D)	         (D)	4066	12041	20047	59623	128623	208293	254722
311211	5	rec.																																									6722479	         (D)	         (D)	59674	134767	         (D)	630469	1404172	2279907	4442572
311212	5	firms	52	1	7	7	6	21	18	6	45	7	54	3	7	6	4	20	21	6	47	7	54	2	5	6	8	21	19	7	47	7	56	4	6	9	6	25	17	7	49	7	60	2	13	8	7	30	16	7	53	7
311212	5	estab.	64	1	7	7	6	21	20	7	48	16	64	3	7	6	4	20	23	8	51	13	64	2	5	6	8	21	20	10	51	13	65	4	6	9	6	25	18	10	53	12	72	2	13	10	7	32	17	10	59	13
311212	5	empl.	3986	         [a]	         [a]	         [b]	74	         [c]	         [f]	         [g]	1927	2059	4059	0	[a]	[b]	55	116	[f]	[f]	1871	2188	4086	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	1110	2047	2039	3831	         [a]	         [a]	62	         [b]	         [c]	         [f]	920	1821	2010	4172	         [a]	         [b]	62	103	         [c]	         [f]	         [f]	1807	2365
311212	5	ann. pay.	125693	         (D)	         (D)	         (D)	3284	         (D)	         (D)	         (D)	60863	64830	119041	82	(D)	(D)	1480	4434	(D)	(D)	55042	63999	123910	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31324	59034	64876	121465	         (D)	         (D)	2109	         (D)	         (D)	         (D)	28378	56742	64723	130336	         (D)	         (D)	2237	4279	         (D)	         (D)	         (D)	60185	70151
311212	5	rec.																																									1708084	         (D)	         (D)	31584	42157	         (D)	         (D)	         (D)	711747	996337
311213	5	firms	19	2	6	1	0	9	2	3	14	5	21	4	7	1	0	12	3	2	17	4	19	0	8	1	1	10	2	3	15	4	18	2	6	0	1	9	2	3	14	4	17	1	7	0	0	8	2	2	12	5
311213	5	estab.	32	2	6	1	0	9	2	7	18	14	36	4	7	1	0	12	3	8	23	13	34	0	8	1	1	10	2	9	21	13	32	2	6	0	1	9	2	5	16	16	29	1	7	0	0	8	2	4	14	15
311213	5	empl.	1041	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [b]	         [e]	504	537	1120	0	[a]	[a]	0	18	[c]	[e]	559	561	1134	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	444	578	556	1096	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	205	339	757	893	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [c]	292	601
311213	5	ann. pay.	43453	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	21409	22044	47770	79	(D)	(D)	0	344	(D)	(D)	23295	24475	48404	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20487	23908	24496	48987	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	10414	13818	35169	43411	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	12712	30699
311213	5	rec.																																									481675	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	133387	348288
311221	5	firms	33	2	6	4	3	15	3	3	21	12	31	1	6	3	1	11	6	2	19	12	33	0	6	5	1	12	7	3	22	11	33	0	5	6	1	12	7	3	22	11	30	1	6	5	1	13	5	2	20	10
311221	5	estab.	59	2	6	4	3	15	5	5	25	34	58	1	6	3	1	11	8	4	23	35	61	0	6	5	1	12	10	5	27	34	61	0	5	6	1	12	10	5	27	34	58	1	6	5	1	13	5	4	22	36
311221	5	empl.	9272	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	150	         [f]	969	8303	9610	[a]	[a]	[a]	[a]	[b]	268	[f]	949	8661	9817	0	         [a]	30	         [a]	54	361	722	1137	8680	9394	0	         [a]	         [b]	         [a]	68	376	715	1159	8235	9087	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	175	         [f]	818	8269
311221	5	ann. pay.	421481	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5233	         (D)	41467	380014	437568	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	9795	(D)	42772	394796	470047	0	         (D)	561	         (D)	1419	12493	36530	50442	419605	465923	0	         (D)	         (D)	         (D)	2031	12520	35822	50373	415550	499399	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	7554	         (D)	40595	458804
311221	5	rec.																																									8216050	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	66451	         (D)	353340	7862710
311222	5	firms	49	1	14	8	5	28	6	5	39	10	49	4	9	10	5	28	7	4	39	10	47	2	10	9	8	29	3	5	37	10	53	6	8	10	7	31	5	6	42	11	51	3	6	10	10	29	6	5	40	11
311222	5	estab.	96	1	14	8	5	28	6	7	41	55	102	4	9	10	5	28	7	6	41	61	105	2	10	9	8	29	3	9	41	64	109	6	8	10	7	31	5	10	46	63	109	3	6	10	10	29	6	9	44	65
311222	5	empl.	6017	         [a]	         [b]	         [b]	64	154	252	522	928	5089	6497	[a]	[b]	62	[b]	[c]	316	463	[f]	[i]	6381	         [a]	         [b]	62	110	197	121	470	788	5593	6367	0	22	60	86	168	158	609	935	5432	6139	0	12	67	125	204	204	576	984	5155
311222	5	ann. pay.	221920	         (D)	         (D)	         (D)	1784	3621	8605	15896	28122	193798	244920	(D)	(D)	1471	(D)	(D)	9512	15398	(D)	(D)	249676	         (D)	         (D)	1358	3792	6102	3447	18581	28130	221546	273731	7412	772	1603	1979	11766	5314	23928	41008	232723	247004	1762	556	1229	3552	7099	5161	20849	33109	213895
311222	5	rec.																																									12944245	60581	12465	43536	103235	219817	240098	560883	1020798	11923447
311223	5	firms	34	2	7	1	2	12	10	6	28	6	33	3	4	2	4	13	10	6	29	4	33	1	5	4	2	12	10	7	29	4	35	2	8	2	4	16	8	6	30	5	33	0	6	3	4	13	10	5	28	5
311223	5	estab.	59	2	7	1	2	12	10	11	33	26	56	3	4	2	4	13	12	9	34	22	52	1	5	4	2	12	11	10	33	19	50	2	8	2	4	16	8	8	32	18	43	0	6	3	4	13	11	6	30	13
311223	5	empl.	3083	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	500	         [f]	1207	1876	2201	[a]	6	[a]	[b]	[b]	523	[f]	[g]	[g]	2296	         [a]	         [a]	31	         [b]	73	560	506	1139	1157	2069	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	91	473	396	960	1109	1823	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	567	         [e]	1001	822
311223	5	ann. pay.	91871	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15732	         (D)	32812	59059	66550	(D)	218	(D)	(D)	(D)	17007	(D)	(D)	(D)	72625	         (D)	         (D)	506	         (D)	1704	18438	14787	34929	37696	70306	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3297	17560	13045	33902	36404	64433	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21577	         (D)	35018	29415
311223	5	rec.																																									1355737	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	353567	         (D)	588646	767091
311225	5	firms	87	8	12	17	7	44	15	8	67	20	92	2	14	20	8	44	19	8	71	21	92	7	16	16	8	47	18	7	72	20	91	7	19	15	7	48	20	5	73	18	75	5	9	14	7	35	16	7	58	17
311225	5	estab.	140	8	12	17	7	44	19	8	71	69	136	2	14	20	8	44	23	8	75	61	139	7	16	16	8	47	24	7	78	61	140	7	19	15	7	48	26	5	79	61	114	5	9	14	7	35	20	7	62	52
311225	5	empl.	9526	         [a]	         [b]	109	89	228	690	806	1724	7802	9388	[a]	[b]	127	117	279	813	904	1996	7392	9163	         [a]	         [b]	110	117	264	840	709	1813	7350	8735	         [a]	         [b]	102	101	249	972	568	1789	6946	7201	0	18	95	101	214	757	703	1674	5527
311225	5	ann. pay.	342473	         (D)	         (D)	2206	2120	6143	25380	24035	55558	286915	318600	(D)	(D)	2529	2354	5627	30037	22022	57686	260914	318997	         (D)	         (D)	2683	2145	6455	34406	21927	62788	256209	329119	         (D)	         (D)	2222	2272	6933	37839	20630	65402	263717	273859	1325	375	2230	2574	6504	31395	29873	67772	206087
311225	5	rec.																																									6275014	21223	6040	32141	36532	95936	576455	464590	1136981	5138033
311230	5	firms	48	2	10	4	4	20	6	9	35	13	48	1	12	3	7	23	4	9	36	12	43	2	8	4	4	18	8	8	34	9	43	3	7	4	5	19	5	9	33	10	41	1	6	6	4	17	6	7	30	11
311230	5	estab.	67	2	10	4	4	20	6	9	35	32	68	1	12	3	7	23	4	9	36	32	65	2	8	4	4	18	8	8	34	31	64	3	7	4	5	19	5	9	33	31	61	1	6	6	4	17	6	7	30	31
311230	5	empl.	13040	         [a]	         [b]	25	59	105	224	1725	2054	10986	14056	[a]	[b]	21	104	155	155	1737	2047	12009	13584	         [a]	         [a]	23	59	101	267	1662	2030	11554	12872	         [a]	         [a]	23	83	121	189	1664	1974	10898	12949	         [a]	         [a]	38	65	120	231	1396	1747	11202
311230	5	ann. pay.	633727	         (D)	         (D)	398	2023	2891	6362	50037	59290	574437	711854	(D)	(D)	577	4450	5769	4498	52930	63197	648657	690579	         (D)	         (D)	481	1921	2833	8463	47082	58378	632201	690946	         (D)	         (D)	906	3344	7088	6573	50533	64194	626752	701096	         (D)	         (D)	1241	863	2428	8708	45328	56464	644632
311230	5	rec.																																									9405412	         (D)	         (D)	17071	6910	         (D)	170536	410422	609920	8795492
311311	5	firms	34	2	2	1	3	8	15	4	27	7	35	2	2	1	3	8	13	5	26	9	35	2	2	2	3	9	15	5	29	6	37	3	4	2	2	11	16	4	31	6	32	0	3	3	4	10	9	7	26	6
311311	5	estab.	40	2	2	1	3	8	16	6	30	10	40	2	2	1	3	8	13	7	28	12	40	2	2	2	3	9	15	7	31	9	41	3	4	2	2	11	16	6	33	8	36	0	3	3	4	10	9	9	28	8
311311	5	empl.	4779	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [f]	         [f]	         [g]	         [h]	6043	[a]	[a]	[a]	[b]	52	[f]	[f]	[g]	[h]	4801	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	52	         [f]	         [f]	         [g]	         [h]	         [h]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [f]	         [f]	         [g]	         [h]	5376	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]
311311	5	ann. pay.	156398	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	199157	(D)	(D)	(D)	(D)	1240	(D)	(D)	(D)	(D)	159392	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1053	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	203796	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
311311	5	rec.																																									1903451	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
311312	5	firms	11	0	3	1	0	4	1	2	7	4	12	1	2	1	1	5	2	1	8	4	10	1	1	1	2	5	1	1	7	3	9	2	2	0	1	5	2	0	7	2	8	0	4	0	1	5	0	1	6	2
311312	5	estab.	17	0	3	1	0	4	1	2	7	10	19	1	2	1	1	5	2	1	8	11	17	1	1	1	2	5	1	1	7	10	17	2	2	0	1	5	2	0	7	10	15	0	4	0	1	5	0	1	6	9
311312	5	empl.	4282	0	         [a]	         [a]	0	12	         [b]	         [e]	         [e]	         [h]	4383	[a]	[a]	[a]	[a]	[b]	[b]	[c]	[e]	[h]	3999	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [e]	         [e]	         [h]	         [h]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [b]	0	         [c]	         [h]	2876	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [h]
311312	5	ann. pay.	211389	0	         (D)	         (D)	0	250	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	234052	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	208518	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	164468	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)
311312	5	rec.																																									2531537	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)
311313	5	firms	11	2	0	0	0	2	1	4	7	4	12	1	1	0	0	2	1	5	8	4	10	0	1	1	0	2	1	3	6	4	12	1	1	0	0	2	1	3	6	6	15	2	2	0	0	4	2	4	10	5
311313	5	estab.	38	2	0	0	0	2	1	4	7	31	39	1	1	0	0	2	1	5	8	31	37	0	1	1	0	2	1	3	6	31	36	1	1	0	0	2	1	3	6	30	39	2	2	0	0	4	2	8	14	25
311313	5	empl.	6937	         [a]	0	0	0	         [a]	         [b]	         [f]	931	6006	7273	[a]	[a]	0	0	[a]	[b]	[g]	1255	6018	7272	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [g]	1119	6153	6534	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [f]	         [f]	         [i]	6132	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	1392	1462	4670
311313	5	ann. pay.	264865	         (D)	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	42786	222079	266380	(D)	(D)	0	0	(D)	(D)	(D)	43066	223314	271794	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	42076	229718	257302	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	237739	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	44662	64999	172740
311313	5	rec.																																									2461180	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	478439	700205	1760975
311320	5	firms	145	14	34	47	19	114	15	11	140	5	141	9	39	36	28	112	15	9	136	5	146	17	39	39	23	118	14	8	140	6	155	14	47	40	30	131	12	6	149	6	120	8	44	26	17	95	12	5	112	8
311320	5	estab.	158	14	34	47	19	114	15	17	146	12	153	9	39	36	28	112	15	14	141	12	158	17	39	39	23	118	14	12	144	14	167	14	47	40	30	131	12	10	153	14	133	8	44	26	18	96	12	7	115	18
311320	5	empl.	10687	0	         [b]	         [e]	         [e]	         [f]	         [f]	2277	3596	7091	9794	0	[c]	[c]	366	701	627	2109	3437	6357	10012	0	96	256	321	673	543	1700	2916	7096	9908	0	         [c]	         [e]	429	810	495	1323	2628	7280	9109	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	528	522	1199	2249	6860
311320	5	ann. pay.	374161	115	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	68352	89007	285154	350487	72	(D)	(D)	4635	9282	10404	68763	88449	262038	351961	743	1735	3380	4387	10245	9444	52896	72585	279376	361874	491	         (D)	         (D)	5756	11658	9075	51857	72590	289284	367016	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10870	9813	46668	67351	299665
311320	5	rec.																																									3951877	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	57414	475523	639315	3312562
311330	5	firms	857	84	220	165	170	639	151	46	836	21	793	44	219	164	148	575	153	46	774	19	760	60	196	149	147	552	147	43	742	18	801	74	201	156	157	588	146	44	778	23	808	71	199	160	158	588	152	49	789	19
311330	5	estab.	935	85	222	165	177	649	176	63	888	47	874	45	220	164	153	582	179	66	827	47	837	62	196	149	154	561	163	64	788	49	873	75	201	157	163	596	159	66	821	52	873	71	199	161	164	595	164	69	828	45
311330	5	empl.	34286	0	510	1111	2222	3843	5349	7708	16900	17386	32903	0	494	1111	1906	3511	5441	6758	15710	17193	33222	0	476	1035	1931	3442	5189	5749	14380	18842	36005	0	458	1092	2056	3606	5161	5781	14548	21457	33429	0	468	1069	2034	3571	5378	6519	15468	17961
311330	5	ann. pay.	926140	1711	6762	14032	30023	52528	98589	177596	328713	597427	935217	1421	6686	13574	24190	45871	101466	165921	313258	621959	969845	7575	7943	13699	26394	55611	108485	151511	315607	654238	1013176	2348	7326	14172	29173	53019	114387	152931	320337	692839	970007	5464	7222	14449	29742	56877	113496	169840	340213	629794
311330	5	rec.																																									8975142	48556	70812	80144	154307	353819	603374	974233	1931426	7043716
311340	5	firms	583	62	204	122	71	459	73	34	566	17	571	67	203	103	76	449	71	35	555	16	559	70	179	108	77	434	73	37	544	15	575	64	197	106	75	442	80	34	556	19	586	54	195	124	80	453	84	32	569	17
311340	5	estab.	627	62	204	122	76	464	80	39	583	44	610	67	203	104	82	456	75	39	570	40	600	70	179	110	81	440	81	40	561	39	616	64	198	106	79	447	89	37	573	43	619	54	195	125	83	457	88	33	578	41
311340	5	empl.	25320	         [a]	         [e]	808	887	2140	2553	6700	11393	13927	24834	0	469	692	991	2152	2705	6080	10937	13897	24800	0	396	715	1000	2111	2775	6720	11606	13194	26409	0	421	678	964	2063	2953	6736	11752	14657	24284	0	415	816	1048	2279	3185	5926	11390	12894
311340	5	ann. pay.	782664	         (D)	         (D)	11733	11195	28718	60231	202097	291046	491618	781966	2144	5071	9200	13485	29900	69903	187426	287229	494737	823430	3107	7927	8737	15142	34913	75810	216100	326823	496607	875438	2773	5286	9217	16220	33496	84995	222209	340700	534738	791869	2080	6804	12338	17862	39084	86916	193175	319175	472694
311340	5	rec.																																									5642216	19548	41315	74763	76197	211823	489075	1206718	1907616	3734600
311411	5	firms	169	8	23	15	11	57	40	38	135	34	175	15	23	18	12	68	41	33	142	33	163	8	18	15	18	59	38	34	131	32	165	13	18	12	18	61	43	32	136	29	151	5	19	7	18	49	40	35	124	27
311411	5	estab.	255	8	23	15	11	57	42	52	151	104	261	15	23	19	12	69	45	44	158	103	251	8	18	15	18	59	40	47	146	105	257	13	18	12	18	61	45	46	152	105	243	5	19	7	18	49	41	52	142	101
311411	5	empl.	40284	         [a]	         [b]	109	150	305	2149	7175	9629	30655	40099	0	52	124	161	337	2271	6562	9170	30929	37491	0	33	96	241	370	1902	6075	8347	29144	38941	0	32	79	249	360	2086	6961	9407	29534	35851	0	30	48	237	315	1721	6696	8732	27119
311411	5	ann. pay.	1027385	         (D)	         (D)	4604	3752	11924	64001	173504	249429	777956	1048377	1120	1127	6983	3744	12974	70454	165483	248911	799466	1054166	434	798	4644	9020	14896	60832	165955	241683	812483	1097554	1444	932	3313	10202	15891	65043	188814	269748	827806	1064528	628	993	3308	9700	14629	55525	183844	253998	810530
311411	5	rec.																																									9490329	40076	9319	17694	59738	126827	449789	1503503	2080119	7410210
311412	5	firms	347	10	53	50	56	169	97	36	302	45	348	25	43	48	60	176	94	36	306	42	357	27	58	45	56	186	90	39	315	42	355	30	59	45	55	189	87	39	315	40	347	23	68	36	57	184	83	40	307	40
311412	5	estab.	401	10	54	50	56	170	97	43	310	91	401	25	44	48	60	177	94	44	315	86	409	27	59	45	56	187	90	45	322	87	408	30	60	45	55	190	87	45	322	86	401	23	68	36	57	184	83	49	316	85
311412	5	empl.	48184	         [a]	         [c]	358	720	1213	3969	6721	11903	36281	50589	0	100	328	823	1251	4119	7672	13042	37547	48431	0	118	315	800	1233	3793	6902	11928	36503	47297	0	119	303	765	1187	3541	6753	11481	35816	46912	0	157	247	791	1195	3503	6601	11299	35613
311412	5	ann. pay.	1250581	         (D)	         (D)	5270	13065	22856	93986	164448	281290	969291	1367259	6264	2053	4411	16622	29350	98107	187794	315251	1052008	1381358	6746	2847	6287	17634	33514	90024	189938	313476	1067882	1417519	3724	2649	5999	17618	29990	93516	199850	323356	1094163	1380140	1025	3036	5687	19271	29019	98464	199763	327246	1052894
311412	5	rec.																																									12003320	8463	23348	41811	118094	191716	705666	1319619	2217001	9786319
311421	5	firms	680	48	167	99	84	398	155	78	631	49	662	58	172	93	72	395	145	65	605	57	647	50	159	82	87	378	152	62	592	55	651	58	147	84	96	385	144	71	600	51	635	47	157	84	83	371	141	64	576	59
311421	5	estab.	845	48	167	99	84	398	160	103	661	184	829	58	172	93	72	395	149	92	636	193	813	50	159	82	87	378	158	87	623	190	810	58	147	84	96	385	150	102	637	173	781	47	157	84	83	371	144	96	611	170
311421	5	empl.	53037	0	355	673	1135	2163	6599	13659	22421	30616	50843	0	368	616	993	1977	6134	10601	18712	32131	51237	0	337	541	1182	2060	6386	11286	19732	31505	50637	0	332	557	1340	2229	5909	12350	20488	30149	48545	0	316	572	1191	2079	5878	11394	19351	29194
311421	5	ann. pay.	1839473	3636	6990	11552	31731	53909	208341	429895	692145	1147328	1880812	14836	6467	12911	27843	62057	198166	374349	634572	1246240	1998264	4268	6231	11426	35273	57198	206182	384127	647507	1350757	1955352	4810	5957	12573	38953	62293	206334	431937	700564	1254788	1989516	4084	8651	12628	36735	62098	201990	425478	689566	1299950
311421	5	rec.																																									18976193	32432	87428	105645	269219	494724	1525502	3296791	5317017	13659176
311422	5	firms	120	5	38	19	10	72	18	10	100	20	124	12	31	21	10	74	20	10	104	20	128	14	32	22	8	76	24	9	109	19	132	16	28	23	14	81	24	9	114	18	114	10	23	18	10	61	24	9	94	20
311422	5	estab.	138	5	38	19	10	72	18	11	101	37	140	12	31	21	10	74	20	11	105	35	142	14	32	22	8	76	24	10	110	32	148	16	28	23	14	81	24	11	116	32	128	10	23	18	10	61	24	11	96	32
311422	5	empl.	15746	0	85	123	151	359	834	1890	3083	12663	16789	0	70	145	146	361	905	1957	3223	13566	16778	0	72	143	111	326	1025	2055	3406	13372	16707	0	67	153	198	418	1016	1906	3340	13367	14767	0	59	114	128	301	1025	1998	3324	11443
311422	5	ann. pay.	535480	96	2353	1618	3149	7216	24545	57334	89095	446385	549236	1546	1476	2379	3364	8765	21871	55609	86245	462991	539773	7472	1438	2214	2151	13275	25582	60202	99059	440714	538438	1106	1549	2052	3362	8069	31115	57880	97064	441374	559573	1058	1200	1840	2714	6812	32623	73084	112519	447054
311422	5	rec.																																									9135795	17125	16013	25700	33688	92526	296976	587547	977049	8158746
311423	5	firms	140	14	28	16	15	73	26	25	124	16	145	12	29	13	20	74	30	22	126	19	150	21	31	8	22	82	29	23	134	16	149	13	35	13	18	79	32	22	133	16	131	10	25	13	18	66	30	16	112	19
311423	5	estab.	169	14	28	16	15	73	26	41	140	29	174	12	29	13	20	74	40	28	142	32	181	21	31	8	22	82	38	32	152	29	181	13	35	13	19	80	32	40	152	29	168	10	25	13	18	66	43	22	131	37
311423	5	empl.	13226	0	57	110	217	384	1225	4863	6472	6754	13183	0	68	89	292	449	1460	4181	6090	7093	12713	0	79	57	302	438	1436	4142	6016	6697	11813	0	86	90	245	421	1382	3792	5595	6218	12830	0	53	95	236	384	1470	2848	4702	8128
311423	5	ann. pay.	390658	6011	813	2123	5339	14286	31358	134752	180396	210262	403062	1220	1100	1343	6653	10316	41461	112111	163888	239174	406035	1245	1266	987	7519	11017	41730	116586	169333	236702	376612	3386	1652	1466	6251	12755	39106	114872	166733	209879	411984	932	1489	2174	5404	9999	43994	90270	144263	267721
311423	5	rec.																																									3941503	7515	12426	14140	41626	75707	334368	1139770	1549845	2391658
311511	5	firms	375	13	59	44	37	153	96	59	308	67	358	12	58	42	44	156	91	58	305	53	344	12	66	35	32	145	91	55	291	53	349	14	66	35	43	158	84	52	294	55	317	6	58	30	35	129	81	51	261	56
311511	5	estab.	608	13	59	44	37	153	99	72	324	284	598	12	58	42	44	156	95	70	321	277	576	12	66	35	32	145	92	70	307	269	578	14	66	35	43	158	89	62	309	269	537	6	58	30	35	129	85	59	273	264
311511	5	empl.	57520	0	         [c]	312	         [f]	957	4124	9771	14852	42668	57346	0	126	274	594	994	3931	9716	14641	42705	56944	0	152	235	424	811	3785	8843	13439	43505	57087	0	156	236	612	1004	3545	8611	13160	43927	56617	0	137	198	490	825	3256	8897	12978	43639
311511	5	ann. pay.	1948035	2677	         (D)	5856	         (D)	25164	117966	333504	476634	1471401	2049930	1056	2854	5256	13661	22827	119912	367847	510586	1539344	2175171	709	3323	4906	9649	18587	120121	338697	477405	1697766	2225826	705	3449	5110	14332	23596	111832	352005	487433	1738393	2267772	64	3968	4571	12062	20665	104606	363442	488713	1779059
311511	5	rec.																																									25566516	860	48350	52184	114772	216166	1138700	3194479	4549345	21017171
311512	5	firms	29	2	2	3	7	14	6	4	24	5	29	2	5	0	7	14	6	4	24	5	30	0	7	1	6	14	6	4	24	6	32	3	6	3	4	16	6	3	25	7	28	2	6	3	2	13	6	3	22	6
311512	5	estab.	33	2	2	3	7	14	6	4	24	9	32	2	5	0	7	14	6	4	24	8	33	0	7	1	6	14	6	5	25	8	36	3	6	3	4	16	6	3	25	11	30	2	6	3	2	13	6	3	22	8
311512	5	empl.	1617	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	122	314	554	990	627	1597	[a]	[a]	0	107	122	293	491	906	691	1649	0	         [a]	         [a]	94	118	272	614	1004	645	1748	0	15	19	57	91	234	496	821	927	1604	         [a]	         [a]	19	         [b]	57	238	531	826	778
311512	5	ann. pay.	60131	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3366	15631	19067	38064	22067	58474	(D)	(D)	0	2936	3161	12691	18678	34530	23944	62729	0	         (D)	         (D)	2680	3098	7628	27340	38066	24663	64112	75	189	243	2740	3247	6096	20493	29836	34276	60143	         (D)	         (D)	235	         (D)	1751	7190	22381	31322	28821
311512	5	rec.																																									1361251	         (D)	         (D)	8515	         (D)	         (D)	141041	425112	609955	751296
311513	5	firms	405	21	66	62	60	209	128	36	373	32	398	21	64	57	59	201	131	37	369	29	392	21	62	55	59	197	126	40	363	29	404	24	70	54	63	211	119	43	373	31	386	20	65	57	57	199	119	38	356	30
311513	5	estab.	538	21	66	62	60	209	133	47	389	149	533	21	64	57	59	201	135	54	390	143	527	21	62	55	59	197	134	55	386	141	536	24	70	54	63	211	127	55	393	143	522	20	65	57	57	199	124	50	373	149
311513	5	empl.	36215	0	144	399	840	1383	5661	6131	13175	23040	36541	0	148	376	822	1346	6169	6681	14196	22345	37300	0	131	372	843	1346	5854	7253	14453	22847	38559	0	159	363	896	1418	5632	7344	14394	24165	37636	0	145	392	811	1348	5307	5926	12581	25055
311513	5	ann. pay.	1037347	2299	2640	8913	20724	34576	143415	187269	365260	672087	1132077	11661	2837	8021	22436	44955	154824	212695	412474	719603	1219318	893	2470	7901	21435	32699	158983	252656	444338	774980	1266821	8206	3576	6691	23755	42228	154400	245945	442573	824248	1265928	1100	3107	8498	21567	34272	161398	209283	404953	860975
311513	5	rec.																																									21853334	19849	51755	134598	309200	515402	2048432	3505340	6069174	15784160
311514	5	firms	170	10	31	17	26	84	39	23	146	24	172	12	30	17	21	80	43	23	146	26	169	14	33	14	19	80	42	19	141	28	171	12	33	17	23	85	37	19	141	30	160	20	19	18	16	73	35	19	127	33
311514	5	estab.	216	10	31	17	26	84	42	33	159	57	218	12	30	17	21	80	46	34	160	58	214	14	33	14	19	80	45	29	154	60	215	12	33	17	23	85	39	29	153	62	207	20	19	18	16	73	36	28	137	70
311514	5	empl.	15714	         [a]	         [b]	         [c]	336	523	1553	2573	4649	11065	16253	[a]	[b]	123	275	471	1773	2920	5164	11089	16108	0	         [b]	         [b]	250	437	1783	2696	4916	11192	14899	0	77	114	288	479	1536	2696	4711	10188	14312	         [a]	         [b]	131	         [c]	383	1328	2136	3847	10465
311514	5	ann. pay.	616750	         (D)	         (D)	         (D)	17260	23723	47930	84018	155671	461079	679703	(D)	(D)	3637	12176	19200	54662	104142	178004	501699	713174	1827	         (D)	         (D)	9468	16874	66267	94413	177554	535620	609491	731	2517	4399	13980	21627	57409	92189	171225	438266	623028	         (D)	         (D)	4204	         (D)	15748	51217	77207	144172	478856
311514	5	rec.																																									9678570	         (D)	         (D)	33547	         (D)	         (D)	520112	1062787	1697557	7981013
311520	5	firms	401	60	95	62	59	276	61	25	362	39	380	58	84	64	54	260	68	18	346	34	380	56	92	58	61	267	60	20	347	33	373	47	96	69	51	263	64	16	343	30	364	60	98	45	55	258	61	19	338	26
311520	5	estab.	444	60	95	62	59	276	64	27	367	77	425	58	84	64	54	260	71	18	349	76	419	56	92	58	61	267	63	20	350	69	409	47	96	69	51	263	67	17	347	62	401	60	98	45	55	258	64	21	343	58
311520	5	empl.	20415	0	206	421	783	1410	2197	3079	6686	13729	20374	0	188	417	734	1339	2418	2044	5801	14573	20016	0	192	382	772	1346	2233	2543	6122	13894	19506	0	233	464	673	1370	2539	2529	6438	13068	19105	0	207	303	765	1275	2269	3248	6792	12313
311520	5	ann. pay.	643615	7939	3790	7061	16341	35131	51181	89921	176233	467382	635448	2254	3008	6651	15768	27681	58581	59568	145830	489618	659263	5316	4282	6372	16551	32521	54324	73040	159885	499378	657282	2091	5570	9013	15061	31735	66600	78396	176731	480551	642921	2389	5355	5942	16280	29966	59310	86549	175825	467096
311520	5	rec.																																									7076979	25130	58350	56370	136972	276822	401921	615316	1294059	5782920
311611	5	firms	2061	160	879	417	276	1732	203	72	2007	54	2073	227	812	415	277	1731	215	74	2020	53	1990	200	808	413	251	1672	194	74	1940	50	2014	215	807	426	235	1683	210	77	1970	44	1728	164	666	389	197	1416	202	71	1689	39
311611	5	estab.	2151	160	879	417	276	1732	210	76	2018	133	2159	227	812	415	277	1731	219	79	2029	130	2079	200	808	414	251	1673	196	81	1950	129	2111	215	807	428	235	1685	212	86	1983	128	1816	164	666	390	198	1418	203	78	1699	117
311611	5	empl.	146305	0	2028	2729	3694	8451	8932	11135	28518	117787	150882	0	1884	2701	3649	8234	9113	11789	29136	121746	152454	0	1872	2688	3419	7979	8555	12692	29226	123228	155827	0	1898	2768	3200	7866	8935	13635	30436	125391	148551	0	1598	2542	2665	6805	8367	11894	27066	121485
311611	5	ann. pay.	3529468	6881	28081	36504	59912	131378	189868	274678	595924	2933544	3809887	22453	25848	35944	59970	144215	205029	303933	653177	3156710	4053398	36996	28398	36330	60075	161799	200126	329994	691919	3361479	4130212	12325	30607	45102	58186	146220	209408	368479	724107	3406105	4016002	6851	25014	40362	52193	124420	212843	353780	691043	3324959
311611	5	rec.																																									55774606	91417	308328	495826	539361	1434932	1913696	4120875	7469503	48305103
311612	5	firms	1147	57	224	166	178	625	313	137	1075	72	1128	61	218	168	171	618	305	136	1059	69	1108	46	227	165	164	602	304	135	1041	67	1108	67	224	154	161	606	302	132	1040	68	1142	59	254	173	157	643	301	129	1073	69
311612	5	estab.	1289	57	224	166	178	625	323	166	1114	175	1273	61	218	168	171	618	314	160	1092	181	1252	46	227	165	165	603	310	157	1070	182	1247	67	224	154	161	606	311	148	1065	182	1286	59	254	173	157	643	313	147	1103	183
311612	5	empl.	91138	0	534	1099	2514	4147	13542	23594	41283	49855	92561	0	514	1124	2361	3999	13219	22934	40152	52409	96713	0	514	1103	2286	3903	13370	22691	39964	56749	96738	0	515	1023	2177	3715	13296	20434	37445	59293	100273	0	571	1156	2137	3864	12388	21313	37565	62708
311612	5	ann. pay.	2599702	14601	10102	27544	58527	110774	389571	688002	1188347	1411355	2700790	9903	11236	22422	55199	98760	390421	681980	1171161	1529629	2844629	6046	10969	23840	57169	98024	386839	677979	1162842	1681787	2860850	8984	12388	23870	57053	102295	385080	614583	1101958	1758892	3026041	19283	12723	27074	57021	116101	387288	698647	1202036	1824005
311612	5	rec.																																									26974525	112912	119580	285655	519400	1037547	3305833	5594043	9937423	17037102
311613	5	firms	131	6	14	13	25	58	40	8	106	25	122	2	21	10	18	51	40	6	97	25	124	4	20	11	17	52	39	6	97	27	122	5	19	13	19	56	33	7	96	26	116	4	17	13	15	49	36	10	95	21
311613	5	estab.	237	6	14	14	25	59	46	20	125	112	223	2	21	10	18	51	49	17	117	106	227	4	20	11	17	52	50	16	118	109	228	5	19	13	19	56	43	14	113	115	222	4	17	13	15	49	48	16	113	109
311613	5	empl.	8886	0	31	87	321	439	1347	1095	2881	6005	8238	[a]	[b]	73	249	374	1381	909	2664	5574	8556	0	43	76	235	354	1372	909	2635	5921	8304	0	51	92	280	423	1136	676	2235	6069	9093	0	39	88	219	346	1189	907	2442	6651
311613	5	ann. pay.	280192	162	647	2500	8704	12013	45202	34647	91862	188330	256889	(D)	(D)	2316	6263	9549	45972	29095	84616	172273	275421	151	1345	2060	6610	10166	49098	28704	87968	187453	280144	116	1659	2423	8657	12855	42047	22663	77565	202579	316196	244	1368	2433	6306	10351	46638	36980	93969	222227
311613	5	rec.																																									2145863	2040	8800	15186	32662	58688	350340	262695	671723	1474140
311615	5	firms	252	16	29	21	21	87	49	57	193	59	255	22	27	26	17	92	49	50	191	64	257	18	35	21	20	94	44	49	187	70	271	21	42	21	28	112	47	46	205	66	270	25	43	19	25	112	50	46	208	62
311615	5	estab.	467	16	29	21	21	87	49	64	200	267	474	22	27	26	17	92	49	55	196	278	474	18	35	21	20	94	44	54	192	282	488	21	42	21	28	112	47	49	208	280	481	25	43	19	25	112	50	48	210	271
311615	5	empl.	222600	0	62	138	278	478	2164	11537	14179	208421	231456	[a]	[b]	173	211	456	2317	10865	13638	217818	233388	0	74	134	257	465	1850	9084	11399	221989	235308	0	87	138	380	605	2031	9025	11661	223647	237813	0	87	126	321	534	2151	9598	12283	225530
311615	5	ann. pay.	4304158	415	1401	1789	6542	10147	41785	234331	286263	4017895	4663532	(D)	(D)	2982	7424	22752	44895	242370	310017	4353515	4655791	2220	2186	2271	7507	14184	38223	206702	259109	4396682	4901202	3810	2859	2393	13233	22295	47302	204413	274010	4627192	5032901	958	2135	2696	11143	16932	44920	228199	290051	4742850
311615	5	rec.																																									36628858	6946	15993	19255	86606	128800	414450	1420292	1963542	34665316
311711	5	firms	153	20	42	23	24	109	25	9	143	10	159	24	45	27	22	118	22	12	152	7	167	31	47	27	15	120	30	10	160	7	157	16	53	28	17	114	25	9	148	9	131	23	31	20	15	89	21	14	124	7
311711	5	estab.	168	20	42	23	24	109	26	13	148	20	172	24	45	27	22	118	22	18	158	14	181	31	47	27	15	120	30	16	166	15	170	16	53	28	17	114	25	10	149	21	140	23	31	20	15	89	21	17	127	13
311711	5	empl.	5109	         [a]	         [b]	151	328	575	1120	1582	3277	1832	4270	0	98	190	300	588	909	1821	3318	952	4827	0	90	179	191	460	1212	1751	3423	1404	4281	0	113	183	232	528	1039	1117	2684	1597	3888	0	75	131	189	395	873	1761	3029	859
311711	5	ann. pay.	132462	         (D)	         (D)	4559	8450	16726	25283	45038	87047	45415	133026	1426	4578	3827	8715	18546	20540	60813	99899	33127	146094	2046	4320	4340	4244	14950	29055	60872	104877	41217	143108	1585	4724	4652	8107	19068	39077	39631	97776	45332	131492	1676	2472	4372	4633	13153	22661	63101	98915	32577
311711	5	rec.																																									1178688	14974	31277	28589	39652	114492	155019	402029	671540	507148
311712	5	firms	572	57	107	82	76	322	168	53	543	29	578	60	108	83	72	323	164	66	553	25	582	63	127	83	67	340	152	66	558	24	561	60	116	92	65	333	143	61	537	24	520	62	95	73	73	303	131	64	498	22
311712	5	estab.	671	57	107	82	76	322	184	77	583	88	670	60	108	83	72	323	176	94	593	77	673	63	127	83	68	341	163	98	602	71	653	60	116	93	65	334	153	100	587	66	614	62	95	78	74	309	142	99	550	64
311712	5	empl.	38700	         [a]	         [c]	518	1025	1774	7638	8371	17783	20917	38264	0	244	544	934	1722	7520	11763	21005	17259	36943	0	283	554	898	1735	7034	11647	20416	16527	35574	0	270	607	893	1770	6487	12175	20432	15142	34775	0	206	466	1010	1682	5876	12428	19986	14789
311712	5	ann. pay.	823938	         (D)	         (D)	16998	25682	59609	164494	187894	411997	411941	855775	5988	10346	13905	21427	51666	166930	284542	503138	352637	924479	5124	9632	13501	28974	57231	169028	312768	539027	385452	914629	7063	10394	16690	28480	62627	162625	352712	577964	336665	961008	5206	11587	15616	28533	60942	160335	350325	571602	389406
311712	5	rec.																																									7668467	38989	115427	122906	316465	593787	1240966	2698939	4533692	3134775
311811	5	firms	7384	753	2939	1662	1275	6629	683	55	7367	17	6578	608	2802	1471	1071	5952	566	50	6568	10	6288	565	2590	1419	1056	5630	593	53	6276	12	6232	554	2596	1369	1044	5563	605	53	6221	11	6349	607	2569	1403	1078	5657	624	53	6334	15
311811	5	estab.	7673	758	2942	1667	1305	6672	816	134	7622	51	6780	609	2805	1478	1089	5981	638	122	6741	39	6499	565	2594	1426	1080	5665	654	134	6453	46	6445	554	2600	1378	1062	5594	688	115	6397	48	6562	608	2573	1408	1099	5688	703	140	6531	31
311811	5	empl.	58638	0	6686	11018	17132	34836	20164	2991	57991	647	50929	0	6423	9766	14196	30385	16446	3245	50076	853	53133	0	5910	9430	14134	29474	18097	4709	52280	853	54001	0	5994	9122	14047	29163	18750	4983	52896	1105	54723	0	6009	9266	14619	29894	19547	4248	53689	1034
311811	5	ann. pay.	694167	16289	72230	114882	188845	392246	247936	43834	684016	10151	643974	32368	73835	106858	160605	373666	206404	49790	629860	14114	758786	25447	76203	116059	175057	392766	263933	90014	746713	12073	870147	57998	83880	118677	188018	448573	293491	109032	851096	19051	927358	40347	79724	118542	207394	446007	345581	88713	880301	47057
311811	5	rec.																																									3267038	221017	279440	388269	681510	1570236	1105874	303286	2979396	287642
311812	5	firms	2391	212	599	392	414	1617	533	145	2295	96	2358	241	582	394	379	1596	533	143	2272	86	2445	287	627	411	373	1698	526	136	2360	85	2641	374	683	442	383	1882	544	129	2555	86	2298	288	574	377	338	1577	504	138	2219	79
311812	5	estab.	2765	212	599	393	415	1619	556	165	2340	425	2729	242	582	395	382	1601	545	175	2321	408	2809	288	628	412	373	1701	534	176	2411	398	3003	375	683	444	383	1885	551	167	2603	400	2652	288	574	379	338	1579	523	179	2281	371
311812	5	empl.	156451	         [a]	         [g]	2645	5663	9718	21462	22487	53667	102784	150148	0	1422	2655	5206	9283	20983	23326	53592	96556	153551	0	1474	2802	5152	9428	21111	23675	54214	99337	159480	0	1567	2963	5258	9788	21875	22025	53688	105792	149818	0	1370	2476	4682	8528	20262	23130	51920	97898
311812	5	ann. pay.	4564534	         (D)	         (D)	35286	83710	148477	415444	623096	1187017	3377517	4650857	15741	24318	53380	77226	170665	431942	666208	1268815	3382042	5093022	17430	25438	43603	79800	166271	477085	692085	1335441	3757581	5184560	21449	27394	48991	91380	189214	489070	686870	1365154	3819406	4995786	31138	22662	43140	82685	179625	483295	725324	1388244	3607542
311812	5	rec.																																									23991833	205942	95888	172602	316046	790478	1765498	2696568	5252544	18739289
311813	5	firms	221	15	37	22	40	114	56	26	196	25	216	13	45	21	36	115	50	28	193	23	216	11	45	27	23	106	53	31	190	26	212	13	44	24	26	107	55	26	188	24	185	9	30	22	21	82	50	27	159	26
311813	5	estab.	242	15	37	22	40	114	56	31	201	41	233	13	45	21	36	115	50	31	196	37	232	11	45	27	23	106	53	33	192	40	231	13	44	24	26	107	55	29	191	40	206	9	30	22	21	82	51	30	163	43
311813	5	empl.	15488	         [a]	         [b]	144	586	814	2430	3681	6925	8563	15473	0	88	134	509	731	2301	4322	7354	8119	16737	0	102	183	334	619	2237	4873	7729	9008	15945	0	96	169	334	599	2442	4472	7513	8432	15755	0	72	147	305	524	2112	4850	7486	8269
311813	5	ann. pay.	425852	         (D)	         (D)	2306	11620	17329	51410	95669	164408	261444	450746	816	2447	2767	11505	17535	54343	112314	184192	266554	492600	450	2289	3916	8176	14831	47744	144664	207239	285361	505650	3364	1938	4080	7735	17117	57587	129578	204282	301368	498646	268	2411	4679	5983	13341	58017	142063	213421	285225
311813	5	rec.																																									3083688	2078	13961	25795	43759	85593	302552	802191	1190336	1893352
311821	5	firms	349	34	92	43	51	220	72	28	320	29	345	39	74	47	53	213	74	29	316	29	337	24	83	52	50	209	74	27	310	27	339	37	86	46	49	218	69	25	312	27	302	30	77	35	42	184	67	26	277	25
311821	5	estab.	411	34	92	43	51	220	77	33	330	81	401	39	74	47	53	213	75	30	318	83	389	24	83	52	50	209	75	28	312	77	395	37	86	46	49	218	70	26	314	81	356	30	77	35	42	184	68	27	279	77
311821	5	empl.	41505	0	186	298	745	1229	3010	4182	8421	33084	37857	0	165	313	739	1217	3030	4571	8818	29039	36723	0	192	354	711	1257	3168	4567	8992	27731	35736	0	185	313	679	1177	2997	4491	8665	27071	35681	0	182	237	587	1006	2995	4609	8610	27071
311821	5	ann. pay.	1341619	1615	2821	3982	10451	18869	73872	117036	209777	1131842	1269192	873	2320	4163	11476	18832	73888	140090	232810	1036382	1274771	698	3045	5161	11594	20498	78844	132990	232332	1042439	1245383	3049	4298	4851	10936	23134	73348	133849	230331	1015052	1242975	1453	3415	3799	11585	20252	82871	133678	236801	1006174
311821	5	rec.																																									10723038	12463	29481	34576	84724	161244	389198	614239	1164681	9558357
311822	5	firms	204	16	42	26	24	108	49	19	176	28	198	11	47	25	24	107	45	16	168	30	187	15	36	27	23	101	41	16	158	29	194	12	44	21	27	104	47	14	165	29	173	9	39	16	21	85	45	17	147	26
311822	5	estab.	250	16	42	26	24	108	51	25	184	66	247	11	47	25	24	107	47	24	178	69	237	15	36	27	23	101	41	26	168	69	242	12	44	21	27	104	49	23	176	66	225	9	39	16	21	85	47	29	161	64
311822	5	empl.	15423	0	107	183	358	648	1852	2415	4915	10508	15854	0	106	175	329	610	1747	2433	4790	11064	15790	0	80	199	341	620	1549	2117	4286	11504	15406	0	100	162	369	631	1935	2115	4681	10725	15621	0	96	109	282	487	1841	2082	4410	11211
311822	5	ann. pay.	494338	925	2319	3626	8172	15042	46607	79458	141107	353231	518809	186	2645	4015	8597	15443	47278	73248	135969	382840	555302	556	1991	4722	7043	14312	51320	66243	131875	423427	552465	861	2248	3678	8915	15702	61299	63490	140491	411974	586474	300	2222	3522	9073	15117	61630	68811	145558	440916
311822	5	rec.																																									5959367	3671	19541	27649	59046	109907	345787	524564	980258	4979109
311823	5	firms	237	10	86	70	40	206	14	10	230	7	228	21	73	64	39	197	14	7	218	10	222	10	72	58	47	187	18	7	212	10	222	16	73	55	40	184	21	9	214	8	226	15	74	59	38	186	26	8	220	6
311823	5	estab.	248	10	86	70	40	206	14	13	233	15	239	21	73	64	39	197	14	10	221	18	231	10	72	58	47	187	18	10	215	16	233	16	73	55	40	184	21	15	220	13	236	15	74	59	38	186	26	11	223	13
311823	5	empl.	5359	0	200	474	500	1174	546	1473	3193	2166	5231	0	180	428	509	1117	564	727	2408	2823	5612	0	176	392	625	1193	618	1135	2946	2666	5116	0	168	369	548	1085	770	1354	3209	1907	4918	0	169	396	524	1089	798	1293	3180	1738
311823	5	ann. pay.	155591	310	2748	6404	8193	17655	16453	59465	93573	62018	149571	637	2365	6360	8322	17684	14010	24166	55860	93711	156140	318	2673	5847	10472	19310	16331	41807	77448	78692	158225	483	2956	5982	10280	19701	19793	52999	92493	65732	155071	889	3064	6825	10535	21313	23139	40050	84502	70569
311823	5	rec.																																									1446804	7516	29346	56453	75448	168763	135823	315634	620220	826584
311830	5	firms	230	26	47	38	31	142	59	25	226	4	227	14	52	33	36	135	64	24	223	4	226	16	54	33	26	129	69	24	222	4	246	18	68	36	30	152	65	24	241	5	272	28	76	35	38	177	66	24	267	5
311830	5	estab.	249	26	47	38	31	142	61	28	231	18	247	14	52	33	36	135	67	27	229	18	247	16	54	33	26	129	73	27	229	18	268	18	68	36	30	152	69	26	247	21	297	28	76	35	38	177	72	29	278	19
311830	5	empl.	11185	0	124	256	441	821	2621	2874	6316	4869	11785	0	140	216	502	858	2918	2800	6576	5209	11785	0	132	222	349	703	3154	2847	6704	5081	12333	0	173	245	424	842	2994	2884	6720	5613	12061	0	178	236	510	924	2997	3112	7033	5028
311830	5	ann. pay.	235439	1447	1829	2647	5882	11805	47632	58660	118097	117342	253601	570	1832	2843	7866	13111	51589	59921	124621	128980	264750	233	2212	3403	4527	10375	56306	64306	130987	133763	294741	999	2677	3634	6188	13498	61181	66975	141654	153087	296011	1201	3288	3262	8943	16694	63100	69128	148922	147089
311830	5	rec.																																									1465053	5879	14999	13627	38874	73379	255350	271648	600377	864676
311911	5	firms	134	13	23	16	13	65	36	12	113	21	138	12	28	16	12	68	36	13	117	21	140	13	29	18	15	75	35	11	121	19	144	11	35	14	14	74	38	15	127	17	125	12	24	11	10	57	37	17	111	14
311911	5	estab.	151	13	23	16	13	65	38	12	115	36	153	12	28	16	12	68	37	13	118	35	156	13	29	18	15	75	36	11	122	34	159	11	35	14	14	74	39	15	128	31	141	12	24	11	10	57	38	18	113	28
311911	5	empl.	10191	0	51	114	199	364	1655	1466	3485	6706	10872	0	62	113	161	336	1562	1643	3541	7331	10190	0	56	129	236	421	1668	1168	3257	6933	9980	0	76	101	196	373	1621	1829	3823	6157	10183	0	50	67	145	262	1545	2338	4145	6038
311911	5	ann. pay.	292785	435	1494	3153	4861	9943	44225	41637	95805	196980	297386	189	2907	2758	4034	9888	44623	36718	91229	206157	315939	287	2373	3444	6040	12144	48638	29938	90720	225219	329745	1397	2954	2173	5003	11527	44220	49602	105349	224396	328370	1452	3238	1703	3470	9863	45378	69777	125018	203352
311911	5	rec.																																									4261567	16126	36630	17672	26741	97169	499338	614827	1211334	3050233
311919	5	firms	329	29	70	50	50	199	84	27	310	19	339	25	88	47	50	210	81	27	318	21	340	30	73	52	46	201	89	27	317	23	320	40	69	46	41	196	77	26	299	21	272	21	52	40	36	149	78	27	254	18
311919	5	estab.	402	29	70	50	50	199	86	39	324	78	412	25	88	47	50	210	83	39	332	80	412	30	73	52	46	201	93	36	330	82	389	40	69	46	41	196	80	38	314	75	339	21	52	41	36	150	81	37	268	71
311919	5	empl.	35146	0	171	346	700	1217	3502	5178	9897	25249	34948	0	210	324	697	1231	3499	5215	9945	25003	32595	0	175	342	642	1159	3754	5020	9933	22662	28374	0	154	315	554	1023	3396	4629	9048	19326	35447	0	115	266	502	883	3150	5341	9374	26073
311919	5	ann. pay.	1105349	1671	3329	4851	12604	22455	79556	144624	246635	858714	1141262	2189	4772	4922	13494	25377	81997	145707	253081	888181	1311827	1047	5756	6206	11567	24576	85693	141973	252242	1059585	833259	3519	3011	5949	13320	25799	89657	143855	259311	573948	1058483	1004	2636	5056	10892	19588	88865	162294	270747	787736
311919	5	rec.																																									12406099	11534	31549	51925	103686	198694	505078	940620	1644392	10761707
311920	5	firms	224	15	54	29	36	134	49	19	202	22	232	20	56	39	25	140	54	18	212	20	261	34	62	49	27	172	52	15	239	22	263	26	56	60	34	176	51	16	243	20	276	36	68	50	32	186	54	18	258	18
311920	5	estab.	255	15	54	29	36	134	51	23	208	47	259	20	56	39	25	140	55	22	217	42	289	34	62	50	27	173	53	19	245	44	291	26	56	60	34	176	52	22	250	41	297	36	69	50	32	187	56	22	265	32
311920	5	empl.	12931	         [a]	         [c]	197	490	825	1860	2477	5162	7769	12260	0	131	266	346	743	2000	2406	5149	7111	12523	0	152	345	376	873	2129	2109	5111	7412	12130	0	123	405	471	999	2095	2405	5499	6631	11423	0	149	337	413	899	1926	2612	5437	5986
311920	5	ann. pay.	450966	         (D)	         (D)	4510	10547	19067	61826	90202	171095	279871	461426	659	2992	5873	9033	18557	72213	94000	184770	276656	486390	1318	3278	10092	9530	24218	81589	80305	186112	300278	478850	1037	3083	10057	12123	26300	74503	87614	188417	290433	467170	8483	3136	9911	10752	32282	75252	97950	205484	261686
311920	5	rec.																																									5443286	50573	148998	100016	76171	375758	464368	671115	1511241	3932045
311930	5	firms	143	4	32	29	23	88	33	9	130	13	142	10	32	24	26	92	32	4	128	14	153	15	39	25	22	101	33	5	139	14	154	13	37	27	19	96	38	7	141	13	135	6	34	22	23	85	33	7	125	10
311930	5	estab.	165	4	32	29	23	88	37	12	137	28	165	10	32	24	26	92	36	7	135	30	177	15	39	25	22	101	36	10	147	30	180	13	37	27	19	96	41	11	148	32	159	6	34	22	23	85	36	11	132	27
311930	5	empl.	5664	         [a]	         [b]	196	309	585	1383	1069	3037	2627	5388	0	74	154	347	575	1395	740	2710	2678	5375	0	89	174	291	554	1452	756	2762	2613	5894	0	85	182	261	528	1618	939	3085	2809	5625	0	86	153	313	552	1365	1026	2943	2682
311930	5	ann. pay.	246984	         (D)	         (D)	7100	12706	22273	70490	30418	123181	123803	238904	963	2404	4476	13202	21045	70758	22738	114541	124363	234611	1676	3150	5446	12663	22935	63777	25557	112269	122342	276365	1053	3143	7429	10968	22593	71791	44550	138934	137431	253610	459	4644	4395	14686	24184	68043	44584	136811	116799
311930	5	rec.																																									8701902	4838	48318	50139	126982	230277	465345	443196	1138818	7563084
311941	5	firms	304	29	87	51	48	215	45	22	282	22	312	38	84	43	39	204	67	18	289	23	303	28	76	48	38	190	77	18	285	18	316	40	78	56	42	216	65	18	299	17	265	29	60	44	36	169	61	17	247	18
311941	5	estab.	340	29	87	51	48	215	47	33	295	45	349	38	84	43	39	204	69	29	302	47	342	28	76	48	38	190	81	27	298	44	353	40	78	56	42	216	68	30	314	39	306	29	60	44	38	171	63	29	263	43
311941	5	empl.	13907	0	178	359	651	1188	1777	2788	5753	8154	14526	0	177	278	528	983	2735	3081	6799	7727	14257	0	163	317	527	1007	3364	3127	7498	6759	13819	0	165	393	620	1178	2895	3157	7230	6589	13886	0	133	299	533	965	2665	2607	6237	7649
311941	5	ann. pay.	449261	2455	3442	6730	24571	37198	46493	90024	173715	275546	499576	7442	3356	6306	17576	34680	82423	106265	223368	276208	493077	757	3507	7058	16009	27331	98040	115279	240650	252427	510834	3306	4186	9565	18707	35764	98478	127022	261264	249570	520334	2542	3897	7534	18941	32914	86709	96329	215952	304382
311941	5	rec.																																									5910332	24128	39703	73913	179541	317285	736464	931960	1985709	3924623
311942	5	firms	241	11	55	32	29	127	60	23	210	31	254	18	49	37	27	131	66	22	219	35	254	16	55	43	26	140	63	19	222	32	266	17	59	44	33	153	67	20	240	26	257	24	58	31	35	148	58	25	231	26
311942	5	estab.	269	11	55	32	29	127	61	27	215	54	280	18	49	37	27	131	67	27	225	55	278	16	55	43	26	140	64	24	228	50	292	17	59	44	33	153	69	25	247	45	284	24	58	31	36	149	62	30	241	43
311942	5	empl.	11449	0	130	208	425	763	2609	2298	5670	5779	12354	0	119	245	368	732	2702	2551	5985	6369	12345	0	128	293	374	795	2698	2656	6149	6196	12759	0	129	296	447	872	2860	2731	6463	6296	13445	0	126	194	499	819	2525	3588	6932	6513
311942	5	ann. pay.	456004	263	3472	5263	14548	23546	107518	96493	227557	228447	544297	753	2838	5756	13369	22716	117838	117487	258041	286256	562391	677	4137	6691	15944	27449	131377	114734	273560	288831	569281	773	2882	7968	17643	29266	134245	123651	287162	282119	600335	2106	3854	6671	24553	37184	116074	164824	318082	282253
311942	5	rec.																																									5139042	16897	29649	59401	194548	300495	611833	1043274	1955602	3183440
311991	5	firms	446	28	83	72	71	254	117	49	420	26	441	35	89	60	74	258	103	52	413	28	441	36	79	66	76	257	107	50	414	27	466	39	90	72	76	277	110	50	437	29	498	45	105	72	83	305	115	52	472	26
311991	5	estab.	474	28	83	72	71	254	122	55	431	43	474	35	89	60	74	258	108	61	427	47	478	36	79	66	76	257	109	61	427	51	502	39	90	75	76	280	112	59	451	51	544	45	105	72	86	308	123	62	493	51
311991	5	empl.	22063	0	189	482	999	1670	4746	7308	13724	8339	22372	0	215	388	1051	1654	4139	7390	13183	9189	23445	0	183	437	1028	1648	4202	7749	13599	9846	24368	0	209	468	1065	1742	4458	7714	13914	10454	23967	0	247	484	1221	1952	4932	7559	14443	9524
311991	5	ann. pay.	492908	955	2366	7009	17772	28102	99597	164925	292624	200284	523817	7279	3949	6272	19369	36869	87267	171283	295419	228398	584135	1886	4004	6945	20233	33068	91160	187745	311973	272162	637054	2536	4851	20015	19807	47209	99384	194055	340648	296406	653178	5832	7234	8396	22773	44235	112600	197499	354334	298844
311991	5	rec.																																									3933290	20947	59853	59832	97233	237865	582773	1147850	1968488	1964802
311999	5	firms	747	68	163	94	123	448	179	70	697	50	767	74	169	101	121	465	184	73	722	45	789	96	167	108	120	491	177	76	744	45	806	73	197	116	118	504	183	74	761	45	688	64	132	87	99	382	176	72	630	58
311999	5	estab.	820	68	163	94	123	448	188	89	725	95	841	74	169	101	121	465	194	93	752	89	862	96	167	108	120	491	187	97	775	87	882	73	197	116	118	504	190	97	791	91	787	64	132	87	100	383	186	99	668	119
311999	5	empl.	39670	0	366	635	1681	2682	7797	8834	19313	20357	38786	0	399	693	1665	2757	8044	9511	20312	18474	37885	0	381	741	1653	2775	7668	10237	20680	17205	37785	0	455	791	1632	2878	8089	9771	20738	17047	35892	0	322	604	1358	2284	7408	8810	18502	17390
311999	5	ann. pay.	1078063	7045	6554	12651	35374	61624	197821	248276	507721	570342	1066411	8580	8161	14179	36066	66986	203178	262184	532348	534063	1098324	5386	8280	14809	40007	68482	210297	286694	565473	532851	1146900	8094	10979	16290	42123	77486	223469	307801	608756	538144	1201785	3800	7448	14356	39101	64705	221467	281272	567444	634341
311999	5	rec.																																									10668572	34778	65733	115089	264618	480218	1930308	2202109	4612635	6055937
312111	5	firms	355	14	54	32	28	128	100	68	296	59	348	18	52	30	35	135	88	63	286	62	342	19	57	27	37	140	79	63	282	60	344	19	61	32	33	145	80	65	290	54	317	13	55	20	44	132	73	62	267	50
312111	5	estab.	588	14	54	32	28	128	101	82	311	277	585	18	52	30	35	135	91	76	302	283	584	19	57	27	37	140	81	73	294	290	577	19	61	32	33	145	82	72	299	278	551	13	55	20	44	132	74	73	279	272
312111	5	empl.	71219	         [a]	         [c]	234	408	761	4684	11327	16772	54447	73221	0	107	214	504	825	4398	9636	14859	58362	69874	0	118	192	475	785	3924	9491	14200	55674	69909	0	126	224	455	805	3884	10187	14876	55033	63889	0	132	138	643	913	3347	8690	12950	50939
312111	5	ann. pay.	2425969	         (D)	         (D)	5586	9702	18779	138638	379969	537386	1888583	2551965	16263	2060	7218	13270	38811	138219	316013	493043	2058922	2682734	1884	2981	5969	12547	23381	123646	333860	480887	2201847	2637063	565	3807	5426	12356	22154	115062	343141	480357	2156706	2441660	298	3092	5500	19391	28281	118760	301137	448178	1993482
312111	5	rec.																																									33116813	3875	32344	50998	171779	258996	1023969	2791012	4073977	29042836
312112	5	firms	122	9	33	25	20	87	23	5	115	7	125	16	40	21	18	95	17	6	118	7	137	16	45	20	19	100	23	7	130	7	167	21	52	30	21	124	28	8	160	7	229	27	98	31	25	181	33	8	222	7
312112	5	estab.	169	9	33	25	20	87	23	11	121	48	175	16	40	21	18	95	17	11	123	52	191	16	45	20	19	100	23	12	135	56	218	21	52	30	21	124	31	10	165	53	285	27	98	31	25	181	38	11	230	55
312112	5	empl.	5274	         [a]	         [b]	168	265	511	         [f]	         [e]	1741	3533	5081	0	95	140	253	488	591	[f]	[g]	[h]	5396	0	108	131	224	463	850	         [g]	         [g]	         [h]	5855	0	120	193	261	574	989	         [g]	         [h]	         [h]	6435	0	201	209	332	742	1076	         [g]	         [h]	         [h]
312112	5	ann. pay.	162924	         (D)	         (D)	3414	6395	11744	         (D)	         (D)	47591	115333	162686	2949	2029	2832	5378	13188	22441	(D)	(D)	(D)	192626	2480	2379	2780	7365	15004	25954	         (D)	         (D)	         (D)	219928	5450	3685	4034	5824	18993	31805	         (D)	         (D)	         (D)	217278	827	4884	5157	8451	19319	39250	         (D)	         (D)	         (D)
312112	5	rec.																																									1824211	7709	38379	30016	49007	125111	277177	         (D)	         (D)	         (D)
312113	5	firms	482	62	200	95	72	429	48	2	479	3	460	58	183	94	73	408	41	9	458	2	452	65	161	100	75	401	45	5	451	1	452	70	162	93	78	403	44	4	451	1	422	67	151	86	65	369	44	6	419	3
312113	5	estab.	543	62	200	96	74	432	55	3	490	53	525	58	183	94	75	410	49	24	483	42	514	65	161	100	78	404	55	19	478	36	522	70	162	93	81	406	61	19	486	36	488	67	151	86	66	370	55	11	436	52
312113	5	empl.	4825	0	452	635	919	2006	         [g]	         [b]	3473	1352	4841	0	399	615	924	1938	1281	[f]	[h]	[f]	5032	0	363	661	991	2015	1400	         [f]	         [h]	         [f]	5055	0	355	625	1029	2009	1561	         [f]	         [h]	         [f]	5416	0	346	564	844	1754	1484	         [f]	         [h]	         [g]
312113	5	ann. pay.	118196	4071	11736	13393	22337	51537	         (D)	         (D)	93245	24951	129800	2390	8246	12873	24457	47966	36874	(D)	(D)	(D)	146070	2382	11205	14783	25778	54148	43389	         (D)	         (D)	         (D)	149111	4968	8100	14545	26928	54541	49746	         (D)	         (D)	         (D)	158927	1899	7918	14541	23657	48015	49034	         (D)	         (D)	         (D)
312113	5	rec.																																									653759	9733	37415	52543	89853	189544	168987	         (D)	         (D)	         (D)
312120	5	firms	478	49	164	73	46	332	119	17	468	10	500	73	173	63	51	360	114	15	489	11	508	72	162	76	48	358	124	16	498	10	500	66	153	77	50	346	127	18	491	9	415	66	125	51	50	292	95	18	405	10
312120	5	estab.	514	49	164	73	46	332	120	21	473	41	533	73	173	63	51	360	115	19	494	39	538	72	162	76	48	358	125	20	503	35	526	66	153	77	50	346	128	22	496	30	446	66	125	51	50	292	98	24	414	32
312120	5	empl.	32038	         [a]	         [e]	496	600	1483	4725	2348	8556	23482	30650	0	410	402	671	1483	4681	2084	8248	22402	32122	         [a]	         [e]	511	649	1525	5054	2068	8647	23475	32931	0	         [e]	         [f]	677	1527	5382	2729	9638	23293	30761	0	258	350	668	1276	4014	2391	7681	23080
312120	5	ann. pay.	1620892	         (D)	         (D)	9890	10865	29459	88368	87378	205205	1415687	1568844	12296	8752	6646	13149	40843	92489	66005	199337	1369507	1591318	         (D)	         (D)	10058	17090	38108	106254	68478	212840	1378478	1573687	2668	         (D)	         (D)	13612	33650	121557	115721	270928	1302759	1585176	3529	6225	7254	15510	32518	109937	89016	231471	1353705
312120	5	rec.																																									18659524	28865	73054	69501	118543	289963	577770	701247	1568980	17090544
312130	5	firms	672	75	196	125	101	497	129	30	656	16	732	92	205	135	110	542	143	29	714	18	798	89	236	145	130	600	149	32	781	17	1064	120	354	183	161	818	197	31	1046	18	1175	147	427	192	159	925	198	33	1156	19
312130	5	estab.	727	75	196	125	101	497	132	48	677	50	788	92	205	135	110	542	145	46	733	55	856	89	236	145	130	600	150	49	799	57	1125	120	354	183	162	819	199	47	1065	60	1239	147	427	193	159	926	203	49	1178	61
312130	5	empl.	20325	0	466	846	1411	2723	4845	4745	12313	8012	22218	0	467	903	1521	2891	5279	4727	12897	9321	21814	0	496	953	1751	3200	5333	4683	13216	8598	26060	0	778	1202	2142	4122	7202	4323	15647	10413	26832	0	937	1281	2167	4385	7242	4592	16219	10613
312130	5	ann. pay.	741722	5182	10949	18819	37972	72922	129166	160405	362493	379229	811705	5041	11386	22536	37641	76604	147876	156788	381268	430437	876638	8958	13112	23717	45048	90835	162200	169121	422156	454482	1000810	5564	20444	30430	55473	111911	232105	167747	511763	489047	1087093	5778	26082	34026	60972	126858	224581	189842	541281	545812
312130	5	rec.																																									9717671	48216	202973	228871	348516	828576	1286857	1715392	3830825	5886846
312140	5	firms	45	4	6	4	3	17	6	14	37	8	49	8	6	4	4	22	7	12	41	8	50	2	13	3	4	22	8	13	43	7	49	6	10	2	3	21	9	13	43	6	75	11	20	5	9	45	13	11	69	6
312140	5	estab.	60	4	6	4	3	17	6	15	38	22	65	8	6	4	4	22	7	13	42	23	65	2	13	3	4	22	8	13	43	22	65	6	10	2	3	21	9	13	43	22	90	11	20	5	9	45	13	12	70	20
312140	5	empl.	6575	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	85	199	2366	2650	3925	6128	0	15	28	54	97	289	2097	2483	3645	5699	         [a]	         [b]	19	51	99	259	2192	2550	3149	5817	0	         [b]	         [a]	35	72	299	2181	2552	3265	6031	0	43	33	119	195	496	2126	2817	3214
312140	5	ann. pay.	274223	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2633	7543	86610	96786	177437	253404	198	188	823	1395	2604	10162	83023	95789	157615	268543	         (D)	         (D)	725	1326	2916	10054	97457	110427	158116	278402	134	         (D)	         (D)	1713	3488	14239	99782	117509	160893	284289	80	969	1793	3245	6087	26203	95227	127517	156772
312140	5	rec.																																									4547608	910	8580	14784	27410	51684	239699	746355	1037738	3509870
312210	5	firms	22	4	3	1	1	9	2	3	14	8	18	3	3	0	0	6	1	5	12	6	24	8	5	0	0	13	0	3	16	8	24	2	8	1	0	11	2	3	16	8	16	3	2	0	0	5	3	3	11	5
312210	5	estab.	32	4	3	1	1	9	2	3	14	18	27	3	3	0	0	6	1	6	13	14	33	8	5	0	0	13	0	3	16	17	32	2	8	1	0	11	2	4	17	15	20	3	2	0	0	5	3	4	12	8
312210	5	empl.	5067	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [e]	493	4574	5141	0	[a]	0	0	[a]	[b]	[g]	1206	3935	5024	0	10	0	0	10	0	503	513	4511	3597	         [a]	20	         [a]	0	         [b]	         [b]	322	404	3193	2264	0	         [a]	0	0	         [a]	         [c]	365	592	1672
312210	5	ann. pay.	135945	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21492	114453	154811	22	(D)	0	0	(D)	(D)	(D)	75073	79738	123477	710	237	0	0	947	0	6696	7643	115834	110158	         (D)	439	         (D)	0	         (D)	         (D)	6342	7841	102317	69658	28	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	7488	14417	55241
312210	5	rec.																																									1141540	1124	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	128387	223371	918169
312221	5	firms	13	2	2	0	0	4	2	2	8	5	14	3	1	1	0	5	2	2	9	5	13	1	1	1	0	3	2	2	7	6	13	1	0	2	1	4	1	2	7	6	21	6	2	1	3	12	1	2	15	6
312221	5	estab.	16	2	2	0	0	4	2	2	8	8	17	3	1	1	0	5	2	2	9	8	16	1	1	1	0	3	2	2	7	9	16	1	0	2	1	4	1	2	7	9	23	6	2	1	3	12	1	2	15	8
312221	5	empl.	20943	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [c]	200	20743	18381	0	[a]	[a]	0	[a]	[c]	[c]	272	18109	17886	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	318	17568	14973	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	279	14694	15099	         [a]	         [a]	         [a]	37	         [b]	         [b]	         [e]	400	14699
312221	5	ann. pay.	1157741	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	7947	1149794	1121201	794	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	16369	1104832	1187142	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	12846	1174296	1022234	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	13465	1008769	1032686	         (D)	         (D)	         (D)	1018	         (D)	         (D)	         (D)	18111	1014575
312221	5	rec.																																									34627538	         (D)	         (D)	         (D)	27542	         (D)	         (D)	         (D)	359113	34268425
312229	5	firms	68	12	12	8	5	37	16	6	59	9	63	5	18	6	5	34	12	7	53	10	59	7	16	6	5	34	10	7	51	8	117	19	54	9	7	89	13	7	109	8	77	10	26	7	8	51	12	4	67	10
312229	5	estab.	80	12	12	8	5	37	16	7	60	20	74	5	18	6	5	34	12	7	53	21	72	7	16	6	5	34	10	12	56	16	131	19	54	9	7	89	14	13	116	15	90	10	26	7	8	51	12	9	72	18
312229	5	empl.	6626	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [f]	         [f]	1826	4800	6688	0	43	[b]	64	[c]	[f]	[f]	1629	5059	6383	         [a]	         [b]	         [b]	64	         [c]	         [e]	         [g]	1824	4559	6667	0	105	         [b]	         [b]	257	         [f]	         [g]	1949	4718	6668	         [a]	46	         [b]	94	         [c]	         [e]	         [f]	1376	5292
312229	5	ann. pay.	239873	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	54616	185257	237146	128	926	(D)	900	(D)	(D)	(D)	52646	184500	249069	         (D)	         (D)	         (D)	1318	         (D)	         (D)	         (D)	63390	185679	266400	551	2326	         (D)	         (D)	9517	         (D)	         (D)	76042	190358	277372	         (D)	1090	         (D)	4031	         (D)	         (D)	         (D)	48872	228500
312229	5	rec.																																									3657687	         (D)	9180	         (D)	26581	         (D)	         (D)	         (D)	420920	3236767
313111	5	firms	225	19	38	19	24	100	41	33	174	51	228	19	40	31	19	109	42	29	180	48	224	15	39	25	20	99	46	30	175	49	230	16	49	20	32	117	42	28	187	43	210	20	42	24	23	109	40	24	173	37
313111	5	estab.	412	19	38	19	24	100	42	45	187	225	412	19	40	31	19	109	42	43	194	218	405	15	39	25	20	99	48	47	194	211	395	16	49	21	32	118	43	41	202	193	342	20	42	24	23	109	41	32	182	160
313111	5	empl.	58674	0	96	136	320	552	1954	6723	9229	49445	57428	0	104	226	269	599	2060	6351	9010	48418	52959	0	90	164	287	541	2073	6469	9083	43876	44174	0	124	128	459	711	1952	4665	7328	36846	36918	0	102	160	342	604	1954	4293	6851	30067
313111	5	ann. pay.	1382645	1211	4049	2410	6161	13831	58139	162045	234015	1148630	1374717	4419	2967	4840	4704	16930	65398	151179	233507	1141210	1329753	543	3149	3574	5257	12523	58176	157989	228688	1101065	1086755	26019	3637	4683	11130	45469	55340	122231	223040	863715	952523	1266	2660	3987	7146	15059	49316	119429	183804	768719
313111	5	rec.																																									5363659	6712	13658	17331	52092	89793	237792	500344	827929	4535730
313112	5	firms	99	7	11	9	11	38	27	20	85	14	96	4	12	13	10	39	22	22	83	13	97	6	13	7	14	40	22	20	82	15	101	15	11	7	14	47	22	19	88	13	95	6	14	10	13	43	24	12	79	16
313112	5	estab.	139	7	11	9	11	38	27	22	87	52	134	4	12	13	10	39	22	24	85	49	128	6	13	7	14	40	22	21	83	45	134	15	11	7	14	47	22	20	89	45	131	6	14	10	13	43	25	13	81	50
313112	5	empl.	22959	         [a]	         [b]	63	163	248	1256	4062	5566	17393	20299	0	[b]	[b]	135	[c]	1001	4278	[i]	[j]	20247	0	         [b]	         [b]	202	         [e]	1020	3575	         [h]	         [j]	18909	0	         [b]	44	207	         [e]	1080	3673	         [i]	         [j]	20713	         [a]	         [b]	72	179	         [e]	1197	2774	         [h]	         [j]
313112	5	ann. pay.	609625	         (D)	         (D)	1510	3200	6126	34414	95974	136514	473111	496245	116	(D)	(D)	3545	(D)	29155	102743	(D)	(D)	517604	531	         (D)	         (D)	4967	         (D)	28170	88558	         (D)	         (D)	461927	706	         (D)	674	5926	         (D)	29959	89688	         (D)	         (D)	573741	         (D)	         (D)	1911	5890	         (D)	39236	76868	         (D)	         (D)
313112	5	rec.																																									4485253	         (D)	         (D)	12034	39724	         (D)	214566	522140	         (D)	         (D)
313113	5	firms	46	6	5	3	7	21	16	5	42	4	59	11	11	7	6	35	14	7	56	3	65	5	16	11	10	42	13	7	62	3	68	5	22	12	9	48	10	7	65	3	91	10	42	11	6	69	15	5	89	2
313113	5	estab.	52	6	5	3	7	21	16	6	43	9	67	11	11	7	6	35	14	9	58	9	74	5	16	11	10	42	13	8	63	11	76	5	22	12	9	48	10	8	66	10	96	10	42	11	6	69	15	6	90	6
313113	5	empl.	3232	         [a]	         [a]	18	99	128	645	668	1441	1791	3301	0	[b]	[b]	81	[c]	586	996	[g]	[g]	3403	0	         [b]	         [b]	139	         [c]	568	731	         [g]	         [g]	3238	0	         [b]	89	129	         [e]	471	949	         [g]	         [g]	2612	         [a]	         [b]	69	74	         [c]	652	662	         [g]	         [g]
313113	5	ann. pay.	70747	         (D)	         (D)	187	1760	2792	14271	16337	33400	37347	82192	630	(D)	(D)	1670	(D)	13066	30034	(D)	(D)	83122	203	         (D)	         (D)	2559	         (D)	12024	20833	         (D)	         (D)	65978	91	         (D)	1718	1690	         (D)	9735	22607	         (D)	         (D)	63110	         (D)	         (D)	1289	1308	         (D)	14612	18067	         (D)	         (D)
313113	5	rec.																																									379614	         (D)	         (D)	6573	7710	         (D)	77276	107825	         (D)	         (D)
313210	5	firms	748	57	235	125	83	500	105	63	668	80	730	43	230	114	85	472	110	65	647	83	712	40	217	120	94	471	99	61	631	81	728	47	221	123	89	480	104	71	655	73	663	47	191	111	79	428	107	65	600	63
313210	5	estab.	924	57	235	125	83	500	107	73	680	244	899	43	230	114	85	472	112	72	656	243	874	40	218	120	94	472	100	68	640	234	880	47	221	124	89	481	105	77	663	217	792	47	191	112	79	429	110	72	611	181
313210	5	empl.	130441	0	511	823	1063	2397	4777	13155	20329	110112	124188	0	503	750	1102	2355	4788	12494	19637	104551	113249	0	419	780	1279	2478	4581	10750	17809	95440	105590	0	498	820	1230	2548	4520	12347	19415	86175	87391	0	432	743	1067	2242	4501	11192	17935	69456
313210	5	ann. pay.	3422150	25171	9593	16545	21228	72537	114511	337438	524486	2897664	3220720	3236	9612	15322	21827	49997	125110	333947	509054	2711666	3138544	1559	9585	17620	26884	55648	133722	298733	488103	2650441	2808970	3665	10773	18422	29454	62314	123954	336630	522898	2286072	2444690	7844	9599	18333	31545	67321	121849	333379	522549	1922141
313210	5	rec.																																									12198829	40301	50340	90657	164073	345371	624919	1715605	2685895	9512934
313221	5	firms	250	18	50	36	43	147	49	33	229	21	233	10	54	29	36	129	53	30	212	21	233	18	51	35	30	134	47	32	213	20	237	14	58	30	37	139	50	31	220	17	224	16	58	27	33	134	52	22	208	16
313221	5	estab.	288	18	50	36	43	147	50	49	246	42	272	10	54	29	36	129	55	46	230	42	271	18	51	35	31	135	48	48	231	40	274	14	58	30	37	139	56	44	239	35	251	16	58	27	34	135	52	32	219	32
313221	5	empl.	16615	         [a]	116	243	614	         [f]	1988	5467	         [i]	         [i]	16086	[a]	116	194	474	[f]	2307	5393	[i]	[i]	16036	         [a]	115	241	413	         [f]	1917	5824	         [i]	         [i]	15246	0	         [c]	205	525	         [f]	2085	5710	         [i]	         [i]	12742	0	140	201	482	823	2215	4099	7137	5605
313221	5	ann. pay.	418489	         (D)	2362	4745	13245	         (D)	48926	143279	         (D)	         (D)	405112	(D)	2209	4003	11102	(D)	55849	136406	(D)	(D)	412579	         (D)	2702	6430	9992	         (D)	44338	157139	         (D)	         (D)	385821	747	         (D)	3946	12547	         (D)	47522	151853	         (D)	         (D)	357874	1940	3001	5893	12487	23321	60618	117039	200978	156896
313221	5	rec.																																									1385541	8158	10648	22189	43680	84675	235012	440267	759954	625587
313222	5	firms	213	14	90	45	33	182	22	8	212	1	214	17	92	40	33	182	24	7	213	1	192	8	88	42	28	166	19	6	191	1	183	8	85	47	18	158	19	5	182	1	148	13	69	33	14	129	14	5	148	0
313222	5	estab.	215	14	90	45	33	182	23	9	214	1	216	17	92	40	33	182	24	9	215	1	194	8	88	42	28	166	20	7	193	1	185	8	85	47	18	158	20	6	184	1	150	13	69	33	14	129	15	6	150	0
313222	5	empl.	3229	         [a]	218	297	422	         [f]	925	1299	         [h]	         [b]	3020	[a]	211	268	416	[f]	959	1064	[h]	[c]	2647	         [a]	196	268	360	         [f]	801	931	         [h]	         [b]	2220	0	         [c]	317	235	         [f]	755	662	         [g]	         [b]	2004	0	138	216	189	543	702	759	2004	0
313222	5	ann. pay.	63658	         (D)	3805	4835	9167	         (D)	19857	23677	         (D)	         (D)	61219	(D)	3627	4777	7163	(D)	20103	22622	(D)	(D)	52402	         (D)	3256	5059	5518	         (D)	19333	16363	         (D)	         (D)	47798	65	         (D)	5557	5253	         (D)	16187	14811	         (D)	         (D)	52871	2741	2535	5593	5265	16134	19847	16890	52871	0
313222	5	rec.																																									210806	14761	15625	15770	23447	69603	84351	56852	210806	0
313230	5	firms	202	9	30	27	22	88	51	30	169	33	202	15	27	22	29	93	47	28	168	34	199	16	30	21	28	95	43	23	161	38	194	7	39	17	30	93	43	24	160	34	194	11	32	20	31	94	45	22	161	33
313230	5	estab.	245	9	30	27	22	88	54	38	180	65	248	15	27	22	29	93	49	38	180	68	249	16	30	21	28	95	46	33	174	75	242	7	39	17	30	93	45	35	173	69	234	11	32	20	31	94	48	28	170	64
313230	5	empl.	20002	0	58	185	312	555	2432	4435	7422	12580	20851	[a]	[b]	140	383	576	2099	3851	6526	14325	20650	0	71	147	380	598	2040	3074	5712	14938	19925	0	85	125	427	637	1871	3239	5747	14178	17934	0	69	130	422	621	2038	2541	5200	12734
313230	5	ann. pay.	736740	793	2922	6055	8902	18672	62942	142369	223983	512757	769800	(D)	(D)	4578	12291	30171	60076	115602	205849	563951	786306	1516	4104	4426	11526	21572	59584	96951	178107	608199	744849	264	4202	3634	12675	20775	56260	89232	166267	578582	689565	2524	2810	3789	14843	23966	64321	88458	176745	512820
313230	5	rec.																																									4337555	13628	13964	20593	80090	128275	355913	415018	899206	3438349
313241	5	firms	224	9	20	28	36	93	69	34	196	28	229	11	24	31	33	99	69	35	203	26	206	5	31	21	32	89	62	33	184	22	197	10	30	22	32	94	57	28	179	18	180	12	28	24	28	92	56	22	170	10
313241	5	estab.	242	9	20	28	36	93	70	39	202	40	247	11	24	31	33	99	71	39	209	38	220	5	31	21	32	89	64	38	191	29	211	10	30	22	32	94	58	33	185	26	191	12	28	24	28	92	60	25	177	14
313241	5	empl.	21481	0	38	200	477	715	2961	4903	8579	12902	19902	[a]	[b]	221	467	738	3186	5829	9753	10149	17559	0	79	151	454	684	2858	6103	9645	7914	13662	0	77	160	458	695	2490	4363	7548	6114	10163	0	61	166	389	616	2622	3628	6866	3297
313241	5	ann. pay.	484637	706	1300	6042	10404	18452	71156	115773	205381	279256	474638	(D)	(D)	6100	11940	20817	79734	139662	240213	234425	423353	154	1892	5201	12503	19750	64493	152350	236593	186760	324199	6433	2572	3766	11165	23936	62909	112080	198925	125274	280167	4769	2277	4682	10870	22598	64044	107780	194422	85745
313241	5	rec.																																									1393450	26069	15068	24816	60468	126421	250717	460676	837814	555636
313249	5	firms	171	5	21	20	24	70	55	26	151	20	173	9	28	15	32	84	41	26	151	22	162	5	31	16	25	77	43	21	141	21	160	6	34	13	27	80	38	24	142	18	158	7	31	18	24	80	43	18	141	17
313249	5	estab.	186	5	21	20	24	70	55	29	154	32	190	9	28	15	32	84	41	31	156	34	179	5	31	16	25	77	44	25	146	33	179	6	34	13	27	80	38	30	148	31	173	7	31	18	24	80	44	26	150	23
313249	5	empl.	16261	0	44	137	334	515	2497	3798	6810	9451	15735	0	78	101	436	615	1847	4397	6859	8876	15337	0	81	115	352	548	1977	3719	6244	9093	13798	0	88	91	392	571	1565	3584	5720	8078	9623	0	79	113	339	531	1795	2765	5091	4532
313249	5	ann. pay.	417073	64	876	3611	12016	16567	66172	99305	182044	235029	429676	1559	2843	2898	12468	19768	53374	109068	182210	247466	420288	95	1477	3225	11222	16019	56812	93218	166049	254239	386656	592	1824	1969	14176	18561	41735	104094	164390	222266	284205	2281	1705	2918	12782	19686	55312	81155	156153	128052
313249	5	rec.																																									1517295	24443	10688	14451	73018	122600	213665	426950	763215	754080
313311	5	firms	1265	122	459	228	144	953	185	80	1218	47	1216	91	440	238	150	919	182	68	1169	47	1195	94	428	239	147	908	180	66	1154	41	1168	100	428	225	152	905	167	60	1132	36	1016	83	345	203	141	772	151	63	986	30
313311	5	estab.	1341	122	459	228	146	955	196	98	1249	92	1283	91	440	238	156	925	190	80	1195	88	1252	94	428	239	150	911	189	82	1182	70	1226	100	429	226	155	910	174	74	1158	68	1066	83	345	203	141	772	158	77	1007	59
313311	5	empl.	48738	0	1013	1492	1876	4381	7823	12013	24217	24521	45094	0	966	1543	1935	4444	7875	10418	22737	22357	42576	0	973	1585	1900	4458	7702	10403	22563	20013	39058	0	983	1460	2035	4478	6653	8756	19887	19171	32701	0	802	1349	1904	4055	5910	8980	18945	13756
313311	5	ann. pay.	1417805	16619	29070	44960	69798	160447	260854	340149	761450	656355	1326237	10674	27911	51362	74943	164890	271022	282828	718740	607497	1289873	9469	29489	51178	73551	163687	272992	287524	724203	565670	1145868	6800	26630	45993	75409	154832	231864	238954	625650	520218	1020221	6582	21905	38272	75112	141871	217994	245683	605548	414673
313311	5	rec.																																									6900279	37944	144864	262535	547137	992480	1209312	1233056	3434848	3465431
313312	5	firms	359	21	59	38	43	161	107	55	323	36	334	35	60	31	35	161	97	48	306	28	327	18	68	40	38	164	90	46	300	27	374	44	97	46	34	221	83	44	348	26	379	36	117	48	30	231	88	37	356	23
313312	5	estab.	390	21	59	38	43	161	109	60	330	60	361	35	60	31	35	161	99	50	310	51	350	18	68	40	38	164	92	47	303	47	398	44	97	46	34	221	86	47	354	44	401	36	117	48	30	231	91	40	362	39
313312	5	empl.	32052	0	146	255	547	948	4999	10290	16237	15815	25117	0	151	204	484	839	4216	8230	13285	11832	23689	0	154	256	517	927	4076	7053	12056	11633	22408	0	215	314	451	980	3772	6994	11746	10662	20301	0	248	326	376	950	4155	6096	11201	9100
313312	5	ann. pay.	804482	2667	4165	6816	18220	31868	134434	239881	406183	398299	666593	4431	3561	5249	12804	26045	122016	194925	342986	323607	625114	2079	3965	6139	14000	26183	122862	162293	311338	313776	561584	5271	5795	7578	12059	30703	112936	167129	310768	250816	557947	3830	7556	9484	10089	30959	129940	155163	316062	241885
313312	5	rec.																																									3177062	19302	54518	60503	53370	187693	577477	807254	1572424	1604638
313320	5	firms	243	11	46	34	30	121	66	33	220	23	242	19	39	44	24	126	62	28	216	26	234	11	46	45	22	124	59	23	206	28	232	15	49	41	20	125	57	26	208	24	199	10	38	36	20	104	51	27	182	17
313320	5	estab.	260	11	46	34	30	121	68	43	232	28	258	19	39	44	24	126	64	35	225	33	253	11	46	45	22	124	62	30	216	37	252	15	49	41	20	125	58	36	219	33	218	10	38	36	20	104	52	38	194	24
313320	5	empl.	11771	0	106	219	405	730	2962	4719	8411	3360	11265	0	95	282	308	685	2542	3582	6809	4456	11042	0	97	301	298	696	2614	3490	6800	4242	10262	0	107	286	280	673	2313	3561	6547	3715	8553	0	88	234	273	595	2127	3386	6108	2445
313320	5	ann. pay.	393588	390	2691	5754	10236	19071	86426	187371	292868	100720	387219	1155	2432	7855	7923	19365	80319	148310	247994	139225	412182	443	2578	8766	10031	21818	92560	141474	255852	156330	382569	466	3128	8708	7118	19420	84713	135925	240058	142511	331283	668	2558	6739	7609	17574	81669	137765	237008	94275
313320	5	rec.																																									1886867	7042	14702	36123	36168	94035	380197	800135	1274367	612500
314110	5	firms	412	35	134	66	48	283	72	31	386	26	413	37	135	65	45	282	76	33	391	22	375	14	122	57	50	243	82	27	352	23	373	22	120	51	56	249	78	22	349	24	361	24	114	56	52	246	66	26	338	23
314110	5	estab.	483	35	134	66	49	284	76	41	401	82	478	37	135	65	45	282	79	43	404	74	441	14	122	57	50	243	85	35	363	78	437	22	120	51	57	250	81	26	357	80	422	24	114	56	53	247	67	29	343	79
314110	5	empl.	51458	0	321	421	640	1382	3043	5801	10226	41232	51153	0	330	420	609	1359	3135	7061	11555	39598	46742	0	306	379	691	1376	3636	5812	10824	35918	45188	0	304	346	741	1391	3457	5127	9975	35213	44438	         [a]	         [e]	377	734	1366	2698	5021	9085	35353
314110	5	ann. pay.	1420311	5761	7008	9027	13407	35203	80748	155498	271449	1148862	1418035	2596	6815	10138	13776	33325	81928	191216	306469	1111566	1323961	2191	7029	9556	16329	35105	96831	173547	305483	1018478	1284917	2683	7746	7927	20370	38726	91907	138466	269099	1015818	1409503	         (D)	         (D)	9503	21945	146731	77804	146525	371060	1038443
314110	5	rec.																																									14962557	         (D)	         (D)	77729	162005	         (D)	449381	772802	2685503	12277054
314121	5	firms	1930	132	1104	377	156	1769	114	37	1920	10	1821	106	1023	377	150	1656	122	34	1812	9	1724	103	930	355	173	1561	122	30	1713	11	1688	119	886	323	198	1526	126	24	1676	12	1661	102	925	302	179	1508	118	23	1649	12
314121	5	estab.	1998	132	1104	381	165	1782	140	53	1975	23	1889	106	1024	380	158	1668	145	55	1868	21	1790	103	931	357	180	1571	144	51	1766	24	1753	119	889	324	204	1536	149	42	1727	26	1712	102	925	305	181	1513	134	34	1681	31
314121	5	empl.	24553	0	2274	2422	2012	6708	4190	6460	17358	7195	24064	0	2069	2436	1979	6484	4659	6339	17482	6582	24966	0	1925	2277	2319	6521	4898	5257	16676	8290	22617	0	1817	2035	2551	6403	4959	4594	15956	6661	20281	         [a]	         [g]	2004	2369	6317	4270	3482	14069	6212
314121	5	ann. pay.	470340	3485	32704	40068	39497	115754	82327	122052	320133	150207	492059	9390	33711	43026	41452	127579	91045	129299	347923	144136	539326	3999	34743	44364	51002	134108	107867	100777	342752	196574	504957	6545	30587	39908	61183	138223	115984	92392	346599	158358	485544	         (D)	         (D)	42423	57753	151997	100495	78741	331233	154311
314121	5	rec.																																									2062835	         (D)	         (D)	162186	193270	         (D)	437488	355768	1367187	695648
314129	5	firms	640	47	162	95	84	388	151	68	607	33	643	53	158	101	66	378	163	69	610	33	621	50	156	86	68	360	163	64	587	34	654	55	178	94	72	399	160	59	618	36	636	65	178	76	78	397	150	57	604	32
314129	5	estab.	735	47	162	95	84	388	156	87	631	104	738	54	158	101	66	379	169	84	632	106	718	50	156	86	68	360	169	80	609	109	738	55	178	94	72	399	166	68	633	105	725	65	178	76	78	397	154	71	622	103
314129	5	empl.	47273	0	370	617	1172	2159	6842	12064	21065	26208	48159	0	382	668	963	2013	7101	12035	21149	27010	46638	0	363	570	919	1852	6955	10692	19499	27139	43648	0	392	613	1005	2010	6775	9198	17983	25665	40429	0	386	537	1062	1985	6465	8494	16944	23485
314129	5	ann. pay.	1002393	4412	6130	10430	22792	43764	130195	238537	412496	589897	1079080	3302	6401	12061	20884	42648	150230	263663	456541	622539	1055960	4677	7157	10054	20347	42235	144810	238407	425452	630508	975230	3162	9025	12750	22001	46938	144940	200687	392565	582665	961658	3963	7679	12188	24824	48654	165355	201615	415624	546034
314129	5	rec.																																									7415728	26602	63063	89358	133832	312855	854274	1220684	2387813	5027915
314911	5	firms	403	34	109	57	65	265	97	30	392	11	381	25	99	57	63	244	101	26	371	10	361	27	103	47	51	228	98	28	354	7	354	25	98	43	64	230	85	32	347	7	321	27	73	54	53	207	83	25	315	6
314911	5	estab.	418	34	109	57	65	265	99	38	402	16	396	25	99	57	63	244	104	33	381	15	376	27	103	47	51	228	101	38	367	9	365	25	98	43	64	230	88	40	358	7	335	27	73	54	53	207	90	32	329	6
314911	5	empl.	12986	0	230	364	901	1495	4286	3772	9553	3433	12194	0	222	379	857	1458	4378	3496	9332	2862	10749	0	220	321	681	1222	4224	3764	9210	1539	9954	0	221	284	845	1350	3695	3768	8813	1141	8716	0	165	373	722	1260	3627	3072	7959	757
314911	5	ann. pay.	245656	6624	2975	5281	15659	30539	74514	75422	180475	65181	238916	802	2962	5834	14970	24568	83247	70611	178426	60490	230973	1260	3287	5085	12115	21747	86922	87454	196123	34850	224898	2264	4739	4681	17155	28839	83473	84574	196886	28012	205476	2188	3047	8059	16235	29529	84807	71459	185795	19681
314911	5	rec.																																									854132	8850	10252	27870	56518	103490	337638	266124	707252	146880
314912	5	firms	1599	132	661	353	229	1375	190	23	1588	11	1586	118	652	350	237	1357	194	24	1575	11	1528	109	596	351	234	1290	198	27	1515	13	1533	117	610	341	236	1304	188	27	1519	14	1603	136	695	323	242	1396	171	25	1592	11
314912	5	estab.	1614	132	661	353	229	1375	198	24	1597	17	1603	118	652	350	237	1357	201	27	1585	18	1549	109	596	351	234	1290	205	31	1526	23	1557	117	610	341	236	1304	195	31	1530	27	1627	136	695	323	243	1397	176	30	1603	24
314912	5	empl.	18255	0	1513	2343	3095	6951	6863	2974	16788	1467	19582	0	1478	2345	3210	7033	7075	3717	17825	1757	20607	0	1330	2366	3161	6857	7335	4002	18194	2413	20303	0	1371	2287	3219	6877	6767	3664	17308	2995	17921	0	1592	2148	3235	6975	6038	3367	16380	1541
314912	5	ann. pay.	433643	4620	26449	48217	70135	149421	178269	65537	393227	40416	492613	4540	27878	51122	74336	157876	189854	99806	447536	45077	531999	5574	26759	49705	80536	162574	196497	103723	462794	69205	542884	7144	30282	51436	80763	169625	187789	95365	452779	90105	512588	8443	32676	49824	85427	176370	192593	90412	459375	53213
314912	5	rec.																																									1978507	42229	124713	156508	270971	594421	647719	388037	1630177	348330
314991	5	firms	185	8	50	38	29	125	37	15	177	8	173	4	45	33	29	111	42	13	166	7	177	18	35	32	25	110	42	17	169	8	174	8	43	34	23	108	46	11	165	9	166	8	42	26	27	103	43	13	159	7
314991	5	estab.	195	8	50	38	29	125	37	18	180	15	186	4	45	33	29	111	42	16	169	17	191	18	35	32	25	110	42	22	174	17	189	8	43	34	23	108	46	14	168	21	179	8	42	26	27	103	45	14	162	17
314991	5	empl.	6484	         [a]	108	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	1575	3774	2710	6624	[a]	[c]	223	[e]	[f]	[g]	[g]	4322	2302	6704	         [a]	         [b]	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [g]	4286	2418	6329	0	         [c]	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [g]	3825	2504	5613	0	91	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [g]	3399	2214
314991	5	ann. pay.	169332	         (D)	2243	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	42677	97870	71462	171483	(D)	(D)	4415	(D)	(D)	(D)	(D)	109538	61945	187014	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	119741	67273	171629	640	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	104625	67004	162741	536	2466	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	98977	63764
314991	5	rec.																																									791656	2929	12927	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	464577	327079
314992	5	firms	17	1	0	1	2	4	2	4	10	7	17	3	1	0	1	5	2	2	9	8	18	1	3	2	1	7	2	2	11	7	16	0	2	2	1	5	2	2	9	7	20	0	4	2	1	7	2	1	10	10
314992	5	estab.	22	1	0	1	2	4	2	5	11	11	23	3	1	0	1	5	2	3	10	13	25	1	3	2	1	7	2	3	12	13	22	0	2	2	1	5	2	2	9	13	30	0	4	2	1	7	2	1	10	20
314992	5	empl.	5690	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	1140	1251	4439	5127	[a]	[a]	0	[a]	[a]	[b]	[f]	677	4450	5097	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [f]	695	4402	4958	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [f]	684	4274	4486	0	7	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	349	4137
314992	5	ann. pay.	166991	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31394	34071	132920	158278	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	20058	138220	167694	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21659	146035	160291	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20208	140083	146890	0	296	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10490	136400
314992	5	rec.																																									1152849	0	2877	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	65275	1087574
314999	5	firms	1547	144	373	247	287	1051	348	91	1490	57	1760	128	426	304	323	1181	424	94	1699	61	1717	130	422	285	311	1148	423	91	1662	55	1834	147	558	295	301	1301	395	83	1779	55	2226	211	843	342	324	1720	370	88	2178	48
314999	5	estab.	1631	144	373	247	287	1051	356	111	1518	113	1839	128	426	304	323	1181	432	117	1730	109	1791	130	422	285	311	1148	433	110	1691	100	1905	147	558	295	302	1302	405	94	1801	104	2302	211	843	342	325	1721	382	106	2209	93
314999	5	empl.	50656	0	869	1693	3917	6479	14104	11891	32474	18182	55068	0	963	2091	4464	7518	16546	12476	36540	18528	54166	0	970	1922	4260	7152	16165	12432	35749	18417	49025	0	1250	2020	4163	7433	15165	11345	33943	15082	48325	0	1786	2322	4507	8615	13970	12026	34611	13714
314999	5	ann. pay.	1171996	16124	15367	34988	79346	145825	295165	265444	706434	465562	1262991	7527	17588	43368	94277	162760	352366	292881	808007	454984	1327417	7321	19720	41323	87729	156093	362601	319238	837932	489485	1194609	11458	27796	43967	89409	172630	344610	287770	805010	389599	1228449	11228	33275	49953	102703	197159	354277	316653	868089	360360
314999	5	rec.																																									5794378	60309	166277	195530	436877	858993	1387465	1450053	3696511	2097867
315111	5	firms	129	9	22	23	22	76	27	15	118	11	123	10	23	19	17	69	28	16	113	10	111	8	18	17	19	62	24	17	103	8	110	5	19	22	18	64	21	17	102	8	85	5	17	8	16	46	18	14	78	7
315111	5	estab.	146	9	22	23	22	76	27	19	122	24	139	10	23	19	17	69	28	19	116	23	126	8	18	17	19	62	24	20	106	20	124	5	19	22	18	64	21	20	105	19	99	5	17	8	16	46	18	17	81	18
315111	5	empl.	17223	0	52	150	299	501	1144	3772	5417	11806	16340	0	56	125	241	422	1152	3996	5570	10770	14242	0	52	112	267	431	1010	4077	5518	8724	12712	0	49	148	257	454	934	3769	5157	7555	9770	0	40	53	226	319	637	2759	3715	6055
315111	5	ann. pay.	337272	1317	1192	2212	5043	9764	18796	68443	97003	240269	331505	3491	1293	1765	3371	9920	21158	75126	106204	225301	280573	500	848	3543	3810	8701	17398	79875	105974	174599	256410	198	777	2866	3353	7194	17284	68997	93475	162935	203881	175	1203	777	4984	7139	12278	58128	77545	126336
315111	5	rec.																																									946142	757	5835	3677	20097	30366	40755	239446	310567	635575
315119	5	firms	389	22	59	45	53	179	144	49	372	17	369	23	58	29	58	168	140	45	353	16	381	30	62	38	49	179	138	47	364	17	367	31	60	32	66	189	121	41	351	16	312	20	48	28	48	144	118	36	298	14
315119	5	estab.	427	22	59	45	53	179	146	57	382	45	412	23	59	29	58	169	143	55	367	45	420	30	62	38	49	179	139	57	375	45	404	31	60	32	66	189	122	49	360	44	343	20	48	28	48	144	121	43	308	35
315119	5	empl.	34148	0	120	305	776	1201	6109	9621	16931	17217	32889	0	142	196	840	1178	5972	9107	16257	16632	31558	0	136	263	701	1100	5682	8929	15711	15847	29839	0	126	217	938	1281	5361	7641	14283	15556	25350	0	109	196	673	978	5060	6587	12625	12725
315119	5	ann. pay.	673553	5682	2981	6641	12645	27949	102508	175981	306438	367115	671163	1493	2775	3250	14748	22266	106867	187635	316768	354395	679415	4353	2787	4138	13763	25041	105988	189989	321018	358397	622698	2409	2462	3694	17135	25700	104245	159282	289227	333471	594149	2803	2124	5150	12861	22938	108426	160030	291394	302755
315119	5	rec.																																									2633209	16640	8326	21137	51920	98023	393017	728247	1219287	1413922
315191	5	firms	635	49	126	95	97	367	199	50	616	19	608	66	139	77	92	374	168	46	588	20	570	67	123	81	87	358	150	45	553	17	534	53	137	79	72	341	135	46	522	12	390	30	94	56	62	242	109	28	379	11
315191	5	estab.	662	49	126	95	98	368	203	58	629	33	631	66	139	77	93	375	171	54	600	31	592	67	123	81	88	359	152	50	561	31	549	53	137	79	72	341	136	49	526	23	400	30	94	56	62	242	110	32	384	16
315191	5	empl.	36145	         [a]	         [e]	         [f]	         [g]	2236	8938	8375	19549	16596	33321	[a]	[e]	534	[g]	2079	7163	7367	16609	16712	30128	         [a]	         [e]	559	         [g]	2051	6049	7227	15327	14801	24192	         [a]	         [e]	         [f]	         [f]	1804	5517	7363	14684	9508	17313	0	221	407	869	1497	4850	5140	11487	5826
315191	5	ann. pay.	771798	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	59139	173719	157457	390315	381483	745827	(D)	(D)	13484	(D)	60730	148443	142205	351378	394449	681644	         (D)	         (D)	13819	         (D)	57253	136256	130734	324243	357401	538971	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	50475	122986	146660	320121	218850	426565	2543	7670	12334	21814	44361	114821	115120	274302	152263
315191	5	rec.																																									2278356	7584	38382	67673	93006	206645	544953	499018	1250616	1027740
315192	5	firms	46	3	10	6	1	20	9	8	37	9	39	3	11	3	1	18	6	8	32	7	37	2	11	3	1	17	7	8	32	5	31	1	11	2	1	15	5	7	27	4	33	5	8	3	3	19	7	4	30	3
315192	5	estab.	57	3	10	6	1	20	9	11	40	17	48	3	11	3	1	18	6	10	34	14	44	2	11	3	1	17	7	12	36	8	36	1	11	2	1	15	5	10	30	6	37	5	8	3	3	19	7	5	31	6
315192	5	empl.	6512	         [a]	         [b]	         [b]	         [a]	72	420	1276	1768	4744	5604	[a]	[b]	19	[a]	58	224	1393	1675	3929	4594	         [a]	         [b]	20	         [a]	57	336	1421	1814	2780	3736	         [a]	         [b]	         [a]	         [a]	48	214	1042	1304	2432	3463	0	11	20	32	63	244	468	775	2688
315192	5	ann. pay.	125362	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1439	5718	21032	28189	97173	116756	(D)	(D)	273	(D)	857	3135	25030	29022	87734	97477	         (D)	         (D)	253	         (D)	892	4250	32413	37555	59922	85302	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	818	2941	24504	28263	57039	92166	101	143	400	426	1070	9862	13082	24014	68152
315192	5	rec.																																									689209	735	1185	2950	2694	7564	45579	72118	125261	563948
315211	5	firms	878	68	108	74	104	354	336	136	826	52	762	142	111	82	81	416	228	86	730	32	846	146	146	94	108	494	247	77	818	28	902	144	199	128	113	584	228	64	876	26	870	105	255	154	120	634	182	39	855	15
315211	5	estab.	980	68	108	74	104	354	338	164	856	124	829	142	111	82	81	416	228	104	748	81	904	146	148	94	108	496	249	95	840	64	947	144	199	128	113	584	230	75	889	58	902	105	255	156	120	636	187	47	870	32
315211	5	empl.	66341	0	260	505	1470	2235	15961	22529	40725	25616	41466	0	232	566	1197	1995	10548	12978	25521	15945	37160	0	338	620	1491	2449	10910	11636	24995	12165	32761	0	443	875	1567	2885	9697	8981	21563	11198	20849	0	566	1027	1601	3194	7401	5726	16321	4528
315211	5	ann. pay.	946258	6323	5414	8142	20923	40802	211963	310828	563593	382665	626367	10001	7338	8897	17518	43754	143240	189017	376011	250356	565052	8153	6043	10138	20136	44470	149761	160943	355174	209878	475651	15818	8674	12509	22106	59107	127582	114294	300983	174668	351202	8276	14171	20924	25091	68462	126822	80884	276168	75034
315211	5	rec.																																									1014313	26521	41980	48588	51347	168436	272725	264293	705454	308859
315212	5	firms	7286	718	1675	1268	1399	5060	1947	225	7232	54	6308	1188	1496	1067	1026	4777	1324	175	6276	32	6275	1067	1557	1077	1104	4805	1286	163	6254	21	6579	1202	1816	1207	977	5202	1217	144	6563	16	6323	1085	1858	1224	1019	5186	1028	96	6310	13
315212	5	estab.	7379	718	1675	1268	1399	5060	1957	260	7277	102	6362	1188	1496	1067	1026	4777	1330	201	6308	54	6318	1067	1557	1077	1104	4805	1294	187	6286	32	6616	1202	1816	1207	978	5203	1224	165	6592	24	6349	1085	1858	1224	1019	5186	1033	112	6331	18
315212	5	empl.	165425	0	3838	8563	19474	31875	77512	35886	145273	20152	114913	0	3405	7146	14198	24749	53001	27059	104809	10104	108870	0	3534	7301	15160	25995	50412	26106	102513	6357	100564	0	4072	8144	13313	25529	47307	22519	95355	5209	81797	0	4211	8325	14004	26540	38458	14193	79191	2606
315212	5	ann. pay.	2243858	41839	60059	105158	227942	434998	939593	489047	1863638	380220	1612863	77533	61542	92771	166794	398640	643174	375207	1417021	195842	1585862	57814	62398	96397	189146	405755	639044	406600	1451399	134463	1531229	68313	72857	109512	160692	411374	592658	370508	1374540	156689	1301257	63846	76996	128693	187637	457172	536961	252302	1246435	54822
315212	5	rec.																																									3932360	250270	184966	387150	539575	1361961	1501506	757477	3620944	311416
315221	5	firms	52	3	3	5	6	17	17	8	42	10	43	1	3	5	5	14	14	8	36	7	43	4	3	4	4	15	15	7	37	6	36	3	6	2	5	16	9	7	32	4	33	2	2	4	4	12	12	4	28	5
315221	5	estab.	61	3	3	5	6	17	17	10	44	17	52	1	3	5	5	14	14	11	39	13	47	4	3	4	4	15	15	7	37	10	40	3	6	2	5	16	9	7	32	8	35	2	2	4	4	12	12	6	30	5
315221	5	empl.	7165	0	8	35	77	120	819	866	1805	5360	5804	[a]	[a]	[b]	63	104	605	1006	1715	4089	3929	0	         [a]	         [b]	57	87	704	677	1468	2461	2859	         [a]	         [a]	         [a]	64	92	445	889	1426	1433	2455	         [a]	         [a]	         [b]	54	80	494	641	1215	1240
315221	5	ann. pay.	137233	22	144	489	1445	2100	14506	18274	34880	102353	93859	(D)	(D)	(D)	1553	3718	11385	15854	30957	62902	84728	126	         (D)	         (D)	1934	3110	10607	13228	26945	57783	74702	         (D)	         (D)	         (D)	1765	2855	7600	23411	33866	40836	70011	         (D)	         (D)	         (D)	1360	2241	10179	20229	32649	37362
315221	5	rec.																																									664846	         (D)	         (D)	         (D)	7527	         (D)	45996	80424	138688	526158
315222	5	firms	165	9	26	14	24	73	43	29	145	20	174	7	40	17	24	88	45	24	157	17	167	11	39	19	17	86	39	29	154	13	172	14	54	16	18	102	32	26	160	12	166	15	55	16	16	102	29	25	156	10
315222	5	estab.	189	9	26	14	24	73	44	32	149	40	194	7	40	17	24	88	46	26	160	34	182	11	39	19	17	86	40	32	158	24	186	14	54	16	18	102	32	30	164	22	180	15	55	16	16	102	29	31	162	18
315222	5	empl.	20859	         [a]	         [b]	90	338	487	1884	4976	7347	13512	17890	0	96	117	338	551	1894	4100	6545	11345	14477	0	92	128	233	453	1527	5142	7122	7355	12506	0	107	109	236	452	1205	4311	5968	6538	11347	0	105	106	200	411	1303	4057	5771	5576
315222	5	ann. pay.	428050	         (D)	         (D)	1880	6449	9631	37163	109374	156168	271882	391378	701	3018	2034	8577	14330	35245	101397	150972	240406	331198	450	1914	3155	5891	11410	33197	120147	164754	166444	287537	1663	2194	2198	5459	11514	27449	106866	145829	141708	272127	564	3032	2395	6392	12383	29566	113746	155695	116432
315222	5	rec.																																									1321932	2952	12615	16937	27311	59815	130666	595886	786367	535565
315223	5	firms	289	18	52	31	28	129	83	43	255	34	310	32	50	36	34	152	83	46	281	29	286	28	62	23	31	144	82	37	263	23	254	20	64	22	33	139	62	33	234	20	197	21	40	18	26	105	58	22	185	12
315223	5	estab.	352	18	52	31	29	130	85	49	264	88	369	32	50	36	35	153	84	55	292	77	324	28	62	24	31	145	83	47	275	49	273	20	64	22	33	139	62	40	241	32	212	21	40	18	26	105	60	27	192	20
315223	5	empl.	35299	         [a]	         [c]	212	398	727	3940	7535	12202	23097	31063	0	110	251	488	849	4031	8420	13300	17763	22787	0	145	157	441	743	3758	6426	10927	11860	16293	0	140	141	472	753	2966	4770	8489	7804	12635	0	87	122	360	569	2813	2713	6095	6540
315223	5	ann. pay.	614069	         (D)	         (D)	4281	7013	14679	80709	154742	250130	363939	566664	933	2158	5707	12439	21237	78370	166868	266475	300189	459177	3347	2769	3855	11723	21694	80522	114420	216636	242541	371998	5841	2939	5074	14617	28471	66095	85462	180028	191970	315422	727	3339	2581	16652	23299	69730	53063	146092	169330
315223	5	rec.																																									2606309	4890	31230	19001	103066	158187	453373	361949	973509	1632800
315224	5	firms	141	9	15	11	15	50	30	31	111	30	172	12	25	14	14	65	46	32	143	29	163	12	21	23	19	75	34	29	138	25	147	13	28	12	19	72	30	24	126	21	106	9	11	8	13	41	27	22	90	16
315224	5	estab.	202	9	15	11	15	50	34	38	122	80	228	12	25	19	14	70	46	35	151	77	203	12	21	27	19	79	34	33	146	57	184	14	28	12	31	85	31	27	143	41	135	9	11	8	17	45	28	27	100	35
315224	5	empl.	37479	         [a]	         [b]	75	201	305	1362	5354	7021	30458	33384	0	57	93	184	334	2196	4863	7393	25991	26693	0	42	144	274	460	1513	4700	6673	20020	22083	0	65	79	262	406	1230	4194	5830	16253	21003	0	18	58	177	253	1230	3344	4827	16176
315224	5	ann. pay.	783854	         (D)	         (D)	2412	4247	7735	30988	105212	143935	639919	628229	430	2147	2168	4946	9691	43780	93146	146617	481612	550236	274	3205	3238	6819	13536	36530	88644	138710	411526	458191	2069	3143	2680	7694	15586	29576	73924	119086	339105	485102	3600	2065	1917	5426	13008	34313	73049	120370	364732
315224	5	rec.																																									4040565	34730	5079	14416	29731	83956	285585	547300	916841	3123724
315225	5	firms	126	11	24	14	16	65	24	15	104	22	142	10	31	17	15	73	26	21	120	22	139	9	30	22	15	76	23	21	120	19	136	8	34	21	12	75	23	20	118	18	103	10	20	9	8	47	23	16	86	17
315225	5	estab.	175	11	24	14	16	65	24	18	107	68	195	10	31	17	15	73	26	25	124	71	190	9	30	22	15	76	24	25	125	65	181	8	34	21	12	75	24	23	122	59	136	10	20	9	8	47	23	20	90	46
315225	5	empl.	20413	         [a]	         [b]	96	204	352	977	2480	3809	16604	20107	[a]	[b]	[c]	188	372	1098	3556	5026	15081	17756	0	         [b]	         [c]	197	411	966	3764	5141	12615	16386	         [a]	         [b]	         [c]	142	363	940	3527	4830	11556	12032	         [a]	         [b]	         [b]	96	202	979	3314	4495	7537
315225	5	ann. pay.	309466	         (D)	         (D)	1430	2310	4781	15317	45232	65330	244136	322243	(D)	(D)	(D)	3122	7175	17253	63625	88053	234190	298504	358	         (D)	         (D)	3075	7636	18241	75065	100942	197562	267633	         (D)	         (D)	         (D)	2222	6428	18499	70560	95487	172146	217679	         (D)	         (D)	         (D)	1936	6179	20834	70114	97127	120552
315225	5	rec.																																									1762788	         (D)	         (D)	         (D)	7555	         (D)	117538	305940	455396	1307392
315228	5	firms	327	34	81	37	38	190	81	30	301	26	360	32	91	44	44	211	97	28	336	24	354	38	83	43	55	219	88	26	333	21	331	29	93	46	47	215	76	25	316	15	227	21	40	28	44	133	66	21	220	7
315228	5	estab.	366	34	81	37	38	190	83	38	311	55	396	32	91	44	44	211	100	39	350	46	389	38	84	43	55	220	92	36	348	41	357	29	93	46	47	215	79	35	329	28	246	21	40	28	44	133	68	31	232	14
315228	5	empl.	23347	         [a]	         [c]	232	537	949	3536	5528	10013	13334	20770	0	201	292	646	1139	4174	4949	10262	10508	16831	0	196	273	757	1226	4099	4168	9493	7338	14012	0	200	309	639	1148	3569	3834	8551	5461	11317	0	88	203	595	886	3035	3194	7115	4202
315228	5	ann. pay.	395172	         (D)	         (D)	4907	8409	17637	55460	100633	173730	221442	365132	4360	3790	5095	13070	26315	73180	84811	184306	180826	337368	1419	3725	4989	16881	27014	81108	82629	190751	146617	296460	1829	5677	6133	13126	26765	61721	88480	176966	119494	251928	817	3083	7236	14980	26116	66137	78436	170689	81239
315228	5	rec.																																									1559974	4453	21752	36289	66944	129438	322498	448939	900875	659099
315231	5	firms	203	13	33	29	35	110	39	41	190	13	217	13	37	41	31	122	47	36	205	12	211	24	41	32	26	123	45	34	202	9	196	15	51	27	22	115	44	28	187	9	132	13	22	13	19	67	34	23	124	8
315231	5	estab.	224	13	33	29	36	111	41	47	199	25	243	13	38	41	31	123	50	43	216	27	231	24	42	32	26	124	46	39	209	22	213	15	51	27	22	115	45	32	192	21	148	13	22	13	19	67	35	28	130	18
315231	5	empl.	19477	0	80	196	481	757	1814	6735	9306	10171	18475	0	76	286	410	772	2124	5798	8694	9781	15032	0	88	208	342	638	2038	5708	8384	6648	12320	0	113	167	303	583	1824	4503	6910	5410	10629	0	53	87	266	406	1583	3931	5920	4709
315231	5	ann. pay.	377198	289	2285	4899	10791	18264	34017	131494	183775	193423	378316	1624	2165	6285	8577	18651	35976	122218	176845	201471	350960	1802	1784	5158	9189	17933	36927	123476	178336	172624	293683	1445	2568	3873	9869	17755	35819	98925	152499	141184	271806	2023	2983	2534	9150	16690	46851	83131	146672	125134
315231	5	rec.																																									2775346	30375	31128	25463	69393	156359	315125	575755	1047239	1728107
315232	5	firms	574	70	92	76	118	356	158	44	558	16	672	89	97	91	120	397	215	45	657	15	649	100	112	96	124	432	160	43	635	14	566	84	133	99	82	398	121	34	553	13	396	55	63	62	68	248	105	32	385	11
315232	5	estab.	586	70	92	76	118	356	158	46	560	26	683	89	97	91	120	397	215	50	662	21	659	100	112	96	124	432	161	47	640	19	574	84	133	99	82	398	122	37	557	17	400	55	63	62	68	248	106	34	388	12
315232	5	empl.	20111	0	215	535	1668	2418	6333	6248	14999	5112	24146	0	218	608	1681	2507	8491	6329	17327	6819	21871	0	260	654	1744	2658	6629	5833	15120	6751	15629	0	303	683	1129	2115	4791	4328	11234	4395	11386	0	152	420	924	1496	3975	4019	9490	1896
315232	5	ann. pay.	491021	4153	4787	11322	36261	56523	153669	170099	380291	110730	560663	4355	7835	11064	33240	56494	190448	179009	425951	134712	543278	3713	6262	12420	38003	60398	158488	179780	398666	144612	418877	5966	8907	16064	25732	56669	127191	134593	318453	100424	393103	13868	5119	14003	27309	60299	121489	161308	343096	50007
315232	5	rec.																																									3591353	117036	48245	92251	184205	441737	823782	1375563	2641082	950271
315233	5	firms	727	116	147	110	124	497	178	44	719	8	822	134	176	118	138	566	204	41	811	11	805	100	204	127	138	569	192	33	794	11	730	110	186	121	119	536	155	28	719	11	565	75	138	72	93	378	159	18	555	10
315233	5	estab.	751	116	147	110	124	497	185	55	737	14	844	134	176	118	138	566	211	47	824	20	821	100	204	127	138	569	193	41	803	18	745	110	186	121	119	536	157	34	727	18	575	75	138	72	93	378	161	23	562	13
315233	5	empl.	20987	0	332	737	1717	2786	7172	6582	16540	4447	23344	0	379	780	1873	3032	8248	6435	17715	5629	22150	0	427	849	1955	3231	8021	5728	16980	5170	18875	0	380	801	1612	2793	6477	4298	13568	5307	14115	0	309	471	1297	2077	6097	2230	10404	3711
315233	5	ann. pay.	641883	6179	8100	13366	49629	77274	211579	202781	491634	150249	702591	7117	7294	13555	35089	63055	226585	215496	505136	197455	689370	7359	9873	18646	39276	75154	221815	176133	473102	216268	597785	5314	10082	14832	36452	66680	193122	137814	397616	200169	516267	5110	9477	12120	40906	67613	198905	93336	359854	156413
315233	5	rec.																																									3479201	36956	108668	80000	234269	459893	1384079	856199	2700171	779030
315234	5	firms	357	45	63	53	70	231	91	26	348	9	419	48	81	65	79	273	116	23	412	7	377	30	88	82	60	260	90	18	368	9	353	35	89	66	68	258	68	19	345	8	226	23	41	37	46	147	59	15	221	5
315234	5	estab.	364	45	63	53	70	231	91	28	350	14	428	48	81	65	79	273	116	27	416	12	386	30	88	82	60	260	91	21	372	14	362	35	89	66	68	258	68	24	350	12	230	23	41	37	46	147	59	18	224	6
315234	5	empl.	15662	0	142	385	939	1466	3945	4134	9545	6117	14416	0	187	447	1074	1708	4657	3215	9580	4836	11450	0	209	574	865	1648	3792	2474	7914	3536	9807	0	194	449	965	1608	2738	2497	6843	2964	6668	0	90	272	672	1034	2293	2004	5331	1337
315234	5	ann. pay.	455933	1926	3844	9119	27408	42297	127683	121811	291791	164142	440432	4151	4898	10807	31832	51688	136276	112804	300768	139664	386930	3527	5156	15734	28699	53116	120526	106253	279895	107035	355727	1085	6338	12568	26012	46003	88506	111304	245813	109914	275518	1256	3359	12213	24548	41376	87966	100181	229523	45995
315234	5	rec.																																									2021445	7349	22928	114122	159756	304155	603807	742802	1650764	370681
315239	5	firms	1521	435	310	221	232	1198	237	57	1492	29	1580	321	357	264	233	1175	321	59	1555	25	1598	307	399	290	222	1218	298	63	1579	19	1525	278	438	278	206	1200	250	58	1508	17	906	183	165	107	159	614	218	56	888	18
315239	5	estab.	1561	435	310	221	232	1198	242	65	1505	56	1615	321	357	265	233	1176	326	69	1571	44	1622	307	401	291	222	1221	299	69	1589	33	1544	278	438	278	206	1200	251	64	1515	29	919	183	165	107	159	614	220	59	893	26
315239	5	empl.	49564	0	707	1485	3205	5397	8979	10060	24436	25128	49057	0	840	1862	3217	5919	12370	11788	30077	18980	44347	0	882	1965	3075	5922	11756	11728	29406	14941	37284	0	998	1887	2750	5635	10099	9579	25313	11971	29621	0	378	740	2194	3312	8416	9531	21259	8362
315239	5	ann. pay.	1141112	28991	12798	25576	39356	106721	173166	264278	544165	596947	1192311	35706	17437	31244	48653	133040	216532	311646	661218	531093	1067615	24441	19429	36031	49502	129403	230251	344672	704326	363289	979064	32064	24203	32837	53479	142583	216172	331082	689837	289227	905216	26730	9074	20374	60667	116845	222265	296921	636031	269185
315239	5	rec.																																									7624352	201536	60089	121525	424126	807276	1410179	2234743	4452198	3172154
315291	5	firms	43	9	7	3	2	21	9	3	33	10	45	4	6	3	6	19	13	3	35	10	35	3	4	3	5	15	8	3	26	9	40	6	10	2	3	21	8	3	32	8	32	3	9	4	5	21	5	5	31	1
315291	5	estab.	56	9	7	3	2	21	10	4	35	21	57	4	6	3	6	19	14	4	37	20	47	3	4	3	5	15	9	4	28	19	47	6	10	2	3	21	9	3	33	14	32	3	9	4	5	21	5	5	31	1
315291	5	empl.	8229	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	60	414	701	1175	7054	7143	0	15	20	80	115	530	590	1235	5908	6312	0	9	20	61	90	273	407	770	5542	4553	0	         [a]	         [a]	37	64	273	348	685	3868	1236	0	         [a]	25	71	         [c]	144	808	         [g]	         [c]
315291	5	ann. pay.	141630	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1633	6823	12335	20791	120839	118506	234	351	323	757	1665	7725	11717	21107	97399	117663	33	133	436	914	1516	4316	6265	12097	105566	90776	671	         (D)	         (D)	395	2232	3740	4735	10707	80069	21811	10	         (D)	639	1784	         (D)	2218	14373	         (D)	         (D)
315291	5	rec.																																									152417	77	         (D)	4908	8952	         (D)	11202	113149	         (D)	         (D)
315292	5	firms	237	46	106	40	24	216	16	5	237	0	262	57	118	39	20	234	22	6	262	0	266	36	127	44	29	236	25	5	266	0	257	32	119	39	32	222	31	4	257	0	174	18	87	21	25	151	19	4	174	0
315292	5	estab.	238	46	106	40	24	216	16	6	238	0	264	57	118	39	20	234	22	8	264	0	268	36	127	44	29	236	25	7	268	0	259	32	119	39	32	222	32	5	259	0	176	18	87	21	25	151	20	5	176	0
315292	5	empl.	2355	0	231	269	324	824	672	859	2355	0	2349	0	251	258	255	764	753	832	2349	0	2489	0	243	283	400	926	965	598	2489	0	2650	0	239	249	425	913	1249	488	2650	0	1794	0	179	137	315	631	726	437	1794	0
315292	5	ann. pay.	59631	2583	5813	4370	7359	20125	13795	25711	59631	0	54656	2239	6305	4965	6542	20051	15703	18902	54656	0	60178	2296	7187	5502	8898	23883	21055	15240	60178	0	61761	1108	6319	5908	10137	23472	28189	10100	61761	0	51799	1352	4897	4733	6497	17479	25328	8992	51799	0
315292	5	rec.																																									269097	10508	30558	31491	21890	94447	142198	32452	269097	0
315299	5	firms	199	54	20	29	26	129	43	21	193	6	335	55	71	41	46	213	85	29	327	8	367	63	76	50	58	247	83	29	359	8	384	49	96	57	61	263	86	28	377	7	353	42	78	48	57	225	91	31	347	6
315299	5	estab.	201	54	20	29	26	129	43	22	194	7	341	55	71	41	46	213	85	32	330	11	372	63	76	50	58	247	84	32	363	9	387	49	96	57	61	263	86	30	379	8	364	42	78	48	57	225	93	36	354	10
315299	5	empl.	7628	         [a]	         [b]	         [c]	         [e]	642	1855	3290	5787	1841	12047	0	158	290	656	1104	3730	3986	8820	3227	11046	0	178	331	766	1275	3515	4185	8975	2071	10392	0	         [c]	         [e]	820	1409	3446	3904	8759	1633	11532	0	         [c]	332	781	         [g]	3551	4540	         [i]	         [g]
315299	5	ann. pay.	155362	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15115	32967	73872	121954	33408	236278	5067	3098	4521	11670	24356	67200	79524	171080	65198	223026	2286	3597	5406	16557	27846	71142	83792	182780	40246	230304	2713	         (D)	         (D)	17909	30634	69584	84636	184854	45450	287070	2452	         (D)	7034	22641	         (D)	84683	100008	         (D)	         (D)
315299	5	rec.																																									1090158	7563	         (D)	23021	68949	         (D)	317059	376590	         (D)	         (D)
315991	5	firms	361	41	95	43	51	230	91	28	349	12	358	46	94	50	40	230	94	24	348	10	361	52	107	46	41	246	88	18	352	9	339	48	99	45	35	227	84	21	332	7	264	24	80	32	33	169	72	16	257	7
315991	5	estab.	387	41	95	43	51	230	95	33	358	29	378	46	94	50	40	230	97	28	355	23	377	52	107	46	41	246	89	19	354	23	350	48	99	45	35	227	85	22	334	16	273	24	80	32	33	169	73	17	259	14
315991	5	empl.	17065	         [a]	         [c]	         [e]	693	1169	4140	4185	9494	7571	14904	0	204	339	528	1071	4462	3240	8773	6131	13171	0	226	303	539	1068	4116	2234	7418	5753	11304	0	213	306	487	1006	3671	2350	7027	4277	9933	0	166	224	482	872	3231	1613	5716	4217
315991	5	ann. pay.	313672	         (D)	         (D)	         (D)	11454	21223	76381	68483	166087	147585	279624	2192	3807	5283	8160	19442	77246	55336	152024	127600	273298	1946	5894	6219	7761	21820	79746	40437	142003	131295	234163	5436	5284	5821	8608	25149	76513	40484	142146	92017	224786	2045	3576	5875	9078	20574	67946	31867	120387	104399
315991	5	rec.																																									881256	7764	20625	22040	30294	80723	223629	114957	419309	461947
315992	5	firms	107	8	18	11	16	53	32	18	103	4	115	16	21	12	17	66	31	15	112	3	102	15	20	11	15	61	25	12	98	4	96	10	22	11	9	52	29	11	92	4	77	3	14	7	14	38	23	12	73	4
315992	5	estab.	141	8	18	11	16	53	39	37	129	12	147	16	21	12	17	66	42	30	138	9	131	15	20	11	16	62	31	29	122	9	122	10	24	11	10	55	34	25	114	8	100	3	14	7	15	39	30	24	93	7
315992	5	empl.	5849	0	36	72	216	324	1432	2448	4204	1645	5494	0	47	76	239	362	1456	2380	4198	1296	4498	0	40	         [b]	211	         [e]	1070	1718	         [h]	         [g]	4108	0	         [b]	74	113	         [c]	1121	1581	         [h]	         [g]	3762	0	         [b]	52	180	         [e]	961	1676	         [h]	         [f]
315992	5	ann. pay.	94599	181	687	842	4296	6006	22568	35902	64476	30123	104690	565	631	857	3839	5892	24606	42905	73403	31287	102958	1008	662	         (D)	4382	         (D)	20500	38050	         (D)	         (D)	95841	1180	         (D)	1112	2762	         (D)	20881	34690	         (D)	         (D)	80174	363	         (D)	1372	4424	         (D)	18014	34500	         (D)	         (D)
315992	5	rec.																																									361318	1948	         (D)	4160	23349	         (D)	72539	190443	         (D)	         (D)
315993	5	firms	118	8	21	14	17	60	44	9	113	5	118	15	21	14	20	70	36	7	113	5	107	9	23	16	21	69	28	8	105	2	91	4	23	14	18	59	25	5	89	2	72	3	19	18	8	48	18	4	70	2
315993	5	estab.	122	8	21	14	17	60	46	10	116	6	121	15	21	14	20	70	38	7	115	6	109	9	23	16	21	69	29	9	107	2	93	4	23	14	18	59	26	6	91	2	73	3	19	18	8	48	18	5	71	2
315993	5	empl.	5004	         [a]	         [b]	         [b]	219	361	1804	1361	3526	1478	4317	0	55	93	271	419	1557	1012	2988	1329	3802	0	53	         [c]	315	         [e]	1225	1361	         [h]	         [f]	3320	0	         [b]	93	244	         [e]	1063	1012	         [g]	         [f]	2399	0	         [b]	120	105	         [e]	713	666	         [g]	         [f]
315993	5	ann. pay.	126644	         (D)	         (D)	         (D)	4055	11321	40773	35432	87526	39118	122491	1647	1207	4072	5089	12015	34986	41623	88624	33867	103467	241	1296	         (D)	6161	         (D)	25217	42349	         (D)	         (D)	90991	152	         (D)	3341	5363	         (D)	17936	40163	         (D)	         (D)	79286	55	         (D)	4152	2084	         (D)	15859	33308	         (D)	         (D)
315993	5	rec.																																									392891	256	         (D)	20175	9074	         (D)	73426	190924	         (D)	         (D)
315999	5	firms	1792	272	761	267	196	1496	225	47	1768	24	1719	233	752	273	184	1442	222	36	1700	19	1711	245	743	270	183	1441	217	36	1694	17	1542	177	695	264	163	1299	192	35	1526	16	980	76	442	155	107	780	151	35	966	14
315999	5	estab.	1826	272	761	269	198	1500	233	67	1800	26	1745	233	754	273	185	1445	224	57	1726	19	1743	245	743	272	184	1444	219	61	1724	19	1559	177	695	266	164	1302	195	43	1540	19	995	76	442	157	108	783	155	40	978	17
315999	5	empl.	28954	0	1531	1763	2591	5885	8867	6697	21449	7505	25665	0	1551	1777	2481	5809	8491	5239	19539	6126	25289	0	1528	1773	2478	5779	8578	5171	19528	5761	23557	0	1419	1727	2223	5369	7884	5158	18411	5146	18033	0	933	1021	1474	3428	6143	4703	14274	3759
315999	5	ann. pay.	601433	11961	23541	30834	44598	110934	166421	143956	421311	180122	543100	16810	26552	28332	44009	115703	162369	124991	403063	140037	556202	14940	29034	33043	45137	122154	167368	120267	409789	146413	546509	8115	28676	33328	41641	111760	173975	117700	403435	143074	463300	8526	17784	23556	37325	87191	155245	119418	361854	101446
315999	5	rec.																																									2310539	40024	85736	98151	162712	386623	617977	711471	1716071	594468
316110	5	firms	290	25	99	48	34	206	55	13	274	16	329	41	103	50	42	236	63	15	314	15	330	28	103	56	46	233	69	13	315	15	342	34	117	60	39	250	66	13	329	13	274	25	98	45	32	200	53	11	264	10
316110	5	estab.	315	25	99	48	34	206	57	14	277	38	354	41	103	50	42	236	65	16	317	37	354	28	103	56	46	233	72	14	319	35	358	34	117	60	39	250	69	13	332	26	286	25	98	45	32	200	54	14	268	18
316110	5	empl.	13427	         [a]	         [c]	295	482	991	2499	1719	5209	8218	14891	0	235	324	537	1096	2582	2258	5936	8955	13834	0	221	377	601	1199	2898	1828	5925	7909	11660	0	253	413	519	1185	2802	1838	5825	5835	9274	0	213	302	429	944	2141	1670	4755	4519
316110	5	ann. pay.	384198	         (D)	         (D)	5931	10334	22406	63787	48794	134987	249211	426501	7564	4558	7317	14684	34123	71255	61840	167218	259283	406554	1634	5334	8568	14508	30044	78424	55573	164041	242513	353873	1091	5943	9761	11879	28674	76597	45579	150850	203023	315147	964	4667	8361	12461	26453	66719	47456	140628	174519
316110	5	rec.																																									2343202	6877	26770	41745	73966	149358	458337	401938	1009633	1333569
316211	5	firms	49	3	10	3	6	22	5	15	42	7	51	5	11	4	3	23	11	11	45	6	48	3	9	5	10	27	4	12	43	5	46	1	11	5	8	25	4	12	41	5	54	2	19	5	7	33	6	10	49	5
316211	5	estab.	60	3	10	3	6	22	5	19	46	14	64	5	11	4	3	23	15	12	50	14	57	3	9	5	10	27	4	13	44	13	54	1	11	5	8	25	4	13	42	12	61	2	19	5	7	33	6	12	51	10
316211	5	empl.	7836	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [c]	         [e]	3144	3580	4256	6828	0	26	24	41	91	453	2367	2911	3917	6874	         [a]	16	         [b]	134	181	140	2391	2712	4162	6642	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	151	170	2114	2435	4207	5095	         [a]	         [b]	34	92	168	220	1462	1850	3245
316211	5	ann. pay.	164241	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	63525	70353	93888	143167	226	579	523	1545	2873	11471	44103	58447	84720	199801	         (D)	435	         (D)	3434	5305	2834	56515	64654	135147	169471	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3324	4834	50460	58618	110853	150289	         (D)	         (D)	977	2004	4042	7684	26790	38516	111773
316211	5	rec.																																									1301992	         (D)	         (D)	3837	6040	         (D)	42943	153435	211110	1090882
316212	5	firms	23	2	10	1	2	15	2	4	21	2	17	2	5	1	2	10	1	5	16	1	15	0	4	1	1	6	4	4	14	1	15	1	4	1	1	7	3	4	14	1	14	0	3	2	1	6	3	4	13	1
316212	5	estab.	26	2	10	1	2	15	2	4	21	5	20	2	5	1	2	10	1	7	18	2	18	0	4	1	1	6	4	6	16	2	17	1	4	1	1	7	3	6	16	1	16	0	3	2	1	6	3	6	15	1
316212	5	empl.	2024	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	830	         [f]	         [g]	1948	[a]	10	[a]	[b]	[b]	[b]	1301	[g]	[f]	1719	0	4	         [a]	         [a]	         [b]	166	1149	         [g]	         [e]	1282	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	29	118	         [g]	         [g]	         [b]	1060	0	3	         [a]	         [a]	28	59	         [f]	         [f]	         [b]
316212	5	ann. pay.	45811	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21170	         (D)	         (D)	43663	(D)	189	(D)	(D)	(D)	(D)	33741	(D)	(D)	45957	0	21	         (D)	         (D)	         (D)	4492	31619	         (D)	         (D)	35607	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1233	3094	         (D)	         (D)	         (D)	28306	0	20	         (D)	         (D)	345	2027	         (D)	         (D)	         (D)
316212	5	rec.																																									173650	0	415	         (D)	         (D)	         (D)	20700	         (D)	         (D)	         (D)
316213	5	firms	121	11	34	12	13	70	20	10	100	21	116	11	37	13	11	72	19	8	99	17	118	14	36	16	12	78	15	8	101	17	113	10	37	18	12	77	14	9	100	13	92	10	33	10	9	62	12	8	82	10
316213	5	estab.	141	11	34	12	13	70	21	11	102	39	135	11	37	13	11	72	20	9	101	34	136	14	36	16	12	78	16	9	103	33	130	10	37	18	12	77	15	10	102	28	108	10	33	10	9	62	12	11	85	23
316213	5	empl.	16694	         [a]	         [b]	         [b]	188	337	899	1839	3075	13619	14997	0	86	78	144	308	824	1449	2581	12416	13388	0	84	104	164	352	564	1496	2412	10976	12116	0	83	120	148	351	595	1676	2622	9494	9459	0	76	67	107	250	419	1243	1912	7547
316213	5	ann. pay.	350117	         (D)	         (D)	         (D)	3157	5837	17039	38867	61743	288374	340319	2717	1674	1309	2851	8551	14716	32133	55400	284919	326032	2271	2074	1886	2809	9040	11432	32562	53034	272998	274354	809	1756	2350	3342	8257	12029	40846	61132	213222	235270	588	1750	1200	2703	6241	12382	29958	48581	186689
316213	5	rec.																																									1180628	3544	10090	6527	23371	43532	76200	161401	281133	899495
316214	5	firms	98	9	24	9	13	55	23	13	91	7	95	11	26	11	8	56	21	13	90	5	94	8	27	13	9	57	20	13	90	4	99	10	29	16	12	67	22	7	96	3	78	6	28	8	10	52	17	7	76	2
316214	5	estab.	104	9	24	9	13	55	23	13	91	13	100	11	26	11	8	56	21	13	90	10	97	8	27	13	9	57	20	13	90	7	102	10	29	16	12	67	22	7	96	6	81	6	28	8	10	52	17	7	76	5
316214	5	empl.	8514	0	53	61	180	294	874	2237	3405	5109	7287	0	56	78	99	233	729	2573	3535	3752	6589	0	60	80	128	268	760	2361	3389	3200	4996	0	64	107	179	350	842	1223	2415	2581	4453	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	535	1274	         [g]	         [g]
316214	5	ann. pay.	156190	390	962	997	2395	4744	15888	38952	59584	96606	146691	647	1214	1582	1900	5343	11680	46301	63324	83367	130011	95	1523	1586	2813	6017	15221	43379	64617	65394	109342	376	1510	2182	2668	6736	16838	27846	51420	57922	97473	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	10655	29108	         (D)	         (D)
316214	5	rec.																																									233470	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	26223	93452	         (D)	         (D)
316219	5	firms	84	7	30	9	8	54	21	4	79	5	80	9	29	8	6	52	17	5	74	6	80	9	33	7	9	58	12	5	75	5	78	9	35	8	7	59	12	2	73	5	73	9	28	10	9	56	13	2	71	2
316219	5	estab.	86	7	30	9	8	54	21	4	79	7	81	9	29	8	6	52	17	5	74	7	81	9	33	7	9	58	12	6	76	5	78	9	35	8	7	59	12	2	73	5	73	9	28	10	9	56	13	2	71	2
316219	5	empl.	3139	         [a]	75	         [b]	109	         [c]	1129	751	         [g]	         [g]	2588	[a]	68	[b]	[b]	[c]	[f]	628	[g]	[f]	1867	         [a]	72	         [b]	         [c]	         [c]	508	509	         [g]	         [f]	1976	         [a]	         [b]	55	85	206	439	         [c]	         [f]	         [g]	1042	0	         [b]	         [b]	114	         [c]	433	         [c]	         [f]	         [c]
316219	5	ann. pay.	58089	         (D)	1108	         (D)	2100	         (D)	22781	15564	         (D)	         (D)	52451	(D)	1253	(D)	(D)	(D)	(D)	20360	(D)	(D)	33475	         (D)	1295	         (D)	         (D)	         (D)	9003	9896	         (D)	         (D)	37760	         (D)	         (D)	1426	1815	4540	7244	         (D)	         (D)	         (D)	24692	3364	         (D)	         (D)	1929	         (D)	8227	         (D)	         (D)	         (D)
316219	5	rec.																																									74717	11122	         (D)	         (D)	5562	         (D)	22581	         (D)	         (D)	         (D)
316991	5	firms	273	24	70	39	36	169	77	18	264	9	277	28	76	42	33	179	75	15	269	8	265	21	70	42	36	169	75	13	257	8	264	16	84	42	37	179	66	11	256	8	233	13	74	36	36	159	58	10	227	6
316991	5	estab.	281	24	70	39	36	169	79	22	270	11	284	29	76	42	33	180	77	17	274	10	271	21	71	42	36	170	77	14	261	10	268	16	84	42	37	179	66	14	259	9	236	13	74	36	36	159	58	12	229	7
316991	5	empl.	9649	0	162	266	506	934	3474	2901	7309	2340	8749	0	186	287	467	940	3358	2247	6545	2204	7989	0	164	273	475	912	3173	1991	6076	1913	7550	0	194	283	526	1003	2945	1806	5754	1796	5894	0	173	249	491	913	2521	1396	4830	1064
316991	5	ann. pay.	226442	1836	2957	4378	10057	19228	67013	65476	151717	74725	205504	1724	3689	4505	10001	19919	65307	54232	139458	66046	204984	659	3223	4791	9569	18242	68789	57758	144789	60195	183441	463	4210	6290	9817	20780	64181	43318	128279	55162	139692	1328	3950	5395	9655	20328	58635	36182	115145	24547
316991	5	rec.																																									589775	6537	20260	21933	35582	84312	204092	209167	497571	92204
316992	5	firms	145	10	71	27	9	117	18	7	142	3	125	8	62	22	9	101	16	5	122	3	114	12	49	24	6	91	15	4	110	4	111	13	47	16	13	89	13	5	107	4	110	16	52	17	12	97	7	3	107	3
316992	5	estab.	146	10	71	27	9	117	18	7	142	4	126	8	62	22	9	101	16	5	122	4	115	12	49	24	6	91	15	4	110	5	112	13	47	16	13	89	13	5	107	5	111	16	52	17	12	97	7	3	107	4
316992	5	empl.	3775	0	         [c]	171	119	         [e]	713	1203	         [g]	         [g]	3262	[a]	145	149	119	[e]	596	749	[g]	[g]	3297	         [a]	99	160	76	         [e]	592	728	         [g]	         [g]	3028	0	95	110	159	364	504	545	1413	1615	2384	0	95	111	166	372	236	460	1068	1316
316992	5	ann. pay.	106129	397	         (D)	2167	2884	         (D)	16872	35525	         (D)	         (D)	95734	(D)	1747	1987	2320	(D)	17202	26703	(D)	(D)	94027	         (D)	1813	2974	1095	         (D)	15343	29712	         (D)	         (D)	83070	615	1733	1818	3230	7396	11503	27086	45985	37085	65670	263	1857	1989	5260	9369	7422	23257	40048	25622
316992	5	rec.																																									271423	1585	7753	6801	18105	34244	30217	138289	202750	68673
316993	5	firms	175	21	56	34	23	134	26	14	174	1	176	30	61	27	16	134	26	15	175	1	182	24	72	27	21	144	23	14	181	1	165	13	60	30	24	127	27	11	165	0	157	15	57	29	25	126	23	8	157	0
316993	5	estab.	177	21	56	34	23	134	26	16	176	1	178	30	61	27	16	134	26	17	177	1	184	24	72	27	21	144	23	16	183	1	167	13	60	30	24	127	27	13	167	0	160	15	57	29	25	126	23	11	160	0
316993	5	empl.	4725	0	         [c]	230	292	         [f]	1124	2560	         [h]	         [e]	4190	[a]	144	182	188	[f]	1064	2599	[h]	[a]	3935	         [a]	155	188	283	         [f]	1018	2278	         [h]	         [a]	3332	0	110	191	306	607	1068	1657	3332	0	2807	0	111	186	328	625	929	1253	2807	0
316993	5	ann. pay.	83891	477	         (D)	3762	4687	         (D)	20475	48549	         (D)	         (D)	87986	(D)	2466	3329	3014	(D)	19071	59321	(D)	(D)	78738	         (D)	3230	3587	4534	         (D)	22230	43947	         (D)	         (D)	69419	320	2692	4762	5482	13256	22477	33686	69419	0	65518	1805	2840	4581	8793	18019	20137	27362	65518	0
316993	5	rec.																																									231556	8064	9162	14637	37105	68968	65661	96927	231556	0
316999	5	firms	451	30	187	77	60	354	73	14	441	10	451	45	176	83	51	355	72	14	441	10	457	49	183	82	53	367	67	13	447	10	464	45	198	77	58	378	67	12	457	7	408	35	175	64	58	332	60	12	404	4
316999	5	estab.	465	30	187	77	60	354	74	26	454	11	465	45	176	83	51	355	73	26	454	11	470	49	183	82	53	367	68	24	459	11	477	45	198	77	58	378	68	23	469	8	417	35	175	64	58	332	62	19	413	4
316999	5	empl.	9542	0	426	511	800	1737	2749	2506	6992	2550	9226	0	390	556	700	1646	2745	2704	7095	2131	9020	0	392	562	726	1680	2708	2406	6794	2226	7985	0	398	520	771	1689	2804	2415	6908	1077	6327	0	384	443	730	1557	2290	2074	5921	406
316999	5	ann. pay.	197956	2293	6705	7776	13306	30080	55447	52153	137680	60276	195917	1754	5825	8931	12688	29198	60082	60660	149940	45977	190929	2174	5855	11884	15037	34950	57136	47828	139914	51015	179330	1539	6619	9090	15801	33049	56671	53520	143240	36090	147310	3359	6576	9445	15654	35034	54515	49292	138841	8469
316999	5	rec.																																									705753	15577	34390	36924	68769	155660	208732	268131	632523	73230
321113	5	firms	4036	303	1077	727	775	2882	880	208	3970	66	4020	310	1049	751	778	2888	859	198	3945	75	3901	278	1015	702	766	2761	865	205	3831	70	3785	257	1023	721	711	2712	831	178	3721	64	3507	256	940	643	645	2484	776	188	3448	59
321113	5	estab.	4397	303	1077	727	776	2883	916	301	4100	297	4385	310	1049	751	781	2891	898	284	4073	312	4255	278	1016	702	768	2764	900	294	3958	297	4127	258	1025	721	713	2717	862	266	3845	282	3852	256	940	643	650	2489	812	288	3589	263
321113	5	empl.	118996	0	2495	4926	10588	18009	35991	30053	84053	34943	119513	0	2377	5082	10651	18110	35366	28238	81714	37799	118974	0	2279	4704	10392	17375	35509	30340	83224	35750	110118	0	2252	4872	9733	16857	34753	25914	77524	32594	104062	0	2182	4371	8888	15441	31415	27263	74119	29943
321113	5	ann. pay.	3247528	16156	39085	84245	208012	347498	863105	866983	2077586	1169942	3397983	51047	40556	87951	212363	391917	866020	854782	2112719	1285264	3422740	10121	36900	82421	214785	344227	882657	900488	2127372	1295368	3158380	12519	40885	89260	196743	339407	870673	788394	1998474	1159906	3166829	13536	42948	83581	193179	333244	826295	858337	2017876	1148953
321113	5	rec.																																									21781440	117728	324991	557663	1214197	2214579	5162805	5754964	13132348	8649092
321114	5	firms	366	25	82	66	51	224	93	34	351	15	356	13	74	72	59	218	85	36	339	17	342	16	73	64	51	204	89	34	327	15	364	16	90	67	58	231	82	36	349	15	409	33	111	70	57	271	86	37	394	15
321114	5	estab.	462	25	82	66	51	224	101	80	405	57	454	13	74	72	59	218	92	84	394	60	440	16	73	64	51	204	95	86	385	55	467	16	90	67	58	231	89	90	410	57	516	33	111	70	57	271	95	91	457	59
321114	5	empl.	11377	0	200	441	703	1344	3536	4397	9277	2100	12403	0	172	492	818	1482	3280	5118	9880	2523	12379	0	174	448	705	1327	3496	5223	10046	2333	12070	0	216	446	839	1501	3149	4999	9649	2421	11936	0	230	468	759	1457	3255	4660	9372	2564
321114	5	ann. pay.	314491	2429	4095	10140	16084	32748	99992	119291	252031	62460	352524	331	3918	10630	19227	34106	94723	152741	281570	70954	359943	2342	3625	9411	17858	33236	98962	159591	291789	68154	361926	3953	5167	9494	21589	40203	91031	157938	289172	72754	382843	2150	5958	10733	22625	41466	100726	154282	296474	86369
321114	5	rec.																																									4383318	25637	73331	104604	267534	471106	1151924	1597353	3220383	1162935
321211	5	firms	303	17	47	16	34	114	116	54	284	19	311	15	46	25	33	119	115	55	289	22	307	11	47	20	36	114	114	59	287	20	320	9	56	30	36	131	116	51	298	22	300	8	52	25	48	133	100	47	280	20
321211	5	estab.	334	17	47	16	34	114	119	65	298	36	345	15	46	25	33	119	118	68	305	40	344	11	47	20	36	114	117	73	304	40	356	9	56	30	36	131	118	61	310	46	333	8	52	25	48	133	102	56	291	42
321211	5	empl.	23120	         [a]	         [c]	         [b]	486	694	5457	9840	15991	7129	[j]	0	[b]	176	479	[f]	5391	9506	[j]	[i]	24050	         [a]	         [c]	         [c]	511	         [f]	5318	10248	         [j]	         [i]	23446	         [a]	         [c]	208	519	         [f]	5242	8890	         [j]	         [i]	20946	0	108	171	677	956	4566	8310	13832	7114
321211	5	ann. pay.	572209	         (D)	         (D)	         (D)	11617	19970	124851	232062	376883	195326	(D)	250	(D)	4393	11457	(D)	124640	240589	(D)	(D)	625112	         (D)	         (D)	         (D)	13458	         (D)	125976	255028	         (D)	         (D)	595895	         (D)	         (D)	5699	14216	         (D)	124773	216044	         (D)	         (D)	575498	1466	2879	3986	19477	27808	119215	218166	365189	210309
321211	5	rec.																																									3110076	7420	14880	19152	92226	133678	497503	1159240	1790421	1319655
321212	5	firms	97	5	14	3	13	35	20	19	74	23	87	3	12	4	9	28	19	16	63	24	87	2	16	3	7	28	19	17	64	23	82	3	13	7	5	28	18	16	62	20	76	1	14	2	8	25	18	15	58	18
321212	5	estab.	159	5	14	3	13	35	21	24	80	79	150	3	12	4	9	28	19	20	67	83	152	2	16	3	7	28	20	20	68	84	147	3	13	7	5	28	19	20	67	80	135	1	14	2	8	25	18	18	61	74
321212	5	empl.	26744	         [a]	         [b]	         [a]	196	         [c]	         [g]	3225	4468	22276	26685	0	[b]	[b]	123	[c]	778	[h]	3838	22847	27180	         [a]	         [b]	         [b]	100	         [c]	812	         [h]	4131	23049	24894	0	         [b]	44	73	         [c]	         [f]	         [h]	3663	21231	23635	         [a]	         [b]	         [a]	103	148	714	2771	3633	20002
321212	5	ann. pay.	857458	         (D)	         (D)	         (D)	3350	         (D)	         (D)	88779	119051	738407	917194	15	(D)	(D)	2945	(D)	21149	(D)	113231	803963	933728	         (D)	         (D)	         (D)	2568	         (D)	20632	         (D)	117724	816004	866376	25	         (D)	697	1957	         (D)	         (D)	         (D)	114722	751654	853790	         (D)	         (D)	         (D)	3893	5460	21726	101004	128190	725600
321212	5	rec.																																									4694956	         (D)	         (D)	         (D)	18110	         (D)	147253	565454	739374	3955582
321213	5	firms	12	2	1	0	0	3	2	3	8	4	7	4	0	1	0	5	0	1	6	1	12	4	1	5	0	10	0	1	11	1	28	5	9	5	5	24	2	1	27	1	59	3	19	10	11	43	6	4	53	6
321213	5	estab.	20	2	1	0	0	3	2	4	9	11	8	4	0	1	0	5	0	1	6	2	13	4	1	5	0	10	0	1	11	2	29	5	9	5	5	24	2	1	27	2	79	3	19	10	11	43	7	6	56	23
321213	5	empl.	1658	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	572	630	1028	[f]	0	0	[a]	0	[a]	0	[e]	[e]	[e]	742	         [a]	         [a]	         [b]	0	         [b]	0	         [e]	         [e]	         [e]	889	         [a]	         [b]	33	56	         [c]	         [c]	         [e]	         [e]	         [e]	5181	         [a]	         [b]	         [b]	154	256	301	493	1050	4131
321213	5	ann. pay.	56618	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	19506	20518	36100	(D)	270	0	(D)	0	(D)	0	(D)	(D)	(D)	24439	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	30525	         (D)	         (D)	733	1414	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	183463	         (D)	         (D)	         (D)	3764	7554	10286	18020	35860	147603
321213	5	rec.																																									1688083	         (D)	         (D)	         (D)	29164	         (D)	54116	81925	198770	1489313
321214	5	firms	937	56	108	128	207	499	329	86	914	23	927	52	107	123	186	468	330	101	899	28	926	44	113	117	182	456	339	100	895	31	937	45	122	118	190	475	326	105	906	31	873	27	97	118	177	419	324	101	844	29
321214	5	estab.	1067	56	108	129	208	501	335	124	960	107	1077	52	107	124	187	470	339	141	950	127	1084	44	113	117	183	457	345	137	939	145	1103	45	122	118	191	476	331	143	950	153	1025	27	97	118	177	419	335	138	892	133
321214	5	empl.	36841	0	252	865	2820	3937	13789	10222	27948	8893	41488	0	250	850	2580	3680	14024	11945	29649	11839	43454	0	252	805	2553	3610	14934	11860	30404	13050	42792	0	274	845	2634	3753	13997	12307	30057	12735	39133	0	223	831	2460	3514	13643	11604	28761	10372
321214	5	ann. pay.	1051090	7241	7412	18450	64513	97616	377097	297054	771767	279323	1220366	8417	6872	18456	61941	95686	400700	353374	849760	370606	1282578	5982	6439	18783	60165	91369	417200	369514	878083	404495	1329362	1897	8838	18796	68205	97736	417726	386462	901924	427438	1238452	4766	7765	22270	63568	98369	432769	377821	908959	329493
321214	5	rec.																																									5046533	21729	50566	88438	255368	416101	1683268	1503181	3602550	1443983
321219	5	firms	207	10	33	23	30	96	54	21	171	36	198	11	32	19	32	94	48	21	163	35	201	11	30	24	27	92	52	22	166	35	203	6	38	26	26	96	46	25	167	36	176	6	23	25	25	79	39	21	139	37
321219	5	estab.	313	10	33	23	31	97	54	28	179	134	306	11	32	19	32	94	48	29	171	135	311	11	30	24	27	92	52	32	176	135	309	6	38	26	26	96	46	37	179	130	272	6	23	25	25	79	42	30	151	121
321219	5	empl.	25055	0	76	154	424	654	2490	3027	6171	18884	25259	0	81	124	452	657	2335	3063	6055	19204	25152	0	83	164	354	601	2160	3019	5780	19372	24424	0	97	186	369	652	1862	3704	6218	18206	22114	0	64	170	333	567	1780	2906	5253	16861
321219	5	ann. pay.	821468	194	2031	3788	11219	17232	71011	93288	181531	639937	868106	900	2461	3296	11567	18224	60964	106669	185857	682249	883929	484	2008	4377	9512	16381	64019	99411	179811	704118	874327	364	2639	5377	12567	20947	57516	114282	192745	681582	818873	162	2122	5609	10179	18072	57048	106823	181943	636930
321219	5	rec.																																									5557839	1084	15212	44230	63495	124021	331226	638991	1094238	4463601
321911	5	firms	1343	125	320	236	228	909	298	87	1294	49	1337	121	325	217	227	890	303	98	1291	46	1324	109	337	194	222	862	317	96	1275	49	1371	127	338	220	227	912	325	85	1322	49	1320	79	324	228	240	871	305	96	1272	48
321911	5	estab.	1444	125	320	236	229	910	304	105	1319	125	1441	121	325	218	227	891	309	121	1321	120	1438	109	337	195	222	863	324	117	1304	134	1491	127	338	221	227	913	328	105	1346	145	1443	79	324	229	240	872	310	116	1298	145
321911	5	empl.	64358	0	732	1640	3146	5518	11574	11440	28532	35826	69317	0	743	1489	3054	5286	12140	12543	29969	39348	72999	0	761	1342	3056	5159	12699	12561	30419	42580	70739	0	744	1530	3120	5394	13397	11389	30180	40559	69060	0	777	1556	3263	5596	12143	12007	29746	39314
321911	5	ann. pay.	1892389	6789	17164	36131	77997	138081	309584	295309	742974	1149415	2116682	9105	17494	35766	82272	144637	337089	331685	813411	1303271	2217215	7036	18041	34201	82483	141761	364998	335482	842241	1374974	2250359	14818	18678	41098	87380	161974	391485	332780	886239	1364120	2276794	11212	18624	43130	91628	164594	381696	370419	916709	1360085
321911	5	rec.																																									10891658	51931	111919	199617	385412	748879	1556661	1753694	4059234	6832424
321912	5	firms	1284	88	338	208	216	850	294	82	1226	58	1225	72	321	180	223	796	294	82	1172	53	1222	89	312	176	211	788	289	86	1163	59	1151	68	307	174	203	752	263	86	1101	50	1200	69	359	184	199	811	264	78	1153	47
321912	5	estab.	1385	88	338	208	216	850	305	111	1266	119	1324	72	321	180	224	797	303	112	1212	112	1322	89	312	176	211	788	299	117	1204	118	1249	68	307	174	207	756	271	120	1147	102	1294	71	359	184	200	814	278	106	1198	96
321912	5	empl.	39961	0	763	1432	2988	5183	12230	9131	26544	13417	40227	0	674	1234	3055	4963	11972	9515	26450	13777	41653	0	677	1195	2857	4729	11577	10718	27024	14629	37905	0	654	1186	2776	4616	10292	9611	24519	13386	36349	0	770	1282	2677	4729	10784	8227	23740	12609
321912	5	ann. pay.	920355	2321	14113	27513	57386	101333	258018	223165	582516	337839	956356	2144	12417	23929	61923	100413	254368	246806	601587	354769	1019612	4936	12305	22396	55699	95336	249806	280794	625936	393676	944463	2439	13171	22311	59144	97065	227650	259497	584212	360251	946481	4829	16139	25178	62624	108770	249295	231185	589250	357231
321912	5	rec.																																									5856687	30119	130348	116966	374409	651842	1521110	1358886	3531838	2324849
321918	5	firms	1569	171	460	299	246	1176	289	74	1539	30	1583	161	456	296	267	1180	292	80	1552	31	1670	168	481	317	273	1239	318	79	1636	34	1833	214	538	347	310	1409	316	77	1802	31	2099	233	710	405	327	1675	319	76	2070	29
321918	5	estab.	1616	171	460	299	246	1176	300	92	1568	48	1634	161	456	296	269	1182	299	100	1581	53	1725	168	481	317	275	1241	326	101	1668	57	1891	214	538	347	312	1411	325	98	1834	57	2150	233	710	405	327	1675	333	91	2099	51
321918	5	empl.	38814	0	1063	2001	3399	6463	11642	10593	28698	10116	40631	0	1037	1957	3583	6577	11795	10853	29225	11406	43033	0	1071	2130	3743	6944	12909	10744	30597	12436	42583	0	1136	2384	4279	7799	12633	10167	30599	11984	42336	0	1557	2739	4519	8815	12527	10225	31567	10769
321918	5	ann. pay.	957627	10413	23405	44261	82333	160412	290643	246364	697419	260208	1048118	8777	23125	44868	90786	167556	306026	273464	747046	301072	1127142	8475	24660	50757	99366	183258	334838	283369	801465	325677	1165935	11770	27161	61583	113257	213771	341943	274973	830687	335248	1209948	16865	37245	68670	129002	251782	367983	284724	904489	305459
321918	5	rec.																																									5908811	92334	202331	302117	546734	1143516	1602557	1439234	4185307	1723504
321920	5	firms	2884	212	756	555	586	2109	692	68	2869	15	2823	201	738	534	605	2078	656	70	2804	19	2799	208	714	534	584	2040	665	76	2781	18	2755	172	746	565	564	2047	619	73	2739	16	2763	181	811	569	538	2099	588	61	2748	15
321920	5	estab.	3024	212	756	555	587	2110	726	128	2964	60	2968	201	738	534	606	2079	686	136	2901	67	2947	208	714	534	584	2040	687	152	2879	68	2915	172	746	565	564	2047	658	150	2855	60	2921	181	812	570	542	2105	640	104	2849	72
321920	5	empl.	52953	0	1755	3756	8011	13522	25710	9009	48241	4712	53043	0	1737	3597	8322	13656	24766	9327	47749	5294	53504	0	1675	3622	7982	13279	24813	9468	47560	5944	51239	0	1711	3828	7690	13229	23375	9490	46094	5145	47509	0	1981	3870	7397	13248	21534	7355	42137	5372
321920	5	ann. pay.	1045438	11246	32040	61800	145423	250509	508988	176540	936037	109401	1090077	23406	30826	63299	157619	275150	501746	194638	971534	118543	1153302	9585	31767	67142	152959	261453	519100	231068	1011621	141681	1098859	13416	32246	68799	151389	265850	491621	222025	979496	119363	1111775	39419	39106	74876	158535	311936	486741	182723	981400	130375
321920	5	rec.																																									5036797	245350	203507	362054	776833	1587744	2119054	830013	4536811	499986
321991	5	firms	179	22	27	11	12	72	32	46	150	29	196	23	39	15	11	88	37	44	169	27	200	19	45	16	15	95	36	45	176	24	222	26	55	20	18	119	39	40	198	24	234	34	57	31	14	136	38	36	210	24
321991	5	estab.	364	22	27	11	12	72	32	49	153	211	389	23	39	15	11	88	38	46	172	217	387	19	45	16	15	95	37	48	180	207	397	26	55	20	18	119	40	45	204	193	404	34	57	31	14	136	38	42	216	188
321991	5	empl.	71336	0	55	64	169	288	1729	9481	11498	59838	74778	0	82	100	162	344	1972	9158	11474	63304	64568	0	76	110	217	403	1987	9477	11867	52701	50338	0	112	139	251	502	2037	7225	9764	40574	51023	0	119	213	199	531	1940	6718	9189	41834
321991	5	ann. pay.	2059897	3008	1425	1102	4812	10347	52091	239412	301850	1758047	2084114	3006	3789	2201	12773	21769	50357	228212	300338	1783776	1690976	592	1671	2500	5013	9776	57106	210649	277531	1413445	1415467	3924	2208	3120	6042	15294	59697	193354	268345	1147122	1405210	3142	2666	7879	6045	19732	63795	191691	275218	1129992
321991	5	rec.																																									6698040	17066	17024	36587	28577	99254	284487	908416	1292157	5405883
321992	5	firms	676	75	184	101	97	457	142	59	658	18	672	53	188	96	110	447	153	53	653	19	674	62	182	93	100	437	160	58	655	19	670	52	177	111	93	433	163	58	654	16	697	55	200	120	105	480	152	49	681	16
321992	5	estab.	726	75	184	101	97	457	144	89	690	36	730	53	188	96	110	447	157	82	686	44	738	62	182	93	100	437	163	89	689	49	741	52	177	111	93	433	169	88	690	51	771	55	202	120	105	482	159	80	721	50
321992	5	empl.	23632	0	419	683	1317	2419	6166	9977	18562	5070	25316	0	427	652	1513	2592	6945	8867	18404	6912	27325	0	401	610	1343	2354	7070	9776	19200	8125	25570	0	392	715	1247	2354	6870	9334	18558	7012	24047	0	459	810	1410	2679	6585	8194	17458	6589
321992	5	ann. pay.	652755	7565	9502	19043	35898	72008	164700	268470	505178	147577	720955	2884	9972	16599	40532	69987	201242	259776	531005	189950	764528	8624	9513	13842	35191	67170	204716	276506	548392	216136	773336	7362	9905	18539	33172	68978	206887	281423	557288	216048	776122	7527	15346	21299	41728	85900	214263	268490	568653	207469
321992	5	rec.																																									3629489	39367	64218	99077	196049	398711	929626	1083929	2412266	1217223
321999	5	firms	2240	185	784	442	327	1738	371	95	2204	36	2164	204	775	368	347	1694	343	92	2129	35	2074	179	723	384	330	1616	331	91	2038	36	1969	130	722	381	306	1539	315	79	1933	36	1760	162	573	339	288	1362	296	70	1728	32
321999	5	estab.	2345	185	784	442	328	1739	390	126	2255	90	2262	204	775	368	348	1695	360	118	2173	89	2172	179	724	384	331	1618	345	121	2084	88	2067	130	722	381	310	1543	329	113	1985	82	1857	164	573	340	289	1366	313	105	1784	73
321999	5	empl.	45489	0	1682	2957	4458	9097	13468	11493	34058	11431	42406	0	1665	2458	4657	8780	12782	10572	32134	10272	42671	0	1573	2584	4551	8708	12326	10476	31510	11161	40500	0	1509	2570	4175	8254	12053	9643	29950	10550	36680	0	1290	2282	3914	7486	11425	8177	27088	9592
321999	5	ann. pay.	990873	7961	27344	52477	88418	176200	280551	245977	702728	288145	980409	8689	32234	48149	96277	185349	280461	236574	702384	278025	1006152	6085	30093	52120	99454	187752	274022	241541	703315	302837	964190	4577	28005	55784	93389	181755	280889	234146	696790	267400	976288	8106	28453	50538	96800	183897	282452	229073	695422	280866
321999	5	rec.																																									4365314	43056	131071	237444	408275	819846	1234758	1041616	3096220	1269094
322110	5	firms	32	4	3	0	1	8	7	4	19	13	33	1	3	2	3	9	6	4	19	14	36	1	4	0	2	7	10	5	22	14	40	1	5	1	4	11	8	7	26	14	27	0	2	4	2	8	4	5	17	10
322110	5	estab.	44	4	3	0	1	8	7	6	21	23	45	1	3	2	3	9	6	6	21	24	48	1	4	0	2	7	10	7	24	24	51	1	5	1	4	11	8	9	28	23	44	0	2	4	2	8	4	7	19	25
322110	5	empl.	10475	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [e]	386	678	9797	9793	[a]	[a]	[a]	51	67	255	362	684	9109	9963	         [a]	         [a]	0	         [b]	35	455	607	1097	8866	9813	         [a]	         [a]	         [a]	56	72	326	933	1331	8482	8373	0	         [a]	22	         [b]	59	151	729	939	7434
322110	5	ann. pay.	536329	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	10738	26207	510122	532294	(D)	(D)	(D)	2282	2623	11088	13638	27349	504945	583593	         (D)	         (D)	0	         (D)	2403	20138	25236	47777	535816	551593	         (D)	         (D)	         (D)	2355	3286	12939	45568	61793	489800	505399	0	         (D)	1178	         (D)	1666	6162	39591	47419	457980
322110	5	rec.																																									3790816	0	         (D)	10046	         (D)	         (D)	53747	348921	415885	3374931
322121	5	firms	133	8	6	4	4	22	24	38	84	49	141	8	12	2	4	26	25	38	89	52	145	7	15	3	8	33	26	36	95	50	152	7	12	8	10	37	26	39	102	50	197	15	35	14	7	71	32	44	147	50
322121	5	estab.	276	8	6	4	4	22	24	46	92	184	282	8	12	2	4	26	25	45	96	186	280	7	15	3	8	33	26	40	99	181	276	7	12	8	10	37	26	46	109	167	322	15	35	14	7	71	32	57	160	162
322121	5	empl.	110722	0	         [a]	         [b]	         [b]	100	1438	8531	10069	100653	111964	[a]	30	[a]	[b]	[c]	[g]	[i]	10020	101944	102728	         [a]	37	21	111	         [c]	         [g]	7655	9263	93465	97966	         [a]	26	49	148	         [c]	         [g]	8633	10421	87545	97102	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	273	1445	8099	9817	87285
322121	5	ann. pay.	5531682	250	         (D)	         (D)	         (D)	3536	62812	386480	452828	5078854	5762554	(D)	913	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	459308	5303246	5365339	         (D)	1058	636	2954	         (D)	         (D)	372205	444908	4920431	5192926	         (D)	484	1537	4069	         (D)	         (D)	417871	494873	4698053	5327694	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	9132	66761	382488	458381	4869313
322121	5	rec.																																									42659944	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	357632	2587521	3031985	39627959
322122	5	firms	25	0	0	0	0	0	0	10	10	15	28	2	3	0	0	5	1	9	15	13	26	1	3	0	0	4	2	7	13	13	27	2	2	2	0	6	1	9	16	11	27	2	2	2	0	6	3	7	16	11
322122	5	estab.	29	0	0	0	0	0	0	10	10	19	32	2	3	0	0	5	1	9	15	17	31	1	3	0	0	4	2	7	13	18	32	2	2	2	0	6	1	9	16	16	31	2	2	2	0	6	3	7	16	15
322122	5	empl.	12534	0	0	0	0	0	0	2297	2297	10237	11732	[a]	4	0	0	[a]	[b]	[g]	2184	9548	11100	         [a]	7	0	0	         [a]	         [b]	1811	1917	9183	10569	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [b]	2557	2606	7963	8727	         [a]	         [a]	         [a]	0	15	70	1882	1967	6760
322122	5	ann. pay.	742348	0	0	0	0	0	0	141593	141593	600755	672550	(D)	27	0	0	(D)	(D)	(D)	159252	513298	658567	         (D)	98	0	0	         (D)	         (D)	119239	125054	533513	658160	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	142033	146772	511388	545526	         (D)	         (D)	         (D)	0	476	1577	114606	116659	428867
322122	5	rec.																																									3114731	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	8361	929566	941662	2173069
322130	5	firms	95	8	3	3	2	16	13	23	52	43	95	6	4	7	2	19	14	21	54	41	105	7	5	6	5	23	14	27	64	41	116	12	7	8	7	34	16	27	77	39	107	9	9	11	8	37	16	16	69	38
322130	5	estab.	232	8	3	3	2	16	13	24	53	179	233	6	4	7	2	19	14	23	56	177	238	7	5	6	5	23	14	29	66	172	247	12	7	8	7	34	16	29	79	168	231	9	9	11	9	38	16	17	71	160
322130	5	empl.	53910	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [f]	2912	3592	50318	51709	0	[a]	55	[b]	84	709	2576	3369	48340	53350	         [a]	         [a]	44	         [b]	127	820	3567	4514	48836	51685	         [a]	         [a]	57	85	153	994	3838	4985	46700	48786	0	21	70	99	190	843	1844	2877	45909
322130	5	ann. pay.	2704763	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	125936	149470	2555293	2775250	1380	(D)	1793	(D)	3973	26343	120824	151140	2624110	2867717	         (D)	         (D)	1507	         (D)	4475	33112	170848	208435	2659282	2792728	         (D)	         (D)	1686	1659	5781	37103	181877	224761	2567967	2727651	1252	739	1595	3120	6706	35862	103656	146224	2581427
322130	5	rec.																																									21378614	6918	4159	10861	20055	41993	257118	705768	1004879	20373735
322211	5	firms	983	29	81	82	162	354	425	151	930	53	973	32	84	77	156	349	429	146	924	49	955	22	91	82	149	344	405	156	905	50	954	25	96	81	147	349	409	146	904	50	926	30	102	77	162	371	381	134	886	40
322211	5	estab.	1751	29	81	82	162	354	445	253	1052	699	1750	32	84	77	156	349	448	255	1052	698	1743	22	91	82	149	344	421	266	1031	712	1737	25	96	81	147	349	431	244	1024	713	1708	30	102	77	164	373	409	248	1030	678
322211	5	empl.	125343	0	204	566	2315	3085	19420	24593	47098	78245	125175	0	211	544	2224	2979	19262	24215	46456	78719	128244	0	227	578	2170	2975	18388	25488	46851	81393	126976	0	226	555	2093	2874	18286	23663	44823	82153	117404	0	230	526	2243	2999	16739	22138	41876	75528
322211	5	ann. pay.	4484512	4593	7522	15654	71210	98979	620189	887750	1606918	2877594	4680095	17506	9519	13869	65276	106170	634261	915150	1655581	3024514	4851379	5843	11056	15613	63801	96313	616092	972091	1684496	3166883	4801308	2784	10873	14427	57721	85805	598779	911162	1595746	3205562	4634804	4071	11442	16663	70964	103140	591061	892099	1586300	3048504
322211	5	rec.																																									29754718	48946	80731	114648	482018	726343	3302554	4610848	8639745	21114973
322212	5	firms	411	10	34	25	55	124	170	77	371	40	405	9	42	26	50	127	166	73	366	39	383	9	32	26	52	119	151	76	346	37	378	9	38	24	55	126	145	72	343	35	374	9	47	26	43	125	145	69	339	35
322212	5	estab.	568	10	34	25	55	124	172	101	397	171	562	9	42	26	50	127	168	92	387	175	554	9	32	26	52	119	153	97	369	185	535	9	38	24	55	126	148	91	365	170	517	9	48	26	43	126	148	87	361	156
322212	5	empl.	50394	         [a]	         [b]	174	774	1024	8372	12291	21687	28707	49342	0	95	193	712	1000	8417	11644	21061	28281	50182	0	81	173	753	1007	7544	12225	20776	29406	46384	0	96	164	791	1051	7178	11557	19786	26598	42384	0	104	175	618	897	6783	10676	18356	24028
322212	5	ann. pay.	1766429	         (D)	         (D)	6272	21640	32816	271699	447607	752122	1014307	1805791	1024	3739	5273	21861	31897	291032	425503	748432	1057359	1915919	621	3328	6739	22893	33581	259789	449188	742558	1173361	1729138	3024	3661	5704	23392	35781	246107	429792	711680	1017458	1681839	3276	6853	6414	19409	35952	249453	406374	691779	990060
322212	5	rec.																																									8714853	55510	35701	35618	93309	220138	1037949	1737909	2995996	5718857
322213	5	firms	144	6	19	18	15	58	66	17	141	3	134	3	16	9	18	46	65	19	130	4	134	5	15	11	17	48	58	24	130	4	122	0	20	9	13	42	56	18	116	6	115	0	14	11	11	36	56	16	108	7
322213	5	estab.	155	6	19	18	15	58	68	25	151	4	145	3	16	9	18	46	67	26	139	6	146	5	15	11	17	48	58	32	138	8	131	0	20	9	13	42	56	24	122	9	123	0	14	11	11	36	56	21	113	10
322213	5	empl.	5363	         [a]	         [b]	         [c]	229	397	3010	1641	5048	315	5669	0	[b]	63	[e]	353	2797	2084	5234	435	6736	         [a]	         [b]	         [b]	239	346	2570	2701	5617	1119	6170	0	53	59	165	277	2324	1617	4218	1952	4971	0	         [b]	         [b]	136	         [c]	2274	         [g]	3790	1181
322213	5	ann. pay.	148895	         (D)	         (D)	         (D)	6547	17489	80859	40375	138723	10172	157747	120	(D)	1308	(D)	8081	75384	55761	139226	18521	192830	         (D)	         (D)	         (D)	5612	8682	69997	81610	160289	32541	166407	0	2440	1558	3638	7636	69585	39933	117154	49253	138388	0	         (D)	         (D)	2823	         (D)	65842	         (D)	108380	30008
322213	5	rec.																																									484839	0	         (D)	         (D)	12060	         (D)	221934	         (D)	377742	107097
322214	5	firms	149	4	17	22	21	64	51	16	131	18	143	6	17	19	21	63	53	13	129	14	138	4	15	25	17	61	49	13	123	15	145	9	20	22	22	73	48	12	133	12	136	9	18	18	21	66	50	10	126	10
322214	5	estab.	290	4	17	22	21	64	51	23	138	152	289	6	17	19	21	63	53	22	138	151	279	4	15	25	17	61	49	22	132	147	284	9	20	22	22	73	51	18	142	142	275	9	18	18	21	66	54	14	134	141
322214	5	empl.	12148	         [a]	         [b]	152	270	471	1815	1556	3842	8306	11677	0	[b]	124	294	[e]	2070	[g]	3752	7925	11425	         [a]	         [b]	166	243	447	1904	1287	3638	7787	10741	         [a]	48	         [c]	305	         [f]	1870	         [f]	3263	7478	9790	0	46	126	286	458	1778	931	3167	6623
322214	5	ann. pay.	406478	         (D)	         (D)	3886	6845	11866	57507	65848	135221	271257	387101	469	(D)	3393	7996	(D)	64406	(D)	121722	265379	381594	         (D)	         (D)	4667	7716	14971	59219	46224	120414	261180	349182	         (D)	1987	         (D)	8377	         (D)	58253	         (D)	101695	247487	341358	1636	2407	3453	9245	16741	60041	29343	106125	235233
322214	5	rec.																																									2109248	11097	14658	21479	48424	95658	249890	135683	481231	1628017
322215	5	firms	47	2	9	2	4	17	11	3	31	16	44	3	4	3	2	12	13	1	26	18	45	3	6	2	4	15	9	3	27	18	41	2	4	3	4	13	9	2	24	17	37	0	5	2	3	10	9	2	21	16
322215	5	estab.	82	2	9	2	4	17	11	3	31	51	82	3	4	3	2	12	13	1	26	56	87	3	6	2	4	15	9	3	27	60	79	2	4	3	4	13	9	2	24	55	76	0	5	2	3	10	9	2	21	55
322215	5	empl.	13471	         [a]	         [a]	         [a]	66	95	489	626	1210	12261	14850	0	[a]	17	[b]	[b]	504	[c]	673	14177	15235	0	         [a]	         [a]	66	94	383	386	863	14372	13745	         [a]	8	         [a]	51	         [b]	332	         [e]	678	13067	14088	0	         [a]	         [a]	41	         [b]	323	         [e]	659	13429
322215	5	ann. pay.	394964	         (D)	         (D)	         (D)	1031	2074	12864	17342	32280	362684	466147	31	(D)	500	(D)	(D)	13441	(D)	19226	446921	470316	69	         (D)	         (D)	1682	2436	8933	8816	20185	450131	424214	         (D)	126	         (D)	1589	         (D)	8679	         (D)	19430	404784	443444	0	         (D)	         (D)	1316	         (D)	8613	         (D)	18790	424654
322215	5	rec.																																									3240495	0	         (D)	         (D)	7899	         (D)	46331	         (D)	84344	3156151
322221	5	firms	85	2	13	11	12	38	15	12	65	20	85	6	13	10	8	37	15	11	63	22	90	6	12	11	10	39	16	13	68	22	96	5	13	13	11	42	19	13	74	22	101	4	17	18	8	47	23	11	81	20
322221	5	estab.	100	2	13	11	12	38	16	17	71	29	101	6	13	10	8	37	16	16	69	32	107	6	12	11	10	39	18	18	75	32	114	5	13	13	11	42	21	19	82	32	117	4	17	18	8	47	24	18	89	28
322221	5	empl.	6253	         [a]	         [b]	75	152	258	619	1330	2207	4046	6360	[a]	34	[b]	100	205	660	1386	2251	4109	6577	         [a]	         [b]	73	152	252	704	1634	2590	3987	6603	0	34	92	148	274	826	2002	3102	3501	5950	         [a]	         [b]	116	104	259	998	1461	2718	3232
322221	5	ann. pay.	220661	         (D)	         (D)	2233	3917	6898	22135	40901	69934	150727	227163	(D)	883	(D)	3661	8145	24137	42022	74304	152859	243564	         (D)	         (D)	1984	7611	12098	27473	52412	91983	151581	243875	545	2112	3126	3676	9459	32853	66501	108813	135062	241913	         (D)	         (D)	4038	4644	10820	44307	55634	110761	131152
322221	5	rec.																																									1714510	         (D)	         (D)	28588	31848	         (D)	326905	358362	760060	954450
322222	5	firms	514	25	82	73	72	252	131	71	454	60	505	22	77	76	72	247	131	71	449	56	489	19	76	60	70	225	136	76	437	52	494	16	87	62	73	238	124	80	442	52	460	17	88	55	61	221	113	74	408	52
322222	5	estab.	591	25	82	73	72	252	132	90	474	117	588	24	77	76	72	249	132	94	475	113	576	19	76	60	70	225	139	96	460	116	576	16	87	62	73	238	127	101	466	110	540	17	88	55	62	222	118	96	436	104
322222	5	empl.	41367	0	199	469	1046	1714	5623	9117	16454	24913	39682	0	175	503	1006	1684	5611	8961	16256	23426	40326	0	173	411	1023	1607	5740	9672	17019	23307	38966	         [a]	         [c]	405	1047	1649	5130	10059	16838	22128	36573	0	192	357	835	1384	4452	9294	15130	21443
322222	5	ann. pay.	1632448	5747	5778	13098	35210	59833	192655	346395	598883	1033565	1628514	25873	4778	14964	35527	81142	199699	352898	633739	994775	1653842	4233	4395	14101	38832	61561	204366	378008	643935	1009907	1607436	         (D)	         (D)	13348	36566	78271	184439	400243	662953	944483	1583829	1062	6402	13487	31048	51999	173240	376505	601744	982085
322222	5	rec.																																									11503155	8351	44648	87305	172753	313057	815229	2226788	3355074	8148081
322223	5	firms	40	1	6	4	3	14	12	7	33	7	43	3	6	3	6	18	11	7	36	7	43	1	7	3	5	16	14	6	36	7	44	2	6	4	7	19	13	6	38	6	47	2	8	8	6	24	13	4	41	6
322223	5	estab.	41	1	6	4	3	14	12	7	33	8	43	3	6	3	6	18	11	7	36	7	45	1	7	3	5	16	15	7	38	7	46	2	6	4	7	19	14	7	40	6	47	2	8	8	6	24	13	4	41	6
322223	5	empl.	3007	         [a]	         [a]	         [b]	32	77	573	865	1515	1492	3037	[a]	[b]	[b]	[b]	122	575	909	1606	1431	3092	         [a]	22	         [b]	70	118	719	872	1709	1383	3002	         [a]	         [a]	27	95	133	726	887	1746	1256	2229	         [a]	         [b]	58	87	         [c]	561	         [e]	1108	1121
322223	5	ann. pay.	104767	         (D)	         (D)	         (D)	840	2234	16949	26384	45567	59200	139561	(D)	(D)	(D)	(D)	39854	16855	27874	84583	54978	105339	         (D)	631	         (D)	1883	3074	22269	29342	54685	50654	105691	         (D)	         (D)	558	2525	3809	23193	30521	57523	48168	80233	         (D)	         (D)	1954	2428	         (D)	17641	         (D)	38350	41883
322223	5	rec.																																									438556	         (D)	         (D)	13702	12958	         (D)	86184	         (D)	206004	232552
322224	5	firms	97	5	11	11	7	34	27	14	75	22	92	4	5	15	9	33	27	14	74	18	85	2	4	13	7	26	28	12	66	19	85	3	7	10	7	27	27	11	65	20	83	3	9	3	10	25	28	11	64	19
322224	5	estab.	147	5	11	11	7	34	28	16	78	69	137	4	5	15	9	33	28	16	77	60	127	2	4	13	7	26	29	13	68	59	127	3	7	10	7	27	27	13	67	60	124	3	9	3	10	25	28	12	65	59
322224	5	empl.	16830	0	26	77	102	205	1274	2210	3689	13141	14382	[a]	13	[b]	[c]	232	1246	1870	3348	11034	13731	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	194	1327	1653	3174	10557	13539	         [a]	         [b]	66	100	187	1237	1487	2911	10628	13545	         [a]	         [b]	21	152	194	1303	1631	3128	10417
322224	5	ann. pay.	495758	100	668	1816	2553	5137	32260	70138	107535	388223	425535	(D)	225	(D)	(D)	10108	34776	44988	89872	335663	420936	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5632	36119	44274	86025	334911	412321	         (D)	         (D)	2022	2291	5027	35721	45115	85863	326458	441031	         (D)	         (D)	282	4211	5629	41395	54850	101874	339157
322224	5	rec.																																									2196177	         (D)	         (D)	1613	26807	         (D)	222928	244475	503555	1692622
322225	5	firms	34	0	3	1	5	9	9	5	23	11	40	3	2	3	3	11	11	5	27	13	37	1	4	1	4	10	12	4	26	11	37	1	2	2	4	9	12	5	26	11	33	1	0	4	4	9	11	2	22	11
322225	5	estab.	41	0	3	1	5	9	9	5	23	18	47	3	2	3	3	11	11	5	27	20	45	1	4	1	4	10	12	5	27	18	45	1	2	2	4	9	12	6	27	18	41	1	0	4	4	9	11	2	22	19
322225	5	empl.	4556	0	         [a]	         [a]	68	77	462	602	1141	3415	4767	0	[a]	[b]	48	74	559	507	1140	3627	4879	         [a]	         [a]	         [a]	51	67	595	343	1005	3874	4797	         [a]	         [a]	         [a]	59	79	605	418	1102	3695	5174	         [a]	0	         [b]	55	         [b]	584	         [c]	837	4337
322225	5	ann. pay.	192919	0	         (D)	         (D)	2138	2696	17303	25455	45454	147465	214882	59	(D)	(D)	1770	2275	21508	21462	45245	169637	223633	         (D)	         (D)	         (D)	2047	2708	21620	23594	47922	175711	225753	         (D)	         (D)	         (D)	2494	3174	23943	21901	49018	176735	222980	         (D)	0	         (D)	2203	         (D)	24078	         (D)	35936	187044
322225	5	rec.																																									1446046	         (D)	0	         (D)	8324	         (D)	138453	         (D)	197536	1248510
322226	5	firms	45	1	2	2	5	10	12	10	32	13	44	1	2	0	7	10	13	8	31	13	41	1	2	0	6	9	13	7	29	12	41	2	3	2	5	12	11	9	32	9	47	4	9	3	7	23	9	8	40	7
322226	5	estab.	57	1	2	2	5	10	13	12	35	22	56	1	2	0	7	10	14	10	34	22	55	1	2	0	6	9	14	9	32	23	56	2	3	2	5	12	11	12	35	21	60	4	9	3	7	23	9	10	42	18
322226	5	empl.	3377	         [a]	         [a]	         [a]	73	93	340	968	1401	1976	3317	[a]	[a]	0	[b]	99	365	727	1191	2126	3998	         [a]	         [a]	0	         [b]	81	407	728	1216	2782	3239	         [a]	         [a]	         [a]	62	78	373	952	1403	1836	2607	         [a]	         [a]	         [a]	99	128	307	762	1197	1410
322226	5	ann. pay.	121115	         (D)	         (D)	         (D)	2095	3163	11336	40766	55265	65850	126796	(D)	(D)	0	(D)	3313	12445	33530	49288	77508	141607	         (D)	         (D)	0	         (D)	2793	12336	25634	40763	100844	114589	         (D)	         (D)	         (D)	2422	2702	10444	33916	47062	67527	98620	         (D)	         (D)	         (D)	4112	4945	12113	29713	46771	51849
322226	5	rec.																																									746463	         (D)	         (D)	         (D)	30704	         (D)	46665	170101	255342	491121
322231	5	firms	322	12	70	60	63	205	86	16	307	15	315	12	64	73	48	197	85	17	299	16	298	9	70	57	49	185	80	19	284	14	295	10	77	54	43	184	79	18	281	14	247	8	49	44	46	147	68	18	233	14
322231	5	estab.	342	12	70	60	63	205	89	21	315	27	338	12	64	73	48	197	88	21	306	32	322	9	70	57	49	185	83	22	290	32	316	10	77	54	43	184	82	22	288	28	264	8	49	44	46	147	70	19	236	28
322231	5	empl.	12411	0	195	427	826	1448	3503	1544	6495	5916	12857	0	158	496	627	1281	3442	1858	6581	6276	12475	         [a]	         [c]	403	704	1285	3476	1906	6667	5808	11663	0	183	381	578	1142	3205	1605	5952	5711	10657	0	116	308	626	1050	2654	1859	5563	5094
322231	5	ann. pay.	337515	716	5181	9607	20169	35673	87773	49052	172498	165017	370572	702	3685	12577	13965	30929	92784	59591	183304	187268	364194	         (D)	         (D)	10194	16613	31309	93853	58993	184155	180039	345732	560	4936	9595	15625	30716	88251	48027	166994	178738	332787	812	3496	8873	19427	32608	76720	61485	170813	161974
322231	5	rec.																																									2656057	5132	24665	44121	98897	172815	338458	404030	915303	1740754
322232	5	firms	180	5	17	23	24	69	64	28	161	19	177	9	14	26	25	74	60	27	161	16	175	5	17	25	28	75	51	33	159	16	172	5	16	18	30	69	54	34	157	15	169	6	20	17	30	73	51	29	153	16
322232	5	estab.	268	5	17	23	24	69	66	35	170	98	267	9	14	26	25	74	63	32	169	98	259	5	17	25	28	75	52	41	168	91	257	5	16	18	30	69	55	41	165	92	243	6	20	17	30	73	53	35	161	82
322232	5	empl.	25532	0	43	156	340	539	3150	4703	8392	17140	24729	0	30	176	367	573	3082	4552	8207	16522	24041	0	36	175	413	624	2511	5473	8608	15433	24305	0	36	119	425	580	2638	5806	9024	15281	22040	0	48	112	414	574	2508	4471	7553	14487
322232	5	ann. pay.	783553	221	1376	4302	8773	14672	106393	161226	282291	501262	803709	763	750	5596	11553	18662	104955	161247	284864	518845	832367	5145	1182	4678	13229	24234	84523	207295	316052	516315	835352	442	956	2949	12150	16497	86928	216066	319491	515861	782296	439	1458	3062	12388	17347	91160	172673	281180	501116
322232	5	rec.																																									3560789	2104	7014	15863	63355	88336	358841	684052	1131229	2429560
322233	5	firms	152	5	44	23	23	95	33	17	145	7	147	6	38	23	27	94	28	16	138	9	141	5	35	23	22	85	32	15	132	9	130	3	34	20	21	78	28	17	123	7	129	7	30	27	22	86	23	15	124	5
322233	5	estab.	164	5	44	23	23	95	33	18	146	18	170	6	38	23	27	94	28	17	139	31	160	5	35	23	22	85	32	16	133	27	141	3	34	20	21	78	28	17	123	18	137	7	30	27	22	86	23	16	125	12
322233	5	empl.	9112	0	103	162	294	559	1325	2755	4639	4473	8510	0	82	157	352	591	1264	2074	3929	4581	7907	         [a]	         [b]	158	264	500	1426	2060	3986	3921	7282	0	80	143	268	491	1050	2372	3913	3369	6380	0	72	193	294	559	1063	2661	4283	2097
322233	5	ann. pay.	245691	45	1816	4595	6287	12743	32214	77387	122344	123347	242880	133	1560	3949	7535	13177	33981	61713	108871	134009	246166	         (D)	         (D)	5164	6148	14795	45020	60491	120306	125860	227405	229	1299	4216	5856	11600	29870	76160	117630	109775	198345	1126	1821	5458	7881	16286	32508	79519	128313	70032
322233	5	rec.																																									1708812	9351	13518	40124	52977	115970	194183	579514	889667	819145
322291	5	firms	96	6	14	8	12	40	22	13	75	21	103	8	15	9	13	45	18	20	83	20	95	1	12	7	19	39	21	16	76	19	96	4	13	7	10	34	25	17	76	20	96	4	14	12	9	39	23	17	79	17
322291	5	estab.	142	6	14	8	12	40	24	16	80	62	150	8	15	9	13	45	20	24	89	61	131	1	12	7	19	39	23	20	82	49	129	4	13	7	10	34	27	18	79	50	131	4	14	12	9	39	26	22	87	44
322291	5	empl.	26322	         [a]	         [b]	56	174	267	1095	2262	3624	22698	26524	0	37	62	184	283	718	3484	4485	22039	25132	         [a]	         [b]	47	274	350	1006	2986	4342	20790	23986	         [a]	         [b]	52	140	216	1172	2802	4190	19796	19186	         [a]	         [b]	82	127	238	1104	2899	4241	14945
322291	5	ann. pay.	1080590	         (D)	         (D)	1721	5319	9081	29420	69548	108049	972541	1092502	724	1978	1760	4775	9237	21704	108243	139184	953318	1045883	         (D)	         (D)	1431	8836	11402	27423	91875	130700	915183	1021473	         (D)	         (D)	1396	4683	8443	34222	90296	132961	888512	811608	         (D)	         (D)	1972	4026	13610	33879	108583	156072	655536
322291	5	rec.																																									9316995	         (D)	         (D)	16536	32990	         (D)	250988	817827	1189558	8127437
322299	5	firms	528	37	77	58	77	249	191	49	489	39	497	24	78	50	78	230	181	48	459	38	485	26	77	47	73	223	177	47	447	38	489	35	73	47	81	236	170	49	455	34	449	25	73	46	69	213	154	45	412	37
322299	5	estab.	607	37	78	58	77	250	210	67	527	80	566	24	78	50	78	230	193	70	493	73	557	26	77	47	73	223	189	70	482	75	560	35	73	47	82	237	182	71	490	70	515	25	73	46	70	214	165	61	440	75
322299	5	empl.	24764	         [a]	         [c]	407	1056	1650	7985	5867	15502	9262	22944	0	181	353	1098	1632	7742	5796	15170	7774	22822	         [a]	         [c]	327	1036	1529	7722	6004	15255	7567	21820	         [a]	         [c]	326	1145	1621	7311	5744	14676	7144	20024	         [a]	         [c]	332	995	1484	6394	4977	12855	7169
322299	5	ann. pay.	754314	         (D)	         (D)	10556	32291	50729	223446	167421	441596	312718	715080	1689	5163	9421	33966	50239	226569	178328	455136	259944	726110	         (D)	         (D)	11392	33793	53134	237493	188517	479144	246966	695551	         (D)	         (D)	11909	31561	49887	222061	171085	443033	252518	672998	         (D)	         (D)	9723	30710	47181	211988	164301	423470	249528
322299	5	rec.																																									4210268	         (D)	         (D)	50727	134008	         (D)	1168739	787128	2185093	2025175
323110	5	firms	17457	942	5717	3995	3015	13669	3006	573	17248	209	16816	814	5704	3777	2816	13111	2936	560	16607	209	16094	798	5422	3665	2691	12576	2782	532	15890	204	15038	646	5142	3416	2507	11711	2620	519	14850	188	14019	669	4929	3083	2271	10952	2440	453	13845	174
323110	5	estab.	18093	942	5719	3999	3023	13683	3083	688	17454	639	17469	814	5708	3781	2826	13129	3006	672	16807	662	16720	798	5426	3665	2701	12590	2848	643	16081	639	15662	647	5144	3418	2520	11729	2674	639	15042	620	14640	669	4929	3086	2282	10966	2512	557	14035	605
323110	5	empl.	416758	0	13355	26651	40549	80555	120125	87826	288506	128252	416963	0	13326	25282	38031	76639	117887	87882	282408	134555	405125	0	12710	24497	36335	73542	112808	82619	268969	136156	387500	0	11949	22790	33842	68581	105486	82415	256482	131018	350922	0	11611	20607	30635	62853	97625	69923	230401	120521
323110	5	ann. pay.	14528910	54210	297902	651930	1157386	2161428	4253479	3340530	9755437	4773473	14926754	54918	317993	641849	1126229	2140989	4252937	3432552	9826478	5100276	14997809	46626	304103	637631	1107172	2095532	4189525	3450162	9735219	5262590	14161097	36876	291157	600327	1033359	1961719	3891042	3386829	9239590	4921507	13163828	46133	283558	563655	965057	1858403	3714256	2847726	8420385	4743443
323110	5	rec.																																									47353136	172106	1050674	1923037	3109572	6255389	11811938	9407796	27475123	19878013
323111	5	firms	425	34	194	77	38	343	43	22	408	17	414	30	196	62	42	330	44	19	393	21	396	35	176	71	27	309	48	21	378	18	390	30	189	59	33	311	44	17	372	18	311	18	138	60	26	242	35	16	293	18
323111	5	estab.	455	34	194	77	38	343	44	28	415	40	442	30	196	62	43	331	45	24	400	42	421	35	176	71	28	310	49	26	385	36	415	30	189	59	34	312	45	22	379	36	333	18	138	60	27	243	36	20	299	34
323111	5	empl.	20718	0	417	494	516	1427	1745	3132	6304	14414	22402	0	419	394	529	1342	1698	2600	5640	16762	21757	         [a]	         [e]	441	351	1176	1695	2695	5566	16191	21813	0	424	385	470	1279	1611	2550	5440	16373	17199	0	299	393	352	1044	1302	2039	4385	12814
323111	5	ann. pay.	809158	3044	8391	12170	15398	39003	56399	126402	221804	587354	835896	2491	9245	9760	14708	36204	57434	112163	205801	630095	824238	         (D)	         (D)	12028	10545	34282	61424	115158	210864	613374	793569	1158	10762	10878	12104	34902	57652	109800	202354	591215	665839	4894	7272	11358	9913	33437	47464	87615	168516	497323
323111	5	rec.																																									3559870	26769	38674	51706	39057	156206	189137	445124	790467	2769403
323112	5	firms	857	34	169	149	168	520	244	48	812	45	850	35	165	151	153	504	240	57	801	49	837	40	157	152	148	497	238	56	791	46	880	40	197	143	167	547	229	62	838	42	845	52	159	141	176	528	222	53	803	42
323112	5	estab.	901	34	169	149	169	521	245	60	826	75	899	35	165	151	154	505	243	71	819	80	889	40	157	152	149	498	241	71	810	79	930	40	197	143	168	548	232	79	859	71	893	52	159	141	177	529	228	65	822	71
323112	5	empl.	30204	0	398	1010	2357	3765	9081	6577	19423	10781	32039	0	417	1031	2117	3565	8962	7879	20406	11633	32088	0	360	1051	2104	3515	9168	7501	20184	11904	31177	0	446	958	2375	3779	8973	7672	20424	10753	28983	0	378	951	2434	3763	8872	6779	19414	9569
323112	5	ann. pay.	1063942	2580	11504	29757	76895	120736	323255	241342	685333	378609	1143091	3994	10989	30243	74030	119256	326342	270358	715956	427135	1213162	4200	11699	33810	75412	125121	347598	269161	741880	471282	1183348	3714	13481	31692	86721	135608	340237	285868	761713	421635	1149686	3420	12614	34131	92413	142578	359662	266661	768901	380785
323112	5	rec.																																									5191063	14803	58886	132510	363203	569402	1375299	1184645	3129346	2061717
323113	5	firms	4118	372	1571	843	593	3379	590	105	4074	44	4029	303	1527	854	591	3275	587	117	3979	50	3958	309	1445	869	550	3173	628	114	3915	43	4018	307	1535	861	575	3278	582	118	3978	40	4310	392	1735	925	590	3642	519	116	4277	33
323113	5	estab.	4168	372	1571	843	593	3379	600	126	4105	63	4084	304	1527	854	591	3276	599	144	4019	65	4003	309	1445	869	551	3174	637	138	3949	54	4061	307	1536	861	575	3279	593	139	4011	50	4340	392	1735	926	590	3643	528	132	4303	37
323113	5	empl.	69412	0	3543	5575	7967	17085	24110	16312	57507	11905	70459	0	3397	5649	8050	17096	23525	18159	58780	11679	70685	0	3227	5779	7388	16394	24688	17922	59004	11681	69166	0	3411	5729	7812	16952	23170	18611	58733	10433	63620	0	3900	6119	7929	17948	20137	17685	55770	7850
323113	5	ann. pay.	1728840	14385	61340	110133	181291	367149	613993	420398	1401540	327300	1857478	43139	64296	120522	188502	416459	629246	479880	1525585	331893	1931485	14992	66597	131822	175140	388551	665065	500809	1554425	377060	1902853	10718	68537	128659	187851	395765	641285	543337	1580387	322466	1866068	25030	78609	137051	201211	441901	601069	546157	1589127	276941
323113	5	rec.																																									6728431	91075	269127	456025	653304	1469531	1989508	1971889	5430928	1297503
323114	5	firms	7921	450	4140	2069	792	7451	406	41	7898	23	7566	399	3922	1985	812	7118	383	45	7546	20	7146	428	3591	1882	797	6698	389	39	7126	20	7223	458	3654	1855	794	6761	398	44	7203	20	7949	498	4328	1877	824	7527	370	37	7934	15
323114	5	estab.	8169	450	4142	2074	802	7468	517	110	8095	74	7818	400	3928	1988	823	7139	474	108	7721	97	7394	431	3593	1885	808	6717	471	105	7293	101	7458	458	3656	1859	802	6775	492	93	7360	98	8167	498	4329	1881	843	7551	474	71	8096	71
323114	5	empl.	55153	0	9992	13304	10223	33519	13416	3323	50258	4895	54582	0	9405	12828	10520	32753	12693	3760	49206	5376	54070	0	8631	12159	10415	31205	12767	3324	47296	6774	54989	0	8691	12064	10338	31093	13263	4390	48746	6243	52119	0	10097	12069	10730	32896	12177	3187	48260	3859
323114	5	ann. pay.	1363455	21738	197892	283955	252254	755839	386180	86236	1228255	135200	1431168	26904	191869	285893	277205	781871	373509	111696	1267076	164092	1469692	15315	183429	284722	281837	765303	404810	97460	1267573	202119	1542019	20237	189526	287954	284298	782015	418226	154612	1354853	187166	1503556	21439	227087	296993	299645	845164	401333	119972	1366469	137087
323114	5	rec.																																									4786665	78054	759053	967081	921601	2725789	1218056	358741	4302586	484079
323115	5	firms	437	54	132	101	72	359	60	13	432	5	434	46	149	92	67	354	67	10	431	3	456	50	159	96	68	373	71	7	451	5	588	90	208	126	72	496	79	6	581	7	760	123	294	151	88	656	85	11	752	8
323115	5	estab.	441	54	132	101	72	359	60	14	433	8	435	46	149	92	67	354	67	10	431	4	456	50	159	96	68	373	71	7	451	5	589	90	208	126	73	497	79	6	582	7	775	123	294	152	88	657	89	20	766	9
323115	5	empl.	5958	0	324	678	954	1956	2305	1046	5307	651	5449	0	362	597	897	1856	2472	824	5152	297	5443	0	365	651	896	1912	2577	657	5146	297	6123	0	466	834	984	2284	2869	576	5729	394	7699	0	614	991	1176	2781	3150	997	6928	771
323115	5	ann. pay.	185496	5257	8510	18551	29383	61701	67705	32176	161582	23914	189260	4098	9491	16476	27533	57598	84400	34031	176029	13231	191979	3295	10364	17842	28333	59834	87703	25894	173431	18548	220139	4736	13000	23984	27974	69694	101211	23383	194288	25851	281208	11556	18401	30264	38575	98796	117698	32657	249151	32057
323115	5	rec.																																									871288	39478	62440	100329	122610	324857	356198	106593	787648	83640
323116	5	firms	680	31	142	109	109	391	185	66	642	38	691	38	161	91	123	413	180	63	656	35	688	39	173	104	98	414	178	60	652	36	680	30	196	108	93	427	165	53	645	35	586	28	146	89	91	354	157	44	555	31
323116	5	estab.	977	31	142	109	109	391	193	147	731	246	953	38	161	91	123	413	189	145	747	206	935	39	173	104	98	414	188	134	736	199	914	30	196	108	93	427	180	117	724	190	793	28	146	89	91	354	167	106	627	166
323116	5	empl.	53115	0	330	731	1537	2598	7984	9818	20400	32715	51389	0	376	577	1653	2606	7881	10116	20603	30786	46285	0	387	691	1343	2421	7759	9678	19858	26427	42593	0	414	724	1300	2438	7381	8392	18211	24382	36176	0	324	583	1245	2152	6894	6579	15625	20551
323116	5	ann. pay.	1602689	1291	9362	18237	41937	70827	256022	311744	638593	964096	1568031	1297	10163	14675	48198	74333	257601	318867	650801	917230	1540449	11955	10551	17380	42329	82215	253649	311321	647185	893264	1457805	1219	13889	20947	40244	76299	247955	275140	599394	858411	1231740	3682	11112	18984	40089	73867	238164	239069	551100	680640
323116	5	rec.																																									7618275	21638	76908	107229	207650	413425	979305	1120446	2513176	5105099
323117	5	firms	676	37	152	104	94	387	193	61	641	35	665	48	158	104	87	397	181	56	634	31	649	42	150	105	94	391	176	51	618	31	620	38	132	114	88	372	167	50	589	31	596	49	144	99	73	365	154	47	566	30
323117	5	estab.	726	37	152	104	94	387	194	65	646	80	718	48	158	104	87	397	183	62	642	76	698	42	150	105	94	391	176	56	623	75	667	38	132	114	88	372	167	53	592	75	642	49	144	99	73	365	155	53	573	69
323117	5	empl.	51513	         [a]	         [e]	691	1302	2312	8252	10004	20568	30945	49117	[a]	[e]	713	1192	2243	7672	8963	18878	30239	48708	0	328	699	1359	2386	7803	8264	18453	30255	47894	0	275	735	1165	2175	7314	8406	17895	29999	44245	0	320	680	1001	2001	6621	7764	16386	27859
323117	5	ann. pay.	1617428	         (D)	         (D)	20016	39441	69018	272063	339724	680805	936623	1592630	(D)	(D)	20229	39092	70509	267982	293864	632355	960275	1657729	9265	10643	17765	43509	81182	281070	294856	657108	1000621	1622818	33711	9467	19934	37198	100310	271229	291181	662720	960098	1577232	5318	9485	20428	31867	67098	252587	294004	613689	963543
323117	5	rec.																																									5681333	21036	38678	74703	107087	241504	827091	1106124	2174719	3506614
323118	5	firms	274	8	35	34	37	114	111	36	261	13	254	4	34	31	36	105	106	30	241	13	241	7	31	22	38	98	103	28	229	12	225	5	27	22	39	93	95	27	215	10	236	10	33	34	35	112	88	22	222	14
323118	5	estab.	287	8	35	34	37	114	111	41	266	21	269	4	34	31	36	105	106	35	246	23	256	7	31	22	38	98	103	33	234	22	239	5	27	22	39	93	97	29	219	20	253	10	33	36	35	114	88	24	226	27
323118	5	empl.	18234	         [a]	         [b]	235	488	811	4783	6237	11831	6403	16215	[a]	[b]	210	497	792	4872	4675	10339	5876	15532	         [a]	         [b]	134	501	718	4789	4379	9886	5646	14174	0	75	139	516	730	4338	4441	9509	4665	13345	0	80	231	513	824	3776	3300	7900	5445
323118	5	ann. pay.	483763	         (D)	         (D)	8056	11348	22316	124605	163083	310004	173759	449714	(D)	(D)	4627	12685	20533	134755	125064	280352	169362	446747	         (D)	         (D)	3243	11050	18262	135190	120553	274005	172742	401337	587	2715	2714	12215	18231	121463	118138	257832	143505	404289	692	2193	5939	12657	21481	111833	94772	228086	176203
323118	5	rec.																																									1876931	4052	9381	25983	52836	92252	383863	306551	782666	1094265
323119	5	firms	3437	324	1650	723	354	3051	285	50	3386	51	3303	287	1613	694	357	2951	266	47	3264	39	3194	254	1551	648	387	2840	264	50	3154	40	3188	235	1591	636	370	2832	270	49	3151	37	2612	187	1211	560	335	2293	244	43	2580	32
323119	5	estab.	3471	324	1650	723	355	3052	288	60	3400	71	3345	287	1613	694	358	2952	267	60	3279	66	3244	254	1551	649	387	2841	267	69	3177	67	3237	235	1591	637	370	2833	273	67	3173	64	2646	187	1211	560	335	2293	249	52	2594	52
323119	5	empl.	41376	0	3733	4655	4766	13154	10489	6553	30196	11180	36401	0	3629	4550	4757	12936	9617	6047	28600	7801	37841	0	3498	4251	5167	12916	9772	6475	29163	8678	38426	0	3535	4240	4858	12633	10365	6645	29643	8783	30948	0	2797	3656	4445	10898	9320	5020	25238	5710
323119	5	ann. pay.	1188527	11602	75317	103942	124676	315537	308124	235321	858982	329545	1092345	17228	77277	106329	132474	333308	312938	196362	842608	249737	1222965	11202	79478	105646	140198	336524	332511	244977	914012	308953	1254060	11199	83078	104656	139377	338310	336790	244004	919104	334956	1018981	7721	68023	99051	132722	307517	314806	197618	819941	199040
323119	5	rec.																																									3732402	29033	260272	352604	435677	1077586	1006440	764418	2848444	883958
323121	5	firms	1279	94	313	250	224	881	328	55	1264	15	1266	65	316	259	234	874	324	52	1250	16	1216	64	313	228	230	835	310	54	1199	17	1174	67	295	218	221	801	305	54	1160	14	1142	56	335	203	204	798	284	50	1132	10
323121	5	estab.	1301	94	313	250	227	884	331	55	1270	31	1289	65	316	260	236	877	326	66	1269	20	1242	64	313	228	232	837	314	68	1219	23	1197	67	295	218	223	803	309	65	1177	20	1170	56	335	203	206	800	293	64	1157	13
323121	5	empl.	32167	0	703	1653	3060	5416	14231	8647	28294	3873	32544	0	738	1745	3215	5698	14498	8663	28859	3685	31788	0	719	1565	3166	5450	13706	8847	28003	3785	30137	0	669	1456	2973	5098	13229	8511	26838	3299	27029	0	742	1361	2727	4830	12268	7929	25027	2002
323121	5	ann. pay.	810354	5469	14613	37975	71273	129330	367762	203224	700316	110038	827615	6304	15348	40964	76648	139264	378433	200672	718369	109246	854880	10233	16532	37333	78380	142478	377066	222063	741607	113273	778123	3212	14908	34254	70497	122871	350146	210379	683396	94727	742508	2912	17313	36011	66791	123027	337702	205784	666513	75995
323121	5	rec.																																									2013459	12109	52045	86308	164827	315289	768874	576696	1660859	352600
323122	5	firms	2984	175	1267	584	395	2421	449	74	2944	40	2801	169	1190	572	338	2269	423	70	2762	39	2607	165	1114	500	336	2115	385	63	2563	44	2365	119	1020	464	315	1918	340	64	2322	43	2108	110	939	407	271	1727	285	55	2067	41
323122	5	estab.	3144	175	1268	585	395	2423	462	118	3003	141	2950	169	1190	572	339	2270	440	110	2820	130	2777	165	1114	500	337	2116	399	104	2619	158	2526	119	1020	464	315	1918	359	103	2380	146	2250	110	939	407	271	1727	311	91	2129	121
323122	5	empl.	50456	0	2736	3846	5449	12031	16533	8098	36662	13794	46089	0	2566	3809	4640	11015	15034	7325	33374	12715	44067	0	2448	3311	4579	10338	13620	6907	30865	13202	40528	0	2276	3045	4261	9582	12278	6801	28661	11867	34134	0	2026	2684	3705	8415	10282	5150	23847	10287
323122	5	ann. pay.	2090193	7968	66898	115978	192718	383562	716352	349425	1449339	640854	2026084	7358	65598	117262	168462	358680	692526	336442	1387648	638436	1967398	18364	65685	104385	165682	354116	626296	321824	1302236	665162	1733739	9819	60760	93096	149370	313045	545186	312116	1170347	563392	1457426	5081	54031	84536	138248	281896	471096	230035	983027	474399
323122	5	rec.																																									3692402	15929	151303	225747	348496	741475	1159746	540227	2441448	1250954
324110	5	firms	155	18	23	9	7	57	24	19	100	55	145	10	20	11	13	54	21	21	96	49	162	20	22	15	12	69	21	19	109	53	165	15	29	15	12	71	22	23	116	49	202	22	44	27	13	106	24	23	153	49
324110	5	estab.	304	18	23	9	7	57	25	24	106	198	292	10	20	11	13	54	21	24	99	193	298	20	22	15	12	69	22	21	112	186	302	15	29	15	12	71	23	28	122	180	349	22	44	28	13	107	29	28	164	185
324110	5	empl.	69491	0	45	62	85	192	1091	2716	3999	65492	65813	0	52	70	190	312	1026	3217	4555	61258	66422	0	49	94	165	308	994	2697	3999	62423	63165	0	62	94	151	307	1039	3404	4750	58415	62132	0	89	177	188	454	1100	2870	4424	57708
324110	5	ann. pay.	4202766	16147	2108	1870	2988	23113	56077	140299	219489	3983277	4141531	828	1620	3785	6463	12696	56769	166797	236262	3905269	4461494	8245	1471	4941	10757	25414	51607	152449	229470	4232024	4414025	4408	1926	3160	5350	14844	53462	210278	278584	4135441	4569613	4211	2940	6044	8119	21314	60542	170845	252701	4316912
324110	5	rec.																																									195751999	54361	139722	155120	172047	521250	2782031	4499806	7803087	187948912
324121	5	firms	517	17	89	97	82	285	120	68	473	44	507	19	86	99	74	278	121	59	458	49	495	24	91	78	72	265	116	61	442	53	498	30	95	76	71	272	117	59	448	50	494	25	101	84	69	279	109	58	446	48
324121	5	estab.	1202	17	89	98	87	291	184	210	685	517	1242	19	86	100	78	283	179	186	648	594	1231	24	91	79	73	267	180	183	630	601	1272	30	95	78	73	276	188	176	640	632	1303	25	101	84	77	287	184	174	645	658
324121	5	empl.	13612	0	210	668	1077	1955	3334	2445	7734	5878	15406	0	204	677	918	1799	3460	2250	7509	7897	14752	0	204	553	920	1677	3166	3006	7849	6903	14013	0	226	520	907	1653	3218	3120	7991	6022	12664	0	237	562	861	1660	3155	2822	7637	5027
324121	5	ann. pay.	642887	993	11567	33429	57727	103716	167860	108186	379762	263125	712416	1574	11537	38456	43996	95563	176967	109863	382393	330023	683438	2050	12115	27672	46683	88520	154611	126944	370075	313363	684896	1134	16250	28951	53623	99958	160033	142824	402815	282081	653327	1662	20398	32996	51834	106890	167287	139326	413503	239824
324121	5	rec.																																									7327950	15499	181207	296013	379557	872276	1349175	1256521	3477972	3849978
324122	5	firms	154	7	39	23	12	81	38	17	136	18	148	8	28	22	14	72	41	15	128	20	131	5	23	23	12	63	31	19	113	18	141	10	28	19	17	74	35	15	124	17	132	6	30	17	15	68	30	14	112	20
324122	5	estab.	250	7	39	23	12	81	43	41	165	85	241	8	28	22	14	72	45	31	148	93	232	5	23	23	12	63	35	36	134	98	248	10	28	19	17	74	41	44	159	89	234	6	30	17	15	68	33	40	141	93
324122	5	empl.	13335	0	107	153	157	417	1721	2060	4198	9137	13635	0	61	149	176	386	1806	1802	3994	9641	13758	0	62	152	150	364	1396	2150	3910	9848	13235	0	69	131	218	418	1759	1986	4163	9072	13142	0	74	120	193	387	1402	1942	3731	9411
324122	5	ann. pay.	537524	829	5028	4916	6907	17680	64710	90247	172637	364887	580724	262	3398	5041	7287	15988	62073	83170	161231	419493	592650	143	3492	5700	6918	16253	49647	92573	158473	434177	611204	898	4437	5671	9532	20538	64586	103702	188826	422378	619079	211	5607	5024	7762	18604	52851	110808	182263	436816
324122	5	rec.																																									6483151	2355	61788	52078	78428	194649	430282	643732	1268663	5214488
324191	5	firms	319	21	86	42	50	199	66	24	289	30	313	15	91	45	45	196	66	25	287	26	313	20	89	38	51	198	62	23	283	30	293	10	81	47	43	181	60	21	262	31	275	11	74	36	46	167	59	20	246	29
324191	5	estab.	382	21	86	42	50	199	73	48	320	62	372	15	91	45	45	196	73	48	317	55	366	20	89	38	51	198	66	39	303	63	347	10	81	47	43	181	64	38	283	64	330	11	74	36	46	167	63	36	266	64
324191	5	empl.	10720	0	186	283	725	1194	2473	2809	6476	4244	10801	0	182	287	635	1104	2467	2888	6459	4342	10851	0	173	240	702	1115	2362	2482	5959	4892	10084	0	154	301	585	1040	2157	2207	5404	4680	9605	         [a]	         [c]	239	619	1023	2119	2062	5204	4401
324191	5	ann. pay.	457619	17765	6756	10485	36458	71464	105812	107068	284344	173275	478934	387	6192	11749	29997	48325	110577	136550	295452	183482	493473	490	6201	8856	36369	51916	103115	114069	269100	224373	477667	515	6070	11080	32429	50094	96868	110356	257318	220349	481534	         (D)	         (D)	10530	33332	51486	105358	101453	258297	223237
324191	5	rec.																																									5659274	         (D)	         (D)	59847	168273	         (D)	777935	852050	1912869	3746405
324199	5	firms	71	8	16	7	4	35	12	6	53	18	68	5	20	4	6	35	11	5	51	17	72	5	18	8	7	38	11	6	55	17	74	8	17	9	6	40	10	7	57	17	68	2	13	10	8	33	14	8	55	13
324199	5	estab.	83	8	16	7	4	35	13	12	60	23	79	5	20	4	6	35	12	11	58	21	83	5	18	8	7	38	11	11	60	23	84	8	17	9	6	40	10	12	62	22	80	2	13	10	8	33	14	14	61	19
324199	5	empl.	3842	0	37	46	46	129	602	596	1327	2515	3449	0	52	32	64	148	527	489	1164	2285	3440	0	38	43	90	171	497	583	1251	2189	3073	0	38	57	77	172	399	535	1106	1967	2860	         [a]	         [b]	63	94	185	543	641	1369	1491
324199	5	ann. pay.	156403	201	1135	1507	1477	4320	20537	21345	46202	110201	144619	1923	1568	1935	1993	7419	17252	20210	44881	99738	154670	700	1726	1896	3707	8029	15545	23075	46649	108021	148132	720	1218	1718	2727	6383	20874	23980	51237	96895	132868	         (D)	         (D)	2206	3459	6612	23524	27326	57462	75406
324199	5	rec.																																									1402010	         (D)	         (D)	15239	24109	         (D)	188165	501786	737624	664386
325110	5	firms	41	1	4	4	2	11	4	6	21	20	37	0	1	1	4	6	4	7	17	20	37	0	2	1	3	6	3	9	18	19	37	1	1	0	4	6	4	8	18	19	39	2	6	2	3	13	3	8	24	15
325110	5	estab.	58	1	4	4	2	11	6	8	25	33	53	0	1	1	4	6	5	9	20	33	56	0	2	1	3	6	3	14	23	33	53	1	1	0	4	6	4	11	21	32	58	2	6	2	3	13	3	13	29	29
325110	5	empl.	11259	         [a]	         [a]	31	         [b]	72	170	878	1120	10139	10826	0	[a]	[a]	[b]	59	131	842	1032	9794	10689	0	         [a]	         [a]	42	56	91	934	1081	9608	9961	         [a]	         [a]	0	         [b]	57	190	873	1120	8841	10449	         [a]	         [a]	         [a]	43	70	94	662	826	9623
325110	5	ann. pay.	702422	         (D)	         (D)	1001	         (D)	2568	7659	58726	68953	633469	688004	0	(D)	(D)	(D)	3363	6532	59164	69059	618945	670788	0	         (D)	         (D)	4295	4460	4761	71384	80605	590183	696167	         (D)	         (D)	0	         (D)	4018	12445	59145	75608	620559	763357	         (D)	         (D)	         (D)	2534	3422	6264	30764	40450	722907
325110	5	rec.																																									20967769	         (D)	         (D)	         (D)	15031	         (D)	90163	415600	550518	20417251
325120	5	firms	118	6	45	13	9	73	15	8	96	22	112	9	33	17	9	68	15	6	89	23	116	10	41	15	6	72	14	9	95	21	112	9	36	13	8	66	20	6	92	20	87	4	25	13	7	49	12	8	69	18
325120	5	estab.	647	6	45	13	9	73	18	13	104	543	637	9	33	17	9	68	18	17	103	534	623	10	41	15	6	72	14	26	112	511	586	9	36	13	8	66	26	13	105	481	551	4	25	13	7	49	20	20	89	462
325120	5	empl.	12881	         [a]	         [c]	80	         [b]	278	356	221	855	12026	11562	0	[b]	111	[c]	285	317	571	1173	10389	12032	0	90	106	68	264	349	652	1265	10767	11212	         [a]	         [b]	91	         [c]	278	633	246	1157	10055	9557	         [a]	         [b]	88	89	240	394	709	1343	8214
325120	5	ann. pay.	603967	         (D)	         (D)	3140	         (D)	8765	11106	7301	27172	576795	571509	365	(D)	3694	(D)	9774	10483	23020	43277	528232	611550	1328	2695	3768	1494	9285	11139	24619	45043	566507	612718	         (D)	         (D)	2553	         (D)	10244	25266	7380	42890	569828	569743	         (D)	         (D)	3612	3261	9124	25184	31509	65817	503926
325120	5	rec.																																									5780466	         (D)	         (D)	21904	34187	         (D)	331165	107920	514022	5266444
325131	5	firms	63	3	8	5	7	23	15	10	48	15	58	3	7	3	9	22	13	9	44	14	59	3	8	5	6	22	14	9	45	14	56	1	10	4	10	25	10	9	44	12	59	6	8	7	6	27	12	7	46	13
325131	5	estab.	79	3	8	5	7	23	15	12	50	29	75	3	7	3	9	22	13	12	47	28	79	3	8	5	6	22	16	13	51	28	76	1	10	4	10	25	12	12	49	27	78	6	8	7	6	27	14	11	52	26
325131	5	empl.	8809	         [a]	         [a]	         [b]	97	147	553	2042	2742	6067	8531	0	[a]	[b]	129	168	498	2045	2711	5820	8510	         [a]	         [a]	         [b]	87	137	574	2097	2808	5702	7981	         [a]	         [b]	28	139	191	464	1668	2323	5658	7649	         [a]	         [a]	         [b]	74	141	519	1771	2431	5218
325131	5	ann. pay.	427087	         (D)	         (D)	         (D)	3569	5403	22327	99153	126883	300204	430288	123	(D)	(D)	4691	6270	21351	104484	132105	298183	470533	         (D)	         (D)	         (D)	2607	6258	24189	112125	142572	327961	443895	         (D)	         (D)	1448	4738	7083	22236	85594	114913	328982	409222	         (D)	         (D)	         (D)	3312	6282	21667	85203	113152	296070
325131	5	rec.																																									3642670	         (D)	         (D)	         (D)	27600	         (D)	122508	546282	718861	2923809
325132	5	firms	93	5	16	8	11	40	24	8	72	21	95	5	15	8	14	42	24	9	75	20	94	7	15	10	9	41	28	7	76	18	95	5	14	16	9	44	25	10	79	16	94	5	14	13	12	44	28	8	80	14
325132	5	estab.	125	5	16	8	11	40	28	13	81	44	126	5	15	8	14	42	29	13	84	42	125	7	15	10	9	41	33	11	85	40	126	5	14	16	9	44	29	15	88	38	120	5	14	13	12	44	31	13	88	32
325132	5	empl.	8624	         [a]	         [b]	         [b]	155	248	853	1192	2293	6331	8272	0	37	52	199	288	852	1317	2457	5815	7826	         [a]	         [b]	65	109	206	1011	1023	2240	5586	7502	         [a]	         [b]	117	110	255	926	1223	2404	5098	6983	0	30	87	164	281	964	1075	2320	4663
325132	5	ann. pay.	396758	         (D)	         (D)	         (D)	5962	10379	33790	55050	99219	297539	374582	331	1135	2242	8234	11942	33319	64047	109308	265274	382661	         (D)	         (D)	3414	4966	9955	42410	52711	105076	277585	357409	         (D)	         (D)	4668	4678	10526	37013	61651	109190	248219	352734	507	1483	3444	7858	13292	45670	54904	113866	238868
325132	5	rec.																																									2419490	3361	9710	17876	41047	71994	341034	316829	729857	1689633
325181	5	firms	29	1	4	5	4	14	2	1	17	12	29	0	4	3	5	12	4	1	17	12	26	0	2	3	6	11	5	1	17	9	29	0	3	6	4	13	5	3	21	8	25	1	2	4	4	11	5	2	18	7
325181	5	estab.	42	1	4	5	4	14	2	2	18	24	43	0	4	3	5	12	4	2	18	25	40	0	2	3	6	11	5	2	18	22	43	0	3	6	4	13	6	5	24	19	38	1	2	4	4	11	5	4	20	18
325181	5	empl.	5082	         [a]	         [a]	37	         [b]	         [c]	         [c]	         [c]	397	4685	4978	0	8	19	[b]	[b]	145	[c]	395	4583	4664	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	246	         [c]	511	4153	4517	0	4	37	         [b]	         [c]	199	         [f]	914	3603	4483	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	255	         [e]	776	3707
325181	5	ann. pay.	282405	         (D)	         (D)	1093	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	12894	269511	261198	0	267	771	(D)	(D)	6562	(D)	14419	246779	289622	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	13517	         (D)	24899	264723	266916	0	22	991	         (D)	         (D)	8526	         (D)	47428	219488	285057	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	17247	         (D)	38925	246132
325181	5	rec.																																									2070537	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	108338	         (D)	303120	1767417
325182	5	firms	8	0	0	0	2	2	0	2	4	4	9	0	0	0	2	2	0	2	4	5	9	0	0	0	2	2	0	2	4	5	9	0	0	0	2	2	0	2	4	5	11	2	0	0	2	4	0	2	6	5
325182	5	estab.	22	0	0	0	2	2	0	6	8	14	23	0	0	0	2	2	0	6	8	15	23	0	0	0	2	2	0	6	8	15	23	0	0	0	2	2	0	6	8	15	25	2	0	0	2	4	0	6	10	15
325182	5	empl.	1787	0	0	0	         [b]	         [b]	0	         [e]	487	1300	1819	0	0	0	[b]	[b]	0	[f]	526	1293	1839	0	0	0	         [b]	         [b]	0	         [f]	535	1304	1799	0	0	0	         [b]	         [b]	0	         [f]	548	1251	1708	         [a]	0	0	         [b]	         [b]	0	         [e]	469	1239
325182	5	ann. pay.	91822	0	0	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	25325	66497	96905	0	0	0	(D)	(D)	0	(D)	27460	69445	99057	0	0	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	28428	70629	98441	0	0	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	27389	71052	99506	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	26417	73089
325182	5	rec.																																									1015512	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	282574	732938
325188	5	firms	401	26	71	47	34	178	87	46	311	90	401	27	71	46	40	184	82	49	315	86	401	15	84	35	47	181	88	44	313	88	398	15	78	43	43	179	91	44	314	84	367	11	57	39	43	150	92	43	285	82
325188	5	estab.	660	26	71	49	34	180	99	86	365	295	668	27	71	46	42	186	96	83	365	303	667	15	84	35	49	183	107	71	361	306	661	15	78	43	45	181	116	72	369	292	611	11	57	39	45	152	111	69	332	279
325188	5	empl.	56803	         [a]	         [c]	309	444	         [f]	         [h]	4183	8582	48221	55405	0	186	291	531	1008	3273	4753	9034	46371	53449	0	         [c]	         [c]	618	1037	3466	4389	8892	44557	51289	0	186	279	589	1054	3615	4340	9009	42280	49845	0	         [c]	         [e]	566	956	3420	4173	8549	41296
325188	5	ann. pay.	2919377	         (D)	         (D)	12330	18738	         (D)	         (D)	200749	409608	2509769	2938265	1121	6240	11045	24991	43397	143640	235656	422693	2515572	2920336	1422	         (D)	         (D)	24560	41970	155609	226929	424508	2495828	2974067	2868	7174	14716	23046	47804	169812	230830	448446	2525621	2966318	1307	         (D)	         (D)	26688	45681	165758	221719	433158	2533160
325188	5	rec.																																									16313991	8094	         (D)	         (D)	173084	         (D)	1240497	1482779	3019999	13293992
325191	5	firms	44	1	18	7	7	33	2	2	37	7	42	3	13	9	5	30	3	2	35	7	47	5	17	8	5	35	4	1	40	7	44	0	18	8	4	30	6	1	37	7	41	1	16	4	7	28	5	3	36	5
325191	5	estab.	65	1	18	7	7	33	2	3	38	27	62	3	13	9	5	30	3	3	36	26	66	5	17	8	5	35	4	2	41	25	60	0	18	8	4	30	7	2	39	21	54	1	16	4	7	28	6	10	44	10
325191	5	empl.	2591	         [a]	40	         [b]	99	         [c]	         [b]	         [b]	294	2297	2417	0	[b]	65	67	[c]	73	[b]	300	2117	2457	         [a]	41	         [b]	         [b]	         [c]	117	         [b]	345	2112	2530	0	36	59	         [b]	         [c]	210	         [b]	416	2114	2139	         [a]	38	         [b]	         [b]	         [c]	179	         [e]	774	1365
325191	5	ann. pay.	91158	         (D)	909	         (D)	2475	         (D)	         (D)	         (D)	8268	82890	90350	55	(D)	1533	1094	(D)	2211	(D)	8999	81351	91399	         (D)	1176	         (D)	         (D)	         (D)	4966	         (D)	11836	79563	89514	0	1119	1322	         (D)	         (D)	5929	         (D)	12228	77286	88083	         (D)	1024	         (D)	         (D)	         (D)	5368	         (D)	21652	66431
325191	5	rec.																																									1003423	         (D)	12738	         (D)	         (D)	         (D)	67573	         (D)	201257	802166
325192	5	firms	38	2	2	2	0	6	8	3	17	21	42	2	3	1	1	7	8	5	20	22	44	1	5	1	1	8	10	4	22	22	44	1	5	3	1	10	10	3	23	21	37	0	3	1	1	5	11	2	18	19
325192	5	estab.	53	2	2	2	0	6	9	4	19	34	57	2	3	1	1	7	9	6	22	35	59	1	5	1	1	8	11	4	23	36	57	1	5	3	1	10	11	4	25	32	46	0	3	1	1	5	11	2	18	28
325192	5	empl.	7498	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [e]	         [c]	584	6914	7830	[a]	[a]	[a]	[a]	[b]	462	[e]	837	6993	7380	         [a]	9	         [a]	         [a]	         [b]	449	         [e]	810	6570	6313	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	445	         [e]	750	5563	5074	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	375	         [b]	467	4607
325192	5	ann. pay.	420086	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	29685	390401	475997	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	22320	(D)	40778	435219	451865	         (D)	498	         (D)	         (D)	         (D)	19240	         (D)	39513	412352	382667	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	19772	         (D)	37219	345448	318936	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15716	         (D)	18993	299943
325192	5	rec.																																									4833694	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	138866	         (D)	162434	4671260
325193	5	firms	35	1	4	5	3	13	10	5	28	7	33	2	2	6	2	12	11	3	26	7	38	6	4	5	3	18	10	3	31	7	45	5	10	2	5	22	12	3	37	8	60	15	10	1	8	34	16	3	53	7
325193	5	estab.	41	1	4	5	3	13	10	8	31	10	39	2	2	6	3	13	11	5	29	10	45	6	4	5	4	19	11	5	35	10	52	5	11	2	5	23	13	5	41	11	66	15	10	1	9	35	16	5	56	10
325193	5	empl.	1975	         [a]	         [a]	         [b]	30	         [b]	         [e]	819	1189	786	1625	[a]	[a]	[b]	[b]	74	297	444	815	810	1602	0	11	38	39	88	285	433	806	796	1837	         [a]	         [a]	         [a]	62	99	379	428	906	931	1735	         [a]	         [b]	         [a]	127	154	502	417	1073	662
325193	5	ann. pay.	87438	         (D)	         (D)	         (D)	1917	         (D)	         (D)	40694	53162	34276	65193	(D)	(D)	(D)	(D)	3516	9636	17552	30704	34489	67629	895	557	1310	2910	5672	9780	17642	33094	34535	77370	         (D)	         (D)	         (D)	4237	6413	14337	18256	39006	38364	77018	         (D)	         (D)	         (D)	7015	11766	17825	18355	47946	29072
325193	5	rec.																																									2096502	         (D)	         (D)	         (D)	383077	         (D)	483724	345185	1302769	793733
325199	5	firms	484	26	74	45	44	189	103	68	360	124	459	15	71	42	53	181	101	57	339	120	451	20	76	34	47	177	101	55	333	118	453	15	86	34	48	183	102	55	340	113	443	19	76	38	43	176	95	59	330	113
325199	5	estab.	671	26	74	45	44	189	108	85	382	289	659	15	71	42	53	181	106	77	364	295	648	20	76	34	47	177	104	73	354	294	646	15	86	34	48	183	107	74	364	282	640	19	76	38	43	176	99	78	353	287
325199	5	empl.	89554	         [a]	         [c]	299	609	1075	4036	7247	12358	77196	83689	0	163	284	730	1177	3909	6663	11749	71940	81531	0	178	229	638	1045	3994	6425	11464	70067	78308	0	200	212	673	1085	3995	6336	11416	66892	73342	0	172	260	591	1023	3690	6347	11060	62282
325199	5	ann. pay.	5080004	         (D)	         (D)	11132	30312	51573	187543	381253	620369	4459635	4781041	942	7955	11830	33188	53915	191267	350645	595827	4185214	4822903	1587	8995	10360	27892	48834	210355	365474	624663	4198240	4771871	1037	8763	12476	33420	55696	207938	364622	628256	4143615	4587048	2731	9113	12038	27804	51686	195741	360829	608256	3978792
325199	5	rec.																																									46874101	30213	77526	90052	211596	409387	1173240	3147130	4729757	42144344
325211	5	firms	322	28	20	18	27	93	101	42	236	86	337	31	31	21	38	121	93	42	256	81	352	23	42	35	31	131	101	40	272	80	375	28	50	37	41	156	97	46	299	76	443	24	90	46	48	208	110	46	364	79
325211	5	estab.	565	28	20	18	27	93	103	65	261	304	586	31	31	21	38	121	97	64	282	304	597	23	42	35	31	131	104	63	298	299	621	28	50	37	41	156	101	73	330	291	695	24	91	46	49	210	122	74	406	289
325211	5	empl.	63089	0	41	119	395	555	4318	5415	10288	52801	62919	0	61	131	476	668	4060	5459	10187	52732	64899	0	91	228	408	727	4508	5890	11125	53774	61065	0	94	236	533	863	4236	6461	11560	49505	59840	0	197	304	619	1120	4592	6898	12610	47230
325211	5	ann. pay.	3359350	6036	1766	5415	14711	27928	158489	215196	401613	2957737	3521720	6070	1638	5494	15806	29008	222320	228582	479910	3041810	3791255	2379	2432	7919	15029	27759	178503	274906	481168	3310087	3613242	22835	2886	8986	19514	54221	166345	308893	529459	3083783	3572499	8395	7445	12924	22927	51691	187009	333032	571732	3000767
325211	5	rec.																																									48215976	83708	83820	112405	187592	467525	1686215	4997684	7151424	41064552
325212	5	firms	120	9	26	20	20	75	13	6	94	26	129	13	34	18	17	82	14	6	102	27	127	6	33	18	19	76	17	7	100	27	138	11	33	18	21	83	19	6	108	30	137	13	36	17	15	81	22	6	109	28
325212	5	estab.	143	9	26	20	20	75	13	9	97	46	151	13	34	18	17	82	14	9	105	46	149	6	33	18	19	76	17	10	103	46	162	11	33	18	21	83	20	8	111	51	163	13	36	17	15	81	26	9	116	47
325212	5	empl.	12250	0	57	142	284	483	527	839	1849	10401	11944	0	81	126	248	455	579	844	1878	10066	11618	0	77	121	249	447	622	867	1936	9682	11500	         [a]	         [b]	124	284	483	694	880	2057	9443	10389	         [a]	         [b]	118	223	418	852	1461	2731	7658
325212	5	ann. pay.	687710	263	1468	3766	9191	14688	21271	37521	73480	614230	643739	1340	1711	3841	9958	16850	24886	41357	83093	560646	642357	771	1732	3685	8841	15029	26569	40954	82552	559805	641827	         (D)	         (D)	3551	9762	18550	28834	49370	96754	545073	582827	         (D)	         (D)	3108	8227	14933	33990	86413	135336	447491
325212	5	rec.																																									5637687	         (D)	         (D)	17976	48879	         (D)	256469	826864	1175810	4461877
325221	5	firms	6	1	0	0	0	1	1	2	4	2	7	0	0	0	0	0	2	2	4	3	7	0	0	0	1	1	1	3	5	2	8	0	2	0	0	2	1	2	5	3	10	0	2	0	1	3	2	3	8	2
325221	5	estab.	9	1	0	0	0	1	2	2	5	4	10	0	0	0	0	0	4	2	6	4	11	0	0	0	3	3	1	3	7	4	17	0	2	0	0	2	1	9	12	5	19	0	2	0	1	3	2	10	15	4
325221	5	empl.	4275	         [a]	0	0	0	         [a]	         [b]	         [e]	         [e]	         [h]	3381	0	0	0	0	0	[b]	[e]	470	2911	2868	0	0	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [e]	         [e]	         [g]	3043	0	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [f]	         [f]	         [g]	2365	0	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	         [f]	         [f]	         [g]
325221	5	ann. pay.	151228	         (D)	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	139439	0	0	0	0	0	(D)	(D)	16305	123134	111881	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	122449	0	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	100094	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
325221	5	rec.																																									637425	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
325222	5	firms	67	4	9	5	4	22	12	7	41	26	67	5	9	4	5	23	7	10	40	27	70	3	15	4	3	25	9	8	42	28	73	7	11	4	3	25	15	9	49	24	65	5	7	5	7	24	13	7	44	21
325222	5	estab.	103	4	9	5	4	22	12	9	43	60	104	5	9	4	5	23	7	12	42	62	106	3	15	4	3	25	11	8	44	62	106	7	11	4	3	25	15	12	52	54	92	5	7	5	7	24	13	12	49	43
325222	5	empl.	34583	         [a]	20	36	64	         [c]	         [f]	         [g]	         [g]	         [k]	35423	0	21	24	70	115	[c]	[g]	1762	33661	34188	0	26	28	         [b]	         [b]	         [e]	         [g]	         [g]	         [k]	32255	         [a]	         [b]	28	36	         [b]	         [f]	         [g]	         [g]	         [k]	24214	         [a]	         [a]	34	         [b]	         [c]	         [f]	         [g]	         [g]	         [j]
325222	5	ann. pay.	1397198	         (D)	396	745	1667	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1497594	253	526	544	1603	2926	(D)	(D)	56118	1441476	1431933	155	1623	551	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1282559	         (D)	         (D)	1292	1145	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1040760	         (D)	         (D)	1261	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
325222	5	rec.																																									8839294	         (D)	         (D)	7296	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
325311	5	firms	128	9	42	23	13	87	22	4	113	15	126	8	45	23	13	89	17	4	110	16	124	12	38	26	14	90	13	5	108	16	129	9	41	25	19	94	11	5	110	19	130	9	37	25	16	87	18	6	111	19
325311	5	estab.	158	9	42	23	13	87	22	11	120	38	156	8	45	23	13	89	17	11	117	39	154	12	38	26	14	90	13	12	115	39	159	9	41	25	19	94	11	13	118	41	157	9	37	25	16	87	18	15	120	37
325311	5	empl.	5923	         [a]	         [b]	154	160	413	713	373	1499	4424	5600	[a]	[b]	154	[c]	425	546	329	1300	4300	5278	         [a]	         [b]	179	         [c]	464	456	308	1228	4050	5320	         [a]	         [b]	164	         [e]	525	404	195	1124	4196	4949	         [a]	         [b]	160	203	451	579	278	1308	3641
325311	5	ann. pay.	293162	         (D)	         (D)	4553	4532	11958	20947	14365	47270	245892	289298	(D)	(D)	5314	(D)	16025	17876	13969	47870	241428	276853	         (D)	         (D)	6697	         (D)	14391	16095	11370	41856	234997	281759	         (D)	         (D)	4518	         (D)	16430	15450	9998	41878	239881	273673	         (D)	         (D)	5410	6026	15413	22525	11944	49882	223791
325311	5	rec.																																									3335111	         (D)	         (D)	48640	83377	         (D)	194049	84139	458772	2876339
325312	5	firms	45	1	10	6	4	21	6	7	34	11	49	2	9	8	2	21	5	8	34	15	50	2	12	7	2	23	6	7	36	14	49	2	9	9	1	21	6	7	34	15	35	1	8	4	0	13	5	6	24	11
325312	5	estab.	63	1	10	6	4	21	6	7	34	29	66	2	9	8	2	21	5	9	35	31	68	2	12	7	2	23	7	8	38	30	64	2	9	9	1	21	6	8	35	29	50	1	8	4	0	13	5	6	24	26
325312	5	empl.	8263	         [a]	         [b]	48	51	125	304	843	1272	6991	8268	[a]	[b]	58	[b]	102	262	989	1353	6915	7524	         [a]	         [b]	53	         [b]	104	334	765	1203	6321	7184	         [a]	         [b]	52	         [a]	86	214	827	1127	6057	6288	         [a]	         [a]	27	0	46	191	401	638	5650
325312	5	ann. pay.	380307	         (D)	         (D)	1482	1982	4197	10899	36984	52080	328227	390373	(D)	(D)	1997	(D)	3295	7845	49129	60269	330104	372784	         (D)	         (D)	1496	         (D)	3277	11915	37466	52658	320126	352116	         (D)	         (D)	1247	         (D)	2864	6843	35708	45415	306701	353986	         (D)	         (D)	553	0	1579	6915	21656	30150	323836
325312	5	rec.																																									3997496	         (D)	         (D)	6192	0	         (D)	48913	145229	205946	3791550
325314	5	firms	344	27	83	69	48	227	68	24	319	25	334	24	87	67	40	218	66	27	311	23	319	13	83	67	45	208	66	27	301	18	331	25	80	69	47	221	66	28	315	16	362	25	91	78	44	238	76	30	344	18
325314	5	estab.	461	27	83	69	48	227	77	49	353	108	462	26	87	67	40	220	73	62	355	107	443	13	83	67	45	208	79	58	345	98	481	25	80	69	48	222	82	62	366	115	520	25	91	79	45	240	99	61	400	120
325314	5	empl.	9357	         [a]	         [c]	466	645	1322	2424	2157	5903	3454	9038	[a]	[c]	439	526	1181	2063	2200	5444	3594	8871	0	182	438	594	1214	2253	2157	5624	3247	8825	0	181	445	634	1260	2399	2002	5661	3164	9009	0	211	521	535	1267	2484	2404	6155	2854
325314	5	ann. pay.	295164	         (D)	         (D)	11518	16559	34379	68068	67301	169748	125416	298035	(D)	(D)	12205	15269	35505	59693	68082	163280	134755	292375	605	4881	12198	16129	33813	65828	69375	169016	123359	307365	1618	5373	13587	18598	39176	74173	67817	181166	126199	322649	625	6701	18403	15381	41110	81971	90124	213205	109444
325314	5	rec.																																									3070891	6059	51229	138733	103059	299080	622960	962384	1884424	1186467
325320	5	firms	228	20	57	35	29	141	30	23	194	34	217	12	61	32	25	130	36	22	188	29	206	12	55	25	31	123	31	22	176	30	212	13	54	29	28	124	37	21	182	30	198	14	44	30	26	114	33	19	166	32
325320	5	estab.	266	20	57	35	29	141	32	30	203	63	256	12	61	32	25	130	39	28	197	59	250	12	55	25	31	123	32	28	183	67	246	13	54	29	28	124	38	27	189	57	235	14	44	30	26	114	34	25	173	62
325320	5	empl.	14709	         [a]	         [c]	240	401	762	1109	2351	4222	10487	14443	0	142	220	340	702	1349	1901	3952	10491	14609	0	110	153	418	681	967	2308	3956	10653	14319	0	123	186	380	689	1219	2107	4015	10304	14021	0	98	195	363	656	1102	2127	3885	10136
325320	5	ann. pay.	711929	         (D)	         (D)	8178	12998	40237	34901	91062	166200	545729	710109	376	3598	8202	11958	24134	50253	74490	148877	561232	757800	650	4157	5520	14610	24937	35567	80448	140952	616848	719040	3611	3743	7220	14262	28836	47231	75877	151944	567096	699252	451	3634	8095	13570	25750	47274	75889	148913	550339
325320	5	rec.																																									10402745	5559	47803	89559	155998	298919	425414	950999	1675332	8727413
325411	5	firms	343	35	91	52	36	214	62	32	308	35	327	13	84	67	33	197	66	30	293	34	321	14	77	62	38	191	64	30	285	36	324	15	90	52	46	203	60	30	293	31	326	12	87	57	52	208	55	29	292	34
325411	5	estab.	370	35	91	52	36	214	65	39	318	52	351	13	84	67	33	197	70	35	302	49	345	14	77	62	38	191	69	32	292	53	346	15	90	52	46	203	63	32	298	48	353	12	87	57	52	208	61	31	300	53
325411	5	empl.	25612	         [a]	         [c]	335	489	1034	2790	4675	8499	17113	28661	0	202	432	426	1060	2929	4197	8186	20475	28133	0	178	400	505	1083	2784	3958	7825	20308	27479	0	215	357	637	1209	2906	4405	8520	18959	22496	0	199	372	677	1248	2422	3585	7255	15241
325411	5	ann. pay.	1325129	         (D)	         (D)	11208	19528	43356	97693	200546	341595	983534	1705978	1076	6975	12205	16108	36364	105435	177521	319320	1386658	1577983	3082	6514	11800	18469	39865	108502	159363	307730	1270253	1612555	1374	9437	11834	24653	47298	117378	193610	358286	1254269	1351168	835	16016	12438	29009	58298	108771	156752	323821	1027347
325411	5	rec.																																									12650827	5635	104540	73306	161687	345168	481171	867508	1693847	10956980
325412	5	firms	730	48	153	85	97	383	160	93	636	94	749	50	175	80	87	392	171	90	653	96	752	62	166	91	86	405	166	85	656	96	750	52	171	94	87	404	166	91	661	89	727	57	148	88	97	390	148	97	635	92
325412	5	estab.	871	48	153	85	97	383	164	113	660	211	898	50	175	80	87	392	174	107	673	225	906	62	166	91	86	405	168	98	671	235	911	53	171	94	87	405	167	106	678	233	891	57	149	88	97	391	149	116	656	235
325412	5	empl.	132883	0	330	589	1325	2244	6914	14692	23850	109033	129022	0	386	557	1169	2112	7222	15792	25126	103896	135954	0	362	617	1153	2132	6957	15494	24583	111371	139828	0	390	634	1156	2180	7235	16583	25998	113830	144577	0	339	592	1281	2212	6581	17459	26252	118325
325412	5	ann. pay.	8080893	8428	13568	24317	49704	96017	265928	649094	1011039	7069854	7837789	31524	19049	26233	38438	115244	296789	725208	1137241	6700548	7682041	8106	18961	29778	56465	113310	283916	692590	1089816	6592225	8785571	5065	22729	31719	45294	104807	322637	825917	1253361	7532210	9675741	18434	21485	26862	51674	118455	302843	989904	1411202	8264539
325412	5	rec.																																									104772298	136095	198037	200975	403606	938713	1820610	6817235	9576558	95195740
325413	5	firms	198	8	32	28	26	94	56	20	170	28	198	4	38	31	27	100	47	21	168	30	190	11	36	26	22	95	43	24	162	28	181	11	37	21	20	89	40	22	151	30	175	8	36	21	23	88	30	27	145	30
325413	5	estab.	224	8	32	28	26	94	57	23	174	50	223	4	38	31	27	100	47	26	173	50	216	11	36	26	22	95	43	30	168	48	210	11	37	21	20	89	40	29	158	52	205	8	36	21	23	88	31	29	148	57
325413	5	empl.	36453	0	65	197	366	628	2839	3097	6564	29889	39039	0	75	211	355	641	2408	3437	6486	32553	39884	0	78	183	295	556	1931	3393	5880	34004	40594	0	94	143	268	505	1925	3315	5745	34849	42239	0	82	147	310	539	1607	3704	5850	36389
325413	5	ann. pay.	2039525	364	2788	8133	14175	25460	120620	139885	285965	1753560	2257934	265	3238	7330	16265	27098	101297	193141	321536	1936398	2503144	952	6077	6322	11128	24479	100577	167450	292506	2210638	2571015	561	6897	4939	10579	22976	92673	172387	288036	2282979	2823549	190	3503	5184	14700	23577	76576	203923	304076	2519473
325413	5	rec.																																									13942412	1104	13567	19280	52969	86920	276069	753091	1116080	12826332
325414	5	firms	254	16	63	45	33	157	51	21	229	25	265	15	67	39	43	164	50	26	240	25	273	18	54	53	35	160	60	25	245	28	273	14	56	52	31	153	66	25	244	29	242	12	41	39	35	127	63	25	215	27
325414	5	estab.	347	16	63	45	33	157	53	26	236	111	358	15	67	39	43	164	53	34	251	107	356	18	54	53	35	160	63	32	255	101	358	14	56	52	32	154	69	30	253	105	330	12	41	39	36	128	68	32	228	102
325414	5	empl.	22163	         [a]	         [c]	314	441	894	1962	3114	5970	16193	22082	0	154	264	610	1028	2034	3647	6709	15373	23490	0	118	355	483	956	2274	3568	6798	16692	25602	0	112	349	424	885	2656	3521	7062	18540	28593	0	85	274	460	819	2604	2999	6422	22171
325414	5	ann. pay.	1144829	         (D)	         (D)	13244	20924	44567	84164	125838	254569	890260	1207994	1932	4887	11643	28719	47181	99233	187056	333470	874524	1513094	2461	5395	17683	23121	48660	112511	191927	353098	1159996	1616192	885	5276	17426	18408	41995	143575	172370	357940	1258252	2027698	1957	4490	11776	22022	40245	129623	154928	324796	1702902
325414	5	rec.																																									11958433	11529	27085	57182	114347	210143	446721	627436	1284300	10674133
325510	5	firms	1140	44	290	204	216	754	250	72	1076	64	1155	68	290	195	220	773	247	72	1092	63	1156	72	284	202	219	777	251	69	1097	59	1192	60	320	199	220	799	263	71	1133	59	1107	70	285	185	217	757	223	72	1052	55
325510	5	estab.	1428	44	290	204	216	754	282	118	1154	274	1448	68	290	195	220	773	277	114	1164	284	1441	72	284	202	220	778	285	112	1175	266	1463	60	320	199	221	800	292	119	1211	252	1363	70	285	185	218	758	258	113	1129	234
325510	5	empl.	52935	0	694	1363	2921	4978	9143	8957	23078	29857	53048	0	669	1285	2983	4937	9008	8652	22597	30451	53235	0	662	1349	3023	5034	9441	7921	22396	30839	50727	0	697	1324	2967	4988	9344	8301	22633	28094	47329	0	665	1211	2986	4862	8170	7782	20814	26515
325510	5	ann. pay.	2184193	2201	19832	48896	98096	169025	338780	348245	856050	1328143	2245750	4144	20427	42063	101147	167781	361307	337507	866595	1379155	2289601	3419	20812	45530	103013	172774	377280	313940	863994	1425607	2202951	3285	21304	43109	107015	174713	370225	331363	876301	1326650	2104491	7663	24531	44321	107660	184175	337149	323879	845203	1259288
325510	5	rec.																																									20395969	76416	162634	276905	585905	1101860	1852047	2346525	5300432	15095537
325520	5	firms	528	29	137	102	76	344	91	39	474	54	515	25	144	87	69	325	101	38	464	51	511	22	118	99	83	322	103	39	464	47	491	18	124	97	73	312	93	37	442	49	468	14	117	96	62	289	93	41	423	45
325520	5	estab.	682	29	137	102	76	344	101	78	523	159	671	27	144	87	69	327	112	75	514	157	664	22	118	99	83	322	115	74	511	153	635	18	124	97	73	312	103	64	479	156	603	14	117	96	62	289	106	74	469	134
325520	5	empl.	21968	0	325	691	1065	2081	3835	4694	10610	11358	22034	0	339	562	887	1788	4029	4637	10454	11580	22450	0	265	659	1083	2007	4249	4585	10841	11609	22208	0	301	657	984	1942	3824	4326	10092	12116	21058	0	281	645	827	1753	3705	5311	10769	10289
325520	5	ann. pay.	912912	1317	9582	24477	44081	79457	151563	186913	417933	494979	969861	13444	12587	20349	35460	81840	171724	193405	446969	522892	1039339	1087	10735	24982	45823	82627	185056	218866	486549	552790	988106	979	10287	26499	41753	79518	173804	191878	445200	542906	954969	2400	10984	27167	41936	82487	168697	230849	482033	472936
325520	5	rec.																																									7361310	15464	66925	166929	205152	454470	943060	1454582	2852112	4509198
325611	5	firms	739	45	244	142	117	548	126	32	706	33	709	37	229	149	123	538	107	35	680	29	704	46	224	138	116	524	122	31	677	27	692	39	236	130	113	518	118	31	667	25	671	32	240	133	95	500	115	30	645	26
325611	5	estab.	808	45	244	142	117	548	137	43	728	80	775	37	229	149	123	538	113	49	700	75	770	46	224	138	116	524	129	44	697	73	754	39	236	130	113	518	129	43	690	64	735	32	240	133	95	500	130	40	670	65
325611	5	empl.	31526	0	570	990	1528	3088	4503	4102	11693	19833	30418	0	533	1039	1712	3284	3909	4422	11615	18803	30004	0	501	930	1598	3029	4495	4573	12097	17907	27332	0	553	869	1487	2909	4341	3931	11181	16151	25983	         [a]	         [f]	885	1329	2758	4195	3988	10941	15042
325611	5	ann. pay.	1313824	11314	14176	31160	49613	106263	158413	167574	432250	881574	1316313	2848	14082	33179	59810	109919	145472	168916	424307	892006	1343097	7439	15004	28118	62305	112866	162615	169373	444854	898243	1226475	4019	15057	28809	53201	101086	169945	166733	437764	788711	1314816	         (D)	         (D)	27197	49908	173290	168105	157703	499098	815718
325611	5	rec.																																									17928741	         (D)	         (D)	328985	439809	         (D)	1112417	848591	4030303	13898438
325612	5	firms	689	52	230	129	90	501	113	44	658	31	664	37	209	144	84	474	112	47	633	31	653	45	210	131	85	471	107	44	622	31	618	43	200	123	82	448	98	44	590	28	591	41	191	114	74	420	103	39	562	29
325612	5	estab.	745	52	230	129	90	501	123	64	688	57	719	37	209	144	85	475	118	70	663	56	711	45	210	131	87	473	112	61	646	65	679	43	200	123	83	449	103	61	613	66	647	41	191	114	74	420	107	56	583	64
325612	5	empl.	22516	0	557	863	1253	2673	4575	6744	13992	8524	22561	0	452	932	1127	2511	4430	6460	13401	9160	22421	0	471	895	1203	2569	4454	6443	13466	8955	23020	0	463	802	1138	2403	4149	6123	12675	10345	20751	         [a]	         [e]	759	991	2170	4165	5508	11843	8908
325612	5	ann. pay.	796346	6515	14476	22709	32727	76427	161704	191026	429157	367189	819532	5057	13664	25923	35067	79711	160901	197974	438586	380946	890262	2342	13897	25977	37189	79405	167158	220302	466865	423397	950587	3117	12417	23285	35355	74174	164308	215659	454141	496446	889941	         (D)	         (D)	25481	36501	76884	193986	180751	451621	438320
325612	5	rec.																																									10054392	         (D)	         (D)	172217	191127	         (D)	872699	1216383	2558341	7496051
325613	5	firms	182	6	35	29	28	98	41	8	147	35	177	10	35	21	29	95	38	8	141	36	174	6	38	21	27	92	39	8	139	35	162	5	34	26	27	92	32	7	131	31	149	3	35	21	24	83	32	9	124	25
325613	5	estab.	212	6	35	30	28	99	43	12	154	58	207	10	35	22	29	96	41	12	149	58	203	6	39	21	27	93	42	12	147	56	191	5	35	26	28	94	34	11	139	52	178	3	35	21	25	84	35	13	132	46
325613	5	empl.	9113	0	75	191	393	659	1555	1216	3430	5683	9194	0	73	138	396	607	1444	1078	3129	6065	8697	0	71	134	378	583	1510	946	3039	5658	8005	0	61	170	377	608	1249	982	2839	5166	7301	         [a]	         [b]	148	331	554	1209	1212	2975	4326
325613	5	ann. pay.	455152	344	4234	6862	16022	27462	79814	48485	155761	299391	469008	217	3007	5402	17923	26549	77584	50749	154882	314126	471454	144	2002	5786	15422	23354	84748	47792	155894	315560	441527	131	1853	6921	16227	25132	64859	52791	142782	298745	400435	         (D)	         (D)	5883	17847	27159	63772	55522	146453	253982
325613	5	rec.																																									5731687	         (D)	         (D)	54549	113223	         (D)	426938	506791	1137822	4593865
325620	5	firms	712	82	178	96	97	453	139	67	659	53	708	58	188	111	96	453	137	64	654	54	700	55	178	118	97	448	135	63	646	54	697	45	184	107	98	434	149	61	644	53	726	54	214	110	90	468	149	60	677	49
325620	5	estab.	763	82	178	96	97	453	139	77	669	94	761	58	188	111	96	453	139	76	668	93	755	55	178	118	97	448	136	74	658	97	759	45	184	107	98	434	149	74	657	102	794	54	214	110	90	468	150	71	689	105
325620	5	empl.	65041	0	395	653	1340	2388	6072	12946	21406	43635	63031	0	451	765	1315	2531	6060	11653	20244	42787	63475	0	402	807	1349	2558	5745	11271	19574	43901	60705	0	417	713	1319	2449	6510	10543	19502	41203	56647	0	476	743	1229	2448	6595	10253	19296	37351
325620	5	ann. pay.	2344859	4768	20927	20234	35957	81886	208868	401811	692565	1652294	2299115	6363	13665	22737	40304	83069	208145	377430	668644	1630471	2443832	5359	12356	29769	43555	91039	202051	395387	688477	1755355	2422135	9147	14471	43562	45371	112551	230043	393069	735663	1686472	2289864	4253	16737	30871	42047	93908	251625	392815	738348	1551516
325620	5	rec.																																									31679852	55992	139839	225609	268840	690280	1684379	2617304	4991963	26687889
325910	5	firms	254	11	45	54	41	151	61	22	234	20	244	12	45	42	42	141	60	23	224	20	245	10	54	39	48	151	51	24	226	19	230	8	41	41	47	137	52	23	212	18	226	6	48	36	48	138	51	20	209	17
325910	5	estab.	564	11	45	54	41	151	85	108	344	220	541	12	45	42	42	141	77	116	334	207	533	10	54	39	48	151	63	123	337	196	505	8	41	41	48	138	66	117	321	184	501	16	48	36	50	150	75	115	340	161
325910	5	empl.	13494	         [a]	         [c]	363	         [f]	1059	2421	2585	6065	7429	13311	[a]	[c]	276	567	950	2184	2836	5970	7341	13050	         [a]	         [c]	262	696	1089	1924	2981	5994	7056	12886	0	95	255	633	983	2127	3082	6192	6694	12001	         [a]	         [c]	244	         [f]	991	2033	3013	6037	5964
325910	5	ann. pay.	554750	         (D)	         (D)	12584	         (D)	37879	101796	102315	241990	312760	591828	(D)	(D)	9686	21044	35531	99015	120261	254807	337021	553991	         (D)	         (D)	8910	29189	44932	83416	129378	257726	296265	587216	1191	4422	8736	26478	40827	103984	135158	279969	307247	556363	         (D)	         (D)	9470	         (D)	43275	102681	134577	280533	275830
325910	5	rec.																																									4174624	         (D)	         (D)	54828	         (D)	         (D)	485943	925764	1683276	2491348
325920	5	firms	62	4	13	7	2	26	15	11	52	10	59	1	13	6	3	23	13	12	48	11	57	2	11	4	3	20	13	12	45	12	63	8	10	3	3	24	17	11	52	11	61	2	11	9	2	24	14	11	49	12
325920	5	estab.	99	4	13	7	2	26	15	18	59	40	95	1	13	6	3	23	13	20	56	39	92	2	11	4	3	20	13	17	50	42	100	8	10	3	3	24	17	18	59	41	92	2	11	9	2	24	14	17	55	37
325920	5	empl.	7773	         [a]	         [b]	50	         [b]	111	627	1617	2355	5418	7806	[a]	[b]	39	35	101	449	1698	2248	5558	7504	         [a]	         [b]	28	41	92	484	1322	1898	5606	7325	0	23	20	39	82	617	1038	1737	5588	6304	         [a]	         [b]	64	         [b]	111	474	1094	1679	4625
325920	5	ann. pay.	278163	         (D)	         (D)	1760	         (D)	4916	19022	56531	80469	197694	289511	(D)	(D)	1781	836	4457	16352	60223	81032	208479	288003	         (D)	         (D)	1337	1436	4725	17356	42826	64907	223096	276290	993	775	1083	1015	3866	21424	35933	61223	215067	262041	         (D)	         (D)	2391	         (D)	4626	16308	41985	62919	199122
325920	5	rec.																																									1111244	         (D)	         (D)	8792	         (D)	         (D)	83100	224320	323543	787701
325991	5	firms	688	32	155	134	115	436	148	45	629	59	660	36	130	133	102	401	156	44	601	59	659	42	148	111	104	405	155	43	603	56	612	29	138	101	96	364	156	39	559	53	563	31	123	88	95	337	133	40	510	53
325991	5	estab.	797	32	155	134	116	437	153	58	648	149	771	36	130	133	103	402	161	58	621	150	764	42	148	111	105	406	158	62	626	138	715	29	138	101	97	365	159	53	577	138	660	31	123	89	95	338	135	54	527	133
325991	5	empl.	27696	0	373	905	1581	2859	5843	4711	13413	14283	27297	0	318	913	1415	2646	5928	4488	13062	14235	27449	0	351	758	1415	2524	5806	5388	13718	13731	25557	0	322	680	1283	2285	6187	4096	12568	12989	22909	0	281	566	1294	2141	5180	4231	11552	11357
325991	5	ann. pay.	999175	1986	10791	23638	49485	85900	195053	156035	436988	562187	1036698	1627	9801	24382	48915	84725	204529	162857	452111	584587	1077821	7108	11487	21704	45911	86210	212089	202227	500526	577295	1008878	1932	10779	20845	40373	73929	240529	158965	473423	535455	958619	853	10374	18816	46554	76597	219190	168503	464290	494329
325991	5	rec.																																									7431222	7586	71398	108599	232735	420318	1377142	1355888	3153348	4277874
325992	5	firms	295	29	100	38	41	208	41	15	264	31	302	36	88	45	40	209	48	13	270	32	303	25	98	45	37	205	51	16	272	31	314	27	108	51	30	216	46	21	283	31	348	29	122	68	33	252	50	17	319	29
325992	5	estab.	326	29	100	38	41	208	42	20	270	56	336	36	88	45	40	209	50	18	277	59	337	25	98	45	37	205	53	27	285	52	344	27	108	51	30	216	47	32	295	49	379	29	122	68	33	252	56	25	333	46
325992	5	empl.	36942	0	224	253	564	1041	1638	2297	4976	31966	34129	0	184	310	564	1058	1926	1867	4851	29278	30908	0	219	286	469	974	1872	2150	4996	25912	33726	0	228	329	409	966	1630	2636	5232	28494	30322	0	257	439	428	1124	1784	2342	5250	25072
325992	5	ann. pay.	1811090	4080	4499	6767	14944	30290	59579	80986	170855	1640235	1778089	2395	4328	9583	15698	32004	73964	66308	172276	1605813	1656859	1177	6031	7990	15153	30351	75960	73867	180178	1476681	1853420	2722	5724	10006	14374	32826	61821	109427	204074	1649346	1691918	2263	5877	11916	14122	34178	66312	93666	194156	1497762
325992	5	rec.																																									14261839	14376	45005	69795	69967	199143	375868	541363	1116374	13145465
325998	5	firms	970	63	206	145	173	587	218	71	876	94	983	62	223	147	163	595	211	77	883	100	959	56	217	134	174	581	201	79	861	98	987	67	232	132	165	596	211	87	894	93	986	63	237	150	166	616	189	90	895	91
325998	5	estab.	1130	63	206	146	175	590	231	102	923	207	1147	62	224	147	165	598	224	105	927	220	1124	56	218	134	176	584	211	105	900	224	1152	67	233	132	167	599	219	116	934	218	1147	63	238	151	168	620	198	123	941	206
325998	5	empl.	35279	0	498	999	2345	3842	7932	6843	18617	16662	36751	0	503	1014	2232	3749	7519	6922	18190	18561	37360	0	489	894	2347	3730	7307	7964	19001	18359	38007	0	514	877	2231	3622	7530	9110	20262	17745	34881	0	529	1013	2274	3816	6374	8667	18857	16024
325998	5	ann. pay.	1504115	7763	17538	37861	92553	155715	298541	294841	749097	755018	1649234	20676	18052	38702	91024	168454	314095	288944	771493	877741	1723447	8231	18055	33092	100117	159495	309965	347855	817315	906132	1760476	2251	19152	34940	99775	156118	319926	416388	892432	868044	1666190	6233	21791	42724	104848	175596	287648	398451	861695	804495
325998	5	rec.																																									13601631	40221	117475	250617	607517	1015830	1638931	2725303	5380064	8221567
326111	5	firms	431	11	54	46	55	166	157	73	396	35	424	10	51	49	56	166	147	76	389	35	426	19	54	53	58	184	137	69	390	36	411	13	54	54	55	176	135	63	374	37	381	18	50	37	61	166	131	52	349	32
326111	5	estab.	493	11	54	46	55	166	158	97	421	72	491	10	51	49	56	166	149	106	421	70	499	19	54	53	58	184	138	91	413	86	491	13	54	54	55	176	135	89	400	91	457	18	50	37	61	166	133	72	371	86
326111	5	empl.	42212	0	128	323	756	1207	7344	13943	22494	19718	40608	0	116	349	766	1231	6852	13988	22071	18537	40860	0	125	357	824	1306	6363	12157	19826	21034	39680	0	132	355	773	1260	6335	10848	18443	21237	35891	0	125	245	838	1208	5753	9282	16243	19648
326111	5	ann. pay.	1257226	2703	3521	7202	16825	30251	199766	408194	638211	619015	1308899	5078	4016	7415	18367	34876	194333	474946	704155	604744	1326932	4113	3742	8142	22060	38057	181848	374051	593956	732976	1328302	1144	3786	8977	19303	33210	187816	345912	566938	761364	1268501	3403	4016	6530	25178	39127	191802	302236	533165	735336
326111	5	rec.																																									7536049	29037	26878	40540	156392	252847	1016172	1668365	2937384	4598665
326112	5	firms	117	6	7	9	11	33	39	23	95	22	120	9	8	10	14	41	35	23	99	21	118	5	7	8	16	36	38	25	99	19	120	8	14	9	12	43	30	29	102	18	122	7	13	17	8	45	31	25	101	21
326112	5	estab.	152	6	7	9	11	33	39	26	98	54	159	9	8	10	14	41	36	26	103	56	160	5	7	8	16	36	40	28	104	56	162	8	14	9	12	43	32	33	108	54	171	7	13	17	8	45	33	27	105	66
326112	5	empl.	15528	0	20	67	151	238	1693	3188	5119	10409	15098	0	14	70	189	273	1577	2916	4766	10332	15614	0	12	54	215	281	1839	3206	5326	10288	15399	0	34	62	163	259	1447	3349	5055	10344	15190	0	28	115	106	249	1547	2631	4427	10763
326112	5	ann. pay.	582935	587	486	1814	4631	7518	53280	117052	177850	405085	600798	1384	729	1643	5468	9224	51227	110357	170808	429990	622134	350	457	1361	6628	8796	60711	123580	193087	429047	628810	1300	1217	1521	4797	8835	50174	120810	179819	448991	643046	453	763	3685	3646	8547	58648	104961	172156	470890
326112	5	rec.																																									4370385	3137	6021	26160	23587	58905	318719	531075	908699	3461686
326113	5	firms	717	32	115	104	112	363	195	70	628	89	679	19	120	89	103	331	192	69	592	87	657	21	108	74	110	313	188	71	572	85	643	21	117	58	107	303	187	63	553	90	619	19	121	70	92	302	173	59	534	85
326113	5	estab.	836	32	115	104	112	363	203	79	645	191	810	19	120	89	103	331	198	76	605	205	801	21	108	74	110	313	193	82	588	213	787	21	117	58	108	304	194	74	572	215	767	19	121	70	93	303	179	72	554	213
326113	5	empl.	54414	0	284	709	1559	2552	9172	9069	20793	33621	53281	0	293	615	1422	2330	8981	8707	20018	33263	55230	0	260	514	1530	2304	8604	9480	20388	34842	53385	0	286	408	1473	2167	8649	8571	19387	33998	49304	0	303	494	1253	2050	8020	7283	17353	31951
326113	5	ann. pay.	2018448	1773	7947	20678	52175	82573	319177	289720	691470	1326978	2048367	2766	9412	18832	47842	78852	317425	316225	712502	1335865	2154025	2049	9070	14831	48827	74777	301841	342078	718696	1435329	2092790	1623	8880	11589	47151	69243	302024	304962	676229	1416561	2005632	1526	9546	14451	43924	69447	307807	273241	650495	1355137
326113	5	rec.																																									13697389	10823	66222	85092	218203	380340	1767319	1652982	3800641	9896748
326121	5	firms	700	18	165	121	113	417	169	64	650	50	660	18	160	102	105	385	161	64	610	50	635	23	147	94	97	361	168	64	593	42	626	21	133	109	95	358	166	62	586	40	598	14	125	119	88	346	149	66	561	37
326121	5	estab.	755	18	165	121	113	417	181	78	676	79	721	18	160	102	105	385	170	84	639	82	695	23	147	94	97	361	176	89	626	69	683	21	133	109	95	358	173	86	617	66	653	15	125	119	88	347	158	89	594	59
326121	5	empl.	28572	0	391	815	1548	2754	7601	7559	17914	10658	28093	0	371	668	1410	2449	7045	7954	17448	10645	27331	0	363	624	1330	2317	7488	8103	17908	9423	26482	         [a]	         [e]	728	1312	2369	7381	7805	17555	8927	25514	0	291	802	1214	2307	6302	7394	16003	9511
326121	5	ann. pay.	899725	731	10997	17546	41488	70762	216656	230755	518173	381552	951799	2557	12219	16182	36797	67755	216262	248722	532739	419060	947106	1329	12598	16639	42662	73228	230882	250239	554349	392757	904328	         (D)	         (D)	19631	36718	67553	221547	240244	529344	374984	962630	458	8885	23170	40285	72798	232134	241756	546688	415942
326121	5	rec.																																									4445935	3056	44708	89103	147150	284017	748741	1013996	2046754	2399181
326122	5	firms	318	18	59	45	41	163	86	31	280	38	321	15	52	41	51	159	86	35	280	41	311	13	47	43	41	144	88	37	269	42	303	8	46	41	47	142	81	36	259	44	311	17	48	42	51	158	83	29	270	41
326122	5	estab.	448	18	59	45	41	163	95	49	307	141	455	18	52	41	51	162	93	51	306	149	446	13	47	43	41	144	96	53	293	153	442	8	46	41	47	142	87	59	288	154	439	17	48	42	51	158	94	46	298	141
326122	5	empl.	19864	0	135	299	574	1008	3856	4155	9019	10845	21403	0	125	270	668	1063	3786	4656	9505	11898	22869	0	120	276	562	958	3766	5102	9826	13043	22601	         [a]	         [c]	258	668	1027	3396	5120	9543	13058	19944	0	101	278	688	1067	3922	3640	8629	11315
326122	5	ann. pay.	619399	2402	4592	8338	15502	30834	106793	121543	259170	360229	684410	3571	2857	9140	21838	37406	110096	144435	291937	392473	733661	2460	5078	9343	15297	32178	115900	163213	311291	422370	704508	         (D)	         (D)	6895	19132	30084	104193	153392	287669	416839	671827	868	4225	9183	22830	37106	125859	128196	291161	380666
326122	5	rec.																																									5377972	8389	29808	61365	155654	255216	782915	981453	2019584	3358388
326130	5	firms	434	28	137	96	75	336	61	12	409	25	418	25	128	96	68	317	60	15	392	26	409	22	107	90	72	291	76	16	383	26	400	20	109	87	64	280	73	19	372	28	362	19	99	80	57	255	69	17	341	21
326130	5	estab.	448	28	137	96	75	336	63	15	414	34	432	25	128	96	68	317	62	18	397	35	426	22	107	90	72	291	78	19	388	38	417	20	109	87	64	280	74	22	376	41	377	19	99	80	57	255	70	23	348	29
326130	5	empl.	15691	0	343	614	991	1948	2291	1959	6198	9493	16012	0	310	624	916	1850	2283	2485	6618	9394	17239	0	255	589	985	1829	2912	2346	7087	10152	16695	0	254	574	860	1688	2814	2893	7395	9300	12910	0	234	537	773	1544	2694	2103	6341	6569
326130	5	ann. pay.	535563	3966	9321	14712	23612	51611	69459	68109	189179	346384	551110	1433	8930	16632	24844	51839	74793	82096	208728	342382	596112	2918	7810	15126	25574	51428	96233	79104	226765	369347	615983	8480	9517	14983	21442	54422	94299	96363	245084	370899	530698	2376	11148	16114	22581	52219	93693	83214	229126	301572
326130	5	rec.																																									2622467	7379	63060	81969	128082	280490	530828	446678	1257996	1364471
326140	5	firms	566	21	118	97	103	339	138	45	522	44	402	35	58	68	59	220	102	42	364	38	397	29	63	62	49	203	112	42	357	40	390	17	75	59	45	196	121	38	355	35	380	17	71	51	54	193	114	37	344	36
326140	5	estab.	774	21	118	97	103	339	147	111	597	177	575	35	58	68	60	221	106	95	422	153	569	29	63	62	49	203	115	99	417	152	566	17	75	59	45	196	124	98	418	148	551	17	71	51	54	193	123	85	401	150
326140	5	empl.	37070	0	294	650	1377	2321	5475	6756	14552	22518	31748	0	116	447	830	1393	4172	6172	11737	20011	33394	0	165	433	678	1276	4637	6612	12525	20869	31503	0	169	412	605	1186	4854	5653	11693	19810	30520	0	174	339	741	1254	4412	4735	10401	20119
326140	5	ann. pay.	1069200	1388	7873	15137	32739	57137	149281	197699	404117	665083	955269	4123	4955	11514	19098	39690	123485	185949	349124	606145	974221	2484	4687	10989	17871	36031	133253	201136	370420	603801	939688	4346	5807	11403	15166	36722	141413	169577	347712	591976	948640	3913	5760	10989	21566	42228	139251	151753	333232	615408
326140	5	rec.																																									6329984	29928	36249	59605	113053	238835	623209	832688	1694732	4635252
326150	5	firms	257	14	19	13	30	76	99	48	223	34	426	15	65	53	68	201	125	67	393	33	404	16	52	52	67	187	117	60	364	40	406	15	52	53	64	184	136	50	370	36	409	18	68	50	73	209	118	49	376	33
326150	5	estab.	416	14	19	13	30	76	102	69	247	169	630	15	65	53	68	201	133	101	435	195	608	16	52	52	67	187	125	88	400	208	610	15	52	53	64	184	149	76	409	201	610	18	69	50	73	210	133	73	416	194
326150	5	empl.	29820	0	43	89	425	557	4729	5922	11208	18612	37456	0	160	367	931	1458	5357	9462	16277	21179	37940	0	129	352	944	1425	5148	9009	15582	22358	35645	0	114	356	877	1347	6356	7534	15237	20408	33653	0	165	346	1010	1521	5446	6656	13623	20030
326150	5	ann. pay.	863862	5740	1075	2512	15434	24761	135460	178672	338893	524969	1105125	1182	4392	10508	26809	42891	148954	292387	484232	620893	1141000	922	4329	10602	28555	44408	149960	271759	466127	674873	1070156	1841	3071	10020	26281	41213	180925	234170	456308	613848	1094919	1305	5581	11636	32410	50932	164414	225401	440747	654172
326150	5	rec.																																									7169556	16013	46770	87272	172488	322543	771543	1063323	2157409	5012147
326160	5	firms	218	14	35	20	19	88	72	24	184	34	199	8	25	16	20	69	69	26	164	35	199	9	22	15	29	75	61	30	166	33	186	8	30	14	18	70	59	26	155	31	173	8	25	14	18	65	57	22	144	29
326160	5	estab.	486	14	35	20	19	88	73	59	220	266	489	8	25	16	20	69	71	55	195	294	481	9	22	15	29	75	61	62	198	283	459	8	30	14	18	70	61	46	177	282	459	8	25	14	18	65	59	42	166	293
326160	5	empl.	34874	0	77	133	280	490	3458	3957	7905	26969	37955	0	55	112	286	453	3339	4153	7945	30010	37488	0	46	95	412	553	2993	4820	8366	29122	35655	0	59	94	267	420	3009	3342	6771	28884	35168	0	58	89	243	390	3045	3058	6493	28675
326160	5	ann. pay.	1037326	1347	1378	3911	7529	14165	83813	105151	203129	834197	1177798	588	1828	3458	8581	14455	91416	123605	229476	948322	1164689	873	1399	2020	11057	15349	79798	135378	230525	934164	1188673	842	2967	2377	7211	13397	83921	91550	188868	999805	1222519	1308	1669	2206	7380	12563	91071	91488	195122	1027397
326160	5	rec.																																									8454314	8358	9394	13953	44974	76679	457894	455127	989700	7464614
326191	5	firms	483	28	100	107	92	327	120	20	467	16	531	41	97	104	106	348	146	23	517	14	512	27	105	93	102	327	139	28	494	18	500	30	102	98	94	324	136	21	481	19	494	19	106	98	95	318	135	22	475	19
326191	5	estab.	519	28	100	107	92	327	122	27	476	43	573	41	97	104	106	348	148	29	525	48	552	27	105	93	102	327	140	34	501	51	535	30	102	98	94	324	138	22	484	51	529	19	106	98	95	318	136	24	478	51
326191	5	empl.	17948	0	         [c]	722	1250	         [g]	         [h]	         [h]	10083	7865	21771	0	[c]	699	1444	[g]	[i]	[h]	11733	10038	22508	         [a]	         [c]	624	1401	         [g]	5712	         [h]	11906	10602	20732	0	         [c]	657	1298	         [g]	5553	         [h]	10778	9954	21348	         [a]	246	662	1293	         [g]	5706	         [h]	10762	10586
326191	5	ann. pay.	461625	2035	         (D)	15236	27081	         (D)	         (D)	         (D)	247837	213788	576279	3331	(D)	16783	32069	(D)	(D)	(D)	306792	269487	584043	         (D)	         (D)	14734	31729	         (D)	153086	         (D)	308042	276001	577639	4403	         (D)	14600	29542	         (D)	156867	         (D)	292099	285540	632800	         (D)	8066	14950	34628	         (D)	181203	         (D)	328653	304147
326191	5	rec.																																									2844041	         (D)	41462	58734	122197	         (D)	658924	         (D)	1191128	1652913
326192	5	firms	27	5	6	4	3	18	2	1	21	6	35	4	9	6	5	24	2	2	28	7	33	2	10	5	4	21	5	1	27	6	34	0	9	5	10	24	3	1	28	6	44	4	17	6	10	37	0	2	39	5
326192	5	estab.	35	5	6	4	3	18	2	1	21	14	43	4	9	6	5	24	2	2	28	15	40	2	10	5	4	21	5	1	27	13	41	0	9	5	10	24	3	1	28	13	51	4	17	6	10	37	0	2	39	12
326192	5	empl.	6150	0	         [a]	31	52	         [b]	         [c]	         [c]	435	5715	5586	0	[a]	42	75	[c]	[b]	[e]	476	5110	5267	         [a]	         [b]	40	53	         [c]	181	         [c]	496	4771	5060	0	         [b]	36	137	         [c]	97	         [c]	495	4565	4845	         [a]	36	43	133	         [c]	0	         [e]	657	4188
326192	5	ann. pay.	261179	125	         (D)	1368	1176	         (D)	         (D)	         (D)	11688	249491	222675	178	(D)	1540	2072	(D)	(D)	(D)	14636	208039	241802	         (D)	         (D)	1656	1677	         (D)	3482	         (D)	15091	226711	234613	0	         (D)	1006	6327	         (D)	2151	         (D)	17285	217328	232371	         (D)	1154	1340	6822	         (D)	0	         (D)	25997	206374
326192	5	rec.																																									1496186	         (D)	8147	8043	29323	         (D)	0	         (D)	98140	1398046
326199	5	firms	7494	495	1233	887	1142	3757	2422	867	7046	448	7382	382	1280	914	1118	3694	2353	878	6925	457	7167	360	1184	924	1093	3561	2279	885	6725	442	7051	356	1247	852	1120	3575	2223	819	6617	434	6799	323	1225	949	1098	3595	2053	743	6391	408
326199	5	estab.	8604	495	1233	888	1143	3759	2479	1151	7389	1215	8514	384	1280	915	1120	3699	2394	1157	7250	1264	8311	364	1184	926	1095	3569	2313	1165	7047	1264	8174	358	1248	853	1121	3580	2265	1092	6937	1237	7940	323	1225	949	1101	3598	2126	1036	6760	1180
326199	5	empl.	521712	0	2814	6091	16122	25027	106282	145501	276810	244902	529361	0	2948	6243	15742	24933	103910	145806	274649	254712	529507	0	2716	6296	15326	24338	99959	146837	271134	258373	501009	0	2904	5848	15556	24308	96277	132838	253423	247586	460386	0	2938	6509	15298	24745	89002	119602	233349	227037
326199	5	ann. pay.	14861084	54478	77350	165449	456774	754051	2875391	3993381	7622823	7238261	15684014	52697	85877	183165	458332	780071	2911837	4152093	7844001	7840013	15917880	52446	73035	178016	472204	775701	2847031	4336835	7959567	7958313	15219355	53525	82398	173645	452916	762484	2789894	3948029	7500407	7718948	14874072	30334	87669	196188	465877	780068	2753306	3822648	7356022	7518050
326199	5	rec.																																									71647216	165033	552063	883459	1969648	3570203	11225244	17145259	31940706	39706510
326211	5	firms	108	6	24	16	17	63	15	14	92	16	106	6	22	15	16	59	17	14	90	16	105	9	21	14	17	61	13	15	89	16	103	4	27	13	14	58	15	14	87	16	93	2	29	13	8	52	12	15	79	14
326211	5	estab.	160	6	24	16	17	63	15	20	98	62	162	6	22	15	16	59	17	22	98	64	160	9	21	14	17	61	13	23	97	63	161	4	27	13	14	58	15	22	95	66	149	2	29	13	8	52	12	22	86	63
326211	5	empl.	65298	0	63	107	231	401	470	2616	3487	61811	64810	0	60	100	218	378	557	2904	3839	60971	66133	         [a]	         [b]	92	242	383	446	2836	3665	62468	63931	0	71	83	204	358	532	2303	3193	60738	60905	         [a]	         [b]	86	109	266	353	2214	2833	58072
326211	5	ann. pay.	2822163	41	1894	2393	5381	9709	12454	64668	86831	2735332	2917777	96	1529	1925	6213	9763	20131	77453	107347	2810430	3021192	         (D)	         (D)	2802	6179	11166	15896	76436	103498	2917694	2866794	90	2418	1994	4865	9367	17775	63481	90623	2776171	2900383	         (D)	         (D)	2240	3661	7981	13553	74819	96353	2804030
326211	5	rec.																																									13227471	         (D)	         (D)	10700	13325	         (D)	103574	351598	489129	12738342
326212	5	firms	596	37	278	86	72	473	77	33	583	13	564	38	255	82	60	435	77	38	550	14	535	34	234	82	58	408	75	38	521	14	500	29	215	77	60	381	66	41	488	12	406	20	144	64	53	281	77	37	395	11
326212	5	estab.	714	37	278	87	73	475	85	58	618	96	705	38	255	83	60	436	84	64	584	121	708	34	234	83	58	409	79	65	553	155	677	29	215	78	60	382	72	73	527	150	558	20	144	65	53	282	87	68	437	121
326212	5	empl.	7486	0	570	571	965	2106	1677	2020	5803	1683	7798	0	538	536	781	1855	1808	2197	5860	1938	8192	0	491	546	732	1769	1819	2175	5763	2429	8550	0	452	499	747	1698	1553	2274	5525	3025	7957	         [a]	         [e]	437	660	1396	2003	1946	5345	2612
326212	5	ann. pay.	194608	1390	9973	10671	23284	45318	45830	57056	148204	46404	207564	1419	9200	11001	19192	40812	48577	60003	149392	58172	224259	2136	9518	11257	18244	41155	48491	64195	153841	70418	250291	2731	10671	11139	17519	42060	44150	66991	153201	97090	239712	         (D)	         (D)	10476	17216	36696	58776	59156	154628	85084
326212	5	rec.																																									1322755	         (D)	         (D)	56147	73665	         (D)	348756	339589	862424	460331
326220	5	firms	155	5	29	14	25	73	38	16	127	28	155	5	26	12	21	64	38	21	123	32	151	3	26	11	19	59	41	19	119	32	162	7	27	18	20	72	39	19	130	32	184	10	38	18	23	89	44	18	151	33
326220	5	estab.	222	5	29	14	27	75	44	26	145	77	225	5	26	12	23	66	43	35	144	81	217	3	26	11	21	61	46	30	137	80	228	7	27	18	22	74	43	26	143	85	257	10	38	19	24	91	52	25	168	89
326220	5	empl.	23454	0	67	94	345	506	1767	2436	4709	18745	24803	0	58	85	309	452	1549	2977	4978	19825	24502	         [a]	         [b]	73	258	391	1644	2557	4592	19910	23553	0	60	119	265	444	1598	2371	4413	19140	22201	0	91	110	301	502	1915	2124	4541	17660
326220	5	ann. pay.	755288	1292	1941	2837	11613	17683	54958	83824	156465	598823	813891	375	1496	2860	10316	15047	50394	92671	158112	655779	807403	         (D)	         (D)	2254	8301	11976	56815	83431	152222	655181	758799	572	1315	3566	8217	13670	53568	78940	146178	612621	772799	1529	1957	3765	9902	17153	67734	72561	157448	615351
326220	5	rec.																																									3973031	7145	10360	19321	50237	87063	337814	388733	813610	3159421
326291	5	firms	603	16	99	82	88	285	179	73	537	66	600	17	107	81	90	295	169	71	535	65	579	12	99	73	89	273	173	67	513	66	548	10	88	73	79	250	172	61	483	65	528	14	90	73	69	246	164	55	465	63
326291	5	estab.	714	16	99	82	88	285	188	104	577	137	725	17	107	81	90	295	177	101	573	152	705	12	99	73	89	273	184	93	550	155	666	10	88	73	80	251	179	86	516	150	644	14	90	73	69	246	173	79	498	146
326291	5	empl.	55622	0	221	546	1191	1958	7870	13153	22981	32641	58944	0	251	561	1207	2019	7467	12052	21538	37406	61186	0	234	492	1197	1923	7962	11742	21627	39559	55000	0	199	497	1067	1763	7569	10629	19961	35039	49038	0	210	506	926	1642	6739	8809	17190	31848
326291	5	ann. pay.	1715444	1893	5968	14935	31921	54717	234350	380248	669315	1046129	1917518	2125	7723	14530	36669	61047	224763	372302	658112	1259406	2013538	1207	7079	14295	36330	58911	244192	364732	667835	1345703	1764036	1319	7581	14139	30756	53795	232800	321346	607941	1156095	1658749	6759	7541	15381	29423	59104	221310	279679	560093	1098656
326291	5	rec.																																									7529957	26693	38720	66954	105750	238117	763889	1204973	2206979	5322978
326299	5	firms	835	49	142	109	131	431	234	86	751	84	796	37	138	104	134	413	216	86	715	81	775	33	129	103	109	374	234	86	694	81	748	19	125	107	111	362	217	88	667	81	744	38	126	114	113	391	202	81	674	70
326299	5	estab.	976	49	142	109	131	431	249	123	803	173	937	37	138	104	134	413	229	120	762	175	914	33	129	103	110	375	246	128	749	165	882	19	125	108	111	363	230	126	719	163	850	38	126	114	113	391	217	116	724	126
326299	5	empl.	54670	0	332	763	1838	2933	9175	11800	23908	30762	52208	0	319	704	1847	2870	8439	12505	23814	28394	51247	0	307	706	1485	2498	9284	12251	24033	27214	47623	0	311	726	1537	2574	8726	12578	23878	23745	40833	0	284	799	1529	2612	8055	11164	21831	19002
326299	5	ann. pay.	1608251	2200	7851	18980	46367	75398	266988	335407	677793	930458	1627315	5226	8727	18972	47938	80863	260537	352787	694187	933128	1640101	7086	7287	19702	42169	76244	289018	359146	724408	915693	1496591	708	7125	20272	41312	69417	274632	365257	709306	787285	1376753	6985	15091	22249	48511	92836	275102	339644	707582	669171
326299	5	rec.																																									7333039	53147	62206	96023	188081	399457	1174366	1631743	3205566	4127473
327111	5	firms	44	3	9	6	5	23	6	6	35	9	42	0	14	5	3	22	3	7	32	10	37	0	11	4	2	17	4	6	27	10	40	1	10	5	3	19	4	6	29	11	36	1	12	5	2	20	3	4	27	9
327111	5	estab.	61	3	9	6	5	23	6	7	36	25	58	0	14	5	3	22	3	8	33	25	52	0	11	4	2	17	4	7	28	24	54	1	10	5	3	19	4	6	29	25	50	1	12	5	2	20	3	4	27	23
327111	5	empl.	9528	         [a]	         [a]	39	71	125	351	866	1342	8186	9648	0	33	36	42	111	160	894	1165	8483	8984	0	         [b]	30	         [b]	79	154	792	1025	7959	8708	         [a]	         [a]	37	34	87	152	471	710	7998	8437	         [a]	         [b]	28	         [b]	75	123	421	619	7818
327111	5	ann. pay.	314372	         (D)	         (D)	1012	1324	2657	9130	22099	33886	280486	306745	0	653	914	1022	2589	5109	23846	31544	275201	299470	0	         (D)	713	         (D)	1751	5275	22301	29327	270143	295305	         (D)	         (D)	876	643	1964	4943	12104	19011	276294	294734	         (D)	         (D)	565	         (D)	1965	4512	10251	16728	278006
327111	5	rec.																																									1148874	         (D)	         (D)	2137	         (D)	         (D)	13446	28166	49823	1099051
327112	5	firms	967	107	449	139	103	798	118	33	949	18	958	96	435	152	96	779	127	33	939	19	904	96	394	146	86	722	132	30	884	20	894	91	406	143	88	728	117	29	874	20	818	104	339	155	76	674	96	25	795	23
327112	5	estab.	979	109	449	139	103	800	119	35	954	25	971	96	437	152	96	781	127	37	945	26	916	96	396	146	86	724	132	33	889	27	902	91	406	143	88	728	117	30	875	27	824	104	339	155	76	674	97	26	797	27
327112	5	empl.	20033	0	902	933	1396	3231	4920	4893	13044	6989	20000	[a]	[f]	1008	1330	3204	5005	5265	13474	6526	20054	0	769	959	1165	2893	5112	4720	12725	7329	18858	0	813	907	1187	2907	4531	4471	11909	6949	16997	0	688	1030	1004	2722	3657	4041	10420	6577
327112	5	ann. pay.	476546	5548	10884	12506	19958	48896	101796	106123	256815	219731	502740	(D)	(D)	15605	22036	52174	105953	131578	289705	213035	510501	2014	9847	15790	22099	49750	108548	119320	277618	232883	488538	9431	11811	14289	21322	56853	91867	115888	264608	223930	419199	1755	9126	18459	21062	50402	85862	102365	238629	180570
327112	5	rec.																																									1392246	8206	29964	63498	56873	158541	219943	408885	787369	604877
327113	5	firms	135	4	23	19	18	64	36	19	119	16	128	2	19	24	13	58	37	17	112	16	123	3	17	20	16	56	35	19	110	13	120	2	13	18	18	51	38	16	105	15	115	3	20	19	12	54	32	13	99	16
327113	5	estab.	151	4	23	19	18	64	38	27	129	22	144	2	19	24	13	58	39	25	122	22	139	3	17	20	16	56	39	27	122	17	136	2	13	18	18	51	42	23	116	20	132	3	20	19	12	54	35	20	109	23
327113	5	empl.	10049	         [a]	         [b]	130	247	434	1509	4059	6002	4047	8866	[a]	[b]	156	205	403	1480	3581	5464	3402	9603	0	         [b]	129	         [c]	408	1579	4253	6240	3363	9378	         [a]	         [b]	114	239	392	1813	3238	5443	3935	8432	         [a]	         [b]	134	         [c]	357	1469	2551	4377	4055
327113	5	ann. pay.	322748	         (D)	         (D)	4082	7842	14150	51166	113315	178631	144117	316777	(D)	(D)	5117	7186	13794	54709	114205	182708	134069	356896	8	         (D)	5053	         (D)	14660	59227	141722	215609	141287	309006	         (D)	         (D)	3934	6924	12446	59293	100270	172009	136997	320808	         (D)	         (D)	4662	         (D)	12897	54252	86141	153290	167518
327113	5	rec.																																									1132510	         (D)	         (D)	14350	         (D)	         (D)	150106	308368	496853	635657
327121	5	firms	132	3	26	11	8	48	46	21	115	17	131	5	24	10	9	48	45	23	116	15	123	5	26	6	9	46	37	27	110	13	117	8	23	10	4	45	37	24	106	11	103	4	19	7	4	34	38	21	93	10
327121	5	estab.	225	3	26	11	8	48	50	31	129	96	228	5	24	10	9	48	49	35	132	96	224	5	26	6	9	46	41	39	126	98	216	8	23	10	4	45	43	34	122	94	197	4	19	7	4	34	42	28	104	93
327121	5	empl.	13631	         [a]	         [b]	76	103	232	2456	3081	5769	7862	14199	[a]	[b]	69	116	238	2364	3276	5878	8321	14591	         [a]	         [b]	42	108	203	1846	3587	5636	8955	14172	0	49	77	49	175	1881	3426	5482	8690	12933	0	40	54	52	146	2031	2954	5131	7802
327121	5	ann. pay.	380542	         (D)	         (D)	2004	2358	5979	70181	83302	159462	221080	430550	(D)	(D)	1675	2665	5402	71966	100013	177381	253169	449190	         (D)	         (D)	983	2489	4710	56551	115336	176597	272593	451653	484	1137	2046	2164	5831	59647	113316	178794	272859	434375	201	974	1699	1203	4077	72495	103127	179699	254676
327121	5	rec.																																									1853104	934	4493	6235	5939	17601	251935	414656	684192	1168912
327122	5	firms	164	17	52	33	21	123	23	11	157	7	167	17	48	37	21	123	24	11	158	9	174	17	45	40	28	130	23	13	166	8	187	17	49	47	26	139	28	12	179	8	197	18	69	40	27	154	27	9	190	7
327122	5	estab.	175	17	52	33	21	123	23	11	157	18	178	17	48	37	21	123	24	11	158	20	185	17	45	40	28	130	23	14	167	18	200	17	49	47	26	139	28	14	181	19	211	18	69	40	27	154	29	11	194	17
327122	5	empl.	8253	0	125	213	294	632	989	2185	3806	4447	7647	0	117	236	255	608	1066	1655	3329	4318	8194	0	105	259	387	751	1037	2463	4251	3943	8215	0	114	294	348	756	1127	1957	3840	4375	6584	0	162	251	354	767	1003	1501	3271	3313
327122	5	ann. pay.	211015	599	2446	4018	6009	13072	22602	65311	100985	110030	213932	2670	2939	4119	5586	15314	23667	58929	97910	116022	224849	319	2362	4748	8592	16021	25246	80360	121627	103222	230541	634	1966	6451	8551	17602	27047	56585	101234	129307	204633	668	3221	5040	9044	17973	25842	50339	94154	110479
327122	5	rec.																																									1002517	3361	17318	23971	40391	85041	108095	240574	433710	568807
327123	5	firms	50	3	15	6	5	29	12	3	44	6	49	0	16	8	4	28	11	4	43	6	45	1	13	6	3	23	10	4	37	8	50	2	12	6	8	28	12	2	42	8	48	2	11	7	7	27	10	3	40	8
327123	5	estab.	54	3	15	6	5	29	12	6	47	7	53	0	16	8	4	28	11	7	46	7	49	1	13	6	3	23	10	7	40	9	54	2	12	6	8	28	12	5	45	9	52	2	11	7	7	27	11	3	41	11
327123	5	empl.	1477	         [a]	         [b]	39	67	138	593	320	1051	426	1456	0	[b]	51	56	[c]	488	[e]	917	539	1649	         [a]	         [b]	43	38	111	486	396	993	656	1840	         [a]	         [b]	37	105	         [c]	585	         [e]	1051	789	1682	         [a]	         [b]	39	108	171	460	250	881	801
327123	5	ann. pay.	41808	         (D)	         (D)	694	1182	2848	14098	8603	25549	16259	43544	0	(D)	754	1527	(D)	13473	(D)	25336	18208	47374	         (D)	         (D)	763	715	2303	12876	10825	26004	21370	56148	         (D)	         (D)	782	2005	         (D)	17925	         (D)	30483	25665	54973	         (D)	         (D)	829	3328	4909	14924	7490	27323	27650
327123	5	rec.																																									200500	         (D)	         (D)	2195	11191	         (D)	56434	17640	90300	110200
327124	5	firms	121	7	24	9	16	56	35	15	106	15	110	4	20	11	15	50	32	15	97	13	114	3	21	11	16	51	35	14	100	14	114	3	23	13	12	51	37	13	101	13	108	5	15	13	14	47	37	13	97	11
327124	5	estab.	159	7	24	9	16	56	36	24	116	43	142	4	20	11	15	50	32	23	105	37	145	3	21	11	16	51	35	23	109	36	141	3	23	13	12	51	38	20	109	32	130	5	15	13	14	47	41	19	107	23
327124	5	empl.	6235	         [a]	         [b]	67	210	334	1308	1134	2776	3459	5790	[a]	[b]	79	213	[e]	1166	[g]	2711	3079	5626	         [a]	         [b]	83	246	375	1335	1176	2886	2740	5048	         [a]	         [b]	94	177	         [e]	1418	         [f]	2656	2392	3797	         [a]	         [b]	88	203	327	1289	767	2383	1414
327124	5	ann. pay.	223105	         (D)	         (D)	1709	8475	12070	40851	36509	89430	133675	209351	(D)	(D)	1984	9851	(D)	37369	(D)	92183	117168	202643	         (D)	         (D)	2184	10165	13796	46129	35206	95131	107512	185427	         (D)	         (D)	3032	6020	         (D)	46232	         (D)	92626	92801	149872	         (D)	         (D)	2564	10832	15031	49685	28287	93003	56869
327124	5	rec.																																									804329	         (D)	         (D)	10895	46862	         (D)	240794	151127	458197	346132
327125	5	firms	99	12	17	14	9	52	17	12	81	18	95	6	16	17	7	46	22	10	78	17	91	2	14	15	13	44	20	10	74	17	91	3	14	15	12	44	22	10	76	15	87	2	18	14	10	44	20	10	74	13
327125	5	estab.	136	12	17	14	9	52	18	20	90	46	136	6	16	17	7	46	24	18	88	48	129	2	14	15	13	44	22	18	84	45	130	3	14	15	12	44	26	17	87	43	118	2	18	14	10	44	22	16	82	36
327125	5	empl.	8059	0	49	99	123	271	658	1560	2489	5570	8066	0	39	113	105	257	883	1427	2567	5499	7563	         [a]	         [b]	96	171	305	782	1453	2540	5023	7320	         [a]	         [b]	97	144	274	1005	1269	2548	4772	6984	         [a]	         [b]	98	131	266	885	1248	2399	4585
327125	5	ann. pay.	312125	1562	1655	3129	5200	11546	26597	54153	92296	219829	322351	446	1384	3866	3730	9426	36891	53173	99490	222861	320849	         (D)	         (D)	3318	6630	11810	31868	56572	100250	220599	299903	         (D)	         (D)	3441	3931	9095	33422	50548	93065	206838	285026	         (D)	         (D)	4300	4320	10340	33687	51607	95634	189392
327125	5	rec.																																									1500246	         (D)	         (D)	17273	33596	         (D)	142351	284132	484967	1015279
327211	5	firms	31	11	4	1	1	17	6	2	25	6	31	3	8	3	1	15	6	4	25	6	39	3	12	3	2	20	6	5	31	8	55	3	19	8	5	35	7	5	47	8	68	8	25	9	6	48	7	4	59	9
327211	5	estab.	54	11	4	1	1	17	6	2	25	29	54	3	8	3	1	15	6	4	25	29	64	3	12	3	2	20	6	5	31	33	80	3	19	8	5	35	7	5	47	33	92	8	25	9	6	48	7	4	59	33
327211	5	empl.	11582	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	250	         [e]	         [f]	         [j]	11533	[a]	[a]	[a]	[a]	49	277	407	733	10800	12202	         [a]	         [b]	17	         [b]	62	292	438	792	11410	11628	         [a]	         [b]	53	66	         [c]	         [e]	608	1084	10544	9901	0	52	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	567	1013	8888
327211	5	ann. pay.	546145	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	6038	         (D)	         (D)	         (D)	569244	(D)	(D)	(D)	(D)	1018	7885	11467	20370	548874	542630	         (D)	         (D)	255	         (D)	1301	8276	13342	22919	519711	582045	         (D)	         (D)	901	1914	         (D)	         (D)	14888	28254	553791	400868	455	1357	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15592	28239	372629
327211	5	rec.																																									2926040	2426	12763	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	64455	128874	2797166
327212	5	firms	492	48	210	95	57	410	38	12	460	32	495	50	208	100	59	417	35	14	466	29	478	39	191	103	64	397	36	15	448	30	485	52	191	92	59	394	42	14	450	35	456	51	189	85	47	372	38	14	424	32
327212	5	estab.	540	48	210	95	57	410	38	15	463	77	546	50	208	100	59	417	35	18	470	76	529	39	191	103	64	397	36	17	450	79	538	52	191	92	59	394	42	15	451	87	508	51	189	85	47	372	39	17	428	80
327212	5	empl.	37157	         [a]	         [e]	         [f]	         [f]	1848	1389	2091	5328	31829	36024	0	[e]	678	[f]	1937	1391	2247	5575	30449	37007	0	422	696	833	1951	1459	2448	5858	31149	37843	0	436	630	769	1835	1557	2099	5491	32352	30909	0	395	588	605	1588	1312	2190	5090	25819
327212	5	ann. pay.	1281040	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	46678	36028	56006	138712	1142328	1285679	2932	(D)	16830	(D)	49333	42551	59908	151792	1133887	1446125	4588	10514	17210	21304	53616	55857	85647	195120	1251005	1361012	1803	10154	16543	20184	48684	42756	75619	167059	1193953	1208622	1935	10230	14910	17157	44232	38845	71530	154607	1054015
327212	5	rec.																																									4849878	10070	45440	62692	67625	185827	144199	212900	542926	4306952
327213	5	firms	16	2	1	0	1	4	0	2	6	10	22	5	4	1	0	10	0	4	14	8	22	4	4	0	2	10	0	4	14	8	22	1	4	4	0	9	1	4	14	8	24	0	5	2	3	10	1	5	16	8
327213	5	estab.	66	2	1	0	1	4	0	2	6	60	71	5	4	1	0	10	0	4	14	57	69	4	4	0	2	10	0	4	14	55	67	1	4	4	0	9	1	4	14	53	69	0	5	2	3	10	1	5	16	53
327213	5	empl.	20061	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [j]	19680	[a]	[a]	[a]	0	17	0	1028	1045	18635	17182	         [a]	         [a]	0	         [b]	29	0	1023	1052	16130	15958	         [a]	         [a]	26	0	         [b]	         [b]	886	993	14965	16487	0	6	         [a]	         [b]	         [b]	         [a]	918	986	15501
327213	5	ann. pay.	821075	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	818480	(D)	(D)	(D)	0	2964	0	37987	40951	777529	768893	         (D)	         (D)	0	         (D)	1303	0	35264	36567	732326	720198	         (D)	         (D)	355	0	         (D)	         (D)	35101	38093	682105	776230	0	143	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	41266	42638	733592
327213	5	rec.																																									4423342	0	2854	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	226428	232924	4190418
327215	5	firms	1458	122	555	244	165	1086	238	68	1392	66	1545	159	593	263	173	1188	235	69	1492	53	1528	121	600	261	181	1163	246	60	1469	59	1501	109	582	286	160	1137	240	61	1438	63	1352	96	534	247	138	1015	216	68	1299	53
327215	5	estab.	1598	122	555	244	165	1086	246	84	1416	182	1699	159	593	263	175	1190	245	87	1522	177	1678	121	600	262	181	1164	257	70	1491	187	1663	109	582	286	161	1138	249	76	1463	200	1521	96	534	247	138	1015	229	87	1331	190
327215	5	empl.	65826	0	1259	1604	2274	5137	9764	10246	25147	40679	62573	0	1296	1717	2373	5386	9674	10099	25159	37414	64846	0	1334	1704	2501	5539	10490	9315	25344	39502	64542	0	1234	1880	2251	5365	10070	8914	24349	40193	57497	0	1158	1639	1930	4727	8991	9511	23229	34268
327215	5	ann. pay.	2094940	11633	24968	34777	57760	129138	265782	286878	681798	1413142	2090509	11457	28863	38300	64415	143035	273572	295574	712181	1378328	2235293	4506	28902	42907	67909	144224	313799	301114	759137	1476156	2163463	6206	28483	46414	62568	143671	293268	264507	701446	1462017	2018879	4535	24889	40394	54358	124176	287321	297462	708959	1309920
327215	5	rec.																																									9980503	21390	110669	166884	200600	499543	1073588	1282355	2855486	7125017
327310	5	firms	153	7	28	28	25	88	20	15	123	30	175	11	41	28	27	107	23	15	145	30	170	12	32	32	25	101	25	15	141	29	159	4	33	29	24	90	27	14	131	28	136	5	22	25	20	72	21	12	105	31
327310	5	estab.	257	7	28	28	25	88	26	22	136	121	273	11	41	28	27	107	27	22	156	117	268	12	32	32	25	101	29	21	151	117	260	4	33	29	24	90	31	20	141	119	253	5	22	25	20	72	29	22	123	130
327310	5	empl.	16775	0	59	201	325	585	549	1993	3127	13648	16915	0	91	207	350	648	642	1985	3275	13640	17076	0	70	228	334	632	861	1647	3140	13936	17227	0	69	205	315	589	834	1586	3009	14218	16905	0	47	178	268	493	735	1535	2763	14142
327310	5	ann. pay.	754211	1231	3770	7729	11942	24672	15408	95724	135804	618407	799451	1068	4083	7775	12288	25214	21597	88394	135205	664246	833287	903	4162	7575	12744	25384	31318	86390	143092	690195	877532	245	3393	6710	12722	23070	27151	104805	155026	722506	849855	234	2823	6704	10829	20590	26274	79705	126569	723286
327310	5	rec.																																									7251839	2721	22411	54339	103086	182557	172557	584059	939173	6312666
327320	5	firms	2809	139	520	477	568	1704	882	155	2741	68	2743	123	534	433	546	1636	879	155	2670	73	2645	106	510	398	523	1537	867	166	2570	75	2551	95	500	411	490	1496	829	153	2478	73	2522	143	457	400	493	1493	807	153	2453	69
327320	5	estab.	5242	139	521	480	597	1737	1330	954	4021	1221	5364	123	537	438	566	1664	1350	852	3866	1498	5414	106	513	405	536	1560	1298	837	3695	1719	5398	99	503	419	505	1526	1305	842	3673	1725	5471	145	459	405	517	1526	1322	887	3735	1736
327320	5	empl.	90691	0	1215	3228	7828	12271	32371	20904	65546	25145	95866	0	1251	2929	7564	11744	32349	20351	64444	31422	100239	0	1219	2722	7253	11194	32912	20360	64466	35773	101483	0	1182	2762	6778	10722	31749	19757	62228	39255	92497	0	1094	2712	6640	10446	31148	19564	61158	31339
327320	5	ann. pay.	3309854	13026	42360	93387	259779	408552	1177639	808058	2394249	915605	3617119	10779	43342	85998	258598	398717	1236926	812604	2448247	1168872	3739776	9145	39411	80015	235393	363964	1216387	771475	2351826	1387950	3917192	9032	38510	89590	237443	374575	1239182	808865	2422622	1494570	3735056	14967	36409	90023	236988	378387	1228744	800567	2407698	1327358
327320	5	rec.																																									21598968	80718	229231	486352	1204304	2000605	6297378	4370245	12668228	8930740
327331	5	firms	685	19	115	104	133	371	227	54	652	33	668	28	107	99	134	368	210	53	631	37	665	33	102	94	131	360	213	55	628	37	666	30	114	99	130	373	204	52	629	37	671	35	122	90	143	390	191	56	637	34
327331	5	estab.	924	19	115	104	135	373	279	114	766	158	921	28	107	99	137	371	251	118	740	181	933	33	102	97	132	364	260	112	736	197	940	31	114	101	131	377	247	114	738	202	959	35	122	90	144	391	249	122	762	197
327331	5	empl.	19307	0	264	741	1833	2838	8317	3774	14929	4378	19927	0	241	700	1884	2825	7540	4195	14560	5367	21431	0	241	665	1809	2715	7797	4485	14997	6434	21234	0	255	680	1873	2808	7619	4143	14570	6664	19642	0	285	620	1982	2887	7003	4141	14031	5611
327331	5	ann. pay.	659066	4653	7153	22287	57657	91750	283520	135017	510287	148779	701332	2187	6493	22764	62457	93901	269275	150669	513845	187487	762132	4105	6460	21061	58449	90075	283010	165937	539022	223110	787959	2882	8077	20008	65263	96230	283671	168188	548089	239870	780697	4232	9381	21412	67664	102689	278906	169144	550739	229958
327331	5	rec.																																									4095163	23517	47749	101112	335968	508346	1303456	879800	2691602	1403561
327332	5	firms	262	9	39	23	43	114	95	36	245	17	254	9	37	25	37	108	96	32	236	18	243	8	37	25	32	102	95	29	226	17	233	10	37	21	34	102	86	29	217	16	206	7	22	25	32	86	79	29	194	12
327332	5	estab.	414	9	39	23	43	114	103	68	285	129	413	9	37	25	37	108	102	58	268	145	439	8	37	26	33	104	100	53	257	182	422	10	37	21	35	103	92	54	249	173	391	7	22	25	32	86	90	55	231	160
327332	5	empl.	13349	0	80	156	634	870	3635	3988	8493	4856	14037	0	85	166	524	775	3815	3508	8098	5939	15424	0	92	161	470	723	3903	3281	7907	7517	14928	0	87	134	465	686	3367	3015	7068	7860	12606	0	51	173	461	685	3057	2841	6583	6023
327332	5	ann. pay.	471971	120	2598	4907	21200	28825	141246	130556	300627	171344	511960	664	2685	6003	21756	31108	138051	116962	286121	225839	535887	847	2001	6326	16337	25511	137761	115656	278928	256959	562446	3281	2288	5722	16284	27575	133970	115829	277374	285072	506273	342	2470	7526	18283	28621	132198	105911	266730	239543
327332	5	rec.																																									2426994	1999	12611	27484	84898	126992	517353	489832	1134177	1292817
327390	5	firms	2092	139	555	403	406	1503	423	111	2037	55	2064	100	547	409	386	1442	438	122	2002	62	2035	104	527	383	395	1409	453	104	1966	69	2052	117	531	381	382	1411	449	125	1985	67	1974	122	493	368	365	1348	447	117	1912	62
327390	5	estab.	2353	139	555	405	408	1507	455	211	2173	180	2337	101	547	410	388	1446	472	228	2146	191	2331	104	527	384	398	1413	489	177	2079	252	2366	117	531	382	385	1415	482	227	2124	242	2291	122	493	369	369	1353	484	219	2056	235
327390	5	empl.	55232	0	1301	2774	5446	9521	15799	14722	40042	15190	59490	0	1298	2779	5200	9277	16240	18213	43730	15760	62573	0	1263	2604	5394	9261	17511	15970	42742	19831	65742	0	1219	2598	5226	9043	16814	18124	43981	21761	61032	0	1192	2542	4992	8726	16567	15745	41038	19994
327390	5	ann. pay.	1742057	10523	30015	64830	150522	255890	482612	481875	1220377	521680	1916442	7081	33805	63669	152364	256919	508512	596701	1362132	554310	2089779	9354	32878	65734	155505	263471	541940	555339	1360750	729029	2203903	8911	34857	67577	159371	270716	557315	617604	1445635	758268	2122222	7868	31065	68338	159254	266525	558056	566679	1391260	730962
327390	5	rec.																																									8575184	39417	126493	264351	578314	1008575	2034467	2113669	5156711	3418473
327410	5	firms	45	1	4	5	3	13	11	8	32	13	42	0	5	4	4	13	9	7	29	13	39	0	2	3	3	8	11	7	26	13	41	2	2	2	4	10	10	7	27	14	41	2	7	5	4	18	10	4	32	9
327410	5	estab.	84	1	4	5	3	13	16	17	46	38	84	0	5	4	4	13	13	19	45	39	80	0	2	3	3	8	15	19	42	38	82	2	2	2	4	10	13	19	42	40	77	2	7	5	6	20	13	6	39	38
327410	5	empl.	5201	         [a]	         [a]	31	36	78	472	1089	1639	3562	5360	0	11	27	58	96	399	1227	1722	3638	5167	0	         [a]	         [a]	45	68	503	1247	1818	3349	4533	         [a]	         [a]	         [a]	63	77	378	1158	1613	2920	4393	         [a]	         [a]	33	56	100	480	345	925	3468
327410	5	ann. pay.	216172	         (D)	         (D)	727	1299	2538	18676	48276	69490	146682	214502	0	395	625	2036	3056	16912	52381	72349	142153	209683	0	         (D)	         (D)	1474	2052	17831	51456	71339	138344	192225	         (D)	         (D)	         (D)	1514	2158	15273	51815	69246	122979	182836	         (D)	         (D)	1409	2099	4558	19422	16352	40332	142504
327410	5	rec.																																									1017852	         (D)	         (D)	5668	12467	         (D)	109251	72854	205164	812688
327420	5	firms	189	11	55	31	34	131	34	9	174	15	177	9	50	31	28	118	36	9	163	14	177	13	47	36	22	118	36	9	163	14	174	13	44	30	31	118	34	7	159	15	207	23	72	35	27	157	31	5	193	14
327420	5	estab.	288	11	55	31	34	131	34	17	182	106	280	9	50	31	28	118	36	11	165	115	282	13	47	36	22	118	36	19	173	109	280	13	44	30	31	118	36	8	162	118	301	23	72	35	27	157	33	6	196	105
327420	5	empl.	14377	         [a]	         [c]	214	460	778	1140	1552	3470	10907	14953	0	95	209	391	695	1239	1275	3209	11744	15092	0	         [b]	         [c]	323	661	1315	1581	3557	11535	14464	         [a]	         [b]	         [c]	411	699	1132	986	2817	11647	12611	         [a]	         [c]	243	348	735	997	696	2428	10183
327420	5	ann. pay.	534040	         (D)	         (D)	4261	11638	19277	28480	48214	95971	438069	579118	266	1913	5203	10180	17562	32215	44530	94307	484811	572212	982	         (D)	         (D)	8001	17580	30882	56842	105304	466908	566113	         (D)	         (D)	         (D)	10383	18547	29576	35696	83819	482294	520107	         (D)	         (D)	6385	8872	19653	26220	26220	72093	448014
327420	5	rec.																																									4209325	         (D)	         (D)	46970	69254	         (D)	169599	155151	475895	3733430
327910	5	firms	319	13	43	41	57	154	115	33	302	17	313	10	50	42	55	157	109	31	297	16	299	12	43	39	60	154	99	32	285	14	300	9	49	41	57	156	98	30	284	16	299	8	58	39	64	169	94	25	288	11
327910	5	estab.	363	13	43	41	57	154	118	46	318	45	365	10	50	43	55	158	111	45	314	51	348	12	43	40	60	155	101	50	306	42	352	9	50	41	57	157	101	43	301	51	347	8	58	39	64	169	100	42	311	36
327910	5	empl.	20695	0	108	301	790	1199	4640	5416	11255	9440	19532	0	125	302	753	1180	4298	5017	10495	9037	18900	0	106	280	837	1223	4022	5406	10651	8249	19598	0	116	281	775	1172	3899	5059	10130	9468	16079	0	114	269	854	1237	3637	4652	9526	6553
327910	5	ann. pay.	804486	3351	3045	10065	23886	40347	156589	173053	369989	434497	764762	5150	4027	9503	24255	42935	142614	176566	362115	402647	776185	1718	3071	9943	28350	43082	140602	217160	400844	375341	837878	517	3606	9119	25726	38968	127346	215166	381480	456398	651973	1023	3490	8854	30664	44031	130915	197042	371988	279985
327910	5	rec.																																									3349835	6234	16821	36636	125703	185394	486403	817983	1489780	1860055
327991	5	firms	1081	86	353	229	207	875	178	15	1068	13	1022	88	304	243	191	826	168	15	1009	13	1064	103	298	241	213	855	179	19	1053	11	1239	108	341	288	249	986	214	26	1226	13	1498	144	455	345	298	1242	223	22	1487	11
327991	5	estab.	1102	86	353	229	208	876	187	18	1081	21	1045	88	304	243	193	828	178	17	1023	22	1101	103	298	241	215	857	188	35	1080	21	1269	108	341	288	251	988	220	39	1247	22	1532	144	455	345	304	1248	231	35	1514	18
327991	5	empl.	15159	0	847	1504	2790	5141	6296	1579	13016	2143	15255	0	752	1622	2619	4993	5797	1704	12494	2761	16230	0	724	1600	2897	5221	6430	2183	13834	2396	18587	0	820	1941	3401	6162	7333	2784	16279	2308	19843	0	1094	2368	4080	7542	7697	2656	17895	1948
327991	5	ann. pay.	410398	5337	19848	34194	73709	133088	167402	47688	348178	62220	441985	4991	18518	37364	74488	135361	170060	57188	362609	79376	492704	7977	17392	40817	84001	150187	193699	70035	413921	78783	569931	8654	22827	50190	96334	178005	226046	82664	486715	83216	636813	7111	30054	61885	127540	226590	254906	82011	563507	73306
327991	5	rec.																																									2107037	25240	97486	222106	442115	786947	806038	240105	1833090	273947
327992	5	firms	265	16	50	38	34	138	53	24	215	50	246	12	45	36	40	133	43	23	199	47	233	10	42	32	33	117	46	25	188	45	229	11	36	33	34	114	49	23	186	43	207	9	33	20	31	93	44	26	163	44
327992	5	estab.	404	16	50	38	34	138	56	66	260	144	387	12	45	36	40	133	46	56	235	152	381	10	42	32	33	117	49	65	231	150	370	11	36	33	34	114	56	57	227	143	345	9	33	20	31	93	52	57	202	143
327992	5	empl.	10894	0	115	267	446	828	1723	2538	5089	5805	9710	[a]	[c]	255	536	896	1427	2431	4754	4956	10050	0	91	225	466	782	1623	2501	4906	5144	9948	0	93	219	467	779	1691	2424	4894	5054	8745	0	73	118	431	622	1424	2105	4151	4594
327992	5	ann. pay.	406945	1336	3587	7966	13587	26476	57868	84830	169174	237771	367355	(D)	(D)	8059	17478	28560	50541	82253	161354	206001	395464	254	3411	5897	15281	24843	57074	84982	166899	228565	383761	202	2599	6613	15754	25168	60651	74470	160289	223472	353119	528	2790	4393	16269	23980	51815	76505	152300	200819
327992	5	rec.																																									2337445	3618	14614	24941	83961	127134	257653	442630	827417	1510028
327993	5	firms	195	5	47	30	36	118	37	17	172	23	186	1	50	25	33	109	37	17	163	23	181	6	42	26	33	107	35	18	160	21	185	9	37	23	31	100	45	18	163	22	195	10	37	35	31	113	40	19	172	23
327993	5	estab.	293	5	47	30	36	118	43	38	199	94	293	1	50	25	33	109	50	39	198	95	292	6	42	26	33	107	37	59	203	89	290	9	37	23	31	100	46	57	203	87	298	10	37	35	32	114	41	60	215	83
327993	5	empl.	21780	0	108	203	489	800	1648	1854	4302	17478	21413	[a]	[c]	169	451	745	1665	1914	4324	17089	21650	0	102	175	456	733	1444	2372	4549	17101	21209	0	87	143	419	649	1700	2083	4432	16777	19486	0	86	209	428	723	1571	2313	4607	14879
327993	5	ann. pay.	850796	372	3016	6025	12647	22060	51224	54699	127983	722813	857541	(D)	(D)	5118	13495	22484	52024	58257	132765	724776	920323	747	3522	5725	12367	22361	50556	79142	152059	768264	904974	464	3034	3754	13280	20532	52505	75553	148590	756384	797165	324	3336	6836	14958	25454	51440	83762	160656	636509
327993	5	rec.																																									4812495	2182	17836	35249	75002	130269	257300	466524	854093	3958402
327999	5	firms	458	41	90	65	87	283	109	35	427	31	408	27	87	59	79	252	87	35	374	34	396	26	87	55	72	240	90	31	361	35	422	19	104	67	80	270	89	28	387	35	395	17	89	65	81	252	88	26	366	29
327999	5	estab.	552	41	91	65	88	285	124	61	470	82	499	27	87	60	79	253	100	60	413	86	489	26	87	56	72	241	101	45	387	102	522	19	105	67	80	271	103	43	417	105	505	17	89	65	83	254	102	37	393	112
327999	5	empl.	12921	0	198	448	1188	1834	3821	3409	9064	3857	12376	0	206	403	1106	1715	2997	3446	8158	4218	12365	0	199	371	994	1564	3140	2750	7454	4911	11767	0	242	464	1073	1779	3070	2297	7146	4621	10997	0	206	453	1066	1725	2835	2057	6617	4380
327999	5	ann. pay.	405444	2277	4875	11977	31172	50301	116055	120653	287009	118435	391113	2481	5935	10221	30770	49407	110323	102704	262434	128679	390489	2522	5846	10638	27553	46559	105331	83383	235273	155216	402794	2104	6795	14788	31844	55531	110030	82105	247666	155128	415321	2181	6818	13960	34535	57494	105222	79082	241798	173523
327999	5	rec.																																									2446535	12334	44502	74290	179342	310468	511169	449160	1270797	1175738
331111	5	firms	299	66	47	27	16	156	32	37	225	74	582	246	95	43	36	420	47	42	509	73	876	225	218	123	91	657	95	47	799	77	1248	264	343	216	136	959	153	57	1169	79	1135	157	295	208	184	844	166	53	1063	72
331111	5	estab.	381	66	47	27	16	156	32	40	228	153	672	246	95	43	36	420	47	46	513	159	970	225	218	123	91	657	96	49	802	168	1345	264	343	216	136	959	153	64	1176	169	1242	157	295	208	187	847	169	62	1078	164
331111	5	empl.	145386	         [a]	98	         [c]	         [c]	         [e]	         [g]	7090	8941	136445	140417	[a]	[c]	284	529	[g]	[g]	8051	11227	129190	145232	         [a]	         [e]	         [f]	         [g]	2477	3654	8648	14779	130453	144938	0	761	1470	1889	4120	5705	9957	19782	125156	124703	0	         [f]	1434	         [g]	4520	6235	9173	19928	104775
331111	5	ann. pay.	7560109	         (D)	2676	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	338837	417245	7142864	7372314	(D)	(D)	8300	15905	(D)	(D)	347248	512395	6859919	7619818	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	102824	137225	401671	641720	6978098	7054895	35456	23561	40320	56821	156158	192118	406467	754743	6300152	6404975	97771	         (D)	45663	         (D)	239478	223665	395611	858754	5546221
331111	5	rec.																																									47168039	847316	         (D)	238213	         (D)	         (D)	1073344	2477051	5168701	41999338
331112	5	firms	21	1	0	1	1	3	2	7	12	9	21	1	1	0	0	2	4	5	11	10	24	2	1	1	2	6	3	6	15	9	21	0	3	0	0	3	4	6	13	8	14	0	1	0	2	3	0	5	8	6
331112	5	estab.	29	1	0	1	1	3	3	8	14	15	30	1	1	0	0	2	5	6	13	17	33	2	1	1	2	6	4	8	18	15	29	0	3	0	0	3	4	8	15	14	17	0	1	0	2	3	0	7	10	7
331112	5	empl.	3583	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	1134	1214	2369	3777	[a]	[a]	0	0	[a]	[c]	623	744	3033	3896	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	41	106	889	1036	2860	3443	0	9	0	0	9	106	831	946	2497	2266	0	         [a]	0	         [b]	32	0	929	961	1305
331112	5	ann. pay.	155688	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	47641	49783	105905	170677	(D)	(D)	0	0	(D)	(D)	29309	33962	136715	183684	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1715	3446	42263	47424	136260	161147	0	220	0	0	220	2840	40141	43201	117946	114304	0	         (D)	0	         (D)	1369	0	47042	48411	65893
331112	5	rec.																																									874985	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	341960	347739	527246
331210	5	firms	179	17	13	13	11	54	45	35	134	45	188	16	22	17	12	67	46	31	144	44	209	21	32	15	19	87	43	35	165	44	197	7	31	18	20	76	41	36	153	44	205	18	33	20	18	89	39	35	163	42
331210	5	estab.	253	18	13	13	11	55	46	48	149	104	265	16	22	17	12	67	48	43	158	107	290	21	32	15	19	87	45	45	177	113	281	7	31	18	20	76	43	49	168	113	281	18	33	20	18	89	40	47	176	105
331210	5	empl.	27759	0	29	93	145	267	2116	6277	8660	19099	26759	0	48	122	170	340	2311	5985	8636	18123	27681	0	71	107	254	432	2122	6635	9189	18492	27490	         [a]	         [b]	128	276	463	2018	7202	9683	17807	25191	0	64	135	259	458	1743	6433	8634	16557
331210	5	ann. pay.	1018269	5321	917	2524	4934	13696	75956	238235	327887	690382	999807	1763	2427	3947	5439	13576	84831	226596	325003	674804	1069255	734	2932	2671	8396	14733	82670	263848	361251	708004	1057736	         (D)	         (D)	3721	10300	20735	77101	272978	370814	686922	1013373	5970	2130	4420	8261	20781	72647	251346	344774	668599
331210	5	rec.																																									6866376	54877	14920	29102	41217	140116	498028	1546392	2184536	4681840
331221	5	firms	177	22	39	24	25	110	27	18	155	22	203	31	46	28	22	127	33	19	179	24	247	50	58	36	24	168	37	19	224	23	255	41	70	40	30	181	36	17	234	21	195	12	47	35	21	115	35	21	171	24
331221	5	estab.	217	22	39	24	25	110	33	24	167	50	242	31	46	28	22	127	38	26	191	51	286	50	58	36	24	168	41	24	233	53	295	41	70	40	30	181	40	25	246	49	230	12	47	35	21	115	38	29	182	48
331221	5	empl.	14171	0	83	154	308	545	1247	2745	4537	9634	13268	0	109	190	294	593	1479	2553	4625	8643	15521	0	125	240	329	694	1666	3048	5408	10113	14349	0	154	275	413	842	1638	2550	5030	9319	13962	0	111	244	298	653	1337	3006	4996	8966
331221	5	ann. pay.	652955	626	2629	3769	9778	16802	43834	114213	174849	478106	664301	11124	3764	5068	10280	30236	56023	103464	189723	474578	753152	9735	3719	6750	9779	29983	57643	127695	215321	537831	616458	10285	4720	7490	12870	35365	58995	91515	185875	430583	651890	1987	5369	7254	10604	25214	56502	133339	215055	436835
331221	5	rec.																																									5478408	13462	52995	43162	64471	174090	428386	1025366	1627842	3850566
331222	5	firms	221	19	29	15	17	80	54	51	185	36	237	29	27	20	19	95	52	48	195	42	269	29	50	25	21	125	55	48	228	41	277	28	55	28	19	130	65	46	241	36	281	32	72	27	24	155	52	45	252	29
331222	5	estab.	299	19	29	15	17	80	56	74	210	89	317	29	27	20	19	95	54	67	216	101	357	29	50	25	21	125	58	70	253	104	363	28	55	28	19	130	71	66	267	96	359	32	72	27	24	155	56	70	281	78
331222	5	empl.	23903	0	66	100	241	407	2427	7796	10630	13273	24772	0	63	134	244	441	2281	7315	10037	14735	24828	0	103	164	277	544	2224	7503	10271	14557	23758	         [a]	         [c]	193	261	581	2578	7543	10702	13056	19546	0	153	176	320	649	2033	7501	10183	9363
331222	5	ann. pay.	771862	8686	1532	3213	8551	21982	81691	240330	344003	427859	807019	1098	1517	3973	8248	14836	71353	245170	331359	475660	845890	1419	2285	4649	8016	16369	77614	244799	338782	507108	773666	         (D)	         (D)	5344	9901	19480	77417	233828	330725	442941	680949	1645	3973	4709	9822	20149	66383	254929	341461	339488
331222	5	rec.																																									4032548	18775	22452	26291	48517	116035	344004	1329263	1789302	2243246
331311	5	firms	8	0	0	0	0	0	1	2	3	5	9	3	0	0	0	3	1	1	5	4	10	3	1	0	1	5	1	0	6	4	10	2	2	0	0	4	2	1	7	3	7	0	0	0	1	1	2	0	3	4
331311	5	estab.	9	0	0	0	0	0	1	2	3	6	10	3	0	0	0	3	1	1	5	5	12	3	1	0	1	5	1	0	6	6	11	2	2	0	0	4	2	1	7	4	7	0	0	0	1	1	2	0	3	4
331311	5	empl.	3324	0	0	0	0	0	         [a]	         [c]	         [c]	         [h]	2800	[a]	0	0	0	[a]	[a]	[a]	[b]	[h]	2902	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [a]	0	26	2876	2177	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [a]	48	2129	632	0	0	0	         [a]	         [a]	         [b]	0	111	521
331311	5	ann. pay.	156720	0	0	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	132174	(D)	0	0	0	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	151866	10	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	1090	150776	115023	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	1846	113177	30379	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	1634	28745
331311	5	rec.																																									264293	0	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	0	10167	254126
331312	5	firms	19	4	3	0	0	7	0	0	7	12	20	3	4	0	0	7	1	0	8	12	22	0	6	3	1	10	1	0	11	11	28	2	5	5	1	13	4	1	18	10	43	2	16	6	6	30	2	3	35	8
331312	5	estab.	28	4	3	0	0	7	0	0	7	21	29	3	4	0	0	7	1	0	8	21	32	0	6	3	1	10	1	0	11	21	38	2	5	5	1	13	4	1	18	20	50	2	16	6	6	30	2	4	36	14
331312	5	empl.	16091	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	0	0	         [a]	         [j]	16363	[a]	12	0	0	[a]	[b]	0	[b]	[j]	15271	0	19	20	         [a]	         [b]	         [b]	0	111	15160	13208	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	56	         [c]	         [c]	405	12803	10158	         [a]	         [b]	38	         [b]	         [c]	         [b]	1059	1299	8859
331312	5	ann. pay.	754707	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	739617	(D)	241	0	0	(D)	(D)	0	(D)	(D)	735243	0	267	459	         (D)	         (D)	         (D)	0	2487	732756	687525	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20118	         (D)	         (D)	40785	646740	506732	         (D)	         (D)	1152	         (D)	         (D)	         (D)	40588	46968	459764
331312	5	rec.																																									3613575	         (D)	         (D)	5937	         (D)	         (D)	         (D)	308753	357483	3256092
331314	5	firms	126	9	25	9	16	59	39	13	111	15	133	14	26	11	18	69	35	14	118	15	152	17	34	16	15	82	36	21	139	13	157	12	38	23	15	88	35	21	144	13	116	5	19	13	12	49	33	22	104	12
331314	5	estab.	147	9	25	9	16	59	40	16	115	32	154	14	26	11	18	69	36	18	123	31	173	17	34	16	15	82	37	26	145	28	178	12	38	23	15	88	36	26	150	28	141	5	19	13	12	49	35	27	111	30
331314	5	empl.	6756	0	66	59	218	343	1582	1644	3569	3187	6490	0	60	67	242	369	1522	1626	3517	2973	6774	0	76	118	217	411	1378	2160	3949	2825	6807	0	78	160	203	441	1385	2268	4094	2713	8364	         [a]	         [b]	82	168	290	1334	2328	3952	4412
331314	5	ann. pay.	241865	359	3032	2045	7656	13092	60200	59893	133185	108680	239042	2887	1921	2874	7533	15215	53568	61763	130546	108496	265845	1762	1539	3920	7118	14339	54145	91759	160243	105602	255190	358	1779	4845	6516	13498	52105	81944	147547	107643	367162	         (D)	         (D)	2054	5982	11958	53103	97769	162830	204332
331314	5	rec.																																									4285332	         (D)	         (D)	24442	54249	         (D)	592351	1233908	1927555	2357777
331315	5	firms	56	1	7	9	6	23	8	6	37	19	66	6	9	9	7	31	10	5	46	20	73	4	9	13	9	35	14	8	57	16	82	6	15	13	8	42	16	9	67	15	74	2	15	11	11	39	15	8	62	12
331315	5	estab.	79	1	7	9	6	23	8	6	37	42	93	6	9	9	8	32	10	6	48	45	103	4	9	13	10	36	14	9	59	44	111	6	15	13	9	43	16	10	69	42	95	2	15	11	11	39	15	9	63	32
331315	5	empl.	22976	         [a]	         [a]	64	80	         [c]	         [e]	909	1374	21602	23521	0	24	61	96	181	448	865	1494	22027	23384	0	22	88	111	221	605	1568	2394	20990	22016	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	1275	2071	19945	13715	         [a]	         [b]	66	160	262	733	1277	2272	11443
331315	5	ann. pay.	1082817	         (D)	         (D)	1428	2248	         (D)	         (D)	45034	59119	1023698	1113262	581	882	1383	2956	5802	15267	44939	66008	1047254	1180555	793	831	2237	3683	7544	23707	81156	112407	1068148	1098625	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	51898	80986	1017639	652139	         (D)	         (D)	1916	7134	11084	28497	50994	90575	561564
331315	5	rec.																																									9295069	         (D)	         (D)	16458	45668	         (D)	243670	597639	924473	8370596
331316	5	firms	144	6	20	6	11	43	31	30	104	40	139	5	15	12	11	43	29	31	103	36	140	7	18	14	11	50	26	34	110	30	150	10	23	12	16	61	25	34	120	30	129	4	11	10	12	37	29	34	100	29
331316	5	estab.	207	6	20	6	11	43	31	37	111	96	201	5	15	12	11	43	29	39	111	90	205	7	18	14	11	50	26	41	117	88	214	10	23	12	16	61	25	41	127	87	190	4	11	10	12	37	29	44	110	80
331316	5	empl.	31145	0	48	35	155	238	1623	5590	7451	23694	31717	0	32	79	157	268	1539	6034	7841	23876	32969	0	39	89	161	289	1424	6654	8367	24602	29336	         [a]	57	         [b]	230	371	1337	6667	8375	20961	25005	         [a]	         [b]	72	152	249	1480	6277	8006	16999
331316	5	ann. pay.	1036244	246	1061	714	4142	6163	56877	184132	247172	789072	1055111	234	590	1796	4212	6832	56778	203696	267306	787805	1130980	964	828	2259	3960	8011	54259	227334	289604	841376	1018320	         (D)	1043	         (D)	6137	9171	46632	221205	277008	741312	870120	         (D)	         (D)	1946	4278	7851	51879	217685	277415	592705
331316	5	rec.																																									5177418	         (D)	         (D)	13139	20346	         (D)	285201	1153362	1481011	3696407
331319	5	firms	63	8	8	7	11	34	8	10	52	11	68	6	16	9	9	40	7	9	56	12	71	8	14	10	10	42	10	10	62	9	90	13	17	16	9	55	17	9	81	9	89	5	25	17	11	58	12	9	79	10
331319	5	estab.	81	8	8	7	11	34	8	14	56	25	86	6	16	9	9	40	7	12	59	27	88	8	14	10	10	42	10	12	64	24	107	13	17	16	9	55	17	11	83	24	101	5	25	17	11	58	13	10	81	20
331319	5	empl.	5072	         [a]	         [a]	49	122	         [c]	         [e]	         [g]	         [g]	         [h]	4745	[a]	40	62	111	[c]	[c]	[f]	1380	3365	4699	0	         [b]	77	         [c]	         [c]	         [e]	1016	1624	3075	4674	0	         [b]	111	117	         [e]	         [f]	         [f]	1873	2801	10661	0	51	119	133	303	448	680	1431	9230
331319	5	ann. pay.	165901	         (D)	         (D)	1278	3019	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	168193	(D)	1358	1842	2593	(D)	(D)	(D)	47819	120374	173020	882	         (D)	1724	         (D)	         (D)	         (D)	35344	55550	117470	153728	2232	         (D)	2683	3475	         (D)	         (D)	         (D)	56034	97694	527321	266	1169	3136	3487	8058	14018	24092	46168	481153
331319	5	rec.																																									4178355	2882	21393	32125	29846	86246	97414	195196	378856	3799499
331411	5	firms	7	1	0	1	0	2	1	0	3	4	9	1	1	1	0	3	2	0	5	4	9	0	1	1	1	3	2	0	5	4	9	0	1	1	0	2	4	0	6	3	10	1	1	0	0	2	5	0	7	3
331411	5	estab.	13	1	0	1	0	2	1	0	3	10	16	1	1	1	0	3	2	0	5	11	14	0	1	1	1	3	2	0	5	9	13	0	1	1	0	2	4	0	6	7	14	1	1	0	0	2	5	0	7	7
331411	5	empl.	5507	         [a]	0	         [a]	0	         [a]	         [b]	0	         [b]	         [i]	5337	[a]	[a]	[a]	0	[a]	[b]	0	101	5236	2947	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [c]	0	120	2827	3268	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [c]	0	130	3138	2865	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	0	99	2766
331411	5	ann. pay.	229614	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	215070	(D)	(D)	(D)	0	(D)	(D)	0	3230	211840	129755	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	3698	126057	133686	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	3636	130050	117183	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	0	3995	113188
331411	5	rec.																																									2618157	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	0	35021	2583136
331419	5	firms	142	13	36	22	10	81	26	11	118	24	149	17	39	23	13	92	24	8	124	25	146	6	43	22	14	85	21	14	120	26	140	8	40	19	16	83	23	10	116	24	133	9	43	15	11	78	20	13	111	22
331419	5	estab.	158	13	37	22	10	82	27	14	123	35	166	17	40	23	13	93	26	11	130	36	164	6	43	22	15	86	23	19	128	36	158	8	40	19	17	84	25	13	122	36	150	9	43	15	11	78	23	17	118	32
331419	5	empl.	10350	         [a]	81	         [c]	141	         [e]	         [g]	1739	         [h]	         [i]	9557	[a]	[b]	[c]	186	[e]	[g]	1327	2865	6692	9601	0	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	         [f]	1714	2958	6643	8808	0	         [b]	         [c]	227	         [e]	         [g]	1208	2725	6083	8408	         [a]	         [c]	106	162	         [e]	         [f]	1634	2919	5489
331419	5	ann. pay.	458997	         (D)	2538	         (D)	6792	         (D)	         (D)	66878	         (D)	         (D)	408731	(D)	(D)	(D)	10694	(D)	(D)	46864	110542	298189	403027	332	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	55367	105578	297449	394108	873	         (D)	         (D)	8110	         (D)	         (D)	43408	104253	289855	387658	         (D)	         (D)	4214	7602	         (D)	         (D)	65709	124430	263228
331419	5	rec.																																									2305832	         (D)	         (D)	24738	56295	         (D)	         (D)	310297	744380	1561452
331421	5	firms	95	6	16	9	8	39	17	14	70	25	91	7	17	5	7	36	18	12	66	25	97	11	15	9	9	44	17	12	73	24	99	7	23	8	11	49	17	9	75	24	87	4	18	8	11	41	15	11	67	20
331421	5	estab.	135	6	16	9	8	39	17	16	72	63	133	7	17	5	7	36	18	15	69	64	144	11	15	9	9	44	17	18	79	65	146	7	23	8	11	49	17	13	79	67	130	4	18	8	11	41	15	18	74	56
331421	5	empl.	21713	0	         [b]	         [b]	110	204	754	2234	3192	18521	19775	[a]	[b]	33	[b]	158	834	2255	3247	16528	20126	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	209	860	2291	3360	16766	18792	         [a]	         [b]	52	147	246	835	1982	3063	15729	16127	         [a]	         [b]	         [b]	157	242	667	2616	3525	12602
331421	5	ann. pay.	814643	77	         (D)	         (D)	2366	4666	25360	88075	118101	696542	800294	(D)	(D)	683	(D)	4292	36408	90327	131027	669267	838421	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	6850	32248	100368	139466	698955	726596	         (D)	         (D)	1494	5422	8210	27406	74265	109881	616715	650526	         (D)	         (D)	         (D)	3675	5928	24806	107289	138023	512503
331421	5	rec.																																									6209755	         (D)	         (D)	         (D)	23539	         (D)	145959	741885	928948	5280807
331422	5	firms	61	6	8	8	6	28	15	5	48	13	62	4	8	11	8	31	12	5	48	14	63	4	10	10	6	30	12	8	50	13	56	3	8	6	7	24	13	8	45	11	57	2	7	9	9	27	13	5	45	12
331422	5	estab.	66	6	8	8	6	28	15	6	49	17	67	4	8	11	8	31	12	5	48	19	71	4	10	12	6	32	12	8	52	19	61	3	8	6	7	24	13	9	46	15	65	2	7	9	9	27	13	5	45	20
331422	5	empl.	4676	0	14	54	76	144	609	947	1700	2976	4376	[a]	[a]	71	106	195	524	851	1570	2806	4266	         [a]	         [b]	75	85	189	533	1087	1809	2457	4264	         [a]	         [a]	35	90	140	613	1111	1864	2400	4136	         [a]	         [a]	63	118	198	562	505	1265	2871
331422	5	ann. pay.	137862	359	408	2634	1992	5393	21761	24702	51856	86006	145435	(D)	(D)	3192	2950	8889	19840	26966	55695	89740	152421	         (D)	         (D)	3876	3497	8324	19920	40460	68704	83717	146575	         (D)	         (D)	867	4609	6327	20393	35954	62674	83901	154243	         (D)	         (D)	2010	4050	13719	20064	21510	55293	98950
331422	5	rec.																																									1070023	         (D)	         (D)	11042	24910	         (D)	128383	100269	306222	763801
331423	5	firms	43	0	2	3	5	10	11	15	36	7	35	1	1	3	2	7	12	9	28	7	35	0	1	4	2	7	10	12	29	6	35	0	0	4	4	8	9	12	29	6	35	3	2	2	4	11	10	9	30	5
331423	5	estab.	46	0	2	3	5	10	11	18	39	7	36	1	1	3	2	7	12	10	29	7	37	0	1	4	2	7	10	14	31	6	37	0	0	4	4	8	9	14	31	6	37	3	2	2	4	11	10	10	31	6
331423	5	empl.	2435	0	         [a]	         [a]	62	84	498	1502	2084	351	2054	[a]	[a]	23	[b]	47	553	1054	1654	400	2177	0	         [a]	         [b]	         [b]	54	435	1283	1772	405	2094	0	0	28	54	82	399	1255	1736	358	1613	         [a]	         [a]	         [a]	48	70	428	857	1355	258
331423	5	ann. pay.	97142	0	         (D)	         (D)	2566	3309	20008	61469	84786	12356	88642	(D)	(D)	1231	(D)	2185	23158	45114	70457	18185	90432	0	         (D)	         (D)	         (D)	2835	17871	52866	73572	16860	84908	0	0	808	1781	2589	16508	52180	71277	13631	71262	         (D)	         (D)	         (D)	1654	2733	16545	40824	60102	11160
331423	5	rec.																																									628060	         (D)	         (D)	         (D)	10661	         (D)	96483	295235	412791	215269
331491	5	firms	221	10	34	25	27	96	60	20	176	45	222	6	25	34	27	92	60	25	177	45	222	7	32	25	33	97	59	21	177	45	217	6	35	23	34	98	55	18	171	46	280	18	70	46	33	167	52	17	236	44
331491	5	estab.	267	10	34	25	27	96	64	25	185	82	273	6	25	34	27	92	64	33	189	84	273	7	32	25	33	97	64	25	186	87	268	6	35	23	34	98	62	22	182	86	332	18	70	46	35	169	59	18	246	86
331491	5	empl.	25820	0	92	180	366	638	2968	2211	5817	20003	26262	0	52	232	373	657	2804	2807	6268	19994	23985	0	68	171	471	710	2751	2401	5862	18123	23176	0	75	149	475	699	2520	2389	5608	17568	20708	0	171	293	434	898	2145	2117	5160	15548
331491	5	ann. pay.	1037576	2958	2632	5011	10334	20935	105298	91850	218083	819493	1042541	113	1657	7115	12952	21837	106483	113807	242127	800414	1004309	297	1776	5063	14972	22108	105848	96950	224906	779403	999320	443	2373	3931	14232	20979	93731	98029	212739	786581	911917	6834	4225	9371	14492	34922	83657	90021	208600	703317
331491	5	rec.																																									5501141	59303	28204	54822	78950	221279	567765	597620	1386664	4114477
331492	5	firms	233	13	57	23	28	121	55	25	201	32	249	16	66	29	29	140	53	28	221	28	247	17	57	34	33	141	50	29	220	27	239	14	55	35	28	132	52	28	212	27	203	15	44	26	25	110	48	23	181	22
331492	5	estab.	256	13	57	23	28	121	63	32	216	40	267	16	66	29	29	140	58	35	233	34	266	17	57	34	33	141	51	41	233	33	256	14	55	35	29	133	53	36	222	34	230	15	44	26	25	110	49	40	199	31
331492	5	empl.	13149	0	117	147	375	639	2219	3441	6299	6850	11929	0	142	180	392	714	2176	3607	6497	5432	11398	0	109	205	425	739	2086	3865	6690	4708	11893	0	130	247	388	765	2115	3603	6483	5410	10346	0	104	176	357	637	1870	2678	5185	5161
331492	5	ann. pay.	510602	335	2405	3924	12209	18873	81682	131972	232527	278075	488293	1239	5230	4523	12561	23553	90786	147429	261768	226525	483646	1895	4232	6007	14755	26889	83398	167897	278184	205462	481630	529	4144	6372	11658	22703	89068	136492	248263	233367	461249	708	4041	6040	13326	24115	86118	107791	218024	243225
331492	5	rec.																																									2996910	5944	27379	36551	79161	149035	774208	563430	1486673	1510237
331511	5	firms	583	27	86	50	55	218	196	101	515	68	624	50	105	55	74	284	181	94	559	65	635	46	117	62	79	304	178	91	573	62	649	36	130	76	78	320	190	77	587	62	566	26	103	59	70	258	179	73	510	56
331511	5	estab.	683	27	86	50	55	218	198	115	531	152	731	50	105	55	74	284	184	108	576	155	739	46	117	62	79	304	181	106	591	148	747	36	130	76	79	321	191	96	608	139	655	26	103	59	71	259	186	92	537	118
331511	5	empl.	85684	0	202	336	764	1302	9193	16808	27303	58381	83760	0	238	357	1084	1679	8704	15303	25686	58074	82106	0	277	421	1145	1843	8322	15662	25827	56279	75053	         [a]	         [e]	498	1077	1875	8759	13463	24097	50956	66380	0	252	398	996	1646	8269	11043	20958	45422
331511	5	ann. pay.	3324777	3162	6615	7951	17876	35604	269603	521761	826968	2497809	3491997	2070	7221	9335	29807	48433	257773	482480	788686	2703311	3537989	4088	8942	11086	31430	55546	256144	529063	840753	2697236	3099509	         (D)	         (D)	14830	32367	60304	258011	420404	738719	2360790	2905993	1908	8731	11344	35528	57511	264239	382957	704707	2201286
331511	5	rec.																																									10227560	7403	41533	45162	110379	204477	784205	1372099	2360781	7866779
331512	5	firms	148	8	15	6	12	41	58	29	128	20	144	4	17	7	11	39	60	28	127	17	146	4	18	10	12	44	58	26	128	18	142	2	19	10	13	44	53	27	124	18	130	2	17	5	14	38	55	24	117	13
331512	5	estab.	162	8	15	6	12	41	59	31	131	31	159	4	17	7	11	39	61	30	130	29	160	4	18	10	12	44	59	27	130	30	156	2	19	10	13	44	54	28	126	30	143	2	17	5	14	38	56	26	120	23
331512	5	empl.	24251	0	45	40	176	261	3003	5205	8469	15782	22315	0	36	47	158	241	2929	4557	7727	14588	21166	0	41	64	172	277	2956	3858	7091	14075	20260	         [a]	         [b]	65	194	309	2815	3982	7106	13154	17252	         [a]	         [b]	37	192	268	2753	3977	6998	10254
331512	5	ann. pay.	749683	1372	1088	839	5322	8621	76496	150025	235142	514541	708422	104	1253	1152	4805	7314	78785	139739	225838	482584	722150	48	1980	1368	5498	8894	85030	123451	217375	504775	729168	         (D)	         (D)	2108	5867	9139	78170	119496	206805	522363	600919	         (D)	         (D)	1386	6242	9056	84109	123392	216557	384362
331512	5	rec.																																									2096197	         (D)	         (D)	6388	28923	         (D)	278106	417564	738242	1357955
331513	5	firms	277	15	50	26	39	130	82	38	250	27	281	16	51	30	39	136	86	31	253	28	269	13	48	31	36	128	84	31	243	26	283	15	59	32	38	144	81	34	259	24	256	13	47	29	39	128	67	41	236	20
331513	5	estab.	304	15	50	26	39	130	84	41	255	49	310	16	51	30	39	136	88	34	258	52	299	13	48	31	36	128	88	33	249	50	309	15	59	32	39	145	81	39	265	44	278	13	47	29	40	129	67	51	247	31
331513	5	empl.	25008	0	115	177	541	833	3431	7193	11457	13551	23441	0	110	203	566	879	3598	5768	10245	13196	22869	0	106	197	501	804	3649	5778	10231	12638	21205	         [a]	         [c]	222	548	906	3351	6221	10478	10727	17905	         [a]	         [b]	184	575	853	2690	7210	10753	7152
331513	5	ann. pay.	849202	1110	3730	6236	15848	26924	107124	242526	376574	472628	804187	2320	3586	5190	15926	27022	108925	203908	339855	464332	799555	1810	3243	5162	15800	26015	117194	211817	355026	444529	751936	         (D)	         (D)	6479	16669	41489	103768	229018	374275	377661	662808	         (D)	         (D)	7021	17691	35004	87264	256844	379112	283696
331513	5	rec.																																									3043311	         (D)	         (D)	35280	55352	         (D)	298216	1383804	1808575	1234736
331521	5	firms	294	11	28	23	52	114	91	57	262	32	278	7	23	28	48	106	85	57	248	30	267	9	23	27	38	97	83	56	236	31	258	3	28	23	49	103	72	54	229	29	239	10	27	24	37	98	70	42	210	29
331521	5	estab.	328	11	28	23	53	115	92	64	271	57	312	7	23	28	48	106	86	65	257	55	301	9	23	27	38	97	85	62	244	57	294	3	28	23	49	103	72	61	236	58	272	10	27	24	37	98	73	47	218	54
331521	5	empl.	29669	         [a]	         [b]	147	728	944	4199	9640	14783	14886	28910	[a]	[b]	187	681	930	4051	9792	14773	14137	30361	0	54	184	552	790	3916	10243	14949	15412	28149	         [a]	         [b]	149	688	909	3454	8875	13238	14911	25864	0	71	168	525	764	3637	6914	11315	14549
331521	5	ann. pay.	968416	         (D)	         (D)	3903	23637	31960	115653	288922	436535	531881	1035530	(D)	(D)	5208	18765	31874	119859	314155	465888	569642	1063794	2637	1792	5248	14382	24059	110897	305637	440593	623201	1004261	         (D)	         (D)	3457	18086	24102	99372	270758	394232	610029	991873	7074	2047	4392	15304	28817	120098	234907	383822	608051
331521	5	rec.																																									4414879	29700	11290	19109	67247	127346	574396	1018750	1720492	2694387
331522	5	firms	253	5	32	37	33	107	85	43	235	18	248	5	33	39	30	107	81	41	229	19	237	8	29	31	28	96	82	40	218	19	230	12	29	25	36	102	68	43	213	17	221	9	31	26	35	101	64	38	203	18
331522	5	estab.	268	5	32	37	33	107	85	45	237	31	264	5	33	39	30	107	81	43	231	33	254	8	29	31	28	96	82	42	220	34	250	12	29	25	36	102	68	50	220	30	243	9	31	26	35	101	64	46	211	32
331522	5	empl.	17014	0	67	254	473	794	3653	6696	11143	5871	16620	[a]	[b]	268	405	745	3390	6280	10415	6205	17275	         [a]	         [b]	210	372	647	3415	6894	10956	6319	15432	0	71	169	503	743	2742	6903	10388	5044	13833	0	63	183	516	762	2517	5607	8886	4947
331522	5	ann. pay.	499499	235	1237	7498	13379	22349	105734	196400	324483	175016	511482	(D)	(D)	7914	10597	20127	97855	203775	321757	189725	535979	         (D)	         (D)	6215	10030	18855	105117	221200	345172	190807	473125	1334	1232	5098	12643	20307	82142	227458	329907	143218	455507	299	1900	7088	17390	26677	79442	192581	298700	156807
331522	5	rec.																																									1804083	1419	7445	23617	59729	92210	277042	786330	1155582	648501
331524	5	firms	584	27	105	95	108	335	166	45	546	38	580	20	107	97	105	329	171	48	548	32	558	18	100	89	105	312	164	50	526	32	549	20	100	96	89	305	164	50	519	30	515	14	85	98	102	299	139	46	484	31
331524	5	estab.	620	27	105	96	108	336	170	51	557	63	619	20	107	98	105	330	175	56	561	58	597	18	100	90	105	313	167	59	539	58	590	20	101	96	89	306	168	62	536	54	555	14	85	98	102	299	144	56	499	56
331524	5	empl.	34270	0	255	662	1525	2442	7180	7450	17072	17198	33790	0	253	663	1466	2382	7092	8833	18307	15483	34968	0	245	618	1437	2300	6956	8641	17897	17071	32426	0	239	663	1226	2128	7085	9560	18773	13653	28391	0	197	654	1436	2287	5829	7807	15923	12468
331524	5	ann. pay.	1052024	4179	6486	15411	39488	65564	217154	232459	515177	536847	1071054	2683	6057	17122	37697	63559	221609	274687	559855	511199	1155268	2987	6842	15262	39511	64602	218108	288272	570982	584286	1050320	2348	6291	14900	33072	56611	209529	311161	577301	473019	985649	1373	5418	16055	41051	63897	186845	256740	507482	478167
331524	5	rec.																																									3702998	4858	18343	50413	124364	197978	581914	824114	1604006	2098992
331525	5	firms	304	15	61	50	58	184	83	23	290	14	300	15	60	52	51	178	88	23	289	11	291	6	59	52	48	165	95	20	280	11	289	9	61	42	51	163	95	22	280	9	283	10	56	42	61	169	86	20	275	8
331525	5	estab.	314	15	61	50	58	184	86	29	299	15	309	15	61	52	51	179	90	28	297	12	299	6	59	52	49	166	97	23	286	13	296	9	61	42	51	163	97	25	285	11	288	10	56	42	61	169	88	21	278	10
331525	5	empl.	8788	0	130	344	799	1273	3343	2462	7078	1710	8456	0	134	360	702	1196	3416	2364	6976	1480	8514	0	136	364	663	1163	3881	2182	7226	1288	7945	0	139	294	689	1122	3772	1856	6750	1195	6967	0	121	280	824	1225	3379	1648	6252	715
331525	5	ann. pay.	261969	995	3518	7773	20777	33063	99580	78373	211016	50953	255866	2628	3787	9069	18966	34450	102561	72599	209610	46256	261949	464	3778	8725	19534	32501	120110	66988	219599	42350	274443	1767	3455	7653	19006	31881	144764	57701	234346	40097	213874	2424	3272	7525	24171	37392	103392	51652	192436	21438
331525	5	rec.																																									730913	7786	11661	23612	79837	122896	333764	187721	644381	86532
331528	5	firms	142	7	37	28	19	91	33	9	133	9	134	7	31	27	20	85	31	10	126	8	128	5	33	23	19	80	32	8	120	8	126	2	34	19	21	76	35	7	118	8	119	6	29	22	20	77	27	9	113	6
331528	5	estab.	147	7	37	28	19	91	33	9	133	14	139	7	31	27	20	85	31	10	126	13	133	5	33	23	19	80	32	8	120	13	131	2	34	19	21	76	35	7	118	13	124	6	29	22	20	77	27	9	113	11
331528	5	empl.	6677	         [a]	         [b]	193	263	555	1250	813	2618	4059	6412	[a]	[b]	175	266	517	1132	880	2529	3883	6711	         [a]	         [b]	147	254	478	1232	803	2513	4198	7551	         [a]	         [b]	129	302	517	1276	672	2465	5086	6040	0	65	151	278	494	957	764	2215	3825
331528	5	ann. pay.	238336	         (D)	         (D)	4529	6970	15086	35909	26604	77599	160737	236576	(D)	(D)	3895	6721	14555	34265	28031	76851	159725	256616	         (D)	         (D)	3611	7970	14612	35838	26862	77312	179304	300006	         (D)	         (D)	3724	9971	15489	38148	24565	78202	221804	233201	425	2029	3774	8125	14353	31371	26956	72680	160521
331528	5	rec.																																									876796	1769	9153	17042	36796	64760	136450	95755	296965	579831
332111	5	firms	388	17	81	56	40	194	93	53	340	48	384	20	78	51	43	192	93	51	336	48	366	12	74	52	43	181	89	49	319	47	359	11	76	45	52	184	79	52	315	44	356	15	84	49	42	190	78	45	313	43
332111	5	estab.	419	17	81	56	40	194	94	60	348	71	416	20	78	51	43	192	94	56	342	74	399	12	74	52	43	181	90	54	325	74	395	11	76	45	52	184	80	57	321	74	389	15	84	49	42	190	79	54	323	66
332111	5	empl.	30518	0	181	378	556	1115	4005	8551	13671	16847	29774	0	173	357	568	1098	4073	8873	14044	15730	26811	0	162	360	599	1121	3940	8307	13368	13443	26970	0	168	291	746	1205	3333	8498	13036	13934	25367	0	187	327	596	1110	3577	6906	11593	13774
332111	5	ann. pay.	1198359	7454	5793	11087	17037	41371	128764	330335	500470	697889	1174690	2968	4513	10109	17835	35425	133168	332965	501558	673132	1096720	1056	5080	12669	20305	39110	133722	339391	512223	584497	1094666	230	4923	9524	22060	36737	112360	335620	484717	609949	1060911	1158	5562	12811	19784	39315	133648	275361	448324	612587
332111	5	rec.																																									4856740	5456	25752	58201	96146	185555	550586	1374582	2110723	2746017
332112	5	firms	72	1	10	10	8	29	20	9	58	14	74	1	12	8	7	28	22	10	60	14	70	1	10	11	5	27	21	8	56	14	67	1	9	9	7	26	19	8	53	14	64	1	9	5	7	22	19	10	51	13
332112	5	estab.	79	1	10	10	8	29	22	11	62	17	81	1	12	8	7	28	24	12	64	17	78	1	10	11	5	27	23	8	58	20	74	1	9	9	7	26	20	8	54	20	71	1	9	5	7	22	20	12	54	17
332112	5	empl.	9223	         [a]	         [b]	         [b]	112	201	966	2370	3537	5686	9313	[a]	[b]	56	88	175	1032	2348	3555	5758	9236	         [a]	         [b]	76	64	164	923	1685	2772	6464	9149	         [a]	         [b]	57	89	170	741	1741	2652	6497	7186	         [a]	         [b]	35	92	147	725	2228	3100	4086
332112	5	ann. pay.	365476	         (D)	         (D)	         (D)	3589	6004	39905	111384	157293	208183	362477	(D)	(D)	1260	2982	5200	37646	95633	138479	223998	386995	         (D)	         (D)	1871	2445	5097	37807	69828	112732	274263	383136	         (D)	         (D)	1843	3549	6030	31486	75512	113028	270108	290363	         (D)	         (D)	1327	2753	4719	30334	99411	134464	155899
332112	5	rec.																																									1286448	         (D)	         (D)	6321	12112	         (D)	139923	526254	687838	598610
332114	5	firms	342	14	28	42	78	162	120	32	314	28	345	13	28	44	83	168	117	29	314	31	338	13	34	46	68	161	119	26	306	32	327	8	39	47	68	162	108	25	295	32	316	13	31	47	72	163	98	21	282	34
332114	5	estab.	388	14	28	42	78	162	123	45	330	58	392	13	28	44	83	168	120	42	330	62	390	13	34	46	68	161	121	40	322	68	377	8	39	47	68	162	111	39	312	65	369	13	31	47	72	163	101	34	298	71
332114	5	empl.	15385	         [a]	         [b]	294	1093	1456	4550	4772	10778	4607	16129	0	62	293	1201	1556	4519	4455	10530	5599	16696	0	73	333	943	1349	4570	4395	10314	6382	16180	0	95	337	1011	1443	4167	4598	10208	5972	14369	0	83	327	1067	1477	3762	3755	8994	5375
332114	5	ann. pay.	527497	         (D)	         (D)	9903	37262	51563	149593	167008	368164	159333	554527	1141	2667	10683	41930	56421	152541	154403	363365	191162	583963	3381	2878	12679	33594	52532	152288	157188	362008	221955	570171	629	3759	12975	36107	53470	146684	163035	363189	206982	545399	2000	3314	11640	40350	57304	138359	149666	345329	200070
332114	5	rec.																																									3545468	8917	22502	53480	151040	235939	637615	1082745	1956299	1589169
332115	5	firms	56	2	7	7	4	20	20	6	46	10	56	3	8	9	7	27	14	6	47	9	53	1	9	7	5	22	18	6	46	7	51	3	7	10	4	24	13	7	44	7	60	5	10	9	7	31	16	6	53	7
332115	5	estab.	65	2	7	7	4	20	20	6	46	19	63	3	8	9	7	27	14	6	47	16	60	1	9	7	5	22	18	6	46	14	62	3	7	10	4	24	13	9	46	16	72	5	10	9	7	31	17	7	55	17
332115	5	empl.	4407	         [a]	         [a]	         [b]	56	122	783	670	1575	2832	4105	[a]	[a]	68	105	189	509	861	1559	2546	4066	         [a]	         [b]	51	55	131	720	746	1597	2469	4077	         [a]	         [a]	71	45	135	549	912	1596	2481	3928	0	26	61	82	169	740	648	1557	2371
332115	5	ann. pay.	167551	         (D)	         (D)	         (D)	1879	3612	25901	24524	54037	113514	162398	(D)	(D)	1598	3831	6121	17832	31528	55481	106917	150460	         (D)	         (D)	1562	1601	3720	23745	27636	55101	95359	160206	         (D)	         (D)	1904	1083	3942	18719	32927	55588	104618	162757	2222	621	1758	2949	7550	27695	26579	61824	100933
332115	5	rec.																																									991044	22737	5219	10978	12317	51251	126757	125531	303539	687505
332116	5	firms	2053	84	295	282	361	1022	706	231	1959	94	2054	67	336	283	341	1027	713	220	1960	94	1986	62	298	271	334	965	694	234	1893	93	1923	50	295	259	343	947	664	218	1829	94	1826	45	274	278	343	940	624	181	1745	81
332116	5	estab.	2155	84	295	282	361	1022	719	275	2016	139	2170	67	336	283	341	1027	725	262	2014	156	2098	62	298	271	334	965	705	279	1949	149	2030	50	295	260	343	948	674	256	1878	152	1926	45	274	278	343	940	635	223	1798	128
332116	5	empl.	95129	0	696	1962	5010	7668	31088	33506	72262	22867	96198	0	787	1919	4761	7467	31274	32220	70961	25237	96811	0	703	1825	4601	7129	30069	34273	71471	25340	91643	0	690	1786	4787	7263	28866	31607	67736	23907	76938	0	668	1858	4797	7323	26656	25259	59238	17700
332116	5	ann. pay.	3246407	11488	21797	61128	165123	259536	1060244	1142252	2462032	784375	3377473	3706	24051	64902	162635	255294	1106397	1112761	2474452	903021	3544816	6347	26450	60587	164409	257793	1085870	1245081	2588744	956072	3133575	11397	21399	58470	173298	264564	986072	1063905	2314541	819034	2815874	5088	22650	61910	172563	262211	987265	929944	2179420	636454
332116	5	rec.																																									11011769	23791	87606	214389	602107	927893	3463256	3593314	7984463	3027306
332117	5	firms	163	11	21	22	30	84	37	23	144	19	154	9	22	20	32	83	35	17	135	19	152	8	18	22	27	75	41	17	133	19	155	8	25	23	25	81	39	17	137	18	128	4	18	20	26	68	32	13	113	15
332117	5	estab.	179	11	21	22	30	84	37	27	148	31	175	9	22	20	32	83	35	20	138	37	170	8	18	22	27	75	42	17	134	36	172	8	25	23	25	81	39	17	137	35	146	4	18	20	26	68	32	17	117	29
332117	5	empl.	11432	         [a]	         [b]	149	399	596	1829	4391	6816	4616	10903	0	51	138	423	612	1643	3225	5480	5423	10815	         [a]	         [b]	145	363	541	1766	3229	5536	5279	10014	0	55	167	333	555	1678	2873	5106	4908	8094	         [a]	         [b]	138	354	541	1413	1987	3941	4153
332117	5	ann. pay.	408241	         (D)	         (D)	5895	11653	28009	56513	143246	227768	180473	428019	460	2280	5505	15684	23929	51564	125622	201115	226904	433357	         (D)	         (D)	6160	14183	22145	54340	125843	202328	231029	396214	2907	1207	6720	10167	21001	47954	112703	181658	214556	311924	         (D)	         (D)	5854	12507	20244	53127	72405	145776	166148
332117	5	rec.																																									1122673	         (D)	         (D)	17364	46425	         (D)	204066	280817	555713	566960
332211	5	firms	168	15	49	27	22	113	24	15	152	16	169	13	48	26	26	113	25	15	153	16	160	6	48	20	30	104	26	15	145	15	154	11	41	17	26	95	29	16	140	14	139	11	42	18	16	87	26	14	127	12
332211	5	estab.	173	15	49	27	22	113	25	17	155	18	175	13	48	26	26	113	26	17	156	19	166	6	48	20	30	104	27	17	148	18	159	11	41	17	26	95	30	17	142	17	144	11	42	18	16	87	27	15	129	15
332211	5	empl.	11392	0	118	177	297	592	947	2168	3707	7685	11848	[a]	[c]	169	354	628	1080	2042	3750	8098	10574	0	106	121	410	637	1165	2049	3851	6723	9847	         [a]	         [b]	115	367	570	1258	2062	3890	5957	8118	0	94	127	248	469	1023	1793	3285	4833
332211	5	ann. pay.	368959	528	2446	4080	8014	15068	26382	53520	94970	273989	388438	(D)	(D)	4340	10263	17034	30999	59018	107051	281387	488681	325	2295	3201	11399	17220	30868	63142	111230	377451	360103	         (D)	         (D)	3300	10123	15845	34203	59983	110031	250072	354343	1039	1740	3926	8128	14833	32163	63716	110712	243631
332211	5	rec.																																									1566181	4016	7449	12967	24231	48663	122612	281079	452354	1113827
332212	5	firms	1172	72	317	207	189	785	264	74	1123	49	1154	69	314	209	173	765	267	75	1107	47	1129	63	307	202	167	739	276	69	1084	45	1096	53	303	204	172	732	252	69	1053	43	1065	58	301	205	179	743	228	59	1030	35
332212	5	estab.	1282	72	317	207	189	785	280	105	1170	112	1267	69	314	209	173	765	282	118	1165	102	1238	63	307	202	167	739	292	101	1132	106	1204	53	303	204	172	732	268	110	1110	94	1174	58	301	205	179	743	252	98	1093	81
332212	5	empl.	51086	0	718	1387	2592	4697	10348	10344	25389	25697	52018	0	719	1381	2358	4458	10932	10881	26271	25747	50828	0	720	1365	2250	4335	11418	10746	26499	24329	46479	0	675	1363	2329	4367	10232	11180	25779	20700	41712	0	664	1368	2486	4518	9490	9222	23230	18482
332212	5	ann. pay.	1730708	5538	18283	37234	76558	137613	352511	371436	861560	869148	1750675	5797	18676	39712	72327	136512	370861	388642	896015	854660	1809150	3230	19779	38642	73863	135514	402830	410244	948588	860562	1627253	3152	20829	43645	74192	141818	355845	419250	916913	710340	1492574	10551	20750	41445	78870	151616	343374	362490	857480	635094
332212	5	rec.																																									6173315	50078	94805	138458	248322	531663	1093412	1545716	3170791	3002524
332213	5	firms	158	2	38	32	27	99	33	10	142	16	159	8	31	38	25	102	33	8	143	16	158	8	33	34	28	103	32	9	144	14	153	7	35	33	24	99	32	9	140	13	138	7	37	26	16	86	32	10	128	10
332213	5	estab.	167	2	38	32	27	99	34	11	144	23	167	8	31	38	25	102	34	9	145	22	167	8	33	34	28	103	33	10	146	21	161	7	35	33	24	99	33	10	142	19	147	7	37	26	16	86	33	13	132	15
332213	5	empl.	8927	         [a]	         [b]	210	357	659	1354	1488	3501	5426	8637	0	76	252	344	672	1355	1369	3396	5241	9027	         [a]	         [b]	229	372	683	1374	1583	3640	5387	8422	0	87	221	325	633	1351	1490	3474	4948	7674	0	86	173	228	487	1235	1761	3483	4191
332213	5	ann. pay.	306498	         (D)	         (D)	5191	11807	19410	42120	53879	115409	191089	299291	1227	2253	7156	10636	21272	45269	45031	111572	187719	319462	         (D)	         (D)	6518	12598	21386	49008	53016	123410	196052	296815	270	2291	7117	10070	19748	46777	48083	114608	182207	302897	281	2098	6400	7922	16701	45853	65675	128229	174668
332213	5	rec.																																									1389626	1483	10441	27340	34588	73852	166765	312600	553217	836409
332214	5	firms	71	3	8	7	10	28	21	13	62	9	69	2	10	8	8	28	20	13	61	8	66	2	11	7	4	24	22	14	60	6	68	3	9	7	7	26	23	13	62	6	67	4	14	4	7	29	22	10	61	6
332214	5	estab.	78	3	8	7	10	28	21	15	64	14	78	2	10	8	8	28	20	16	64	14	72	2	11	7	4	24	22	16	62	10	74	3	9	7	7	26	23	15	64	10	72	4	14	4	7	29	22	13	64	8
332214	5	empl.	8000	         [a]	         [a]	44	130	188	976	1848	3012	4988	7485	[a]	[b]	53	102	176	880	1724	2780	4705	6413	         [a]	         [b]	50	51	123	1012	2009	3144	3269	6307	         [a]	         [a]	47	104	167	1035	1907	3109	3198	5220	0	30	26	89	145	941	1609	2695	2525
332214	5	ann. pay.	251214	         (D)	         (D)	986	3441	4670	26983	57985	89638	161576	258821	(D)	(D)	1100	2810	4474	25582	57684	87740	171081	229075	         (D)	         (D)	1637	2274	4878	27345	72005	104228	124847	214263	         (D)	         (D)	1217	4071	7039	29726	67957	104722	109541	183898	132	660	891	2878	4561	29136	55157	88854	95044
332214	5	rec.																																									1373852	723	5348	5242	14818	26131	132119	452959	611209	762643
332311	5	firms	587	57	133	102	84	376	147	40	563	24	579	38	136	105	87	366	148	38	552	27	543	27	127	91	79	324	152	41	517	26	570	36	129	105	82	352	145	48	545	25	658	49	180	124	97	450	140	42	632	26
332311	5	estab.	641	57	133	103	84	377	151	51	579	62	631	38	136	106	87	367	153	48	568	63	598	27	127	92	79	325	157	48	530	68	628	36	129	106	82	353	152	56	561	67	729	49	180	124	98	451	150	50	651	78
332311	5	empl.	27397	0	302	686	1168	2156	6083	5929	14168	13229	27863	0	305	718	1193	2216	6248	5434	13898	13965	28989	0	282	597	1055	1934	6488	6131	14553	14436	28203	0	320	705	1097	2122	5938	7137	15197	13006	26297	0	415	833	1312	2560	5956	5574	14090	12207
332311	5	ann. pay.	878796	3800	6818	15901	31692	58211	185455	190574	434240	444556	928285	2710	7455	17116	34835	62116	197870	186137	446123	482162	953632	1252	7475	14176	32888	55791	201495	208591	465877	487755	914996	2655	8390	17441	34346	62832	191428	232195	486455	428541	899359	2327	10186	23226	38297	74036	199385	187989	461410	437949
332311	5	rec.																																									4918197	18416	55910	118817	187849	380992	914946	1038426	2334364	2583833
332312	5	firms	2881	148	582	479	566	1775	854	167	2796	85	2771	92	539	462	552	1645	869	170	2684	87	2640	77	488	422	535	1522	858	170	2550	90	2833	87	545	414	581	1627	928	178	2733	100	3592	179	1092	588	586	2445	873	180	3498	94
332312	5	estab.	3062	148	582	480	566	1776	879	200	2855	207	2953	92	539	463	553	1647	890	211	2748	205	2833	77	488	423	536	1524	877	215	2616	217	3033	87	545	416	581	1629	945	231	2805	228	3804	179	1092	590	586	2447	902	225	3574	230
332312	5	empl.	96166	0	1370	3220	7996	12586	34597	19163	66346	29820	98676	0	1305	3135	7705	12145	35160	20369	67674	31002	97955	0	1189	2879	7367	11435	35073	21012	67520	30435	106161	0	1282	2855	8095	12232	38134	23000	73366	32795	102229	0	2481	3915	8133	14529	35349	22357	72235	29994
332312	5	ann. pay.	3414638	54587	34912	93846	260292	443637	1223021	674836	2341494	1073144	3545699	9867	36906	99198	251383	397354	1285514	727889	2410757	1134942	3642663	15797	35130	92543	251986	395456	1310066	795355	2500877	1141786	3975751	7868	39122	93342	283085	423417	1463890	874145	2761452	1214299	3839660	25284	68381	124968	288093	506726	1323277	850144	2680147	1159513
332312	5	rec.																																									18784825	155526	362288	586506	1200255	2304575	6001269	4342688	12648532	6136293
332313	5	firms	1020	51	189	208	198	646	295	55	996	24	988	35	197	198	202	632	264	66	962	26	933	24	174	185	182	565	282	57	904	29	961	43	188	179	205	615	265	52	932	29	999	61	203	191	209	664	262	48	974	25
332313	5	estab.	1041	51	189	208	198	646	296	71	1013	28	1011	35	197	198	202	632	265	83	980	31	958	24	174	185	182	565	283	70	918	40	987	43	188	179	205	615	267	66	948	39	1023	61	203	191	209	664	264	60	988	35
332313	5	empl.	26824	0	447	1418	2722	4587	11546	6505	22638	4186	26761	0	476	1320	2819	4615	10150	7945	22710	4051	25945	0	419	1243	2521	4183	11083	6566	21832	4113	25460	0	450	1203	2817	4470	10629	6374	21473	3987	23894	0	494	1305	2870	4669	10262	5271	20202	3692
332313	5	ann. pay.	848997	5689	12997	40053	79219	137958	372280	211657	721895	127102	873896	1706	14465	39379	85899	141449	343811	263500	748760	125136	923147	1419	12353	41756	76983	132511	387351	239414	759276	163871	910759	6087	12719	37292	92184	148282	359509	246621	754412	156347	846333	4904	15534	38867	97204	156509	362792	195361	714662	131671
332313	5	rec.																																									3051089	23926	52498	130796	300682	507902	1175373	816804	2500079	551010
332321	5	firms	1238	71	301	217	162	751	310	110	1171	67	1188	44	316	179	155	694	300	127	1121	67	1136	52	266	173	166	657	292	121	1070	66	1177	53	286	190	165	694	310	110	1114	63	1180	67	285	188	165	705	290	120	1115	65
332321	5	estab.	1412	71	301	217	163	752	321	140	1213	199	1376	44	316	179	157	696	313	160	1169	207	1322	52	266	173	167	658	303	152	1113	209	1367	53	286	190	166	695	321	144	1160	207	1366	67	285	188	166	706	302	167	1175	191
332321	5	empl.	73278	0	688	1427	2172	4287	13774	16482	34543	38735	81183	0	736	1207	2039	3982	12999	18520	35501	45682	81717	0	619	1140	2220	3979	12410	18510	34899	46818	78479	0	664	1243	2256	4163	13323	16372	33858	44621	75778	0	689	1267	2274	4230	12613	16233	33076	42702
332321	5	ann. pay.	2109230	8055	15752	33653	62434	119894	402422	450542	972858	1136372	2358457	2674	18143	30640	59346	110803	388841	554502	1054146	1304311	2399500	5322	15880	27923	65294	114419	378820	527177	1020416	1379084	2420833	7231	19737	32961	70218	130147	410652	496078	1036877	1383956	2420375	5731	18658	37716	70787	132892	405851	509630	1048373	1372002
332321	5	rec.																																									12187282	25985	91870	166307	283381	567543	1615509	2231723	4414775	7772507
332322	5	firms	4188	175	700	719	915	2509	1337	247	4093	95	4128	156	741	714	878	2489	1294	247	4030	98	4020	141	711	674	847	2373	1296	254	3923	97	4139	159	746	706	865	2476	1326	234	4036	103	4381	213	1014	821	903	2951	1136	207	4294	87
332322	5	estab.	4456	175	700	719	917	2511	1367	328	4206	250	4431	156	742	714	880	2492	1320	332	4144	287	4351	141	711	674	847	2373	1329	352	4054	297	4479	159	746	706	865	2476	1362	325	4163	316	4703	213	1014	821	903	2951	1176	291	4418	285
332322	5	empl.	132636	0	1698	4881	12812	19391	54245	34596	108232	24404	133617	0	1805	4889	12254	18948	52488	33351	104787	28830	138741	0	1785	4620	11695	18100	53148	36629	107877	30864	142604	0	1790	4830	11891	18511	54472	35006	107989	34615	119472	0	2436	5497	12493	20426	44924	28251	93601	25871
332322	5	ann. pay.	4334591	14385	45941	149031	435128	644485	1795223	1115435	3555143	779448	4522590	11114	51315	154711	419328	636468	1806016	1152544	3595028	927562	4883040	9772	47959	148294	427079	633104	1904041	1294484	3831629	1051411	4704414	18412	52792	157139	406588	634931	1839807	1155881	3630619	1073795	4302346	21450	68539	184162	446578	720729	1656190	1024934	3401853	900493
332322	5	rec.																																									16885611	93503	251300	606831	1429967	2381601	5267968	4212952	11862521	5023090
332323	5	firms	1838	119	618	396	326	1459	305	47	1811	27	1801	102	586	390	323	1401	317	55	1773	28	1741	106	561	359	303	1329	326	56	1711	30	1815	89	569	401	331	1390	333	58	1781	34	2294	166	886	478	351	1881	321	64	2266	28
332323	5	estab.	1880	119	618	397	326	1460	312	55	1827	53	1847	102	586	390	323	1401	324	64	1789	58	1792	106	561	359	305	1331	333	64	1728	64	1869	89	569	402	332	1392	339	72	1803	66	2349	166	886	478	351	1881	330	79	2290	59
332323	5	empl.	34298	0	1384	2655	4387	8426	11263	5453	25142	9156	36056	0	1359	2571	4397	8327	12198	6417	26942	9114	36222	0	1314	2465	4081	7860	12685	6615	27160	9062	37226	0	1287	2691	4441	8419	12714	6679	27812	9414	37999	0	1946	3175	4735	9856	12364	7238	29458	8541
332323	5	ann. pay.	1043752	4138	29535	66050	128470	228193	381497	170710	780400	263352	1135333	4794	30882	62892	135629	234197	424447	211922	870566	264767	1186137	4842	29799	68180	129039	231860	453259	224757	909876	276261	1249808	4174	32714	70469	146438	253795	469254	234743	957792	292016	1311293	8848	44614	89669	157425	300556	456019	280429	1037004	274289
332323	5	rec.																																									5614952	43226	193927	321702	558515	1117370	1785402	1157350	4060122	1554830
332410	5	firms	427	29	53	49	59	190	138	61	389	38	426	24	64	45	56	189	137	63	389	37	405	14	66	51	54	185	126	57	368	37	375	12	47	41	62	162	127	48	337	38	334	9	29	48	52	138	111	48	297	37
332410	5	estab.	474	29	53	49	59	190	139	71	400	74	467	24	64	45	56	189	139	70	398	69	447	14	66	51	54	185	129	61	375	72	413	12	47	41	62	162	131	51	344	69	375	9	29	48	52	138	115	53	306	69
332410	5	empl.	26505	0	127	343	800	1270	5984	8332	15586	10919	24661	0	148	330	717	1195	5681	8000	14876	9785	23942	0	153	363	737	1253	5413	7072	13738	10204	23298	0	107	287	807	1201	5457	6289	12947	10351	21278	0	70	342	734	1146	4526	5597	11269	10009
332410	5	ann. pay.	928139	2575	4786	11792	24934	44087	199871	300084	544042	384097	883516	1508	4549	9073	22664	37794	189146	296870	523810	359706	891229	1660	7227	11645	25585	46117	188930	266977	502024	389205	900847	941	6081	9554	27588	44164	207401	240380	491945	408902	803930	1192	5167	12971	24455	43785	170003	214823	428611	375319
332410	5	rec.																																									3560654	48777	22251	53283	82647	206958	630366	805223	1642547	1918107
332420	5	firms	558	14	52	57	94	217	227	60	504	54	557	15	51	59	94	219	224	59	502	55	536	15	45	64	92	216	210	61	487	49	531	15	55	54	98	222	208	56	486	45	514	22	67	61	91	241	182	48	471	43
332420	5	estab.	631	14	52	57	94	217	234	72	523	108	633	15	51	59	94	219	232	72	523	110	613	15	45	64	92	216	219	74	509	104	608	15	55	54	98	222	217	70	509	99	578	22	67	61	91	241	190	63	494	84
332420	5	empl.	33853	0	118	401	1315	1834	9260	6980	18074	15779	32410	0	113	411	1250	1774	9134	7329	18237	14173	32537	0	101	452	1201	1754	8289	7179	17222	15315	31781	0	135	381	1342	1858	8456	6888	17202	14579	28862	0	160	422	1273	1855	7614	6035	15504	13358
332420	5	ann. pay.	1232102	768	4228	13320	39723	58039	325294	253022	636355	595747	1175664	1697	4372	12849	38963	57881	316764	258830	633475	542189	1209886	693	3712	13812	38873	57090	299505	265473	622068	587818	1198384	2397	4944	11344	42352	61037	311262	274413	646712	551672	1108277	1390	5871	14840	43801	65902	288080	249098	603080	505197
332420	5	rec.																																									4329560	6061	24078	60536	223199	313874	998888	824139	2136901	2192659
332431	5	firms	103	11	26	11	9	57	17	11	85	18	100	6	28	13	9	56	16	10	82	18	91	3	22	17	4	46	18	10	74	17	92	7	19	18	7	51	16	6	73	19	83	3	19	10	7	39	17	10	66	17
332431	5	estab.	268	11	26	11	9	57	19	13	89	179	257	6	28	13	9	56	17	12	85	172	242	3	22	17	4	46	19	14	79	163	240	7	19	18	7	51	17	8	76	164	217	3	19	10	7	39	18	15	72	145
332431	5	empl.	25956	0	56	78	122	256	700	1261	2217	23739	24328	0	55	86	118	259	663	1207	2129	22199	23625	         [a]	         [b]	114	52	208	706	1626	2540	21085	22770	0	35	122	102	259	565	775	1599	21171	21209	         [a]	         [b]	63	86	197	546	1468	2211	18998
332431	5	ann. pay.	1148871	880	1017	1543	3636	7076	22450	48664	78190	1070681	1109802	214	843	2327	3114	6498	22091	49047	77636	1032166	1056038	         (D)	         (D)	2994	1606	6155	24937	56767	87859	968179	1032541	743	1078	2675	2883	7379	17883	30022	55284	977257	1019704	         (D)	         (D)	1454	5080	8260	18790	70164	97214	922490
332431	5	rec.																																									11967504	         (D)	         (D)	14104	41933	         (D)	131533	546760	754963	11212541
332439	5	firms	442	31	117	76	64	288	105	34	427	15	411	13	123	71	56	263	100	30	393	18	397	11	115	67	55	248	101	27	376	21	400	18	102	78	57	255	96	31	382	18	367	15	94	72	42	223	99	31	353	14
332439	5	estab.	483	31	117	76	64	288	107	49	444	39	448	13	123	71	56	263	102	44	409	39	437	11	115	67	55	248	103	40	391	46	441	18	102	78	57	255	98	46	399	42	402	15	94	72	42	223	101	47	371	31
332439	5	empl.	14162	0	279	504	835	1618	4608	4058	10284	3878	13694	0	302	475	774	1551	4477	3523	9551	4143	13849	         [a]	         [e]	456	743	1480	4393	3619	9492	4357	13327	0	226	499	780	1505	4001	4048	9554	3773	13317	         [a]	         [c]	479	569	1270	4130	3359	8759	4558
332439	5	ann. pay.	442429	5357	7443	11635	23075	47510	142955	121535	312000	130429	448839	2242	8403	11752	22932	45329	143843	120507	309679	139160	465080	         (D)	         (D)	11731	22202	42252	142576	126616	311444	153636	440501	791	6367	15485	23352	45995	134805	131288	312088	128413	468362	         (D)	         (D)	12486	16827	37462	154463	119590	311515	156847
332439	5	rec.																																									2285237	         (D)	         (D)	58076	67245	         (D)	634061	571908	1372987	912250
332510	5	firms	894	41	198	125	128	492	233	94	819	75	877	46	197	119	121	483	233	87	803	74	855	35	195	119	112	461	237	83	781	74	840	40	192	122	105	459	223	81	763	77	867	42	208	118	116	484	238	76	798	69
332510	5	estab.	992	41	198	125	128	492	235	109	836	156	981	46	197	119	121	483	235	101	819	162	955	35	195	119	112	461	239	94	794	161	939	40	192	122	105	459	223	93	775	164	959	42	208	118	116	484	242	90	816	143
332510	5	empl.	73162	0	465	841	1726	3032	10116	12871	26019	47143	73601	0	475	795	1641	2911	10567	12678	26156	47445	74686	0	463	794	1503	2760	10477	12685	25922	48764	68884	0	467	830	1427	2724	9880	12204	24808	44076	65577	0	467	790	1537	2794	10690	11218	24702	40875
332510	5	ann. pay.	2341590	3350	11236	20638	49018	84242	307139	401418	792799	1548791	2431543	10423	12212	21091	48656	92382	333338	437474	863194	1568349	2494438	6475	11261	22235	47400	87371	335688	427695	850754	1643684	2316036	5776	12488	22573	45003	85840	323638	426086	835564	1480472	2251202	3860	13561	22840	48747	89008	364718	408688	862414	1388788
332510	5	rec.																																									11606840	18628	76151	99814	206319	400912	1460041	1708430	3569383	8037457
332611	5	firms	123	7	19	23	19	68	30	14	112	11	131	7	22	19	27	75	30	15	120	11	129	4	22	16	29	71	33	15	119	10	122	4	23	17	20	64	33	16	113	9	125	3	30	24	16	73	32	14	119	6
332611	5	estab.	130	7	19	23	19	68	30	19	117	13	137	7	22	19	27	75	30	20	125	12	136	4	22	16	29	71	33	21	125	11	128	4	23	17	20	64	33	22	119	9	131	3	30	24	16	73	33	19	125	6
332611	5	empl.	5280	0	48	154	253	455	1464	1623	3542	1738	5185	0	56	128	371	555	1417	1701	3673	1512	5557	0	58	106	381	545	1697	1745	3987	1570	5466	         [a]	         [b]	120	261	440	1643	1812	3895	1571	4351	0	68	172	224	464	1517	1543	3524	827
332611	5	ann. pay.	177002	1325	1473	4212	8123	15133	51180	50723	117036	59966	181614	1569	1602	3806	10867	17844	47985	58964	124793	56821	212744	656	1727	3250	13495	19128	58938	71885	149951	62793	205546	         (D)	         (D)	3350	10043	16040	58389	63828	138257	67289	170194	350	2297	5440	11791	19878	59980	58942	138800	31394
332611	5	rec.																																									861278	1371	11973	24327	68585	106256	201100	362138	669494	191784
332612	5	firms	318	11	58	41	59	169	103	34	306	12	318	8	60	48	54	170	103	32	305	13	310	13	58	45	54	170	95	34	299	11	317	13	69	40	60	182	95	28	305	12	289	5	57	45	60	167	79	32	278	11
332612	5	estab.	389	11	58	41	59	169	109	55	333	56	392	8	60	48	54	170	109	50	329	63	382	13	58	45	54	170	100	54	324	58	385	13	69	40	61	183	101	45	329	56	354	5	57	45	61	168	85	53	306	48
332612	5	empl.	19133	0	128	285	848	1261	4675	5309	11245	7888	18459	0	127	337	800	1264	4482	4739	10485	7974	18752	0	129	308	774	1211	4129	4848	10188	8564	18584	         [a]	         [c]	270	836	1260	4336	4193	9789	8795	17895	0	110	314	834	1258	3399	4109	8766	9129
332612	5	ann. pay.	599786	1545	3314	9899	24380	39138	160276	168279	367693	232093	608055	1486	3605	11925	23167	40183	161537	152011	353731	254324	633525	245	4407	10322	24347	39321	153729	170864	363914	269611	593691	         (D)	         (D)	8528	28475	42934	150788	145259	338981	254710	571547	307	3956	11262	28187	43712	128084	149737	321533	250014
332612	5	rec.																																									2511377	1280	15211	37427	91019	144937	396267	518765	1059969	1451408
332618	5	firms	1264	70	339	207	208	824	288	93	1205	59	1242	66	331	198	207	802	283	95	1180	62	1207	57	306	197	198	758	295	100	1153	54	1159	49	283	193	197	722	285	101	1108	51	1072	47	242	186	182	657	284	84	1025	47
332618	5	estab.	1369	70	339	207	208	824	300	126	1250	119	1348	66	331	198	209	804	292	131	1227	121	1321	57	306	197	198	758	309	138	1205	116	1262	49	283	193	197	722	297	134	1153	109	1171	47	242	186	182	657	301	114	1072	99
332618	5	empl.	47081	0	763	1406	2862	5031	12546	13667	31244	15837	47179	0	753	1337	2839	4929	12040	13441	30410	16769	48086	0	705	1334	2716	4755	12740	14966	32461	15625	46234	0	672	1301	2770	4743	11967	15047	31757	14477	39921	0	551	1258	2551	4360	11927	11416	27703	12218
332618	5	ann. pay.	1323864	10714	19213	33212	79564	142703	339440	419776	901919	421945	1359921	15897	20223	32465	83208	151793	340913	410664	903370	456551	1441003	5923	20092	33380	83993	143388	373015	473310	989713	451290	1358634	2086	18960	32240	82587	135873	347067	467977	950917	407717	1288030	4924	17142	34638	81776	138480	371680	390597	900757	387273
332618	5	rec.																																									5794341	28380	68781	126025	302117	525303	1518824	1416994	3461121	2333220
332710	5	firms	23787	1719	8750	5150	4134	19753	3500	399	23652	135	23032	1420	8750	5061	4001	19232	3296	366	22894	138	22627	1457	8401	5041	3918	18817	3306	360	22483	144	22544	1339	8488	5011	3882	18720	3330	345	22395	149	22878	1531	9484	4980	3572	19567	2874	295	22736	142
332710	5	estab.	23967	1719	8750	5150	4138	19757	3562	466	23785	182	23233	1420	8752	5061	4006	19239	3355	445	23039	194	22830	1457	8401	5042	3923	18823	3365	430	22618	212	22756	1339	8489	5013	3885	18726	3391	409	22526	230	23107	1532	9484	4981	3579	19576	2961	369	22906	201
332710	5	empl.	304052	0	19802	34680	55746	110228	129014	46618	285860	18192	286833	0	19752	33933	53754	107439	119290	41039	267768	19065	291642	0	19165	33738	52798	105701	121119	42049	268869	22773	292720	0	19368	33559	52387	105314	123312	41325	269951	22769	261423	0	21309	33239	48014	102562	103570	34104	240236	21187
332710	5	ann. pay.	10085350	74699	473753	929727	1739678	3217857	4522377	1628186	9368420	716930	9901950	62771	488650	945192	1730194	3226807	4309693	1524775	9061275	840675	10687168	84693	502402	985465	1814947	3387507	4626185	1660747	9674439	1012729	10232161	71089	482748	964096	1701673	3219606	4500670	1565849	9286125	946036	9396977	80491	538379	990351	1626903	3236124	3962188	1291243	8489555	907422
332710	5	rec.																																									27994126	312943	1623558	2832154	4467831	9236486	11327367	4269179	24833032	3161094
332721	5	firms	2644	34	311	459	684	1488	955	165	2608	36	2566	34	341	447	647	1469	904	152	2525	41	2500	36	321	455	621	1433	884	144	2461	39	2434	20	331	440	585	1376	877	144	2397	37	2308	29	364	472	538	1403	763	110	2276	32
332721	5	estab.	2689	34	311	459	684	1488	964	192	2644	45	2616	34	341	447	647	1469	913	178	2560	56	2555	36	321	455	621	1433	892	174	2499	56	2487	20	331	440	585	1376	887	171	2434	53	2364	29	364	472	539	1404	779	135	2318	46
332721	5	empl.	82508	0	801	3205	9510	13516	38258	24467	76241	6267	79020	0	875	3105	8939	12919	35932	22330	71181	7839	76339	0	800	3125	8622	12547	35423	21198	69168	7171	74358	0	824	3054	8069	11947	35249	21173	68369	5989	63068	0	900	3293	7399	11592	30323	15456	57371	5697
332721	5	ann. pay.	2787200	1436	29627	100634	303768	435465	1276289	868687	2580441	206759	2730283	5592	31239	99479	287339	423649	1235656	804153	2463458	266825	2824107	4014	27898	114405	301033	447350	1314806	795697	2557853	266254	2595238	2057	28878	102707	264310	397952	1214452	753399	2365803	229435	2319607	3570	31038	111342	257190	403140	1110970	572546	2086656	232951
332721	5	rec.																																									7098804	16278	95147	316543	688689	1116657	3195363	1900309	6212329	886475
332722	5	firms	887	24	122	130	173	449	296	97	842	45	849	16	125	123	169	433	286	82	801	48	826	20	122	125	157	424	276	86	786	40	803	10	125	131	145	411	269	85	765	38	768	14	131	137	127	409	245	74	728	40
332722	5	estab.	1034	24	122	130	173	449	301	145	895	139	1009	16	125	123	169	433	294	120	847	162	993	20	122	125	157	424	282	136	842	151	973	10	125	134	145	414	279	127	820	153	906	14	131	137	127	409	249	106	764	142
332722	5	empl.	55971	0	305	898	2414	3617	12538	14867	31022	24949	54793	0	315	847	2391	3553	12164	12414	28131	26662	52965	0	299	833	2192	3324	11905	13694	28923	24042	51124	0	299	904	2006	3209	11144	12327	26680	24444	45574	0	307	951	1767	3025	10054	10407	23486	22088
332722	5	ann. pay.	2068100	4178	9354	25097	73775	112404	439947	521931	1074282	993818	2089006	3020	9983	24454	72963	110420	434855	454799	1000074	1088932	2102511	1734	9465	26650	71039	108888	444765	528843	1082496	1020015	1973078	5288	8993	27676	61844	103801	388887	455009	947697	1025381	1771229	900	10287	29808	61675	102670	376223	397337	876230	894999
332722	5	rec.																																									7393945	3668	42969	122524	215586	384747	1372989	1660103	3417839	3976106
332811	5	firms	651	20	89	107	130	346	216	55	617	34	628	18	92	106	115	331	218	43	592	36	607	13	95	109	115	332	203	40	575	32	593	16	90	105	126	337	188	38	563	30	591	24	104	103	129	360	170	40	570	21
332811	5	estab.	794	20	89	107	132	348	231	103	682	112	783	18	92	106	115	331	234	82	647	136	770	13	95	109	116	333	221	77	631	139	748	16	90	105	128	339	206	74	619	129	735	24	104	103	130	361	187	78	626	109
332811	5	empl.	23645	0	218	736	1820	2774	8546	6928	18248	5397	23158	0	224	722	1577	2523	8568	5340	16431	6727	22251	0	238	761	1624	2623	8236	5290	16149	6102	20966	0	219	712	1750	2681	7449	5175	15305	5661	19796	0	243	705	1813	2761	6589	5057	14407	5389
332811	5	ann. pay.	847670	5231	8527	23434	60572	97764	296463	266033	660260	187410	857035	744	10012	24719	51770	87245	302304	209925	599474	257561	856033	1282	8910	26995	57112	94299	303740	222156	620195	235838	806336	2093	7749	29348	57297	96487	273841	211156	581484	224852	780575	3737	8882	24027	64769	101415	246492	210901	558808	221767
332811	5	rec.																																									3642522	10780	27425	67052	201601	306858	709538	884917	1901313	1741209
332812	5	firms	2008	126	448	310	382	1266	542	119	1927	81	1940	83	445	309	379	1216	523	122	1861	79	1865	77	407	296	362	1142	519	126	1787	78	1908	95	413	305	374	1187	521	122	1830	78	2043	119	516	380	380	1395	461	112	1968	75
332812	5	estab.	2205	126	448	311	384	1269	562	175	2006	199	2154	83	446	309	379	1217	543	185	1945	209	2082	77	408	296	362	1143	539	191	1873	209	2127	95	414	305	374	1188	540	190	1918	209	2266	119	516	380	383	1398	485	171	2054	212
332812	5	empl.	60133	0	1001	2117	5292	8410	20671	13791	42872	17261	58856	0	997	2083	5228	8308	20342	13610	42260	16596	58206	0	915	1995	4973	7883	20132	14223	42238	15968	58442	0	941	2045	5111	8097	19711	13819	41627	16815	53232	0	1200	2559	5186	8945	17044	11632	37621	15611
332812	5	ann. pay.	1797548	9657	23075	53337	138554	224623	584599	407378	1216600	580948	1826909	7396	26350	52290	143775	229811	589262	396012	1215085	611824	1899595	10485	26262	52968	143127	232842	606024	435584	1274450	625145	1884165	7690	24902	55669	142046	230307	570493	436732	1237532	646633	1800332	11102	31871	73700	151358	268031	522730	400589	1191350	608982
332812	5	rec.																																									9346787	37509	95688	217304	444485	794986	1588339	2954476	5337801	4008986
332813	5	firms	3272	180	777	643	613	2213	869	151	3233	39	3206	145	830	604	631	2210	809	145	3164	42	3161	172	752	630	614	2168	789	161	3118	43	3098	130	759	610	620	2119	788	151	3058	40	3041	167	776	652	619	2214	665	125	3004	37
332813	5	estab.	3402	180	777	644	614	2215	907	221	3343	59	3341	145	830	604	631	2210	851	211	3272	69	3309	172	752	630	615	2169	830	237	3236	73	3241	130	759	610	621	2120	827	226	3173	68	3199	167	776	652	623	2218	721	201	3140	59
332813	5	empl.	75323	0	1865	4382	8453	14700	35239	19469	69408	5915	73067	0	1977	4111	8693	14781	32679	18632	66092	6975	74886	0	1737	4285	8532	14554	32384	20541	67479	7407	73536	0	1796	4124	8648	14568	32161	19424	66153	7383	63674	0	1896	4380	8479	14755	27161	15139	57055	6619
332813	5	ann. pay.	2144465	8839	45627	114105	240533	409104	984996	573847	1967947	176518	2180784	7743	50568	119088	255408	432807	952094	588308	1973209	207575	2322809	7547	44917	116069	258050	426583	1003008	660854	2090445	232364	2122276	7054	46064	108207	242139	403464	915905	579133	1898502	223774	1998153	15555	46436	126145	255256	443392	857257	483594	1784243	213910
332813	5	rec.																																									5984483	50847	133760	330704	619369	1134680	2399765	1615254	5149699	834784
332911	5	firms	447	21	62	66	58	207	119	56	382	65	461	27	81	55	59	222	112	64	398	63	447	24	75	69	56	224	107	53	384	63	426	16	73	63	62	214	103	50	367	59	384	19	70	45	53	187	96	45	328	56
332911	5	estab.	560	21	62	66	58	207	121	65	393	167	585	27	81	55	60	223	115	73	411	174	566	24	75	69	57	225	108	62	395	171	544	16	73	63	63	215	104	59	378	166	512	19	70	45	53	187	102	55	344	168
332911	5	empl.	50079	0	155	458	801	1414	5042	8271	14727	35352	51143	0	208	371	789	1368	4571	9078	15017	36126	49147	0	180	491	762	1433	4473	7293	13199	35948	47905	0	162	425	885	1472	4457	7426	13355	34550	45625	0	155	297	727	1179	4310	6582	12071	33554
332911	5	ann. pay.	1853815	1135	4563	13937	27356	46991	182488	299395	528874	1324941	1933477	1487	7151	10613	27983	47234	169069	322614	538917	1394560	1937475	2980	5854	16161	27470	52465	171758	278658	502881	1434594	1901216	483	4779	13988	33173	52423	173240	281759	507422	1393794	1910014	4456	8716	12117	29463	54752	171128	260033	485913	1424101
332911	5	rec.																																									9021807	18315	69077	50138	125301	262831	636513	1119587	2018931	7002876
332912	5	firms	399	34	85	48	67	234	70	43	347	52	398	31	87	59	59	236	72	43	351	47	415	37	98	57	63	255	76	41	372	43	384	14	94	61	52	221	77	40	338	46	342	17	63	62	44	186	71	42	299	43
332912	5	estab.	480	34	85	48	67	234	72	47	353	127	480	31	87	59	59	236	74	48	358	122	501	38	98	57	63	256	79	45	380	121	464	14	94	61	52	221	80	45	346	118	421	17	63	62	44	186	73	53	312	109
332912	5	empl.	40544	0	213	328	908	1449	3014	4819	9282	31262	39900	0	212	407	801	1420	3178	5417	10015	29885	38717	0	239	390	827	1456	3324	5312	10092	28625	38353	0	224	432	724	1380	3269	5156	9805	28548	33353	0	151	425	607	1183	3053	4967	9203	24150
332912	5	ann. pay.	1533817	22948	6418	10391	28536	68293	105035	169533	342861	1190956	1516300	4383	5497	11719	26769	48368	117482	182085	347935	1168365	1562383	5516	6114	11326	29547	52503	131767	184248	368518	1193865	1554366	308	5848	12217	24887	43260	129368	189815	362443	1191923	1363941	526	4278	13481	22144	40429	116338	193559	350326	1013615
332912	5	rec.																																									6347008	2550	22841	49395	76584	151370	413367	706352	1271089	5075919
332913	5	firms	148	12	31	12	16	71	38	19	128	20	153	10	30	16	20	76	35	20	131	22	156	10	31	21	14	76	36	19	131	25	153	7	34	19	20	80	32	18	130	23	144	4	34	17	13	68	36	21	125	19
332913	5	estab.	168	12	31	12	16	71	39	21	131	37	173	10	30	16	20	76	35	22	133	40	178	10	31	21	14	76	36	22	134	44	172	7	34	19	20	80	32	21	133	39	163	4	34	17	13	68	36	24	128	35
332913	5	empl.	16017	0	69	78	230	377	1596	3859	5832	10185	16787	0	59	102	288	449	1447	4033	5929	10858	16890	0	67	152	203	422	1451	3461	5334	11556	16252	0	77	121	288	486	1440	3969	5895	10357	15325	0	81	107	175	363	1508	4556	6427	8898
332913	5	ann. pay.	546359	3093	1909	2686	6354	14042	48589	151804	214435	331924	576625	816	2010	3299	7535	13660	46321	169176	229157	347468	614592	311	1962	5255	5234	12762	49559	129749	192070	422522	590196	681	2479	5077	19875	28112	48961	142255	219328	370868	568765	136	3013	3216	5940	12305	54991	168090	235386	333379
332913	5	rec.																																									3851499	814	15842	14209	29248	60113	286734	821058	1167905	2683594
332919	5	firms	221	8	37	18	29	92	73	29	194	27	216	12	35	25	27	99	67	28	194	22	219	16	36	26	25	103	68	25	196	23	217	12	40	23	25	100	69	22	191	26	214	12	44	25	25	106	65	21	192	22
332919	5	estab.	246	8	37	18	29	92	74	33	199	47	243	12	35	25	27	99	68	32	199	44	242	16	36	26	25	103	69	29	201	41	239	12	40	23	25	100	70	26	196	43	234	12	44	25	25	106	68	26	200	34
332919	5	empl.	18406	0	82	115	372	569	3229	4411	8209	10197	16585	0	71	163	359	593	2759	3942	7294	9291	15979	0	84	181	333	598	2875	3545	7018	8961	16421	0	85	150	345	580	2813	3390	6783	9638	13593	0	95	165	368	628	2756	2945	6329	7264
332919	5	ann. pay.	634368	279	2049	2879	11918	17125	109330	179897	306352	328016	577504	1263	2035	4773	10319	18390	93980	159580	271950	305554	585336	957	2680	5210	10643	19490	102335	152502	274327	311009	583109	470	2265	6554	11803	21092	103115	139912	264119	318990	508160	4552	3920	6334	14550	29356	101722	130145	261223	246937
332919	5	rec.																																									2391390	37901	18946	23577	63596	144020	419759	612797	1176576	1214814
332991	5	firms	119	4	19	16	14	53	23	14	90	29	117	3	21	16	11	51	25	12	88	29	124	2	26	16	15	59	26	11	96	28	121	2	27	13	13	55	29	8	92	29	123	6	21	20	11	58	28	9	95	28
332991	5	estab.	198	4	19	16	14	53	24	18	95	103	192	3	21	16	11	51	26	15	92	100	198	2	26	16	15	59	27	14	100	98	198	2	27	13	13	55	30	11	96	102	199	6	21	20	11	58	29	12	99	100
332991	5	empl.	37935	         [a]	         [b]	107	186	339	1055	2087	3481	34454	35860	0	51	105	120	276	1095	1758	3129	32731	34837	         [a]	         [b]	112	182	357	1312	1680	3349	31488	33416	         [a]	         [b]	86	171	325	1461	1462	3248	30168	29531	0	56	130	146	332	1285	1384	3001	26530
332991	5	ann. pay.	1454582	         (D)	         (D)	3280	5157	11957	36636	75436	124029	1330553	1415804	200	1593	3044	3300	8137	39532	62363	110032	1305772	1461513	         (D)	         (D)	3492	5234	10648	49098	59348	119094	1342419	1353832	         (D)	         (D)	2694	5214	10027	52571	47454	110052	1243780	1194956	7738	1170	4142	5211	18261	49382	49752	117395	1077561
332991	5	rec.																																									5976068	29911	5105	16532	20610	72158	150419	220963	443540	5532528
332992	5	firms	113	13	43	23	16	95	10	2	107	6	111	21	40	14	16	91	13	2	106	5	116	15	43	21	14	93	14	4	111	5	105	10	36	17	19	82	14	3	99	6	109	16	37	20	14	87	12	4	103	6
332992	5	estab.	118	13	43	23	16	95	12	2	109	9	117	23	40	14	16	93	13	2	108	9	122	15	43	21	14	93	16	4	113	9	111	10	38	17	19	84	14	3	101	10	112	16	37	20	14	87	12	4	103	9
332992	5	empl.	6867	0	         [b]	151	225	         [e]	408	         [c]	1019	5848	6913	0	[b]	94	215	[e]	552	[c]	1085	5828	7225	0	104	143	204	451	511	352	1314	5911	6717	0	77	112	250	439	512	268	1219	5498	6727	0	87	135	212	434	451	273	1158	5569
332992	5	ann. pay.	244199	2102	         (D)	2669	6576	         (D)	9557	         (D)	26759	217440	268219	1521	(D)	1701	7119	(D)	15408	(D)	32288	235931	282045	347	1994	3528	6306	12175	14453	13142	39770	242275	254121	94	1403	2719	5828	10044	12911	9467	32422	221699	268163	426	1868	3592	4865	10751	12597	8288	31636	236527
332992	5	rec.																																									1170548	2206	9003	12610	23497	47316	47720	49568	144604	1025944
332993	5	firms	51	6	11	4	1	22	6	9	37	14	46	1	11	5	2	19	6	9	34	12	47	3	9	5	2	19	7	10	36	11	51	3	17	3	3	26	5	11	42	9	46	0	17	4	4	25	6	6	37	9
332993	5	estab.	59	6	11	4	1	22	6	10	38	21	55	1	11	5	2	19	6	11	36	19	55	3	9	5	2	19	7	12	38	17	56	3	17	3	3	26	5	12	43	13	52	0	17	4	4	25	7	6	38	14
332993	5	empl.	9712	         [a]	         [a]	27	         [a]	61	276	1185	1522	8190	8876	[a]	[b]	31	[b]	77	232	1101	1410	7466	7683	         [a]	         [a]	30	         [b]	71	223	1395	1689	5994	6385	         [a]	         [b]	20	42	93	143	1371	1607	4778	5984	0	29	26	52	107	165	700	972	5012
332993	5	ann. pay.	410674	         (D)	         (D)	553	         (D)	2024	6440	42940	51404	359270	369374	(D)	(D)	596	(D)	1799	7278	42320	51397	317977	325069	         (D)	         (D)	879	         (D)	2248	6224	52203	60675	264394	287249	         (D)	         (D)	463	1105	3947	3591	50172	57710	229539	259483	0	1121	888	1026	3035	5938	23578	32551	226932
332993	5	rec.																																									874799	0	3475	2762	4031	10268	17053	101417	128738	746061
332994	5	firms	204	20	68	36	28	152	36	7	195	9	213	17	74	38	31	160	37	7	204	9	210	19	66	35	36	156	35	9	200	10	205	15	69	42	29	155	35	5	195	10	188	17	52	41	27	137	32	10	179	9
332994	5	estab.	211	20	68	36	28	152	36	8	196	15	220	17	74	38	31	160	37	8	205	15	218	19	66	35	36	156	35	10	201	17	213	15	69	42	29	155	35	6	196	17	195	17	52	41	27	137	32	11	180	15
332994	5	empl.	9942	0	162	240	405	807	1354	2103	4264	5678	10099	0	176	246	469	891	1436	2084	4411	5688	10187	0	155	225	522	902	1387	1950	4239	5948	9643	0	165	265	416	846	1478	1299	3623	6020	9746	0	117	271	370	758	1349	2314	4421	5325
332994	5	ann. pay.	330366	1041	4147	4866	10292	20346	35090	69505	124941	205425	343869	710	3969	5505	12286	22470	42107	70138	134715	209154	348280	1085	3448	4935	13105	22573	39954	63803	126330	221950	344388	377	5357	5828	10357	21919	47272	46062	115253	229135	423286	3744	2682	7552	13261	27239	45164	87051	159454	263832
332994	5	rec.																																									1672839	20083	12662	29650	41997	104392	194154	510761	809307	863532
332995	5	firms	66	3	15	11	6	35	13	6	54	12	62	3	13	11	6	33	11	7	51	11	58	3	11	11	7	32	9	5	46	12	56	5	9	8	9	31	9	4	44	12	54	7	7	5	11	30	11	4	45	9
332995	5	estab.	68	3	15	11	6	35	13	6	54	14	65	3	13	11	6	33	11	7	51	14	59	3	11	11	7	32	9	5	46	13	57	5	9	8	9	31	9	4	44	13	58	7	7	5	12	31	11	4	46	12
332995	5	empl.	10926	         [a]	         [b]	73	         [b]	         [c]	464	         [e]	970	9956	7526	[a]	[b]	78	[b]	[c]	360	[e]	930	6596	7345	         [a]	         [a]	78	         [b]	191	311	291	793	6552	7434	         [a]	         [a]	54	132	203	294	212	709	6725	5094	0	14	32	144	190	350	658	1198	3896
332995	5	ann. pay.	520364	         (D)	         (D)	1706	         (D)	         (D)	13663	         (D)	29656	490708	363907	(D)	(D)	1996	(D)	(D)	10999	(D)	28877	335030	390156	         (D)	         (D)	2332	         (D)	5429	11105	7247	23781	366375	396677	         (D)	         (D)	1461	4139	6037	11299	6174	23510	373167	275230	266	240	998	5280	6784	12857	28528	48169	227061
332995	5	rec.																																									1241189	1104	1217	3302	19622	25245	37281	127401	189927	1051262
332996	5	firms	886	55	172	165	173	565	213	68	846	40	893	62	184	155	172	573	217	61	851	42	917	59	199	155	167	580	227	64	871	46	864	34	190	155	155	534	225	62	821	43	812	27	183	144	153	507	207	58	772	40
332996	5	estab.	939	55	172	165	173	565	219	88	872	67	957	62	184	155	172	573	224	78	875	82	978	59	199	155	167	580	232	79	891	87	934	34	190	155	155	534	234	79	847	87	879	27	183	144	153	507	216	74	797	82
332996	5	empl.	30876	0	394	1097	2376	3867	8602	8491	20960	9916	30802	0	414	1030	2339	3783	8694	8425	20902	9900	32656	0	444	1054	2281	3779	9145	8353	21277	11379	33248	0	445	1060	2168	3673	9408	8319	21400	11848	29638	0	429	953	2045	3427	8392	7172	18991	10647
332996	5	ann. pay.	953862	4339	11177	28595	63156	107267	280156	254600	642023	311839	1006667	7936	11307	30489	68258	117990	289806	274561	682357	324310	1082527	8044	13823	30418	64054	116339	309515	265459	691313	391214	1110938	1879	13801	32180	66172	114032	320383	278441	712856	398082	1002496	1662	13743	30672	65893	111970	295558	240936	648464	354032
332996	5	rec.																																									4423588	7746	59498	115992	277930	461166	1135799	941995	2538960	1884628
332997	5	firms	676	39	249	174	111	573	82	14	669	7	673	38	258	180	97	573	78	15	666	7	681	59	244	188	93	584	73	17	674	7	644	36	265	171	71	543	79	15	637	7	581	37	235	147	77	496	67	14	577	4
332997	5	estab.	680	39	249	174	111	573	84	15	672	8	677	38	258	180	97	573	80	16	669	8	684	59	244	188	93	584	75	18	677	7	647	36	265	171	71	543	81	16	640	7	585	37	235	148	77	497	70	14	581	4
332997	5	empl.	7888	0	587	1184	1462	3233	2811	1186	7230	658	7871	0	569	1224	1338	3131	2731	1271	7133	738	7838	0	553	1275	1263	3091	2518	1573	7182	656	7866	0	633	1129	950	2712	2663	1343	6718	1148	6138	0	549	978	1066	2593	2341	1127	6061	77
332997	5	ann. pay.	300748	1708	16991	36683	53024	108406	124372	45807	278585	22163	303224	2193	18347	40486	47737	108763	124156	50180	283099	20125	305023	1646	16498	42322	49472	109938	118504	59822	288264	16759	310797	1394	19418	35517	36695	93024	115202	52005	260231	50566	259508	741	16069	32274	43847	92931	104258	58276	255465	4043
332997	5	rec.																																									588963	2118	39499	76008	103423	221048	231107	128898	581053	7910
332998	5	firms	89	11	20	14	10	55	15	4	74	15	84	3	23	14	9	49	16	5	70	14	87	6	27	13	7	53	12	6	71	16	93	8	22	16	10	56	15	6	77	16	92	8	27	11	11	57	15	7	79	13
332998	5	estab.	95	11	20	14	10	55	15	4	74	21	89	3	23	14	9	49	16	5	70	19	92	6	27	13	7	53	12	6	71	21	97	8	22	16	10	56	15	6	77	20	97	8	27	11	11	57	15	7	79	18
332998	5	empl.	9093	0	51	94	141	286	678	504	1468	7625	9741	0	54	85	118	257	655	674	1586	8155	10291	0	68	85	99	252	491	778	1521	8770	9945	0	46	105	129	280	627	661	1568	8377	9712	0	58	78	140	276	830	702	1808	7904
332998	5	ann. pay.	311447	365	1230	2285	3752	7632	23855	22689	54176	257271	350399	106	1324	2158	2889	6477	24023	26762	57262	293137	376417	806	1591	2450	3124	7971	16210	31398	55579	320838	381796	4023	1339	2615	3809	11786	21990	31845	65621	316175	378672	467	1562	3033	4391	9453	32313	31001	72767	305905
332998	5	rec.																																									1618115	2060	8421	16301	23295	50077	119198	112274	281549	1336566
332999	5	firms	3272	373	809	586	598	2366	647	154	3167	105	3296	296	907	608	594	2405	654	147	3206	90	3417	353	921	650	592	2516	664	147	3327	90	3171	215	923	596	558	2292	651	145	3088	83	2828	201	744	549	523	2017	603	127	2747	81
332999	5	estab.	3340	373	809	586	599	2367	658	171	3196	144	3357	296	907	608	595	2406	663	167	3236	121	3487	353	921	650	593	2517	675	165	3357	130	3240	215	923	596	559	2293	663	167	3123	117	2897	201	744	549	523	2017	620	147	2784	113
332999	5	empl.	85076	0	1844	3990	8153	13987	24404	20609	59000	26076	80571	0	2029	4142	8157	14328	24764	19863	58955	21616	83853	0	2018	4396	8145	14559	25383	20675	60617	23236	79062	0	2098	3992	7733	13823	25293	19230	58346	20716	68481	0	1692	3734	7229	12655	23124	15783	51562	16919
332999	5	ann. pay.	2710418	24917	47382	109226	234146	415671	752750	676079	1844500	865918	2672398	23406	54497	116546	247446	441895	789598	658888	1890381	782017	2846670	19642	55497	130777	249840	455756	831285	709211	1996252	850418	2662267	23285	53595	115051	233708	425639	816642	691893	1934174	728093	2380443	17539	51398	112393	228656	409986	771415	566332	1747733	632710
332999	5	rec.																																									10658714	90163	224783	398762	840666	1554374	2780132	2323015	6657521	4001193
333111	5	firms	1280	82	300	220	238	840	295	96	1231	49	1235	63	314	204	245	826	280	91	1197	38	1193	67	285	205	226	783	283	91	1157	36	1166	54	290	214	205	763	285	84	1132	34	1141	68	288	194	208	758	273	77	1108	33
333111	5	estab.	1360	82	300	220	238	840	304	114	1258	102	1318	63	314	204	246	827	291	112	1230	88	1274	67	285	205	226	783	294	111	1188	86	1243	54	290	214	205	763	295	109	1167	76	1217	68	288	194	209	759	286	97	1142	75
333111	5	empl.	70963	0	687	1510	3232	5429	12209	13806	31444	39519	63149	[a]	[f]	1379	3297	5401	11229	13700	30330	32819	60901	0	629	1389	3057	5075	11651	13619	30345	30556	59091	0	653	1492	2765	4910	11339	13527	29776	29315	55742	0	692	1346	2780	4818	10856	11464	27138	28604
333111	5	ann. pay.	2437365	6068	13300	30487	75442	125297	337443	407811	870551	1566814	2168191	(D)	(D)	29423	80770	130609	314495	433599	878703	1289488	2206810	4163	13390	33133	75797	126483	327750	448102	902335	1304475	2182398	2450	14333	35698	72224	124705	322688	466109	913502	1268896	2076147	7370	14471	33996	72715	128552	329458	395316	853326	1222821
333111	5	rec.																																									14539271	39701	75187	160284	317812	592984	1412686	1741779	3747449	10791822
333112	5	firms	124	7	28	15	16	66	26	11	103	21	118	7	28	13	14	62	23	10	95	23	115	4	26	10	19	59	23	12	94	21	117	11	22	12	18	63	22	12	97	20	131	10	33	23	15	81	23	7	111	20
333112	5	estab.	142	7	28	15	16	66	26	11	103	39	136	7	28	13	14	62	23	10	95	41	132	4	26	10	19	59	23	12	94	38	134	11	22	12	18	63	22	12	97	37	150	10	33	23	17	83	23	7	113	37
333112	5	empl.	30054	0	61	108	218	387	1208	2161	3756	26298	27318	[a]	[b]	83	205	361	957	1399	2717	24601	27650	0	54	66	268	388	1018	1902	3308	24342	26704	0	48	83	265	396	896	1925	3217	23487	23263	0	75	166	208	449	1007	1293	2749	20514
333112	5	ann. pay.	790516	97	869	2698	4895	8559	32675	64896	106130	684386	749030	(D)	(D)	2192	5429	11253	24012	41619	76884	672146	764766	64	1150	1888	7073	10175	25801	64185	100161	664605	690048	835	1398	2346	5584	10163	22953	53763	86879	603169	679079	1565	2169	4928	6610	15272	30880	39846	85998	593081
333112	5	rec.																																									6520600	130040	21368	44697	58847	254952	145474	286317	686743	5833857
333120	5	firms	734	63	125	100	102	390	197	86	673	61	740	62	119	109	97	387	205	82	674	66	734	49	138	105	97	389	201	80	670	64	715	42	146	95	98	381	197	73	651	64	698	46	138	105	99	388	176	72	636	62
333120	5	estab.	804	63	125	100	102	390	200	100	690	114	814	62	119	109	97	387	208	95	690	124	813	49	138	105	97	389	205	93	687	126	793	42	146	95	98	381	198	86	665	128	783	46	138	106	100	390	186	92	668	115
333120	5	empl.	73978	0	312	696	1440	2448	8683	12735	23866	50112	75800	0	274	727	1361	2362	9031	12355	23748	52052	74127	0	318	689	1336	2343	8737	11357	22437	51690	70016	0	325	644	1322	2291	8479	10629	21399	48617	59627	0	318	718	1407	2443	7445	9949	19837	39790
333120	5	ann. pay.	3076878	6959	8096	19745	42843	77643	299382	425368	802393	2274485	3094555	5715	8699	21353	45129	80896	324828	427062	832786	2261769	3063130	7983	10085	20159	44912	83139	323747	409620	816506	2246624	2848536	2086	10914	20196	42116	75312	309184	381077	765573	2082963	2543705	4628	11535	26907	46514	89584	284503	379241	753328	1790377
333120	5	rec.																																									19261747	50666	66410	127268	235961	480305	1230849	2087938	3799092	15462655
333131	5	firms	267	14	65	39	43	161	67	23	251	16	253	14	59	38	44	155	64	19	238	15	259	20	62	44	36	162	63	18	243	16	254	8	61	42	46	157	61	20	238	16	242	12	63	34	40	149	61	17	227	15
333131	5	estab.	299	14	65	39	43	161	71	33	265	34	287	14	59	38	44	155	67	29	251	36	292	20	62	44	36	162	68	26	256	36	284	8	61	42	46	157	65	28	250	34	274	12	63	34	40	149	65	24	238	36
333131	5	empl.	13525	0	158	264	584	1006	2839	3417	7262	6263	13571	0	140	242	599	981	2634	3022	6637	6934	12046	0	139	301	531	971	2557	2685	6213	5833	11613	0	141	276	644	1061	2470	2713	6244	5369	9938	0	154	233	566	953	2256	1981	5190	4748
333131	5	ann. pay.	499965	2143	3607	8912	17663	32325	92467	133840	258632	241333	480886	1126	3290	7334	18487	30237	86820	112569	229626	251260	472839	1463	4035	10203	16532	32233	89895	104011	226139	246700	471596	714	4090	8505	21150	34459	86989	114408	235856	235740	392939	1116	5342	8121	19926	34505	84649	75363	194517	198422
333131	5	rec.																																									1847914	4641	24782	31505	65022	125950	349435	287085	762470	1085444
333132	5	firms	501	25	113	89	91	318	121	24	463	38	471	17	118	98	74	307	105	23	435	36	445	22	106	85	71	284	103	24	411	34	429	22	98	76	68	264	108	24	396	33	442	16	110	78	74	278	98	32	408	34
333132	5	estab.	576	25	113	89	91	318	124	28	470	106	555	17	118	98	74	307	109	31	447	108	533	22	106	85	71	284	107	28	419	114	510	22	98	76	68	264	111	27	402	108	513	16	110	78	74	278	101	35	414	99
333132	5	empl.	32418	0	249	578	1192	2019	4784	3843	10646	21772	27490	0	269	653	1005	1927	3860	3362	9149	18341	24773	0	259	594	954	1807	3891	3431	9129	15644	26460	0	234	526	909	1669	4230	3672	9571	16889	27888	0	252	536	970	1758	3651	4842	10251	17637
333132	5	ann. pay.	1353239	2740	6929	20725	39880	70274	187886	149243	407403	945836	1104994	3733	7916	19817	32088	63554	142322	127645	333521	771473	1155686	2690	7470	21352	30222	61734	158599	136097	356430	799256	1250049	4128	8908	20722	31338	65096	168211	150856	384163	865886	1287010	2064	8287	19338	34250	63939	147885	195719	407543	879467
333132	5	rec.																																									5340569	19097	44160	76715	151417	291389	594008	639981	1525378	3815191
333210	5	firms	304	26	88	55	46	215	70	12	297	7	316	29	99	52	50	230	64	14	308	8	307	22	95	50	52	219	63	15	297	10	292	13	96	45	52	206	64	13	283	9	280	19	91	53	47	210	54	8	272	8
333210	5	estab.	316	26	88	56	46	216	72	16	304	12	327	29	99	53	50	231	66	18	315	12	318	22	95	51	52	220	65	19	304	14	302	13	96	45	52	206	67	17	290	12	292	19	91	53	47	210	59	12	281	11
333210	5	empl.	8570	0	212	355	642	1209	2900	2220	6329	2241	8341	0	238	336	697	1271	2623	2064	5958	2383	8764	0	221	327	703	1251	2567	2415	6233	2531	8208	0	235	301	716	1252	2575	2046	5873	2335	6720	0	218	359	641	1218	2216	1272	4706	2014
333210	5	ann. pay.	306407	944	6017	8615	20185	35761	110564	79769	226094	80313	309088	2657	5345	8508	23231	39741	101125	78740	219606	89482	330972	1543	5347	9145	22207	38242	108440	91701	238383	92589	287461	484	5877	8166	20217	34744	96509	71401	202654	84807	257040	498	5976	10252	21135	37861	89739	48896	176496	80544
333210	5	rec.																																									915980	2830	22111	39042	79991	143974	287545	189103	620622	295358
333220	5	firms	434	29	110	66	69	274	97	30	401	33	476	53	103	71	72	299	104	33	436	40	492	46	106	89	71	312	111	31	454	38	496	34	123	71	85	313	113	34	460	36	537	47	167	75	75	364	112	25	501	36
333220	5	estab.	463	29	110	66	69	274	99	34	407	56	503	53	103	71	72	299	106	37	442	61	518	46	106	89	71	312	113	35	460	58	524	34	123	71	85	313	117	38	468	56	558	48	167	76	75	366	113	27	506	52
333220	5	empl.	19293	0	267	449	945	1661	4049	4424	10134	9159	19981	0	238	488	939	1665	4266	4846	10777	9204	21235	0	237	590	1017	1844	4891	4860	11595	9640	20820	0	259	454	1142	1855	4852	5154	11861	8959	16820	0	369	495	1056	1920	4575	3254	9749	7071
333220	5	ann. pay.	774805	5402	8371	14955	31736	60464	154553	179816	394833	379972	833208	17196	8754	15770	30711	72431	162663	188973	424067	409141	896960	8189	8290	18463	36140	71082	197775	223148	492005	404955	826086	5936	8989	12718	36674	64317	172381	215517	452215	373871	708349	6834	13031	16397	37213	73475	173866	139996	387337	321012
333220	5	rec.																																									3190795	28253	49301	55375	150333	283262	695561	606031	1584854	1605941
333291	5	firms	314	4	56	47	61	168	98	27	293	21	320	16	56	48	52	172	102	26	300	20	306	11	53	46	58	168	97	22	287	19	293	12	51	48	64	175	83	21	279	14	272	10	59	46	57	172	70	19	261	11
333291	5	estab.	345	4	56	47	61	168	100	31	299	46	351	16	56	48	52	172	104	30	306	45	335	11	53	46	58	168	99	27	294	41	319	12	51	48	65	176	84	27	287	32	298	10	59	46	57	172	73	24	269	29
333291	5	empl.	17728	         [a]	         [c]	332	858	1339	3992	3657	8988	8740	16755	0	137	341	745	1223	4035	3487	8745	8010	14195	         [a]	         [c]	315	810	1246	3870	3130	8246	5949	13169	0	124	319	882	1325	3326	3138	7789	5380	11484	0	143	318	789	1250	2813	3147	7210	4274
333291	5	ann. pay.	772861	         (D)	         (D)	12088	31941	48332	158856	167233	374421	398440	749882	1505	4102	12210	27404	45221	153791	167287	366299	383583	641338	         (D)	         (D)	11391	33723	50892	159826	150078	360796	280542	580645	683	3842	10708	36005	51238	137031	147505	335774	244871	531444	603	4491	12286	32655	50035	115687	148029	313751	217693
333291	5	rec.																																									2046700	2665	18547	44735	117375	183322	400425	606231	1189978	856722
333292	5	firms	440	21	121	92	68	302	103	25	430	10	447	30	137	78	76	321	91	25	437	10	434	22	135	74	84	315	85	25	425	9	427	13	152	70	81	316	78	23	417	10	408	22	153	66	65	306	77	16	399	9
333292	5	estab.	461	21	121	92	69	303	108	37	448	13	466	30	137	78	76	321	95	37	453	13	451	22	135	74	84	315	90	35	440	11	440	13	152	70	81	316	82	31	429	11	423	23	153	66	65	307	81	23	411	12
333292	5	empl.	13260	         [a]	         [e]	621	974	1873	4240	4135	10248	3012	12202	0	306	510	1101	1917	3709	4114	9740	2462	11463	0	306	464	1160	1930	3463	4156	9549	1914	10635	0	339	459	1124	1922	3094	3836	8852	1783	8758	0	326	430	832	1588	2954	2675	7217	1541
333292	5	ann. pay.	459644	         (D)	         (D)	18505	31410	58120	144400	147341	349861	109783	415218	1720	8180	13645	33987	57532	134524	144583	336639	78579	402089	592	7333	13411	36717	58053	128117	147844	334014	68075	349983	1559	8936	12931	31595	55021	105274	123503	283798	66185	317485	3181	8579	11889	27592	51241	105539	95222	252002	65483
333292	5	rec.																																									1066206	22741	34104	38968	85616	181429	357408	297735	836572	229634
333293	5	firms	492	31	125	87	83	326	104	40	470	22	484	30	118	80	90	318	112	32	462	22	486	27	124	91	76	318	113	34	465	21	464	18	125	80	82	305	111	29	445	19	420	22	104	81	77	284	93	24	401	19
333293	5	estab.	534	31	125	87	83	326	109	43	478	56	523	30	118	80	90	318	117	33	468	55	520	27	124	91	76	318	118	39	475	45	499	18	125	80	82	305	115	35	455	44	456	22	104	81	78	285	97	27	409	47
333293	5	empl.	21146	0	281	603	1123	2007	4445	4611	11063	10083	19504	0	267	519	1216	2002	4880	3416	10298	9206	18640	0	294	608	1039	1941	4929	4144	11014	7626	18204	0	285	534	1110	1929	4884	3743	10556	7648	14266	0	217	546	1048	1811	3934	3093	8838	5428
333293	5	ann. pay.	933687	13957	8416	19481	43752	85606	175570	203177	464353	469334	848236	2822	9101	19013	43186	74122	194679	158635	427436	420800	865747	4553	9278	23247	39377	76455	195503	200266	472224	393523	838949	885	10736	14733	39530	65884	188594	179838	434316	404633	655675	2723	9279	20317	39042	71361	166701	137166	375228	280447
333293	5	rec.																																									2469416	10354	37002	80809	128613	256778	553607	627332	1437717	1031699
333294	5	firms	573	27	124	103	92	346	156	42	544	29	598	47	133	100	94	374	152	44	570	28	570	34	144	93	86	357	149	40	546	24	551	33	132	97	80	342	148	43	533	18	535	33	122	95	78	328	147	46	521	14
333294	5	estab.	592	27	124	103	92	346	161	46	553	39	622	47	133	100	94	374	158	51	583	39	595	34	144	93	86	357	156	47	560	35	577	33	132	97	80	342	155	50	547	30	560	33	122	95	78	328	156	57	541	19
333294	5	empl.	18566	0	299	687	1304	2290	6364	5136	13790	4776	18729	0	315	669	1327	2311	6167	5400	13878	4851	18210	0	344	659	1190	2193	6020	5405	13618	4592	17939	0	306	670	1120	2096	5927	5681	13704	4235	17009	0	283	645	1048	1976	5597	6201	13774	3235
333294	5	ann. pay.	720877	1620	10364	19746	46343	78073	226794	228134	533001	187876	749047	2760	12019	20257	45511	80547	227728	243659	551934	197113	759323	4457	12602	20101	43356	80516	230945	251543	563004	196319	726745	2065	12521	21614	41737	77937	227977	254756	560670	166075	746366	6125	11780	21422	40798	80125	228158	304980	613263	133103
333294	5	rec.																																									2895853	23560	65109	73889	140684	303242	810853	1059693	2173788	722065
333295	5	firms	252	15	40	24	27	106	62	48	216	36	250	10	39	31	33	113	64	37	214	36	233	13	42	22	27	104	62	30	196	37	230	8	40	25	26	99	57	34	190	40	227	15	38	23	26	102	61	27	190	37
333295	5	estab.	269	15	40	24	27	106	62	52	220	49	269	11	39	31	33	114	64	42	220	49	259	13	42	22	27	104	62	36	202	57	257	8	40	25	26	99	57	39	195	62	259	15	38	23	28	104	62	33	199	60
333295	5	empl.	42324	0	98	167	389	654	2666	8918	12238	30086	34594	0	92	219	441	752	2861	6867	10480	24114	40009	         [a]	         [b]	143	377	616	2951	5185	8752	31257	40049	0	83	179	358	620	2683	5962	9265	30784	30445	0	72	165	357	594	2699	4739	8032	22413
333295	5	ann. pay.	2275086	5988	4119	7617	18475	36199	122720	444667	603586	1671500	2246360	16499	3316	9607	19190	48612	147076	398267	593955	1652405	3511159	         (D)	         (D)	6332	17474	54816	172839	307709	535364	2975795	2751081	2026	2455	7790	19984	32255	132519	308131	472905	2278176	2271839	3155	5015	7931	17778	33879	139613	297932	471424	1800415
333295	5	rec.																																									9341513	53428	27092	31589	66664	178773	479975	1189355	1848103	7493410
333298	5	firms	1619	93	414	241	267	1015	398	130	1543	76	1563	86	408	224	272	990	384	124	1498	65	1505	77	379	241	256	953	363	119	1435	70	1443	79	344	236	247	906	364	105	1375	68	1336	70	307	240	239	856	317	99	1272	64
333298	5	estab.	1669	93	414	241	269	1017	408	144	1569	100	1613	86	408	225	273	992	394	138	1524	89	1548	77	379	242	257	955	371	130	1456	92	1490	79	344	237	248	908	373	113	1394	96	1380	70	307	240	239	856	327	114	1297	83
333298	5	empl.	57009	0	960	1594	3707	6261	15798	16836	38895	18114	50906	0	947	1477	3753	6177	15304	16588	38069	12837	50882	0	869	1643	3643	6155	14701	15299	36155	14727	48411	0	783	1608	3461	5852	14325	13581	33758	14653	40767	0	721	1627	3334	5682	11863	12076	29621	11146
333298	5	ann. pay.	2224777	16970	27613	49741	129982	224306	584792	687077	1496175	728602	2066730	11058	27482	49207	137228	224975	595830	707916	1528721	538009	2139305	5570	26624	56950	138182	227326	588592	670494	1486412	652893	2006984	6034	23213	54975	125017	209239	548068	586228	1343535	663449	1803140	5609	23981	58972	129064	217626	492788	532639	1243053	560087
333298	5	rec.																																									7137576	25240	95606	228149	454921	803916	1744526	2221740	4770182	2367394
333311	5	firms	111	6	26	18	22	72	25	6	103	8	107	6	30	14	22	72	21	6	99	8	108	11	28	16	19	74	19	7	100	8	102	3	33	15	16	67	22	5	94	8	94	7	24	16	19	66	15	7	88	6
333311	5	estab.	116	6	26	18	22	72	25	7	104	12	112	6	30	14	22	72	21	7	100	12	113	11	28	16	19	74	19	9	102	11	106	3	33	15	16	67	22	6	95	11	98	7	24	16	19	66	15	8	89	9
333311	5	empl.	8082	0	64	121	305	490	809	406	1705	6377	8951	0	60	93	298	451	773	357	1581	7370	8406	         [a]	         [b]	112	270	443	705	931	2079	6327	7361	0	78	96	215	389	803	803	1995	5366	6853	0	46	105	246	397	551	1387	2335	4518
333311	5	ann. pay.	227215	441	1469	2870	8012	12792	24305	14651	51748	175467	238925	250	1443	2006	8211	11910	24296	12795	49001	189924	223988	         (D)	         (D)	2730	6566	11167	20788	26855	58810	165178	218113	29	2337	2273	5778	10417	26663	24309	61389	156724	235902	135	1138	3007	8080	12360	19139	41888	73387	162515
333311	5	rec.																																									1150299	829	5387	13924	32404	52544	75998	211178	339720	810579
333312	5	firms	64	6	14	10	7	37	12	11	60	4	62	5	18	9	6	38	9	11	58	4	61	2	20	9	5	36	10	10	56	5	61	3	19	9	6	37	10	10	57	4	55	3	17	5	8	33	9	9	51	4
333312	5	estab.	68	6	14	10	7	37	12	13	62	6	65	5	18	9	6	38	9	13	60	5	65	2	20	9	5	36	10	12	58	7	63	3	19	9	6	37	11	11	59	4	57	3	17	5	8	33	10	10	53	4
333312	5	empl.	4236	0	35	72	94	201	438	1624	2263	1973	3882	0	45	67	91	203	344	1575	2122	1760	3876	         [a]	         [b]	64	69	179	359	1378	1916	1960	3246	0	41	65	81	187	383	1358	1928	1318	3281	0	33	32	121	186	391	1211	1788	1493
333312	5	ann. pay.	131246	395	659	1841	2493	5388	16013	57601	79002	52244	126561	71	1123	1329	3617	6140	12069	59758	77967	48594	124716	         (D)	         (D)	1419	3078	5453	12323	51989	69765	54951	114034	199	1117	1603	3633	6552	14563	53930	75045	38989	117354	566	533	1040	5124	7263	15804	45805	68872	48482
333312	5	rec.																																									605947	5413	3381	4443	19856	33093	96133	200282	329508	276439
333313	5	firms	131	13	26	12	13	64	33	15	112	19	149	11	31	14	14	70	40	18	128	21	139	8	30	15	12	65	36	18	119	20	134	4	28	15	14	61	37	17	115	19	110	4	20	12	8	44	33	13	90	20
333313	5	estab.	137	13	26	12	13	64	36	16	116	21	157	11	33	14	14	72	41	19	132	25	150	8	30	15	12	65	37	20	122	28	144	4	28	15	14	61	38	19	118	26	119	4	20	12	8	44	35	15	94	25
333313	5	empl.	13874	0	48	79	190	317	1401	1607	3325	10549	16743	0	66	90	183	339	1768	2295	4402	12341	15791	0	74	105	179	358	1607	2365	4330	11461	19134	0	61	98	190	349	1711	2502	4562	14572	16602	0	40	75	119	234	1418	1290	2942	13660
333313	5	ann. pay.	538828	558	1618	1840	4366	8382	50702	56623	115707	423121	619869	1435	4058	2502	5647	13642	68074	80660	162376	457493	590289	690	2215	3781	6013	12699	64461	86594	163754	426535	788410	53	1864	3730	5477	11124	71064	90529	172717	615693	797314	184	1673	3668	5258	10783	61580	53777	126140	671174
333313	5	rec.																																									3087288	1155	11605	18584	24604	55948	218086	247517	521551	2565737
333314	5	firms	476	26	123	71	68	288	117	31	436	40	471	22	130	68	70	290	110	27	427	44	465	27	117	72	68	284	104	36	424	41	469	26	120	78	66	290	102	35	427	42	449	27	108	73	59	267	108	31	406	43
333314	5	estab.	497	26	123	71	68	288	121	38	447	50	490	22	130	68	71	291	114	33	438	52	490	27	117	72	68	284	106	43	433	57	496	26	120	78	66	290	107	39	436	60	474	27	108	73	59	267	113	35	415	59
333314	5	empl.	21765	0	281	473	942	1696	4925	4253	10874	10891	18593	0	284	454	973	1711	4500	3837	10048	8545	20489	0	276	478	911	1665	4209	4762	10636	9853	22840	0	266	542	914	1722	4225	5412	11359	11481	20723	0	235	485	817	1537	4248	3746	9531	11192
333314	5	ann. pay.	917693	1048	10456	16654	39403	67561	196649	177623	441833	475860	831378	964	10666	17070	42760	71460	192102	178256	441818	389560	1300415	1873	10105	19555	41047	72580	189841	297451	559872	740543	1133837	5914	11769	23315	44166	85164	201783	257675	544622	589215	986009	6425	9305	21290	38147	75167	208250	195830	479247	506762
333314	5	rec.																																									3462449	32241	35772	67920	108158	244091	573344	627947	1445382	2017067
333315	5	firms	407	30	115	61	64	270	87	27	384	23	401	26	130	59	61	276	75	25	376	25	393	26	121	69	53	269	77	23	369	24	370	21	117	60	48	246	80	19	345	25	305	21	87	55	47	210	59	20	289	16
333315	5	estab.	415	30	115	61	64	270	89	29	388	27	410	26	130	59	61	276	77	27	380	30	401	26	121	69	53	269	78	25	372	29	377	21	117	60	48	246	81	21	348	29	316	21	87	55	47	210	60	25	295	21
333315	5	empl.	24566	0	269	381	859	1509	3528	3570	8607	15959	21767	0	308	389	823	1520	2880	3435	7835	13932	21295	0	270	467	736	1473	2718	3921	8112	13183	15533	0	262	394	667	1323	2900	3350	7573	7960	13182	0	190	357	650	1197	2133	3147	6477	6705
333315	5	ann. pay.	1110086	3573	8634	10441	30635	53283	123221	151668	328172	781914	966373	4916	8869	13337	27826	54948	102325	148431	305704	660669	940155	2649	9620	14330	24825	51424	98567	173870	323861	616294	664665	2507	7489	13241	25763	49000	106880	150200	306080	358585	603795	2037	6877	11213	29214	49341	90778	156632	296751	307044
333315	5	rec.																																									2992582	9810	31434	49389	107244	197877	496663	653335	1347875	1644707
333319	5	firms	1257	70	352	208	174	804	287	95	1186	71	1221	70	344	204	154	772	280	98	1150	71	1167	59	324	198	153	734	263	97	1094	73	1165	65	331	200	156	752	263	83	1098	67	1192	65	332	224	165	786	267	75	1128	64
333319	5	estab.	1345	70	352	208	174	804	294	115	1213	132	1316	70	344	204	154	772	284	119	1175	141	1271	59	324	198	153	734	270	114	1118	153	1271	65	331	200	156	752	272	103	1127	144	1294	65	332	224	166	787	278	94	1159	135
333319	5	empl.	56056	0	814	1392	2345	4551	11704	13880	30135	25921	60815	0	796	1363	2099	4258	11403	13974	29635	31180	59220	0	750	1329	2165	4244	11104	13872	29220	30000	57198	0	784	1355	2126	4265	11362	12908	28535	28663	50969	0	757	1485	2226	4468	11025	11533	27026	23943
333319	5	ann. pay.	2078706	13602	22741	41576	88706	166625	394825	473335	1034785	1043921	2338258	10118	23947	42874	67091	144030	390076	521091	1055197	1283061	2307528	5697	24061	42522	73208	145488	400224	515718	1061430	1246098	2229932	4599	25672	43949	73777	147997	401480	505314	1054791	1175141	2107085	8502	24732	50401	79586	163221	422757	469500	1055478	1051607
333319	5	rec.																																									10918320	38161	121778	223961	347002	730902	1855213	2171624	4757739	6160581
333411	5	firms	343	27	81	53	50	211	78	25	314	29	318	12	69	61	52	194	75	26	295	23	306	14	64	69	35	182	80	21	283	23	308	18	64	61	46	189	77	21	287	21	312	17	73	54	52	196	76	23	295	17
333411	5	estab.	387	27	81	53	51	212	83	31	326	61	371	12	69	62	52	195	82	32	309	62	368	14	64	69	36	183	85	28	296	72	370	18	64	61	47	190	82	31	303	67	360	17	73	54	52	196	81	29	306	54
333411	5	empl.	15629	0	182	367	647	1196	3220	3194	7610	8019	16101	0	146	421	697	1264	3189	3523	7976	8125	17245	0	133	477	461	1071	3315	2958	7344	9901	16948	         [a]	         [c]	406	600	1144	3283	3305	7732	9216	13597	         [a]	         [c]	360	673	1188	3280	2691	7159	6438
333411	5	ann. pay.	487076	3242	4999	10348	19805	38394	103726	101195	243315	243761	494105	585	4665	10229	21287	36766	104667	116493	257926	236179	536973	901	3967	12509	15740	33117	120301	88957	242375	294598	522933	         (D)	         (D)	11547	19755	36582	120601	96214	253397	269536	425383	         (D)	         (D)	10931	21592	39139	115185	89583	243907	181476
333411	5	rec.																																									1913968	         (D)	         (D)	43118	81059	         (D)	421168	342259	917279	996689
333412	5	firms	172	6	28	23	21	78	54	16	148	24	153	6	22	20	20	68	52	13	133	20	150	4	24	18	16	62	54	14	130	20	150	4	21	23	18	66	52	11	129	21	153	6	20	22	16	64	51	16	131	22
333412	5	estab.	202	6	28	23	21	78	54	21	153	49	186	6	22	20	20	68	52	18	138	48	181	4	24	18	16	62	54	19	135	46	177	4	21	23	18	66	52	16	134	43	182	6	20	22	16	64	51	24	139	43
333412	5	empl.	12836	0	64	157	312	533	2253	2081	4867	7969	12293	0	53	125	284	462	2165	1719	4346	7947	11976	0	57	122	236	415	2165	1784	4364	7612	11854	         [a]	         [b]	147	267	466	2208	1984	4658	7196	11281	         [a]	         [b]	139	226	407	2053	2660	5120	6161
333412	5	ann. pay.	433794	233	2927	4788	9406	17354	83014	76931	177299	256495	414541	997	2088	3085	9596	15766	77994	59167	152927	261614	426448	77	2497	3476	8264	14314	83169	64343	161826	264622	411979	         (D)	         (D)	4837	10195	16819	86387	73293	176499	235480	414674	         (D)	         (D)	4371	8573	17077	81836	105226	204139	210535
333412	5	rec.																																									1905456	         (D)	         (D)	19578	35687	         (D)	384088	455579	912744	992712
333414	5	firms	431	36	93	74	63	266	81	45	392	39	418	25	105	72	57	259	76	46	381	37	393	21	91	75	53	240	73	43	356	37	390	25	89	66	54	234	78	43	355	35	395	29	100	56	59	244	77	40	361	34
333414	5	estab.	467	36	93	74	63	266	82	55	403	64	452	25	105	72	57	259	77	57	393	59	424	21	91	75	53	240	74	52	366	58	419	25	89	66	54	234	80	50	364	55	418	29	100	56	59	244	78	46	368	50
333414	5	empl.	23201	0	199	521	827	1547	3400	6775	11722	11479	23013	0	250	499	755	1504	3193	6817	11514	11499	23545	0	211	506	738	1455	3163	6552	11170	12375	23061	0	205	454	742	1401	3420	7111	11932	11129	21484	0	226	378	751	1355	3495	6609	11459	10025
333414	5	ann. pay.	762227	913	5232	12932	23447	42524	104366	223567	370457	391770	778245	672	6676	12092	21030	40470	107336	236992	384798	393447	808509	983	5539	13903	22536	42961	111598	233641	388200	420309	813202	1583	5774	13555	23522	44434	122858	257734	425026	388176	786580	1493	7175	10746	23897	43311	124673	243633	411617	374963
333414	5	rec.																																									4139485	8554	33137	48089	97014	186794	580104	1053889	1820787	2318698
333415	5	firms	649	31	107	80	78	296	185	89	570	79	637	30	104	80	75	289	183	87	559	78	631	29	115	84	69	297	177	83	557	74	665	35	130	92	72	329	187	74	590	75	646	28	129	85	89	331	172	70	573	73
333415	5	estab.	812	31	107	80	78	296	192	100	588	224	810	30	104	80	75	289	190	97	576	234	806	29	115	84	70	298	183	93	574	232	848	35	130	92	73	330	193	85	608	240	840	28	129	85	89	331	187	87	605	235
333415	5	empl.	119197	0	260	555	1087	1902	8231	13961	24094	95103	126113	0	241	567	1021	1829	7888	13909	23626	102487	125860	0	265	581	983	1829	7663	13398	22890	102970	127348	0	287	623	969	1879	8024	12221	22124	105224	110459	0	280	570	1193	2043	7100	11547	20690	89769
333415	5	ann. pay.	3936904	5909	7105	18499	36876	68389	252536	452218	773143	3163761	4245429	1498	7513	16666	35473	61150	265575	466697	793422	3452007	4361946	4055	8985	18087	37569	68696	272238	456394	797328	3564618	4164603	9284	10017	21302	32516	73119	272352	379833	725304	3439299	3929656	4762	9912	22348	45016	82038	268985	371175	722198	3207458
333415	5	rec.																																									24698756	28317	53792	122240	232711	437060	1459683	1812674	3709417	20989339
333511	5	firms	2536	121	587	518	544	1770	599	112	2481	55	2414	88	605	484	524	1701	551	108	2360	54	2281	86	551	473	482	1592	538	102	2232	49	2208	84	540	473	472	1569	508	86	2163	45	2217	123	625	461	443	1652	435	83	2170	47
333511	5	estab.	2592	121	587	518	545	1771	611	135	2517	75	2465	88	605	484	526	1703	565	129	2397	68	2336	86	551	473	483	1593	552	127	2272	64	2263	84	540	473	473	1570	522	113	2205	58	2270	123	625	462	444	1654	450	107	2211	59
333511	5	empl.	55166	0	1363	3572	7386	12321	22881	13346	48548	6618	49277	0	1387	3335	7161	11883	21316	11267	44466	4811	47760	0	1261	3212	6654	11127	20803	11223	43153	4607	44499	0	1232	3225	6394	10851	20088	9256	40195	4304	41760	0	1407	3098	5987	10492	16625	8760	35877	5883
333511	5	ann. pay.	2286710	6337	43384	126288	291136	467145	1006005	552667	2025817	260893	2166061	12116	44734	124199	283665	464714	947372	504308	1916394	249667	2146147	6052	42684	120745	274790	444271	950873	517421	1912565	233582	1903963	5177	41162	113626	258924	418889	860219	417695	1696803	207160	1811397	6823	47471	115955	243161	413410	753252	397487	1564149	247248
333511	5	rec.																																									4867901	23041	123842	297679	572073	1016635	1830411	1149145	3996191	871710
333512	5	firms	424	30	43	38	67	178	164	46	388	36	423	20	49	48	65	182	161	49	392	31	454	29	66	46	84	225	150	47	422	32	485	27	81	66	82	256	151	48	455	30	509	42	86	96	84	308	134	40	482	27
333512	5	estab.	460	30	43	38	67	178	168	50	396	64	456	20	49	48	65	182	165	55	402	54	487	29	66	46	84	225	157	53	435	52	519	27	81	66	82	256	157	55	468	51	540	42	86	96	84	308	139	49	496	44
333512	5	empl.	30072	0	95	278	949	1322	6818	6981	15121	14951	27504	0	112	325	874	1311	6526	7373	15210	12294	25672	0	152	319	1164	1635	6295	6945	14875	10797	24888	         [a]	         [c]	451	1113	1728	6099	6726	14553	10335	19820	0	195	642	1183	2020	5334	4481	11835	7985
333512	5	ann. pay.	1424631	9384	2931	9923	39974	62212	281484	318345	662041	762590	1224662	3377	2782	11751	35715	53625	276543	344530	674698	549964	1230949	3940	4359	11936	50136	70371	279030	340435	689836	541113	1158821	         (D)	         (D)	14047	42030	63254	261274	292062	616590	542231	953607	3994	6363	23409	47995	81761	227132	203870	512763	440844
333512	5	rec.																																									3234368	16038	22136	64024	143914	246112	758262	677275	1681649	1552719
333513	5	firms	248	19	17	18	34	88	95	39	222	26	245	7	21	21	33	82	96	43	221	24	253	15	25	18	39	97	97	35	229	24	275	16	41	26	48	131	87	33	251	24	305	16	60	38	65	179	79	28	286	19
333513	5	estab.	257	19	17	18	34	88	96	41	225	32	257	10	21	21	33	85	97	47	229	28	269	15	25	18	39	97	100	43	240	29	287	16	41	26	48	131	90	39	260	27	316	16	60	38	65	179	84	32	295	21
333513	5	empl.	14995	         [a]	         [b]	129	509	675	3724	5166	9565	5430	14011	[a]	[b]	145	460	658	3583	5361	9602	4409	13975	         [a]	         [b]	127	564	763	4063	4628	9454	4521	12126	0	99	179	685	963	3503	4076	8542	3584	9285	         [a]	         [c]	259	911	1310	3006	3108	7424	1861
333513	5	ann. pay.	644838	         (D)	         (D)	5247	23667	32693	149964	223180	405837	239001	621587	(D)	(D)	5250	19860	30626	147409	234816	412851	208736	642737	         (D)	         (D)	4735	23472	32726	169355	214918	416999	225738	496787	4011	4571	5629	28962	43173	130870	173192	347235	149552	427236	         (D)	         (D)	10323	37374	59983	124660	150871	335514	91722
333513	5	rec.																																									1370265	         (D)	         (D)	35206	123405	         (D)	360808	497524	1056105	314160
333514	5	firms	4665	289	1329	999	915	3532	929	136	4597	68	4460	168	1373	943	902	3386	880	133	4399	61	4300	169	1282	901	870	3222	890	125	4237	63	4169	119	1284	890	871	3164	830	115	4109	60	4008	165	1332	885	793	3175	675	107	3957	51
333514	5	estab.	4742	289	1329	999	916	3533	947	159	4639	103	4532	168	1373	943	902	3386	897	164	4447	85	4368	169	1282	901	871	3223	905	157	4285	83	4237	119	1284	890	873	3166	843	145	4154	83	4079	166	1332	885	793	3176	689	140	4005	74
333514	5	empl.	83073	0	3054	6690	12484	22228	34598	15746	72572	10501	79722	0	3170	6345	12325	21840	32938	14833	69611	10111	77983	0	3051	6127	11843	21021	32973	14476	68470	9513	73670	0	2980	6041	11890	20911	30596	13369	64876	8794	62426	0	3169	5992	10902	20063	24320	11137	55520	6906
333514	5	ann. pay.	3355694	15022	86839	216263	472558	790682	1425922	655257	2871861	483833	3285606	6220	95467	216273	472790	790750	1379024	643633	2813407	472199	3307985	9361	100107	211287	455063	775818	1428415	641990	2846223	461762	2933850	6296	90205	197276	429810	723587	1250878	556261	2530726	403124	2687788	9377	97839	213280	422465	742961	1086964	503022	2332947	354841
333514	5	rec.																																									7038863	27094	250893	525185	1010678	1813850	2810148	1337920	5961918	1076945
333515	5	firms	1819	99	537	384	342	1362	344	71	1777	42	1793	101	544	394	317	1356	329	65	1750	43	1770	95	531	383	321	1330	330	68	1728	42	1738	82	563	364	297	1306	329	62	1697	41	1546	74	497	324	276	1171	281	52	1504	42
333515	5	estab.	1912	99	537	384	342	1362	352	88	1802	110	1892	101	544	394	317	1356	339	83	1778	114	1872	95	531	383	321	1330	339	86	1755	117	1837	82	563	364	297	1306	340	80	1726	111	1630	74	497	324	277	1172	292	65	1529	101
333515	5	empl.	49496	0	1302	2547	4626	8475	13342	9872	31689	17807	47118	0	1257	2646	4286	8189	12521	8833	29543	17575	45517	0	1250	2570	4227	8047	12036	8460	28543	16974	44165	0	1325	2494	3991	7810	12082	8010	27902	16263	37240	0	1166	2193	3743	7102	10202	6241	23545	13695
333515	5	ann. pay.	1737560	5159	37663	74839	149590	267251	482797	368559	1118607	618953	1686271	10546	37675	80930	142485	271636	462194	326440	1060270	626001	1738790	4378	38291	81355	146155	270179	475880	328159	1074218	664572	1595720	4971	39765	75709	130804	251249	437230	293573	982052	613668	1432484	3287	37750	71174	136297	248508	397680	248254	894442	538042
333515	5	rec.																																									4630749	13386	134978	209573	394585	752522	1187831	726793	2667146	1963603
333516	5	firms	97	4	20	17	20	61	23	9	93	4	92	5	19	18	18	60	20	9	89	3	79	2	17	15	16	50	18	6	74	5	81	2	17	17	16	52	18	8	78	3	69	2	16	10	17	45	14	7	66	3
333516	5	estab.	100	4	20	17	20	61	23	10	94	6	95	5	19	18	18	60	20	10	90	5	81	2	17	15	16	50	18	6	74	7	88	2	17	17	16	52	18	8	78	10	77	2	16	10	17	45	15	9	69	8
333516	5	empl.	3670	         [a]	         [b]	118	254	419	960	1276	2655	1015	3291	[a]	[b]	129	242	415	813	1136	2364	927	2818	         [a]	         [b]	111	216	370	638	781	1789	1029	2934	         [a]	         [b]	118	214	372	732	1221	2325	609	2361	         [a]	         [b]	74	217	330	493	1025	1848	513
333516	5	ann. pay.	172749	         (D)	         (D)	3839	7641	13699	40123	72385	126207	46542	145404	(D)	(D)	4956	7963	16040	32243	54439	102722	42682	137255	         (D)	         (D)	4359	7111	13171	31346	43370	87887	49368	137464	         (D)	         (D)	4882	7782	14145	30956	66052	111153	26311	116795	         (D)	         (D)	3021	9288	13444	22566	55917	91927	24868
333516	5	rec.																																									442959	         (D)	         (D)	10267	35221	         (D)	123368	161807	335357	107602
333518	5	firms	448	25	78	63	67	233	151	43	427	21	440	9	94	62	62	227	149	43	419	21	424	13	82	57	66	218	139	44	401	23	421	10	89	58	65	222	140	40	402	19	403	19	85	59	70	233	118	35	386	17
333518	5	estab.	476	25	78	63	67	233	159	54	446	30	471	9	94	62	62	227	158	48	433	38	460	13	82	57	66	218	147	53	418	42	460	10	89	58	65	222	154	48	424	36	434	19	85	59	70	233	127	46	406	28
333518	5	empl.	18879	0	188	425	931	1544	6372	5978	13894	4985	18561	0	224	428	872	1524	6228	5595	13347	5214	18970	0	189	379	940	1508	5763	5769	13040	5930	17924	0	218	383	906	1507	5924	4866	12297	5627	14469	0	216	390	956	1562	4964	4164	10690	3779
333518	5	ann. pay.	889279	9761	6003	17559	34675	67998	274181	276277	618456	270823	905146	371	10013	15632	33372	59388	280929	276332	616649	288497	960794	660	8041	14377	41063	64141	263987	285089	613217	347577	844720	931	9013	12921	32660	55525	264213	231024	550762	293958	707315	1130	6821	13189	36146	57286	230387	216771	504444	202871
333518	5	rec.																																									2751987	3825	26991	46217	121587	198620	758820	978359	1935799	816188
333611	5	firms	81	11	15	5	8	39	19	6	64	17	89	6	19	9	7	41	19	11	71	18	87	3	18	8	9	38	22	10	70	17	94	6	20	8	10	44	21	13	78	16	99	10	20	9	12	51	20	13	84	15
333611	5	estab.	98	11	15	5	8	39	20	8	67	31	103	6	19	9	7	41	19	13	73	30	104	3	18	8	9	38	22	14	74	30	110	6	20	8	10	44	21	16	81	29	116	10	20	9	12	51	20	16	87	29
333611	5	empl.	18063	0	42	36	123	201	740	793	1734	16329	18124	[a]	[b]	63	118	229	744	1614	2587	15537	17156	0	42	47	133	222	970	1340	2532	14624	17721	0	41	54	136	231	1003	1960	3194	14527	19560	         [a]	         [b]	59	150	252	866	2084	3202	16358
333611	5	ann. pay.	869891	381	1482	1166	6755	9784	33053	38227	81064	788827	922439	(D)	(D)	2617	3907	9809	31680	72625	114114	808325	948755	93	1739	1784	4404	8020	46350	67166	121536	827219	1080891	311	1130	2635	4116	8192	47500	118133	173825	907066	1125497	         (D)	         (D)	2352	4796	9451	39041	98604	147096	978401
333611	5	rec.																																									14985364	         (D)	         (D)	7074	17257	         (D)	144394	425958	604151	14381213
333612	5	firms	230	7	30	26	41	104	82	25	211	19	235	3	35	27	49	114	81	21	216	19	227	6	34	27	42	109	81	19	209	18	219	8	32	23	43	106	79	15	200	19	218	6	31	34	39	110	71	18	199	19
333612	5	estab.	262	7	30	26	41	104	86	35	225	37	265	3	35	27	49	114	88	27	229	36	256	6	34	27	42	109	87	26	222	34	248	8	32	23	43	106	85	21	212	36	246	6	31	34	39	110	76	26	212	34
333612	5	empl.	16404	0	59	183	598	840	3434	3391	7665	8739	15555	0	65	188	673	926	3489	2709	7124	8431	14680	0	69	198	581	848	3467	2872	7187	7493	13991	0	66	170	560	796	3542	2296	6634	7357	13180	0	73	245	533	851	3067	2128	6046	7134
333612	5	ann. pay.	628755	500	2345	6565	23231	32641	132570	128794	294005	334750	576364	76	4281	5581	24980	34918	131987	107641	274546	301818	577010	185	2238	8312	22668	33403	136233	123244	292880	284130	539514	562	2358	6754	20710	30384	139679	99203	269266	270248	528986	161	2469	9207	21097	32934	120631	92111	245676	283310
333612	5	rec.																																									1944135	569	10207	31485	69512	111773	369448	384030	865251	1078884
333613	5	firms	256	7	49	36	42	134	60	28	222	34	254	12	51	29	43	135	58	31	224	30	258	15	47	35	34	131	65	28	224	34	245	7	43	32	39	121	60	28	209	36	235	5	44	29	35	113	64	27	204	31
333613	5	estab.	293	7	49	36	42	134	60	33	227	66	293	12	51	29	43	135	58	36	229	64	295	15	47	35	34	131	65	33	229	66	292	7	43	32	39	121	60	33	214	78	279	5	44	29	35	113	66	31	210	69
333613	5	empl.	22237	0	107	245	602	954	2306	4102	7362	14875	21931	0	121	201	611	933	2274	4895	8102	13829	20732	0	111	250	486	847	2549	4463	7859	12873	21103	0	109	228	559	896	2323	4463	7682	13421	17021	         [a]	         [c]	209	486	804	2526	4410	7740	9281
333613	5	ann. pay.	810439	207	3829	7322	18938	30296	89931	160854	281081	529358	790761	2129	4147	6109	18043	30428	94006	186735	311169	479592	805033	1944	3976	8275	16580	30775	108712	182049	321536	483497	779730	302	3498	8590	19334	31724	85104	174338	291166	488564	698467	         (D)	         (D)	7691	16332	31592	99480	185303	316375	382092
333613	5	rec.																																									3014130	         (D)	         (D)	27656	53447	         (D)	449483	736141	1362289	1651841
333618	5	firms	255	18	64	29	29	140	49	22	211	44	260	14	63	36	30	143	50	22	215	45	252	16	59	36	33	144	48	18	210	42	245	9	60	35	31	135	52	16	203	42	231	8	54	32	36	130	43	19	192	39
333618	5	estab.	307	18	64	29	29	140	51	22	213	94	310	14	63	36	30	143	50	26	219	91	306	16	59	36	33	144	48	21	213	93	299	9	60	35	31	135	54	17	206	93	281	8	54	32	36	130	46	21	197	84
333618	5	empl.	56222	0	145	192	405	742	1869	3183	5794	50428	56950	[a]	[c]	237	408	777	2038	3017	5832	51118	59838	0	135	242	460	837	1931	2359	5127	54711	51710	0	135	245	433	813	2052	2073	4938	46772	46740	0	114	220	487	821	1692	2568	5081	41659
333618	5	ann. pay.	2500387	1526	4497	5615	13233	24871	59255	110162	194288	2306099	2669185	(D)	(D)	7612	13588	24456	66297	103459	194212	2474973	2755840	1052	3254	7284	18136	29726	65810	91422	186958	2568882	2484873	396	4906	5957	14557	25816	75696	84065	185577	2299296	2284445	337	3897	7494	19165	30893	63725	110528	205146	2079299
333618	5	rec.																																									17757530	2231	26950	53521	109734	192436	362668	520568	1075672	16681858
333911	5	firms	396	19	71	64	62	216	109	25	350	46	382	9	69	68	73	219	91	26	336	46	374	15	63	69	63	210	89	28	327	47	365	10	67	67	61	205	90	24	319	46	370	16	73	73	52	214	84	28	326	44
333911	5	estab.	487	19	71	64	62	216	112	31	359	128	475	9	69	68	73	219	94	32	345	130	466	15	63	69	63	210	92	39	341	125	458	10	67	67	61	205	93	30	328	130	452	16	73	73	52	214	88	35	337	115
333911	5	empl.	37510	         [a]	         [c]	428	842	1438	4518	4018	9974	27536	36070	0	182	464	1021	1667	3640	4234	9541	26529	34181	0	163	486	838	1487	3424	4613	9524	24657	34073	         [a]	         [c]	469	826	1453	3547	3915	8915	25158	30623	0	178	507	708	1393	3275	4064	8732	21891
333911	5	ann. pay.	1488891	         (D)	         (D)	14263	27789	47547	167524	154859	369930	1118961	1476006	787	4857	16124	34873	56641	140452	155436	352529	1123477	1495915	835	4328	19150	29805	54118	135936	198037	388091	1107824	1523324	         (D)	         (D)	17366	32302	59253	142196	173805	375254	1148070	1378716	800	5637	19015	27574	53026	138175	180891	372092	1006624
333911	5	rec.																																									6670095	5688	28230	92656	125144	251718	562180	1010770	1824668	4845427
333912	5	firms	281	22	66	39	45	172	49	27	248	33	278	17	61	47	44	169	51	23	243	35	260	16	62	40	34	152	53	20	225	35	259	11	67	37	39	154	50	19	223	36	251	14	72	33	32	151	48	17	216	35
333912	5	estab.	330	22	66	39	45	172	53	33	258	72	325	17	61	47	44	169	56	26	251	74	312	16	62	40	34	152	57	23	232	80	312	11	67	37	39	154	54	21	229	83	295	14	72	33	32	151	51	20	222	73
333912	5	empl.	25465	0	167	272	613	1052	2086	3984	7122	18343	23592	[a]	149	323	581	[g]	2141	[h]	6346	17246	23013	         [a]	         [c]	282	450	         [f]	2181	         [h]	5881	17132	23093	0	         [c]	261	516	         [f]	2002	         [h]	5456	17637	19823	         [a]	158	236	430	         [f]	1897	         [g]	4821	15002
333912	5	ann. pay.	973543	3720	4101	9393	20556	37770	69414	159742	266926	706617	950419	(D)	3789	10408	19864	(D)	76121	(D)	234774	715645	989432	         (D)	         (D)	10745	17179	         (D)	76665	         (D)	237768	751664	1020484	1542	         (D)	8673	18547	         (D)	76822	         (D)	225751	794733	919225	         (D)	5014	8808	15185	         (D)	78333	         (D)	204391	714834
333912	5	rec.																																									5100092	         (D)	28657	46858	80651	         (D)	351596	         (D)	1120016	3980076
333913	5	firms	66	4	13	10	6	33	16	4	53	13	60	4	10	13	6	33	14	1	48	12	59	3	11	11	7	32	13	2	47	12	62	3	15	8	9	35	13	2	50	12	65	5	15	11	9	40	11	1	52	13
333913	5	estab.	72	4	13	10	6	33	16	5	54	18	67	4	10	13	6	33	15	1	49	18	66	3	11	11	7	32	13	3	48	18	67	3	15	8	9	35	13	2	50	17	71	5	15	11	9	40	11	1	52	19
333913	5	empl.	6878	         [a]	         [b]	66	87	188	750	604	1542	5336	6261	[a]	27	86	80	[c]	693	[c]	1023	5238	6161	         [a]	         [b]	66	105	         [c]	496	         [c]	940	5221	5827	         [a]	         [b]	58	121	         [c]	496	         [c]	948	4879	4792	         [a]	31	72	129	         [c]	503	         [c]	929	3863
333913	5	ann. pay.	261588	         (D)	         (D)	2343	2123	7168	26111	19376	52655	208933	247446	(D)	821	3211	1943	(D)	20661	(D)	32054	215392	228509	         (D)	         (D)	1920	3783	         (D)	15322	         (D)	30301	198208	240048	         (D)	         (D)	1864	4277	         (D)	15435	         (D)	31785	208263	218300	         (D)	1174	2412	5143	         (D)	15845	         (D)	41181	177119
333913	5	rec.																																									1019652	         (D)	12647	19367	18107	         (D)	65475	         (D)	199824	819828
333921	5	firms	169	8	27	30	28	93	51	15	159	10	162	9	26	25	30	90	47	15	152	10	161	10	24	22	33	89	46	16	151	10	181	11	30	24	41	106	49	16	171	10	171	8	31	29	34	102	46	15	163	8
333921	5	estab.	184	8	27	30	28	93	52	18	163	21	175	9	26	25	30	90	47	19	156	19	175	10	24	22	33	89	46	21	156	19	197	11	30	24	41	106	49	20	175	22	187	8	31	29	34	102	46	19	167	20
333921	5	empl.	9593	0	69	210	361	640	2100	1857	4597	4996	9136	0	62	164	383	609	1992	1824	4425	4711	9377	0	62	159	442	663	2051	1911	4625	4752	10921	0	72	157	544	773	2032	2126	4931	5990	9359	0	75	209	454	738	1927	1905	4570	4789
333921	5	ann. pay.	356595	305	1700	6298	11922	20225	70071	58988	149284	207311	341887	2892	2091	5356	14756	25095	69373	60382	154850	187037	365359	696	1662	5981	15999	24338	74448	70826	169612	195747	387552	1721	2496	5293	22889	32399	82580	77101	192080	195472	355530	1333	2604	7811	20384	32132	76173	74734	183039	172491
333921	5	rec.																																									1906567	3432	11314	28562	66570	109878	275363	299739	684980	1221587
333922	5	firms	854	36	134	136	154	460	260	97	817	37	829	35	152	115	149	451	254	89	794	35	820	43	139	117	148	447	243	89	779	41	801	29	136	116	147	428	253	80	761	40	753	35	136	110	128	409	232	74	715	38
333922	5	estab.	884	36	134	136	154	460	265	106	831	53	867	35	152	115	150	452	257	108	817	50	857	43	139	117	148	447	248	102	797	60	841	29	136	116	147	428	260	94	782	59	795	35	136	110	128	409	242	87	738	57
333922	5	empl.	41971	0	305	923	2134	3362	11140	14759	29261	12710	39829	0	362	798	2120	3280	10980	14340	28600	11229	39817	0	327	773	2086	3186	10158	13399	26743	13074	38126	0	321	793	2054	3168	10652	11700	25520	12606	33077	0	323	761	1790	2874	9084	10210	22168	10909
333922	5	ann. pay.	1726114	9289	10293	28314	74102	121998	435994	577703	1135695	590419	1720049	907	11737	23977	77775	114396	465091	565447	1144934	575115	1806709	4080	11187	23465	75105	113837	446073	590244	1150154	656555	1654296	1491	10811	27053	81938	121293	433706	496344	1051343	602953	1521477	7463	12965	28306	72340	121074	397200	424000	942274	579203
333922	5	rec.																																									5994957	32028	53017	113360	258926	457331	1378684	1676207	3512222	2482735
333923	5	firms	277	13	52	49	35	149	85	20	254	23	276	12	51	48	38	149	83	20	252	24	277	13	51	41	45	150	81	20	251	26	280	11	57	43	46	157	79	18	254	26	267	13	54	48	45	160	69	17	246	21
333923	5	estab.	304	13	52	49	35	149	90	28	267	37	303	12	51	48	38	149	87	28	264	39	306	13	51	41	46	151	85	23	259	47	307	11	57	44	46	158	83	21	262	45	294	13	54	49	45	161	73	20	254	40
333923	5	empl.	18976	         [a]	         [c]	335	462	925	3250	2946	7121	11855	19883	0	121	348	531	1000	3358	3009	7367	12516	20306	0	107	288	584	979	3238	2634	6851	13455	18292	0	126	292	649	1067	3148	2221	6436	11856	14189	0	127	330	641	1098	2805	2218	6121	8068
333923	5	ann. pay.	690718	         (D)	         (D)	10064	15939	30699	111128	121284	263111	427607	717322	482	3404	10799	18694	33379	121534	123009	277922	439400	722207	267	3007	9750	21428	34452	122336	92728	249516	472691	653769	1796	3636	9545	21942	36919	117357	79563	233839	419930	547592	1400	3737	12993	27267	45397	113584	81121	240102	307490
333923	5	rec.																																									2648338	5893	17231	54947	116653	194724	451190	299390	945304	1703034
333924	5	firms	433	30	96	50	62	238	121	43	402	31	442	23	90	67	72	252	109	48	409	33	441	27	102	49	67	245	116	48	409	32	424	15	102	54	69	240	106	48	394	30	396	24	74	66	58	222	103	41	366	30
333924	5	estab.	462	30	96	50	62	238	125	51	414	48	471	23	90	67	72	252	113	56	421	50	471	27	102	49	67	245	120	59	424	47	454	15	102	54	69	240	110	59	409	45	424	24	74	66	58	222	108	51	381	43
333924	5	empl.	27721	         [a]	         [c]	340	909	1478	5061	6081	12620	15101	27902	0	201	449	1037	1687	4784	7131	13602	14300	27592	0	230	334	922	1486	4986	7135	13607	13985	26193	0	241	355	968	1564	4409	7202	13175	13018	21433	0	176	457	803	1436	3936	5413	10785	10648
333924	5	ann. pay.	959472	         (D)	         (D)	9517	26172	46782	169257	196392	412431	547041	1016500	1481	6230	13565	31899	53175	158557	240525	452257	564243	1027235	2894	6120	9922	30575	49511	159275	249664	458450	568785	960781	539	6826	10858	31013	49236	140959	256824	447019	513762	841269	2190	7044	13697	23487	46418	137413	188104	371935	469334
333924	5	rec.																																									5144859	9200	52176	54957	100535	216868	513924	1076327	1807119	3337740
333991	5	firms	194	8	61	39	30	138	28	8	174	20	191	6	63	36	30	135	28	8	171	20	196	13	62	38	30	143	27	6	176	20	199	3	65	39	35	142	31	6	179	20	198	10	67	37	33	147	28	5	180	18
333991	5	estab.	214	8	61	39	30	138	28	10	176	38	218	6	63	36	30	135	28	9	172	46	218	13	62	38	30	143	28	6	177	41	220	3	65	39	35	142	31	6	179	41	217	10	67	37	33	147	28	5	180	37
333991	5	empl.	16642	         [a]	         [c]	252	421	805	898	906	2609	14033	16698	0	156	231	431	818	1038	950	2806	13892	16551	0	144	244	423	811	1116	752	2679	13872	16025	         [a]	         [c]	249	490	889	1190	736	2815	13210	13153	0	152	240	449	841	1025	815	2681	10472
333991	5	ann. pay.	540225	         (D)	         (D)	8258	13161	25795	32201	30076	88072	452153	559070	455	5202	7959	12119	25735	36925	33869	96529	462541	564440	1190	4580	7631	14641	28042	38808	32391	99241	465199	536042	         (D)	         (D)	7542	15013	27153	43671	31854	102678	433364	486606	6546	4650	7735	14891	33822	38430	27746	99998	386608
333991	5	rec.																																									3930038	56357	36108	57719	77763	227947	162384	153125	543456	3386582
333992	5	firms	231	17	33	37	30	117	61	29	207	24	253	31	44	30	34	139	69	22	230	23	256	26	49	37	30	142	71	21	234	22	263	17	73	32	32	154	70	20	244	19	237	15	47	40	43	145	58	18	221	16
333992	5	estab.	266	17	33	37	30	117	63	35	215	51	289	32	44	30	34	140	74	24	238	51	283	26	49	37	30	142	76	21	239	44	291	17	73	32	32	154	75	21	250	41	268	15	47	40	43	145	60	23	228	40
333992	5	empl.	20375	0	70	246	437	753	2384	4378	7515	12860	21411	0	108	188	483	779	2854	3519	7152	14259	20128	0	100	229	434	763	2753	3362	6878	13250	18484	0	150	208	446	804	2688	3375	6867	11617	17621	0	100	272	589	961	2258	2972	6191	11430
333992	5	ann. pay.	836151	413	1907	7414	17769	27503	93395	179605	300503	535648	892278	1415	2799	6143	18675	29032	112339	153010	294381	597897	914637	4119	2546	6932	17372	30969	112640	162089	305698	608939	857415	2528	4703	7235	17133	31599	106399	155644	293642	563773	856747	3519	3561	11013	25338	43431	95606	136024	275061	581686
333992	5	rec.																																									4211578	20622	16054	48637	107980	193293	379301	649354	1221948	2989630
333993	5	firms	637	22	133	106	104	365	176	55	596	41	609	18	135	96	100	349	160	58	567	42	598	17	137	89	100	343	158	55	556	42	595	26	136	91	101	354	157	47	558	37	600	24	157	104	91	376	147	41	564	36
333993	5	estab.	684	22	133	106	105	366	176	66	608	76	655	18	135	96	101	350	160	70	580	75	646	17	137	89	101	344	158	63	565	81	643	26	136	91	102	355	160	52	567	76	640	24	157	104	91	376	148	47	571	69
333993	5	empl.	30620	0	307	709	1351	2367	7706	8646	18719	11901	29589	0	325	636	1316	2277	7125	8387	17789	11800	28124	0	328	593	1342	2263	6956	8144	17363	10761	26673	0	305	612	1400	2317	7056	7296	16669	10004	23680	0	394	697	1209	2300	6398	5700	14398	9282
333993	5	ann. pay.	1268660	642	10615	21264	47108	79629	299079	362814	741522	527138	1291850	1783	12049	20470	49569	83871	283776	382516	750163	541687	1247061	689	12557	19342	45289	77877	287451	395784	761112	485949	1184356	4955	12279	20825	49189	87248	284056	371542	742846	441510	1141454	2293	13926	24127	44168	84514	286742	288443	659699	481755
333993	5	rec.																																									4273933	9387	45792	76815	144620	276614	890193	1020516	2187323	2086610
333994	5	firms	386	20	77	46	78	221	114	33	368	18	378	27	68	51	69	215	113	32	360	18	360	22	66	57	63	208	101	33	342	18	351	16	73	48	64	201	104	31	336	15	333	7	70	52	66	195	100	24	319	14
333994	5	estab.	411	20	77	46	78	221	117	39	377	34	402	27	68	51	69	215	116	37	368	34	385	22	66	57	63	208	103	38	349	36	378	16	73	48	64	201	109	39	349	29	355	7	71	52	66	196	105	28	329	26
333994	5	empl.	17218	0	168	308	1116	1592	4933	5546	12071	5147	15663	0	159	344	949	1452	4774	4844	11070	4593	15157	0	145	396	853	1394	4355	4634	10383	4774	14716	0	166	328	852	1346	4617	4878	10841	3875	11998	0	154	353	862	1369	3989	3443	8801	3197
333994	5	ann. pay.	655612	761	5265	10986	38162	55174	191086	218774	465034	190578	603053	817	5835	13721	31298	51671	197614	176330	425615	177438	613666	1304	9878	15057	32494	58733	179358	182808	420899	192767	585104	1541	6056	12896	32222	52715	178963	192928	424606	160498	490022	288	5930	13342	34257	53817	170975	145179	369971	120051
333994	5	rec.																																									1621901	1226	26104	49098	137200	213628	554504	402309	1170441	451460
333995	5	firms	274	7	55	46	45	153	68	28	249	25	265	10	55	45	41	151	60	29	240	25	261	6	59	42	37	144	65	30	239	22	261	9	62	44	31	146	66	28	240	21	258	5	62	37	34	138	66	30	234	24
333995	5	estab.	312	7	55	46	45	153	68	38	259	53	306	10	55	45	41	151	60	38	249	57	303	6	59	42	37	144	66	38	248	55	303	9	62	44	31	146	67	36	249	54	305	5	62	37	34	138	67	45	250	55
333995	5	empl.	23861	0	141	299	594	1034	2861	4525	8420	15441	23886	0	129	307	598	1034	2541	4653	8228	15658	22943	0	150	275	503	928	2784	5563	9275	13668	22908	0	140	306	415	861	2905	4873	8639	14269	20765	0	145	244	474	863	2624	4704	8191	12574
333995	5	ann. pay.	1072660	960	4352	8799	19485	33596	104999	158675	297270	775390	1033312	1136	4148	9229	19253	33766	99677	152767	286210	747102	1047035	75	4601	8595	18709	31980	106802	201952	340734	706301	1013707	383	3908	9285	14696	28272	108017	166524	302813	710894	883520	222	5249	8641	16436	30548	99811	172959	303318	580202
333995	5	rec.																																									3466811	890	18606	31409	59930	110835	300789	755373	1166997	2299814
333996	5	firms	155	7	24	34	30	95	28	15	138	17	145	2	22	36	26	86	25	13	124	21	141	6	25	33	19	83	27	11	121	20	141	7	26	33	25	91	20	12	123	18	140	2	32	35	26	95	19	11	125	15
333996	5	estab.	177	7	24	34	30	95	29	16	140	37	169	2	22	36	26	86	26	14	126	43	167	6	25	33	19	83	29	11	123	44	164	7	26	33	25	91	22	12	125	39	169	2	32	35	26	95	20	15	130	39
333996	5	empl.	16770	0	63	226	429	718	1140	2418	4276	12494	16465	[a]	[b]	240	371	659	975	2177	3811	12654	16433	         [a]	         [b]	222	251	540	1033	1708	3281	13152	15156	0	64	227	360	651	875	2000	3526	11630	12391	         [a]	         [b]	239	350	664	650	1586	2900	9491
333996	5	ann. pay.	673865	777	1743	6730	14371	23621	36251	110233	170105	503760	696934	(D)	(D)	6266	13445	21983	33714	120072	175769	521165	766644	         (D)	         (D)	6813	9510	18836	37753	67829	124418	642226	802425	925	3065	7141	13487	24618	33357	86359	144334	658091	530365	         (D)	         (D)	7579	13620	24412	24383	69044	117839	412526
333996	5	rec.																																									2387100	         (D)	         (D)	33131	48294	         (D)	94982	234698	425627	1961473
333997	5	firms	114	6	24	20	21	71	29	7	107	7	110	3	25	15	21	64	30	10	104	6	109	2	24	18	20	64	27	12	103	6	107	6	25	20	11	62	28	9	99	8	102	6	23	16	23	68	21	9	98	4
333997	5	estab.	124	6	24	20	21	71	31	7	109	15	119	3	25	15	21	64	32	12	108	11	117	2	24	18	20	64	29	13	106	11	121	6	25	20	11	62	30	10	102	19	109	6	23	16	24	69	21	11	101	8
333997	5	empl.	4871	         [a]	         [b]	135	296	478	1100	577	2155	2716	4851	[a]	[b]	96	281	432	1103	1391	2926	1925	4858	         [a]	         [b]	124	270	451	991	1569	3011	1847	5012	         [a]	         [b]	140	148	352	971	686	2009	3003	3469	         [a]	         [b]	110	313	477	711	1336	2524	945
333997	5	ann. pay.	161721	         (D)	         (D)	4253	9646	15624	45994	16334	77952	83769	169463	(D)	(D)	2643	10026	14667	40606	43561	98834	70629	176394	         (D)	         (D)	3794	8850	14665	38142	59334	112141	64253	196421	         (D)	         (D)	4652	5025	12383	35890	19304	67577	128844	130127	         (D)	         (D)	3932	11196	19086	29040	42371	90497	39630
333997	5	rec.																																									548124	         (D)	         (D)	15939	35686	         (D)	95956	173325	340746	207378
333999	5	firms	2059	164	634	382	300	1480	372	112	1964	95	1958	105	598	390	284	1377	375	111	1863	95	1888	108	565	378	271	1322	366	110	1798	90	1789	89	546	348	259	1242	363	101	1706	83	1683	89	515	295	262	1161	358	84	1603	80
333999	5	estab.	2143	164	634	382	300	1480	382	137	1999	144	2044	105	598	390	285	1378	385	134	1897	147	1979	108	565	378	272	1323	375	135	1833	146	1883	89	546	348	260	1243	368	124	1735	148	1771	89	515	295	262	1161	365	101	1627	144
333999	5	empl.	59428	0	1445	2570	4101	8116	14360	13518	35994	23434	58335	0	1327	2629	3828	7784	14553	13479	35816	22519	57610	0	1254	2538	3713	7505	14217	13343	35065	22545	56782	0	1231	2392	3597	7220	14207	12771	34198	22584	54828	0	1201	1983	3528	6712	13930	9559	30201	24627
333999	5	ann. pay.	2296188	11273	42819	75951	130577	260620	538085	506984	1305689	990499	2295934	11269	39956	75768	135257	262250	549939	508709	1320898	975036	2339062	9381	38351	83832	132290	263854	563969	520052	1347875	991187	2269323	4530	37688	75586	122759	240563	556218	489746	1286527	982796	2352420	3349	38081	65549	129036	236015	566224	379523	1181762	1170658
333999	5	rec.																																									8897547	18659	159886	241586	430115	850246	1972855	1490931	4314032	4583515
334111	5	firms	542	69	138	75	73	355	102	36	493	49	558	101	162	74	65	402	78	33	513	45	580	91	171	90	74	426	77	32	535	45	514	56	151	86	66	359	80	28	467	47	462	59	134	75	48	316	81	32	429	33
334111	5	estab.	570	69	138	75	73	355	105	36	496	74	590	101	162	74	65	402	80	33	515	75	617	92	171	90	74	427	79	32	538	79	546	56	151	86	66	359	84	28	471	75	486	59	134	75	48	316	84	36	436	50
334111	5	empl.	98556	0	312	497	973	1782	4153	5223	11158	87398	87448	0	365	476	882	1723	3005	4881	9609	77839	73968	0	383	588	978	1949	3175	4108	9232	64736	72507	0	319	583	859	1761	3443	4218	9422	63085	61660	0	322	502	625	1449	3432	4109	8990	52670
334111	5	ann. pay.	5372714	4345	10593	17518	37695	70151	189964	224830	484945	4887769	5331959	7890	15514	17404	37194	78002	150472	260594	489068	4842891	4844898	28516	16734	27271	43109	115630	154111	344381	614122	4230776	4316960	13556	15393	25030	42989	96968	213358	263142	573468	3743492	4011518	9270	11976	23564	29373	74183	209632	257354	541169	3470349
334111	5	rec.																																									47806467	34842	55137	103067	114183	307229	884167	1552307	2743703	45062764
334112	5	firms	196	20	42	22	22	106	47	19	172	24	199	22	45	30	23	120	42	17	179	20	193	17	49	28	28	122	34	15	171	22	184	19	45	24	23	111	40	15	166	18	157	18	38	15	17	88	38	16	142	15
334112	5	estab.	207	20	42	22	22	106	49	19	174	33	210	22	46	31	23	122	42	18	182	28	202	17	49	29	28	123	34	15	172	30	193	19	45	25	23	112	40	15	167	26	167	18	38	16	17	89	39	18	146	21
334112	5	empl.	43529	0	104	142	300	546	1722	3375	5643	37886	43402	0	111	193	321	625	1726	2676	5027	38375	34785	         [a]	         [c]	204	409	732	1398	1652	3782	31003	33357	0	100	164	321	585	1567	2682	4834	28523	24336	0	98	97	218	413	1405	2901	4719	19617
334112	5	ann. pay.	2125803	9470	3944	6268	12084	31766	86408	164412	282586	1843217	2065431	1645	4036	9335	11372	26388	88760	194107	309255	1756176	1717014	         (D)	         (D)	9726	22896	96865	80436	105880	283181	1433833	1806202	4786	4808	5863	18649	34106	70759	193626	298491	1507711	1424788	2351	4971	3802	11027	22151	90991	185675	298817	1125971
334112	5	rec.																																									9020439	16149	32215	26444	56486	131294	395358	752916	1279568	7740871
334113	5	firms	153	23	53	16	19	111	29	6	146	7	134	15	39	21	23	98	25	5	128	6	131	15	43	16	21	95	25	5	125	6	130	10	34	22	24	90	26	7	123	7	98	8	23	14	17	62	25	7	94	4
334113	5	estab.	154	23	53	16	19	111	29	6	146	8	134	15	39	21	23	98	25	5	128	6	132	15	43	16	21	95	25	5	125	7	133	10	34	22	24	90	26	7	123	10	100	8	23	14	17	62	25	8	95	5
334113	5	empl.	5023	0	117	100	249	466	1190	1202	2858	2165	4163	0	87	126	313	526	1042	844	2412	1751	3417	         [a]	         [c]	109	294	503	1183	699	2385	1032	10411	0	67	146	350	563	1153	886	2602	7809	4434	0	56	99	222	377	932	1147	2456	1978
334113	5	ann. pay.	225702	3759	4457	3325	9619	21160	53188	65139	139487	86215	160079	4792	3585	4260	11672	24309	40650	38660	103619	56460	162567	         (D)	         (D)	4616	12792	25265	54912	28544	108721	53846	425507	219	3622	6422	18491	28754	53225	36455	118434	307073	210355	410	2917	3888	10582	17797	53176	52206	123179	87176
334113	5	rec.																																									4589828	1389	15372	13754	32267	62782	324491	263288	650561	3939267
334119	5	firms	1069	135	301	127	172	735	180	72	987	82	1047	115	267	158	153	693	203	71	967	80	1082	132	307	151	141	731	205	70	1006	76	1005	83	280	140	149	652	197	73	922	83	772	63	176	125	110	474	165	71	710	62
334119	5	estab.	1119	135	301	127	172	735	187	75	997	122	1108	115	267	158	153	693	210	80	983	125	1126	132	307	151	141	731	209	80	1020	106	1044	83	280	140	150	653	200	81	934	110	815	63	176	125	110	474	169	85	728	87
334119	5	empl.	96056	0	708	864	2383	3955	7178	10993	22126	73930	89802	0	592	1058	2047	3697	8078	10795	22570	67232	81727	0	658	1033	1908	3599	8637	10561	22797	58930	83362	0	610	925	2048	3583	8465	11237	23285	60077	64707	0	360	845	1537	2742	6885	10092	19719	44988
334119	5	ann. pay.	4904229	38966	28771	30824	102511	201072	307179	459099	967350	3936879	4782825	8158	24679	39813	97915	170565	410307	516517	1097389	3685436	5088490	40793	26963	47133	100562	215451	454857	926659	1596967	3491523	4823668	7674	24824	35243	102468	170209	401433	663796	1235438	3588230	3902551	4688	15031	33384	70607	123710	347986	668914	1140610	2761941
334119	5	rec.																																									18135194	25944	83284	184614	373704	667546	1680450	2711946	5059942	13075252
334210	5	firms	561	46	94	71	63	274	134	80	488	73	549	40	104	66	61	271	133	76	480	69	556	55	101	74	60	290	123	75	488	68	525	27	109	72	57	265	110	81	456	69	423	35	69	55	45	204	107	55	366	57
334210	5	estab.	615	46	94	71	63	274	135	94	503	112	609	40	104	66	61	271	135	86	492	117	616	56	101	74	60	291	125	82	498	118	574	27	109	72	57	265	112	85	462	112	485	35	71	56	45	207	110	57	374	111
334210	5	empl.	97046	0	210	467	898	1575	5951	13097	20623	76423	98373	0	236	448	843	1527	6183	12373	20083	78290	83117	0	230	496	823	1549	5847	12290	19686	63431	86964	0	237	493	810	1540	5116	14609	21265	65699	65176	0	155	367	594	1116	5021	8187	14324	50852
334210	5	ann. pay.	7545310	13345	13215	19914	45290	91764	356211	737451	1185426	6359884	8429599	50994	10045	16369	41955	119363	409088	845967	1374418	7055181	7252927	48915	14607	23109	40752	127383	441411	1089959	1658753	5594174	5789793	7468	14061	23646	50343	95518	310951	1156798	1563267	4226526	4591461	16073	6711	17042	29482	69308	330759	535799	935866	3655595
334210	5	rec.																																									29785834	60067	43640	66418	116360	286485	1109319	2400168	3795972	25989862
334220	5	firms	1088	80	192	124	158	554	299	116	969	119	1057	78	196	131	149	554	287	106	947	110	1067	115	200	123	137	575	276	115	966	101	1023	60	202	128	140	530	279	111	920	103	937	62	145	126	136	469	270	99	838	99
334220	5	estab.	1216	80	192	124	158	554	306	135	995	221	1182	78	196	131	149	554	292	129	975	207	1200	115	200	123	137	575	280	141	996	204	1158	60	202	128	140	530	296	123	949	209	1069	62	145	126	136	469	281	110	860	209
334220	5	empl.	155223	0	435	847	2229	3511	12431	19037	34979	120244	147123	0	441	897	2032	3370	12069	17490	32929	114194	148347	0	432	822	1931	3185	11526	20672	35383	112964	153962	0	420	864	1960	3244	12062	19656	34962	119000	117229	0	310	849	1892	3051	11735	17554	32340	84889
334220	5	ann. pay.	7680288	14834	14173	33499	91948	154454	538155	834970	1527579	6152709	7831204	8170	18752	35261	89577	151760	551228	928414	1631402	6199802	8937337	40947	18736	33333	87838	180854	588944	1248455	2018253	6919084	8859028	11101	16054	38486	83777	149418	574157	1075379	1798954	7060074	7487693	6269	12857	36015	79036	134177	583201	1001879	1719257	5768436
334220	5	rec.																																									38513924	26380	56203	143055	299297	524935	1995757	3581934	6102626	32411298
334290	5	firms	463	32	148	92	54	326	71	35	432	31	445	26	143	78	57	304	72	36	412	33	455	41	142	69	62	314	71	38	423	32	431	26	141	64	58	289	69	42	400	31	428	31	143	67	60	301	66	32	399	29
334290	5	estab.	496	32	148	92	55	327	73	41	441	55	475	26	143	78	57	304	73	40	417	58	489	41	142	69	62	314	72	42	428	61	468	26	141	64	58	289	69	48	406	62	454	31	143	67	60	301	68	35	404	50
334290	5	empl.	24660	0	331	611	714	1656	3060	4766	9482	15178	24896	0	331	511	742	1584	2976	4913	9473	15423	25037	0	298	454	835	1587	3099	5118	9804	15233	28572	0	311	429	803	1543	2757	6905	11205	17367	23850	0	292	459	799	1550	2799	4313	8662	15188
334290	5	ann. pay.	924167	9011	11583	20524	20600	61718	114096	163795	339609	584558	964860	3834	13279	17305	23924	58342	129040	174599	361981	602879	1242981	7203	9149	19800	33029	69181	154726	327364	551271	691710	1526328	2842	11598	19074	31970	65484	116951	372286	554721	971607	1267281	5164	12670	19491	35791	73116	136327	211080	420523	846758
334290	5	rec.																																									5511238	23066	53266	78981	146674	301987	602995	858076	1763058	3748180
334310	5	firms	531	63	153	71	77	364	97	45	506	25	506	57	143	79	74	353	89	39	481	25	533	60	154	86	68	368	99	45	512	21	537	59	166	83	64	372	98	43	513	24	598	58	183	104	88	433	101	42	576	22
334310	5	estab.	572	63	153	71	77	364	101	54	519	53	539	57	143	79	74	353	94	47	494	45	560	60	154	86	68	368	99	53	520	40	561	59	166	83	64	372	98	48	518	43	623	58	183	104	88	433	103	47	583	40
334310	5	empl.	32829	0	357	470	1020	1847	4145	7597	13589	19240	28188	0	325	540	1034	1899	3899	6619	12417	15771	30127	0	347	568	914	1829	4148	8212	14189	15938	28686	0	379	564	873	1816	4382	6785	12983	15703	25344	0	413	691	1164	2268	4441	5763	12472	12872
334310	5	ann. pay.	1019089	6020	8944	12598	28655	56217	120742	238929	415888	603201	977934	12339	9397	15830	33809	71375	124441	221606	417422	560512	1001995	9396	11903	20089	34388	75776	135993	267657	479426	522569	1005565	4281	12639	22450	30478	69848	164743	221567	456158	549407	1043741	3757	14333	27283	47460	92833	209585	208884	511302	532439
334310	5	rec.																																									9393398	23187	75617	122512	209684	431000	913555	1447223	2791778	6601620
334411	5	firms	134	12	24	23	22	81	22	12	115	19	132	11	26	25	19	81	20	15	116	16	132	8	27	29	16	80	19	17	116	16	131	11	29	17	21	78	18	20	116	15	105	6	22	15	14	57	20	15	92	13
334411	5	estab.	151	12	24	23	22	81	22	15	118	33	151	11	26	25	19	81	21	18	120	31	150	8	27	29	16	80	20	19	119	31	147	11	29	17	21	78	19	22	119	28	120	6	22	15	14	57	21	25	103	17
334411	5	empl.	19665	         [a]	         [b]	153	291	501	1032	2085	3618	16047	18000	0	67	174	249	490	921	2704	4115	13885	17073	0	61	201	223	485	834	2758	4077	12996	16524	0	69	109	282	460	756	3351	4567	11957	13604	0	52	96	174	322	947	2120	3389	10215
334411	5	ann. pay.	741410	         (D)	         (D)	4759	8413	17795	32048	73386	123229	618181	696089	2058	1769	6346	7365	17538	32833	100658	151029	545060	661746	5985	1687	7694	8156	23522	36305	99477	159304	502442	644533	1141	2301	3903	10046	17391	26273	111013	154677	489856	605500	854	5322	3593	6691	16460	35122	84971	136553	468947
334411	5	rec.																																									2818846	5080	31220	20356	31760	88416	110220	267507	466143	2352703
334412	5	firms	1311	108	275	187	204	774	360	121	1255	56	1293	82	287	194	222	785	338	117	1240	53	1269	93	264	197	191	745	357	106	1208	61	1223	61	259	185	193	698	353	106	1157	66	1053	65	198	173	175	611	309	80	1000	53
334412	5	estab.	1391	108	275	187	205	775	364	143	1282	109	1374	82	287	195	223	787	342	142	1271	103	1362	93	264	198	192	747	360	131	1238	124	1314	61	259	186	194	700	355	128	1183	131	1127	65	199	173	175	612	319	102	1033	94
334412	5	empl.	81432	0	622	1289	2787	4698	15927	20346	40971	40461	76413	0	635	1284	3055	4974	15198	18577	38749	37664	77389	0	585	1340	2706	4631	15676	17363	37670	39719	80070	0	537	1240	2746	4523	15960	16863	37346	42724	54117	0	429	1171	2457	4057	12868	11966	28891	25226
334412	5	ann. pay.	2585656	15910	18265	32818	70477	137470	449254	619403	1206127	1379529	2701963	22535	22609	36387	83443	164974	488002	595081	1248057	1453906	3046224	20120	20425	41971	85974	168490	545502	656961	1370953	1675271	2583134	16291	20840	38977	77217	153325	469800	555876	1179001	1404133	1905932	21146	14160	41798	74885	151989	437225	418592	1007806	898126
334412	5	rec.																																									7881262	374096	58958	145684	306450	885188	1463905	1540163	3889256	3992006
334413	5	firms	1023	96	226	149	135	606	194	101	901	122	1020	74	233	160	129	596	206	91	893	127	1036	89	230	144	127	590	222	102	914	122	1040	72	237	132	126	567	234	117	918	122	953	71	211	121	126	529	215	105	849	104
334413	5	estab.	1154	96	227	149	135	607	197	113	917	237	1155	74	233	160	129	596	211	108	915	240	1190	89	230	144	127	590	228	117	935	255	1177	73	237	132	126	568	237	137	942	235	1098	71	211	121	126	529	220	138	887	211
334413	5	empl.	208174	0	498	1021	1876	3395	7738	19002	30135	178039	205596	0	493	1083	1835	3411	8739	16716	28866	176730	207211	0	490	966	1729	3185	9378	18470	31033	176178	225078	0	500	907	1654	3061	10228	20938	34227	190851	170775	0	448	795	1754	2997	8766	17513	29276	141499
334413	5	ann. pay.	11431592	40548	24953	52251	85058	202810	374000	1031841	1608651	9822941	13120879	26625	23941	55483	99749	205798	500600	1130397	1836795	11284084	17931732	22622	25063	54133	96853	198671	581525	1805241	2585437	15346295	15016106	7690	22539	45087	103143	178459	595141	1283924	2057524	12958582	11113930	9854	19776	39725	98743	168098	502924	1149372	1820394	9293536
334413	5	rec.																																									63779094	41818	85495	186420	428927	742660	1754849	3710683	6208192	57570902
334414	5	firms	107	5	18	8	11	42	35	14	91	16	110	6	20	11	10	47	31	16	94	16	101	2	13	11	12	38	30	14	82	19	101	3	11	8	13	35	34	14	83	18	98	5	16	8	13	42	28	14	84	14
334414	5	estab.	125	5	18	8	11	42	36	16	94	31	128	6	20	11	10	47	32	21	100	28	120	2	13	11	12	38	30	15	83	37	119	3	11	8	13	35	34	15	84	35	118	5	16	8	14	43	28	14	85	33
334414	5	empl.	18267	0	47	55	163	265	1591	2659	4515	13752	15602	0	43	70	150	263	1305	3234	4802	10800	16880	         [a]	         [b]	71	180	285	1314	2011	3610	13270	18236	         [a]	         [b]	52	181	257	1603	2107	3967	14269	11326	         [a]	         [b]	50	187	277	1228	1717	3222	8104
334414	5	ann. pay.	498888	273	1304	1150	4861	7588	47260	75121	129969	368919	476886	915	1233	1796	5490	9434	38514	92818	140766	336120	594353	         (D)	         (D)	1898	10674	14143	43391	64956	122490	471863	559341	         (D)	         (D)	1225	7510	10458	46863	68106	125427	433914	395420	         (D)	         (D)	1269	7648	10695	35929	57335	103959	291461
334414	5	rec.																																									1711484	         (D)	         (D)	4459	22755	         (D)	139024	288329	462534	1248950
334415	5	firms	88	6	8	9	5	28	28	16	72	16	88	5	12	12	5	34	25	14	73	15	80	4	10	8	6	28	25	11	64	16	77	1	7	10	6	24	22	14	60	17	63	2	3	7	5	17	24	10	51	12
334415	5	estab.	111	6	8	9	5	28	28	24	80	31	109	5	12	12	5	34	25	21	80	29	102	4	10	8	6	28	26	16	70	32	99	1	7	10	6	24	23	18	65	34	86	2	3	7	5	17	24	17	58	28
334415	5	empl.	11483	         [a]	         [b]	58	75	154	1433	2728	4315	7168	10196	0	24	84	83	191	1356	2153	3700	6496	9863	         [a]	         [b]	60	90	173	1389	1629	3191	6672	10629	         [a]	         [a]	72	87	178	1134	2128	3440	7189	7168	         [a]	         [a]	48	77	131	1179	1375	2685	4483
334415	5	ann. pay.	301869	         (D)	         (D)	1588	2996	6249	39304	57527	103080	198789	299350	158	692	2461	3072	6383	43537	57863	107783	191567	338715	         (D)	         (D)	1492	3790	7962	46210	63387	117559	221156	314016	         (D)	         (D)	1625	4041	6199	34294	57703	98196	215820	241704	         (D)	         (D)	1124	3143	4626	40331	49071	94028	147676
334415	5	rec.																																									964154	         (D)	         (D)	3820	11111	         (D)	112080	139489	267830	696324
334416	5	firms	431	33	65	63	63	224	138	42	404	27	417	16	81	60	55	212	137	43	392	25	405	21	77	51	57	206	136	38	380	25	380	11	70	48	58	187	134	37	358	22	374	20	79	49	58	206	121	28	355	19
334416	5	estab.	456	33	65	63	63	224	146	50	420	36	447	16	81	61	55	213	142	56	411	36	435	21	77	51	57	206	141	49	396	39	408	11	70	48	58	187	138	49	374	34	400	20	79	49	58	206	128	37	371	29
334416	5	empl.	19925	0	142	434	896	1472	6372	6309	14153	5772	18454	0	167	406	781	1354	5933	5853	13140	5314	18004	0	164	363	814	1341	6058	5528	12927	5077	17278	0	145	328	860	1333	6001	5362	12696	4582	13488	0	176	337	804	1317	5331	3416	10064	3424
334416	5	ann. pay.	470162	3570	3563	10929	25443	43505	148877	142425	334807	135355	476013	1425	5245	11582	22962	41214	152276	146290	339780	136233	514853	4083	4579	11507	31029	51198	165708	148266	365172	149681	459695	817	5256	10034	25644	41751	150532	138285	330568	129127	400293	13933	6396	11633	26054	58016	153942	99580	311538	88755
334416	5	rec.																																									1463922	89740	19800	43914	79706	233160	453989	272739	959888	504034
334417	5	firms	283	20	49	31	34	134	70	41	245	38	274	11	51	32	34	128	72	36	236	38	280	19	49	31	31	130	72	40	242	38	285	17	49	29	38	133	78	36	247	38	266	12	44	34	39	129	68	34	231	35
334417	5	estab.	344	20	49	31	34	134	72	45	251	93	333	11	51	32	34	128	73	44	245	88	322	19	49	31	31	130	73	45	248	74	330	17	49	29	38	133	79	40	252	78	308	12	44	34	39	129	69	38	236	72
334417	5	empl.	39196	0	110	209	510	829	3067	6572	10468	28728	34477	0	118	208	464	790	3253	6223	10266	24211	34209	0	119	213	436	768	3014	6375	10157	24052	37235	0	124	207	541	872	3492	6278	10642	26593	33919	0	96	222	533	851	2890	5584	9325	24594
334417	5	ann. pay.	1190781	3645	3517	6981	16516	30659	95894	213763	340316	850465	1189392	3171	4039	5825	13713	26748	105677	227622	360047	829345	1359929	13877	4593	6997	13523	38990	119400	263433	421823	938106	1340390	1175	5179	10064	19258	35676	141060	238579	415315	925075	1135372	3912	3724	10568	21448	39652	113958	216784	370394	764978
334417	5	rec.																																									4599633	16164	16088	114695	79753	226700	328292	771365	1326357	3273276
334418	5	firms	665	27	54	31	74	186	284	120	590	75	668	44	65	38	67	214	270	110	594	74	638	37	77	39	60	213	242	112	567	71	644	44	68	61	69	242	227	107	576	68	652	38	88	63	74	263	235	94	592	60
334418	5	estab.	719	27	54	31	74	186	285	127	598	121	730	44	65	38	67	214	272	115	601	129	708	38	77	39	60	214	242	122	578	130	716	44	68	61	69	242	230	114	586	130	720	38	88	63	74	263	242	103	608	112
334418	5	empl.	96388	0	125	200	1049	1374	13398	21280	36052	60336	94665	0	137	259	933	1329	12524	17716	31569	63096	101263	0	189	268	873	1330	11427	19479	32236	69027	105810	0	146	401	975	1522	10821	17704	30047	75763	80021	0	207	439	1057	1703	10248	13806	25757	54264
334418	5	ann. pay.	3385690	7720	6287	7913	36569	58489	453863	757045	1269397	2116293	3677090	5228	7960	10922	39552	63662	427379	718409	1209450	2467640	4034656	6858	9800	11899	39355	67912	428528	780967	1277407	2757249	4005786	6445	7375	18584	43036	75440	406325	621313	1103078	2902708	3350122	11389	10021	18899	41289	81598	423366	502540	1007504	2342618
334418	5	rec.																																									21762837	80240	81025	109744	255791	526800	1831550	2396470	4754820	17008017
334419	5	firms	1696	104	405	256	245	1010	397	161	1568	128	1652	102	414	251	229	996	379	152	1527	125	1614	108	379	230	233	950	385	156	1491	123	1550	73	353	250	207	883	399	146	1428	122	1489	75	357	234	239	905	355	125	1385	104
334419	5	estab.	1793	104	405	257	245	1011	406	178	1595	198	1754	103	414	251	229	997	385	173	1555	199	1715	108	379	230	233	950	389	176	1515	200	1663	74	353	250	207	884	405	162	1451	212	1583	75	357	234	240	906	366	146	1418	165
334419	5	empl.	93509	0	899	1755	3364	6018	17183	25416	48617	44892	88808	0	961	1694	3087	5742	16395	23312	45449	43359	89485	0	842	1528	3190	5560	16703	23811	46074	43411	92300	0	782	1712	2909	5403	18160	23225	46788	45512	74527	0	797	1583	3271	5651	15473	18257	39381	35146
334419	5	ann. pay.	2975289	9782	24271	55029	96670	185752	495418	743279	1424449	1550840	3058366	11428	30635	57674	99097	198834	547730	772537	1519101	1539265	3458475	10950	29710	54763	113445	208868	626671	786530	1622069	1836406	3373970	22206	26743	57853	101557	208359	638356	780400	1627115	1746855	2784396	6508	29884	56719	112121	205232	557680	674829	1437741	1346655
334419	5	rec.																																									9912004	38085	122061	243391	405963	809500	1875370	2303055	4987925	4924079
334510	5	firms	486	40	94	55	64	253	108	59	420	66	452	23	77	76	59	235	105	52	392	60	442	33	72	61	69	235	95	54	384	58	417	16	89	59	59	223	85	55	363	54	456	40	110	57	59	266	86	53	405	51
334510	5	estab.	546	40	94	55	64	253	110	64	427	119	512	23	77	76	59	235	107	56	398	114	510	33	72	61	69	235	96	60	391	119	475	16	89	59	59	223	86	57	366	109	516	40	110	57	59	266	90	55	411	105
334510	5	empl.	53825	0	221	394	848	1463	4630	8892	14985	38840	55695	0	173	514	810	1497	4749	8585	14831	40864	54548	0	173	402	968	1543	3959	8434	13936	40612	50808	0	198	404	824	1426	3718	8502	13646	37162	50049	0	243	390	798	1431	3971	8110	13512	36537
334510	5	ann. pay.	2763771	10261	8171	13316	31002	62750	201766	445212	709728	2054043	2884929	2514	6488	18858	33200	61060	218593	568549	848202	2036727	2867364	6692	8135	18460	39646	72933	188731	477000	738664	2128700	2812578	858	9659	15619	31953	58089	193467	487401	738957	2073621	2866615	4324	11189	17347	38818	71678	225712	461170	758560	2108055
334510	5	rec.																																									14445656	22726	47711	59490	133253	263180	703218	1672908	2639306	11806350
334511	5	firms	570	26	146	91	82	345	108	52	505	65	549	28	131	84	85	328	105	49	482	67	529	30	137	80	79	326	93	51	470	59	540	26	143	77	79	325	102	53	480	60	519	39	135	69	76	319	94	47	460	59
334511	5	estab.	704	26	147	91	82	346	110	60	516	188	678	28	132	84	85	329	106	54	489	189	665	30	138	80	79	327	94	60	481	184	668	26	144	77	79	326	103	60	489	179	673	39	136	69	76	320	97	54	471	202
334511	5	empl.	188186	0	352	607	1161	2120	4305	7420	13845	174341	190991	0	302	545	1141	1988	4308	7821	14117	176874	176083	0	334	529	1071	1934	3731	7735	13400	162683	176444	0	339	511	1054	1904	4165	7336	13405	163039	163424	0	320	449	1043	1812	3918	7177	12907	150517
334511	5	ann. pay.	10370006	6873	11157	21548	44836	84414	154557	367456	606427	9763579	10966792	1265	10813	22267	42153	76498	150242	353956	580696	10386096	10678606	4856	11175	20127	43621	79779	144483	388075	612337	10066269	11054301	2855	14495	18665	48246	84261	170465	410804	665530	10388771	10289590	7630	14482	17223	45249	84584	172038	423672	680294	9609296
334511	5	rec.																																									34536938	24126	47039	52677	207281	331123	514682	1723678	2569483	31967455
334512	5	firms	311	16	80	50	42	188	75	17	280	31	310	27	81	47	40	195	78	15	288	22	300	27	80	39	45	191	77	10	278	22	307	24	81	46	55	206	66	13	285	22	320	23	106	45	47	221	64	13	298	22
334512	5	estab.	339	16	80	51	42	189	75	20	284	55	331	27	81	48	40	196	78	16	290	41	319	27	80	39	45	191	78	11	280	39	329	24	81	46	55	206	67	14	287	42	337	23	106	45	47	221	65	14	300	37
334512	5	empl.	24966	0	182	317	613	1112	3072	2675	6859	18107	21051	0	186	314	558	1058	2961	1862	5881	15170	20061	0	185	266	621	1072	3090	1539	5701	14360	19781	0	201	302	760	1263	2675	1913	5851	13930	16717	0	233	286	669	1188	2575	1746	5509	11208
334512	5	ann. pay.	870775	692	5763	9690	21424	37569	107465	85238	230272	640503	751601	964	5408	10650	18083	35105	105845	66761	207711	543890	740849	4483	5678	8792	23013	41966	111331	46400	199697	541152	691772	597	6167	9057	28719	44540	109001	57478	211019	480753	655187	5084	7577	11239	25479	49379	103241	60069	212689	442498
334512	5	rec.																																									3133515	24396	37753	52801	95123	210073	362729	239563	812365	2321150
334513	5	firms	939	68	234	155	122	579	221	60	860	79	911	44	256	140	132	572	206	62	840	71	882	53	221	147	141	562	188	59	809	73	908	37	266	133	151	587	185	65	837	71	929	60	277	142	146	625	176	61	862	67
334513	5	estab.	1025	68	234	155	122	579	225	71	875	150	1000	44	256	140	132	572	208	77	857	143	968	53	221	147	141	562	192	72	826	142	994	37	266	133	151	587	187	81	855	139	1011	60	277	142	146	625	181	72	878	133
334513	5	empl.	48838	0	544	1030	1660	3234	9079	7436	19749	29089	45612	0	625	911	1795	3331	8574	7019	18924	26688	41476	0	520	952	1930	3402	7714	6783	17899	23577	41114	0	629	877	2017	3523	7523	8146	19192	21922	37731	0	646	939	2010	3595	6775	7572	17942	19789
334513	5	ann. pay.	2086142	6014	20101	35817	62414	124346	380902	320859	826107	1260035	2053741	2186	23708	34226	68934	129054	366252	317246	812552	1241189	2010448	11061	20219	37434	80605	149319	349739	301764	800822	1209626	1935477	2443	25379	33944	86259	148025	349443	395727	893195	1042282	1797342	8350	22581	39784	91306	162021	311227	359412	832660	964682
334513	5	rec.																																									6736185	31826	85326	170879	302695	590726	999008	1238769	2828503	3907682
334514	5	firms	214	6	54	37	32	129	50	15	194	20	199	9	46	29	37	121	45	13	179	20	190	6	50	26	31	113	43	11	167	23	189	6	45	32	27	110	47	10	167	22	217	15	54	36	31	136	47	10	193	24
334514	5	estab.	225	6	54	37	32	129	50	17	196	29	212	9	46	29	37	121	45	15	181	31	205	6	50	26	31	113	43	12	168	37	203	6	45	32	27	110	47	13	170	33	230	15	54	36	31	136	47	11	194	36
334514	5	empl.	15929	0	127	241	484	852	1872	2147	4871	11058	16183	[a]	[c]	190	516	818	1702	2196	4716	11467	16288	0	127	190	444	761	1686	1504	3951	12337	15561	0	108	213	381	702	1793	1680	4175	11386	12068	0	125	235	458	818	1745	1375	3938	8130
334514	5	ann. pay.	665184	276	3521	8104	14565	26466	62726	62417	151609	513575	722000	(D)	(D)	7643	16904	28519	56950	65941	151410	570590	797360	181	4571	7893	16664	29309	59265	44687	133261	664099	629088	215	4574	8032	13582	26403	63081	49889	139373	489715	503017	735	4614	9135	18265	32749	62691	52570	148010	355007
334514	5	rec.																																									4661945	3260	19392	35744	64031	122427	212139	371850	706416	3955529
334515	5	firms	764	50	171	132	102	455	182	62	699	65	742	42	169	127	103	441	173	67	681	61	711	48	148	123	96	415	161	76	652	59	695	32	163	109	97	401	159	79	639	56	717	41	184	116	100	441	153	67	661	56
334515	5	estab.	838	50	171	132	102	455	188	74	717	121	824	42	169	127	103	441	178	85	704	120	791	48	148	123	96	415	166	98	679	112	769	32	163	109	97	401	163	99	663	106	783	41	184	116	100	441	160	86	687	96
334515	5	empl.	62827	0	379	874	1444	2697	7639	9585	19921	42906	60722	0	387	858	1445	2690	7170	10454	20314	40408	58992	0	354	816	1376	2546	6680	12256	21482	37510	62447	0	379	735	1355	2469	6483	12958	21910	40537	56816	0	449	759	1429	2637	6577	9852	19066	37750
334515	5	ann. pay.	3283624	15755	13966	34083	63162	126966	345320	454087	926373	2357251	3652266	5485	15054	39010	66779	126328	350796	538095	1015219	2637047	4464706	3505	15640	32705	71363	123213	383761	800801	1307775	3156931	4267812	5952	16892	28306	58596	109746	332105	767094	1208945	3058867	3572073	9532	18849	28731	69646	126758	330779	577192	1034729	2537344
334515	5	rec.																																									10963741	30676	71390	100844	218829	421739	908423	1801744	3131906	7831835
334516	5	firms	605	36	171	99	82	388	126	48	562	43	578	35	170	82	79	366	127	40	533	45	556	38	155	81	76	350	120	43	513	43	545	25	159	85	66	335	117	46	498	47	542	33	145	87	70	335	117	42	494	48
334516	5	estab.	655	36	171	99	82	388	126	59	573	82	633	35	170	82	79	366	128	51	545	88	612	38	155	81	76	350	122	51	523	89	595	25	159	85	66	335	118	54	507	88	591	34	145	87	70	336	118	50	504	87
334516	5	empl.	36758	0	387	664	1141	2192	5076	7460	14728	22030	35320	[a]	[e]	531	1045	1968	5231	5913	13112	22208	34620	0	361	518	1038	1917	4877	6298	13092	21528	34877	0	348	564	926	1838	4535	6219	12592	22285	34350	0	307	589	986	1882	4808	5267	11957	22393
334516	5	ann. pay.	1870076	2236	14079	24227	46154	86696	219702	354103	660501	1209575	1900515	(D)	(D)	22464	43897	127125	237059	298061	662245	1238270	1973128	9758	13580	19912	49979	93229	249219	319879	662327	1310801	2037237	981	13077	25902	40565	80525	226963	339622	647110	1390127	2060242	3549	11544	27626	47134	89853	266152	296199	652204	1408038
334516	5	rec.																																									8364061	17430	48881	93616	158418	318345	860768	1060550	2239663	6124398
334517	5	firms	145	14	28	22	25	89	32	10	131	14	142	11	30	20	26	87	29	13	129	13	138	8	34	14	26	82	28	13	123	15	142	6	37	19	25	87	29	12	128	14	144	13	34	17	22	86	29	11	126	18
334517	5	estab.	164	14	28	22	25	89	32	13	134	30	163	11	30	20	26	87	29	18	134	29	155	8	34	14	26	82	28	17	127	28	160	6	37	19	25	87	29	15	131	29	161	13	34	17	22	86	30	13	129	32
334517	5	empl.	13026	0	62	135	357	554	1380	1626	3560	9466	14460	[a]	[b]	119	361	538	1188	2273	3999	10461	12748	0	79	98	365	542	1102	1655	3299	9449	12572	0	77	137	364	578	1146	1589	3313	9259	11801	0	72	121	288	481	1123	1335	2939	8862
334517	5	ann. pay.	690321	616	2398	5215	14426	22655	68140	79441	170236	520085	779304	(D)	(D)	3988	14899	22599	51893	122114	196606	582698	778186	861	2808	3648	16222	23539	53074	92621	169234	608952	829657	920	3632	5225	14898	24675	72095	84517	181287	648370	847937	1358	5329	4527	14999	26213	56220	89292	171725	676212
334517	5	rec.																																									4608871	4983	26071	21172	58797	111023	212285	301753	625061	3983810
334518	5	firms	170	12	55	27	5	99	41	13	153	17	137	6	54	20	7	87	30	10	127	10	131	12	49	14	13	88	26	8	122	9	126	9	49	13	12	83	25	11	119	7	111	6	40	16	9	71	24	10	105	6
334518	5	estab.	172	12	55	27	5	99	41	14	154	18	139	6	54	20	7	87	30	12	129	10	133	12	49	14	13	88	26	10	124	9	128	9	49	13	12	83	25	13	121	7	114	6	40	16	9	71	24	12	107	7
334518	5	empl.	9512	0	123	187	72	382	1740	1715	3837	5675	6518	[a]	[c]	133	78	323	1204	998	2525	3993	5844	0	95	89	160	344	1208	770	2322	3522	5393	0	101	83	135	319	1114	1265	2698	2695	3704	0	68	108	116	292	854	1038	2184	1520
334518	5	ann. pay.	275518	3275	2853	4453	1808	12389	62663	43337	118389	157129	201851	(D)	(D)	2267	1337	6357	40370	31462	78189	123662	188165	1009	2209	1527	3591	8336	40863	24929	74128	114037	175997	488	2102	1755	3833	8178	38200	32591	78969	97028	125692	42	1513	2362	3509	7426	31408	28439	67273	58419
334518	5	rec.																																									702297	449	5860	7390	13851	27550	133509	189486	350545	351752
334519	5	firms	850	54	206	116	141	517	196	77	790	60	831	51	216	114	131	512	184	68	764	67	809	42	209	111	127	489	191	63	743	66	796	39	209	118	127	493	183	62	738	58	770	38	196	123	131	488	173	57	718	52
334519	5	estab.	873	54	206	116	142	518	198	83	799	74	859	51	216	114	132	513	186	74	773	86	843	42	209	111	128	490	193	69	752	91	830	39	210	118	127	494	184	69	747	83	812	38	196	123	131	488	180	64	732	80
334519	5	empl.	34915	0	450	792	1949	3191	8186	10504	21881	13034	35930	0	482	780	1851	3113	7793	9088	19994	15936	40856	0	493	761	1754	3008	8034	8214	19256	21600	34499	0	477	794	1737	3008	7894	8487	19389	15110	30892	0	445	802	1750	2997	6891	6894	16782	14110
334519	5	ann. pay.	1506537	9008	16997	29117	82518	137640	349516	416378	903534	603003	1880673	12364	17804	29879	80539	140586	343198	359695	843479	1037194	1996826	2729	18256	32716	77636	131337	360047	395584	886968	1109858	1638072	4933	23001	33826	73611	135371	359057	375857	870285	767787	1538100	4601	15408	31824	77075	128908	318706	331891	779505	758595
334519	5	rec.																																									5478274	21315	75972	106558	231320	435165	1015435	1050486	2501086	2977188
334611	5	firms	81	7	18	9	11	45	19	9	73	8	97	9	24	9	14	56	22	12	90	7	91	8	22	10	15	55	20	9	84	7	139	16	47	25	16	104	25	5	134	5	197	31	89	25	22	167	22	7	196	1
334611	5	estab.	93	7	18	9	11	45	19	13	77	16	104	9	24	9	14	56	22	16	94	10	98	8	22	10	15	55	20	13	88	10	143	16	47	25	16	104	27	7	138	5	203	31	89	25	22	167	24	11	202	1
334611	5	empl.	4528	0	49	49	161	259	841	834	1934	2594	4301	0	58	55	164	277	939	1602	2818	1483	3599	0	48	58	191	297	802	1187	2286	1313	2859	0	108	167	206	481	865	501	1847	1012	2995	         [a]	189	168	309	         [f]	779	759	         [g]	         [f]
334611	5	ann. pay.	240429	3825	1972	2240	6612	14649	42361	34620	91630	148799	194186	1037	2159	1902	6101	11199	43686	57857	112742	81444	184921	517	1700	1615	7286	11118	29940	57125	98183	86738	148205	970	4664	6595	6732	18961	56089	28302	103352	44853	146556	         (D)	8822	7795	11303	         (D)	39252	41652	         (D)	         (D)
334611	5	rec.																																									506398	         (D)	46966	52582	45379	         (D)	119138	183441	         (D)	         (D)
334612	5	firms	505	47	175	83	74	379	74	38	491	14	487	57	161	83	64	365	76	34	475	12	497	59	173	83	61	376	79	27	482	15	504	57	184	76	71	388	73	29	490	14	448	35	165	72	53	325	83	23	431	17
334612	5	estab.	553	47	175	83	77	382	78	56	516	37	534	57	161	83	65	366	82	51	499	35	547	59	173	83	63	378	82	47	507	40	567	57	184	76	73	390	76	58	524	43	497	35	165	72	53	325	97	28	450	47
334612	5	empl.	26109	0	371	550	1026	1947	2923	6649	11519	14590	26269	0	366	550	862	1778	3073	6218	11069	15200	25871	0	383	548	838	1769	3070	5545	10384	15487	24483	0	403	504	914	1821	3021	5770	10612	13871	24049	0	371	476	719	1566	3169	4019	8754	15295
334612	5	ann. pay.	874511	4947	10751	15792	30944	62434	83732	223326	369492	505019	900843	11259	11700	14859	30579	68397	95063	218883	382343	518500	891310	6086	12012	18051	30407	66556	101518	177064	345138	546172	867360	4108	14671	17510	36410	72699	111517	187865	372081	495279	863573	10583	14483	16348	26277	67691	114523	140358	322572	541001
334612	5	rec.																																									4122870	44406	59505	60642	89179	253732	420643	523228	1197603	2925267
334613	5	firms	239	27	85	35	25	172	32	16	220	19	252	42	81	34	33	190	35	14	239	13	247	30	87	44	29	190	35	6	231	16	245	27	107	30	23	187	36	9	232	13	189	25	66	24	27	142	26	10	178	11
334613	5	estab.	252	27	85	36	25	173	32	19	224	28	262	42	81	34	33	190	36	16	242	20	256	30	87	44	29	190	35	6	231	25	253	27	107	30	23	187	36	10	233	20	196	25	66	24	27	142	26	11	179	17
334613	5	empl.	20476	0	192	231	378	801	1107	3046	4954	15522	16519	0	171	214	447	832	1358	2487	4677	11842	14199	0	181	297	396	874	1557	861	3292	10907	11488	0	209	204	314	727	1634	1641	4002	7486	10134	         [a]	132	153	357	         [f]	1201	1808	         [h]	         [i]
334613	5	ann. pay.	809774	2310	8863	12488	16976	40637	48120	145473	234230	575544	713365	10052	8151	11197	29941	59341	67762	127437	254540	458825	636710	2569	8737	14178	25729	51213	94091	51652	196956	439754	584639	3560	10856	10599	18479	43494	91464	120167	255125	329514	560457	         (D)	6050	7636	15509	         (D)	70716	124961	         (D)	         (D)
334613	5	rec.																																									4020918	         (D)	36680	40305	78454	         (D)	353738	524651	         (D)	         (D)
335110	5	firms	61	4	14	4	9	31	15	6	52	9	67	9	14	5	8	36	17	5	58	9	68	4	13	12	9	38	16	6	60	8	72	11	13	11	8	43	15	6	64	8	96	5	32	18	9	64	20	7	91	5
335110	5	estab.	90	4	14	4	9	31	16	6	53	37	94	9	14	5	8	36	18	5	59	35	92	4	13	12	9	38	17	6	61	31	95	11	13	11	8	43	16	6	65	30	121	5	32	19	9	65	21	7	93	28
335110	5	empl.	16156	0	29	25	126	180	695	1208	2083	14073	15026	0	29	32	111	172	709	860	1741	13285	14153	0	28	82	124	234	743	1055	2032	12121	13220	0	26	77	107	210	672	959	1841	11379	11961	0	68	121	135	324	814	1061	2199	9762
335110	5	ann. pay.	556421	264	610	559	3449	4882	21080	29169	55131	501290	542393	1502	745	1030	1512	4789	23240	23117	51146	491247	618966	48	469	2681	3958	7156	26218	29868	63242	555724	516267	596	536	2249	2561	5942	26469	30139	62550	453717	496981	249	1419	3466	4456	9590	28919	33579	72088	424893
335110	5	rec.																																									2712869	1154	7008	21261	22168	51591	157367	110900	319858	2393011
335121	5	firms	558	45	156	93	83	377	127	41	545	13	539	36	165	85	76	362	125	41	528	11	522	30	174	77	74	355	113	41	509	13	513	36	148	91	79	354	107	39	500	13	474	29	136	94	67	326	110	27	463	11
335121	5	estab.	572	45	156	93	83	377	130	46	553	19	551	36	165	85	76	362	127	45	534	17	532	30	174	77	74	355	115	44	514	18	520	36	148	91	79	354	109	41	504	16	482	29	136	94	68	327	113	29	469	13
335121	5	empl.	18184	0	345	632	1121	2098	5241	6888	14227	3957	17841	0	358	585	1071	2014	5105	6762	13881	3960	17467	0	396	519	1050	1965	4638	6603	13206	4261	16204	0	320	598	1111	2029	4701	5993	12723	3481	13087	0	275	626	920	1821	4784	4091	10696	2391
335121	5	ann. pay.	483589	2785	6954	13792	24942	48473	116724	180248	345445	138144	488748	7784	8480	13189	22349	51802	116626	177558	345986	142762	493793	1210	8841	12038	24099	46188	116657	177406	340251	153542	415598	2565	7089	14643	26334	50631	109146	158730	318507	97091	388352	4225	5931	16178	23064	49398	124026	140759	314183	74169
335121	5	rec.																																									1789496	15698	59923	77090	103490	256201	547526	596424	1400151	389345
335122	5	firms	324	18	55	54	58	185	87	36	308	16	328	19	60	53	58	190	89	33	312	16	330	16	69	57	55	197	83	33	313	17	335	15	67	58	57	197	90	31	318	17	305	14	61	42	53	170	95	25	290	15
335122	5	estab.	355	18	55	54	58	185	88	39	312	43	362	19	60	53	58	190	90	37	317	45	366	16	69	57	55	197	83	37	317	49	370	15	67	58	57	197	90	35	322	48	341	14	61	42	53	170	95	29	294	47
335122	5	empl.	22324	0	128	356	799	1283	3731	4802	9816	12508	22842	0	132	351	791	1274	3965	4491	9730	13112	23290	0	166	414	808	1388	3859	4840	10087	13203	22503	0	142	390	780	1312	4100	4538	9950	12553	20337	0	124	288	719	1131	4148	3728	9007	11330
335122	5	ann. pay.	681695	6451	3240	11174	23040	43905	120313	162593	326811	354884	716220	2655	3805	9831	24785	41076	128426	159413	328915	387305	737040	2424	4798	11904	23923	43049	132276	163446	338771	398269	722886	2365	3998	10668	23067	40098	141847	156841	338786	384100	666405	1032	4706	8751	23890	38379	153178	123127	314684	351721
335122	5	rec.																																									3863349	4340	19321	36896	105431	165988	658042	514629	1338659	2524690
335129	5	firms	313	16	79	47	39	181	79	30	290	23	302	22	69	46	40	177	74	27	278	24	291	14	66	45	43	168	70	25	263	28	298	18	71	43	46	178	67	24	269	29	265	11	60	40	42	153	60	26	239	26
335129	5	estab.	338	16	79	47	39	181	80	37	298	40	326	22	69	46	40	177	75	31	283	43	317	14	66	45	43	168	71	29	268	49	322	18	71	43	46	178	68	27	273	49	290	11	60	40	42	153	61	28	242	48
335129	5	empl.	17870	0	200	338	543	1081	3235	4710	9026	8844	18642	0	165	336	564	1065	3232	4342	8639	10003	19367	0	160	306	617	1083	2992	3799	7874	11493	20125	0	164	293	642	1099	2873	3860	7832	12293	18463	0	144	273	556	973	2430	3683	7086	11377
335129	5	ann. pay.	577585	2429	6573	9782	15892	34676	107973	150023	292672	284913	623122	1589	4394	9725	17580	33288	113843	146668	293799	329323	696721	457	4788	8705	18708	32658	108393	123259	264310	432411	691215	2380	4747	9959	20073	37159	99321	126946	263426	427789	660297	430	4328	8132	19177	32067	89729	140394	262190	398107
335129	5	rec.																																									3940944	1819	20541	43295	109227	174882	411805	815534	1402221	2538723
335211	5	firms	126	14	28	20	16	78	17	10	105	21	130	15	34	17	17	83	17	12	112	18	133	11	33	19	20	83	21	11	115	18	133	8	39	15	18	80	24	14	118	15	136	11	43	15	19	88	26	8	122	14
335211	5	estab.	151	14	28	20	16	78	17	11	106	45	152	15	34	17	17	83	17	14	114	38	153	11	33	19	20	83	21	13	117	36	149	8	39	15	18	80	25	20	125	24	150	11	43	15	19	88	26	9	123	27
335211	5	empl.	17698	         [a]	         [b]	         [c]	217	         [e]	852	         [g]	3154	14544	14212	[a]	[b]	[c]	244	[e]	[f]	2337	3632	10580	13301	         [a]	         [b]	120	254	         [e]	966	         [g]	3142	10159	10990	         [a]	94	         [b]	236	         [e]	1069	         [g]	3613	7377	10172	         [a]	         [c]	102	247	         [e]	         [g]	1126	2661	7511
335211	5	ann. pay.	454505	         (D)	         (D)	         (D)	6276	         (D)	17556	         (D)	84126	370379	351097	(D)	(D)	(D)	7310	(D)	(D)	72739	110712	240385	365908	         (D)	         (D)	4850	8081	         (D)	25761	         (D)	93425	272483	326990	         (D)	3186	         (D)	7844	         (D)	22918	         (D)	103447	223543	316331	         (D)	         (D)	3159	8272	         (D)	         (D)	32937	77552	238779
335211	5	rec.																																									2380872	         (D)	         (D)	20559	60001	         (D)	         (D)	265348	557904	1822968
335212	5	firms	30	4	3	0	5	12	5	2	19	11	31	1	6	2	5	14	3	3	20	11	35	1	8	3	5	17	5	2	24	11	34	1	6	4	5	16	4	2	22	12	35	8	2	4	5	19	2	4	25	10
335212	5	estab.	38	4	3	0	5	12	5	2	19	19	39	1	6	2	5	14	3	3	20	19	41	1	8	3	5	17	5	2	24	17	41	1	6	4	5	16	4	2	22	19	41	8	2	4	5	19	2	4	25	16
335212	5	empl.	11323	         [a]	         [a]	0	69	         [b]	206	         [e]	552	10771	11319	[a]	[a]	[a]	77	[b]	[b]	351	538	10781	11137	         [a]	         [a]	18	69	         [c]	244	         [c]	550	10587	10301	         [a]	         [a]	         [b]	64	         [c]	149	         [c]	473	9828	10196	         [a]	         [a]	24	66	         [b]	         [b]	486	671	9525
335212	5	ann. pay.	451403	         (D)	         (D)	0	2694	         (D)	5461	         (D)	87829	363574	391329	(D)	(D)	(D)	2167	(D)	(D)	13633	19992	371337	359784	         (D)	         (D)	503	1852	         (D)	8118	         (D)	19931	339853	339671	         (D)	         (D)	         (D)	1567	         (D)	4582	         (D)	15159	324512	341344	         (D)	         (D)	762	2177	         (D)	         (D)	13843	19971	321373
335212	5	rec.																																									2835640	         (D)	         (D)	3677	16031	         (D)	         (D)	59059	97789	2737851
335221	5	firms	86	5	22	6	8	41	17	6	64	22	91	12	22	7	9	50	14	8	72	19	81	8	20	8	5	41	14	7	62	19	91	8	22	11	11	52	13	8	73	18	98	8	27	13	11	59	16	9	84	14
335221	5	estab.	96	5	22	6	8	41	17	8	66	30	100	12	22	7	9	50	14	9	73	27	91	8	20	8	5	41	14	8	63	28	100	8	22	11	11	52	13	8	73	27	109	8	27	13	11	59	16	10	85	24
335221	5	empl.	18775	         [a]	52	         [b]	         [c]	         [c]	759	         [g]	2209	16566	18667	[a]	[b]	45	118	208	476	1763	2447	16220	17880	         [a]	         [b]	54	65	163	495	1351	2009	15871	17164	         [a]	47	         [b]	158	273	568	1295	2136	15028	17983	0	66	90	153	309	710	1918	2937	15046
335221	5	ann. pay.	525322	         (D)	800	         (D)	         (D)	         (D)	19784	         (D)	61215	464107	535360	(D)	(D)	968	3696	6159	14695	49164	70018	465342	501860	         (D)	         (D)	2190	1279	4969	16617	34135	55721	446139	453188	         (D)	1150	         (D)	4687	8985	17917	34280	61182	392006	497481	315	1554	2387	3955	8211	22239	68298	98748	398733
335221	5	rec.																																									4406726	2574	109799	16863	24001	153237	120826	736898	1010961	3395765
335222	5	firms	20	0	2	1	3	6	1	4	11	9	21	1	1	2	1	5	3	4	12	9	22	2	2	2	0	6	2	6	14	8	26	4	1	2	2	9	2	7	18	8	25	1	5	2	2	10	1	6	17	8
335222	5	estab.	26	0	2	1	3	6	1	4	11	15	27	1	1	2	1	5	3	4	12	15	29	2	2	2	0	6	2	6	14	15	33	4	1	2	2	9	2	7	18	15	32	1	5	2	2	10	1	6	17	15
335222	5	empl.	25263	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [f]	978	24285	25222	[a]	[a]	[a]	[a]	[b]	115	[f]	1130	24092	27068	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	1263	1329	25739	26797	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	1191	1354	25443	24173	         [a]	14	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [g]	1477	22696
335222	5	ann. pay.	868385	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	28064	840321	892786	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	2758	(D)	32573	860213	996064	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	32041	36078	959986	988293	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35698	76338	911955	837881	         (D)	337	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	48870	789011
335222	5	rec.																																									5531103	         (D)	2410	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	377114	5153989
335224	5	firms	15	2	3	0	2	7	0	0	7	8	16	0	7	0	1	8	0	0	8	8	17	1	5	1	2	9	0	1	10	7	18	2	4	1	2	9	1	1	11	7	19	2	5	1	3	11	1	1	13	6
335224	5	estab.	21	2	3	0	3	8	0	0	8	13	23	0	8	0	1	9	0	0	9	14	23	1	5	1	2	9	0	1	10	13	24	2	4	1	2	9	1	1	11	13	24	2	5	1	3	11	1	1	13	11
335224	5	empl.	16201	         [a]	9	0	         [b]	         [b]	0	0	         [b]	         [j]	17644	0	[a]	0	[a]	27	0	0	27	17617	17830	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	0	         [b]	85	17745	16721	         [a]	8	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	125	16596	16551	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [e]	553	15998
335224	5	ann. pay.	500889	         (D)	41	0	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	541951	0	(D)	0	(D)	350	0	0	350	541601	614623	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	2314	612309	591866	         (D)	155	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3632	588234	622026	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	16722	605304
335224	5	rec.																																									4638182	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	124748	4513434
335228	5	firms	36	3	3	2	3	11	9	2	22	14	37	1	7	3	2	13	8	2	23	14	38	2	7	3	1	13	8	2	23	15	38	2	6	5	0	13	9	2	24	14	40	2	8	5	1	16	8	2	26	14
335228	5	estab.	38	3	3	2	3	11	9	2	22	16	40	1	7	3	2	13	8	3	24	16	40	2	7	3	1	13	8	3	24	16	41	2	6	5	0	13	9	3	25	16	42	2	8	5	1	16	8	2	26	16
335228	5	empl.	13524	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [e]	         [e]	         [f]	         [j]	12769	[a]	[a]	[b]	[b]	[b]	481	[c]	769	12000	13619	         [a]	18	         [b]	         [a]	         [b]	         [e]	         [c]	756	12863	12437	         [a]	10	         [b]	0	         [b]	         [e]	         [c]	639	11798	12049	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [e]	         [c]	645	11404
335228	5	ann. pay.	441400	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	436584	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	17586	(D)	25768	410816	444360	         (D)	263	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20697	423663	448504	         (D)	155	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	20261	428243	458659	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	22203	436456
335228	5	rec.																																									3737488	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	166143	3571345
335311	5	firms	280	10	57	41	48	156	63	33	252	28	271	8	58	49	32	147	65	34	246	25	263	9	51	43	39	142	60	34	236	27	265	19	43	45	32	139	66	34	239	26	257	10	54	48	28	140	64	25	229	28
335311	5	estab.	315	10	57	41	49	157	65	38	260	55	306	8	58	49	33	148	67	40	255	51	296	9	52	43	39	143	62	39	244	52	296	19	43	46	32	140	69	38	247	49	289	10	55	48	31	144	67	29	240	49
335311	5	empl.	25852	0	133	274	652	1059	2790	5570	9419	16433	26281	0	146	341	437	924	2873	6048	9845	16436	26609	0	126	295	558	979	2519	5689	9187	17422	25893	         [a]	         [c]	303	458	882	2932	5805	9619	16274	23627	0	125	327	388	840	2861	4667	8368	15259
335311	5	ann. pay.	834140	897	4522	6818	19251	31488	72989	173140	277617	556523	878807	587	5059	9696	14462	29804	84607	181845	296256	582551	940421	1414	4034	7052	20725	33225	90431	188879	312535	627886	892212	         (D)	         (D)	7358	17050	30334	93785	174299	298418	593794	848340	1140	5606	9414	15927	32087	94774	157454	284315	564025
335311	5	rec.																																									4404993	7435	56413	49859	71367	185074	366165	735167	1286406	3118587
335312	5	firms	556	27	114	106	69	316	111	53	480	76	532	25	118	87	68	298	109	52	459	73	510	18	118	82	75	293	102	50	445	65	490	13	99	85	72	269	114	52	435	55	488	23	100	80	68	271	111	49	431	57
335312	5	estab.	734	27	114	106	69	316	116	79	511	223	704	25	118	87	68	298	111	83	492	212	684	18	118	82	75	293	106	77	476	208	659	13	99	85	72	269	118	83	470	189	623	23	100	80	68	271	117	80	468	155
335312	5	empl.	74833	0	253	740	899	1892	4543	7442	13877	60956	68713	0	265	595	906	1766	4244	8187	14197	54516	67354	0	279	568	1035	1882	4321	7465	13668	53686	62164	0	240	570	927	1737	5046	9209	15992	46172	54485	0	241	552	922	1715	4539	7526	13780	40705
335312	5	ann. pay.	2256701	12384	6776	20701	26066	65927	143248	228761	437936	1818765	2176452	1464	7183	18289	29460	56396	138013	260785	455194	1721258	2123449	1744	7754	17880	34610	61988	144779	254716	461483	1661966	2005414	476	8398	16660	34394	59928	167616	330214	557758	1447656	1875839	2103	8189	17760	32282	60334	165300	271194	496828	1379011
335312	5	rec.																																									9826876	16000	49447	83681	154792	303920	610333	1083904	1998157	7828719
335313	5	firms	508	31	102	90	91	314	115	42	471	37	505	28	113	83	90	314	110	46	470	35	498	20	109	78	85	292	122	47	461	37	496	26	104	72	88	290	124	42	456	40	473	20	114	84	75	293	103	40	436	37
335313	5	estab.	591	31	102	90	91	314	117	47	478	113	587	28	113	83	90	314	113	52	479	108	578	20	109	78	85	292	124	54	470	108	580	26	104	72	88	290	125	49	464	116	563	20	114	84	75	293	105	46	444	119
335313	5	empl.	41901	0	260	607	1254	2121	4520	5825	12466	29435	41547	0	276	550	1238	2064	4355	5834	12253	29294	43508	0	248	528	1160	1936	4730	6468	13134	30374	44506	         [a]	         [c]	504	1183	1925	4912	6241	13078	31428	39392	0	257	574	1005	1836	4057	5419	11312	28080
335313	5	ann. pay.	1534669	1429	7192	18606	43992	71219	173457	199115	443791	1090878	1600627	6758	7792	19809	50289	84648	182921	199689	467258	1133369	1759030	1488	8001	16470	43737	69696	204138	244876	518710	1240320	1784286	         (D)	         (D)	17436	41561	94873	219725	238229	552827	1231459	1611125	2200	9306	22096	40047	73649	177747	231046	482442	1128683
335313	5	rec.																																									8592542	11538	52838	118105	176178	358659	713429	825664	1897752	6694790
335314	5	firms	1228	59	349	207	177	792	273	78	1143	85	1184	57	328	215	165	765	259	81	1105	79	1142	58	305	212	163	738	243	84	1065	77	1116	52	302	214	143	711	242	88	1041	75	1086	57	311	208	134	710	225	80	1015	71
335314	5	estab.	1324	59	349	207	179	794	282	86	1162	162	1285	57	328	215	168	768	266	89	1123	162	1243	58	305	212	165	740	248	94	1082	161	1216	52	302	214	145	713	249	96	1058	158	1176	57	311	209	136	713	233	91	1037	139
335314	5	empl.	67680	0	818	1368	2437	4623	10385	10037	25045	42635	63714	0	771	1446	2236	4453	10068	9969	24490	39224	61518	0	685	1408	2236	4329	9718	10665	24712	36806	60675	0	697	1438	1979	4114	9590	10706	24410	36265	50848	0	719	1378	1850	3947	8529	9607	22083	28765
335314	5	ann. pay.	2586500	4321	25851	44212	85524	159908	400426	349876	910210	1676290	2550143	2912	25431	49730	82977	161050	404300	365293	930643	1619500	2591696	8393	25562	53580	90143	177678	406570	421898	1006146	1585550	2554408	6048	26656	51547	74633	158884	395964	404595	959443	1594965	2182779	4152	26730	51498	68918	151298	375792	370828	897918	1284861
335314	5	rec.																																									10386795	19888	107383	182201	227632	537104	1222435	1451388	3210927	7175868
335911	5	firms	92	3	15	15	11	44	19	12	75	17	98	6	20	13	8	47	24	12	83	15	100	7	19	13	10	49	25	11	85	15	100	6	20	17	9	52	20	14	86	14	89	3	15	15	15	48	15	15	78	11
335911	5	estab.	132	3	15	15	11	44	19	14	77	55	137	6	20	13	8	47	24	14	85	52	138	7	19	13	10	49	25	12	86	52	138	6	20	17	9	52	20	15	87	51	128	3	15	15	15	48	16	18	82	46
335911	5	empl.	22745	         [a]	         [b]	96	         [c]	         [e]	         [f]	2147	3373	19372	23057	[a]	[b]	77	[c]	[c]	[f]	2189	3396	19661	22837	         [a]	         [b]	78	125	         [e]	1063	         [g]	3053	19784	22995	0	49	119	109	277	941	2291	3509	19486	18337	         [a]	         [b]	101	200	333	650	2102	3085	15252
335911	5	ann. pay.	792005	         (D)	         (D)	2837	         (D)	         (D)	         (D)	64764	102095	689910	852829	(D)	(D)	2000	(D)	(D)	(D)	69412	114953	737876	859672	         (D)	         (D)	2547	4604	         (D)	43101	         (D)	108087	751585	837254	1234	2267	4171	3890	11562	38448	75475	125485	711769	680220	         (D)	         (D)	3115	7326	12456	22203	75908	110567	569653
335911	5	rec.																																									3687555	         (D)	         (D)	17460	45478	         (D)	121434	400111	609147	3078408
335912	5	firms	34	1	11	7	2	21	2	3	26	8	35	2	9	9	2	22	2	3	27	8	34	2	11	5	4	22	3	2	27	7	36	4	11	6	3	24	3	3	30	6	36	5	7	6	4	22	3	4	29	7
335912	5	estab.	45	1	11	7	2	21	2	3	26	19	44	2	9	9	2	22	2	3	27	17	44	2	11	5	4	22	3	2	27	17	46	4	11	6	3	24	3	3	30	16	47	5	7	6	4	22	3	5	30	17
335912	5	empl.	8575	         [a]	         [b]	48	         [b]	         [c]	         [c]	839	1052	7523	8188	[a]	[a]	54	[b]	[c]	[c]	784	1001	7187	8554	         [a]	         [b]	35	54	         [c]	142	         [f]	964	7590	7929	0	19	42	41	102	71	756	929	7000	7730	         [a]	         [a]	37	63	112	155	858	1125	6605
335912	5	ann. pay.	296653	         (D)	         (D)	1353	         (D)	         (D)	         (D)	26101	30531	266122	309578	(D)	(D)	1552	(D)	(D)	(D)	27241	34240	275338	323025	         (D)	         (D)	1563	1382	         (D)	4326	         (D)	35306	287719	307346	46	631	1205	1191	3073	3334	29334	35741	271605	290280	         (D)	         (D)	1267	1534	4199	4451	26241	34891	255389
335912	5	rec.																																									2884136	         (D)	         (D)	15198	5531	         (D)	18321	151264	197106	2687030
335921	5	firms	32	5	5	1	3	14	5	4	23	9	54	8	8	3	3	22	10	7	39	15	65	14	7	6	8	35	10	6	51	14	73	7	7	13	10	37	12	9	58	15	83	5	11	15	17	48	16	7	71	12
335921	5	estab.	35	5	5	1	3	14	5	4	23	12	61	8	8	3	3	22	10	7	39	22	75	14	7	6	8	35	10	6	51	24	84	7	7	13	10	37	12	9	58	26	91	5	11	15	17	48	16	7	71	20
335921	5	empl.	6728	         [a]	         [a]	         [a]	36	52	172	448	672	6056	9739	0	18	23	36	77	321	949	1347	8392	11898	0	17	42	109	168	336	733	1237	10661	13560	0	19	81	135	235	471	1426	2132	11428	8559	0	22	96	230	348	753	1070	2171	6388
335921	5	ann. pay.	317226	         (D)	         (D)	         (D)	875	2656	7372	16263	26291	290935	452311	556	1266	989	1292	4103	17154	38262	59519	392792	667653	18435	667	1384	4335	24821	20612	46975	92408	575245	645167	273	1778	5361	5377	12789	26928	71069	110786	534381	385675	425	658	3384	11492	15959	43609	48067	107635	278040
335921	5	rec.																																									1735333	4462	7738	32992	97357	142549	209465	171220	523234	1212099
335929	5	firms	271	16	20	14	24	74	92	48	214	57	257	16	27	15	20	78	84	42	204	53	259	17	31	12	27	87	80	37	204	55	252	14	26	20	24	84	77	34	195	57	235	11	22	19	27	79	67	38	184	51
335929	5	estab.	378	16	20	14	24	74	94	58	226	152	360	16	27	15	20	78	86	50	214	146	372	17	32	12	27	88	83	45	216	156	363	14	26	21	24	85	80	40	205	158	329	11	22	19	27	79	69	45	193	136
335929	5	empl.	51271	         [a]	         [b]	         [b]	330	475	4456	7929	12860	38411	49732	0	62	100	276	438	3979	7017	11434	38298	50044	0	68	81	368	517	3734	6411	10662	39382	52429	0	70	128	328	526	3668	5995	10189	42240	41042	0	54	137	360	551	3151	5076	8778	32264
335929	5	ann. pay.	1807951	         (D)	         (D)	         (D)	9540	15785	143160	246765	405710	1402241	1883782	2180	2807	3540	10037	18564	139234	246001	403799	1479983	2085111	2040	4299	2360	13504	22203	137206	274611	434020	1651091	1920552	1422	2492	5212	10048	19174	126384	168575	314133	1606419	1619810	5781	2005	4036	12787	24609	119627	167539	311775	1308035
335929	5	rec.																																									11704126	38105	11463	26012	73741	149321	649381	912457	1711159	9992967
335931	5	firms	446	23	78	59	64	224	114	50	388	58	442	26	81	63	66	236	97	53	386	56	452	36	92	52	58	238	109	51	398	54	434	31	83	56	56	226	101	55	382	52	414	14	92	58	59	223	99	46	368	46
335931	5	estab.	518	23	79	59	65	226	118	55	399	119	515	27	81	63	66	237	100	59	396	119	527	37	92	52	58	239	115	57	411	116	508	31	84	56	56	227	104	67	398	110	474	14	93	59	59	225	100	57	382	92
335931	5	empl.	45401	0	185	404	871	1460	4731	7742	13933	31468	45196	0	192	426	928	1546	4183	8429	14158	31038	44971	0	217	345	805	1367	4682	7738	13787	31184	43665	0	185	378	772	1335	4460	8910	14705	28960	37384	0	209	393	798	1400	4222	7376	12998	24386
335931	5	ann. pay.	1404693	2903	4971	12184	26740	46798	143349	209769	399916	1004777	1449441	1849	5875	12896	26676	47296	133149	241233	421678	1027763	1529016	3467	8273	11254	26682	49676	153464	220232	423372	1105644	1457096	1536	6647	12422	23272	43877	134754	262557	441188	1015908	1385101	2656	6707	13797	24873	48033	146220	231766	426019	959082
335931	5	rec.																																									6588178	12126	29060	59051	99991	200228	549271	890448	1639947	4948231
335932	5	firms	181	16	41	25	17	99	34	20	153	28	181	16	40	26	21	103	35	15	153	28	180	15	43	23	21	102	33	18	153	27	180	14	46	19	26	105	32	20	157	23	161	12	32	22	21	87	36	13	136	25
335932	5	estab.	234	16	41	25	17	99	34	22	155	79	235	16	40	26	21	103	35	17	155	80	238	15	43	23	21	102	33	20	155	83	235	14	46	19	26	105	32	22	159	76	216	12	32	22	21	87	36	16	139	77
335932	5	empl.	22847	0	83	167	260	510	1464	2806	4780	18067	22089	0	83	167	306	556	1680	2153	4389	17700	23120	0	96	144	312	552	1488	2541	4581	18539	22680	0	101	131	365	597	1520	2993	5110	17570	21206	0	62	142	281	485	1589	2181	4255	16951
335932	5	ann. pay.	769929	525	2115	5359	8579	16578	46369	86650	149597	620332	796075	564	2114	4214	10887	17779	56196	66878	140853	655222	831798	854	2844	3724	10096	17518	53248	83869	154635	677163	809724	810	3144	4239	10197	18390	53592	96607	168589	641135	776076	2825	1846	3796	8609	17076	56279	77892	151247	624829
335932	5	rec.																																									4723238	59891	9525	18301	40841	128558	240742	417430	786730	3936508
335991	5	firms	100	6	15	9	12	42	27	16	85	15	108	12	19	11	8	50	24	17	91	17	111	6	28	10	8	52	26	16	94	17	110	8	26	9	10	53	23	16	92	18	103	9	18	16	8	51	23	17	91	12
335991	5	estab.	130	6	15	9	12	42	28	20	90	40	140	12	19	11	8	50	25	21	96	44	143	6	28	10	9	53	26	21	100	43	141	8	26	9	10	53	23	21	97	44	129	9	18	16	8	51	23	20	94	35
335991	5	empl.	11358	0	38	65	155	258	1011	2274	3543	7815	10783	0	41	76	106	223	841	2349	3413	7370	10442	0	62	69	107	238	944	2676	3858	6584	9909	0	58	55	138	251	864	2520	3635	6274	7878	0	44	105	96	245	904	2560	3709	4169
335991	5	ann. pay.	432384	361	1029	4651	4934	10975	31088	83752	125815	306569	423585	2719	1092	2898	3597	10306	29064	88008	127378	296207	418217	201	1713	2637	3534	8085	36994	101743	146822	271395	385204	1278	2357	2548	4498	10681	31513	96984	139178	246026	325418	422	3184	4523	4048	12177	34234	111692	158103	167315
335991	5	rec.																																									1680742	965	25629	19762	17578	63934	190153	499449	753536	927206
335999	5	firms	949	76	195	123	118	512	261	99	872	77	972	86	221	119	127	553	255	85	893	79	981	83	232	132	131	578	238	90	906	75	941	77	208	122	128	535	248	84	867	74	860	55	196	123	123	497	224	79	800	60
335999	5	estab.	992	76	195	123	118	512	265	116	893	99	1016	86	221	119	127	553	260	102	915	101	1019	83	232	132	131	578	243	102	923	96	979	77	208	122	128	535	253	97	885	94	904	55	196	123	123	497	232	89	818	86
335999	5	empl.	45891	0	435	825	1601	2861	10558	12392	25811	20080	43198	0	479	809	1701	2989	10285	10376	23650	19548	43439	0	485	892	1818	3195	9985	11452	24632	18807	42546	0	441	830	1728	2999	10536	10409	23944	18602	36940	0	410	824	1687	2921	9539	8833	21293	15647
335999	5	ann. pay.	1655514	8631	14212	26065	52228	101136	374563	394274	869973	785541	1706415	7469	16861	26454	57475	108259	371501	367510	847270	859145	1894784	13150	16305	34512	68079	132046	380831	449418	962295	932489	1780246	9642	14161	30129	67922	121854	401579	401344	924777	855469	1582947	3624	18864	36221	69197	127906	381204	332703	841813	741134
335999	5	rec.																																									6472084	18469	75998	185937	241335	521739	1418910	1265438	3206087	3265997
336111	5	firms	189	26	65	23	13	127	31	14	172	17	195	27	73	16	25	141	27	9	177	18	197	23	78	18	20	139	27	13	179	18	197	28	69	23	24	144	23	11	178	19	173	17	71	16	19	123	22	7	152	21
336111	5	estab.	216	26	65	23	13	127	32	14	173	43	218	27	73	16	25	141	28	9	178	40	217	23	78	18	20	139	27	14	180	37	221	28	69	23	24	144	24	12	180	41	207	17	71	16	19	123	22	8	153	54
336111	5	empl.	123172	         [a]	118	         [c]	160	445	1615	2410	4470	118702	105855	[a]	140	103	337	[f]	1324	[g]	3166	102689	101962	0	152	         [c]	278	         [f]	1220	         [g]	3669	98293	97321	         [a]	         [c]	157	333	622	         [g]	         [g]	3404	93917	112453	0	         [c]	103	258	         [e]	960	         [g]	2996	109457
336111	5	ann. pay.	6933020	         (D)	3614	         (D)	3641	11870	53575	84960	150405	6782615	6695257	(D)	3366	2569	8422	(D)	50367	(D)	117695	6577562	6499335	1632	3303	         (D)	8092	         (D)	59973	         (D)	147094	6352241	5760987	         (D)	         (D)	6053	7450	24291	         (D)	         (D)	125034	5635953	7126988	4520	         (D)	3764	6857	         (D)	36737	         (D)	113286	7013702
336111	5	rec.																																									113899507	78733	         (D)	58885	111443	         (D)	384499	         (D)	1732786	112166721
336112	5	firms	84	10	31	12	13	66	7	0	73	11	85	12	26	14	12	64	11	1	76	9	81	9	31	11	11	62	8	2	72	9	74	2	27	17	10	56	9	2	67	7	79	6	25	15	12	58	12	1	71	8
336112	5	estab.	108	10	31	12	13	66	7	0	73	35	111	12	26	14	12	64	11	1	76	35	107	9	31	11	11	62	8	2	72	35	100	2	27	17	10	56	9	2	67	33	101	6	25	15	12	58	12	1	71	30
336112	5	empl.	80882	         [a]	         [b]	         [b]	174	318	240	0	558	80324	94069	[a]	58	92	157	[e]	354	[e]	927	93142	98012	0	73	         [b]	158	         [e]	273	         [e]	930	97082	90392	         [a]	         [b]	105	152	325	         [e]	         [e]	965	89427	83744	         [a]	         [b]	97	154	         [e]	390	         [c]	935	82809
336112	5	ann. pay.	4663657	         (D)	         (D)	         (D)	4402	7998	6590	0	14588	4649069	6720455	(D)	1065	1750	4574	(D)	9139	(D)	21939	6698516	6687344	246	1645	         (D)	4211	         (D)	7658	         (D)	26796	6660548	5652142	         (D)	         (D)	2133	3934	17312	         (D)	         (D)	38915	5613227	5864538	         (D)	         (D)	2064	4326	         (D)	12844	         (D)	29124	5835414
336112	5	rec.																																									112740879	         (D)	         (D)	28077	51559	         (D)	121040	         (D)	286817	112454062
336120	5	firms	77	5	12	19	7	43	12	6	61	16	78	9	15	13	6	43	10	9	62	16	75	7	14	11	6	38	12	9	59	16	76	4	15	12	9	40	9	11	60	16	76	2	15	11	9	37	13	11	61	15
336120	5	estab.	87	5	12	19	7	43	12	7	62	25	89	9	15	13	6	43	10	10	63	26	86	7	14	11	6	38	12	10	60	26	89	4	15	12	9	40	9	12	61	28	87	2	15	11	9	37	13	12	62	25
336120	5	empl.	31429	         [a]	         [b]	         [c]	92	236	494	1028	1758	29671	33993	0	40	84	80	204	470	1589	2263	31730	35439	0	35	72	81	188	485	1918	2591	32848	27419	         [a]	         [b]	74	131	245	344	2153	2742	24677	20689	         [a]	         [b]	73	140	248	681	2501	3430	17259
336120	5	ann. pay.	1420477	         (D)	         (D)	         (D)	3253	9042	9615	32750	51407	1369070	1689896	2604	978	2228	2624	8434	13298	59188	80920	1608976	1637023	263	888	1898	2401	5450	13830	63748	83028	1553995	1193807	         (D)	         (D)	1929	4229	7670	8950	75132	91752	1102055	918950	         (D)	         (D)	2339	4100	7340	20866	83177	111383	807567
336120	5	rec.																																									10358703	         (D)	         (D)	26593	43152	         (D)	141858	772558	995266	9363437
336211	5	firms	746	40	129	131	128	428	220	62	710	36	759	53	134	122	138	447	211	61	719	40	743	43	134	112	141	430	205	64	699	44	728	32	141	109	133	415	219	50	684	44	669	30	116	104	142	392	193	42	627	42
336211	5	estab.	814	40	129	131	128	428	228	68	724	90	832	53	134	122	138	447	219	68	734	98	822	43	134	112	141	430	212	70	712	110	811	32	141	109	134	416	224	58	698	113	753	30	116	104	142	392	203	57	652	101
336211	5	empl.	44387	0	300	881	1759	2940	9396	9800	22136	22251	48322	0	305	838	1897	3040	9292	10630	22962	25360	51428	0	310	777	1919	3006	9152	11465	23623	27805	48089	0	323	744	1841	2908	9628	8899	21435	26654	39280	         [a]	         [e]	699	1953	2923	8240	6663	17826	21454
336211	5	ann. pay.	1397343	2455	6495	20936	43436	73322	264754	311579	649655	747688	1533537	19117	7150	20713	49835	96815	285325	308524	690664	842873	1630388	3307	7967	18366	50522	80162	273500	343768	697430	932958	1535467	2787	8149	18422	48899	78257	290766	285237	654260	881207	1359034	         (D)	         (D)	19743	58388	88545	267587	224960	581092	777942
336211	5	rec.																																									8561791	         (D)	         (D)	97950	309966	         (D)	1202760	1165929	2840156	5721635
336212	5	firms	374	30	69	65	56	220	90	41	351	23	350	17	63	60	64	204	81	39	324	26	352	23	63	55	57	198	86	40	324	28	349	20	68	63	53	204	91	30	325	24	355	20	73	74	48	215	95	26	336	19
336212	5	estab.	410	30	69	65	56	220	90	49	359	51	392	17	63	60	64	204	81	45	330	62	394	23	63	55	57	198	86	46	330	64	393	20	68	63	53	204	92	33	329	64	388	20	73	74	48	215	95	34	344	44
336212	5	empl.	32656	0	169	437	746	1352	4142	7394	12888	19768	35975	0	140	395	865	1400	3659	6032	11091	24884	38396	         [a]	         [c]	371	783	1291	3889	6648	11828	26568	28261	0	160	433	703	1296	4329	4969	10594	17667	22008	0	169	501	644	1314	4440	4867	10621	11387
336212	5	ann. pay.	953620	3049	4162	8924	17997	34132	116281	227421	377834	575786	1062708	3678	3280	8990	21515	37463	106348	193296	337107	725601	1063431	         (D)	         (D)	8109	20527	32911	107930	188490	329331	734100	783438	1495	3478	10466	18612	34051	121080	152148	307279	476159	711174	4040	9484	12845	20187	46556	136374	155166	338096	373078
336212	5	rec.																																									4004088	22746	100812	74999	105025	303582	672026	794681	1770289	2233799
336213	5	firms	71	5	11	12	11	39	11	9	59	12	74	8	14	9	11	42	7	12	61	13	78	5	13	12	14	44	11	10	65	13	78	5	22	12	8	47	11	10	68	10	66	2	19	8	9	38	11	9	58	8
336213	5	estab.	85	5	11	12	11	39	11	9	59	26	88	8	14	9	11	42	7	12	61	27	92	5	13	12	14	44	11	10	65	27	93	5	22	12	8	47	11	11	69	24	75	2	19	8	9	38	11	9	58	17
336213	5	empl.	18406	0	24	79	159	262	552	2070	2884	15522	20374	0	37	65	145	247	336	2661	3244	17130	20960	         [a]	         [b]	81	205	313	563	2417	3293	17667	18301	0	49	82	125	256	482	2211	2949	15352	16637	         [a]	         [b]	50	115	209	512	2306	3027	13610
336213	5	ann. pay.	573561	733	433	2160	3798	7124	15365	59472	81961	491600	680298	1272	707	1772	4008	7759	9180	82549	99488	580810	611659	         (D)	         (D)	1847	5661	9777	11530	71113	92420	519239	570598	229	1603	1913	4662	8407	12046	65227	85680	484918	619022	         (D)	         (D)	2673	6381	10248	16949	89478	116675	502347
336213	5	rec.																																									4641208	         (D)	         (D)	18581	32498	         (D)	111211	684543	855357	3785851
336214	5	firms	748	55	213	114	97	479	196	50	725	23	731	58	186	114	89	447	205	54	706	25	709	52	163	105	105	425	197	60	682	27	703	47	168	107	101	423	200	54	677	26	715	52	154	118	122	446	190	55	691	24
336214	5	estab.	807	55	213	114	97	479	201	64	744	63	791	58	186	114	89	447	212	66	725	66	773	52	163	105	105	425	200	73	698	75	765	47	168	107	101	423	203	65	691	74	785	52	154	118	122	446	194	71	711	74
336214	5	empl.	33238	0	497	767	1381	2645	7915	8103	18663	14575	36939	0	417	752	1225	2394	8199	9552	20145	16794	39677	0	334	696	1484	2514	8307	10984	21805	17872	38114	0	354	719	1378	2451	8454	10833	21738	16376	36485	0	373	792	1681	2846	7687	10624	21157	15328
336214	5	ann. pay.	891474	2973	10451	15792	29447	58663	200357	220000	479020	412454	1070206	5252	8929	15353	27638	57172	223313	279838	560323	509883	1154563	10334	6813	15541	32271	64959	217425	327885	610269	544294	1069733	2038	7149	15384	36578	61149	216693	300704	578546	491187	1175260	7978	10454	20430	39347	78209	215356	341740	635305	539955
336214	5	rec.																																									6028261	41668	50968	107198	185092	384926	1033859	1737615	3156400	2871861
336311	5	firms	123	5	31	16	20	72	23	10	105	18	122	3	26	24	16	69	20	13	102	20	114	0	25	22	14	61	22	10	93	21	116	5	20	23	16	64	23	10	97	19	106	8	24	17	16	65	18	7	90	16
336311	5	estab.	148	5	31	16	20	72	23	11	106	42	145	3	26	24	16	69	20	14	103	42	135	0	25	22	14	61	22	11	94	41	138	5	20	23	16	64	23	11	98	40	127	8	24	17	16	65	19	7	91	36
336311	5	empl.	18579	0	77	105	275	457	967	1913	3337	15242	18689	[a]	[b]	163	201	429	737	2013	3179	15510	20242	0	66	149	188	403	888	1640	2931	17311	18345	0	52	158	212	422	894	1596	2912	15433	14511	0	51	117	208	376	787	1060	2223	12288
336311	5	ann. pay.	754468	347	2644	2458	6631	12080	31566	52626	96272	658196	795126	(D)	(D)	5484	4572	12776	24908	62137	99821	695305	800294	0	2994	4343	5001	12338	31140	50343	93821	706473	803011	101	1409	4574	5179	11263	31541	47367	90171	712840	596319	6617	1909	3310	5521	17357	28900	28916	75173	521146
336311	5	rec.																																									3181629	23185	7947	15367	22914	69413	113540	82333	265286	2916343
336312	5	firms	823	53	321	148	91	613	92	56	761	62	783	32	298	150	91	571	94	56	721	62	767	53	277	129	87	546	103	59	708	59	764	48	291	129	85	553	97	54	704	60	777	43	324	131	82	580	90	53	723	54
336312	5	estab.	900	53	321	149	91	614	92	65	771	129	858	32	298	151	91	572	94	66	732	126	847	53	277	130	87	547	103	65	715	132	846	48	291	132	85	556	97	61	714	132	844	43	324	132	82	581	92	59	732	112
336312	5	empl.	85618	0	720	963	1245	2928	4060	10284	17272	68346	85159	[a]	[f]	994	1234	2878	4166	10586	17630	67529	85014	0	625	850	1165	2640	4497	11033	18170	66844	79837	0	658	827	1154	2639	4198	9730	16567	63270	65996	0	725	834	1120	2679	3867	9101	15647	50349
336312	5	ann. pay.	3736770	15208	14714	24404	31021	85347	118927	356163	560437	3176333	4207191	(D)	(D)	27895	31267	81284	129068	336950	547302	3659889	4376839	7090	14137	21095	34296	76618	151656	367287	595561	3781278	4113027	35083	14275	21714	32577	103649	144972	313500	562121	3550906	3509987	5022	17005	26421	32544	80992	146599	303166	530757	2979230
336312	5	rec.																																									29562583	44424	108438	145690	186610	485162	735582	1719170	2939914	26622669
336321	5	firms	97	5	22	12	9	48	21	9	78	19	100	6	24	8	9	47	22	9	78	22	99	3	23	10	9	45	25	8	78	21	92	4	22	5	10	41	20	10	71	21	91	2	21	9	9	41	22	8	71	20
336321	5	estab.	104	5	22	12	9	48	21	9	78	26	111	6	24	8	9	47	22	10	79	32	109	3	23	10	9	45	25	8	78	31	100	4	22	5	10	41	20	10	71	29	100	2	21	9	9	41	22	8	71	29
336321	5	empl.	16343	         [a]	         [b]	73	126	240	1062	1115	2417	13926	16780	[a]	[b]	52	127	235	1215	1111	2561	14219	16501	         [a]	         [b]	71	124	242	1321	1104	2667	13834	16126	0	49	34	134	217	1058	1280	2555	13571	13752	         [a]	         [b]	59	110	218	1019	1262	2499	11253
336321	5	ann. pay.	734136	         (D)	         (D)	1606	4259	8784	38269	33985	81038	653098	713562	(D)	(D)	1175	4442	11225	39508	32251	82984	630578	704320	         (D)	         (D)	1564	4519	7554	45552	33477	86583	617737	713806	275	1191	940	4167	6573	37517	39047	83137	630669	576547	         (D)	         (D)	1938	3471	7085	36561	39951	83597	492950
336321	5	rec.																																									3100943	         (D)	         (D)	9863	17596	         (D)	130867	199485	365969	2734974
336322	5	firms	942	59	229	144	101	533	230	81	844	98	918	44	255	127	95	521	210	88	819	99	887	44	231	124	100	499	202	91	792	95	859	32	228	116	101	477	205	79	761	98	751	26	206	91	99	422	175	73	670	81
336322	5	estab.	1031	59	229	144	101	533	231	92	856	175	998	44	255	127	95	521	210	104	835	163	963	44	231	124	100	499	202	107	808	155	934	32	228	116	101	477	206	95	778	156	822	26	206	91	99	422	178	89	689	133
336322	5	empl.	101786	         [a]	         [f]	948	1388	2839	9996	13535	26370	75416	95209	[a]	[f]	853	1286	2711	8891	14865	26467	68742	96530	         [a]	         [f]	828	1351	2709	8787	15256	26752	69778	88643	0	518	749	1338	2605	8735	13571	24911	63732	69682	         [a]	         [e]	590	1321	2384	7396	12762	22542	47140
336322	5	ann. pay.	3360028	         (D)	         (D)	23214	42763	80794	255993	303863	640650	2719378	3497130	(D)	(D)	23397	35960	84722	250318	375947	710987	2786143	3559673	         (D)	         (D)	45160	44767	111729	243604	397193	752526	2807147	3302806	2116	14291	21687	41608	79702	253294	357962	690958	2611848	2593148	         (D)	         (D)	17349	42045	73817	236454	352777	663048	1930100
336322	5	rec.																																									21036383	         (D)	         (D)	165306	213744	         (D)	1081757	1968151	3520672	17515711
336330	5	firms	179	11	36	27	21	95	31	20	146	33	177	8	34	26	25	93	31	20	144	33	171	6	34	25	23	88	32	18	138	33	168	6	34	23	26	89	30	15	134	34	185	12	40	20	28	100	33	18	151	34
336330	5	estab.	211	11	36	27	21	95	32	21	148	63	212	8	34	26	25	93	32	21	146	66	207	6	34	25	23	88	33	19	140	67	204	6	34	23	26	89	31	17	137	67	221	12	40	20	28	100	33	22	155	66
336330	5	empl.	48499	0	87	189	286	562	1171	5112	6845	41654	47467	0	91	171	326	588	1258	5456	7302	40165	50001	0	74	160	302	536	1314	5150	7000	43001	44251	0	81	145	334	560	1199	3754	5513	38738	36109	         [a]	         [b]	130	396	612	1361	4225	6198	29911
336330	5	ann. pay.	2294232	207	2072	6134	6868	15281	34391	165106	214778	2079454	2452249	699	2360	4041	8248	15348	41193	181206	237747	2214502	2390938	443	2054	4042	7039	13578	42220	163038	218836	2172102	2091211	880	2580	3386	9389	16235	39852	133397	189484	1901727	1788109	         (D)	         (D)	8475	11475	29031	48673	151341	229045	1559064
336330	5	rec.																																									10103427	         (D)	         (D)	72323	41780	         (D)	214578	900773	1264271	8839156
336340	5	firms	207	11	36	24	31	102	49	27	178	29	201	6	45	20	32	103	42	25	170	31	198	10	41	23	25	99	43	25	167	31	193	10	42	22	25	99	38	29	166	27	194	11	51	17	21	100	40	23	163	31
336340	5	estab.	282	11	36	24	31	102	51	32	185	97	278	6	45	20	32	103	43	30	176	102	266	10	41	23	25	99	44	31	174	92	260	10	42	22	25	99	39	35	173	87	253	11	51	17	21	100	41	29	170	83
336340	5	empl.	41357	0	92	149	405	646	2181	4796	7623	33734	43812	0	108	130	432	670	1779	4635	7084	36728	43115	0	100	156	345	601	1859	4379	6839	36276	39484	0	103	144	383	630	1731	4824	7185	32299	36478	0	121	103	280	504	1897	3523	5924	30554
336340	5	ann. pay.	1478517	1212	2147	3317	9153	15829	63940	139004	218773	1259744	1675180	1221	3102	3253	13978	21554	56059	129241	206854	1468326	1584230	286	3133	4086	9820	17325	65240	119126	201691	1382539	1477891	4119	4021	3624	10870	22634	54305	130095	207034	1270857	1394536	2699	5489	3777	7282	19247	61836	108547	189630	1204906
336340	5	rec.																																									12523497	26151	35173	23001	42270	126595	387408	524302	1038305	11485192
336350	5	firms	453	36	126	65	53	280	71	43	394	59	431	27	109	68	51	255	80	38	373	58	411	24	110	54	51	239	77	40	356	55	410	21	109	64	52	246	69	40	355	55	413	20	120	66	51	257	67	40	364	49
336350	5	estab.	550	36	126	65	53	280	73	49	402	148	532	27	110	68	51	256	82	45	383	149	509	24	110	54	52	240	78	44	362	147	507	21	109	64	52	246	71	45	362	145	513	20	120	66	52	258	70	45	373	140
336350	5	empl.	115906	0	294	427	751	1472	2914	6148	10534	105372	113184	0	252	434	677	1363	3410	5462	10235	102949	118268	0	278	351	699	1328	3101	6188	10617	107651	105316	0	271	420	724	1415	2899	6145	10459	94857	92395	0	291	442	700	1433	2812	6451	10696	81699
336350	5	ann. pay.	6013521	6507	6501	10448	19616	43072	86244	189267	318583	5694938	6450096	687	6096	11249	17378	35410	99246	175724	310380	6139716	6684394	1735	7220	10565	26600	46120	93245	205292	344657	6339737	5889799	2018	7583	11589	21790	42980	83264	218669	344913	5544886	5353543	1624	7711	13287	22774	45396	98056	240174	383626	4969917
336350	5	rec.																																									34296275	14508	39617	63148	112367	229640	548680	1527297	2305617	31990658
336360	5	firms	276	23	64	34	26	147	62	32	241	35	259	22	56	34	25	137	56	33	226	33	242	16	50	34	25	125	58	28	211	31	247	15	53	38	24	130	61	28	219	28	245	22	45	37	28	132	58	30	220	25
336360	5	estab.	366	23	64	34	27	148	63	44	255	111	350	22	56	34	25	137	57	40	234	116	335	16	50	34	25	125	58	36	219	116	338	15	53	38	24	130	61	37	228	110	332	22	45	37	28	132	58	35	225	107
336360	5	empl.	46977	0	148	217	352	717	2356	6229	9302	37675	50847	0	152	222	328	702	2240	6583	9525	41322	53783	0	117	210	348	675	2231	5846	8752	45031	50433	0	130	254	333	717	2320	5699	8736	41697	47931	0	108	246	359	713	2171	6003	8887	39044
336360	5	ann. pay.	1687217	1037	2309	4790	7290	15426	51146	166194	232766	1454451	1861304	978	3490	4737	7116	16321	48165	177081	241567	1619737	1959934	3917	2660	4375	9480	20432	57584	162257	240273	1719661	1774288	2536	2704	5691	9422	20353	86044	164911	271308	1502980	1871255	12047	2432	6286	10120	30885	66030	186670	283585	1587670
336360	5	rec.																																									17773782	174164	16589	91277	60965	342995	366385	1016293	1725673	16048109
336370	5	firms	638	15	56	45	75	191	226	141	558	80	635	25	53	49	72	199	220	132	551	84	612	13	48	46	69	176	220	133	529	83	603	15	59	48	70	192	206	126	524	79	584	21	49	56	62	188	201	118	507	77
336370	5	estab.	789	15	56	45	75	191	232	169	592	197	784	25	53	49	73	200	225	155	580	204	754	13	48	46	70	177	224	167	568	186	740	15	60	48	70	193	210	153	556	184	719	21	49	56	64	190	206	144	540	179
336370	5	empl.	126060	0	135	306	1083	1524	10133	26673	38330	87730	127248	0	116	326	1032	1474	10321	24892	36687	90561	129416	0	109	309	984	1402	10369	26700	38471	90945	115931	0	135	327	1060	1522	9545	24062	35129	80802	111908	         [a]	         [c]	394	934	1433	8846	23252	33531	78377
336370	5	ann. pay.	5549720	3196	3683	8321	36042	51242	369956	878221	1299419	4250301	6233803	5546	3330	11391	38440	58707	396598	894823	1350128	4883675	6282397	1414	3021	9018	35012	48465	393751	962096	1404312	4878085	5304947	9805	4925	9392	37151	61273	360778	812668	1234719	4070228	5379524	         (D)	         (D)	13961	34536	55280	359989	872185	1287454	4092070
336370	5	rec.																																									24428350	         (D)	         (D)	78857	144440	         (D)	1499474	4170964	5930308	18498042
336391	5	firms	59	2	8	8	6	24	14	4	42	17	66	5	8	10	7	30	13	5	48	18	64	0	13	7	8	28	15	5	48	16	64	1	7	9	12	29	13	7	49	15	65	2	10	11	12	35	15	7	57	8
336391	5	estab.	62	2	8	8	6	24	14	4	42	20	70	5	8	10	7	30	13	5	48	22	69	0	13	7	8	28	15	6	49	20	69	1	7	9	12	29	13	7	49	20	72	2	10	11	13	36	17	8	61	11
336391	5	empl.	22168	         [a]	         [a]	47	82	147	550	681	1378	20790	22210	0	22	65	95	182	561	951	1694	20516	21894	0	34	42	107	183	596	1018	1797	20097	19406	         [a]	         [b]	56	155	231	558	1236	2025	17381	12985	         [a]	         [b]	71	152	248	771	1019	2038	10947
336391	5	ann. pay.	1017781	         (D)	         (D)	1041	2153	4159	15743	25765	45667	972114	1224513	245	463	1504	2755	4967	15038	31221	51226	1173287	1099536	0	524	1263	2700	4487	17309	34355	56151	1043385	990743	         (D)	         (D)	1753	5193	9450	15402	38972	63824	926919	710555	         (D)	         (D)	2218	4252	7208	23159	36470	66837	643718
336391	5	rec.																																									3396145	         (D)	         (D)	6953	24047	         (D)	96412	151884	282667	3113478
336399	5	firms	1233	79	252	157	143	631	309	145	1085	148	1210	63	258	161	147	629	304	142	1075	135	1163	45	254	156	146	601	290	133	1024	139	1133	61	246	163	136	606	270	119	995	138	1145	62	229	173	148	612	246	134	992	153
336399	5	estab.	1490	79	252	157	143	631	334	173	1138	352	1478	68	258	161	148	635	325	164	1124	354	1427	45	254	156	151	606	308	150	1064	363	1390	61	246	164	138	609	276	143	1028	362	1434	63	229	173	150	615	260	165	1040	394
336399	5	empl.	178168	         [a]	         [f]	1056	1984	3625	13044	26772	43441	134727	173918	0	583	1085	2083	3751	13269	26673	43693	130225	177427	0	577	1068	1960	3605	12932	25716	42253	135174	161895	         [a]	         [f]	1098	1874	3511	12182	21402	37095	124800	155355	         [a]	         [f]	1204	2151	3878	10927	22783	37588	117767
336399	5	ann. pay.	6097950	         (D)	         (D)	24407	58340	105561	371707	814818	1292086	4805864	6319241	8147	16204	27094	64356	115801	403135	827920	1346856	4972385	6548513	2493	14410	29692	62660	109255	384506	798794	1292555	5255958	5926573	         (D)	         (D)	30171	59115	117359	368996	667629	1153984	4772589	5960123	         (D)	         (D)	38515	71242	136628	344660	778941	1260229	4699894
336399	5	rec.																																									44560019	         (D)	         (D)	203196	393869	         (D)	1659513	4597217	7078773	37481246
336411	5	firms	191	24	45	29	15	113	35	14	162	29	193	18	52	31	19	120	27	20	167	26	211	30	60	31	16	137	27	20	184	27	229	29	57	41	23	150	30	22	202	27	243	23	89	32	22	166	33	18	217	26
336411	5	estab.	228	24	45	29	15	113	35	14	162	66	229	18	52	31	19	120	27	20	167	62	244	31	60	31	16	138	27	20	185	59	259	29	57	41	23	150	31	23	204	55	273	23	89	32	22	166	33	19	218	55
336411	5	empl.	216145	         [a]	         [c]	182	190	480	1832	1565	3877	212268	215746	0	109	200	256	565	1215	2866	4646	211100	177589	0	150	206	218	574	1243	2878	4695	172894	182564	0	129	256	313	698	1342	3166	5206	177358	152438	0	199	207	296	702	1504	2714	4920	147518
336411	5	ann. pay.	11337190	         (D)	         (D)	4703	5755	16671	58976	70602	146249	11190941	11834721	8461	2912	4824	8196	24393	40407	102037	166837	11667884	9692195	12047	5036	6212	7899	31194	42843	110572	184609	9507586	10368403	3027	3737	7970	9490	24224	52814	127697	204735	10163668	9152278	13150	5840	6015	11084	36089	56040	112775	204904	8947374
336411	5	rec.																																									63239105	46799	31006	24525	60475	162805	308274	408238	879317	62359788
336412	5	firms	269	19	34	30	26	109	64	61	234	35	272	18	33	31	26	108	65	60	233	39	259	8	38	28	27	101	66	54	221	38	268	12	38	32	23	105	69	53	227	41	270	9	46	37	25	117	61	52	230	40
336412	5	estab.	371	19	34	30	26	109	67	68	244	127	382	18	33	31	26	108	68	74	250	132	388	8	38	28	27	101	69	61	231	157	392	12	38	32	23	105	71	62	238	154	392	9	46	37	25	117	63	60	240	152
336412	5	empl.	85360	         [a]	         [b]	210	370	656	3210	9613	13479	71881	88284	[a]	[b]	209	359	636	3124	9661	13421	74863	84173	0	74	198	378	650	3353	8426	12429	71744	80242	         [a]	         [b]	229	324	631	3297	8143	12071	68171	73979	         [a]	         [b]	263	347	698	2946	7833	11477	62502
336412	5	ann. pay.	4345250	         (D)	         (D)	7311	16938	34468	134110	379487	548065	3797185	4728233	(D)	(D)	6780	15441	29071	128782	388639	546492	4181741	4678962	827	2227	6569	15516	25139	147469	343635	516243	4162719	4882217	         (D)	         (D)	8174	14038	25231	154414	333490	513135	4369082	4233223	         (D)	         (D)	9332	15092	29343	125197	320411	474951	3758272
336412	5	rec.																																									23973286	         (D)	         (D)	41431	60686	         (D)	460785	1131314	1717719	22255567
336413	5	firms	1034	70	251	154	171	646	258	59	963	71	1033	75	255	162	164	656	241	64	961	72	1003	59	247	169	164	639	237	63	939	64	962	54	216	167	153	590	247	58	895	67	771	41	121	117	159	438	217	54	709	62
336413	5	estab.	1130	70	251	154	171	646	261	63	970	160	1134	75	255	162	164	656	244	66	966	168	1106	59	247	169	164	639	239	66	944	162	1058	54	216	167	153	590	249	64	903	155	868	41	121	117	159	438	220	61	719	149
336413	5	empl.	137369	0	571	1021	2338	3930	10500	10169	24599	112770	130163	0	589	1083	2237	3909	9696	10456	24061	106102	114862	0	554	1161	2214	3929	9317	9586	22832	92030	118205	0	482	1149	2097	3728	9785	10027	23540	94665	103119	0	306	825	2184	3315	8941	9007	21263	81856
336413	5	ann. pay.	6343477	15760	19687	30932	79471	145850	387868	407847	941565	5401912	6119828	10762	21441	36744	71194	140141	354700	418742	913583	5206245	5904951	7080	19371	35818	74513	136782	359528	422134	918444	4986507	6169999	7712	16720	35475	77448	137355	384636	443170	965161	5204838	5453695	4628	12477	28552	86674	132331	370900	379657	882888	4570807
336413	5	rec.																																									21156031	19021	44433	94232	279185	436871	1167308	1295968	2900147	18255884
336414	5	firms	13	1	1	0	2	4	1	2	7	6	12	0	1	0	2	3	1	1	5	7	11	0	1	0	2	3	0	1	4	7	12	1	2	0	1	4	0	1	5	7	10	0	2	0	1	3	0	0	3	7
336414	5	estab.	22	1	1	0	2	4	1	2	7	15	21	0	1	0	2	3	1	1	5	16	17	0	1	0	2	3	0	1	4	13	18	1	2	0	1	4	0	1	5	13	15	0	2	0	1	3	0	0	3	12
336414	5	empl.	55415	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [b]	         [b]	         [e]	         [e]	         [l]	50398	0	[a]	0	[b]	[b]	[b]	[c]	180	50218	47500	0	         [a]	0	         [b]	         [b]	0	         [b]	120	47380	47207	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [c]	         [k]	41731	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [k]
336414	5	ann. pay.	3496383	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3604475	0	(D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	12217	3592258	3429887	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	7864	3422023	3460606	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	3159505	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)
336414	5	rec.																																									11638733	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)
336415	5	firms	20	0	2	2	1	5	4	0	9	11	20	0	1	2	0	3	5	0	8	12	15	0	0	2	2	4	2	0	6	9	17	0	2	2	1	5	3	0	8	9	15	0	2	1	4	7	1	0	8	7
336415	5	estab.	29	0	2	2	1	5	4	0	9	20	29	0	1	2	0	3	6	0	9	20	22	0	0	2	2	4	2	0	6	16	24	0	2	2	1	5	3	0	8	16	23	0	2	1	4	7	1	0	8	15
336415	5	empl.	18780	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	0	126	18654	18533	0	[a]	[a]	0	[a]	[c]	0	169	18364	15515	0	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	0	96	15419	15405	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	77	0	         [c]	         [j]	13616	0	         [a]	         [a]	55	         [b]	         [b]	0	         [c]	         [j]
336415	5	ann. pay.	1078605	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	7718	1070887	1104349	0	(D)	(D)	0	(D)	(D)	0	8794	1095555	988794	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	3690	985104	1007405	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2894	0	         (D)	         (D)	915942	0	         (D)	         (D)	3496	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)
336415	5	rec.																																									2439105	0	         (D)	         (D)	5407	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)
336419	5	firms	44	2	7	8	7	24	11	2	37	7	47	1	8	7	6	22	12	2	36	11	43	0	5	9	6	20	10	2	32	11	38	0	5	7	6	18	8	2	28	10	43	2	9	6	6	23	7	3	33	10
336419	5	estab.	47	2	7	8	7	24	11	2	37	10	50	1	8	7	6	22	12	2	36	14	46	0	5	9	6	20	10	2	32	14	41	0	5	7	6	18	8	2	28	13	48	2	9	6	6	23	7	3	33	15
336419	5	empl.	5812	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	         [c]	         [f]	         [h]	6447	[a]	[a]	[b]	[b]	[c]	404	[c]	761	5686	6604	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [c]	753	5851	5760	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	354	         [c]	         [f]	         [i]	6390	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	326	781	5609
336419	5	ann. pay.	271889	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	326445	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	14610	(D)	28982	297463	331582	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	27750	303832	316219	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20763	         (D)	         (D)	         (D)	335427	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	16137	38432	296995
336419	5	rec.																																									2000222	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	59770	116301	1883921
336510	5	firms	176	11	24	15	22	72	49	26	147	29	174	11	23	17	26	77	45	23	145	29	159	10	17	18	27	72	39	23	134	25	153	12	17	20	16	65	40	23	128	25	143	8	18	14	21	61	37	21	119	24
336510	5	estab.	237	11	24	15	22	72	52	34	158	79	241	11	23	17	26	77	48	30	155	86	227	10	17	18	27	72	44	29	145	82	218	12	17	20	16	65	44	28	137	81	197	8	18	14	21	61	38	29	128	69
336510	5	empl.	37676	         [a]	         [b]	108	289	449	2111	3648	6208	31468	38815	0	54	118	352	524	2114	3124	5762	33053	38724	0	39	109	383	531	1998	3375	5904	32820	35423	         [a]	         [b]	142	240	423	1897	3483	5803	29620	28199	0	40	95	292	427	1623	3024	5074	23125
336510	5	ann. pay.	1522233	         (D)	         (D)	3203	8772	15374	77741	138741	231856	1290377	1612483	1036	1598	3557	13971	20162	76794	116320	213276	1399207	1633472	3604	2176	3159	11074	20013	74603	125588	220204	1413268	1486943	         (D)	         (D)	4035	7006	24715	69008	126076	219799	1267144	1277714	265	1607	3265	11515	16652	70907	117790	205349	1072365
336510	5	rec.																																									8307047	1703	9234	18002	54546	83485	306427	434333	824245	7482802
336611	5	firms	651	54	153	97	95	399	148	65	612	39	631	47	176	91	97	411	128	56	595	36	622	45	169	91	91	396	131	60	587	35	613	45	166	95	85	391	130	60	581	32	560	42	151	88	69	350	122	61	533	27
336611	5	estab.	699	54	153	97	95	399	151	75	625	74	681	47	176	91	97	411	131	63	605	76	682	45	169	91	91	396	133	74	603	79	675	45	166	95	85	391	135	76	602	73	623	42	151	88	69	350	129	78	557	66
336611	5	empl.	97472	         [a]	         [e]	656	1289	2294	6691	12048	21033	76439	96374	0	381	602	1311	2294	6029	10778	19101	77273	92685	0	363	612	1215	2190	5912	10939	19041	73644	88578	0	349	652	1189	2190	6100	10092	18382	70196	86361	0	315	613	924	1852	5173	10805	17830	68531
336611	5	ann. pay.	3529875	         (D)	         (D)	18580	41387	76487	214396	376194	667077	2862798	3420621	3578	11784	16762	45946	78070	201650	327472	607192	2813429	3484032	5825	12234	15566	42508	76133	183980	393526	653639	2830393	3718951	3466	12086	18115	42747	76414	231779	375700	683893	3035058	3726103	7307	11717	20953	31332	71309	197832	431588	700729	3025374
336611	5	rec.																																									13445997	25124	41562	76713	102875	246274	837214	1377593	2461081	10984916
336612	5	firms	1080	131	318	190	157	796	204	61	1061	19	1037	132	305	177	152	766	184	66	1016	21	1018	100	304	167	165	736	189	70	995	23	1075	108	342	181	161	792	193	70	1055	20	1055	104	339	187	153	783	193	63	1039	16
336612	5	estab.	1136	131	318	190	158	797	205	70	1072	64	1098	132	305	177	154	768	184	72	1024	74	1081	100	304	167	166	737	190	76	1003	78	1140	108	342	181	162	793	194	80	1067	73	1113	104	339	187	154	784	195	73	1052	61
336612	5	empl.	45212	         [a]	         [f]	1300	2139	4145	8921	11175	24241	20971	48691	0	671	1196	2085	3952	7992	12140	24084	24607	54284	0	681	1125	2270	4076	8237	13515	25828	28456	50384	0	749	1171	2244	4164	8410	13459	26033	24351	44931	0	704	1204	2070	3978	8381	12553	24912	20019
336612	5	ann. pay.	1231977	         (D)	         (D)	28447	49171	104957	215594	324596	645147	586830	1383784	12573	15334	26527	54228	108662	217916	354885	681463	702321	1560238	3444	16164	25141	55020	99769	231072	390081	720922	839316	1375135	5683	17835	26953	55245	105716	231067	377879	714662	660473	1385605	12052	17228	30036	60180	119496	250595	402023	772114	613491
336612	5	rec.																																									7669426	89950	112833	150992	263719	617494	1110005	2231473	3958972	3710454
336991	5	firms	380	43	129	67	51	290	62	15	367	13	393	50	121	71	56	298	64	16	378	15	403	54	123	71	55	303	69	16	388	15	383	35	127	72	49	283	69	21	373	10	346	45	110	57	49	261	60	15	336	10
336991	5	estab.	391	43	129	67	51	290	64	16	370	21	402	50	121	71	56	298	65	18	381	21	410	54	123	71	55	303	70	16	389	21	390	35	128	72	49	284	69	22	375	15	355	45	110	58	49	262	60	18	340	15
336991	5	empl.	16986	         [a]	295	         [e]	691	1454	2634	1841	5929	11057	16193	0	275	468	763	1506	2792	2694	6992	9201	15008	0	250	460	753	1463	2941	2689	7093	7915	14960	0	280	492	671	1443	2871	3461	7775	7185	14202	0	250	383	693	1326	2571	2385	6282	7920
336991	5	ann. pay.	605704	         (D)	7029	         (D)	16618	36824	77559	55443	169826	435878	630894	2771	5870	11299	21089	41029	80688	94775	216492	414402	622046	3309	4671	11398	22662	42040	90083	87052	219175	402871	658317	1193	7265	12098	20458	41014	80625	123216	244855	413462	616227	6475	6531	11497	19279	43782	89629	100064	233475	382752
336991	5	rec.																																									4799448	38843	36289	60860	94029	230021	361395	515088	1106504	3692944
336992	5	firms	45	6	9	5	6	26	9	4	39	6	43	1	8	7	6	22	12	3	37	6	45	6	8	4	8	26	8	3	37	8	40	1	8	4	8	21	8	2	31	9	33	1	5	4	5	15	6	3	24	9
336992	5	estab.	52	6	9	5	6	26	9	4	39	13	52	1	8	7	6	22	13	4	39	13	53	6	8	4	8	26	9	3	38	15	48	1	8	4	8	21	9	2	32	16	39	1	5	4	5	15	7	3	25	14
336992	5	empl.	7481	         [a]	20	         [b]	85	142	347	549	1038	6443	5840	[a]	[a]	48	80	144	550	528	1222	4618	6096	0	18	27	122	167	396	370	933	5163	5804	         [a]	         [a]	23	110	         [c]	348	         [e]	774	5030	5403	         [a]	         [a]	26	73	111	170	322	603	4800
336992	5	ann. pay.	395513	         (D)	438	         (D)	3199	7209	16935	21327	45471	350042	295152	(D)	(D)	1100	3389	4897	20576	22220	47693	247459	308795	321	239	897	4488	5945	17673	13123	36741	272054	308578	         (D)	         (D)	522	3370	         (D)	12640	         (D)	31282	277296	307920	         (D)	         (D)	1105	2657	4266	8398	16367	29031	278889
336992	5	rec.																																									1871367	         (D)	         (D)	3403	9065	         (D)	28946	79091	124799	1746568
336999	5	firms	376	30	84	61	64	239	89	26	354	22	368	32	87	60	57	236	87	24	347	21	360	31	85	53	54	223	93	25	341	19	347	15	94	56	55	220	85	23	328	19	403	44	126	58	52	280	79	23	382	21
336999	5	estab.	400	30	84	61	64	239	99	28	366	34	386	32	87	60	57	236	90	26	352	34	378	31	85	53	54	223	96	27	346	32	366	15	94	56	55	220	88	25	333	33	423	44	126	58	52	280	84	25	389	34
336999	5	empl.	22007	0	187	425	845	1457	3667	3786	8910	13097	20682	[a]	[c]	407	782	1384	3399	3717	8500	12182	21525	0	196	355	749	1300	3703	3925	8928	12597	21349	         [a]	         [c]	376	779	         [g]	3308	         [h]	7789	13560	19940	         [a]	         [e]	379	695	1368	2990	2871	7229	12711
336999	5	ann. pay.	663148	2304	4814	11735	21426	40279	107597	96439	244315	418833	666245	(D)	(D)	9240	18993	35172	105243	106387	246802	419443	721967	801	4244	8431	20977	34453	115588	112745	262786	459181	732844	         (D)	         (D)	9516	21629	         (D)	107555	         (D)	235116	497728	699222	         (D)	         (D)	9446	20688	40912	102917	90067	233896	465326
336999	5	rec.																																									7264154	         (D)	         (D)	56981	107421	         (D)	526274	435572	1187497	6076657
337110	5	firms	7797	618	3465	1760	1109	6952	723	98	7773	24	7633	567	3337	1727	1105	6736	766	104	7606	27	7475	550	3154	1694	1123	6521	809	117	7447	28	8071	588	3410	1802	1252	7052	880	112	8044	27	9560	711	4455	2086	1312	8564	858	110	9532	28
337110	5	estab.	7904	618	3466	1760	1111	6955	748	118	7821	83	7749	567	3338	1727	1108	6740	789	126	7655	94	7585	551	3155	1694	1127	6527	817	141	7485	100	8176	588	3410	1803	1256	7057	890	130	8077	99	9670	711	4456	2087	1317	8571	869	124	9564	106
337110	5	empl.	101442	0	7729	11550	14858	34137	26980	15975	77092	24350	110070	0	7478	11421	14853	33752	28401	17419	79572	30498	116420	0	7152	11189	15175	33516	30328	20361	84205	32215	122015	0	7728	12013	16869	36610	32681	19972	89263	32752	127541	0	10036	13732	17567	41335	31690	18889	91914	35627
337110	5	ann. pay.	2582130	54432	151572	247961	350628	804593	700515	417810	1922918	659212	2882244	20745	156005	255010	365515	797275	779487	478657	2055419	826825	3122805	23844	152802	256872	382962	816480	850976	567633	2235089	887716	3370054	28456	175475	287768	443001	934700	950791	571548	2457039	913015	3656587	26256	227720	342557	485679	1082212	949449	570177	2601838	1054749
337110	5	rec.																																									14688148	100114	779398	1106399	1535485	3521396	2916730	2284004	8722130	5966018
337121	5	firms	1590	134	547	282	213	1176	278	101	1555	35	1524	103	542	270	191	1106	278	107	1491	33	1473	93	505	261	208	1067	252	117	1436	37	1445	104	502	256	197	1059	245	103	1407	38	1473	92	515	274	210	1091	246	98	1435	38
337121	5	estab.	1749	134	548	285	216	1183	295	128	1606	143	1675	103	544	273	193	1113	296	136	1545	130	1621	93	506	264	212	1075	268	143	1486	135	1585	104	503	259	202	1068	262	126	1456	129	1630	92	517	277	220	1106	264	131	1501	129
337121	5	empl.	89513	0	1249	1871	2831	5951	12702	19728	38381	51132	89958	0	1205	1811	2574	5590	12493	21544	39627	50331	93209	0	1090	1727	2879	5696	11606	22269	39571	53638	87444	0	1101	1720	2713	5534	11258	19803	36595	50849	84748	0	1167	1825	2784	5776	10977	18473	35226	49522
337121	5	ann. pay.	2128442	9171	24973	33749	59718	127611	263082	464753	855446	1272996	2254557	17841	24276	34577	58859	135553	275305	520437	931295	1323262	2359297	4729	22366	34348	64608	126051	260287	538995	925333	1433964	2196891	7756	23161	35327	57778	124022	257506	483654	865182	1331709	2249186	9036	25788	39103	68437	142364	266862	478140	887366	1361820
337121	5	rec.																																									9913758	66097	117387	164649	250742	598875	1017083	2191224	3807182	6106576
337122	5	firms	3696	422	1585	617	424	3048	444	144	3636	60	3674	432	1547	595	447	3021	460	134	3615	59	3673	384	1559	610	466	3019	462	131	3612	61	3776	396	1656	629	474	3155	444	122	3721	55	3985	400	1802	732	472	3406	418	110	3934	51
337122	5	estab.	3889	422	1586	619	428	3055	473	162	3690	199	3839	432	1547	598	450	3027	486	149	3662	177	3826	384	1560	612	467	3023	482	144	3649	177	3913	396	1657	630	476	3159	457	141	3757	156	4112	400	1802	736	478	3416	436	126	3978	134
337122	5	empl.	128128	0	3407	4093	5688	13188	18416	24743	56347	71781	131832	0	3285	3941	5964	13190	19413	22256	54859	76973	133247	0	3353	3988	6196	13537	19330	21733	54600	78647	123706	0	3453	4149	6348	13950	18431	20468	52849	70857	110045	0	3817	4840	6273	14930	17427	18434	50791	59254
337122	5	ann. pay.	2901639	15170	58632	74410	111533	259745	381521	527438	1168704	1732935	3085186	18976	60928	71338	122477	273719	428082	496512	1198313	1886873	3132418	10824	63530	75131	131565	281050	436317	494229	1211596	1920822	2872567	15701	67994	85748	137242	306685	419583	464637	1190905	1681662	2745375	12613	75357	105705	140969	334644	426217	441480	1202341	1543034
337122	5	rec.																																									11707560	51016	342219	401718	504883	1299836	1676047	1872031	4847914	6859646
337124	5	firms	375	19	104	66	60	249	77	27	353	22	378	36	97	54	63	250	81	27	358	20	375	28	105	57	59	249	78	28	355	20	387	27	109	63	63	262	80	29	371	16	364	35	98	62	50	245	74	30	349	15
337124	5	estab.	407	19	104	66	60	249	80	32	361	46	411	36	97	54	63	250	84	34	368	43	407	28	105	57	59	249	80	34	363	44	419	27	109	63	63	262	82	35	379	40	394	35	98	62	50	245	76	37	358	36
337124	5	empl.	23281	0	231	448	812	1491	3250	4980	9721	13560	23074	0	233	365	864	1462	3444	5472	10378	12696	23807	0	250	392	831	1473	3552	5405	10430	13377	23388	0	254	418	824	1496	3719	6208	11423	11965	19889	0	215	422	652	1289	3126	5864	10279	9610
337124	5	ann. pay.	541425	3324	4165	10010	17870	35369	81285	131774	248428	292997	555931	10529	4288	7868	21182	43867	88042	137685	269594	286337	579269	1077	5086	8960	20426	35549	90420	138710	264679	314590	564478	1877	5048	9109	19474	35508	94295	149983	279786	284692	530367	3961	4876	8339	18023	35199	83143	162581	280923	249444
337124	5	rec.																																									2917746	18285	24497	33098	89908	165788	315481	655219	1136488	1781258
337125	5	firms	207	30	75	36	23	164	27	7	198	9	204	22	73	33	25	153	32	10	195	9	217	19	81	35	28	163	36	8	207	10	212	16	81	40	21	158	38	8	204	8	195	20	74	27	24	145	35	8	188	7
337125	5	estab.	211	30	75	36	23	164	28	8	200	11	209	22	73	33	25	153	34	11	198	11	220	19	81	35	28	163	38	9	210	10	214	16	81	40	21	158	39	9	206	8	197	20	74	27	24	145	36	9	190	7
337125	5	empl.	4272	0	151	248	324	723	1011	1100	2834	1438	4707	0	136	221	338	695	1072	1272	3039	1668	5006	0	149	230	391	770	1586	1449	3805	1201	4464	0	166	272	305	743	1638	1213	3594	870	3947	0	147	189	306	642	1414	943	2999	948
337125	5	ann. pay.	104439	1658	2344	4643	7272	15917	21132	28784	65833	38606	115263	652	2050	4769	8469	15940	22401	34876	73217	42046	121190	920	2203	4525	10976	18624	33497	35834	87955	33235	104568	632	3478	5837	6014	15961	35562	27899	79422	25146	101089	369	3193	4509	6137	14208	32704	26828	73740	27349
337125	5	rec.																																									529281	2264	16449	19067	25082	62862	142060	191533	396455	132826
337127	5	firms	956	88	229	150	145	612	241	74	927	29	955	65	232	156	151	604	250	69	923	32	894	60	222	135	138	555	233	77	865	29	881	56	217	148	129	550	232	67	849	32	739	32	144	138	126	440	203	68	711	28
337127	5	estab.	986	88	229	150	147	614	242	86	942	44	987	65	232	156	153	606	250	80	936	51	925	60	222	135	139	556	234	88	878	47	912	56	217	149	129	551	233	79	863	49	771	32	144	138	128	442	206	82	730	41
337127	5	empl.	36262	0	538	1012	1982	3532	10366	11758	25656	10606	40136	0	514	1037	2099	3650	10970	11901	26521	13615	39243	0	492	898	1915	3305	10183	12649	26137	13106	36978	0	489	1008	1808	3305	9986	11358	24649	12329	33833	0	314	918	1764	2996	8801	11139	22936	10897
337127	5	ann. pay.	1022633	4567	10551	22336	50096	87550	284102	349621	721273	301360	1149284	1746	10701	23659	56279	92385	309110	361286	762781	386503	1190350	1879	11509	21854	54943	90185	295584	397115	782884	407466	1127653	7952	10888	23559	48795	91194	288890	353842	733926	393727	1085180	1364	9478	25044	54275	90161	272226	376935	739322	345858
337127	5	rec.																																									4693328	6410	41445	95744	188359	331958	1062269	1569889	2964116	1729212
337129	5	firms	105	13	33	15	19	80	18	4	102	3	107	8	34	25	12	79	19	5	103	4	100	7	36	15	16	74	17	4	95	5	152	26	63	22	15	126	17	4	147	5	189	28	98	23	22	171	11	3	185	4
337129	5	estab.	105	13	33	15	19	80	18	4	102	3	107	8	34	25	12	79	19	5	103	4	100	7	36	15	16	74	17	4	95	5	152	26	63	22	15	126	17	4	147	5	189	28	98	23	22	171	11	3	185	4
337129	5	empl.	3420	0	73	96	247	416	835	786	2037	1383	3824	0	61	167	156	384	712	1061	2157	1667	3641	0	67	104	208	379	589	1068	2036	1605	3546	0	134	147	200	481	526	902	1909	1637	2762	0	209	145	300	654	331	491	1476	1286
337129	5	ann. pay.	71977	635	1409	1627	5010	8681	16393	16014	41088	30889	81800	754	1182	2842	3926	8704	14483	22067	45254	36546	87525	836	1721	2048	4549	9154	13265	19283	41702	45823	93368	852	3195	2626	4072	10745	13222	19146	43113	50255	76900	715	4299	3096	7393	15503	8042	14203	37748	39152
337129	5	rec.																																									304515	2555	17013	11204	27362	58134	54770	40782	153686	150829
337211	5	firms	622	48	178	102	72	400	163	40	603	19	596	26	171	108	69	374	160	40	574	22	562	30	153	89	77	349	154	39	542	20	572	20	149	95	81	345	167	40	552	20	585	32	155	95	94	376	154	35	565	20
337211	5	estab.	658	48	178	102	72	400	166	44	610	48	632	26	171	108	69	374	163	46	583	49	596	30	153	89	77	349	155	46	550	46	603	20	149	95	81	345	169	44	558	45	610	32	155	95	94	376	157	37	570	40
337211	5	empl.	29880	0	427	671	997	2095	7691	6476	16262	13618	30118	0	386	713	975	2074	7344	5547	14965	15153	30029	0	329	576	1072	1977	7274	6120	15371	14658	29255	0	310	651	1107	2068	7506	6373	15947	13308	25597	0	360	650	1324	2334	6809	5385	14528	11069
337211	5	ann. pay.	834296	1821	9530	15151	27817	54319	209587	170816	434722	399574	849286	1431	9145	16299	28417	55292	204437	152322	412051	437235	911681	1935	7199	13315	31257	53706	214986	177180	445872	465809	844918	1330	7334	15675	29096	53435	222029	168083	443547	401371	769162	3014	11226	17199	37790	69229	214123	154727	438079	331083
337211	5	rec.																																									3105193	12893	50286	66883	127233	257295	720951	553673	1531919	1573274
337212	5	firms	1060	53	226	195	214	688	325	43	1056	4	1046	59	220	177	220	676	325	41	1042	4	1026	56	205	187	202	650	325	47	1022	4	1155	65	268	217	224	774	336	42	1152	3	1224	72	343	234	203	852	324	41	1217	7
337212	5	estab.	1069	53	226	195	214	688	326	48	1062	7	1054	59	220	177	220	676	326	46	1048	6	1035	56	205	187	202	650	327	51	1028	7	1165	65	268	217	224	774	338	47	1159	6	1233	72	343	234	203	852	325	46	1223	10
337212	5	empl.	23642	0	515	1360	2939	4814	12432	5099	22345	1297	23931	0	500	1202	3027	4729	12709	5395	22833	1098	24073	0	477	1257	2748	4482	12616	5780	22878	1195	24867	0	617	1508	3118	5243	13409	5213	23865	1002	23317	0	763	1600	2695	5058	12396	4821	22275	1042
337212	5	ann. pay.	777684	3423	11787	39012	90413	144635	424967	172726	742328	35356	811763	3880	13165	33994	99633	150672	441296	187943	779911	31852	835598	5060	12418	34914	90776	143168	461924	198893	803985	31613	872968	3667	16399	45568	105612	171246	483815	184132	839193	33775	854744	6766	23766	50017	91670	172219	465910	183282	821411	33333
337212	5	rec.																																									2607038	21182	81041	145654	271618	519495	1375183	576396	2471074	135964
337214	5	firms	300	14	59	41	56	170	70	38	278	22	289	16	63	38	40	157	71	40	268	21	275	10	56	44	38	148	69	37	254	21	265	13	54	38	38	143	60	42	245	20	272	18	62	40	41	161	65	28	254	18
337214	5	estab.	363	14	59	41	56	170	71	48	289	74	350	16	63	38	40	157	71	48	276	74	329	10	56	44	38	148	70	42	260	69	317	13	54	38	38	143	61	47	251	66	319	18	62	40	41	161	67	31	259	60
337214	5	empl.	45177	0	135	288	760	1183	3219	5131	9533	35644	44500	0	141	260	553	954	3073	5479	9506	34994	45111	0	125	282	535	942	3048	5342	9332	35779	44742	0	116	266	566	948	2565	5682	9195	35547	35038	0	135	262	591	988	2950	3053	6991	28047
337214	5	ann. pay.	1808623	404	3523	7069	17832	28828	90344	146973	266145	1542478	1840476	1327	4063	6870	14909	27169	88475	161096	276740	1563736	1915238	414	3422	6585	16614	27035	92383	172551	291969	1623269	1854963	1736	3468	6327	16611	28142	78964	166447	273553	1581410	1372621	957	4208	7495	15988	28648	92744	94702	216094	1156527
337214	5	rec.																																									7619993	4871	26472	44342	80094	155779	363982	540543	1060304	6559689
337215	5	firms	2042	137	397	358	380	1272	585	132	1989	53	2019	124	416	345	372	1257	570	135	1962	57	1978	120	397	353	352	1222	564	136	1922	56	1925	106	391	363	341	1201	539	128	1868	57	1788	96	359	334	327	1116	509	119	1744	44
337215	5	estab.	2116	137	397	358	381	1273	595	159	2027	89	2105	124	416	345	373	1258	578	166	2002	103	2076	120	397	353	353	1223	571	175	1969	107	2028	106	391	363	342	1202	546	168	1916	112	1882	96	359	334	328	1117	516	165	1798	84
337215	5	empl.	74414	0	944	2384	5220	8548	25242	20565	54355	20059	76040	0	996	2325	5128	8449	24413	20359	53221	22819	77987	0	912	2395	4860	8167	23890	21546	53603	24384	72293	0	892	2451	4608	7951	21578	19790	49319	22974	64371	0	844	2280	4500	7624	20421	18368	46413	17958
337215	5	ann. pay.	2161737	11365	26785	57914	135633	231697	736573	609628	1577898	583839	2267803	8558	25499	56351	136298	226706	738686	610081	1575473	692330	2389945	7251	22411	60108	129103	218873	712623	685275	1616771	773174	2200068	5635	21561	64684	125962	217842	662925	642335	1523102	676966	2077002	8723	22571	63288	129046	223628	652701	634167	1510496	566506
337215	5	rec.																																									7984314	54376	84346	225683	454078	818483	2180212	2425659	5424354	2559960
337910	5	firms	620	46	140	101	100	387	180	40	607	13	604	30	145	100	90	365	183	44	592	12	575	31	130	95	90	346	177	40	563	12	557	27	128	97	89	341	168	36	545	12	522	17	117	87	95	316	159	35	510	12
337910	5	estab.	696	46	141	101	100	388	183	60	631	65	685	32	146	100	90	368	183	69	620	65	661	33	130	95	90	348	179	66	593	68	639	27	128	102	89	346	170	57	573	66	607	17	117	87	95	316	164	63	543	64
337910	5	empl.	24452	0	335	685	1362	2382	8116	6108	16606	7846	25264	0	345	665	1171	2181	8152	6384	16717	8547	26207	0	314	633	1193	2140	7996	6140	16276	9931	25500	0	308	645	1173	2126	7684	5467	15277	10223	24138	0	286	588	1315	2189	7298	5675	15162	8976
337910	5	ann. pay.	671147	5161	5798	12114	26191	49264	208171	171878	429313	241834	737740	4433	7145	11898	23504	46980	211880	194919	453779	283961	776111	1474	6465	10958	24929	43826	209070	168653	421549	354562	770601	987	6817	12489	26183	46476	208787	166731	421994	348607	762839	1268	6184	11436	29309	48197	206599	182527	437323	325516
337910	5	rec.																																									5020164	8889	41070	77964	156245	284168	1144512	1089276	2517956	2502208
337920	5	firms	428	27	157	65	61	310	86	24	420	8	424	25	147	78	54	304	84	28	416	8	427	27	135	88	63	313	71	35	419	8	430	28	149	76	65	318	71	33	422	8	433	24	161	64	75	324	67	33	424	9
337920	5	estab.	470	27	157	65	61	310	91	34	435	35	463	25	147	78	54	304	90	36	430	33	467	27	135	88	63	313	76	45	434	33	470	28	149	76	65	318	76	44	438	32	469	24	161	64	75	324	74	41	439	30
337920	5	empl.	19978	0	380	436	809	1625	3564	3765	8954	11024	19699	0	341	517	737	1595	3793	4467	9855	9844	22464	0	306	592	902	1800	3425	5950	11175	11289	20999	0	340	510	885	1735	3334	5773	10842	10157	19902	0	371	427	1030	1828	2779	5422	10029	9873
337920	5	ann. pay.	476119	2036	8064	7969	18131	36200	84095	86386	206681	269438	496500	3145	8343	10482	18422	40392	92473	108335	241200	255300	542204	583	7014	12503	20793	40893	81971	140132	262996	279208	560552	1372	8369	11026	20911	41678	80488	146336	268502	292050	525007	822	9000	9568	24624	44014	76288	148302	268604	256403
337920	5	rec.																																									2406049	6043	51592	51057	107069	215761	350863	595974	1162598	1243451
339111	5	firms	365	13	79	58	71	221	92	26	339	26	367	13	84	56	64	217	92	28	337	30	360	19	65	62	61	207	97	27	331	29	351	14	83	43	63	203	94	25	322	29	354	20	79	48	65	212	92	28	332	22
339111	5	estab.	378	13	79	58	71	221	94	28	343	35	382	13	84	56	64	217	93	32	342	40	377	19	65	62	61	207	98	31	336	41	369	14	83	43	63	203	96	28	327	42	372	20	79	48	65	212	93	33	338	34
339111	5	empl.	16838	0	184	391	1000	1575	3286	3884	8745	8093	18557	0	197	390	906	1493	3433	3627	8553	10004	19348	0	146	419	834	1399	3661	3923	8983	10365	20185	0	196	305	856	1357	3520	3351	8228	11957	17916	0	197	326	881	1404	3507	3672	8583	9333
339111	5	ann. pay.	709526	1038	6615	12597	37562	57812	133756	151976	343544	365982	806825	2225	7640	12670	34221	56756	148482	161892	367130	439695	955207	1894	5032	14278	34477	55681	176556	179848	412085	543122	899643	929	6902	11297	32906	52034	162997	149708	364739	534904	820156	1344	6456	13309	34045	55154	170985	166479	392618	427538
339111	5	rec.																																									2963574	5974	23991	55759	110529	196253	609955	591413	1397621	1565953
339112	5	firms	1431	98	351	263	230	942	310	92	1344	87	1394	83	364	245	217	909	310	97	1316	78	1317	73	337	220	213	843	306	93	1242	75	1285	64	323	228	196	811	293	102	1206	79	1167	54	274	208	166	702	280	100	1082	85
339112	5	estab.	1587	98	351	263	230	942	320	100	1362	225	1568	83	364	246	217	910	318	104	1332	236	1480	73	337	221	214	845	313	103	1261	219	1433	64	323	228	197	812	299	109	1220	213	1302	54	274	208	166	702	287	109	1098	204
339112	5	empl.	101977	0	777	1771	3004	5552	13214	13157	31923	70054	107519	0	820	1640	2904	5364	13345	13784	32493	75026	104325	0	758	1459	2832	5049	13239	14143	32431	71894	104167	0	736	1552	2728	5016	12588	15310	32914	71253	102891	0	629	1421	2229	4279	11673	15056	31008	71883
339112	5	ann. pay.	4161838	13396	27428	67383	110718	218925	548428	583192	1350545	2811293	4500211	9492	31805	62581	109137	213015	615624	587440	1416079	3084132	4588232	8628	27250	60147	113628	209653	636455	698576	1544684	3043548	5002724	4182	32192	64099	117436	217909	578334	857522	1653765	3348959	5055036	9941	28122	58114	108296	204473	539874	910488	1654835	3400201
339112	5	rec.																																									24809706	39841	107720	238047	388305	773913	1724407	3074465	5572785	19236921
339113	5	firms	1492	102	400	257	219	978	325	109	1412	80	1457	104	376	255	226	961	315	103	1379	78	1448	85	401	250	216	952	309	102	1363	85	1438	93	403	239	208	943	311	102	1356	82	1497	78	447	249	234	1008	300	104	1412	85
339113	5	estab.	1639	102	400	257	222	981	335	139	1455	184	1611	104	376	255	228	963	325	130	1418	193	1612	85	401	251	217	954	323	125	1402	210	1599	93	403	240	209	945	324	129	1398	201	1714	78	447	251	238	1014	329	187	1530	184
339113	5	empl.	89773	0	947	1686	3031	5664	13503	17138	36305	53468	88218	0	891	1691	3176	5758	13262	15791	34811	53407	90191	0	950	1654	2989	5593	12853	15276	33722	56469	90045	0	918	1604	2932	5454	12680	15824	33958	56087	87148	0	1031	1694	3209	5934	11821	17453	35208	51940
339113	5	ann. pay.	3316252	7821	34400	53463	98721	194405	407643	506084	1108132	2208120	3476251	22618	29322	55251	105931	213122	418030	528243	1159395	2316856	3756636	93247	32986	59384	104278	289895	421367	521003	1232265	2524371	3786809	14550	31100	62263	104029	211942	441303	548767	1202012	2584797	3941819	8205	36895	69203	120825	235128	440191	671329	1346648	2595171
339113	5	rec.																																									20281487	37945	158459	255867	508577	960848	1678234	2927497	5566579	14714908
339114	5	firms	867	88	362	170	120	740	85	27	852	15	855	58	384	164	125	731	80	29	840	15	819	56	346	174	123	699	76	32	807	12	804	45	352	176	108	681	83	29	793	11	694	43	289	135	104	571	80	31	682	12
339114	5	estab.	891	88	362	170	120	740	85	35	860	31	879	58	384	164	125	731	80	38	849	30	842	56	346	174	123	699	76	41	816	26	831	45	352	176	108	681	83	38	802	29	719	43	289	135	104	571	80	40	691	28
339114	5	empl.	18371	0	802	1126	1517	3445	3494	4389	11328	7043	18439	0	845	1084	1626	3555	3167	5205	11927	6512	18163	0	750	1150	1686	3586	2946	5743	12275	5888	17989	0	772	1174	1428	3374	2997	5363	11734	6255	17171	0	643	906	1383	2932	2806	5279	11017	6154
339114	5	ann. pay.	649799	5814	19487	30338	42731	98370	111068	159608	369046	280753	672854	8576	21919	29335	48786	108616	109352	198051	416019	256835	698314	3154	19428	32382	54690	109654	95086	236620	441360	256954	715454	3338	20396	35513	47086	106333	99347	232961	438641	276813	717848	6744	17659	28142	46406	98951	101966	237518	438435	279413
339114	5	rec.																																									3360110	69031	65787	90113	148078	373009	329210	1074411	1776630	1583480
339115	5	firms	494	26	192	83	69	370	71	27	468	26	480	23	177	93	62	355	71	29	455	25	466	23	181	77	65	346	66	30	442	24	458	19	175	85	61	340	67	26	433	25	428	27	159	78	51	315	67	23	405	23
339115	5	estab.	553	26	192	83	69	370	77	30	477	76	542	23	177	93	62	355	79	32	466	76	520	23	181	77	65	346	73	34	453	67	515	19	175	85	61	340	74	27	441	74	491	27	159	78	52	316	71	24	411	80
339115	5	empl.	27874	0	407	544	950	1901	2852	3835	8588	19286	27158	0	387	611	791	1789	2515	4003	8307	18851	27913	0	403	502	895	1800	2303	4307	8410	19503	26753	0	374	542	802	1718	2442	3474	7634	19119	24311	0	344	508	659	1511	2561	2839	6911	17400
339115	5	ann. pay.	917280	2935	10872	13860	22891	50558	71495	112244	234297	682983	955608	679	12551	17913	22022	53165	64290	118789	236244	719364	1030311	493	14487	13451	25782	54213	67460	129608	251281	779030	1070062	1613	12257	14580	26197	54647	75830	129009	259486	810576	980019	1682	10130	13904	22588	48304	77490	112484	238278	741741
339115	5	rec.																																									5160014	9223	49164	61265	83757	203409	349546	589154	1142109	4017905
339116	5	firms	7264	468	4565	1352	563	6948	293	16	7257	7	7176	503	4402	1372	559	6836	314	19	7169	7	7172	539	4277	1398	599	6813	328	24	7165	7	7232	542	4344	1376	598	6860	342	21	7223	9	6810	559	3995	1270	604	6428	353	22	6803	7
339116	5	estab.	7426	468	4566	1354	565	6953	317	91	7361	65	7345	503	4402	1375	561	6841	337	99	7277	68	7332	539	4277	1399	602	6817	346	101	7264	68	7404	542	4344	1377	601	6864	357	111	7332	72	6977	559	3995	1271	606	6431	368	109	6908	69
339116	5	empl.	41090	0	9454	8657	7493	25604	10741	1907	38252	2838	42336	0	9134	8814	7352	25300	11426	2462	39188	3148	44615	0	9023	8993	7880	25896	12012	3192	41100	3515	45296	0	9178	8875	7902	25955	12443	3013	41411	3885	44717	0	8551	8230	8055	24836	12676	3540	41052	3665
339116	5	ann. pay.	1076108	13289	205570	204052	197042	619953	313134	59347	992434	83674	1158812	18044	208134	215077	200844	642099	346024	77372	1065495	93317	1286861	30342	213764	228742	225227	698075	376182	107236	1181493	105368	1368674	33457	223900	239678	234162	731197	403005	99022	1233224	135450	1393736	14313	210965	229012	247244	701534	439981	125158	1266673	127063
339116	5	rec.																																									3146228	45803	530931	522898	573306	1672938	927229	270012	2870179	276049
339911	5	firms	2285	223	1061	435	262	1981	247	47	2275	10	2272	225	1039	434	257	1955	256	49	2260	12	2249	212	1028	418	271	1929	262	48	2239	10	2151	178	991	414	256	1839	252	46	2137	14	1875	167	853	378	209	1607	217	40	1864	11
339911	5	estab.	2300	223	1061	435	262	1981	250	50	2281	19	2287	225	1039	434	257	1955	260	50	2265	22	2266	212	1029	418	271	1930	264	50	2244	22	2168	178	991	414	256	1839	254	48	2141	27	1892	168	853	378	209	1608	219	41	1868	24
339911	5	empl.	33646	0	2309	2881	3453	8643	9859	8310	26812	6834	34550	0	2277	2858	3458	8593	10302	8031	26926	7624	35114	0	2217	2718	3646	8581	10493	8034	27108	8006	34686	0	2154	2705	3424	8283	9924	8020	26227	8459	29833	0	1823	2568	2817	7208	8654	6759	22621	7212
339911	5	ann. pay.	943318	6982	49989	67897	88475	213343	285498	257350	756191	187127	1027413	12076	54110	70501	88330	225017	313930	260260	799207	228206	1075732	10886	53272	68793	101934	234885	325808	279904	840597	235135	1056319	8307	51294	66258	86362	212221	294676	288490	795387	260932	996483	6616	43970	69545	87351	207482	285367	272243	765092	231391
339911	5	rec.																																									6548530	37069	247612	334851	412859	1032391	1507683	2040625	4580699	1967831
339912	5	firms	162	15	46	31	23	115	34	8	157	5	158	13	47	27	24	111	35	7	153	5	157	11	48	33	19	111	33	8	152	5	149	8	52	24	19	103	32	8	143	6	158	16	58	23	18	115	31	7	153	5
339912	5	estab.	166	15	46	31	23	115	36	9	160	6	161	13	47	27	24	111	38	7	156	5	160	11	48	33	19	111	34	10	155	5	152	8	52	24	19	103	33	10	146	6	159	16	58	23	18	115	32	7	154	5
339912	5	empl.	6772	0	         [b]	198	320	         [f]	1339	1461	         [h]	         [h]	6524	0	[c]	166	322	[f]	1456	1241	[h]	[h]	6153	0	         [c]	221	268	         [f]	1303	1310	         [h]	         [h]	5750	0	         [c]	161	249	         [f]	1253	899	         [h]	         [h]	4561	         [a]	117	156	213	         [e]	1077	1084	         [h]	         [g]
339912	5	ann. pay.	214828	508	         (D)	3641	6739	         (D)	37245	37754	         (D)	         (D)	199667	292	(D)	3101	7224	(D)	40193	33038	(D)	(D)	199286	262	         (D)	4679	5982	         (D)	37957	35787	         (D)	         (D)	182842	421	         (D)	3664	5836	         (D)	36069	24355	         (D)	         (D)	134439	         (D)	2488	3695	5803	         (D)	33506	34983	         (D)	         (D)
339912	5	rec.																																									532648	         (D)	10355	13688	24999	         (D)	138305	136309	         (D)	         (D)
339913	5	firms	409	39	219	58	36	352	50	6	408	1	391	42	190	70	35	337	45	8	390	1	392	39	193	69	34	335	46	10	391	1	370	28	177	77	33	315	43	11	369	1	313	27	151	53	33	264	37	10	311	2
339913	5	estab.	410	39	219	58	36	352	51	6	409	1	392	42	190	70	35	337	46	8	391	1	393	39	193	69	34	335	47	10	392	1	371	28	177	77	33	315	44	11	370	1	314	27	151	53	33	264	37	11	312	2
339913	5	empl.	5190	0	         [e]	370	479	         [g]	2095	1371	         [h]	         [e]	5338	0	[e]	469	464	[g]	1795	1742	[h]	[f]	6135	0	         [e]	468	471	         [g]	1986	2309	         [i]	         [f]	5377	0	         [e]	516	420	         [g]	1641	1935	         [h]	         [f]	4662	         [a]	295	355	445	         [g]	1439	1601	         [h]	         [f]
339913	5	ann. pay.	140332	772	         (D)	9337	10338	         (D)	56898	39698	         (D)	         (D)	151404	2771	(D)	9709	10275	(D)	51788	49371	(D)	(D)	173732	1323	         (D)	11979	11419	         (D)	51726	67516	         (D)	         (D)	149644	912	         (D)	12328	11736	         (D)	45350	58329	         (D)	         (D)	145827	         (D)	8104	8295	12320	         (D)	45613	58095	         (D)	         (D)
339913	5	rec.																																									781552	         (D)	42105	46996	108546	         (D)	185552	271085	         (D)	         (D)
339914	5	firms	922	93	425	152	102	772	125	16	913	9	874	97	380	159	96	732	119	14	865	9	871	97	405	140	97	739	113	13	865	6	811	83	378	136	100	697	95	12	804	7	662	60	312	114	83	569	77	10	656	6
339914	5	estab.	926	93	425	152	102	772	127	16	915	11	878	97	380	159	96	732	121	14	867	11	874	97	405	140	97	739	115	13	867	7	814	83	378	136	101	698	96	12	806	8	666	60	312	114	85	571	78	10	659	7
339914	5	empl.	14382	0	866	990	1385	3241	4723	2645	10609	3773	13511	0	776	1048	1343	3167	4505	1957	9629	3882	10598	0	838	937	1327	3102	4027	1995	9124	1474	9540	0	765	863	1384	3012	3420	1320	7752	1788	8139	0	676	768	1174	2618	2928	1221	6767	1372
339914	5	ann. pay.	330361	4156	13385	17706	29371	64618	101827	63029	229474	100887	332374	3083	13037	21195	25792	63107	104703	52021	219831	112543	268514	3025	15154	20326	29483	67988	99368	51543	218899	49615	248593	2793	13944	16827	29508	63072	90835	40411	194318	54275	235020	2145	13523	16915	29375	61958	83944	38255	184157	50863
339914	5	rec.																																									842299	13279	55751	58619	105979	233628	329750	157159	720537	121762
339920	5	firms	2485	272	900	449	328	1949	374	120	2443	42	2411	259	878	445	318	1900	356	109	2365	46	2410	264	898	425	313	1900	349	110	2359	51	2365	241	887	442	300	1870	347	103	2320	45	2185	218	839	384	285	1726	317	98	2141	44
339920	5	estab.	2572	273	901	449	328	1951	379	153	2483	89	2496	259	878	446	318	1901	362	137	2400	96	2486	264	898	425	313	1900	355	135	2390	96	2433	241	887	442	300	1870	353	132	2355	78	2256	218	839	384	285	1726	327	124	2177	79
339920	5	empl.	74252	0	1944	2962	4497	9403	15201	20372	44976	29276	66910	0	1887	2923	4354	9164	14455	17720	41339	25571	68072	0	1921	2827	4203	8951	14405	17733	41089	26983	66132	0	1935	2981	4109	9025	14544	17526	41095	25037	60456	0	1792	2518	3855	8165	12701	16616	37482	22974
339920	5	ann. pay.	2013094	13402	36986	56103	96988	203479	361539	561711	1126729	886365	1968222	22625	37755	60805	98947	220132	362040	525587	1107759	860463	2065608	9432	42065	67417	96011	214925	402966	494636	1112527	953081	2051571	14003	44307	66342	97363	222015	398129	509795	1129939	921632	2040221	15589	37822	60180	92689	206280	406072	509626	1121978	918243
339920	5	rec.																																									11579141	86686	223428	280002	438675	1028791	1968042	2880830	5877663	5701478
339931	5	firms	243	37	113	28	29	207	27	8	242	1	217	30	95	35	25	185	24	8	217	0	205	29	94	31	26	180	18	7	205	0	178	23	76	30	21	150	22	5	177	1	138	17	53	26	18	114	19	4	137	1
339931	5	estab.	243	37	113	28	29	207	27	8	242	1	217	30	95	35	25	185	24	8	217	0	206	29	94	31	26	180	18	8	206	0	179	23	76	30	21	150	22	6	178	1	141	17	53	26	18	114	19	7	140	1
339931	5	empl.	3357	         [a]	211	188	379	         [f]	883	1570	         [h]	         [c]	3194	0	183	238	329	750	828	1616	3194	0	2707	0	174	219	357	750	609	1348	2707	0	2271	         [a]	144	199	285	         [f]	756	885	         [g]	         [a]	1863	         [a]	111	171	253	         [f]	584	740	         [g]	         [a]
339931	5	ann. pay.	62900	         (D)	3192	2479	5218	         (D)	18684	29359	         (D)	         (D)	61021	665	3181	3037	4689	11572	17239	32210	61021	0	59681	605	3530	3178	6510	13823	14716	31142	59681	0	51519	         (D)	3034	3475	4820	         (D)	18941	20378	         (D)	         (D)	47439	         (D)	1786	4386	6302	         (D)	14432	20000	         (D)	         (D)
339931	5	rec.																																									268422	         (D)	13875	30377	34346	         (D)	68486	117209	         (D)	         (D)
339932	5	firms	754	98	251	115	96	560	124	52	736	18	780	108	288	107	95	598	120	45	763	17	787	96	297	128	93	614	117	42	773	14	768	75	294	132	97	598	116	40	754	14	727	68	285	126	96	575	105	32	712	15
339932	5	estab.	779	98	251	115	96	560	124	63	747	32	800	108	288	107	95	598	120	53	771	29	801	96	297	128	93	614	117	47	778	23	779	75	294	132	97	598	116	45	759	20	737	68	285	126	97	576	105	35	716	21
339932	5	empl.	27333	         [a]	510	766	1292	         [h]	5006	8231	         [j]	         [j]	25660	0	604	712	1316	2632	5106	7960	15698	9962	23984	0	655	854	1295	2804	4931	7625	15360	8624	21644	         [a]	628	877	1317	         [h]	4575	6518	         [j]	         [i]	18300	         [a]	612	828	1288	         [h]	4282	4741	         [j]	         [i]
339932	5	ann. pay.	739495	         (D)	11666	20014	32761	         (D)	125183	206455	         (D)	         (D)	713537	5566	12143	20312	34379	72400	136887	220174	429461	284076	693077	3256	13947	22748	33475	73426	144826	224466	442718	250359	629966	         (D)	13790	22222	33527	         (D)	123846	217566	         (D)	         (D)	608710	         (D)	12573	22063	37092	         (D)	118719	152244	         (D)	         (D)
339932	5	rec.																																									3746726	         (D)	70175	115022	142467	         (D)	589514	912623	         (D)	         (D)
339941	5	firms	109	8	28	10	14	60	30	12	102	7	108	7	30	11	13	61	28	11	100	8	105	6	29	11	9	55	28	15	98	7	102	7	24	14	12	57	25	14	96	6	89	3	19	15	6	43	30	11	84	5
339941	5	estab.	115	8	28	10	14	60	30	13	103	12	114	7	30	11	13	61	28	12	101	13	112	6	29	11	9	55	28	16	99	13	108	7	24	14	12	57	25	15	97	11	93	3	19	15	6	43	30	12	85	8
339941	5	empl.	8471	         [a]	         [b]	64	190	319	1435	1632	3386	5085	8173	[a]	69	[b]	177	324	1318	1495	3137	5036	8685	0	68	75	113	256	1261	2052	3569	5116	7969	         [a]	         [b]	102	161	317	1229	2049	3595	4374	6406	         [a]	         [b]	101	78	222	1344	1602	3168	3238
339941	5	ann. pay.	264475	         (D)	         (D)	1256	5154	8798	40735	36259	85792	178683	261671	(D)	2163	(D)	6055	10109	35387	37399	82895	178776	274049	619	2070	1572	3660	7921	33930	50278	92129	181920	252301	         (D)	         (D)	2508	5270	9247	30930	49483	89660	162641	221136	         (D)	         (D)	2928	3426	7601	37310	43813	88724	132412
339941	5	rec.																																									1088065	         (D)	         (D)	11321	15040	         (D)	138149	168975	338773	749292
339942	5	firms	177	24	48	20	24	116	40	14	170	7	178	15	62	21	22	120	39	11	170	8	171	17	50	24	25	116	37	9	162	9	165	12	54	24	27	117	32	10	159	6	148	12	40	27	28	107	29	6	142	6
339942	5	estab.	179	24	48	20	24	116	40	14	170	9	181	15	62	21	22	120	39	11	170	11	172	17	50	24	25	116	37	9	162	10	166	12	54	24	27	117	32	11	160	6	150	12	40	27	28	107	29	7	143	7
339942	5	empl.	7223	0	107	126	328	561	1638	1562	3761	3462	7273	0	142	137	302	581	1577	1395	3553	3720	6551	0	109	160	314	583	1453	1264	3300	3251	5926	0	126	152	369	647	1341	1451	3439	2487	5912	         [a]	         [b]	165	378	640	1259	1034	2933	2979
339942	5	ann. pay.	200056	483	2670	2227	8203	13583	40905	50070	104558	95498	200379	1326	3565	2553	7854	15298	40681	44359	100338	100041	181951	1143	2351	4846	9209	17549	42012	40887	100448	81503	165737	1441	2734	4403	11001	19579	36658	50372	106609	59128	160305	         (D)	         (D)	4493	10998	18743	39916	37391	96050	64255
339942	5	rec.																																									1276543	         (D)	         (D)	25530	59376	         (D)	176483	172925	462517	814026
339943	5	firms	583	38	249	131	81	499	69	11	579	4	570	39	255	118	78	490	63	12	565	5	569	50	241	120	79	490	66	8	564	5	535	39	237	108	75	459	63	9	531	4	470	25	217	103	62	407	54	8	469	1
339943	5	estab.	597	38	249	131	81	499	77	15	591	6	586	39	255	118	78	490	71	14	575	11	587	50	241	120	79	490	77	10	577	10	551	39	237	108	75	459	75	12	546	5	487	25	217	103	64	409	65	12	486	1
339943	5	empl.	7674	0	574	865	1038	2477	2666	1999	7142	532	7646	0	592	794	1023	2409	2387	1974	6770	876	7239	0	543	781	1034	2358	2629	1527	6514	725	6444	0	531	709	1006	2246	2359	1091	5696	748	5177	         [a]	493	695	839	         [g]	2030	1102	         [i]	         [a]
339943	5	ann. pay.	195751	1349	10695	17672	25453	55169	70912	57531	183612	12139	200800	2172	12664	17144	25575	57555	67745	53373	178673	22127	193704	2519	11465	16142	27752	57878	70567	46537	174982	18722	173234	976	10909	14628	25046	51559	67173	29421	148153	25081	143915	         (D)	10505	16450	23297	         (D)	62578	29521	         (D)	         (D)
339943	5	rec.																																									495151	         (D)	37751	52759	78640	         (D)	206472	113350	         (D)	         (D)
339944	5	firms	104	3	22	17	18	60	22	13	95	9	98	3	27	8	18	56	21	14	91	7	93	5	20	14	12	51	23	13	87	6	84	2	22	9	13	46	20	11	77	7	76	1	19	6	15	41	18	12	71	5
339944	5	estab.	115	3	22	17	18	60	22	19	101	14	107	3	27	8	18	56	26	14	96	11	101	5	20	14	12	51	28	14	93	8	93	2	22	9	13	46	25	13	84	9	81	1	19	6	15	41	19	14	74	7
339944	5	empl.	5369	         [a]	         [b]	118	246	406	919	1451	2776	2593	4745	[a]	65	[b]	235	349	847	1793	2989	1756	4474	0	44	97	156	297	988	1891	3176	1298	4196	         [a]	         [b]	57	174	289	851	1649	2789	1407	3833	         [a]	         [b]	34	203	         [e]	683	1727	         [h]	         [g]
339944	5	ann. pay.	145522	         (D)	         (D)	2351	6036	9483	22567	35904	67954	77568	133287	(D)	1415	(D)	6164	9124	22495	47601	79220	54067	135165	63	882	2648	4798	8391	25243	50026	83660	51505	131499	         (D)	         (D)	1378	5633	8700	23211	48781	80692	50807	115712	         (D)	         (D)	1015	5903	         (D)	21526	43447	         (D)	         (D)
339944	5	rec.																																									691829	         (D)	         (D)	4438	29707	         (D)	98727	250264	         (D)	         (D)
339950	5	firms	5800	587	2348	1133	820	4888	750	131	5769	31	5854	594	2386	1138	799	4917	755	147	5819	35	5965	596	2429	1181	805	5011	765	150	5926	39	5905	493	2471	1168	822	4954	772	140	5866	39	6102	578	2644	1151	834	5207	730	129	6066	36
339950	5	estab.	5932	587	2349	1135	827	4898	771	188	5857	75	6007	595	2386	1139	806	4926	781	208	5915	92	6105	596	2429	1181	810	5016	793	198	6007	98	6041	493	2471	1168	827	4959	802	185	5946	95	6231	578	2644	1152	837	5211	761	174	6146	85
339950	5	empl.	84503	0	5258	7476	11189	23923	29493	20428	73844	10659	87487	0	5382	7527	10914	23823	28974	21722	74519	12968	88427	0	5400	7770	11027	24197	29109	21527	74833	13594	88034	0	5519	7661	11235	24415	29593	21659	75667	12367	81993	0	5939	7515	11305	24759	27785	18699	71243	10750
339950	5	ann. pay.	2572760	21609	104160	167737	297592	591098	949511	667936	2208545	364215	2761188	27141	113651	179812	299819	620423	962064	731758	2314245	446943	2897013	35111	119693	186091	311353	652248	998159	776712	2427119	469894	2871694	23114	123261	186801	324344	657520	1019585	767468	2444573	427121	2771658	20741	129453	195869	335747	681810	979454	718533	2379797	391861
339950	5	rec.																																									9360435	81387	471553	624627	981362	2158929	3084276	2772584	8015789	1344646
339991	5	firms	558	25	90	77	111	303	170	42	515	43	538	22	89	78	105	294	166	37	497	41	527	24	83	78	102	287	160	44	491	36	513	19	85	72	101	277	156	44	477	36	494	13	83	71	99	266	149	41	456	38
339991	5	estab.	664	25	90	77	111	303	180	55	538	126	650	22	89	78	106	295	175	51	521	129	642	24	83	78	103	288	168	61	517	125	616	19	85	72	101	277	167	56	500	116	587	13	83	71	99	266	161	55	482	105
339991	5	empl.	42682	0	205	538	1562	2305	7044	5929	15278	27404	40268	0	195	556	1474	2225	6815	5159	14199	26069	40221	0	187	531	1419	2137	6607	6743	15487	24734	37889	0	197	496	1426	2119	6369	6247	14735	23154	35092	0	188	506	1439	2133	5761	5372	13266	21826
339991	5	ann. pay.	1340140	2547	5129	16695	48447	72818	217754	180705	471277	868863	1353193	1035	6082	19023	48189	74329	219444	166368	460141	893052	1423881	1008	5694	17957	51271	75930	215918	226273	518121	905760	1344233	2705	5630	16920	48340	73595	209482	211638	494715	849518	1312390	435	5880	19674	49584	75573	203630	192817	472020	840370
339991	5	rec.																																									5251080	1717	22371	75208	168997	268293	735273	769809	1773375	3477705
339992	5	firms	557	51	256	96	57	460	66	21	547	10	593	71	269	100	61	501	64	17	582	11	609	71	259	117	63	510	68	20	598	11	596	61	254	120	60	495	68	21	584	12	557	49	243	117	52	461	65	20	546	11
339992	5	estab.	583	51	256	96	57	460	66	26	552	31	618	71	269	100	61	501	64	23	588	30	636	71	259	117	63	510	69	26	605	31	622	61	254	120	60	495	69	27	591	31	581	49	243	117	52	461	67	27	555	26
339992	5	empl.	14159	0	529	635	752	1916	2738	3837	8491	5668	14287	0	577	677	840	2094	2971	3198	8263	6024	14996	0	533	760	861	2154	2872	3364	8390	6606	15838	0	538	795	855	2188	2788	3609	8585	7253	13939	0	523	770	743	2036	2457	3575	8068	5871
339992	5	ann. pay.	404321	2178	11488	12818	17735	44219	67164	125399	236782	167539	436460	12484	11933	14477	21683	60577	84858	101046	246481	189979	475992	2114	11854	16552	22281	52801	83137	117182	253120	222872	493284	2358	11963	19196	21838	55355	77634	125735	258724	234560	453547	2897	11361	19998	21538	55794	70686	123027	249507	204040
339992	5	rec.																																									1724732	21371	43573	61781	63362	190087	224997	450801	865885	858847
339993	5	firms	231	17	84	42	22	165	45	13	223	8	233	21	90	44	16	171	44	10	225	8	226	24	88	37	19	168	40	12	220	6	207	14	74	46	17	151	39	11	201	6	195	13	70	38	22	143	39	10	192	3
339993	5	estab.	243	17	84	42	23	166	46	19	231	12	244	21	90	45	16	172	47	12	231	13	237	24	88	37	20	169	41	17	227	10	216	14	74	47	17	152	39	15	206	10	203	13	70	39	22	144	41	12	197	6
339993	5	empl.	8347	0	200	278	317	795	2117	2367	5279	3068	7627	0	193	297	235	725	2002	1556	4283	3344	6954	0	184	241	233	658	1829	2219	4706	2248	5967	0	166	303	234	703	1692	1434	3829	2138	5199	0	         [c]	258	316	         [f]	1673	1287	         [h]	         [g]
339993	5	ann. pay.	229201	503	3961	7146	6335	17945	54652	62533	135130	94071	211535	500	3657	8206	4413	16776	52770	44166	113712	97823	216880	1193	4369	6421	6279	18262	54599	65061	137922	78958	185768	312	4304	8050	6019	18685	49915	39888	108488	77280	171587	280	         (D)	7836	8627	         (D)	54396	39128	         (D)	         (D)
339993	5	rec.																																									683219	1321	         (D)	30731	31367	         (D)	199428	176164	         (D)	         (D)
339994	5	firms	330	27	71	51	44	193	90	26	309	21	324	18	66	58	47	189	89	25	303	21	315	13	79	45	42	179	86	26	291	24	305	14	81	50	39	184	77	22	283	22	262	7	58	46	39	150	75	19	244	18
339994	5	estab.	357	27	71	51	44	193	92	34	319	38	354	18	66	58	47	189	90	32	311	43	344	13	79	45	42	179	87	30	296	48	334	14	81	50	39	184	79	27	290	44	282	7	58	46	39	150	76	25	251	31
339994	5	empl.	17329	0	175	348	627	1150	3917	4077	9144	8185	18766	0	152	397	678	1227	3982	4252	9461	9305	17931	0	178	302	597	1077	3603	3806	8486	9445	16520	         [a]	         [c]	324	535	1052	3472	3439	7963	8557	14781	0	138	294	517	949	3346	3449	7744	7037
339994	5	ann. pay.	467140	3900	3433	6652	23102	37087	99504	111498	248089	219051	509075	401	2508	8958	17926	29793	103891	121039	254723	254352	493812	388	3895	7883	16695	28861	95093	107389	231343	262469	465071	         (D)	         (D)	9340	14997	28452	93682	89606	211740	253331	456600	422	3065	7775	16921	28183	98101	107662	233946	222654
339994	5	rec.																																									2325304	1836	16120	35893	71731	125580	426412	488638	1040630	1284674
339995	5	firms	157	5	47	29	26	107	38	8	153	4	158	5	50	27	30	112	32	9	153	5	149	5	47	28	28	108	28	8	144	5	144	1	50	24	28	103	28	8	139	5	145	5	53	24	26	108	24	9	141	4
339995	5	estab.	171	5	47	29	26	107	39	10	156	15	172	5	50	27	30	112	32	13	157	15	164	5	47	28	28	108	28	13	149	15	160	1	50	24	28	103	28	13	144	16	161	5	53	24	26	108	24	15	147	14
339995	5	empl.	7569	0	109	196	346	651	1623	1415	3689	3880	7249	0	115	182	410	707	1197	1336	3240	4009	6913	0	111	196	382	689	1172	1138	2999	3914	6856	         [a]	         [c]	168	388	659	1193	938	2790	4066	5866	0	         [c]	162	372	         [f]	990	1094	         [h]	         [h]
339995	5	ann. pay.	217235	328	1639	3919	7543	13429	35889	35102	84420	132815	215374	128	2367	3518	9383	15396	26238	35426	77060	138314	206044	344	2372	4340	8627	15683	27519	32976	76178	129866	209106	         (D)	         (D)	3811	9903	16285	28175	26900	71360	137746	180474	49	         (D)	4294	9495	         (D)	23831	31228	         (D)	         (D)
339995	5	rec.																																									1232751	487	         (D)	29820	42810	         (D)	112651	177634	         (D)	         (D)
339999	5	firms	2861	425	919	471	385	2200	482	128	2810	51	2819	297	954	511	380	2142	493	137	2772	47	2785	298	960	492	354	2104	495	134	2733	52	2698	274	963	471	345	2053	480	114	2647	51	2863	348	1084	472	353	2257	444	108	2809	54
339999	5	estab.	2921	425	919	471	387	2202	499	139	2840	81	2879	298	956	511	380	2145	508	152	2805	74	2854	298	960	493	354	2105	510	148	2763	91	2764	274	964	471	347	2056	490	127	2673	91	2911	348	1085	473	353	2259	454	115	2828	83
339999	5	empl.	73287	0	1996	3130	5172	10298	20279	17657	48234	25053	72807	0	2050	3376	5209	10635	20340	18985	49960	22847	72491	0	2071	3285	4775	10131	20489	18096	48716	23775	67691	0	2126	3142	4706	9974	20061	15791	45826	21865	64544	0	2293	3109	4685	10087	17794	13066	40947	23597
339999	5	ann. pay.	1962750	20933	39361	67672	123444	251410	519328	454323	1225061	737689	2046727	15986	42827	76504	122281	257598	531155	532719	1321472	725255	2150701	22256	47326	74527	119111	263220	575760	511898	1350878	799823	2098820	15022	52971	75572	129140	272705	573355	463840	1309900	788920	2104081	17199	58123	71479	123751	270552	530462	414716	1215730	888351
339999	5	rec.																																									9940878	93182	274478	278133	541538	1187331	2220787	1845725	5253843	4687035
421110	5	firms	6572	729	2914	922	643	5208	1030	250	6488	84	6566	738	2829	949	648	5164	1051	269	6484	82	6590	698	2843	968	698	5207	1035	260	6502	88	6398	642	2739	988	678	5047	1017	248	6312	86	6086	605	2672	878	620	4775	967	263	6005	81
421110	5	estab.	7701	729	2915	924	662	5230	1233	501	6964	737	7708	739	2830	951	671	5191	1230	543	6964	744	7805	703	2844	971	721	5239	1209	536	6984	821	7617	642	2742	992	700	5076	1187	528	6791	826	7404	606	2674	885	639	4804	1175	612	6591	813
421110	5	empl.	156084	0	5999	6103	8710	20812	42996	34204	98012	58072	161232	0	5825	6278	8752	20855	43532	38312	102699	58533	166023	0	5801	6313	9376	21490	43269	36963	101722	64301	153814	0	5612	6408	9149	21169	41674	35570	98413	55401	162224	0	5458	5752	8365	19575	39016	38050	96641	65583
421110	5	ann. pay.	5190224	33161	181765	175852	264992	655770	1438055	1162962	3256787	1933437	5641423	37109	169741	193797	281035	681682	1490814	1407267	3579763	2061660	5870126	36405	173854	193360	309029	712648	1501431	1324846	3538925	2331201	5826606	33504	172350	199886	312887	718627	1448751	1252830	3420208	2406398	5737828	24417	176746	190522	278525	670210	1358397	1346157	3374764	2363064
421110	5	rec.																																									565189710	611745	4928794	4305641	4435656	14281836	18093768	32225897	64601501	500588209
421120	5	firms	9140	746	4017	1664	1133	7560	1089	280	8929	211	9022	871	3895	1594	1103	7463	1087	275	8825	197	8961	865	3801	1659	1103	7428	1063	264	8755	206	8736	781	3729	1639	1113	7262	1003	263	8528	208	9022	937	3926	1578	1111	7552	1005	260	8817	205
421120	5	estab.	12159	754	4029	1696	1239	7718	1794	880	10392	1767	12101	873	3908	1626	1195	7602	1683	945	10230	1871	12285	878	3819	1694	1192	7583	1604	1024	10211	2074	12083	787	3745	1674	1199	7405	1507	949	9861	2222	12659	939	3940	1618	1214	7711	1656	1162	10529	2130
421120	5	empl.	161154	0	8427	10974	14876	34277	35487	25878	95642	65512	162304	0	8181	10523	14479	33183	36099	26115	95397	66907	166430	0	8053	10923	14410	33386	35623	27081	96090	70340	165975	0	7775	10729	14751	33255	34033	26315	93603	72372	165149	0	8197	10467	14790	33454	34337	27311	95102	70047
421120	5	ann. pay.	5662166	43175	281183	329943	458895	1113196	1111737	802938	3027871	2634295	6010078	46788	269593	352420	447741	1116542	1172648	858056	3147246	2862832	6231853	33564	262700	354828	470183	1121275	1201377	904762	3227414	3004439	6269721	40305	258415	351489	471349	1121558	1184298	886952	3192808	3076913	6390137	38596	276846	339374	501860	1156676	1232244	973982	3362902	3027235
421120	5	rec.																																									90907472	560281	5552443	4865665	5650145	16628534	11909396	9825731	38363661	52543811
421130	5	firms	1315	74	502	254	172	1002	219	66	1287	28	1336	107	482	245	178	1012	225	73	1310	26	1322	110	480	242	184	1016	209	70	1295	27	1302	94	489	235	171	989	210	74	1273	29	1268	90	468	239	166	963	207	69	1239	29
421130	5	estab.	1872	77	503	262	183	1025	315	234	1574	298	1925	109	484	251	187	1031	330	259	1620	305	2036	110	481	247	193	1031	310	251	1592	444	2005	95	491	240	176	1002	319	249	1570	435	1928	90	470	243	186	989	340	252	1581	347
421130	5	empl.	22195	0	1057	1666	2254	4977	6338	4582	15897	6298	24090	0	1058	1605	2311	4974	7149	5323	17446	6644	25752	0	1043	1623	2373	5039	7065	4842	16946	8806	24907	0	1069	1573	2215	4857	7143	4920	16920	7987	23069	0	990	1584	2189	4763	6745	4754	16262	6807
421130	5	ann. pay.	806004	5451	26590	47261	67406	146708	204550	146063	497321	308683	883412	4409	27871	46547	68827	147654	234914	171505	554073	329339	957037	8331	28253	46073	74716	157373	243542	167599	568514	388523	971151	6613	29593	48644	69677	154527	260387	185932	600846	370305	860796	4034	29022	50215	72141	155412	243995	183972	583379	277417
421130	5	rec.																																									12740937	47462	402621	491217	625366	1566666	2787439	2263772	6617877	6123060
421140	5	firms	6757	446	3285	1700	925	6356	369	24	6749	8	6361	312	3167	1612	883	5974	350	31	6355	6	6007	349	2897	1520	851	5617	350	31	5998	9	5612	296	2691	1437	799	5223	350	26	5599	13	5135	239	2499	1244	761	4743	357	22	5122	13
421140	5	estab.	6979	450	3287	1709	967	6413	460	87	6960	19	6594	317	3170	1621	930	6038	432	106	6576	18	6259	353	2899	1530	889	5671	430	105	6206	53	5867	297	2695	1440	849	5281	423	91	5795	72	5379	239	2503	1250	794	4786	437	79	5302	77
421140	5	empl.	44772	0	7422	11108	11926	30456	11147	2575	44178	594	44223	0	7157	10550	11314	29021	10850	3650	43521	702	43846	0	6523	10032	11033	27588	10467	4255	42310	1536	42600	0	6134	9489	10396	26019	10436	3591	40046	2554	39996	0	5718	8120	9834	23672	10736	3066	37474	2522
421140	5	ann. pay.	999395	15026	123570	214514	267562	620672	290653	72721	984046	15349	1033442	15859	126287	216064	262699	620909	289015	105507	1015431	18011	1070435	10711	121959	211479	263133	607282	284814	127604	1019700	50735	1075934	10720	119979	206036	258447	595182	293195	103799	992176	83758	1047247	6895	113933	183927	255666	560421	306790	95029	962240	85007
421140	5	rec.																																									6104953	71557	802228	917353	1158141	2949279	1436791	633798	5019868	1085085
421210	5	firms	6095	631	3057	947	627	5262	658	131	6051	44	6088	680	3024	916	624	5244	672	128	6044	44	6071	644	3011	951	610	5216	670	138	6024	47	5962	583	2969	936	611	5099	680	135	5914	48	5939	735	2956	876	580	5147	633	115	5895	44
421210	5	estab.	6730	632	3064	954	656	5306	851	258	6415	315	6704	680	3026	926	649	5281	851	268	6400	304	6673	644	3014	960	628	5246	844	275	6365	308	6521	584	2976	944	645	5149	847	265	6261	260	6566	735	2960	888	615	5198	871	255	6324	242
421210	5	empl.	67806	0	6139	6198	8343	20680	23893	15576	60149	7657	70291	0	6076	5997	8329	20402	24329	17202	61933	8358	72457	0	6112	6293	8244	20649	24198	17684	62531	9926	72519	0	5957	6177	8130	20264	24926	17163	62353	10166	64675	0	5855	5698	7704	19257	23358	13716	56331	8344
421210	5	ann. pay.	2684905	28904	223596	207339	295721	755560	874423	670784	2300767	384138	2845880	32120	230887	210493	300442	773942	917519	734472	2425933	419947	3095204	28930	246022	229574	320566	825092	962444	841095	2628631	466573	3026744	25709	238037	216178	323882	803806	956100	782052	2541958	484786	2715893	38251	228699	210757	306072	783779	931229	617934	2332942	382951
421210	5	rec.																																									31826576	470854	5017144	2856186	2884638	11228822	7496689	5091350	23816861	8009715
421220	5	firms	7570	724	3643	1356	818	6541	781	161	7483	87	7563	769	3635	1281	849	6534	777	177	7488	75	7466	702	3577	1276	858	6413	799	179	7391	75	7254	687	3426	1271	840	6224	784	172	7180	74	7090	779	3346	1224	770	6119	743	154	7016	74
421220	5	estab.	8291	725	3652	1374	858	6609	1000	310	7919	372	8304	769	3645	1298	892	6604	970	373	7947	357	8232	702	3586	1304	888	6480	1016	373	7869	363	8024	688	3433	1294	873	6288	990	406	7684	340	7921	780	3349	1260	820	6209	969	397	7575	346
421220	5	empl.	89409	0	7484	8943	10803	27230	27748	18894	73872	15537	91396	0	7576	8414	11285	27275	28409	20663	76347	15049	94946	0	7429	8345	11438	27212	29627	22644	79483	15463	93616	0	7097	8373	11219	26689	28580	22585	77854	15762	90537	0	6927	8180	10244	25351	26899	20429	72679	17858
421220	5	ann. pay.	3039605	31203	239625	280103	345938	896869	922014	592564	2411447	628158	3277934	31854	256251	273719	375853	937677	1007244	692890	2637811	640123	3504471	31352	269831	283600	394339	979122	1078267	791749	2849138	655333	3596046	32008	265809	294633	386069	978519	1079219	825273	2883011	713035	3723801	34081	251166	305112	387635	977994	1081806	815060	2874860	848941
421220	5	rec.																																									46968793	457768	4377010	3741989	3901602	12478369	9102473	7473949	29054791	17914002
421310	5	firms	5639	586	2296	950	723	4555	763	215	5533	106	5746	604	2289	985	727	4605	819	213	5637	109	5739	526	2279	996	758	4559	852	214	5625	114	5818	589	2313	980	765	4647	844	209	5700	118	5887	647	2368	966	745	4726	830	220	5776	111
421310	5	estab.	6898	586	2304	963	759	4612	927	549	6088	810	7019	606	2296	993	770	4665	979	566	6210	809	7105	526	2288	1010	799	4623	1002	570	6195	910	7220	589	2322	997	800	4708	1002	563	6273	947	7322	647	2380	975	804	4806	1045	635	6486	836
421310	5	empl.	91465	0	4871	6212	9719	20802	26531	19664	66997	24468	96929	0	4894	6480	9902	21276	29319	20461	71056	25873	104798	0	4940	6586	10292	21818	30374	22059	74251	30547	101631	0	4953	6413	10323	21689	30038	20616	72343	29288	97926	0	5023	6383	10130	21536	29765	21622	72923	25003
421310	5	ann. pay.	3406634	36120	178678	220219	333195	768212	922822	693162	2384196	1022438	3783173	52912	189458	238747	366613	847730	1061029	748740	2657499	1125674	4119890	27257	195385	243695	378509	844846	1119865	861085	2825796	1294094	4097033	33889	194831	249074	394397	872191	1144342	803000	2819533	1277500	4075326	26648	200743	246753	396585	870729	1185592	876729	2933050	1142276
421310	5	rec.																																									74088907	434243	4290695	4253842	5672215	14650995	14428349	11656426	40735770	33353137
421320	5	firms	2284	333	918	404	241	1896	242	75	2213	71	2400	311	983	418	259	1971	274	80	2325	75	2487	312	993	428	306	2039	292	82	2413	74	2561	316	1024	442	306	2088	314	83	2485	76	2749	366	1114	461	339	2280	313	84	2677	72
421320	5	estab.	3104	333	919	406	250	1908	307	217	2432	672	3236	311	985	426	266	1988	346	230	2564	672	3351	312	993	430	313	2048	368	238	2654	697	3502	316	1026	446	320	2108	384	261	2753	749	3819	366	1116	465	367	2314	440	303	3057	762
421320	5	empl.	23428	0	1949	2671	3156	7776	7143	3151	18070	5358	25998	0	2059	2820	3406	8285	8274	3939	20498	5500	29196	0	2144	2861	4113	9118	9231	4498	22847	6349	31621	0	2168	2926	4193	9287	9995	4887	24169	7452	31848	0	2427	3043	4539	10009	10192	4409	24610	7238
421320	5	ann. pay.	858347	15613	62251	79762	107395	265021	255775	113219	634015	224332	996464	16469	69817	90595	119235	296116	310749	150152	757017	239447	1141362	18686	71442	93188	139787	323103	352069	173584	848756	292606	1280658	15377	76936	95339	147645	335297	400662	198761	934720	345938	1317628	16949	88226	103625	161807	370607	437530	187130	995267	322361
421320	5	rec.																																									14433747	183358	997760	984984	1153958	3320060	2530645	1670232	7520937	6912810
421330	5	firms	1032	115	460	156	105	836	108	53	997	35	1095	129	476	168	115	888	114	56	1058	37	1082	115	455	177	115	862	118	62	1042	40	1122	130	463	187	118	898	125	61	1084	38	1138	124	460	195	131	910	130	62	1102	36
421330	5	estab.	1658	117	462	158	115	852	166	183	1201	457	1777	129	478	171	123	901	170	203	1274	503	1766	115	457	179	123	874	171	221	1266	500	1835	130	465	190	123	908	186	242	1336	499	1906	124	464	200	158	946	216	282	1444	462
421330	5	empl.	17413	0	911	1040	1352	3303	3523	4033	10859	6554	19343	0	981	1113	1530	3624	3607	4862	12093	7250	20899	0	939	1171	1498	3608	3845	5818	13271	7628	22287	0	962	1240	1501	3703	3946	6082	13731	8556	21912	0	950	1304	1728	3982	4240	6313	14535	7377
421330	5	ann. pay.	679567	9412	38989	39121	53817	141339	125729	150412	417480	262087	773664	5127	42206	44270	61641	153244	138833	174298	466375	307289	874543	6069	40037	47367	58811	152284	141901	227536	521721	352822	1003709	17342	40700	47821	63775	169638	158253	249725	577616	426093	964685	5776	40336	54649	70303	171064	172424	248590	592078	372607
421330	5	rec.																																									11834441	60997	1078693	704929	894599	2739218	2285918	2577999	7603135	4231306
421390	5	firms	2468	309	1137	425	245	2116	210	74	2400	68	2469	305	1109	439	263	2116	213	73	2402	67	2466	270	1102	450	272	2094	232	76	2402	64	2472	264	1084	464	286	2098	237	75	2410	62	2568	251	1157	474	284	2166	264	79	2509	59
421390	5	estab.	2904	309	1138	430	254	2131	250	240	2621	283	2869	305	1109	443	270	2127	251	208	2586	283	2887	271	1102	454	278	2105	278	199	2582	305	2922	270	1085	464	292	2111	285	230	2626	296	3067	251	1157	477	297	2182	383	230	2795	272
421390	5	empl.	25278	0	2455	2788	3182	8425	6238	4495	19158	6120	26743	0	2370	2830	3380	8580	6431	4868	19879	6864	29044	0	2375	2953	3449	8777	7596	4875	21248	7796	29852	0	2336	3030	3696	9062	7677	5281	22020	7832	30985	0	2428	3098	3715	9241	8754	5450	23445	7540
421390	5	ann. pay.	843971	10865	73001	76569	99527	259962	214754	159296	634012	209959	949695	13535	77281	87275	107972	286063	233305	168886	688254	261441	1043947	15555	78160	92524	109649	295888	279943	175712	751543	292404	1128675	16889	82383	99727	120941	319940	292715	202368	815023	313652	1184151	9820	82664	104210	130418	327112	344924	201064	873100	311051
421390	5	rec.																																									10413905	101875	1156363	884674	1093422	3236334	2400906	1677653	7314893	3099012
421410	5	firms	1129	93	460	195	137	885	174	39	1098	31	1105	78	447	192	133	850	188	32	1070	35	1066	69	431	177	137	814	184	33	1031	35	1027	69	415	175	130	789	175	27	991	36	987	70	395	162	143	770	154	31	955	32
421410	5	estab.	1374	93	460	197	143	893	228	117	1238	136	1358	78	447	194	138	857	244	91	1192	166	1350	70	433	179	144	826	240	81	1147	203	1293	69	415	178	140	802	224	58	1084	209	1214	70	395	167	151	783	197	62	1042	172
421410	5	empl.	21787	0	1027	1299	1858	4184	6123	3848	14155	7632	22003	0	961	1249	1775	3985	6718	2590	13293	8710	23606	0	919	1164	1783	3866	6819	2775	13460	10146	22533	0	891	1146	1735	3772	6233	2080	12085	10448	22481	0	836	1085	1873	3794	5244	2757	11795	10686
421410	5	ann. pay.	1067047	3887	35694	47077	69791	156449	261754	159586	577789	489258	1095821	9267	33364	42798	67912	153341	305507	108474	567322	528499	1246329	3991	33115	39783	70943	147832	312286	111330	571448	674881	1219970	4238	30450	41208	72830	148726	284105	86801	519632	700338	1254236	3072	28972	42194	79661	153899	252423	126268	532590	721646
421410	5	rec.																																									19763430	26317	381688	497457	591055	1496517	2028681	920423	4445621	15317809
421420	5	firms	5136	401	2034	1107	772	4314	677	89	5080	56	4942	318	2001	1048	752	4119	671	97	4887	55	4771	272	1917	999	775	3963	651	95	4709	62	4617	292	1851	973	702	3818	652	84	4554	63	4300	284	1708	880	654	3526	630	87	4243	57
421420	5	estab.	7235	402	2038	1120	813	4373	958	296	5627	1608	7120	322	2003	1062	798	4185	935	321	5441	1679	7023	272	1921	1011	830	4034	916	300	5250	1773	6779	297	1857	985	738	3877	914	305	5096	1683	6462	284	1713	896	708	3601	927	289	4817	1645
421420	5	empl.	140372	0	4644	7354	10196	22194	24408	10918	57520	82852	141388	0	4512	6972	10001	21485	23847	12938	58270	83118	134340	0	4314	6694	10334	21342	23275	12844	57461	76879	147160	0	4176	6525	9272	19973	22842	12203	55018	92142	136619	0	3837	5896	8626	18359	22804	11048	52211	84408
421420	5	ann. pay.	5943666	16688	123248	202203	312292	654431	867787	456041	1978259	3965407	6058195	24137	124534	212164	318098	678933	873012	535211	2087156	3971039	6172834	22370	126680	205200	350615	704865	874060	565136	2144061	4028773	6456525	82939	123800	209013	325373	741125	888436	525414	2154975	4301550	5786409	13471	111459	194602	311487	631019	952789	489148	2072956	3713453
421420	5	rec.																																									42815313	89994	889266	1201393	2052725	4233378	4010825	2712288	10956491	31858822
421430	5	firms	13741	1956	5364	2450	1768	11538	1650	330	13518	223	13863	1942	5409	2509	1780	11640	1673	316	13629	234	13571	1629	5419	2487	1792	11327	1680	335	13342	229	13082	1616	5319	2358	1659	10952	1584	332	12868	214	11589	1361	4934	2003	1452	9750	1373	283	11406	183
421430	5	estab.	17315	1957	5374	2480	1857	11668	2106	895	14669	2646	17511	1944	5432	2538	1869	11783	2051	848	14682	2829	17235	1631	5433	2508	1880	11452	2031	811	14294	2941	16524	1617	5337	2385	1754	11093	1891	713	13697	2827	14807	1367	4943	2034	1568	9912	1790	702	12404	2403
421430	5	empl.	326097	0	11786	16227	23621	51634	61932	46635	160201	165896	346049	0	11644	16583	23939	52166	63558	43790	159514	186535	356853	0	11546	16464	24075	52085	63835	48802	164722	192131	347834	0	11260	15669	22479	49408	59442	50250	159100	188734	313055	0	10398	13326	19551	43275	49544	39888	132707	180348
421430	5	ann. pay.	20454371	135288	457334	640825	1031655	2265102	3083283	2663174	8011559	12442812	23187287	192383	484871	677202	1150574	2505030	3346313	2574158	8425501	14761786	24989921	137777	517017	729895	1202883	2587572	3652088	3314725	9554385	15435536	24339672	147965	474690	681502	1117913	2422070	3374440	3205996	9002506	15337166	21613170	99766	428908	595900	983014	2107588	2914491	2643953	7666032	13947138
421430	5	rec.																																									205000739	1023388	4166906	5569619	7622859	18382772	22965762	20703398	62051932	142948807
421440	5	firms	5006	382	2180	1050	724	4336	539	84	4959	47	4834	344	2061	1026	725	4156	549	86	4791	43	4756	356	2001	976	743	4076	547	88	4711	45	4671	349	1969	996	705	4019	522	86	4627	44	4704	409	2043	966	687	4105	487	76	4668	36
421440	5	estab.	5404	383	2186	1064	761	4394	662	189	5245	159	5239	344	2068	1038	759	4209	681	171	5061	178	5152	357	2005	994	775	4131	664	196	4991	161	5071	349	1973	1013	743	4078	640	198	4916	155	5134	411	2045	984	735	4175	614	191	4980	154
421440	5	empl.	52516	0	4904	6891	9687	21482	18362	6913	46757	5759	53097	0	4539	6795	9608	20942	18537	7773	47252	5845	52991	0	4494	6444	9784	20722	18472	8095	47289	5702	53002	0	4377	6584	9356	20317	17876	8969	47162	5840	50442	0	4520	6361	9187	20068	17076	7428	44572	5870
421440	5	ann. pay.	1899852	17300	139666	222719	320716	700401	679001	281402	1660804	239048	2013749	14843	137151	230957	327071	710022	719665	324135	1753822	259927	2037692	13403	136802	223308	346281	719794	721525	348506	1789825	247867	2060032	18259	142008	227732	333438	721437	710339	363714	1795490	264542	2010224	21586	143316	228991	343133	737026	716126	313283	1766435	243789
421440	5	rec.																																									17295695	184298	1764971	2351326	2701288	7001883	4787175	2861522	14650580	2645115
421450	5	firms	8281	989	4251	1302	799	7341	647	152	8140	141	8067	964	4142	1250	783	7139	647	146	7932	135	7853	870	3964	1268	811	6913	661	146	7720	133	7804	927	3818	1260	848	6853	651	164	7668	136	8349	1088	4137	1312	854	7391	649	174	8214	135
421450	5	estab.	9829	990	4254	1312	829	7385	870	402	8657	1172	9489	967	4149	1258	812	7186	848	377	8411	1078	9287	870	3970	1278	839	6957	839	380	8176	1111	9212	928	3824	1270	871	6893	810	389	8092	1120	9826	1088	4140	1328	901	7457	875	369	8701	1125
421450	5	empl.	124557	0	8558	8593	10627	27778	24100	17917	69795	54762	126334	0	8456	8203	10480	27139	23314	17038	67491	58843	130855	0	8068	8323	10820	27211	24421	16788	68420	62435	139657	0	7808	8318	11235	27361	24030	20118	71509	68148	139054	0	8422	8664	11430	28516	23514	21420	73450	65604
421450	5	ann. pay.	6358123	54600	356413	333163	456503	1200679	1057118	835186	3092983	3265140	6980103	61149	350334	342374	464947	1218804	1079267	846802	3144873	3835230	7494290	47329	343158	352473	491146	1234106	1198866	852606	3285578	4208712	8228509	62070	350007	365507	533313	1310897	1249706	1000228	3560831	4667678	8534099	80550	370579	384155	583866	1419150	1291453	1195854	3906457	4627642
421450	5	rec.																																									88619859	709034	3892838	3184259	4024972	11811103	8380488	8053994	28245585	60374274
421460	5	firms	1504	129	657	245	178	1209	222	48	1479	25	1442	100	651	224	165	1140	232	49	1421	21	1410	120	619	211	165	1115	225	50	1390	20	1372	119	600	210	158	1087	212	51	1350	22	1352	124	591	218	149	1082	206	42	1330	22
421460	5	estab.	1755	129	658	245	180	1212	287	131	1630	125	1712	100	652	224	166	1142	306	108	1556	156	1632	120	620	212	167	1119	271	124	1514	118	1582	119	601	211	161	1092	251	118	1461	121	1547	124	593	222	152	1091	246	94	1431	116
421460	5	empl.	28755	0	1311	1623	2414	5348	9034	6909	21291	7464	30353	0	1323	1504	2245	5072	9271	7643	21986	8367	28452	0	1276	1414	2220	4910	9016	6891	20817	7635	27990	0	1248	1436	2114	4798	8293	7020	20111	7879	28554	0	1234	1462	2002	4698	8066	6558	19322	9232
421460	5	ann. pay.	947256	8087	44637	52229	75523	180476	305006	237290	722772	224484	1019651	5333	45950	47544	72466	171293	312937	270619	754849	264802	1011119	12859	46152	48805	79040	186856	330288	256937	774081	237038	1012469	8537	49685	49583	78850	186655	303689	273685	764029	248440	981093	7055	39997	54736	81688	183476	307627	252586	743689	237404
421460	5	rec.																																									7482457	74434	444567	427690	561484	1508175	1799028	1920414	5227617	2254840
421490	5	firms	2410	206	1041	484	312	2043	247	60	2350	60	2366	174	1030	474	321	1999	253	60	2312	54	2290	161	980	468	316	1925	245	62	2232	58	2213	174	924	436	308	1842	252	60	2154	59	2242	192	957	433	307	1889	251	55	2195	47
421490	5	estab.	2769	206	1044	507	345	2102	333	125	2560	209	2728	174	1034	499	350	2057	334	145	2536	192	2699	161	990	486	346	1983	321	164	2468	231	2615	176	934	453	339	1902	329	161	2392	223	2640	192	964	455	338	1949	368	147	2464	176
421490	5	empl.	32699	0	2232	3218	4171	9621	8453	4834	22908	9791	31976	0	2227	3154	4297	9678	8694	4936	23308	8668	36045	0	2103	3092	4339	9534	8399	5618	23551	12494	38536	0	1997	2898	4090	8985	8598	6242	23825	14711	32672	0	2015	2895	4085	8995	8322	5126	22443	10229
421490	5	ann. pay.	1439787	7727	81783	119826	163917	373253	328477	223549	925279	514508	1452682	11733	80712	126647	163720	382812	352469	239097	974378	478304	1908592	8225	80234	128056	174384	390899	364681	293498	1049078	859514	1824551	9406	80226	121128	179261	390021	391259	320554	1101834	722717	1636478	8632	77910	123992	178297	388831	363641	275904	1028376	608102
421490	5	rec.																																									14636091	166354	740286	835012	1284636	3026288	2241813	1884873	7152974	7483117
421510	5	firms	9124	678	3800	1568	1225	7271	1307	340	8918	206	8942	671	3687	1616	1189	7163	1248	320	8731	211	8723	661	3516	1573	1187	6937	1266	309	8512	211	8510	629	3416	1528	1201	6774	1228	306	8308	202	8303	696	3292	1535	1123	6646	1186	284	8116	187
421510	5	estab.	11744	684	3815	1593	1273	7365	1754	987	10106	1638	11631	677	3698	1642	1240	7257	1692	870	9819	1812	11465	665	3528	1607	1236	7036	1672	908	9616	1849	11250	629	3431	1552	1251	6863	1621	936	9420	1830	10997	697	3304	1567	1186	6754	1680	932	9366	1631
421510	5	empl.	166137	0	8273	10393	16227	34893	47437	35398	117728	48409	165112	0	7894	10664	15867	34425	46305	32673	113403	51709	168576	0	7442	10354	15839	33635	46665	34896	115196	53380	162222	0	7320	10051	16193	33564	45399	35074	114037	48185	150064	0	7037	10097	15012	32146	43338	30780	106264	43800
421510	5	ann. pay.	6762552	43897	363039	421374	627473	1455783	1871549	1387504	4714836	2047716	6886938	42318	355429	454104	648986	1500837	1850519	1284791	4636147	2250791	7275017	50083	349238	452615	661665	1513601	1923542	1432407	4869550	2405467	6967047	31304	336494	440848	674841	1483487	1830134	1413050	4726671	2240376	6641621	50287	322651	452454	653012	1478404	1853869	1302272	4634545	2007076
421510	5	rec.																																									108063473	656286	6992932	6723706	8023129	22396053	18552930	16646178	57595161	50468312
421520	5	firms	627	56	311	103	68	538	48	11	597	30	602	65	286	97	66	514	47	12	573	29	575	53	279	101	61	494	37	13	544	31	565	64	277	89	55	485	36	15	536	29	518	43	272	84	39	438	37	11	486	32
421520	5	estab.	729	56	313	109	77	555	76	26	657	72	695	65	287	104	75	531	67	26	624	71	661	53	280	108	71	512	53	27	592	69	649	64	279	99	61	503	52	29	584	65	600	44	273	88	51	456	54	25	535	65
421520	5	empl.	4791	0	612	667	867	2146	1262	237	3645	1146	4616	0	581	629	820	2030	1127	216	3373	1243	4602	0	574	659	758	1991	1065	391	3447	1155	4143	0	559	560	712	1831	946	452	3229	914	3874	0	566	552	509	1627	1076	204	2907	967
421520	5	ann. pay.	270840	5506	31220	37283	49345	123354	46004	18419	187777	83063	265864	4198	30733	33091	44692	112714	45182	17804	175700	90164	289874	5236	29948	37955	35819	108958	50875	31578	191411	98463	256346	3978	32863	38057	34878	109776	52032	25822	187630	68716	249918	3213	31577	41093	28484	104367	52212	17858	174437	75481
421520	5	rec.																																									10184781	83875	1076839	1523581	835834	3520129	1965154	1102840	6588123	3596658
421610	5	firms	9531	750	4144	1929	1295	8118	1016	225	9359	172	9471	790	4060	1894	1344	8088	1005	209	9302	169	9357	731	4010	1873	1326	7940	1038	225	9203	154	9223	738	3809	1926	1280	7753	1082	238	9073	150	9595	955	3997	1946	1266	8164	1053	232	9449	146
421610	5	estab.	13773	759	4162	1988	1431	8340	1553	750	10643	3130	13873	791	4072	1966	1475	8304	1506	776	10586	3287	13904	736	4026	1949	1445	8156	1524	927	10607	3297	13878	739	3825	2002	1412	7978	1572	909	10459	3419	14337	960	4009	2028	1421	8418	1679	1016	11113	3224
421610	5	empl.	154975	0	9159	12726	17210	39095	34407	19722	93224	61751	155489	0	8958	12559	18110	39627	35010	19672	94309	61180	165955	0	8887	12449	17619	38955	36504	22220	97679	68276	168091	0	8411	12779	16955	38145	37586	24424	100155	67936	166242	0	8722	12835	16685	38242	36385	23842	98469	67773
421610	5	ann. pay.	6601753	43165	351978	510167	733112	1638422	1493067	795905	3927394	2674359	7105745	49151	365251	533452	779629	1727483	1572750	818900	4119133	2986612	8250900	57889	381823	550206	817194	1807112	1737247	965363	4509722	3741178	8098979	47145	366278	571522	773828	1758773	1776667	1081829	4617269	3481710	7768540	47987	359431	556168	777509	1741095	1750128	1033081	4524304	3244236
421610	5	rec.																																									93524189	499017	5569832	7212916	9067251	22349016	16228732	9689782	48267530	45256659
421620	5	firms	3211	247	1347	675	427	2696	378	76	3150	61	3115	255	1300	628	420	2603	375	74	3052	63	3023	249	1218	636	409	2512	378	75	2965	58	2955	243	1177	632	396	2448	372	83	2903	52	2882	274	1184	598	322	2378	374	78	2830	52
421620	5	estab.	3785	247	1355	690	456	2748	547	156	3451	334	3711	257	1303	650	445	2655	543	160	3358	353	3595	250	1221	653	438	2562	542	202	3306	289	3541	243	1180	647	421	2491	526	172	3189	352	3510	275	1186	624	346	2431	554	189	3174	336
421620	5	empl.	51016	0	3066	4435	5614	13115	13315	7090	33520	17496	54202	0	2968	4107	5495	12570	13442	8008	34020	20182	52676	0	2742	4219	5407	12368	14007	9068	35443	17233	52655	0	2669	4147	5219	12035	13397	10583	36015	16640	52580	0	2631	3938	4233	10802	13366	9287	33455	19125
421620	5	ann. pay.	2192995	15910	95371	153403	205721	470405	522481	266484	1259370	933625	2516213	22033	104907	150542	220364	497846	539103	317987	1354936	1161277	2509102	15077	102964	175709	226884	520634	593824	371818	1486276	1022826	2647494	46794	98845	168242	225506	539387	573140	454669	1567196	1080298	2509101	13709	91784	168671	190548	464712	595570	372728	1433010	1076091
421620	5	rec.																																									68254948	171344	1892421	4597171	3150708	9811644	10387657	10576745	30776046	37478902
421690	5	firms	15014	1481	6389	2956	1979	12805	1635	314	14754	260	14652	1331	6300	2868	1967	12466	1601	316	14383	269	14429	1312	6048	2876	1925	12161	1664	341	14166	263	14028	1218	5821	2746	1915	11700	1707	346	13753	275	13535	1245	5822	2597	1779	11443	1549	303	13295	240
421690	5	estab.	21088	1482	6427	3074	2248	13231	2384	834	16449	4639	20928	1341	6336	2994	2222	12893	2330	851	16074	4854	20787	1318	6096	2990	2162	12566	2352	864	15782	5005	20397	1230	5866	2851	2145	12092	2363	819	15274	5123	18732	1248	5858	2721	2020	11847	2291	831	14969	3763
421690	5	empl.	293835	0	13852	19450	26327	59629	58464	36173	154266	139569	297606	0	13755	18919	26341	59015	57623	35625	152263	145343	316173	0	13214	18968	25869	58051	60817	40188	159056	157117	338488	0	12791	18237	25432	56460	63236	43820	163516	174972	293420	0	12652	17087	23777	53516	55619	34929	144064	149356
421690	5	ann. pay.	16540651	152713	561445	805811	1236116	2756085	2650606	1763772	7170463	9370188	19601533	90644	572583	829471	1310544	2803242	2845671	1853128	7502041	12099492	23149100	104458	603382	931442	1414325	3053607	3506442	2546919	9106968	14042132	24032181	103828	566512	842151	1276170	2788661	3224755	2534261	8547677	15484504	19908832	73220	530357	749970	1136297	2489844	2853022	2060912	7403778	12505054
421690	5	rec.																																									193979697	873655	7649957	10306284	13421512	32251408	26119610	18223605	76594623	117385074
421710	5	firms	7250	440	3050	1387	1084	5961	1008	169	7138	112	7032	412	2926	1374	1077	5789	968	162	6919	113	6866	448	2782	1346	1039	5615	977	166	6758	108	6710	457	2703	1290	1021	5471	979	160	6610	100	6457	487	2625	1218	981	5311	904	149	6364	93
421710	5	estab.	9533	441	3064	1409	1141	6055	1470	651	8176	1357	9436	413	2937	1394	1131	5875	1401	656	7932	1504	9457	448	2790	1367	1092	5697	1358	685	7740	1717	9387	466	2713	1310	1070	5559	1369	665	7593	1794	9373	487	2632	1236	1059	5414	1399	725	7538	1835
421710	5	empl.	112859	0	6570	9130	14408	30108	35936	20384	86428	26431	117224	0	6317	9074	14448	29839	35136	20484	85459	31765	124860	0	6015	8926	13970	28911	35364	21287	85562	39298	122386	0	5873	8543	13660	28076	35727	20902	84705	37681	111066	0	5677	8013	13194	26884	32353	20624	79861	31205
421710	5	ann. pay.	4194475	24922	222327	322887	536944	1107080	1347249	704772	3159101	1035374	4536231	18349	218987	339454	547308	1124098	1376208	726119	3226425	1309806	5014707	25735	219043	349225	546041	1140044	1470663	802959	3413666	1601041	5073216	24847	215751	320010	539895	1100503	1553405	757749	3411657	1661559	4439761	39328	208946	303569	527749	1079592	1353468	736704	3169764	1269997
421710	5	rec.																																									45771182	358520	2753685	2834931	4412372	10359508	10588339	6938776	27886623	17884559
421720	5	firms	3669	337	1543	756	483	3119	393	97	3609	60	3653	297	1538	772	514	3121	376	96	3593	60	3585	256	1504	776	489	3025	394	105	3524	61	3556	238	1451	791	496	2976	407	107	3490	66	3715	323	1463	818	504	3108	436	108	3652	63
421720	5	estab.	4801	337	1547	766	532	3182	622	334	4138	663	4839	297	1542	788	558	3185	571	374	4130	709	4756	256	1509	783	535	3083	582	384	4049	707	4912	243	1454	805	537	3039	605	424	4068	844	5144	323	1465	833	573	3194	720	455	4369	775
421720	5	empl.	47331	0	3385	4977	6306	14668	12967	8949	36584	10747	49740	0	3389	5063	6764	15216	12632	9470	37318	12422	52669	0	3326	5130	6484	14940	13458	10373	38771	13898	54353	0	3224	5202	6561	14987	13600	11806	40393	13960	54879	0	3301	5327	6665	15293	14813	11074	41180	13699
421720	5	ann. pay.	1801565	11846	120851	184305	246991	563993	524330	321856	1410179	391386	1971444	14532	125705	186291	274567	601095	539117	355384	1495596	475848	2131807	14258	127776	203731	266165	611930	580325	410499	1602754	529053	2270478	14249	125533	208073	280349	628204	603684	469753	1701641	568837	2361259	20386	129729	219536	293095	662746	674703	479496	1816945	544314
421720	5	rec.																																									31668105	246003	1859958	2722929	3720994	8549884	12321533	4156016	25027433	6640672
421730	5	firms	3247	194	1279	702	526	2701	407	90	3198	49	3146	195	1205	687	502	2589	414	91	3094	52	3077	174	1176	682	486	2518	408	99	3025	52	3022	179	1149	653	481	2462	413	98	2973	49	3001	173	1127	689	464	2453	407	95	2955	46
421730	5	estab.	5589	197	1288	726	637	2848	906	613	4367	1222	5651	195	1215	707	604	2721	910	659	4290	1361	5710	176	1184	707	566	2633	867	711	4211	1499	5579	181	1159	674	541	2555	880	653	4088	1491	5598	173	1131	723	540	2567	929	654	4150	1448
421730	5	empl.	52121	0	2928	4639	7054	14621	14350	10498	39469	12652	57424	0	2803	4569	6695	14067	14556	10890	39513	17911	57696	0	2714	4564	6532	13810	14371	12186	40367	17329	57478	0	2646	4339	6411	13396	14213	12251	39860	17618	57267	0	2602	4579	6109	13290	14335	10369	37994	19273
421730	5	ann. pay.	2210840	9746	108955	189357	303449	611507	612026	432220	1655753	555087	2481839	8057	109540	194006	294930	606533	644598	463075	1714206	767633	2674106	6673	111161	205808	310963	634605	648959	538973	1822537	851569	2705747	13963	113064	194542	304274	625843	693781	562098	1881722	824025	2693297	17320	107742	201026	303445	629533	695071	472466	1797070	896227
421730	5	rec.																																									25599100	120328	1243799	2004288	2178350	5546765	5075241	4351473	14973479	10625621
421740	5	firms	995	70	413	173	145	801	142	30	973	22	985	69	405	183	137	794	137	30	961	24	951	63	383	190	127	763	136	32	931	20	918	53	372	185	128	738	126	33	897	21	936	57	364	196	132	749	132	34	915	21
421740	5	estab.	1541	72	413	182	158	825	302	158	1285	256	1546	69	411	195	146	821	280	184	1285	261	1501	63	385	199	143	790	269	188	1247	254	1445	53	373	195	139	760	254	190	1204	241	1482	57	364	203	157	781	271	193	1245	237
421740	5	empl.	13091	0	931	1133	1861	3925	4989	1925	10839	2252	13566	0	909	1196	1811	3916	4870	2233	11019	2547	13670	0	857	1237	1690	3784	4908	2523	11215	2455	13742	0	848	1219	1693	3760	4820	2360	10940	2802	14249	0	801	1301	1761	3863	4679	2480	11022	3227
421740	5	ann. pay.	526359	2630	31521	44091	69024	147266	195201	77319	419786	106573	561034	3098	32190	44280	69120	148688	201427	87731	437846	123188	583358	4824	30068	48438	66594	149924	204446	108761	463131	120227	612389	2253	30749	50409	69194	152605	207678	108447	468730	143659	620606	5505	29177	54486	69065	158233	208566	96443	463242	157364
421740	5	rec.																																									5013797	55720	405806	537439	389828	1388793	1791225	735033	3915051	1098746
421810	5	firms	3681	271	1411	618	512	2812	594	172	3578	103	3564	255	1363	599	505	2722	573	155	3450	114	3464	268	1316	594	471	2649	540	157	3346	118	3331	215	1272	585	461	2533	526	150	3209	122	3387	279	1309	595	443	2626	502	141	3269	118
421810	5	estab.	5267	290	1412	626	571	2899	1003	728	4630	637	5214	274	1370	604	555	2803	967	671	4441	773	5152	275	1327	597	512	2711	895	676	4282	870	5050	231	1281	589	509	2610	866	624	4100	950	5112	280	1313	615	499	2707	896	638	4241	871
421810	5	empl.	91431	0	3090	4063	6864	14017	21389	26486	61892	29539	95928	0	3023	3974	6783	13780	21597	24402	59779	36149	93450	0	2844	3948	6306	13098	20028	24316	57442	36008	93168	0	2740	3868	6134	12742	19636	22689	55067	38101	89608	0	2820	3938	5995	12753	18233	20181	51167	38441
421810	5	ann. pay.	3945761	11717	112549	142846	261041	528153	901021	1175219	2604393	1341368	4274322	13292	108073	149401	266867	537633	922072	1087997	2547702	1726620	4285046	14988	106616	148335	255883	525822	881649	1106165	2513636	1771410	4304186	20043	102816	149317	251263	523439	858334	1041192	2422965	1881221	4029157	25952	104695	151565	246427	528639	797207	926830	2252676	1776481
421810	5	rec.																																									47308673	213378	1317346	1534140	2026007	5090871	6695514	8453571	20239956	27068717
421820	5	firms	8329	473	2750	1804	1763	6790	1366	125	8281	48	8110	450	2671	1790	1683	6594	1342	119	8055	55	7888	433	2608	1723	1645	6409	1313	114	7836	52	7628	434	2540	1633	1566	6173	1290	116	7579	49	7377	455	2459	1519	1542	5975	1237	114	7326	51
421820	5	estab.	9583	473	2758	1814	1859	6904	2018	488	9410	173	9448	452	2681	1805	1761	6699	1998	445	9142	306	9206	437	2617	1737	1726	6517	1940	401	8858	348	9086	439	2554	1652	1653	6298	1870	527	8695	391	9008	461	2463	1532	1639	6095	1971	542	8608	400
421820	5	empl.	102538	0	6109	12234	24199	42542	44134	10667	97343	5195	102044	0	5994	12101	22932	41027	43515	10945	95487	6557	101374	0	5869	11704	22487	40060	43014	10273	93347	8027	99387	0	5658	11022	21236	37916	42785	10793	91494	7893	95610	0	5430	10272	21060	36762	41452	10100	88314	7296
421820	5	ann. pay.	2999045	22090	136670	281930	644045	1084735	1356675	337053	2778463	220582	3099342	24911	142476	288996	630745	1087128	1382866	355469	2825463	273879	3199447	16745	142234	290277	634890	1084146	1448138	344292	2876576	322871	3250385	19076	142747	286397	626342	1074562	1474114	367797	2916473	333912	3166621	32049	137565	267952	640039	1077605	1414703	354970	2847278	319343
421820	5	rec.																																									40444575	551934	1792279	2690436	6589425	11624074	14455879	3551335	29631288	10813287
421830	5	firms	29095	2256	12938	5853	3857	24904	3122	662	28688	407	28545	2142	12862	5704	3764	24472	3040	638	28150	395	27764	2063	12440	5498	3742	23743	3019	604	27366	398	26796	1915	11831	5403	3652	22801	3022	583	26406	390	26219	2162	11758	5143	3453	22516	2782	549	25847	372
421830	5	estab.	35488	2260	12972	5999	4298	25529	4782	2070	32381	3107	34947	2151	12906	5855	4221	25133	4693	2024	31850	3097	34089	2076	12496	5641	4169	24382	4569	1972	30923	3166	33098	1918	11886	5547	4047	23398	4499	1949	29846	3252	32437	2169	11807	5313	3875	23164	4362	1888	29414	3023
421830	5	empl.	353234	0	27877	38618	51269	117764	106787	61607	286158	67076	347881	0	27679	37655	50212	115546	106048	60752	282346	65535	349093	0	26857	36389	49841	113087	105679	60501	279267	69826	352561	0	25586	35650	48845	110081	105215	61333	276629	75932	324366	0	25608	33966	46106	105680	95159	53380	254219	70147
421830	5	ann. pay.	15377738	107785	1067069	1531169	2117444	4823467	4657245	2685633	12166345	3211393	15534301	113772	1080992	1505589	2138758	4839111	4693941	2774838	12307890	3226411	16406251	105551	1099629	1511237	2231924	4948341	4888177	2868852	12705370	3700881	16364269	101689	1033229	1471122	2123870	4729910	4774505	2865026	12369441	3994828	15286055	162815	999667	1432877	2018709	4614068	4363928	2551662	11529658	3756397
421830	5	rec.																																									122659567	1489579	11522338	12027749	14423154	39462820	28455195	17993088	85911103	36748464
421840	5	firms	9882	674	4075	1980	1418	8147	1302	265	9714	168	9743	678	4046	1909	1402	8035	1279	257	9571	172	9572	647	3916	1911	1366	7840	1310	250	9400	172	9358	609	3851	1856	1370	7686	1257	251	9194	164	9256	709	3854	1846	1256	7665	1217	229	9111	145
421840	5	estab.	14984	676	4086	2011	1575	8348	2325	1289	11962	3022	15152	680	4058	1948	1574	8260	2262	1272	11794	3358	14880	650	3936	1949	1526	8061	2262	1169	11492	3388	14723	621	3865	1884	1551	7921	2172	1192	11285	3438	14479	710	3871	1902	1451	7934	2287	1171	11392	3087
421840	5	empl.	144708	0	9024	13151	18898	41073	43633	23191	107897	36811	146666	0	8986	12682	18766	40434	43181	22716	106331	40335	145730	0	8597	12682	18122	39401	44450	22365	106216	39514	144668	0	8481	12270	18434	39185	43153	23061	105399	39269	137162	0	8394	12181	16843	37418	41180	20721	99319	37843
421840	5	ann. pay.	5627905	36944	319424	479068	722773	1558209	1721032	895933	4175174	1452731	5859420	38089	329504	471863	730120	1569576	1727996	902458	4200030	1659390	6047589	35706	327956	475593	728667	1567922	1866731	934355	4369008	1678581	5931115	28526	317784	463721	739614	1549645	1783038	952345	4285028	1646087	5706129	33736	311004	460772	696537	1502049	1756519	870159	4128727	1577402
421840	5	rec.																																									58876765	372146	3739294	3845655	5133035	13090130	12233095	7148386	32471611	26405154
421850	5	firms	5664	409	2472	1255	792	4928	585	109	5622	42	5570	431	2387	1220	795	4833	584	112	5529	41	5382	365	2293	1195	761	4614	618	102	5334	48	5183	376	2205	1104	759	4444	590	103	5137	46	5152	395	2207	1089	738	4429	586	91	5106	46
421850	5	estab.	6768	410	2473	1276	849	5008	858	488	6354	414	6738	433	2389	1233	868	4923	819	540	6282	456	6548	365	2298	1207	812	4682	849	412	5943	605	6426	376	2208	1120	812	4516	809	452	5777	649	6573	395	2211	1105	811	4522	885	396	5803	770
421850	5	empl.	60566	0	5628	8279	10335	24242	20122	10433	54797	5769	61153	0	5325	8095	10332	23752	19646	11452	54850	6303	61407	0	5135	7884	9756	22775	20749	10024	53548	7859	61700	0	4971	7377	9895	22243	19838	11462	53543	8157	60212	0	4962	7308	9603	21873	19932	8944	50749	9463
421850	5	ann. pay.	1944730	18767	156617	225636	312003	713023	663903	333167	1710093	234637	2056176	22589	161210	228508	319562	731869	671792	367439	1771100	285076	2159614	14137	181150	228352	313183	736822	756608	339668	1833098	326516	2283248	17320	146349	230531	333760	727960	734798	470248	1933006	350242	2293056	66970	144806	233448	330833	776057	752454	364525	1893036	400020
421850	5	rec.																																									19696370	559900	1410146	2048756	2253826	6272628	4695250	2723469	13691347	6005023
421860	5	firms	3646	364	1718	632	433	3147	341	81	3569	77	3578	346	1678	626	429	3079	342	79	3500	78	3524	333	1648	635	427	3043	330	76	3449	75	3397	286	1575	615	427	2903	349	71	3323	74	3364	342	1531	608	432	2913	312	64	3289	75
421860	5	estab.	3992	364	1725	643	446	3178	415	160	3753	239	3924	346	1683	637	443	3109	408	162	3679	245	3867	333	1656	645	442	3076	393	153	3622	245	3730	286	1583	623	439	2931	417	146	3494	236	3731	342	1536	620	462	2960	402	146	3508	223
421860	5	empl.	45901	0	3656	4114	5689	13459	11680	7626	32765	13136	49660	0	3647	4097	5726	13470	12274	7935	33679	15981	45159	0	3577	4198	5783	13558	11749	8322	33629	11530	45520	0	3355	4035	5731	13121	12054	7841	33016	12504	40986	0	3234	3957	5805	12996	10553	7102	30651	10335
421860	5	ann. pay.	2150843	22716	164014	181223	247516	615469	481854	322676	1419999	730844	2338261	22350	156860	184232	251303	614745	508939	340851	1464535	873726	2080413	21976	156189	192718	260328	631211	504923	389151	1525285	555128	2126306	15173	145935	190768	259244	611120	526008	365662	1502790	623516	1898290	21411	135592	180168	264563	601734	469467	309985	1381186	517104
421860	5	rec.																																									27396608	250589	2333932	2066764	2769841	7421126	4579420	2965942	14966488	12430120
421910	5	firms	5725	613	2718	997	693	5021	566	90	5677	48	5699	700	2665	989	641	4995	573	83	5651	48	5749	696	2671	988	657	5012	603	86	5701	48	5613	643	2612	976	645	4876	603	88	5567	46	6158	853	2967	979	657	5456	568	87	6111	47
421910	5	estab.	6200	613	2728	1007	749	5097	666	182	5945	255	6179	700	2675	1003	685	5063	698	157	5918	261	6221	697	2691	1002	699	5089	698	174	5961	260	6085	643	2616	995	679	4933	696	181	5810	275	6707	853	2972	998	697	5520	671	181	6372	335
421910	5	empl.	57676	0	5601	6538	9177	21316	19275	9638	50229	7447	55508	0	5390	6427	8583	20400	19497	8829	48726	6782	57625	0	5442	6415	8693	20550	21161	9687	51398	6227	57716	0	5303	6417	8577	20297	21250	10101	51648	6068	57587	0	6019	6413	8853	21285	19847	9541	50673	6914
421910	5	ann. pay.	1919239	24067	176162	194944	306115	701288	583488	328791	1613567	305672	1959883	28481	174580	211750	293820	708631	649109	310251	1667991	291892	2139652	27163	185050	216000	310118	738331	728461	359852	1826644	313008	2204681	24061	178380	223797	301473	727711	783730	374983	1886424	318257	2294568	32549	211584	229880	321675	795688	773912	394723	1964323	330245
421910	5	rec.																																									28972284	409065	3805658	3398167	3541613	11154503	7836498	4985257	23976258	4996026
421920	5	firms	3055	308	1522	526	329	2685	288	52	3025	30	3028	371	1482	506	289	2648	306	46	3000	28	3008	363	1452	498	299	2612	313	52	2977	31	2890	312	1395	497	298	2502	306	57	2865	25	3012	352	1495	475	300	2622	310	52	2984	28
421920	5	estab.	3190	309	1522	531	347	2709	339	92	3140	50	3158	375	1483	511	300	2669	349	95	3113	45	3140	367	1457	503	311	2638	342	110	3090	50	3025	312	1399	502	310	2523	338	127	2988	37	3181	352	1499	484	314	2649	365	110	3124	57
421920	5	empl.	35626	0	3215	3385	4334	10934	10315	6174	27423	8203	35505	0	3108	3281	3948	10337	11267	6409	28013	7492	38325	0	3030	3219	3965	10214	11532	7277	29023	9302	36890	0	2917	3239	4014	10170	11648	7761	29579	7311	35313	0	3079	3066	4001	10146	11418	6471	28035	7278
421920	5	ann. pay.	1328107	12204	99445	102402	144511	358562	370887	221515	950964	377143	1329045	23270	102298	109686	138715	373969	426598	237782	1038349	290696	1477673	15567	107833	106831	145974	376205	460926	271292	1108423	369250	1483239	13502	102523	107707	144135	367867	459969	295452	1123288	359951	1467009	15433	106467	107375	154057	383332	463963	291664	1138959	328050
421920	5	rec.																																									18323292	201000	1910146	1596563	2340889	6048598	4672425	3238901	13959924	4363368
421930	5	firms	7790	688	2996	1485	1208	6377	1157	163	7697	93	7289	629	2980	1326	1117	6052	999	148	7199	90	7102	593	2807	1317	1135	5852	1027	136	7015	87	6847	541	2737	1270	1097	5645	989	130	6764	83	6710	587	2692	1272	1009	5560	941	126	6627	83
421930	5	estab.	8974	689	2999	1504	1256	6448	1444	383	8275	699	8459	634	2993	1348	1176	6151	1247	368	7766	693	8267	594	2823	1337	1185	5939	1269	359	7567	700	8002	544	2752	1296	1140	5732	1222	347	7301	701	7870	588	2700	1292	1064	5644	1202	331	7177	693
421930	5	empl.	113246	0	6543	9922	16526	32991	41797	18707	93495	19751	102260	0	6522	8789	15214	30525	35274	16162	81961	20299	103108	0	6124	8764	15532	30420	36705	14614	81739	21369	99109	0	5960	8381	14928	29269	35777	14081	79127	19982	93060	0	5891	8459	13685	28035	33034	13753	74822	18238
421930	5	ann. pay.	3185572	30755	165145	230139	428714	854753	1144336	521347	2520436	665136	3040080	35157	169748	232000	411528	848433	1040278	479436	2368147	671933	3302669	27546	175810	231457	463169	897982	1159315	477246	2534543	768126	3132047	25629	169825	226068	424102	845624	1135958	441726	2423308	708739	3045028	30847	167254	243837	412796	854734	1060242	465094	2380070	664958
421930	5	rec.																																									31616739	313662	2237690	2191370	3378624	8121346	8480552	5324534	21926432	9690307
421940	5	firms	7858	907	4689	1217	606	7419	364	53	7836	22	7989	945	4753	1229	578	7505	404	62	7971	18	8226	1038	4820	1269	604	7731	415	58	8204	22	8083	896	4829	1257	618	7600	401	57	8058	25	8607	1055	5190	1319	592	8156	377	52	8585	22
421940	5	estab.	7992	908	4693	1228	624	7453	416	73	7942	50	8126	946	4758	1239	595	7538	444	96	8078	48	8355	1039	4823	1278	628	7768	445	93	8306	49	8215	897	4835	1265	642	7639	428	96	8163	52	8745	1055	5194	1327	614	8190	431	77	8698	47
421940	5	empl.	49800	0	9635	7839	7962	25436	12926	7364	45726	4074	51289	0	9834	7849	7576	25259	13982	8054	47295	3994	55854	0	10018	8116	8016	26150	14780	8009	48939	6915	54408	0	10065	8014	8180	26259	13974	7816	48049	6359	54205	0	10613	8461	7903	26977	13792	7114	47883	6322
421940	5	ann. pay.	1765354	33882	308425	252245	267734	862286	454935	319024	1636245	129109	1890128	26869	313561	266541	270868	877839	496261	378277	1752377	137751	2102777	38167	328488	284566	298577	949798	567850	366621	1884269	218508	2080304	29331	332791	278487	299224	939833	540961	365344	1846138	234166	2209461	39680	355767	306922	304910	1007279	583644	335209	1926132	283329
421940	5	rec.																																									36002379	741128	7373991	5833788	4691319	18640226	6930699	6805028	32375953	3626426
421990	5	firms	11487	1829	6161	1761	907	10658	621	117	11396	91	12411	2451	6396	1802	913	11562	646	111	12319	92	13665	2665	7195	1936	979	12775	678	117	13570	95	13730	2325	7489	2012	1006	12832	684	124	13640	90	15192	2599	8374	2176	1101	14250	725	126	15101	91
421990	5	estab.	12101	1829	6165	1782	957	10733	743	230	11706	395	13004	2451	6400	1819	972	11642	746	237	12625	379	14246	2665	7199	1953	1032	12849	781	245	13875	371	14285	2326	7494	2027	1048	12895	801	251	13947	338	15742	2600	8381	2204	1163	14348	860	244	15452	290
421990	5	empl.	90039	0	12164	11353	11927	35444	20837	11180	67461	22578	91291	0	12550	11780	12007	36337	21945	11632	69914	21377	100082	0	14340	12614	12856	39810	23133	12291	75234	24848	99261	0	14776	13053	13132	40961	23572	12294	76827	22434	100749	0	16601	14134	14523	45258	24602	14241	84101	16648
421990	5	ann. pay.	3272749	70575	327560	328512	359876	1086523	741926	476822	2305271	967478	3473046	90480	359871	361498	382103	1193952	781854	470354	2446160	1026886	3903717	104344	436072	402254	420051	1362721	854571	495749	2713041	1190676	3954785	82640	459455	416639	448756	1407490	860095	498542	2766127	1188658	3974914	87530	519986	465361	519114	1591991	932935	560952	3085878	889036
421990	5	rec.																																									58705306	1050637	8013972	5436963	4904713	19406285	8494998	7207770	35109053	23596253
422110	5	firms	1489	82	768	259	169	1278	129	46	1453	36	1413	84	739	228	146	1197	138	45	1380	33	1345	75	684	219	149	1127	140	46	1313	32	1279	82	645	214	131	1072	132	45	1249	30	1228	96	601	207	130	1034	118	51	1203	25
422110	5	estab.	2263	82	769	264	180	1295	173	173	1641	622	2215	84	740	234	154	1212	179	174	1565	650	2104	75	685	224	156	1140	187	166	1493	611	2018	82	646	217	139	1084	178	153	1415	603	1986	96	601	213	139	1049	178	187	1414	572
422110	5	empl.	32427	0	1566	1670	2297	5533	4512	5341	15386	17041	32512	0	1567	1503	1988	5058	4781	5272	15111	17401	31475	0	1409	1421	1974	4804	4824	5636	15264	16211	31024	0	1353	1421	1762	4536	4631	5745	14912	16112	28644	0	1227	1329	1715	4271	4231	5370	13872	14772
422110	5	ann. pay.	1630580	3946	62057	63207	109059	238269	216563	266632	721464	909116	1610883	3624	60827	62877	89914	217242	248889	284388	750519	860364	1717166	2150	55636	59083	98986	215855	259419	294077	769351	947815	1712310	2510	55701	64719	89113	212043	249991	305111	767145	945165	1620785	3619	49903	60159	84523	198204	235746	291064	725014	895771
422110	5	rec.																																									40972544	66098	620819	878800	1313063	2878780	4426092	4838774	12143646	28828898
422120	5	firms	6049	380	2921	1181	797	5279	606	93	5978	71	5970	454	2845	1147	753	5199	609	93	5901	69	5862	432	2786	1143	728	5089	605	98	5792	70	5641	425	2641	1107	715	4888	580	97	5565	76	5602	483	2671	1041	671	4866	567	102	5535	67
422120	5	estab.	8104	380	2926	1191	869	5366	792	335	6493	1611	7864	455	2849	1160	812	5276	797	307	6380	1484	7623	432	2790	1158	783	5163	765	307	6235	1388	7323	425	2646	1125	776	4972	776	281	6029	1294	6813	483	2675	1064	719	4941	717	295	5953	860
422120	5	empl.	124413	0	6150	7831	10566	24547	20103	7516	52166	72247	127087	0	5984	7588	10034	23606	20553	8501	52660	74427	129198	0	5822	7579	9712	23113	20825	9083	53021	76177	123458	0	5526	7249	9565	22340	20222	8666	51228	72230	113722	0	5518	6875	8911	21304	19166	9032	49502	64220
422120	5	ann. pay.	3680634	15464	193156	252006	373730	834356	675153	298038	1807547	1873087	3733252	22362	194553	251662	366873	835450	743729	333688	1912867	1820385	3919206	17109	197269	262141	355529	832048	771066	375153	1978267	1940939	3877471	19538	187621	249569	350508	807236	756668	355837	1919741	1957730	3504712	22857	186950	238815	329652	778274	717483	346211	1841968	1662744
422120	5	rec.																																									34522503	182626	1997919	1961487	2264463	6406495	4647244	2686589	13740328	20782175
422130	5	firms	4794	400	2125	843	618	3986	620	116	4722	72	4630	312	2048	847	607	3814	629	123	4566	64	4525	339	1933	864	577	3713	616	129	4458	67	4374	314	1864	810	576	3564	621	126	4311	63	4193	329	1812	769	518	3428	579	121	4128	65
422130	5	estab.	5505	410	2126	853	645	4034	770	248	5052	453	5289	314	2052	857	639	3862	754	266	4882	407	5193	341	1939	872	603	3755	737	313	4805	388	5089	314	1868	820	597	3599	749	321	4669	420	4871	329	1814	786	547	3476	714	302	4492	379
422130	5	empl.	70681	0	4490	5529	8355	18374	23393	12064	53831	16850	68989	0	4351	5576	8164	18091	23315	12859	54265	14724	70862	0	4129	5755	7793	17677	23158	13772	54607	16255	71412	0	4018	5365	7845	17228	23107	14080	54415	16997	66415	0	3873	5078	6991	15942	21260	13418	50620	15795
422130	5	ann. pay.	2993175	20702	177088	201345	306416	705551	903996	544405	2153952	839223	2987716	25222	184142	211955	310067	731386	918191	573204	2222781	764935	3232207	15500	181591	229161	296372	722624	948018	627954	2298596	933611	3290429	14348	171096	214806	292129	692379	955524	637258	2285161	1005268	3102208	15765	167086	210459	282021	675331	894259	642380	2211970	890238
422130	5	rec.																																									44842195	244975	2918687	3040806	3121698	9326166	7896230	6910903	24133299	20708896
422210	5	firms	6382	723	2907	1021	659	5310	706	194	6210	172	6115	671	2757	975	651	5054	701	188	5943	172	5948	627	2649	954	661	4891	699	176	5766	182	5755	588	2559	943	612	4702	699	174	5575	180	5936	750	2628	952	597	4927	651	167	5745	191
422210	5	estab.	8124	723	2910	1027	675	5335	785	349	6469	1655	7510	672	2758	981	664	5075	767	297	6139	1371	7418	628	2651	958	671	4908	774	275	5957	1461	7189	589	2559	953	620	4721	755	289	5765	1424	7243	751	2630	956	617	4954	716	273	5943	1300
422210	5	empl.	194864	0	5994	6796	8793	21583	26407	25298	73288	121576	199759	0	5655	6409	8606	20670	26034	26470	73174	126585	210418	0	5408	6341	8673	20422	26504	25533	72459	137959	234917	0	5296	6207	8077	19580	27215	26161	72956	161961	218150	0	5366	6295	7871	19532	24067	23304	66903	151247
422210	5	ann. pay.	9320121	53335	217033	243646	322343	836357	1007456	1088959	2932772	6387349	10054870	57924	218172	236311	355451	867858	1082697	1109368	3059923	6994947	11979927	138141	217170	264101	348565	967977	1134676	1237040	3339693	8640234	13695588	50176	225652	258156	364941	898925	1204193	1309523	3412641	10282947	12776342	189890	221052	280284	381168	1072394	1095193	1337255	3504842	9271500
422210	5	rec.																																									366325768	2389055	3554125	3441497	4059931	13444608	12749125	24459480	50653213	315672555
422310	5	firms	5263	700	2517	948	535	4700	406	92	5198	65	5366	675	2669	918	524	4786	420	92	5298	68	5316	641	2639	909	553	4742	424	90	5256	60	5183	605	2625	826	562	4618	415	91	5124	59	4808	648	2391	782	496	4317	360	75	4752	56
422310	5	estab.	5743	704	2520	952	554	4730	492	307	5529	214	5853	676	2673	921	539	4809	514	281	5604	249	5802	656	2642	914	569	4781	505	283	5569	233	5668	605	2628	830	579	4642	516	284	5442	226	5275	648	2392	790	514	4344	479	251	5074	201
422310	5	empl.	46315	0	5317	6202	7142	18661	13974	8385	41020	5295	46711	0	5617	5958	6898	18473	14496	7797	40766	5945	47544	0	5445	5899	7361	18705	14985	7746	41436	6108	46755	0	5484	5331	7463	18278	14473	7807	40558	6197	40493	0	5030	5095	6579	16704	12494	6221	35419	5074
422310	5	ann. pay.	1721969	34912	186617	205945	255454	682928	492772	302294	1477994	243975	1788850	44361	197213	206154	255188	702916	516890	289022	1508828	280022	1879619	28645	202527	216024	262134	709330	579310	303467	1592107	287512	1861183	24551	203198	191534	264195	683478	575239	303509	1562226	298957	1775392	44058	187894	192457	259644	684053	517644	284536	1486233	289159
422310	5	rec.																																									21896968	545247	3133344	2726545	2751792	9156928	5049030	2483382	16689340	5207628
422320	5	firms	4586	507	2196	734	494	3931	471	112	4514	72	4472	544	2112	719	463	3838	464	104	4406	66	4339	476	2078	690	469	3713	459	111	4283	56	4181	487	1988	618	470	3563	451	113	4127	54	3980	453	1950	601	425	3429	393	111	3933	47
422320	5	estab.	4899	508	2199	739	509	3955	521	178	4654	245	4769	547	2117	728	477	3869	507	159	4535	234	4628	476	2086	699	481	3742	495	167	4404	224	4465	488	1993	623	484	3588	495	162	4245	220	4273	454	1955	610	439	3458	445	160	4063	210
422320	5	empl.	61105	0	4478	4791	6630	15899	17120	11097	44116	16989	58641	0	4385	4731	6194	15310	16889	10489	42688	15953	60632	0	4333	4513	6318	15164	16762	11739	43665	16967	59912	0	4171	4077	6352	14600	16395	12048	43043	16869	59145	0	4082	3939	5740	13761	14166	12477	40404	18741
422320	5	ann. pay.	2249678	26581	148319	150444	199064	524408	565055	357571	1447034	802644	2172820	28025	155781	150922	195481	530209	575691	372138	1478038	694782	2383007	25130	160674	148814	211327	545945	634502	427857	1608304	774703	2330159	30349	154307	142280	222535	549471	624831	439875	1614177	715982	2384278	35944	140830	147536	221354	545664	640101	472109	1657874	726404
422320	5	rec.																																									32858037	447142	2460784	2045660	2313810	7267396	7047592	5247156	19562144	13295893
422330	5	firms	7883	1081	4054	1175	683	6993	681	138	7812	71	7548	1028	3872	1132	684	6716	629	141	7486	62	7462	1045	3810	1069	688	6612	658	135	7405	57	7213	915	3697	1047	672	6331	696	130	7157	56	7220	1058	3679	1002	653	6392	648	126	7166	54
422330	5	estab.	8273	1081	4060	1182	699	7022	789	176	7987	286	7912	1037	3877	1142	701	6757	716	186	7659	253	7824	1045	3820	1079	704	6648	747	185	7580	244	7583	915	3707	1054	685	6361	783	196	7340	243	7608	1058	3685	1013	681	6437	781	191	7409	199
422330	5	empl.	78130	0	8163	7677	9032	24872	24675	17899	67446	10684	77609	0	7799	7352	9047	24198	23002	18375	65575	12034	79373	0	7750	7014	9178	23942	24927	17375	66244	13129	79595	0	7547	6854	8965	23366	26108	16986	66460	13135	76252	0	7473	6507	8732	22712	24348	14678	61738	14514
422330	5	ann. pay.	2954221	50570	253160	227529	296610	827869	896508	730449	2454826	499395	2989586	48114	249692	229649	309957	837412	891714	756504	2485630	503956	3212906	50259	261210	228350	335546	875365	1008178	750798	2634341	578565	3348318	43938	256805	218366	326408	845517	1081967	740343	2667827	680491	3554955	62866	268421	233589	362296	927172	1089575	785333	2802080	752875
422330	5	rec.																																									46070771	867731	5159273	3094333	3767450	12888787	11763289	8339224	32991300	13079471
422340	5	firms	1650	202	827	262	149	1440	149	31	1620	30	1652	212	833	261	147	1453	135	36	1624	28	1642	213	810	250	164	1437	140	38	1615	27	1621	224	801	234	143	1402	155	40	1597	24	1738	239	913	251	132	1535	142	37	1714	24
422340	5	estab.	1746	202	827	264	152	1445	171	49	1665	81	1750	212	833	263	151	1459	156	56	1671	79	1773	213	810	252	169	1444	160	93	1697	76	1755	224	802	235	146	1407	173	102	1682	73	1875	239	913	258	136	1546	154	66	1766	109
422340	5	empl.	23751	0	1621	1677	1893	5191	5101	3492	13784	9967	25688	0	1613	1694	1897	5204	4850	3763	13817	11871	26592	0	1633	1628	2105	5366	5213	4407	14986	11606	26170	0	1620	1570	1842	5032	5789	4694	15515	10655	24948	0	1853	1662	1761	5276	5525	4100	14901	10047
422340	5	ann. pay.	1339772	8621	65602	59870	75532	209625	243114	196938	649677	690095	1409696	9399	67077	69369	74368	220213	254735	202645	677593	732103	1472969	13700	68141	63120	91597	236558	274791	245058	756407	716562	1498730	10807	69587	63338	84136	227868	301154	265491	794513	704217	1567086	17823	73639	74934	80913	247309	365496	274386	887191	679895
422340	5	rec.																																									21826129	267662	1433606	1362974	971732	4035974	3781895	3481203	11299072	10527057
422410	5	firms	3438	442	1396	605	375	2818	397	120	3335	103	3285	306	1403	597	388	2694	380	109	3183	102	3183	312	1351	566	389	2618	365	110	3093	90	3094	292	1318	534	393	2537	363	104	3004	90	3385	385	1452	580	410	2827	371	97	3295	90
422410	5	estab.	4300	442	1397	608	380	2827	448	196	3471	829	4163	306	1406	600	391	2703	415	163	3281	882	4036	312	1354	569	394	2629	392	174	3195	841	3993	296	1323	537	398	2554	387	155	3096	897	4334	385	1452	584	431	2852	422	178	3452	882
422410	5	empl.	169776	0	2899	4072	4955	11926	15250	18167	45343	124433	173722	0	2916	3921	5075	11912	14719	15159	41790	131932	171229	0	2819	3770	5163	11752	14460	17133	43345	127884	172432	0	2769	3603	5168	11540	14055	16285	41880	130552	172514	0	3018	3855	5510	12383	13971	15103	41457	131057
422410	5	ann. pay.	5892475	18469	78277	101217	124133	322096	467090	585836	1375022	4517453	6284408	17026	86507	106267	128567	338367	472931	523605	1334903	4949505	6480920	14841	89493	105113	143307	352754	480234	570125	1403113	5077807	7149010	20500	88456	107356	145613	361925	477151	572237	1411313	5737697	6850228	22291	95391	123643	161909	403234	497332	570659	1471225	5379003
422410	5	rec.																																									173346910	571625	2397683	2733091	4239451	9941850	11268181	16901821	38111852	135235058
422420	5	firms	3124	210	1199	581	416	2406	489	141	3036	88	3035	236	1146	529	419	2330	483	127	2940	95	2946	234	1071	504	427	2236	476	143	2855	91	2834	231	1029	469	410	2139	473	137	2749	85	2704	254	992	451	359	2056	451	124	2631	73
422420	5	estab.	3683	210	1200	592	437	2439	564	221	3224	459	3588	240	1150	536	446	2372	570	190	3132	456	3509	234	1073	515	451	2273	542	238	3053	456	3390	231	1033	480	436	2180	539	225	2944	446	3232	257	993	461	380	2091	517	218	2826	406
422420	5	empl.	85495	0	2611	3799	5606	12016	18779	19075	49870	35625	82915	0	2484	3514	5687	11685	19168	17535	48388	34527	85680	0	2302	3321	5863	11486	18217	19945	49648	36032	87251	0	2218	3082	5573	10873	18150	18675	47698	39553	81855	0	2136	3002	4872	10010	17947	16713	44670	37185
422420	5	ann. pay.	3015156	11905	83627	132563	190729	418824	586349	659584	1664757	1350399	2989142	13909	84757	133557	203397	435620	621903	608067	1665590	1323552	3224290	14905	77970	130708	202127	425710	646128	715826	1787664	1436626	3328726	9601	84676	117179	213727	425183	647414	687410	1760007	1568719	3251504	10807	85252	118584	180254	394897	673800	634310	1703007	1548497
422420	5	rec.																																									67080683	292969	2437428	3256349	4703460	10690206	15263034	11321397	37274637	29806046
422430	5	firms	2191	195	952	375	267	1789	276	68	2133	58	2157	197	913	374	261	1745	293	68	2106	51	2137	191	888	388	269	1736	274	73	2083	54	2109	204	876	371	259	1710	269	75	2054	55	1990	197	852	317	248	1614	245	76	1935	55
422430	5	estab.	2795	195	954	376	272	1797	327	200	2324	471	2769	197	915	375	265	1752	343	206	2301	468	2741	191	890	389	273	1743	312	216	2271	470	2741	204	877	374	265	1720	303	200	2223	518	2565	198	852	318	256	1624	296	189	2109	456
422430	5	empl.	48096	0	1973	2515	3508	7996	10851	7788	26635	21461	48499	0	1874	2497	3394	7765	11511	7687	26963	21536	49578	0	1850	2523	3588	7961	10889	8515	27365	22213	50239	0	1820	2438	3429	7687	10719	9021	27427	22812	47529	0	1792	2118	3358	7268	9589	8579	25436	22093
422430	5	ann. pay.	1764862	6232	58786	76433	110264	251715	356333	285646	893694	871168	1832198	8776	54115	83534	108731	255156	379417	286542	921115	911083	1890884	6314	56375	81683	118506	262878	380036	318456	961370	929514	2001136	14909	61168	83152	120974	280203	379904	345053	1005160	995976	1951801	8747	66043	72374	119274	266438	352965	340218	959621	992180
422430	5	rec.																																									32081043	154745	1580511	1734377	2092201	5561834	4737078	6130933	16429845	15651198
422440	5	firms	942	48	327	165	164	704	178	43	925	17	904	56	321	156	146	679	168	38	885	19	867	57	311	139	144	651	164	39	854	13	881	57	318	147	140	662	169	37	868	13	830	50	301	137	135	623	159	35	817	13
422440	5	estab.	1016	48	327	165	168	708	204	59	971	45	975	56	322	156	152	686	186	58	930	45	937	58	311	139	151	659	180	60	899	38	960	57	318	148	150	673	185	57	915	45	912	50	302	137	148	637	173	57	867	45
422440	5	empl.	18661	0	724	1078	2213	4015	7019	6048	17082	1579	18352	0	721	1037	2029	3787	6827	4917	15531	2821	17612	0	700	904	1964	3568	6759	5782	16109	1503	17975	0	684	975	1917	3576	7058	5139	15773	2202	17306	0	661	884	1825	3370	6574	4792	14736	2570
422440	5	ann. pay.	533414	1786	23412	30376	66637	122211	191118	169982	483311	50103	541960	3623	26538	28619	72379	131159	195559	137546	464264	77696	537811	2438	24687	32001	69978	129104	200003	162357	491464	46347	577276	2102	25172	31282	79251	137807	219824	155451	513082	64194	574472	1973	24122	32145	77873	136113	224656	137631	498400	76072
422440	5	rec.																																									11119192	51173	943251	982996	1801207	3778627	4294512	1999753	10072892	1046300
422450	5	firms	2134	205	981	343	288	1817	236	44	2097	37	2104	209	963	334	279	1785	241	41	2067	37	2027	192	921	333	259	1705	236	46	1987	40	2009	222	877	355	231	1685	243	42	1970	39	2047	236	958	312	231	1737	224	49	2010	37
422450	5	estab.	2500	205	984	348	301	1838	275	79	2192	308	2473	209	965	335	300	1809	277	78	2164	309	2397	192	923	335	279	1729	269	86	2084	313	2381	223	878	357	244	1702	279	94	2075	306	2369	236	959	317	246	1758	267	96	2121	248
422450	5	empl.	54639	0	1950	2290	3830	8070	8325	4486	20881	33758	54870	0	1919	2189	3672	7780	8541	4501	20822	34048	51332	0	1818	2230	3449	7497	8689	5065	21251	30081	46929	0	1712	2354	3076	7142	9081	4835	21058	25871	63680	0	1860	2064	3110	7034	8213	5282	20529	43151
422450	5	ann. pay.	1464086	7538	47198	63218	99144	217098	234437	122767	574302	889784	1540093	15838	49150	60162	98852	224002	246271	123456	593729	946364	1735398	5211	50581	63229	94417	213438	251641	130615	595694	1139704	1680843	7593	48240	66824	89554	212211	279444	130625	622280	1058563	2302495	11686	54328	61382	92439	219835	261291	172384	653510	1648985
422450	5	rec.																																									54284362	191008	1057633	1369579	1339428	3957648	3803461	1727891	9489000	44795362
422460	5	firms	2978	454	1301	506	351	2612	310	43	2965	13	2943	433	1275	507	348	2563	330	38	2931	12	2897	404	1269	486	360	2519	318	49	2886	11	2879	410	1244	493	360	2507	314	46	2867	12	2775	454	1189	452	323	2418	303	42	2763	12
422460	5	estab.	3072	454	1303	509	361	2627	345	66	3038	34	3048	433	1275	512	358	2578	363	68	3009	39	2992	404	1269	491	364	2528	354	73	2955	37	2980	410	1246	497	362	2515	354	73	2942	38	2883	454	1190	458	332	2434	339	69	2842	41
422460	5	empl.	27239	0	2835	3282	4672	10789	11419	3851	26059	1180	27706	0	2706	3295	4678	10679	12228	3604	26511	1195	28710	0	2727	3187	4817	10731	11613	5023	27367	1343	28405	0	2638	3214	4815	10667	11325	5066	27058	1347	26719	0	2554	2968	4254	9776	10964	4462	25202	1517
422460	5	ann. pay.	736211	15756	81220	84689	120193	301858	291993	102674	696525	39686	797304	14009	79883	89594	132114	315600	334555	104721	754876	42428	854649	14977	78002	93981	140483	327443	346274	136364	810081	44568	882232	16426	78710	99085	136272	330493	353489	149217	833199	49033	895718	17940	79411	100329	138904	336584	351870	146736	835190	60528
422460	5	rec.																																									15760715	411941	2086497	2297036	2678700	7474174	5438135	1642247	14554556	1206159
422470	5	firms	3315	213	1366	640	490	2709	482	76	3267	48	3262	243	1304	607	493	2647	485	78	3210	52	3185	229	1283	575	488	2575	482	79	3136	49	3133	249	1257	562	472	2540	475	79	3094	39	3004	263	1204	535	423	2425	459	79	2963	41
422470	5	estab.	3483	213	1367	646	497	2723	512	94	3329	154	3423	243	1305	613	500	2661	508	102	3271	152	3353	232	1283	579	496	2590	507	100	3197	156	3305	249	1260	566	479	2554	500	99	3153	152	3182	263	1208	539	435	2445	485	106	3036	146
422470	5	empl.	51002	0	2953	4221	6733	13907	18428	9319	41654	9348	57172	0	2823	4032	6721	13576	18295	10541	42412	14760	57312	0	2763	3808	6732	13303	18586	10798	42687	14625	53407	0	2631	3705	6524	12860	18490	11347	42697	10710	51207	0	2634	3531	5760	11925	17746	11533	41204	10003
422470	5	ann. pay.	1601235	7919	82430	118706	181506	390561	549475	315185	1255221	346014	1850329	12845	78546	118219	193403	403013	561714	360621	1325348	524981	1885818	15318	82412	112694	191833	402257	580294	385201	1367752	518066	1811481	15339	84287	112491	204156	416273	603113	411381	1430767	380714	1833556	12244	83256	109552	183782	388834	598435	434308	1421577	411979
422470	5	rec.																																									39597608	242568	2475065	2582220	3576895	8876748	9912757	7207434	25996939	13600669
422480	5	firms	5546	428	2069	1005	831	4333	987	184	5504	42	5403	470	1983	965	809	4227	941	191	5359	44	5355	459	1995	947	769	4170	943	194	5307	48	5294	412	1974	944	743	4073	965	215	5253	41	5165	522	1838	900	730	3990	923	208	5121	44
422480	5	estab.	5984	428	2078	1022	858	4386	1061	295	5742	242	5880	470	1990	984	836	4280	1016	333	5629	251	5829	461	2002	965	799	4227	1009	286	5522	307	5753	412	1981	962	768	4123	1035	309	5467	286	5659	522	1844	921	752	4039	1012	350	5401	258
422480	5	empl.	105047	0	4645	6613	11263	22521	40216	28632	91369	13678	106582	0	4346	6442	10938	21726	38785	31686	92197	14385	108650	0	4441	6268	10375	21084	37766	31359	90209	18441	113100	0	4339	6261	10134	20734	38512	36376	95622	17478	111470	0	3912	6008	9939	19859	37001	33220	90080	21390
422480	5	ann. pay.	3190105	26237	166613	236787	351628	781265	1208051	756958	2746274	443831	3285058	24012	158836	230356	364249	777453	1166625	847681	2791759	493299	3539862	30512	163800	232324	365883	792519	1190535	895412	2878466	661396	3753290	28490	164378	246283	375328	814479	1225864	1023357	3063700	689590	3771433	31013	156147	241414	370011	798585	1243046	1049951	3091582	679851
422480	5	rec.																																									54232789	520018	3694902	5112235	6608941	15936096	16639404	12286329	44861829	9370960
422490	5	firms	11436	1257	5216	1827	1281	9581	1307	313	11201	235	11023	1042	5105	1769	1267	9183	1308	292	10783	240	10718	1009	4887	1739	1245	8880	1327	279	10486	232	10415	1069	4673	1683	1218	8643	1273	285	10201	214	10289	1110	4718	1578	1181	8587	1195	295	10077	212
422490	5	estab.	14615	1257	5220	1844	1323	9644	1500	629	11773	2842	14249	1047	5109	1785	1309	9250	1484	550	11284	2965	13927	1014	4894	1755	1280	8943	1490	548	10981	2946	13703	1069	4683	1695	1251	8698	1431	556	10685	3018	13414	1110	4718	1593	1213	8634	1382	609	10625	2789
422490	5	empl.	295821	0	10343	12041	17458	39842	46992	35448	122282	173539	306357	0	10183	11638	17261	39082	47344	32209	118635	187722	304421	0	9864	11471	16747	38082	48129	33067	119278	185143	301333	0	9449	11160	16521	37130	46071	34088	117289	184044	289147	0	9479	10403	15989	35871	44053	35394	115318	173829
422490	5	ann. pay.	10127934	44795	287955	337076	494292	1164118	1399537	1145741	3709396	6418538	10950311	65634	300947	344465	500230	1211276	1447897	1068810	3727983	7222328	11418746	46462	298503	353074	509920	1207959	1535302	1170779	3914040	7504706	11771579	44509	302316	360937	522162	1229924	1509008	1233848	3972780	7798799	11241990	47169	299403	346468	554366	1247406	1507009	1255738	4010153	7231837
422490	5	rec.																																									207550074	661939	6468504	6049168	9330772	22510383	19092833	17431036	59034252	148515822
422510	5	firms	3636	145	1083	949	699	2876	611	104	3591	45	3552	185	1061	895	652	2793	608	109	3510	42	3474	187	1038	882	629	2736	574	120	3430	44	3350	168	1026	831	603	2628	562	122	3312	38	3130	150	993	742	569	2454	523	116	3093	37
422510	5	estab.	6305	145	1092	1012	922	3171	1514	537	5222	1083	6197	189	1070	953	878	3090	1476	572	5138	1059	6077	188	1050	939	837	3014	1378	642	5034	1043	5890	182	1040	892	809	2923	1354	671	4948	942	5653	161	1000	796	753	2710	1396	682	4788	865
422510	5	empl.	57139	0	2664	6253	9045	17962	18752	7537	44251	12888	56523	0	2598	5907	8420	16925	19233	8279	44437	12086	56407	0	2520	5806	8204	16530	18560	9009	44099	12308	54945	0	2530	5520	7766	15816	18003	9766	43585	11360	51249	0	2393	4920	7518	14831	16947	8898	40676	10573
422510	5	ann. pay.	1715682	6527	67716	163206	241484	478933	531664	245195	1255792	459890	1750490	12026	66543	158874	227535	464978	567053	277302	1309333	441157	1783106	10430	67164	153341	232835	463770	551908	305148	1320826	462280	1812100	7831	69479	155380	235684	468374	561219	333996	1363589	448511	1725744	5579	68756	144473	228995	447803	551105	329342	1328250	397494
422510	5	rec.																																									82846759	247743	3228240	4689361	8150931	16316275	17179419	15553668	49049362	33797397
422520	5	firms	1694	113	590	242	259	1204	468	13	1685	9	1633	129	581	228	230	1168	441	15	1624	9	1604	134	578	226	209	1147	433	15	1595	9	1584	123	568	227	221	1139	421	14	1574	10	1479	125	499	192	220	1036	420	14	1470	9
422520	5	estab.	2046	113	592	243	268	1216	501	139	1856	190	1960	129	582	232	234	1177	474	140	1791	169	1905	134	578	230	215	1157	468	128	1753	152	1879	123	568	231	229	1151	445	82	1678	201	1751	125	499	198	222	1044	442	79	1565	186
422520	5	empl.	25116	0	1237	1586	3635	6458	16334	1633	24425	691	23453	0	1232	1492	3204	5928	15471	1570	22969	484	23170	0	1202	1473	2960	5635	15174	1879	22688	482	22736	0	1203	1518	3150	5871	14555	1282	21708	1028	21976	0	1065	1284	3113	5462	14221	1424	21107	869
422520	5	ann. pay.	255721	3285	23501	24419	32236	83441	134311	20476	238228	17493	254584	3531	25607	23979	32435	85552	135454	21359	242365	12219	280843	4108	28387	27699	31878	92072	139031	36249	267352	13491	277999	8379	30320	28037	34816	101552	135831	21012	258395	19604	252169	3904	23345	22714	31282	81245	134769	16890	232904	19265
422520	5	rec.																																									20436855	124753	2191425	1556966	2512959	6386103	10889762	1204726	18480591	1956264
422590	5	firms	1539	215	774	249	134	1372	123	18	1513	26	1452	209	701	253	135	1298	109	21	1428	24	1416	203	680	238	142	1263	111	22	1396	20	1358	184	668	233	129	1214	107	18	1339	19	1242	162	618	204	115	1099	104	22	1225	17
422590	5	estab.	1693	215	777	257	147	1396	160	43	1599	94	1603	209	704	261	148	1322	135	56	1513	90	1564	203	690	246	148	1287	140	57	1484	80	1517	184	673	246	135	1238	140	64	1442	75	1365	162	621	209	120	1112	137	61	1310	55
422590	5	empl.	13139	0	1678	1617	1687	4982	4167	1187	10336	2803	12243	0	1468	1641	1730	4839	3681	1117	9637	2606	12410	0	1421	1550	1773	4744	3728	1270	9742	2668	12866	0	1402	1498	1671	4571	3528	1829	9928	2938	10779	0	1316	1322	1541	4179	3494	1553	9226	1553
422590	5	ann. pay.	405726	9792	55064	46924	40270	152050	104876	48336	305262	100464	390851	8395	50091	47203	37883	143572	91704	50805	286081	104770	419444	7831	51200	45398	44254	148683	89546	55299	293528	125916	463805	6813	50112	47655	44157	148737	96851	73267	318855	144950	384089	5464	48629	40430	42108	136631	107107	70085	313823	70266
422590	5	rec.																																									14557898	201618	2242746	1235983	1149006	4829353	2983783	3095128	10908264	3649634
422610	5	firms	3351	251	1572	550	397	2770	400	94	3264	87	3286	247	1554	488	414	2703	399	92	3194	92	3209	283	1459	484	397	2623	393	106	3122	87	3108	263	1414	484	384	2545	378	100	3023	85	2997	286	1359	473	356	2474	352	92	2918	79
422610	5	estab.	4258	251	1576	563	446	2836	576	308	3720	538	4158	247	1559	499	464	2769	564	289	3622	536	4038	283	1467	494	444	2688	543	304	3535	503	3908	264	1421	493	424	2602	518	308	3428	480	3717	286	1362	483	393	2524	518	281	3323	394
422610	5	empl.	43497	0	3235	3591	5484	12310	14208	7613	34131	9366	41990	0	3212	3170	5670	12052	14292	6977	33321	8669	44576	0	3039	3141	5429	11609	13795	9267	34671	9905	43116	0	2930	3231	5222	11383	13729	8133	33245	9871	40079	0	2855	3120	4820	10795	12566	6993	30354	9725
422610	5	ann. pay.	1832737	13096	162985	157704	234732	568517	542280	275767	1386564	446173	1838062	12926	169353	139775	250687	572741	570416	274264	1417421	420641	2054561	16242	167519	148854	241578	574193	600024	349345	1523562	530999	1951502	17817	154687	154290	227477	554271	558088	311640	1423999	527503	1941899	14459	146547	153582	219283	533871	565302	309250	1408423	533476
422610	5	rec.																																									32648096	243856	2530203	2495455	2319258	7588772	5785189	4090777	17464738	15183358
422690	5	firms	8304	717	3995	1457	956	7125	791	174	8090	214	8062	648	3887	1417	935	6887	792	177	7856	206	7845	628	3683	1410	937	6658	808	178	7644	201	7618	609	3557	1355	899	6420	822	186	7428	190	7622	687	3571	1333	874	6465	803	186	7454	168
422690	5	estab.	11532	717	4005	1484	1021	7227	1146	557	8930	2602	11252	653	3903	1446	987	6989	1133	564	8686	2566	11255	628	3699	1436	993	6756	1138	596	8490	2765	11911	610	3572	1376	949	6507	1172	615	8294	3617	11853	687	3585	1360	942	6574	1231	593	8398	3455
422690	5	empl.	120930	0	8229	9505	12612	30346	25038	12366	67750	53180	117834	0	8067	9260	12353	29680	25525	12956	68161	49673	121824	0	7755	9205	12392	29352	26433	13652	69437	52387	121143	0	7418	8779	11882	28079	27115	13782	68976	52167	116749	0	7414	8740	11493	27647	26224	13293	67164	49585
422690	5	ann. pay.	5727847	35028	326408	384359	537066	1282861	1133657	532663	2949181	2778666	5859859	43104	334681	388437	549379	1315601	1184935	602788	3103324	2756535	6196654	31211	327159	399814	571086	1329270	1239004	671996	3240270	2956384	6300357	32794	324038	382422	553443	1292697	1333686	676095	3302478	2997879	6083441	44015	311839	397244	554820	1307918	1300706	649645	3258269	2825172
422690	5	rec.																																									85335297	555021	4312593	4076311	4820371	13764296	11114298	8220317	33098911	52236386
422710	5	firms	5124	85	1095	1079	1016	3275	1368	343	4986	138	4990	144	1078	1005	956	3183	1327	350	4860	130	4830	128	1065	961	951	3105	1243	355	4703	127	4646	128	1011	930	905	2974	1207	349	4530	116	4332	110	952	849	834	2745	1136	339	4220	112
422710	5	estab.	7503	85	1101	1115	1138	3439	1818	690	5947	1556	7500	146	1086	1042	1062	3336	1763	723	5822	1678	7203	128	1072	992	1062	3254	1649	735	5638	1565	7020	133	1019	964	1021	3137	1604	759	5500	1520	6532	115	958	875	951	2899	1547	709	5155	1377
422710	5	empl.	99466	0	2657	7095	12575	22327	35440	19022	76789	22677	99286	0	2662	6683	11698	21043	34574	19770	75387	23899	97236	0	2576	6225	11762	20563	32795	20066	73424	23812	94034	0	2475	6064	11194	19733	32489	19670	71892	22142	87956	0	2367	5654	10321	18342	29416	18734	66492	21464
422710	5	ann. pay.	3305423	4372	67465	194573	360756	627166	1040305	576567	2244038	1061385	3448623	9442	70744	190527	343564	614277	1059083	592848	2266208	1182415	3600020	7266	72914	183797	362169	626146	1051141	628329	2305616	1294404	3731903	6826	73763	184533	365844	630966	1112860	664546	2408372	1323531	3485137	5281	69265	173312	331836	579694	1072800	636237	2288731	1196406
422710	5	rec.																																									214437460	147539	2063044	4951394	8290039	15452016	36004164	17830297	69286477	145150983
422720	5	firms	2927	249	1265	473	310	2297	375	153	2825	102	2863	207	1202	517	321	2247	360	158	2765	98	2775	184	1158	508	330	2180	348	152	2680	95	2684	202	1108	486	307	2103	344	147	2594	90	2720	226	1109	481	330	2146	344	140	2630	90
422720	5	estab.	3748	249	1269	480	321	2319	453	217	2989	759	3660	207	1205	523	333	2268	426	230	2924	736	3459	186	1161	517	340	2204	406	233	2843	616	3355	202	1110	492	321	2125	410	239	2774	581	3274	226	1111	490	353	2180	417	242	2839	435
422720	5	empl.	34598	0	2745	3021	3832	9598	8750	5308	23656	10942	34766	0	2548	3311	3942	9801	8771	6085	24657	10109	34754	0	2444	3219	4082	9745	8967	6120	24832	9922	34866	0	2346	3051	3874	9271	9001	5812	24084	10782	34028	0	2351	3059	4074	9484	8875	6673	25032	8996
422720	5	ann. pay.	1452080	14985	111034	101932	138057	366008	280869	198014	844891	607189	1469482	10498	90721	111000	160808	373027	298163	223640	894830	574652	1622839	9234	89476	121653	163163	383526	345127	220664	949317	673522	1847251	15478	97898	119798	185592	418766	391307	214079	1024152	823099	1728871	14094	97905	114524	185722	412245	431811	228886	1072942	655929
422720	5	rec.																																									103062107	502601	5027712	3747589	8935473	18213375	26793752	6758139	51765266	51296841
422810	5	firms	2504	101	487	306	434	1328	915	237	2480	24	2426	121	462	282	420	1285	869	240	2394	32	2355	133	473	240	367	1213	849	263	2325	30	2287	129	473	234	342	1178	816	262	2256	31	2142	109	417	261	274	1061	788	259	2108	34
422810	5	estab.	2958	102	487	319	450	1358	1069	430	2857	101	2876	127	464	285	435	1311	1019	432	2762	114	2788	133	475	243	381	1232	995	459	2686	102	2713	133	476	237	356	1202	949	456	2607	106	2545	109	417	266	285	1077	896	464	2437	108
422810	5	empl.	95440	0	1101	2098	6082	9281	40337	37969	87587	7853	96252	0	1022	1903	5867	8792	38555	38695	86042	10210	97379	0	1056	1633	5125	7814	37555	41691	87060	10319	97580	0	1078	1608	4796	7482	36657	42804	86943	10637	99754	0	927	1758	3888	6573	35699	43429	85701	14053
422810	5	ann. pay.	3449998	13173	23643	54235	192360	283411	1421042	1442591	3147044	302954	3574807	19799	25831	50588	191028	287246	1405461	1473320	3166027	408780	3741072	15220	27988	45019	163936	252163	1399580	1653833	3305576	435496	3867074	41355	31332	53581	158904	285172	1390589	1720243	3396004	471070	3981868	9458	29237	56756	133725	229176	1404562	1771262	3405000	576868
422810	5	rec.																																									43239043	134608	405306	641194	1319067	2500175	13436928	19228064	35165167	8073876
422820	5	firms	1363	151	476	209	169	1005	235	82	1322	41	1393	145	514	211	165	1035	236	84	1355	38	1407	149	500	225	158	1032	250	87	1369	38	1428	160	510	208	176	1054	245	88	1387	41	1440	167	534	222	168	1091	228	79	1398	42
422820	5	estab.	1837	151	477	210	186	1024	286	173	1483	354	1844	145	517	212	176	1050	267	183	1500	344	1842	150	501	225	168	1044	287	177	1508	334	1853	160	512	209	179	1060	287	162	1509	344	1832	167	537	224	172	1100	257	169	1526	306
422820	5	empl.	55568	0	985	1408	2346	4739	9506	13506	27751	27817	56717	0	1075	1427	2247	4749	9565	14807	29121	27596	59880	0	1033	1520	2117	4670	10280	15492	30442	29438	63050	0	1098	1389	2329	4816	10175	15010	30001	33049	63485	0	1156	1454	2306	4916	9455	14403	28774	34711
422820	5	ann. pay.	2490136	5808	35948	55525	92467	189748	388761	612218	1190727	1299409	2755074	12400	43564	54417	98983	209364	403971	726225	1339560	1415514	3020981	17305	40551	59660	96782	214298	463909	752904	1431111	1589870	3263313	11162	44158	55447	109764	220531	453448	774048	1448027	1815286	3366457	34289	44066	63089	112708	254152	460577	783917	1498646	1867811
422820	5	rec.																																									44749627	500509	653274	809018	1642946	3605747	4992583	11019403	19617733	25131894
422910	5	firms	5176	512	2317	948	573	4350	576	155	5081	95	5018	448	2216	946	577	4187	583	161	4931	87	4933	426	2145	939	594	4104	570	175	4849	84	4800	400	2037	938	617	3992	551	179	4722	78	4825	421	2071	935	586	4013	569	167	4749	76
422910	5	estab.	7427	512	2323	957	633	4425	1007	494	5926	1501	7313	451	2221	957	633	4262	962	487	5711	1602	7158	432	2151	948	639	4170	922	520	5612	1546	6885	402	2043	949	660	4054	877	584	5515	1370	7052	429	2078	948	653	4108	958	606	5672	1380
422910	5	empl.	76223	0	4934	6156	7424	18514	17239	11604	47357	28866	75012	0	4669	6152	7381	18202	17600	11737	47539	27473	75258	0	4520	6146	7646	18312	17462	12239	48013	27245	74868	0	4339	6139	7903	18381	17357	12777	48515	26353	72542	0	4525	6157	7617	18299	17456	11676	47431	25111
422910	5	ann. pay.	2595981	22525	121722	158426	213277	515950	514866	410117	1440933	1155048	2611494	16329	123130	163899	214680	518038	554666	415147	1487851	1123643	2732370	17287	120354	168787	235374	541802	567859	438314	1547975	1184395	2798245	17486	119822	167308	255020	559636	570465	475132	1605233	1193012	2711113	20605	117915	180956	246631	566107	614999	446706	1627812	1083301
422910	5	rec.																																									46870897	360386	2342571	2558263	3065849	8327069	7967961	7340453	23635483	23235414
422920	5	firms	3237	274	1509	501	298	2582	380	169	3131	106	3124	266	1458	481	292	2497	358	155	3010	114	3007	262	1384	469	288	2403	350	145	2898	109	2885	272	1311	458	278	2319	325	137	2781	104	2854	283	1353	405	275	2316	322	123	2761	93
422920	5	estab.	4202	274	1509	501	307	2591	469	392	3452	750	4105	266	1460	482	304	2512	429	341	3282	823	3998	262	1385	474	298	2419	409	340	3168	830	3883	272	1311	461	287	2331	379	300	3010	873	3776	283	1353	406	288	2330	390	287	3007	769
422920	5	empl.	88779	0	3103	3270	3903	10276	13574	15731	39581	49198	92201	0	2989	3120	3826	9935	13401	14674	38010	54191	96303	0	2856	3059	3711	9626	13092	14514	37232	59071	95795	0	2730	3002	3639	9371	12107	14385	35863	59932	80385	0	2811	2675	3586	9072	11918	12480	33470	46915
422920	5	ann. pay.	2835261	11762	94863	100341	137224	344190	399888	426469	1170547	1664714	3287832	11367	96938	98636	139704	346645	411241	406823	1164709	2123123	3624914	15828	98305	101093	136073	351299	427673	470314	1249286	2375628	3428154	12381	93908	107599	137573	351461	382281	443078	1176820	2251334	2780791	11395	89738	104820	128009	333962	382799	389936	1106697	1674094
422920	5	rec.																																									35146741	105178	957562	776670	875372	2714782	3284463	3708980	9708225	25438516
422930	5	firms	3538	394	1417	706	473	2990	454	72	3516	22	3630	429	1435	693	531	3088	447	70	3605	25	3712	448	1451	727	522	3148	475	63	3686	26	4181	468	1613	787	626	3494	562	100	4156	25	4309	478	1753	805	615	3651	544	91	4286	23
422930	5	estab.	3938	401	1423	713	488	3025	577	255	3857	81	4034	429	1440	697	556	3122	553	257	3932	102	4104	454	1455	734	540	3183	579	253	4015	89	4598	468	1617	797	652	3534	676	324	4534	64	4751	478	1753	819	641	3691	698	286	4675	76
422930	5	empl.	46748	0	3029	4615	6404	14048	16869	10755	41672	5076	48621	0	3075	4507	7104	14686	16836	10225	41747	6874	49657	0	3080	4770	7119	14969	18101	10123	43193	6464	60890	0	3452	5150	8342	16944	20640	15247	52831	8059	59335	0	3788	5408	8232	17428	21345	13251	52024	7311
422930	5	ann. pay.	1126205	16180	67735	103834	148741	336490	409416	260159	1006065	120140	1227443	12572	69519	106511	170112	358714	423524	272590	1054828	172615	1333397	27805	78166	115419	172901	394291	476925	290544	1161760	171637	1607701	23184	89020	127712	201515	441431	548401	388696	1378528	229173	1632166	16859	95669	133713	208380	454621	577484	369680	1401785	230381
422930	5	rec.																																									10761904	169103	972236	1158298	1353969	3653606	3571532	2242515	9467653	1294251
422940	5	firms	1343	107	389	227	215	938	300	70	1308	35	1313	120	361	226	206	913	297	71	1281	32	1300	116	380	216	204	916	281	72	1269	31	1277	124	374	212	193	903	270	69	1242	35	1354	150	426	218	190	984	268	67	1319	35
422940	5	estab.	1573	107	389	230	220	946	339	93	1378	195	1548	120	361	230	208	919	334	98	1351	197	1539	116	380	220	209	925	315	99	1339	200	1520	124	374	216	197	911	307	92	1310	210	1597	150	426	228	199	1003	296	94	1393	204
422940	5	empl.	55531	0	860	1531	3007	5398	11731	10852	27981	27550	56328	0	808	1534	2838	5180	11818	11635	28633	27695	57802	0	831	1445	2788	5064	11294	12059	28417	29385	57261	0	782	1406	2640	4828	10899	11569	27296	29965	55571	0	914	1419	2525	4858	10741	11300	26899	28672
422940	5	ann. pay.	1656342	5202	21774	37431	78635	143042	304337	324254	771633	884709	1763990	4698	22067	38886	77097	142748	334136	358594	835478	928512	1898880	4558	23439	38867	79812	146676	329098	372456	848230	1050650	1951011	3434	23449	38922	78483	144288	331241	375769	851298	1099713	2072610	6088	28098	41106	75347	150639	332342	493939	976920	1095690
422940	5	rec.																																									83827872	256760	886747	1509700	2549384	5202591	10389891	16345660	31938142	51889730
422950	5	firms	1527	139	564	335	225	1263	184	47	1494	33	1497	123	562	330	206	1221	195	53	1469	28	1477	117	556	314	214	1201	198	47	1446	31	1420	103	532	314	209	1158	191	41	1390	30	1457	131	571	303	195	1200	193	38	1431	26
422950	5	estab.	2219	139	568	340	272	1319	328	188	1835	384	2186	123	568	334	248	1273	335	206	1814	372	2179	117	563	316	251	1247	342	205	1794	385	2093	106	535	320	242	1203	330	199	1732	361	2110	132	574	311	235	1252	340	185	1777	333
422950	5	empl.	20466	0	1218	2214	2946	6378	4976	3067	14421	6045	20470	0	1208	2177	2692	6077	5410	3436	14923	5547	20619	0	1220	2052	2817	6089	5639	3454	15182	5437	19970	0	1157	2056	2784	5997	5616	3064	14677	5293	20224	0	1236	1996	2618	5850	5855	2537	14242	5982
422950	5	ann. pay.	749368	7084	38228	67106	99205	211623	170173	108253	490049	259319	758519	6786	41216	66197	89768	203967	190583	127275	521825	236694	810233	6029	39043	63948	98494	207514	208118	133211	548843	261390	798344	4549	38061	68670	95954	207234	208483	122848	538565	259779	824718	4178	43071	64779	96420	208448	225721	111849	546018	278700
422950	5	rec.																																									9335797	35412	506738	682717	755443	1980310	1726110	1048742	4755162	4580635
422990	5	firms	15243	2863	8268	2038	1037	14206	766	157	15129	114	15674	2773	8633	2150	1039	14595	811	161	15567	107	16103	2768	8763	2259	1165	14955	856	181	15992	111	15788	2485	8693	2274	1193	14645	864	174	15683	105	17259	2921	9575	2365	1211	16072	925	156	17153	106
422990	5	estab.	15544	2866	8273	2053	1051	14243	858	262	15363	181	16011	2773	8640	2164	1056	14633	913	275	15821	190	16458	2770	8769	2277	1183	14999	934	324	16257	201	16168	2486	8702	2291	1206	14685	958	329	15972	196	17639	2921	9582	2381	1233	16117	1036	246	17399	240
422990	5	empl.	98420	0	16118	13227	13528	42873	25692	15038	83603	14817	99242	0	16687	13957	13344	43988	27724	15635	87347	11895	109519	0	17175	14641	15102	46918	29793	19500	96211	13308	111175	0	16946	14662	15461	47069	29588	19714	96371	14804	113251	0	18807	15221	15797	49825	31781	15653	97259	15992
422990	5	ann. pay.	3210325	92369	449682	355000	381443	1278494	770920	539100	2588514	621811	3404514	105840	487281	398872	391427	1383420	877219	581629	2842268	562246	3885043	112533	520345	436090	460159	1529127	998002	723581	3250710	634333	4034449	107458	517455	454427	475810	1555150	1022761	748142	3326053	708396	4201325	103123	583795	492188	531287	1710393	1154856	651579	3516828	684497
422990	5	rec.																																									66256576	1189829	8992299	6314632	5608192	22104952	10602571	17915068	50622591	15633985
441110	5	firms	23762	1187	2714	1777	3442	9120	12523	2010	23653	109	23415	1220	2769	1755	3239	8983	12222	2102	23307	108	23412	1299	2897	1677	3125	8998	12023	2280	23301	111	23576	1345	3151	1715	3097	9308	11868	2293	23469	107	22478	1171	2746	1501	2883	8301	11618	2433	22352	126
441110	5	estab.	26219	1191	2716	1779	3463	9149	13075	2961	25185	1034	26117	1236	2773	1759	3264	9032	12751	3089	24872	1245	26225	1304	2902	1682	3140	9028	12519	3266	24813	1412	26444	1350	3157	1721	3110	9338	12346	3313	24997	1447	25625	1174	2750	1509	2906	8339	12224	3521	24084	1541
441110	5	empl.	1049621	0	5848	12265	49818	67931	574603	314265	956799	92822	1070428	0	5983	12115	46739	64837	566664	327879	959380	111048	1111848	0	6204	11405	45150	62759	563812	357708	984279	127569	1112471	0	6751	11720	44422	62893	554443	360785	978121	134350	1138977	0	5940	10339	41813	58092	548959	387150	994201	144776
441110	5	ann. pay.	38856502	268043	148907	312350	1342197	2071497	20652681	12403489	35127667	3728835	42321667	351857	163674	322111	1364039	2201681	21484382	13868481	37554544	4767123	44768288	340847	168093	294536	1299461	2102937	21655930	15382612	39141479	5626809	46915520	370787	206644	325607	1353289	2256327	22461345	16432840	41150512	5765008	47866732	357917	183973	307278	1292144	2141312	22287787	17276598	41705697	6161035
441110	5	rec.																																									638732031	6702896	2907504	5042380	20106899	34759679	298277650	216261817	549299146	89432885
441120	5	firms	23079	2885	14198	3838	1378	22299	664	94	23057	22	23365	3259	14046	3839	1417	22561	672	110	23343	22	24014	3199	14240	4084	1594	23117	759	115	23991	23	24570	3317	14546	4141	1610	23614	810	121	24545	25	25640	3386	15298	4200	1756	24640	842	130	25612	28
441120	5	estab.	23674	2888	14208	3877	1477	22450	863	201	23514	160	23998	3269	14062	3885	1501	22717	845	246	23808	190	24653	3203	14260	4127	1690	23280	910	231	24421	232	25188	3322	14563	4185	1696	23766	964	228	24958	230	26424	3386	15312	4280	1876	24854	1086	241	26181	243
441120	5	empl.	101776	0	29201	24276	17481	70958	17776	5062	93796	7980	104753	0	29033	24501	17975	71509	18021	5703	95233	9520	110256	0	29645	26106	20397	76148	21710	6473	104331	5925	112948	0	30173	26521	20716	77410	23358	6375	107143	5805	120236	0	32056	26871	22666	81593	24521	6918	113032	7204
441120	5	ann. pay.	2579048	77011	568153	538841	443053	1627058	506916	172713	2306687	272361	2859620	100446	598300	582903	490625	1772274	555688	193849	2521811	337809	3068423	93522	621084	633313	549413	1897332	692290	210509	2800131	268292	3246036	115313	653709	660603	578679	2008304	761146	238954	3008404	237632	3463726	123063	702263	697296	643981	2166603	802694	255673	3224970	238756
441120	5	rec.																																									54330822	2777945	15505797	10298252	8429643	37011637	9574666	3298402	49884705	4446117
441210	5	firms	2789	202	1013	668	525	2408	338	33	2779	10	2817	283	948	652	534	2417	352	36	2805	12	2884	258	980	652	552	2442	389	43	2874	10	2905	266	998	681	521	2466	389	42	2897	8	2909	241	1055	649	518	2463	401	37	2901	8
441210	5	estab.	3015	202	1014	671	560	2447	432	82	2961	54	3039	284	949	656	562	2451	440	82	2973	66	3114	258	981	654	580	2473	477	84	3034	80	3134	267	1000	685	546	2498	476	108	3082	52	3145	241	1055	653	539	2488	503	102	3093	52
441210	5	empl.	31000	0	2356	4449	7051	13856	11483	4043	29382	1618	33272	0	2251	4361	7268	13880	12334	3825	30039	3233	36376	0	2275	4309	7392	13976	13545	5198	32719	3657	34829	0	2273	4485	6974	13732	13674	4667	32073	2756	35662	0	2538	4333	6994	13865	14252	4607	32724	2938
441210	5	ann. pay.	962793	10563	49664	102849	193208	356284	396709	158383	911376	51417	1090022	14848	48954	107720	203676	375198	453332	140155	968685	121337	1146545	11844	48552	100966	211035	372397	455857	183673	1011927	134618	1142979	10069	53494	110340	198672	372575	479143	179777	1031495	111484	1274148	12014	62249	112419	217063	403745	541769	189745	1135259	138889
441210	5	rec.																																									15878887	210042	826317	1220674	2298515	4555548	5980440	2353858	12889846	2989041
441221	5	firms	3644	340	1342	823	731	3236	398	9	3643	1	3718	368	1322	822	734	3246	461	10	3717	1	3865	387	1310	817	770	3284	566	15	3865	0	4168	473	1411	831	783	3498	650	19	4167	1	4488	503	1575	860	773	3711	754	21	4486	2
441221	5	estab.	3737	341	1342	829	752	3264	461	11	3736	1	3814	368	1323	823	756	3270	525	18	3813	1	3968	387	1312	820	785	3304	637	27	3968	0	4271	475	1412	832	794	3513	716	41	4270	1	4673	503	1576	863	790	3732	875	64	4671	2
441221	5	empl.	30401	0	3033	5516	9841	18390	11499	         [e]	         [k]	         [b]	33050	0	3031	5509	9945	18485	13648	[f]	[k]	[b]	38005	0	2944	5471	10546	18961	17279	1765	38005	0	43249	0	3177	5563	10776	19516	20840	         [g]	         [k]	         [f]	48037	0	3552	5850	10640	20042	25259	         [g]	         [k]	         [f]
441221	5	ann. pay.	835026	15246	57274	126770	271465	470755	351607	         (D)	         (D)	         (D)	975725	17364	59829	134652	295496	507341	440314	(D)	(D)	(D)	1175508	19952	59422	130203	321317	530894	589645	54969	1175508	0	1366174	19169	65102	136982	339010	560263	713990	         (D)	         (D)	         (D)	1587021	25773	77210	142680	324042	569705	922387	         (D)	         (D)	         (D)
441221	5	rec.																																									15253753	327525	962211	1699019	3390765	6379520	8075705	         (D)	         (D)	         (D)
441222	5	firms	4690	456	2087	1121	665	4329	326	29	4684	6	4686	476	2029	1090	703	4298	354	25	4677	9	4660	447	2012	1056	745	4260	364	29	4653	7	4668	478	2062	1038	695	4273	358	28	4659	9	4721	561	2073	1044	650	4328	358	24	4710	11
441222	5	estab.	5221	456	2090	1144	703	4393	460	93	4946	275	5284	476	2034	1109	743	4362	483	58	4903	381	5289	448	2014	1071	784	4317	492	82	4891	398	5301	479	2065	1049	734	4327	460	66	4853	448	5482	561	2075	1065	709	4410	510	88	5008	474
441222	5	empl.	35577	0	4652	7449	8624	20725	9683	         [g]	         [k]	         [h]	37560	0	4503	7178	9099	20780	10671	[g]	[k]	[h]	39772	0	4512	7028	9727	21267	11348	         [g]	         [k]	         [i]	39405	0	4651	6821	9169	20641	11168	         [g]	         [k]	         [i]	38341	0	4645	6826	8515	19986	10869	1470	32325	6016
441222	5	ann. pay.	930730	12828	108395	177135	229220	527578	296615	         (D)	         (D)	         (D)	1036672	15641	111466	176770	253430	557307	342877	(D)	(D)	(D)	1138903	13493	117580	177939	283518	592530	374272	         (D)	         (D)	         (D)	1128865	18820	120581	183303	265128	587832	358514	         (D)	         (D)	         (D)	1146597	19592	124041	192318	271370	607321	367477	56467	1031265	115332
441222	5	rec.																																									11750074	236406	1478386	2000400	2535286	6250478	3557701	531162	10339341	1410733
441229	5	firms	1871	275	922	376	215	1788	76	7	1871	0	1910	278	895	414	227	1814	88	8	1910	0	2094	340	984	411	240	1975	108	10	2093	1	2173	328	1002	453	258	2041	119	12	2172	1	2872	383	1421	582	309	2695	158	15	2868	4
441229	5	estab.	1901	275	923	381	229	1808	84	9	1901	0	1944	278	896	420	240	1834	96	14	1944	0	2143	344	989	416	254	2003	115	24	2142	1	2216	328	1006	457	268	2059	130	26	2215	1	2924	383	1422	586	328	2719	171	30	2920	4
441229	5	empl.	10095	0	2028	2421	2747	7196	2085	814	10095	0	10945	0	1952	2620	2883	7455	2506	984	10945	0	12780	0	2155	2663	3159	7977	3171	         [g]	         [j]	         [a]	13951	0	2186	2970	3406	8562	3388	         [g]	         [j]	         [a]	18256	0	3085	3821	4045	10951	4780	         [g]	         [j]	         [e]
441229	5	ann. pay.	241934	10076	42883	48920	67160	169039	57163	15732	241934	0	292079	12225	45381	57130	74400	189136	72125	30818	292079	0	371469	16631	49758	62327	84190	212906	104986	         (D)	         (D)	         (D)	388178	17404	52045	69468	92172	231089	102673	         (D)	         (D)	         (D)	515573	14397	73138	95675	113930	297140	144729	         (D)	         (D)	         (D)
441229	5	rec.																																									5856359	324007	1135630	1057548	1187122	3704307	1493296	         (D)	         (D)	         (D)
441310	5	firms	26068	1769	11818	6683	3475	23745	1921	306	25972	96	25287	1852	11468	6316	3372	23008	1884	296	25188	99	24753	1880	11147	6195	3318	22540	1832	281	24653	100	24339	1888	11230	5936	3191	22245	1732	267	24244	95	23482	1981	10860	5695	2939	21475	1652	267	23394	88
441310	5	estab.	41890	1783	11840	6839	4035	24497	4063	2079	30639	11251	41869	1871	11513	6482	3911	23777	3896	2305	29978	11891	41084	1896	11200	6381	3774	23251	3718	1652	28621	12463	40766	1898	11293	6144	3661	22996	3585	1520	28101	12665	39834	1984	10883	5837	3424	22128	3410	1601	27139	12695
441310	5	empl.	345427	0	27470	43694	44822	115986	60993	30277	207256	138171	353602	0	26836	41222	43561	111619	61009	27193	199821	153781	355342	0	25966	40316	42779	109061	60042	24389	193492	161850	328832	0	26043	38808	41194	106045	57223	23599	186867	141965	329751	0	25306	37036	37829	100171	52793	22857	175821	153930
441310	5	ann. pay.	7228735	53566	498749	853656	972104	2378075	1488680	794500	4661255	2567480	7446988	54509	513137	839619	968968	2376233	1518055	681737	4576025	2870963	7828007	126094	495164	840716	966281	2428255	1528762	646833	4603850	3224157	7870635	57658	520039	842264	956169	2376130	1521115	630547	4527792	3342843	7582925	51620	515584	829316	907374	2303894	1412190	619802	4335886	3247039
441310	5	rec.																																									46934715	415083	3740413	4821753	4769335	13746584	8209304	3827571	25783459	21151256
441320	5	firms	10528	652	3672	3036	2055	9415	940	132	10487	41	10461	729	3585	2982	2049	9345	941	136	10422	39	10535	831	3626	2908	2089	9454	906	138	10498	37	10721	857	3791	2947	2022	9617	928	139	10684	37	10714	781	3967	2943	1993	9684	858	136	10678	36
441320	5	estab.	17762	659	3684	3072	2259	9674	1976	1259	12909	4853	17790	734	3599	3030	2237	9600	1880	1273	12753	5037	17988	835	3643	2947	2275	9700	1791	1286	12777	5211	18408	860	3801	2995	2223	9879	1746	1265	12890	5518	18537	787	3978	2989	2203	9957	1744	1377	13078	5459
441320	5	empl.	153351	0	8738	20550	26309	55597	28794	13380	97771	55580	160055	0	8484	20175	26232	54891	28990	13660	97541	62514	161914	0	8469	19536	26832	54837	28589	14537	97963	63951	164533	0	8763	19886	26030	54679	28960	14819	98458	66075	161656	0	9298	19803	25828	54929	26706	13763	95398	66258
441320	5	ann. pay.	3917622	23911	158760	454951	619500	1257122	788639	383011	2428772	1488850	4194650	26973	156273	450323	630865	1264434	795410	399324	2459168	1735482	4376738	27435	162915	442310	659534	1292194	802869	441593	2536656	1840082	4561017	31095	174030	463904	658131	1327160	847612	462976	2637748	1923269	4560110	29482	186160	481803	680663	1378108	813550	446080	2637738	1922372
441320	5	rec.																																									24472266	190267	1352918	2465110	3291701	7299996	4587746	2652635	14540377	9931889
442110	5	firms	21728	1984	8754	5411	3318	19467	1903	262	21632	96	21591	1848	8781	5271	3331	19231	2005	262	21498	93	21682	1954	8620	5232	3460	19266	2045	281	21592	90	22091	2015	8788	5348	3470	19621	2088	286	21995	96	21464	2188	8403	5148	3371	19110	1994	264	21368	96
442110	5	estab.	29723	1995	8789	5579	3859	20222	3721	1782	25725	3998	29574	1869	8828	5429	3829	19955	3772	1867	25594	3980	29720	1970	8679	5396	3927	19972	3658	1947	25577	4143	29920	2025	8841	5509	3927	20302	3602	1922	25826	4094	29478	2194	8426	5312	3944	19876	3777	2113	25766	3712
442110	5	empl.	267041	0	20150	35719	43299	99168	61541	31970	192679	74362	270455	0	20298	34920	43594	98812	65686	34085	198583	71872	284060	0	19988	34667	45581	100236	68555	36992	205783	78277	278231	0	20153	35165	45601	100919	69628	38284	208831	69400	262634	0	19672	34134	44471	98277	65528	35072	198877	63757
442110	5	ann. pay.	6395872	55975	369734	726108	1001650	2153467	1615844	913043	4682354	1713518	6966887	62571	402672	745964	1054681	2265888	1801660	1073605	5141153	1825734	7472696	64226	402525	752643	1134876	2354270	1948857	1188656	5491783	1980913	7467822	66712	414856	772162	1140770	2394500	1972966	1180778	5548244	1919578	7382786	79106	405627	784100	1160788	2429621	1918830	1097345	5445796	1936990
442110	5	rec.																																									52532504	709426	3570140	5317758	6989671	16586995	11589212	8203168	36379375	16153129
442210	5	firms	14277	1245	7124	3271	1702	13342	848	65	14255	22	14086	1228	6920	3247	1714	13109	889	73	14071	15	14253	1310	6875	3257	1789	13231	934	75	14240	13	14800	1388	7133	3398	1849	13768	937	82	14787	13	14231	1333	6828	3248	1812	13221	913	82	14216	15
442210	5	estab.	15967	1247	7139	3330	1931	13647	1611	349	15607	360	15720	1230	6933	3312	1947	13422	1598	319	15339	381	15845	1322	6891	3316	1981	13510	1689	353	15552	293	16127	1390	7153	3463	2059	14065	1621	400	16086	41	15765	1335	6836	3331	2080	13582	1675	476	15733	32
442210	5	empl.	99924	0	16043	21315	22086	59444	28039	5258	92741	7183	99683	0	15625	21240	22403	59268	29322	5929	94519	5164	103479	0	15621	21430	23344	60395	31370	6683	98448	5031	105106	0	16152	22299	24008	62459	31323	8295	102077	3029	100882	0	15771	21388	23538	60697	29567	9081	99345	1537
442210	5	ann. pay.	2740273	33730	348273	518207	612851	1513061	876052	167547	2556660	183613	2969946	37719	356968	539939	660491	1595117	971152	216812	2783081	186865	3171891	38126	364997	570257	703402	1676782	1087037	247652	3011471	160420	3294078	46830	390836	594668	749612	1781946	1103072	290431	3175449	118629	3294332	54677	380827	609989	760826	1806319	1064948	358226	3229493	64839
442210	5	rec.																																									20408847	429936	3358420	3987453	4373542	12149351	5743296	2225397	20118044	290803
442291	5	firms	1814	218	1059	332	132	1741	50	14	1805	9	1886	271	1090	334	123	1818	48	13	1879	7	1945	251	1143	349	135	1878	47	13	1938	7	2020	258	1202	353	131	1944	58	10	2012	8	2277	330	1351	379	136	2196	62	12	2270	7
442291	5	estab.	2206	218	1062	342	172	1794	103	109	2006	200	2292	271	1093	347	148	1859	99	116	2074	218	2318	253	1146	364	154	1917	90	97	2104	214	2335	258	1204	372	143	1977	116	49	2142	193	2663	330	1353	388	153	2224	127	114	2465	198
442291	5	empl.	9337	0	2184	2089	1611	5884	1330	924	8138	1199	9894	0	2251	2166	1543	5960	1232	1386	8578	1316	9689	0	2349	2239	1734	6322	1268	760	8350	1339	9955	0	2489	2236	1638	6363	1521	910	8794	1161	10656	0	2837	2424	1690	6951	1640	878	9469	1187
442291	5	ann. pay.	176924	3570	36332	36340	33001	109243	28889	16133	154265	22659	210035	5644	41171	39951	33444	120210	28296	32238	180744	29291	204507	4996	43788	45241	38925	132950	32380	12958	178288	26219	226198	5877	48153	48798	37118	139946	39495	23364	202805	23393	245522	7096	55202	55034	40427	157759	44471	23867	226097	19425
442291	5	rec.																																									1537668	59171	394034	271558	191650	916413	282960	163681	1363054	174614
442299	5	firms	10553	1001	5655	2272	963	9891	495	90	10476	77	10525	1132	5483	2229	991	9835	519	95	10449	76	10584	1173	5432	2319	982	9906	512	90	10508	76	10839	1208	5710	2293	1006	10217	464	80	10761	78	11944	1396	6461	2473	1004	11334	463	78	11875	69
442299	5	estab.	16549	1011	5670	2314	1101	10096	1060	635	11791	4758	16672	1138	5495	2266	1115	10014	1049	767	11830	4842	16959	1275	5444	2360	1102	10181	970	702	11853	5106	17384	1212	5725	2344	1151	10432	861	526	11819	5565	18454	1396	6466	2522	1178	11562	930	490	12982	5472
442299	5	empl.	133436	0	12207	14613	12190	39010	13944	7840	60794	72642	145310	0	11968	14363	12487	38818	14793	9437	63048	82262	151956	0	11901	14840	12366	39107	14956	7820	61883	90073	174026	0	12505	14908	12642	40055	13539	7471	61065	112961	177395	0	14447	15902	12577	42926	13203	6957	63086	114309
442299	5	ann. pay.	1965400	20503	179311	229686	190587	620087	232981	130384	983452	981948	2260855	27452	189152	241179	217754	675537	260659	165460	1101656	1159199	2507018	27795	198114	260436	236751	723096	313749	143105	1179950	1327068	2656034	39571	208931	263764	242293	754559	276084	152447	1183090	1472944	2842114	32187	247289	289809	257129	826414	286848	148942	1262204	1579910
442299	5	rec.																																									22594107	370002	1760997	1585037	1260137	4976173	1495055	902638	7373866	15220241
443111	5	firms	9101	682	4734	2197	997	8610	425	40	9075	26	8795	618	4571	2081	1020	8290	438	39	8767	28	8604	615	4376	2055	1043	8089	444	44	8577	27	8652	715	4339	2061	994	8109	473	44	8626	26	8471	654	4273	1986	1024	7937	463	49	8449	22
443111	5	estab.	10326	684	4766	2287	1214	8951	757	200	9908	418	10044	624	4595	2166	1223	8608	766	267	9641	403	9828	625	4406	2130	1234	8395	747	254	9396	432	9872	717	4370	2152	1174	8413	758	293	9464	408	10002	654	4291	2093	1244	8282	806	312	9400	602
443111	5	empl.	61698	0	10695	14234	12786	37715	12709	3282	53706	7992	63350	0	10245	13575	12922	36742	13037	3354	53133	10217	62186	0	9811	13448	13235	36494	13362	4172	54028	8158	62372	0	9724	13467	12537	35728	14149	3908	53785	8587	63574	0	9806	13057	13180	36043	14009	4726	54778	8796
443111	5	ann. pay.	1333928	15476	174499	247834	268516	706325	328758	103896	1138979	194949	1424620	15481	173865	250742	282923	723011	358218	98371	1179600	245020	1481747	15517	172341	255387	296922	740167	379274	117970	1237411	244336	1542679	19600	177046	265153	293112	754911	402410	126259	1283580	259099	1640701	17115	180334	273911	313317	784677	412261	167243	1364181	276520
443111	5	rec.																																									12618824	151546	1445625	1857705	2129031	5583907	2801020	1505858	9890785	2728039
443112	5	firms	10456	1308	5214	2128	1071	9721	594	81	10396	60	10664	1339	5248	2232	1063	9882	640	91	10613	51	11270	1626	5323	2327	1185	10461	655	102	11218	52	12778	2144	5987	2470	1289	11890	727	103	12720	58	13976	2313	6907	2514	1339	13073	742	112	13927	49
443112	5	estab.	18505	1312	5231	2196	1251	9990	1286	436	11712	6793	18997	1362	5274	2282	1225	10143	1270	555	11968	7029	19787	1638	5348	2392	1365	10743	1173	615	12531	7256	21724	2158	6012	2554	1485	12209	1275	873	14357	7367	24226	2336	6947	2595	1639	13517	1760	1230	16507	7719
443112	5	empl.	176747	0	11645	13791	13610	39046	18471	7746	65263	111484	195092	0	11677	14581	13467	39725	19868	8713	68306	126786	216693	0	11789	15102	15317	42208	20457	11171	73836	142857	232233	0	13291	16057	16705	46053	23251	11804	81108	151125	241207	0	15245	16325	17345	48915	23753	11351	84019	157188
443112	5	ann. pay.	3800461	35812	214876	290116	335114	875918	498743	215682	1590343	2210118	4510135	47635	223131	311258	353810	935834	583452	240904	1760190	2749945	5131384	47727	233491	335978	408994	1026190	627812	373357	2027359	3104025	5736558	60038	257778	349235	434827	1101878	689052	378604	2169534	3567024	6257033	72938	289456	375693	459517	1197604	748951	333199	2279754	3977279
443112	5	rec.																																									53557438	527860	2016532	2043161	2265196	6852749	3509922	2379641	12742312	40815126
443120	5	firms	11431	2114	5046	2351	1174	10685	616	79	11380	51	11265	1837	5146	2393	1157	10533	616	62	11211	54	10996	1665	5194	2238	1139	10236	629	69	10934	62	10990	1627	5491	2131	1036	10285	570	77	10932	58	10214	1610	5107	1945	920	9582	522	63	10167	47
443120	5	estab.	13248	2114	5049	2366	1237	10766	805	287	11858	1390	13046	1841	5149	2406	1218	10614	750	185	11549	1497	12889	1674	5204	2263	1195	10336	733	178	11247	1642	13069	1629	5508	2152	1084	10373	670	187	11230	1839	12469	1610	5117	1962	969	9658	635	195	10488	1981
443120	5	empl.	103453	0	11517	15310	15237	42064	19506	6347	67917	35536	105061	0	11496	15522	15186	42204	20534	[i]	[l]	[k]	106213	0	11581	14593	15006	41180	21704	7344	70228	35985	109025	0	11982	13804	13702	39488	19590	         [i]	         [l]	         [k]	94370	0	11282	12634	12097	36013	17285	         [i]	         [l]	         [k]
443120	5	ann. pay.	3050799	88207	256208	356670	435708	1136793	735284	297685	2169762	881037	3238118	84303	274967	407878	452178	1219326	825326	(D)	(D)	(D)	4187431	76209	273137	387598	473551	1210495	945816	568699	2725010	1462421	3866907	67684	297071	372585	481967	1219307	895700	         (D)	         (D)	         (D)	3297181	74372	278788	353132	422754	1129046	839213	         (D)	         (D)	         (D)
443120	5	rec.																																									23413796	692463	2031131	2074354	2195454	6993402	4468448	         (D)	         (D)	         (D)
443130	5	firms	1450	78	696	319	206	1299	133	12	1444	6	1431	110	681	298	200	1289	123	15	1427	4	1421	107	648	323	195	1273	128	15	1416	5	1378	99	642	300	196	1237	117	19	1373	5	1379	111	663	283	193	1250	113	14	1377	2
443130	5	estab.	3156	78	700	333	251	1362	291	75	1728	1428	3080	110	686	311	241	1348	282	81	1711	1369	3088	107	650	338	226	1321	280	49	1650	1438	3082	99	643	313	233	1288	231	99	1618	1464	2903	111	665	293	224	1293	234	90	1617	1286
443130	5	empl.	20009	0	1542	2096	2679	6317	3968	1005	11290	8719	20761	0	1539	1970	2630	6139	3679	[g]	[j]	[i]	22229	0	1407	2070	2582	6059	4083	1032	11174	11055	22106	0	1417	1962	2572	5951	3535	         [g]	         [j]	         [j]	19574	0	1497	1860	2536	5893	3550	         [g]	         [j]	         [i]
443130	5	ann. pay.	390025	3153	26361	40904	55610	126028	91786	19119	236933	153092	400131	3680	28419	40072	58309	130480	84813	(D)	(D)	(D)	436068	3102	27647	39653	57491	127893	97282	31571	256746	179322	447080	3941	26838	39029	62621	132429	86958	         (D)	         (D)	         (D)	413876	3791	27747	40098	59874	131510	92907	         (D)	         (D)	         (D)
443130	5	rec.																																									2690698	36675	197922	249637	357425	841659	712094	         (D)	         (D)	         (D)
444110	5	firms	1510	136	401	335	266	1138	273	69	1480	30	1672	161	451	357	294	1263	304	75	1642	30	1783	213	485	363	318	1379	294	75	1748	35	1949	214	629	380	332	1555	288	80	1923	26	2195	216	758	436	366	1776	310	85	2171	24
444110	5	estab.	3929	136	402	335	269	1142	362	206	1710	2219	4377	161	451	359	299	1270	397	215	1882	2495	4366	213	485	364	323	1385	379	220	1984	2382	4841	214	629	382	336	1561	377	321	2259	2582	5280	252	758	440	380	1830	417	244	2491	2789
444110	5	empl.	284442	0	940	2252	3458	6650	9387	6639	22676	261766	324645	0	1065	2428	3930	7423	10684	7206	25313	299332	350901	0	1133	2422	4229	7784	10586	7514	25884	325017	368798	0	1446	2518	4378	8342	10191	8089	26622	342176	416450	0	1750	2901	4914	9565	10952	8749	29266	387184
444110	5	ann. pay.	5610906	3647	19537	44567	70099	137850	200657	141053	479560	5131346	6760644	5103	25402	50384	82474	163363	227653	162495	553511	6207133	7576968	7000	23548	49542	92064	172154	230371	165187	567712	7009256	8844884	7197	32279	54595	100590	194661	242674	176384	613719	8231165	9417957	7159	38640	69758	118717	234274	273121	209669	717064	8700893
444110	5	rec.																																									92813043	64261	326448	543884	839799	1774392	1852345	1686205	5312942	87500101
444120	5	firms	3648	261	1809	880	434	3384	200	46	3630	18	3490	254	1729	839	406	3228	199	45	3472	18	3427	275	1657	818	406	3156	208	43	3407	20	3361	245	1622	832	405	3104	198	41	3343	18	3176	251	1543	763	374	2931	190	37	3158	18
444120	5	estab.	8376	262	1814	908	572	3556	610	558	4724	3652	8380	257	1732	878	525	3392	602	616	4610	3770	8396	276	1661	867	512	3316	544	476	4336	4060	8445	245	1625	875	511	3256	518	492	4266	4179	8302	253	1544	795	495	3087	543	405	4035	4267
444120	5	empl.	43799	0	4239	5694	5296	15229	5922	3780	24931	18868	43130	0	4109	5430	5018	14557	5701	3508	23766	19364	46060	0	3853	5333	5070	14256	5911	2944	23111	22949	44442	0	3701	5334	5087	14122	5613	3090	22825	21617	45339	0	3670	5024	4707	13401	5166	2809	21376	23963
444120	5	ann. pay.	1049969	5754	77651	116164	124833	324402	154240	96006	574648	475321	1082866	7350	80254	115866	124110	327580	153739	97880	579199	503667	1200810	7436	78336	118615	121459	325846	169498	81309	576653	624157	1223178	4794	76463	119997	131365	332619	163807	93503	589929	633249	1281144	11997	74211	118585	125168	329961	155312	87939	573212	707932
444120	5	rec.																																									8839227	122022	550834	697977	670957	2041790	851820	507131	3400741	5438486
444130	5	firms	13445	666	5361	3537	2384	11948	1344	118	13410	35	13231	726	5193	3399	2376	11694	1375	126	13195	36	12994	743	5073	3269	2375	11460	1368	128	12956	38	12902	777	5034	3237	2335	11383	1357	125	12865	37	12838	809	5020	3144	2331	11304	1382	119	12805	33
444130	5	estab.	15431	666	5366	3561	2501	12094	1841	469	14404	1027	15259	733	5200	3422	2494	11849	1831	505	14185	1074	15026	774	5080	3296	2486	11636	1777	531	13944	1082	14837	795	5043	3276	2437	11551	1753	486	13790	1047	14755	809	5023	3163	2443	11438	1838	519	13795	960
444130	5	empl.	138849	0	12575	23480	31452	67507	40500	10813	118820	20029	145112	0	12135	22621	31332	66088	41336	12369	119793	25319	146086	0	11801	21709	31431	64941	42352	12663	119956	26130	139468	0	11568	21560	30984	64112	41842	12565	118519	20949	140075	0	11640	21011	30906	63557	42380	12578	118515	21560
444130	5	ann. pay.	2198684	16969	187243	354730	491079	1050021	689957	174461	1914439	284245	2302302	21020	190023	348688	503431	1063162	722852	205601	1991615	310687	2484323	107644	186876	348264	515512	1158296	743555	219989	2121840	362483	2428392	24347	195245	359214	528587	1107393	763469	222392	2093254	335138	2564410	23623	199111	363663	550101	1136498	804232	258955	2199685	364725
444130	5	rec.																																									16737413	200199	1552594	2242604	3086517	7081914	4399710	1509238	12990862	3746551
444190	5	firms	32622	2125	11190	7737	5838	26890	4845	690	32425	197	32315	2273	11036	7573	5681	26563	4832	724	32119	196	32284	2390	10903	7442	5696	26431	4922	730	32083	201	32878	2421	11398	7534	5755	27108	4853	717	32678	200	32307	2435	11293	7468	5567	26763	4658	700	32121	186
444190	5	estab.	43770	2127	11206	7827	6310	27470	7891	3192	38553	5217	43222	2279	11053	7667	6124	27123	7707	3196	38026	5196	43143	2395	10931	7539	6067	26932	7608	3148	37688	5455	43728	2428	11419	7651	6144	27642	7411	3210	38263	5465	43410	2439	11311	7590	6023	27363	7362	3325	38050	5360
444190	5	empl.	496484	0	26390	51680	77558	155628	169799	78823	404250	92234	499303	0	25621	50480	75903	152004	169386	85374	406764	92539	512195	0	25324	49581	76107	151012	173791	85092	409895	102300	509692	0	26371	50211	76905	153487	169748	84658	407893	101799	489698	0	26674	49728	74546	150948	161703	81578	394229	95469
444190	5	ann. pay.	15397125	118628	639441	1338863	2226581	4323513	5545038	2592585	12461136	2935989	16230344	85545	660802	1384280	2280294	4410921	5792539	2924670	13128130	3102214	17159625	92686	663217	1369636	2327267	4452806	6051464	3018081	13522351	3637274	17840272	94520	704105	1462463	2454451	4715539	6076010	3157922	13949471	3890801	17572903	106528	723174	1479567	2453678	4762947	5958568	3095537	13817052	3755851
444190	5	rec.																																									133818495	950159	5651139	9845344	15738267	32184909	39861206	24399363	96445478	37373017
444210	5	firms	4527	397	2308	1078	482	4265	227	26	4518	9	4403	349	2179	1076	518	4122	240	33	4395	8	4297	340	2046	1063	556	4005	251	33	4289	8	4288	318	2106	1027	542	3993	258	31	4282	6	4295	348	2078	1075	508	4009	247	32	4288	7
444210	5	estab.	4769	397	2308	1094	511	4310	302	75	4687	82	4624	351	2179	1089	550	4169	313	83	4565	59	4558	340	2048	1073	595	4056	322	108	4486	72	4514	318	2110	1038	573	4039	337	82	4458	56	4579	348	2079	1088	540	4055	373	128	4556	23
444210	5	empl.	26580	0	5265	7026	5989	18280	5575	1156	25011	1569	27032	0	4939	7026	6549	18514	6204	1557	26275	757	28606	0	4663	6935	7125	18723	6888	2007	27618	988	28436	0	4762	6714	6935	18411	7250	1997	27658	778	27775	0	4769	6931	6599	18299	6955	2128	27382	393
444210	5	ann. pay.	582641	10916	94362	140059	137234	382571	146028	37542	566141	16500	627463	8876	91891	141888	155393	398048	164291	49767	612106	15357	678266	8828	87352	141197	174296	411673	186288	63186	661147	17119	711663	8601	97987	143957	171792	422337	202769	70738	695844	15819	728625	10499	98691	152533	173262	434985	205492	74182	714659	13966
444210	5	rec.																																									5586529	104355	837546	1090101	1269954	3301956	1519962	625710	5447628	138901
444220	5	firms	13014	1317	5183	2932	1920	11352	1413	192	12957	57	12871	1311	5077	2845	1939	11172	1441	197	12810	61	12947	1309	4961	2869	2015	11154	1508	223	12885	62	14324	1593	5565	3115	2159	12432	1620	217	14269	55	14307	1869	5435	3036	2142	12482	1563	208	14253	54
444220	5	estab.	16514	1318	5195	2986	2094	11593	2209	711	14513	2001	16431	1313	5088	2903	2111	11415	2196	751	14362	2069	16459	1311	4976	2917	2170	11374	2242	829	14445	2014	17770	1615	5586	3189	2298	12688	2338	840	15866	1904	17783	1870	5444	3090	2354	12758	2366	856	15980	1803
444220	5	empl.	141046	0	11755	19485	24882	56122	44086	14458	114666	26380	144474	0	11491	18945	25262	55698	45774	15663	117135	27339	151539	0	11218	19187	26406	56811	48130	18031	122972	28567	158290	0	12418	20584	28289	61291	51898	18613	131802	26488	151399	0	12347	19926	28103	60376	49291	18168	127835	23564
444220	5	ann. pay.	2937569	38809	222565	370500	524657	1156531	945951	327165	2429647	507922	3176150	36478	222835	377798	551882	1188993	1026655	361839	2577487	598663	3350291	39016	219444	374625	568311	1201396	1080286	436142	2717824	632467	3652750	51485	256923	416198	637616	1362222	1201388	450208	3013818	638932	3584433	59234	247734	416210	636433	1359611	1199537	438469	2997617	586816
444220	5	rec.																																									30640588	464848	2241317	3222818	4429368	10358351	8536812	4269433	23164596	7475992
445110	5	firms	45597	4918	18696	7212	5734	36560	7321	1353	45234	363	45563	5347	18907	7028	5574	36856	7038	1321	45215	348	45767	5401	19199	7113	5517	37230	6914	1290	45434	333	46050	5655	19580	7058	5444	37737	6766	1209	45712	338	40176	5192	16664	5678	4712	32246	6438	1157	39841	335
445110	5	estab.	68553	4926	18713	7239	5857	36735	8276	3705	48716	19837	69004	5362	18923	7060	5687	37032	7947	3420	48399	20605	68779	5422	19223	7164	5632	37441	7784	3308	48533	20246	68797	5657	19600	7093	5570	37920	7628	3112	48660	20137	62934	5193	16677	5703	4801	32374	7212	3171	42757	20177
445110	5	empl.	2533012	0	39862	47994	77600	165456	293572	225733	684761	1848251	2583957	0	40149	46723	75905	162777	283065	221620	667462	1916495	2543527	0	40839	47264	74863	162966	279012	217267	659245	1884282	2487338	0	41647	46694	74081	162422	274120	204812	641354	1845984	2387828	0	36051	37343	64482	137876	264232	199136	601244	1786584
445110	5	ann. pay.	37986296	133745	458268	515088	882217	1989318	3756014	3173976	8919308	29066988	39938737	180439	487239	529192	883664	2080534	3717373	3157952	8955859	30982878	41795041	166192	515464	550686	905924	2138266	3735679	3234533	9108478	32686563	42341542	177886	544628	570550	918294	2211358	3841078	3150874	9203310	33138232	42470977	161411	475685	478797	833731	1949624	3820852	3184456	8954932	33516045
445110	5	rec.																																									389913474	1817409	6098816	5264379	8107081	21287685	32422029	26918361	80628075	309285399
445120	5	firms	22657	3030	11702	4614	2282	21628	790	149	22567	90	23233	3469	11741	4690	2284	22184	820	150	23154	79	24553	3804	12006	4959	2586	23355	959	158	24472	81	25730	4088	12736	5047	2652	24523	963	154	25640	90	29616	4578	15355	5634	2897	28464	923	141	29528	88
445120	5	estab.	27707	3030	11713	4646	2396	21785	1265	733	23783	3924	28427	3472	11790	4735	2410	22407	1218	847	24472	3955	29496	3824	12020	5031	2690	23565	1338	674	25577	3919	30560	4091	12748	5107	2756	24702	1306	643	26651	3909	34232	4581	15371	5673	3032	28657	1264	741	30662	3570
445120	5	empl.	156064	0	25534	30219	28807	84560	20099	7877	112536	43528	159280	0	25744	30732	29298	85774	21771	8859	116404	42876	173341	0	26360	32522	33063	91945	26724	8866	127535	45806	178466	0	27904	33265	34293	95462	27156	9887	132505	45961	181523	0	33833	36877	37071	107781	24455	7839	140075	41448
445120	5	ann. pay.	1762465	55521	273562	300161	283396	912640	207577	101062	1221279	541186	1929671	70283	295313	326509	301009	993114	239040	119302	1351456	578215	2176948	81700	315552	348241	340873	1086366	290546	128222	1505134	671814	2291568	83855	352636	367759	376364	1180614	299892	146367	1626873	664695	2408389	87054	442547	421732	417370	1368703	296516	112895	1778114	630275
445120	5	rec.																																									28120030	1336378	6923345	5222357	4304185	17786265	2531965	1093625	21411855	6708175
445210	5	firms	6188	591	3173	1391	693	5848	305	26	6179	9	6070	646	3003	1358	694	5701	327	35	6063	7	5960	600	2951	1327	698	5576	341	31	5948	12	6042	674	2950	1342	691	5657	339	35	6031	11	5913	683	2803	1282	730	5498	367	40	5905	8
445210	5	estab.	6619	592	3184	1404	720	5900	411	123	6434	185	6516	647	3010	1374	719	5750	416	172	6338	178	6517	602	2965	1339	720	5626	426	162	6214	303	6599	674	2960	1358	717	5709	399	193	6301	298	6467	684	2809	1293	759	5545	447	184	6176	291
445210	5	empl.	38887	0	7222	9068	9030	25320	9143	2186	36649	2238	39664	0	6902	8879	9117	24898	9675	3417	37990	1674	41010	0	6862	8635	9228	24725	10167	         [h]	         [k]	         [h]	41924	0	6803	8751	9052	24606	10249	3637	38492	3432	41765	0	6609	8409	9487	24505	10766	3826	39097	2668
445210	5	ann. pay.	564455	11633	95681	121735	125896	354945	139109	39284	533338	31117	593936	13235	95837	122013	129672	360757	142493	62892	566142	27794	643337	13238	97923	125444	140687	377292	157382	         (D)	         (D)	         (D)	695646	14649	102571	134085	139576	390881	168267	74659	633807	61839	714230	32362	101691	135185	154622	423860	183089	71496	678445	35785
445210	5	rec.																																									5648059	390581	1069229	1121842	980856	3562508	1229485	563821	5355814	292245
445220	5	firms	1727	254	965	303	131	1653	69	3	1725	2	1761	272	960	310	140	1682	73	4	1759	2	1809	280	965	335	149	1729	75	3	1807	2	1896	274	1040	350	142	1806	86	2	1894	2	2197	349	1204	385	177	2115	78	2	2195	2
445220	5	estab.	1776	254	965	310	146	1675	89	7	1771	5	1807	272	964	316	152	1704	93	5	1802	5	1853	280	967	343	159	1749	95	4	1848	5	1940	274	1046	358	151	1829	103	3	1935	5	2238	349	1209	390	186	2134	97	2	2233	5
445220	5	empl.	7857	0	2043	1962	1596	5601	2140	         [b]	         [i]	         [b]	8299	0	2061	1992	1692	5745	2162	[e]	[i]	[b]	8458	0	2055	2149	1855	6059	2178	         [c]	         [i]	         [b]	8990	0	2179	2282	1786	6247	2610	         [b]	         [i]	         [b]	9771	0	2674	2489	2289	7452	2206	         [b]	         [i]	         [b]
445220	5	ann. pay.	121554	5966	27993	26854	23163	83976	35481	         (D)	         (D)	         (D)	137701	5352	29098	27979	28984	91413	32851	(D)	(D)	(D)	137306	5880	31042	31299	29230	97451	35806	         (D)	         (D)	         (D)	149310	6031	32751	35485	30640	104907	42267	         (D)	         (D)	         (D)	167634	8372	43579	38682	38246	128879	36170	         (D)	         (D)	         (D)
445220	5	rec.																																									1560631	89353	527275	359082	294576	1270286	230195	         (D)	         (D)	         (D)
445230	5	firms	3094	676	1526	432	262	2896	179	19	3094	0	3050	664	1477	450	259	2850	178	19	3047	3	3092	670	1497	454	258	2879	195	18	3092	0	3268	685	1587	486	287	3045	203	19	3267	1	3458	761	1650	512	281	3204	232	21	3457	1
445230	5	estab.	3209	677	1528	438	277	2920	234	55	3209	0	3166	664	1483	459	275	2881	225	57	3163	3	3204	670	1503	458	275	2906	229	69	3204	0	3382	685	1594	490	304	3073	235	73	3381	1	3569	764	1650	518	296	3228	267	73	3568	1
445230	5	empl.	17533	0	3207	2780	3397	9384	5874	2275	17533	0	18011	0	3050	2891	3402	9343	6086	[g]	[j]	[e]	18451	0	3084	2961	3373	9418	6812	2221	18451	0	20615	0	3341	3172	3862	10375	7397	         [h]	         [j]	         [a]	21580	0	3469	3292	3700	10461	8320	         [h]	         [j]	         [a]
445230	5	ann. pay.	256153	14041	44639	35522	42493	136695	85049	34409	256153	0	273196	14036	45389	38776	45685	143886	89118	(D)	(D)	(D)	295007	16396	47632	40391	46770	151189	102173	41645	295007	0	374488	15345	55230	48793	53980	173348	121570	         (D)	         (D)	         (D)	412580	20220	58183	52881	58591	189875	138362	         (D)	         (D)	         (D)
445230	5	rec.																																									3583146	232947	756916	581659	616837	2188359	1039332	         (D)	         (D)	         (D)
445291	5	firms	2167	595	763	354	217	1929	176	43	2148	19	2781	825	987	405	295	2512	212	36	2760	21	3350	817	1278	571	376	3042	249	40	3331	19	3663	889	1398	667	422	3376	228	42	3646	17	3990	762	1613	764	507	3646	295	29	3970	20
445291	5	estab.	3342	595	766	372	252	1985	296	278	2559	783	4924	840	994	418	309	2561	322	294	3177	1747	5451	817	1283	584	387	3071	365	260	3696	1755	5728	894	1398	671	442	3405	323	250	3978	1750	6082	762	1614	765	528	3669	408	187	4264	1818
445291	5	empl.	17267	0	1671	2356	2634	6661	3915	2405	12981	4286	29001	0	2148	2651	3676	8475	5311	1962	15748	13253	32736	0	2847	3751	4760	11358	6142	2639	20139	12597	34380	0	3093	4310	5361	12764	5848	2371	20983	13397	41800	0	3766	4996	6670	15432	7668	1622	24722	17078
445291	5	ann. pay.	249968	13751	16738	21664	24698	76851	42804	32042	151697	98271	548515	20138	22951	25162	37773	106024	57980	23090	187094	361421	609818	18504	31916	37880	50064	138364	72142	31605	242111	367707	644992	21747	37189	42933	58991	160860	72430	28724	262014	382978	893519	17191	44573	55373	77854	194991	103047	20736	318774	574745
445291	5	rec.																																									2104721	88563	266010	253164	280722	888459	341519	109217	1339195	765526
445292	5	firms	2138	384	930	415	219	1948	154	25	2127	11	2156	399	927	415	225	1966	152	27	2145	11	2276	447	989	420	227	2083	155	24	2262	14	2272	437	985	443	215	2080	155	24	2259	13	2319	459	956	461	249	2125	155	26	2306	13
445292	5	estab.	3831	386	943	430	263	2022	389	234	2645	1186	3885	399	932	436	271	2038	364	270	2672	1213	3961	452	997	432	275	2156	362	136	2654	1307	3839	437	992	459	267	2155	365	107	2627	1212	3782	459	960	476	274	2169	336	309	2814	968
445292	5	empl.	20650	0	2028	2697	2685	7410	4154	         [g]	         [j]	         [i]	21079	0	1997	2699	2807	7503	4146	2006	13655	7424	20938	0	2106	2742	2830	7678	4451	1322	13451	7487	22140	0	2103	2915	2690	7708	4440	1265	13413	8727	20653	0	2106	2999	3085	8190	4287	1966	14443	6210
445292	5	ann. pay.	213356	5913	19734	22912	23472	72031	42911	         (D)	         (D)	         (D)	225677	7589	21030	22705	26331	77655	44914	18771	141340	84337	248592	7866	22651	23456	28773	82746	55315	14692	152753	95839	253213	7686	23192	28299	26947	86124	52424	13880	152428	100785	254144	7256	24202	30658	30480	92596	50215	25558	168369	85775
445292	5	rec.																																									1605122	53221	187866	180371	144609	566067	246195	207548	1019810	585312
445299	5	firms	3732	921	1557	663	365	3506	189	17	3712	20	4489	1367	1722	741	403	4233	211	22	4466	23	5702	1646	2181	981	565	5373	286	22	5681	21	5602	1364	2331	1024	557	5276	281	22	5579	23	6091	1506	2333	1095	725	5659	382	24	6065	26
445299	5	estab.	4870	921	1561	671	388	3541	298	55	3894	976	5628	1382	1728	748	429	4287	305	73	4665	963	6767	1650	2202	987	587	5426	375	804	6605	162	6721	1367	2340	1034	584	5325	367	793	6485	236	7207	1509	2335	1103	755	5702	469	56	6227	980
445299	5	empl.	23422	0	3357	4401	4726	12484	5575	1182	19241	4181	24804	0	3718	4884	5227	13829	6134	1377	21340	3464	32262	0	4646	6467	7490	18603	8597	1492	28692	3570	33736	0	4976	6812	7185	18973	8542	1630	29145	4591	41276	0	5126	7229	9571	21926	11532	2292	35750	5526
445299	5	ann. pay.	281792	16675	36295	42562	45347	140879	63309	18234	222422	59370	331446	29113	44666	49925	52951	176655	73123	15992	265770	65676	424000	36421	56357	64339	74610	231727	94557	24984	351268	72732	432107	27509	64353	70817	74139	236818	94314	26008	357140	74967	545283	33561	71085	82447	106429	293522	133807	32380	459709	85574
445299	5	rec.																																									3322541	241719	644542	516533	614534	2017328	565797	160546	2743671	578870
445310	5	firms	24830	2107	14314	5473	2074	23968	721	91	24780	50	24945	2306	14261	5454	2043	24064	740	92	24896	49	25305	2595	14214	5474	2105	24388	787	85	25260	45	25563	2666	14253	5539	2185	24643	782	96	25521	42	25985	2748	14468	5706	2178	25100	746	92	25938	47
445310	5	estab.	27880	2121	14343	5573	2325	24362	1401	622	26385	1495	28149	2320	14288	5570	2265	24443	1445	690	26578	1571	28463	2611	14250	5571	2332	24764	1475	692	26931	1532	28695	2668	14306	5638	2380	24992	1456	737	27185	1510	29166	2748	14494	5828	2438	25508	1389	665	27562	1604
445310	5	empl.	129129	0	31753	35178	25900	92831	20672	7455	120958	8171	130568	0	31635	35142	25582	92359	21446	8018	121823	8745	133687	0	31264	35340	26412	93016	23439	8524	124979	8708	136212	0	31522	35792	27459	94773	23166	9663	127602	8610	137801	0	32994	36773	27397	97164	22058	8268	127490	10311
445310	5	ann. pay.	1820912	30064	406227	418489	337653	1192433	325318	138815	1656566	164346	1941068	39269	424395	450899	346125	1260688	353415	152622	1766725	174343	2065456	42484	444011	470365	371911	1328771	394245	164126	1887142	178314	2153921	46916	464563	488083	401917	1401479	393422	181480	1976381	177540	2197746	60768	481806	521042	405583	1469199	376692	140388	1986279	211467
445310	5	rec.																																									28554782	874215	7891121	6215491	4394104	19374931	3884285	1912626	25171842	3382940
446110	5	firms	22073	1005	6658	7238	4798	19699	1988	146	21833	240	21353	1140	6385	6863	4560	18948	2037	136	21121	232	20874	1117	6174	6542	4621	18454	2049	144	20647	227	20493	1151	5972	6258	4637	18018	2100	147	20265	228	19488	1037	5458	5901	4559	16955	2169	141	19265	223
446110	5	estab.	42565	1008	6671	7317	5138	20134	3076	611	23821	18744	41846	1147	6404	6947	4852	19350	3029	558	22937	18909	40617	1132	6195	6630	4897	18854	3002	519	22375	18242	40026	1153	5996	6343	4918	18410	2981	571	21962	18064	40152	1041	5465	5959	4768	17233	3094	604	20931	19221
446110	5	empl.	722779	0	17252	48763	63200	129215	61250	14318	204783	517996	709175	0	16406	46284	59932	122622	62684	12454	197760	511415	680251	0	15797	44179	60892	120868	63890	12256	197014	483237	699160	0	15126	42507	61255	118888	66309	13333	198530	500630	730557	0	14295	40045	60149	114489	68337	14601	197427	533130
446110	5	ann. pay.	12010871	46092	374471	945437	1170349	2536349	1157710	274554	3968613	8042258	13395865	62208	376964	964520	1187874	2591566	1285730	252069	4129365	9266500	14542974	43101	386356	977258	1306362	2713077	1383897	308740	4405714	10137260	15484007	61367	397507	1014054	1397893	2870821	1551717	333465	4756003	10728004	16752617	60918	398005	1050410	1491244	3000577	1692196	401478	5094251	11658366
446110	5	rec.																																									159070305	719024	5266749	11132931	14173172	31291876	13388574	3139069	47819519	111250786
446120	5	firms	4197	655	2398	680	289	4022	129	25	4176	21	4247	657	2472	665	278	4072	130	25	4227	20	4493	747	2573	695	301	4316	129	27	4472	21	5072	905	2865	820	293	4883	140	26	5049	23	5636	1023	3213	892	309	5437	153	24	5614	22
446120	5	estab.	9526	655	2408	727	385	4175	420	333	4928	4598	9587	661	2483	701	387	4232	377	275	4884	4703	9615	748	2594	728	414	4484	309	245	5038	4577	10630	905	2880	859	387	5031	292	244	5567	5063	11255	1023	3225	933	368	5549	340	194	6083	5172
446120	5	empl.	58182	0	4846	4383	3608	12837	3784	3158	19779	38403	61771	0	5175	4255	3475	12905	3886	2575	19366	42405	61237	0	5301	4449	3748	13498	3742	2935	20175	41062	75658	0	5844	5212	3695	14751	4105	3362	22218	53440	83323	0	6692	5747	3972	16411	4606	2814	23831	59492
446120	5	ann. pay.	695306	11851	58747	55346	51300	177244	63427	61825	302496	392810	759045	23064	68685	60415	53027	205191	69552	65241	339984	419061	842413	25375	72547	67179	58403	223504	78238	77272	379014	463399	1054136	43371	83325	83489	59650	269835	91775	73622	435232	618904	1201877	20451	91506	89894	65767	267618	107133	75829	450580	751297
446120	5	rec.																																									7402954	162385	777917	588329	378789	1907420	595946	323595	2826961	4575993
446130	5	firms	6683	484	3978	1419	499	6380	235	42	6657	26	6645	502	3911	1435	516	6364	219	36	6619	26	6532	469	3828	1416	549	6262	212	31	6505	27	6485	523	3734	1410	550	6217	207	33	6457	28	5809	433	3359	1276	488	5556	205	24	5785	24
446130	5	estab.	14724	488	4016	1535	726	6765	941	757	8463	6261	14673	624	3952	1554	758	6888	843	502	8233	6440	14281	481	3872	1523	767	6643	795	544	7982	6299	14006	533	3788	1529	769	6619	714	531	7864	6142	13006	433	3378	1384	708	5903	831	381	7115	5891
446130	5	empl.	74368	0	8880	8996	6213	24089	7053	4840	35982	38386	76074	0	8817	9085	6423	24325	6712	3782	34819	41255	74426	0	8651	9057	6799	24507	6626	3397	34530	39896	74617	0	8398	9054	6875	24327	6301	3318	33946	40671	72544	0	7619	8122	6061	21802	6074	2448	30324	42220
446130	5	ann. pay.	1600739	10652	194320	198374	143834	547180	153871	110709	811760	788979	1632553	26944	197462	207278	157319	589003	152821	103235	845059	787494	1696648	14117	202741	213055	170236	600149	168983	87052	856184	840464	1679079	14406	202434	215506	173041	605387	161504	90424	857315	821764	1723345	14211	187008	203968	159988	565175	154740	66597	786512	936833
446130	5	rec.																																									6868663	84573	872542	775925	557296	2290336	543605	198974	3032915	3835748
446191	5	firms	5334	878	2623	1086	443	5030	274	20	5324	10	5501	806	2760	1123	487	5176	298	19	5493	8	5581	731	2886	1095	525	5237	315	24	5576	5	5788	763	3063	1115	509	5450	302	29	5781	7	5621	689	3115	1007	494	5305	282	25	5612	9
446191	5	estab.	7939	882	2628	1106	547	5163	456	142	5761	2178	8384	811	2764	1148	580	5303	474	139	5916	2468	8655	732	2900	1114	615	5361	466	135	5962	2693	9027	763	3077	1149	589	5578	430	165	6173	2854	9687	689	3119	1062	599	5469	501	146	6116	3571
446191	5	empl.	40942	0	5762	7028	5889	18679	9161	2391	30231	10711	45149	0	6048	7309	6339	19696	10189	2775	32660	12489	48547	0	6414	7086	6841	20341	11380	3689	35410	13137	58868	0	6620	7224	6572	20416	10806	4408	35630	23238	50509	0	6789	6475	6484	19748	10138	3968	33854	16655
446191	5	ann. pay.	560205	19867	78844	90621	80754	270086	132179	38422	440687	119518	601617	17770	85174	99991	84601	287536	147817	39953	475306	126311	705357	15291	92084	99672	95935	302982	172893	55812	531687	173670	790585	19118	101573	102622	97725	321038	185131	84038	590207	200378	804542	16366	105738	97333	99108	318545	186592	70280	575417	229125
446191	5	rec.																																									5356050	164925	870663	631482	572702	2239772	1052474	609440	3901686	1454364
446199	5	firms	5982	758	2859	1236	614	5467	375	54	5896	86	5972	722	2900	1187	643	5452	370	59	5881	91	6061	755	2860	1226	653	5494	411	58	5963	98	6210	775	2970	1239	678	5662	391	60	6113	97	6203	682	3035	1269	652	5638	405	68	6111	92
446199	5	estab.	7995	775	2897	1394	894	5960	910	246	7116	879	7902	729	2939	1320	898	5886	840	391	7117	785	8021	759	2905	1363	869	5896	880	322	7098	923	8209	783	3011	1369	895	6058	868	370	7296	913	8474	683	3068	1413	1012	6176	1050	495	7721	753
446199	5	empl.	43977	0	6329	8016	7865	22210	11345	3291	36846	7131	46076	0	6338	7719	8178	22235	11444	4765	38444	7632	49435	0	6325	8014	8486	22825	12531	4235	39591	9844	49769	0	6611	8191	8790	23592	11900	4394	39886	9883	51414	0	6773	8326	8436	23535	12885	5327	41747	9667
446199	5	ann. pay.	1259224	24118	142259	202758	213091	582226	315554	109781	1007561	251663	1371142	38586	149270	194638	231624	614118	331552	165352	1111022	260120	1493760	26577	154864	207307	246367	635115	368263	135958	1139336	354424	1626859	26791	167032	224095	266518	684436	392377	155679	1232492	394367	1735381	22964	184427	257235	270413	735039	446036	196338	1377413	357968
446199	5	rec.																																									7750834	157731	1090019	1131109	1115584	3494443	1815241	751439	6061123	1689711
447110	5	firms	38342	3160	13167	9969	7084	33380	3938	831	38149	193	36865	2831	12803	9492	6870	31996	3851	822	36669	196	35866	2985	12455	9018	6629	31087	3742	846	35675	191	36255	3335	12863	8897	6458	31553	3672	827	36052	203	39598	4148	14484	9685	6645	34962	3665	764	39391	207
447110	5	estab.	82207	3190	13200	10107	7713	34210	9816	10762	54788	27419	81486	2926	12873	9695	7496	32990	9354	10640	52984	28502	80512	3043	12540	9252	7251	32086	8736	10966	51788	28724	81171	3364	12945	9141	7064	32514	8726	10883	52123	29048	84701	4189	14559	9827	7423	35998	9043	10843	55884	28817
447110	5	empl.	647007	0	32153	67199	90257	189609	117457	97724	404790	242217	645931	0	30936	63820	88024	182780	115453	96933	395166	250765	653279	0	30130	60293	85577	176000	114017	102211	392228	261051	655433	0	31034	59409	82919	173362	111340	98416	383118	272315	652765	0	36220	64428	85645	186293	111176	94062	391531	261234
447110	5	ann. pay.	7990907	86570	365603	751974	1038753	2242900	1408417	1232469	4883786	3107121	8446220	78488	380120	753865	1039669	2252142	1431805	1274793	4958740	3487480	8925782	79039	388115	734243	1037839	2239236	1428105	1376329	5043670	3882112	9018452	84048	422813	743132	1027608	2277601	1434271	1364229	5076101	3942351	9357008	110631	492510	835522	1085127	2523790	1439917	1342812	5306519	4050489
447110	5	rec.																																									169759197	2407020	12797665	16094396	16538434	47837515	21800665	22551298	92189478	77569719
447190	5	firms	33441	2406	15405	8415	4151	30377	2343	568	33288	153	32463	2569	14858	7922	4134	29483	2265	563	32311	152	31895	2724	14567	7832	3856	28979	2188	578	31745	150	30494	2625	14148	7313	3599	27685	2118	539	30342	152	25583	2031	11993	6003	3050	23077	1869	489	25435	148
447190	5	estab.	41730	2420	15420	8526	4508	30874	3645	2313	36832	4898	39609	2580	14903	8064	4466	30013	3450	2180	35643	3966	39136	2752	14628	7979	4124	29483	3249	2217	34949	4187	37721	2627	14196	7450	3880	28153	3158	2091	33402	4319	32399	2035	12036	6084	3322	23477	2924	1879	28280	4119
447190	5	empl.	299456	0	35997	54931	51264	142192	62136	30947	235275	64181	284103	0	34538	51511	51040	137089	60732	31381	229202	54901	283804	0	33992	51011	47809	132812	58571	33223	224606	59198	271851	0	32762	47572	44713	125047	57500	29957	212504	59347	243218	0	28886	39149	37749	105784	49850	24861	180495	62723
447190	5	ann. pay.	4340031	61328	533153	774023	743673	2112177	889547	434935	3436659	903372	4379138	74696	542447	768115	769840	2155098	904248	455758	3515104	864034	4395982	67087	537162	773734	729387	2107370	888475	489284	3485129	910853	4437205	69627	549439	756937	707509	2083512	893997	454478	3431987	1005218	4114476	62582	488719	665555	640158	1857014	783564	389053	3029631	1084845
447190	5	rec.																																									68323877	1067872	9031938	9992848	8190331	28282989	9886694	6855508	45025191	23298686
448110	5	firms	6218	379	3122	1518	670	5689	388	79	6156	62	5902	422	2956	1373	661	5412	356	74	5842	60	5706	422	2851	1325	625	5223	353	75	5651	55	5616	471	2765	1298	604	5138	357	68	5563	53	5465	478	2786	1205	560	5029	327	61	5417	48
448110	5	estab.	11863	391	3134	1564	813	5902	889	572	7363	4500	11445	431	2972	1422	831	5656	805	558	7019	4426	10670	423	2870	1379	785	5457	762	519	6738	3932	10732	471	2787	1337	713	5308	784	487	6579	4153	10416	478	2796	1235	637	5146	674	464	6284	4132
448110	5	empl.	87451	0	7052	9848	8258	25158	11123	7237	43518	43933	84890	0	6625	8880	8210	23715	10195	6453	40363	44527	84973	0	6441	8609	7783	22833	10465	6521	39819	45154	86192	0	6176	8375	7507	22058	10363	6685	39106	47086	83175	0	6351	7795	7078	21224	9230	5845	36299	46876
448110	5	ann. pay.	1434785	7378	116594	170124	163985	458081	221054	138265	817400	617385	1481019	10140	115338	164109	169789	459376	211567	137438	808381	672638	1594760	7088	115612	165269	174622	462591	227290	168420	858301	736459	1551278	10578	114680	159346	169087	453691	220892	164199	838782	712496	1580023	11535	117202	156623	159356	444716	202735	124744	772195	807828
448110	5	rec.																																									9957974	123435	885274	890607	828680	2727996	1072894	709732	4510622	5447352
448120	5	firms	16723	1502	9428	3494	1432	15856	623	128	16607	116	15977	1577	8833	3341	1390	15141	605	126	15872	105	15296	1617	8239	3232	1385	14473	599	123	15195	101	14750	1626	7883	3054	1357	13920	615	115	14650	100	13778	1727	7207	2844	1215	12993	578	111	13682	96
448120	5	estab.	37451	1516	9609	3582	1693	16400	1414	1478	19292	18159	36154	1591	8926	3394	1574	15485	1268	1811	18564	17590	35633	1617	8289	3327	1559	14792	1209	1326	17327	18306	35564	1629	7931	3130	1498	14188	1213	1073	16474	19090	34559	1735	7244	2891	1355	13225	1182	1153	15560	18999
448120	5	empl.	294306	0	20651	22483	18046	61180	18758	14223	94161	200145	283872	0	19326	21582	17598	58506	18293	15885	92684	191188	302491	0	18119	20817	17723	56659	18727	13478	88864	213627	304645	0	17421	19729	17296	54446	19547	13345	87338	217307	299652	0	16128	18176	15643	49947	18076	13680	81703	217949
448120	5	ann. pay.	3516459	25280	236390	270257	256025	787952	285825	191005	1264782	2251677	3734851	31896	237595	279788	259113	808392	306312	214311	1329015	2405836	3893314	30615	239375	279843	269732	819565	321966	211416	1352947	2540367	4044792	30956	239126	269900	269237	809219	329644	210200	1349063	2695729	4091544	34181	219652	261581	253445	768859	307288	197065	1273212	2818332
448120	5	rec.																																									31679581	338867	1962533	1730062	1442608	5474070	1769199	1407388	8650657	23028924
448130	5	firms	2857	378	1569	541	206	2694	114	31	2839	18	2796	414	1477	541	203	2635	114	26	2775	21	2832	421	1463	560	214	2658	131	23	2812	20	2922	441	1460	613	230	2744	138	22	2904	18	2993	448	1509	624	242	2823	131	22	2976	17
448130	5	estab.	5168	378	1574	556	231	2739	182	187	3108	2060	5333	414	1480	559	221	2674	177	176	3027	2306	5647	425	1469	574	240	2708	198	195	3101	2546	5724	441	1466	626	255	2788	197	184	3169	2555	6119	448	1512	631	262	2853	197	197	3247	2872
448130	5	empl.	47442	0	3425	3435	2619	9479	3406	2858	15743	31699	50686	0	3242	3471	2712	9425	3569	2579	15573	35113	58608	0	3229	3577	2751	9557	4258	2541	16356	42252	57076	0	3187	3897	2946	10030	4399	2954	17383	39693	62411	0	3371	4011	3100	10482	4411	2747	17640	44771
448130	5	ann. pay.	533654	5751	32025	34045	31444	103265	45829	35243	184337	349317	582653	6421	33920	36377	34580	111298	50467	35432	197197	385456	675358	6196	34977	39738	37450	118361	62828	34779	215968	459390	726189	6931	34941	42944	39791	124607	67150	44173	235930	490259	731544	6803	38975	44984	38897	129659	73031	43163	245853	485691
448130	5	rec.																																									6528762	61725	359754	312770	237486	971735	411270	261093	1644098	4884664
448140	5	firms	7911	832	3665	1634	926	7057	590	133	7780	131	7489	769	3523	1526	887	6705	550	117	7372	117	7332	794	3425	1506	848	6573	533	117	7223	109	7590	904	3558	1522	846	6830	529	120	7479	111	8025	1100	3792	1537	840	7269	516	121	7906	119
448140	5	estab.	20838	835	3680	1668	1047	7230	1077	732	9039	11799	20901	793	3548	1558	984	6883	997	635	8515	12386	20627	810	3453	1558	914	6735	951	607	8293	12334	21774	904	3580	1577	926	6987	873	579	8439	13335	22897	1102	3802	1559	921	7384	853	632	8869	14028
448140	5	empl.	393745	0	7863	10780	11733	30376	17729	12386	60491	333254	419754	0	7560	10011	11238	28809	16898	11743	57450	362304	453088	0	7487	9774	10746	28007	16319	12394	56720	396368	469949	0	7560	9920	10723	28203	16110	11531	55844	414105	473934	0	8252	9955	10709	28916	15090	11702	55708	418226
448140	5	ann. pay.	5195951	15510	95001	134440	161957	406908	274019	186440	867367	4328584	5654479	14775	97949	131938	161870	406532	275823	202762	885117	4769362	5918257	16564	99424	136811	162170	414969	278075	223009	916053	5002204	6452283	22614	106178	142716	168054	439562	265430	206146	911138	5541145	7046497	29590	119455	148344	164078	461467	272071	198525	932063	6114434
448140	5	rec.																																									61064919	263670	1048875	1060894	1026477	3399916	1631342	1553112	6584370	54480549
448150	5	firms	2325	355	1366	345	131	2197	86	22	2305	20	2323	371	1354	364	109	2198	84	21	2303	20	2404	399	1376	382	122	2279	87	20	2386	18	2559	413	1437	440	146	2436	84	21	2541	18	2955	603	1600	453	169	2825	93	19	2937	18
448150	5	estab.	5790	357	1374	373	158	2262	237	215	2714	3076	5529	375	1365	387	136	2263	217	250	2730	2799	5661	403	1390	397	145	2335	191	214	2740	2921	5860	417	1447	457	163	2484	189	216	2889	2971	6388	603	1607	462	198	2870	238	256	3364	3024
448150	5	empl.	29089	0	2770	2197	1592	6559	2203	2162	10924	18165	28628	0	2734	2286	1334	6354	2211	2385	10950	17678	28463	0	2848	2449	1494	6791	2240	1815	10846	17617	28860	0	2927	2771	1784	7482	2450	1845	11777	17083	30993	0	3321	2878	2058	8257	2734	1736	12727	18266
448150	5	ann. pay.	368638	9246	33201	29643	22951	95041	35254	41210	171505	197133	391493	5526	36911	31531	20469	94437	39859	46153	180449	211044	400245	7134	40972	35355	22997	106458	38012	40647	185117	215128	420105	6752	43406	41486	27935	119579	44501	37459	201539	218566	528736	9715	51132	43409	29798	134054	49240	39616	222910	305826
448150	5	rec.																																									3214324	94426	440350	278675	156906	970357	263640	274303	1508300	1706024
448190	5	firms	7733	1200	3931	1446	641	7218	386	74	7678	55	7654	1118	3964	1389	674	7145	382	74	7601	53	7811	1141	3934	1501	720	7296	397	74	7767	44	8130	1170	4128	1549	740	7587	430	71	8088	42	8662	1359	4273	1720	767	8119	432	67	8618	44
448190	5	estab.	11761	1201	3950	1516	749	7416	799	391	8606	3155	11677	1118	3988	1446	810	7362	735	391	8488	3189	11751	1151	3951	1557	863	7522	707	425	8654	3097	12057	1171	4152	1605	841	7769	817	409	8995	3062	12704	1363	4293	1765	861	8282	867	473	9622	3082
448190	5	empl.	76912	0	8369	9262	8012	25643	10370	4244	40257	36655	75994	0	8460	9008	8545	26013	10593	4313	40919	35075	87776	0	8470	9657	9087	27214	11398	5056	43668	44108	86530	0	8871	10114	9422	28407	12578	5179	46164	40366	95445	0	9599	11132	9766	30497	12586	5544	48627	46818
448190	5	ann. pay.	1068347	23530	104025	122526	117731	367812	159051	63874	590737	477610	1129504	32197	113024	125048	130690	400959	167861	70910	639730	489774	1235604	30624	117224	139996	142955	430799	194973	86177	711949	523655	1324328	25730	131188	146544	157723	461185	215125	106095	782405	541923	1419037	28760	139568	167275	165588	501191	211636	91766	804593	614444
448190	5	rec.																																									9719704	239008	1112170	977211	922048	3250437	1128730	519820	4898987	4820717
448210	5	firms	7289	476	3633	1747	815	6671	471	87	7229	60	7012	526	3470	1646	780	6422	456	72	6950	62	6845	527	3351	1608	771	6257	466	71	6794	51	6761	562	3249	1610	768	6189	459	63	6711	50	7074	678	3495	1645	710	6528	435	62	7025	49
448210	5	estab.	29603	478	3660	1851	1086	7075	1480	1318	9873	19730	30042	546	3507	1751	1029	6833	1385	1237	9455	20587	29664	531	3403	1718	1047	6699	1378	1080	9157	20507	28175	564	3298	1736	1034	6632	1224	915	8771	19404	27961	682	3512	1763	964	6921	1140	955	9016	18945
448210	5	empl.	195504	0	8363	11318	10279	29960	14677	10860	55497	140007	188875	0	8033	10682	9912	28627	14435	9950	53012	135863	185076	0	7759	10476	9644	27879	14908	9647	52434	132642	187624	0	7490	10456	9677	27623	14944	8829	51396	136228	201150	0	8370	10759	9107	28236	13838	8866	50940	150210
448210	5	ann. pay.	2472505	15260	120893	168006	165821	469980	244423	168380	882783	1589722	2608531	10703	121953	166425	162839	461920	256209	157799	875928	1732603	2611208	10893	126740	169896	170030	477559	275212	156865	909636	1701572	2698873	11909	124434	175797	166911	479051	293720	139482	912253	1786620	2732096	12988	132856	183446	170848	500138	270222	147566	917926	1814170
448210	5	rec.																																									22555189	118355	1097879	1180049	993292	3389575	1608500	1071456	6069531	16485658
448310	5	firms	19306	1754	11337	4106	1461	18658	527	83	19268	38	19403	1835	11363	4090	1474	18762	533	70	19365	38	19639	1978	11241	4223	1544	18986	550	65	19601	38	19925	2024	11478	4218	1573	19293	537	55	19885	40	19700	2138	11472	4009	1484	19103	503	58	19664	36
448310	5	estab.	28104	1768	11387	4243	1730	19128	1224	1107	21459	6645	28552	1848	11404	4240	1739	19231	1187	1051	21469	7083	29303	1991	11330	4354	1819	19494	1134	986	21614	7689	29780	2035	11530	4357	1825	19747	1132	852	21731	8049	28914	2141	11493	4099	1770	19503	1133	946	21582	7332
448310	5	empl.	144380	0	24874	26384	18372	69630	16395	10736	96761	47619	148849	0	24988	26330	18626	69944	17011	9944	96899	51950	156383	0	24592	27266	19371	71229	17716	8241	97186	59197	159314	0	24988	27257	19940	72185	17664	7564	97413	61901	150915	0	25345	25956	18779	70080	15699	7811	93590	57325
448310	5	ann. pay.	3030158	32181	433316	519687	426332	1411516	418893	261800	2092209	937949	3325994	36645	453371	549784	456670	1496470	470153	239499	2206122	1119872	3637708	42017	455634	588816	492968	1579435	515858	207923	2303216	1334492	3651427	41754	481384	589111	502969	1615218	510540	188531	2314289	1337138	3583339	42015	493438	599615	501439	1636507	487323	211761	2335591	1247748
448310	5	rec.																																									23829905	395721	3796145	3580118	2881123	10653107	2822966	1356534	14832607	8997298
448320	5	firms	841	97	420	141	91	749	62	18	829	12	848	105	425	145	86	761	60	15	836	12	853	92	419	167	82	760	65	18	843	10	855	98	418	163	84	763	62	20	845	10	885	117	447	153	80	797	60	17	874	11
448320	5	estab.	2082	97	422	148	119	786	218	320	1324	758	2041	105	429	155	112	801	207	299	1307	734	1990	96	423	177	99	795	209	386	1390	600	2002	98	421	172	100	791	209	360	1360	642	1937	117	449	163	96	825	213	342	1380	557
448320	5	empl.	11562	0	921	917	1133	2971	2396	2023	7390	4172	11891	0	916	941	1096	2953	2292	1768	7013	4878	11807	0	898	1085	1005	2988	2413	1977	7378	4429	12436	0	928	1077	1050	3055	2231	1978	7264	5172	11273	0	982	1010	1025	3017	1928	1858	6803	4470
448320	5	ann. pay.	191947	1321	15222	14501	19923	50967	39069	28453	118489	73458	225644	3086	15868	16519	22199	57672	39895	30381	127948	97696	233986	1796	15754	19350	19157	56057	45058	36057	137172	96814	248250	2029	15826	20188	22156	60199	40304	32929	133432	114818	227116	2569	17465	18277	20325	58636	38419	29066	126121	100995
448320	5	rec.																																									1846125	202232	142777	113597	112325	570931	211280	176381	958592	887533
451110	5	firms	19882	2663	10145	3926	1922	18656	1066	100	19822	60	19029	2212	9852	3849	1888	17801	1058	113	18972	57	18535	2247	9197	3864	1965	17273	1093	112	18478	57	18374	2214	9146	3775	1965	17100	1116	100	18316	58	18775	2614	9068	3853	1986	17521	1100	100	18721	54
451110	5	estab.	24146	2677	10169	4020	2232	19098	2072	518	21688	2458	23140	2225	9887	3945	2175	18232	1977	697	20906	2234	22611	2260	9232	3955	2255	17702	1928	725	20355	2256	22468	2231	9185	3920	2231	17567	1960	544	20071	2397	23018	2619	9092	3960	2297	17968	2073	507	20548	2470
451110	5	empl.	181428	0	21959	25508	24806	72273	34707	9230	116210	65218	181739	0	21382	25137	24428	70947	35021	10634	116602	65137	184964	0	20010	25130	25409	70549	36559	12506	119614	65350	189494	0	19921	24506	25669	70096	37566	11050	118712	70782	190543	0	20256	25171	26047	71474	35896	9977	117347	73196
451110	5	ann. pay.	2653013	50307	328969	360402	370467	1110145	562554	143778	1816477	836536	2752938	46931	336684	374882	387562	1146059	592498	180375	1918932	834006	2948289	49632	330518	389153	411977	1181280	654827	217815	2053922	894367	3062098	47824	340687	399959	418656	1207126	690080	197035	2094241	967857	3191861	58959	347411	421760	447054	1275184	693919	177044	2146147	1045714
451110	5	rec.																																									26169189	537500	3154769	2940113	2827675	9460057	4261568	1251259	14972884	11196305
451120	5	firms	6529	894	3421	1207	585	6107	339	56	6502	27	6338	803	3322	1166	605	5896	365	53	6314	24	6208	752	3186	1218	610	5766	370	50	6186	22	6076	737	3100	1191	628	5656	358	39	6053	23	6217	849	3075	1220	667	5811	339	43	6193	24
451120	5	estab.	10934	897	3425	1221	658	6201	567	457	7225	3709	10789	804	3328	1182	670	5984	620	449	7053	3736	10911	753	3193	1236	677	5859	617	381	6857	4054	10783	744	3105	1236	692	5777	573	217	6567	4216	11021	849	3081	1234	721	5885	550	265	6700	4321
451120	5	empl.	118603	0	7010	7782	7576	22368	9835	7477	39680	78923	124806	0	6961	7627	7861	22449	11235	7060	40744	84062	131456	0	6825	7978	7980	22783	11323	6761	40867	90589	137147	0	6491	7741	7998	22230	11022	5119	38371	98776	139748	0	6674	7959	8615	23248	10327	5134	38709	101039
451120	5	ann. pay.	1582076	20692	74709	82836	87843	266080	129920	91006	487006	1095070	1686001	17066	79694	84087	94798	275645	167301	91938	534884	1151117	1775316	16651	81261	90072	98416	286400	149062	109125	544587	1230729	1893986	11714	82102	90492	104952	289260	151339	82204	522803	1371183	1968363	14519	81251	95002	108167	298939	148756	85489	533184	1435179
451120	5	rec.																																									17129724	144842	750591	650446	671638	2217517	869222	528780	3615519	13514205
451130	5	firms	4040	374	2373	829	303	3879	130	16	4025	15	3926	349	2285	813	316	3763	135	17	3915	11	3783	364	2127	773	346	3610	144	17	3771	12	3710	313	2090	782	351	3536	147	16	3699	11	3922	384	2111	869	395	3759	139	15	3913	9
451130	5	estab.	6223	376	2381	846	351	3954	275	82	4311	1912	5888	351	2296	829	357	3833	275	85	4193	1695	5695	364	2138	788	390	3680	266	81	4027	1668	5543	313	2101	798	391	3603	253	73	3929	1614	5642	384	2120	877	439	3820	233	68	4121	1521
451130	5	empl.	47828	0	5005	5345	3872	14222	3971	1465	19658	28170	44797	0	4795	5277	4044	14116	4184	1799	20099	24698	38952	0	4541	5009	4374	13924	4420	1881	20225	18727	47960	0	4532	5095	4436	14063	4605	1813	20481	27479	40984	0	4638	5613	5047	15298	4472	1831	21601	19383
451130	5	ann. pay.	499594	5921	49608	55277	51137	161943	68816	17660	248419	251175	521205	9545	51784	57470	52518	171317	76217	22591	270125	251080	507166	4504	52700	53769	60881	171854	85462	26110	283426	223740	602251	7179	52237	58981	61456	179853	88144	24706	292703	309548	567035	5100	54668	66507	72479	198754	87634	29887	316275	250760
451130	5	rec.																																									4124080	37720	427483	414745	372882	1252830	399938	137448	1790216	2333864
451140	5	firms	3818	281	1897	877	478	3533	254	22	3809	9	3698	242	1817	877	472	3408	260	19	3687	11	3639	254	1745	876	452	3327	282	19	3628	11	3556	230	1703	860	451	3244	283	18	3545	11	3739	293	1871	829	450	3443	272	14	3729	10
451140	5	estab.	4512	281	1904	906	612	3703	538	162	4403	109	4429	242	1826	919	588	3575	520	121	4216	213	4391	254	1757	914	541	3466	538	146	4150	241	4358	234	1712	892	541	3379	539	152	4070	288	4598	297	1878	868	571	3614	562	107	4283	315
451140	5	empl.	30499	0	4275	5662	6347	16284	8718	2903	27905	2594	31761	0	4055	5714	6261	16030	8708	1914	26652	5109	33211	0	3968	5735	5952	15655	9379	2197	27231	5980	34142	0	3848	5604	5881	15333	9371	2224	26928	7214	33898	0	4307	5441	5840	15588	8947	1792	26327	7571
451140	5	ann. pay.	655975	6606	71390	97392	130696	306084	210390	70414	586888	69087	700118	6201	69339	104569	137164	317273	211710	52226	581209	118909	752726	5893	69741	108726	132852	317212	231059	64637	612908	139818	765910	6401	68229	104712	130859	310201	236643	59942	606786	159124	770183	8324	78421	106934	129068	322747	227852	52467	603066	167117
451140	5	rec.																																									5090353	77676	645783	675867	736041	2135367	1145769	212083	3493219	1597134
451211	5	firms	6585	669	3166	1429	721	5985	457	97	6539	46	6269	545	3062	1347	713	5667	451	105	6223	46	6042	574	2905	1311	672	5462	440	97	5999	43	5903	516	2882	1212	717	5327	447	85	5859	44	5790	597	2718	1209	713	5237	433	77	5747	43
451211	5	estab.	12153	669	3172	1463	824	6128	918	670	7716	4437	11957	549	3071	1379	811	5810	873	657	7340	4617	11662	576	2918	1347	773	5614	813	659	7086	4576	11559	516	2892	1251	802	5461	808	655	6924	4635	12178	597	2729	1240	787	5353	834	646	6833	5345
451211	5	empl.	127184	0	7135	9333	9285	25753	15645	11317	52715	74469	130396	0	6782	8802	9147	24731	15492	12267	52490	77906	141515	0	6448	8617	8749	23814	15236	11894	50944	90571	134432	0	6439	7973	9179	23591	15238	10489	49318	85114	138140	0	6294	7865	9233	23392	14514	9357	47263	90877
451211	5	ann. pay.	1566198	14561	77090	96207	116106	303964	219125	155811	678900	887298	1641653	8840	76836	98877	114584	299137	216971	172984	689092	952561	1743261	11837	75729	106634	114544	308744	216917	168884	694545	1048716	1838038	11802	78659	94645	128356	313462	221554	158907	693923	1144115	1888347	12063	75318	96532	122296	306209	218243	139382	663834	1224513
451211	5	rec.																																									15704149	129846	611314	606466	732388	2080014	1278587	972811	4331412	11372737
451212	5	firms	1970	191	1305	252	119	1867	76	20	1963	7	1876	163	1252	254	103	1772	82	15	1869	7	1807	151	1188	261	109	1709	74	17	1800	7	1762	141	1195	237	101	1674	69	13	1756	6	1763	169	1202	210	91	1672	73	11	1756	7
451212	5	estab.	2232	193	1307	269	155	1924	157	107	2188	44	2108	170	1258	272	126	1826	163	78	2067	41	2031	163	1193	271	138	1765	141	91	1997	34	2040	141	1198	261	128	1728	137	144	2009	31	2020	172	1204	225	114	1715	144	131	1990	30
451212	5	empl.	9965	0	2543	1581	1417	5541	2237	1322	9100	865	9194	0	2431	1605	1240	5276	2281	858	8415	779	10151	0	2324	1656	1332	5312	2108	923	8343	1808	9553	0	2389	1525	1257	5171	1884	967	8022	1531	8578	0	2387	1347	1099	4833	1951	865	7649	929
451212	5	ann. pay.	137326	8847	32397	19102	16448	76794	31236	17634	125664	11662	123753	2764	31522	20670	15755	70711	31019	11345	113075	10678	153221	2382	30012	20012	17584	69990	31735	13469	115194	38027	152228	3062	32771	19523	17343	72699	25479	16475	114653	37575	129295	3185	33023	18432	15616	70256	30410	15811	116477	12818
451212	5	rec.																																									919349	32094	321959	119871	85145	559069	177242	99916	836227	83122
451220	5	firms	3640	451	1973	690	286	3400	187	36	3623	17	3481	389	1894	667	288	3238	196	33	3467	14	3494	389	1866	697	307	3259	183	37	3479	15	3513	403	1891	679	306	3279	182	36	3497	16	3738	448	2010	743	316	3517	172	32	3721	17
451220	5	estab.	7956	451	1978	713	343	3485	430	419	4334	3622	7763	395	1903	700	321	3319	426	390	4135	3628	7720	393	1873	732	344	3342	385	402	4129	3591	7702	403	1907	702	346	3358	389	458	4205	3497	7456	448	2015	755	357	3575	373	275	4223	3233
451220	5	empl.	64353	0	4230	4434	3726	12390	6290	4458	23138	41215	67180	0	4071	4256	3644	11971	6690	4125	22786	44394	75988	0	4033	4491	3899	12423	6678	4731	23832	52156	69533	0	4045	4414	3918	12377	6755	4910	24042	45491	65835	0	4339	4823	4071	13233	6126	4307	23666	42169
451220	5	ann. pay.	801054	9927	54132	59990	55245	179294	98290	61412	338996	462058	821659	8709	55058	60535	55761	180063	103214	55127	338404	483255	884868	9712	54364	62400	61466	187942	115478	69627	373047	511821	907069	8272	57673	64682	60903	191530	127057	67783	386370	520699	811057	8827	59885	63791	60023	192526	97009	57852	347387	463670
451220	5	rec.																																									7550585	69588	449819	396884	334343	1250634	569995	452501	2273130	5277455
452110	5	firms	167	49	18	8	3	78	15	24	117	50	141	65	1	1	0	67	10	17	94	47	103	31	0	3	0	34	11	15	60	43	95	19	6	2	0	27	13	15	55	40	406	77	148	66	26	317	32	17	366	40
452110	5	estab.	10526	49	18	8	3	78	18	29	125	10401	10538	65	1	1	0	67	13	24	104	10434	10428	33	0	3	0	36	14	20	70	10358	10374	19	6	2	0	27	16	125	168	10206	10418	77	148	66	30	321	47	36	404	10014
452110	5	empl.	1783556	         [a]	37	48	         [b]	         [c]	         [f]	         [h]	4722	1778834	1730991	0	[a]	[a]	0	[a]	[f]	[h]	3771	1727220	1765852	0	0	23	0	23	658	2899	3580	1762272	1727333	0	         [a]	         [a]	0	29	691	3110	3830	1723503	1742136	0	314	437	337	1088	1343	2771	5202	1736934
452110	5	ann. pay.	23494257	         (D)	487	417	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	62723	23431534	25321148	5101	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	64043	25257105	27204111	945	0	514	0	1459	16667	49293	67419	27136692	28631374	547	         (D)	         (D)	0	1130	8645	89438	99213	28532161	29172508	2168	7687	5683	5030	20568	25387	63734	109689	29062819
452110	5	rec.																																									274073931	15129	72234	44020	29731	161114	198752	327190	687056	273386875
452910	5	firms	138	70	32	14	3	119	2	6	127	11	118	12	60	24	5	101	1	3	105	13	102	8	50	22	4	84	4	3	91	11	142	17	64	32	9	122	5	4	131	11	204	13	110	39	17	179	10	4	193	11
452910	5	estab.	1788	70	32	14	3	119	2	16	137	1651	1840	12	60	24	5	101	1	3	105	1735	1968	8	50	22	4	84	4	4	92	1876	2051	17	64	32	9	122	5	5	132	1919	2241	13	110	39	17	179	11	28	218	2023
452910	5	empl.	449645	         [a]	73	97	         [b]	         [c]	         [b]	         [g]	1364	448281	461992	0	[c]	[c]	67	[e]	[a]	[f]	1103	460889	477521	0	99	139	53	291	165	1128	1584	475937	495230	0	         [c]	         [c]	114	458	139	722	1319	493911	497947	0	240	254	239	733	376	720	1829	496118
452910	5	ann. pay.	7021711	         (D)	915	1018	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	17971	7003740	7915156	253	(D)	(D)	864	(D)	(D)	(D)	14827	7900329	8736584	203	795	1368	1127	3493	2010	18920	24423	8712161	9330882	178	         (D)	         (D)	1086	5589	1566	8557	15712	9315170	10094387	348	3318	3403	3472	10541	7616	10060	28217	10066170
452910	5	rec.																																									129762125	3376	44024	39420	20188	107008	70156	106304	283468	129478657
452990	5	firms	10374	1380	5171	1978	1036	9565	606	112	10283	91	10474	1250	5348	2020	1016	9634	645	112	10391	83	10533	1314	5327	1980	1048	9669	663	116	10448	85	10230	1156	5236	1970	1037	9399	633	109	10141	89	9114	1322	4406	1646	974	8348	568	115	9031	83
452990	5	estab.	24443	1381	5182	1995	1122	9680	999	589	11268	13175	25756	1287	5359	2037	1108	9791	998	553	11342	14414	27243	1329	5337	2005	1123	9794	983	635	11412	15831	28744	1158	5248	1990	1110	9506	955	724	11185	17559	28410	1324	4409	1664	1054	8451	899	654	10004	18406
452990	5	empl.	245960	0	11111	12788	13463	37362	19933	14166	71461	174499	251555	0	11603	13119	13336	38058	21936	14850	74844	176711	282734	0	11624	12885	13623	38132	22245	15950	76327	206407	303411	0	11287	12824	13475	37586	21573	16321	75480	227931	306011	0	9791	10699	12677	33167	19420	16046	68633	237378
452990	5	ann. pay.	3142383	22150	126229	141921	171859	462159	285268	210319	957746	2184637	3322893	20902	141808	157350	174438	494498	321174	220226	1035898	2286995	3828704	26285	148596	154214	178364	507459	329549	241125	1078133	2750571	4276206	26228	146739	156975	180733	510675	336052	245945	1092672	3183534	4441615	24329	126533	135004	171477	457343	306088	271281	1034712	3406903
452990	5	rec.																																									40768795	249416	1264861	1116565	1178721	3809563	2079037	2004653	7893253	32875542
453110	5	firms	24471	2269	13484	5715	2240	23708	706	42	24456	15	23658	2001	13053	5638	2214	22906	698	35	23639	19	23087	2161	12409	5450	2312	22332	701	38	23071	16	22724	2077	12058	5493	2352	21980	687	41	22708	16	22101	1966	11825	5317	2245	21353	682	49	22084	17
453110	5	estab.	25634	2270	13492	5802	2482	24046	1147	286	25479	155	24798	2004	13064	5716	2456	23240	1086	182	24508	290	24197	2175	12424	5523	2519	22641	1054	187	23882	315	23870	2095	12070	5573	2559	22297	1015	201	23513	357	23094	1967	11833	5375	2412	21587	1018	249	22854	240
453110	5	empl.	123263	0	30438	36836	28484	95758	21722	4082	121562	1701	121783	0	29233	36382	28324	93939	21606	3201	118746	3037	122224	0	28175	35365	29468	93008	21707	3590	118305	3919	125116	0	27321	35588	30379	93288	21539	4504	119331	5785	119117	0	27627	34573	28586	90786	21208	5431	117425	1692
453110	5	ann. pay.	1469027	31535	320694	393526	340904	1086659	295887	59695	1442241	26786	1537594	30262	322758	413784	361737	1128541	305483	48459	1482483	55111	1584096	32318	320586	415308	374573	1142785	314976	63458	1521219	62877	1643813	43369	317338	427109	393934	1181750	311132	75948	1568830	74983	1597080	31925	312614	420179	380186	1144904	317964	101495	1564363	32717
453110	5	rec.																																									7314208	199884	1945811	1818846	1431713	5396254	1105077	432935	6934266	379942
453210	5	firms	4688	439	2148	1068	595	4250	364	43	4657	31	4766	464	2195	1078	582	4319	375	44	4738	28	4721	414	2181	1078	599	4272	373	48	4693	28	4790	425	2236	1104	582	4347	366	50	4763	27	5327	542	2490	1215	628	4875	376	48	5299	28
453210	5	estab.	7730	439	2148	1090	667	4344	617	118	5079	2651	8415	464	2199	1101	652	4416	605	112	5133	3282	8617	417	2186	1095	664	4362	597	129	5088	3529	8787	429	2241	1118	652	4440	579	148	5167	3620	9267	543	2493	1231	730	4997	633	176	5806	3461
453210	5	empl.	110228	0	4789	7012	7569	19370	11175	2523	33068	77160	124063	0	4954	7113	7361	19428	11296	2684	33408	90655	134941	0	4898	7133	7593	19624	11371	3904	34899	100042	127922	0	5006	7351	7419	19776	11436	3711	34923	92999	125670	0	5695	7993	8049	21737	11594	3555	36886	88784
453210	5	ann. pay.	1990633	12253	71839	115753	142203	342048	243107	57913	643068	1347565	2415455	19911	81089	125177	137942	364119	260776	80153	705048	1710407	2702087	15885	82274	125320	151257	374736	270754	109073	754563	1947524	2685698	12662	90825	136766	148730	388983	288149	83105	760237	1925461	2799686	14297	99206	154821	177048	445372	300205	106676	852253	1947433
453210	5	rec.																																									25073489	132225	760519	991744	950286	2834774	1549560	718893	5103227	19970262
453220	5	firms	28370	3794	14749	5566	2541	26650	1414	197	28261	109	27205	3266	14116	5496	2647	25525	1380	194	27099	106	26293	3141	13410	5417	2637	24605	1382	207	26194	99	25550	2947	13264	5168	2474	23853	1384	212	25449	101	28180	4129	14279	5575	2537	26520	1347	211	28078	102
453220	5	estab.	36643	3799	14803	5712	2900	27214	3081	1097	31392	5251	35167	3274	14174	5620	3056	26124	2868	1231	30223	4944	34399	3157	13484	5531	3024	25196	2763	1200	29159	5240	33678	2954	13326	5310	2827	24417	2718	1160	28295	5383	36047	4138	14303	5683	2896	27020	2831	1340	31191	4856
453220	5	empl.	213984	0	31408	36161	32386	99955	42530	14579	157064	56920	214739	0	30326	35614	33637	99577	42939	15604	158120	56619	214613	0	28728	35075	33710	97513	43146	18385	159044	55569	210627	0	28443	33489	31330	93262	43161	17991	154414	56213	209064	0	30801	36226	32201	99228	41065	17254	157547	51517
453220	5	ann. pay.	2281711	53028	331258	361266	349114	1094666	495002	189486	1779154	502557	2426225	55138	346142	364782	375605	1141667	516821	213882	1872370	553855	2544108	51236	333887	372930	384892	1142945	531199	232024	1906168	637940	2541621	50487	342318	368655	360786	1122246	537162	267705	1927113	614508	2639647	74148	367694	400803	382095	1224740	530719	266626	2022085	617562
453220	5	rec.																																									17061866	626568	2902502	2428298	2100417	8057785	2899746	1708457	12665988	4395878
453310	5	firms	14705	1888	9038	2061	796	13783	569	273	14625	80	14379	1462	9066	2106	820	13454	568	266	14288	91	13703	1326	8558	2082	781	12747	591	272	13610	93	13565	1347	8373	2100	794	12614	570	287	13471	94	13967	1570	8481	2112	815	12978	619	284	13881	86
453310	5	estab.	18220	1889	9053	2103	905	13950	989	1477	16416	1804	18037	1466	9087	2156	913	13622	980	1480	16082	1955	17480	1332	8581	2119	876	12908	970	1525	15403	2077	17436	1348	8394	2147	888	12777	919	1636	15332	2104	17997	1570	8493	2151	918	13132	1096	1657	15885	2112
453310	5	empl.	105357	0	17811	13046	9950	40807	17029	22630	80466	24891	110496	0	18070	13430	10204	41704	17295	23429	82428	28068	113837	0	17144	13332	9759	40235	17949	24056	82240	31597	115719	0	16668	13328	9970	39966	17709	26028	83703	32016	117587	0	17394	13525	10174	41093	18593	26082	85768	31819
453310	5	ann. pay.	1387460	25192	209356	164658	146434	545640	239744	278211	1063595	323865	1524819	19983	230760	180185	156259	587187	256605	296861	1140653	384166	1625138	18637	226860	203491	151659	600647	277267	314661	1192575	432563	1698721	18634	230868	200639	163435	613576	271700	347445	1232721	466000	1789399	25359	233918	204305	160795	624377	295350	349363	1269090	520309
453310	5	rec.																																									7910526	227149	1872646	1216253	791893	4107941	1129432	1152177	6389550	1520976
453910	5	firms	6768	952	3251	1462	751	6416	312	26	6754	14	6370	673	3182	1414	752	6021	305	33	6359	11	6223	703	3030	1363	767	5863	316	33	6212	11	6009	597	2891	1396	748	5632	335	32	5999	10	5833	649	2671	1357	788	5465	335	23	5823	10
453910	5	estab.	8462	953	3265	1479	834	6531	604	287	7422	1040	8213	674	3187	1448	830	6139	576	274	6989	1224	8138	704	3042	1383	841	5970	584	268	6822	1316	7945	597	2899	1434	798	5728	581	265	6574	1371	7903	649	2675	1379	859	5562	643	243	6448	1455
453910	5	empl.	63650	0	7108	9582	9803	26493	10126	         [h]	         [k]	         [j]	66075	0	6935	9216	9701	25852	9896	4070	39818	26257	67967	0	6659	8911	9974	25544	10614	3940	40098	27869	72120	0	6358	9175	9785	25318	10724	3730	39772	32348	75782	0	6141	8949	10399	25489	10986	2610	39085	36697
453910	5	ann. pay.	801523	18825	83042	108360	113616	323843	126348	         (D)	         (D)	         (D)	880010	15644	88217	109602	123279	336742	130019	63988	530749	349261	947780	14855	90416	112968	128411	346650	145495	57323	549468	398312	1010849	13796	88718	118297	135536	356347	154949	54272	565568	445281	1127287	12240	82628	114143	142955	351966	156894	40676	549536	577751
453910	5	rec.																																									7883142	112881	717267	732081	800445	2362674	933287	303334	3599295	4283847
453920	5	firms	5614	924	3437	845	266	5472	112	24	5608	6	5583	762	3481	876	302	5421	128	24	5573	10	5636	806	3427	907	327	5467	137	22	5626	10	5837	795	3610	923	333	5661	145	21	5827	10	6294	974	3956	906	308	6144	119	21	6284	10
453920	5	estab.	5953	926	3447	875	328	5576	207	160	5943	10	5921	763	3492	910	357	5522	229	121	5872	49	5971	806	3442	941	376	5565	235	125	5925	46	6162	796	3626	953	387	5762	253	133	6148	14	6651	974	3966	953	371	6264	239	135	6638	13
453920	5	empl.	21509	0	7058	5369	3277	15704	2725	         [g]	         [j]	         [g]	24707	0	7172	5637	3700	16509	3138	1490	21137	3570	22284	0	7167	5811	3972	16950	3420	1694	22064	220	22988	0	7521	5856	4086	17463	3766	1625	22854	134	22853	0	8173	5724	3815	17712	3161	1673	22546	307
453920	5	ann. pay.	521298	19485	136468	113405	79903	349261	71755	         (D)	         (D)	         (D)	598372	19254	146865	122324	102901	391344	83755	50315	525414	72958	601996	17897	158359	143513	113833	433602	105440	58177	597219	4777	602422	20366	159700	134495	127276	441837	118739	39435	600011	2411	602791	22983	176587	137867	103744	441181	103233	50602	595016	7775
453920	5	rec.																																									4260451	186363	1548905	926092	619747	3281107	647602	280055	4208764	51687
453930	5	firms	4050	462	1429	984	720	3595	416	27	4038	12	3984	416	1437	952	744	3549	393	27	3969	15	3844	378	1446	935	679	3438	365	25	3828	16	3757	362	1611	867	622	3462	267	14	3743	14	3755	312	1707	914	549	3482	237	21	3740	15
453930	5	estab.	5724	464	1440	1019	889	3812	809	319	4940	784	5951	418	1449	990	905	3762	743	354	4859	1092	6156	385	1455	975	839	3654	643	367	4664	1492	5865	382	1632	913	762	3689	545	277	4511	1354	5611	312	1716	960	710	3698	588	104	4390	1221
453930	5	empl.	43234	0	3326	6540	9468	19334	13485	3330	36149	7085	46195	0	3300	6336	9913	19549	13120	3923	36592	9603	43101	0	3306	6249	8972	18527	11448	3142	33117	9984	35519	0	3651	5719	8151	17521	8257	1609	27387	8132	32738	0	3894	6011	7275	17180	7194	1376	25750	6988
453930	5	ann. pay.	1342157	22497	84991	173792	265335	546615	409179	94670	1050464	291693	1370487	18108	81556	166944	283850	550458	372519	95399	1018376	352111	1270613	13765	77227	153792	240183	484967	306908	72689	864564	406049	1043750	16212	91283	145570	228033	481098	239541	32077	752716	291034	925770	9086	89581	157291	205195	461153	198783	34595	694531	231239
453930	5	rec.																																									9604491	180810	1331028	1675959	1943421	5131218	1733432	317434	7182084	2422407
453991	5	firms	3408	536	1749	656	252	3193	158	40	3391	17	3535	611	1821	645	254	3331	147	40	3518	17	3891	697	1997	661	314	3669	158	47	3874	17	3777	575	2035	630	296	3536	175	48	3759	18	3674	523	2016	607	282	3428	180	47	3655	19
453991	5	estab.	4525	541	1761	687	336	3325	439	274	4038	487	4775	615	1833	675	332	3455	406	281	4142	633	5483	706	2006	692	395	3799	380	305	4484	999	5313	576	2045	657	359	3637	465	289	4391	922	5577	547	2026	659	454	3686	718	366	4770	807
453991	5	empl.	18506	0	3803	4235	3179	11217	4034	1788	17039	1467	19178	0	3920	4145	3234	11299	4157	1708	17164	2014	22357	0	4169	4244	4001	12414	4492	2231	19137	3220	23713	0	4306	4089	3760	12155	5134	2875	20164	3549	22638	0	4357	3902	3573	11832	5242	2697	19771	2867
453991	5	ann. pay.	269549	8402	52674	60539	44874	166489	58725	23124	248338	21211	293488	11065	54588	61181	47918	174752	63524	21046	259322	34166	352333	16246	62493	65086	60025	203850	72602	28693	305145	47188	357986	9122	66434	62005	61399	198960	82150	31281	312391	45595	362859	10904	65128	62201	55150	193383	84771	41488	319642	43217
453991	5	rec.																																									6129092	234157	1322852	939288	843250	3339547	1350509	646747	5336803	792289
453998	5	firms	17092	3015	8763	3056	1427	16261	686	95	17042	50	17335	2768	9120	3144	1456	16488	709	93	17290	45	18084	2855	9433	3301	1574	17163	776	92	18031	53	17799	2491	9457	3333	1581	16862	797	91	17750	49	15517	2183	7936	2990	1533	14642	736	93	15471	46
453998	5	estab.	19678	3022	8790	3177	1706	16695	1176	430	18301	1377	19969	2773	9146	3254	1706	16879	1186	486	18551	1418	20602	2859	9468	3412	1786	17525	1218	405	19148	1454	20255	2493	9489	3440	1793	17215	1234	410	18859	1396	17850	2192	7948	3119	1807	15066	1183	386	16635	1215
453998	5	empl.	96313	0	18437	19790	17975	56202	18950	6941	82093	14220	101588	0	19096	20306	18645	58047	20847	7745	86639	14949	108337	0	19958	21349	20335	61642	23205	7852	92699	15638	107870	0	19858	21455	20404	61717	24108	7625	93450	14420	97543	0	17309	19418	19556	56283	21351	7927	85561	11982
453998	5	ann. pay.	1795168	66515	308800	333080	337914	1046309	355566	122300	1524175	270993	1986706	67197	339323	363504	366030	1136054	418286	146258	1700598	286108	2199230	69188	363715	398999	401657	1233559	483846	156643	1874048	325182	2292965	56466	379591	409371	422131	1267559	535408	164967	1967934	325031	2267610	64587	338516	400074	436617	1239794	517139	193159	1950092	317518
453998	5	rec.																																									12669946	493497	2553761	2237422	2266339	7551019	2448955	1104996	11104970	1564976
454110	5	firms	8956	961	4331	1447	946	7685	816	238	8739	217	9646	1845	4121	1506	886	8358	809	249	9416	230	10628	1780	4545	1741	1075	9141	952	274	10367	261	9900	1280	4451	1631	1048	8410	943	260	9613	287	10800	1747	5083	1602	1007	9439	849	232	10520	280
454110	5	estab.	9792	961	4333	1455	968	7717	929	301	8947	845	10634	1852	4127	1517	900	8396	918	326	9640	994	11802	1784	4547	1749	1095	9175	1060	346	10581	1221	11086	1285	4455	1642	1075	8457	1042	325	9824	1262	11923	1747	5086	1627	1029	9489	955	337	10781	1142
454110	5	empl.	229954	0	8900	9473	12476	30849	29542	34594	94985	134969	255296	0	8583	9858	11737	30178	29449	35858	95485	159811	276698	0	9403	11446	14342	35191	35070	42672	112933	163765	280912	0	9306	10625	14001	33932	34580	37593	106105	174807	250003	0	10451	10426	13418	34295	30608	32997	97900	152103
454110	5	ann. pay.	7267653	44512	200271	234561	327357	806701	826889	1012985	2646575	4621078	8854120	194124	208232	267357	339592	1009305	977591	1063665	3050561	5803559	10433028	135445	271581	364576	500592	1272194	1224304	1566411	4062909	6370119	10421271	70418	241110	299448	439903	1050879	1199469	1266222	3516570	6904701	9526329	76162	277679	305946	446151	1105938	1153277	1050575	3309790	6216539
454110	5	rec.																																									114234620	815725	2423739	2307951	3370018	8917433	7849758	9873541	26640732	87593888
454210	5	firms	5791	696	3178	851	520	5245	420	90	5755	36	5651	645	3109	817	556	5127	397	92	5616	35	5555	641	3058	816	516	5031	406	85	5522	33	5397	566	3059	761	521	4907	376	85	5368	29	5278	582	3053	704	479	4818	353	80	5251	27
454210	5	estab.	6389	698	3178	854	531	5261	476	231	5968	421	6251	645	3109	819	569	5142	449	232	5823	428	6155	641	3058	818	530	5047	456	209	5712	443	6004	566	3059	764	529	4918	427	214	5559	445	5860	583	3054	704	487	4828	436	220	5484	376
454210	5	empl.	66330	0	6119	5599	6982	18700	15478	13587	47765	18565	66614	0	5936	5322	7490	18748	14694	13311	46753	19861	66657	0	5843	5329	6868	18040	14978	12815	45833	20824	64266	0	5944	5011	6986	17941	13266	13032	44239	20027	57940	0	5984	4669	6388	17041	13017	11217	41275	16665
454210	5	ann. pay.	1428097	18178	108740	108329	148777	384024	348636	311846	1044506	383591	1479907	14637	105413	103427	163507	386984	345945	302777	1035706	444201	1510238	12890	105211	109176	158785	386062	353444	295609	1035115	475123	1500955	10528	108888	105568	159093	384077	336598	313376	1034051	466904	1350338	13858	107329	101422	146047	368656	324221	291177	984054	366284
454210	5	rec.																																									6767287	109338	769706	582685	726826	2188555	1521420	1200322	4910297	1856990
454311	5	firms	4889	187	1886	1190	794	4057	671	131	4859	30	4730	175	1792	1164	777	3908	660	125	4693	37	4587	168	1752	1114	767	3801	621	129	4551	36	4457	178	1662	1101	744	3685	612	129	4426	31	4349	169	1641	1076	720	3606	595	115	4316	33
454311	5	estab.	5578	187	1886	1202	815	4090	859	310	5259	319	5422	175	1793	1177	802	3947	828	302	5077	345	5248	168	1754	1122	791	3835	790	300	4925	323	5110	179	1664	1112	775	3730	750	314	4794	316	4977	169	1643	1086	750	3648	756	241	4645	332
454311	5	empl.	55588	0	4547	7766	10035	22348	17130	7605	47083	8505	55196	0	4323	7592	9719	21634	17038	7406	46078	9118	53936	0	4191	7269	9710	21170	16896	6985	45051	8885	53761	0	3977	7100	9515	20592	16774	7507	44873	8888	51746	0	3903	7024	9135	20062	16025	5936	42023	9723
454311	5	ann. pay.	1618847	5273	104167	196255	286740	592435	517816	240845	1351096	267751	1665036	6360	100378	193278	290286	590302	527771	243387	1361460	303576	1722812	7076	100705	196731	299766	604278	543106	249494	1396878	325934	1818621	6542	103135	202947	310769	623393	572006	277360	1472759	345862	1782896	5797	95355	198442	300577	600171	565546	226525	1392242	390654
454311	5	rec.																																									15087983	86182	1114713	1741336	2378016	5320247	4790900	2277952	12389099	2698884
454312	5	firms	2931	146	928	803	558	2435	381	70	2886	45	2837	118	914	779	532	2343	381	69	2793	44	2720	127	871	737	508	2243	367	65	2675	45	2653	93	848	718	530	2189	359	61	2609	44	2467	84	772	650	496	2002	362	59	2423	44
454312	5	estab.	6630	146	931	833	645	2555	809	515	3879	2751	6497	118	930	801	609	2458	800	508	3766	2731	6274	135	875	769	577	2356	758	544	3658	2616	6210	100	850	733	632	2315	742	552	3609	2601	5956	87	772	669	610	2138	748	511	3397	2559
454312	5	empl.	49543	0	2260	5325	7174	14759	9943	         [h]	         [k]	         [j]	51023	0	2231	5227	6821	14279	10269	5061	29609	21414	51382	0	2203	4917	6606	13726	         [j]	5227	         [k]	         [j]	50593	0	2110	4755	6871	13736	         [j]	5413	         [k]	         [j]	48666	0	1939	4342	6308	12589	         [j]	         [h]	27404	21262
454312	5	ann. pay.	1297604	5235	45854	120794	188928	360811	268459	         (D)	         (D)	         (D)	1314693	3544	44426	122008	186281	356259	280465	138398	775122	539571	1394415	6244	45462	118623	178532	348861	         (D)	141673	         (D)	         (D)	1465679	5910	46522	123396	198807	374635	         (D)	159232	         (D)	         (D)	1466621	5632	42478	114807	188103	351020	         (D)	         (D)	799774	666847
454312	5	rec.																																									9803181	58075	400661	771249	1186967	2416952	         (D)	         (D)	5493636	4309545
454319	5	firms	304	50	199	36	12	297	5	1	303	1	283	44	176	44	11	275	5	0	280	3	297	50	186	43	10	289	5	0	294	3	278	42	173	42	15	272	3	0	275	3	380	48	221	69	31	369	6	2	377	3
454319	5	estab.	304	50	199	36	12	297	5	1	303	1	285	44	176	44	11	275	5	0	280	5	298	50	186	43	10	289	5	0	294	4	280	42	173	42	15	272	3	0	275	5	384	48	221	69	33	371	6	2	379	5
454319	5	empl.	913	0	369	219	141	729	178	         [a]	         [f]	         [a]	1015	0	312	265	152	729	220	0	949	66	1042	0	358	280	112	750	         [c]	0	         [f]	         [c]	997	0	332	265	189	786	         [c]	0	         [f]	         [b]	1760	0	445	438	398	1281	         [c]	         [c]	1647	113
454319	5	ann. pay.	17595	1249	5624	3520	1869	12262	5117	         (D)	         (D)	         (D)	19492	1012	5165	4457	3111	13745	3616	0	17361	2131	26039	1692	6434	4542	2377	15045	         (D)	0	         (D)	         (D)	27390	1051	5975	5483	5083	17592	         (D)	0	         (D)	         (D)	49379	806	14809	11029	9189	35833	         (D)	         (D)	44399	4980
454319	5	rec.																																									1072976	14682	435590	131919	190486	772677	         (D)	         (D)	946295	126681
454390	5	firms	12857	1822	7076	1884	1088	11870	790	115	12775	82	12705	2091	6774	1816	1053	11734	784	119	12637	68	13152	2314	6937	1898	1011	12160	803	115	13078	74	12477	1967	6736	1801	1002	11506	787	115	12408	69	13936	2657	7440	1862	1018	12977	764	125	13866	70
454390	5	estab.	14655	1825	7096	1906	1208	12035	998	233	13266	1389	14477	2098	6787	1844	1132	11861	960	233	13054	1423	14973	2337	6949	1922	1085	12293	1005	206	13504	1469	14232	1968	6749	1832	1078	11627	984	202	12813	1419	15635	2657	7447	1884	1078	13066	1005	261	14332	1303
454390	5	empl.	113103	0	13593	12270	14135	39998	25363	11729	77090	36013	110901	0	12871	11808	13681	38360	25506	11880	75746	35155	116816	0	13286	12247	13182	38715	26706	11295	76716	40100	115750	0	12782	11684	13170	37636	26332	14101	78069	37681	113758	0	14269	12249	13306	39824	25081	13962	78867	34891
454390	5	ann. pay.	2598163	41927	262225	255126	317685	876963	588273	308640	1773876	824287	2755774	68254	267668	273673	315285	924880	598457	358426	1881763	874011	2988580	76524	284606	280160	344543	985833	668852	332229	1986914	1001666	3082644	60770	282240	267889	346538	957437	684468	377363	2019268	1063376	3171154	69245	310047	294791	364284	1038367	679734	412399	2130500	1040654
454390	5	rec.																																									17948206	693991	2541207	1745517	1763948	6744663	3353746	2246080	12344489	5603717
481111	5	firms	518	117	141	44	28	330	80	57	467	51	499	90	150	37	40	317	73	56	446	53	500	87	149	51	30	317	78	53	448	52	460	54	152	44	37	287	68	54	409	51	450	52	162	42	30	286	66	47	399	51
481111	5	estab.	2827	118	141	44	30	333	173	360	866	1961	2698	90	150	37	44	321	156	353	830	1868	2740	91	149	52	33	325	168	352	845	1895	2825	54	152	44	45	295	172	363	830	1995	2739	68	162	43	41	314	165	364	843	1896
481111	5	empl.	490036	0	272	292	360	924	3590	10064	14578	475458	506076	0	304	250	532	1086	3270	10245	14601	491475	536156	0	273	340	406	1019	3511	10536	15066	521090	533467	0	297	290	492	1079	3146	10637	14862	518605	486666	0	307	281	402	990	2913	8306	12209	474457
481111	5	ann. pay.	19985463	5420	9950	9962	9013	34345	112602	331406	478353	19507110	21434388	4153	9951	8058	16842	39004	110326	365591	514921	20919467	23470711	5009	10578	10517	11743	37847	120470	394958	553275	22917436	25672091	3073	10041	9926	13512	36552	112351	381352	530255	25141836	24889786	10359	11597	10079	15611	47646	112467	294012	454125	24435661
481111	5	rec.																																									93724262	247376	95947	62857	122527	528707	652144	2124745	3305596	90418666
481112	5	firms	293	46	68	48	36	198	42	26	266	27	291	28	75	43	36	182	49	31	262	29	308	28	84	51	38	201	42	35	278	30	292	35	83	44	28	190	42	34	266	26	330	41	113	42	37	233	36	35	304	26
481112	5	estab.	550	46	68	49	39	202	60	60	322	228	539	28	75	44	38	185	74	79	338	201	584	28	84	57	45	214	54	89	357	227	506	35	84	49	31	199	52	90	341	165	558	41	114	42	45	242	50	107	399	159
481112	5	empl.	30720	0	141	323	477	941	1868	3662	6471	24249	33918	0	172	286	468	926	1782	3817	6525	27393	34746	0	184	337	529	1050	1532	3930	6512	28234	28636	0	178	283	388	849	1493	3304	5646	22990	26949	0	202	279	479	960	1480	3457	5897	21052
481112	5	ann. pay.	931895	1627	4369	11066	15682	32744	55383	140695	228822	703073	1071772	1254	6602	9599	14607	32062	53749	158567	244378	827394	1013801	1910	6457	11827	15176	35370	45299	152319	232988	780813	917637	1837	6454	10228	12831	31350	51089	131604	214043	703594	849330	2707	6872	10217	15430	35226	51260	155022	241508	607822
481112	5	rec.																																									4727221	39142	68569	41449	77922	227082	267210	833488	1327780	3399441
481211	5	firms	1242	135	571	180	127	1013	139	30	1182	60	1279	184	557	165	132	1038	153	30	1221	58	1346	204	573	179	146	1102	157	32	1291	55	1329	177	577	199	127	1080	159	33	1272	57	1344	181	589	187	107	1064	173	42	1279	65
481211	5	estab.	1346	135	571	181	135	1022	174	36	1232	114	1372	184	557	166	139	1046	189	37	1272	100	1445	204	574	180	152	1110	194	42	1346	99	1425	177	577	200	132	1086	196	43	1325	100	1466	181	590	187	113	1071	219	57	1347	119
481211	5	empl.	17836	         [a]	1118	         [g]	1652	3937	4634	2058	10629	7207	18663	0	1041	1083	1708	3832	5437	2506	11775	6888	20329	0	1143	1159	1965	4267	5680	2274	12221	8108	21115	0	1146	1296	1757	4199	5538	3817	13554	7561	22736	0	1179	1177	1399	3755	5921	3711	13387	9349
481211	5	ann. pay.	655564	         (D)	44173	         (D)	57055	144858	155188	78282	378328	277236	763293	11277	44731	40247	57565	153820	193846	87681	435347	327946	859057	14320	48403	41129	71104	174956	205382	99398	479736	379321	944512	11679	49886	49774	67617	178956	213462	166260	558678	385834	1155289	40613	58893	49823	57238	206567	247703	171020	625290	529999
481211	5	rec.																																									6871278	208620	370477	241551	293361	1114009	1265075	853823	3232907	3638371
481212	5	firms	159	20	44	23	20	107	33	11	151	8	172	31	48	20	16	115	33	14	162	10	190	43	52	22	21	138	27	13	178	12	275	56	90	42	22	210	37	18	265	10	305	57	113	39	30	239	41	13	293	12
481212	5	estab.	183	20	44	23	20	107	35	24	166	17	225	31	48	20	16	115	35	31	181	44	217	43	52	22	21	138	28	30	196	21	304	56	90	42	22	210	38	35	283	21	342	57	113	39	32	241	45	35	321	21
481212	5	empl.	16666	         [a]	89	         [c]	271	505	1256	1274	3035	13631	19236	0	98	137	215	450	1378	1752	3580	15656	19592	0	112	140	317	569	1215	1808	3592	16000	21481	0	184	269	307	760	1543	2913	5216	16265	7890	0	210	246	406	862	1682	1734	4278	3612
481212	5	ann. pay.	838729	         (D)	4060	         (D)	8730	20465	47599	44703	112767	725962	952642	941	3355	3847	6785	14928	51584	61468	127980	824662	1022543	2896	4393	3708	11020	22017	41530	61077	124624	897919	1061660	3617	6634	8986	9733	28970	47209	122722	198901	862759	394918	4668	8584	7821	15421	36494	60783	72136	169413	225505
481212	5	rec.																																									1633654	20672	52457	59737	84811	217677	269748	296308	783733	849921
481219	5	firms	416	60	202	70	32	364	24	19	407	9	424	81	190	64	40	375	28	14	417	7	420	81	196	48	40	365	36	12	413	7	371	54	176	54	43	327	27	11	365	6	390	66	184	41	52	343	27	12	382	8
481219	5	estab.	442	60	202	70	33	365	29	36	430	12	451	81	191	64	40	376	38	27	441	10	443	81	197	48	40	366	49	18	433	10	391	54	176	55	43	328	36	18	382	9	407	66	184	41	53	344	28	24	396	11
481219	5	empl.	4768	0	399	431	395	1225	661	1417	3303	1465	4945	0	373	417	534	1324	925	1344	3593	1352	4782	0	362	291	521	1174	1258	1354	3786	996	4287	0	324	343	578	1245	1043	1080	3368	919	4017	0	348	257	663	1268	859	824	2951	1066
481219	5	ann. pay.	179567	2304	12157	10712	11813	36986	22659	56459	116104	63463	192262	3067	11008	12608	15793	42476	35261	56176	133913	58349	203175	4347	12613	8849	18187	43996	46927	65092	156015	47160	184771	3628	11222	12225	20808	47883	42926	48313	139122	45649	181543	2026	11944	10466	27007	51443	37879	34963	124285	57258
481219	5	rec.																																									743236	17913	62114	41752	118050	239829	171084	130542	541455	201781
483111	5	firms	223	21	70	28	27	146	32	22	200	23	248	39	81	26	28	174	34	18	226	22	241	31	89	22	24	166	33	20	219	22	223	26	84	29	19	158	25	17	200	23	229	34	84	20	18	156	33	17	206	23
483111	5	estab.	513	21	70	29	28	148	38	120	306	207	535	39	81	27	29	176	48	99	323	212	485	31	89	23	25	168	39	94	301	184	456	26	84	30	20	160	31	43	234	222	471	34	85	20	25	164	44	56	264	207
483111	5	empl.	19754	0	142	185	390	717	1196	2739	4652	15102	14784	0	161	171	393	725	1298	2311	4334	10450	13014	0	183	145	329	657	1137	2611	4405	8609	11964	0	179	205	293	677	797	2191	3665	8299	12916	0	169	130	242	541	992	2084	3617	9299
483111	5	ann. pay.	960259	5177	7939	8579	23986	45681	55799	155499	256979	703280	714701	1359	8087	9405	22495	41346	71031	111584	223961	490740	650148	1030	6903	6219	19635	33787	61733	134979	230499	419649	697266	3516	8054	10437	13248	35255	48408	106257	189920	507346	784149	2576	7364	5828	14206	29974	98545	112689	241208	542941
483111	5	rec.																																									6431377	22928	78642	68066	275135	444771	777001	857693	2079465	4351912
483112	5	firms	67	9	20	8	6	43	10	3	56	11	79	17	24	10	2	53	10	6	69	10	86	21	25	8	9	63	8	4	75	11	90	23	28	7	8	66	11	3	80	10	94	18	36	10	7	71	9	5	85	9
483112	5	estab.	71	9	20	8	6	43	10	3	56	15	83	17	24	10	2	53	10	6	69	14	90	21	25	8	9	63	8	4	75	15	95	23	28	7	8	66	11	3	80	15	98	18	36	10	7	71	10	5	86	12
483112	5	empl.	10975	0	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	505	520	         [g]	         [i]	12491	0	39	71	[b]	[c]	399	1309	[g]	[j]	12929	0	         [b]	52	121	         [c]	422	947	         [g]	         [j]	13101	         [a]	62	49	98	         [c]	444	626	         [g]	         [j]	10858	         [a]	75	66	89	         [c]	259	693	         [g]	         [i]
483112	5	ann. pay.	376332	10098	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21372	15974	         (D)	         (D)	439587	3501	1550	3810	(D)	(D)	12776	63178	(D)	(D)	479157	4608	         (D)	3752	3209	         (D)	12801	45727	         (D)	         (D)	544082	         (D)	1930	1803	2044	         (D)	15502	28196	         (D)	         (D)	417515	         (D)	2336	2263	2361	         (D)	11649	28276	         (D)	         (D)
483112	5	rec.																																									6938467	         (D)	27206	9188	9327	         (D)	127029	280610	         (D)	         (D)
483113	5	firms	437	36	119	58	71	284	86	38	408	29	436	42	127	65	64	298	80	29	407	29	425	39	120	69	66	294	73	30	397	28	410	46	114	49	64	273	77	30	380	30	377	29	105	64	44	242	75	32	349	28
483113	5	estab.	559	36	119	58	72	285	98	84	467	92	554	42	127	65	68	302	87	73	462	92	546	39	120	70	66	295	83	71	449	97	544	53	114	49	65	281	85	71	437	107	520	29	105	64	44	242	92	89	423	97
483113	5	empl.	22035	0	276	393	936	1605	3513	5809	10927	11108	23256	0	262	443	860	1565	3361	5468	10394	12862	20240	0	254	460	872	1586	2993	5916	10495	9745	24126	0	240	337	869	1446	3139	6755	11340	12786	20149	0	227	425	605	1257	3148	5094	9499	10650
483113	5	ann. pay.	993491	5726	9967	11800	27579	55072	138069	251394	444535	548956	1095499	2533	9538	14669	27822	54562	140536	238961	434059	661440	1027497	7735	8445	15449	26744	58373	148636	294518	501527	525970	1188800	2785	8058	9483	34134	54460	153001	345166	552627	636173	1096771	1531	7824	15443	23291	48089	159868	283124	491081	605690
483113	5	rec.																																									4920729	7633	40652	59731	77129	185145	592717	1322309	2100171	2820558
483114	5	firms	120	19	42	20	14	95	15	8	118	2	128	31	37	20	17	105	16	6	127	1	125	24	31	27	15	97	19	8	124	1	124	21	41	21	16	99	17	7	123	1	124	24	40	22	11	97	18	8	123	1
483114	5	estab.	129	19	42	20	15	96	17	14	127	2	135	31	37	20	18	106	19	9	134	1	133	24	31	27	15	97	21	14	132	1	132	21	41	21	16	99	19	13	131	1	133	24	40	22	11	97	20	15	132	1
483114	5	empl.	1916	0	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	456	962	         [g]	         [b]	2001	0	69	129	[c]	[e]	639	933	[g]	[a]	1655	0	         [b]	172	194	         [e]	626	592	         [g]	         [a]	1526	         [a]	82	141	200	         [e]	603	496	         [g]	         [a]	1600	         [a]	86	144	139	         [e]	648	579	         [g]	         [a]
483114	5	ann. pay.	53222	802	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	13049	23415	         (D)	         (D)	62621	2872	3352	4219	(D)	(D)	18346	27449	(D)	(D)	57349	2094	         (D)	5654	6353	         (D)	19105	21603	         (D)	         (D)	60983	         (D)	4362	5569	6746	         (D)	19818	22972	         (D)	         (D)	61911	         (D)	4620	5159	4238	         (D)	22231	24767	         (D)	         (D)
483114	5	rec.																																									209474	         (D)	15701	15922	24225	         (D)	57220	92726	         (D)	         (D)
483211	5	firms	351	40	100	56	47	243	52	30	325	26	367	43	101	52	49	245	67	26	338	29	368	39	110	58	47	254	59	30	343	25	362	35	108	60	45	248	62	26	336	26	386	59	115	53	45	272	59	28	359	27
483211	5	estab.	387	40	100	56	47	243	55	37	335	52	396	43	101	52	49	245	69	33	347	49	402	39	110	58	47	254	60	38	352	50	395	35	108	60	45	248	63	34	345	50	419	59	115	53	45	272	60	36	368	51
483211	5	empl.	15050	         [a]	224	367	662	         [g]	1952	4110	         [i]	         [i]	15914	0	235	337	622	1194	2661	4417	8272	7642	16277	         [a]	219	404	667	         [g]	2522	4995	         [i]	         [i]	15994	         [a]	220	399	593	         [g]	2576	4569	         [i]	         [i]	15117	         [a]	241	369	604	         [g]	2337	4479	         [i]	         [i]
483211	5	ann. pay.	622492	         (D)	8086	11822	20803	         (D)	66104	166321	         (D)	         (D)	626391	2760	8256	11917	19930	42863	96724	175155	314742	311649	673920	         (D)	8623	15625	22061	         (D)	84312	213806	         (D)	         (D)	729295	         (D)	9620	17169	24158	         (D)	102137	211853	         (D)	         (D)	681179	         (D)	13311	16026	20367	         (D)	88101	197459	         (D)	         (D)
483211	5	rec.																																									3184065	         (D)	91450	102660	94887	         (D)	340849	826336	         (D)	         (D)
483212	5	firms	244	52	94	41	24	211	24	7	242	2	239	60	92	29	22	203	27	5	235	4	234	51	84	34	23	192	32	7	231	3	237	43	92	33	24	192	36	6	234	3	245	63	85	30	23	201	31	10	242	3
483212	5	estab.	252	52	94	41	24	211	27	12	250	2	247	60	92	29	22	203	27	8	238	9	244	51	84	34	23	192	32	17	241	3	249	43	92	33	24	192	36	18	246	3	261	63	85	30	23	201	35	22	258	3
483212	5	empl.	3024	         [a]	204	266	349	         [f]	947	1101	         [h]	         [c]	3398	0	194	183	305	682	974	550	2206	1192	3459	         [a]	178	218	335	         [f]	1131	833	         [h]	         [f]	3751	         [a]	193	210	340	         [f]	1331	910	         [h]	         [f]	3628	         [a]	179	192	315	         [f]	1099	1229	         [h]	         [f]
483212	5	ann. pay.	97955	         (D)	5978	5532	9051	         (D)	29901	42156	         (D)	         (D)	100711	2800	7087	5010	8480	23377	27580	19772	70729	29982	115102	         (D)	6307	5592	8067	         (D)	34852	33175	         (D)	         (D)	121635	         (D)	6547	6019	8502	         (D)	39162	33120	         (D)	         (D)	123177	         (D)	4868	6332	8138	         (D)	36159	41952	         (D)	         (D)
483212	5	rec.																																									404584	         (D)	18118	38175	19796	         (D)	81790	163615	         (D)	         (D)
484110	5	firms	16802	3548	7976	2244	1531	15299	1235	195	16729	73	17955	3488	8944	2417	1533	16382	1314	184	17880	75	19454	3840	9761	2574	1656	17831	1346	199	19376	78	19922	3544	10506	2604	1690	18344	1311	198	19853	69	20058	4222	9900	2523	1714	18359	1401	210	19970	88
484110	5	estab.	17532	3548	7980	2251	1550	15329	1396	385	17110	422	18737	3488	8946	2424	1557	16415	1475	416	18306	431	20329	3844	9764	2579	1683	17870	1477	365	19712	617	20726	3546	10509	2609	1711	18375	1424	427	20226	500	21172	4227	9903	2527	1743	18400	1656	506	20562	610
484110	5	empl.	136007	0	14976	14826	20623	50425	44871	21598	116894	19113	141575	0	16573	15897	20657	53127	47878	20622	121627	19948	153280	0	17974	16794	22352	57120	49416	23290	129826	23454	149788	0	19305	17060	22804	59169	48059	22209	129437	20351	156098	0	18374	16593	23053	58020	50814	24169	133003	23095
484110	5	ann. pay.	3866921	88552	330404	355791	536122	1310869	1270087	660970	3241926	624995	4087463	102050	370157	395089	551002	1418298	1394320	654269	3466887	620576	4529759	99482	402131	422384	602874	1526871	1484231	704533	3715635	814124	4434046	103461	435550	437989	614720	1591720	1439713	693963	3725396	708650	4903477	112142	423224	444662	658088	1638116	1613229	817454	4068799	834678
484110	5	rec.																																									17614449	641693	2220660	1951856	2639393	7453602	5399474	2409443	15262519	2351930
484121	5	firms	22897	4564	10439	2611	1954	19568	2501	563	22632	265	24185	4438	11683	2731	1985	20837	2503	570	23910	275	25439	4585	12576	2884	2026	22071	2509	580	25160	279	25148	4089	12978	2823	2010	21900	2406	574	24880	268	24481	3445	13338	2661	1958	21402	2271	544	24217	264
484121	5	estab.	25994	4566	10444	2628	1985	19623	2821	1027	23471	2523	27311	4448	11689	2748	2019	20904	2796	1026	24726	2585	28798	4585	12580	2893	2060	22118	2773	1043	25934	2864	29073	4092	12983	2830	2032	21937	2644	1080	25661	3412	28882	3446	13341	2673	1987	21447	2561	1070	25078	3804
484121	5	empl.	437964	0	18988	17233	26464	62685	99394	81686	243765	194199	472013	0	21119	18064	26906	66089	100550	84969	251608	220405	498570	0	22602	19025	27418	69045	100273	87780	257098	241472	499153	0	23114	18515	27238	68867	96116	88415	253398	245755	472484	0	24108	17569	26753	68430	91723	83720	243873	228611
484121	5	ann. pay.	13630082	118188	400748	410274	683940	1613150	2887978	2527522	7028650	6601432	14668998	186164	453724	441164	722123	1803175	3015831	2704997	7524003	7144995	16166594	137914	485706	467132	731285	1822037	3033604	2870164	7725805	8440789	16011499	129113	508874	462298	746310	1846595	2934260	2973304	7754159	8257340	15450337	147223	544547	465779	751497	1909046	2870001	2852782	7631829	7818508
484121	5	rec.																																									64733762	776248	3373262	2494214	3695429	10339153	12451540	10710354	33501047	31232715
484122	5	firms	2681	544	1010	292	225	2071	369	159	2599	82	2845	521	1200	303	227	2251	364	151	2766	79	3046	561	1355	324	218	2458	356	152	2966	80	2898	428	1368	314	232	2342	344	138	2824	74	3031	510	1454	344	199	2507	323	123	2953	78
484122	5	estab.	6369	544	1010	293	230	2077	480	548	3105	3264	6676	521	1200	303	232	2256	449	568	3273	3403	6747	562	1355	324	225	2466	421	495	3382	3365	6579	429	1368	315	250	2362	419	456	3237	3342	6692	532	1455	344	206	2537	374	435	3346	3346
484122	5	empl.	266272	0	1845	1927	3043	6815	15010	25722	47547	218725	284021	0	2178	1994	3146	7318	15216	24173	46707	237314	270890	0	2455	2143	3013	7611	14620	24648	46879	224011	266028	0	2391	2070	3161	7622	14225	23571	45418	220610	253454	0	2679	2281	2701	7661	12697	18837	39195	214259
484122	5	ann. pay.	9752747	13211	39716	49068	85563	187558	461738	831350	1480646	8272101	10586975	15028	46423	48258	87989	197698	491853	830720	1520271	9066704	10917624	14248	57354	60330	81653	213585	478729	857308	1549622	9368002	10778345	15156	55616	53530	83943	208245	461601	828092	1497938	9280407	10512913	18782	61790	58895	81098	220565	439486	691188	1351239	9161674
484122	5	rec.																																									26831409	86967	341829	256629	298310	983735	1447173	2201634	4632542	22198867
484210	5	firms	8260	860	3257	1402	1284	6803	1273	145	8221	39	8232	879	3225	1358	1298	6760	1274	158	8192	40	8226	908	3208	1381	1256	6753	1276	159	8188	38	7987	883	3118	1296	1223	6520	1262	166	7948	39	7768	850	3065	1286	1231	6432	1161	143	7736	32
484210	5	estab.	9278	860	3260	1409	1316	6845	1527	456	8828	450	9219	880	3230	1361	1331	6802	1515	462	8779	440	9147	917	3213	1395	1280	6805	1508	451	8764	383	8913	886	3125	1301	1253	6565	1489	456	8510	403	8781	851	3069	1295	1263	6478	1427	446	8351	430
484210	5	empl.	124055	0	6708	9377	17590	33675	47638	23107	104420	19635	126960	0	6616	9106	17822	33544	48065	24133	105742	21218	128905	0	6569	9222	17143	32934	47587	24985	105506	23399	128222	0	6537	8628	16577	31742	47277	26201	105220	23002	114558	0	6461	8581	16921	31963	42930	22176	97069	17489
484210	5	ann. pay.	3273377	30783	127175	178906	368855	705719	1209143	711886	2626748	646629	3453693	33337	134218	181498	386710	735763	1255053	731258	2722074	731619	3661367	36685	138498	189451	394198	758832	1323446	798641	2880919	780448	3657921	34938	146575	178648	381043	741204	1312720	820108	2874032	783889	3314099	34221	137648	181872	405503	759244	1226194	711912	2697350	616749
484210	5	rec.																																									13548866	157863	625783	587820	1194574	2566040	3693881	2588124	8848045	4700821
484220	5	firms	34020	5035	19408	5035	2592	32070	1651	193	33914	106	32715	4302	18701	5043	2694	30740	1693	169	32602	113	31771	4419	17601	4928	2749	29697	1792	171	31660	111	31420	4336	17640	4724	2674	29374	1763	176	31313	107	32519	5337	17931	4708	2541	30517	1718	166	32401	118
484220	5	estab.	34732	5036	19413	5052	2617	32118	1784	354	34256	476	33459	4303	18703	5051	2722	30779	1831	313	32923	536	32493	4420	17604	4935	2770	29729	1928	264	31921	572	32099	4339	17641	4729	2700	29409	1876	278	31563	536	33326	5337	17933	4716	2559	30545	1912	323	32780	546
484220	5	empl.	194961	0	37426	32549	34288	104263	56124	19132	179519	15442	197529	0	36076	32635	35913	104624	58853	16703	180180	17349	200437	0	34387	31962	36546	102895	62141	17761	182797	17640	196163	0	34041	30720	35538	100299	61109	18251	179659	16504	189612	0	34802	30525	33564	98891	58397	16083	173371	16241
484220	5	ann. pay.	5181558	129279	816113	741782	864256	2551430	1575378	566943	4693751	487807	5457150	112574	813187	774024	937654	2637439	1695312	501003	4833754	623396	5692418	117892	779859	768597	958947	2625295	1834844	566028	5026167	666251	5800444	115581	814102	783966	988291	2701940	1874070	599161	5175171	625273	5650453	161236	830819	799257	936483	2727795	1812015	531011	5070821	579632
484220	5	rec.																																									23396513	911726	4431246	3518858	3689370	12551200	6672297	1729426	20952923	2443590
484230	5	firms	12671	1458	6420	1907	1328	11113	1175	250	12538	133	11997	1178	6100	1902	1308	10488	1135	229	11852	145	11561	1264	5686	1789	1296	10035	1169	218	11422	139	11103	1135	5469	1728	1280	9612	1132	223	10967	136	11239	1300	5747	1622	1172	9841	1042	222	11105	134
484230	5	estab.	14089	1458	6423	1914	1346	11141	1369	615	13125	964	13347	1178	6101	1911	1321	10511	1316	577	12404	943	12902	1266	5692	1796	1305	10059	1323	574	11956	946	12424	1135	5473	1735	1297	9640	1282	536	11458	966	12455	1300	5750	1626	1196	9872	1213	537	11622	833
484230	5	empl.	167899	0	12554	12497	17841	42892	42901	30239	116032	51867	162080	0	11828	12435	17469	41732	41253	27498	110483	51597	163712	0	10971	11817	17387	40175	42924	26586	109685	54027	158511	0	10357	11429	17167	38953	41807	28007	108767	49744	147136	0	10938	10756	15748	37442	38360	26186	101988	45148
484230	5	ann. pay.	5313952	41919	271065	307474	472932	1093390	1287823	987069	3368282	1945670	5371889	36450	264818	313484	493279	1108031	1303876	956830	3368737	2003152	5483716	32995	248152	298113	488835	1068095	1388112	941418	3397625	2086091	5398694	32737	246704	293363	501516	1074320	1361835	1013423	3449578	1949116	5236111	54942	257497	288486	464055	1064980	1306159	951762	3322901	1913210
484230	5	rec.																																									20597009	300630	1604255	1406200	2153298	5464383	5108683	3446444	14019510	6577499
485111	5	firms	35	3	16	3	2	24	4	4	32	3	35	2	13	5	3	23	5	2	30	5	37	5	14	0	5	24	6	2	32	5	55	6	20	9	4	39	9	2	50	5	65	9	22	8	6	45	11	4	60	5
485111	5	estab.	45	3	16	3	2	24	4	11	39	6	163	2	13	5	3	23	6	3	32	131	152	5	14	0	5	24	7	3	34	118	164	6	20	9	4	39	16	3	58	106	151	9	22	8	6	45	18	7	70	81
485111	5	empl.	1154	         [a]	         [b]	         [b]	         [a]	         [b]	         [c]	         [f]	         [f]	         [e]	6108	[a]	[b]	[b]	[b]	[b]	[c]	[e]	[f]	[i]	6208	         [a]	         [b]	0	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [f]	         [i]	5523	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [e]	         [f]	         [h]	5216	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]
485111	5	ann. pay.	32435	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	144724	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	146894	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	137375	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	129305	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
485111	5	rec.																																									304362	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
485112	5	firms	17	4	1	3	3	11	2	1	14	3	12	1	0	3	3	7	1	1	9	3	14	0	1	5	2	8	2	2	12	2	14	0	1	4	3	8	2	2	12	2	15	2	2	1	2	7	5	0	12	3
485112	5	estab.	18	4	1	3	3	11	2	1	14	4	13	1	0	3	3	7	1	1	9	4	15	0	1	5	2	8	2	2	12	3	15	0	1	4	3	8	2	2	12	3	16	2	2	1	2	7	5	0	12	4
485112	5	empl.	         [h]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	197	         [h]	[h]	[a]	0	[b]	[b]	[b]	[b]	[b]	[c]	[h]	         [h]	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	         [h]	         [h]	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [h]	         [h]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	0	         [c]	         [h]
485112	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5507	         (D)	(D)	(D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)
485112	5	rec.																																									         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)
485113	5	firms	414	42	139	46	53	280	78	36	394	20	386	31	127	47	38	243	88	33	364	22	369	33	106	53	37	229	85	32	346	23	369	32	104	46	34	216	93	36	345	24	365	36	97	38	40	211	87	43	341	24
485113	5	estab.	526	42	139	46	53	280	81	46	407	119	520	31	127	47	38	243	93	48	384	136	505	33	106	53	37	229	89	39	357	148	496	32	104	46	34	216	95	48	359	137	542	36	97	39	40	212	97	66	375	167
485113	5	empl.	26448	         [a]	         [e]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]	5788	         [j]	         [j]	29317	[a]	[e]	[e]	551	[g]	3587	6288	[j]	[j]	31382	         [a]	         [c]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]	5529	         [j]	         [j]	31635	         [a]	         [c]	311	         [e]	         [g]	3801	6695	         [j]	         [j]	35578	         [a]	         [c]	256	         [f]	         [f]	3834	7551	         [j]	         [j]
485113	5	ann. pay.	740480	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	167158	         (D)	         (D)	853736	(D)	(D)	(D)	8269	(D)	66094	182543	(D)	(D)	925144	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	163828	         (D)	         (D)	952639	         (D)	         (D)	5962	         (D)	         (D)	76204	190550	         (D)	         (D)	1074448	         (D)	         (D)	4458	         (D)	         (D)	81413	224551	         (D)	         (D)
485113	5	rec.																																									1730398	         (D)	         (D)	12204	         (D)	         (D)	170659	367365	         (D)	         (D)
485119	5	firms	26	6	9	4	2	21	3	2	26	0	27	5	9	5	2	21	5	1	27	0	33	2	14	6	2	24	5	2	31	2	40	10	11	7	1	29	8	1	38	2	42	11	9	11	1	32	7	2	41	1
485119	5	estab.	26	6	9	4	2	21	3	2	26	0	27	5	9	5	2	21	5	1	27	0	33	2	14	6	2	24	5	2	31	2	40	10	11	7	1	29	8	1	38	2	42	11	9	11	1	32	7	2	41	1
485119	5	empl.	         [f]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [e]	         [f]	0	[f]	[a]	[b]	[b]	[b]	[b]	[c]	[e]	[f]	0	         [g]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	1171	         [b]	         [f]	         [a]	         [b]	         [b]	         [a]	         [b]	274	         [e]	779	         [b]	         [f]	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	         [c]	267	         [f]	         [f]	         [b]
485119	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	36035	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	8174	         (D)	26771	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	6478	         (D)	         (D)	         (D)
485119	5	rec.																																									         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	29087	         (D)	         (D)	         (D)
485210	5	firms	229	24	70	37	19	150	40	31	221	8	236	32	73	28	25	158	42	26	226	10	250	38	77	36	26	177	39	25	241	9	242	31	69	39	27	166	42	25	233	9	323	44	102	51	34	231	53	29	313	10
485210	5	estab.	415	24	70	37	19	150	55	67	272	143	440	32	73	28	29	162	56	50	268	172	444	38	77	36	26	177	53	51	281	163	460	31	69	39	27	166	53	49	268	192	579	44	102	51	34	231	66	61	358	221
485210	5	empl.	23374	0	151	248	247	646	1480	3218	5344	18030	21800	[a]	[c]	182	310	644	1782	2384	4810	16990	26805	0	179	261	366	806	1753	2161	4720	22085	24672	0	149	253	357	759	1945	2740	5444	19228	20705	0	215	335	450	1000	2396	3130	6526	14179
485210	5	ann. pay.	650834	935	1771	3026	3219	8951	28961	76219	114131	536703	654375	(D)	(D)	2309	3833	15191	33180	66398	114769	539606	709684	4331	3920	3677	5363	17291	33291	64646	115228	594456	810974	1391	3321	4003	6320	15035	38776	76311	130122	680852	730794	8832	5096	4665	6541	25134	47182	85512	157828	572966
485210	5	rec.																																									1712361	32443	22191	20011	39493	114138	120772	235657	470567	1241794
485310	5	firms	3160	371	1763	449	294	2877	246	29	3152	8	3069	367	1676	424	310	2777	255	29	3061	8	3085	377	1683	437	293	2790	256	32	3078	7	3049	363	1650	436	311	2760	255	27	3042	7	3084	383	1688	425	311	2807	249	21	3077	7
485310	5	estab.	3194	371	1763	452	298	2884	253	38	3175	19	3102	367	1676	426	315	2784	261	37	3082	20	3116	377	1683	439	297	2796	262	40	3098	18	3086	363	1650	437	316	2766	261	33	3060	26	3164	383	1688	425	315	2811	264	63	3138	26
485310	5	empl.	27586	0	3036	3001	4034	10071	9155	4525	23751	3835	28601	0	2849	2795	4231	9875	9472	4621	23968	4633	30355	0	2934	2914	4024	9872	9685	5289	24846	5509	30281	0	2859	2860	4214	9933	9113	5037	24083	6198	29114	0	2994	2776	4189	9959	9277	3798	23034	6080
485310	5	ann. pay.	412601	7730	33976	35232	52183	129121	138273	75612	343006	69595	459288	13439	34496	34905	53714	136554	147714	88636	372904	86384	485190	12586	36450	40812	55038	144886	152434	103527	400847	84343	488704	12452	37169	38187	59352	147160	146387	92333	385880	102824	492776	11849	41226	38134	61123	152332	156825	84010	393167	99609
485310	5	rec.																																									1661854	76000	236288	151530	190967	654785	474817	221869	1351471	310383
485320	5	firms	3395	527	1608	525	347	3007	344	33	3384	11	3462	583	1572	524	368	3047	364	37	3448	14	3650	629	1650	544	400	3223	374	39	3636	14	3717	588	1712	572	392	3264	399	43	3706	11	3947	660	1875	571	420	3526	372	38	3936	11
485320	5	estab.	3437	527	1608	526	348	3009	356	40	3405	32	3503	583	1573	524	370	3050	373	41	3464	39	3690	629	1650	545	402	3226	381	42	3649	41	3756	588	1712	573	395	3268	403	46	3717	39	3982	660	1875	571	420	3526	379	42	3947	35
485320	5	empl.	32898	0	3022	3501	4717	11240	12714	4627	28581	4317	34774	0	2977	3519	5042	11538	13770	4688	29996	4778	37463	0	3081	3583	5382	12046	14047	5812	31905	5558	39165	0	3213	3795	5280	12288	15211	5958	33457	5708	36461	0	3642	3784	5652	13078	13957	4738	31773	4688
485320	5	ann. pay.	605564	10329	44014	47230	66958	168531	223731	102993	495255	110309	671942	14614	49252	48457	73803	186126	246443	113734	546303	125639	759124	15026	51840	53400	88808	209074	262173	146374	617621	141503	768953	15004	54017	52118	80741	201880	271990	151673	625543	143410	776459	18107	62194	57629	91067	228997	280111	128203	637311	139148
485320	5	rec.																																									2712435	107814	387713	292382	327869	1115778	858078	381627	2355483	356952
485410	5	firms	3346	182	1177	493	466	2318	788	201	3307	39	3263	175	1127	481	474	2257	760	205	3222	41	3165	169	1060	464	471	2164	758	211	3133	32	3129	161	1043	483	453	2140	742	215	3097	32	3180	208	1088	479	431	2206	721	220	3147	33
485410	5	estab.	4400	182	1177	493	472	2324	851	322	3497	903	4341	176	1127	481	481	2265	814	322	3401	940	4217	169	1060	465	473	2167	815	321	3303	914	4287	161	1043	484	460	2148	787	326	3261	1026	4352	208	1088	479	434	2209	759	351	3319	1033
485410	5	empl.	152621	0	2399	3295	6431	12125	33428	34356	79909	72712	161890	0	2293	3155	6615	12063	32590	34436	79089	82801	162877	0	2147	3073	6622	11842	32308	37974	82124	80753	168940	0	2139	3203	6258	11600	31398	37660	80658	88282	171599	0	2200	3141	6025	11366	30381	39800	81547	90052
485410	5	ann. pay.	1950914	10363	20352	30138	63876	124729	397741	484715	1007185	943729	2178747	8998	22130	29206	71509	131843	417784	501039	1050666	1128081	2322642	5122	20793	29852	76672	132439	431001	563653	1127093	1195549	2471790	7494	22535	33279	71256	134564	425981	595036	1155581	1316209	2612166	10291	25031	32427	68747	136496	430178	653863	1220537	1391629
485410	5	rec.																																									5922742	34121	93936	106398	188133	422588	985995	1361821	2770404	3152338
485510	5	firms	1382	125	397	231	227	980	335	52	1367	15	1341	128	381	204	216	929	344	53	1326	15	1312	129	382	186	208	905	344	50	1299	13	1257	115	343	186	219	863	331	50	1244	13	1336	140	386	186	232	944	327	50	1321	15
485510	5	estab.	1532	126	397	231	229	983	370	94	1447	85	1480	129	382	204	219	934	372	92	1398	82	1451	129	384	186	210	909	372	93	1374	77	1395	117	344	187	221	869	358	88	1315	80	1473	140	387	186	232	945	359	86	1390	83
485510	5	empl.	32328	0	826	1552	3105	5483	13022	6908	25413	6915	33589	0	789	1364	2963	5116	13457	7722	26295	7294	34057	0	814	1265	2882	4961	14021	7662	26644	7413	33406	0	718	1257	3001	4976	13570	7408	25954	7452	32162	0	803	1260	3230	5293	13282	6405	24980	7182
485510	5	ann. pay.	594388	4849	12077	22151	46058	85135	223604	135612	444351	150037	651402	4458	12549	19502	44811	81320	248967	146239	476526	174876	668710	3788	13931	18764	44302	80785	262711	155123	498619	170091	659518	3443	12344	19148	46080	81015	258347	146074	485436	174082	666966	16149	14390	20858	53310	104707	267568	136105	508380	158586
485510	5	rec.																																									2025376	58542	79064	106421	218914	462941	784265	374375	1621581	403795
485991	5	firms	1776	213	581	349	273	1416	279	63	1758	18	1703	182	520	339	272	1313	294	73	1680	23	1747	210	540	300	288	1338	303	76	1717	30	1714	207	540	291	257	1295	305	81	1681	33	1688	176	533	279	284	1272	306	78	1656	32
485991	5	estab.	1914	213	581	349	274	1417	310	93	1820	94	1860	183	520	339	273	1315	324	117	1756	104	1914	211	540	300	288	1339	332	125	1796	118	1887	207	540	291	258	1296	334	125	1755	132	1886	176	533	283	285	1277	335	120	1732	154
485991	5	empl.	32023	0	1275	2365	3708	7348	10856	7534	25738	6285	33351	0	1106	2267	3725	7098	11247	8933	27278	6073	34779	0	1149	1983	3889	7021	11418	8758	27197	7582	35862	0	1145	2001	3512	6658	11872	8937	27467	8395	34990	0	1139	1863	3895	6897	11381	8933	27211	7779
485991	5	ann. pay.	536223	8861	20766	33938	55858	119423	178929	120209	418561	117662	585812	10657	19140	31859	59882	121538	186715	148744	456997	128815	648907	16453	18257	30568	60528	125806	203975	166818	496599	152308	697419	7255	22282	30197	61725	121459	208693	184734	514886	182533	703952	13405	22013	31311	66569	133298	220289	182675	536262	167690
485991	5	rec.																																									1734098	39003	80174	96497	170810	386484	548255	379851	1314590	419508
485999	5	firms	816	136	317	109	90	652	125	28	805	11	774	121	301	111	79	612	123	28	763	11	812	130	290	121	105	646	127	29	802	10	848	126	310	126	106	668	138	30	836	12	831	105	330	125	103	663	131	22	816	15
485999	5	estab.	851	137	317	109	91	654	131	30	815	36	805	121	301	111	79	612	131	30	773	32	846	130	290	121	105	646	132	34	812	34	880	126	310	126	106	668	145	31	844	36	886	105	330	125	103	663	134	49	846	40
485999	5	empl.	16433	0	611	721	1198	2530	5428	4250	12208	4225	15893	0	594	733	1055	2382	5047	4290	11719	4174	17390	0	573	805	1393	2771	5162	4305	12238	5152	17019	0	647	855	1429	2931	5827	4034	12792	4227	16100	0	661	824	1400	2885	5443	2868	11196	4904
485999	5	ann. pay.	285685	3516	9049	9499	16145	38209	83193	75777	197179	88506	301647	3641	10710	9211	14376	37938	88196	83622	209756	91891	324645	4535	10603	12419	19704	47261	91066	76799	215126	109519	315827	6595	11467	14536	20440	53038	92726	72017	217781	98046	314231	4956	13893	12790	22555	54194	98721	60751	213666	100565
485999	5	rec.																																									812018	16140	62728	45989	62589	187446	236969	154667	579082	232936
486110	5	firms	54	5	4	1	2	12	5	2	19	35	49	4	7	0	1	12	3	5	20	29	48	5	5	1	1	12	4	3	19	29	48	6	7	2	1	16	4	4	24	24	52	2	12	4	3	21	3	2	26	26
486110	5	estab.	358	5	4	1	4	14	8	12	34	324	327	4	7	0	1	12	6	16	34	293	307	5	5	1	1	12	7	4	23	284	229	6	7	2	1	16	12	14	42	187	261	2	12	4	3	21	7	6	34	227
486110	5	empl.	7333	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	651	6682	7137	0	12	0	[a]	[b]	116	[f]	1097	6040	6709	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	162	         [e]	579	6130	5995	         [a]	13	         [a]	         [a]	         [b]	156	         [f]	716	5279	6030	         [a]	22	         [b]	41	84	         [b]	         [c]	291	5739
486110	5	ann. pay.	442039	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35025	407014	453446	18	407	0	(D)	(D)	4345	(D)	42344	411102	425645	131	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5573	         (D)	20961	404684	430919	         (D)	1028	         (D)	         (D)	         (D)	10607	         (D)	35750	395169	472339	         (D)	1453	         (D)	983	3665	         (D)	         (D)	15255	457084
486110	5	rec.																																									3783097	         (D)	82606	         (D)	3542	         (D)	         (D)	         (D)	171938	3611159
486210	5	firms	141	11	43	12	13	79	11	8	98	43	139	7	41	17	9	74	10	7	91	48	140	10	42	13	10	75	12	8	95	45	153	15	45	16	12	88	9	13	110	43	154	15	39	15	12	81	13	12	106	48
486210	5	estab.	1561	11	43	12	13	79	24	13	116	1445	1683	7	41	17	9	74	23	7	104	1579	1938	10	42	13	10	75	27	11	113	1825	2017	15	45	16	12	88	19	20	127	1890	1936	15	39	15	12	81	27	61	169	1767
486210	5	empl.	35092	         [a]	92	         [b]	171	         [e]	379	         [e]	1019	34073	34511	0	79	102	125	306	285	428	1019	33492	39214	0	91	77	134	302	415	382	1099	38115	38189	0	92	105	159	356	282	899	1537	36652	37450	0	87	92	168	347	353	1234	1934	35516
486210	5	ann. pay.	1993819	         (D)	3552	         (D)	9500	         (D)	26366	         (D)	59767	1934052	2205385	5865	3395	4877	6638	20775	18057	19881	58713	2146672	2961066	4523	4334	5270	8567	22694	25450	19048	67192	2893874	2981259	1462	4993	6162	11008	23625	16907	46732	87264	2893995	2994108	10804	5195	4843	9666	30508	29800	76510	136818	2857290
486210	5	rec.																																									35896535	166885	33658	110424	724389	1035356	844907	686050	2566313	33330222
486910	5	firms	47	4	8	1	2	15	2	4	21	26	53	3	7	2	3	15	4	3	22	31	51	5	6	2	3	16	3	3	22	29	52	3	9	3	2	17	5	3	25	27	60	3	11	4	4	22	5	3	30	30
486910	5	estab.	490	4	8	1	5	18	16	34	68	422	482	3	7	2	6	18	20	27	65	417	497	5	6	2	3	16	16	30	62	435	482	3	9	3	2	17	18	30	65	417	429	3	11	4	4	22	20	11	53	376
486910	5	empl.	5935	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	596	735	5200	5940	[a]	15	[a]	[b]	[b]	[c]	[e]	705	5235	6276	0	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	97	         [e]	595	5681	6004	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [e]	604	5400	5871	         [a]	         [b]	         [b]	53	         [c]	201	         [c]	472	5399
486910	5	ann. pay.	347012	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31121	37581	309431	339036	(D)	171	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	35873	303163	393122	210	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	4573	         (D)	32447	360675	416575	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	24966	391609	383845	         (D)	         (D)	         (D)	2908	         (D)	9834	         (D)	28601	355244
486910	5	rec.																																									4535869	         (D)	         (D)	         (D)	11245	         (D)	63724	         (D)	271904	4263965
486990	5	firms	15	0	2	1	0	3	2	0	5	10	14	2	0	2	0	4	2	0	6	8	15	0	2	1	0	3	3	0	6	9	16	0	1	2	1	4	2	0	6	10	25	2	1	1	4	8	1	1	10	15
486990	5	estab.	86	0	2	1	0	3	7	0	10	76	58	2	0	2	0	4	7	0	11	47	60	0	2	1	0	3	8	0	11	49	57	0	1	2	1	4	6	0	10	47	75	2	1	1	4	8	5	1	14	61
486990	5	empl.	1046	0	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	0	88	958	561	[a]	0	[a]	0	[a]	[b]	0	98	463	761	0	         [a]	         [a]	0	14	104	0	118	643	735	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	0	105	630	1011	         [a]	         [a]	         [a]	45	         [b]	         [b]	         [a]	114	897
486990	5	ann. pay.	64972	0	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	0	4366	60606	34822	(D)	0	(D)	0	(D)	(D)	0	5586	29236	48750	0	         (D)	         (D)	0	517	5440	0	5957	42793	51553	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	0	5348	46205	65179	         (D)	         (D)	         (D)	2032	         (D)	         (D)	         (D)	6855	58324
486990	5	rec.																																									837788	         (D)	         (D)	         (D)	6517	         (D)	         (D)	         (D)	38881	798907
487110	5	firms	431	102	148	50	44	344	56	18	418	13	420	73	163	51	49	336	55	15	406	14	414	77	173	42	41	333	52	16	401	13	484	99	189	53	61	402	55	14	471	13	500	118	193	49	58	418	60	12	490	10
487110	5	estab.	472	102	148	50	44	344	60	25	429	43	458	73	163	51	49	336	61	19	416	42	454	77	173	42	43	335	57	22	414	40	521	99	189	53	64	405	60	18	483	38	538	118	194	49	62	423	66	18	507	31
487110	5	empl.	9033	         [a]	305	336	637	         [g]	2014	2412	         [i]	         [h]	8704	[a]	300	331	683	[g]	2000	2093	[i]	[h]	8658	         [a]	349	274	575	         [g]	1916	2410	         [i]	         [h]	8605	         [a]	365	327	865	         [g]	1966	1899	         [i]	         [h]	7162	         [a]	378	320	782	         [g]	2158	1504	         [i]	         [g]
487110	5	ann. pay.	187007	         (D)	5341	5782	11291	         (D)	34639	50623	         (D)	         (D)	188320	(D)	5369	6427	11759	(D)	36425	48715	(D)	(D)	192844	         (D)	6114	5887	8232	         (D)	35625	52999	         (D)	         (D)	188107	         (D)	8643	6289	15584	         (D)	35400	36443	         (D)	         (D)	164355	         (D)	8060	6613	12874	         (D)	40830	34572	         (D)	         (D)
487110	5	rec.																																									516114	         (D)	38994	24583	45263	         (D)	137637	103023	         (D)	         (D)
487210	5	firms	1688	509	725	206	127	1567	92	18	1677	11	1619	436	737	197	126	1496	94	20	1610	9	1612	432	715	183	142	1472	111	18	1601	11	1670	449	759	191	137	1536	104	20	1660	10	1756	584	768	164	116	1632	97	19	1748	8
487210	5	estab.	1718	509	725	208	129	1571	96	25	1692	26	1649	436	737	199	128	1500	100	28	1628	21	1642	432	715	185	143	1475	118	24	1617	25	1699	449	759	193	137	1538	111	26	1675	24	1784	584	768	164	117	1633	106	24	1763	21
487210	5	empl.	12296	0	1264	1338	1660	4262	3214	2622	10098	2198	12262	0	1368	1300	1641	4309	3446	2534	10289	1973	12964	0	1338	1192	1880	4410	3986	1958	10354	2610	12921	0	1407	1223	1816	4446	3778	2556	10780	2141	10478	0	1431	1088	1505	4024	3431	1760	9215	1263
487210	5	ann. pay.	273728	14876	32059	28157	37746	112838	63388	50927	227153	46575	295530	15028	35164	31044	30149	111385	75230	59494	246109	49421	331164	19979	38113	27460	36487	122039	91131	50658	263828	67336	313306	13223	38829	28742	37716	118510	85492	52248	256250	57056	281631	21692	39120	27918	38457	127187	87969	41781	256937	24694
487210	5	rec.																																									987696	105118	165570	93133	123355	487176	292320	122782	902278	85418
487990	5	firms	159	26	62	23	22	133	20	4	157	2	155	25	67	19	18	129	19	6	154	1	152	24	63	20	20	127	20	4	151	1	154	33	65	16	19	133	15	5	153	1	177	45	70	20	16	151	20	4	175	2
487990	5	estab.	163	26	63	23	22	134	21	6	161	2	160	25	67	20	19	131	20	8	159	1	158	24	65	20	21	130	21	6	157	1	160	33	67	16	20	136	16	7	159	1	181	45	71	20	16	152	21	6	179	2
487990	5	empl.	1747	         [a]	         [c]	         [c]	302	         [f]	750	377	         [g]	         [b]	1911	[a]	146	132	255	[f]	835	538	[g]	[a]	1990	         [a]	130	133	269	         [f]	863	593	         [g]	         [a]	1888	         [a]	132	109	269	         [f]	686	690	         [g]	         [a]	1693	         [a]	134	131	210	         [e]	730	481	         [g]	         [a]
487990	5	ann. pay.	51256	         (D)	         (D)	         (D)	7577	         (D)	21542	13471	         (D)	         (D)	56852	(D)	3534	3865	7069	(D)	23361	17402	(D)	(D)	59456	         (D)	3466	4289	7134	         (D)	24035	19528	         (D)	         (D)	55393	         (D)	4097	2796	8301	         (D)	19007	20032	         (D)	         (D)	51495	         (D)	4034	3709	5657	         (D)	23319	12967	         (D)	         (D)
487990	5	rec.																																									258450	         (D)	22870	17382	24130	         (D)	114789	70523	         (D)	         (D)
488111	5	firms	16	3	4	1	1	9	1	4	14	2	14	2	4	0	2	8	1	4	13	1	14	3	4	0	1	8	2	3	13	1	25	7	9	1	2	19	2	2	23	2	30	6	10	3	3	22	4	2	28	2
488111	5	estab.	127	3	4	1	1	9	1	109	119	8	135	2	4	0	2	8	1	119	128	7	137	3	4	0	1	8	2	120	130	7	151	7	9	1	2	19	2	77	98	53	156	6	10	3	3	22	5	76	103	53
488111	5	empl.	665	         [a]	8	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	617	         [f]	         [b]	672	[a]	8	0	[b]	[b]	[a]	588	[f]	[b]	755	0	         [a]	0	         [a]	28	         [b]	         [f]	         [f]	         [b]	796	0	         [b]	         [a]	         [b]	60	         [b]	         [e]	         [f]	         [e]	1039	0	25	19	35	79	210	         [e]	         [f]	         [e]
488111	5	ann. pay.	24800	         (D)	210	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	22885	         (D)	         (D)	27346	(D)	305	0	(D)	(D)	(D)	23626	(D)	(D)	29898	138	         (D)	0	         (D)	804	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	35862	444	         (D)	         (D)	         (D)	1874	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	45881	85	1293	477	440	2295	8634	         (D)	         (D)	         (D)
488111	5	rec.																																									73348	554	4188	757	790	6289	11611	         (D)	         (D)	         (D)
488119	5	firms	1249	121	467	199	183	970	196	43	1209	40	1216	114	449	205	169	937	199	39	1175	41	1217	115	445	208	159	927	206	40	1173	44	1175	103	436	201	155	895	195	44	1134	41	1198	106	432	203	157	898	203	55	1156	42
488119	5	estab.	1699	121	467	201	189	978	216	68	1262	437	1699	114	450	205	174	943	223	49	1215	484	1697	115	445	210	161	931	226	49	1206	491	1660	103	436	203	156	898	220	58	1176	484	1786	106	433	203	160	902	238	168	1308	478
488119	5	empl.	59603	         [a]	976	         [g]	         [g]	         [h]	         [i]	5331	         [j]	         [k]	62272	[a]	913	1351	[g]	[h]	[i]	4874	[j]	[k]	67177	0	         [f]	1383	         [g]	4425	         [i]	         [i]	         [j]	         [k]	65080	0	         [f]	         [g]	         [g]	4317	         [i]	         [i]	         [j]	         [k]	66533	0	902	1319	2087	4308	7202	         [i]	         [j]	         [k]
488119	5	ann. pay.	1191067	         (D)	16622	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	123454	         (D)	         (D)	1403739	(D)	18023	27239	(D)	(D)	(D)	126557	(D)	(D)	1539568	8807	         (D)	33228	         (D)	109830	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1479479	9369	         (D)	         (D)	         (D)	117466	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1716819	71992	19195	29595	50025	170807	209069	         (D)	         (D)	         (D)
488119	5	rec.																																									5528711	461348	105444	131082	212650	910524	849378	         (D)	         (D)	         (D)
488190	5	firms	2184	247	996	383	244	1870	209	57	2136	48	2148	207	935	437	239	1818	220	61	2099	49	2174	236	913	430	251	1830	231	66	2127	47	2259	244	923	484	242	1893	253	64	2210	49	2403	292	1052	486	251	2081	222	45	2348	55
488190	5	estab.	2526	247	996	383	254	1880	226	89	2195	331	2471	207	935	437	249	1828	236	90	2154	317	2534	236	913	431	260	1840	245	102	2187	347	2606	244	923	484	247	1898	270	94	2262	344	2984	292	1052	486	255	2085	244	88	2417	567
488190	5	empl.	54453	0	2212	2526	3300	8038	7644	8460	24142	30311	55894	0	2061	2891	3203	8155	7991	8671	24817	31077	58769	0	2043	2865	3345	8253	8375	8879	25507	33262	61709	0	2007	3167	3174	8348	9126	9867	27341	34368	58777	0	2252	3201	3384	8837	8099	6596	23532	35245
488190	5	ann. pay.	1860616	33061	53320	65106	91352	242839	236432	244575	723846	1136770	2023066	13023	59112	76617	100918	249670	254508	299945	804123	1218943	2064563	20582	52459	77509	101947	252497	257502	272405	782404	1282159	2198082	30136	53652	82859	99709	266356	301801	279586	847743	1350339	2136713	20991	66723	92700	116491	296905	285806	214974	797685	1339028
488190	5	rec.																																									7145451	73659	304435	352675	389583	1120352	920752	672500	2713604	4431847
488210	5	firms	472	53	120	81	72	326	71	35	432	40	476	35	134	82	69	320	82	33	435	41	451	37	120	77	66	300	76	38	414	37	454	41	120	86	55	302	78	35	415	39	489	59	149	82	55	345	73	31	449	40
488210	5	estab.	821	53	122	83	81	339	95	104	538	283	837	35	138	83	77	333	107	94	534	303	821	37	120	78	74	309	98	98	505	316	831	41	121	88	59	309	100	89	498	333	924	59	150	84	59	352	104	89	545	379
488210	5	empl.	18704	0	257	552	977	1786	2513	4876	9175	9529	20972	0	273	574	892	1739	3400	4899	10038	10934	21427	0	258	488	879	1625	2877	5262	9764	11663	22954	0	273	571	802	1646	3010	5477	10133	12821	20667	0	317	553	761	1631	2589	4108	8328	12339
488210	5	ann. pay.	572485	7294	6431	15887	26635	56247	65580	154029	275856	296629	672460	1244	6954	17230	22778	48206	84001	152766	284973	387487	714434	1377	6983	13873	24896	47129	76391	163090	286610	427824	738994	1694	7785	15068	21510	46057	82153	170691	298901	440093	733877	11174	10948	18561	23841	64524	83710	141836	290070	443807
488210	5	rec.																																									2324028	37907	74164	76010	98036	286117	256912	341860	884889	1439139
488310	5	firms	145	11	36	13	17	77	27	16	120	25	148	8	32	21	17	78	26	16	120	28	145	13	27	18	18	76	27	16	119	26	157	15	37	19	23	94	23	14	131	26	169	18	41	21	20	100	27	16	143	26
488310	5	estab.	196	11	36	13	20	80	31	22	133	63	199	8	33	21	20	82	29	21	132	67	196	13	27	18	19	77	30	22	129	67	201	15	37	19	24	95	26	20	141	60	212	18	41	21	22	102	32	22	156	56
488310	5	empl.	7471	0	67	93	247	407	887	1506	2800	4671	7427	0	65	146	230	441	843	1207	2491	4936	7445	0	56	118	243	417	882	1715	3014	4431	7304	0	82	136	340	558	855	1097	2510	4794	6304	0	76	143	270	489	718	1205	2412	3892
488310	5	ann. pay.	277692	800	1950	3570	9506	15826	32157	57342	105325	172367	264651	189	1531	5580	9212	16512	29417	46260	92189	172462	265766	366	1423	5229	9111	16129	27065	56376	99570	166196	254864	1648	2555	5578	11800	21581	26344	48634	96559	158305	245979	2249	1962	6273	9652	20136	24473	52113	96722	149257
488310	5	rec.																																									1082342	10158	9178	23750	71536	114622	102661	331359	548642	533700
488320	5	firms	400	41	93	38	59	231	77	46	354	46	383	27	97	32	51	207	79	49	335	48	371	23	85	39	52	199	76	50	325	46	385	37	95	30	55	217	69	54	340	45	380	40	90	42	50	222	66	49	337	43
488320	5	estab.	619	41	96	38	64	239	106	91	436	183	601	27	100	33	52	212	95	101	408	193	607	23	88	40	52	203	97	92	392	215	612	37	98	30	57	222	85	113	420	192	595	40	90	42	55	227	89	88	404	191
488320	5	empl.	44967	0	216	240	849	1305	3201	6952	11458	33509	43785	0	225	218	660	1103	2823	7182	11108	32677	53496	0	182	259	715	1156	2804	6914	10874	42622	50273	0	221	205	775	1201	2596	8711	12508	37765	50428	0	200	287	711	1198	2620	6450	10268	40160
488320	5	ann. pay.	2029910	10788	7212	6285	27276	51561	114350	258947	424858	1605052	2016081	17267	7901	6597	22821	54586	93030	243894	391510	1624571	2194692	1252	6515	8475	25626	41868	106962	255348	404178	1790514	2249516	3793	10705	8762	27224	50484	93761	316750	460995	1788521	2425187	20444	15700	12835	26300	75279	93672	278464	447415	1977772
488320	5	rec.																																									5647484	54288	44911	71648	105197	276044	381472	872072	1529588	4117896
488330	5	firms	826	150	356	99	85	690	91	25	806	20	815	119	362	106	89	676	95	19	790	25	784	96	360	105	84	645	96	21	762	22	756	90	339	101	81	611	104	17	732	24	753	113	332	90	83	618	93	20	731	22
488330	5	estab.	906	150	356	101	90	697	107	38	842	64	891	119	362	108	94	683	111	30	824	67	863	96	360	107	89	652	113	28	793	70	830	90	339	103	87	619	120	23	762	68	828	113	332	90	91	626	108	27	761	67
488330	5	empl.	11535	0	579	687	1109	2375	3577	2894	8846	2689	11393	0	593	729	1206	2528	3885	2006	8419	2974	11775	0	582	715	1117	2414	3578	2544	8536	3239	11957	0	552	706	1077	2335	3945	2117	8397	3560	11224	0	514	615	1112	2241	3463	2434	8138	3086
488330	5	ann. pay.	429598	15449	40981	21404	37694	115528	125950	82209	323687	105911	430114	10243	41929	22772	41270	116214	137674	63897	317785	112329	478748	13489	41590	25178	37990	118247	135085	88548	341880	136868	507806	7917	41092	25164	37734	111907	152563	85943	350413	157393	509953	13883	40438	25781	40715	120817	150301	96441	367559	142394
488330	5	rec.																																									1818193	52962	109763	87111	183794	433630	584291	302437	1320358	497835
488390	5	firms	817	135	423	115	50	723	62	20	805	12	755	98	413	93	65	669	62	13	744	11	732	106	382	94	62	644	61	15	720	12	726	100	389	101	43	633	68	17	718	8	693	98	351	104	46	599	67	15	681	12
488390	5	estab.	963	135	425	120	67	747	90	61	898	65	902	99	415	97	75	686	100	51	837	65	877	106	391	100	71	668	82	60	810	67	853	100	392	106	59	657	81	58	796	57	818	98	353	107	58	616	84	54	754	64
488390	5	empl.	8480	0	793	775	671	2239	1984	1776	5999	2481	8838	0	784	611	917	2312	2288	1388	5988	2850	8915	0	714	615	867	2196	2203	1586	5985	2930	9168	0	725	660	597	1982	2567	2112	6661	2507	9249	0	662	676	599	1937	2547	2218	6702	2547
488390	5	ann. pay.	286379	6061	24343	23575	24873	78852	67378	72052	218282	68097	284484	8241	23432	18544	29109	79326	73437	68926	221689	62795	311540	4369	22776	20211	28928	76284	69813	77370	223467	88073	337802	4073	25997	22534	23647	76251	89774	88987	255012	82790	395886	3058	22654	28600	20652	74964	101233	115366	291563	104323
488390	5	rec.																																									1044091	12707	69756	83687	57130	223280	269197	284333	776810	267281
488410	5	firms	5851	695	2696	1292	793	5476	357	14	5847	4	5948	634	2778	1320	847	5579	346	16	5941	7	5902	608	2752	1282	848	5490	385	18	5893	9	6105	673	2780	1343	864	5660	421	14	6095	10	6632	850	3082	1384	864	6180	429	14	6623	9
488410	5	estab.	6045	695	2758	1295	833	5581	386	22	5989	56	6145	635	2781	1323	876	5615	372	41	6028	117	6078	608	2755	1287	872	5522	414	47	5983	95	6294	673	2783	1347	893	5696	444	51	6191	103	6813	850	3085	1388	893	6216	470	52	6738	75
488410	5	empl.	37271	0	5801	8414	10320	24535	10139	         [f]	         [k]	         [g]	39934	0	5902	8660	11127	25689	9493	1522	36704	3230	41753	0	5991	8442	11070	25503	10930	1682	38115	3638	43742	0	6015	8847	11359	26221	11986	1321	39528	4214	43344	0	6674	9120	11468	27262	12091	1130	40483	2861
488410	5	ann. pay.	809073	27033	122798	156240	212083	518154	228491	         (D)	         (D)	         (D)	878687	19977	107702	164518	235358	527555	232296	37047	796898	81789	961739	14402	111078	169911	245949	541340	274544	42417	858301	103438	1030781	20679	115325	179977	253016	568997	309266	32555	910818	119963	1064803	26336	131241	192551	266338	616466	310977	37696	965139	99664
488410	5	rec.																																									3162921	111819	551820	608294	743284	2015217	794288	95855	2905360	257561
488490	5	firms	577	121	219	78	52	470	66	21	557	20	661	154	236	91	54	535	82	21	638	23	769	171	288	120	54	633	84	30	747	22	810	156	320	122	77	675	79	32	786	24	1120	199	473	168	116	956	103	33	1092	28
488490	5	estab.	705	121	219	79	53	472	73	35	580	125	798	155	236	92	54	537	87	39	663	135	932	171	289	121	54	635	89	52	776	156	1031	156	321	123	77	677	87	62	826	205	1425	199	473	169	116	957	139	93	1189	236
488490	5	empl.	9471	0	442	505	705	1652	2719	         [g]	         [i]	         [h]	10609	0	468	564	713	1745	3295	2006	7046	3563	14454	0	573	772	729	2074	3275	3538	8887	5567	17541	0	635	772	1015	2422	2995	4580	9997	7544	18616	0	972	1078	1544	3594	4122	3074	10790	7826
488490	5	ann. pay.	232196	9067	9168	9938	16334	44507	54559	         (D)	         (D)	         (D)	269990	10156	11378	11640	15304	48478	72942	51382	172802	97188	347081	10499	12886	17901	18781	60067	76724	88363	225154	121927	452508	8762	15943	19486	22483	66674	72181	119174	258029	194479	511137	7598	23683	24796	37495	93572	109117	85021	287710	223427
488490	5	rec.																																									1560202	38281	118613	124667	116175	397736	353129	220580	971445	588757
488510	5	firms	12204	1287	5826	2477	1338	10928	960	215	12103	101	11884	1014	5820	2390	1354	10578	991	207	11776	108	11700	1092	5555	2384	1323	10354	1031	208	11593	107	11716	1060	5607	2356	1353	10376	1027	200	11603	113	11574	1137	5573	2306	1283	10299	977	188	11464	110
488510	5	estab.	15806	1291	5847	2562	1570	11270	1751	1369	14390	1416	15464	1017	5850	2468	1573	10908	1719	1360	13987	1477	15177	1093	5578	2463	1526	10660	1763	1249	13672	1505	15334	1071	5634	2455	1518	10678	1692	1118	13488	1846	15476	1137	5591	2398	1484	10610	1791	1233	13634	1842
488510	5	empl.	148394	0	12920	16213	17522	46655	35205	30366	112226	36168	157548	0	13021	15655	17818	46494	36674	31266	114434	43114	161662	0	12436	15533	17492	45461	37960	30786	114207	47455	168159	0	12407	15246	17929	45582	38761	28680	113023	55136	164374	0	12286	14907	16893	44086	36201	25047	105334	59040
488510	5	ann. pay.	5445908	53268	412119	562122	638895	1666404	1275518	1092884	4034806	1411102	5885937	43313	429627	562157	666306	1701403	1336958	1188478	4226839	1659098	6620349	62039	444988	577680	671912	1756619	1476563	1210154	4443336	2177013	6829426	59225	427417	571973	703102	1761717	1521629	1085208	4368554	2460872	6809918	84371	430213	570449	696359	1781392	1482404	1043322	4307118	2502800
488510	5	rec.																																									27687080	536210	2609369	2514853	2616741	8277173	4844266	3000006	16121445	11565635
488991	5	firms	888	156	409	139	71	775	79	26	880	8	1040	258	444	139	92	933	82	19	1034	6	1275	290	571	181	103	1145	97	24	1266	9	1205	211	582	176	108	1077	97	23	1197	8	1041	141	533	156	99	929	80	23	1032	9
488991	5	estab.	927	156	409	139	73	777	84	45	906	21	1076	258	444	139	94	935	86	35	1056	20	1315	290	571	181	104	1146	108	35	1289	26	1246	213	582	176	109	1080	108	34	1222	24	1088	141	533	156	99	929	91	43	1063	25
488991	5	empl.	         [j]	         [a]	867	907	957	         [h]	3145	         [h]	8564	         [g]	[j]	[a]	[f]	[f]	1213	[h]	[h]	[h]	[i]	[g]	13420	0	1196	1146	1338	3680	         [h]	         [h]	         [j]	         [h]	13187	         [a]	         [g]	         [g]	         [g]	         [h]	         [h]	3408	         [j]	         [g]	         [j]	0	         [g]	         [f]	1304	         [h]	3147	         [h]	         [i]	         [g]
488991	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	14731	17100	19472	         (D)	80560	         (D)	196556	         (D)	(D)	(D)	(D)	(D)	27765	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	364790	18302	25852	24126	29869	98149	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	344609	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	90988	         (D)	         (D)	         (D)	5455	         (D)	         (D)	36394	         (D)	89834	         (D)	         (D)	         (D)
488991	5	rec.																																									         (D)	28651	         (D)	         (D)	136744	         (D)	298783	         (D)	         (D)	         (D)
488999	5	firms	103	25	50	11	6	92	6	2	100	3	124	27	64	12	8	111	7	2	120	4	130	26	58	21	9	114	9	3	126	4	145	25	72	21	10	128	8	6	142	3	164	24	77	28	16	145	9	6	160	4
488999	5	estab.	124	25	50	11	6	92	7	7	106	18	174	27	64	12	8	111	8	7	126	48	206	26	58	21	9	114	10	15	139	67	227	25	72	21	10	128	9	42	179	48	237	24	77	28	17	146	18	24	188	49
488999	5	empl.	         [j]	         [a]	97	71	78	         [c]	223	         [c]	711	         [i]	[j]	[a]	[c]	[b]	106	[e]	[e]	[c]	[f]	[i]	11324	0	114	122	104	340	         [e]	         [e]	         [g]	         [j]	12741	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	         [e]	         [e]	985	         [g]	         [j]	         [j]	0	         [c]	         [c]	200	         [f]	351	         [g]	         [g]	         [j]
488999	5	ann. pay.	         (D)	         (D)	2460	1319	1984	         (D)	7086	         (D)	19580	         (D)	(D)	(D)	(D)	(D)	2121	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	613799	1238	2549	2864	3751	10402	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	638441	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	46271	         (D)	         (D)	         (D)	1374	         (D)	         (D)	5410	         (D)	14871	         (D)	         (D)	         (D)
488999	5	rec.																																									         (D)	4809	         (D)	         (D)	18521	         (D)	41748	         (D)	         (D)	         (D)
492110	5	firms	2464	490	1054	347	222	2113	252	70	2435	29	2616	459	1209	355	223	2246	274	64	2584	32	2762	479	1284	381	255	2399	266	66	2731	31	2996	506	1432	420	273	2631	275	61	2967	29	3152	545	1564	413	268	2790	278	58	3126	26
492110	5	estab.	6096	490	1057	348	230	2125	318	196	2639	3457	6309	459	1214	355	230	2258	330	204	2792	3517	6667	479	1289	382	267	2417	318	217	2952	3715	7105	506	1436	426	280	2648	343	186	3177	3928	7447	545	1567	414	286	2812	396	191	3399	4048
492110	5	empl.	468988	0	2033	2261	3055	7349	9721	11564	28634	440354	508558	0	2325	2323	3001	7649	10321	10840	28810	479748	548858	0	2437	2481	3490	8408	10268	10897	29573	519285	513567	0	2714	2735	3799	9248	10691	9776	29715	483852	497358	0	2975	2669	3564	9208	10699	8341	28248	469110
492110	5	ann. pay.	13928686	15204	42222	50272	62878	170576	200517	256370	627463	13301223	15289462	11504	52954	51699	67592	183749	220547	241618	645914	14643548	15890525	19055	55065	57904	74314	206338	226527	267181	700046	15190479	16455540	21067	61852	65766	84572	233257	227055	251013	711325	15744215	15936070	17291	65983	65975	83355	232604	249857	214795	697256	15238814
492110	5	rec.																																									54757288	87353	385472	332111	341835	1146771	921741	802573	2871085	51886203
492210	5	firms	5160	723	2470	754	527	4474	568	100	5142	18	5155	711	2565	681	527	4484	549	101	5134	21	5172	762	2493	746	523	4524	533	97	5154	18	5298	786	2633	725	515	4659	534	90	5283	15	5251	886	2587	705	486	4664	496	72	5232	19
492210	5	estab.	5627	723	2473	755	530	4481	649	210	5340	287	5629	711	2565	681	534	4491	612	215	5318	311	5630	762	2493	750	531	4536	605	187	5328	302	5750	786	2635	733	524	4678	593	195	5466	284	5726	886	2587	707	500	4680	571	147	5398	328
492210	5	empl.	70579	0	4663	4933	7142	16738	21850	14405	52993	17586	69810	0	4803	4451	7006	16260	20480	14560	51300	18510	70455	0	4634	4845	7205	16684	20572	14499	51755	18700	64008	0	4937	4735	6971	16643	20496	13329	50468	13540	55892	0	4849	4643	6587	16079	18626	9456	44161	11731
492210	5	ann. pay.	1363570	20498	92112	92336	134215	339161	390304	258795	988260	375310	1436498	31874	96548	90689	142750	361861	388496	280621	1030978	405520	1508906	30106	97164	106920	156123	390313	419881	276364	1086558	422348	1359792	26256	103757	100378	157027	387418	408579	273536	1069533	290259	1253249	25033	101801	106859	147821	381514	382337	200019	963870	289379
492210	5	rec.																																									4124355	108245	512740	419917	536458	1577360	1100416	558285	3236061	888294
493110	5	firms	2675	248	899	433	365	1945	482	179	2606	69	2741	259	962	411	371	2003	478	189	2670	71	2838	274	983	452	377	2086	483	191	2760	78	3004	260	1138	476	373	2247	494	188	2929	75	3152	333	1096	470	439	2338	514	199	3051	101
493110	5	estab.	3868	249	901	447	396	1993	665	527	3185	683	4246	261	963	421	407	2052	645	524	3221	1025	4415	276	984	465	403	2128	654	500	3282	1133	4500	261	1141	490	404	2296	670	531	3497	1003	4893	340	1097	482	478	2397	805	529	3731	1162
493110	5	empl.	65890	0	1993	2784	4732	9509	17196	20166	46871	19019	75946	0	2109	2692	4850	9651	16154	21708	47513	28433	80704	0	2130	2985	5063	10178	17247	22007	49432	31272	89356	0	2463	3160	5017	10640	17966	23980	52586	36770	94316	0	2406	3073	5815	11294	18392	21859	51545	42771
493110	5	ann. pay.	1804429	18696	45560	70824	122686	257766	463179	552603	1273548	530881	2121153	20773	46798	69216	133699	270486	461751	632140	1364377	756776	2359205	25220	49147	79818	143632	297817	495519	633305	1426641	932564	2656539	28967	61751	83179	145245	319142	533628	683268	1536038	1120501	2876318	28754	59084	88793	166274	342905	560806	658044	1561755	1314563
493110	5	rec.																																									9288010	115702	344075	361293	635718	1456788	1907776	1978856	5343420	3944590
493120	5	firms	558	36	146	94	102	378	120	34	532	26	583	62	145	104	87	398	122	37	557	26	612	48	161	118	87	414	138	36	588	24	607	45	156	122	86	409	139	34	582	25	608	53	158	117	83	411	138	34	583	25
493120	5	estab.	864	38	146	97	107	388	180	78	646	218	911	62	145	106	94	407	172	88	667	244	945	48	161	121	93	423	184	88	695	250	942	45	159	124	91	419	195	76	690	252	970	53	160	119	88	420	204	96	720	250
493120	5	empl.	22692	0	365	625	1392	2382	4995	5572	12949	9743	25404	0	335	720	1170	2225	4930	5401	12556	12848	27096	0	372	805	1123	2300	5326	5208	12834	14262	28231	0	367	820	1167	2354	5528	4800	12682	15549	28100	0	361	771	1106	2238	5427	5010	12675	15425
493120	5	ann. pay.	647103	3843	9580	18699	39801	71923	140469	142748	355140	291963	699395	5297	8521	20716	36313	70847	148051	139079	357977	341418	805809	3219	8625	21944	34441	68229	166630	154403	389262	416547	853705	6408	10990	22222	34294	73914	168075	142276	384265	469440	866540	3623	9831	22788	37139	73381	181854	151164	406399	460141
493120	5	rec.																																									4241802	19278	49500	98748	133510	301036	663428	508298	1472762	2769040
493130	5	firms	360	58	105	48	59	270	55	16	341	19	361	52	103	64	48	267	56	17	340	21	357	40	111	64	53	268	48	21	337	20	358	34	121	58	52	265	55	18	338	20	363	39	121	60	56	276	48	18	342	21
493130	5	estab.	509	58	105	48	69	280	100	59	439	70	516	54	103	65	54	276	99	63	438	78	516	42	112	66	54	274	91	69	434	82	552	34	124	58	60	276	100	76	452	100	539	39	122	64	64	289	78	73	440	99
493130	5	empl.	4511	0	237	304	693	1234	1482	950	3666	845	5143	0	224	425	612	1261	1386	1071	3718	1425	4891	0	241	419	698	1358	1215	1136	3709	1182	5459	0	279	366	665	1310	1310	1351	3971	1488	4798	0	268	364	693	1325	1233	1007	3565	1233
493130	5	ann. pay.	110249	4302	5776	6211	15136	31425	31381	20055	82861	27388	128232	2464	6573	8839	15081	32957	31001	27566	91524	36708	127052	2901	5802	9439	16091	34233	28324	31016	93573	33479	147543	1660	6843	8582	18235	35320	32761	35692	103773	43770	139954	2964	6988	8086	18850	36888	35481	29111	101480	38474
493130	5	rec.																																									1715364	27904	66053	95745	163416	353118	195602	274020	822740	892624
493190	5	firms	841	78	303	136	107	624	111	66	801	40	857	70	347	133	87	637	120	61	818	39	808	67	318	130	95	610	117	43	770	38	831	66	331	134	90	621	121	50	792	39	846	100	313	136	98	647	98	49	794	52
493190	5	estab.	1477	78	303	137	117	635	153	144	932	545	1281	71	347	134	95	647	158	127	932	349	1247	67	318	133	101	619	169	106	894	353	1191	66	331	137	97	631	162	142	935	256	1227	100	313	139	119	671	127	105	903	324
493190	5	empl.	26407	0	631	892	1367	2890	3339	4254	10483	15924	22113	0	722	912	1141	2775	3544	4053	10372	11741	23207	0	654	860	1228	2742	3928	2723	9393	13814	22220	0	711	880	1147	2738	3827	3118	9683	12537	22195	0	671	906	1292	2869	3434	3133	9436	12759
493190	5	ann. pay.	810943	3169	14010	22744	35409	75332	106867	133271	315470	495473	709091	3775	17561	24284	35664	81284	105094	123175	309553	399538	743271	2265	16834	24004	33698	76801	126305	92418	295524	447747	735353	3346	18112	25814	32580	79852	119438	114687	313977	421376	730372	3863	17325	26736	42778	90702	103914	121301	315917	414455
493190	5	rec.																																									2563165	22421	92707	156042	162639	433809	379022	499425	1312256	1250909
511110	5	firms	6616	501	2294	1462	1035	5292	957	244	6493	123	6415	456	2244	1407	1041	5148	919	222	6289	126	6172	366	2133	1390	988	4877	935	230	6042	130	6055	390	2122	1324	937	4773	938	214	5925	130	6023	410	2210	1297	873	4790	895	214	5899	124
511110	5	estab.	8686	501	2294	1463	1042	5300	1066	644	7010	1676	8625	466	2244	1408	1050	5168	1026	648	6842	1783	8586	370	2133	1393	998	4894	1050	691	6635	1951	8540	391	2122	1327	946	4786	1064	683	6533	2007	8728	410	2211	1303	897	4821	1166	791	6778	1950
511110	5	empl.	401373	0	5244	9743	13840	28827	36748	44072	109647	291726	393543	0	5080	9444	13909	28433	36017	40665	105115	288428	412627	0	4831	9304	13333	27468	36375	41895	105738	306889	413951	0	4767	8816	12673	26256	36761	40497	103514	310437	387993	0	5093	8658	11785	25536	35066	41439	102041	285952
511110	5	ann. pay.	12244525	22950	88594	159827	256270	527641	790723	1106015	2424379	9820146	12739812	38746	88842	166617	275365	569570	827742	1082473	2479785	10260027	14216000	26621	89005	174334	273104	563064	871866	1150097	2585027	11630973	14747105	21471	93887	176069	264425	555852	881372	1125874	2563098	12184007	14039848	21255	116570	174189	251838	563852	895733	1176228	2635813	11404035
511110	5	rec.																																									46477469	70262	453913	541918	702718	1768811	2407082	3286824	7462717	39014752
511120	5	firms	5719	616	2529	1008	673	4826	602	172	5600	119	5465	549	2434	971	642	4596	580	171	5347	118	5257	477	2301	954	632	4364	603	173	5140	117	5185	498	2235	953	632	4318	588	163	5069	116	5589	680	2461	945	624	4710	598	171	5479	110
511120	5	estab.	6250	616	2529	1008	676	4829	632	282	5743	507	5984	549	2434	971	645	4599	603	279	5481	503	6252	477	2301	955	640	4373	638	318	5329	923	6248	498	2236	956	637	4327	621	365	5313	935	6912	681	2461	953	640	4735	715	318	5768	1144
511120	5	empl.	131949	0	5463	6564	9065	21092	23571	24149	68812	63137	126824	0	5226	6288	8769	20283	22322	24112	66717	60107	135586	0	4912	6266	8613	19791	22916	26777	69484	66102	133245	0	4777	6317	8598	19692	23126	26174	68992	64253	127161	0	5310	6227	8437	19974	22476	25465	67915	59246
511120	5	ann. pay.	6247801	39976	153360	205659	339485	738480	1019264	1140052	2897796	3350005	6412418	42292	162428	213692	333103	751515	1019847	1214511	2985873	3426545	7676311	32330	162828	225186	348445	768789	1139334	1452317	3360440	4315871	7544103	39556	146904	222658	337819	746937	1091777	1365629	3204343	4339760	7190913	51959	164913	226361	350820	794053	1103771	1367926	3265750	3925163
511120	5	rec.																																									32824021	221339	673017	779818	1133571	2807745	3571329	5425415	11804489	21019532
511130	5	firms	2552	304	1205	379	222	2110	285	86	2481	71	2495	288	1199	344	235	2066	272	86	2424	71	2490	275	1180	340	230	2025	289	90	2404	86	2522	293	1193	329	248	2063	287	92	2442	80	2408	230	1201	326	217	1974	261	97	2332	76
511130	5	estab.	2683	304	1207	381	222	2114	293	96	2503	180	2646	288	1201	346	235	2070	279	101	2450	196	2661	275	1183	341	231	2030	296	103	2429	232	2698	294	1196	330	249	2069	296	108	2473	225	2713	230	1203	329	221	1983	291	116	2390	323
511130	5	empl.	90454	0	2441	2494	3010	7945	11487	11874	31306	59148	81391	0	2406	2287	3140	7833	10854	12316	31003	50388	87242	0	2390	2232	3113	7735	11517	12793	32045	55197	89676	0	2410	2137	3350	7897	11955	13270	33122	56554	90017	0	2375	2111	2939	7425	10495	13411	31331	58686
511130	5	ann. pay.	3781501	14994	68943	77194	103274	264405	413586	472242	1150233	2631268	3767370	14401	75211	79400	115177	284189	398323	534732	1217244	2550126	4309858	13809	73325	74379	116203	277716	451967	567701	1297384	3012474	4803151	38354	73190	74008	127556	313108	468958	640521	1422587	3380564	4863261	12932	75020	73168	118956	280076	430391	647285	1357752	3505509
511130	5	rec.																																									27937864	44301	320958	319902	479787	1164948	1716349	2653717	5535014	22402850
511140	5	firms	1139	101	464	202	147	914	138	44	1096	43	849	97	335	136	98	666	94	45	805	44	1146	108	456	197	150	911	136	43	1090	56	1164	107	467	201	151	926	146	37	1109	55	1136	143	485	199	109	936	118	30	1084	52
511140	5	estab.	1277	103	464	209	150	926	141	65	1132	145	970	97	335	136	101	669	97	63	829	141	1370	109	456	197	154	916	138	61	1115	255	1394	107	467	203	153	930	148	47	1125	269	1566	143	486	203	120	952	136	47	1135	431
511140	5	empl.	38024	0	1052	1365	1958	4375	5364	6693	16432	21592	31665	0	746	903	1327	2976	3491	7122	13589	18076	46240	0	1023	1299	2057	4379	5370	7187	16936	29304	45096	0	1016	1294	2070	4380	5585	6160	16125	28971	46913	0	1042	1328	1527	3897	4469	5107	13473	33440
511140	5	ann. pay.	1642916	3822	36324	50662	90101	180909	215022	274959	670890	972026	1454873	4536	27833	33821	58146	124336	156974	293182	574492	880381	2418061	6695	37223	63324	115385	222627	258105	334022	814754	1603307	2327697	11868	37047	50979	94976	194870	275488	325673	796031	1531666	2275843	9317	40438	55141	57982	162878	234596	266051	663525	1612318
511140	5	rec.																																									11989265	32293	170902	186540	204131	593866	766847	858116	2218829	9770436
511191	5	firms	93	10	29	15	7	61	15	10	86	7	95	10	35	13	9	67	15	9	91	4	98	10	36	14	10	70	14	8	92	6	88	7	31	17	9	64	12	9	85	3	88	10	33	13	9	65	11	7	83	5
511191	5	estab.	107	10	29	15	7	61	15	11	87	20	108	10	35	13	9	67	15	10	92	16	112	10	36	14	10	70	14	9	93	19	102	7	31	17	9	64	12	10	86	16	106	10	33	13	9	65	12	8	85	21
511191	5	empl.	19764	0	66	106	101	273	628	2164	3065	16699	18158	0	84	85	120	289	642	2089	3020	15138	17759	0	92	88	136	316	652	2000	2968	14791	17432	0	71	109	124	304	         [f]	2272	         [h]	         [j]	16090	0	68	86	115	269	495	1925	2689	13401
511191	5	ann. pay.	669375	620	1585	2288	2662	7155	21632	70280	99067	570308	626764	206	2348	1832	3960	8346	21018	73828	103192	523572	631240	450	3849	2081	3120	9500	20824	70349	100673	530567	688446	70	2030	3136	3001	8237	         (D)	78655	         (D)	         (D)	642028	1720	1806	2097	3215	8838	17238	81792	107868	534160
511191	5	rec.																																									5375254	4427	8121	8492	10102	31142	88642	344695	464479	4910775
511199	5	firms	2443	393	951	379	292	2015	281	68	2364	79	2438	382	985	378	278	2023	273	69	2365	73	2494	394	1024	375	274	2067	280	64	2411	83	2294	290	963	346	275	1874	273	65	2212	82	2069	308	848	296	243	1695	233	72	2000	69
511199	5	estab.	2732	393	951	383	296	2023	289	109	2421	311	2912	382	985	381	279	2027	281	120	2428	484	2965	396	1024	378	276	2074	288	113	2475	490	2776	290	966	346	290	1892	284	93	2269	507	2463	308	849	296	259	1712	246	105	2063	400
511199	5	empl.	46354	0	1939	2493	3904	8336	10283	7218	25837	20517	48453	0	1994	2457	3771	8222	10268	7903	26393	22060	49725	0	2134	2471	3782	8387	10894	8658	27939	21786	48187	0	1955	2306	3766	8027	         [j]	8714	         [k]	         [j]	39700	0	1709	2012	3286	7007	8779	8310	24096	15604
511199	5	ann. pay.	1562275	28049	57022	79737	130522	295330	316148	235073	846551	715724	1819533	25324	63685	85688	128543	303240	330749	303527	937516	882017	2006098	39889	68202	84925	129923	322939	394708	381461	1099108	906990	1915580	21980	69327	81983	133062	306352	         (D)	359322	         (D)	         (D)	1649328	15639	56214	72434	125168	269455	325543	392731	987729	661599
511199	5	rec.																																									7521839	67602	218765	230441	377937	894745	1041444	1887786	3823975	3697864
511210	5	firms	9426	933	3789	1537	1252	7511	1339	341	9191	235	8961	878	3514	1386	1228	7006	1365	339	8710	251	8382	881	3168	1263	1080	6392	1379	357	8128	254	8057	770	3106	1192	1031	6099	1329	368	7796	261	7699	879	2948	1212	925	5964	1179	307	7450	249
511210	5	estab.	11694	933	3800	1558	1296	7587	1612	884	10083	1611	11132	881	3527	1406	1258	7072	1604	752	9428	1704	10599	893	3183	1281	1103	6460	1580	662	8702	1897	10353	772	3107	1220	1058	6157	1489	699	8345	2008	10089	880	2961	1233	979	6053	1482	693	8228	1861
511210	5	empl.	283192	0	7939	10280	17068	35287	52744	54348	142379	140813	304663	0	7274	9139	16699	33112	55682	53877	142671	161992	331485	0	6597	8376	14683	29656	57215	61461	148332	183153	353344	0	6479	7970	14102	28551	55343	64087	147981	205363	312102	0	6033	8105	12749	26887	47423	50870	125180	186922
511210	5	ann. pay.	23615784	54417	395910	511009	931234	1892570	3303612	4203993	9400175	14215609	27695721	81849	371936	480768	974374	1908927	3790747	4926913	10626587	17069134	44090006	122077	319166	441076	880121	1762440	4109229	6392219	12263888	31826118	36954665	81433	332937	439169	840152	1693691	3728816	5065146	10487653	26467012	29930377	113171	318668	449253	807859	1688951	3485966	4103042	9277959	20652418
511210	5	rec.																																									96373815	292496	894492	1091038	1845517	4123543	7619505	9019867	20762915	75610900
512110	5	firms	9529	2881	4772	943	464	9060	343	60	9463	66	9581	2696	4923	951	512	9082	379	59	9520	61	9786	2709	5009	999	554	9271	392	69	9732	54	10226	2840	5284	1042	515	9681	428	66	10175	51	10563	3084	5625	927	473	10109	346	58	10513	50
512110	5	estab.	9703	2884	4777	953	479	9093	366	68	9527	176	9796	2698	4928	961	526	9113	405	66	9584	212	10018	2710	5017	1006	566	9299	419	76	9794	224	10595	2843	5295	1048	525	9711	454	81	10246	349	10943	3084	5634	938	493	10149	391	68	10608	335
512110	5	empl.	63336	0	8578	6173	6093	20844	12356	7785	40985	22351	72505	0	8853	6086	6817	21756	14852	7486	44094	28411	84549	0	9015	6500	7471	22986	14670	10299	47955	36594	96892	0	9472	6733	6824	23029	15834	9048	47911	48981	85659	0	10020	5980	6206	22206	12502	8099	42807	42852
512110	5	ann. pay.	4742149	443982	863510	347165	329054	1983711	552682	464944	3001337	1740812	5301296	449606	877075	288511	401325	2016517	688986	404291	3109794	2191502	5722993	433305	867393	312973	403641	2017312	811555	501056	3329923	2393070	6815633	444811	904641	333462	362571	2045485	979830	386463	3411778	3403855	6662753	466879	939946	312427	434582	2153834	776017	435034	3364885	3297868
512110	5	rec.																																									44832326	1363213	2643733	1466381	1663063	7136390	3048133	1066226	11250749	33581577
512120	5	firms	629	82	303	94	69	548	49	10	607	22	579	74	291	78	58	501	44	12	557	22	562	83	281	72	48	484	46	11	541	21	512	62	264	70	50	446	48	10	504	8	508	69	255	68	53	445	44	11	500	8
512120	5	estab.	711	83	303	94	72	552	59	14	625	86	706	75	291	78	61	505	48	18	571	135	678	83	283	72	51	489	50	17	556	122	537	62	266	71	52	451	53	13	517	20	541	69	258	69	59	455	52	14	521	20
512120	5	empl.	26900	0	637	589	888	2114	1970	974	5058	21842	27669	0	607	509	806	1922	1492	1148	4562	23107	13861	0	610	461	682	1753	1713	1096	4562	9299	5870	0	559	456	679	1694	1556	944	4194	1676	5311	0	536	447	729	1712	1588	925	4225	1086
512120	5	ann. pay.	889219	3873	42492	22906	45195	114466	94187	36805	245458	643761	1058311	4344	27821	32577	41108	105850	65120	48910	219880	838431	1118723	6616	34147	34074	37231	112068	86245	48041	246354	872369	306638	6758	28095	32697	38556	106106	86099	43485	235690	70948	311907	8849	27269	37291	35513	108922	91837	43264	244023	67884
512120	5	rec.																																									1544022	29257	131342	165690	334574	660863	470427	216237	1347527	196495
512131	5	firms	2044	228	483	453	423	1587	365	59	2011	33	1999	221	474	456	419	1570	334	63	1967	32	1932	230	503	372	413	1518	321	60	1899	33	1907	219	465	406	375	1465	350	58	1873	34	1899	215	408	371	429	1423	371	71	1865	34
512131	5	estab.	5962	230	486	469	458	1643	594	524	2761	3201	5885	227	478	473	457	1635	539	466	2640	3245	5593	230	522	379	461	1592	518	440	2550	3043	5050	219	474	424	416	1533	508	420	2461	2589	4895	215	411	379	445	1450	557	455	2462	2433
512131	5	empl.	130511	0	1173	3098	5563	9834	         [j]	         [j]	33710	96801	135208	0	1123	3073	5493	9689	11471	11512	32672	102536	142282	0	1183	2522	5514	9219	11293	10906	31418	110864	130938	0	1040	2748	5140	8928	12666	11510	33104	97834	132368	0	989	2568	5880	9437	13113	14211	36761	95607
512131	5	ann. pay.	1060956	24937	13090	26154	44455	108636	         (D)	         (D)	302727	758229	1111222	18280	17357	27669	46871	110177	98197	103994	312368	798854	1106632	20101	18993	25368	47966	112428	104066	90345	306839	799793	1162472	30117	19769	27479	44643	122008	114361	101644	338013	824459	1314719	16770	16746	25407	51790	110713	115667	147392	373772	940947
512131	5	rec.																																									10883858	85178	81735	122249	278139	567301	712223	958345	2237869	8645989
512132	5	firms	284	139	72	23	19	253	17	6	276	8	271	118	78	21	20	237	21	7	265	6	251	115	61	25	20	221	17	8	246	5	263	126	65	22	18	231	22	6	259	4	265	124	59	24	21	228	24	8	260	5
512132	5	estab.	318	139	72	26	19	256	22	12	290	28	312	118	78	22	20	238	29	19	286	26	291	115	61	26	20	222	25	21	268	23	303	126	65	22	19	232	30	19	281	22	303	124	61	26	21	232	29	20	281	22
512132	5	empl.	1901	0	145	151	222	518	         [e]	         [c]	1045	856	1929	0	153	124	228	505	401	152	1058	871	1676	0	132	159	199	490	418	254	1162	514	1723	0	139	131	183	453	470	341	1264	459	1687	0	118	150	173	441	413	312	1166	521
512132	5	ann. pay.	22934	3303	3006	1591	2128	10028	         (D)	         (D)	15889	7045	22310	2429	3385	1339	2070	9223	4736	2165	16124	6186	23359	2842	2874	1958	2301	9975	4718	3401	18094	5265	26092	3193	3400	1957	1905	10455	5836	3543	19834	6258	25977	3278	2941	2177	1365	9761	5055	3751	18567	7410
512132	5	rec.																																									123469	21576	14990	10072	9732	56370	20619	14573	91562	31907
512191	5	firms	2882	383	1523	466	254	2626	201	35	2862	20	2757	398	1411	433	271	2513	190	36	2739	18	2707	438	1314	450	239	2441	214	34	2689	18	2585	380	1310	403	236	2329	201	34	2564	21	2475	416	1287	335	211	2249	172	35	2456	19
512191	5	estab.	2992	384	1526	471	260	2641	225	68	2934	58	2851	400	1415	435	276	2526	215	69	2810	41	2816	438	1315	453	243	2449	221	77	2747	69	2702	380	1311	403	241	2335	213	94	2642	60	2594	416	1287	335	217	2255	207	78	2540	54
512191	5	empl.	28266	0	2928	2975	3444	9347	7237	5332	21916	6350	28490	0	2688	2794	3765	9247	6903	6234	22384	6106	29724	0	2533	2876	3267	8676	7744	5913	22333	7391	30161	0	2458	2614	3216	8288	7481	4987	20756	9405	23800	0	2446	2120	2805	7371	6200	5165	18736	5064
512191	5	ann. pay.	1489588	35490	155953	123351	166781	481575	355368	288502	1125445	364143	1467829	42421	143005	111735	179608	476769	364758	316708	1158235	309594	1591459	47637	136376	125801	169610	479424	408783	302307	1190514	400945	1588680	37785	140388	105014	169149	452336	412389	253243	1117968	470712	1413884	41352	131802	93747	147233	414134	362169	297226	1073529	340355
512191	5	rec.																																									3761020	107421	406814	286647	406930	1207812	917654	710174	2835640	925380
512199	5	firms	338	43	162	59	33	297	23	10	330	8	330	60	142	58	29	289	27	6	322	8	324	49	144	54	28	275	29	9	313	11	337	54	147	60	30	291	27	9	327	10	363	54	180	56	31	321	26	7	354	9
512199	5	estab.	378	43	164	59	34	300	55	12	367	11	339	60	144	58	29	291	29	6	326	13	334	49	145	55	28	277	31	10	318	16	345	54	149	60	30	293	29	9	331	14	376	54	181	56	31	322	34	8	364	12
512199	5	empl.	4325	0	336	373	421	1130	736	883	2749	1576	4363	0	302	364	360	1026	762	391	2179	2184	4496	0	336	349	387	1072	764	627	2463	2033	4553	0	329	367	427	1123	781	526	2430	2123	4553	0	352	362	416	1130	791	366	2287	2266
512199	5	ann. pay.	224472	11743	13934	11716	15462	52855	27368	42634	122857	101615	213953	4379	13707	12496	16665	47247	29666	12373	89286	124667	242769	2396	15615	12000	17351	47362	28667	33188	109217	133552	256909	5455	13579	13797	13899	46730	34133	32882	113745	143164	256656	11085	16765	18408	17192	63450	41396	27376	132222	124434
512199	5	rec.																																									1154338	116270	49725	51712	50836	268543	128040	122369	518952	635386
512210	5	firms	279	57	162	33	18	270	8	0	278	1	271	63	151	32	14	260	9	0	269	2	268	54	157	34	9	254	12	0	266	2	262	52	152	30	9	243	17	0	260	2	356	74	217	29	14	334	17	2	353	3
512210	5	estab.	279	57	162	33	18	270	8	0	278	1	274	63	151	32	14	260	9	0	269	5	276	59	157	34	9	259	12	0	271	5	270	52	152	30	9	243	22	0	265	5	370	74	217	29	14	334	17	7	358	12
512210	5	empl.	1073	0	294	212	233	739	         [e]	0	         [g]	         [a]	1042	0	265	205	194	664	[e]	0	[g]	[b]	1110	0	285	222	118	625	         [e]	0	         [g]	         [b]	1225	0	275	202	118	595	         [f]	0	         [g]	         [b]	1916	0	393	188	167	748	687	         [c]	         [g]	         [e]
512210	5	ann. pay.	48686	3615	13603	6584	12320	36122	         (D)	0	         (D)	         (D)	53115	4310	17384	5933	7317	34944	(D)	0	(D)	(D)	54576	8039	14129	7638	5025	34831	         (D)	0	         (D)	         (D)	73294	5722	12621	8717	9316	36376	         (D)	0	         (D)	         (D)	114852	6781	16593	10621	7428	41423	30112	         (D)	         (D)	         (D)
512210	5	rec.																																									548637	24729	76695	49636	25737	176797	148539	         (D)	         (D)	         (D)
512220	5	firms	264	42	128	36	24	230	21	5	256	8	263	45	133	35	19	232	20	4	256	7	267	42	140	34	19	235	21	5	261	6	261	37	140	31	24	232	16	7	255	6	247	34	126	36	23	219	18	3	240	7
512220	5	estab.	289	42	128	36	24	230	21	5	256	33	289	47	133	35	19	234	20	4	258	31	310	43	140	34	21	238	21	9	268	42	305	37	140	31	27	235	16	10	261	44	303	34	126	37	28	225	22	8	255	48
512220	5	empl.	6970	0	240	236	323	799	928	407	2134	4836	6705	0	260	217	260	737	875	581	2193	4512	9001	0	269	213	257	739	870	757	2366	6635	8794	0	256	203	331	790	615	852	2257	6537	8705	0	231	248	331	810	770	440	2020	6685
512220	5	ann. pay.	675618	1818	12513	10232	15202	39765	63976	38860	142601	533017	676563	5727	12138	7775	14180	39820	69188	59553	168561	508002	1100330	5405	11523	10545	10235	37708	75589	34816	148113	952217	1042538	2248	14357	9872	17673	44150	53562	39739	137451	905087	954729	1338	12042	13471	22520	49371	49749	21777	120897	833832
512220	5	rec.																																									7250889	10602	45034	73967	110718	240321	271452	83174	594947	6655942
512230	5	firms	692	143	381	74	33	631	40	10	681	11	671	140	362	72	39	613	37	9	659	12	637	115	362	68	40	585	32	9	626	11	613	105	348	72	37	562	31	9	602	11	674	132	389	75	35	631	27	7	665	9
512230	5	estab.	718	143	381	74	34	632	47	16	695	23	701	141	362	73	39	615	46	15	676	25	670	115	363	69	40	587	42	18	647	23	645	105	348	73	37	563	41	17	621	24	706	132	389	77	35	633	35	15	683	23
512230	5	empl.	5185	0	729	476	419	1624	         [g]	1050	         [h]	         [g]	5229	0	696	461	499	1656	1333	1085	4074	1155	5125	0	695	422	528	1645	1181	1053	3879	1246	5050	0	677	444	487	1608	1048	1105	3761	1289	4548	0	695	455	462	1612	904	1045	3561	987
512230	5	ann. pay.	232378	11183	24878	16812	12563	65436	         (D)	33679	         (D)	         (D)	251842	7625	24229	15820	19144	66818	62521	35739	165078	86764	282621	20009	25967	13797	19979	79752	60706	46694	187152	95469	277208	19106	27806	15983	22163	85058	49864	48243	183165	94043	288954	11123	31114	17455	30748	90440	53941	52056	196437	92517
512230	5	rec.																																									2026566	36876	121777	105461	122841	386955	336870	351647	1075472	951094
512240	5	firms	1410	246	820	191	89	1346	52	6	1404	6	1539	250	889	204	119	1462	66	6	1534	5	1494	208	884	219	102	1413	66	9	1488	6	1599	237	954	219	104	1514	68	11	1593	6	1491	244	904	206	78	1432	47	6	1485	6
512240	5	estab.	1422	246	820	193	93	1352	57	7	1416	6	1553	250	889	207	123	1469	72	7	1548	5	1516	208	884	222	107	1421	78	10	1509	7	1621	237	954	224	107	1522	77	15	1614	7	1517	244	904	208	82	1438	61	9	1508	9
512240	5	empl.	10699	0	1586	1200	1167	3953	         [g]	347	         [i]	         [h]	7250	0	1774	1270	1560	4604	2203	396	7203	47	8127	0	1758	1420	1360	4538	2465	1072	8075	52	8449	0	1871	1402	1381	4654	2564	1178	8396	53	6398	0	1728	1298	1035	4061	1549	464	6074	324
512240	5	ann. pay.	649352	14191	43566	35553	38726	132036	         (D)	5909	         (D)	         (D)	266792	14057	50231	39116	51893	155297	75849	33514	264660	2132	326506	13103	51872	46815	51206	162996	95947	65444	324387	2119	313418	11829	56238	45553	51257	164877	105584	40704	311165	2253	233808	10010	50635	43262	44574	148481	61188	13560	223229	10579
512240	5	rec.																																									784604	39907	200684	145845	112864	499300	175848	39016	714164	70440
512290	5	firms	345	72	194	39	17	322	14	4	340	5	343	41	206	51	21	319	14	5	338	5	326	34	191	49	25	299	17	3	319	7	347	41	210	40	30	321	17	5	343	4	394	64	232	40	29	365	21	5	391	3
512290	5	estab.	403	72	194	40	17	323	15	33	371	32	396	41	206	52	21	320	15	38	373	23	397	34	191	50	25	300	24	25	349	48	409	41	210	41	30	322	17	35	374	35	473	64	232	41	29	366	21	52	439	34
512290	5	empl.	2547	0	356	255	209	820	432	778	2030	517	2979	0	350	323	272	945	[e]	902	[g]	[f]	4253	0	352	325	340	1017	         [e]	761	         [g]	         [g]	3488	0	387	255	401	1043	         [e]	943	         [g]	         [g]	3454	0	419	246	364	1029	658	         [f]	         [h]	         [f]
512290	5	ann. pay.	102145	5360	15256	6679	5651	32946	12902	29891	75739	26406	108178	6535	12969	10803	5182	35489	(D)	21265	(D)	(D)	166168	2547	13161	9337	10948	35993	         (D)	18874	         (D)	         (D)	123387	2094	12957	7577	10308	32936	         (D)	36261	         (D)	         (D)	121786	1873	14293	7535	10227	33928	24361	         (D)	         (D)	         (D)
512290	5	rec.																																									371248	8985	59042	23487	29004	120518	67322	         (D)	         (D)	         (D)
513111	5	firms	247	38	61	44	35	178	41	13	232	15	268	46	69	42	29	186	49	16	251	17	264	36	68	50	32	186	42	16	244	20	286	48	78	45	32	203	44	18	265	21	362	47	118	55	48	268	52	23	343	19
513111	5	estab.	320	38	61	44	37	180	68	32	280	40	339	46	69	42	32	189	65	51	305	34	334	39	68	50	35	192	54	39	285	49	359	48	81	45	35	209	52	58	319	40	475	47	118	55	50	270	80	79	429	46
513111	5	empl.	6376	0	126	293	492	911	1355	944	3210	3166	8644	0	143	277	389	809	1490	1430	3729	4915	9349	0	143	331	415	889	1353	1866	4108	5241	12168	0	167	304	428	899	1578	1840	4317	7851	8973	0	217	354	630	1201	2009	2390	5600	3373
513111	5	ann. pay.	255367	4108	3609	5223	8928	21868	47565	31983	101416	153951	454049	5142	3935	6815	9226	25118	46651	77584	149353	304696	516188	6621	3991	9878	11456	31946	50020	83963	165929	350259	374895	10973	5950	7916	11353	36192	64671	92790	193653	181242	513836	3385	7774	13644	16327	41130	78355	159890	279375	234461
513111	5	rec.																																									1600908	15099	28493	35286	43489	122367	265247	469173	856787	744121
513112	5	firms	5069	504	1085	1054	1306	3949	922	121	4992	77	4842	472	1117	1039	1167	3795	862	111	4768	74	4687	443	1184	1001	1074	3702	803	105	4610	77	4343	385	1160	919	1013	3477	689	97	4263	80	3915	367	981	838	914	3100	644	92	3836	79
513112	5	estab.	6253	504	1086	1071	1364	4025	1178	437	5640	613	6198	474	1121	1054	1211	3860	1095	438	5393	805	6108	448	1192	1016	1121	3777	1013	388	5178	930	6938	393	1171	936	1077	3577	850	337	4764	2174	6554	368	986	843	977	3174	866	377	4417	2137
513112	5	empl.	107879	0	2514	7363	17632	27509	31219	14669	73397	34482	114825	0	2548	7112	15810	25470	29198	13875	68543	46282	112143	0	2669	6954	14593	24216	27602	12859	64677	47466	130482	0	2611	6340	13764	22715	24060	11754	58529	71953	121875	0	2326	5785	12335	20446	21965	11699	54110	67765
513112	5	ann. pay.	3371630	32026	56155	115448	299369	502998	773938	465124	1742060	1629570	4086539	52063	60131	134288	281199	527681	742869	476979	1747529	2339010	4324534	39614	67434	143820	289906	540774	798134	439535	1778443	2546091	5006249	24156	70119	119272	280364	493911	675403	446116	1615430	3390819	4547833	20240	52245	109721	257166	439372	641439	427177	1507988	3039845
513112	5	rec.																																									15952910	74976	179976	295079	616049	1166080	1691679	1333432	4191191	11761719
513120	5	firms	1107	153	262	134	102	651	250	114	1015	92	1119	112	299	146	110	667	248	117	1032	87	1107	120	294	143	95	652	260	102	1014	93	1081	107	308	126	108	649	240	103	992	89	1071	110	313	130	111	664	226	97	987	84
513120	5	estab.	1945	153	264	138	103	658	300	214	1172	773	2009	112	304	147	111	674	296	210	1180	829	2050	120	296	148	100	664	298	186	1148	902	1937	107	312	129	112	660	281	182	1123	814	2009	110	314	130	111	665	276	200	1141	868
513120	5	empl.	128726	0	566	920	1382	2868	11386	15946	30200	98526	126802	0	640	995	1542	3177	10951	15977	30105	96697	132151	0	639	938	1316	2893	11356	14668	28917	103234	126734	0	670	810	1492	2972	10241	15699	28912	97822	123409	0	666	860	1539	3065	9804	15373	28242	95167
513120	5	ann. pay.	6654464	35766	23242	23490	38630	121128	326095	589055	1036278	5618186	6823680	30508	26192	25075	44241	126016	325669	610232	1061917	5761763	7451334	36866	26979	27102	36271	127218	378256	581006	1086480	6364854	7358528	27028	68221	22150	39893	157292	339909	634551	1131752	6226776	7153575	13910	34845	22677	47812	119244	345686	654039	1118969	6034606
513120	5	rec.																																									33558561	54336	114346	87924	171990	428596	1280386	2076094	3785076	29773485
513210	5	firms	349	47	117	44	33	241	44	25	310	39	373	52	129	48	35	264	49	22	335	38	382	55	118	52	40	265	52	24	341	41	361	32	102	58	41	233	60	25	318	43	454	60	157	72	47	336	54	22	412	42
513210	5	estab.	752	47	117	45	33	242	69	67	378	374	755	52	129	49	42	272	67	56	395	360	689	55	118	53	41	267	65	58	390	299	887	32	102	61	41	236	64	53	353	534	1292	60	158	74	52	344	64	54	462	830
513210	5	empl.	32480	0	259	290	457	1006	1628	4313	6947	25533	33171	0	278	319	493	1090	1857	4104	7051	26120	39147	0	239	343	539	1121	1987	4693	7801	31346	41022	0	209	382	550	1141	2565	5101	8807	32215	61796	0	323	498	630	1451	2074	4537	8062	53734
513210	5	ann. pay.	1902915	27078	9769	5533	18010	60390	63379	262479	386248	1516667	2057419	17049	11720	8806	16224	53799	77487	279844	411130	1646289	2654028	26489	11061	9646	17384	64580	102398	372248	539226	2114802	2963623	6289	10366	11743	17516	45914	110051	376299	532264	2431359	3445590	5016	14788	20693	23502	63999	86634	335253	485886	2959704
513210	5	rec.																																									25288176	22964	125233	141573	123301	413071	471676	1762517	2647264	22640912
513220	5	firms	1516	167	616	259	161	1203	168	73	1444	72	1513	149	643	268	165	1225	164	49	1438	75	1446	141	641	262	146	1190	142	49	1381	65	1379	143	590	250	140	1123	142	46	1311	68	1244	132	534	213	128	1007	128	46	1181	63
513220	5	estab.	4203	167	618	273	177	1235	277	323	1835	2368	4609	150	646	272	177	1245	247	213	1705	2904	4581	141	647	271	154	1213	170	230	1613	2968	5805	143	593	255	146	1137	205	139	1481	4324	5599	132	534	223	141	1030	185	193	1408	4191
513220	5	empl.	146241	0	1364	1651	2147	5162	6299	11594	23055	123186	148948	0	1380	1767	2168	5315	6048	6734	18097	130851	173563	0	1420	1724	1946	5090	5314	6578	16982	156581	204426	0	1286	1658	1816	4760	5730	5260	15750	188676	238347	0	1121	1400	1694	4215	4487	5232	13934	224413
513220	5	ann. pay.	5368564	11214	33705	44909	62276	152104	199407	394929	746440	4622124	6002429	14309	38231	52771	74759	180070	192787	290069	662926	5339503	7430397	14363	40913	60914	71590	187780	178537	246343	612660	6817737	8766780	53053	37144	53879	65852	209928	222669	193327	625924	8140856	9004908	6137	33960	42040	61170	143307	159011	192615	494933	8509975
513220	5	rec.																																									56637054	39243	176555	205003	272312	693113	792474	1105964	2591551	54045503
513310	5	firms	3037	582	952	447	382	2363	474	131	2968	69	3188	486	1109	463	410	2468	510	129	3107	81	3357	511	1113	511	432	2567	534	156	3257	100	3279	418	1101	511	423	2453	566	152	3171	108	3044	401	1028	456	390	2275	519	135	2929	115
513310	5	estab.	22275	595	954	456	409	2414	664	374	3452	18823	23461	487	1122	469	439	2517	668	371	3556	19905	26223	512	1115	514	455	2596	675	469	3740	22483	27509	418	1102	515	447	2482	684	350	3516	23993	26883	402	1029	462	419	2312	711	393	3416	23467
513310	5	empl.	818245	0	2037	2965	5127	10129	18704	20366	49199	769046	815662	0	2323	3064	5478	10865	19982	21246	52093	763569	870235	0	2361	3410	5844	11615	21671	26056	59342	810893	905518	0	2334	3381	5636	11351	22514	24539	58404	847114	848013	0	2137	3026	5251	10414	20712	20301	51427	796586
513310	5	ann. pay.	42099071	51735	71656	104397	204601	432389	762293	900790	2095472	40003599	44613615	54566	83155	125647	227683	491051	908793	960546	2360390	42253225	49010081	332452	100242	137978	284465	855137	1053919	1302156	3211212	45798869	50210483	38089	83759	131266	249507	502621	1045732	1181359	2729712	47480771	47962181	59864	94568	120441	228701	503574	986237	917526	2407337	45554844
513310	5	rec.																																									231169001	571031	620296	644764	1081039	2917130	4418517	4650375	11986022	219182979
513321	5	firms	1914	422	825	280	176	1703	141	29	1873	41	2042	404	918	312	184	1818	155	31	2004	38	2113	360	987	323	213	1883	157	35	2075	38	2023	322	929	320	207	1778	177	33	1988	35	1540	217	795	214	157	1383	114	20	1517	23
513321	5	estab.	3947	422	834	298	196	1750	258	132	2140	1807	4099	422	925	316	211	1874	251	135	2260	1839	4098	364	993	329	245	1931	246	81	2258	1840	3900	322	931	332	238	1823	274	153	2250	1650	2832	217	798	218	186	1419	202	141	1762	1070
513321	5	empl.	70043	0	1744	1873	2292	5909	5242	3336	14487	55556	71248	0	1940	2028	2401	6369	5481	4101	15951	55297	72396	0	2100	2071	2823	6994	5854	4539	17387	55009	72452	0	1952	2101	2752	6805	6727	4421	17953	54499	42604	0	1627	1400	2051	5078	3917	3504	12499	30105
513321	5	ann. pay.	2727393	21173	40183	41537	62685	165578	145459	120287	431324	2296069	3058935	28088	65997	52723	64752	211560	187864	141305	540729	2518206	3396040	42801	62742	63930	104923	274396	225399	231258	731053	2664987	3487646	20641	51902	57908	90488	220939	290532	202150	713621	2774025	1709268	36243	41700	37257	59980	175180	147636	227490	550306	1158962
513321	5	rec.																																									15273836	114219	242110	172440	241017	769786	482661	525938	1778385	13495451
513322	5	firms	1475	287	579	237	147	1250	138	46	1434	41	1583	299	625	258	155	1337	154	44	1535	48	1828	371	699	271	191	1532	193	45	1770	58	1892	324	715	312	217	1568	201	58	1827	65	2169	417	888	315	201	1821	227	61	2109	60
513322	5	estab.	3920	289	579	238	169	1275	192	124	1591	2329	5164	316	627	262	166	1371	206	271	1848	3316	6326	386	701	274	215	1576	247	284	2107	4219	7710	330	717	319	232	1598	276	450	2324	5386	8247	417	889	328	237	1871	425	376	2672	5575
513322	5	empl.	92387	0	1214	1572	1942	4728	4968	6539	16235	76152	114800	0	1252	1727	2060	5039	5683	6195	16917	97883	130080	0	1500	1772	2497	5769	7364	6841	19974	110106	184106	0	1510	2081	2974	6565	7833	7188	21586	162520	174165	0	1865	2077	2618	6560	8349	6970	21879	152286
513322	5	ann. pay.	4373742	27262	37582	41100	61628	167572	155047	346163	668782	3704960	5042845	44598	37411	48432	73140	203581	240923	277422	721926	4320919	7631105	50444	47381	70409	84725	252959	358832	451160	1062951	6568154	9880236	32653	49989	69843	97835	250320	345765	336582	932667	8947569	8708747	21572	52543	63489	86607	224211	398294	360326	982831	7725916
513322	5	rec.																																									72787495	135733	324502	337851	383941	1182027	2306281	1813602	5301910	67485585
513330	5	firms	1664	354	614	249	156	1373	192	65	1630	34	1709	351	665	242	164	1422	171	75	1668	41	1794	368	695	253	168	1484	186	67	1737	57	1791	332	705	248	202	1487	179	62	1728	63	2237	412	945	335	220	1912	208	55	2175	62
513330	5	estab.	2083	357	616	249	160	1382	253	167	1802	281	2208	352	665	245	167	1429	236	171	1836	372	2458	370	696	255	169	1490	244	139	1873	585	2475	339	706	248	206	1499	219	102	1820	655	3060	416	945	346	250	1957	296	89	2342	718
513330	5	empl.	41232	0	1254	1607	2134	4995	8022	10891	23908	17324	43600	0	1352	1617	2229	5198	7011	12234	24443	19157	54587	0	1470	1694	2224	5388	7870	10291	23549	31038	59941	0	1490	1635	2733	5858	7547	10671	24076	35865	49808	0	1988	2213	2982	7183	8169	8339	23691	26117
513330	5	ann. pay.	1698084	38338	39361	61447	95808	234954	312375	366517	913846	784238	2167477	36546	46946	80241	111042	274775	422135	615629	1312539	854938	3341749	72916	58493	70834	93416	295659	409856	934855	1640370	1701379	3217934	39262	52955	59335	118091	269643	352222	558851	1180716	2037218	2666336	32807	69939	79656	116265	298667	404605	404271	1107543	1558793
513330	5	rec.																																									15577521	195558	505146	636499	880247	2217450	2195267	2299749	6712466	8865055
513340	5	firms	418	59	139	55	66	319	55	20	394	24	474	100	161	67	48	376	48	22	446	28	512	92	187	68	53	400	56	22	478	34	528	95	185	68	70	418	51	25	494	34	567	84	236	75	54	449	67	23	539	28
513340	5	estab.	679	61	139	57	67	324	74	85	483	196	791	100	161	69	49	379	58	55	492	299	728	92	188	68	54	402	70	50	522	206	737	95	185	76	76	432	52	69	553	184	746	84	237	78	57	456	81	75	612	134
513340	5	empl.	11818	0	276	379	875	1530	2270	3725	7525	4293	17608	0	337	445	663	1445	2014	3592	7051	10557	21252	0	384	452	720	1556	2033	3714	7303	13949	21259	0	398	441	934	1773	1920	4342	8035	13224	16001	0	467	489	714	1670	2672	3646	7988	8013
513340	5	ann. pay.	781838	8016	10591	17666	38350	74623	132501	285616	492740	289098	1235099	9937	15610	23257	29612	78416	108849	242646	429911	805188	1680417	20908	14705	18112	30241	83966	133962	323080	541008	1139409	1491568	4642	15605	21281	37781	79309	110057	293143	482509	1009059	1052506	4752	19971	20844	27729	73296	167783	238063	479142	573364
513340	5	rec.																																									6419151	31896	123276	114679	329231	599082	822784	2034311	3456177	2962974
513390	5	firms	740	196	337	102	47	682	31	12	725	15	888	232	401	109	68	810	46	16	872	16	1044	232	472	148	84	936	63	21	1020	24	1074	217	476	155	93	941	79	28	1048	26	825	164	381	102	74	721	55	23	799	26
513390	5	estab.	863	196	337	102	49	684	35	25	744	119	1219	232	401	109	69	811	54	21	886	333	1376	232	472	148	85	937	70	27	1034	342	1418	217	476	155	96	944	84	33	1061	357	1015	164	381	102	75	722	60	39	821	194
513390	5	empl.	7274	0	659	673	579	1911	1247	1184	4342	2932	8934	0	795	717	870	2382	1667	2368	6417	2517	16929	0	946	987	1104	3037	2348	2923	8308	8621	18907	0	981	994	1212	3187	2953	4008	10148	8759	13417	0	770	686	978	2434	1792	2317	6543	6874
513390	5	ann. pay.	448344	13714	21762	23535	18798	77809	68875	56842	203526	244818	468507	17167	26841	28029	36437	108474	79387	90573	278434	190073	1330069	33280	37831	43778	53704	168593	147384	221054	537031	793038	1201951	53479	30913	38070	43489	165951	144866	229805	540622	661329	848062	9280	27813	24987	44692	106772	87825	115239	309836	538226
513390	5	rec.																																									3148731	43109	161262	101162	175665	481198	234041	595185	1310424	1838307
514110	5	firms	285	42	121	39	19	221	28	13	262	23	324	61	128	41	22	252	35	10	297	27	324	45	138	46	26	255	35	10	300	24	300	46	126	39	22	233	31	11	275	25	311	48	143	38	23	252	29	7	288	23
514110	5	estab.	516	42	122	41	26	231	48	60	339	177	564	61	129	43	28	261	54	56	371	193	567	45	139	47	36	267	68	45	380	187	540	46	129	39	28	242	51	19	312	228	543	48	143	39	26	256	55	38	349	194
514110	5	empl.	9920	0	219	269	231	719	937	2080	3736	6184	11363	0	255	266	264	785	1291	1700	3776	7587	11283	0	266	304	317	887	1393	1940	4220	7063	12205	0	249	254	290	793	1035	1517	3345	8860	10158	0	254	258	311	823	1015	1201	3039	7119
514110	5	ann. pay.	521746	2955	19474	9646	9233	41308	46563	138069	225940	295806	612001	2478	14454	10853	10015	37800	60572	119301	217673	394328	647566	3402	16210	14053	12258	45923	81064	158024	285011	362555	679652	11661	17286	9265	10959	49171	58719	75480	183370	496282	584239	1565	28025	8937	17960	56487	59137	62882	178506	405733
514110	5	rec.																																									1761716	8456	60980	24719	43672	137827	135836	185936	459599	1302117
514120	5	firms	2027	88	1081	396	229	1794	202	21	2017	10	2298	118	1145	476	274	2013	246	28	2287	11	2461	157	1207	475	318	2157	257	33	2447	14	2435	118	1181	503	326	2128	253	35	2416	19	2546	257	1140	505	324	2226	274	29	2529	17
514120	5	estab.	2320	92	1081	398	241	1812	315	77	2204	116	2590	122	1145	478	285	2030	358	84	2472	118	2754	161	1207	477	329	2174	369	89	2632	122	2725	122	1181	505	337	2145	365	90	2600	125	2875	257	1140	507	336	2240	428	84	2752	123
514120	5	empl.	24111	0	2293	2595	3015	7903	7281	3444	18628	5483	31031	0	2388	3122	3648	9158	9097	5271	23526	7505	33765	0	2596	3110	4205	9911	9686	6214	25811	7954	36129	0	2522	3269	4336	10127	9471	6244	25842	10287	33611	0	2504	3302	4304	10110	10379	5796	26285	7326
514120	5	ann. pay.	416271	1312	25469	30448	42072	99301	125804	70156	295261	121010	565849	10209	27333	38589	55169	131300	162951	107729	401980	163869	679348	8722	32321	43289	68893	153225	193235	130544	477004	202344	919946	5595	32682	45362	73041	156680	191731	152055	500466	419480	723830	10118	33673	44336	71669	159796	227099	129378	516273	207557
514120	5	rec.																																									1750414	35333	117225	118702	174874	446134	553378	299696	1299208	451206
514191	5	firms	4915	1252	1762	793	517	4324	406	82	4812	103	7099	2631	2170	919	620	6340	521	114	6975	124	9335	2564	3070	1397	981	8012	940	220	9172	163	8450	1516	3307	1322	933	7078	942	245	8265	185	7627	1384	3250	1187	791	6612	673	165	7450	177
514191	5	estab.	5289	1262	1762	798	522	4344	446	118	4908	381	7714	2651	2170	921	632	6374	549	225	7148	566	10257	2566	3075	1404	996	8041	978	319	9338	919	9608	1517	3310	1326	943	7096	989	387	8472	1136	8594	1384	3251	1191	817	6643	760	290	7693	901
514191	5	empl.	78792	0	3845	5239	6992	16076	14352	10447	40875	37917	98875	0	4649	6059	8288	18996	18793	16238	54027	44848	177284	0	6711	9142	13131	28984	37296	35686	101966	75318	202142	0	6980	8691	12422	28093	37327	39515	104935	97207	149083	0	6744	7785	10380	24909	24368	22142	71419	77664
514191	5	ann. pay.	5005347	110895	115309	149077	235646	610927	613577	524996	1749500	3255847	12815807	514089	192909	238739	333008	1278745	1060043	1352510	3691298	9124509	15690136	407729	330566	457460	704091	1899846	2514239	3351589	7765674	7924462	14409578	155677	252515	322121	545975	1276288	1959516	2524360	5760164	8649414	9255507	122589	245448	297396	458520	1123953	1409374	1480513	4013840	5241667
514191	5	rec.																																									33431245	489513	1122804	1025103	1388984	4026404	4058581	4068592	12153577	21277668
514199	5	firms	277	48	117	32	23	220	26	17	263	14	309	64	128	37	24	253	19	17	289	20	499	145	170	51	59	425	33	17	475	24	502	63	198	67	57	385	72	21	478	24	1048	215	471	137	80	903	85	36	1024	24
514199	5	estab.	358	48	117	35	24	224	33	51	308	50	397	64	128	41	27	260	24	53	337	60	561	153	170	56	62	441	40	27	508	53	564	64	198	67	65	394	81	38	513	51	1191	217	471	138	93	919	122	99	1140	51
514199	5	empl.	6151	0	213	200	320	733	871	1729	3333	2818	7969	0	246	238	292	776	859	1549	3184	4785	10121	0	370	341	779	1490	1316	2180	4986	5135	11592	0	419	447	739	1605	2730	2533	6868	4724	15329	0	906	884	1053	2843	3076	4834	10753	4576
514199	5	ann. pay.	607397	2120	7289	7461	11919	28789	46573	440917	516279	91118	2478975	4431	7762	11072	10481	33746	170910	158386	363042	2115933	2005879	61249	15845	24165	50613	151872	56079	210969	418920	1586959	699911	14054	21088	18949	37868	91959	155008	154800	401767	298144	1108131	11505	32680	38283	51892	134360	178431	331582	644373	463758
514199	5	rec.																																									3296418	54228	123837	125468	228343	531876	414344	1255464	2201684	1094734
514210	5	firms	4756	787	1840	619	471	3717	633	204	4554	202	4879	710	2063	614	450	3837	628	207	4672	207	5057	827	2032	645	466	3970	671	209	4850	207	4667	600	1923	609	479	3611	638	212	4461	206	5679	843	2431	703	558	4535	689	236	5460	219
514210	5	estab.	8308	787	1842	624	483	3736	698	417	4851	3457	8914	714	2064	616	468	3862	687	371	4920	3994	9036	831	2036	649	479	3995	729	383	5107	3929	9288	602	1926	612	494	3634	705	358	4697	4591	11077	843	2432	706	590	4571	852	441	5864	5213
514210	5	empl.	267526	0	3546	4052	6294	13892	24366	27607	65865	201661	282984	0	4015	4011	6108	14134	24107	28176	66417	216567	296578	0	3947	4201	6258	14406	26839	28915	70160	226418	317541	0	3726	3992	6506	14224	25148	29996	69368	248173	331156	0	4712	4692	7537	16941	26142	26989	70072	261084
514210	5	ann. pay.	10690842	42503	128948	140691	214485	526627	834490	994154	2355271	8335571	12751228	53526	155072	147760	233879	590237	869429	1162706	2622372	10128856	14521219	140164	157997	159464	257690	715315	1128227	1649966	3493508	11027711	15488230	56087	143430	154258	278781	632556	1054752	1321715	3009023	12479207	16500827	74653	181320	194892	322047	772912	1153462	1258343	3184717	13316110
514210	5	rec.																																									50670642	299224	614805	566511	783618	2264158	2789656	3164202	8218016	42452626
521110	5	firms	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12	17	4	0	1	0	5	0	0	5	12	23	5	2	1	0	8	0	2	10	13	27	2	6	1	4	13	1	1	15	12	12	0	0	0	0	0	0	0	0	12
521110	5	estab.	41	0	0	0	0	0	0	0	0	41	46	4	0	1	0	5	0	0	5	41	62	5	2	1	0	8	0	12	20	42	74	2	6	1	4	13	1	3	17	57	58	0	0	0	0	0	0	0	0	58
521110	5	empl.	21456	0	0	0	0	0	0	0	0	21456	22329	[a]	0	[a]	0	[a]	0	0	[a]	[j]	22337	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [a]	0	         [e]	         [e]	         [j]	23552	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [j]	23367	0	0	0	0	0	0	0	0	23367
521110	5	ann. pay.	963924	0	0	0	0	0	0	0	0	963924	1018731	(D)	0	(D)	0	(D)	0	0	(D)	(D)	1083947	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	1234656	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1304200	0	0	0	0	0	0	0	0	1304200
521110	5	rec.																																									28909454	0	0	0	0	0	0	0	0	28909454
522110	5	firms	7920	206	202	568	1660	2636	3995	998	7629	291	7717	189	214	554	1581	2538	3910	991	7439	278	7594	161	211	558	1531	2461	3855	1002	7318	276	7419	144	192	526	1460	2322	3799	1025	7146	273	7201	124	166	495	1385	2170	3601	1138	6909	292
522110	5	estab.	72956	206	205	601	2004	3016	10227	9610	22853	50103	72481	203	226	579	1916	2924	9745	9871	22540	49941	73938	161	226	580	1819	2786	9280	9897	21963	51975	75768	144	193	551	1740	2628	8943	10513	22084	53684	80417	144	167	522	1784	2617	10357	12195	25169	55248
522110	5	empl.	1483498	0	505	4186	23408	28099	172725	176927	377751	1105747	1493571	0	489	4094	22267	26850	171046	176261	374157	1119414	1492834	0	489	4094	21639	26222	169539	178800	374561	1118273	1603194	0	451	3899	20730	25080	167641	185271	377992	1225202	1630036	0	378	3681	19961	24020	157200	194969	376189	1253847
522110	5	ann. pay.	57390813	42902	30037	139209	698501	910649	5026962	6035609	11973220	45417593	61512400	38011	34535	144023	695182	911751	5136944	6061023	12109718	49402682	63623909	53724	30992	145524	713448	943688	5295141	6406335	12645164	50978745	69163105	24552	29659	141417	741412	937040	5496885	6955513	13389438	55773667	69817139	164161	26055	138698	713279	1042193	5475483	7417803	13935479	55881660
522110	5	rec.																																									474858616	1002263	175862	783334	3832721	5794180	30594479	46162461	82551120	392307496
522120	5	firms	1836	27	74	150	245	496	817	340	1653	183	1732	23	67	131	246	467	755	331	1553	179	1642	20	65	119	234	438	730	319	1487	155	1571	13	53	111	226	403	703	314	1420	151	1506	11	49	102	212	374	663	320	1357	149
522120	5	estab.	16861	27	74	154	327	582	2662	3733	6977	9884	15934	23	68	134	317	542	2410	3595	6547	9387	15881	20	65	122	301	508	2293	3409	6210	9671	15743	13	53	114	288	468	2167	3327	5962	9781	17342	11	49	105	282	447	2283	3389	6119	11223
522120	5	empl.	258906	0	192	         [g]	         [h]	         [h]	         [k]	         [l]	100481	158425	253723	0	175	911	3492	4578	35545	57041	97164	156559	243586	         [a]	         [c]	826	3291	4273	34853	54736	93862	149724	253111	         [a]	         [c]	759	3231	4136	33098	52637	89871	163240	263257	0	130	683	3001	3814	31279	51894	86987	176270
522120	5	ann. pay.	9194476	5974	7176	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3241783	5952693	9131548	3792	5637	28369	112026	149824	1120536	1893584	3163944	5967604	9178711	         (D)	         (D)	27290	116308	155530	1137793	1883181	3176504	6002207	9820880	         (D)	         (D)	27464	122251	157466	1143857	1960596	3261919	6558961	10657084	2772	5714	25258	114678	148422	1126055	2010241	3284718	7372366
522120	5	rec.																																									81369398	14430	40210	176594	728776	960010	7383428	12789857	21133295	60236103
522130	5	firms	9723	54	4606	1935	1251	7846	1505	345	9696	27	9528	61	4368	1897	1259	7585	1544	370	9499	29	9417	99	4179	1842	1297	7417	1568	395	9380	37	9165	89	3951	1791	1279	7110	1600	417	9127	38	8872	61	3703	1771	1252	6787	1601	441	8829	43
522130	5	estab.	15521	57	4615	2026	1721	8419	3993	2624	15036	485	15474	70	4377	1978	1695	8120	4006	2812	14938	536	15573	100	4184	1914	1701	7899	3966	3089	14954	619	15543	92	3956	1866	1644	7558	3947	3384	14889	654	16303	61	3705	1851	1718	7335	4530	3678	15543	760
522130	5	empl.	176166	0	10929	12678	17088	40695	63019	58154	161868	14298	184152	0	10403	12388	16995	39786	64466	64296	168548	15604	192277	0	10050	11976	17629	39655	65923	68844	174422	17855	200406	0	9538	11738	17332	38608	67362	74399	180369	20037	210780	0	8995	11657	17018	37670	68087	79944	185701	25079
522130	5	ann. pay.	4489743	3428	208748	290726	410308	913210	1609236	1579568	4102014	387729	4911741	6851	199314	291135	427004	924304	1701326	1832390	4458020	453721	5374744	11420	199352	292088	456292	959152	1808928	2060342	4828422	546322	5956780	3555	199607	294919	467402	965483	1965712	2402448	5333643	623137	6761758	4112	192552	301417	477344	975425	2038688	2978680	5992793	768965
522130	5	rec.																																									36523131	23038	982410	1564689	2542298	5112435	10641484	15649524	31403443	5119688
522190	5	firms	31	3	4	3	6	16	4	6	26	5	59	16	5	4	6	31	12	3	46	13	78	23	15	9	4	51	10	5	66	12	80	18	19	7	11	55	8	7	70	10	125	23	42	11	20	96	12	8	116	9
522190	5	estab.	49	3	4	3	6	16	7	19	42	7	156	16	5	4	6	31	48	18	97	59	176	23	15	9	4	51	13	47	111	65	177	18	19	7	11	55	8	52	115	62	224	23	42	11	22	98	29	41	168	56
522190	5	empl.	1865	0	11	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [c]	461	1404	5745	0	[a]	[b]	88	126	501	267	894	4851	5971	         [a]	         [b]	         [b]	56	144	319	255	718	5253	5809	         [a]	         [b]	         [b]	168	263	231	542	1036	4773	6020	0	82	69	276	427	433	546	1406	4614
522190	5	ann. pay.	132605	33	170	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	26610	105995	326442	1507	(D)	(D)	5819	8603	22684	14283	45570	280872	372469	         (D)	         (D)	         (D)	3239	7395	15053	9601	32049	340420	399595	         (D)	         (D)	         (D)	8653	13454	9806	27700	50960	348635	425214	970	3184	1786	12071	18011	20231	29336	67578	357636
522190	5	rec.																																									1741074	7748	18070	6149	53989	85956	90189	115905	292050	1449024
522210	5	firms	154	20	28	16	9	73	24	12	109	45	170	17	37	12	12	78	22	15	115	55	186	22	46	12	15	95	20	19	134	52	190	27	50	18	7	102	21	12	135	55	216	29	61	23	13	126	24	18	168	48
522210	5	estab.	700	20	28	16	9	73	39	16	128	572	761	17	37	12	13	79	32	25	136	625	778	22	46	12	17	97	27	31	155	623	830	27	50	18	8	103	30	21	154	676	787	29	61	23	14	127	36	28	191	596
522210	5	empl.	45972	0	54	105	127	286	609	791	1686	44286	58877	0	90	75	162	327	560	1398	2285	56592	67950	0	102	75	196	373	580	1843	2796	65154	72133	0	107	102	93	302	663	1123	2088	70045	68936	0	128	137	160	425	740	1730	2895	66041
522210	5	ann. pay.	1449178	1341	1753	5722	5801	14617	26137	21058	61812	1387366	1949973	1155	2781	2375	6739	13050	22097	38478	73625	1876348	2530658	3237	4207	4033	6155	17632	22851	106236	146719	2383939	3186359	1065	3856	6043	4645	15609	25359	65128	106096	3080263	2645356	3656	4525	4940	4920	18041	30076	97922	146039	2499317
522210	5	rec.																																									35938169	46113	21077	18843	33580	119613	299292	1025557	1444462	34493707
522220	5	firms	3198	399	1448	455	242	2544	256	139	2939	259	3089	344	1445	434	233	2456	253	129	2838	251	3043	386	1423	420	216	2445	241	118	2804	239	2960	317	1432	405	227	2381	228	121	2730	230	3021	368	1464	393	207	2432	236	126	2794	227
522220	5	estab.	7610	399	1450	474	265	2588	368	324	3280	4330	7814	356	1452	445	255	2508	346	232	3086	4728	7429	388	1428	428	237	2481	317	249	3047	4382	7493	317	1439	414	247	2417	294	276	2987	4506	7395	368	1464	409	233	2474	347	372	3193	4202
522220	5	empl.	140247	0	2973	2923	3090	8986	7801	8925	25712	114535	153547	0	2987	2792	2956	8735	8020	8019	24774	128773	154144	0	2907	2696	2704	8307	7507	7365	23179	130965	160546	0	2928	2577	2918	8423	6743	8049	23215	137331	161273	0	3002	2514	2710	8226	6865	8557	23648	137625
522220	5	ann. pay.	6861074	24015	104858	120946	127692	377511	377126	376816	1131453	5729621	8171132	21268	109955	126617	135022	392862	406341	419936	1219139	6951993	8811694	45511	118648	130007	130994	425160	369396	403043	1197599	7614095	9375342	15397	122883	116511	157780	412571	375929	450502	1239002	8136340	8906253	18796	127866	124445	144920	416027	365918	462225	1244170	7662083
522220	5	rec.																																									107571581	164052	883060	744145	752706	2543963	2153602	4492458	9190023	98381558
522291	5	firms	3981	458	2254	610	232	3554	210	104	3868	113	3946	483	2160	644	238	3525	220	93	3838	108	4094	556	2206	656	255	3673	224	96	3993	101	4157	454	2365	625	276	3720	243	100	4063	94	4409	626	2373	648	294	3941	246	113	4300	109
522291	5	estab.	15165	460	2263	688	432	3843	998	876	5717	9448	12375	484	2171	712	418	3785	922	1014	5721	6654	13055	556	2215	725	419	3915	952	1000	5867	7188	13399	455	2375	693	419	3942	988	1201	6131	7268	14180	626	2389	718	577	4310	1224	1372	6906	7274
522291	5	empl.	106255	0	5169	3793	3012	11974	6441	7060	25475	80780	89756	0	4987	4076	3118	12181	7176	7252	26609	63147	93272	0	5021	4140	3326	12487	7572	8766	28825	64447	95462	0	5362	3932	3688	12982	8200	9279	30461	65001	98480	0	5261	4098	3781	13140	7986	8874	30000	68480
522291	5	ann. pay.	3525041	27754	120878	98352	87458	334442	180189	228583	743214	2781827	3223839	19236	119441	100426	93472	332575	229870	232374	794819	2429020	3762150	112788	127688	105868	99686	446030	212981	296452	955463	2806687	4133623	19242	140168	114413	123044	396867	229449	308832	935148	3198475	4094820	42857	168409	119546	132617	463429	256104	269722	989255	3105565
522291	5	rec.																																									30518128	233492	892264	469535	479504	2074795	1260429	1347851	4683075	25835053
522292	5	firms	7699	1748	2732	1126	777	6383	787	311	7481	218	8892	1374	3542	1441	988	7345	978	321	8644	248	8794	1457	3799	1378	853	7487	790	296	8573	221	9005	1627	3881	1405	843	7756	767	277	8800	205	9804	1939	4127	1467	905	8438	840	322	9600	204
522292	5	estab.	16207	1749	2741	1150	873	6513	1361	1436	9310	6897	20501	1378	3552	1490	1089	7509	1608	1528	10645	9856	19805	1471	3841	1437	965	7714	1253	1470	10437	9368	19799	1633	3893	1468	929	7923	1236	1476	10635	9164	21938	1943	4136	1515	1005	8599	1557	1700	11856	10082
522292	5	empl.	203863	0	5832	7476	10296	23604	28335	32648	84587	119276	274561	0	7581	9450	13086	30117	36404	36461	102982	171579	237675	0	7881	8978	11234	28093	27245	29813	85151	152524	251485	0	8079	9139	11184	28402	26685	26330	81417	170068	267346	0	8665	9606	11861	30132	30229	31989	92350	174996
522292	5	ann. pay.	10486251	119428	237670	319372	480840	1157310	1381595	1657153	4196058	6290193	12495647	76178	256398	335146	504080	1171802	1491204	1585724	4248730	8246917	10840819	114763	269403	330295	469037	1183498	1150500	1295101	3629099	7211720	14800815	105509	346524	462340	621469	1535842	1555027	1674532	4765401	10035414	17653080	157497	404894	502353	694829	1759573	1824626	2108325	5692524	11960556
522292	5	rec.																																									77049174	708475	1646592	1487075	1981867	5824009	5115155	6928297	17867461	59181713
522293	5	firms	138	19	35	17	15	86	22	10	118	20	174	60	41	18	10	129	18	7	154	20	233	67	95	23	11	196	14	8	218	15	319	87	147	31	15	280	17	6	303	16	407	75	239	43	19	376	10	5	391	16
522293	5	estab.	193	19	35	17	15	86	24	11	121	72	225	60	41	18	10	129	20	7	156	69	292	67	95	24	11	197	15	8	220	72	376	87	147	31	15	280	18	6	304	72	464	75	239	43	19	376	11	5	392	72
522293	5	empl.	4538	0	78	109	192	379	604	860	1843	2695	3968	0	76	110	127	313	563	380	1256	2712	3957	0	184	147	148	479	448	384	1311	2646	4537	0	272	183	184	639	542	469	1650	2887	4889	0	458	240	240	938	264	518	1720	3169
522293	5	ann. pay.	333381	1008	5161	8096	11841	26106	42895	56414	125415	207966	322299	1445	3719	7003	9888	22055	34182	29886	86123	236176	357364	3078	7129	8161	10305	28673	24471	33881	87025	270339	419919	2666	11100	7492	12064	33322	30259	49450	113031	306888	456255	1779	17357	14454	14011	47601	13844	49825	111270	344985
522293	5	rec.																																									4656038	38788	239268	232095	677230	1187381	131535	214112	1533028	3123010
522294	5	firms	185	36	77	19	14	146	10	14	170	15	214	72	89	16	10	187	8	10	205	9	241	68	114	17	12	211	14	8	233	8	216	56	109	13	10	188	14	8	210	6	302	64	149	33	14	260	19	8	287	15
522294	5	estab.	286	36	77	19	16	148	17	55	220	66	307	72	89	16	11	188	15	47	250	57	302	68	114	17	12	211	22	41	274	28	277	56	109	13	10	188	22	42	252	25	425	64	149	34	14	261	24	45	330	95
522294	5	empl.	13043	0	144	137	205	486	389	1789	2664	10379	10803	0	172	110	133	415	386	1580	2381	8422	11572	0	221	115	155	491	592	1277	2360	9212	10846	0	216	84	135	435	620	1498	2553	8293	12548	0	277	221	192	690	778	1217	2685	9863
522294	5	ann. pay.	1063096	2548	4482	5670	7627	20327	23832	86102	130261	932835	1004515	4676	6763	4842	6423	22704	23444	79068	125216	879299	1145980	3813	6605	5692	6218	22328	39491	66921	128740	1017240	1182316	5347	7161	4436	6877	23821	50996	75598	150415	1031901	1327023	3295	9424	10596	14179	37494	53917	87413	178824	1148199
522294	5	rec.																																									96922695	46633	88420	167294	317698	620045	625502	478398	1723945	95198750
522298	5	firms	5608	594	3325	958	345	5222	234	76	5532	76	5440	547	3220	924	362	5053	234	69	5356	84	5446	525	3250	932	358	5065	232	64	5361	85	5469	578	3222	948	342	5090	236	63	5389	80	5580	546	3380	914	374	5214	216	64	5494	86
522298	5	estab.	7889	594	3341	1001	476	5412	658	353	6423	1466	7628	558	3240	978	469	5245	577	297	6119	1509	7626	525	3275	986	464	5250	554	250	6054	1572	7659	581	3241	997	460	5279	532	261	6072	1587	7837	546	3400	969	531	5446	538	318	6302	1535
522298	5	empl.	51611	0	7139	6118	4469	17726	8043	8095	33864	17747	53289	0	6973	5857	4624	17454	7771	6884	32109	21180	52333	0	6985	5936	4594	17515	7880	6901	32296	20037	51360	0	6946	6035	4349	17330	8253	7201	32784	18576	48127	0	7164	5837	4737	17738	6927	6439	31104	17023
522298	5	ann. pay.	1908462	16716	142626	151687	127501	438530	295553	386896	1120979	787483	2004456	19393	140549	144771	129981	434694	317330	329854	1081878	922578	2142855	24471	150969	149894	127487	452821	298013	348660	1099494	1043361	2112563	18173	155425	162466	119505	455569	373666	376735	1205970	906593	2039746	49686	174879	163334	149575	537474	290702	348831	1177007	862739
522298	5	rec.																																									18543094	103923	1139326	631197	665329	2539775	1587599	7652099	11779473	6763621
522310	5	firms	9535	1857	4280	1573	967	8677	693	91	9461	74	10191	2008	4626	1660	1008	9302	712	105	10119	72	10077	1831	5045	1602	879	9357	556	92	10005	72	11364	2495	5469	1752	951	10667	536	96	11299	65	13133	2743	6276	1994	1163	12176	755	119	13050	83
522310	5	estab.	10954	1862	4293	1628	1093	8876	1106	393	10375	579	11363	2015	4638	1693	1118	9464	1057	359	10880	483	11030	1863	5079	1656	988	9586	816	262	10664	366	12236	2500	5508	1800	1049	10857	705	311	11873	363	14774	2757	6295	2056	1379	12487	1316	568	14371	403
522310	5	empl.	70183	0	9184	10361	12751	32296	23556	7984	63836	6347	75954	0	9859	10693	13387	33939	24257	10111	68307	7647	66542	0	10387	10421	11479	32287	19517	7001	58805	7737	70314	0	11363	11358	12474	35195	19041	8211	62447	7867	87429	0	12779	13073	15194	41046	26584	12969	80599	6830
522310	5	ann. pay.	3338246	88927	386004	448722	581816	1505469	1099163	415147	3019779	318467	2953779	99048	326953	365527	487096	1278624	883975	411199	2573798	379981	2701524	79905	353833	362728	431035	1227501	762632	318380	2308513	393011	3978491	150271	505893	535059	671412	1862635	1060660	465734	3389029	589462	5067844	192114	578195	659632	854363	2284304	1484454	791064	4559822	508022
522310	5	rec.																																									13590879	695148	2196247	1836711	2024820	6752926	3596849	1796152	12145927	1444952
522320	5	firms	821	129	311	117	77	634	91	47	772	49	834	124	342	102	75	643	90	48	781	53	896	131	381	110	79	701	92	45	838	58	1028	145	447	140	89	821	104	47	972	56	1284	253	544	143	104	1044	119	61	1224	60
522320	5	estab.	1273	129	311	121	95	656	149	119	924	349	1294	124	342	106	87	659	134	143	936	358	1475	138	381	114	89	722	151	124	997	478	1570	146	451	144	101	842	173	155	1170	400	2083	253	545	146	148	1092	187	396	1675	408
522320	5	empl.	51171	         [a]	         [f]	753	1062	2438	3435	7097	12970	38201	58293	0	708	650	1020	2378	3621	8005	14004	44289	62973	0	801	697	1078	2576	3545	7081	13202	49771	67064	0	917	911	1195	3023	4048	6923	13994	53070	70520	0	1097	936	1333	3366	4826	8312	16504	54016
522320	5	ann. pay.	1932085	         (D)	         (D)	21492	37171	91912	109663	249266	450841	1481244	2361061	13831	21570	21348	41115	97864	134753	296808	529425	1831636	2929034	30086	25284	30699	42088	128157	153781	264518	546456	2382578	3404220	16050	29773	41186	38580	125589	154381	275758	555728	2848492	3421542	25728	33400	37924	50188	147240	202358	427348	776946	2644596
522320	5	rec.																																									35032666	103590	241179	166497	266158	777424	1038782	16892939	18709145	16323521
522390	5	firms	4441	680	2116	724	353	3873	324	114	4311	130	4115	432	2111	730	360	3633	290	92	4015	100	4084	448	2032	782	361	3623	277	94	3994	90	4208	475	2066	827	374	3742	277	100	4119	89	4153	426	2091	764	393	3674	284	97	4055	98
522390	5	estab.	7495	701	2139	772	541	4153	1067	744	5964	1531	7494	432	2127	790	493	3842	933	741	5516	1978	8919	455	2044	843	488	3830	797	685	5312	3607	9894	480	2080	877	505	3942	872	778	5592	4302	11991	440	2100	822	655	4017	1352	1144	6513	5478
522390	5	empl.	80952	         [a]	         [h]	4632	4618	14106	12181	11507	37794	43158	64517	0	4756	4707	4696	14159	10720	8262	33141	31376	68104	0	4530	5007	4684	14221	10031	9405	33657	34447	71358	0	4671	5428	4918	15017	10112	10372	35501	35857	76443	0	4690	4993	5104	14787	10034	9578	34399	42044
522390	5	ann. pay.	2938445	         (D)	         (D)	117667	133181	402802	403504	405659	1211965	1726480	2215580	17912	114156	120201	129371	381640	307428	266579	955647	1259933	2288052	18545	111055	136768	130555	396923	294449	308800	1000172	1287880	2513357	19694	120228	154264	149028	443214	340319	350422	1133955	1379402	2988167	26505	119855	145840	167479	459679	388234	366364	1214277	1773890
522390	5	rec.																																									15895439	162302	502237	463235	482829	1610603	1287978	2111783	5010364	10885075
523110	5	firms	2838	503	1282	291	214	2290	278	110	2678	160	2817	443	1378	307	196	2324	248	98	2670	147	2785	471	1322	326	181	2300	239	104	2643	142	2750	432	1337	319	192	2280	240	103	2623	127	2826	492	1381	303	192	2368	231	98	2697	129
523110	5	estab.	7105	504	1290	316	236	2346	412	267	3025	4080	5862	445	1385	326	217	2373	323	205	2901	2961	6304	473	1327	344	199	2343	300	214	2857	3447	6995	440	1341	332	212	2325	291	237	2853	4142	7056	492	1393	321	218	2424	318	253	2995	4061
523110	5	empl.	164073	0	2447	1872	2816	7135	10032	14200	31367	132706	129555	0	2633	2001	2627	7261	9221	12075	28557	100998	138487	0	2467	2104	2409	6980	8558	12900	28438	110049	172729	0	2546	2064	2536	7146	8484	13779	29409	143320	164887	0	2602	1953	2422	6977	7886	12126	26989	137898
523110	5	ann. pay.	26179962	135592	173448	181459	352972	843471	1264434	1813277	3921182	22258780	23698273	84235	196338	253452	297272	831297	1233220	1978310	4042827	19655446	31209402	110594	195006	225410	375004	906014	1252838	2352968	4511820	26697582	35168001	69385	192684	168989	321229	752287	1125739	2530182	4408208	30759793	27667148	71291	145137	166192	295856	678476	1046179	2325365	4050020	23617128
523110	5	rec.																																									90196247	400319	613347	562162	895765	2471593	2476696	6552971	11501260	78694987
523120	5	firms	8053	1001	4811	941	479	7232	459	164	7855	198	7930	880	4682	1040	503	7105	462	154	7721	209	7982	899	4547	1111	551	7108	516	160	7784	198	7768	745	4535	1117	539	6936	492	155	7583	185	7886	918	4637	1019	505	7079	439	179	7697	189
523120	5	estab.	23577	1001	4826	963	557	7347	689	560	8596	14981	26297	881	4695	1063	570	7209	699	547	8455	17842	29496	900	4567	1133	609	7209	753	552	8514	20982	30262	757	4548	1147	602	7054	715	447	8216	22046	32792	918	4652	1046	574	7190	706	638	8534	24258
523120	5	empl.	273692	0	9136	6016	6203	21355	16442	18097	55894	217798	340409	0	9076	6631	6710	22417	17155	16392	55964	284445	377665	0	8908	7116	7228	23252	19313	17147	59712	317953	381118	0	8890	7154	6965	23009	18395	14686	56090	325028	443173	0	9015	6482	6670	22167	15827	13790	51784	391389
523120	5	ann. pay.	29825689	73037	391775	379895	488277	1332984	1556023	1769340	4658347	25167342	37857014	111860	412839	471038	614552	1610289	1857442	1857919	5325650	32531364	47031272	130002	460913	519607	683801	1794323	2236163	2286529	6317015	40714257	47501487	128886	416508	466151	637693	1649238	1992737	1798178	5440153	42061334	47224938	63563	415842	438543	573056	1491004	1806129	1720296	5017429	42207509
523120	5	rec.																																									143492136	279836	1543047	1238645	1614074	4675602	4521394	4258265	13455261	130036875
523130	5	firms	618	113	301	77	39	530	42	17	589	29	609	115	327	56	32	530	41	12	583	26	634	106	349	70	35	560	36	14	610	24	706	122	382	77	38	619	48	16	683	23	848	209	437	82	40	768	39	14	821	27
523130	5	estab.	740	113	302	82	53	550	81	38	669	71	732	115	328	58	44	545	95	45	685	47	754	106	349	73	43	571	86	45	702	52	802	122	383	79	42	626	83	48	757	45	942	209	437	87	44	777	78	41	896	46
523130	5	empl.	6278	0	         [f]	         [f]	520	1603	1390	1173	4166	2112	5641	0	[f]	350	[e]	1452	1274	1258	3984	1657	6332	0	         [f]	449	         [e]	         [g]	         [g]	1032	3783	2549	6603	0	757	         [e]	         [e]	1739	1618	1505	4862	1741	7301	0	819	         [f]	         [f]	1861	1235	1438	4534	2767
523130	5	ann. pay.	455366	8648	         (D)	         (D)	26592	84347	72884	63777	221008	234358	436250	9528	(D)	14872	(D)	76954	65651	53487	196092	240158	582473	26302	         (D)	15531	         (D)	         (D)	         (D)	67645	231051	351422	640377	7778	29974	         (D)	         (D)	91481	122632	78016	292129	348248	588284	17362	38938	         (D)	         (D)	123091	85548	105189	313828	274456
523130	5	rec.																																									17855305	175881	319773	         (D)	         (D)	         (D)	792485	839017	2456591	15398714
523140	5	firms	1340	215	697	200	89	1201	83	18	1302	38	1329	192	722	205	81	1200	73	20	1293	36	1311	212	700	193	80	1185	74	20	1279	32	1280	178	706	186	93	1163	71	17	1251	29	1371	223	773	179	78	1253	69	23	1345	26
523140	5	estab.	1444	216	698	203	100	1217	102	41	1360	84	1610	195	724	212	85	1216	93	51	1360	250	1589	212	702	197	86	1197	95	53	1345	244	1531	178	709	186	100	1173	95	52	1320	211	1543	223	773	187	93	1276	94	61	1431	112
523140	5	empl.	13400	0	1416	1246	1136	3798	3042	1899	8739	4661	15678	0	1461	1304	1082	3847	2397	2422	8666	7012	16494	0	1439	1241	1070	3750	2530	2558	8838	7656	14854	0	1420	1167	1150	3737	2623	2032	8392	6462	12521	0	1519	1139	987	3645	2338	2450	8433	4088
523140	5	ann. pay.	892468	20699	86864	65958	67495	241016	193436	130792	565244	327224	1187478	26932	88543	73327	72184	260986	159756	158417	579159	608319	1425250	21900	87492	68129	69608	247129	165621	174520	587270	837980	1351106	15649	85171	69122	78428	248370	225118	143341	616829	734277	1189702	20268	100345	87030	76244	283887	204965	194901	683753	505949
523140	5	rec.																																									3860293	134435	493859	264523	385791	1278608	584143	550385	2413136	1447157
523210	5	firms	68	33	11	2	3	49	4	5	58	10	104	43	30	8	4	85	6	5	96	8	18	3	1	0	1	5	3	3	11	7	74	26	29	3	2	60	4	4	68	6	151	35	80	11	3	129	6	8	143	8
523210	5	estab.	82	33	11	2	3	49	4	13	66	16	118	43	32	8	4	87	6	9	102	16	30	3	1	0	1	5	3	3	11	19	86	26	29	3	2	60	4	8	72	14	173	36	80	11	3	130	6	18	154	19
523210	5	empl.	6647	0	         [a]	         [a]	49	78	192	1188	1458	5189	6952	0	[b]	57	[b]	170	166	1014	1350	5602	6808	0	         [a]	0	         [a]	         [a]	         [c]	725	853	5955	6531	0	51	         [a]	         [b]	95	128	1035	1258	5273	7302	0	144	         [b]	         [b]	251	157	1616	2024	5278
523210	5	ann. pay.	498989	25744	         (D)	         (D)	5320	31868	10154	66779	108801	390188	507967	5342	(D)	3276	(D)	17335	7105	65948	90388	417579	515608	106	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	48274	54347	461261	580888	2530	2339	         (D)	         (D)	6136	6641	75256	88033	492855	718873	4700	5991	         (D)	         (D)	16298	8381	141160	165839	553034
523210	5	rec.																																									3555191	15165	30321	         (D)	         (D)	         (D)	18969	478438	555155	3000036
523910	5	firms	6732	1224	4135	631	244	6234	196	96	6526	206	6545	1076	4056	641	253	6026	226	101	6353	192	6553	1089	4037	627	278	6031	243	99	6373	180	6381	885	4010	656	291	5842	262	104	6208	173	5756	786	3565	608	243	5202	235	111	5548	208
523910	5	estab.	6883	1224	4144	646	256	6270	215	117	6602	281	6704	1076	4063	659	267	6065	245	116	6426	278	6744	1098	4049	640	292	6079	266	109	6454	290	6575	885	4019	669	312	5885	284	114	6283	292	5972	786	3571	630	259	5246	263	125	5634	338
523910	5	empl.	25721	0	7141	3936	2865	13942	4375	3905	22222	3499	30986	0	7022	3991	3012	14025	5882	3900	23807	7179	34779	0	7156	3985	3467	14608	6333	5088	26029	8750	39454	0	7219	4143	3571	14933	7537	5713	28183	11271	33169	0	6471	3792	2854	13117	6145	3177	22439	10730
523910	5	ann. pay.	1796791	98095	330352	251113	199068	878628	263780	195492	1337900	458891	2249848	133812	339259	284417	228373	985861	378328	203465	1567654	682194	2950875	121309	354174	297541	312642	1085666	622970	248858	1957494	993381	3461220	78105	361335	304547	364193	1108180	716951	367147	2192278	1268942	3116559	53612	328130	278443	297857	958042	678655	363341	2000038	1116521
523910	5	rec.																																									12388956	328936	1730172	1061795	983926	4104829	2503309	1330671	7938809	4450147
523920	5	firms	10315	1711	5520	1424	706	9361	550	173	10084	231	10338	1437	5658	1504	751	9350	573	193	10116	222	10339	1420	5643	1501	784	9348	597	183	10128	211	10105	1217	5622	1477	809	9125	598	170	9893	212	9974	1262	5534	1405	755	8956	597	190	9743	231
523920	5	estab.	11334	1713	5544	1476	778	9511	671	269	10451	883	11378	1444	5681	1548	798	9471	705	292	10468	910	11625	1422	5665	1535	827	9449	727	265	10441	1184	11258	1217	5643	1510	860	9230	696	260	10186	1072	11307	1267	5552	1443	834	9096	769	296	10161	1146
523920	5	empl.	128676	0	10935	9106	9195	29236	17613	14117	60966	67710	140301	0	11212	9615	9673	30500	18194	15696	64390	75911	156178	0	11176	9677	10255	31108	19566	15574	66248	89930	171452	0	11076	9476	10557	31109	20316	15179	66604	104848	177502	0	10591	9148	9782	29521	19578	13255	62354	115148
523920	5	ann. pay.	16457265	134505	798895	1059654	1378907	3371961	2903813	2440615	8716389	7740876	18520613	149733	785093	1105514	1519396	3559736	3136737	2805749	9502222	9018391	24852708	303456	880354	1251248	1693202	4128260	3955249	4818136	12901645	11951063	23663148	88960	831214	1175330	1604375	3699879	4341724	3382379	11423982	12239166	20979756	105856	903721	1064615	1414335	3488527	3967127	3182074	10637728	10342028
523920	5	rec.																																									55531578	359575	2838270	2229232	3035049	8462126	8619444	5442074	22523644	33007934
523930	5	firms	8329	1907	4839	828	362	7936	225	54	8215	114	9480	2486	5229	899	404	9018	265	75	9358	122	11852	3241	6438	1121	470	11270	374	79	11723	129	15023	3668	8645	1390	617	14320	453	107	14880	143	17608	4314	10269	1533	635	16751	517	149	17417	191
523930	5	estab.	9185	1909	4848	860	382	7999	298	84	8381	804	10291	2491	5237	935	422	9085	319	119	9523	768	12794	3242	6450	1149	493	11334	437	127	11898	896	16023	3669	8660	1409	645	14383	545	161	15089	934	18840	4314	10284	1559	681	16838	641	232	17711	1129
523930	5	empl.	47218	0	8679	5243	4727	18649	7286	4046	29981	17237	53076	0	9406	5703	5276	20385	8060	5106	33551	19525	66166	0	11747	7146	6149	25042	12404	5794	43240	22926	83371	0	15509	8812	8071	32392	15197	7126	54715	28656	102956	0	18346	9693	8095	36134	15770	10164	62068	40888
523930	5	ann. pay.	4206377	149976	509758	383768	448371	1491873	843457	419863	2755193	1451184	5100765	210863	562711	448033	503362	1724969	863194	833301	3421464	1679301	6920489	417260	686089	505953	650287	2259589	1395769	1061315	4716673	2203816	8343278	305589	763306	593499	753387	2415781	1725817	1306542	5448140	2895138	9587391	320192	843998	651644	747701	2563535	1725956	1807641	6097132	3490259
523930	5	rec.																																									27100311	1098840	3119934	1673200	1794139	7686113	3996194	4944961	16627268	10473043
523991	5	firms	2647	451	1473	279	148	2351	122	48	2521	126	2512	350	1445	273	146	2214	130	51	2395	117	2485	343	1404	278	168	2193	126	55	2374	111	2327	271	1332	262	166	2031	131	50	2212	115	1944	228	1088	214	138	1668	120	49	1837	107
523991	5	estab.	3064	451	1477	285	162	2375	162	65	2602	462	2957	350	1451	277	153	2231	168	80	2479	478	3175	343	1407	282	176	2208	165	74	2447	728	2906	271	1336	264	172	2043	170	62	2275	631	2539	228	1088	216	147	1679	176	66	1921	618
523991	5	empl.	52997	0	2571	1795	1909	6275	4465	3180	13920	39077	50219	0	2556	1744	1864	6164	4518	3068	13750	36469	57433	0	2547	1787	2264	6598	4410	3968	14976	42457	64776	0	2427	1728	2220	6375	4568	3092	14035	50741	54004	0	1955	1374	1783	5112	3971	2666	11749	42255
523991	5	ann. pay.	2735001	40815	72876	59270	63655	236616	168422	155386	560424	2174577	2774198	28407	78711	68792	79368	255278	184296	115759	555333	2218865	3488442	29794	111408	80634	104601	326437	174587	191466	692490	2795952	3760086	16641	85589	84628	100406	287264	201131	133013	621408	3138678	3477320	17236	63479	57882	104286	242883	176512	239742	659137	2818183
523991	5	rec.																																									12093668	150231	347864	202618	363952	1064665	1072046	478517	2615228	9478440
523999	5	firms	428	99	235	39	15	388	13	11	412	16	357	49	218	37	13	317	10	10	337	20	368	43	219	39	20	321	13	12	346	22	437	76	236	50	23	385	17	17	419	18	469	61	297	39	15	412	19	21	452	17
523999	5	estab.	464	99	236	40	15	390	13	15	418	46	404	49	219	37	13	318	10	15	343	61	418	43	220	39	20	322	13	14	349	69	480	76	237	50	23	386	17	20	423	57	526	61	299	39	16	415	23	25	463	63
523999	5	empl.	5545	0	439	230	181	850	362	932	2144	3401	7244	0	394	242	164	800	305	1433	2538	4706	5880	0	421	250	259	930	484	1260	2674	3206	6172	0	438	314	315	1067	579	1784	3430	2742	6052	0	554	262	218	1034	558	2314	3906	2146
523999	5	ann. pay.	398006	10415	17340	10620	15605	53980	43126	76842	173948	224058	613156	1898	20662	21793	17102	61455	40095	120284	221834	391322	554837	2991	22216	21002	29821	76030	61872	129119	267021	287816	558495	7949	21523	19130	43198	91800	96450	151705	339955	218540	563159	11747	23555	20465	15510	71277	143351	175521	390149	173010
523999	5	rec.																																									1413644	30961	124816	62119	79446	297342	145526	485803	928671	484973
524113	5	firms	993	107	274	84	78	543	152	95	790	203	1038	71	330	96	85	582	149	93	824	214	1042	88	360	91	76	615	132	102	849	193	1030	69	379	101	77	626	135	94	855	175	1027	82	389	88	75	634	128	93	855	172
524113	5	estab.	11297	110	275	86	101	572	211	400	1183	10114	11234	72	332	105	104	613	185	319	1117	10117	10744	88	368	92	87	635	155	406	1196	9548	10563	69	380	103	85	637	176	284	1097	9466	9814	82	392	93	79	646	159	526	1331	8483
524113	5	empl.	550102	0	558	524	1039	2121	6172	14688	22981	527121	541331	0	639	598	1092	2329	6265	13510	22104	519227	491081	0	706	585	1003	2294	5200	14733	22227	468854	500045	0	738	646	1064	2448	5369	14017	21834	478211	478433	0	747	537	987	2271	5402	12940	20613	457820
524113	5	ann. pay.	24045031	10589	13768	15077	36666	76100	228055	636999	941154	23103877	25342368	1538	20727	18285	43558	84108	256344	627590	968042	24374326	25695398	3819	30664	20775	34857	90115	213566	716396	1020077	24675321	26858173	2428	21997	22695	41851	88971	232657	680974	1002602	25855571	24934806	2347	24699	23783	44569	95398	246443	640803	982644	23952162
524113	5	rec.																																									496749807	30318	234167	456644	489642	1210771	3746433	16441026	21398230	475351577
524114	5	firms	920	74	196	99	74	443	158	127	728	192	941	81	231	84	83	479	148	121	748	193	994	122	264	83	69	538	133	130	801	193	1019	129	289	86	69	573	135	121	829	190	934	108	242	102	61	513	126	109	748	186
524114	5	estab.	3387	74	196	100	76	446	190	247	883	2504	3238	82	231	84	85	482	173	228	883	2355	3128	122	264	84	69	539	157	205	901	2227	2976	129	289	86	69	573	155	194	922	2054	2890	108	242	102	63	515	168	177	860	2030
524114	5	empl.	325442	0	401	652	984	2037	7504	24195	33736	291706	317316	0	462	546	1102	2110	7270	22644	32024	285292	322337	0	536	561	934	2031	6263	25087	33381	288956	321824	0	587	560	946	2093	6145	23592	31830	289994	319601	0	479	637	827	1943	5447	20424	27814	291787
524114	5	ann. pay.	13134316	8300	15503	28311	35886	88000	308450	928631	1325081	11809235	13369356	14898	19171	22306	45275	101650	276172	885608	1263430	12105926	14321470	11467	23662	26288	43148	104565	248698	1034246	1387509	12933961	14960968	13487	24259	25457	39397	102600	257198	987829	1347627	13613341	16004965	14789	18584	25961	37075	96409	256610	896580	1249599	14755366
524114	5	rec.																																									254641713	295919	507375	251073	565781	1620148	3570850	17383927	22574925	232066788
524126	5	firms	2284	176	898	373	171	1618	272	197	2087	197	2312	142	957	383	171	1653	281	186	2120	192	2293	147	946	354	193	1640	274	193	2107	186	2341	115	1021	374	195	1705	258	189	2152	189	2236	131	940	361	185	1617	245	185	2047	189
524126	5	estab.	21097	176	902	381	185	1644	335	573	2552	18545	23973	142	959	384	185	1670	362	550	2582	21391	19807	147	948	358	199	1652	343	554	2549	17258	12194	115	1023	405	202	1745	321	547	2613	9581	13025	131	943	366	199	1639	331	575	2545	10480
524126	5	empl.	601780	0	2112	2400	2262	6774	11676	33613	52063	549717	621317	0	2237	2447	2290	6974	11912	33554	52440	568877	609431	0	2249	2225	2487	6961	11357	34065	52383	557048	592629	0	2389	2364	2542	7295	10714	32624	50633	541996	602491	0	2166	2294	2429	6889	10358	32280	49527	552964
524126	5	ann. pay.	29197481	6180	52579	71401	79785	209945	522691	1526543	2259179	26938302	30239092	3540	59034	70540	91136	224250	555022	1491122	2270394	27968698	31087509	6701	59438	66694	96047	228880	537051	1624711	2390642	28696867	31326467	4835	63495	74716	103432	246478	551301	1613208	2410987	28915480	31442970	8451	62471	68595	100832	240349	534392	1641820	2416561	29026409
524126	5	rec.																																									380959531	51756	744247	591430	1011152	2398585	5796700	17687509	25882794	355076737
524127	5	firms	679	146	251	122	62	581	51	23	655	24	866	191	318	155	85	749	64	24	837	29	962	146	441	171	99	857	60	21	938	24	1229	209	591	212	115	1127	58	20	1205	24	1372	227	627	244	132	1230	80	32	1342	30
524127	5	estab.	2810	146	251	126	67	590	81	150	821	1989	3075	196	318	155	92	761	94	138	993	2082	2968	146	442	174	102	864	92	132	1088	1880	4309	209	592	212	124	1137	100	110	1347	2962	4731	227	628	248	146	1249	131	135	1515	3216
524127	5	empl.	44739	0	539	784	819	2142	         [g]	         [g]	6123	38616	48307	0	696	1037	1214	2947	2307	2038	7292	41015	47465	0	972	1105	1339	3416	         [g]	         [g]	7647	39818	72001	0	1257	1362	1516	4135	         [g]	         [g]	7625	64376	79836	0	1352	1592	1736	4680	         [g]	         [g]	8830	71006
524127	5	ann. pay.	2212775	9291	16158	23895	30851	80195	         (D)	         (D)	246142	1966633	2127990	11956	18826	28301	37584	96667	84341	79419	260427	1867563	2224301	7188	28560	33736	40156	109640	         (D)	         (D)	279574	1944727	3918484	11676	40640	45783	58825	156924	         (D)	         (D)	312063	3606421	4507432	9824	43598	57754	66996	178172	         (D)	         (D)	354397	4153035
524127	5	rec.																																									19761040	33072	162990	186209	213881	596152	         (D)	         (D)	1216512	18544528
524128	5	firms	144	24	60	20	12	116	16	1	133	11	167	23	71	23	14	131	22	3	156	11	184	19	89	24	10	142	28	2	172	12	241	32	123	26	15	196	30	4	230	11	284	40	147	35	15	237	28	4	269	15
524128	5	estab.	148	24	60	20	12	116	16	1	133	15	173	23	71	23	14	131	24	3	158	15	194	19	89	24	10	142	30	2	174	20	248	32	123	26	15	196	30	6	232	16	299	40	147	35	15	237	28	5	270	29
524128	5	empl.	1729	0	132	128	146	406	         [f]	         [a]	1193	536	2567	0	141	146	172	459	873	139	1471	1096	3532	0	179	162	126	467	         [g]	         [c]	1686	1846	3990	0	254	159	209	622	         [g]	         [e]	2137	1853	5964	0	293	217	216	726	         [g]	         [c]	2305	3659
524128	5	ann. pay.	69695	1564	5642	4765	8411	20382	         (D)	         (D)	52082	17613	108702	1654	5766	6206	10168	23794	41105	2462	67361	41341	147624	3125	8315	6543	7265	25248	         (D)	         (D)	87733	59891	176991	1919	10492	6326	11289	30026	         (D)	         (D)	117637	59354	301824	1911	10586	11575	11037	35109	         (D)	         (D)	114114	187710
524128	5	rec.																																									2791988	13107	71196	79057	36397	199757	         (D)	         (D)	642715	2149273
524130	5	firms	275	31	112	34	12	189	41	12	242	33	276	16	117	32	14	179	38	21	238	38	268	11	111	35	15	172	41	22	235	33	265	16	110	36	18	180	36	21	237	28	253	20	105	26	17	168	36	17	221	32
524130	5	estab.	403	31	112	35	13	191	48	31	270	133	593	16	117	32	14	179	48	78	305	288	596	11	111	35	15	172	54	67	293	303	562	16	110	36	18	180	44	48	272	290	512	20	105	26	17	168	46	38	252	260
524130	5	empl.	8767	0	220	219	166	605	1490	1718	3813	4954	18384	0	248	204	198	650	1448	3060	5158	13226	15337	0	235	215	205	655	1566	3468	5689	9648	14518	0	236	231	241	708	1291	3317	5316	9202	14489	0	217	160	229	606	1276	2783	4665	9824
524130	5	ann. pay.	500013	4362	8077	8019	14352	34810	84242	122921	241973	258040	1412468	3369	9891	9317	13129	35706	105904	271337	412947	999521	1257158	11159	10603	10190	13198	45150	105343	331135	481628	775530	1252549	2257	11166	16024	16342	45789	106100	296509	448398	804151	1297671	3906	10697	10929	9900	35432	92814	247936	376182	921489
524130	5	rec.																																									22676905	35395	83767	45175	57641	221978	3197587	6346396	9765961	12910944
524210	5	firms	113112	9695	77408	16246	5821	109170	3205	424	112799	313	112481	9321	76974	16331	5839	108465	3238	442	112145	336	113328	10973	76114	16436	5791	109314	3214	467	112995	333	112776	9854	76412	16657	5814	108737	3229	480	112446	330	115675	11231	77464	17026	5829	111550	3207	541	115298	377
524210	5	estab.	120837	9702	77521	16837	7068	111128	5503	1491	118122	2715	120287	9338	77108	16901	6971	110318	5379	1396	117093	3194	121450	10991	76298	16971	6898	111158	5193	1365	117716	3734	120891	9872	76557	17166	6833	110428	5098	1596	117122	3769	125241	11245	77548	17459	6849	113101	5476	2086	120663	4578
524210	5	empl.	583399	0	156630	102827	75741	335198	106550	41913	483661	99738	592887	0	156843	103411	75744	335998	108976	45609	490583	102304	596156	0	155497	103688	75169	334354	108747	47671	490772	105384	613024	0	156655	104907	75568	337130	109579	50947	497656	115368	641229	0	160061	107445	75663	343169	107571	54117	504857	136372
524210	5	ann. pay.	22360275	298515	3702809	3179239	2912481	10093044	4848106	1896691	16837841	5522434	23816724	363420	3834232	3269210	3016595	10483457	5036674	2087607	17607738	6208986	24710623	343399	3963081	3391801	3086947	10785228	5327411	2234795	18347434	6363189	27122135	320377	4166557	3561432	3274493	11322859	5779757	2538229	19640845	7481290	29984280	421317	4414593	3788796	3479708	12104414	6086321	3015139	21205874	8778406
524210	5	rec.																																									104189974	1759167	17767678	10948831	8723023	39198699	15213299	10016841	64428839	39761135
524291	5	firms	3011	391	1609	422	260	2682	213	62	2957	54	2991	378	1638	432	229	2677	211	53	2941	50	3012	398	1648	432	234	2712	203	51	2966	46	2944	334	1648	446	219	2647	199	57	2903	41	2908	326	1618	418	231	2593	216	53	2862	46
524291	5	estab.	4802	391	1622	442	367	2822	550	488	3860	942	4603	386	1648	452	319	2805	557	322	3684	919	4490	405	1664	466	316	2851	479	351	3681	809	4447	334	1660	469	312	2775	482	321	3578	869	4487	326	1623	441	315	2705	597	537	3839	648
524291	5	empl.	51020	0	3234	2736	3390	9360	7428	8085	24873	26147	45558	0	3203	2818	2946	8967	7414	6905	23286	22272	44117	0	3291	2826	3054	9171	7117	6971	23259	20858	44995	0	3258	2940	2871	9069	7157	7126	23352	21643	39438	0	3212	2720	2951	8883	7597	6533	23013	16425
524291	5	ann. pay.	2115437	18425	88841	85802	130121	323189	300855	339876	963920	1151517	1863583	16884	85269	93130	112472	307755	294373	330529	932657	930926	1851639	14930	94900	94929	119710	324469	300578	340417	965464	886175	2117057	19059	101751	107977	125262	354049	340464	418867	1113380	1003677	1974298	23908	100189	96884	124340	345321	366462	380367	1092150	882148
524291	5	rec.																																									6687175	64610	325801	243940	312222	946573	833238	757830	2537641	4149534
524292	5	firms	5386	645	2197	939	603	4384	644	183	5211	175	5198	491	2266	862	585	4204	635	191	5030	168	5143	521	2200	868	545	4134	647	187	4968	175	4798	431	2042	800	546	3819	630	183	4632	166	4188	314	1688	697	501	3200	625	192	4017	171
524292	5	estab.	6530	648	2202	950	638	4438	796	388	5622	908	6357	496	2269	873	607	4245	778	386	5409	948	6224	524	2200	884	566	4174	770	363	5307	917	5882	431	2045	809	559	3844	760	375	4979	903	5491	315	1691	704	520	3230	793	484	4507	984
524292	5	empl.	114799	0	4593	6153	8032	18778	24014	24945	67737	47062	125150	0	4658	5678	7869	18205	24113	26500	68818	56332	123082	0	4500	5670	7279	17449	24277	24467	66193	56889	118941	0	4262	5237	7283	16782	24190	25892	66864	52077	118085	0	3575	4594	6781	14950	23731	27153	65834	52251
524292	5	ann. pay.	4446192	34249	162040	239044	300191	735524	929091	882239	2546854	1899338	5031045	31586	155247	226770	310251	723854	950591	956348	2630793	2400252	5095306	54887	157268	232777	297331	742263	976967	909749	2628979	2466327	5057412	32404	178284	222315	305529	738532	997741	1064477	2800750	2256662	5194818	31325	139293	196906	295322	662846	1042754	1188857	2894457	2300361
524292	5	rec.																																									17617345	157719	472476	520932	797847	1948974	2759663	4755894	9464531	8152814
524298	5	firms	1790	332	871	234	129	1566	124	48	1738	52	1989	282	1044	251	154	1731	141	50	1922	67	2066	324	1067	241	165	1797	143	54	1994	72	2106	263	1153	265	149	1830	148	55	2033	73	1891	302	965	226	126	1619	145	58	1822	69
524298	5	estab.	2347	332	879	240	140	1591	184	97	1872	475	2603	294	1049	262	168	1773	203	106	2082	521	2594	331	1078	246	175	1830	204	107	2141	453	2760	267	1164	274	157	1862	209	105	2176	584	2486	303	969	233	136	1641	197	100	1938	548
524298	5	empl.	30617	0	1640	1530	1727	4897	4833	4507	14237	16380	33135	0	2032	1627	2036	5695	5236	5136	16067	17068	37624	0	2058	1510	2149	5717	5039	6040	16796	20828	44166	0	2216	1693	1946	5855	5201	6302	17358	26808	42439	0	1856	1448	1642	4946	5160	6395	16501	25938
524298	5	ann. pay.	1256799	17324	66224	73731	68280	225559	214134	205404	645097	611702	1504957	12055	79995	73909	99326	265285	233095	226003	724383	780574	1682349	12587	81604	70603	109601	274395	231333	242350	748078	934271	1969184	18320	83380	83447	98495	283642	246398	269111	799151	1170033	1982379	18270	78979	72639	94454	264342	265898	284702	814942	1167437
524298	5	rec.																																									5988340	63931	245923	263394	257583	830831	680038	654077	2164946	3823394
525910	5	firms	172	61	78	6	5	150	5	6	161	11	163	27	96	12	6	141	7	5	153	10	174	34	93	16	6	149	8	6	163	11	232	46	130	19	15	210	5	6	221	11	388	56	221	52	19	348	15	5	368	20
525910	5	estab.	196	61	78	6	5	150	7	6	163	33	185	27	96	12	6	141	9	5	155	30	207	34	93	16	6	149	10	6	165	42	266	46	130	19	15	210	7	6	223	43	435	56	221	55	22	354	22	5	381	54
525910	5	empl.	1246	0	127	         [b]	         [b]	242	146	271	659	587	1520	[a]	[c]	[b]	75	[e]	[c]	[c]	[f]	[f]	1501	         [a]	         [c]	         [c]	78	         [e]	231	         [e]	         [g]	         [f]	1768	         [a]	         [c]	         [c]	         [c]	         [f]	142	332	         [g]	         [f]	2343	0	393	349	231	973	         [e]	         [c]	1513	830
525910	5	ann. pay.	113675	5964	6025	         (D)	         (D)	35875	7668	32368	75911	37764	131768	(D)	(D)	(D)	6089	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	226472	         (D)	         (D)	         (D)	5826	         (D)	40442	         (D)	         (D)	         (D)	234787	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31012	54434	         (D)	         (D)	264647	7913	30053	26979	34835	99780	         (D)	         (D)	158772	105875
525910	5	rec.																																									919786	34253	134254	77869	99291	345667	         (D)	         (D)	596333	323453
525930	5	firms	577	119	256	62	24	461	42	33	536	41	638	115	295	61	26	497	58	36	591	47	680	123	296	73	41	533	65	35	633	47	782	160	369	69	45	643	64	32	739	43	974	173	524	77	60	834	56	36	926	48
525930	5	estab.	1217	119	257	66	26	468	54	143	665	552	1347	117	296	65	26	504	72	184	760	587	1350	123	296	73	43	535	80	124	739	611	1507	160	371	69	48	648	72	151	871	636	1913	173	524	77	60	834	93	155	1082	831
525930	5	empl.	21730	0	478	361	357	1196	1548	4234	6978	14752	31789	0	569	368	339	1276	2273	5945	9494	22295	25726	0	581	435	544	1560	2575	5664	9799	15927	27739	0	698	442	571	1711	2679	5231	9621	18118	25464	0	956	476	780	2212	2337	5499	10048	15416
525930	5	ann. pay.	1036974	12123	17015	30696	30140	89974	137206	277594	504774	532200	1527312	7094	27130	28259	18301	80784	198181	380096	659061	868251	1436391	16431	29440	24729	46039	116639	219896	371288	707823	728568	1489938	14360	39230	37368	50215	141173	238800	353327	733300	756638	1574156	8083	43871	78165	93519	223638	237404	418869	879911	694245
525930	5	rec.																																									20689440	858782	804474	719453	1836953	4219662	3989921	5408711	13618294	7071146
525990	5	firms	264	116	105	20	5	246	8	4	258	6	461	215	176	34	14	439	10	6	455	6	694	253	329	52	25	659	21	7	687	7	644	192	337	48	37	614	15	10	639	5	1174	332	610	98	48	1088	45	24	1157	17
525990	5	estab.	267	116	105	21	5	247	10	4	261	6	463	216	176	35	14	441	10	6	457	6	705	253	329	54	25	661	21	7	689	16	656	192	337	50	37	616	15	10	641	15	1190	332	613	100	50	1095	46	26	1167	23
525990	5	empl.	996	0	202	         [c]	         [b]	393	127	212	732	264	2767	0	331	210	204	745	[e]	[f]	1557	1210	4288	0	586	325	338	1249	878	885	3012	1276	4121	0	583	306	492	1381	704	806	2891	1230	6453	0	1095	635	618	2348	         [g]	         [g]	5306	1147
525990	5	ann. pay.	67446	15555	9055	         (D)	         (D)	34415	8746	6518	49679	17767	221118	22637	14632	10655	13665	61589	(D)	(D)	194566	26552	393946	24050	24138	20539	28604	97331	111851	41433	250615	143331	343464	12964	30120	19032	32742	94858	84410	16897	196165	147299	513419	40795	54751	41817	80585	217948	         (D)	         (D)	381116	132303
525990	5	rec.																																									1672535	225673	256261	102717	202338	786989	         (D)	         (D)	1225952	446583
531110	5	firms	54244	5279	35677	7677	3229	51862	1758	396	54016	228	53571	5177	35345	7570	3122	51214	1757	398	53369	202	53220	5223	34820	7638	3107	50788	1815	414	53017	203	52386	5061	34177	7604	3061	49903	1858	428	52189	197	52190	5260	33966	7468	3043	49737	1799	441	51977	213
531110	5	estab.	58913	5294	35744	7873	3661	52572	2855	1919	57346	1567	58238	5200	35431	7766	3504	51901	2871	1869	56641	1597	57946	5284	34913	7823	3487	51507	2851	2088	56446	1500	57342	5063	34261	7768	3387	50479	3012	2261	55752	1590	57748	5260	34022	7649	3433	50364	2992	2491	55847	1901
531110	5	empl.	276495	0	66357	49239	41085	156681	57766	30982	245429	31066	272368	0	65994	48489	39940	154423	57665	33360	245448	26920	276455	0	65412	49207	39799	154418	60575	36816	251809	24646	281375	0	64248	48721	39223	152192	61633	40638	254463	26912	281250	0	65449	48024	38877	152350	59796	42104	254250	27000
531110	5	ann. pay.	5363183	150124	1034320	868617	769501	2822562	1105955	700568	4629085	734098	5563175	150997	1108550	906337	787417	2953301	1185841	777245	4916387	646788	5936218	176510	1145567	970714	838617	3131408	1268004	888855	5288267	647951	6492068	177181	1210525	1026623	883253	3297582	1385298	1056616	5739496	752572	6625384	175305	1194427	1028398	895769	3293899	1394348	1174462	5862709	762675
531110	5	rec.																																									49772896	1530226	12750453	8533932	6764231	29578842	8626803	5947038	44152683	5620213
531120	5	firms	28523	3389	18436	3467	1503	26795	1095	319	28209	314	28441	3546	18247	3447	1518	26758	1091	292	28141	300	28591	3701	18190	3390	1568	26849	1162	292	28303	288	27806	3539	17654	3417	1532	26142	1113	288	27543	263	28241	4051	17741	3267	1501	26560	1077	329	27966	275
531120	5	estab.	29945	3393	18482	3519	1623	27017	1302	635	28954	991	29827	3552	18297	3500	1628	26977	1283	541	28801	1026	30177	3711	18238	3432	1665	27046	1361	531	28938	1239	30198	3544	17697	3465	1643	26349	1265	507	28121	2077	30777	4051	17776	3319	1611	26757	1313	597	28667	2110
531120	5	empl.	154459	0	34511	21820	18681	75012	32066	21867	128945	25514	150762	0	34203	21720	19011	74934	31239	19174	125347	25415	158490	0	34176	21416	19395	74987	34896	20671	130554	27936	160832	0	33276	21627	19305	74208	34145	20402	128755	32077	163501	0	33794	20664	18853	73311	32364	22319	127994	35507
531120	5	ann. pay.	4461976	121994	845283	552023	468992	1988292	820284	722033	3530609	931367	4579702	129415	877078	577306	510721	2094520	864101	634420	3593041	986661	5144253	143861	913562	613083	541696	2212202	998749	750027	3960978	1183275	5820382	156082	938439	634138	570481	2299140	1034246	783315	4116701	1703681	5966550	153314	946908	643269	572161	2315652	979138	883155	4177945	1788605
531120	5	rec.																																									45808372	1234737	8896983	5195073	4533410	19860203	7018857	5733858	32612918	13195454
531130	5	firms	4877	486	3566	551	139	4742	97	20	4859	18	5014	545	3588	578	161	4872	103	21	4996	18	5415	645	3879	560	167	5251	115	31	5397	18	5751	640	4099	632	196	5567	131	35	5733	18	6619	763	4728	749	218	6458	110	36	6604	15
531130	5	estab.	7268	486	3580	598	231	4895	306	26	5227	2041	7614	545	3598	631	228	5002	324	59	5385	2229	8154	645	3888	598	232	5363	329	96	5788	2366	8574	658	4115	672	262	5707	314	154	6175	2399	9739	764	4733	809	337	6643	333	265	7241	2498
531130	5	empl.	20184	0	7289	3335	1654	12278	2316	511	15105	5079	21782	0	7366	3484	1902	12752	2978	723	16453	5329	25163	0	8023	3383	1998	13404	3106	1347	17857	7306	29727	0	8440	3827	2381	14648	3753	2422	20823	8904	31959	0	9977	4602	2603	17182	3102	1994	22278	9681
531130	5	ann. pay.	386837	10019	102961	51491	37215	201686	46825	10891	259402	127435	425774	11975	110441	54425	39491	216332	72472	18352	307156	118618	551406	25544	126280	60579	43226	255629	67215	30790	353634	197772	604921	17239	138565	67304	55749	278857	88802	61453	429112	175809	642371	16135	166069	81163	57543	320910	84928	79617	485455	156916
531130	5	rec.																																									4101315	122528	1329746	526966	279316	2258556	443802	164289	2866647	1234668
531190	5	firms	10913	1282	7544	1390	399	10615	208	55	10878	35	11090	1347	7632	1419	388	10786	218	51	11055	35	11024	1348	7493	1418	453	10712	225	53	10990	34	10950	1214	7585	1389	439	10627	245	46	10918	32	9834	1188	6602	1313	409	9512	243	50	9805	29
531190	5	estab.	11629	1285	7562	1470	502	10819	438	139	11396	233	11795	1352	7642	1488	484	10966	409	150	11525	270	11927	1350	7517	1481	537	10885	382	224	11491	436	11884	1214	7611	1442	528	10795	449	189	11433	451	10814	1188	6621	1372	516	9697	452	225	10374	440
531190	5	empl.	39106	0	14602	8574	4702	27878	5746	2751	36375	2731	39161	0	14719	8827	4593	28139	5939	2596	36674	2487	41384	0	14495	8721	5423	28639	6718	3199	38556	2828	41278	0	14591	8601	5319	28511	7307	2611	38429	2849	38441	0	13122	8152	4940	26214	6910	2882	36006	2435
531190	5	ann. pay.	793057	33775	248102	160180	100135	542192	120945	59064	722201	70856	830204	37712	269015	171671	100526	578924	123460	63758	766142	64062	913215	38288	278295	181064	120539	618186	137942	74875	831003	82212	975949	39117	300115	194613	121881	655726	165964	66325	888015	87934	945070	64440	262109	191437	116014	634000	157461	83048	874509	70561
531190	5	rec.																																									6704227	420645	2200600	1208909	807577	4637731	807284	641919	6086934	617293
531210	5	firms	57708	10521	37591	5620	2214	55946	1300	293	57539	169	58096	9854	38240	5879	2338	56311	1329	290	57930	166	58954	10601	38191	5920	2370	57082	1393	306	58781	173	62670	11723	40519	6110	2386	60738	1449	315	62502	168	68781	15343	43184	6042	2378	66947	1377	277	68601	180
531210	5	estab.	63519	10557	37701	5932	2924	57114	2865	1647	61626	1893	64342	9877	38333	6162	2943	57315	2769	1524	61608	2734	65098	10622	38286	6151	2934	57993	2689	1641	62323	2775	68948	11730	40605	6343	2893	61571	2758	1605	65934	3014	76046	15346	43264	6407	3064	68081	3206	1617	72904	3142
531210	5	empl.	241101	0	67242	35528	28186	130956	43555	30981	205492	35609	259992	0	68794	37189	30010	135993	44469	32567	213029	46963	271145	0	69235	37683	30616	137534	47408	33752	218694	52451	283959	0	72561	38649	30692	141902	49508	34802	226212	57747	277561	0	77893	38203	30616	146712	45591	31395	223698	53863
531210	5	ann. pay.	8691590	371460	1741684	961174	866468	3940786	1577129	1196692	6714607	1976983	9560649	350564	1880282	1047361	935073	4213280	1624371	1308510	7146161	2414488	10562944	387318	1967950	1105870	1002154	4463292	1807290	1416737	7687319	2875625	11063932	404629	2104759	1172604	1029503	4711495	1868921	1472874	8053290	3010642	11258252	540619	2254990	1215411	1088997	5100017	1775483	1381475	8256975	3001277
531210	5	rec.																																									67944403	3249830	16051402	8417194	7274696	34993122	9788386	6536360	51317868	16626535
531311	5	firms	18787	2382	9272	2816	1802	16272	1886	493	18651	136	19236	2444	9562	2810	1835	16651	1922	527	19100	136	19783	2530	9741	3009	1873	17153	1949	542	19644	139	20960	2671	10482	3166	1933	18252	2006	563	20821	139	21911	2210	11538	3298	2120	19166	2022	583	21771	140
531311	5	estab.	23739	2399	9279	2850	1873	16401	2353	1523	20277	3462	25734	2448	9573	2833	1905	16759	2376	1532	20667	5067	25495	2538	9752	3031	1936	17257	2314	1675	21246	4249	27586	2705	10498	3192	2000	18395	2352	1961	22708	4878	28926	2211	11548	3313	2201	19273	2588	2210	24071	4855
531311	5	empl.	260927	0	18042	18276	23848	60166	72908	68395	201469	59458	271072	0	18535	18133	24364	61032	73388	76758	211178	59894	291440	0	18999	19574	24730	63303	75831	84886	224020	67420	308898	0	20382	20732	25674	66788	78505	88036	233329	75569	310725	0	22860	21598	28077	72535	78420	91067	242022	68703
531311	5	ann. pay.	6577394	133587	417081	443802	583314	1577784	1733030	1577924	4888738	1688656	7250832	120318	464114	463252	619917	1667601	1876219	1952853	5496673	1754159	8406295	121230	492192	514054	658540	1786016	2070292	2307875	6164183	2242112	9516607	149543	552151	583276	710513	1995483	2192894	2506769	6695146	2821461	9263145	107246	594773	621299	797583	2120901	2248653	2606105	6975659	2287486
531311	5	rec.																																									26833966	376692	2453477	1951790	2105976	6887935	4426280	5113101	16427316	10406650
531312	5	firms	8651	936	4290	1371	868	7465	837	206	8508	143	8701	956	4317	1371	869	7513	834	216	8563	138	8822	1012	4348	1349	917	7626	846	210	8682	140	9630	1201	4760	1500	947	8408	866	219	9493	137	9833	1080	5071	1506	911	8568	880	239	9687	146
531312	5	estab.	10036	937	4300	1388	926	7551	1070	543	9164	872	10120	962	4328	1390	923	7603	1090	473	9166	954	10558	1013	4356	1370	971	7710	1108	437	9255	1303	11610	1204	4770	1520	995	8489	1111	475	10075	1535	11900	1080	5075	1519	956	8630	1172	569	10371	1529
531312	5	empl.	116312	0	8518	8931	11503	28952	29018	22512	80482	35830	114825	0	8548	8917	11489	28954	28297	24642	81893	32932	115252	0	8620	8816	12101	29537	29394	24824	83755	31497	128531	0	9367	9769	12432	31568	30776	26551	88895	39636	130057	0	9945	9896	11757	31598	31519	27316	90433	39624
531312	5	ann. pay.	4297602	44465	280631	316022	443563	1084681	1053724	846266	2984671	1312931	4428219	48384	283662	338705	437883	1108634	1139338	969868	3217840	1210379	4788677	54697	299088	331703	461783	1147271	1273661	1018611	3439543	1349134	5429789	69883	320876	380255	507121	1278135	1294930	1085779	3658844	1770945	5655525	53035	343239	394937	494546	1285757	1399272	1130146	3815175	1840350
531312	5	rec.																																									17631563	206152	1426388	1112552	1182371	3927463	3460078	2666071	10053612	7577951
531320	5	firms	11839	1780	8055	1337	452	11624	159	32	11815	24	12217	1505	8490	1484	506	11985	175	38	12198	19	12105	1552	8587	1298	443	11880	171	36	12087	18	12307	1757	8612	1298	414	12081	169	38	12288	19	13529	2188	9278	1424	426	13316	159	30	13505	24
531320	5	estab.	12048	1781	8064	1366	495	11706	254	52	12012	36	12425	1508	8503	1512	546	12069	254	75	12398	27	12311	1553	8603	1316	483	11955	248	85	12288	23	12478	1757	8626	1322	448	12153	232	67	12452	26	13731	2189	9284	1443	464	13380	253	51	13684	47
531320	5	empl.	38622	0	15175	8483	5724	29382	5356	2029	36767	1855	41923	0	16203	9377	6460	32040	5896	2684	40620	1303	39451	0	16054	8207	5607	29868	5708	3003	38579	872	38742	0	15775	8179	5298	29252	5694	2886	37832	910	40272	0	17323	9035	5555	31913	5218	1689	38820	1452
531320	5	ann. pay.	1347762	43357	419455	299973	223989	986774	213695	68129	1268598	79164	1386076	39855	420135	302893	235634	998517	218685	69146	1286348	99728	1277038	33709	417942	264691	214627	930969	198842	90034	1219845	57193	1448228	51776	483786	316767	231635	1083964	199531	101636	1385131	63097	1582620	65359	530152	362454	246866	1204831	229325	62003	1496159	86461
531320	5	rec.																																									4825380	272907	1922608	872536	516862	3584913	510244	199579	4294736	530644
531390	5	firms	9458	2601	4901	965	493	8960	310	98	9368	90	10544	3079	5304	1047	585	10015	352	96	10463	81	12597	3584	6532	1256	627	11999	420	101	12520	77	11705	2938	6339	1240	609	11126	403	99	11628	77	16646	5045	8346	1657	858	15906	547	110	16563	83
531390	5	estab.	10120	2609	4911	981	550	9051	452	269	9772	348	11242	3081	5315	1062	633	10091	472	289	10852	390	13283	3588	6542	1269	671	12070	533	341	12944	339	12495	2938	6351	1253	654	11196	506	360	12062	433	17514	5045	8355	1670	897	15967	708	341	17016	498
531390	5	empl.	50326	0	8985	6091	6382	21458	9553	7300	38311	12015	54110	0	9755	6660	7515	23930	11080	8642	43652	10458	60767	0	11970	8002	8081	28053	13719	9782	51554	9213	61956	0	11498	8027	7820	27345	12619	10217	50181	11775	78207	0	15482	10727	11175	37384	18443	10964	66791	11416
531390	5	ann. pay.	2473182	122719	343059	238055	311100	1014933	436479	311352	1762764	710418	2568805	144644	364719	262302	329620	1101285	500003	344091	1945379	623426	2813670	180576	431420	308602	362497	1283095	584952	459945	2327992	485678	3070265	142775	445017	346818	358172	1292782	639480	521284	2453546	616719	3833631	254968	589342	448771	510792	1803873	838655	517247	3159775	673856
531390	5	rec.																																									13035224	1279198	2656174	1617807	1540237	7093416	2347376	1495907	10936699	2098525
532111	5	firms	2224	244	1011	367	252	1874	256	70	2200	24	2265	303	1022	356	250	1931	236	75	2242	23	2261	264	1028	374	249	1915	253	68	2236	25	2378	311	1070	406	244	2031	259	63	2353	25	2328	314	1093	367	236	2010	226	68	2304	24
532111	5	estab.	4213	245	1015	381	314	1955	480	333	2768	1445	4652	306	1034	369	309	2018	420	357	2795	1857	4420	267	1035	389	299	1990	440	296	2726	1694	4695	316	1079	419	292	2106	422	288	2816	1879	4871	314	1101	382	308	2105	440	357	2902	1969
532111	5	empl.	111980	0	2227	2420	3247	7894	9528	8542	25964	86016	118499	0	2206	2311	3217	7734	9027	9419	26180	92319	119602	0	2206	2407	3242	7855	9871	8159	25885	93717	126296	0	2294	2613	3200	8107	9776	8064	25947	100349	122256	0	2374	2328	3042	7744	7963	7958	23665	98591
532111	5	ann. pay.	2519651	7657	41841	45134	64252	158884	191575	154873	505332	2014319	2869982	10463	44096	44792	67780	167131	190853	181405	539389	2330593	2990843	10896	46872	45775	69525	173068	206270	160958	540296	2450547	3175395	8897	46761	51721	69953	177332	202825	163414	543571	2631824	3229373	8348	48924	46417	67975	171664	174544	177451	523659	2705714
532111	5	rec.																																									19532743	54068	328182	275347	390145	1047742	1001226	954942	3003910	16528833
532112	5	firms	789	103	381	98	73	655	71	40	766	23	728	81	349	99	66	595	71	39	705	23	717	77	350	100	73	600	62	35	697	20	707	94	335	101	69	599	59	34	692	15	708	83	347	105	68	603	53	33	689	19
532112	5	estab.	854	103	381	98	78	660	76	53	789	65	801	83	349	99	69	600	78	46	724	77	808	80	351	100	79	610	69	42	721	87	792	94	335	101	74	604	72	35	711	81	776	83	347	109	72	611	58	38	707	69
532112	5	empl.	8028	0	766	627	892	2285	1718	1414	5417	2611	8865	0	709	630	801	2140	1756	1285	5181	3684	9093	0	702	650	983	2335	1552	1473	5360	3733	9625	0	686	644	896	2226	1484	1545	5255	4370	9088	0	701	665	877	2243	1202	1310	4755	4333
532112	5	ann. pay.	327992	3165	21734	22585	31912	79396	58137	49074	186607	141385	372402	3464	23409	22781	29682	79336	65827	49620	194783	177619	382221	3246	20973	23755	38735	86709	53022	51425	191156	191065	399650	5598	23390	24346	36412	89746	52132	48841	190719	208931	385333	7894	23054	23583	32789	87320	48011	48691	184022	201311
532112	5	rec.																																									3759695	73605	318550	261005	417166	1070326	585940	446835	2103101	1656594
532120	5	firms	2131	259	1103	277	175	1814	189	82	2085	46	2112	303	1040	300	179	1822	165	78	2065	47	2067	247	1056	293	184	1780	164	77	2021	46	2036	223	1043	320	174	1760	155	78	1993	43	2065	326	1018	275	178	1797	146	79	2022	43
532120	5	estab.	5768	259	1105	278	191	1833	311	274	2418	3350	5794	303	1042	302	203	1850	255	274	2379	3415	5839	247	1059	296	203	1805	255	256	2316	3523	6584	224	1045	327	190	1786	224	277	2287	4297	6297	326	1019	284	190	1819	231	250	2300	3997
532120	5	empl.	51133	0	2230	1771	2240	6241	5635	6169	18045	33088	51722	0	2114	1931	2331	6376	5119	6591	18086	33636	53268	0	2055	1913	2326	6294	5191	5980	17465	35803	53326	0	2061	2095	2243	6399	4574	6316	17289	36037	50608	0	2002	1817	2302	6121	3939	6230	16290	34318
532120	5	ann. pay.	1602214	18450	60245	49734	63972	192401	190477	192800	575678	1026536	1632093	10102	59348	59254	70255	198959	180472	223697	603128	1028965	1697940	11089	58950	59438	66779	196256	182571	211047	589874	1108066	1770050	8977	59267	64584	71424	204252	157540	225796	587588	1182462	1752181	11453	56047	58540	77090	203130	149436	222424	574990	1177191
532120	5	rec.																																									12433436	77156	360908	389943	390996	1219003	872455	1133242	3224700	9208736
532210	5	firms	1168	168	441	236	132	977	151	23	1151	17	1172	121	494	227	160	1002	134	18	1154	18	1114	116	446	219	153	934	137	23	1094	20	1101	109	445	215	157	926	133	20	1079	22	991	98	402	210	131	841	112	22	975	16
532210	5	estab.	2918	168	443	243	168	1022	517	152	1691	1227	2718	151	500	232	212	1095	447	147	1689	1029	2834	117	453	223	191	984	409	179	1572	1262	2771	109	448	221	194	972	361	176	1509	1262	2620	108	403	217	186	914	375	246	1535	1085
532210	5	empl.	18296	0	974	1534	1652	4160	5057	1646	10863	7433	16598	0	1047	1442	2031	4520	4744	1096	10360	6238	17701	0	974	1394	1933	4301	4843	1919	11063	6638	18777	0	964	1347	2056	4367	4517	1515	10399	8378	15959	0	877	1331	1733	3941	3655	1943	9539	6420
532210	5	ann. pay.	466126	6440	23057	39015	42231	110743	128638	47247	286628	179498	443195	23595	24453	36884	54748	139680	125620	25718	291018	152177	497927	5600	24714	34969	53383	118666	133171	65741	317578	180349	502823	5010	25379	32587	60139	123115	131054	37843	292012	210811	483395	4835	22344	34268	50092	111539	108073	51703	271315	212080
532210	5	rec.																																									2130847	21995	98373	139696	186724	446788	406518	214935	1068241	1062606
532220	5	firms	1537	220	761	268	135	1384	124	22	1530	7	1466	157	749	262	147	1315	122	24	1461	5	1387	141	696	252	147	1236	121	25	1382	5	1383	128	693	270	135	1226	123	29	1378	5	1230	113	608	254	133	1108	94	24	1226	4
532220	5	estab.	2746	220	762	283	191	1456	478	371	2305	441	2774	168	754	282	208	1412	431	422	2265	509	2685	152	696	275	198	1321	398	386	2105	580	2715	128	694	278	185	1285	394	471	2150	565	2553	119	608	274	180	1181	359	419	1959	594
532220	5	empl.	14589	0	1615	1739	1695	5049	4151	2756	11956	2633	15302	0	1600	1714	1882	5196	4361	3254	12811	2491	15530	0	1502	1685	1909	5096	4359	3215	12670	2860	16306	0	1501	1762	1741	5004	4187	3918	13109	3197	15269	0	1356	1669	1719	4744	3226	3334	11304	3965
532220	5	ann. pay.	226045	3361	21243	22250	24895	71749	67975	48140	187864	38181	246162	2572	23411	22678	29094	77755	70609	60331	208695	37467	256848	3122	22996	23112	28802	78032	71634	58596	208262	48586	270588	4998	24858	24427	28124	82407	69493	71115	223015	47573	266321	4979	20431	26094	28001	79505	56921	67942	204368	61953
532220	5	rec.																																									982902	22585	108000	95786	84959	311330	180062	261411	752803	230099
532230	5	firms	12340	1156	6116	2921	1346	11539	696	80	12315	25	11083	955	5605	2591	1189	10340	648	73	11061	22	9643	898	4828	2181	1049	8956	590	75	9621	22	8846	856	4392	1976	956	8180	573	72	8825	21	7785	759	3668	1842	940	7209	495	66	7770	15
532230	5	estab.	21700	1164	6140	3016	1667	11987	1910	1004	14901	6799	20851	970	5672	2724	1492	10858	1801	936	13595	7256	19609	907	4873	2309	1364	9453	1580	789	11822	7787	18590	879	4438	2105	1228	8650	1476	818	10944	7646	18431	770	3677	1895	1149	7491	1270	914	9675	8756
532230	5	empl.	157859	0	13974	18948	17228	50150	22117	11362	83629	74230	156138	0	12732	16817	15229	44778	21082	10468	76328	79810	151604	0	10757	14022	13557	38336	19757	10713	68806	82798	150330	0	9621	12836	12170	34627	19284	10830	64741	85589	151159	0	8304	11913	12174	32391	16595	10832	59818	91341
532230	5	ann. pay.	1438267	25042	116694	138015	142560	422311	208645	101834	732790	705477	1484422	37768	109850	126539	132558	406715	191905	112425	711045	773377	1565439	35090	103624	115490	129579	383783	189233	121408	694424	871015	1587730	30857	104136	115194	130067	380254	199806	127005	707065	880665	1715798	18948	82915	107971	116758	326592	166466	134188	627246	1088552
532230	5	rec.																																									9660756	86840	463778	521098	525816	1597532	804924	786011	3188467	6472289
532291	5	firms	783	90	280	163	100	633	89	16	738	45	779	72	290	157	98	617	87	25	729	50	752	61	282	154	102	599	81	25	705	47	783	69	281	172	104	626	88	24	738	45	845	81	296	190	134	701	79	23	803	42
532291	5	estab.	1688	90	280	169	105	644	148	63	855	833	2766	72	291	163	101	627	138	91	856	1910	2719	63	283	156	108	610	120	108	838	1881	2846	69	283	174	110	636	133	84	853	1993	2794	81	296	192	146	715	138	67	920	1874
532291	5	empl.	14492	0	671	1047	1339	3057	2400	835	6292	8200	27374	0	672	1041	1318	3031	2853	1115	6999	20375	28793	0	620	1033	1372	3025	2566	1639	7230	21563	28468	0	648	1136	1375	3159	2965	1156	7280	21188	27860	0	692	1247	1816	3755	2671	1287	7713	20147
532291	5	ann. pay.	427650	4860	17481	26897	36353	85591	63714	20621	169926	257724	847525	2018	19418	26815	35135	83386	83267	35382	202035	645490	839590	5204	19096	29048	37225	90573	77618	47450	215641	623949	957814	2730	22324	32727	42017	99798	89460	39371	228629	729185	1016493	5528	21199	40621	58220	125568	87738	40461	253767	762726
532291	5	rec.																																									3942278	32364	101765	140019	204449	478597	272529	155908	907034	3035244
532292	5	firms	1622	558	621	214	125	1518	88	10	1616	6	1633	561	615	219	137	1532	88	7	1627	6	1642	541	613	239	145	1538	91	6	1635	7	1666	542	643	209	150	1544	105	6	1655	11	1782	649	669	211	142	1671	93	9	1773	9
532292	5	estab.	1730	561	623	217	142	1543	122	56	1721	9	1739	564	615	228	145	1552	130	48	1730	9	1742	541	623	245	155	1564	115	17	1696	46	1768	546	643	222	157	1568	134	11	1713	55	1877	649	671	218	155	1693	122	12	1827	50
532292	5	empl.	8693	0	1248	1432	1676	4356	2477	1019	7852	841	8681	0	1271	1463	1881	4615	2676	462	7753	928	9492	0	1268	1589	1943	4800	2666	349	7815	1677	9908	0	1295	1350	1985	4630	3371	485	8486	1422	9231	0	1408	1400	1936	4744	2838	483	8065	1166
532292	5	ann. pay.	132309	11471	29946	20487	23824	85728	33088	7759	126575	5734	140349	14607	28241	23032	27322	93202	37972	3275	134449	5900	173232	16820	30618	26335	32200	105973	41402	11880	159255	13977	188419	16005	33237	25900	30691	105833	53893	14361	174087	14332	181481	18400	31796	27607	34510	112313	41072	11758	165143	16338
532292	5	rec.																																									836613	88882	154479	108709	138470	490540	134305	64911	689756	146857
532299	5	firms	2277	333	812	426	351	1922	296	30	2248	29	2275	281	855	449	308	1893	317	38	2248	27	2241	268	834	429	336	1867	306	45	2218	23	2255	309	824	425	329	1887	299	49	2235	20	2276	293	856	423	342	1914	292	51	2257	19
532299	5	estab.	3166	333	814	435	403	1985	474	142	2601	565	3625	282	855	460	353	1950	468	195	2613	1012	3539	271	835	432	382	1920	443	210	2573	966	3609	310	825	436	365	1936	455	229	2620	989	3720	293	857	432	391	1973	474	227	2674	1046
532299	5	empl.	27628	0	1762	2825	4619	9206	9194	2668	21068	6560	31191	0	1784	2957	4028	8769	9848	3744	22361	8830	31596	0	1780	2851	4444	9075	9562	4541	23178	8418	32387	0	1764	2894	4347	9005	9668	5081	23754	8633	33093	0	1894	2807	4499	9200	9363	5030	23593	9500
532299	5	ann. pay.	688793	10186	38372	60504	107410	216472	236105	76038	528615	160178	818100	8758	42221	69483	97263	217725	262035	113129	592889	225211	861501	10132	43121	67027	114522	234802	252788	144608	632198	229303	894886	13091	44230	68729	114036	240086	253901	159972	653959	240927	884116	10522	45609	67327	118147	241605	250568	158280	650453	233663
532299	5	rec.																																									3118277	52073	204845	232029	345521	834468	739976	493754	2068198	1050079
532310	5	firms	3870	352	1577	966	574	3469	316	46	3831	39	3732	287	1537	935	572	3331	324	43	3698	34	3552	274	1463	889	541	3167	309	44	3520	32	3427	261	1404	874	517	3056	298	42	3396	31	3597	316	1499	860	557	3232	289	45	3566	31
532310	5	estab.	6246	352	1584	984	650	3570	682	316	4568	1678	6428	287	1547	948	644	3426	609	347	4382	2046	6358	274	1469	907	617	3267	540	328	4135	2223	6406	261	1411	893	593	3158	527	325	4010	2396	6737	346	1501	873	662	3382	584	360	4326	2411
532310	5	empl.	40034	0	3675	6304	7155	17134	8651	4972	30757	9277	42138	0	3545	6141	7191	16877	8975	4563	30415	11723	41863	0	3396	5917	6864	16177	8811	3972	28960	12903	41355	0	3257	5822	6609	15688	8759	3445	27892	13463	40907	0	3476	5633	7110	16219	8311	3330	27860	13047
532310	5	ann. pay.	1039769	10857	86513	142505	174866	414741	241956	134648	791345	248424	1135420	7946	88126	148343	179830	424245	241944	119596	785785	349635	1189599	9707	87923	149903	180057	427590	251074	110934	789598	400001	1220593	9209	82599	150770	180156	422734	258759	104495	785988	434605	1262493	15725	88253	148324	193905	446207	242410	107519	796136	466357
532310	5	rec.																																									4971199	87427	413374	518717	635956	1655474	745152	444797	2845423	2125776
532411	5	firms	769	122	349	113	73	657	56	22	735	34	702	132	329	98	57	616	39	15	670	32	729	142	350	104	53	649	38	12	699	30	755	139	363	106	67	675	42	9	726	29	743	161	337	95	63	656	48	13	717	26
532411	5	estab.	831	122	350	118	77	667	73	24	764	67	744	132	332	99	60	623	46	18	687	57	765	142	351	106	55	654	45	12	711	54	792	139	363	108	71	681	50	9	740	52	780	161	337	96	65	659	59	13	731	49
532411	5	empl.	6958	0	701	747	897	2345	1774	771	4890	2068	6260	0	630	650	722	2002	1371	571	3944	2316	6501	0	678	685	671	2034	1206	432	3672	2829	6967	0	706	701	889	2296	1605	255	4156	2811	6712	0	649	636	800	2085	1619	904	4608	2104
532411	5	ann. pay.	342817	10939	23379	28051	29120	91489	64377	46078	201944	140873	358539	24921	22437	25485	24076	96919	77071	27824	201814	156725	373491	5444	26663	29198	26952	88257	73396	20881	182534	190957	403777	15099	26068	32507	38318	111992	91657	13454	217103	186674	355060	7197	27134	28770	37940	101041	81528	29124	211693	143367
532411	5	rec.																																									6952309	37687	202220	158437	272034	670378	1169486	271733	2111597	4840712
532412	5	firms	2629	358	991	479	364	2192	288	81	2561	68	2655	349	1031	511	359	2250	272	71	2593	62	2649	349	1018	495	370	2232	269	82	2583	66	2720	336	1094	471	380	2281	296	78	2655	65	2654	365	1043	460	360	2228	281	71	2580	74
532412	5	estab.	3985	358	992	485	397	2232	453	207	2892	1093	4469	354	1037	520	383	2294	404	161	2859	1610	4694	353	1019	502	399	2273	357	186	2816	1878	4904	337	1095	480	403	2315	394	196	2905	1999	4927	365	1045	468	378	2256	434	175	2865	2062
532412	5	empl.	44694	0	2133	3185	4727	10045	9070	6391	25506	19188	49561	0	2172	3398	4724	10294	8722	5038	24054	25507	57536	0	2122	3307	4770	10199	8153	6020	24372	33164	60935	0	2311	3123	5055	10489	9901	5435	25825	35110	63316	0	2223	3043	4726	9992	9205	5434	24631	38685
532412	5	ann. pay.	1627381	18054	68066	102988	154109	343217	311930	240204	895351	732030	1918842	19463	75565	113963	160248	369239	314440	201867	885546	1033296	2334198	34025	73050	112024	173004	392103	322833	236037	950973	1383225	2610402	16416	80033	115552	192687	404688	431589	234784	1071061	1539341	2694343	23517	73465	111796	190801	399579	393106	254000	1046685	1647658
532412	5	rec.																																									12787145	108887	408758	512050	764385	1794080	1610134	970386	4374600	8412545
532420	5	firms	1052	156	470	161	104	891	102	21	1014	38	1019	158	455	160	98	871	91	20	982	37	1010	147	445	163	107	862	89	23	974	36	995	145	445	167	90	847	85	28	960	35	946	146	428	151	88	813	74	24	911	35
532420	5	estab.	1415	158	471	170	114	913	196	80	1189	226	1362	161	460	170	103	894	168	84	1146	216	1361	147	449	170	119	885	147	111	1143	218	1305	145	451	173	98	867	138	155	1160	145	1175	146	429	154	104	833	118	113	1064	111
532420	5	empl.	14178	0	920	1044	1349	3313	3521	2052	8886	5292	15012	0	884	1015	1300	3199	3412	2434	9045	5967	15872	0	894	1027	1418	3339	3057	2914	9310	6562	15211	0	891	1058	1150	3099	2941	3775	9815	5396	11299	0	870	944	1121	2935	2424	2879	8238	3061
532420	5	ann. pay.	867861	7127	37641	51865	55273	151906	169772	135019	456697	411164	1001732	17709	36533	51312	58135	163689	168622	142596	474907	526825	1123842	5610	37937	45992	70699	160238	165981	195337	521556	602286	890987	8486	36610	43385	55282	143763	132303	245108	521174	369813	613644	5568	35885	38494	51006	130953	115460	154946	401359	212285
532420	5	rec.																																									4595303	39509	245395	230334	290792	806030	505023	2092912	3403965	1191338
532490	5	firms	4281	621	1737	617	527	3502	488	145	4135	146	4152	613	1692	632	494	3431	452	121	4004	148	4056	575	1644	649	467	3335	447	126	3908	148	4011	550	1645	654	457	3306	451	121	3878	133	3942	579	1645	617	421	3262	435	120	3817	125
532490	5	estab.	5849	624	1742	630	584	3580	718	437	4735	1114	5921	618	1696	644	528	3486	680	323	4489	1432	5801	577	1650	659	500	3386	584	321	4291	1510	5982	553	1648	675	480	3356	597	340	4293	1689	6087	582	1646	628	470	3326	678	284	4288	1799
532490	5	empl.	74043	0	3592	4008	6989	14589	16634	13093	44316	29727	74575	0	3434	4068	6483	13985	15839	10604	40428	34147	77586	0	3383	4228	6159	13770	14772	11989	40531	37055	82823	0	3410	4278	6061	13749	14995	11929	40673	42150	84565	0	3404	4066	5676	13146	14783	10407	38336	46229
532490	5	ann. pay.	2640977	27971	112451	117497	250679	508598	598140	501301	1608039	1032938	2772973	28876	106977	121216	246503	503572	582962	428828	1515362	1257611	2906064	78697	108902	129863	229163	546625	586942	467228	1600795	1305269	3093233	21312	110062	138561	227025	496960	594550	484766	1576276	1516957	3181878	26636	108896	140436	219396	495364	613585	428309	1537258	1644620
532490	5	rec.																																									13294217	173524	622895	595055	844442	2235916	2288966	1604674	6129556	7164661
533110	5	firms	1991	300	899	248	168	1615	147	68	1830	161	1952	250	923	245	162	1580	150	69	1799	153	1907	224	917	217	172	1530	164	65	1759	148	2027	292	928	254	169	1643	179	64	1886	141	2077	342	885	227	190	1644	200	63	1907	170
533110	5	estab.	2124	300	900	259	179	1638	165	87	1890	234	2099	253	928	254	169	1604	165	101	1870	229	2054	224	923	224	181	1552	174	101	1827	227	2129	292	930	257	178	1657	190	82	1929	200	2184	342	887	233	199	1661	213	77	1951	233
533110	5	empl.	22591	0	1726	1630	2089	5445	4597	4200	14242	8349	25881	0	1804	1561	2081	5446	4972	5004	15422	10459	26462	0	1799	1368	2198	5365	5622	5178	16165	10297	25661	0	1820	1631	2142	5593	6173	5601	17367	8294	24052	0	1721	1466	2525	5712	6403	4208	16323	7729
533110	5	ann. pay.	1147607	23316	77722	68517	96194	265749	214922	205277	685948	461659	1460088	36976	86163	70166	91337	284642	307375	264572	856589	603499	1625641	21355	86047	71296	98307	277005	393236	301845	972086	653555	1621052	26011	91574	85108	93579	296272	350277	319848	966397	654655	1446754	36688	76241	68940	116192	298061	381167	259760	938988	507766
533110	5	rec.																																									14894889	208191	816023	267815	434543	1726572	2291438	1026755	5044765	9850124
541110	5	firms	163485	14770	108033	22910	10443	156156	6432	758	163346	139	162553	14302	107259	22984	10558	155103	6531	767	162401	152	162011	14847	105942	23262	10503	154554	6524	776	161854	157	161875	15055	105751	23223	10427	154456	6451	791	161698	177	162732	16118	104960	23527	10569	155174	6545	827	162546	186
541110	5	estab.	169399	14778	108122	23185	11145	157230	8842	2464	168536	863	168486	14320	107351	23255	11198	156124	8988	2387	167499	987	167936	14873	106058	23534	11151	155616	8814	2409	166839	1097	167852	15083	105893	23499	11030	155505	8608	2483	166596	1256	169205	16135	105021	23748	11208	156112	8987	2774	167873	1332
541110	5	empl.	988948	0	206153	147767	138402	492322	238163	148719	879204	109744	1014850	0	204979	147991	140003	492973	241290	150450	884713	130137	1023682	0	203393	149594	138929	491916	241453	150820	884189	139493	1045794	0	203939	149532	138246	491717	239223	151454	882394	163400	1063238	0	204470	151660	140530	496660	243126	156957	896743	166495
541110	5	ann. pay.	51535054	860675	6726194	5727195	6623780	19937844	14127341	9606611	43671796	7863258	54991274	902331	6932618	5840086	6903561	20578596	14704988	9972476	45256060	9735214	59940068	1036833	7154842	6197647	7138696	21528018	15236018	10850445	47614481	12325587	64738245	1034710	7561879	6457123	7535476	22589188	15916155	11641122	50146465	14591780	67295119	1185232	7513987	6692550	7831861	23223630	16510945	12159634	51894209	15400910
541110	5	rec.																																									173488212	3307854	26918108	18388114	18219606	66833682	35619759	27886682	130340123	43148089
541191	5	firms	5273	480	2464	1156	634	4734	440	67	5241	32	5427	550	2369	1182	747	4848	464	77	5389	38	5524	538	2580	1214	677	5009	417	60	5486	38	5692	581	2719	1251	651	5202	403	48	5653	39	5627	625	2530	1237	690	5082	441	62	5585	42
541191	5	estab.	6626	480	2469	1172	753	4874	842	358	6074	552	6821	551	2374	1200	842	4967	837	358	6162	659	7017	538	2582	1241	804	5165	800	306	6271	746	7142	581	2723	1287	753	5344	806	260	6410	732	7260	625	2530	1254	817	5226	923	291	6440	820
541191	5	empl.	50623	0	5512	7604	8167	21283	14858	6926	43067	7556	57426	0	5424	7752	9835	23011	16282	9306	48599	8827	54474	0	5892	7883	8897	22672	14312	6140	43124	11350	53012	0	6080	8128	8554	22762	14524	5061	42347	10665	62699	0	5803	8119	9114	23036	15236	5872	44144	18555
541191	5	ann. pay.	1756966	17262	143722	228959	263423	653366	535153	280055	1468574	288392	1861030	22069	137185	212306	297622	669182	533472	305933	1508587	352443	1806960	19755	150608	215387	270166	655916	480824	226049	1362789	444171	2049963	21361	179206	263712	306014	770293	586199	213133	1569625	480338	2671659	29364	177992	269316	360291	836963	612402	242581	1691946	979713
541191	5	rec.																																									7578917	106105	567159	729166	915627	2318057	1482808	620657	4421522	3157395
541199	5	firms	1737	320	995	219	106	1640	74	12	1726	11	1660	285	963	207	109	1564	71	14	1649	11	1696	294	968	227	98	1587	80	15	1682	14	1698	275	988	223	101	1587	87	11	1685	13	2099	276	1306	285	127	1994	75	18	2087	12
541199	5	estab.	1813	320	996	223	115	1654	85	21	1760	53	1730	285	964	210	118	1577	80	23	1680	50	1767	294	970	229	101	1594	94	24	1712	55	1777	275	991	224	103	1593	102	20	1715	62	2227	276	1306	291	133	2006	99	39	2144	83
541199	5	empl.	9802	0	1861	1441	1386	4688	2190	1650	8528	1274	9977	0	1766	1333	1431	4530	2196	1780	8506	1471	10807	0	1789	1462	1292	4543	2617	2055	9215	1592	11381	0	1811	1414	1326	4551	2913	1260	8724	2657	12514	0	2398	1837	1633	5868	2331	2455	10654	1860
541199	5	ann. pay.	308959	9885	43991	39014	43705	136595	72688	49206	258489	50470	327246	11870	42785	36457	47545	138657	70052	68536	277245	50001	393721	9114	43657	40949	44260	137980	101398	96933	336311	57410	448340	7994	48338	39471	42140	137943	107951	56434	302328	146012	490125	14642	62029	53553	52667	182891	87775	126455	397121	93004
541199	5	rec.																																									1761491	49780	269735	196235	151446	667196	302690	421112	1390998	370493
541211	5	firms	51841	5434	30202	9806	4187	49629	1994	156	51779	62	51645	5240	30102	9763	4237	49342	2065	170	51577	68	51446	5327	29600	9901	4280	49108	2099	168	51375	71	51399	5329	29646	9806	4286	49067	2084	179	51330	69	52159	5825	29831	9876	4295	49827	2076	178	52081	78
541211	5	estab.	54291	5440	30218	9890	4509	50057	2812	580	53449	842	54475	5252	30124	9842	4547	49765	2843	600	53208	1267	54284	5330	29624	9977	4572	49503	2876	578	52957	1327	54300	5333	29671	9893	4553	49450	2823	641	52914	1386	55551	5825	29842	9953	4565	50185	2974	646	53805	1746
541211	5	empl.	394071	0	62787	63238	54839	180864	69918	22439	273221	120850	415914	0	62716	62992	55335	181043	72397	24615	278055	137859	427028	0	61870	63896	55800	181566	75184	24383	281133	145895	428115	0	61799	63352	56104	181255	75340	26547	283142	144973	419074	0	62535	63741	56354	182630	74207	25589	282426	136648
541211	5	ann. pay.	16785071	178470	1626492	1964697	2111976	5881635	3186027	1024200	10091862	6693209	18635586	179446	1685195	2017806	2171611	6054058	3431622	1088924	10574604	8060982	21023072	166006	1712264	2080514	2258132	6216916	3666243	1170247	11053406	9969666	21111927	158860	1790918	2133080	2337079	6419937	3833552	1309978	11563467	9548460	20400752	223288	1828707	2229817	2418050	6699862	3883833	1343537	11927232	8473520
541211	5	rec.																																									49239606	668780	5613705	5139187	4965625	16387297	7804661	2841301	27033259	22206347
541213	5	firms	11292	947	7040	1769	942	10698	548	30	11276	16	11477	1154	6899	1812	964	10829	594	40	11463	14	11815	1172	7003	1952	1003	11130	630	40	11800	15	11988	1235	6997	1975	1039	11246	673	52	11971	17	13113	1450	7740	2058	1064	12312	703	75	13090	23
541213	5	estab.	12830	947	7046	1779	999	10771	919	289	11979	851	13106	1154	6903	1828	1019	10904	948	398	12250	856	14030	1174	7009	1971	1069	11223	971	376	12570	1460	14335	1235	7003	1988	1109	11335	976	346	12657	1678	19973	1450	7743	2062	1132	12387	1139	362	13888	6085
541213	5	empl.	152212	0	13814	11393	12433	37640	18291	4364	60295	91917	159524	0	13756	11617	12781	38154	20559	6816	65529	93995	178009	0	14081	12492	13268	39841	21624	6675	68140	109869	186284	0	14069	12770	13801	40640	23143	8773	72556	113728	215807	0	15835	13408	14138	43381	24641	11901	79923	135884
541213	5	ann. pay.	864650	9686	136561	93708	80817	320772	100192	30542	451506	413144	998074	13114	146354	106546	91204	357218	112918	42936	513072	485002	1199921	18169	164061	122618	106841	411689	139835	89526	641050	558871	1552087	28047	167654	131333	117805	444839	157357	148456	750652	801435	1597882	23525	191899	140808	126289	482521	171802	135719	790042	807840
541213	5	rec.																																									4941570	93217	769408	422395	362344	1647364	468946	339045	2455355	2486215
541214	5	firms	2315	309	744	289	237	1579	405	213	2197	118	2370	307	773	288	247	1615	398	227	2240	130	2450	327	803	294	234	1658	422	232	2312	138	2594	326	882	313	270	1791	430	234	2455	139	2863	319	921	360	331	1931	507	270	2708	155
541214	5	estab.	3114	309	744	289	238	1580	415	230	2225	889	3186	311	773	288	248	1620	420	245	2285	901	3196	331	804	294	238	1667	432	275	2374	822	3420	326	882	319	272	1799	442	269	2510	910	3664	319	921	361	339	1940	538	321	2799	865
541214	5	empl.	381982	0	1511	1896	3174	6581	17769	40230	64580	317402	379248	0	1566	1878	3294	6738	17746	42248	66732	312516	410093	0	1668	1953	3168	6789	18464	44879	70132	339961	421641	0	1842	2051	3625	7518	18922	44915	71355	350286	441423	0	1915	2362	4402	8679	21882	51297	81858	359565
541214	5	ann. pay.	8962666	91992	56152	58864	111675	318683	481584	929118	1729385	7233281	9361620	183065	75595	58540	113410	430610	518918	996518	1946046	7415574	11147327	77884	134486	67111	122601	402082	666090	1127755	2195927	8951400	10920300	177412	68789	69006	146481	461688	673325	1261574	2396587	8523713	12006407	142671	103612	81419	167204	494906	775593	1450488	2720987	9285420
541214	5	rec.																																									20619430	272688	207852	208401	376825	1065766	1265827	2070553	4402146	16217284
541219	5	firms	28412	3842	18973	3477	1199	27491	682	138	28311	101	28236	3849	18710	3499	1193	27251	737	148	28136	100	28446	4057	18542	3527	1254	27380	791	162	28333	113	29359	4234	18895	3730	1398	28257	831	162	29250	109	31109	4813	19658	3886	1524	29881	908	199	30988	121
541219	5	estab.	28848	3846	18978	3483	1222	27529	794	259	28582	266	28655	3862	18711	3513	1215	27301	839	219	28359	296	28853	4067	18543	3537	1275	27422	901	221	28544	309	29771	4234	18900	3737	1415	28286	937	234	29457	314	31656	4815	19659	3894	1549	29917	1077	351	31345	311
541219	5	empl.	132382	0	35867	22061	15421	73349	23515	13976	110840	21542	138922	0	35350	22253	15320	72923	25494	14754	113171	25751	149064	0	35196	22421	16070	73687	27555	19262	120504	28560	155316	0	35909	23610	18044	77563	30323	21619	129505	25811	164965	0	38226	24682	19654	82562	32195	24059	138816	26149
541219	5	ann. pay.	3648129	77343	611907	470302	387422	1546974	672632	424367	2643973	1004156	3702102	96786	632342	486714	406087	1621929	753071	457947	2832947	869155	4327751	93932	661703	510108	417657	1683400	887867	601386	3172653	1155098	4717689	106775	703639	564863	501092	1876369	989596	716295	3582260	1135429	4924935	105648	751517	608103	553543	2018811	1001362	763265	3783438	1141497
541219	5	rec.																																									11443319	383271	2403599	1464556	1193154	5444580	2337165	1637528	9419273	2024046
541310	5	firms	20569	2467	10577	4042	2014	19100	1288	148	20536	33	20822	2262	10536	4241	2201	19240	1384	161	20785	37	21272	2340	10532	4409	2291	19572	1481	179	21232	40	21715	2283	10735	4578	2334	19930	1538	194	21662	53	22521	2601	11221	4555	2379	20756	1517	195	22468	53
541310	5	estab.	21188	2468	10584	4063	2097	19212	1500	334	21046	142	21453	2275	10543	4258	2268	19344	1589	348	21281	172	21951	2343	10538	4427	2346	19654	1674	414	21742	209	22468	2285	10741	4592	2385	20003	1711	448	22162	306	23486	2601	11225	4574	2456	20856	1863	499	23218	268
541310	5	empl.	157670	0	22368	26421	26496	75285	47253	21710	144248	13422	168337	0	22171	27764	28903	78838	51410	21873	152121	16216	179467	0	22377	28864	30238	81479	54814	25374	161667	17800	193406	0	22671	30076	31064	83811	57237	27572	168620	24786	185649	0	23570	29833	31178	84581	56025	26967	167573	18076
541310	5	ann. pay.	7550260	93006	751521	1039662	1188463	3072652	2500457	1204086	6777195	773065	8373796	107324	783240	1124158	1339971	3354693	2851701	1262009	7468403	905393	9441449	97972	827457	1217828	1483341	3626598	3157317	1557051	8340966	1100483	10298865	101913	843312	1291720	1536411	3773356	3309956	1737188	8820500	1478365	9997521	97535	874884	1300671	1573046	3846136	3313785	1704584	8864505	1133016
541310	5	rec.																																									25700888	422758	2994726	3333945	3857423	10608852	8083380	4033196	22725428	2975460
541320	5	firms	7584	1865	3500	1208	631	7204	338	34	7576	8	7653	1683	3605	1285	656	7229	374	41	7644	9	6390	1327	2998	1095	564	5984	365	33	6382	8	6447	1250	3087	1117	576	6030	370	38	6438	9	6729	1535	2916	1144	662	6257	418	44	6719	10
541320	5	estab.	7626	1865	3502	1212	636	7215	354	46	7615	11	7695	1683	3606	1289	661	7239	388	55	7682	13	6424	1327	2998	1098	568	5991	373	49	6413	11	6486	1250	3087	1121	580	6038	374	62	6474	12	6829	1535	2916	1148	678	6277	444	75	6796	33
541320	5	empl.	39510	0	7101	7844	8358	23303	11829	3949	39081	429	42691	0	7376	8450	8756	24582	13013	4617	42212	479	38271	0	6055	7191	7449	20695	13200	4082	37977	294	39628	0	6175	7231	7638	21044	13298	4906	39248	380	43711	0	6113	7531	8790	22434	14885	5345	42664	1047
541320	5	ann. pay.	1115885	51761	193559	196225	236376	677921	334374	92017	1104312	11573	1240426	53843	208192	226734	258460	747229	366527	109575	1223331	17095	1205902	46167	176736	206205	235103	664211	404265	123967	1192443	13459	1359344	38932	195504	227819	256953	719208	447107	178778	1345093	14251	1560413	60794	208452	255042	313296	837584	495118	182411	1515113	45300
541320	5	rec.																																									4429316	250974	704313	721884	794088	2471259	1210918	511322	4193499	235817
541330	5	firms	46182	6336	21519	7324	5256	40435	4465	870	45770	412	45812	5845	21176	7330	5495	39846	4631	894	45371	441	45579	5905	20641	7266	5506	39318	4861	971	45150	429	45540	5582	20655	7262	5587	39086	4994	1011	45091	449	45849	6551	20845	6974	5224	39594	4795	1001	45390	459
541330	5	estab.	53424	6339	21540	7367	5386	40632	5824	2955	49411	4013	53729	5849	21198	7378	5631	40056	5887	3085	49028	4701	53479	5916	20676	7310	5638	39540	6066	3287	48893	4586	53763	5592	20682	7306	5715	39295	6136	3355	48786	4977	54910	6569	20859	7022	5453	39903	6580	3579	50062	4848
541330	5	empl.	795629	0	42046	48665	70676	161387	167274	132456	461117	334512	826717	0	41252	48614	74111	163977	175348	136862	476187	350530	816031	0	40530	48392	74109	163031	184586	151683	499300	316731	859691	0	40652	48366	75472	164490	191693	161090	517273	342418	815541	0	40381	46323	70212	156916	182895	156801	496612	318929
541330	5	ann. pay.	40097774	320759	1705945	2061606	3243616	7331926	8400565	6891738	22624229	17473545	43916818	360881	1746016	2118635	3510053	7735585	9179005	7249614	24164204	19752614	47405254	462823	1751358	2250536	3687521	8152238	10050505	8851047	27053790	20351464	49388522	354717	1824991	2284957	3807080	8271745	10636433	9321595	28229773	21158749	47837768	411766	1760504	2237220	3618778	8028268	10437405	9296922	27762595	20075173
541330	5	rec.																																									118300133	1234427	5000247	5384479	7944348	19563501	22194248	20258842	62016591	56283542
541340	5	firms	2119	400	1251	245	136	2032	73	11	2116	3	2090	345	1271	248	132	1996	80	10	2086	4	2186	358	1335	251	151	2095	78	8	2181	5	2236	367	1374	260	146	2147	76	7	2230	6	2694	412	1752	311	146	2621	61	8	2690	4
541340	5	estab.	2133	400	1251	245	138	2034	80	16	2130	3	2103	345	1271	248	134	1998	87	11	2096	7	2200	358	1335	251	153	2097	87	8	2192	8	2253	367	1375	261	149	2152	84	7	2243	10	2713	412	1753	314	149	2628	71	9	2708	5
541340	5	empl.	9410	0	2332	1564	1722	5618	2465	1277	9360	50	9633	0	2377	1616	1763	5756	2603	[g]	[i]	[e]	10204	0	2464	1630	1986	6080	3013	696	9789	415	10335	0	2467	1722	1928	6117	2822	908	9847	488	10088	0	3118	2005	1892	7015	2083	871	9969	119
541340	5	ann. pay.	352730	10589	58903	47546	61518	178556	108396	64175	351127	1603	357404	7807	63190	53611	63186	187794	101605	(D)	(D)	(D)	399188	11588	64494	52959	73441	202482	130982	33502	366966	32222	412486	6860	65752	57288	68760	198660	122852	54659	376171	36315	373003	10125	84100	70027	70249	234501	95977	32568	363046	9957
541340	5	rec.																																									768166	35451	239792	140374	130985	546602	163221	52269	762092	6074
541350	5	firms	3077	588	1973	287	135	2983	79	7	3069	8	3210	565	2078	321	139	3103	92	8	3203	7	3280	549	2118	352	139	3158	98	16	3272	8	3520	597	2250	377	164	3388	107	16	3511	9	4099	739	2706	374	162	3981	98	11	4090	9
541350	5	estab.	3133	589	1973	290	138	2990	102	18	3110	23	3270	566	2078	321	145	3110	120	20	3250	20	3338	549	2119	352	145	3165	123	30	3318	20	3581	597	2251	380	168	3396	132	31	3559	22	4182	739	2707	379	171	3996	135	32	4163	19
541350	5	empl.	12223	0	3469	1866	1744	7079	3043	622	10744	1479	11940	0	3737	2067	1841	7645	3571	565	11781	159	13738	0	3814	2258	1832	7904	3569	1832	13305	433	15138	0	4015	2411	2119	8545	3676	1806	14027	1111	13897	0	4859	2399	2047	9305	3553	868	13726	171
541350	5	ann. pay.	337544	16585	87358	52043	51435	207421	97596	13939	318956	18588	391532	15742	98569	58932	57507	230750	131455	21536	383741	7791	474127	15112	99120	69426	60056	243714	129309	84244	457267	16860	539533	14650	110815	75490	67137	268092	157405	47600	473097	66436	495556	21631	131101	79318	78312	310362	143468	30978	484808	10748
541350	5	rec.																																									1334226	77111	407975	245438	177027	907551	303819	112620	1323990	10236
541360	5	firms	624	108	313	93	49	563	42	12	617	7	609	114	317	84	43	558	37	9	604	5	623	107	323	89	53	572	34	10	616	7	648	96	339	94	63	592	36	13	641	7	878	137	469	121	78	805	51	12	868	10
541360	5	estab.	668	108	313	96	51	568	51	15	634	34	644	114	317	85	45	561	49	11	621	23	663	107	324	90	55	576	45	18	639	24	691	96	339	95	65	595	47	22	664	27	966	137	469	124	85	815	69	16	900	66
541360	5	empl.	11798	0	583	616	646	1845	1656	1601	5102	6696	8773	0	606	531	558	1695	1489	[f]	[h]	[h]	7081	0	624	544	684	1852	1238	1117	4207	2874	9887	0	675	593	805	2073	1396	1716	5185	4702	7773	0	884	761	1041	2686	1837	1452	5975	1798
541360	5	ann. pay.	486638	4791	17737	23262	33077	78867	67272	43051	189190	297448	369974	3981	17186	21081	33302	75550	59316	(D)	(D)	(D)	296890	4299	20464	19086	37104	80953	61032	41317	183302	113588	445716	10995	26099	23681	35052	95827	68285	72386	236498	209218	364986	6138	29839	34833	43248	114058	93416	62160	269634	95352
541360	5	rec.																																									1090077	26161	92287	91337	113929	323714	288049	173195	784958	305119
541370	5	firms	8764	757	4704	1880	955	8296	403	42	8741	23	8780	677	4724	1863	1001	8265	446	43	8754	26	8720	686	4568	1927	987	8168	477	49	8694	26	8685	716	4535	1894	985	8130	484	48	8662	23	8767	751	4516	1920	1020	8207	492	46	8745	22
541370	5	estab.	8957	757	4705	1892	983	8337	498	70	8905	52	8979	679	4726	1873	1022	8300	551	74	8925	54	8919	688	4572	1935	1007	8202	576	80	8858	61	8881	716	4538	1908	1008	8170	563	89	8822	59	9013	751	4517	1929	1044	8241	630	82	8953	60
541370	5	empl.	55231	0	10386	12288	12391	35065	12353	3459	50877	4354	56733	0	10362	12248	13071	35681	14099	3912	53692	3041	58676	0	9978	12677	12857	35512	15018	4406	54936	3740	59420	0	9960	12552	12822	35334	15609	4375	55318	4102	59483	0	9947	12706	13369	36022	15908	4363	56293	3190
541370	5	ann. pay.	1649852	21354	224717	317540	369758	933369	432253	122267	1487889	161963	1784877	27191	234577	330500	400975	993243	506907	156722	1656872	128005	1940343	23437	229831	354318	408387	1015973	564793	201067	1781833	158510	2051931	25008	243121	362100	435368	1065597	602520	217931	1886048	165883	2095167	22367	248001	377857	464929	1113154	640458	206593	1960205	134962
541370	5	rec.																																									4311513	67146	690830	768615	867928	2394519	1212551	376918	3983988	327525
541380	5	firms	4224	391	1488	790	578	3247	721	160	4128	96	4115	295	1502	796	569	3162	703	147	4012	103	4040	303	1453	770	590	3116	684	145	3945	95	4244	344	1566	819	606	3335	666	142	4143	101	4708	440	1846	872	617	3775	680	148	4603	105
541380	5	estab.	5615	391	1491	798	603	3283	971	475	4729	886	5557	300	1506	806	590	3202	946	451	4599	958	5318	308	1456	777	615	3156	925	448	4529	789	5474	346	1571	826	628	3371	889	444	4704	770	5962	441	1847	881	643	3812	972	488	5272	690
541380	5	empl.	89998	0	3397	5242	7696	16335	25347	19498	61180	28818	88014	0	3330	5276	7643	16249	25060	17876	59185	28829	89887	0	3259	5114	7975	16348	25478	18159	59985	29902	98422	0	3467	5403	8314	17184	25411	19345	61940	36482	100797	0	4110	5833	8472	18415	25714	19918	64047	36750
541380	5	ann. pay.	3234837	18971	102637	164753	252670	539031	879949	692907	2111887	1122950	3345179	13956	105186	172800	253232	545174	902083	671529	2118786	1226393	3605567	15251	106130	174251	283388	579020	966164	719598	2264782	1340785	4216324	26191	124898	189584	304870	645543	1016432	780837	2442812	1773512	4403713	24899	145589	210351	326831	707670	1051528	836893	2596091	1807622
541380	5	rec.																																									10285091	80560	435621	528199	786993	1831373	2397111	1813906	6042390	4242701
541410	5	firms	10132	1844	6241	1260	514	9859	234	23	10116	16	10162	1586	6339	1363	562	9850	266	29	10145	17	10376	1671	6296	1463	603	10033	298	27	10358	18	10823	1726	6676	1472	592	10466	312	28	10806	17	11132	1939	7042	1391	501	10873	216	25	11114	18
541410	5	estab.	10195	1845	6242	1268	525	9880	249	45	10174	21	10220	1587	6340	1371	573	9871	281	49	10201	19	10440	1672	6297	1471	615	10055	311	50	10416	24	10889	1728	6678	1480	603	10489	324	54	10867	22	11217	1939	7042	1399	526	10906	235	53	11194	23
541410	5	empl.	36714	0	12083	8073	6664	26820	7269	1799	35888	826	40683	0	12400	8694	7345	28439	8556	2936	39931	752	44206	0	12490	9350	7936	29776	9884	2504	42164	2042	46486	0	13045	9416	7742	30203	10347	2829	43379	3107	39536	0	13576	8927	6578	29081	6846	2042	37969	1567
541410	5	ann. pay.	1263331	58656	318356	227473	244198	848683	283426	84801	1216910	46421	1451607	50014	346478	271815	270273	938580	326809	133484	1398873	52734	1669778	50714	369726	307096	317728	1045264	393237	144382	1582883	86895	1756820	55124	389610	308105	296476	1049315	414069	118292	1581676	175144	1485396	52440	394380	308611	273183	1028614	294831	99372	1422817	62579
541410	5	rec.																																									7035892	407646	2802981	1515095	1079114	5804836	869500	221318	6895654	140238
541420	5	firms	1453	288	729	184	113	1314	106	15	1435	18	1380	222	736	168	128	1254	95	15	1364	16	1388	257	691	191	116	1255	101	17	1373	15	1392	238	694	210	117	1259	97	20	1376	16	1605	289	866	213	115	1483	86	18	1587	18
541420	5	estab.	1489	288	731	185	115	1319	115	19	1453	36	1418	222	736	169	130	1257	103	19	1379	39	1427	257	691	192	118	1258	109	22	1389	38	1428	238	694	213	117	1262	105	25	1392	36	1644	289	866	216	118	1489	100	23	1612	32
541420	5	empl.	14366	0	1373	1227	1475	4075	3822	1355	9252	5114	14009	0	1401	1114	1681	4196	3467	[g]	[i]	[i]	13898	0	1338	1262	1537	4137	3819	         [g]	         [i]	         [h]	14307	0	1349	1397	1564	4310	         [h]	         [g]	10535	3772	12720	0	1605	1425	1543	4573	2972	1315	8860	3860
541420	5	ann. pay.	676874	17348	52522	51492	60185	181547	170758	66036	418341	258533	622551	8422	56492	49619	76399	190932	162491	(D)	(D)	(D)	689546	9820	58983	60095	73370	202268	184963	         (D)	         (D)	         (D)	678356	10838	55540	62196	76514	205088	         (D)	         (D)	481264	197092	657113	12556	67866	67216	73513	221151	156171	62739	440061	217052
541420	5	rec.																																									2055079	52375	235250	218740	169848	676213	398421	193624	1268258	786821
541430	5	firms	14952	2378	8914	2140	977	14409	460	44	14913	39	15208	2293	9118	2236	1005	14652	477	46	15175	33	15265	2413	8933	2271	1018	14635	549	48	15232	33	15576	2335	9177	2315	1121	14948	541	52	15541	35	15952	2661	9662	2148	964	15435	434	52	15921	31
541430	5	estab.	15063	2378	8919	2147	994	14438	499	62	14999	64	15329	2303	9120	2246	1019	14688	519	54	15261	68	15383	2413	8934	2280	1032	14659	592	64	15315	68	15705	2335	9179	2323	1139	14976	571	86	15633	72	16102	2661	9667	2154	981	15463	493	84	16040	62
541430	5	empl.	68785	0	17308	13779	12781	43868	15328	4343	63539	5246	69937	0	17419	14361	13332	45112	16353	4639	66104	3833	74882	0	17220	14711	13420	45351	19007	5515	69873	5009	78739	0	17568	14924	14756	47248	19206	6137	72591	6148	69597	0	18378	13899	12630	44907	14936	4242	64085	5512
541430	5	ann. pay.	2792839	76133	549114	512093	544088	1681428	694077	185347	2560852	231987	3075241	142885	575491	546117	598406	1862899	788814	198345	2850058	225183	3428453	81271	588109	600639	630186	1900205	980703	237427	3118335	310118	3359301	79127	574908	578341	639725	1872101	920127	301632	3093860	265441	3205643	80387	585580	563244	579875	1809086	755083	240557	2804726	400917
541430	5	rec.																																									9412475	352638	2240237	1684932	1607546	5885353	1928502	596492	8410347	1002128
541490	5	firms	1069	287	562	121	58	1028	32	4	1064	5	1130	222	653	153	52	1080	38	7	1125	5	1171	239	660	137	79	1115	47	3	1165	6	1282	259	711	155	98	1223	50	2	1275	7	1740	369	1043	175	88	1675	54	4	1733	7
541490	5	estab.	1070	287	562	121	58	1028	33	4	1065	5	1130	222	653	153	52	1080	38	7	1125	5	1172	239	660	137	79	1115	47	4	1166	6	1283	259	711	155	98	1223	50	2	1275	8	1748	369	1043	176	89	1677	59	4	1740	8
541490	5	empl.	4815	0	1015	787	791	2593	1154	1043	4790	25	6505	0	1175	1051	679	2905	1206	[g]	[i]	[g]	6740	0	1236	895	1036	3167	1470	         [e]	         [i]	         [g]	8240	0	1307	1028	1304	3639	         [g]	         [e]	5437	2803	9693	0	1862	1098	1171	4131	1666	127	5924	3769
541490	5	ann. pay.	164640	10967	35257	22297	29580	98101	35820	29064	162985	1655	212720	9030	39096	30700	25901	104727	38881	(D)	(D)	(D)	258580	10409	52985	25834	40021	129249	54895	         (D)	         (D)	         (D)	293613	9726	43183	26419	34949	114277	         (D)	         (D)	194728	98885	336954	17194	58683	33842	35193	144912	79068	5078	229058	107896
541490	5	rec.																																									1095124	86069	302635	143333	121900	653937	213382	7558	874877	220247
541511	5	firms	32911	7368	17028	3417	2115	29928	2187	500	32615	296	36223	8109	18669	3686	2355	32819	2523	556	35898	325	39061	8786	19547	4063	2651	35047	3023	642	38712	349	40246	7904	20815	4253	2929	35901	3264	732	39897	349	43513	8586	24313	4205	2759	39863	2742	568	43173	340
541511	5	estab.	35787	7371	17044	3456	2186	30057	2508	989	33554	2233	39263	8123	18689	3730	2412	32954	2776	1100	36830	2433	42352	8794	19570	4113	2717	35194	3260	1253	39707	2645	43557	7905	20847	4294	3003	36049	3500	1376	40925	2632	47081	8592	24331	4241	2851	40015	3250	1195	44460	2621
541511	5	empl.	395099	0	29622	22268	28422	80312	86600	73652	240564	154535	436343	0	32253	24060	31614	87927	99024	87864	274815	161528	490319	0	34471	26587	35985	97043	120921	104276	322240	168079	538674	0	36960	27563	39725	104248	130752	120780	355780	182894	459727	0	42113	27731	37291	107135	105433	82147	294715	165012
541511	5	ann. pay.	25223546	569030	1565563	1213849	1686588	5035030	5822799	4993917	15851746	9371800	29398800	586656	1778976	1379845	1995852	5741329	7029459	6172108	18942896	10455904	36883457	928283	1913592	1569345	2334045	6745265	9157578	8631951	24534794	12348663	36851309	767110	1899023	1468052	2388088	6522273	8843007	8940669	24305949	12545360	32140417	518204	2103052	1536095	2308088	6465439	7675631	6322683	20463753	11676664
541511	5	rec.																																									70268297	1518556	5430285	3521758	4951145	15421744	14665061	12741851	42828656	27439641
541512	5	firms	31682	6903	16790	3447	2033	29173	1775	442	31390	292	32309	5271	18285	3711	2203	29470	2055	459	31984	325	31560	5317	17183	3712	2310	28522	2196	512	31230	330	32286	5251	17853	3715	2343	29162	2225	561	31948	338	33501	6216	18770	3543	2202	30731	1960	489	33180	321
541512	5	estab.	34270	6904	16800	3468	2091	29263	2139	925	32327	1943	36399	5297	18299	3724	2243	29563	2387	881	32831	3568	36400	5322	17192	3733	2343	28590	2510	973	32073	4327	37243	5256	17866	3732	2375	29229	2511	987	32727	4516	38877	6219	18779	3574	2307	30879	2442	1071	34392	4485
541512	5	empl.	354951	0	29459	22588	27166	79213	68003	59797	207013	147938	441249	0	32264	24333	29291	85888	78895	66878	231661	209588	521454	0	30388	24460	31016	85864	85022	79423	250309	271145	538673	0	31693	24291	31577	87561	86900	88551	263012	275661	466119	0	33364	23296	29613	86273	74458	72350	233081	233038
541512	5	ann. pay.	22465181	414909	1536178	1088137	1471043	4510267	4239658	3804394	12554319	9910862	28557099	330344	1715949	1271517	1663788	4981598	5062399	4713908	14757905	13799194	37986412	484986	1610245	1230661	1789380	5115272	5665610	6634638	17415520	20570892	37107143	364832	1623219	1209193	1852220	5049464	5479980	6066489	16595933	20511210	31748720	364638	1625000	1197418	1737257	4924313	4999531	5199314	15123158	16625562
541512	5	rec.																																									85848086	1073516	4569598	3223899	4285347	13152360	11575305	12358080	37085745	48762341
541513	5	firms	814	131	285	100	75	591	111	54	756	58	913	204	311	115	75	705	103	49	857	56	1013	198	381	126	97	802	107	54	963	50	969	176	378	120	82	756	113	46	915	54	2422	353	1510	206	105	2174	130	62	2366	56
541513	5	estab.	1470	131	285	102	76	594	132	129	855	615	1511	204	312	115	77	708	126	117	951	560	1609	199	382	129	100	810	128	129	1067	542	1607	176	380	120	85	761	130	106	997	610	3125	359	1512	208	107	2186	188	150	2524	601
541513	5	empl.	63989	0	548	645	1008	2201	4169	6229	12599	51390	61853	0	616	750	1033	2399	4149	6752	13300	48553	62843	0	715	809	1282	2806	4267	7704	14777	48066	71342	0	695	781	1107	2583	4553	6458	13594	57748	80613	0	2631	1356	1320	5307	5226	8820	19353	61260
541513	5	ann. pay.	3653479	8494	28359	26135	65855	128843	217066	299779	645688	3007791	3815261	15499	30773	37745	72696	156713	214314	356857	727884	3087377	3787526	18579	35084	41071	89276	184010	235006	412250	831266	2956260	4342484	11163	33879	37935	50664	133641	300788	376342	810771	3531713	4729643	29536	107279	59912	71750	268477	317167	477378	1063022	3666621
541513	5	rec.																																									13226657	72321	323652	154685	236009	786667	675807	1103997	2566471	10660186
541519	5	firms	13729	5085	6776	1019	431	13311	283	75	13669	60	16322	5033	8857	1355	539	15784	398	76	16258	64	19472	5854	10027	1881	873	18635	664	109	19408	64	18141	4291	10333	1711	879	17214	730	130	18074	67	13519	4208	6374	1296	805	12683	654	117	13454	65
541519	5	estab.	14008	5088	6776	1021	436	13321	314	132	13767	241	16625	5041	8857	1358	544	15800	428	125	16353	272	19783	5854	10028	1884	878	18644	694	181	19519	264	18445	4291	10334	1715	886	17226	760	204	18190	255	13789	4208	6377	1301	817	12703	694	199	13596	193
541519	5	empl.	59416	0	11486	6432	5644	23562	10771	8541	42874	16542	73604	0	15083	8741	7236	31060	15131	8907	55098	18506	96620	0	17332	12068	11607	41007	24887	13448	79342	17278	106116	0	18006	11113	11807	40926	27830	18029	86785	19331	83038	0	11186	8461	10810	30457	24545	14988	69990	13048
541519	5	ann. pay.	3413420	253150	550492	277241	304267	1385150	619557	402944	2407651	1005769	4542894	323004	761971	428102	412846	1925923	952874	455646	3334443	1208451	6645430	433326	882233	600783	687162	2603504	1841595	927754	5372853	1272577	6374946	215175	842518	481430	625532	2164655	1722220	1339241	5226116	1148830	5217311	172129	532814	426789	617267	1748999	1604897	1042082	4395978	821333
541519	5	rec.																																									12436679	571441	1538078	1146073	1496807	4752399	3732224	2074260	10558883	1877796
541611	5	firms	28141	6618	15779	2541	1332	26270	1168	397	27835	306	28627	6800	15995	2555	1354	26704	1218	384	28306	321	29917	7257	16500	2699	1428	27884	1300	399	29583	334	33514	8325	18617	2907	1528	31377	1396	397	33170	344	43678	10657	25492	3555	1725	41429	1471	446	43346	332
541611	5	estab.	29386	6630	15794	2567	1394	26385	1401	605	28391	995	30383	6821	16011	2581	1410	26823	1386	611	28820	1563	31826	7274	16516	2724	1479	27993	1478	662	30133	1693	35817	8354	18630	2933	1593	31510	1540	677	33727	2090	46246	10657	25500	3599	1826	41582	1827	814	44223	2023
541611	5	empl.	248082	0	27680	16276	17740	61696	42037	42560	146293	101789	273172	0	28084	16419	17710	62213	43407	40667	146287	126885	298353	0	28798	17336	18556	64690	47718	43303	155711	142642	331503	0	32321	18724	20112	71157	51332	45405	167894	163609	354105	0	44293	22729	22449	89471	51538	49979	190988	163117
541611	5	ann. pay.	15917455	438976	1429277	912901	996143	3777297	2381376	2141944	8300617	7616838	18389220	436679	1507398	936671	1064766	3945514	2706591	1977776	8629881	9759339	21142774	499157	1591447	980094	1161798	4232496	3248872	2171084	9652452	11490322	22743513	458023	1687325	1033453	1193114	4371915	3131032	2412080	9915027	12828486	24281011	713769	2186203	1202518	1302409	5404899	3113130	2705803	11223832	13057179
541611	5	rec.																																									64834849	2208106	6299640	2979703	3112665	14600114	7182971	6661076	28444161	36390688
541612	5	firms	14770	2929	7830	2009	1029	13797	750	129	14676	94	15394	3199	8118	1984	1068	14369	796	122	15287	107	16376	3590	8567	2027	1105	15289	815	157	16261	115	16582	3419	8877	2015	1169	15480	840	151	16471	111	14817	3269	7904	1809	951	13933	639	124	14696	121
541612	5	estab.	15834	2929	7843	2025	1079	13876	951	269	15096	738	16496	3200	8132	1997	1113	14442	978	261	15681	815	17576	3604	8583	2047	1143	15377	958	309	16644	932	17746	3420	8887	2033	1215	15555	976	290	16821	925	16023	3269	7908	1844	1015	14036	835	306	15177	846
541612	5	empl.	121930	0	15050	13097	13635	41782	27190	19035	88007	33923	132959	0	15265	12978	14193	42436	29991	17611	90038	42921	146249	0	15936	13125	14704	43765	30646	22639	97050	49199	155168	0	16464	13057	15536	45057	32630	22097	99784	55384	145199	0	14755	11696	12595	39046	23301	15932	78279	66920
541612	5	ann. pay.	6543329	164738	822750	726651	826669	2540808	1315189	884239	4740236	1803093	7438258	167419	852411	718874	857239	2595943	1440063	842162	4878168	2560090	8758042	253685	950736	827629	945287	2977337	1647525	973937	5598799	3159243	8648347	184964	880521	710471	860978	2636934	1566133	966943	5170010	3478337	8759833	188530	713750	609429	687350	2199059	1150612	690411	4040082	4719751
541612	5	rec.																																									17839422	489604	1897304	1302393	1361091	5050392	2157214	1264137	8471743	9367679
541613	5	firms	13311	3211	7780	1176	565	12732	400	92	13224	87	14131	3815	7903	1177	579	13474	453	105	14032	99	16118	4686	8694	1319	709	15408	484	116	16008	110	18044	5037	9862	1514	820	17233	585	120	17938	106	18788	5321	10344	1548	777	17990	548	129	18667	121
541613	5	estab.	13527	3211	7789	1187	588	12775	462	146	13383	144	14342	3818	7912	1187	611	13528	493	165	14186	156	16379	4690	8702	1327	737	15456	526	175	16157	222	18315	5038	9874	1522	846	17280	630	175	18085	230	19153	5321	10357	1567	813	18058	651	202	18911	242
541613	5	empl.	73199	0	13549	7587	7377	28513	14920	8728	52161	21038	82745	0	13749	7591	7639	28979	16771	12268	58018	24727	88106	0	15207	8371	9356	32934	18105	14897	65936	22170	122392	0	17278	9738	10908	37924	22097	15605	75626	46766	117041	0	18319	9983	10254	38556	19933	14663	73152	43889
541613	5	ann. pay.	3833163	158200	672343	372540	399708	1602791	708838	305261	2616890	1216273	4462188	194438	691345	382087	430213	1698083	858929	440211	2997223	1464965	4812049	255446	789622	434159	557575	2036802	1027272	700589	3764663	1047386	5576721	269019	843189	492676	594780	2199664	1154664	671994	4026322	1550399	5286475	254157	841075	516385	589852	2201469	993819	648771	3844059	1442416
541613	5	rec.																																									17979495	1049523	3449582	1902792	2108069	8509966	3671848	1627359	13809173	4170322
541614	5	firms	3167	681	1657	316	195	2849	211	51	3111	56	3278	723	1693	339	193	2948	221	50	3219	59	3533	832	1817	335	223	3207	222	46	3475	58	4069	967	2125	386	226	3704	265	43	4012	57	4314	1093	2161	426	236	3916	263	62	4241	73
541614	5	estab.	3485	681	1661	320	206	2868	281	84	3233	252	3621	724	1696	342	213	2975	260	100	3335	286	3918	832	1819	339	237	3227	263	98	3588	330	4474	967	2128	388	232	3715	326	87	4128	346	4916	1098	2163	434	256	3951	335	235	4521	395
541614	5	empl.	29909	0	2966	2051	2626	7643	7251	4887	19781	10128	34190	0	3018	2207	2550	7775	7597	4610	19982	14208	35961	0	3194	2166	2951	8311	8186	4754	21251	14710	38892	0	3803	2495	3009	9307	10008	4081	23396	15496	41162	0	3891	2774	3195	9860	9287	6573	25720	15442
541614	5	ann. pay.	1512158	35050	134780	108455	119569	397854	337858	294336	1030048	482110	1633736	38829	132313	118232	122072	411446	378272	282043	1071761	561975	1881989	82315	152450	110369	160537	505671	400140	297718	1203529	678460	1992456	75306	180969	121816	166134	544225	478477	289328	1312030	680426	2189954	70118	171749	138539	183259	563665	465367	411270	1440302	749652
541614	5	rec.																																									6782280	274982	704854	506804	622768	2109408	1396892	979470	4485770	2296510
541618	5	firms	3337	986	1716	317	167	3186	108	24	3318	19	3342	728	1932	335	180	3175	116	30	3321	21	3442	794	1926	338	209	3267	122	28	3417	25	5172	1158	3070	469	264	4961	155	30	5146	26	6238	1621	3534	523	271	5949	219	37	6205	33
541618	5	estab.	3459	986	1716	322	178	3202	135	27	3364	95	3399	730	1932	338	195	3195	132	36	3363	36	3498	794	1928	340	222	3284	138	30	3452	46	5222	1158	3073	472	274	4977	165	33	5175	47	6375	1621	3536	526	283	5966	247	84	6297	78
541618	5	empl.	14470	0	2982	2027	2202	7211	3678	1819	12708	1762	16143	0	3407	2165	2482	8054	4271	1811	14136	2007	17387	0	3381	2156	2747	8284	4386	1826	14496	2891	21868	0	5343	3017	3451	11811	5804	2475	20090	1778	27834	0	6241	3425	3536	13202	7796	3198	24196	3638
541618	5	ann. pay.	630532	41330	118210	77007	96482	333029	183906	42945	559880	70652	793717	30462	142241	89153	109159	371015	219892	64381	655288	138429	906957	45297	142251	97225	127836	412609	225184	74014	711807	195150	1160013	54653	230433	140506	173088	598680	288713	116709	1004102	155911	1633005	115528	281789	180109	187423	764849	372843	209477	1347169	285836
541618	5	rec.																																									4362700	395842	903058	495535	550599	2345034	808201	596804	3750039	612661
541620	5	firms	6285	890	3257	1014	631	5792	384	58	6234	51	6540	1131	3302	944	643	6020	407	61	6488	52	7002	1298	3518	1009	633	6458	428	66	6952	50	7463	1372	3751	1067	673	6863	478	71	7412	51	7853	1414	3961	1119	709	7203	522	73	7798	55
541620	5	estab.	6913	891	3261	1023	658	5833	532	248	6613	300	7239	1133	3305	959	667	6064	570	265	6899	340	7654	1299	3523	1018	666	6506	559	288	7353	301	8218	1372	3756	1081	691	6900	636	340	7876	342	8855	1414	3966	1134	789	7303	806	350	8459	396
541620	5	empl.	48627	0	6482	6576	8320	21378	12826	5925	40129	8498	51329	0	6451	6226	8593	21270	13464	6831	41565	9764	54230	0	6795	6635	8432	21862	14538	8400	44800	9430	59009	0	7238	6980	8899	23117	16864	10057	50038	8971	62554	0	7751	7356	9418	24525	18037	9654	52216	10338
541620	5	ann. pay.	2040495	31189	222987	242239	318773	815188	531380	294905	1641473	399022	2284608	78772	237341	231993	341453	889559	575640	317161	1782360	502248	2537341	65288	271276	267512	359306	963382	647163	402417	2012962	524379	2804661	55953	292254	298848	381877	1028932	781999	484453	2295384	509277	3063664	65695	303080	337448	424965	1131188	849865	504163	2485216	578448
541620	5	rec.																																									7791713	233474	997397	914831	1071677	3217379	2052658	1154166	6424203	1367510
541690	5	firms	14745	3840	8536	1240	561	14177	408	77	14662	83	14977	3660	8794	1328	614	14396	428	72	14896	81	15838	3983	9168	1390	680	15221	476	74	15771	67	17426	4477	9963	1558	738	16736	536	91	17363	63	14926	4438	7873	1299	671	14281	475	95	14851	75
541690	5	estab.	15127	3840	8541	1261	592	14234	536	162	14932	195	15397	3665	8802	1342	643	14452	552	152	15156	241	16258	3984	9177	1400	711	15272	589	137	15998	260	17867	4478	9972	1575	771	16796	648	166	17610	257	15440	4448	7880	1309	737	14374	611	205	15190	250
541690	5	empl.	65274	0	14638	7895	7424	29957	14040	9666	53663	11611	67949	0	15217	8533	8047	31797	14535	8335	54667	13282	71325	0	15974	8890	8960	33824	16196	9747	59767	11558	77272	0	17510	10093	9720	37323	19116	12523	68962	8310	72544	0	13924	8463	8834	31221	16299	11437	58957	13587
541690	5	ann. pay.	3364375	162168	619274	353072	354366	1488880	735879	475302	2700061	664314	3583370	205729	660644	410305	387900	1664578	740747	421221	2826546	756824	4170545	202212	794821	467329	473756	1938118	874429	633199	3445746	724799	4418944	195287	813691	496204	517497	2022679	1064355	766981	3854015	564929	4354309	222970	647827	442679	484938	1798414	940874	706991	3446279	908030
541690	5	rec.																																									11233294	728988	2035900	1158659	1191715	5115262	2278674	1557972	8951908	2281386
541710	5	firms	8049	1179	3142	1239	892	6452	1026	343	7821	228	8153	1083	3228	1256	870	6437	1122	344	7903	250	8524	1292	3220	1303	918	6733	1167	348	8248	276	9202	1293	3516	1408	1012	7229	1249	427	8905	297	9339	1392	3657	1271	979	7299	1234	457	8990	349
541710	5	estab.	9652	1182	3142	1248	917	6489	1252	672	8413	1239	9988	1097	3232	1268	892	6489	1328	706	8523	1465	10518	1301	3223	1316	956	6796	1358	729	8883	1635	11299	1296	3523	1429	1039	7287	1443	820	9550	1749	11605	1392	3666	1281	1038	7377	1522	852	9751	1854
541710	5	empl.	275141	0	6480	8193	11971	26644	41323	53604	121571	153570	301353	0	6816	8328	11689	26833	46048	54665	127546	173807	319453	0	6743	8660	12367	27770	49062	56611	133443	186010	343690	0	7279	9356	13645	30280	51010	70560	151850	191840	355085	0	7462	8318	13112	28892	51070	74234	154196	200889
541710	5	ann. pay.	15282308	103633	299809	402307	620512	1426261	2370431	3001877	6798569	8483739	18250780	88237	338208	416211	640485	1483141	2738470	3463585	7685196	10565584	23266511	157633	354449	468626	739456	1720164	3458129	5306485	10484778	12781733	22927878	142671	382015	517114	831200	1873000	3501475	5359910	10734385	12193493	23475312	156122	394305	458228	796413	1805068	3495476	5270714	10571258	12904054
541710	5	rec.																																									55779326	450139	1280900	1235530	2106331	5072900	8047974	12083404	25204278	30575048
541720	5	firms	1856	228	838	288	188	1542	207	77	1826	30	1883	216	832	296	206	1550	230	67	1847	36	1925	234	817	322	209	1582	234	71	1887	38	2015	211	882	342	213	1648	256	74	1978	37	2100	276	925	323	210	1734	249	80	2063	37
541720	5	estab.	2037	228	840	294	194	1556	257	151	1964	73	2100	216	835	298	214	1563	293	105	1961	139	2122	234	819	325	215	1593	275	119	1987	135	2215	211	886	344	221	1662	301	126	2089	126	2339	276	929	325	223	1753	314	144	2211	128
541720	5	empl.	34710	0	1703	1828	2499	6030	7536	10307	23873	10837	36993	0	1672	1923	2710	6305	8698	9337	24340	12653	39644	0	1644	2088	2736	6468	8719	10678	25865	13779	43377	0	1745	2278	2763	6786	10016	11018	27820	15557	44128	0	1862	2121	2794	6777	9881	10702	27360	16768
541720	5	ann. pay.	1520776	16509	62760	74795	114794	268858	317075	432943	1018876	501900	1667034	11421	72655	76019	122560	282655	381567	395145	1059367	607667	1994096	26374	66741	97658	121942	312715	404510	577166	1294391	699705	2162711	19423	72544	102924	130953	325844	493029	504067	1322940	839771	2216772	18767	77708	93365	139817	329657	488237	481532	1299426	917346
541720	5	rec.																																									6703036	67713	282143	271983	392924	1014763	1309228	1312203	3636194	3066842
541810	5	firms	12824	1935	6257	2224	1281	11697	938	117	12752	72	13017	1905	6452	2135	1351	11843	983	121	12947	70	12977	1914	6298	2160	1358	11730	1048	125	12903	74	13027	1807	6458	2177	1324	11766	1063	126	12955	72	10982	1862	5077	1786	1143	9868	934	112	10914	68
541810	5	estab.	13635	1935	6259	2229	1293	11716	1037	298	13051	584	13833	1910	6453	2142	1364	11869	1080	269	13218	615	13866	1916	6300	2170	1369	11755	1150	259	13164	702	13960	1807	6458	2185	1336	11786	1141	277	13204	756	12002	1862	5077	1791	1166	9896	1063	272	11231	771
541810	5	empl.	147108	0	12467	14626	17121	44214	34405	16603	95222	51886	153124	0	12936	14062	18042	45040	36745	17372	99157	53967	167215	0	12642	14297	17996	44935	39025	18825	102785	64430	172115	0	12901	14429	17825	45155	39763	19411	104329	67786	149054	0	10238	11842	15339	37419	34219	15373	87011	62043
541810	5	ann. pay.	8472136	103719	461061	603882	803843	1972505	1832351	966646	4771502	3700634	8992608	105615	489220	608027	861546	2064408	2059538	1041003	5164949	3827659	10473964	110868	489484	647670	925336	2173358	2265183	1177704	5616245	4857719	10167913	93804	498390	606542	938564	2137300	2210299	1067018	5414617	4753296	9310462	111040	396948	518583	805669	1832240	2022744	1004500	4859484	4450978
541810	5	rec.																																									20179500	329882	1115777	1439355	2064713	4949727	4464987	1841229	11255943	8923557
541820	5	firms	6253	817	3740	920	432	5909	276	43	6228	25	6084	696	3679	916	440	5731	292	35	6058	26	5923	695	3483	906	449	5533	317	46	5896	27	6038	719	3472	981	464	5636	336	39	6011	27	6130	816	3584	939	459	5798	264	37	6099	31
541820	5	estab.	6580	818	3745	930	460	5953	376	87	6416	164	6399	700	3683	924	463	5770	387	69	6226	173	6273	697	3488	917	468	5570	403	84	6057	216	6439	719	3475	988	485	5667	422	69	6158	281	6547	816	3585	954	499	5854	346	91	6291	256
541820	5	empl.	42377	0	7299	5956	5823	19078	9484	4555	33117	9260	44063	0	7189	5866	5800	18855	10339	3933	33127	10936	52253	0	6835	5881	5966	18682	11507	5561	35750	16503	52984	0	6732	6372	6175	19279	12365	4565	36209	16775	45853	0	6908	6098	6065	19071	9211	3685	31967	13886
541820	5	ann. pay.	2369622	31884	327510	286240	304263	949897	541570	254318	1745785	623837	2625643	31685	329721	288490	340981	990877	638704	238194	1867775	757868	3132646	33305	324188	321227	386167	1064887	755511	315400	2135798	996848	3188494	35738	320908	331486	376861	1064993	749085	262654	2076732	1111762	2968802	40383	327719	344302	380067	1092471	619455	216811	1928737	1040065
541820	5	rec.																																									6798910	135924	1034429	960045	827551	2957949	1307909	470232	4736090	2062820
541830	5	firms	766	98	389	126	65	678	57	19	754	12	785	104	406	120	61	691	60	22	773	12	813	109	422	131	64	726	54	22	802	11	808	116	408	124	74	722	57	17	796	12	895	125	473	151	74	823	47	12	882	13
541830	5	estab.	890	98	390	127	67	682	90	36	808	82	900	104	407	120	64	695	66	61	822	78	931	110	423	131	67	731	59	63	853	78	937	117	409	124	77	727	61	52	840	97	1002	125	473	154	77	829	54	35	918	84
541830	5	empl.	8957	0	793	817	843	2453	2266	1930	6649	2308	9238	0	860	790	814	2464	2477	1896	6837	2401	9780	0	835	850	839	2524	2142	2159	6825	2955	10507	0	817	811	960	2588	2265	1905	6758	3749	9963	0	964	981	978	2923	1900	1910	6733	3230
541830	5	ann. pay.	491977	5740	38536	50515	53321	148112	151805	97785	397702	94275	558915	5495	39376	49412	52565	146848	181591	123147	451586	107329	626943	8761	39764	47615	61204	157344	158246	144600	460190	166753	658212	8676	41864	49392	63826	163758	154223	133202	451183	207029	642630	8445	50953	58382	77064	194844	124196	149828	468868	173762
541830	5	rec.																																									1361024	28850	166369	158668	153358	507245	253538	316167	1076950	284074
541840	5	firms	2112	270	1033	358	227	1888	146	28	2062	50	2137	296	1048	361	194	1899	155	33	2087	50	2193	325	1044	355	221	1945	160	34	2139	54	2151	254	1089	360	191	1894	164	38	2096	55	2140	289	1081	349	196	1915	137	41	2093	47
541840	5	estab.	2731	270	1036	363	253	1922	214	76	2212	519	2715	298	1052	365	217	1932	196	76	2204	511	2758	325	1047	360	246	1978	200	77	2255	503	2798	254	1091	370	208	1923	199	98	2220	578	2810	289	1081	359	218	1947	187	115	2249	561
541840	5	empl.	30625	0	2075	2363	3037	7475	5310	2172	14957	15668	31339	0	2093	2380	2563	7036	5603	2862	15501	15838	35959	0	2026	2346	2859	7231	5700	4454	17385	18574	35816	0	2161	2426	2512	7099	5804	4595	17498	18318	33451	0	2162	2302	2553	7017	4975	3881	15873	17578
541840	5	ann. pay.	1277940	16982	98317	91953	108125	315377	217495	81777	614649	663291	1372935	33335	88507	107865	97340	327047	231074	160911	719032	653903	1782678	31937	96743	117144	124216	370040	251205	333978	955223	827455	1715560	15011	93830	113029	99827	321697	249346	248156	819199	896361	1655924	18843	90669	109491	109632	328635	201262	241738	771635	884289
541840	5	rec.																																									7318923	81464	408522	406546	325876	1222408	538947	606137	2367492	4951431
541850	5	firms	1862	248	966	279	188	1681	136	21	1838	24	1873	274	982	276	166	1698	128	22	1848	25	1870	302	933	273	192	1700	127	20	1847	23	1820	246	954	291	161	1652	124	23	1799	21	2012	291	1111	282	156	1840	132	19	1991	21
541850	5	estab.	2222	248	967	283	195	1693	165	62	1920	302	2276	274	982	281	175	1712	150	41	1903	373	2335	302	933	274	202	1711	144	40	1895	440	2210	246	955	295	170	1666	139	45	1850	360	2417	291	1112	286	166	1855	162	42	2059	358
541850	5	empl.	41804	0	1877	1840	2485	6202	4580	2648	13430	28374	43516	0	1904	1900	2151	5955	4379	3104	13438	30078	45148	0	1807	1805	2491	6103	4481	3065	13649	31499	32612	0	1879	1922	2118	5919	4265	3170	13354	19258	24223	0	2095	1891	2025	6011	4674	2473	13158	11065
541850	5	ann. pay.	949302	11964	57454	62683	90492	222593	164056	82607	469256	480046	1025612	15412	69608	64568	81442	231030	151480	98030	480540	545072	1126443	14351	66857	71926	97846	250980	181383	105925	538288	588155	952530	11129	68944	75873	95197	251143	179916	100572	531631	420899	894427	14162	74476	70573	82787	241998	185754	79764	507516	386911
541850	5	rec.																																									4315985	72987	410340	276764	292889	1052980	650483	322842	2026305	2289680
541860	5	firms	3566	453	1304	563	477	2797	577	133	3507	59	3669	313	1434	606	518	2871	605	128	3604	65	3270	301	1247	534	453	2535	550	121	3206	64	3132	270	1163	558	421	2412	538	115	3065	67	3357	248	1377	587	448	2660	532	101	3293	64
541860	5	estab.	3770	453	1305	565	483	2806	602	163	3571	199	3897	313	1434	608	526	2881	638	161	3680	217	3491	301	1247	534	458	2540	581	157	3278	213	3359	270	1163	558	427	2418	573	138	3129	230	3602	248	1378	590	455	2671	579	142	3392	210
541860	5	empl.	85988	0	2790	3704	6411	12905	22913	22613	58431	27557	90044	0	3063	4097	7067	14227	24312	21398	59937	30107	85472	0	2649	3559	6127	12335	21897	19676	53908	31564	84766	0	2399	3752	5838	11989	22019	19464	53472	31294	78619	0	2943	3878	5997	12818	21600	17089	51507	27112
541860	5	ann. pay.	2742321	22864	90487	110818	191931	416100	641098	608204	1665402	1076919	3070984	21331	101904	134644	238203	496082	717706	610532	1824320	1246664	3226674	27158	94238	123573	191454	436423	723481	586406	1746310	1480364	3035504	18626	84049	125815	193298	421788	748067	588881	1758736	1276768	2875814	24756	108877	138619	223281	495533	727457	548521	1771511	1104303
541860	5	rec.																																									10561103	108793	646961	686706	881236	2323696	2293903	1519698	6137297	4423806
541870	5	firms	500	79	241	62	50	432	38	14	484	16	513	73	263	73	40	449	34	16	499	14	499	77	255	65	37	434	35	16	485	14	583	92	305	73	49	519	36	13	568	15	647	119	340	80	38	577	39	15	631	16
541870	5	estab.	573	79	241	62	50	432	43	30	505	68	580	73	263	73	40	449	34	35	518	62	564	77	255	65	37	434	35	34	503	61	648	92	305	73	49	519	36	31	586	62	721	119	340	80	39	578	46	66	690	31
541870	5	empl.	9363	0	495	402	676	1573	1632	2252	5457	3906	6591	0	513	479	542	1534	1378	2308	5220	1371	6534	0	525	434	471	1430	1589	2117	5136	1398	7000	0	633	476	667	1776	1576	2055	5407	1593	6291	0	650	529	490	1669	1549	1750	4968	1323
541870	5	ann. pay.	222800	1982	13913	11813	16429	44137	40111	51947	136195	86605	192500	4969	14727	15029	15896	50621	33023	61403	145047	47453	199945	7462	14770	13444	17712	53388	35423	62485	151296	48649	210772	2374	20630	13633	19155	55792	40849	65583	162224	48548	238451	4399	19836	16195	17096	57526	49582	86499	193607	44844
541870	5	rec.																																									873559	30992	110739	71963	93935	307629	192447	257475	757551	116008
541890	5	firms	9175	1218	5368	1448	608	8642	416	70	9128	47	9114	1115	5319	1494	647	8575	429	67	9071	43	9012	1154	5112	1507	684	8457	444	59	8960	52	8675	1014	4973	1461	656	8104	464	64	8632	43	8430	926	5029	1342	642	7939	395	59	8393	37
541890	5	estab.	9510	1218	5368	1454	634	8674	496	160	9330	180	9452	1117	5319	1497	675	8608	505	165	9278	174	9314	1158	5112	1517	704	8491	509	124	9124	190	8939	1014	4976	1470	676	8136	523	118	8777	162	8829	926	5030	1351	667	7974	473	107	8554	275
541890	5	empl.	64447	0	11023	9273	7892	28188	14014	9255	51457	12990	65337	0	11067	9513	8391	28971	14693	8923	52587	12750	69951	0	10624	9711	8893	29228	15782	8769	53779	16172	68443	0	10312	9449	8471	28232	16085	9256	53573	14870	64365	0	10471	8619	8401	27491	13667	9315	50473	13892
541890	5	ann. pay.	1893459	42094	283612	259693	248249	833648	448280	230886	1512814	380645	2012187	39603	303662	278183	278284	899732	460511	258590	1618833	393354	2338146	53746	309504	299326	313102	975678	550094	309011	1834783	503363	2338129	44879	305773	282072	297867	930591	581092	291194	1802877	535252	1888600	29069	282347	261588	297276	870280	489490	227242	1587012	301588
541890	5	rec.																																									8991987	183363	1780206	1331805	1357334	4652708	2146218	891074	7690000	1301987
541910	5	firms	3408	479	1354	445	345	2623	566	147	3336	72	3446	492	1376	443	357	2668	564	148	3380	66	3542	524	1447	439	364	2774	551	155	3480	62	3516	485	1468	480	335	2768	537	153	3458	58	4365	770	1942	515	387	3614	537	149	4300	65
541910	5	estab.	4247	479	1356	448	357	2640	663	358	3661	586	4300	492	1378	448	365	2683	664	364	3711	589	4427	524	1449	445	383	2801	636	369	3806	621	4321	485	1470	491	353	2799	630	306	3735	586	5193	770	1945	530	409	3654	658	335	4647	546
541910	5	empl.	118328	0	2630	2951	4711	10292	25068	28429	63789	54539	120417	0	2634	2909	4933	10476	23918	27847	62241	58176	118400	0	2766	2901	4974	10641	23553	29407	63601	54799	113038	0	2790	3206	4611	10607	22623	27660	60890	52148	114827	0	3720	3395	5153	12268	22022	28656	62946	51881
541910	5	ann. pay.	3448761	32056	138301	127152	184185	481694	641310	571831	1694835	1753926	3673290	26546	147289	129795	186505	490135	667376	624987	1782498	1890792	4019141	33664	150429	139779	201318	525190	712842	732097	1970129	2049012	4438343	31131	151832	144073	194405	521441	747452	680058	1948951	2489392	4077541	43322	191944	201329	199379	635974	727726	707415	2071115	2006426
541910	5	rec.																																									11379034	169086	670297	503887	632995	1976265	1940318	1604317	5520900	5858134
541921	5	firms	8913	1303	5797	1124	409	8633	234	34	8901	12	9006	1275	5913	1144	405	8737	233	25	8995	11	9057	1236	5879	1235	426	8776	236	32	9044	13	9306	1340	5979	1245	467	9031	235	26	9292	14	8799	1271	5654	1158	439	8522	237	26	8785	14
541921	5	estab.	14077	1305	5808	1146	442	8701	396	288	9385	4692	14013	1278	5929	1164	444	8815	397	260	9472	4541	14036	1237	5893	1263	453	8846	366	285	9497	4539	14461	1341	6000	1268	507	9116	346	224	9686	4775	13961	1272	5660	1173	472	8577	370	151	9098	4863
541921	5	empl.	62811	0	11071	7148	5359	23578	8378	4820	36776	26035	57939	0	11402	7213	5273	23888	8245	4188	36321	21618	60274	0	11422	7780	5546	24748	8207	5190	38145	22129	64810	0	11529	7883	6118	25530	8538	4677	38745	26065	63765	0	11182	7323	5675	24180	8325	4432	36937	26828
541921	5	ann. pay.	1003963	24157	183857	116630	90881	415525	155259	83240	654024	349939	1047565	31661	204077	120971	93037	449746	162489	94288	706523	341042	1151277	31931	213039	140422	108946	494338	178349	116507	789194	362083	1265198	32638	224333	140355	124416	521742	180342	115125	817209	447989	1191700	28661	200588	130890	112490	472629	198458	91073	762160	429540
541921	5	rec.																																									4832762	153938	1048709	501426	385808	2089881	613934	275898	2979713	1853049
541922	5	firms	4151	559	2783	478	162	3982	135	22	4139	12	4229	630	2773	468	184	4055	141	22	4218	11	4145	597	2728	482	175	3982	133	20	4135	10	4082	587	2723	436	184	3930	129	15	4074	8	4042	585	2780	395	164	3924	100	8	4032	10
541922	5	estab.	4251	559	2784	486	165	3994	174	66	4234	17	4331	630	2775	472	191	4068	182	67	4317	14	4390	597	2728	490	180	3995	152	229	4376	14	4297	587	2723	441	190	3941	146	197	4284	13	4225	585	2780	401	175	3941	117	19	4077	148
541922	5	empl.	18144	0	5298	2985	2128	10411	4596	1932	16939	1205	17888	0	5225	2941	2353	10519	4946	[g]	[j]	[f]	17636	0	5168	3038	2254	10460	4651	1675	16786	850	17093	0	5197	2759	2326	10282	4616	         [g]	         [j]	         [g]	15550	0	5235	2506	2051	9792	3689	474	13955	1595
541922	5	ann. pay.	594702	17187	172049	103756	72288	365280	139061	53692	558033	36669	593798	20536	177817	92625	85213	376191	146327	(D)	(D)	(D)	612778	21426	176250	101092	82881	381649	145302	65955	592906	19872	577797	20458	169295	91652	87805	369210	140834	         (D)	         (D)	         (D)	509144	17405	165150	93052	73816	349423	118771	12735	480929	28215
541922	5	rec.																																									1743074	84014	687565	295301	229358	1296238	329006	33809	1659053	84021
541930	5	firms	1046	189	603	125	66	983	55	7	1045	1	1078	182	626	124	76	1008	62	7	1077	1	1146	198	669	123	80	1070	64	8	1142	4	1204	228	689	127	80	1124	67	9	1200	4	1506	309	883	154	88	1434	60	7	1501	5
541930	5	estab.	1049	189	604	125	67	985	55	8	1048	1	1081	182	627	124	77	1010	62	8	1080	1	1152	198	670	123	81	1072	64	9	1145	7	1220	228	689	128	81	1126	67	19	1212	8	1605	309	883	154	91	1437	62	11	1510	95
541930	5	empl.	5936	0	1129	819	894	2842	2051	         [f]	         [i]	         [b]	6320	0	1148	810	993	2951	2332	[f]	[i]	[b]	6710	0	1226	776	1044	3046	2240	1104	6390	320	8298	0	1257	816	1070	3143	2689	         [g]	         [i]	         [g]	8339	0	1533	1014	1150	3697	2188	716	6601	1738
541930	5	ann. pay.	184499	6034	27975	22619	27099	83727	68901	         (D)	         (D)	         (D)	194986	4763	29546	23554	31487	89350	76353	(D)	(D)	(D)	241595	6776	33067	24311	37802	101956	90728	32341	225025	16570	278777	5560	34708	27651	33517	101436	92213	         (D)	         (D)	         (D)	287531	7125	41137	33578	40000	121840	79369	30802	232011	55520
541930	5	rec.																																									900158	29578	169574	113071	128561	440784	214796	88796	744376	155782
541940	5	firms	23573	1331	7683	7574	5360	21948	1599	19	23566	7	23705	1218	7551	7521	5549	21839	1840	18	23697	8	23993	1383	7161	7537	5866	21947	2012	25	23984	9	24460	1356	7192	7494	6134	22176	2241	33	24450	10	24598	1352	7250	7291	6214	22107	2448	30	24585	13
541940	5	estab.	23970	1331	7684	7576	5365	21956	1631	34	23621	349	24125	1218	7554	7524	5551	21847	1869	31	23747	378	24510	1383	7163	7538	5874	21958	2047	38	24043	467	25000	1358	7194	7496	6145	22193	2279	46	24518	482	25601	1352	7251	7304	6302	22209	2756	70	25035	566
541940	5	empl.	195708	0	19054	51460	70621	141135	45382	3135	189652	6056	205537	0	18616	51190	73307	143113	53254	2755	199122	6415	219868	0	17561	51431	78134	147126	58871	3741	209738	10130	231862	0	17738	51161	81619	150518	66215	5088	221821	10041	241631	0	17939	49964	83131	151034	72388	4631	228053	13578
541940	5	ann. pay.	3977829	51405	334200	917315	1432849	2735769	993620	83309	3812698	165131	4320940	54480	347215	944416	1523004	2869115	1191335	77612	4138062	182878	4819590	65010	338324	979875	1673707	3056916	1387084	108061	4552061	267529	5288469	66825	369243	1015090	1821320	3272478	1588590	150596	5011664	276805	5773930	66827	406561	1028576	1936527	3438491	1809060	163584	5411135	362795
541940	5	rec.																																									16999832	269552	1936899	3617871	5331919	11156241	4247170	382881	15786292	1213540
541990	5	firms	7744	3213	3354	638	294	7499	189	33	7721	23	11624	4849	4972	1001	436	11258	296	41	11595	29	16452	6143	7634	1445	704	15926	429	59	16414	38	13832	4221	7015	1349	676	13261	462	65	13788	44	21193	7154	9287	2392	1262	20095	894	132	21121	72
541990	5	estab.	8050	3213	3354	638	302	7507	253	105	7865	185	12128	4849	4972	1001	442	11264	365	95	11724	404	16961	6145	7634	1445	710	15934	479	119	16532	429	14341	4224	7015	1349	690	13278	518	128	13924	417	21718	7154	9287	2392	1276	20109	1037	213	21359	359
541990	5	empl.	29803	0	6019	4086	3739	13844	6319	         [h]	         [j]	         [i]	51354	0	8865	6459	5812	21136	10156	5891	37183	14171	72834	0	13825	9321	9361	32507	14996	7485	54988	17846	74017	0	12621	8653	8971	30245	16461	8959	55665	18352	132920	0	17922	15647	16670	50239	31852	20267	102358	30562
541990	5	ann. pay.	1062341	116553	176241	109354	104340	506488	214840	         (D)	         (D)	         (D)	1720516	215378	277365	174544	153792	821079	308701	200606	1330386	390130	2829383	322662	460998	304155	306416	1394231	557832	293328	2245391	583992	2842894	158878	418318	278244	280282	1135722	597991	332082	2065795	777099	5166643	274522	652335	585777	591275	2103909	1165226	707115	3976250	1190393
541990	5	rec.																																									17833428	1165129	2817020	2058468	1949661	7990278	3201602	1587791	12779671	5053757
551111	5	firms	1188	145	280	50	68	543	284	212	1039	149	1352	180	368	66	78	692	278	228	1198	154	1354	151	392	80	74	697	286	225	1208	146	1389	173	407	75	77	732	265	247	1244	145	1218	68	201	47	76	392	291	354	1037	181
551111	5	estab.	1421	145	280	50	68	543	293	225	1061	360	1550	181	368	66	78	693	286	243	1222	328	1532	151	392	80	75	698	292	233	1223	309	1611	173	407	75	77	732	270	259	1261	350	1496	68	202	47	76	393	303	378	1074	422
551111	5	empl.	28382	0	453	305	607	1365	2921	4728	9014	19368	36314	0	618	414	685	1717	2927	6303	10947	25367	30556	0	623	493	718	1834	3387	5171	10392	20164	33183	0	664	466	727	1857	3468	7776	13101	20082	38730	0	352	244	593	1189	3060	13272	17521	21209
551111	5	ann. pay.	1735149	24206	29360	13973	26454	93993	112492	228252	434737	1300412	2251027	43835	32391	19042	28287	123555	101603	291928	517086	1733941	2070982	92548	26067	25504	39717	183836	132552	254010	570398	1500584	2891058	22750	28918	27031	35640	114339	138251	412199	664789	2226269	2696786	17279	14405	13177	28690	73551	117232	624332	815115	1881671
551111	5	rec.																																									11380300	146849	229654	77807	310684	764994	839098	2377919	3982011	7398289
551112	5	firms	7760	1207	2774	427	296	4704	751	971	6426	1334	8190	1132	3159	483	355	5129	763	946	6838	1352	8381	1020	3385	497	395	5297	843	868	7008	1373	8287	947	3305	514	407	5173	851	906	6930	1357	8821	920	3334	521	386	5161	945	1109	7215	1606
551112	5	estab.	8422	1208	2780	435	301	4724	813	1016	6553	1869	8902	1133	3170	489	358	5150	786	1022	6958	1944	9125	1022	3397	501	405	5325	863	922	7110	2015	9035	948	3315	517	409	5189	871	968	7028	2007	9820	920	3349	532	399	5200	991	1200	7391	2429
551112	5	empl.	124756	0	4553	2618	3097	10268	13210	24624	48102	76654	143834	0	4848	2961	3758	11567	16064	28598	56229	87605	154052	0	5385	3103	4515	13003	18901	22101	54005	100047	163382	0	5292	3150	4607	13049	20383	26778	60210	103172	206973	0	5394	3154	4237	12785	19021	37828	69634	137339
551112	5	ann. pay.	10112447	258284	207118	161147	213236	839785	802064	1539880	3181729	6930718	11805800	365784	209344	222953	282444	1080525	925138	1928940	3934603	7871197	13880635	399582	296537	317824	324256	1338199	1202013	1503272	4043484	9837151	14707073	402322	377434	277555	292537	1349848	1205313	1652084	4207245	10499828	15680799	139069	257031	215582	306292	917974	1110269	2367289	4395532	11285267
551112	5	rec.																																									87606642	1603834	4714290	1850704	992609	9161437	4091025	6840047	20092509	67514133
551114	5	firms	18425	66	170	299	720	1255	4781	6530	12566	5859	18291	82	217	294	717	1310	4509	6572	12391	5900	18009	74	212	301	684	1271	4236	6521	12028	5981	18095	77	215	324	671	1287	4170	6625	12082	6013	19382	45	372	334	838	1589	4845	7012	13446	5936
551114	5	estab.	33838	69	171	307	737	1284	4950	7375	13609	20229	36076	84	220	301	726	1331	4668	7400	13399	22677	36730	79	215	306	699	1299	4380	7332	13011	23719	36913	78	219	330	685	1312	4338	7451	13101	23812	38067	45	374	345	879	1643	5043	7823	14509	23558
551114	5	empl.	2550661	0	270	911	3257	4438	50130	192615	247183	2303478	2608128	0	317	887	3095	4299	47187	195004	246490	2361638	2688913	0	306	856	2881	4043	44480	194721	243244	2445669	2682658	0	318	926	2804	4048	45152	202962	252162	2430496	2668095	0	712	1220	4151	6083	54903	229290	290276	2377819
551114	5	ann. pay.	163801061	8391	15343	46845	135982	206561	2067910	9089551	11364022	152437039	178321208	12447	18091	49851	124273	204662	2130602	9613525	11948789	166372419	195409446	27380	17004	43294	140133	227811	2035209	10017942	12280962	183128484	195525656	21615	19963	42120	131092	214790	2162512	10718551	13095853	182429803	186424726	11452	41336	63829	217868	334485	2651366	11698522	14684373	171740353
551114	5	rec.																																									213897581	22600	138770	155862	568605	885837	4542954	18661714	24090505	189807076
561110	5	firms	23118	3861	9533	3354	2217	18965	2407	1012	22384	734	23853	3865	9953	3332	2308	19458	2600	1026	23084	769	25021	4002	10301	3496	2473	20272	2866	1072	24210	811	27415	4849	11233	3818	2622	22522	3028	1091	26641	774	20118	4482	6584	2445	1962	15473	2659	1159	19291	827
561110	5	estab.	26238	3869	9544	3364	2253	19030	2673	1417	23120	3118	26293	3879	9962	3351	2335	19527	2861	1441	23829	2464	27359	4003	10310	3512	2499	20324	3095	1475	24894	2465	30147	4856	11248	3835	2644	22583	3242	1370	27195	2952	23680	4490	6591	2461	2003	15545	2938	1436	19919	3761
561110	5	empl.	383987	0	19031	21984	29123	70138	85249	99560	254947	129040	437967	0	20073	21869	30559	72501	95095	112698	280294	157673	472516	0	20889	22786	32780	76455	106261	120546	303262	169254	518112	0	22776	25099	34907	82782	113163	129474	325419	192693	492056	0	13423	15975	26170	55568	98218	127110	280896	211160
561110	5	ann. pay.	14810790	399577	978890	977169	1262366	3618002	3175397	3113396	9906795	4903995	17172711	593911	1051802	1071715	1352585	4070013	3636349	3652523	11358885	5813826	20021361	407977	1120279	1142896	1466297	4137449	4337520	4007034	12482003	7539358	22592484	698530	1214760	1239430	1619240	4771960	4685746	4542844	14000550	8591934	22516155	550826	729393	887151	1377031	3544401	4327745	4750327	12622473	9893682
561110	5	rec.																																									60040579	1488342	1791533	2161960	3394859	8836694	9811200	10128182	28776076	31264503
561210	5	firms	1252	114	214	136	170	634	317	160	1111	141	1254	131	247	130	153	661	296	153	1110	144	1292	155	278	145	153	731	262	160	1153	139	1172	100	275	126	131	632	252	152	1036	136	1600	193	564	161	129	1047	258	150	1455	145
561210	5	estab.	2523	114	214	143	180	651	445	274	1370	1153	2690	138	247	135	156	676	384	350	1410	1280	3023	158	280	151	159	748	345	361	1454	1569	2952	100	275	128	140	643	320	296	1259	1693	3416	193	564	161	140	1058	337	396	1791	1625
561210	5	empl.	109662	0	480	911	2249	3640	13264	23369	40273	69389	115780	0	503	839	2006	3348	12481	23953	39782	75998	115926	0	548	918	2045	3511	11087	25679	40277	75649	115606	0	538	831	1708	3077	10855	25225	39157	76449	125496	0	1079	1025	1725	3829	10795	23235	37859	87637
561210	5	ann. pay.	3520919	27065	22685	45573	91985	187308	437207	601369	1225884	2295035	3624788	26095	24187	39782	82513	172577	404286	639172	1216035	2408753	3754987	70362	26715	41146	81929	220152	387720	731258	1339130	2415857	3758242	31990	21620	38575	83349	175534	378476	728804	1282814	2475428	4397197	15137	48144	43615	72262	179158	424533	712011	1315702	3081495
561210	5	rec.																																									11191876	56859	145450	122216	159748	484273	955689	1610089	3050051	8141825
561310	5	firms	6841	1440	2422	896	621	5379	1012	346	6737	104	7618	1628	2783	982	682	6075	1039	377	7491	127	8506	1731	3108	1120	791	6750	1167	434	8351	155	9393	1701	3590	1211	913	7415	1307	510	9232	161	8708	1753	3119	1037	862	6771	1301	469	8541	167
561310	5	estab.	7447	1447	2428	898	644	5417	1087	459	6963	484	8477	1655	2787	988	710	6140	1092	494	7726	751	9343	1748	3115	1130	810	6803	1218	599	8620	723	10261	1703	3595	1219	934	7451	1385	692	9528	733	9692	1754	3124	1042	892	6812	1434	664	8910	782
561310	5	empl.	183243	0	4901	5908	8344	19153	43695	59096	121944	61299	257875	0	5681	6475	9209	21365	45496	64455	131316	126559	306465	0	6271	7391	10634	24296	53941	77118	155355	151110	348669	0	7320	7941	12493	27754	57492	90881	176127	172542	309174	0	6397	6856	11790	25043	56532	82959	164534	144640
561310	5	ann. pay.	3917012	175982	202251	236275	296611	911119	1040544	981632	2933295	983717	6044770	161069	248261	273518	352185	1035033	1148517	1138547	3322097	2722673	7507015	233021	283468	315875	443777	1276141	1485265	1430632	4192038	3314977	8527785	154194	286727	297328	486901	1225150	1476907	1611808	4313865	4213920	7345085	157416	238233	274406	395257	1065312	1463059	1574179	4102550	3242535
561310	5	rec.																																									11750905	355271	695700	685921	803998	2540890	2413079	2373108	7327077	4423828
561320	5	firms	11151	1403	2075	941	884	5303	2859	2208	10370	781	11376	1352	2284	976	1016	5628	2798	2148	10574	802	11490	1419	2274	963	989	5645	2837	2170	10652	838	11969	1556	2428	1064	1096	6144	2966	2067	11177	792	10092	1379	1615	771	956	4721	2791	1898	9410	682
561320	5	estab.	25114	1406	2083	946	919	5354	3112	3412	11878	13236	27272	1365	2288	982	1061	5696	3080	3261	12037	15235	28104	1449	2276	984	1044	5753	3069	3282	12104	16000	29637	1563	2435	1080	1154	6232	3202	3276	12710	16927	26383	1382	1623	788	1030	4823	3166	3444	11433	14950
561320	5	empl.	2549701	0	4277	6297	12228	22802	143766	473169	639737	1909964	2725800	0	4660	6528	14201	25389	140932	457969	624290	2101510	3012681	0	4631	6373	13695	24699	141163	474927	640789	2371892	2676010	0	4907	7117	15305	27329	145057	442912	615298	2060712	2390634	0	3472	5207	13489	22168	136614	396702	555484	1835150
561320	5	ann. pay.	46968885	287159	156709	199767	350315	993950	3132969	7791645	11918564	35050321	51286088	285801	194853	213223	445155	1139032	3275352	8191408	12605792	38680296	58713099	295844	232344	220636	441243	1190067	3400090	8630070	13220227	45492872	57262337	395290	213623	247273	457574	1313760	3425856	8164377	12903993	44358344	52969668	480466	190468	188357	437509	1296800	3361950	7661294	12320044	40649624
561320	5	rec.																																									72208487	664291	334206	378571	817283	2194351	4880366	10423759	17498476	54710011
561330	5	firms	4115	501	720	391	462	2074	1062	625	3761	354	4022	391	778	386	457	2012	1020	598	3630	392	3984	458	716	372	414	1960	996	631	3587	397	4058	409	780	402	402	1993	1002	626	3621	437	4360	507	825	429	489	2250	1034	649	3933	427
561330	5	estab.	4964	502	720	393	467	2082	1101	730	3913	1051	4965	395	778	389	462	2024	1048	689	3761	1204	4961	474	718	374	415	1981	1015	747	3743	1218	4998	414	782	405	405	2006	1020	714	3740	1258	5018	507	827	430	493	2257	1093	792	4142	876
561330	5	empl.	881175	0	1458	2634	6383	10475	49627	132786	192888	688287	1009768	0	1623	2599	6284	10506	48256	124160	182922	826846	1253808	0	1527	2448	5683	9658	46537	132382	188577	1065231	1338941	0	1658	2689	5628	9975	47178	130390	187543	1151398	1181080	0	1774	2843	6815	11432	47358	133070	191860	989220
561330	5	ann. pay.	20378962	136048	67883	87874	204860	496665	1437240	3288081	5221986	15156976	24133166	145911	62132	100482	204940	513465	1444643	3003445	4961553	19171613	32259380	1209440	66069	89356	211584	1576449	1451569	3412742	6440760	25818620	35133964	286080	83033	104659	244125	717897	1536941	3490197	5745035	29388929	32645243	329997	107660	109724	258904	806285	1571830	3622003	6000118	26645125
561330	5	rec.																																									41087052	487870	158855	194412	364189	1205326	2558413	4679325	8443064	32643988
561410	5	firms	4520	760	2716	493	266	4235	230	37	4502	18	4481	791	2672	465	270	4198	224	33	4455	26	4492	767	2687	474	283	4211	215	42	4468	24	4656	848	2793	459	261	4361	237	37	4635	21	5080	870	3148	477	275	4770	250	40	5060	20
561410	5	estab.	4794	760	2717	499	272	4248	266	88	4602	192	4748	791	2674	469	289	4223	242	85	4550	198	4721	767	2691	476	301	4235	235	95	4565	156	4857	848	2795	465	267	4375	261	80	4716	141	5272	870	3151	479	278	4778	286	72	5136	136
561410	5	empl.	34853	0	4746	3169	3525	11440	8225	4922	24587	10266	38481	0	4712	3033	3604	11349	8430	4703	24482	13999	37521	0	4695	3064	3802	11561	8308	5777	25646	11875	37916	0	4787	3012	3528	11327	9247	5417	25991	11925	37507	0	5479	3088	3710	12277	9053	4529	25859	11648
561410	5	ann. pay.	787837	15458	89966	66472	76954	248850	180987	119987	549824	238013	852056	23133	89788	67417	87280	267618	202310	112677	582605	269451	922846	29557	95912	74973	96412	296854	212963	138450	648267	274579	953436	23326	103882	75727	93210	296145	243574	147016	686735	266701	962929	32041	119419	89388	96277	337125	237018	111096	685239	277690
561410	5	rec.																																									2372753	103157	449925	261773	232663	1047518	502813	230593	1780924	591829
561421	5	firms	2859	382	833	488	625	2328	454	42	2824	35	2642	224	864	460	582	2130	429	44	2603	39	2413	216	765	399	549	1929	406	41	2376	37	2259	190	709	373	497	1769	408	42	2219	40	1936	138	508	332	486	1464	395	36	1895	41
561421	5	estab.	3358	382	833	489	634	2338	536	115	2989	369	3087	224	864	462	595	2145	507	97	2749	338	2809	216	765	401	553	1935	477	98	2510	299	2661	194	710	380	501	1785	473	93	2351	310	2289	142	508	334	495	1479	460	78	2017	272
561421	5	empl.	62604	0	1798	3368	8591	13757	15208	5619	34584	28020	64127	0	1783	3179	7956	12918	14689	5888	33495	30632	64855	0	1572	2732	7505	11809	13636	6505	31950	32905	62150	0	1463	2579	6848	10890	13966	6124	30980	31170	59170	0	1096	2305	6765	10166	13676	5643	29485	29685
561421	5	ann. pay.	1445214	18843	37895	52735	121628	231101	270418	103730	605249	839965	1772559	10958	42505	52687	124109	230259	269793	159339	659391	1113168	1754490	15502	40351	49816	127088	232757	276325	145682	654764	1099726	1783879	8178	40978	49025	123467	221648	279783	153655	655086	1128793	2105181	30411	25582	37885	117898	211776	290675	137499	639950	1465231
561421	5	rec.																																									6027438	55147	80429	102663	249400	487639	656922	331508	1476069	4551369
561422	5	firms	2449	415	720	275	271	1681	465	193	2339	110	2294	338	722	261	232	1553	427	202	2182	112	2199	296	677	257	247	1477	412	194	2083	116	2194	303	654	264	230	1451	424	193	2068	126	2153	279	576	272	267	1394	416	215	2025	128
561422	5	estab.	3299	415	721	279	273	1688	516	321	2525	774	3169	341	724	265	236	1566	474	312	2352	817	3017	299	681	257	252	1489	457	373	2319	698	2972	305	657	267	236	1465	455	299	2219	753	2971	279	578	274	272	1403	461	354	2218	753
561422	5	empl.	252241	0	1427	1816	3788	7031	20912	35732	63675	188566	259426	0	1441	1737	3213	6391	19499	37935	63825	195601	279523	0	1334	1726	3436	6496	18683	35885	61064	218459	281269	0	1289	1754	3207	6250	18590	34012	58852	222417	279109	0	1167	1839	3713	6719	17476	40131	64326	214783
561422	5	ann. pay.	3850485	19112	41796	39805	61027	161740	337208	487884	986832	2863653	4107390	24716	48384	43203	61501	177804	341312	560710	1079826	3027564	4867114	26638	44491	39588	80558	191275	339553	622089	1152917	3714197	4885765	24891	47837	35082	70821	178631	365541	587500	1131672	3754093	4854219	39942	35173	45216	77986	198317	305285	616336	1119938	3734281
561422	5	rec.																																									11162442	108487	152815	229577	221812	712691	857780	1479006	3049477	8112965
561431	5	firms	4633	725	2787	778	214	4504	103	20	4627	6	4502	575	2684	860	235	4354	119	21	4494	8	4395	556	2522	924	245	4247	118	19	4384	11	4386	545	2540	886	255	4226	129	24	4379	7	4578	587	2680	925	256	4448	103	18	4569	9
561431	5	estab.	4689	725	2789	782	239	4535	113	35	4683	6	4554	577	2684	867	248	4376	132	38	4546	8	4451	557	2524	935	254	4270	129	41	4440	11	4441	545	2544	893	269	4251	139	44	4434	7	4658	587	2682	937	291	4497	114	38	4649	9
561431	5	empl.	21074	0	6238	4882	2698	13818	3460	         [h]	         [j]	         [g]	24017	0	6019	5427	3008	14454	4023	3391	21868	2149	25644	0	5642	5824	3051	14517	4266	3546	22329	3315	24125	0	5778	5651	3183	14612	4304	4204	23120	1005	22824	0	6231	5828	3137	15196	3459	3034	21689	1135
561431	5	ann. pay.	315835	22483	85263	58949	38142	204837	60911	         (D)	         (D)	         (D)	406243	20197	92525	73383	49689	235794	98299	51467	385560	20683	473445	14114	89973	87885	63490	255462	96532	57866	409860	63585	463009	23872	93976	86807	66033	270688	110409	70125	451222	11787	446662	18714	96304	80360	58191	253569	80153	91296	425018	21644
561431	5	rec.																																									2327228	99532	744035	476819	263168	1583554	264733	411721	2260008	67220
561439	5	firms	4125	416	1783	887	532	3618	419	59	4096	29	4042	393	1780	840	521	3534	418	60	4012	30	3887	323	1718	805	519	3365	430	59	3854	33	3836	321	1705	760	538	3324	426	57	3807	29	3702	406	1634	709	487	3236	384	49	3669	33
561439	5	estab.	6078	419	1784	891	553	3647	568	278	4493	1585	6167	394	1781	846	546	3567	584	267	4418	1749	6159	356	1720	810	542	3428	562	241	4231	1928	6202	326	1713	766	573	3378	527	307	4212	1990	6009	407	1638	713	521	3279	567	269	4115	1894
561439	5	empl.	89354	0	4035	5832	6906	16773	15089	         [i]	         [k]	         [k]	93508	0	4020	5487	6884	16391	14945	8807	40143	53365	87425	0	3837	5274	6790	15901	15276	8736	39913	47512	82790	0	3810	4963	7031	15804	14731	9314	39849	42941	72152	0	3656	4620	6492	14768	13377	8315	36460	35692
561439	5	ann. pay.	2227092	15570	82244	122073	160385	380272	364770	         (D)	         (D)	         (D)	2435264	18442	88093	123867	163049	393451	388333	248303	1030087	1405177	2380726	15519	89028	123012	175587	403146	410646	257721	1071513	1309213	2340697	23790	92890	114684	185873	417237	402429	282781	1102447	1238250	2052015	20316	89736	111079	181627	402758	371640	258831	1033229	1018786
561439	5	rec.																																									6674644	75810	409985	390114	553725	1429634	1030849	671768	3132251	3542393
561440	5	firms	4696	434	1692	934	721	3781	698	117	4596	100	4568	369	1670	929	703	3671	670	129	4470	98	4377	358	1572	859	715	3504	653	124	4281	96	4420	412	1554	857	693	3516	665	138	4319	101	4492	410	1575	887	671	3543	702	143	4388	104
561440	5	estab.	5272	438	1692	938	741	3809	821	265	4895	377	5086	369	1674	931	722	3696	790	254	4740	346	4976	358	1573	859	735	3525	762	256	4543	433	5051	425	1556	860	713	3554	798	242	4594	457	5161	413	1575	890	691	3569	850	309	4728	433
561440	5	empl.	88882	0	3783	6288	9671	19742	25690	17027	62459	26423	91556	0	3679	6200	9542	19421	24823	17892	62136	29420	100066	0	3498	5754	9667	18919	24798	19275	62992	37074	111822	0	3376	5725	9400	18501	25224	22373	66098	45724	119078	0	3547	5891	9029	18467	26939	24575	69981	49097
561440	5	ann. pay.	2334510	25320	83438	143042	245683	497483	726236	434371	1658090	676420	2523011	26433	88554	145887	263675	524549	728773	511009	1764331	758680	2987725	16603	86640	140978	273281	517502	774510	630054	1922066	1065659	3450492	47127	87084	150792	278661	563664	796758	764608	2125030	1325462	3627378	26477	85582	158158	266884	537101	898455	787201	2222757	1404621
561440	5	rec.																																									8494398	92459	276389	415319	646874	1431041	1990301	1670621	5091963	3402435
561450	5	firms	1102	101	405	213	178	897	158	28	1083	19	1047	75	417	205	146	843	160	26	1029	18	971	82	387	190	125	784	140	28	952	19	937	66	402	176	129	773	118	26	917	20	795	53	314	159	121	647	104	24	775	20
561450	5	estab.	1509	101	407	217	181	906	205	75	1186	323	1504	75	418	211	148	852	207	78	1137	367	1406	83	390	193	126	792	182	79	1053	353	1360	66	402	178	137	783	154	61	998	362	1177	53	315	161	125	654	146	54	854	323
561450	5	empl.	35613	0	898	1402	2408	4708	5414	3346	13468	22145	37837	0	911	1357	1938	4206	5567	2732	12505	25332	34048	0	825	1281	1666	3772	4781	3350	11903	22145	33890	0	871	1151	1744	3766	4154	3162	11082	22808	27256	0	661	1030	1600	3291	3754	3101	10146	17110
561450	5	ann. pay.	1340700	7014	21967	33305	63287	125573	168591	107418	401582	939118	1266714	13494	21145	35520	52888	123047	177372	114404	414823	851891	1438965	3787	19131	36220	50000	109138	163462	110527	383127	1055838	1789791	1820	22763	34721	52161	111465	143098	118950	373513	1416278	1255393	2094	17185	30924	53341	103544	141730	100440	345714	909679
561450	5	rec.																																									4801628	10698	65839	95444	150024	322005	450604	753591	1526200	3275428
561491	5	firms	1091	226	470	214	124	1034	47	5	1086	5	1146	203	542	229	109	1083	53	4	1140	6	1226	249	555	225	131	1160	56	3	1219	7	1097	180	521	214	120	1035	52	3	1090	7	899	105	407	192	128	832	55	3	890	9
561491	5	estab.	1136	227	471	215	130	1043	69	17	1129	7	1188	203	542	231	115	1091	75	7	1173	15	1263	249	556	229	137	1171	76	3	1250	13	1131	180	522	217	126	1045	69	3	1117	14	955	105	407	196	145	853	84	3	940	15
561491	5	empl.	6676	0	978	1412	1633	4023	1504	         [f]	         [i]	         [f]	7230	0	1104	1544	1428	4076	1804	[f]	[i]	[f]	7695	0	1121	1522	1689	4332	1822	         [c]	         [i]	         [g]	7681	0	1100	1415	1620	4135	1731	         [c]	         [i]	         [g]	7892	0	935	1290	1741	3966	1810	         [e]	         [i]	         [g]
561491	5	ann. pay.	193883	6120	23595	31995	56674	118384	42482	         (D)	         (D)	         (D)	196623	7795	28680	37895	34204	108574	47413	(D)	(D)	(D)	337472	10925	31549	36963	43412	122849	66432	         (D)	         (D)	         (D)	345107	4897	31582	38231	42921	117631	69266	         (D)	         (D)	         (D)	231789	3347	22404	35526	46240	107517	50632	         (D)	         (D)	         (D)
561491	5	rec.																																									937444	15510	99279	121181	141828	377798	172739	         (D)	         (D)	         (D)
561492	5	firms	3564	703	2137	400	193	3433	119	9	3561	3	3700	642	2321	406	208	3577	110	10	3697	3	3990	790	2434	412	204	3840	133	14	3987	3	3626	594	2313	396	197	3500	114	9	3623	3	2981	378	1991	332	171	2872	95	13	2980	1
561492	5	estab.	3642	703	2141	411	206	3461	147	30	3638	4	3795	642	2326	416	224	3608	125	31	3764	31	4101	790	2442	421	222	3875	145	51	4071	30	3707	594	2323	402	216	3535	124	45	3704	3	3115	378	1995	346	189	2908	125	55	3088	27
561492	5	empl.	14336	0	3791	2545	2540	8876	3726	         [g]	         [j]	         [e]	15256	0	4128	2562	2778	9468	3640	[g]	[j]	[f]	17394	0	4427	2600	2699	9726	4380	         [g]	         [j]	         [f]	15879	0	4101	2514	2597	9212	3640	         [g]	         [j]	         [g]	13236	0	3491	2084	2301	7876	3092	         [g]	         [j]	         [e]
561492	5	ann. pay.	423880	17402	95134	68006	75860	256402	117532	         (D)	         (D)	         (D)	473390	22536	105281	71027	84300	283144	116715	(D)	(D)	(D)	553605	28035	121248	80847	87051	317181	139794	         (D)	         (D)	         (D)	511002	20477	111031	80289	86604	298401	123809	         (D)	         (D)	         (D)	511342	8959	92945	68380	84545	254829	131234	         (D)	         (D)	         (D)
561492	5	rec.																																									1632269	47782	507176	274711	252893	1082562	293257	         (D)	         (D)	         (D)
561499	5	firms	1250	336	396	136	127	995	160	57	1212	38	1406	301	563	170	130	1164	151	55	1370	36	1624	386	602	198	171	1357	159	66	1582	42	1828	330	787	226	178	1521	189	74	1784	44	1822	374	725	233	169	1501	204	75	1780	42
561499	5	estab.	1451	336	400	137	129	1002	180	83	1265	186	1602	301	564	172	132	1169	161	82	1412	190	1825	391	605	200	174	1370	171	88	1629	196	2021	330	787	229	181	1527	204	104	1835	186	2096	374	727	242	180	1523	226	144	1893	203
561499	5	empl.	36714	0	808	883	1692	3383	6471	7426	17280	19434	39597	0	1059	1103	1748	3910	5971	6596	16477	23120	48051	0	1146	1265	2260	4671	6651	7679	19001	29050	53290	0	1511	1497	2398	5406	7450	9149	22005	31285	54517	0	1398	1529	2268	5195	8105	8820	22120	32397
561499	5	ann. pay.	871809	12584	23637	25976	40381	102578	153389	163476	419443	452366	1028958	25080	35676	34732	45540	141028	143094	162099	446221	582737	1302654	56793	38483	54847	83204	233327	210099	203864	647290	655364	1352416	15490	45399	48322	79129	188340	219531	263732	671603	680813	1776697	31060	47651	47857	68529	195097	228749	292546	716392	1060305
561499	5	rec.																																									5589287	102355	237939	213466	505618	1059378	657790	908416	2625584	2963703
561510	5	firms	21896	1957	12345	4981	1602	20885	790	151	21826	70	20674	1572	11882	4648	1578	19680	763	158	20601	73	19362	1585	11098	4244	1441	18368	752	164	19284	78	18094	1438	10463	3806	1377	17084	765	158	18007	87	14838	1290	9004	2747	1024	14065	565	128	14758	80
561510	5	estab.	28782	1960	12360	5069	1896	21285	1822	972	24079	4703	27390	1602	11904	4762	1852	20120	1645	1001	22766	4624	25975	1595	11117	4368	1711	18791	1546	1019	21356	4619	24654	1439	10495	3921	1627	17482	1486	955	19923	4731	21079	1292	9023	2834	1220	14369	1244	969	16582	4497
561510	5	empl.	185391	0	28886	31542	20678	81106	28002	19060	128168	57223	184912	0	27638	29590	20297	77525	27695	20048	125268	59644	183143	0	25591	26961	18587	71139	27096	20791	119026	64117	182054	0	23717	24201	17970	65888	27362	19792	113042	69012	151770	0	20078	17477	13358	50913	19678	15730	86321	65449
561510	5	ann. pay.	4774773	54688	512993	591077	458915	1617673	752977	528582	2899232	1875541	4884583	51932	516524	575759	476114	1620329	750691	596931	2967951	1916632	5313269	52378	500426	568933	471231	1592968	808029	706131	3107128	2206141	5533357	51732	458357	503150	433359	1446598	792923	729311	2968832	2564525	4595040	38103	396512	375434	342699	1152748	612975	487324	2253047	2341993
561510	5	rec.																																									11117611	113440	1119369	979681	824160	3036650	1422296	1071279	5530225	5587386
561520	5	firms	3220	417	1504	591	347	2859	281	55	3195	25	3122	382	1453	569	358	2762	278	54	3094	28	2938	353	1347	551	332	2583	270	59	2912	26	2956	375	1394	499	334	2602	265	61	2928	28	2733	400	1326	443	262	2431	227	52	2710	23
561520	5	estab.	3514	417	1508	595	360	2880	340	139	3359	155	3434	385	1458	574	370	2787	328	140	3255	179	3229	353	1351	557	339	2600	324	136	3060	169	3235	375	1397	503	348	2623	317	128	3068	167	2975	400	1330	445	270	2445	285	105	2835	140
561520	5	empl.	39555	0	3241	3888	4570	11699	10283	8717	30699	8856	40638	0	3101	3727	4659	11487	10283	7831	29601	11037	40701	0	2856	3626	4354	10836	10014	8382	29232	11469	44645	0	2922	3263	4370	10555	9813	8620	28988	15657	34579	0	2788	2908	3415	9111	8079	7349	24539	10040
561520	5	ann. pay.	1159275	39783	84213	104662	123709	352367	289195	282718	924280	234995	1383040	20700	116409	105591	127888	370588	305606	267815	944009	439031	1484483	15773	85242	113374	119243	333632	322267	303962	959861	524622	1474543	15236	82526	95249	124651	317662	295072	310741	923475	551068	1342720	18026	77824	84139	105605	285594	275211	262716	823521	519199
561520	5	rec.																																									3685354	54742	221165	236261	309132	821300	842782	1007316	2671398	1013956
561591	5	firms	947	110	483	155	81	829	90	23	942	5	931	81	476	167	89	813	93	22	928	3	915	61	464	178	93	796	92	23	911	4	939	65	466	183	99	813	100	23	936	3	914	74	462	168	95	799	89	23	911	3
561591	5	estab.	1029	110	483	156	86	835	139	45	1019	10	1013	81	476	168	94	819	148	43	1010	3	1000	61	464	179	95	799	145	52	996	4	1017	65	466	183	103	817	152	44	1013	4	1003	74	462	169	103	808	136	55	999	4
561591	5	empl.	11108	0	1033	1009	1058	3100	3348	3829	10277	831	10609	0	1035	1091	1178	3304	[h]	3530	[j]	[c]	11324	0	1019	1163	1257	3439	3784	3769	10992	332	11829	0	1027	1206	1306	3539	4009	4179	11727	102	11166	0	1058	1099	1265	3422	3776	3823	11021	145
561591	5	ann. pay.	251967	3403	22790	22232	25140	73565	92158	71789	237512	14455	258836	4477	23431	25934	31319	85161	(D)	66956	(D)	(D)	286709	2164	24858	29314	32950	89286	113382	79434	282102	4607	314687	1926	25681	32397	38264	98268	122636	93074	313978	709	317502	4078	26138	30637	37407	98260	117054	101050	316364	1138
561591	5	rec.																																									1193755	21710	105532	116855	129943	374040	398504	418771	1191315	2440
561599	5	firms	1809	236	838	272	164	1510	164	79	1753	56	1744	184	812	281	180	1457	155	73	1685	59	1685	190	769	268	167	1394	165	66	1625	60	1674	173	777	269	160	1379	177	64	1620	54	1568	219	695	227	150	1291	162	62	1515	53
561599	5	estab.	2754	236	840	273	182	1531	234	327	2092	662	2732	184	813	283	200	1480	221	297	1998	734	2714	190	770	269	192	1421	228	297	1946	768	2736	173	778	272	175	1398	266	268	1932	804	2530	220	696	228	168	1312	251	270	1833	697
561599	5	empl.	61476	0	1780	1749	2227	5756	6389	12067	24212	37264	64486	0	1699	1828	2397	5924	[i]	11132	[j]	[k]	72498	0	1647	1746	2195	5588	5937	9797	21322	51176	74588	0	1649	1724	2136	5509	6584	10280	22373	52215	60569	0	1473	1455	1976	4904	5881	9264	20049	40520
561599	5	ann. pay.	1830687	13739	47694	49417	58442	169292	165980	317514	652786	1177901	2131580	8050	47274	54383	66323	176030	(D)	315277	(D)	(D)	2575572	12483	50764	55644	65193	184084	180406	294102	658592	1916980	2685462	14701	48468	52190	62902	178261	183732	346555	708548	1976914	2214629	10086	42341	50566	66881	169874	168343	299088	637305	1577324
561599	5	rec.																																									8631493	73999	327598	405343	395950	1202890	662074	1092481	2957445	5674048
561611	5	firms	5001	711	2535	742	469	4457	443	74	4974	27	4831	680	2355	751	487	4273	451	74	4798	33	4829	707	2370	716	475	4268	448	75	4791	38	4702	641	2363	713	446	4163	418	84	4665	37	4791	701	2536	674	415	4326	339	85	4750	41
561611	5	estab.	5115	711	2535	746	478	4470	478	105	5053	62	4985	680	2356	753	497	4286	489	112	4887	98	4983	707	2371	720	486	4284	478	111	4873	110	4856	648	2364	720	460	4192	450	105	4747	109	4949	701	2537	680	422	4340	376	110	4826	123
561611	5	empl.	49829	0	5012	4884	6298	16194	17395	11503	45092	4737	52312	0	4589	4972	6553	16114	17356	11663	45133	7179	55014	0	4683	4783	6503	15969	18317	12131	46417	8597	54791	0	4588	4673	5950	15211	17067	13944	46222	8569	55145	0	5004	4415	5662	15081	13072	13438	41591	13554
561611	5	ann. pay.	950620	27404	108302	105493	126898	368097	291461	186531	846089	104531	1048386	25427	99286	109573	128784	363070	314496	190577	868143	180243	1129108	28700	103384	109175	140441	381700	342031	220940	944671	184437	1214133	21844	107097	112130	135906	376977	342845	261247	981069	233064	1305836	22536	115360	110147	144817	392860	285232	261860	939952	365884
561611	5	rec.																																									2872425	78888	418061	287382	328328	1112659	541035	434083	2087777	784648
561612	5	firms	4876	594	1085	600	701	2980	1272	483	4735	141	4751	508	1184	562	634	2888	1211	494	4593	158	4615	526	1113	561	613	2813	1166	481	4460	155	4841	606	1146	649	631	3032	1173	487	4692	149	4853	623	934	652	688	2897	1297	502	4696	157
561612	5	estab.	6546	595	1086	600	707	2988	1316	664	4968	1578	6574	523	1184	564	636	2907	1256	739	4902	1672	6538	527	1113	565	614	2819	1217	637	4673	1865	6739	606	1146	654	635	3041	1243	616	4900	1839	6992	623	934	653	691	2901	1370	734	5005	1987
561612	5	empl.	482477	0	2339	4066	9665	16070	57974	94918	168962	313515	487689	0	2486	3758	8775	15019	55596	95558	166173	321516	483307	0	2332	3807	8379	14518	53877	94512	162907	320400	485352	0	2443	4326	8769	15538	53160	95637	164335	321017	517027	0	2098	4384	9710	16192	57116	99654	172962	344065
561612	5	ann. pay.	6686095	33165	40303	51620	117399	242487	690629	1271429	2204545	4481550	7138571	49539	49965	49057	113390	261951	687954	1342424	2292329	4846242	7855587	43503	47722	55523	115080	261828	702784	1427715	2392327	5463260	8251430	50562	56944	71005	133293	311804	764126	1491891	2567821	5683609	9388780	90603	47986	62564	146672	347825	825883	1638866	2812574	6576206
561612	5	rec.																																									13620652	143171	107441	124230	265808	640650	1271897	2286750	4199297	9421355
561613	5	firms	243	47	72	23	22	164	43	25	232	11	244	33	89	25	21	168	40	23	231	13	251	38	87	26	27	178	38	22	238	13	216	23	76	25	21	145	38	20	203	13	160	10	44	24	16	94	32	22	148	12
561613	5	estab.	845	47	72	23	22	164	53	65	282	563	858	34	89	25	21	169	44	65	278	580	861	38	87	26	28	179	42	61	282	579	834	23	76	25	21	145	42	56	243	591	795	10	44	24	16	94	43	79	216	579
561613	5	empl.	33618	0	171	164	311	646	1805	3750	6201	27417	31618	0	189	171	296	656	1694	3718	6068	25550	31628	0	195	168	391	754	1707	3980	6441	25187	32332	0	156	149	277	582	1563	3308	5453	26879	31243	0	95	170	230	495	1492	4162	6149	25094
561613	5	ann. pay.	760461	1444	4907	2862	4113	13326	36645	88188	138159	622302	762838	2591	4443	2561	4799	14394	31786	83872	130052	632786	820049	2204	4406	4466	5827	16903	35235	95215	147353	672696	865071	717	3603	4275	5454	14049	33888	71522	119459	745612	882925	557	1868	6644	6623	15692	33981	108267	157940	724985
561613	5	rec.																																									2093937	1365	5549	18978	18269	44161	73615	222567	340343	1753594
561621	5	firms	3792	424	1641	687	492	3244	438	66	3748	44	3890	487	1628	675	531	3321	453	67	3841	49	3923	462	1650	667	554	3333	468	75	3876	47	4229	507	1772	746	556	3581	520	77	4178	51	4614	533	1999	840	600	3972	514	85	4571	43
561621	5	estab.	5259	426	1643	690	503	3262	507	215	3984	1275	5336	489	1628	677	551	3345	516	204	4065	1271	5401	466	1651	668	570	3355	538	233	4126	1275	5740	507	1772	755	573	3607	587	203	4397	1343	5777	533	1999	843	623	3998	649	263	4910	867
561621	5	empl.	113826	0	3411	4569	6574	14554	16240	9420	40214	73612	119925	0	3438	4469	7153	15060	17475	10381	42916	77009	124694	0	3487	4406	7516	15409	17653	11270	44332	80362	130789	0	3847	4994	7415	16256	20497	12160	48913	81876	112050	0	4372	5618	8148	18138	19820	         [j]	         [l]	         [l]
561621	5	ann. pay.	3086009	22187	76038	111947	170000	380172	460157	319207	1159536	1926473	3539349	25951	84203	118008	193111	421273	487996	465129	1374398	2164951	3784200	26903	89673	117860	204499	438935	546230	589079	1574244	2209956	4123130	24589	109558	146268	219439	499854	643273	388515	1531642	2591488	3797331	30195	113647	167379	252314	563535	662767	         (D)	         (D)	         (D)
561621	5	rec.																																									10691268	105367	448357	532747	720556	1807027	1616028	         (D)	         (D)	         (D)
561622	5	firms	3750	363	2358	737	214	3672	62	9	3743	7	3773	329	2352	762	248	3691	65	10	3766	7	3821	381	2322	774	241	3718	87	8	3813	8	3787	347	2297	783	250	3677	92	13	3782	5	3718	280	2344	739	251	3614	88	12	3714	4
561622	5	estab.	3833	363	2361	747	234	3705	92	22	3819	14	3854	330	2352	773	269	3724	100	17	3841	13	3900	381	2323	786	261	3751	121	14	3886	14	3872	347	2298	796	270	3711	127	19	3857	15	3806	280	2346	748	277	3651	127	18	3796	10
561622	5	empl.	14869	0	5052	4748	2738	12538	1736	270	14544	325	15643	0	4969	4872	3221	13062	1786	537	15385	258	16360	0	4917	4997	3152	13066	2646	384	16096	264	17201	0	4802	4993	3202	12997	2801	988	16786	415	16537	0	4948	4711	3196	12855	2523	         [f]	         [j]	         [e]
561622	5	ann. pay.	372161	5512	101054	116587	76475	299628	54121	7243	360992	11169	399060	8011	101536	119712	89996	319255	58450	10852	388557	10503	440695	12248	104320	128084	91594	336246	83901	8563	428710	11985	485481	9425	102781	133461	93538	339205	87548	45574	472327	13154	460628	6904	106745	130736	94801	339186	81650	         (D)	         (D)	         (D)
561622	5	rec.																																									1382466	32144	406329	366181	277847	1082501	219404	         (D)	         (D)	         (D)
561710	5	firms	9409	1057	5137	1755	961	8910	439	39	9388	21	9358	909	5126	1796	977	8808	488	39	9335	23	9428	973	5040	1857	992	8862	504	39	9405	23	9468	985	5063	1833	1021	8902	502	43	9447	21	9513	1050	5091	1818	975	8934	508	51	9493	20
561710	5	estab.	11170	1057	5139	1757	1012	8965	643	370	9978	1192	11127	912	5128	1805	1022	8867	687	330	9884	1243	11111	985	5042	1867	1037	8931	702	311	9944	1167	11130	987	5066	1842	1058	8953	683	343	9979	1151	11230	1050	5093	1823	1017	8983	732	403	10118	1112
561710	5	empl.	83008	0	10573	11526	12764	34863	15571	6344	56778	26230	91330	0	10535	11778	12895	35208	17325	6348	58881	32449	91669	0	10360	12130	13193	35683	18066	5822	59571	32098	90361	0	10437	12098	13490	36025	17537	6442	60004	30357	89854	0	10738	11977	13023	35738	17259	7557	60554	29300
561710	5	ann. pay.	2134454	20333	204694	249034	312090	786151	416202	187708	1390061	744393	2362549	27132	215528	260068	329824	832552	473059	175486	1481097	881452	2439661	21763	215489	277281	346139	860672	510820	180411	1551903	887758	2520956	23339	228661	290655	362926	905581	518852	205465	1629898	891058	2669673	31327	238654	295665	363330	928976	523894	254930	1707800	961873
561710	5	rec.																																									6584134	119589	736292	746036	823824	2425741	1137006	566678	4129425	2454709
561720	5	firms	52887	8178	23928	9004	5938	47048	4647	975	52670	217	51527	6779	24068	8877	5977	45701	4638	963	51302	225	50957	7180	23179	8782	5852	44993	4767	968	50728	229	51466	7237	23393	8857	5895	45382	4868	962	51212	254	45824	7121	20150	7870	5122	40263	4402	913	45578	246
561720	5	estab.	55648	8182	23931	9014	5954	47081	4795	1342	53218	2430	54962	6785	24070	8885	5998	45738	4786	1291	51815	3147	54288	7185	23185	8793	5875	45038	4933	1323	51294	2994	54810	7247	23399	8865	5917	45428	5037	1309	51774	3036	49530	7122	20154	7878	5136	40290	4667	1335	46292	3238
561720	5	empl.	878966	0	49130	59530	79596	188256	179697	182049	550002	328964	903635	0	49056	58667	80224	187947	179929	177375	545251	358384	918552	0	47396	58043	78593	184032	185279	181938	551249	367303	931515	0	47426	58763	79168	185357	188669	177101	551127	380388	866175	0	42805	51715	68987	163507	172418	166409	502334	363841
561720	5	ann. pay.	11060638	185690	613678	665124	884114	2348606	1976270	2160004	6484880	4575758	12094901	179108	686920	714498	961988	2542514	2122713	2157172	6822399	5272502	12830126	186628	680833	745161	1007923	2620545	2357618	2332018	7310181	5519945	13669620	178027	709358	785382	1072429	2745196	2517226	2380044	7642466	6027154	12966950	251854	567199	649761	947539	2416353	2342229	2368275	7126857	5840093
561720	5	rec.																																									26937846	705686	2263609	1889085	2549520	7407900	4838315	4265978	16512193	10425653
561730	5	firms	64584	17606	30775	9207	4282	61870	2476	203	64549	35	64683	16399	31114	9593	4596	61702	2705	234	64641	42	66331	15521	31882	10428	5195	63026	3020	243	66289	42	71539	17773	34375	10568	5313	68029	3192	269	71490	49	72975	22417	32761	9726	4819	69723	2933	265	72921	54
561730	5	estab.	65377	17606	30776	9208	4284	61874	2514	285	64673	704	65490	16401	31115	9594	4598	61708	2738	285	64731	759	67053	15521	31883	10428	5198	63030	3055	290	66375	678	72504	17775	34376	10572	5316	68039	3233	326	71598	906	74208	22417	32761	9733	4838	69749	3074	411	73234	974
561730	5	empl.	363906	0	62361	59778	56323	178462	88819	31597	298878	65028	393575	0	63131	62387	60773	186291	97324	36466	320081	73494	415873	0	65786	67880	68886	202552	108550	38681	349783	66090	446111	0	69687	68754	70342	208783	115608	42396	366787	79324	423474	0	67797	62889	63837	194523	105556	40307	340386	83088
561730	5	ann. pay.	8082010	374365	1285297	1141380	1176099	3977141	1980459	673717	6631317	1450693	8935831	380073	1377011	1246489	1299589	4303162	2221986	792147	7317295	1618536	9770825	396259	1437923	1390248	1521339	4745769	2618096	858945	8222810	1548015	11258488	468108	1698757	1513577	1669097	5349539	2910727	1035195	9295461	1963027	11103071	643770	1575431	1430196	1577255	5226652	2740955	1020313	8987920	2115151
561730	5	rec.																																									33598503	3086201	6449085	4611333	4629720	18776339	7262903	2547814	28587056	5011447
561740	5	firms	9174	1422	5195	1508	670	8795	350	25	9170	4	8892	1072	5250	1497	693	8512	348	25	8885	7	8634	1142	4914	1516	691	8263	340	23	8626	8	8724	1118	5033	1478	716	8345	353	19	8717	7	8155	1114	4570	1396	650	7730	397	19	8146	9
561740	5	estab.	9342	1429	5196	1515	680	8820	401	81	9302	40	9050	1072	5251	1504	701	8528	397	72	8997	53	8789	1142	4915	1523	703	8283	379	51	8713	76	8872	1118	5035	1491	726	8370	388	56	8814	58	8307	1114	4570	1401	659	7744	444	53	8241	66
561740	5	empl.	45415	0	10289	9755	8829	28873	11370	         [h]	         [k]	         [f]	45983	0	10395	9725	9054	29174	11467	3590	44231	1752	45814	0	9787	9849	9138	28774	11162	3447	43383	2431	45854	0	9916	9607	9449	28972	12003	3230	44205	1649	45685	0	9312	9142	8491	26945	13300	3315	43560	2125
561740	5	ann. pay.	801762	25748	151974	152339	146503	476564	207311	         (D)	         (D)	         (D)	845081	17521	162139	160199	157883	497742	230466	62228	790436	54645	875399	18354	160943	172780	166323	518400	231174	58873	808447	66952	930240	20447	169827	181538	185204	557016	258599	66449	882064	48176	949830	23412	161318	175154	169319	529203	293273	67376	889852	59978
561740	5	rec.																																									2766671	111211	652925	514520	458471	1737127	696238	169845	2603210	163461
561790	5	firms	5873	1238	3103	848	444	5633	215	12	5860	13	6085	1153	3258	915	496	5822	240	11	6073	12	6352	1259	3328	960	522	6069	261	12	6342	10	7059	1364	3772	1036	563	6735	297	19	7051	8	9570	1974	5061	1434	712	9181	355	26	9562	8
561790	5	estab.	5919	1238	3105	851	450	5644	222	17	5883	36	6138	1153	3260	918	500	5831	253	20	6104	34	6407	1259	3329	962	528	6078	275	19	6372	35	7105	1364	3774	1038	567	6743	312	26	7081	24	9658	1974	5062	1437	714	9187	395	41	9623	35
561790	5	empl.	26788	0	5936	5491	5882	17309	6816	         [g]	         [k]	         [g]	30229	0	6386	5936	6621	18943	8083	1525	28551	1678	31134	0	6693	6238	6862	19793	8710	1334	29837	1297	35445	0	7510	6733	7486	21729	10177	2204	34110	1335	45258	0	10289	9242	9422	28953	11676	2643	43272	1986
561790	5	ann. pay.	650295	38180	129065	113500	142185	422930	152670	         (D)	         (D)	         (D)	731717	33283	145946	130516	156705	466450	188334	30295	685079	46638	805893	35363	153964	140101	177349	506777	215720	38294	760791	45102	959239	37615	183648	160781	203911	585955	271970	58723	916648	42591	1185184	65286	232586	211455	240341	749668	299356	66930	1115954	69230
561790	5	rec.																																									3659260	296424	963657	639100	652564	2551745	754715	165057	3471517	187743
561910	5	firms	2337	316	884	327	251	1778	386	123	2287	50	2224	212	865	342	268	1687	372	118	2177	47	2134	197	793	331	261	1582	385	115	2082	52	2141	179	810	352	259	1600	368	123	2091	50	1799	200	647	261	215	1323	328	108	1759	40
561910	5	estab.	2424	316	884	327	260	1787	404	158	2349	75	2312	212	865	342	276	1695	390	151	2236	76	2231	197	793	331	262	1583	411	142	2136	95	2249	179	810	352	261	1602	381	149	2132	117	1915	200	647	261	216	1324	346	142	1812	103
561910	5	empl.	58126	0	1824	2195	3521	7540	15756	18062	41358	16768	60707	0	1812	2272	3604	7688	15785	18225	41698	19009	57924	0	1717	2227	3566	7510	16478	18155	42143	15781	58005	0	1715	2347	3529	7591	15611	16691	39893	18112	50614	0	1448	1745	2935	6128	13767	14565	34460	16154
561910	5	ann. pay.	1256537	12450	47354	53441	74343	187588	323044	355538	866170	390367	1411877	11444	51137	58449	81856	202886	351424	388660	942970	468907	1337165	11778	47842	59781	84048	203449	389183	384957	977589	359576	1370361	12919	47703	62482	85578	208682	361398	375973	946053	424308	1245773	13772	40806	50967	78569	184114	339885	337786	861785	383988
561910	5	rec.																																									4776440	69342	232136	232687	366714	900879	1133097	1287344	3321320	1455120
561920	5	firms	3915	688	1765	603	382	3438	351	85	3874	41	3772	492	1794	599	397	3282	364	86	3732	40	3725	530	1687	611	390	3218	368	94	3680	45	3884	553	1787	625	390	3355	391	91	3837	47	4063	585	2012	589	389	3575	355	87	4017	46
561920	5	estab.	4186	690	1769	606	391	3456	390	151	3997	189	4031	493	1796	601	408	3298	410	143	3851	180	3997	530	1690	615	398	3233	400	159	3792	205	4154	554	1791	630	397	3372	416	154	3942	212	4354	586	2013	592	402	3593	395	189	4177	177
561920	5	empl.	70594	0	3587	3990	5129	12706	13645	12108	38459	32135	66346	0	3651	3916	5383	12950	14412	12467	39829	26517	69874	0	3351	3987	5311	12649	14648	12952	40249	29625	71676	0	3569	4040	5271	12880	15061	13291	41232	30444	67763	0	4091	3880	5118	13089	13560	13562	40211	27552
561920	5	ann. pay.	1816926	30451	126369	136875	178313	472008	422384	318579	1212971	603955	1961961	25893	133549	142775	200054	502271	477198	334334	1313803	648158	2211908	31406	131734	160083	193242	516465	523082	376974	1416521	795387	2214686	30421	132855	157173	184201	504650	520543	394229	1419422	795264	2156593	29026	150136	150350	194183	523695	473236	380721	1377652	778941
561920	5	rec.																																									8149850	169971	802042	737698	789316	2499027	1635623	1233087	5367737	2782113
561990	5	firms	19344	3274	9900	2843	1673	17690	1218	242	19150	194	18528	2114	10057	2878	1750	16799	1272	241	18312	216	17691	2169	9162	2846	1778	15955	1277	245	17477	214	17069	1956	8829	2809	1721	15315	1302	247	16864	205	12856	1883	6303	1903	1273	11362	1048	234	12644	212
561990	5	estab.	20917	3275	9906	2862	1723	17766	1420	457	19643	1274	20218	2121	10064	2896	1811	16892	1428	482	18802	1416	19520	2173	9172	2866	1841	16052	1444	463	17959	1561	19011	1956	8848	2831	1767	15402	1463	492	17357	1654	14846	1883	6306	1927	1326	11442	1290	430	13162	1684
561990	5	empl.	218566	0	19657	18519	21989	60165	43173	27072	130410	88156	261487	0	20082	18935	22981	61998	46648	28008	136654	124833	333490	0	18446	18600	23547	60593	46569	30415	137577	195913	340753	0	17755	18260	22912	58927	47936	31317	138180	202573	228547	0	12815	12387	16980	42182	37349	28548	108079	120468
561990	5	ann. pay.	5114035	154927	576289	486063	600945	1818224	1067612	714688	3600524	1513511	5902148	90716	608940	539973	684851	1924480	1259117	761118	3944715	1957433	6510725	138452	590426	553454	754159	2036491	1373793	815711	4225995	2284730	7050468	83550	570812	569645	735527	1959534	1510475	931793	4401802	2648666	6274942	102247	395298	399794	573764	1471103	1310470	873933	3655506	2619436
561990	5	rec.																																									21176966	480088	1999235	1649339	2097634	6226296	4868685	2770728	13865709	7311257
562111	5	firms	5935	527	2532	1228	875	5162	668	79	5909	26	5447	483	2375	1063	814	4735	618	70	5423	24	5075	469	2203	1014	729	4415	567	64	5046	29	5022	428	2205	992	721	4346	587	60	4993	29	5165	457	2271	1042	713	4483	587	72	5142	23
562111	5	estab.	7103	527	2532	1231	888	5178	738	175	6091	1012	6569	485	2375	1067	829	4756	664	159	5579	990	6181	470	2203	1018	747	4438	597	121	5156	1025	6049	428	2205	995	736	4364	611	116	5091	958	6374	457	2272	1047	732	4508	634	144	5286	1088
562111	5	empl.	136133	0	5508	8171	11841	25520	24271	11149	60940	75193	133707	0	5167	7058	11054	23279	22684	9754	55717	77990	131061	0	4791	6716	9831	21338	20271	9586	51195	79866	124068	0	4760	6539	9703	21002	21616	8643	51261	72807	125958	0	5158	6815	9600	21573	20730	10391	52694	73264
562111	5	ann. pay.	4232765	19104	112830	185147	306059	623140	722454	383369	1728963	2503802	4302987	28022	112288	165976	286687	592973	687525	322361	1602859	2700128	4557580	16393	108959	164886	270175	560413	654909	336934	1552256	3005324	4504903	18314	107223	168202	277451	571190	708802	339760	1619752	2885151	4770747	31583	118663	179815	283540	613601	730466	413032	1757099	3013648
562111	5	rec.																																									21072283	163687	625397	764080	1117855	2671019	2856002	1599860	7126881	13945402
562112	5	firms	327	27	135	40	55	257	44	15	316	11	306	20	111	55	53	239	40	13	292	14	298	28	111	48	45	232	43	10	285	13	294	24	114	53	33	224	48	10	282	12	336	27	127	65	45	264	50	11	325	11
562112	5	estab.	413	27	135	40	55	257	58	29	344	69	404	20	111	55	53	239	60	38	337	67	464	28	111	48	45	232	53	35	320	144	448	24	114	53	33	224	59	34	317	131	500	27	127	65	47	266	64	34	364	136
562112	5	empl.	8714	0	287	269	678	1234	1676	1836	4746	3968	8740	0	231	364	700	1295	1567	1539	4401	4339	8893	0	226	309	588	1123	1848	1323	4294	4599	8619	0	239	368	443	1050	1915	1243	4208	4411	8609	0	275	429	588	1292	1921	1409	4622	3987
562112	5	ann. pay.	347269	753	7342	9392	24792	42279	70490	74648	187417	159852	353684	1293	5941	11849	21848	40931	67487	65458	173876	179808	377524	1787	6066	9014	19478	36345	83281	61948	181574	195950	364388	1014	8116	14577	16016	39723	88443	61297	189463	174925	366471	2158	9248	14922	23474	49802	84989	63570	198361	168110
562112	5	rec.																																									1478122	7237	47736	55629	79922	190524	334431	228337	753292	724830
562119	5	firms	813	111	424	118	66	719	75	6	800	13	737	81	386	122	60	649	67	9	725	12	692	77	348	126	69	620	55	6	681	11	740	82	377	125	74	658	65	6	729	11	773	106	363	136	92	697	58	7	762	11
562119	5	estab.	852	111	424	120	66	721	81	9	811	41	771	81	386	124	60	651	71	12	734	37	723	77	348	128	69	622	58	9	689	34	776	82	377	125	76	660	68	8	736	40	810	106	363	136	94	699	61	8	768	42
562119	5	empl.	6715	0	853	788	859	2500	2406	285	5191	1524	6664	0	771	768	740	2279	2151	702	5132	1532	6078	0	724	822	926	2472	1819	538	4829	1249	7177	0	785	805	972	2562	2390	632	5584	1593	7325	0	784	870	1233	2887	2076	821	5784	1541
562119	5	ann. pay.	199761	2833	17576	17919	27157	65485	75056	10425	150966	48795	197385	1970	17616	20128	23342	63056	66072	21820	150948	46437	203895	3399	17861	20693	29918	71871	62978	24174	159023	44872	234668	4017	18317	20570	31463	74367	76102	26192	176661	58007	250202	3766	19763	25235	38905	87669	72728	32251	192648	57554
562119	5	rec.																																									797870	26812	78181	73109	111385	289487	180412	92458	562357	235513
562211	5	firms	378	53	99	55	41	248	65	27	340	38	398	54	108	55	46	263	65	30	358	40	384	26	120	57	49	252	64	29	345	39	393	27	129	64	49	269	60	30	359	34	402	37	131	53	59	280	64	27	371	31
562211	5	estab.	520	53	99	55	51	258	67	37	362	158	536	54	108	55	50	267	73	44	384	152	500	26	120	57	53	256	71	41	368	132	520	27	129	64	51	271	69	44	384	136	572	37	131	53	64	285	82	41	408	164
562211	5	empl.	16976	0	219	364	577	1160	2412	4130	7702	9274	18475	0	222	350	632	1204	2409	4287	7900	10575	15972	0	260	364	685	1309	2509	4315	8133	7839	16517	0	303	429	701	1433	2337	4402	8172	8345	16526	0	310	358	781	1449	2380	4013	7842	8684
562211	5	ann. pay.	729774	4610	7026	9841	18950	40427	82831	162246	285504	444270	832396	3865	7174	11475	21181	43695	81505	157097	282297	550099	702773	1242	8476	12765	20734	43217	85682	171620	300519	402254	738904	2731	9363	14143	25830	52067	75913	183134	311114	427790	760437	4374	9511	11080	26530	51495	90056	172280	313831	446606
562211	5	rec.																																									2757276	21703	42298	43329	113840	221170	313594	611899	1146663	1610613
562212	5	firms	1013	154	369	188	124	835	118	31	984	29	1013	134	387	202	127	850	105	30	985	28	1003	103	398	210	118	829	113	28	970	33	1015	84	398	201	141	824	122	37	983	32	944	72	382	198	122	774	104	37	915	29
562212	5	estab.	1521	154	369	188	124	835	137	48	1020	501	1515	134	387	202	130	853	122	39	1014	501	1770	103	401	210	118	832	126	38	996	774	1987	84	398	201	141	824	128	52	1004	983	1913	72	382	198	122	774	111	62	947	966
562212	5	empl.	28204	0	851	1243	1675	3769	4070	2948	10787	17417	26075	0	872	1355	1650	3877	3512	3335	10724	15351	32704	0	910	1394	1605	3909	3837	3094	10840	21864	39127	0	910	1313	1826	4049	4231	3066	11346	27781	34968	0	868	1301	1568	3737	3381	3564	10682	24286
562212	5	ann. pay.	935375	9364	21786	31925	42316	105391	123052	109417	337860	597515	892464	9385	22277	37612	46246	115520	108163	118603	342286	550178	1169627	25851	23072	37325	46525	132773	126355	94757	353885	815742	1452290	3196	22901	36346	55446	117889	136439	116143	370471	1081819	1361502	6246	22828	36124	51271	116469	116478	122750	355697	1005805
562212	5	rec.																																									7883579	35568	137342	168283	234103	575296	586857	475407	1637560	6246019
562213	5	firms	90	12	30	14	12	68	10	2	80	10	88	10	32	12	11	65	12	2	79	9	97	12	39	13	12	76	10	3	89	8	104	10	43	14	18	85	8	2	95	9	101	6	48	17	9	80	10	2	92	9
562213	5	estab.	119	12	30	14	12	68	10	2	80	39	121	10	32	12	12	66	12	2	80	41	130	12	39	13	13	77	10	3	90	40	135	10	43	14	18	85	8	2	95	40	140	6	48	17	9	80	10	3	93	47
562213	5	empl.	3307	         [a]	59	95	151	         [e]	533	         [c]	967	2340	3221	[a]	60	81	140	[e]	551	[b]	881	2340	3401	0	87	88	169	344	434	236	1014	2387	3305	         [a]	89	94	238	         [e]	314	         [c]	855	2450	3359	0	103	         [c]	121	         [e]	414	         [b]	818	2541
562213	5	ann. pay.	148757	         (D)	1525	2365	4877	         (D)	18756	         (D)	34942	113815	152861	(D)	1553	1414	3373	(D)	21816	(D)	29616	123245	167715	255	1997	2989	4115	9356	18485	7903	35744	131971	165478	         (D)	3190	1856	7765	         (D)	14762	         (D)	32211	133267	169091	93	3390	         (D)	5046	         (D)	16713	         (D)	31811	137280
562213	5	rec.																																									1274458	392	16813	         (D)	26941	         (D)	63509	         (D)	139847	1134611
562219	5	firms	227	28	96	35	21	180	27	5	212	15	209	25	84	39	20	168	25	5	198	11	198	20	66	42	26	154	25	7	186	12	219	25	84	42	22	173	26	6	205	14	223	31	73	39	31	174	28	7	209	14
562219	5	estab.	299	28	96	35	23	182	33	7	222	77	280	25	84	39	27	175	27	7	209	71	278	20	66	44	30	160	28	10	198	80	291	25	84	42	23	174	31	9	214	77	292	32	73	39	32	176	32	13	221	71
562219	5	empl.	4269	         [a]	211	233	256	         [f]	904	         [c]	1749	2520	4030	[a]	188	266	254	[f]	760	[e]	1764	2266	4570	0	144	257	320	721	822	531	2074	2496	4649	         [a]	200	278	263	         [f]	806	         [f]	2059	2590	4427	0	178	         [c]	391	         [f]	914	         [e]	2146	2281
562219	5	ann. pay.	153385	         (D)	5495	7085	7910	         (D)	36311	         (D)	64545	88840	165767	(D)	4928	7903	17744	(D)	27299	(D)	71813	93954	184374	201	3758	8069	10483	22511	30854	19033	72398	111976	197230	         (D)	6581	7591	11574	         (D)	29297	         (D)	77636	119594	194021	1580	5714	         (D)	13962	         (D)	36930	         (D)	84338	109683
562219	5	rec.																																									803608	13717	25747	         (D)	56507	         (D)	131555	         (D)	310960	492648
562910	5	firms	1586	183	440	213	245	1081	382	70	1533	53	1581	199	425	235	223	1082	375	74	1531	50	1559	168	399	260	242	1069	359	78	1506	53	1926	230	478	326	301	1335	443	93	1871	55	2296	303	667	379	347	1696	452	96	2244	52
562910	5	estab.	1850	185	445	213	249	1092	418	142	1652	198	1839	199	425	236	225	1085	417	149	1651	188	1790	168	399	262	244	1073	388	144	1605	185	2186	230	478	326	303	1337	470	175	1982	204	2647	303	668	379	351	1701	520	212	2433	214
562910	5	empl.	46328	0	934	1429	3372	5735	15499	8788	30022	16306	46693	0	934	1574	3064	5572	15591	8661	29824	16869	49580	0	844	1719	3400	5963	14974	9934	30871	18709	55618	0	1044	2197	4176	7417	17281	12276	36974	18644	57801	0	1504	2536	4761	8801	17358	12474	38633	19168
562910	5	ann. pay.	1700879	8862	31258	45529	113432	199081	533334	253927	986342	714537	1867466	12220	28812	50471	102425	193928	531246	286386	1011560	855906	1912726	9822	28704	53298	118955	210779	527689	318976	1057444	855282	2266361	17209	38345	80821	157923	294298	617660	431577	1343535	922826	2378880	28293	58033	88082	162677	337085	633100	467369	1437554	941326
562910	5	rec.																																									7228144	118604	213940	298674	521200	1152418	1806816	1493508	4452742	2775402
562920	5	firms	771	117	290	124	93	624	103	21	748	23	703	68	286	144	78	576	83	19	678	25	653	60	251	135	79	525	89	17	631	22	609	39	231	129	83	482	86	20	588	21	693	67	284	133	82	566	87	19	672	21
562920	5	estab.	874	117	290	126	96	629	109	25	763	111	837	68	288	144	80	580	87	20	687	150	777	61	251	136	79	527	94	19	640	137	736	39	231	129	86	485	93	20	598	138	831	67	284	133	89	573	100	21	694	137
562920	5	empl.	12485	0	632	846	1229	2707	3582	1130	7419	5066	13113	0	593	965	1042	2600	2812	1688	7100	6013	12185	0	534	907	1032	2473	2966	1170	6609	5576	12928	0	515	852	1124	2491	3060	1600	7151	5777	12744	0	626	884	1102	2612	3065	1280	6957	5787
562920	5	ann. pay.	347014	6289	12998	22762	29902	71951	83959	33643	189553	157461	400151	2485	13404	22624	25652	64165	76488	54748	195401	204750	379313	3839	14428	25469	23813	67549	81052	38408	187009	192304	415831	3020	14433	21700	30341	69494	81502	60438	211434	204397	398197	3197	17867	23575	29723	74362	85254	34933	194549	203648
562920	5	rec.																																									1826802	18863	99820	128530	130525	377738	326945	129175	833858	992944
562991	5	firms	3050	358	1657	605	268	2888	136	15	3039	11	3023	261	1708	614	279	2862	136	14	3012	11	2999	314	1601	604	295	2814	161	15	2990	9	3111	309	1674	628	300	2911	175	15	3101	10	2965	293	1551	605	321	2770	171	13	2954	11
562991	5	estab.	3205	358	1657	606	273	2894	152	71	3117	88	3182	261	1708	616	283	2868	145	68	3081	101	3156	314	1601	606	297	2818	171	67	3056	100	3268	309	1674	628	302	2913	186	58	3157	111	3115	293	1551	605	321	2770	191	50	3011	104
562991	5	empl.	21489	0	3432	3916	3558	10906	4478	1860	17244	4245	23376	0	3550	4062	3727	11339	4523	1774	17636	5740	23963	0	3411	3931	3994	11336	5376	2388	19100	4863	24840	0	3540	4103	3987	11630	6002	2052	19684	5156	23875	0	3301	3952	4246	11499	5849	1716	19064	4811
562991	5	ann. pay.	632539	8162	75926	98015	94290	276393	132778	101253	510424	122115	702384	5761	82889	101006	104663	294319	144681	60530	499530	202854	756441	8399	81253	100257	116239	306148	171514	85750	563412	193029	820360	9328	89108	108090	117487	324013	199873	79600	603486	216874	797003	11332	80494	108255	132600	332681	197848	72043	602572	194431
562991	5	rec.																																									2411875	58364	344295	347774	374951	1125384	523870	203394	1852648	559227
562998	5	firms	177	27	65	22	19	133	31	6	170	7	216	53	72	29	17	171	31	9	211	5	217	29	93	37	19	178	25	9	212	5	331	61	140	53	31	285	30	10	325	6	467	72	223	78	42	415	32	10	457	10
562998	5	estab.	204	27	65	22	20	134	33	17	184	20	246	53	72	29	18	172	34	21	227	19	244	29	93	38	19	179	27	19	225	19	353	61	140	53	32	286	32	19	337	16	504	72	223	78	42	415	34	24	473	31
562998	5	empl.	2780	0	129	150	263	542	1050	258	1850	930	3080	0	147	189	221	557	1049	584	2190	890	3076	0	174	243	245	662	917	490	2069	1007	3688	0	307	358	445	1110	1045	810	2965	723	4988	0	459	505	563	1527	1157	1378	4062	926
562998	5	ann. pay.	103373	507	2542	6070	8450	17569	36142	12841	66552	36821	116607	1566	3207	4184	9961	18918	34290	26934	80142	36465	122837	878	4537	6646	8539	20600	33594	24701	78895	43942	153785	5196	8377	10459	14309	38341	42154	43218	123713	30072	188466	4815	11371	15255	20171	51612	41978	60304	153894	34572
562998	5	rec.																																									669727	19008	46559	45241	58873	169681	134579	239406	543666	126061
611110	5	firms	16416	760	2116	1790	2865	7531	7220	1533	16284	132	16646	625	2130	1819	2845	7419	7442	1645	16506	140	16823	645	2119	1788	2783	7335	7606	1741	16682	141	17256	707	2165	1794	2858	7524	7785	1803	17112	144	18547	868	2334	1943	3060	8205	8298	1883	18386	161
611110	5	estab.	18604	761	2117	1791	2881	7550	7610	2814	17974	630	18889	633	2130	1823	2872	7458	7778	2997	18233	656	19136	646	2119	1794	2801	7360	7940	3089	18389	747	19473	709	2165	1796	2887	7557	8024	3110	18691	782	20894	868	2334	1949	3068	8219	8637	3205	20061	833
611110	5	empl.	659427	0	5121	12263	40932	58316	314262	233178	605756	53671	694749	0	5034	12510	40454	57998	325658	252530	636186	58563	724354	0	5033	12401	39725	57159	334298	266395	657852	66502	747611	0	5070	12315	40815	58200	344523	280635	683358	64253	793638	0	5677	13277	43705	62659	364396	295675	722730	70908
611110	5	ann. pay.	12974811	59984	82795	164831	636442	944052	5731732	5189299	11865083	1109728	14279273	63292	96722	175935	647584	983533	6176771	5880706	13041010	1238263	15458594	63772	89564	181032	648957	983325	6583436	6466359	14033120	1425474	16952249	85374	105446	200364	701130	1092314	7192833	7175854	15461001	1491248	18892435	105714	113487	223493	803617	1246311	8013944	7909091	17169346	1723089
611110	5	rec.																																									41859655	280280	331487	514461	1784109	2910337	17268060	17797656	37976053	3883602
611210	5	firms	549	23	70	40	53	186	173	140	499	50	552	28	69	40	59	196	170	136	502	50	551	34	74	35	63	206	153	137	496	55	562	32	87	41	51	211	159	134	504	58	624	35	115	46	62	258	161	147	566	58
611210	5	estab.	818	23	70	40	53	186	198	230	614	204	816	28	69	40	59	196	192	225	613	203	809	34	74	35	63	206	172	216	594	215	848	32	90	41	51	214	179	202	595	253	931	35	115	46	62	258	174	232	664	267
611210	5	empl.	74788	0	156	280	732	1168	8411	30377	39956	34832	76511	0	145	252	822	1219	8490	30006	39715	36796	82760	0	155	235	870	1260	7679	30394	39333	43427	85964	0	185	290	715	1190	7960	29267	38417	47547	95015	0	230	319	861	1410	8068	32029	41507	53508
611210	5	ann. pay.	1854343	2360	3610	8248	19746	33964	190173	549682	773819	1080524	1995080	1936	3749	8137	21231	35053	201732	561873	798658	1196422	2195705	3209	4815	7465	22240	37729	194679	619426	851834	1343871	2378225	1794	5703	9293	20386	37176	204943	639026	881145	1497080	2657285	9158	7297	9224	27022	52701	211407	720859	984967	1672318
611210	5	rec.																																									3759090	6315	26716	29133	77769	139933	467486	1395150	2002569	1756521
611310	5	firms	2366	81	415	174	165	835	373	545	1753	613	2394	101	407	173	161	842	386	540	1768	626	2448	127	411	170	180	888	375	547	1810	638	2454	116	418	184	165	883	372	548	1803	651	2593	147	488	174	170	979	390	562	1931	662
611310	5	estab.	2946	81	415	174	175	845	389	592	1826	1120	3004	102	407	173	168	850	403	606	1859	1145	3105	127	411	170	184	892	396	599	1887	1218	3136	116	418	189	167	890	389	587	1866	1270	3377	147	488	176	170	981	411	598	1990	1387
611310	5	empl.	1260468	0	859	1133	2303	4295	19160	141803	165258	1095210	1301801	0	838	1140	2211	4189	19372	142705	166266	1135535	1332535	0	882	1133	2468	4483	18610	144619	167712	1164823	1357358	0	853	1221	2313	4387	18354	142406	165147	1192211	1403085	0	1049	1182	2291	4522	19162	144652	168336	1234749
611310	5	ann. pay.	30127844	16204	23528	26899	55317	121948	401633	2839864	3363445	26764399	32354264	19520	22393	27564	57452	126929	428201	2989597	3544727	28809537	34603977	25308	24005	30617	67004	146934	437995	3081118	3666047	30937930	37202837	12169	25903	32530	59812	130414	455759	3144340	3730513	33472324	40128148	11973	28836	31318	65194	137321	504961	3378238	4020520	36107628
611310	5	rec.																																									104059977	59843	150300	118280	196938	525361	1506890	9194734	11226985	92832992
611410	5	firms	478	50	152	65	59	326	122	23	471	7	458	50	143	60	55	308	121	22	451	7	442	40	133	72	58	303	110	21	434	8	418	31	137	70	44	282	109	18	409	9	385	31	142	51	42	266	91	20	377	8
611410	5	estab.	570	50	152	65	59	326	172	50	548	22	553	50	143	60	56	309	173	49	531	22	539	40	134	72	59	305	154	54	513	26	509	31	137	71	45	284	146	50	480	29	474	31	142	51	43	267	132	58	457	17
611410	5	empl.	10608	0	313	423	809	1545	4859	2730	9134	1474	10642	0	308	407	780	1495	4943	2740	9178	1464	11138	0	290	470	812	1572	4713	2699	8984	2154	10796	0	279	435	623	1337	4522	2533	8392	2404	8269	0	308	312	565	1185	3634	2750	7569	700
611410	5	ann. pay.	230650	2293	6664	9705	16919	35581	106509	54380	196470	34180	246036	3375	8752	10490	14549	37166	109853	52537	199556	46480	259016	2772	7750	11830	18555	40907	106962	54022	201891	57125	273898	598	9815	12581	16989	39983	108079	53916	201978	71920	202952	1066	8804	9117	14412	33399	90673	60400	184472	18480
611410	5	rec.																																									538904	4370	34478	27194	35088	101130	219287	166675	487092	51812
611420	5	firms	2589	428	1167	432	241	2268	236	47	2551	38	2632	463	1191	403	239	2296	247	52	2595	37	2750	517	1209	409	269	2404	257	54	2715	35	2793	485	1258	425	260	2428	287	52	2767	26	2626	492	1248	344	241	2325	230	52	2607	19
611420	5	estab.	2896	428	1167	438	252	2285	327	133	2745	151	2930	463	1191	408	243	2305	332	116	2753	177	3045	521	1213	413	276	2423	311	128	2862	183	3060	485	1260	429	264	2438	365	157	2960	100	2914	493	1248	348	265	2354	311	177	2842	72
611420	5	empl.	29603	0	2322	2817	3327	8466	9104	5714	23284	6319	31791	0	2390	2670	3271	8331	9339	6091	23761	8030	33684	0	2418	2718	3605	8741	9243	7336	25320	8364	32478	0	2440	2769	3500	8709	10648	8624	27981	4497	26749	0	2396	2285	3212	7893	8508	7274	23675	3074
611420	5	ann. pay.	1113783	20716	71445	82465	118377	293003	347192	212952	853147	260636	1207961	23576	81694	78904	107247	291421	366476	226935	884832	323129	1490566	40964	83092	76731	136130	336917	364582	321209	1022708	467858	1344630	33462	81733	79947	114674	309816	397563	379304	1086683	257947	1116838	17409	68852	69677	110478	266416	361290	328838	956544	160294
611420	5	rec.																																									2985150	59788	220729	197591	287880	765988	850273	691093	2307354	677796
611430	5	firms	3176	655	1727	399	202	2983	142	31	3156	20	3105	459	1761	431	239	2890	156	38	3084	21	3084	478	1697	417	255	2847	182	33	3062	22	3188	525	1743	426	265	2959	175	35	3169	19	3762	639	2241	445	212	3537	160	43	3740	22
611430	5	estab.	3299	655	1730	406	212	3003	187	59	3249	50	3218	459	1762	442	245	2908	185	76	3169	49	3203	478	1699	428	259	2864	223	64	3151	52	3294	526	1746	436	266	2974	192	82	3248	46	3897	639	2244	455	217	3555	198	100	3853	44
611430	5	empl.	18926	0	3232	2577	2680	8489	5003	2422	15914	3012	19630	0	3317	2843	3104	9264	4924	3167	17355	2275	20744	0	3284	2754	3287	9325	5738	2867	17930	2814	22228	0	3335	2795	3560	9690	6016	3877	19583	2645	23257	0	4255	2899	2794	9948	5204	4911	20063	3194
611430	5	ann. pay.	692042	23921	127530	95078	97433	343962	168089	107663	619714	72328	734692	19910	121614	98466	121148	361138	159789	138949	659876	74816	829678	29080	123263	100367	129249	381959	198007	146391	726357	103321	921471	27018	124781	103391	126127	381317	233910	199582	814809	106662	1055477	26830	152279	111385	130191	420685	211445	235989	868119	187358
611430	5	rec.																																									3125918	116796	576692	329750	371369	1394607	678012	588159	2660778	465140
611511	5	firms	1417	122	617	341	225	1305	92	17	1414	3	1435	148	620	343	212	1323	93	16	1432	3	1441	143	616	337	221	1317	102	18	1437	4	1432	123	601	373	221	1318	98	11	1427	5	1298	117	502	319	222	1160	122	11	1293	5
611511	5	estab.	1694	122	618	350	267	1357	222	110	1689	5	1696	148	622	356	256	1382	240	69	1691	5	1693	144	622	352	255	1373	223	90	1686	7	1674	123	602	393	257	1375	230	58	1663	11	1534	117	502	328	248	1195	269	58	1522	12
611511	5	empl.	9806	0	1430	2248	2831	6509	2323	         [f]	         [i]	         [b]	9682	0	1429	2280	2679	6388	2430	[f]	[i]	[b]	10145	0	1419	2205	2863	6487	2659	         [f]	         [j]	         [c]	9963	0	1321	2414	2859	6594	2539	         [f]	         [i]	         [c]	10379	0	1189	2141	2832	6162	3366	         [f]	         [j]	         [e]
611511	5	ann. pay.	161253	2103	19483	34997	43647	100230	40571	         (D)	         (D)	         (D)	171118	3750	21271	37296	44901	107218	45469	(D)	(D)	(D)	190914	3247	21915	37785	51965	114912	53265	         (D)	         (D)	         (D)	199851	2812	20583	42044	57208	122647	54921	         (D)	         (D)	         (D)	223399	3261	20801	40035	62064	126161	73710	         (D)	         (D)	         (D)
611511	5	rec.																																									709925	12504	78322	118776	166325	375927	260857	         (D)	         (D)	         (D)
611512	5	firms	825	149	334	129	112	724	77	14	815	10	851	130	359	138	116	743	85	11	839	12	854	131	358	116	119	724	105	13	842	12	911	147	368	143	121	779	106	14	899	12	850	133	340	123	121	717	101	19	837	13
611512	5	estab.	921	151	334	134	115	734	89	18	841	80	959	132	359	140	117	748	100	15	863	96	1021	133	359	116	122	730	119	18	867	154	1081	147	371	143	124	785	119	18	922	159	1024	134	343	123	127	727	114	36	877	147
611512	5	empl.	10839	0	642	837	1525	3004	2563	1371	6938	3901	12148	0	709	917	1565	3191	2910	1016	7117	5031	13602	0	725	769	1612	3106	3535	1293	7934	5668	14694	0	741	967	1655	3363	3781	1791	8935	5759	14802	0	682	817	1690	3189	3337	2424	8950	5852
611512	5	ann. pay.	311179	3411	14397	14441	22040	54289	52669	71303	178261	132918	352436	3676	14551	16563	28565	63355	68337	24672	156364	196072	399587	3635	15631	14881	31840	65987	73535	38414	177936	221651	468792	8292	16827	17926	32388	75433	82792	51823	210048	258744	480049	3742	14901	15208	37616	71467	68445	71969	211881	268168
611512	5	rec.																																									1631909	24960	86520	68701	135062	315243	251305	225929	792477	839432
611513	5	firms	1026	80	468	216	155	919	83	20	1022	4	1025	68	468	218	148	902	100	19	1021	4	1075	81	455	233	165	934	115	23	1072	3	1115	78	475	227	185	965	125	22	1112	3	1109	72	458	238	191	959	123	25	1107	2
611513	5	estab.	1163	80	470	223	173	946	116	90	1152	11	1160	68	469	224	160	921	134	94	1149	11	1213	82	456	239	178	955	148	100	1203	10	1255	78	475	231	202	986	156	103	1245	10	1256	72	458	238	207	975	224	48	1247	9
611513	5	empl.	9119	0	1019	1395	2071	4485	2703	         [g]	         [i]	         [f]	9323	0	999	1464	2020	4483	3176	[g]	[i]	[f]	10865	0	977	1581	2215	4773	3809	         [g]	         [j]	         [e]	11480	0	1021	1506	2442	4969	4280	         [g]	         [j]	         [e]	12207	0	1016	1592	2505	5113	4250	         [h]	         [j]	         [c]
611513	5	ann. pay.	187037	1939	24294	22217	32818	81268	53838	         (D)	         (D)	         (D)	215150	2786	26122	26733	35136	90777	64474	(D)	(D)	(D)	232263	3210	24327	31318	44180	103035	74058	         (D)	         (D)	         (D)	270545	4801	28504	30962	49504	113771	92557	         (D)	         (D)	         (D)	280895	4310	29509	34217	58405	126441	97128	         (D)	         (D)	         (D)
611513	5	rec.																																									842453	22444	126301	104096	160288	413129	290238	         (D)	         (D)	         (D)
611519	5	firms	2695	348	1122	435	332	2237	345	75	2657	38	2698	368	1102	439	328	2237	333	89	2659	39	2711	350	1074	450	345	2219	356	94	2669	42	2808	360	1134	468	345	2307	362	92	2761	47	2818	397	1115	477	370	2359	330	86	2775	43
611519	5	estab.	3078	348	1124	436	346	2254	475	204	2933	145	3086	368	1106	443	334	2251	453	242	2946	140	3105	354	1075	453	351	2233	462	237	2932	173	3224	360	1135	471	358	2324	456	246	3026	198	3262	397	1116	484	394	2391	449	238	3078	184
611519	5	empl.	39313	0	2339	2854	4440	9633	12458	8007	30098	9215	43444	0	2286	2908	4401	9595	12315	9437	31347	12097	46563	0	2221	2914	4606	9741	13296	10338	33375	13188	51214	0	2342	3051	4613	10006	13954	10414	34374	16840	46660	0	2343	3158	4975	10476	12329	9899	32704	13956
611519	5	ann. pay.	1008142	11974	52243	61094	108918	234229	303560	178463	716252	291890	1149836	15530	58791	69556	105684	249561	314684	231268	795513	354323	1270025	16690	56224	69427	116186	258527	342054	247783	848364	421661	1451427	12700	64560	79428	126556	283244	385142	243949	912335	539092	1350277	19394	64681	82815	128801	295691	342350	232480	870521	479756
611519	5	rec.																																									3978346	70608	274548	248229	389938	983323	1055144	669580	2708047	1270299
611610	5	firms	7285	846	3735	1623	752	6956	298	27	7281	4	7565	932	3802	1640	818	7192	337	32	7561	4	7930	1058	3891	1664	878	7491	394	40	7925	5	8355	1097	4035	1766	998	7896	408	44	8348	7	8707	1135	4085	1904	1092	8216	440	45	8701	6
611610	5	estab.	7448	848	3744	1643	792	7027	369	46	7442	6	7719	933	3810	1659	852	7254	411	49	7714	5	8079	1059	3902	1681	913	7555	447	71	8073	6	8508	1100	4042	1783	1034	7959	464	77	8500	8	8851	1135	4088	1909	1134	8266	497	81	8844	7
611610	5	empl.	42432	0	7796	10633	9679	28108	10663	3442	42213	219	45249	0	7962	10669	10550	29181	11680	4219	45080	169	49862	0	8198	10979	11351	30528	13909	5129	49566	296	53319	0	8544	11663	12917	33124	14588	5303	53015	304	57370	0	8791	12535	14263	35589	15488	5971	57048	322
611610	5	ann. pay.	455384	14672	82818	94333	95745	287568	126146	36618	450332	5052	530363	25671	91165	101238	113910	331984	145529	47868	525381	4982	648652	28405	104783	113364	134021	380573	202024	58640	641237	7415	710901	26555	117293	131062	153488	428398	209643	64330	702371	8530	746074	24103	116600	129075	158358	428136	217706	84173	730015	16059
611610	5	rec.																																									2299777	106294	551456	454343	441583	1553676	507704	198869	2260249	39528
611620	5	firms	6374	1480	2852	1020	602	5954	376	30	6360	14	6766	1632	2980	1045	646	6303	411	37	6751	15	7116	1618	3099	1140	731	6588	474	38	7100	16	7709	1727	3417	1183	810	7137	513	45	7695	14	8707	2054	3809	1362	844	8069	573	52	8694	13
611620	5	estab.	6527	1480	2859	1026	613	5978	450	77	6505	22	6961	1636	2987	1048	659	6330	489	114	6933	28	7312	1618	3106	1149	743	6616	544	124	7284	28	7911	1727	3421	1195	829	7172	572	142	7886	25	8940	2054	3812	1366	862	8094	674	149	8917	23
611620	5	empl.	33576	0	5661	6652	8085	20398	11129	1048	32575	1001	37892	0	5973	6814	8708	21495	12405	2595	36495	1397	41308	0	6166	7543	9862	23571	14280	2926	40777	531	45848	0	6728	7761	10915	25404	16372	3548	45324	524	50488	0	7662	8952	11312	27926	18077	3570	49573	915
611620	5	ann. pay.	453160	34016	90463	83129	81633	289241	130104	12266	431611	21549	539193	44073	98775	88696	101641	333185	151188	29186	513559	25634	694665	50596	110280	105730	124638	391244	193122	94600	678966	15699	710954	45245	127831	116530	137690	427296	218656	49132	695084	15870	747488	49032	140507	128046	133630	451215	216607	58474	726296	21192
611620	5	rec.																																									2451169	215019	628886	445430	376699	1666034	554072	190412	2410518	40651
611630	5	firms	754	106	278	122	118	624	109	15	748	6	792	122	281	138	111	652	120	15	787	5	816	113	307	128	123	671	122	18	811	5	832	106	321	130	124	681	125	22	828	4	882	125	306	145	152	728	135	15	878	4
611630	5	estab.	902	106	279	122	121	628	135	40	803	99	941	122	281	139	117	659	145	39	843	98	961	113	307	129	131	680	141	43	864	97	981	106	321	131	132	690	143	54	887	94	1032	125	308	147	157	737	166	39	942	90
611630	5	empl.	11525	0	590	834	1647	3071	3878	1769	8718	2807	11718	0	581	920	1523	3024	4206	1733	8963	2755	12351	0	675	838	1710	3223	4194	2170	9587	2764	12601	0	685	861	1714	3260	4387	2643	10290	2311	12195	0	626	952	2055	3633	4749	1655	10037	2158
611630	5	ann. pay.	163767	1949	8669	10107	17880	38605	55487	31056	125148	38619	173672	3096	9472	11062	18645	42275	64861	29956	137092	36580	192133	3487	11114	11603	22183	48387	64591	40485	153463	38670	216219	3822	13764	11687	25917	55190	66202	49425	170817	45402	200063	3777	10843	12784	29687	57091	57714	44436	159241	40822
611630	5	rec.																																									499750	11693	36729	37222	75576	161220	130388	79568	371176	128574
611691	5	firms	2367	351	961	406	347	2065	263	25	2353	14	2454	347	1004	396	345	2092	320	28	2440	14	2523	359	1010	405	330	2104	374	29	2507	16	2822	435	1120	448	387	2390	374	42	2806	16	3406	476	1358	585	484	2903	453	35	3391	15
611691	5	estab.	2895	351	962	407	354	2074	373	151	2598	297	3324	347	1004	397	353	2101	411	116	2628	696	3426	361	1010	405	338	2114	455	119	2688	738	3807	435	1120	448	395	2398	449	165	3012	795	4429	476	1358	585	492	2911	608	148	3667	762
611691	5	empl.	26618	0	1910	2716	4743	9369	8640	2579	20588	6030	34221	0	2014	2601	4675	9290	10745	2780	22815	11406	39879	0	2035	2750	4630	9415	12834	3132	25381	14498	45164	0	2285	2979	5274	10538	12682	         [h]	         [k]	         [j]	45159	0	2893	3873	6682	13448	15691	         [h]	         [k]	         [j]
611691	5	ann. pay.	407357	11815	28360	29459	48596	118230	96826	30395	245451	161906	520890	16133	33703	34104	52570	136510	128470	33399	298379	222511	644014	12718	40047	35843	55689	144297	182460	47671	374428	269586	715031	12666	42174	40936	73749	169525	155900	         (D)	         (D)	         (D)	743117	15295	48955	48204	79990	192444	193782	         (D)	         (D)	         (D)
611691	5	rec.																																									1817131	55277	169035	141952	198246	564510	453767	         (D)	         (D)	         (D)
611692	5	firms	1722	243	888	329	167	1627	81	11	1719	3	1807	273	893	347	187	1700	90	13	1803	4	1920	290	925	387	204	1806	98	12	1916	4	2010	297	983	393	209	1882	112	14	2008	2	2018	282	996	417	215	1910	95	11	2016	2
611692	5	estab.	1837	244	888	332	173	1637	166	30	1833	4	1920	277	893	351	195	1716	167	32	1915	5	2026	292	926	390	210	1818	176	28	2022	4	2103	300	987	396	214	1897	170	34	2101	2	2082	282	996	417	236	1931	122	27	2080	2
611692	5	empl.	10182	0	1846	2163	2140	6149	2604	1035	9788	394	11333	0	1872	2305	2439	6616	3093	1216	10925	408	12598	0	1908	2585	2719	7212	3536	1217	11965	633	13204	0	2062	2607	2740	7409	3873	         [g]	         [j]	         [e]	12121	0	2142	2783	2859	7784	3124	         [f]	         [j]	         [e]
611692	5	ann. pay.	148366	5798	24650	26542	26445	83435	36593	20919	140947	7419	183981	9818	26173	29033	30956	95980	54631	25233	175844	8137	209650	10389	29544	34839	37631	112403	58538	28476	199417	10233	229676	8108	33802	37244	40323	119477	63875	         (D)	         (D)	         (D)	196456	5133	31074	42014	43048	121269	47121	         (D)	         (D)	         (D)
611692	5	rec.																																									524689	20683	113565	114567	106101	354916	111513	         (D)	         (D)	         (D)
611699	5	firms	4754	711	2251	750	472	4184	450	83	4717	37	4784	598	2309	751	517	4175	483	88	4746	38	4805	578	2268	784	520	4150	525	92	4767	38	5005	651	2294	841	561	4347	530	89	4966	39	3314	657	1265	430	391	2743	446	87	3276	38
611699	5	estab.	5130	713	2251	754	501	4219	553	216	4988	142	5137	599	2312	756	538	4205	589	218	5012	125	5157	578	2273	789	539	4179	631	225	5035	122	5346	651	2299	850	578	4378	614	242	5234	112	3654	657	1267	431	403	2758	563	230	3551	103
611699	5	empl.	42741	0	4531	4902	6299	15732	15542	8478	39752	2989	46947	0	4595	4941	6935	16471	16709	10139	43319	3628	50173	0	4590	5158	7038	16786	18928	10730	46444	3729	51866	0	4581	5531	7556	17668	19551	11038	48257	3609	39260	0	2591	2816	5269	10676	16116	8717	35509	3751
611699	5	ann. pay.	956772	22953	101637	103627	129045	357262	312408	210757	880427	76345	1069563	24051	107403	110691	150529	392674	341988	245833	980495	89068	1223453	29950	116854	121256	165961	434021	418701	271273	1123995	99458	1321057	27701	119690	135196	180085	462672	448591	307118	1218381	102676	1071746	22519	69512	80387	156741	329159	408146	224863	962168	109578
611699	5	rec.																																									3131384	96495	266647	239117	488058	1090317	1120131	599304	2809752	321632
611710	5	firms	3937	836	2071	450	284	3641	212	56	3909	28	3906	687	2132	492	273	3584	238	52	3874	32	3897	641	2102	493	296	3532	267	66	3865	32	4272	743	2274	541	306	3864	302	70	4236	36	4541	988	2306	536	312	4142	286	74	4502	39
611710	5	estab.	4174	836	2073	453	299	3661	271	138	4070	104	4179	732	2134	495	285	3646	294	153	4093	86	4184	641	2104	501	302	3548	369	189	4106	78	4668	743	2275	551	313	3882	354	326	4562	106	5150	988	2308	542	329	4167	376	180	4723	427
611710	5	empl.	33846	0	3851	2945	3758	10554	7851	6147	24552	9294	34637	0	3891	3232	3720	10843	8716	6814	26373	8264	39763	0	3907	3226	3963	11096	10015	9372	30483	9280	46642	0	4217	3556	4093	11866	11204	9509	32579	14063	51021	0	4343	3520	4219	12082	10636	8791	31509	19512
611710	5	ann. pay.	1041475	29653	120626	83840	115144	349263	215874	217727	782864	258611	1147527	36685	124128	96195	117498	374506	245949	242698	863153	284374	1380455	27474	130972	105777	137044	401267	296814	335773	1033854	346601	1729778	25572	142939	120039	137804	426354	350808	336836	1113998	615780	1869153	37930	139791	118296	143163	439180	335451	314008	1088639	780514
611710	5	rec.																																									6063612	161817	549077	402589	419210	1532693	1041311	1043263	3617267	2446345
621111	5	firms	163366	13665	76469	39644	19924	149702	11826	1172	162700	666	161958	13370	74743	39250	20113	147476	12538	1247	161261	697	163895	14675	73458	39474	20980	148587	13265	1326	163178	717	166918	14797	74043	40198	21667	150705	14076	1395	166176	742	169017	15886	72802	41134	22302	152124	14541	1601	168266	751
621111	5	estab.	184997	13741	76724	40430	21574	152469	17358	5174	175001	9996	183698	13503	74993	39996	21576	150068	17873	5305	173246	10452	185067	14835	73718	40145	22378	151076	18298	5588	174962	10105	187260	14871	74315	40829	22981	152996	18820	5687	177503	9757	192653	15902	72956	41766	23889	154513	21327	7146	182986	9667
621111	5	empl.	1582567	0	174939	257652	264510	697101	405065	166554	1268720	313847	1654491	0	170543	255655	267277	693475	435215	180118	1308808	345683	1723954	0	167719	257604	279396	704719	467814	196172	1368705	355249	1806648	0	168208	262488	288559	719255	497390	208881	1425526	381122	1860432	0	168155	268986	296788	733929	515736	231342	1481007	379425
621111	5	ann. pay.	88788617	1559217	10935433	13008680	15303274	40806604	24774422	9156650	74737676	14050941	93396115	1440802	10806070	13083486	15616904	40947262	26792970	10012601	77752833	15643282	99459756	1440596	10850386	13284359	16570038	42145379	29418261	11058079	82621719	16838037	107622592	1430458	11286765	13812462	17392484	43922169	32311974	12521531	88755674	18866918	113075968	1643751	11067715	14206896	17920139	44838501	33723702	14375723	92937926	20138042
621111	5	rec.																																									248561502	4688484	29907044	32588713	36241127	103425368	65938217	31380485	200744070	47817432
621112	5	firms	9828	1078	6909	1093	437	9517	177	58	9752	76	9897	1259	6760	1111	446	9576	192	56	9824	73	10229	1386	6773	1223	488	9870	232	58	10160	69	10314	1262	6812	1363	514	9951	246	54	10251	63	10674	1380	7073	1294	539	10286	255	62	10603	71
621112	5	estab.	10170	1080	6927	1112	479	9598	239	113	9950	220	10269	1262	6777	1130	472	9641	251	121	10013	256	10588	1388	6787	1246	508	9929	278	139	10346	242	10632	1262	6829	1375	537	10003	289	95	10387	245	11016	1380	7080	1298	575	10333	332	116	10781	235
621112	5	empl.	36796	0	12271	6931	5696	24898	5059	2545	32502	4294	38080	0	12368	7138	5843	25349	5767	2673	33789	4291	39839	0	12552	7853	6292	26697	7640	3307	37644	2195	41552	0	12742	8778	6735	28255	7710	3045	39010	2542	43893	0	13080	8364	7026	28470	8376	3978	40824	3069
621112	5	ann. pay.	1614713	67588	601406	259461	211214	1139669	196795	104060	1440524	174189	1662440	78147	615800	278875	231057	1203879	212697	109953	1526529	135911	1792711	79900	639655	307264	256026	1282845	281853	124006	1688704	104007	1919500	74435	674825	347133	286664	1383057	303069	111262	1797388	122112	2005033	76505	665907	350150	290404	1382966	327851	150723	1861540	143493
621112	5	rec.																																									4658734	213411	1727401	787070	636063	3363945	681765	299752	4345462	313272
621210	5	firms	111325	5335	46860	42100	14614	108909	2301	84	111294	31	111497	5413	45605	42600	15284	108902	2477	81	111460	37	112373	5869	44166	43027	16447	109509	2728	101	112338	35	112802	5784	43072	43523	17296	109675	2981	106	112762	40	113128	5983	41978	43592	18159	109712	3268	111	113091	37
621210	5	estab.	115060	5351	46966	42534	15588	110439	3322	610	114371	689	115268	5481	45721	43011	16229	110442	3479	507	114428	840	116494	5879	44273	43433	17325	110910	3734	648	115292	1202	117038	5804	43195	43907	18139	111045	3960	610	115615	1423	117812	5986	42037	43898	19148	111069	4733	838	116640	1172
621210	5	empl.	665498	0	120796	277184	183477	581457	66287	9727	657471	8027	683331	0	117731	281161	192735	591627	71172	8809	671608	11723	710858	0	114117	284325	207581	606023	78052	11635	695710	15148	733862	0	111266	288605	218898	618769	84344	12009	715122	18740	750129	0	109279	290007	230322	629608	93578	12674	735860	14269
621210	5	ann. pay.	19885297	286091	3029447	7813260	5897501	17026299	2313456	318388	19658143	227154	21471821	300124	3150122	8260852	6466857	18177955	2602158	332979	21113092	358729	23235125	320592	3192141	8698170	7184276	19395179	2980788	411252	22787219	447906	25196085	351977	3308382	9219008	7854470	20733837	3346446	493318	24573601	622484	26806179	384111	3350318	9602422	8552426	21889277	3814064	612796	26316137	490042
621210	5	rec.																																									71223564	1336829	12805173	26373130	19517851	60032983	7955975	1606511	69595469	1628095
621310	5	firms	30505	2906	21610	4922	920	30358	140	5	30503	2	30750	2832	21756	5033	958	30579	161	7	30747	3	31807	3401	21922	5243	1052	31618	172	13	31803	4	32682	3378	22385	5564	1137	32464	202	11	32677	5	33738	3569	22892	5778	1286	33525	193	11	33729	9
621310	5	estab.	30884	2911	21634	4981	1030	30556	288	38	30882	2	31131	2837	21784	5098	1069	30788	291	46	31125	6	32191	3406	21945	5299	1145	31795	302	86	32183	8	33078	3382	22419	5616	1234	32651	308	110	33069	9	34173	3572	22901	5830	1419	33722	383	57	34162	11
621310	5	empl.	92993	0	46087	30367	11523	87977	4213	         [f]	         [l]	         [c]	95208	0	46515	31098	11994	89607	4813	[f]	[l]	[b]	99621	0	46993	32605	13138	92736	5181	1588	99505	116	111637	0	48400	34736	14172	97308	5903	1783	104994	6643	110134	0	50733	36106	16093	102932	5596	1056	109584	550
621310	5	ann. pay.	2003852	59498	842525	677228	295100	1874351	113138	         (D)	         (D)	         (D)	2102138	62679	882800	710372	301509	1957360	124144	(D)	(D)	(D)	2309659	70930	937793	762655	343195	2114573	148558	40372	2303503	6156	2606520	73177	1011363	845843	382399	2312782	160989	60877	2534648	71872	2724415	79029	1067753	903172	430839	2480793	155369	32850	2669012	55403
621310	5	rec.																																									9318941	363158	4572863	2496896	1046617	8479534	386040	71955	8937529	381412
621320	5	firms	16163	964	9141	4203	1440	15748	366	25	16139	24	16246	1029	8943	4313	1511	15796	401	25	16222	24	16499	1180	8735	4446	1655	16016	436	27	16479	20	16582	1086	8683	4629	1675	16073	458	32	16563	19	17127	1164	8958	4655	1804	16581	490	36	17107	20
621320	5	estab.	17606	968	9191	4358	1821	16338	815	177	17330	276	17673	1051	8989	4472	1878	16390	837	176	17403	270	17948	1195	8788	4597	2032	16612	857	217	17686	262	17969	1093	8747	4794	2009	16643	874	239	17756	213	18759	1165	8992	4817	2205	17179	1082	323	18584	175
621320	5	empl.	82368	0	21599	27027	18212	66838	10578	2117	79533	2835	84604	0	21052	27561	19238	67851	11633	2074	81558	3046	88347	0	20674	28589	21232	70495	12906	2399	85800	2547	90971	0	20689	29910	21665	72264	14009	2942	89215	1756	95026	0	21555	30261	23167	74983	15241	3297	93521	1505
621320	5	ann. pay.	1917446	32864	426035	566949	458508	1484356	302616	63997	1850969	66477	2068350	39853	437216	609820	504278	1591167	345961	68733	2005861	62489	2261672	41272	448507	649388	560160	1699327	409611	91435	2200373	61299	2399511	38078	466382	702742	596287	1803489	452706	101741	2357936	41575	2578152	41664	485566	727709	654548	1909487	502479	118356	2530322	47830
621320	5	rec.																																									8464738	165886	2246648	2492433	1815366	6720333	1291143	329315	8340791	123947
621330	5	firms	11318	1345	8357	898	375	10975	221	80	11276	42	10916	1238	8059	908	389	10594	212	74	10880	36	10832	1320	7894	930	340	10484	237	76	10797	35	10933	1343	7944	929	374	10590	235	71	10896	37	12475	1806	8932	948	381	12067	254	95	12416	59
621330	5	estab.	11738	1347	8369	912	397	11025	329	186	11540	198	11330	1242	8075	918	416	10651	288	237	11176	154	11231	1320	7916	946	359	10541	310	254	11105	126	11303	1343	7965	943	393	10644	307	209	11160	143	12971	1807	8945	961	411	12124	417	244	12785	186
621330	5	empl.	41004	0	13779	5741	4824	24344	7096	         [i]	         [k]	         [h]	39620	0	13318	5760	5083	24161	7082	[h]	[k]	[h]	40957	0	13186	5983	4430	23599	7776	4701	36076	4881	43648	0	13136	5972	4827	23935	8479	5041	37455	6193	48063	0	14884	5993	5096	25973	9443	7000	42416	5647
621330	5	ann. pay.	1059341	33391	345258	135829	120619	635097	168809	         (D)	         (D)	         (D)	1014326	32473	348611	145856	125042	651982	177033	(D)	(D)	(D)	1082976	28712	364045	156320	118456	667533	205060	103198	975791	107185	1194382	32407	375311	161161	134343	703222	237484	116677	1057383	136999	1349154	44295	407279	165106	143185	759865	265176	169148	1194189	154965
621330	5	rec.																																									3420780	150852	1309625	412134	287752	2160363	504350	314978	2979691	441089
621340	5	firms	11862	1453	5313	2364	1529	10659	960	121	11740	122	11854	1516	5351	2318	1520	10705	904	118	11727	127	12299	1650	5465	2396	1578	11089	960	118	12167	132	13173	1864	5912	2459	1675	11910	1006	121	13037	136	14725	2218	6524	2726	1858	13326	1093	166	14585	140
621340	5	estab.	14455	1458	5329	2421	1721	10929	1580	489	12998	1457	14597	1531	5372	2383	1693	10979	1441	575	12995	1602	15048	1651	5483	2461	1753	11348	1491	663	13502	1546	16117	1868	5939	2521	1837	12165	1513	644	14322	1795	18690	2232	6540	2784	2100	13656	2046	801	16503	2187
621340	5	empl.	144201	0	10921	15567	20023	46511	33319	17506	97336	46865	135006	0	10862	15362	20274	46498	31477	14890	92865	42141	120512	0	11225	15912	20976	48113	33452	14473	96038	24474	131011	0	12009	16306	22331	50646	35756	14810	101212	29799	145356	0	13188	18201	24843	56232	38413	19775	114420	30936
621340	5	ann. pay.	4412727	55718	289680	416022	569997	1331417	948520	491752	2771689	1641038	4038525	57292	294481	421700	567165	1340638	879873	396964	2617475	1421050	3514483	59248	308137	457402	611911	1436698	963511	385224	2785433	729050	4048800	65000	357473	492696	672635	1587804	1078393	427007	3093204	955596	4575363	82860	382240	554598	771031	1790729	1197317	577756	3565802	1009561
621340	5	rec.																																									10128116	257128	1288740	1357495	1617775	4521138	2328548	1041274	7890960	2237156
621391	5	firms	8135	479	5455	1716	399	8049	75	5	8129	6	7980	420	5348	1671	449	7888	78	6	7972	8	7902	452	5147	1739	467	7805	88	2	7895	7	7883	452	5096	1738	496	7782	88	6	7876	7	7912	481	4970	1793	532	7776	121	6	7903	9
621391	5	estab.	8566	482	5498	1818	560	8358	185	5	8548	18	8418	423	5390	1766	606	8185	195	17	8397	21	8329	457	5192	1827	613	8089	228	2	8319	10	8283	455	5140	1814	643	8052	214	6	8272	11	8433	481	4994	1862	700	8037	362	20	8419	14
621391	5	empl.	30357	0	12455	10751	4984	28190	2030	77	30297	60	31055	0	12224	10512	5633	28369	[g]	[e]	30985	70	31201	0	11828	10964	5864	28656	         [g]	         [a]	31156	45	31944	0	11769	10981	6248	28998	2686	163	31847	97	33316	0	11671	11340	6604	29615	3491	79	33185	131
621391	5	ann. pay.	810115	15165	264937	291572	167421	739095	67047	2083	808225	1890	842508	12149	273266	290863	177674	753952	(D)	(D)	840385	2123	889724	12929	272619	310772	200479	796799	         (D)	         (D)	887715	2009	966025	13165	288147	330543	220588	852443	105220	3719	961382	4643	1051514	14619	284184	352700	244721	896224	145912	3300	1045436	6078
621391	5	rec.																																									3054999	62088	1193355	929524	537373	2722340	312090	6672	3041102	13897
621399	5	firms	6423	1172	3848	743	347	6110	202	57	6369	54	6663	1220	3996	766	364	6346	206	60	6612	51	7408	1475	4311	869	410	7065	237	53	7355	53	7527	1397	4469	860	442	7168	252	59	7479	48	10700	2095	6266	1264	580	10205	357	76	10638	62
621399	5	estab.	6688	1173	3848	750	361	6132	246	93	6471	217	6935	1220	3999	771	379	6369	252	92	6713	222	7694	1475	4314	873	423	7085	291	83	7459	235	7805	1399	4472	863	457	7191	296	94	7581	224	11145	2095	6267	1269	611	10242	401	131	10774	371
621399	5	empl.	30183	0	6796	4795	4458	16049	6641	4105	26795	3388	31474	0	7144	4947	4667	16758	[i]	[h]	28245	3229	36601	0	7852	5581	5234	18667	         [i]	         [h]	31733	4868	39268	0	8137	5558	5739	19434	8891	5617	33942	5326	53692	0	11438	8180	7534	27152	12243	7141	46536	7156
621399	5	ann. pay.	866369	40998	196266	151212	129462	517938	171478	75349	764765	101604	915368	43277	209082	150113	141908	544380	(D)	(D)	821229	94139	1114617	52557	239951	177419	167143	637070	         (D)	         (D)	969989	144628	1219380	42812	250339	182457	188880	664488	254423	143946	1062857	156523	1746788	70285	365396	276944	248154	960779	385981	183414	1530174	216614
621399	5	rec.																																									4555969	270544	1207117	769726	612407	2859794	798874	477670	4136338	419631
621410	5	firms	1020	60	403	138	123	724	187	78	989	31	982	47	372	145	129	693	186	72	951	31	992	57	378	156	108	699	192	67	958	34	1013	52	396	157	120	725	184	74	983	30	1090	70	448	170	118	806	174	76	1056	34
621410	5	estab.	1845	60	403	139	155	757	481	505	1743	102	1820	48	372	163	153	736	473	508	1717	103	1801	58	379	159	128	724	481	498	1703	98	1808	52	399	162	131	744	461	513	1718	90	1905	70	448	170	138	826	473	513	1812	93
621410	5	empl.	18966	0	825	933	1664	3422	6685	6363	16470	2496	19148	0	790	925	1675	3390	6904	5898	16192	2956	19972	0	838	1021	1474	3333	7092	6022	16447	3525	20265	0	867	1048	1594	3509	6945	6585	17039	3226	18621	0	970	1112	1589	3671	6503	6387	16561	2060
621410	5	ann. pay.	440604	5813	14985	16775	34759	72332	150327	146956	369615	70989	465553	2968	14277	19165	34665	71075	165494	148298	384867	80686	510385	4379	15496	20476	31591	71942	179248	157563	408753	101632	523645	1859	17475	21754	32958	74046	186680	177679	438405	85240	502344	2405	18528	25199	40363	86495	163363	187027	436885	65459
621410	5	rec.																																									1330813	7641	69580	77827	101528	256576	388950	474698	1120224	210589
621420	5	firms	3709	311	1175	451	381	2318	664	544	3526	183	3608	209	1167	444	373	2193	644	583	3420	188	3486	216	1046	398	397	2057	647	590	3294	192	3482	215	1027	398	386	2026	657	606	3289	193	3919	326	1253	437	382	2398	686	622	3706	213
621420	5	estab.	6414	311	1175	460	410	2356	1117	1994	5467	947	6425	209	1181	447	408	2245	1063	2094	5402	1023	6371	216	1052	407	446	2121	1054	2115	5290	1081	6518	243	1035	399	435	2112	1074	2247	5433	1085	7216	328	1256	443	436	2463	1251	2332	6046	1170
621420	5	empl.	132460	0	2277	3045	5184	10506	25981	63198	99685	32775	140497	0	2237	2962	5081	10280	25540	68098	103918	36579	141937	0	2098	2652	5323	10073	26566	69697	106336	35601	149570	0	2095	2689	5220	10004	27011	74552	111567	38003	152596	0	2462	2911	5222	10595	27567	74867	113029	39567
621420	5	ann. pay.	3346652	26037	52983	69560	125203	273783	625437	1497854	2397074	949578	3594665	11498	58284	80390	127616	277788	629818	1662721	2570327	1024338	3747931	14520	54357	66005	136483	271365	671880	1796512	2739757	1008174	4053204	16365	56695	74425	140810	288295	718702	1964777	2971774	1081430	4232381	13641	63278	77407	138679	293005	745733	2020730	3059468	1172913
621420	5	rec.																																									10560971	34832	200614	197746	299841	733033	1538646	4054478	6326157	4234814
621491	5	firms	160	30	27	10	8	75	18	26	119	41	151	25	27	7	11	70	14	21	105	46	168	20	38	9	12	79	19	24	122	46	206	25	53	18	15	111	21	29	161	45	244	42	58	25	17	142	25	25	192	52
621491	5	estab.	818	35	27	10	8	80	31	59	170	648	720	25	27	7	16	75	20	55	150	570	744	20	38	9	12	79	38	51	168	576	751	25	53	18	15	111	40	65	216	535	762	42	58	25	17	142	36	76	254	508
621491	5	empl.	54305	0	53	71	93	217	726	3498	4441	49864	47077	0	58	45	172	275	613	3716	4604	42473	45714	0	69	62	179	310	863	4534	5707	40007	47760	0	98	124	205	427	871	5184	6482	41278	48389	0	120	166	237	523	965	5319	6807	41582
621491	5	ann. pay.	2176215	10699	1105	2996	7385	22185	24621	119897	166703	2009512	1834855	10296	2002	971	16943	30212	23104	118528	171844	1663011	1810981	7045	1482	4374	9587	22488	33784	174197	230469	1580512	2003216	2395	5542	6069	9403	23409	37952	202956	264317	1738899	2018229	2466	13510	6866	11750	34592	35795	204448	274835	1743394
621491	5	rec.																																									10837635	8825	86414	19549	62281	177069	262833	1534423	1974325	8863310
621492	5	firms	448	32	50	47	87	216	165	26	407	41	421	40	50	52	70	212	146	30	388	33	448	38	58	56	78	230	152	27	409	39	479	58	60	49	82	249	161	27	437	42	484	42	56	48	90	236	173	35	444	40
621492	5	estab.	2321	32	50	47	87	216	234	131	581	1740	2786	48	50	52	70	220	202	155	577	2209	2915	46	58	58	80	242	202	135	579	2336	3074	58	62	49	86	255	200	126	581	2493	3074	42	56	48	93	239	235	158	632	2442
621492	5	empl.	45913	0	108	328	1199	1635	7022	3785	12442	33471	53237	0	113	376	985	1474	5998	4693	12165	41072	57800	0	126	394	1100	1620	6294	4002	11916	45884	63000	0	125	344	1147	1616	6250	4333	12199	50801	63757	0	112	335	1265	1712	6739	5122	13573	50184
621492	5	ann. pay.	1388572	8546	5084	12875	35688	62193	203572	120189	385954	1002618	1702033	6288	6991	11967	31848	57094	178682	163129	398905	1303128	1802192	8545	6769	11955	34947	62216	180960	148629	391805	1410387	2133620	8065	9616	11782	38463	67926	189835	158611	416372	1717248	2360502	5391	7197	12221	38831	63640	224640	186603	474883	1885619
621492	5	rec.																																									8743213	19725	25797	35549	153756	234827	740405	638561	1613793	7129420
621493	5	firms	1834	191	383	316	366	1256	353	60	1669	165	1791	183	394	301	351	1229	330	63	1622	169	1826	166	383	319	359	1227	357	67	1651	175	1948	178	414	311	386	1289	417	67	1773	175	2403	252	532	390	476	1650	495	80	2225	178
621493	5	estab.	2561	195	385	318	375	1273	423	146	1842	719	2509	186	395	302	362	1245	374	196	1815	694	2503	168	385	321	365	1239	423	158	1820	683	2566	178	420	312	394	1304	483	174	1961	605	3038	252	533	406	481	1672	579	188	2439	599
621493	5	empl.	47823	0	812	2155	4945	7912	12163	4461	24536	23287	46961	0	861	2060	4741	7662	11057	5528	24247	22714	47565	0	831	2181	4943	7955	12510	5285	25750	21815	49504	0	905	2158	5285	8348	14816	5884	29048	20456	56521	0	1136	2706	6577	10419	17540	6491	34450	22071
621493	5	ann. pay.	1760709	36844	52825	119399	244261	453329	421186	190925	1065440	695269	1807895	17715	55236	125330	243927	442208	447093	231939	1121240	686655	1884647	30187	50113	130901	266972	478173	536015	205567	1219755	664892	2083674	27185	55044	128635	292096	502960	680570	235685	1419215	664459	2387114	37506	71483	131275	341811	582075	777193	269338	1628606	758508
621493	5	rec.																																									7761851	236860	256882	446254	965037	1905033	2388483	752971	5046487	2715364
621498	5	firms	4332	307	1080	572	510	2469	896	518	3883	449	4339	301	1096	583	492	2472	879	528	3879	460	4338	320	1048	579	500	2447	889	550	3886	452	4329	316	1004	614	512	2446	861	570	3877	452	5111	416	1387	788	619	3210	862	584	4656	455
621498	5	estab.	8417	312	1083	581	561	2537	1365	1382	5284	3133	8459	306	1100	592	527	2525	1302	1420	5247	3212	7869	325	1054	591	525	2495	1299	1494	5288	2581	8195	321	1013	624	546	2504	1226	1618	5348	2847	9329	416	1421	798	668	3303	1396	1834	6533	2796
621498	5	empl.	241978	0	2349	3852	6746	12947	37231	55906	106084	135894	241409	0	2390	3928	6610	12928	37126	54465	104519	136890	241920	0	2273	3871	6724	12868	36501	60942	110311	131609	252131	0	2191	4099	6961	13251	36740	66809	116800	135331	253578	0	3089	5251	8293	16633	36051	71001	123685	129893
621498	5	ann. pay.	8689463	22819	78585	116360	195920	413684	1123917	1642135	3179736	5509727	8744976	28544	78955	119302	191867	418668	1138269	1645042	3201979	5542997	9032822	35299	78924	120941	200446	435610	1148532	1873650	3457792	5575030	9771266	52206	75067	135633	210923	473829	1211613	2193179	3878621	5892645	10303611	32723	122637	173796	256591	585747	1207195	2365199	4158141	6145470
621498	5	rec.																																									25219110	137498	448903	539820	691307	1817528	2928002	5222736	9968266	15250844
621511	5	firms	2791	260	975	538	372	2145	389	126	2660	131	2706	253	926	502	373	2054	394	127	2575	131	2674	258	884	515	374	2031	390	124	2545	129	2676	265	905	501	374	2045	395	106	2546	130	2596	239	895	464	354	1952	385	118	2455	141
621511	5	estab.	5271	263	975	548	392	2178	463	354	2995	2276	5171	253	926	507	387	2073	474	364	2911	2260	5127	259	886	517	386	2048	468	349	2865	2262	6139	265	906	508	392	2071	463	331	2865	3274	5173	241	896	470	378	1985	550	395	2930	2243
621511	5	empl.	111339	0	2152	3622	4975	10749	14738	16567	42054	69285	105229	0	2032	3313	4963	10308	14760	16924	41992	63237	99319	0	1901	3363	4995	10259	15124	17181	42564	56755	109714	0	1964	3320	4991	10275	15049	15582	40906	68808	114316	0	2025	3083	4725	9833	14889	16728	41450	72866
621511	5	ann. pay.	3554268	28186	92039	158318	209165	487708	544359	495829	1527896	2026372	3705049	28254	97064	147652	225544	498514	586632	495100	1580246	2124803	3964222	21150	93075	159910	249307	523442	619245	566227	1708914	2255308	4533636	22345	92874	164532	261173	540924	691486	539513	1771923	2761713	4760157	20251	110136	164166	271107	565660	739343	609394	1914397	2845760
621511	5	rec.																																									14859118	71279	309467	405874	698433	1485053	1812789	1744849	5042691	9816427
621512	5	firms	3261	330	1301	627	424	2682	383	80	3145	116	3239	398	1210	592	432	2632	399	88	3119	120	3417	442	1257	644	427	2770	433	89	3292	125	3579	435	1375	615	470	2895	455	106	3456	123	3900	503	1487	644	513	3147	490	131	3768	132
621512	5	estab.	4400	335	1308	639	459	2741	621	411	3773	627	4420	399	1217	598	466	2680	593	460	3733	687	4623	444	1260	667	447	2818	615	403	3836	787	4887	437	1379	628	508	2952	606	486	4044	843	5184	516	1499	654	565	3234	773	496	4503	681
621512	5	empl.	44989	0	2814	4124	5633	12571	13596	8120	34287	10702	47264	0	2544	3881	5774	12199	14396	8918	35513	11751	52740	0	2680	4248	5693	12621	15940	9214	37775	14965	59481	0	2921	4063	6260	13244	16696	12209	42149	17332	66998	0	3178	4250	6858	14286	18429	15196	47911	19087
621512	5	ann. pay.	2095359	40709	152840	218165	288140	699854	670712	383507	1754073	341286	2277781	27474	150850	213075	299151	690550	747522	408867	1846939	430842	2603817	46505	158069	223195	312375	740144	854427	467360	2061931	541886	2981738	40028	181489	221301	358557	801375	934593	627954	2363922	617816	3487379	52517	197701	250852	403830	904900	1032231	801129	2738260	749119
621512	5	rec.																																									10687214	197219	635120	810122	1275426	2917887	2967006	2216015	8100908	2586306
621610	5	firms	12310	1176	2472	1229	1582	6459	3861	1300	11620	690	11234	1215	2442	1176	1367	6200	3184	1170	10554	680	11022	1200	2494	1105	1217	6016	3153	1159	10328	694	11117	1247	2496	1135	1251	6129	3113	1188	10430	687	12791	1745	3166	1237	1368	7516	3274	1294	12084	707
621610	5	estab.	19439	1176	2474	1231	1593	6474	4296	2690	13460	5979	17451	1228	2448	1182	1409	6267	3575	2419	12261	5190	16092	1214	2500	1108	1246	6068	3466	2276	11810	4282	16284	1253	2498	1138	1285	6174	3403	2244	11821	4463	18298	1756	3166	1249	1376	7547	3722	2522	13791	4507
621610	5	empl.	901525	0	5129	8325	22393	35847	170632	215498	421977	479548	796814	0	5044	7906	19163	32113	142701	193600	368414	428400	786607	0	5109	7322	17273	29704	145267	194455	369426	417181	774381	0	5090	7524	17726	30340	144343	197408	372091	402290	804233	0	6406	8339	19284	34029	149958	215856	399843	404390
621610	5	ann. pay.	15245666	157698	119640	164224	416113	857675	2707579	3380185	6945439	8300227	14034345	131532	119647	165820	387786	804785	2359607	3153889	6318281	7716064	14245234	100716	122785	164763	355266	743530	2561810	3243588	6548928	7696306	14941576	94809	137398	172846	389724	794777	2729373	3481457	7005607	7935969	16211222	118287	151203	193041	425485	888016	3049788	3997712	7935516	8275706
621610	5	rec.																																									34312578	289651	484024	556902	1060856	2391433	6328669	7435563	16155665	18156913
621910	5	firms	2773	224	622	361	552	1759	832	121	2712	61	2773	259	594	377	525	1755	828	120	2703	70	2946	304	638	402	531	1875	867	134	2876	70	3015	296	640	388	580	1904	902	141	2947	68	2972	262	546	381	564	1753	976	169	2898	74
621910	5	estab.	3524	224	624	361	556	1765	1029	308	3102	422	3526	259	598	377	528	1762	1004	335	3101	425	3748	304	640	404	535	1883	1040	313	3236	512	3830	300	642	388	590	1920	1055	351	3326	504	3865	262	546	381	567	1756	1163	480	3399	466
621910	5	empl.	107312	0	1342	2490	7852	11684	33228	19040	63952	43360	103818	0	1283	2561	7450	11294	33450	19868	64612	39206	107951	0	1344	2730	7500	11574	34646	21573	67793	40158	101831	0	1414	2640	8253	12307	36269	22783	71359	30472	109064	0	1253	2639	7970	11862	38325	26967	77154	31910
621910	5	ann. pay.	2173076	10538	26059	36541	108816	181954	565057	443149	1190160	982916	2130582	14793	23695	38271	110523	187282	600443	462918	1250643	879939	2319228	25185	26319	44888	118595	214987	639588	516380	1370955	948273	2653785	21114	31060	45590	156389	254153	708460	592406	1555019	1098766	2883862	21557	30167	49470	135969	237163	761526	732683	1731372	1152490
621910	5	rec.																																									6800309	63059	111911	151141	326580	652691	1775617	1690305	4118613	2681696
621991	5	firms	581	56	148	52	69	325	118	95	538	43	550	40	146	48	62	296	120	92	508	42	522	24	137	58	47	266	131	89	486	36	504	33	125	60	47	265	123	80	468	36	436	27	85	50	47	209	115	74	398	38
621991	5	estab.	1347	56	149	52	78	335	192	403	930	417	1299	40	147	48	71	306	190	412	908	391	1273	24	138	61	49	272	204	380	856	417	1316	33	126	60	52	271	185	395	851	465	1270	36	85	50	50	221	175	407	803	467
621991	5	empl.	46637	0	320	321	970	1611	5194	20569	27374	19263	46655	0	304	329	896	1529	5385	20944	27858	18797	46870	0	305	375	667	1347	6032	20732	28111	18759	49738	0	264	397	661	1322	5627	16578	23527	26211	52195	0	188	330	635	1153	5534	15812	22499	29696
621991	5	ann. pay.	1383658	3485	9553	9968	31229	54235	160687	611041	825963	557695	1435568	1848	10001	10182	26466	48497	179148	650722	878367	557201	1475343	644	10291	12261	21217	44413	199445	659093	902951	572392	1685575	4546	9920	12514	23413	50393	191104	579950	821447	864128	1774549	5907	6461	12786	22006	47160	198458	566570	812188	962361
621991	5	rec.																																									6651376	22912	27297	168219	110196	328624	788812	2158350	3275786	3375590
621999	5	firms	1341	214	589	199	123	1125	100	48	1273	68	1284	145	598	205	122	1070	113	42	1225	59	1240	142	539	213	120	1014	128	44	1186	54	1322	139	614	228	113	1094	134	38	1266	56	2049	293	1100	266	153	1812	126	50	1988	61
621999	5	estab.	1875	214	590	200	130	1134	153	72	1359	516	1821	145	599	205	126	1075	173	64	1312	509	1758	142	540	215	122	1019	189	83	1291	467	2061	139	615	231	118	1103	186	71	1360	701	2981	293	1100	271	168	1832	214	105	2151	830
621999	5	empl.	23148	0	1221	1306	1580	4107	3533	3749	11389	11759	25155	0	1204	1344	1595	4143	4106	3512	11761	13394	25911	0	1153	1401	1588	4142	4993	4543	13678	12233	28715	0	1270	1484	1457	4211	5262	4109	13582	15133	36847	0	2215	1739	1982	5936	4738	5623	16297	20550
621999	5	ann. pay.	697256	9697	34486	34384	40398	118965	102918	111491	333374	363882	743249	4543	34801	40432	43049	122825	123134	124973	370932	372317	794588	5933	32340	40177	42810	121260	147330	144854	413444	381144	902517	5808	38790	44828	39093	128519	152344	151466	432329	470188	1302617	13879	66854	54332	58922	193987	156964	177296	528247	774370
621999	5	rec.																																									4539113	53206	259924	180033	194370	687533	452476	465548	1605557	2933556
622110	5	firms	3677	69	36	18	13	136	384	1439	1959	1718	3623	67	46	29	20	162	381	1393	1936	1687	3637	72	83	33	24	212	380	1389	1981	1656	3626	81	103	44	30	258	387	1338	1983	1643	3581	90	105	52	43	290	388	1289	1967	1614
622110	5	estab.	5648	74	36	18	13	141	392	1453	1986	3662	5621	69	46	29	20	164	389	1415	1968	3653	5756	72	85	33	24	214	391	1412	2017	3739	5765	81	105	44	30	260	388	1372	2020	3745	5971	90	105	57	51	303	399	1367	2069	3902
622110	5	empl.	4610069	0	67	107	182	356	26621	344985	371962	4238107	4599643	0	95	167	277	539	26138	337811	364488	4235155	4623686	0	166	218	332	716	25765	337403	363884	4259802	4680588	0	209	307	428	944	26027	321583	348554	4332034	4713450	0	204	349	577	1130	25092	311346	337568	4375882
622110	5	ann. pay.	147661362	428059	3602	7095	5594	444350	590741	8818977	9854068	137807294	150207196	111094	3337	11440	13561	139432	618368	8778275	9536075	140671121	156596031	368189	6914	12736	13439	401278	627752	9114598	10143628	146452403	166379184	103648	11097	19007	17169	150921	668447	9135537	9954905	156424279	179673489	106980	13220	25329	56744	202273	693192	9425929	10321394	169352095
622110	5	rec.																																									468007640	525446	268810	107783	213717	1115756	2131118	23737230	26984104	441023536
622210	5	firms	538	12	12	3	5	32	40	213	285	253	535	17	17	5	10	49	35	194	278	257	559	24	19	10	13	66	33	202	301	258	579	22	27	14	17	80	35	206	321	258	609	32	46	17	19	114	33	219	366	243
622210	5	estab.	848	12	13	3	5	33	44	228	305	543	838	17	17	6	10	50	36	209	295	543	832	28	19	10	13	70	34	236	340	492	758	22	27	14	17	80	36	229	345	413	797	32	46	17	19	114	40	250	404	393
622210	5	empl.	247775	         [a]	35	         [b]	         [b]	122	2467	52630	55219	192556	244652	0	36	39	135	210	2316	49559	52085	192567	240431	0	38	72	165	275	1997	51729	54001	186430	240512	0	51	98	215	364	1837	53489	55690	184822	235942	0	81	114	254	449	1815	58257	60521	175421
622210	5	ann. pay.	8131790	         (D)	4973	         (D)	         (D)	16194	61453	1690423	1768070	6363720	7956625	2274	1571	1897	4256	9998	57254	1618322	1685574	6271051	7975184	11990	1266	2782	3715	19753	55212	1736206	1811171	6164013	8332977	7079	1555	3275	7226	19135	57565	1870290	1946990	6385987	8787338	6557	3233	3260	8502	21552	57488	2176144	2255184	6532154
622210	5	rec.																																									15576265	25368	14347	10984	18664	69363	116463	3872251	4058077	11518188
622310	5	firms	306	28	12	3	3	46	40	77	163	143	331	41	21	4	15	81	30	74	185	146	352	32	28	12	15	87	35	78	200	152	404	44	48	22	13	127	52	69	248	156	548	88	74	42	30	234	69	88	391	157
622310	5	estab.	468	28	12	3	3	46	41	92	179	289	510	41	21	4	15	81	34	86	201	309	499	32	28	12	19	91	35	92	218	281	615	44	48	22	13	127	52	78	257	358	801	88	74	42	30	234	74	108	416	385
622310	5	empl.	153493	         [a]	24	         [b]	         [b]	82	2587	20710	23379	130114	156236	0	45	25	191	261	1953	19730	21944	134292	150524	0	69	75	193	337	2192	19741	22270	128254	163905	0	101	149	176	426	2933	16891	20250	143655	172192	0	148	258	389	795	3336	19898	24029	148163
622310	5	ann. pay.	5075960	         (D)	1051	         (D)	         (D)	45998	62521	616419	724938	4351022	5276779	6908	1877	1042	13643	23470	53148	592239	668857	4607922	5479550	22548	3520	1752	6050	33870	58602	640072	732544	4747006	6190546	9691	4942	4319	5875	24827	87177	530327	642331	5548215	6636532	12702	6711	10136	12636	42185	103751	651096	797032	5839500
622310	5	rec.																																									15561991	45740	22198	36847	39594	144379	261862	1503635	1909876	13652115
623110	5	firms	8383	518	554	238	274	1584	2928	3178	7690	693	8614	669	712	293	284	1958	2870	3112	7940	674	8631	601	792	357	330	2080	2842	3022	7944	687	8787	628	819	356	366	2169	2869	3031	8069	718	8672	661	717	288	347	2013	2769	3138	7920	752
623110	5	estab.	16065	520	554	239	284	1597	3034	3927	8558	7507	16561	680	713	296	306	1995	2982	3859	8836	7725	16891	661	795	361	339	2156	2966	3719	8841	8050	17046	644	821	367	376	2208	2964	3717	8889	8157	16779	668	717	294	359	2038	2890	3928	8856	7923
623110	5	empl.	1557105	0	1164	1558	3798	6520	183579	533760	723859	833246	1558806	0	1457	1936	3856	7249	179223	530563	717035	841771	1533714	0	1606	2402	4518	8526	177249	520215	705990	827724	1559457	0	1684	2403	4968	9055	178335	519629	707019	852438	1604222	0	1554	1958	4816	8328	172553	538795	719676	884546
623110	5	ann. pay.	28522345	152516	29057	30168	71454	283195	2884662	9899652	13067509	15454836	29672312	185065	39005	47569	76400	348039	2934312	10221328	13503679	16168633	30691284	202181	37221	47197	80688	367287	3099999	10515825	13983111	16708173	33343153	247981	43612	50905	92235	434733	3310169	11097758	14842660	18500493	35808394	316941	42538	40823	92814	493116	3319411	11958631	15771158	20037236
623110	5	rec.																																									74576571	784549	98870	87724	268883	1240026	6761935	24261876	32263837	42312734
623210	5	firms	4538	255	931	497	557	2240	1127	936	4303	235	4430	177	900	504	536	2117	1150	944	4211	219	4356	210	826	505	495	2036	1124	945	4105	251	4358	207	820	505	514	2046	1093	967	4106	252	4862	277	1088	539	567	2471	1111	986	4568	294
623210	5	estab.	14773	270	936	511	579	2296	2533	6667	11496	3277	15119	207	904	509	566	2186	2555	7017	11758	3361	15542	244	828	513	526	2111	2440	6960	11511	4031	16741	226	821	518	544	2109	2353	7339	11801	4940	19369	277	1088	544	609	2518	2686	8167	13371	5998
623210	5	empl.	277751	0	2049	3375	7635	13059	49402	120455	182916	94835	275603	0	2002	3410	7455	12867	51299	122451	186617	88986	284362	0	1885	3409	6838	12132	49589	124666	186387	97975	293254	0	1915	3395	7042	12352	48668	127486	188506	104748	317056	0	2457	3661	7771	13889	48041	131402	193332	123724
623210	5	ann. pay.	4493222	28030	29323	48314	110528	216195	766011	1959404	2941610	1551612	4671746	12780	34542	48078	108674	204074	834785	2112381	3151240	1520506	5065303	23483	32434	52670	108377	216964	837005	2226133	3280102	1785201	5462929	12190	31431	55828	115422	214871	848953	2404788	3468612	1994317	6179164	21516	36761	61506	125066	244849	859498	2495570	3599917	2579247
623210	5	rec.																																									11998659	61406	122017	151703	282897	618023	1671595	4742190	7031808	4966851
623220	5	firms	3539	261	748	451	491	1951	815	601	3367	172	3458	158	769	441	492	1860	796	627	3283	175	3431	166	747	422	480	1815	794	633	3242	189	3414	139	760	426	457	1782	808	632	3222	192	3231	117	645	364	433	1559	812	648	3019	212
623220	5	estab.	5922	262	749	459	499	1969	1269	1866	5104	818	6003	158	771	449	496	1874	1231	1969	5074	929	6185	166	750	428	487	1831	1201	1973	5005	1180	6296	144	763	433	470	1810	1178	2067	5055	1241	6368	121	645	373	454	1593	1320	2110	5023	1345
623220	5	empl.	104042	0	1668	3020	6744	11432	28788	41776	81996	22046	107236	0	1701	2901	6761	11363	28932	43093	83388	23848	111992	0	1672	2855	6591	11118	29107	44914	85139	26853	114100	0	1704	2887	6219	10810	29774	46419	87003	27097	123832	0	1515	2453	5962	9930	29480	48959	88369	35463
623220	5	ann. pay.	1974036	9731	22463	42561	104135	178890	536423	831669	1546982	427054	2125521	9005	24550	44054	107522	185131	558340	895771	1639242	486279	2304038	13142	26684	45514	106597	191937	582831	970247	1745015	559023	2466724	8462	28295	47232	105949	189938	613463	1041272	1844673	622051	2753485	8291	26233	42906	109790	187220	651918	1113346	1952484	801001
623220	5	rec.																																									5916927	24540	92760	115560	260536	493396	1408304	2233946	4135646	1781281
623311	5	firms	2246	129	253	149	185	716	609	685	2010	236	2317	162	254	172	197	785	589	681	2055	262	2429	210	318	152	208	888	588	683	2159	270	2556	185	308	197	232	922	638	713	2273	283	2792	215	315	202	269	1001	742	755	2498	294
623311	5	estab.	3056	132	253	149	185	719	652	819	2190	866	3304	162	254	172	197	785	646	806	2237	1067	3590	218	320	152	211	901	638	805	2344	1246	3855	185	310	200	234	929	686	877	2492	1363	4163	217	317	203	277	1014	789	969	2772	1391
623311	5	empl.	243488	0	564	1010	2606	4180	30649	118363	153192	90296	254584	0	535	1198	2787	4520	30568	119763	154851	99733	269210	0	718	1085	2916	4719	30585	122168	157472	111738	288192	0	694	1332	3310	5336	32881	126561	164778	123414	299914	0	730	1352	3794	5876	36965	133377	176218	123696
623311	5	ann. pay.	4182242	17046	9535	16076	32497	75154	450685	2065620	2591459	1590783	4602050	32452	10123	20465	39421	102461	468752	2185551	2756764	1845286	4988787	54332	15940	17707	41610	129589	505813	2305027	2940429	2048358	5549370	28650	13916	24434	54047	121047	564628	2518565	3204240	2345130	6077470	82218	18108	21886	57148	179360	635832	2751738	3566930	2510540
623311	5	rec.																																									14433717	203305	54177	57337	134052	448871	1461986	6266453	8177310	6256407
623312	5	firms	11708	1611	3969	1948	1640	9168	1844	478	11490	218	11490	1056	4116	2010	1611	8793	1997	472	11262	228	11382	1083	3908	1906	1676	8573	2079	482	11134	248	11512	1045	3947	1861	1672	8525	2226	510	11261	251	11356	1064	3835	1805	1602	8306	2257	513	11076	280
623312	5	estab.	13735	1617	3972	1954	1684	9227	2090	1154	12471	1264	14370	1059	4123	2019	1652	8853	2230	1272	12355	2015	14486	1097	3915	1912	1715	8639	2301	1401	12341	2145	14680	1057	3950	1882	1715	8604	2448	1388	12440	2240	14601	1066	3839	1819	1635	8359	2531	1319	12209	2392
623312	5	empl.	191228	0	8664	12978	22335	43977	66532	33531	144040	47188	224765	0	8894	13423	21823	44140	72897	34967	152004	72761	241747	0	8466	12667	22790	43923	77179	39235	160337	81410	258736	0	8521	12491	22748	43760	84214	44349	172323	86413	266041	0	8515	12064	21965	42544	85597	45760	173901	92140
623312	5	ann. pay.	2722458	66096	102952	143958	258871	571877	858869	541117	1971863	750595	3406144	75310	112390	156126	267251	611077	997195	567648	2175920	1230224	3854194	71097	115422	161033	290625	638177	1105725	682113	2426015	1428179	4282507	67895	123298	167522	319128	677843	1274115	806135	2758093	1524414	4425250	56692	121314	162607	298734	639347	1311432	840905	2791684	1633566
623312	5	rec.																																									11696796	183684	501296	481687	779275	1945942	3344506	1970093	7260541	4436255
623990	5	firms	3684	293	743	447	533	2016	948	570	3534	150	3601	181	730	447	564	1922	933	589	3444	157	3591	161	706	457	535	1859	967	589	3415	176	3684	211	708	466	550	1935	975	591	3501	183	3587	210	684	416	527	1837	937	613	3387	200
623990	5	estab.	6191	293	746	449	550	2038	1469	1767	5274	917	6200	184	733	448	581	1946	1385	1891	5222	978	6311	161	710	458	552	1881	1454	1870	5205	1106	6470	211	713	469	575	1968	1398	1924	5290	1180	6620	210	685	419	547	1861	1485	2023	5369	1251
623990	5	empl.	137590	0	1596	3019	7415	12030	36618	59140	107788	29802	147018	0	1617	3017	7841	12475	36634	60539	109648	37370	151094	0	1535	3053	7450	12038	37643	62084	111765	39329	157718	0	1546	3173	7777	12496	38832	65081	116409	41309	159600	0	1481	2867	7359	11707	36368	66907	114982	44618
623990	5	ann. pay.	2725256	12057	22705	43874	115945	194581	662392	1248707	2105680	619576	2988695	7806	25933	44951	129131	207821	702983	1286162	2196966	791729	3255674	10640	24614	50238	126468	211960	744152	1402253	2358365	897309	3560413	9845	26560	54743	141963	233111	794214	1547969	2575294	985119	3706728	11002	28177	51151	144545	234875	768288	1620154	2623317	1083411
623990	5	rec.																																									7645076	28260	89949	119423	313540	551172	1589202	3327861	5468235	2176841
624110	5	firms	7277	569	2638	1071	884	5162	1341	629	7132	145	7053	388	2429	1160	899	4876	1345	677	6898	155	7007	400	2323	1119	921	4763	1389	688	6840	167	7219	415	2345	1144	989	4893	1444	701	7038	181	7711	570	2636	1210	1010	5426	1389	699	7514	197
624110	5	estab.	9361	574	2640	1083	942	5239	1851	1431	8521	840	9282	389	2431	1176	947	4943	1826	1607	8376	906	9393	400	2329	1131	948	4808	1842	1687	8337	1056	9722	415	2350	1169	1032	4966	1903	1718	8587	1135	10426	570	2638	1219	1039	5466	1975	1809	9250	1176
624110	5	empl.	139302	0	5741	7096	11905	24742	46704	45913	117359	21943	147235	0	5260	7668	12138	25066	47335	50829	123230	24005	160364	0	5123	7433	12632	25188	50348	55868	131404	28960	170848	0	5136	7581	13363	26080	53030	59885	138995	31853	169612	0	5747	8020	13671	27438	50438	59618	137494	32118
624110	5	ann. pay.	2790621	25497	114607	143144	226635	509883	902414	921667	2333964	456657	3075612	14601	113160	154594	242017	524372	975484	1042836	2542692	532920	3440468	11640	113574	163728	262064	551006	1061608	1172381	2784995	655473	3843944	14497	117569	180210	292335	604611	1164853	1315210	3084674	759270	3909639	15532	134967	188202	309479	648180	1154078	1332090	3134348	775291
624110	5	rec.																																									10114049	59581	462485	580065	857022	1959153	2893348	3454745	8307246	1806803
624120	5	firms	9674	653	3080	1450	1242	6425	1829	1170	9424	250	9597	525	3072	1462	1241	6300	1844	1194	9338	259	9686	519	2980	1491	1313	6303	1899	1200	9402	284	9949	616	2998	1530	1305	6449	1988	1226	9663	286	10791	816	3279	1597	1373	7065	2127	1271	10463	328
624120	5	estab.	13289	655	3085	1457	1289	6486	2724	3018	12228	1061	13257	528	3078	1472	1285	6363	2700	3046	12109	1148	13505	536	2990	1499	1352	6377	2725	3061	12163	1342	13906	623	3004	1548	1340	6515	2824	3118	12457	1449	15285	816	3287	1605	1418	7126	3096	3342	13564	1721
624120	5	empl.	279754	0	6402	9570	16623	32595	71499	121517	225611	54143	283444	0	6446	9752	16977	33175	71919	121873	226967	56477	298984	0	6318	9919	17831	34068	74843	128604	237515	61469	308365	0	6380	10242	17736	34358	79507	135090	248955	59410	336800	0	7156	10682	18822	36660	83780	142764	263204	73596
624120	5	ann. pay.	4063488	16626	97473	141363	253508	508970	1068178	1763528	3340676	722812	4365085	14883	102479	150491	270666	538519	1117335	1883002	3538856	826229	4765566	21329	103484	160354	290266	575433	1199049	2084990	3859472	906094	5199934	24292	109068	170985	307967	612312	1321876	2336793	4270981	928953	5732241	34365	118585	186684	334005	673639	1440207	2485495	4599341	1132900
624120	5	rec.																																									14431391	101026	366548	507894	805675	1781143	3446451	7035805	12263399	2167992
624190	5	firms	15093	967	6862	2219	1616	11664	2095	1114	14873	220	15108	905	6646	2252	1657	11460	2191	1203	14854	254	15247	1029	6408	2274	1690	11401	2278	1273	14952	295	16215	1165	6739	2433	1813	12150	2388	1358	15896	319	17561	1470	7516	2532	1819	13337	2493	1391	17221	340
624190	5	estab.	20647	968	6873	2227	1728	11796	3612	3895	19303	1344	20934	912	6655	2260	1759	11586	3628	4126	19340	1594	21304	1033	6413	2294	1773	11513	3671	4312	19496	1808	22672	1166	6743	2461	1901	12271	3749	4561	20581	2091	24984	1474	7519	2551	1912	13456	4232	5019	22707	2277
624190	5	empl.	285195	0	13492	14602	21864	49958	75486	104690	230134	55061	307160	0	13193	14911	22302	50406	80665	114422	245493	61667	331251	0	12948	15163	22643	50754	84539	122723	258016	73235	360689	0	13384	16129	24607	54120	90161	133882	278163	82526	377546	0	15036	16827	24389	56252	92569	140439	289260	88286
624190	5	ann. pay.	5349779	33096	248355	277900	424767	984118	1484339	1917579	4386036	963743	5977640	30683	253269	295421	442770	1022143	1629579	2196121	4847843	1129797	6656050	40506	257602	321407	462014	1081529	1776062	2425123	5282714	1373336	7586136	32994	293408	355158	522793	1204353	1981290	2809325	5994968	1591168	8204468	48293	320367	385103	541866	1295629	2125184	3001305	6422118	1782350
624190	5	rec.																																									20387854	176179	994183	1037996	1387349	3595707	5111225	7741514	16448446	3939408
624210	5	firms	2300	71	1109	410	239	1829	276	154	2259	41	2286	55	1098	414	244	1811	282	152	2245	41	2291	50	1092	406	245	1793	302	154	2249	42	2321	59	1084	398	261	1802	319	155	2276	45	2447	74	1150	398	269	1891	337	168	2396	51
624210	5	estab.	3119	72	1114	414	246	1846	616	546	3008	111	3128	55	1098	418	259	1830	679	512	3021	107	3135	54	1092	409	263	1818	718	484	3020	115	3153	59	1085	399	272	1815	727	499	3041	112	3455	74	1150	399	290	1913	800	624	3337	118
624210	5	empl.	24341	0	2325	2669	3187	8181	8964	5114	22259	2082	24980	0	2335	2725	3237	8297	9020	5738	23055	1925	26041	0	2372	2710	3251	8333	9971	5664	23968	2073	27156	0	2354	2645	3453	8452	10732	6005	25189	1967	28952	0	2494	2543	3476	8513	10983	7094	26590	2362
624210	5	ann. pay.	368870	1379	28455	37018	52176	119028	148671	73083	340782	28088	396655	1711	30205	39198	54653	125767	156753	86656	369176	27479	433130	1908	30901	40161	55296	128266	187712	87161	403139	29991	488598	1439	32517	41609	63735	139300	215343	103244	457887	30711	536613	2096	34323	40829	66062	143310	233985	115307	492602	44011
624210	5	rec.																																									3078384	15172	183632	212114	340958	751876	1812627	405222	2969725	108659
624221	5	firms	2271	56	432	404	509	1401	646	185	2232	39	2266	36	379	399	522	1336	696	192	2224	42	2290	45	365	381	520	1311	725	207	2243	47	2375	55	387	384	523	1349	757	214	2320	55	2544	70	408	398	553	1429	825	229	2483	61
624221	5	estab.	2653	56	432	404	516	1408	826	332	2566	87	2672	36	379	399	528	1342	868	340	2550	122	2718	47	365	381	526	1319	894	360	2573	145	2828	55	387	384	532	1358	917	393	2668	160	3173	72	408	399	561	1440	1133	442	3015	158
624221	5	empl.	43124	0	1040	2802	7058	10900	20248	8874	40022	3102	46448	0	890	2735	7203	10828	23040	8741	42609	3839	49454	0	849	2670	7223	10742	24416	10280	45438	4016	51518	0	900	2657	7355	10912	25862	10376	47150	4368	53856	0	954	2751	7606	11311	27521	11104	49936	3920
624221	5	ann. pay.	770005	959	19173	45861	111854	177847	367988	164071	709906	60099	866703	1067	15743	48019	118135	182964	434243	171114	788321	78382	960585	2082	15854	50993	124005	192934	472405	203045	868384	92201	1050878	2696	19440	50947	130909	203992	520495	225767	950254	100624	1132470	3200	19002	51741	143816	217759	574356	244974	1037089	95381
624221	5	rec.																																									2544997	13290	62443	138794	335571	550098	1267156	528808	2346062	198935
624229	5	firms	2223	171	984	373	227	1755	258	161	2174	49	2251	98	1003	403	239	1743	287	170	2200	51	2282	101	971	420	264	1756	295	177	2228	54	2385	106	1005	448	261	1820	316	190	2326	59	2494	103	1077	432	286	1898	327	199	2424	70
624229	5	estab.	2458	171	984	378	234	1767	329	269	2365	93	2484	100	1003	408	246	1757	343	288	2388	96	2545	103	971	422	274	1770	356	313	2439	106	2665	106	1007	452	268	1833	380	333	2546	119	2912	103	1077	437	301	1918	462	392	2772	140
624229	5	empl.	22945	0	2066	2478	3062	7606	7230	5980	20816	2129	24698	0	2135	2673	3181	7989	8629	6383	23001	1697	25819	0	2075	2742	3548	8365	8984	6576	23925	1894	27926	0	2188	2961	3496	8645	9702	7539	25886	2040	29497	0	2340	2886	3767	8993	9704	8364	27061	2436
624229	5	ann. pay.	486041	4744	47499	57895	75423	185561	155916	110959	452436	33605	546354	3618	50509	66241	74740	195108	195196	124116	514420	31934	611002	3547	50678	70906	86921	212052	218399	143612	574063	36939	707956	3750	56751	77422	91968	229891	254854	177974	662719	45237	790664	12231	61823	81418	103902	259374	270173	206332	735879	54785
624229	5	rec.																																									2669356	45479	337781	364791	369601	1117652	820615	603460	2541727	127629
624230	5	firms	1722	69	872	326	193	1460	185	63	1708	14	1658	40	843	310	196	1389	197	57	1643	15	1646	39	806	326	204	1375	190	67	1632	14	1626	50	730	352	213	1345	204	57	1606	20	1628	58	733	318	234	1343	203	62	1608	20
624230	5	estab.	1983	69	872	327	202	1470	276	140	1886	97	1905	40	843	311	198	1392	296	125	1813	92	1865	39	806	327	206	1378	265	144	1787	78	1843	50	730	353	215	1348	282	121	1751	92	1905	58	734	319	243	1354	331	134	1819	86
624230	5	empl.	18566	0	1828	2122	2518	6468	6747	3761	16976	1590	18208	0	1821	2049	2578	6448	7250	3496	17194	1014	19861	0	1780	2178	2676	6634	7064	4463	18161	1700	21783	0	1607	2346	2841	6794	7818	3698	18310	3473	21497	0	1642	2133	3053	6828	7810	3928	18566	2931
624230	5	ann. pay.	354864	1788	28054	32972	40242	103056	124137	97824	325017	29847	383097	810	29134	34300	44849	109093	144682	91311	345086	38011	431473	3577	29779	38379	49328	121063	146161	119630	386854	44619	493090	1229	29280	43065	54054	127628	175836	94716	398180	94910	532166	1005	30910	40987	62897	135799	185103	105577	426479	105687
624230	5	rec.																																									2586908	5084	122443	150807	211140	489474	1052705	350028	1892207	694701
624310	5	firms	5446	293	1348	664	586	2891	1290	1054	5235	211	5397	238	1289	629	594	2750	1315	1107	5172	225	5357	250	1233	604	607	2694	1316	1091	5101	256	5324	273	1203	614	587	2677	1259	1135	5071	253	5240	275	1205	578	535	2593	1266	1113	4972	268
624310	5	estab.	8106	295	1359	692	626	2972	1730	2323	7025	1081	8213	243	1304	639	638	2824	1788	2356	6968	1245	8288	261	1239	623	651	2774	1758	2331	6863	1425	8324	273	1212	630	631	2746	1666	2382	6794	1530	8451	276	1210	586	576	2648	1835	2434	6917	1534
624310	5	empl.	296154	0	2790	4377	7983	15150	54543	128050	197743	98411	313822	0	2741	4191	8158	15090	56380	133995	205465	108357	324336	0	2601	4030	8212	14843	58803	135032	208678	115658	326455	0	2528	4080	7980	14588	54349	143683	212620	113835	319609	0	2588	3829	7325	13742	54426	135856	204024	115585
624310	5	ann. pay.	3982781	12735	70369	110286	182268	375658	933670	1572177	2881505	1101276	4470954	14301	71630	107074	188811	381816	997353	1748318	3127487	1343467	4846777	16310	72911	103735	188816	381772	1037352	1831930	3251054	1595723	5184930	9981	74680	110316	192716	387693	1044427	2033160	3465280	1719650	5329584	13487	205328	108000	195241	522056	1056937	2064196	3643189	1686395
624310	5	rec.																																									11808900	40681	517886	270397	516338	1345302	2628956	4308307	8282565	3526335
624410	5	firms	51656	5076	18736	10249	9676	43737	6849	880	51466	190	51598	5069	18464	10029	9898	43460	7003	935	51398	200	53686	6147	18600	10091	10238	45076	7428	975	53479	207	54349	5639	19060	10263	10462	45424	7684	1018	54126	223	55828	6210	19261	10662	10559	46692	7848	1045	55585	243
624410	5	estab.	62963	5086	18745	10285	9958	44074	9474	4682	58230	4733	63719	5106	18551	10071	10180	43908	9464	4986	58358	5361	66300	6164	18632	10150	10487	45433	9781	5200	60414	5886	67117	5680	19097	10319	10724	45820	9921	5432	61173	5944	69733	6217	19266	10688	10748	46919	10427	6010	63356	6377
624410	5	empl.	644111	0	39672	69473	131554	240699	224966	85871	551536	92575	664343	0	39064	68169	135350	242583	231348	92495	566426	97917	699589	0	38952	68716	139961	247629	245549	101860	595038	104551	746893	0	40071	69603	142685	252359	254589	108005	614953	131940	753374	0	41707	71997	144184	257888	257775	113924	629587	123787
624410	5	ann. pay.	7513283	103804	371240	681958	1395397	2552399	2664586	1244299	6461284	1051999	8245850	119773	402532	701118	1502337	2725760	2866395	1401098	6993253	1252597	9223193	169551	419773	741940	1604859	2936123	3156050	1627534	7719707	1503486	10148513	137335	445587	785665	1715268	3083855	3408057	1852450	8344362	1804151	10824999	146894	449369	842426	1786472	3225161	3573310	2019798	8818269	2006730
624410	5	rec.																																									22557876	406684	1293991	1816334	3431890	6948899	6723125	4565696	18237720	4320156
711110	5	firms	3451	584	1487	470	325	2866	427	135	3428	23	3273	468	1397	490	303	2658	462	131	3251	22	3320	526	1355	475	333	2689	468	140	3297	23	3303	470	1371	465	346	2652	473	154	3279	24	3368	513	1429	426	339	2707	486	150	3343	25
711110	5	estab.	3505	584	1488	470	328	2870	447	158	3475	30	3322	469	1397	491	308	2665	481	146	3292	30	3367	526	1355	476	335	2692	488	153	3333	34	3354	473	1372	465	350	2660	487	173	3320	34	3449	513	1429	430	342	2714	517	177	3408	41
711110	5	empl.	59229	0	2961	3102	4374	10437	18056	22672	51165	8064	61710	0	2853	3249	4116	10218	20041	22189	52448	9262	63401	0	2810	3080	4565	10455	20146	23788	54389	9012	66438	0	2813	3071	4635	10519	19985	26258	56762	9676	66925	0	2981	2839	4692	10512	21281	25124	56917	10008
711110	5	ann. pay.	1289480	53723	94137	69378	78406	295644	330860	439307	1065811	223669	1349502	43546	91251	70554	79096	284447	384287	466303	1135037	214465	1468581	52472	110150	70413	106244	339279	397492	474757	1211528	257053	1516587	53407	113818	69098	89219	325542	390752	534930	1251224	265363	1602590	49918	106145	72761	88124	316948	421013	555589	1293550	309040
711110	5	rec.																																									5337276	181447	425091	239608	299972	1146118	1330175	1798805	4275098	1062178
711120	5	firms	576	79	251	77	67	474	84	16	574	2	586	86	247	79	71	483	80	21	584	2	579	70	248	84	73	475	79	23	577	2	599	82	253	91	76	502	73	22	597	2	644	104	267	96	76	543	77	23	643	1
711120	5	estab.	581	79	251	78	68	476	86	17	579	2	591	86	247	80	72	485	82	22	589	2	584	70	248	85	74	477	81	23	581	3	604	82	253	92	77	504	75	22	601	3	648	104	267	97	76	544	79	24	647	1
711120	5	empl.	9553	0	510	517	889	1916	3522	         [h]	         [i]	         [f]	10217	0	508	514	944	1966	[h]	4354	[i]	[f]	10688	0	525	574	973	2072	         [h]	4405	         [i]	         [f]	10904	0	513	605	1033	2151	         [h]	4763	         [j]	         [f]	9970	0	540	642	1001	2183	         [h]	         [h]	         [i]	         [a]
711120	5	ann. pay.	177805	5359	10937	5731	12880	34907	58966	         (D)	         (D)	         (D)	194730	9242	11727	6006	13930	40905	(D)	83974	(D)	(D)	215867	2945	11071	8216	14225	36457	         (D)	106028	         (D)	         (D)	217841	7078	11134	8292	17758	44262	         (D)	97644	         (D)	         (D)	210335	6267	11639	10403	13454	41763	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
711120	5	rec.																																									570020	23535	46896	33060	38334	141825	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
711130	5	firms	4720	1058	2311	648	375	4392	228	93	4713	7	4594	852	2388	669	353	4262	231	89	4582	12	4486	821	2274	661	370	4126	257	94	4477	9	4554	871	2334	684	316	4205	244	97	4546	8	4532	880	2400	611	325	4216	222	84	4522	10
711130	5	estab.	4732	1058	2311	650	377	4396	229	98	4723	9	4604	852	2388	670	355	4265	233	92	4590	14	4497	822	2274	662	371	4129	259	98	4486	11	4562	871	2334	685	316	4206	247	101	4554	8	4552	881	2401	612	326	4220	229	90	4539	13
711130	5	empl.	40833	0	4530	4182	4954	13666	10220	15824	39710	1123	42616	0	4646	4364	4752	13762	[i]	14445	[k]	[h]	43985	0	4427	4300	4958	13685	         [j]	16207	         [k]	         [h]	42957	0	4533	4484	4172	13189	         [j]	16459	         [k]	         [h]	48959	0	4676	3930	4314	12920	         [j]	15173	         [k]	         [j]
711130	5	ann. pay.	1228814	128827	156289	108529	177434	571079	232560	370979	1174618	54196	1289181	80152	195020	124780	190922	590874	(D)	366642	(D)	(D)	1340707	75445	185147	137164	183402	581158	         (D)	407542	         (D)	         (D)	1349035	98039	236979	125267	181514	641799	         (D)	414247	         (D)	         (D)	1316162	90047	224095	126401	158903	599446	         (D)	354548	         (D)	         (D)
711130	5	rec.																																									4146826	308403	847121	500768	660513	2316805	         (D)	755632	         (D)	         (D)
711190	5	firms	914	246	414	97	69	826	74	9	909	5	802	184	386	91	59	720	71	8	799	3	783	203	341	82	66	692	81	7	780	3	784	192	365	84	56	697	77	7	781	3	702	182	321	68	61	632	60	7	699	3
711190	5	estab.	971	246	414	97	72	829	81	18	928	43	825	184	387	91	59	721	80	16	817	8	805	203	341	82	66	692	94	11	797	8	807	192	365	84	56	697	93	10	800	7	717	182	321	68	62	633	67	10	710	7
711190	5	empl.	8530	0	759	652	941	2352	2660	         [g]	         [i]	         [g]	7427	0	722	598	844	2164	[h]	1163	[i]	[g]	8300	0	632	536	923	2091	         [h]	1166	         [i]	         [g]	7507	0	676	542	749	1967	         [h]	973	         [i]	         [g]	6677	0	566	439	829	1834	         [g]	         [g]	         [i]	         [g]
711190	5	ann. pay.	233270	20413	45352	13079	33560	112404	41741	         (D)	         (D)	         (D)	219345	20783	41868	14751	16927	94329	(D)	25110	(D)	(D)	226098	26274	35461	13085	15648	90468	         (D)	23057	         (D)	         (D)	260125	23353	42688	50332	15164	131537	         (D)	25415	         (D)	         (D)	202025	18399	32741	19891	16184	87215	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
711190	5	rec.																																									776776	58611	100020	47624	58584	264839	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
711211	5	firms	601	110	118	59	67	354	137	83	574	27	610	121	111	66	64	362	138	86	586	24	628	106	137	62	77	382	136	78	596	32	684	111	158	88	73	430	136	91	657	27	719	133	172	76	81	462	137	88	687	32
711211	5	estab.	633	110	119	59	67	355	140	91	586	47	667	132	112	66	64	374	139	108	621	46	684	106	138	62	78	384	137	109	630	54	735	111	159	88	73	431	138	113	682	53	767	133	172	76	82	463	139	105	707	60
711211	5	empl.	32700	0	248	412	938	1598	5583	15370	22551	10149	32037	0	248	473	912	1633	5651	16520	23804	8233	36344	0	300	415	1094	1809	5633	14895	22337	14007	40054	0	324	595	1020	1939	5043	18695	25677	14377	38371	0	348	514	1144	2006	5151	16648	23805	14566
711211	5	ann. pay.	5717642	27925	14691	15542	33670	91828	756373	3833674	4681875	1035767	6707965	28159	12272	20358	34883	95672	919537	4506352	5521561	1186404	7587075	23260	14670	15883	41275	95088	1036992	4441244	5573324	2013751	8268207	9206	19465	29332	37325	95328	749035	5496143	6340506	1927701	8782649	9971	21549	21462	43177	96159	453586	5650210	6199955	2582694
711211	5	rec.																																									12647534	41557	58533	63789	136288	300167	766694	8052069	9118930	3528604
711212	5	firms	846	281	233	102	55	671	72	65	808	38	810	225	260	98	58	641	67	68	776	34	821	238	251	95	57	641	90	59	790	31	802	209	273	88	54	624	86	64	774	28	797	256	258	71	40	625	85	61	771	26
711212	5	estab.	918	281	236	105	56	678	78	74	830	88	888	225	266	98	58	647	70	82	799	89	899	238	255	95	59	647	97	69	813	86	881	209	273	89	56	627	92	75	794	87	879	256	258	77	40	631	90	73	794	85
711212	5	empl.	42890	0	478	654	688	1820	         [h]	14047	         [j]	         [j]	42522	0	517	643	773	1933	[h]	14329	[j]	[j]	45792	0	502	603	758	1863	         [h]	13560	         [j]	         [k]	45183	0	548	588	704	1840	3923	13719	19482	25701	44882	0	515	462	528	1505	         [h]	12177	         [j]	         [k]
711212	5	ann. pay.	818498	11671	17618	13938	14709	57936	         (D)	212032	         (D)	         (D)	880445	8707	23052	14279	16548	62586	(D)	236535	(D)	(D)	994436	14078	18100	13024	17137	62339	         (D)	232893	         (D)	         (D)	988946	8449	20397	14915	14149	57910	98986	250050	406946	582000	1027926	11085	21948	12819	14079	59931	         (D)	228088	         (D)	         (D)
711212	5	rec.																																									6261154	96144	136264	90993	71106	394507	         (D)	1114348	         (D)	         (D)
711219	5	firms	2735	571	1388	359	234	2552	166	14	2732	3	2784	586	1402	349	257	2594	172	16	2782	2	2846	581	1406	406	256	2649	176	18	2843	3	2938	596	1468	407	256	2727	186	20	2933	5	2738	552	1380	391	224	2547	164	20	2731	7
711219	5	estab.	2771	571	1391	362	238	2562	180	24	2766	5	2817	586	1406	359	258	2609	184	19	2812	5	2878	581	1407	416	258	2662	187	23	2872	6	2968	596	1469	415	257	2737	196	25	2958	10	2772	552	1381	395	226	2554	183	25	2762	10
711219	5	empl.	15485	0	2698	2363	3073	8134	         [i]	1434	         [j]	         [e]	16484	0	2692	2270	3465	8427	[i]	1984	[j]	[c]	18060	0	2703	2639	3459	8801	         [i]	2607	         [j]	         [c]	19147	0	2803	2721	3415	8939	6992	2910	18841	306	18251	0	2633	2574	2994	8201	         [i]	3426	         [j]	         [e]
711219	5	ann. pay.	523518	41359	116428	51841	82392	292020	         (D)	56798	         (D)	         (D)	570768	34434	103680	69990	99005	307109	(D)	85615	(D)	(D)	633437	40151	107849	77468	89178	314646	         (D)	103684	         (D)	         (D)	697438	36112	112488	84252	93099	325951	210800	138401	675152	22286	705102	42197	105887	68675	122783	339542	         (D)	137259	         (D)	         (D)
711219	5	rec.																																									2634562	145946	448938	270254	384714	1249852	         (D)	502302	         (D)	         (D)
711310	5	firms	908	165	348	120	89	722	121	39	882	26	956	187	343	119	92	741	128	60	929	27	1034	203	382	142	91	818	123	67	1008	26	1112	188	429	136	116	869	149	67	1085	27	1355	231	548	170	133	1082	169	70	1321	34
711310	5	estab.	976	166	348	121	92	727	131	53	911	65	1030	187	343	120	94	744	137	80	961	69	1107	203	383	142	94	822	131	85	1038	69	1184	188	430	137	118	873	158	86	1117	67	1451	233	548	171	133	1085	177	91	1353	98
711310	5	empl.	34481	0	685	798	1248	2731	5488	7951	16170	18311	41246	0	709	797	1255	2761	5461	12025	20247	20999	44268	0	808	969	1236	3013	5110	12897	21020	23248	48304	0	843	879	1581	3303	6635	14213	24151	24153	51137	0	1063	1114	1768	3945	7018	13230	24193	26944
711310	5	ann. pay.	570181	7586	18053	19027	25560	70226	88708	145738	304672	265509	782023	10487	20298	18707	28291	77783	100187	203437	381407	400616	787309	15663	25228	26992	25941	93824	90821	237460	422105	365204	941537	11021	32645	21605	44000	109271	125955	272146	507372	434165	1069285	14486	33512	29566	49255	126819	134452	290691	551962	517323
711310	5	rec.																																									3967111	134971	185194	187519	196870	704554	548267	1001082	2253903	1713208
711320	5	firms	3082	754	1500	382	222	2858	175	33	3066	16	3137	756	1533	388	220	2897	189	33	3119	18	3200	754	1564	402	216	2936	207	37	3180	20	3206	774	1535	429	222	2960	186	39	3185	21	3454	778	1770	441	210	3199	200	32	3431	23
711320	5	estab.	3127	755	1500	385	223	2863	181	46	3090	37	3194	757	1535	390	221	2903	198	39	3140	54	3287	755	1566	403	216	2940	216	40	3196	91	3272	774	1535	430	224	2963	194	56	3213	59	3557	778	1770	443	214	3205	224	59	3488	69
711320	5	empl.	23410	0	2891	2487	2956	8334	6616	5022	19972	3438	24167	0	3025	2561	2921	8507	7566	4058	20131	4036	27578	0	3065	2625	2894	8584	7964	5633	22181	5397	25624	0	3001	2812	2954	8767	7132	5480	21379	4245	28869	0	3408	2861	2705	8974	7310	4037	20321	8548
711320	5	ann. pay.	795335	47702	152546	77354	109755	387357	193712	107816	688885	106450	890764	49954	190850	76133	89641	406578	241228	124252	772058	118706	1129926	62278	210559	91288	87239	451364	227921	212414	891699	238227	1068338	75464	195432	94701	92810	458407	214544	208803	881754	186584	1139486	61406	195005	102360	92773	451544	235079	184531	871154	268332
711320	5	rec.																																									6551232	339130	925098	589257	429494	2282979	1084184	1004156	4371319	2179913
711410	5	firms	2729	509	1586	394	134	2623	89	8	2720	9	2784	578	1534	413	145	2670	94	9	2773	11	2992	613	1674	418	167	2872	98	12	2982	10	3048	612	1755	411	151	2929	97	13	3039	9	3476	711	2078	414	146	3349	100	17	3466	10
711410	5	estab.	2788	509	1587	397	145	2638	109	10	2757	31	2837	578	1535	416	156	2685	112	11	2808	29	3048	613	1675	422	177	2887	117	15	3019	29	3107	612	1757	417	158	2944	111	24	3079	28	3551	711	2080	418	158	3367	125	30	3522	29
711410	5	empl.	14253	0	3135	2494	1712	7341	3513	1503	12357	1896	15069	0	3026	2597	1900	7523	3629	1823	12975	2094	15979	0	3267	2675	2158	8100	3751	1896	13747	2232	16220	0	3410	2628	1903	7941	3953	2200	14094	2126	17052	0	3902	2619	1888	8409	3705	2317	14431	2621
711410	5	ann. pay.	954736	44996	170433	130063	84468	429960	196404	112000	738364	216372	1037071	69085	164942	149112	88694	471833	200514	139973	812320	224751	1117482	63353	168734	142897	112754	487738	218160	152828	858726	258756	1139323	74285	188508	139256	92512	494561	221167	168630	884358	254965	1281125	71990	204887	167792	127945	572614	272742	109572	954928	326197
711410	5	rec.																																									3521784	225594	832561	539047	336637	1933839	607576	237420	2778835	742949
711510	5	firms	11746	3701	6729	756	331	11517	197	23	11737	9	12108	3929	6748	758	359	11794	268	33	12095	13	12682	4241	6836	857	414	12348	290	33	12671	11	13344	4464	7298	891	386	13039	266	31	13336	8	15826	5794	8449	904	427	15574	211	29	15814	12
711510	5	estab.	11768	3701	6734	756	334	11525	201	27	11753	15	12131	3931	6751	758	360	11800	276	38	12114	17	12703	4243	6838	857	418	12356	296	35	12687	16	13366	4464	7300	891	391	13046	273	39	13358	8	15848	5795	8451	907	431	15584	217	34	15835	13
711510	5	empl.	30718	0	10616	4858	4341	19815	7175	2450	29440	1278	36886	0	10805	4919	4696	20420	9614	4133	34167	2719	37524	0	11066	5533	5431	22030	10793	3980	36803	721	39407	0	11790	5778	5049	22617	9897	4520	37034	2373	39236	0	13725	5766	5568	25059	7734	5239	38032	1204
711510	5	ann. pay.	3494555	688162	1865872	373980	164492	3092506	214501	164420	3471427	23128	3458716	738170	1837980	287516	168896	3032562	244919	91391	3368872	89844	3589333	788950	1736130	390273	239532	3154885	332673	75429	3562987	26346	3946090	880156	2085968	320184	225202	3511510	308487	91386	3911383	34707	4317954	1065728	2249299	389399	224889	3929315	226095	135836	4291246	26708
711510	5	rec.																																									9490621	2498201	4533098	964353	631162	8626814	557664	220944	9405422	85199
712110	5	firms	3714	312	1783	614	400	3109	454	132	3695	19	3749	259	1790	628	430	3107	481	138	3726	23	3789	298	1745	634	430	3107	501	155	3763	26	3936	339	1778	674	448	3239	519	151	3909	27	4224	420	1943	680	466	3509	537	153	4199	25
712110	5	estab.	3903	312	1785	618	421	3136	517	217	3870	33	3940	259	1792	631	451	3133	545	227	3905	35	3988	298	1747	636	447	3128	569	236	3933	55	4140	339	1780	676	463	3258	586	247	4091	49	4464	420	1944	685	488	3537	623	266	4426	38
712110	5	empl.	66057	0	3694	3995	5444	13133	18723	22204	54060	11997	71382	0	3713	4135	5736	13584	19972	24312	57868	13514	75400	0	3659	4191	5754	13604	19879	26514	59997	15403	76831	0	3673	4429	6021	14123	21164	24997	60284	16547	77952	0	4113	4447	6220	14780	22296	25502	62578	15374
712110	5	ann. pay.	1441234	5374	61915	67702	93662	228653	374620	504843	1108116	333118	1602612	4251	64511	72935	102967	244664	405591	562639	1212894	389718	1764538	6360	64968	78097	111677	261102	418383	645499	1324984	439554	1907012	6801	70559	85186	119300	281846	473071	633939	1388856	518156	1973092	7825	77045	92674	126325	303869	505356	687276	1496501	476591
712110	5	rec.																																									5920808	41062	356098	339718	440082	1176960	1568224	1847393	4592577	1328231
712120	5	firms	865	84	517	104	71	776	72	14	862	3	852	70	517	104	78	769	65	15	849	3	851	74	503	108	75	760	71	17	848	3	853	69	497	127	74	767	67	15	849	4	950	111	535	133	83	862	68	15	945	5
712120	5	estab.	903	84	518	105	74	781	79	39	899	4	891	70	517	106	81	774	71	42	887	4	892	74	503	110	79	766	76	46	888	4	893	69	498	128	78	773	72	28	873	20	1002	111	535	134	92	872	74	35	981	21
712120	5	empl.	8410	0	972	658	940	2570	2357	         [g]	         [i]	         [g]	7965	0	984	657	1061	2702	2285	[g]	[i]	[g]	8300	         [a]	970	670	983	         [h]	2526	1997	         [i]	         [g]	8439	0	969	784	970	2723	2486	1886	7095	1344	8893	0	1045	839	1055	2939	2572	1967	7478	1415
712120	5	ann. pay.	132442	752	14289	9920	12755	37716	42871	         (D)	         (D)	         (D)	131411	821	14514	9686	17013	42034	39997	(D)	(D)	(D)	143178	         (D)	14970	11392	14121	         (D)	45604	36454	         (D)	         (D)	154385	1147	15709	13181	16653	46690	47191	35324	129205	25180	163526	1545	17829	14701	18051	52126	53377	34065	139568	23958
712120	5	rec.																																									461088	7217	69202	46592	51393	174404	144307	94484	413195	47893
712130	5	firms	382	36	103	55	57	251	84	42	377	5	390	43	98	58	42	241	95	43	379	11	400	39	115	48	46	248	92	49	389	11	444	47	128	56	59	290	95	47	432	12	508	70	147	74	54	345	99	51	495	13
712130	5	estab.	395	36	103	55	57	251	89	44	384	11	404	43	98	58	42	241	100	45	386	18	414	39	115	48	46	248	96	52	396	18	459	47	128	56	59	290	99	50	439	20	525	70	147	74	54	345	101	59	505	20
712130	5	empl.	17472	0	227	369	792	1388	3837	8578	13803	3669	19566	0	201	394	579	1174	4298	8739	14211	5355	20505	0	247	334	629	1210	4189	10252	15651	4854	21775	0	279	365	821	1465	4513	10629	16607	5168	22257	0	329	480	727	1536	4569	10771	16876	5381
712130	5	ann. pay.	412160	886	3735	7247	16611	28479	83530	208006	320015	92145	468919	855	3646	7744	11512	23757	93488	211461	328706	140213	508771	3456	5069	6690	12097	27312	95660	256279	379251	129520	558407	1352	5801	7056	17825	32034	106013	280060	418107	140300	581700	2543	7292	9323	16601	35759	101238	284846	421843	159857
712130	5	rec.																																									1663809	11741	29325	29411	64217	134694	264676	816103	1215473	448336
712190	5	firms	355	61	125	64	45	295	44	12	351	4	352	45	130	57	48	280	55	11	346	6	350	45	122	56	50	273	59	12	344	6	407	67	140	60	59	326	64	12	402	5	490	84	194	79	50	407	65	13	485	5
712190	5	estab.	481	61	125	64	47	297	53	66	416	65	479	45	130	58	48	281	65	39	385	94	483	45	122	56	51	274	72	48	394	89	540	67	140	60	61	328	76	52	456	84	642	84	194	79	52	409	96	53	558	84
712190	5	empl.	4573	0	241	414	606	1261	1395	         [g]	         [h]	         [f]	5694	0	265	374	651	1290	1806	[g]	[h]	[g]	6175	         [a]	248	358	656	         [g]	1940	1266	         [h]	         [g]	6500	0	305	391	767	1463	2258	1249	4970	1530	7021	0	381	520	670	1571	2283	1663	5517	1504
712190	5	ann. pay.	100492	1020	5291	6894	11730	24935	27647	         (D)	         (D)	         (D)	118209	1277	5841	6197	12657	25972	34951	(D)	(D)	(D)	132830	         (D)	5916	6269	13271	         (D)	40203	39357	         (D)	         (D)	161604	8518	7333	7406	15903	39160	49862	44717	133739	27865	181963	1889	8249	11728	13971	35837	49283	54544	139664	42299
712190	5	rec.																																									609302	11306	41901	52977	43862	150046	128253	194080	472379	136923
713110	5	firms	846	256	190	106	86	638	154	32	824	22	608	175	134	70	76	455	107	27	589	19	633	182	130	82	75	469	117	29	615	18	611	145	153	76	80	454	115	26	595	16	675	209	160	74	70	513	118	27	658	17
713110	5	estab.	931	256	190	106	86	638	157	41	836	95	689	175	134	70	76	455	108	32	595	94	716	182	130	82	75	469	119	33	621	95	700	145	153	76	80	454	119	30	603	97	772	209	160	74	70	513	124	31	668	104
713110	5	empl.	114786	0	385	716	1144	2245	6036	4409	12690	102096	102099	0	294	478	1015	1787	4334	4377	10498	91601	102753	0	281	558	1076	1915	4887	4205	11007	91746	98816	0	322	529	1119	1970	4992	4252	11214	87602	94107	0	337	490	983	1810	5093	4218	11121	82986
713110	5	ann. pay.	1879963	12686	17626	22909	35840	89061	116039	80241	285341	1594622	1962744	18057	16243	20299	30864	85463	107231	87677	280371	1682373	2010721	13154	16856	16449	30239	76698	123725	89216	289639	1721082	2043643	7721	19770	15638	34554	77683	125672	98360	301715	1741928	1858356	16987	13865	17732	35192	83776	129041	92811	305628	1552728
713110	5	rec.																																									8101592	66408	57227	60297	122254	306186	407784	273008	986978	7114614
713120	5	firms	1561	299	514	299	206	1318	207	21	1546	15	1525	312	519	259	213	1303	189	18	1510	15	1434	274	507	242	193	1216	184	18	1418	16	1418	314	514	205	189	1222	162	19	1403	15	1582	367	558	245	189	1359	188	22	1569	13
713120	5	estab.	2581	299	516	299	219	1333	254	80	1667	914	2446	312	519	261	218	1310	242	81	1633	813	2163	274	507	246	200	1227	259	56	1542	621	2083	314	515	214	200	1243	200	56	1499	584	2220	367	560	249	194	1370	265	55	1690	530
713120	5	empl.	27817	0	1099	2019	2683	5801	7053	2609	15463	12354	25323	0	1155	1690	2908	5753	6801	2349	14903	10420	21256	0	1131	1612	2665	5408	6410	2245	14063	7193	20485	0	1126	1357	2478	4961	5970	2664	13595	6890	22437	0	1266	1616	2517	5399	6805	3071	15275	7162
713120	5	ann. pay.	276588	9365	20092	23408	26557	79422	66608	27418	173448	103140	303564	10841	20567	19781	30368	81557	85822	27202	194581	108983	266333	9613	21301	21272	28756	80942	59921	28987	169850	96483	270353	11335	21064	18774	29099	80272	59994	28181	168447	101906	291444	14895	24896	21600	26101	87492	70726	36507	194725	96719
713120	5	rec.																																									1202448	62253	110846	104549	112503	390151	237038	111993	739182	463266
713210	5	firms	520	76	75	69	40	260	95	100	455	65	472	62	60	56	44	222	89	95	406	66	460	38	63	56	38	195	96	99	390	70	486	54	69	46	45	214	93	106	413	73	465	39	58	45	43	185	92	112	389	76
713210	5	estab.	595	76	75	69	40	260	98	135	493	102	546	64	60	56	44	224	90	126	440	106	537	38	65	56	38	197	97	131	425	112	562	54	69	46	45	214	93	138	445	117	562	39	58	45	43	185	97	152	434	128
713210	5	empl.	119820	0	145	447	525	1117	4372	22649	28138	91682	128446	0	126	374	582	1082	4307	22169	27558	100888	150218	0	129	387	502	1018	4498	24093	29609	120609	156151	0	142	299	563	1004	4407	25420	30831	125320	163956	0	132	298	578	1008	4620	27185	32813	131143
713210	5	ann. pay.	2611157	8596	11378	11710	9707	41391	71551	422555	535497	2075660	3077079	20706	2830	5610	12903	42049	126601	451922	620572	2456507	3592162	15377	5014	5296	9080	34767	80645	538303	653715	2938447	4007402	29482	5911	6897	15416	57706	102815	599492	760013	3247389	4120898	26430	8189	5274	14590	54483	87772	607050	749305	3371593
713210	5	rec.																																									18687578	128219	50783	29654	49369	258025	462419	2675569	3396013	15291565
713290	5	firms	1665	194	501	348	288	1331	237	63	1631	34	1417	148	416	258	266	1088	215	77	1380	37	1366	148	412	232	259	1051	201	73	1325	41	1322	151	400	222	244	1017	196	68	1281	41	1372	151	401	248	270	1070	190	69	1329	43
713290	5	estab.	1931	194	503	355	290	1342	277	190	1809	122	1692	148	418	258	281	1105	254	198	1557	135	1654	148	414	238	269	1069	236	188	1493	161	1613	151	405	224	257	1037	228	180	1445	168	1662	153	403	249	275	1080	246	158	1484	178
713290	5	empl.	47101	0	1117	2368	3814	7299	8321	12009	27629	19472	50238	0	897	1746	3558	6201	7840	14113	28154	22084	52382	0	879	1540	3489	5908	7552	13726	27186	25196	59485	0	856	1480	3178	5514	7142	12778	25434	34051	57922	0	881	1647	3631	6159	6735	11747	24641	33281
713290	5	ann. pay.	862022	6031	17948	34759	40196	98934	123184	237870	459988	402034	1021464	5127	20552	28238	44666	98583	114919	295681	509183	512281	1164534	7186	16099	39310	41986	104581	109385	319809	533775	630759	1392224	5134	17841	20416	37656	81047	114920	311036	507003	885221	1383347	10862	20784	21254	41063	93963	121087	302056	517106	866241
713290	5	rec.																																									8220836	69924	142413	145893	331474	689704	755395	2222435	3667534	4553302
713910	5	firms	10986	1305	2745	1782	1607	7439	3043	413	10895	91	11003	1248	2778	1780	1613	7419	3065	428	10912	91	11058	1264	2622	1735	1677	7298	3187	484	10969	89	11020	1198	2864	1715	1596	7373	3077	480	10930	90	11011	1617	2554	1555	1558	7284	3165	471	10920	91
713910	5	estab.	11755	1305	2745	1786	1620	7456	3113	484	11053	702	11809	1252	2781	1784	1629	7446	3132	494	11072	737	11885	1265	2622	1738	1687	7312	3250	563	11125	760	11861	1198	2865	1719	1608	7390	3129	567	11086	775	11842	1618	2554	1562	1570	7304	3245	581	11130	712
713910	5	empl.	270260	0	6266	11989	22029	40284	138822	55296	234402	35858	280053	0	6286	12021	22157	40464	140228	57562	238254	41799	297876	0	5907	11697	23037	40641	145138	65439	251218	46658	295095	0	6343	11492	21849	39684	141803	66862	248349	46746	290041	0	5974	10421	21487	37882	146889	64260	249031	41010
713910	5	ann. pay.	5562133	70318	210220	281212	446843	1008593	2707417	1069820	4785830	776303	5816678	73085	226151	291239	460256	1050731	2825801	1177727	5054259	762419	6243095	64721	197748	270202	464157	996828	2965259	1361500	5323587	919508	6472021	72656	245117	303648	499401	1120822	3058883	1420629	5600334	871687	6590959	129425	226969	284080	499549	1140023	3273281	1396560	5809864	781095
713910	5	rec.																																									16857370	455115	733979	851738	1448114	3488946	7849824	3249565	14588335	2269035
713920	5	firms	367	32	54	42	40	168	71	95	334	33	365	31	64	33	34	162	76	94	332	33	358	31	66	37	39	173	70	85	328	30	372	38	63	35	41	177	72	90	339	33	344	24	68	34	35	161	66	84	311	33
713920	5	estab.	400	32	54	42	40	168	71	102	341	59	395	31	64	33	34	162	76	99	337	58	389	31	66	37	39	173	70	91	334	55	404	38	63	35	41	177	72	95	344	60	379	24	68	34	35	161	66	89	316	63
713920	5	empl.	55738	0	110	274	556	940	3117	20637	24694	31044	60097	0	129	227	473	829	3460	20229	24518	35579	56860	0	134	264	505	903	3233	19130	23266	33594	63906	0	116	245	581	942	3580	20281	24803	39103	63872	0	143	226	474	843	3152	18856	22851	41021
713920	5	ann. pay.	420948	675	1760	3038	3238	8711	18355	114977	142043	278905	425577	1451	1644	2401	3350	8846	19680	106616	135142	290435	452407	875	2108	3790	6831	13604	18837	119296	151737	300670	494642	1274	3151	2631	4772	11828	19868	119329	151025	343617	520891	616	2629	3057	5832	12134	20879	116060	149073	371818
713920	5	rec.																																									1675962	2174	12187	13262	19411	47034	60645	323551	431230	1244732
713930	5	firms	4136	676	2008	771	417	3872	215	31	4118	18	4076	606	1981	784	433	3804	225	28	4057	19	4038	603	1882	795	478	3758	239	22	4019	19	4021	595	1878	788	478	3739	236	24	3999	22	3906	710	1770	730	430	3640	215	31	3886	20
713930	5	estab.	4227	678	2008	772	427	3885	238	46	4169	58	4170	606	1982	786	444	3818	245	42	4105	65	4126	603	1883	797	490	3773	259	57	4089	37	4121	595	1882	790	487	3754	263	35	4052	69	4021	710	1773	736	441	3660	248	45	3953	68
713930	5	empl.	23167	0	4295	5043	5366	14704	6161	1363	22228	939	24016	0	4206	5146	5631	14983	6507	1158	22648	1368	24824	0	4137	5209	6254	15600	7392	1107	24099	725	24660	0	4046	5116	6229	15391	7030	1088	23509	1151	23047	0	3915	4722	5619	14256	6211	1462	21929	1118
713930	5	ann. pay.	564470	18299	105200	116901	127087	367487	150439	27685	545611	18859	599112	16818	106012	121624	136224	380678	164948	23480	569106	30006	640131	15042	103908	124982	159171	403103	191597	24034	618734	21397	674576	19538	108504	128953	159434	416429	188520	29927	634876	39700	675529	23841	109680	129822	157061	420404	178395	41049	639848	35681
713930	5	rec.																																									3289466	142109	589296	642458	743212	2117075	858349	161601	3137025	152441
713940	5	firms	20141	4310	6223	2955	2611	16099	3402	492	19993	148	20402	4245	6413	3062	2649	16369	3358	522	20249	153	20891	4405	6541	3074	2775	16795	3387	553	20735	156	21769	4690	6993	3122	2781	17586	3446	572	21604	165	22857	5313	6869	3481	2905	18568	3534	596	22698	159
713940	5	estab.	21942	4322	6228	2965	2639	16154	3735	917	20806	1136	22401	4253	6417	3070	2669	16409	3672	894	20975	1426	23003	4415	6544	3087	2802	16848	3673	960	21481	1522	24068	4699	7000	3137	2811	17647	3697	1043	22387	1681	25477	5313	6877	3490	2932	18612	3853	1103	23568	1909
713940	5	empl.	343556	0	13132	19907	35440	68479	132074	72153	272706	70850	357466	0	13467	20654	36430	70551	131875	75695	278121	79345	382808	0	13701	20584	38035	72320	134219	83638	290177	92631	399434	0	14734	20958	37837	73529	135928	85671	295128	104306	422294	0	14949	23101	39788	77838	137962	90146	305946	116348
713940	5	ann. pay.	3673968	117775	192888	207601	338533	856797	1236140	769068	2862005	811963	4035119	142033	221353	224536	366856	954778	1257202	860229	3072209	962910	4498973	125265	227745	244190	398490	995690	1335589	960845	3292124	1206849	4844349	139764	248443	252898	429608	1070713	1394436	1032628	3497777	1346572	5024407	144612	239145	276166	435014	1094937	1428453	1075656	3599046	1425361
713940	5	rec.																																									15036862	537334	998330	967585	1395179	3898428	3969112	2694755	10562295	4474567
713950	5	firms	4691	289	1082	847	1168	3386	1251	46	4683	8	4597	314	1091	835	1118	3358	1195	35	4588	9	4545	353	1060	769	1106	3288	1208	41	4537	8	4391	300	1021	764	1061	3146	1195	41	4382	9	4233	282	946	754	1035	3017	1163	43	4223	10
713950	5	estab.	5400	291	1083	849	1173	3396	1333	123	4852	548	5291	314	1092	835	1122	3363	1285	99	4747	544	5234	354	1060	770	1111	3295	1303	99	4697	537	5059	300	1021	765	1067	3153	1289	97	4539	520	4898	282	946	754	1040	3022	1251	108	4381	517
713950	5	empl.	86523	0	2555	5842	16168	24565	41288	5128	70981	15542	84241	0	2529	5695	15498	23722	39929	4376	68027	16214	87867	0	2415	5244	15146	22805	40662	5058	68525	19342	84562	0	2400	5208	14574	22182	39755	4587	66524	18038	81617	0	2230	5166	14347	21743	39288	4880	65911	15706
713950	5	ann. pay.	822107	8665	27483	48416	140935	225499	380573	51522	657594	164513	846650	10095	29966	52513	141857	234431	388859	50573	673863	172787	887757	12911	29335	49301	142095	233642	407582	59644	700868	186889	888712	8825	30248	52349	141233	232655	415881	60864	709400	179312	919348	10654	26414	50747	146187	234002	421831	69407	725240	194108
713950	5	rec.																																									3057184	48115	146369	207070	506020	907574	1320303	183000	2410877	646307
713990	5	firms	14151	3704	5982	2163	1313	13162	826	113	14101	50	14168	3323	6166	2232	1370	13091	899	121	14111	57	13894	3112	5972	2224	1417	12725	979	127	13831	63	14067	3163	6141	2177	1428	12909	979	122	14010	57	13207	3488	5244	2044	1335	12111	913	125	13149	58
713990	5	estab.	14656	3707	5987	2174	1343	13211	969	244	14424	232	14727	3325	6173	2245	1395	13138	1042	238	14418	309	14473	3115	5979	2238	1445	12777	1102	306	14185	288	14618	3166	6147	2193	1446	12952	1108	270	14330	288	13718	3490	5251	2052	1360	12153	1072	262	13487	231
713990	5	empl.	86474	0	12266	14223	17121	43610	26628	9999	80237	6237	93063	0	12612	14764	18039	45415	29526	10059	85000	8063	102354	0	12230	14651	18542	45423	33171	13449	92043	10311	102478	0	12587	14373	18924	45884	32834	12876	91594	10884	95246	0	10999	13468	17696	42163	30354	12122	84639	10607
713990	5	ann. pay.	1483276	107212	219676	215251	245998	788137	394114	190615	1372866	110410	1626207	104571	244213	233741	273382	855907	467228	171474	1494609	131598	1808225	94117	251131	231523	279296	856067	562716	205186	1623969	184256	1870067	91988	270841	231469	295308	889606	547492	241388	1678486	191581	1784278	103251	236608	238670	285570	864099	533263	208045	1605407	178871
713990	5	rec.																																									6865068	506553	1143621	1015817	1130381	3796372	1684981	663350	6144703	720365
721110	5	firms	35385	4839	10419	5220	6196	26674	6839	1449	34962	423	35408	4588	10581	5125	6460	26754	6846	1388	34988	420	35610	4589	10464	5201	6495	26749	7110	1344	35203	407	36185	4516	10753	5279	6758	27306	7167	1303	35776	409	36667	4832	10328	5756	6988	27904	7136	1246	36286	381
721110	5	estab.	44286	4843	10439	5267	6327	26876	7621	2526	37023	7263	44832	4597	10605	5167	6617	26986	7581	2444	37011	7821	45554	4599	10501	5248	6647	26995	7806	2488	37289	8265	45972	4535	10787	5335	6922	27579	7843	2419	37841	8131	46440	4833	10340	5794	7145	28112	7934	2608	38654	7786
721110	5	empl.	1343314	0	21934	35366	85548	142848	263736	248878	655462	687852	1364320	0	22330	34637	89847	146814	263242	237349	647405	716915	1378844	0	22230	35017	90241	147488	269873	232421	649782	729062	1377158	0	22990	35814	93832	152636	270785	226715	650136	727022	1312857	0	22658	38803	97685	159146	269124	214427	642697	670160
721110	5	ann. pay.	21906277	367087	300504	402049	939499	2009139	3275400	3809126	9093665	12812612	23289646	247914	340169	412764	1040732	2041579	3407579	3849856	9299014	13990632	25181023	484632	333401	434174	1064911	2317118	3623807	3978125	9919050	15261973	24806674	264135	357915	458697	1153514	2234261	3716942	3838552	9789755	15016919	24660984	266744	365535	504756	1224188	2361223	3862536	3870997	10094756	14566228
721110	5	rec.																																									89767226	1391154	2194249	2399614	5152622	11137639	14113189	11980741	37231569	52535657
721120	5	firms	201	14	12	6	11	43	36	39	118	83	188	12	9	7	12	40	26	42	108	80	185	13	11	11	6	41	32	40	113	72	194	10	16	15	13	54	34	41	129	65	218	20	28	15	15	78	31	41	150	68
721120	5	estab.	295	14	12	6	11	43	36	40	119	176	279	13	9	7	12	41	26	42	109	170	288	13	11	11	6	41	32	41	114	174	304	10	16	15	13	54	34	45	133	171	333	20	28	15	15	78	31	43	152	181
721120	5	empl.	291489	0	26	45	146	217	1815	10104	12136	279353	298890	0	18	50	161	229	1346	10591	12166	286724	311576	0	26	81	80	187	1541	10567	12295	299281	296839	0	34	101	182	317	1471	10317	12105	284734	301909	0	60	103	209	372	1511	9917	11800	290109
721120	5	ann. pay.	6928844	21138	1042	408	5208	27796	35212	169095	232103	6696741	7635321	5711	242	1724	1653	9330	27616	278793	315739	7319582	8142986	4674	561	2905	796	8936	28510	187490	224936	7918050	7837147	1004	9588	2654	5049	18295	34913	219176	272384	7564763	7886229	15003	1614	3885	2211	22713	22293	199422	244428	7641801
721120	5	rec.																																									26088854	59606	10855	9280	8439	88180	76872	608989	774041	25314813
721191	5	firms	3045	584	1444	502	313	2843	183	13	3039	6	2977	516	1415	493	337	2761	201	10	2972	5	2976	541	1370	497	338	2746	210	14	2970	6	3019	521	1424	492	348	2785	214	15	3014	5	3293	682	1563	498	332	3075	193	20	3288	5
721191	5	estab.	3068	584	1446	502	318	2850	186	23	3059	9	3000	516	1415	493	342	2766	206	20	2992	8	2999	541	1370	497	343	2751	215	24	2990	9	3042	521	1424	493	350	2788	218	28	3034	8	3325	682	1563	498	337	3080	196	41	3317	8
721191	5	empl.	17001	0	2856	3274	4056	10186	5560	         [f]	         [j]	         [f]	18172	0	2847	3191	4433	10471	6320	854	17645	527	19029	0	2740	3290	4464	10494	6599	         [g]	         [j]	         [e]	19665	0	2830	3212	4628	10670	6689	         [g]	         [j]	         [f]	19454	0	3191	3189	4336	10716	5990	         [g]	         [j]	         [g]
721191	5	ann. pay.	208256	13135	31914	34689	44430	124168	66677	         (D)	         (D)	         (D)	228807	10674	34161	35849	48556	129240	79707	12775	221722	7085	253829	11332	33491	37899	53681	136403	85317	         (D)	         (D)	         (D)	265061	10223	35901	37548	56808	140480	89305	         (D)	         (D)	         (D)	264284	12769	38581	40241	54046	145637	81842	         (D)	         (D)	         (D)
721191	5	rec.																																									991314	80538	216030	158507	191887	646962	239302	         (D)	         (D)	         (D)
721199	5	firms	840	276	373	101	58	808	21	8	837	3	833	281	364	95	59	799	24	7	830	3	876	284	382	113	58	837	31	6	874	2	874	236	423	107	67	833	32	7	872	2	1413	403	660	208	81	1352	49	9	1410	3
721199	5	estab.	859	276	373	101	59	809	27	13	849	10	851	281	364	95	60	800	30	11	841	10	895	284	382	113	59	838	37	11	886	9	888	236	423	107	68	834	40	11	885	3	1433	403	661	208	81	1353	62	14	1429	4
721199	5	empl.	4102	0	720	651	739	2110	793	         [f]	         [h]	         [e]	4100	0	721	611	752	2084	984	605	3673	427	4621	0	727	703	737	2167	1269	         [f]	         [h]	         [e]	4661	0	823	679	857	2359	1233	         [f]	         [h]	         [f]	7847	0	1407	1323	1060	3790	1767	         [g]	         [i]	         [g]
721199	5	ann. pay.	65243	7673	10066	8270	11483	37492	9128	         (D)	         (D)	         (D)	66621	5480	11222	9580	10751	37033	14355	8782	60170	6451	83117	7246	11826	10336	11220	40628	22965	         (D)	         (D)	         (D)	77245	5152	14264	8904	12273	40593	19650	         (D)	         (D)	         (D)	156870	8681	26181	22562	16459	73883	27411	         (D)	         (D)	         (D)
721199	5	rec.																																									566932	51233	135747	100713	62884	350577	89421	         (D)	         (D)	         (D)
721211	5	firms	3809	1078	1761	547	252	3638	139	19	3796	13	3615	971	1695	538	232	3436	145	20	3601	14	3526	917	1648	550	226	3341	151	20	3512	14	3578	935	1712	509	242	3398	143	24	3565	13	3823	1118	1738	543	234	3633	154	23	3810	13
721211	5	estab.	3989	1078	1763	549	260	3650	194	44	3888	101	3783	972	1696	542	239	3449	182	36	3667	116	3691	919	1648	554	231	3352	185	39	3576	115	3750	935	1714	513	246	3408	180	43	3631	119	4063	1118	1742	548	246	3654	226	65	3945	118
721211	5	empl.	17171	0	3630	3542	3152	10324	4239	928	15491	1680	17467	0	3488	3499	2991	9978	4294	943	15215	2252	17683	0	3393	3528	2796	9717	4591	1079	15387	2296	17844	0	3543	3289	3009	9841	4309	1507	15657	2187	18073	0	3562	3485	2990	10037	4429	1555	16021	2052
721211	5	ann. pay.	315542	22078	66834	55992	49960	194864	66635	19059	280558	34984	325675	19960	68026	57255	46462	191703	76905	15932	284540	41135	333909	19255	66180	58837	46428	190700	82213	18068	290981	42928	350570	20063	72935	57681	51591	202270	77900	25504	305674	44896	371121	27679	72550	64548	58402	223179	82334	26458	331971	39150
721211	5	rec.																																									1740039	184487	406102	336680	236625	1163894	324154	109125	1597173	142866
721214	5	firms	3206	877	1185	426	275	2763	302	94	3159	47	3108	793	1173	418	280	2664	313	85	3062	46	3045	728	1155	412	293	2588	315	93	2996	49	3008	672	1138	427	317	2554	306	94	2954	54	2961	698	1057	439	286	2480	326	99	2905	56
721214	5	estab.	3441	877	1189	430	300	2796	438	120	3354	87	3340	793	1177	423	299	2692	453	112	3257	83	3284	728	1159	417	316	2620	441	136	3197	87	3250	672	1139	430	345	2586	437	132	3155	95	3217	702	1058	443	303	2506	465	147	3118	99
721214	5	empl.	18959	0	2329	2683	3003	8015	5560	2009	15584	3375	19650	0	2374	2602	3140	8116	5978	2092	16186	3464	20424	0	2335	2656	3341	8332	6095	2481	16908	3516	20975	0	2265	2730	3688	8683	6207	2530	17420	3555	20980	0	2180	2810	3327	8317	6231	2761	17309	3671
721214	5	ann. pay.	436788	25754	80452	72879	62924	242009	99986	32188	374183	62605	470808	24730	83464	76480	71099	255773	117186	33069	406028	64780	509010	24141	87810	75649	78375	265975	120740	45544	432259	76751	550404	25216	94290	79783	91662	290951	125453	52253	468657	81747	568943	26865	87176	89887	82633	286561	133306	61580	481447	87496
721214	5	rec.																																									1855788	150668	351571	313030	251980	1067249	389263	163811	1620323	235465
721310	5	firms	3314	218	2153	546	271	3188	92	26	3306	8	3125	202	2007	537	261	3007	90	22	3119	6	3079	257	1876	533	277	2943	106	20	3069	10	2926	202	1788	527	261	2778	117	18	2913	13	2897	188	1796	505	266	2755	107	21	2883	14
721310	5	estab.	3393	218	2153	554	279	3204	110	60	3374	19	3193	202	2007	544	271	3024	97	55	3176	17	3140	257	1879	538	283	2957	116	39	3112	28	2990	213	1788	536	265	2802	127	44	2973	17	2984	188	1796	519	273	2776	143	44	2963	21
721310	5	empl.	15992	0	4094	3550	3426	11070	2934	1580	15584	408	15135	0	3815	3536	3369	10720	2859	1056	14635	500	15605	0	3467	3479	3565	10511	3324	1015	14850	755	15640	0	3347	3472	3367	10186	3733	1036	14955	685	15581	0	3367	3354	3410	10131	3476	1467	15074	507
721310	5	ann. pay.	177064	3948	44437	33409	30273	112067	36036	18488	166591	10473	183524	3100	43544	35598	31637	113879	40230	17920	172029	11495	204367	6312	41632	34778	39633	122355	48595	18369	189319	15048	209104	4278	41393	36651	35219	117541	57072	16366	190979	18125	217099	3919	44487	37346	35866	121618	54649	31322	207589	9510
721310	5	rec.																																									1495454	32265	308555	173023	134465	648308	743870	69903	1462081	33373
722110	5	firms	166666	23078	38247	32211	32112	125648	37795	2632	166075	591	163897	19513	39483	32001	31842	122839	37850	2603	163292	605	165128	20969	38982	31718	31672	123341	38427	2735	164503	625	165621	21195	39348	31920	31221	123684	38549	2751	164984	637	170651	22780	38325	33562	32820	127487	39791	2721	169999	652
722110	5	estab.	193140	23141	38277	32270	32313	126001	40004	6494	172499	20641	190788	19618	39514	32080	32091	123303	39917	6330	169550	21238	192342	21016	39024	31803	31883	123726	40466	6420	170612	21730	193262	21273	39386	32007	31470	124136	40416	6468	171020	22242	198531	22836	38348	33609	32967	127760	41869	6768	176397	22134
722110	5	empl.	3703453	0	93627	218349	442205	754181	1417597	392287	2564065	1139388	3788062	0	96084	217019	438976	752079	1429557	395446	2577082	1210980	3897123	0	94969	214724	436747	746440	1461631	420141	2628212	1268911	3963258	0	95555	216347	430583	742485	1470301	428304	2641090	1322168	4000075	0	96708	226163	453209	776080	1509540	420866	2706486	1293589
722110	5	ann. pay.	40642096	1056657	993656	1982432	4152089	8184834	15566671	4625575	28377080	12265016	43410899	987862	1106118	2077143	4325589	8496712	16309627	4782489	29588828	13822071	46707000	1041402	1099160	2159323	4491721	8791606	17308393	5353782	31453781	15253219	48702432	1079364	1198095	2263900	4595562	9136921	17814415	5556674	32508010	16194422	49674450	1253863	1190538	2408255	4975572	9828228	18701273	5293807	33823308	15851142
722110	5	rec.																																									148212500	4279151	5603984	9719326	16380041	35982502	49973387	14484571	100440460	47772040
722211	5	firms	106960	13119	33278	20331	17686	84414	18471	3470	106355	605	104358	12116	32319	19657	17496	81588	18612	3524	103724	634	103786	12689	31280	19372	17175	80516	18990	3606	103112	674	106615	13913	32067	19754	17303	83037	19268	3622	105927	688	111551	14627	33768	20888	18133	87416	19840	3590	110846	705
722211	5	estab.	172766	13375	33333	20475	18381	85564	26660	19899	132123	40643	170421	12360	32410	19840	18247	82857	26275	20071	129203	41218	170565	12891	31376	19577	17868	81712	26141	20093	127946	42619	173753	14052	32137	19958	17930	84077	25951	20952	130980	42773	180764	14731	33825	21001	18636	88193	27758	21952	137903	42861
722211	5	empl.	2896895	0	77732	136631	240217	454580	702081	621465	1778126	1118769	2924617	0	75670	131941	237727	445338	711072	634562	1790972	1133645	2967916	0	73489	130313	233813	437615	728435	653406	1819456	1148460	2997206	0	75311	132512	235541	443364	732975	668775	1845114	1152092	3042258	0	80425	139582	247557	467564	752712	661144	1881420	1160838
722211	5	ann. pay.	26071622	440103	810011	1205367	2035062	4490543	6065948	5338532	15895023	10176599	27467717	402635	826637	1206480	2106414	4542166	6428220	5769596	16739982	10727735	28851835	395053	828439	1255058	2145348	4623898	6752417	6141544	17517859	11333976	30134048	447276	893303	1320803	2250689	4912071	7027897	6392613	18332581	11801467	31230656	514355	933840	1420978	2413811	5282984	7303508	6432133	19018625	12212031
722211	5	rec.																																									116311201	2198325	4797185	6136421	9120438	22252369	25481156	24090122	71823647	44487554
722212	5	firms	3497	417	1303	716	457	2893	441	104	3438	59	3247	462	1274	634	427	2797	339	66	3202	45	3209	440	1243	670	405	2758	347	61	3166	43	3529	614	1336	727	403	3080	349	53	3482	47	4151	735	1585	895	473	3688	350	66	4104	47
722212	5	estab.	4789	418	1303	720	465	2906	545	335	3786	1003	4250	462	1277	637	437	2813	412	166	3391	859	4199	440	1244	679	413	2776	422	160	3358	841	4464	619	1338	731	411	3099	417	120	3636	828	5046	738	1587	899	478	3702	394	149	4245	801
722212	5	empl.	85864	0	3026	4663	6082	13771	15578	11435	40784	45080	74269	0	3035	4167	5685	12887	11719	6325	30931	43338	69911	0	2928	4391	5373	12692	12127	5983	30802	39109	69512	0	3220	4789	5416	13425	12157	4899	30481	39031	68996	0	3918	5756	6385	16059	12133	6134	34326	34670
722212	5	ann. pay.	991890	10985	29646	46105	62494	149230	160708	117289	427227	564663	870665	12519	32104	39899	60426	144948	123020	70350	338318	532347	874667	8699	32370	43930	59647	144646	131161	76375	352182	522485	890270	18808	36850	49533	58976	164167	132971	60069	357207	533063	888638	23377	41706	61086	71767	197936	132660	74461	405057	483581
722212	5	rec.																																									2854839	95764	209502	267160	268007	840433	408146	213598	1462177	1392662
722213	5	firms	29100	5840	9017	6335	4919	26111	2722	191	29024	76	29044	5463	9082	6163	5012	25720	3037	210	28967	77	29212	5589	9087	6132	4919	25727	3175	233	29135	77	29152	5663	9148	6117	4818	25746	3080	250	29076	76	28345	6141	8272	6101	4670	25184	2835	236	28255	90
722213	5	estab.	36088	5858	9045	6377	5244	26524	4249	1185	31958	4130	36249	5495	9109	6232	5329	26165	4443	1218	31826	4423	36131	5607	9128	6218	5183	26136	4464	1089	31689	4442	37576	5677	9185	6205	5080	26147	4218	1204	31569	6007	37006	6155	8289	6145	4852	25441	4275	1308	31024	5982
722213	5	empl.	295075	0	20729	42780	65452	128961	86147	21751	236859	58216	319663	0	20894	41417	66547	128858	97290	23536	249684	69979	347651	0	20811	41508	65828	128147	104839	25273	258259	89392	340616	0	21063	41193	64549	126805	101807	28152	256764	83852	351873	0	19311	40885	62299	122495	92347	26974	241816	110057
722213	5	ann. pay.	2807716	130956	200582	335785	525529	1192852	791201	219901	2203954	603762	3136702	126135	214820	345145	568589	1254689	934716	248639	2438044	698658	3727730	131195	222595	364995	581345	1300130	1019110	291787	2611027	1116703	3764974	127728	235145	385607	596617	1345097	1046547	323689	2715333	1049641	3813460	140854	211634	371802	587891	1312181	955195	326032	2593408	1220052
722213	5	rec.																																									14655131	618158	1156553	1579092	2110229	5464032	3082889	1113429	9660350	4994781
722310	5	firms	2590	479	801	405	305	1990	358	149	2497	93	2558	406	804	424	342	1976	350	138	2464	94	2506	343	773	444	340	1900	373	136	2409	97	2491	384	776	411	317	1888	380	128	2396	95	2202	373	695	373	228	1669	299	138	2106	96
722310	5	estab.	15905	480	814	410	342	2046	591	1233	3870	12035	16455	408	840	451	373	2072	533	1148	3753	12702	16894	348	790	474	353	1965	536	1185	3686	13208	17330	384	778	426	348	1936	565	1134	3635	13695	20004	383	695	386	264	1728	454	1072	3254	16750
722310	5	empl.	358851	0	1814	2718	4103	8635	13625	24814	47074	311777	356731	0	1860	2805	4602	9267	12650	23426	45343	311388	377485	0	1768	2950	4461	9179	13419	23070	45668	331817	384642	0	1759	2743	4250	8752	14017	21323	44092	340550	415991	0	1536	2499	3050	7085	10844	21397	39326	376665
722310	5	ann. pay.	4793388	12615	21272	30301	43183	107371	170503	336684	614558	4178830	5187039	13970	24309	31904	52931	123114	171769	340679	635562	4551477	5632030	10862	21523	36728	48716	117829	187524	338834	644187	4987843	5771381	11510	23115	35005	48425	118055	203414	335832	657301	5114080	5910258	18804	23411	34749	39455	116419	159719	367544	643682	5266576
722310	5	rec.																																									20650581	70668	142280	139913	150398	503259	476373	1272389	2252021	18398560
722320	5	firms	7244	1562	2425	1229	883	6099	956	155	7210	34	8017	1514	2682	1414	1045	6655	1151	171	7977	40	8574	1585	2903	1412	1216	7116	1227	189	8532	42	8927	1555	3119	1517	1218	7409	1290	185	8884	43	8461	1555	2844	1481	1110	6990	1243	186	8419	42
722320	5	estab.	7350	1563	2425	1230	887	6105	996	192	7293	57	8171	1514	2683	1417	1051	6665	1202	237	8104	67	8714	1585	2903	1415	1220	7123	1270	231	8624	90	9058	1556	3119	1518	1225	7418	1325	229	8972	86	8629	1556	2847	1482	1112	6997	1289	255	8541	88
722320	5	empl.	84724	0	5234	8194	11826	25254	36535	19544	81333	3391	99295	0	5708	9440	14346	29494	44175	22365	96034	3261	108616	0	6289	9427	16550	32266	46792	24810	103868	4748	113461	0	6799	10201	16478	33478	49840	23639	106957	6504	110988	0	6188	9891	15140	31219	48290	26115	105624	5364
722320	5	ann. pay.	1058085	41213	72784	92468	133894	340359	435767	241759	1017885	40200	1292951	47462	82268	109619	170701	410050	553508	280317	1243875	49076	1470192	46778	89527	119243	204549	460097	601410	339587	1401094	69098	1543126	43901	100523	127548	210662	482634	644538	338644	1465816	77310	1560690	46352	96483	129033	201634	473502	634236	360170	1467908	92782
722320	5	rec.																																									4923881	212787	492316	524835	703183	1933121	1781506	958414	4673041	250840
722330	5	firms	2399	702	1111	283	155	2251	122	16	2389	10	2662	970	1078	303	168	2519	119	15	2653	9	3006	994	1227	389	227	2837	147	14	2998	8	2845	877	1206	380	212	2675	147	16	2838	7	2574	847	1088	299	189	2423	128	17	2568	6
722330	5	estab.	2531	711	1112	283	163	2269	150	53	2472	59	2787	970	1078	311	181	2540	138	51	2729	58	3137	998	1227	393	232	2850	170	49	3069	68	2957	877	1206	382	234	2699	180	21	2900	57	2691	847	1088	304	196	2435	182	21	2638	53
722330	5	empl.	13540	0	2107	1819	2036	5962	4395	768	11125	2415	12812	0	2106	1972	2218	6296	4040	1359	11695	1117	15819	0	2426	2561	2996	7983	5129	1597	14709	1110	15659	0	2376	2455	2818	7649	4772	1164	13585	2074	14151	0	2125	1944	2416	6485	4154	1355	11994	2157
722330	5	ann. pay.	220733	11798	30595	21945	24504	88842	65509	12686	167037	53696	220520	18302	32019	25374	28014	103709	60337	25544	189590	30930	264837	21492	35162	30787	33701	121142	74570	30608	226320	38517	261939	17670	36947	30788	34851	120256	71881	22258	214395	47544	226690	15662	31505	23538	31357	102062	66474	22358	190894	35796
722330	5	rec.																																									1188332	91734	194220	120408	149465	555827	318617	124919	999363	188969
722410	5	firms	52230	5679	27967	10693	4677	49016	3009	158	52183	47	50714	5361	26620	10637	4779	47397	3111	166	50674	40	50091	5630	25685	10407	4939	46661	3235	153	50049	42	49483	5595	24849	10491	5003	45938	3338	163	49439	44	50195	5645	24732	10987	5072	46436	3556	160	50152	43
722410	5	estab.	52665	5681	27975	10727	4763	49146	3157	236	52539	126	51177	5365	26629	10673	4866	47533	3234	263	51030	147	50578	5635	25697	10442	5015	46789	3359	219	50367	211	49973	5596	24861	10533	5077	46067	3449	299	49815	158	50683	5647	24741	11005	5133	46526	3685	244	50455	228
722410	5	empl.	320230	0	63580	68825	61524	193929	101375	19009	314313	5917	324824	0	60468	68661	63328	192457	106916	20560	319933	4891	328620	0	58634	67347	65586	191567	110292	19167	321026	7594	335165	0	56885	67757	66785	191427	114791	21435	327653	7512	347842	0	57852	70595	67306	195753	121694	20134	337581	10261
722410	5	ann. pay.	2971730	132825	575070	566907	522123	1796925	943210	178770	2918905	52825	3138070	117934	578619	587637	555538	1839728	1033232	213964	3086924	51146	3345304	133999	576598	606797	607280	1924674	1121326	216875	3262875	82429	3485547	130801	585055	624374	633021	1973251	1197418	242759	3413428	72119	3680423	151526	589042	665181	651936	2057685	1289873	230087	3577645	102778
722410	5	rec.																																									15414170	771470	3596363	3106935	2593129	10067897	4302381	691553	15061831	352339
811111	5	firms	76137	7866	48529	14353	4058	74806	1094	154	76054	83	75919	7269	48268	14817	4170	74524	1165	151	75840	79	75807	7271	47630	15142	4340	74383	1184	160	75727	80	76264	7360	47737	15333	4414	74844	1178	162	76184	80	77556	7315	49113	15291	4398	76117	1200	166	77483	73
811111	5	estab.	78818	7867	48539	14418	4214	75038	1511	517	77066	1752	78394	7294	48294	14879	4302	74769	1560	480	76809	1585	78191	7571	47643	15202	4469	74885	1582	488	76955	1236	78673	7367	47755	15398	4548	75068	1510	556	77134	1539	80418	7317	49125	15349	4659	76450	1755	529	78734	1684
811111	5	empl.	296447	0	104603	90688	50502	245793	29519	8066	283378	13069	304208	0	104394	93849	51896	250139	31683	8711	290533	13675	309705	0	104329	96032	54020	254381	33230	10305	297916	11789	314281	0	104062	97160	55266	256488	33202	10951	300641	13640	319181	0	108225	96878	55099	260202	32998	10459	303659	15522
811111	5	ann. pay.	6974937	164541	2047065	2077783	1262837	5552226	796093	253268	6601587	373350	7375223	186642	2130195	2222640	1335052	5874529	857334	287696	7019559	355664	7843695	195231	2173064	2348040	1425272	6141607	917998	362285	7421890	421805	8194658	189842	2273222	2460029	1488083	6411176	953823	360557	7725556	469102	8476979	187020	2385306	2543605	1546577	6662508	977616	346880	7987004	489975
811111	5	rec.																																									32652413	1016937	11394489	8848694	5136948	26397068	3602681	1155718	31155467	1496946
811112	5	firms	4024	280	2297	1013	285	3875	137	7	4019	5	3961	225	2318	971	290	3804	144	8	3956	5	3752	211	2231	904	258	3604	135	9	3748	4	3669	224	2134	913	256	3527	127	10	3664	5	3609	241	2079	909	256	3485	110	7	3602	7
811112	5	estab.	5058	285	2301	1060	428	4074	477	166	4717	341	5098	225	2329	1024	442	4020	518	213	4751	347	4781	421	2247	961	396	4025	488	209	4722	59	4741	233	2159	966	390	3748	457	175	4380	361	4473	241	2082	960	383	3666	425	161	4252	221
811112	5	empl.	21922	0	5493	6404	3487	15384	3880	         [f]	         [j]	         [g]	21863	0	5438	6139	3508	15085	4020	[g]	[j]	[g]	19412	0	5324	5784	3080	14188	3831	         [g]	         [j]	         [e]	19915	0	4974	5778	3091	13843	3598	         [f]	         [j]	         [g]	19003	0	4872	5788	3060	13720	         [h]	         [f]	17666	1337
811112	5	ann. pay.	527687	6162	110950	147412	85957	350481	104746	         (D)	         (D)	         (D)	537672	4419	113786	144210	85955	348370	116024	(D)	(D)	(D)	507702	24000	114662	138846	75441	352949	113218	         (D)	         (D)	         (D)	527341	5595	109706	144940	77328	337569	115910	         (D)	         (D)	         (D)	493108	6953	105365	147786	78569	338673	         (D)	         (D)	452837	40271
811112	5	rec.																																									1714007	30092	446906	489243	253847	1220088	         (D)	         (D)	1590393	123614
811113	5	firms	6653	588	3564	1935	458	6545	102	4	6651	2	6497	462	3510	1924	492	6388	102	5	6495	2	6510	571	3414	1925	490	6400	104	5	6509	1	6488	515	3454	1906	507	6382	100	4	6486	2	6393	495	3542	1793	460	6290	99	1	6390	3
811113	5	estab.	6824	588	3567	1957	510	6622	181	18	6821	3	6676	464	3515	1942	551	6472	180	21	6673	3	6673	572	3420	1944	542	6478	173	21	6672	1	6646	515	3456	1923	565	6459	165	20	6644	2	6522	495	3545	1813	515	6368	150	1	6519	3
811113	5	empl.	29656	0	8603	12430	5614	26647	2886	         [b]	         [k]	         [b]	30013	0	8453	12350	6021	26824	2757	[e]	[k]	[b]	29820	0	8286	12427	6046	26759	2762	         [e]	         [k]	         [b]	29832	0	8360	12217	6263	26840	2698	         [e]	         [k]	         [b]	28179	0	8493	11437	5643	25573	         [h]	         [a]	28134	45
811113	5	ann. pay.	760332	15385	186087	319606	154117	675195	81007	         (D)	         (D)	         (D)	792296	13909	188217	329104	174867	706097	81362	(D)	(D)	(D)	814475	17563	187215	338708	176321	719807	83859	         (D)	         (D)	         (D)	827555	13494	195204	341862	184008	734568	82976	         (D)	         (D)	         (D)	799500	14962	206085	328233	169892	719172	         (D)	         (D)	797741	1759
811113	5	rec.																																									2609122	62560	844016	999055	471616	2377247	         (D)	         (D)	2603599	5523
811118	5	firms	8657	553	5192	1900	666	8311	298	28	8637	20	8152	401	4937	1817	689	7844	267	24	8135	17	7696	409	4629	1734	625	7397	264	20	7681	15	7400	422	4450	1620	608	7100	267	20	7387	13	6991	378	4268	1486	591	6723	233	19	6975	16
811118	5	estab.	9611	563	5203	1928	771	8465	673	270	9408	203	9127	407	4944	1850	787	7988	601	342	8931	196	8654	413	4637	1772	710	7532	567	321	8420	234	8301	428	4468	1652	680	7228	541	286	8055	246	7892	379	4275	1515	685	6854	522	275	7651	241
811118	5	empl.	44703	0	11452	12137	8590	32179	8434	2756	43369	1334	41708	0	10903	11565	8735	31203	7350	2016	40569	1139	39888	0	10291	11010	7859	29160	7288	1785	38233	1655	38937	0	9791	10283	7691	27765	7441	1797	37003	1934	36550	0	9646	9583	7325	26554	6474	1642	34670	1880
811118	5	ann. pay.	1067670	11236	226612	278937	222514	739299	228149	70284	1037732	29938	1019179	9595	222647	269662	224512	726416	208544	46791	981751	37428	1008875	9055	214911	264141	210796	698903	215789	44094	958786	50089	1020574	11206	214729	256474	205503	687912	216901	50204	955017	65557	986185	9358	214532	248050	206538	678478	196097	43232	917807	68378
811118	5	rec.																																									3361203	47372	910448	829647	662732	2450199	592813	144302	3187314	173889
811121	5	firms	35031	2982	17512	8285	4572	33351	1537	110	34998	33	34145	2675	17028	8081	4660	32444	1552	107	34103	42	34268	2892	16723	8099	4731	32445	1675	100	34220	48	33893	2745	16467	7910	4834	31956	1782	105	33843	50	33559	2735	16461	7515	4928	31639	1756	113	33508	51
811121	5	estab.	35823	2986	17514	8307	4644	33451	1811	316	35578	245	35037	2679	17031	8100	4737	32547	1794	281	34622	415	35188	2895	16724	8128	4794	32541	1921	260	34722	466	34786	2747	16471	7932	4897	32047	2018	247	34312	474	34598	2735	16462	7531	5026	31754	2096	289	34139	459
811121	5	empl.	206837	0	38447	54875	59614	152936	42392	8291	203619	3218	209140	0	37505	53400	60932	151837	43327	7256	202420	6720	215798	0	36735	53435	62134	152304	47392	6690	206386	9412	220925	0	36038	52227	63048	151313	51300	7395	210008	10917	219876	0	36407	49928	64727	151062	50330	8195	209587	10289
811121	5	ann. pay.	5559416	91585	770930	1340360	1690388	3893263	1290383	281283	5464929	94487	5910276	80695	789360	1365224	1802879	4038158	1379394	259155	5676707	233569	6340092	87960	786614	1400076	1886910	4161560	1590207	248835	6000602	339490	6745343	88089	805282	1409432	2005903	4308706	1748523	278785	6336014	409329	6942603	100294	829451	1394465	2091150	4415360	1802973	326237	6544570	398033
811121	5	rec.																																									22451953	434109	3667367	4680347	6259044	15040867	5234232	1077857	21352956	1098997
811122	5	firms	3734	397	2051	757	300	3505	192	28	3725	9	3711	351	2035	790	304	3480	198	21	3699	12	3787	401	2061	792	315	3569	181	25	3775	12	3978	451	2137	844	322	3754	183	30	3967	11	4453	570	2452	854	345	4221	190	31	4442	11
811122	5	estab.	6181	397	2051	770	363	3581	458	334	4373	1808	5924	352	2038	806	358	3554	480	201	4235	1689	5893	401	2064	806	391	3662	375	254	4291	1602	6062	451	2142	856	396	3845	409	273	4527	1535	6800	570	2458	875	431	4334	489	345	5168	1632
811122	5	empl.	30342	0	4483	4859	3761	13103	6046	2819	21968	8374	30678	0	4430	5030	3905	13365	6186	1902	21453	9225	30739	0	4518	5030	4090	13638	5929	2612	22179	8560	32058	0	4618	5417	4196	14231	6126	3544	23901	8157	32684	0	5380	5460	4431	15271	6232	3237	24740	7944
811122	5	ann. pay.	877535	9322	94365	113784	104075	321546	186868	95263	603677	273858	906296	8884	97491	120134	105856	332365	192755	58113	583233	323063	909887	9723	99195	125162	118993	353073	183493	79666	616232	293655	980414	13377	107514	137174	122944	381009	196009	115920	692938	287476	1005418	15444	118891	139635	130358	404328	191094	115779	711201	294217
811122	5	rec.																																									3786605	90740	578134	500917	418867	1588658	629073	418032	2635763	1150842
811191	5	firms	4522	568	1401	1288	770	4027	410	69	4506	16	4527	552	1455	1233	768	4008	419	83	4510	17	4554	541	1470	1226	777	4014	437	88	4539	15	4525	541	1488	1207	767	4003	412	91	4506	19	4466	494	1434	1192	819	3939	405	104	4448	18
811191	5	estab.	7701	591	1403	1298	849	4141	1057	687	5885	1816	7813	590	1458	1244	839	4131	1053	1082	6266	1547	7703	547	1479	1243	839	4108	1027	1230	6365	1338	7677	584	1498	1221	835	4138	971	1204	6313	1364	7890	498	1435	1198	948	4079	1113	1266	6458	1432
811191	5	empl.	59732	0	3281	8697	9909	21887	13436	6078	41401	18331	59786	0	3457	8387	9983	21827	13986	9331	45144	14642	60377	0	3420	8289	10051	21760	14834	10110	46704	13673	61754	0	3593	8094	9919	21606	14176	11352	47134	14620	63290	0	3549	7882	10702	22133	13195	12964	48292	14998
811191	5	ann. pay.	881869	22330	50137	132088	148755	353310	204662	92676	650648	231221	931667	19006	56709	131694	154989	362398	215810	155210	733418	198249	1032563	15164	57273	135847	158439	366723	244018	178261	789002	243561	1007530	23528	63243	139440	165403	391614	234141	190647	816402	191128	1093091	17437	66350	136311	193415	413513	225886	224130	863529	229562
811191	5	rec.																																									3834424	67226	287814	479838	634920	1469798	740625	803827	3014250	820174
811192	5	firms	12804	1915	5812	2011	1348	11086	1546	148	12780	24	12713	1742	5832	2054	1356	10984	1555	145	12684	29	12970	1830	5874	2057	1453	11214	1576	150	12940	30	12942	1728	5924	2028	1487	11167	1587	154	12908	34	12158	1634	5238	2017	1479	10368	1607	149	12124	34
811192	5	estab.	13875	1929	5834	2080	1508	11351	1869	457	13677	198	13882	1751	5864	2113	1516	11244	1885	437	13566	316	14112	1855	5902	2101	1586	11444	1886	454	13784	328	14134	1729	5959	2100	1631	11419	1885	471	13775	359	13497	1634	5256	2076	1649	10615	2029	493	13137	360
811192	5	empl.	120905	0	12151	13156	17958	43265	54726	16443	114434	6471	125905	0	12105	13392	18345	43842	54923	15955	114720	11185	130248	0	12260	13402	19612	45274	55321	17463	118058	12190	133783	0	12258	13220	19922	45400	57099	17847	120346	13437	131863	0	11189	13167	19719	44075	57763	16589	118427	13436
811192	5	ann. pay.	1350616	44397	151544	149874	206112	551927	539506	170795	1262228	88388	1510625	46021	163112	163648	226514	599295	570346	176887	1346528	164097	1618415	47407	173360	172529	245704	639000	601730	198113	1438843	179572	1703613	43943	183463	180396	260743	668545	645792	202935	1517272	186341	1705758	46146	157566	177894	258924	640530	681369	201032	1522931	182827
811192	5	rec.																																									5351378	196662	821408	646934	805714	2470718	1801573	572829	4845120	506258
811198	5	firms	2626	351	1546	438	175	2510	81	18	2609	17	2482	314	1454	423	171	2362	75	27	2464	18	2456	289	1395	454	188	2326	86	22	2434	22	2509	295	1473	448	176	2392	77	19	2488	21	2525	369	1447	429	168	2413	72	19	2504	21
811198	5	estab.	3010	351	1546	441	192	2530	142	80	2752	258	2947	316	1454	429	185	2384	118	112	2614	333	2921	293	1396	458	204	2351	131	101	2583	338	2931	295	1475	455	191	2416	132	90	2638	293	2959	369	1448	436	182	2435	126	110	2671	288
811198	5	empl.	18178	0	3186	2820	2239	8245	2572	1326	12143	6035	19305	0	2968	2723	2161	7852	2523	1885	12260	7045	19971	0	2893	2858	2367	8118	2779	2231	13128	6843	19396	0	3112	2870	2218	8200	2618	1728	12546	6850	18212	0	3043	2745	2149	7937	2451	1824	12212	6000
811198	5	ann. pay.	375603	7717	55711	56130	50838	170396	69494	32931	272821	102782	404782	8255	53372	54955	49081	165663	58688	44433	268784	135998	436397	7581	54059	57421	52599	171660	65283	63327	300270	136127	442064	6198	60327	61284	52557	180366	67314	49124	296804	145260	450230	9417	61674	63188	52192	186471	73932	50819	311222	139008
811198	5	rec.																																									1718020	57092	318258	249757	189116	814223	373904	144295	1332422	385598
811211	5	firms	4623	310	3162	712	278	4462	122	21	4605	18	4262	248	2956	650	259	4113	115	18	4246	16	3894	257	2667	602	232	3758	104	15	3877	17	3545	240	2391	572	213	3416	98	15	3529	16	3410	238	2316	507	214	3275	102	15	3392	18
811211	5	estab.	4828	310	3170	726	310	4516	172	47	4735	93	4433	249	2964	666	284	4163	150	35	4348	85	4073	258	2675	614	250	3797	152	31	3980	93	3708	240	2398	586	230	3454	139	31	3624	84	3563	238	2319	509	235	3301	139	32	3472	91
811211	5	empl.	23761	0	6203	4545	3523	14271	3804	1827	19902	3859	23408	0	5834	4141	3282	13257	3462	2194	18913	4495	21736	0	5319	3856	2964	12139	3369	1914	17422	4314	19360	0	4631	3666	2704	11001	2946	1875	15822	3538	20456	0	4605	3261	2717	10583	3134	2106	15823	4633
811211	5	ann. pay.	571292	5431	96745	90678	78453	271307	92578	58796	422681	148611	579359	4764	94194	84111	74259	257328	89854	64195	411377	167982	560611	4967	87464	80604	71111	244146	96874	50966	391986	168625	512872	6344	81988	79317	69600	237249	91725	47687	376661	136211	551315	4644	84773	72197	70617	232231	89642	70981	392854	158461
811211	5	rec.																																									1416719	27649	335564	218147	197029	778389	232580	180655	1191624	225095
811212	5	firms	6188	708	3135	1083	624	5550	451	94	6095	93	5921	642	3031	1018	597	5288	462	93	5843	78	5613	629	2852	986	549	5016	437	83	5536	77	5438	607	2827	935	531	4900	399	72	5371	67	5100	685	2784	763	440	4672	297	64	5033	67
811212	5	estab.	7674	709	3141	1091	656	5597	611	272	6480	1194	7035	643	3035	1033	617	5328	624	236	6188	847	6623	629	2859	993	572	5053	577	253	5883	740	6305	608	2833	943	551	4935	554	204	5693	612	5857	686	2785	768	475	4714	422	173	5309	548
811212	5	empl.	75628	0	6541	7143	8083	21767	15258	9872	46897	28731	74638	0	6306	6668	7803	20777	16350	10070	47197	27441	76121	0	5954	6413	7183	19550	15495	10475	45520	30601	74652	0	5912	6087	7075	19074	14525	10089	43688	30964	65700	0	5680	4969	5864	16513	10753	7823	35089	30611
811212	5	ann. pay.	2912835	40024	151350	190329	257966	639669	562695	394853	1597217	1315618	3045228	37947	157499	185118	253848	634412	610399	433319	1678130	1367098	4347263	19311	153597	181036	234913	588857	610835	481231	1680923	2666340	4181385	27083	152832	181149	236455	597519	574357	451487	1623363	2558022	3126849	22870	143526	149182	200920	516498	434767	365209	1316474	1810375
811212	5	rec.																																									9741793	95921	598878	521582	602644	1819025	1248992	1013500	4081517	5660276
811213	5	firms	1533	114	713	294	212	1333	156	28	1517	16	1467	105	686	270	217	1278	145	23	1446	21	1429	113	653	257	211	1234	147	28	1409	20	1393	112	629	252	199	1192	154	25	1371	22	1388	104	628	263	195	1190	155	28	1373	15
811213	5	estab.	1800	114	715	302	237	1368	278	101	1747	53	1764	105	693	275	242	1315	260	100	1675	89	1714	114	655	264	235	1268	255	117	1640	74	1653	112	630	259	234	1235	256	72	1563	90	1627	104	629	267	209	1209	264	100	1573	54
811213	5	empl.	16475	0	1503	1955	2823	6281	5267	2747	14295	2180	17665	0	1441	1796	2910	6147	4905	2081	13133	4532	18274	0	1376	1751	2792	5919	4961	2921	13801	4473	18953	0	1347	1700	2572	5619	5163	2735	13517	5436	19783	0	1321	1735	2591	5647	5276	3620	14543	5240
811213	5	ann. pay.	507691	2452	34061	51727	86776	175016	166071	84395	425482	82209	582349	2376	36308	48690	93350	180724	173415	70112	424251	158098	622868	4944	33983	49763	90782	179472	181442	103554	464468	158400	663053	3765	36691	48492	90614	179562	181620	92619	453801	209252	860281	17529	37130	50395	90091	195145	198436	123186	516767	343514
811213	5	rec.																																									2863181	52922	139370	171543	298120	661955	590951	486451	1739357	1123824
811219	5	firms	2648	340	1428	427	233	2428	154	26	2608	40	2625	250	1441	431	239	2361	177	38	2576	49	2520	217	1378	410	253	2258	175	41	2474	46	2578	244	1416	409	248	2317	174	38	2529	49	2599	279	1422	414	234	2349	163	41	2553	46
811219	5	estab.	2912	341	1430	430	252	2453	224	89	2766	146	2986	251	1441	431	253	2376	228	140	2744	242	2934	217	1379	410	270	2276	216	151	2643	291	2967	254	1417	410	263	2344	215	125	2684	283	3101	279	1422	418	246	2365	222	146	2733	368
811219	5	empl.	22490	0	2940	2783	3051	8774	5012	2105	15891	6599	26499	0	2967	2792	3143	8902	5463	3826	18191	8308	27514	0	2879	2648	3304	8831	5678	3269	17778	9736	27659	0	2947	2663	3264	8874	5677	3611	18162	9497	31855	0	2965	2631	3156	8752	5252	3446	17450	14405
811219	5	ann. pay.	828204	9581	81420	88158	111151	290310	179945	90795	561050	267154	1032019	6642	85117	86740	115242	293741	206661	148945	649347	382672	1077525	6601	83757	88308	122367	301033	221902	132587	655522	422003	1132399	19828	92180	90937	124628	327573	231939	135969	695481	436918	1477808	11588	93792	100972	124289	330641	229067	149181	708889	768919
811219	5	rec.																																									4655460	49404	351209	309733	353280	1063626	677682	426988	2168296	2487164
811310	5	firms	24137	2588	12493	4556	2554	22191	1515	249	23955	182	23682	2092	12528	4595	2526	21741	1515	245	23501	181	23426	2305	12103	4504	2546	21458	1551	244	23253	173	23499	2100	12314	4495	2617	21526	1563	230	23319	180	24480	2484	12943	4528	2622	22577	1496	235	24308	172
811310	5	estab.	25626	2588	12498	4574	2622	22282	1795	514	24591	1035	25149	2095	12529	4606	2596	21826	1788	484	24098	1051	24950	2306	12104	4518	2610	21538	1804	478	23820	1130	24977	2103	12319	4523	2668	21613	1800	460	23873	1104	25932	2484	12946	4543	2684	22657	1784	464	24905	1027
811310	5	empl.	191016	0	25790	29824	33499	89113	48384	20341	157838	33178	196181	0	25808	30073	33375	89256	49248	21057	159561	36620	197613	0	25146	29527	33442	88115	51149	21446	160710	36903	200954	0	25471	29222	34620	89313	50898	22546	162757	38197	196649	0	27040	29525	34746	91311	49256	20279	160846	35803
811310	5	ann. pay.	6261573	83859	572413	768567	1011296	2436135	1658782	752836	4847753	1413820	6543415	66078	587010	803087	1034266	2490441	1738723	787470	5016634	1526781	6756014	67099	584801	813454	1062055	2527409	1832249	814527	5174185	1581829	7015703	63873	609274	812758	1124791	2610696	1853539	916935	5381170	1634533	7009776	75054	656118	841034	1144463	2716669	1838463	815015	5370147	1639629
811310	5	rec.																																									23832512	429813	2963538	2914803	3593768	9901922	5612313	2548213	18062448	5770064
811411	5	firms	3467	433	2308	501	151	3393	48	11	3452	15	3346	405	2175	526	162	3268	56	9	3333	13	3305	416	2096	538	174	3224	60	8	3292	13	3149	347	2026	507	180	3060	67	10	3137	12	2780	276	1826	465	139	2706	55	7	2768	12
811411	5	estab.	3635	436	2310	501	155	3402	68	17	3487	148	3504	405	2177	527	165	3274	78	12	3364	140	3463	416	2098	540	176	3230	83	19	3332	131	3303	347	2028	510	181	3066	90	20	3176	127	2928	276	1827	465	140	2708	80	16	2804	124
811411	5	empl.	13096	0	4456	3174	1866	9496	1209	710	11415	1681	12680	0	4247	3292	2016	9555	1520	226	11301	1379	13123	0	4089	3442	2166	9697	1692	759	12148	975	13169	0	3973	3184	2281	9438	1825	793	12056	1113	11596	0	3725	2985	1739	8449	1514	518	10481	1115
811411	5	ann. pay.	288044	9025	73849	64620	45665	193159	30759	17271	241189	46855	290465	8121	74901	70988	48171	202181	41923	5907	250011	40454	306697	7760	73096	73628	54321	208805	46716	23959	279480	27217	321042	4649	72337	69361	58576	204923	52374	25886	283183	37859	279254	4099	65947	68203	45404	183653	43153	15493	242299	36955
811411	5	rec.																																									1165129	32481	382333	285180	156961	856955	116026	49383	1022364	142765
811412	5	firms	5416	585	3444	822	363	5214	145	21	5380	36	5260	502	3391	779	387	5059	152	21	5232	28	5115	528	3233	760	385	4906	163	22	5091	24	5126	490	3248	783	401	4922	161	20	5103	23	4852	519	3061	711	366	4657	153	21	4831	21
811412	5	estab.	6308	585	3445	825	375	5230	166	55	5451	857	6008	502	3392	783	400	5077	168	52	5297	711	5765	528	3233	764	396	4921	188	57	5166	599	5782	491	3248	787	411	4937	195	48	5180	602	5472	519	3061	713	377	4670	171	45	4886	586
811412	5	empl.	56139	0	6623	5291	4658	16572	4036	1830	22438	33701	51450	0	6553	5067	4979	16599	4334	1305	22238	29212	48230	0	6246	4872	5041	16159	4510	1475	22144	26086	44829	0	6170	5011	5284	16465	4744	1429	22638	22191	43379	0	5883	4681	4861	15425	4308	1320	21053	22326
811412	5	ann. pay.	1546093	13499	122312	116001	123683	375495	124669	42105	542269	1003824	1361375	8652	126278	117655	135577	388162	133298	35138	556598	804777	1426206	12256	123382	115864	143604	395106	150279	44285	589670	836536	1310683	9444	127112	130633	153466	420655	164341	45571	630567	680116	1242051	11255	125496	123331	144764	404846	149991	40954	595791	646260
811412	5	rec.																																									3259436	74479	582604	407995	441861	1506939	432943	110295	2050177	1209259
811420	5	firms	6428	702	4368	962	297	6329	95	3	6427	1	6274	621	4303	937	310	6171	98	3	6272	2	6150	639	4127	930	334	6030	111	6	6147	3	5964	600	3991	938	316	5845	110	5	5960	4	5940	678	3928	923	304	5833	99	3	5935	5
811420	5	estab.	6441	702	4369	962	299	6332	105	3	6440	1	6285	621	4304	938	314	6177	103	3	6283	2	6161	639	4128	933	336	6036	116	6	6158	3	5972	600	3992	939	317	5848	115	5	5968	4	5947	678	3928	923	309	5838	101	3	5942	5
811420	5	empl.	         [j]	0	8550	6136	3752	18438	2940	         [e]	         [j]	         [b]	22053	0	8470	5990	3977	18437	[h]	[e]	[j]	[b]	22777	0	8202	5943	4252	18397	         [h]	699	         [j]	         [e]	22458	0	7937	5979	4111	18027	         [h]	         [f]	         [j]	         [e]	21385	0	7979	5936	3923	17838	         [h]	         [e]	         [j]	         [e]
811420	5	ann. pay.	         (D)	11648	133130	110705	80529	336012	64184	         (D)	         (D)	         (D)	439702	10844	139427	113904	89668	353843	(D)	(D)	(D)	(D)	477715	13712	139692	114975	95879	364258	         (D)	16037	         (D)	         (D)	474922	10968	139542	121176	92628	364314	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	461627	11782	142849	122433	90269	367333	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
811420	5	rec.																																									1457169	68458	561865	338914	221573	1190810	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
811430	5	firms	1882	188	1481	142	46	1857	22	1	1880	2	1773	146	1435	135	34	1750	19	1	1770	3	1674	158	1325	142	30	1655	16	0	1671	3	1505	117	1219	122	27	1485	17	1	1503	2	1381	121	1114	106	26	1367	11	2	1380	1
811430	5	estab.	2027	189	1488	148	76	1901	99	25	2025	2	1993	146	1442	145	67	1800	51	139	1990	3	1886	159	1332	153	47	1691	48	0	1739	147	1714	117	1226	138	45	1526	43	143	1712	2	1578	121	1118	119	45	1403	39	135	1577	1
811430	5	empl.	         [i]	0	2603	856	579	4038	669	         [e]	         [i]	         [a]	4793	0	2551	827	437	3815	[f]	[e]	[h]	[a]	4627	0	2332	879	387	3598	         [e]	0	         [h]	         [f]	4246	0	2178	747	350	3275	         [e]	         [e]	         [h]	         [a]	3751	0	1981	646	358	2985	         [e]	         [e]	         [h]	         [a]
811430	5	ann. pay.	         (D)	1843	32416	12296	9067	55622	10206	         (D)	         (D)	         (D)	70680	1529	32507	13122	7097	54255	(D)	(D)	(D)	(D)	67157	1508	30653	14065	7177	53403	         (D)	0	         (D)	         (D)	64190	1159	30599	12054	6854	50666	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	57674	1477	28142	11154	6811	47584	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
811430	5	rec.																																									218306	9090	127052	32813	18344	187299	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
811490	5	firms	10266	1484	6433	1339	581	9837	335	55	10227	39	10282	1525	6411	1385	581	9902	292	54	10248	34	10673	1649	6562	1487	593	10291	297	47	10635	38	10339	1427	6555	1407	580	9969	287	43	10299	40	11860	2030	7071	1652	715	11468	313	44	11825	35
811490	5	estab.	10588	1487	6440	1352	601	9880	414	166	10460	128	10500	1527	6416	1396	609	9948	356	78	10382	118	10882	1650	6571	1498	614	10333	358	72	10763	119	10535	1428	6561	1417	597	10003	334	75	10412	123	12180	2031	7076	1657	730	11494	363	89	11946	234
811490	5	empl.	48825	0	12565	8548	7444	28557	10450	4245	43252	5573	46494	0	12435	8857	7457	28749	9075	3735	41559	4935	48233	0	12653	9522	7635	29810	9285	3650	42745	5488	46019	0	12680	9030	7486	29196	8645	3374	41215	4804	51483	0	13844	10577	9178	33599	9460	3117	46176	5307
811490	5	ann. pay.	1040061	28688	206637	160509	169725	565559	247425	107134	920118	119943	1036932	26515	214079	183350	165839	589783	218092	121488	929363	107569	1133404	33132	221237	194254	178766	627389	270057	119982	1017428	115976	1117420	23347	231842	196819	185288	637296	234141	107705	979142	138278	1252244	36391	254382	227275	226546	744594	260488	103972	1109054	143190
811490	5	rec.																																									4521689	230083	1217135	793548	728034	2968800	750643	337830	4057273	464416
812111	5	firms	3955	299	3030	435	118	3882	65	7	3954	1	3874	332	2942	408	121	3803	62	7	3872	2	3913	386	2878	431	141	3836	67	7	3910	3	3809	377	2824	397	132	3730	70	5	3805	4	4024	406	2963	431	143	3943	71	5	4019	5
812111	5	estab.	4161	299	3034	444	134	3911	118	28	4057	104	4071	339	2949	415	138	3841	105	16	3962	109	4106	386	2883	438	160	3867	118	12	3997	109	3999	377	2830	405	146	3758	122	11	3891	108	4209	406	2968	432	157	3963	125	19	4107	102
812111	5	empl.	13564	0	5588	2652	1479	9719	2016	         [e]	         [j]	         [g]	12777	0	5362	2504	1555	9421	[g]	[e]	[j]	[g]	13341	0	5259	2623	1775	9657	         [g]	         [e]	         [j]	         [g]	12894	0	5189	2462	1637	9288	2209	         [e]	         [j]	         [g]	13726	0	5412	2699	1868	9979	2241	         [e]	         [j]	         [g]
812111	5	ann. pay.	202513	3543	79538	37745	22561	143387	29983	         (D)	         (D)	         (D)	208044	7171	78688	38804	23716	148379	(D)	(D)	(D)	(D)	217925	4399	78408	41586	28594	152987	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	218322	5628	80948	39732	26880	153188	35427	         (D)	         (D)	         (D)	235792	4946	83832	46931	31343	167052	35009	         (D)	         (D)	         (D)
812111	5	rec.																																									539579	19712	234288	92715	72432	419147	62907	         (D)	         (D)	         (D)
812112	5	firms	64664	6348	37710	12469	5710	62237	2240	165	64642	22	63020	5803	36819	12145	5667	60434	2394	170	62998	22	62768	6538	35877	11962	5734	60111	2458	178	62747	21	61999	6255	35287	11790	5906	59238	2555	185	61978	21	62659	6851	35290	11543	6068	59752	2705	177	62634	25
812112	5	estab.	73718	6396	37737	12559	6029	62721	3997	1962	68680	5038	72879	5822	36850	12245	5967	60884	4035	1910	66829	6050	72743	6576	35905	12084	6012	60577	3900	1949	66426	6317	71944	6268	35340	11899	6174	59681	3901	1997	65579	6365	73646	6859	35312	11598	6286	60055	4419	2005	66479	7167
812112	5	empl.	379337	0	78313	81135	74574	234022	74135	         [k]	         [m]	         [k]	390953	0	75918	78939	74352	229209	79227	[k]	[m]	[l]	400951	0	73594	78044	75313	226951	82831	         [k]	         [m]	         [l]	404018	0	71390	77069	77532	225991	86346	30668	343005	61013	413362	0	73367	75705	79808	228880	91255	29509	349644	63718
812112	5	ann. pay.	5409690	120543	870420	1029316	1111016	3131295	1236856	         (D)	         (D)	         (D)	5822665	110360	899699	1062368	1161478	3233905	1397084	(D)	(D)	(D)	6298879	130793	913542	1105174	1232584	3382093	1543427	         (D)	         (D)	         (D)	6638371	177020	932274	1115211	1316783	3541288	1656153	531528	5728969	909402	6850273	143835	947031	1112461	1375352	3578679	1772515	496239	5847433	1002840
812112	5	rec.																																									15129468	498916	3138851	2474167	2650843	8762777	3308546	1008663	13079986	2049482
812113	5	firms	5994	1162	3757	771	236	5926	62	4	5992	2	6292	1283	3927	791	235	6236	51	2	6289	3	6705	1263	4250	879	238	6630	71	2	6703	2	7473	1466	4754	903	279	7402	65	4	7471	2	8740	1765	5648	972	283	8668	65	5	8738	2
812113	5	estab.	6194	1162	3760	776	244	5942	87	4	6033	161	6326	1286	3928	797	237	6248	64	6	6318	8	6738	1265	4255	883	249	6652	76	4	6732	6	7505	1467	4759	906	289	7421	75	4	7500	5	8783	1765	5649	973	294	8681	75	22	8778	5
812113	5	empl.	18679	0	7399	4871	2973	15243	1692	         [c]	         [j]	         [g]	17364	0	7679	5020	2990	15689	[g]	[c]	17300	64	19086	0	8272	5622	2973	16867	         [g]	         [c]	         [j]	         [b]	21245	0	9293	5765	3589	18647	1764	         [f]	         [j]	         [b]	22937	0	11170	6114	3539	20823	1662	         [e]	         [j]	         [b]
812113	5	ann. pay.	224391	15294	69083	50047	36010	170434	24454	         (D)	         (D)	         (D)	207238	14538	76021	54071	37893	182523	(D)	(D)	205944	1294	235781	13971	86221	62931	39508	202631	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	272334	17965	101753	67985	49014	236717	28573	         (D)	         (D)	         (D)	292698	21654	123844	72314	46085	263897	22869	         (D)	         (D)	         (D)
812113	5	rec.																																									939761	110242	479807	187054	103428	880531	47530	         (D)	         (D)	         (D)
812191	5	firms	1674	338	886	244	98	1566	72	27	1665	9	1696	271	951	255	119	1596	65	25	1686	10	1659	308	898	226	121	1553	70	28	1651	8	1519	241	814	240	116	1411	70	30	1511	8	1304	226	655	215	104	1200	66	28	1294	10
812191	5	estab.	3107	340	897	266	118	1621	204	192	2017	1090	3067	277	961	272	135	1645	181	159	1985	1082	2978	313	914	241	135	1603	156	183	1942	1036	3056	241	830	247	137	1455	154	176	1785	1271	3109	226	659	224	132	1241	236	221	1698	1411
812191	5	empl.	26232	0	1790	1561	1294	4645	2764	         [h]	         [j]	         [j]	25088	0	1888	1614	1582	5084	2765	[h]	[j]	[j]	26364	0	1841	1412	1598	4851	2899	         [i]	         [j]	         [j]	30446	0	1634	1525	1566	4725	2662	         [i]	         [j]	         [j]	29512	0	1352	1385	1380	4117	2699	         [i]	         [j]	         [j]
812191	5	ann. pay.	307999	5598	22589	22178	20238	70603	53616	         (D)	         (D)	         (D)	301661	5566	25892	23601	22981	78040	57511	(D)	(D)	(D)	318940	5885	25921	22662	29476	83944	55386	         (D)	         (D)	         (D)	393421	5389	24671	26944	28218	85222	44812	         (D)	         (D)	         (D)	415101	5002	21125	23201	25913	75241	49936	         (D)	         (D)	         (D)
812191	5	rec.																																									1805438	24359	92115	75376	82324	274174	161312	         (D)	         (D)	         (D)
812199	5	firms	8069	1465	4262	1533	557	7817	232	18	8067	2	8508	1559	4456	1564	659	8238	250	18	8506	2	8995	1732	4571	1628	722	8653	316	24	8993	2	9701	1845	4839	1819	797	9300	375	22	9697	4	9329	1774	4253	2035	859	8921	380	25	9326	3
812199	5	estab.	8510	1470	4267	1565	647	7949	413	111	8473	37	8889	1560	4465	1595	738	8358	408	121	8887	2	9345	1732	4579	1650	788	8749	459	135	9343	2	10093	1847	4846	1838	868	9399	531	129	10059	34	9877	1774	4257	2047	926	9004	678	156	9838	39
812199	5	empl.	35786	0	8619	9828	7216	25663	7509	         [g]	         [k]	         [f]	39283	0	9093	10135	8599	27827	8309	[h]	[k]	[f]	43467	0	9336	10658	9449	29443	10683	         [h]	         [k]	         [e]	48309	0	9736	11822	10223	31781	12777	         [h]	         [k]	         [f]	50056	0	9235	13221	11102	33558	12457	         [h]	         [k]	         [f]
812199	5	ann. pay.	439418	26850	94009	85328	74747	280934	103488	         (D)	         (D)	         (D)	498315	28662	104041	93899	92362	318964	114841	(D)	(D)	(D)	560780	28555	112174	102335	105364	348428	140098	         (D)	         (D)	         (D)	624766	32907	120346	114454	112488	380195	168923	         (D)	         (D)	         (D)	636926	35744	106691	121391	120917	384743	171066	         (D)	         (D)	         (D)
812199	5	rec.																																									2290111	179122	508478	426672	379783	1494055	512763	         (D)	         (D)	         (D)
812210	5	firms	11519	558	5313	3419	1626	10916	567	27	11510	9	11414	580	5242	3310	1675	10807	570	25	11402	12	11353	573	5184	3257	1713	10727	583	33	11343	10	11435	643	5181	3252	1686	10762	621	42	11425	10	11427	593	5138	3200	1752	10683	690	43	11416	11
812210	5	estab.	16215	559	5453	3890	2197	12099	1260	154	13513	2702	16097	584	5378	3741	2232	11935	1233	135	13303	2794	16121	582	5318	3649	2289	11838	1246	225	13309	2812	16103	652	5326	3659	2218	11855	1287	295	13437	2666	16228	595	5208	3569	2401	11773	1574	232	13579	2649
812210	5	empl.	105776	0	12644	22526	20740	55910	17515	2349	75774	30002	104764	0	12461	21708	21404	55573	17655	2006	75234	29530	109157	0	12367	21364	21947	55678	18556	3174	77408	31749	112590	0	12367	21303	21607	55277	19299	4386	78962	33628	105050	0	12528	21138	22571	56237	21742	3980	81959	23091
812210	5	ann. pay.	2499299	14186	326565	569840	517368	1427959	456829	52616	1937404	561895	2571288	16288	341030	570898	550548	1478764	468377	52486	1999627	571661	2711245	16335	340550	572222	573260	1502367	488723	73693	2064783	646462	2773635	19604	355111	590224	576775	1541714	510085	108320	2160119	613516	2813190	16302	361825	587645	615337	1581109	576500	105585	2263194	549996
812210	5	rec.																																									10961391	121249	1963276	2309257	2084686	6478468	1794792	344861	8618121	2343270
812220	5	firms	5407	970	3048	726	360	5104	248	38	5390	17	5276	876	3051	717	331	4975	252	35	5262	14	5229	843	3009	742	341	4935	243	38	5216	13	5192	831	2962	743	346	4882	254	43	5179	13	4737	827	2541	736	335	4439	229	49	4717	20
812220	5	estab.	6878	970	3050	732	397	5149	358	168	5675	1203	6779	876	3052	725	357	5010	360	282	5652	1127	6757	843	3010	749	371	4973	335	278	5586	1171	6694	834	2963	746	376	4919	425	259	5603	1091	6249	827	2545	742	365	4479	445	259	5183	1066
812220	5	empl.	60906	0	5998	4562	4583	15143	7751	3564	26458	34448	55346	0	5923	4609	4246	14778	7885	3524	26187	29159	57001	0	5876	4769	4317	14962	7852	3873	26687	30314	57750	0	5742	4694	4383	14819	8101	3757	26677	31073	42082	0	5217	4686	4236	14139	7301	4202	25642	16440
812220	5	ann. pay.	1205700	20502	86464	93100	115007	315073	245621	104863	665557	540143	1186280	15401	90543	100698	114214	320856	255897	129055	705808	480472	1226112	12866	93477	104189	120263	330795	266435	119599	716829	509283	1304362	15386	94232	109233	128077	346928	289126	127605	763659	540703	1058189	7783	84990	106028	122504	321305	263838	150692	735835	322354
812220	5	rec.																																									3409005	33929	288112	305381	321563	948985	645035	503607	2097627	1311378
812310	5	firms	12264	1292	7513	2109	877	11791	416	48	12255	9	11804	1067	7475	2023	813	11378	376	39	11793	11	11301	987	7099	1977	816	10879	372	39	11290	11	10930	987	6922	1854	725	10488	391	37	10916	14	10996	1131	6892	1873	691	10587	362	35	10984	12
812310	5	estab.	13992	1295	7564	2216	1182	12257	925	550	13732	260	13487	1075	7527	2150	1090	11842	865	347	13054	433	12956	996	7145	2101	1098	11340	830	377	12547	409	12565	990	6979	1955	975	10899	837	348	12084	481	12521	1131	6928	1972	906	10937	821	311	12069	452
812310	5	empl.	56567	0	15872	13401	10687	39960	10220	3080	53260	3307	53588	0	15708	12795	9997	38500	8780	1579	48859	4729	53310	0	14965	12511	9908	37384	9046	2646	49076	4234	51528	0	14566	11774	8911	35251	9438	2288	46977	4551	49179	0	14657	11797	8507	34961	8563	1561	45085	4094
812310	5	ann. pay.	709894	18341	148650	126150	117690	410831	145434	57899	614164	95730	668672	15884	154305	127190	113377	410756	128465	24546	563767	104905	714956	14285	153188	123637	115514	406624	145463	50307	602394	112562	722076	13605	156161	119909	106294	395969	146342	50761	593072	129004	669971	15827	157284	123346	100854	397311	129701	27983	554995	114976
812310	5	rec.																																									3438898	112469	921646	489764	333000	1856879	484594	127632	2469105	969793
812320	5	firms	24174	2133	10982	5257	3474	21846	2157	155	24158	16	23786	2181	10757	5076	3400	21414	2191	161	23766	20	23753	2369	10770	4918	3367	21424	2152	157	23733	20	23572	2371	10796	4868	3267	21302	2090	159	23551	21	23714	2384	11245	4721	3216	21566	1983	143	23692	22
812320	5	estab.	27674	2145	11001	5334	3816	22296	3806	1141	27243	431	27382	2184	10781	5142	3730	21837	3754	1199	26790	592	27324	2381	10795	4988	3694	21858	3715	1149	26722	602	27026	2379	10828	4943	3565	21715	3584	1118	26417	609	27059	2386	11266	4795	3518	21965	3388	1099	26452	607
812320	5	empl.	203388	0	24234	34588	46107	104929	72379	21079	198387	5001	203807	0	23661	33520	45200	102381	73459	22130	197970	5837	201742	0	23685	32543	44999	101227	72425	22276	195928	5814	197888	0	23627	32251	43752	99630	69275	20931	189836	8052	190399	0	25164	31225	43243	99632	65782	17390	182804	7595
812320	5	ann. pay.	2683906	59776	285408	394726	560132	1300042	995943	327622	2623607	60299	2804853	51928	292939	400133	587093	1332093	1041141	343140	2716374	88479	2819649	54640	303271	395611	569922	1323444	1038624	362617	2724685	94964	2835945	55608	313850	405397	575233	1350088	1019632	330191	2699911	136034	2819867	54010	352373	412958	582748	1402089	993733	289219	2685041	134826
812320	5	rec.																																									7851550	258932	1622921	1268459	1465211	4615523	2221887	694772	7532182	319368
812331	5	firms	952	67	256	136	146	605	233	83	921	31	919	51	260	135	132	578	225	83	886	33	890	50	231	142	118	541	241	80	862	28	850	37	217	148	113	515	221	85	821	29	770	46	184	122	109	461	197	82	740	30
812331	5	estab.	1266	69	256	136	146	607	239	122	968	298	1270	51	260	135	132	578	232	119	929	341	1240	50	231	142	119	542	247	120	909	331	1191	37	217	148	113	515	227	123	865	326	1107	46	184	122	110	462	203	126	791	316
812331	5	empl.	53644	0	542	916	2008	3466	10320	12038	25824	27820	57255	0	565	912	1860	3337	9792	12195	25324	31931	56585	0	511	963	1580	3054	10453	12423	25930	30655	56582	0	475	981	1515	2971	9579	12823	25373	31209	54591	0	427	824	1496	2747	8914	12496	24157	30434
812331	5	ann. pay.	1078445	5759	7212	13467	31896	58334	191160	251220	500714	577731	1175062	2346	8215	15055	29663	55279	194388	268700	518367	656695	1232823	1114	8306	17889	24353	51662	214067	273732	539461	693362	1255752	1455	8931	20197	25064	55647	196322	292158	544127	711625	1281628	2530	8053	15965	31632	58180	193556	319388	571124	710504
812331	5	rec.																																									3302845	9548	34751	52319	84643	181261	478192	781945	1441398	1861447
812332	5	firms	757	40	156	102	95	393	245	84	722	35	708	40	162	98	80	380	222	73	675	33	663	43	141	91	79	354	201	78	633	30	630	30	144	90	77	341	188	72	601	29	575	24	134	76	74	308	180	59	547	28
812332	5	estab.	1598	40	156	102	96	394	264	169	827	771	1619	40	163	98	81	382	239	157	778	841	1531	43	142	91	81	357	214	162	733	798	1488	36	145	90	80	351	202	148	701	787	1423	24	134	76	75	309	203	137	649	774
812332	5	empl.	79183	0	396	681	1279	2356	10612	11548	24516	54667	78430	0	356	655	1119	2130	10079	10478	22687	55743	77856	0	311	605	1110	2026	9007	11217	22250	55606	77724	0	334	597	1059	1990	8378	10539	20907	56817	77071	0	309	522	990	1821	8517	9214	19552	57519
812332	5	ann. pay.	1892648	6065	5419	9445	23609	44538	227954	270981	543473	1349175	1940020	1082	5078	11154	18776	36090	228854	263481	528425	1411595	1975394	2450	5106	9553	19897	37006	203138	274980	515124	1460270	1937594	1957	5356	12008	18935	38256	197188	273742	509186	1428408	2031018	1512	5396	10344	18573	35825	206267	236822	478914	1552104
812332	5	rec.																																									5885888	6959	32160	55974	51918	147011	517076	610786	1274873	4611015
812910	5	firms	6742	1024	4244	1042	332	6642	92	5	6739	3	6857	901	4349	1140	363	6753	98	4	6855	2	7025	989	4330	1189	399	6907	110	4	7021	4	7436	1054	4496	1285	456	7291	138	4	7433	3	8130	1170	4832	1420	547	7969	151	6	8126	4
812910	5	estab.	6769	1024	4244	1042	332	6642	93	6	6741	28	6894	901	4351	1140	363	6755	99	4	6858	36	7061	991	4330	1189	399	6909	110	4	7023	38	7482	1054	4498	1292	458	7302	138	4	7444	38	8188	1170	4834	1426	549	7979	157	10	8146	42
812910	5	empl.	23449	0	8499	6646	4234	19379	2564	513	22456	993	24908	0	8754	7197	4662	20613	2772	[f]	[j]	[f]	26767	0	8777	7658	5108	21543	3165	584	25292	1475	28954	0	9183	8244	5841	23268	3945	         [g]	         [k]	         [f]	32177	0	10102	9037	6982	26121	4136	         [g]	         [k]	         [f]
812910	5	ann. pay.	314354	10847	100984	80034	53095	244960	40148	10954	296062	18292	337383	12419	108912	90844	62440	274615	44642	(D)	(D)	(D)	365318	11823	112181	97323	69803	291130	50828	10653	352611	12707	413219	14361	119440	109600	80933	324334	62958	         (D)	         (D)	         (D)	472468	16163	132242	122983	99458	370846	67477	         (D)	         (D)	         (D)
812910	5	rec.																																									1505152	84882	525925	359576	250784	1221167	165014	         (D)	         (D)	         (D)
812921	5	firms	2331	174	943	479	350	1946	326	42	2314	17	2204	141	902	471	316	1830	315	43	2188	16	2062	133	830	448	292	1703	298	46	2047	15	1958	124	808	416	256	1604	296	44	1944	14	1772	112	768	348	251	1479	250	34	1763	9
812921	5	estab.	3383	174	945	483	365	1967	435	81	2483	900	3402	141	904	477	332	1854	420	81	2355	1047	3268	133	832	455	303	1723	396	82	2201	1067	3148	124	810	425	268	1627	382	92	2101	1047	2890	112	774	351	261	1498	296	103	1897	993
812921	5	empl.	57140	0	2104	3112	4647	9863	12138	6450	28451	28689	50330	0	1972	3112	4186	9270	11776	6773	27819	22511	48935	0	1798	2931	3843	8572	11150	7019	26741	22194	49758	0	1739	2711	3366	7816	10899	6441	25156	24602	40096	0	1678	2272	3286	7236	8866	5551	21653	18443
812921	5	ann. pay.	1352798	19626	38246	60222	103747	221841	323036	158710	703587	649211	1287000	5491	38046	62378	93453	199368	320761	174473	694602	592398	1287153	3842	33591	61821	97265	196519	317519	189385	703423	583730	1328143	3021	33931	58548	78179	173679	303854	184143	661676	666467	1099506	7104	33302	48687	76759	165852	261721	149130	576703	522803
812921	5	rec.																																									3354855	39880	149525	154843	206696	550944	677706	450112	1678762	1676093
812922	5	firms	2271	210	1279	473	208	2170	90	4	2264	7	2132	172	1225	432	206	2035	85	6	2126	6	1981	141	1155	394	191	1881	90	4	1975	6	1782	156	1013	371	162	1702	71	4	1777	5	1531	89	921	301	146	1457	65	6	1528	3
812922	5	estab.	3066	210	1283	499	274	2266	258	66	2590	476	2867	174	1236	458	274	2142	241	65	2448	419	2575	142	1163	422	251	1978	238	62	2278	297	2209	156	1025	402	222	1805	181	56	2042	167	1920	90	927	319	185	1521	173	57	1751	169
812922	5	empl.	15102	0	2866	2994	2586	8446	2523	328	11297	3805	14501	0	2761	2812	2558	8131	2478	[f]	[j]	[h]	12595	0	2547	2604	2420	7571	2495	782	10848	1747	10608	0	2220	2415	2119	6754	1965	         [f]	         [i]	         [g]	9151	0	1994	1954	1852	5800	1597	         [f]	         [i]	         [g]
812922	5	ann. pay.	228990	3617	38789	43968	36472	122846	38062	6785	167693	61297	210325	3039	41607	41545	40817	127008	40461	(D)	(D)	(D)	196776	3032	39111	39421	38923	120487	43914	11176	175577	21199	169194	2745	34692	37912	38763	114112	32805	         (D)	         (D)	         (D)	140088	1737	30643	31173	30112	93665	25183	         (D)	         (D)	         (D)
812922	5	rec.																																									539653	10160	149151	119300	97778	376389	81902	         (D)	         (D)	         (D)
812930	5	firms	2070	190	831	420	209	1650	300	86	2036	34	1921	225	779	389	203	1596	220	70	1886	35	1954	221	783	413	201	1618	234	66	1918	36	1994	245	805	379	209	1638	255	68	1961	33	2289	257	961	454	242	1914	265	72	2251	38
812930	5	estab.	9613	205	844	454	293	1796	813	1363	3972	5641	9811	261	895	415	316	1887	636	1358	3881	5930	10934	249	808	432	305	1794	660	1212	3666	7268	10661	245	824	417	297	1783	729	1180	3692	6969	11775	257	972	476	339	2044	800	1247	4091	7684
812930	5	empl.	78538	0	1873	2779	2709	7361	11321	14579	33261	45277	80570	0	1709	2531	2717	6957	8460	11487	26904	53666	81049	0	1762	2693	2649	7104	8909	11389	27402	53647	88259	0	1808	2472	2817	7097	10049	12572	29718	58541	86176	0	2225	2936	3195	8356	10187	13401	31944	54232
812930	5	ann. pay.	1081268	9949	31226	48089	39476	128740	150254	200828	479822	601446	1189905	6489	33429	46850	42488	129256	124395	189157	442808	747097	1151860	7697	35197	48348	43223	134465	140749	183986	459200	692660	1356739	10352	34947	46588	47353	139240	156915	200168	496323	860416	1365243	9629	45578	57785	57123	170115	153958	209594	533667	831576
812930	5	rec.																																									6687864	49332	237803	252581	233040	772756	591760	891185	2255701	4432163
812990	5	firms	8007	2620	3627	974	430	7651	286	41	7978	29	9960	3404	4523	1088	502	9517	347	64	9928	32	13314	4348	6355	1395	670	12768	443	75	13286	28	11213	2946	5851	1308	611	10716	390	79	11185	28	17467	4588	8354	2385	1240	16567	780	94	17441	26
812990	5	estab.	8308	2622	3633	981	448	7684	357	110	8151	157	10267	3404	4529	1096	520	9549	409	176	10134	133	13743	4391	6363	1400	692	12846	510	233	13589	154	11646	2947	5856	1313	628	10744	477	276	11497	149	17900	4588	8359	2389	1257	16593	836	328	17757	143
812990	5	empl.	40560	0	7073	6267	5718	19058	10061	5390	34509	6051	52419	0	8701	6963	6674	22338	12559	9509	44406	8013	65009	0	12041	8927	8865	29833	16001	12164	57998	7011	62969	0	10972	8461	8051	27484	14487	13277	55248	7721	98755	0	16607	15580	16571	48758	27973	15488	92219	6536
812990	5	ann. pay.	899951	66453	140850	113941	102314	423558	186721	89208	699487	200464	1178663	91232	184583	129097	132879	537791	299790	154177	991758	186905	1468143	125013	262962	170160	187265	745400	303595	269793	1318788	149355	1385288	66034	242603	163104	169775	641516	271213	241730	1154459	230829	2037431	117026	345219	312334	321040	1095619	494308	303011	1892938	144493
812990	5	rec.																																									7486867	722746	1938159	1264030	1053436	4978371	1419560	776503	7174434	312433
813110	5	firms	161205	5581	85392	37075	17754	145802	14291	1002	161095	110	164446	6506	85840	37887	18229	148462	14807	1066	164335	111	166598	6705	85947	38542	18679	149873	15440	1169	166482	116	165859	6029	84980	38873	18943	148825	15712	1210	165747	112	172311	7532	87434	40589	19482	155037	15942	1213	172192	119
813110	5	estab.	161332	5581	85393	37076	17759	145809	14336	1048	161193	139	164574	6506	85841	37889	18233	148469	14854	1102	164425	149	166716	6707	85949	38543	18685	149884	15484	1202	166570	146	165984	6029	84983	38874	18951	148837	15761	1246	165844	140	172562	7532	87436	40589	19485	155042	16009	1272	172323	239
813110	5	empl.	1469479	0	192115	240091	236535	668741	539166	164597	1372504	96975	1517882	0	192299	245550	243445	681294	561687	175519	1418500	99382	1569353	0	192972	249912	249364	692248	587271	187485	1467004	102349	1595009	0	191539	252752	253292	697583	598202	196792	1492577	102432	1638915	0	200736	261971	259923	722630	607209	197037	1526876	112039
813110	5	ann. pay.	18855527	87838	2007913	2584394	2794289	7474434	6859178	2659056	16992668	1862859	20390610	122886	2124993	2772870	3019986	8040735	7410576	2918466	18369777	2020833	22089462	147168	2242849	2960284	3225583	8575884	8022148	3219807	19817839	2271623	23294649	108633	2347702	3102665	3425528	8984528	8515581	3535837	21035946	2258703	24843744	138677	2521215	3324490	3607367	9591749	9046341	3703308	22341398	2502346
813110	5	rec.																																									82910385	581781	8926690	11243940	11998419	32750830	29654114	12089227	74494171	8416214
813211	5	firms	5703	508	3795	660	325	5288	263	69	5620	83	5754	445	3822	694	352	5313	293	70	5676	78	6046	544	3872	787	362	5565	331	68	5964	82	6532	563	4187	861	402	6013	363	75	6451	81	7277	665	4693	924	440	6722	380	82	7184	93
813211	5	estab.	5898	508	3795	666	344	5313	305	89	5707	191	5941	445	3822	701	367	5335	336	96	5767	174	6237	544	3873	793	376	5586	372	95	6053	184	6727	563	4188	875	412	6038	404	103	6545	182	7502	665	4694	946	493	6798	466	120	7384	118
813211	5	empl.	40237	0	6888	4192	4232	15312	9045	9151	33508	6729	41174	0	7123	4468	4538	16129	9839	9304	35272	5902	44368	0	7239	5116	4740	17095	11542	8011	36648	7720	47459	0	7891	5595	5285	18771	13038	9907	41716	5743	51024	0	8796	5912	5810	20518	13916	10136	44570	6454
813211	5	ann. pay.	1490037	37374	215272	155622	160200	568468	341155	296506	1206129	283908	1477408	10493	236609	170146	175193	592441	386631	328336	1307408	170000	1624854	17504	249270	205547	181599	653920	452005	325247	1431172	193682	1854652	22490	282335	230470	205083	740378	538815	397461	1676654	177998	2076295	28377	320021	245028	233146	826572	609981	422533	1859086	217209
813211	5	rec.																																									24294638	737414	4592832	3234067	3742770	12307083	5876147	5408587	23591817	702821
813212	5	firms	2235	164	927	389	277	1757	272	87	2116	119	2243	107	964	391	288	1750	288	81	2119	124	2243	110	949	394	286	1739	297	87	2123	120	2293	92	975	409	305	1781	313	85	2179	114	2438	117	1085	388	322	1912	311	92	2315	123
813212	5	estab.	3492	164	927	398	317	1806	454	238	2498	994	3545	108	965	399	321	1793	467	218	2478	1067	3534	111	949	400	329	1789	472	201	2462	1072	3620	92	975	420	339	1826	493	217	2536	1084	3926	117	1085	400	363	1965	512	363	2840	1086
813212	5	empl.	44149	0	1933	2599	3736	8268	9856	8219	26343	17806	46219	0	2006	2577	3843	8426	10819	8013	27258	18961	49147	0	1997	2627	3795	8419	11196	8979	28594	20553	51362	0	2077	2756	4124	8957	11643	9849	30449	20913	53470	0	2214	2600	4270	9084	11626	9840	30550	22920
813212	5	ann. pay.	1265706	18502	49799	77157	108517	253975	262375	201582	717932	547774	1426592	2799	53738	75553	115204	247294	309635	223155	780084	646508	1609334	3846	54765	82609	126065	267285	328240	258052	853577	755757	1821778	3948	62115	89451	139560	295074	361236	331889	988199	833579	1974250	7797	68402	88434	156789	321422	384763	321891	1028076	946174
813212	5	rec.																																									7644145	26285	413114	450048	636400	1525847	1607989	1249404	4383240	3260905
813219	5	firms	2684	180	1466	412	260	2318	261	88	2667	17	2794	126	1552	439	273	2390	282	100	2772	22	2899	178	1546	474	281	2479	298	102	2879	20	3040	169	1661	488	287	2605	307	107	3019	21	3259	196	1786	523	308	2813	310	111	3234	25
813219	5	estab.	2959	180	1466	416	265	2327	363	240	2930	29	3054	126	1552	443	277	2398	361	257	3016	38	3154	182	1546	475	286	2489	373	260	3122	32	3301	169	1664	491	295	2619	378	236	3233	68	3524	196	1786	525	320	2827	379	254	3460	64
813219	5	empl.	29272	0	2931	2736	3512	9179	10256	9304	28739	533	33949	0	3166	2911	3628	9705	11024	11700	32429	1520	35358	0	3148	3118	3743	10009	11772	12626	34407	951	37126	0	3371	3217	3873	10461	12180	12344	34985	2141	39306	0	3566	3410	4108	11084	12622	13346	37052	2254
813219	5	ann. pay.	884810	5188	69302	76622	103663	254775	321418	296985	873178	11632	1055660	6279	78765	84374	109345	278763	363525	374007	1016295	39365	1154173	4384	79489	96109	115890	295872	403519	411549	1110940	43233	1274691	5705	93355	103529	123579	326168	443741	421828	1191737	82954	1365435	6369	100916	112584	137544	357413	458410	477491	1293314	72121
813219	5	rec.																																									14579643	52405	932792	1255641	1170206	3411044	5339243	5422466	14172753	406890
813311	5	firms	1526	135	718	287	179	1319	146	45	1510	16	1579	80	750	301	209	1340	180	42	1562	17	1619	117	695	314	230	1356	196	49	1601	18	1705	94	752	338	254	1438	197	49	1684	21	1901	119	878	363	255	1615	205	61	1881	20
813311	5	estab.	1843	135	718	291	191	1335	206	208	1749	94	1958	80	750	306	222	1358	245	249	1852	106	2012	117	695	318	241	1371	260	264	1895	117	2134	94	752	342	266	1454	259	247	1960	174	2372	119	878	365	273	1635	317	275	2227	145
813311	5	empl.	18151	0	1513	1915	2370	5798	4595	4169	14562	3589	21937	0	1644	2029	2785	6458	6378	5126	17962	3975	24029	0	1538	2072	2994	6604	6735	5954	19293	4736	25484	0	1592	2198	3324	7114	6876	5944	19934	5550	27894	0	1831	2367	3400	7598	7078	7446	22122	5772
813311	5	ann. pay.	494410	3396	36020	46117	60083	145616	119771	107804	373191	121219	597212	1488	41184	51466	73175	167313	159934	138319	465566	131646	684911	2812	38611	55056	79785	176264	172987	176928	526179	158732	783674	2815	43223	60302	95317	201657	193702	177476	572835	210839	872407	3153	49670	69122	100611	222556	201980	257300	681836	190571
813311	5	rec.																																									3704259	31224	195111	210736	328754	765825	582539	1595821	2944185	760074
813312	5	firms	3274	271	1574	634	437	2916	294	51	3261	13	3344	186	1645	694	443	2968	320	43	3331	13	3431	198	1623	723	485	3029	347	42	3418	13	3635	193	1722	783	495	3193	380	50	3623	12	3922	238	1929	774	536	3477	376	53	3906	16
813312	5	estab.	3880	271	1575	635	456	2937	451	275	3663	217	4078	186	1647	696	458	2987	468	227	3682	396	4227	208	1624	724	498	3054	508	351	3913	314	4504	193	1725	786	508	3212	533	390	4135	369	4835	238	1933	778	560	3509	559	295	4363	472
813312	5	empl.	31988	0	3333	4221	5800	13354	10767	5027	29148	2840	33746	0	3440	4600	5909	13949	11069	5115	30133	3613	36882	0	3442	4783	6398	14623	12315	5240	32178	4704	40125	0	3672	5171	6612	15455	13538	6642	35635	4490	41886	0	4160	5133	7190	16483	13304	6973	36760	5126
813312	5	ann. pay.	721629	7344	62685	78273	114777	263079	226046	141834	630959	90670	790538	5984	72939	88705	115721	283349	245170	141067	669586	120952	905609	5924	76430	96953	131655	310962	290993	173353	775308	130301	1058498	9625	87082	113300	149389	359396	321541	231649	912586	145912	1149787	6303	100536	114851	168670	390360	338371	246105	974836	174951
813312	5	rec.																																									3946705	33176	430522	386810	593246	1443754	906898	770097	3120749	825956
813319	5	firms	4075	365	2073	689	416	3543	358	135	4036	39	4160	265	2087	757	424	3533	444	146	4123	37	4245	313	2057	770	467	3607	455	143	4205	40	4642	327	2298	858	495	3978	467	152	4597	45	5651	474	2987	968	566	4995	469	142	5606	45
813319	5	estab.	4675	365	2075	700	441	3581	502	433	4516	159	4705	267	2089	765	449	3570	590	404	4564	141	4818	315	2059	778	504	3656	584	420	4660	158	5248	330	2301	868	538	4037	595	452	5084	164	6278	476	2991	980	584	5031	642	426	6099	179
813319	5	empl.	39400	0	4248	4404	5545	14197	12284	9341	35822	3578	44424	0	4359	4902	5803	15064	15436	10340	40840	3584	46913	0	4329	4961	6190	15480	15870	11510	42860	4053	51298	0	4785	5606	6611	17002	15859	12786	45647	5651	54437	0	6087	6251	7556	19894	15932	12267	48093	6344
813319	5	ann. pay.	1004232	10416	103180	111879	146822	372297	319635	236129	928061	76171	1145632	8862	108471	129347	158820	405500	390211	268437	1064148	81484	1246385	9695	112218	133610	173317	428840	421877	297181	1147898	98487	1397230	8434	134125	158275	191399	492233	437415	339290	1268938	128292	1562583	16336	170750	184944	222333	594363	454103	354700	1403166	159417
813319	5	rec.																																									5289186	107105	711061	694052	673979	2186197	1459675	1012882	4658754	630432
813410	5	firms	30183	1988	15650	6292	3480	27410	2268	425	30103	80	29762	1609	15691	6263	3411	26974	2260	446	29680	82	29739	1766	15323	6325	3452	26866	2331	452	29649	90	29742	1786	15253	6322	3439	26800	2378	467	29645	97	28975	1806	14475	6368	3338	25987	2422	468	28877	98
813410	5	estab.	32063	1988	15655	6325	3651	27619	2865	959	31443	620	31642	1609	15697	6299	3552	27157	2875	1021	31053	589	31628	1766	15333	6359	3590	27048	2926	1059	31033	595	31711	1786	15256	6355	3560	26957	2969	1148	31074	637	31176	1809	14476	6387	3470	26142	3268	1128	30538	638
813410	5	empl.	314725	0	31244	41313	45677	118234	83315	65174	266723	48002	320681	0	31569	41303	45280	118152	83702	67038	268892	51789	330697	0	30864	41646	45723	118233	85898	70549	274680	56017	339182	0	30807	41603	45286	117696	88498	72921	279115	60067	339933	0	30023	41692	44201	115916	90588	73707	280211	59722
813410	5	ann. pay.	3890204	30852	344984	411718	493086	1280640	1195262	856902	3332804	557400	4044190	24367	371147	421004	496141	1312659	1225263	920195	3458117	586073	4332728	33448	375416	438092	521189	1368145	1321915	988736	3678796	653932	4700999	33706	397264	452521	542519	1426010	1438597	1068628	3933235	767764	4789128	32818	384592	466461	524363	1408234	1505267	1123370	4036871	752257
813410	5	rec.																																									16117675	215275	2363440	2196555	2076162	6851432	4226702	2795465	13873599	2244076
813910	5	firms	16076	656	10641	2602	1088	14987	914	146	16047	29	16534	583	10747	2799	1253	15382	978	146	16506	28	16542	622	10639	2831	1277	15369	995	150	16514	28	16625	620	10657	2892	1264	15433	1010	151	16594	31	16355	683	10500	2762	1199	15144	1036	150	16330	25
813910	5	estab.	16641	660	10645	2623	1160	15088	1178	326	16592	49	17154	589	10750	2818	1331	15488	1300	328	17116	38	17144	624	10654	2856	1342	15476	1313	314	17103	41	17214	620	10673	2919	1329	15541	1301	318	17160	54	16937	683	10511	2788	1272	15254	1327	309	16890	47
813910	5	empl.	116928	0	22023	16746	14256	53025	32714	19348	105087	11841	121817	0	22366	17823	16384	56573	35048	19687	111308	10509	127217	0	22598	18133	16642	57373	35783	20781	113937	13280	129650	0	22694	18490	16502	57686	36598	20590	114874	14776	120671	0	22323	17664	15646	55633	36570	20324	112527	8144
813910	5	ann. pay.	4477273	28839	571805	528425	537278	1666347	1435856	964339	4066542	410731	4922933	26685	605359	596780	630609	1859433	1652858	1038604	4550895	372038	5288226	26606	637014	631298	674255	1969173	1708397	1136409	4813979	474247	5599951	26070	673383	659333	687984	2046770	1807166	1215255	5069191	530760	5581162	23194	684468	666795	682915	2057372	1843610	1261271	5162253	418909
813910	5	rec.																																									19049690	128064	2633399	2242121	2187491	7191075	5949349	3783386	16923810	2125880
813920	5	firms	7621	470	4496	1277	673	6916	568	118	7602	19	7140	444	4279	1132	574	6429	566	125	7120	20	7202	443	4276	1161	581	6461	583	138	7182	20	7328	461	4277	1207	624	6569	592	143	7304	24	7258	529	4261	1121	609	6520	581	135	7236	22
813920	5	estab.	7928	470	4498	1290	698	6956	711	224	7891	37	7429	444	4280	1137	593	6454	696	237	7387	42	7493	443	4278	1165	600	6486	704	257	7447	46	7653	461	4279	1212	637	6589	714	270	7573	80	7630	529	4263	1127	625	6544	725	273	7542	88
813920	5	empl.	69482	0	9196	8293	8788	26277	         [j]	         [j]	         [l]	         [h]	75037	0	8668	7342	7584	23594	22254	[j]	[l]	[j]	78577	0	8631	7562	7681	23874	22348	         [j]	         [l]	         [j]	82207	0	8670	7868	8349	24887	22696	         [j]	         [l]	         [j]	77456	         [a]	8613	7272	8119	         [j]	23211	         [j]	         [l]	         [i]
813920	5	ann. pay.	2703465	49958	264042	274879	315047	903926	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	2832918	18193	254736	245810	282518	801257	904596	(D)	(D)	(D)	3047829	14595	264931	264644	300324	844494	928232	         (D)	         (D)	         (D)	3436845	18485	277260	288192	348187	932124	997899	         (D)	         (D)	         (D)	3536327	         (D)	285315	285487	349004	         (D)	1077774	         (D)	         (D)	         (D)
813920	5	rec.																																									11409755	         (D)	1298371	1039887	1171825	         (D)	3532638	         (D)	         (D)	         (D)
813930	5	firms	17952	803	8587	4397	2624	16411	1384	137	17932	20	17382	787	8347	4180	2513	15827	1394	141	17362	20	16963	883	7909	4075	2500	15367	1428	151	16946	17	16666	881	7840	4004	2377	15102	1399	147	16648	18	16689	881	7261	4101	2792	15035	1491	141	16667	22
813930	5	estab.	18697	811	8594	4414	2679	16498	1578	398	18474	223	18197	789	8350	4201	2554	15894	1596	372	17862	335	17811	883	7912	4099	2539	15433	1627	395	17455	356	17476	881	7842	4025	2423	15171	1597	389	17157	319	17520	881	7262	4115	2844	15102	1680	419	17201	319
813930	5	empl.	167206	0	18609	29158	34532	82299	48812	24604	155715	11491	166926	0	18005	27945	33570	79520	49826	25443	154789	12137	168175	0	17064	27219	33497	77780	51123	27836	156739	11436	163284	0	16749	26728	31607	75084	50238	26893	152215	11069	170894	0	16570	27509	36848	80927	53123	24307	158357	12537
813930	5	ann. pay.	3558338	16417	331710	411389	555662	1315178	1011873	815058	3142109	416229	3728856	12401	335113	422676	585132	1355322	1071312	844438	3271072	457784	3921562	15971	329780	433067	619787	1398605	1108336	982776	3489717	431845	4047683	20545	334009	456267	615371	1426192	1168104	996510	3590806	456877	4362340	19644	324702	471548	677182	1493076	1330876	977740	3801692	560648
813930	5	rec.																																									13997265	94712	1378220	1571443	2061000	5105375	4050999	3046628	12203002	1794263
813940	5	firms	2429	557	1404	261	121	2343	78	7	2428	1	1989	389	1245	186	86	1906	75	7	1988	1	2540	564	1511	257	118	2450	81	8	2539	1	2223	483	1363	213	87	2146	69	7	2222	1	2858	707	1650	269	141	2767	79	11	2857	1
813940	5	estab.	2435	557	1404	262	122	2345	82	7	2434	1	1995	389	1245	187	87	1908	79	7	1994	1	2546	564	1511	257	120	2452	85	8	2545	1	2229	483	1363	213	89	2148	73	7	2228	1	2864	707	1650	269	144	2770	81	12	2863	1
813940	5	empl.	9954	0	2628	1659	1608	5895	         [h]	         [g]	         [i]	         [a]	8456	0	2211	1201	1109	4521	2853	[g]	[i]	[a]	10889	0	2698	1679	1505	5882	3262	         [g]	         [j]	         [a]	8884	0	2434	1373	1143	4950	2510	         [g]	         [i]	         [a]	11580	         [a]	3105	1746	1837	         [i]	2809	         [g]	         [j]	         [a]
813940	5	ann. pay.	297652	21297	68798	52104	44089	186288	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	249507	14873	53247	33031	30027	131178	82551	(D)	(D)	(D)	343605	20616	78635	48191	48366	195808	100064	         (D)	         (D)	         (D)	288752	16101	62480	41122	34781	154484	88340	         (D)	         (D)	         (D)	402376	         (D)	89859	57587	66657	         (D)	106757	         (D)	         (D)	         (D)
813940	5	rec.																																									1432176	         (D)	368828	188022	228485	         (D)	340683	         (D)	         (D)	         (D)
813990	5	firms	24033	2439	14701	3384	2128	22652	1244	103	23999	34	23704	2172	14597	3396	2164	22329	1234	107	23670	34	23757	2180	14491	3490	2182	22343	1270	109	23722	35	23664	2152	14437	3456	2203	22248	1265	117	23630	34	22580	2024	13685	3249	2197	21155	1261	134	22550	30
813990	5	estab.	24333	2439	14701	3388	2138	22666	1307	238	24211	122	23958	2172	14597	3402	2169	22340	1292	194	23826	132	24016	2180	14493	3494	2188	22355	1322	198	23875	141	23924	2152	14438	3461	2208	22259	1322	252	23833	91	22874	2024	13686	3252	2205	21167	1337	281	22785	89
813990	5	empl.	136787	0	26692	22579	28345	77616	41944	13543	133103	3684	139366	0	26524	22687	28813	78024	42494	14087	134605	4761	144373	0	26526	23311	29173	79010	44428	14867	138305	6068	144707	0	26622	22930	29395	78947	44236	16151	139334	5373	143426	0	25482	21636	29089	76207	43146	18306	137659	5767
813990	5	ann. pay.	3021439	43220	487901	480308	623420	1634849	912457	366963	2914269	107170	3334271	49861	501940	508935	649911	1710647	988253	479331	3178231	156040	3558797	38419	517973	539211	688806	1784409	1056974	484665	3326048	232749	3787007	39775	554308	553856	748097	1896036	1099542	585680	3581258	205749	3892929	33277	528653	540011	748715	1850656	1120480	669317	3640453	252476
813990	5	rec.																																									15985424	223152	2729872	2388153	3011058	8352235	4292022	2186333	14830590	1154834