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212234	5	empl.	13199	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	725	853	12346	12288	0	[b]	[a]	[b]	85	[c]	[e]	[f]	[j]	9443	         [a]	         [b]	31	         [b]	98	         [b]	         [e]	         [f]	         [i]	8685	0	35	         [b]	         [b]	         [b]	62	         [c]	         [e]	         [i]	5993	0	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	123	5870
212234	5	ann. pay.	564456	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	29247	35573	528883	510195	52	(D)	(D)	(D)	4892	(D)	(D)	(D)	(D)	416875	         (D)	         (D)	1120	         (D)	3438	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	397717	78	1134	         (D)	         (D)	         (D)	1929	         (D)	         (D)	         (D)	276910	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	9509	267401
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21229	4	ann. pay.	183221	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	181067	(D)	1838	1524	1326	(D)	(D)	(D)	33910	147157	193262	239	         (D)	1750	         (D)	5358	7144	27068	39570	153692	203911	140	1485	1493	2164	5282	         (D)	         (D)	37147	166764	180944	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	38625	142319
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212291	5	empl.	792	         [a]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	         [e]	         [e]	725	[a]	5	[a]	0	[b]	197	[b]	308	417	584	0	         [a]	19	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	352	232	426	0	         [a]	         [a]	         [a]	32	         [c]	         [c]	         [e]	         [c]	         [e]	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	         [c]	         [b]	         [c]	         [c]
212291	5	ann. pay.	32423	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	27134	(D)	194	(D)	0	(D)	8105	(D)	11699	15435	30079	0	         (D)	1092	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	16180	13899	22274	0	         (D)	         (D)	         (D)	1830	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)
212299	5	firms	63	7	27	7	3	44	5	6	55	8	50	10	21	4	5	40	3	2	45	5	48	8	21	5	5	39	1	3	43	5	41	4	18	5	5	32	1	2	35	6	39	8	14	6	3	31	0	3	34	5
212299	5	estab.	66	7	27	7	3	44	5	7	56	10	53	10	21	4	5	40	3	3	46	7	51	8	21	5	5	39	1	4	44	7	45	4	18	5	5	32	1	3	36	9	43	8	14	6	3	31	0	4	35	8
212299	5	empl.	3043	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	893	2150	3040	[a]	37	[b]	61	[c]	[b]	[e]	576	2464	2734	0	         [b]	31	         [b]	         [c]	         [b]	         [e]	567	2167	3050	0	         [b]	         [b]	         [b]	123	         [b]	         [e]	         [f]	         [g]	         [h]	         [a]	         [b]	44	         [b]	107	0	         [e]	         [e]	         [h]
212299	5	ann. pay.	150798	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	36090	114708	153933	(D)	1644	(D)	1326	(D)	(D)	(D)	22211	131722	163183	239	         (D)	658	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	23390	139793	181637	140	         (D)	         (D)	         (D)	3452	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	1212	         (D)	4038	0	         (D)	         (D)	         (D)
2123	3	firms	3520	282	1011	653	612	2558	640	188	3386	134	3501	318	1056	623	557	2554	637	170	3361	140	3492	324	1014	632	596	2566	618	172	3356	136	3545	336	1102	638	562	2638	617	160	3415	130	3614	375	1153	613	588	2729	585	170	3484	130
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21231	4	firms	1325	90	278	226	259	853	301	92	1246	79	1312	101	298	221	245	865	284	81	1230	82	1290	91	294	223	246	854	277	80	1211	79	1312	97	329	223	233	882	282	73	1237	75	1362	125	355	223	252	955	257	79	1291	71
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212311	5	firms	199	31	74	49	21	175	15	4	194	5	219	45	79	40	27	191	22	2	215	4	224	33	87	40	37	197	20	3	220	4	282	46	110	51	39	246	28	4	278	4	357	63	128	62	55	308	34	6	348	9
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212311	5	ann. pay.	51345	         (D)	         (D)	6738	7326	20193	11438	4084	35715	15630	64005	3906	(D)	5857	8178	(D)	16072	(D)	43766	20239	78269	1494	4771	6341	14610	27216	21983	6877	56076	22193	90555	3247	9156	9077	13649	35129	28434	8242	71805	18750	113713	3450	9046	10679	23262	46437	33815	13224	93476	20237
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31121	4	ann. pay.	658756	         (D)	         (D)	6100	16929	31248	71275	156483	259006	399750	652306	1624	3683	7636	14326	27269	87692	143182	258143	394163	658346	1275	3482	7561	13660	25978	81281	182663	289922	368424	639296	         (D)	         (D)	9417	14303	30779	79325	174308	284412	354884	636762	2209	3254	6303	16320	28086	83519	169585	281190	355572
311211	5	firms	248	10	65	44	40	159	48	20	227	21	250	17	64	45	34	160	50	19	229	21	254	20	54	54	29	157	54	24	235	19	258	21	61	49	35	166	49	24	239	19	219	16	47	30	37	130	49	24	203	16
311211	5	estab.	373	10	65	44	40	159	53	45	257	116	377	17	64	45	34	160	54	48	262	115	393	20	54	54	29	157	59	58	274	119	395	21	61	49	35	166	53	58	277	118	346	16	47	30	38	131	51	59	241	105
311211	5	empl.	13333	         [a]	         [c]	291	531	977	1673	2739	5389	7944	13741	0	164	300	481	945	1807	2971	5723	8018	13392	         [a]	         [c]	349	392	873	1849	3409	6131	7261	13279	0	152	320	472	944	1744	3777	6465	6814	12267	         [a]	         [c]	192	491	799	1776	3299	5874	6393
311211	5	ann. pay.	489610	         (D)	         (D)	4633	13645	24040	48246	104448	176734	312876	485495	1463	3136	5046	12846	22491	53215	104100	179806	305689	486032	         (D)	         (D)	6525	9582	20147	55981	130852	206980	279052	468844	1878	2792	7308	10940	22918	55418	135516	213852	254992	463015	         (D)	         (D)	4066	12041	20047	59623	128623	208293	254722
311212	5	firms	52	1	7	7	6	21	18	6	45	7	54	3	7	6	4	20	21	6	47	7	54	2	5	6	8	21	19	7	47	7	56	4	6	9	6	25	17	7	49	7	60	2	13	8	7	30	16	7	53	7
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311212	5	empl.	3986	         [a]	         [a]	         [b]	74	         [c]	         [f]	         [g]	1927	2059	4059	0	[a]	[b]	55	116	[f]	[f]	1871	2188	4086	         [a]	         [a]	         [b]	         [c]	         [c]	         [f]	1110	2047	2039	3831	         [a]	         [a]	62	         [b]	         [c]	         [f]	920	1821	2010	4172	         [a]	         [b]	62	103	         [c]	         [f]	         [f]	1807	2365
311212	5	ann. pay.	125693	         (D)	         (D)	         (D)	3284	         (D)	         (D)	         (D)	60863	64830	119041	82	(D)	(D)	1480	4434	(D)	(D)	55042	63999	123910	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	31324	59034	64876	121465	         (D)	         (D)	2109	         (D)	         (D)	         (D)	28378	56742	64723	130336	         (D)	         (D)	2237	4279	         (D)	         (D)	         (D)	60185	70151
311213	5	firms	19	2	6	1	0	9	2	3	14	5	21	4	7	1	0	12	3	2	17	4	19	0	8	1	1	10	2	3	15	4	18	2	6	0	1	9	2	3	14	4	17	1	7	0	0	8	2	2	12	5
311213	5	estab.	32	2	6	1	0	9	2	7	18	14	36	4	7	1	0	12	3	8	23	13	34	0	8	1	1	10	2	9	21	13	32	2	6	0	1	9	2	5	16	16	29	1	7	0	0	8	2	4	14	15
311213	5	empl.	1041	         [a]	         [a]	         [a]	0	         [b]	         [b]	         [e]	504	537	1120	0	[a]	[a]	0	18	[c]	[e]	559	561	1134	0	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	444	578	556	1096	         [a]	         [a]	0	         [a]	         [b]	         [c]	205	339	757	893	         [a]	         [a]	0	0	         [a]	         [b]	         [c]	292	601
311213	5	ann. pay.	43453	         (D)	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	21409	22044	47770	79	(D)	(D)	0	344	(D)	(D)	23295	24475	48404	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	20487	23908	24496	48987	         (D)	         (D)	0	         (D)	         (D)	         (D)	10414	13818	35169	43411	         (D)	         (D)	0	0	         (D)	         (D)	         (D)	12712	30699
31122	4	firms	188	13	39	30	17	99	34	20	153	35	190	10	33	35	18	96	42	18	156	34	189	10	37	34	19	100	38	20	158	31	196	15	40	33	19	107	40	19	166	30	174	9	27	32	22	90	37	18	145	29
31122	4	estab.	354	13	39	30	17	99	40	31	170	184	352	10	33	35	18	96	50	27	173	179	357	10	37	34	19	100	48	31	179	178	360	15	40	33	19	107	49	28	184	176	324	9	27	32	22	90	42	26	158	166
31122	4	empl.	27898	         [a]	         [c]	194	225	524	1592	2712	4828	23070	27696	[a]	[b]	224	245	549	1920	2538	5007	22689	27657	         [a]	         [b]	233	271	588	1882	2407	4877	22780	26565	0	97	220	259	576	1979	2288	4843	21722	24250	         [a]	         [b]	214	293	561	1703	2213	4477	19773
31122	4	ann. pay.	1077745	         (D)	         (D)	3973	6153	13813	54950	89196	157959	919786	1067638	(D)	(D)	4573	5366	12734	66351	83294	162379	905259	1111345	         (D)	         (D)	5108	7034	15680	68784	91825	176289	935056	1139079	7692	4161	5353	6821	24027	73233	93425	190685	948394	1084695	         (D)	         (D)	4387	8091	16864	65687	93943	176494	908201
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311221	5	estab.	59	2	6	4	3	15	5	5	25	34	58	1	6	3	1	11	8	4	23	35	61	0	6	5	1	12	10	5	27	34	61	0	5	6	1	12	10	5	27	34	58	1	6	5	1	13	5	4	22	36
311221	5	empl.	9272	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	         [b]	150	         [f]	969	8303	9610	[a]	[a]	[a]	[a]	[b]	268	[f]	949	8661	9817	0	         [a]	30	         [a]	54	361	722	1137	8680	9394	0	         [a]	         [b]	         [a]	68	376	715	1159	8235	9087	         [a]	         [a]	         [b]	         [a]	         [b]	175	         [f]	818	8269
311221	5	ann. pay.	421481	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	5233	         (D)	41467	380014	437568	(D)	(D)	(D)	(D)	(D)	9795	(D)	42772	394796	470047	0	         (D)	561	         (D)	1419	12493	36530	50442	419605	465923	0	         (D)	         (D)	         (D)	2031	12520	35822	50373	415550	499399	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	7554	         (D)	40595	458804
311222	5	firms	49	1	14	8	5	28	6	5	39	10	49	4	9	10	5	28	7	4	39	10	47	2	10	9	8	29	3	5	37	10	53	6	8	10	7	31	5	6	42	11	51	3	6	10	10	29	6	5	40	11
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311222	5	empl.	6017	         [a]	         [b]	         [b]	64	154	252	522	928	5089	6497	[a]	[b]	62	[b]	[c]	316	463	[f]	[i]	6381	         [a]	         [b]	62	110	197	121	470	788	5593	6367	0	22	60	86	168	158	609	935	5432	6139	0	12	67	125	204	204	576	984	5155
311222	5	ann. pay.	221920	         (D)	         (D)	         (D)	1784	3621	8605	15896	28122	193798	244920	(D)	(D)	1471	(D)	(D)	9512	15398	(D)	(D)	249676	         (D)	         (D)	1358	3792	6102	3447	18581	28130	221546	273731	7412	772	1603	1979	11766	5314	23928	41008	232723	247004	1762	556	1229	3552	7099	5161	20849	33109	213895
311223	5	firms	34	2	7	1	2	12	10	6	28	6	33	3	4	2	4	13	10	6	29	4	33	1	5	4	2	12	10	7	29	4	35	2	8	2	4	16	8	6	30	5	33	0	6	3	4	13	10	5	28	5
311223	5	estab.	59	2	7	1	2	12	10	11	33	26	56	3	4	2	4	13	12	9	34	22	52	1	5	4	2	12	11	10	33	19	50	2	8	2	4	16	8	8	32	18	43	0	6	3	4	13	11	6	30	13
311223	5	empl.	3083	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	         [b]	500	         [f]	1207	1876	2201	[a]	6	[a]	[b]	[b]	523	[f]	[g]	[g]	2296	         [a]	         [a]	31	         [b]	73	560	506	1139	1157	2069	         [a]	         [a]	         [a]	         [b]	91	473	396	960	1109	1823	0	         [a]	         [b]	         [b]	         [b]	567	         [e]	1001	822
311223	5	ann. pay.	91871	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	15732	         (D)	32812	59059	66550	(D)	218	(D)	(D)	(D)	17007	(D)	(D)	(D)	72625	         (D)	         (D)	506	         (D)	1704	18438	14787	34929	37696	70306	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	3297	17560	13045	33902	36404	64433	0	         (D)	         (D)	         (D)	         (D)	21577	         (D)	35018	29415
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322221	5	empl.	6253	         [a]	         [b]	75	152	258	619	1330	2207	4046	6360	[a]	34	[b]	100	205	660	1386	2251	4109	6577	         [a]	         [b]	73	152	252	704	1634	2590	3987	6603	0	34	92	148	274	826	2002	3102	3501	5950	         [a]	         [b]	116	104	259	998	1461	2718	3232
322221	5	ann. pay.	220661	         (D)	         (D)	2233	3917	6898	22135	40901	69934	150727	227163	(D)	883	(D)	3661	8145	24137	42022	74304	152859	243564	         (D)	         (D)	1984	7611	12098	27473	52412	91983	151581	243875	545	2112	3126	3676	9459	32853	66501	108813	135062	241913	         (D)	         (D)	4038	4644	10820	44307	55634	110761	131152
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322223	5	estab.	41	1	6	4	3	14	12	7	33	8	43	3	6	3	6	18	11	7	36	7	45	1	7	3	5	16	15	7	38	7	46	2	6	4	7	19	14	7	40	6	47	2	8	8	6	24	13	4	41	6
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322223	5	ann. pay.	104767	         (D)	         (D)	         (D)	840	2234	16949	26384	45567	59200	139561	(D)	(D)	(D)	(D)	39854	16855	27874	84583	54978	105339	         (D)	631	         (D)	1883	3074	22269	29342	54685	50654	105691	         (D)	         (D)	558	2525	3809	23193	30521	57523	48168	80233	         (D)	         (D)	1954	2428	         (D)	17641	         (D)	38350	41883
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322225	5	firms	34	0	3	1	5	9	9	5	23	11	40	3	2	3	3	11	11	5	27	13	37	1	4	1	4	10	12	4	26	11	37	1	2	2	4	9	12	5	26	11	33	1	0	4	4	9	11	2	22	11
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32223	4	firms	647	22	131	106	110	369	183	60	612	35	632	27	116	122	100	365	173	59	597	35	607	19	122	105	99	345	163	66	574	33	590	18	127	92	94	331	161	68	560	30	538	21	99	88	98	306	142	61	509	29
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323118	5	ann. pay.	483763	         (D)	         (D)	8056	11348	22316	124605	163083	310004	173759	449714	(D)	(D)	4627	12685	20533	134755	125064	280352	169362	446747	         (D)	         (D)	3243	11050	18262	135190	120553	274005	172742	401337	587	2715	2714	12215	18231	121463	118138	257832	143505	404289	692	2193	5939	12657	21481	111833	94772	228086	176203
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323121	5	firms	1279	94	313	250	224	881	328	55	1264	15	1266	65	316	259	234	874	324	52	1250	16	1216	64	313	228	230	835	310	54	1199	17	1174	67	295	218	221	801	305	54	1160	14	1142	56	335	203	204	798	284	50	1132	10
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325120	5	empl.	12881	         [a]	         [c]	80	         [b]	278	356	221	855	12026	11562	0	[b]	111	[c]	285	317	571	1173	10389	12032	0	90	106	68	264	349	652	1265	10767	11212	         [a]	         [b]	91	         [c]	278	633	246	1157	10055	9557	         [a]	         [b]	88	89	240	394	709	1343	8214
325120	5	ann. pay.	603967	         (D)	         (D)	3140	         (D)	8765	11106	7301	27172	576795	571509	365	(D)	3694	(D)	9774	10483	23020	43277	528232	611550	1328	2695	3768	1494	9285	11139	24619	45043	566507	612718	         (D)	         (D)	2553	         (D)	10244	25266	7380	42890	569828	569743	         (D)	         (D)	3612	3261	9124	25184	31509	65817	503926
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325193	5	ann. pay.	87438	         (D)	         (D)	         (D)	1917	         (D)	         (D)	40694	53162	34276	65193	(D)	(D)	(D)	(D)	3516	9636	17552	30704	34489	67629	895	557	1310	2910	5672	9780	17642	33094	34535	77370	         (D)	         (D)	         (D)	4237	6413	14337	18256	39006	38364	77018	         (D)	         (D)	         (D)	7015	11766	17825	18355	47946	29072
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325312	5	ann. pay.	380307	         (D)	         (D)	1482	1982	4197	10899	36984	52080	328227	390373	(D)	(D)	1997	(D)	3295	7845	49129	60269	330104	372784	         (D)	         (D)	1496	         (D)	3277	11915	37466	52658	320126	352116	         (D)	         (D)	1247	         (D)	2864	6843	35708	45415	306701	353986	         (D)	         (D)	553	0	1579	6915	21656	30150	323836
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33461	4	estab.	898	81	278	128	113	600	129	88	817	81	900	108	266	126	112	612	140	83	835	65	901	97	282	137	107	623	137	66	826	75	963	100	338	131	112	681	139	75	895	68	896	91	320	121	102	634	147	50	831	65
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334612	5	firms	505	47	175	83	74	379	74	38	491	14	487	57	161	83	64	365	76	34	475	12	497	59	173	83	61	376	79	27	482	15	504	57	184	76	71	388	73	29	490	14	448	35	165	72	53	325	83	23	431	17
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335122	5	firms	324	18	55	54	58	185	87	36	308	16	328	19	60	53	58	190	89	33	312	16	330	16	69	57	55	197	83	33	313	17	335	15	67	58	57	197	90	31	318	17	305	14	61	42	53	170	95	25	290	15
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56221	4	estab.	2459	247	594	292	210	1343	247	94	1684	775	2452	223	611	308	219	1361	234	92	1687	765	2678	161	626	324	214	1325	235	92	1652	1026	2933	146	654	321	233	1354	236	107	1697	1236	2917	147	634	307	227	1315	235	119	1669	1248
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