日期: 2026-08-08
代码: 688082.SS
事件: 项目投资（项目投资）
股票增发，新股首发募集资金，计划总投资额合计47.05亿元，用于项目：高端半导体设备迭代研发项目、补充流动资金、研发和工艺测试平台建设项目、剩余超募资金永久补充流动资金
2025-09-26股票增发募集资金，用于项目：高端半导体设备迭代研发项目，计划总投资额：22.55亿元，计划投入募集资金：22.08亿元，已投入募集资金：2.918亿元
2025-09-26股票增发募集资金，用于项目：补充流动资金，计划总投资额：13.04亿元，计划投入募集资金：13.04亿元，已投入募集资金：13.04亿元
2025-09-26股票增发募集资金，用于项目：研发和工艺测试平台建设项目，计划总投资额：9.403亿元，计划投入募集资金：9.223亿元，已投入募集资金：1.192亿元
2021-11-08新股首发募集资金，用于项目：剩余超募资金永久补充流动资金，计划总投资额：2.054亿元，计划投入募集资金：2.054亿元，已投入募集资金：2.884亿元