日期: 2026-03-14
代码: 688630.SS
事件: 项目投资（项目投资）
股票增发募集资金，计划总投资额合计10.99亿元，用于项目：直写光刻设备产业应用深化拓展项目、补充流动资金项目、关键子系统、核心零部件自主研发项目、IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目
2023-08-04股票增发募集资金，用于项目：直写光刻设备产业应用深化拓展项目，计划总投资额：3.176亿元，计划投入募集资金：2.577亿元，已投入募集资金：1.353亿元
2023-08-04股票增发募集资金，用于项目：补充流动资金项目，计划总投资额：3亿元，计划投入募集资金：2.041亿元，已投入募集资金：1.945亿元
2023-08-04股票增发募集资金，用于项目：关键子系统、核心零部件自主研发项目，计划总投资额：2.476亿元，计划投入募集资金：1.517亿元，已投入募集资金：8384万元
2023-08-04股票增发募集资金，用于项目：IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目，计划总投资额：2.341亿元，计划投入募集资金：1.758亿元，已投入募集资金：1.258亿元