日期: 2026-06-29
代码: 300666.SZ
事件: 项目投资（项目投资）
股票增发募集资金，计划总投资额合计14.48亿元，用于项目：年产5,100个集成电路设备用静电吸盘产业化项目、年产12,300个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目
2026-06-23股票增发募集资金，用于项目：年产5,100个集成电路设备用静电吸盘产业化项目，计划总投资额：10.98亿元，计划投入募集资金：9.979亿元，已投入募集资金：3092万元
2026-06-23股票增发募集资金，用于项目：年产12,300个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目，计划总投资额：3.5亿元，计划投入募集资金：2.56亿元，已投入募集资金：3496万元